KR101499340B1

KR101499340B1 - 시료 검사 장치 및 방법

Info

Publication number: KR101499340B1
Application number: KR20130104086A
Authority: KR
Inventors: 이경우; 남궁승; 이상원
Original assignee: 현대제철 주식회사
Priority date: 2013-08-30
Filing date: 2013-08-30
Publication date: 2015-03-05

Abstract

본 발명은 광학현미경의 시료 받침대에 형성되고, 상기 시료 받침대의 일단부에서 중심부를 향하여 길이를 가지도록 구비되며, 복수의 시료가 안착되는 안착 홀 및 상기 안착 홀의 길이 방향을 따라 상기 복수의 시료의 이동을 가이드 하도록 상기 시료의 상부에 끼움 결합되고, 상기 안착 홀에 상기 복수의 시료의 검사위치를 고정시키도록 형성되는 검사위치 고정부를 포함한다.

Description

시료 검사 장치 및 방법{Sample inspection apparatus and method}

본 발명은 시료 검사 장치 및 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 시료의 검사위치를 유지시켜 이동할 수 있도록 함으로써, 광학현미경을 통해 복수개의 시료에 대한 평가를 수행할 수 있는 시료 검사 장치 및 방법에 관한 것이다.

일반적으로, 광학현미경은 육안으로 식별이 불가능한 검사 대상체의 특정 부위를 일정 배율로 확대하고, 그 상태를 확인 및 검사하는데 사용된다.

여기서, 통상의 광학현미경의 구성을 설명하면, 장방형의 형상을 가진 받침대가 구비되고, 상기 받침대의 상부에는 검사 대상체가 안착되는 스테이지가 구비된다.

이때, 상기 스테이지는 복수의 검사 대상체가 안착되도록 하고, 상기 복수의 검사 대상체의 검사를 위한 이동에 따라 위치 및 방향이 달라지지 않도록 하는 것이 중요하다.

본 발명과 관련된 선행 문헌으로는 대한민국 공개실용 제20-1999-0039944호(공개일 : 1999.11.25)가 있으며, 상기 선행문헌에는 반도체 칩 검사용 전자현미경의 시료고정홀더에 대한 기술이 개시된다.

본 발명의 목적은, 시료의 검사위치를 유지시켜 이동할 수 있도록 함으로써, 광학현미경을 통해 복수개의 시료에 대한 평가를 수행할 수 있는 시료 검사 장치 및 방법을 제공함에 있다.

본 발명에 따른 시료 검사 장치는 광학현미경의 시료 받침대에 형성되고, 상기 시료 받침대의 일단부에서 중심부를 향하여 길이를 가지도록 구비되며, 복수의 시료가 안착되는 안착 홀 및 상기 안착 홀의 길이 방향을 따라 상기 복수의 시료의 이동을 가이드 하도록 상기 시료의 상부에 끼움 결합되고, 상기 안착 홀에 상기 복수의 시료의 검사위치를 고정시키도록 형성되는 검사위치 고정부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 검사위치 고정부는 상기 복수의 시료의 검사위치가 상기 안착 홀의 길이 방향과 평행하게 배치되어 이동하도록 상기 복수의 시료의 상부에 'ㄷ'형상으로 미리 끼움 결합된다.

이때, 상기 검사위치 고정부는 상기 안착 홀의 양측에서 상향 단차지도록 형성되고, 상기 검사위치 고정부의 양단부가 걸림 위치되어 이동을 가이드하는 가이드 홀을 구비한다.

그리고, 상기 안착 홀은 안착된 상기 복수의 시료가 배출되도록 상기 시료 받침대의 일단부에서 타단부를 따라 길이를 가지며 형성된다.

한편, 시료 검사 방법은 광학현미경의 시료 받침대에 형성된 안착 홀에 검사위치가 기설정된 복수의 시료를 안착시키는 시료 안착 단계와 상기 안착 홀을 따라 상기 복수의 시료를 시료 검사 영역으로 이동시켜, 상기 시료에 대한 검사를 실시하는 시료 검사 단계 및 상기 검사가 완료된 시료를 상기 안착 홀 상에서 제거하고, 또다른 시료를 상기 시료 검사 영역으로 이동시키는 시료 이동 단계를 포함한다.

여기서, 상기 시료 안착 단계는 상기 시료의 위치가 상기 안착 홀의 길이 방향과 평행하도록 초기위치 고정부를 상기 시료의 상부에 끼움 결합시켜 상기 복수의 시료의 검사위치를 기설정한다.

본 발명은, 시료의 검사위치를 유지시켜 이동할 수 있도록 하여, 광학현미경을 통해 복수개의 시료에 대한 평가를 수행할 수 있는 효과를 갖는다.

그리고, 본 발명은 시료의 검사위치가 유지되도록 하는 검사위치 고정부를 통해 시료의 검사위치를 사전에 조절할 수 있는 효과를 갖는다.

그에 따라, 본 발명은 시료의 검사위치 유지를 통해 평가 신뢰성이 향상될 뿐만 아니라, 복수개의 시료에 대한 평가를 위해 시료의 이동이 가능하도록 함으로써, 평가에 따른 시간을 절감할 수 있는 효과를 갖는다.

도 1 은 본 발명에 따른 시료 검사 장치를 개략적으로 보여주는 상면도이다.
도 2 는 본 발명에 따른 시료 검사 장치의 시료의 안착을 보여주는 단면도이다.
도 3 은 본 발명에 따른 시료 검사 장치의 실시예를 보여주는 상면도이다.
도 4 는 본 발명에 따른 시료 검사 방법을 개략적으로 보여주는 순서도이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 상세히 설명하기로 한다.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것을 달성하는 방법은 첨부된 도면과 함께 상세하게 후술 되어 있는 실시 예들을 참조하면 명확해질 것이다.

그러나, 본 발명은 이하에 개시되는 실시 예들에 의해 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.

또한, 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기술 등이 본 발명의 요지를 흐리게 할 수 있다고 판단되는 경우 그에 관한 자세한 설명은 생략하기로 한다.

도 1 은 본 발명에 따른 시료 검사 장치를 개략적으로 보여주는 상면도이고, 도 2 는 본 발명에 따른 시료 검사 장치의 시료의 안착을 보여주는 단면도이다.

도 1과 도2에 도시된 바와 같이, 시료 검사 장치는 안착 홀(100) 및 검사위치 고정부(200)를 포함한다.

먼저, 상기 안착 홀(100)은 광학현미경의 시료 받침대(1)에 형성되고, 상기 시료 받침대(1)에서 중심부를 향하여 길이를 가지도록 구비된다.

상기 안착 홀(100)은, 상기 시료 받침대(1)의 중심부에 시료(10)가 안착되도록 형성된 것으로, 복수의 시료(10)가 안착되어 이동될 수 있도록 소정의 길이를 가지며 상기 시료 받침대(1)에 설치된다.

상기 안착 홀(100)의 설치방향은, 상기 시료(10)에 대한 검사 후 다른 시료(10)를 상기 시료 받침대(10)의 중심부에 위치된 시료 검사 영역(A)으로 용이하게 이동시키기 위하여, 상기 시료 받침대(10)의 하면에서 상기 시료 검사 영역(A)으로 연장되어 형성되는 것이 바람직하다.

이때, 상기 안착 홀(100)의 양측에는 가이드 홀(110)이 형성된다.

즉, 상기 가이드 홀(110)은 시료(10)의 상부에 끼움 결합되는 검사위치 고정부(200)의 이동을 가이드 하도록 형성된다.

여기서, 상기 검사위치 고정부(200)는 안착 홀(100)의 길이 방향을 따라 복수의 시료(10)의 이동을 가이드 하도록 상기 시료(10)의 상부에 각각 끼움 결합된다.

상기 검사위치 고정부(200)는, 상기 안착 홀(100)에 상기 복수의 시료(10)의 검사위치를 고정시키도록 형성된다.

상기 검사위치 고정부(200)는, 상기 복수의 시료(10)의 검사위치가 상기 안착 홀(100)이 형성된 길이 방향과 평행하게 배치되어 이동되도록 상기 복수의 시료(10)의 상부에 'ㄷ' 형상으로 미리 끼움 결합된다.

다시 말해, 상기 검사위치 고정부(200)는 상기 시료(10)의 상부에 끼움 결합되는 경우, 끼움 결합 각도에 따른 상기 시료(10)의 검사위치를 확인한다.

즉, 상기 시료(10)에 끼움 결합된 상기 검사위치 고정부(200)의 상면이 상기 시료(10)의 검사위치와 일치되도록 상기 시료(10)를 상기 검사위치 고정부(200)에 끼움 결합된 상태에서 회전시켜 조절한다.

상기 검사위치 고정부(200)는, 복수의 시료(10)가 소정의 길이를 갖는 안착 홀(100)에 안착되기 이전에 미리 상기 복수의 시료(10) 각각의 검사위치를 고정시킨 후 상기 안착 홀(100)에 안착시킨다.

한편, 검사위치 고정부(200)는 복수의 시료(10)에 끼움 결합된 상태에서 가이드 홀(110)을 따라 이동한다.

여기서, 상기 가이드 홀(110)은 안착 홀(100)의 양측에서 상향 단차지도록 형성되고, 상기 검사위치 고정부(200)의 양단부가 걸림 위치되어 이동하도록 가이드한다.

상기 가이드 홀(110)은, 'ㄷ' 형상을 갖는 상기 검사위치 고정부(200)의 양단부가 시료(10)의 양측을 감싸며 끼움 결합되고, 그 길이는 상기 시료(10)의 양측 길이보다 짧기 때문에, 상기 안착 홀(100)의 양측에서 단차지도록 형성된다.

따라서, 시료 검사 장치는, 상기 검사위치 고정부(200)를 통해 복수의 시료(10)가 상기 안착 홀(100)에 안착되기 이전에 검사위치를 미리 설정하도록 하여, 검사 평가에 대한 신뢰성이 향상될 수 있다.

그리고, 상기 시료 검사 장치는 상기 검사위치 고정부(200)가 끼움 결합되어 검사위치가 고정된 상기 복수의 시료(10)가 안착 홀(100)을 따라 시료 검사 영역(A)으로 이동하도록 함으로써, 광학현미경을 통해 복수개의 시료에 대한 평가를 수행할 수 있다.

그에 따라, 상기 시료 검사 장치는 상기 복수의 시료(10)에 대한 평가를 위해 상기 시료 검사 영역(A)으로 상기 복수의 시료(10)의 이동이 가능하도록 함으로써, 상기 복수의 시료(10)에 대한 평가 시간을 절감할 수 있다.

이하, 도 3 은 본 발명에 따른 시료 검사 장치의 실시예를 보여주는 상면도이다.

도 3에 도시된 바와 같이, 시료 검사 장치는 시료 받침대(1)에서 안착 홀(100)의 길이를 다르게 설정하여 설치될 수 있다.

즉, 상기 안착 홀(100)은 안착된 복수의 시료(10)가 효과적으로 안착 및 배출되도록 상기 시료 받침대(1)의 일단부에서 타단부를 따라 길이를 가지며 형성된다.

따라서, 상기 시료 받침대(10)의 일단부와 타단부를 연결하는 상기 안착 홀(100) 중심부에는 시료 검사 영역(A)이 형성된다.

이때, 작업자가 상기 시료 받침대(10)의 일단부에 형성된 상기 안착 홀(100)에 시료(10)를 안착시켜 이동시키면, 먼저 안착된 시료(10)가 상기 시료 받침대(10)의 타단부 측으로 밀림 이동하게 됨으로써, 상기 시료 검사 영역(A)에서 검사가 완료된 복수의 시료(10)의 배출이 효과적으로 이루어지도록 한다.

여기서, 상기 안착 홀(100)의 양측에는 도 1 및 도 2에서 전술된 바와 같이 가이드 홀(110)이 형성된다.

결과적으로, 시료 검사 장치는 안착 홀(100)의 길이를 시료 받침대(1)의 일단부 측에서 타단부 측으로 연장되어 형성되도록 함으로써, 시료 검사 영역(A)으로 시료를 용이하게 이동시킬 수 있을 뿐만 아니라 검시가 완료된 시료(10)를 밀어내어 상기 안착 홀(100) 밖으로 효과적으로 배출시킬 수 있다.

이하, 도 4 는 본 발명에 따른 시료 검사 방법을 개략적으로 보여주는 순서도이다.

도 4에 도시된 바와 같이, 시료 검사 방법을 설명하면 다음 같다.

시료 안착 단계(S100)

광학현미경의 시료 받침대(1)에 소정의 길이를 가지며 형성된 안착 홀(100)에 검사위치가 기설정된 복수의 시료(10)를 안착시킨다.

이를 위해, 상기 복수의 시료(10)의 위치가 상기 안착 홀의 길이 방향과 평행하도록 초기위치 고정부(200)를 상기 시료의 상부에 끼움 결합시켜 상기 복수의 시료의 검사위치를 기설정한다.

즉, 상기 복수의 시료(10)에 'ㄷ' 형상으로 끼움 결합된 상기 검사위치 고정부(200)의 상면이 상기 복수의 시료(10)의 검사위치와 일치되도록 상기 시료(10)를 상기 검사위치 고정부(200)에 끼움 결합된 상태에서 회전시켜 조절한다.

이때, 상기 복수의 시료(10)가 소정의 길이를 갖는 안착 홀(100)에 안착되기 이전에 상기 검사위치 고정부(200)를 통해 미리 상기 복수의 시료(10) 각각의 검사위치를 고정시킨 후 상기 안착 홀(100)에 안착시킨다.

시료 검사 단계(S200)

안착 홀(100)을 따라 복수의 시료(10)를 시료 검사 영역(A)으로 이동시켜, 상기 시료에 대한 평가 검사를 실시한다.

여기서, 상기 복수의 시료(10)의 이동은 작업자에 의해 이루어지며, 상기 안착 홀(100)의 단부, 즉 시료 받침대(1)의 중앙부에 위치된 상기 시료 검사 영역(A)으로 상기 시료(10)를 이동시킴으로써, 평가 검사가 이루어진다.

시료 이동 단계(S300)

시료 검사 영역(A)에서 검사가 완료된 시료(10)를 안착 홀(100) 상에서 제거하고, 또다른 시료(10)를 상기 시료 검사 영역(A)으로 이동시킨다.

상기 안착 홀(100)이 길이를 가지며 형성되기 때문에, 작업자가 상기 안착 홀(100)의 길이를 따라 상기 시료 검사 영역(A)으로 상기 시료(10)를 밀어 이동시키고, 검사가 완료된 상기 시료(10)를 상기 안착 홀(100) 밖으로 배출시킨다.

따라서, 시료(10)가 안착되는 안착 홀(100)에 하나의 시료(10)에 대한 검사만 이루어지는 것이 아니라, 상기 안착 홀(100)을 소정의 길이를 갖도록 하고, 복수의 시료(10)를 상기 안착 홀(100)을 따라 이동되도록 함으로써, 상기 복수의 시료(10)에 대한 검사를 한번에 진행할 수 있다.

그에 따라, 상기 복수의 시료(10)에 대한 평가 검사에 따른 시간을 절감할 수 있다.

이상의 본 발명은 도면에 도시된 실시 예(들)를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형이 이루어질 수 있으며, 상기 설명된 실시예(들)의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합되어 구성될 수도 있다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 청구범위의 기술적 사상에 의해 정해여야 할 것이다.

1 : 시료 받침대 10 : 시료
100 : 안착 홀 110 : 가이드 홀
200 : 검사위치 고정부 A : 시료 검사 영역

Claims

광학현미경의 시료 받침대에 형성되고, 상기 시료 받침대의 일단부에서 중심부를 향하여 길이를 가지도록 구비되며, 복수의 시료가 안착되는 안착 홀; 및
상기 안착 홀의 길이 방향을 따라 상기 복수의 시료의 이동을 가이드 하도록 상기 시료의 상부에 끼움 결합되고, 상기 안착 홀에 상기 복수의 시료의 검사위치를 고정시키도록 형성되는 검사위치 고정부;를 포함하고,
상기 검사위치 고정부는,
상기 복수의 시료의 검사위치가 상기 안착 홀의 길이 방향과 평행하게 배치되어 이동하도록 상기 복수의 시료의 상부에 'ㄷ'형상으로 미리 끼움 결합되는 것을 특징으로 하는 시료 검사 장치.
삭제
제1항에 있어서,
상기 검사위치 고정부는,
상기 안착 홀의 양측에서 상향 단차지도록 형성되고, 상기 검사위치 고정부의 양단부가 걸림 위치되어 이동을 가이드하는 가이드 홀을 구비하는 것을 특징으로 하는 시료 검사 장치.
제1항에 있어서,
상기 안착 홀은,
안착된 상기 복수의 시료가 배출되도록 상기 시료 받침대의 일단부에서 타단부를 따라 길이를 가지며 형성되는 것을 특징으로 하는 시료 검사 장치.
광학현미경의 시료 받침대에 형성된 안착 홀에 검사위치가 기설정된 복수의 시료를 안착시키는 시료 안착 단계;
상기 안착 홀을 따라 상기 복수의 시료를 시료 검사 영역으로 이동시켜, 상기 시료에 대한 검사를 실시하는 시료 검사 단계; 및
상기 검사가 완료된 시료를 상기 안착 홀 상에서 제거하고, 또다른 시료를 상기 시료 검사 영역으로 이동시키는 시료 이동 단계;를 포함하고,
상기 시료 안착 단계는,
상기 시료의 위치가 상기 안착 홀의 길이 방향과 평행하도록 초기위치 고정부를 상기 시료의 상부에 끼움 결합시켜 상기 복수의 시료의 검사위치를 기설정하는 것을 특징으로 하는 시료 검사 방법.
삭제