KR101498954B1 - Pin block type jig for vaccum chamber - Google Patents

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KR101498954B1
KR101498954B1 KR20140152680A KR20140152680A KR101498954B1 KR 101498954 B1 KR101498954 B1 KR 101498954B1 KR 20140152680 A KR20140152680 A KR 20140152680A KR 20140152680 A KR20140152680 A KR 20140152680A KR 101498954 B1 KR101498954 B1 KR 101498954B1
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이종량
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Abstract

The present invention relates to a fixing jig for processing a vacuum chamber. To this end, a technological aspect of the present invention is a fixing jig for preventing vibration, shaking, etc. of a material when processing a vacuum chamber. Repetition of assembly and disassembly according to a typical clamping process is minimized and a product is processed without damage during a cutting process (rough process, semi-rough process, finish process) of a portal machining center, so a quality of the product is significantly improved while significantly reducing setting time, thereby reducing process delay and degree of worker fatigue while reducing the amount of cutting fluid used.

Description

진공챔버 가공용 고정지그{Pin block type jig for vaccum chamber}[0001] The present invention relates to a fixing jig for vacuum chamber processing,

본 발명은 진공챔버 가공시 소재의 떨림, 흔들림 등을 방지하기 위해 사용되는 고정지그로서, 종전의 클램핑 공정에 따른 설치 해제 반복을 최소화함은 물론 오면 가공기의 절삭공정(황삭, 중삭, 정삭 등)시 제품 손상 없이 가공이 이루어지도록 함으로써, 제품의 품질을 크게 향상시키는 반면 세팅시간을 획기적으로 단축시키며, 이에 따른 가공지연 및 작업자의 피로도를 해소함은 물론 절삭유 사용량 절감을 도모하도록 하는 것을 특징으로 하는 진공챔버 가공용 고정지그에 관한 것이다.
The present invention relates to a fixing jig used for preventing shaking and shaking of a workpiece during a vacuum chamber processing. It minimizes repetition of installation and unloading according to a conventional clamping process, and also reduces cutting work (roughing, The present invention can greatly improve the quality of the product while significantly shortening the settling time, thereby relieving the machining delay and the fatigue of the worker and reducing the use amount of the cutting oil. To a fixing jig for chamber processing.

일반적으로 반도체, 평판 디스플레이, 태양전지 등을 제조하는 과정에서는, 반도체 기판이나 글라스 기판 등을 대상으로 증착과 같은 박막공정, 에칭 등의 식각공정, 포토리소그래피와 같은 패터닝 공정, 공정 후에 잔류하는 잔류물을 제거하기 위한 세정공정 등이 수행될 수 있다. In general, in the process of manufacturing a semiconductor, a flat panel display, a solar cell, or the like, a thin film process such as deposition on a semiconductor substrate or a glass substrate, an etching process such as etching, a patterning process such as photolithography, A cleaning process for removing the cleaning liquid may be performed.

이러한 공정들은 진공상태, 비활성 가스 또는 특정 가스의 분위기 내에서 수행될 수 있으며, 반도체 기판이나 글라스 기판과 같은 가공 대상물을 수용하는 내부공간을 제공하고, 진공상태나 특정 가스의 분위기를 유지하고 외부환경으로부터 오염되지 않고 외부와의 격리된 환경을 제공하기 위한 진공 챔버가 적용될 수 있다.These processes can be performed in an atmosphere of a vacuum state, an inert gas, or a specific gas, and can provide an internal space for accommodating an object to be processed such as a semiconductor substrate or a glass substrate, maintain an atmosphere of a vacuum state or a specific gas, A vacuum chamber for providing an environment isolated from the outside without contamination from the outside can be applied.

예컨데, 평판 디스플레이 패널을 제조함에 있어서 기판이 대면적 또는 대형화됨에 따라, 상기 기판을 처리하는 진공 챔버도 초대형으로 제작될 필요성이 있다. For example, in manufacturing a flat panel display panel, as the substrate becomes larger or larger, a vacuum chamber for processing the substrate needs to be manufactured in a very large size.

그런데 상기 진공 챔버를 일체형 구조로 제작하기에는 원자재 생산과 제작상의 문제점으로 인하여 어려움이 있다. However, it is difficult to manufacture the vacuum chamber as an integral structure due to the problems of raw material production and manufacturing.

따라서, 상기 진공 챔버는 유지 보수의 용이성을 확보하기 위하여 분리된 구조물을 결합하여 완성되는 것이 일반적이다.Therefore, it is general that the vacuum chamber is completed by assembling separated structures in order to ensure ease of maintenance.

이러한 종래의 상기 진공 챔버는 다수의 금속 모재를 서로 용접하여 형성될 수 있는데, 모재들 사이의 틈새를 통하여 이물질이 침입할 경우, 클린 공정이 요구되는 진공 챔버 내부가 오염될 수 있으며, 진공 챔버의 가동 중에 이물질이 외부로 새어나오게 되어, 진공 챔버를 변색시키고, 진공 챔버의 외관 품격을 떨어뜨리게 된다. Such a conventional vacuum chamber can be formed by welding a plurality of metal base materials to each other. When foreign matter enters through a gap between the base materials, the inside of the vacuum chamber requiring a clean process may be contaminated, Foreign matter leaks out during operation, discoloring the vacuum chamber, and degrading the appearance of the vacuum chamber.

또한, 진공 챔버가 위치되는 클린룸을 오염시키게 되어 제품의 불량을 유발시킬 수 있다.Further, the clean room in which the vacuum chamber is located may be contaminated, thereby causing defective products.

이에 최근에는 상술한 문제를 해결하고자 진공 챔버 가공시 오면 가공기를 통해 정밀 절삭가공으로 하여금 정밀도와 불량율을 최소화하고 있는 실정이다.Recently, in order to solve the above-mentioned problem, when the vacuum chamber is processed, the precision and the defect rate are minimized by performing precision cutting through a processing machine.

그러나, 종래의 오면 가공기에 의한 절삭 가공시에는 도 7 내지 도 10에 도시된 바와 같이, 소재의 떨림, 흔들림 등을 방지하기 위해 지그 위에 올려놓고 고정하는 클램핑 공정이 요구되는데, 이러한 클램핑 공정은 지그와 소재를 물어 고정한 핸들 또는 체결구 부분이 돌출되어 절삭날과 간섭되는 바, 이를 해제하고 다시 물리는 등의 클램핑 공정만 무려 9회 반복되면서 재세팅 시간이 오래걸리고, 이에 따른 가공지연과 작업자의 피로도가 상승함은 물론 절삭유 사용량이 증가되어 전체적인 생산성과 경제성이 저하되는 문제가 계속되고 있는 실정이다.
However, as shown in FIGS. 7 to 10, a clamping process is required to place and fix the jig on the jig in order to prevent shaking or wobbling of the workpiece during the cutting process using the conventional facet machine. The clamping process is repeated 9 times as the clamping of the handle and the fastening portion of the workpiece is interfered with the cutting edge and the clamping process such as unlocking and re-clamping is repeated 9 times, The increase of the amount of the coolant oil and the decrease of the overall productivity and the economical efficiency are continuing.

1. 등록특허공보 제10-1424127호(2014.07.22. 등록)1. Registration Patent No. 10-1424127 (Registered on July 22, 2014) 2. 등록특허공보 제10-0710599호(2007.04.17. 등록)2. Registration Patent Publication No. 10-0710599 (Registered on April 17, 2007)

상술한 문제를 해결하기 위해 본 발명은 진공챔버 가공시 소재의 떨림, 흔들림 등을 방지하기 위해 사용되는 고정지그로서, 종전의 클램핑 공정에 따른 설치 해제 반복을 최소화함은 물론 오면 가공기의 절삭공정(황삭, 중삭, 정삭 등)시 제품 손상 없이 가공이 이루어지도록 함으로써, 제품의 품질을 크게 향상시키는 반면 세팅시간을 획기적으로 단축시키며, 이에 따른 가공지연 및 작업자의 피로도를 해소함은 물론 절삭유 사용량 절감을 도모하도록 하는 것을 특징으로 하는 진공챔버 가공용 고정지그를 제공함에 그 목적이 있다.
In order to solve the above-mentioned problems, the present invention is a fixing jig used for preventing shaking or shaking of a workpiece during a vacuum chamber processing, minimizing repetition of installation and unloading according to a conventional clamping process, Roughing, finishing, finishing, etc.), the product quality is greatly improved, but the setting time is drastically shortened. In addition, the machining delay and worker fatigue are reduced and the cutting oil consumption is reduced. And an object of the present invention is to provide a fixing jig for vacuum chamber processing.

이러한 목적을 달성하기 위해 본 발명은 세로로 기립한 다수개의 지지리브(110)를 기준으로 상단부와 하단부에 각각 지지플레이트(120)가 결합되도록 하되, 상기 지지플레이트(120)의 면상에는 다수개의 체결공(121)과 조립용 천공홈(122)이 형성되는 하부 베이스(100)와; 상기 하부 베이스의 상단부측 지지플레이트(120)에 대응되어 결합되도록 하되, 면상 각 모서리측에는 체결공(121)과 대응되도록 조립공(210)이 형성되고, 면상 일측에는 결합공(221)을 갖는 기준 안착홈(220)이 요홈 형태로 형성되도록 하는 상부 고정판(200)과; 상기 상부 고정판의 기준 안착홈(220)에 저면이 끼워져 고정되도록 하되, 내부 중앙에는 결합공(221)과 대응되어 결합용 볼트(B)가 내입되도록 삽입공(310)이 형성되는 지그 핀(300)이; 구성되어 이루어진다.In order to achieve the above object, the present invention is characterized in that a support plate 120 is coupled to an upper end portion and a lower end portion, respectively, of a plurality of support ribs 110 standing vertically, A lower base 100 on which a hole 121 and an assembling perforation groove 122 are formed; An assembly hole 210 is formed on each side of the surface in correspondence with the fastening hole 121 so as to correspond to the upper end side support plate 120 of the lower base, An upper fixing plate 200 for forming the groove 220 in the shape of a groove; A jig pin 300 is provided at an inner center thereof and formed with an insertion hole 310 to correspond to the coupling hole 221 and to receive the coupling bolt B therein, )this; .

이에, 상기 지그 핀(300)은 상단부에 사다리꼴 형태의 기울기면(320)이 형성되어 진공챔버(10)의 개구부 모서리(11)가 삽입시 슬라이딩 결합되도록 구성된다.The jig pin 300 has a trapezoidal inclined surface 320 formed at its upper end so that the opening edge 11 of the vacuum chamber 10 is slidingly engaged when inserted.

이때, 상기 지그 핀(300)은 재질이 알루미늄으로 형성되는 것이 바람직하다.At this time, it is preferable that the jig pin 300 is made of aluminum.

또한, 상기 지그 핀(300)은 외주면 일측에 가조립 돌기(330)가 형성되어 상부 고정판의 기준 안착홈(220)에 형성된 가조립 홈(222)과 대응되어 용이한 조립성과 견고한 체결성을 확보하도록 구성된다.In addition, the jig pin 300 has a goggle protrusion 330 formed on one side of the outer circumferential surface thereof to correspond to the gogginess fixing groove 222 formed in the reference mounting groove 220 of the upper fixing plate to assure easy assembling and secure fastening do.

이에, 상기 지그 핀의 기울기 면은 곡선으로 형성되도록 하는 것이 바람직하다.Therefore, the inclined surface of the jig pin is preferably formed as a curved line.

이에, 상기 고정지그는 진공 챔버의 개구된 모서리(11) 위치에 따라 지그 레일(21) 상에서 가변적으로 포지셔닝할 수 있도록 형성되거나, 상부 고정판(200)의 기준 안착홈(220)을 상부 고정판(200) 면상에서 가변 가공하여 대응되도록 구성된다.
The fixing jig may be formed to be capable of variable positioning on the jig rail 21 in accordance with the position of the opened corner of the vacuum chamber or may be formed in a manner such that the reference mounting groove 220 of the upper fixing plate 200 is fixed to the upper fixing plate 200 ) Surface of the substrate.

이와 같이, 본 발명은 종전의 클램핑 공정에 따른 설치 해제 반복을 최소화함은 물론 오면 가공기의 절삭공정(황삭, 중삭, 정삭 등)시 제품 손상 없이 가공이 이루어지도록 함으로써, 제품의 품질을 크게 향상시키는 반면 세팅시간을 획기적으로 단축시키며, 이에 따른 가공지연 및 작업자의 피로도를 해소함은 물론 절삭유 사용량 절감을 도모하도록 하는 효과가 있다.
As described above, the present invention minimizes repetition of uninstallation according to the conventional clamping process, and enables the machining without damaging the product during the cutting process (roughing, finishing, finishing, etc.) of the facet machine, On the other hand, the setting time is drastically shortened, the processing delay and worker fatigue are reduced, and the amount of cutting oil used is reduced.

도 1은 본 발명에 따른 고정지그의 일 예시 분해사시도,
도 2는 도 1의 요부 결합상태 단면도,
도 3 내지 도 5는 본 발명에 따른 고정지그의 사용상태도,
도 6은 본 발명과 종래기술의 대비 상태도,
도 7 내지 도 10은 종래의 클램핑 방법을 나타낸 예시도,
도 11은 본 발명의 체결 상태를 나타낸 예시도이다.1 is an exploded perspective view of an example of a fixing jig according to the present invention,
FIG. 2 is a sectional view of the recessed state of FIG. 1,
FIGS. 3 to 5 are views showing the use state of the fixing jig according to the present invention,
6 is a contrast state diagram of the present invention and a prior art,
Figs. 7 to 10 are views showing a conventional clamping method,
11 is an exemplary view showing a fastening state of the present invention.

다음은 첨부된 도면을 참조하며 본 발명을 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

먼저, 도 1 내지 도 5 및 도 11에 도시된 바와 같이, 본 발명은 크게 하부 베이스와 상부 고정판 및 지그 핀으로 구성된다.First, as shown in FIGS. 1 to 5 and 11, the present invention mainly comprises a lower base, an upper fixing plate, and a jig pin.

이에, 상기 하부 베이스(100)는 세로로 기립한 다수개의 지지리브(110)를 기준으로 상단부와 하단부에 각각 지지플레이트(120)가 결합되도록 하되, 상기 지지플레이트(120)의 면상에는 다수개의 체결공(121)과 조립용 천공홈(122)이 형성되어 이루어진다.The lower base 100 is configured such that the support plate 120 is coupled to the upper and lower ends of the plurality of support ribs 110 rising vertically, Holes 121 and an assembling perforation groove 122 are formed.

이때, 상기 하부 베이스는 주물로 형성된 것으로, 강성이 큰 철골 형태로 이루어진 것이 바람직하다.At this time, it is preferable that the lower base is formed of a casting and has a rigid steel frame shape.

이러한 하부 베이스의 지지플레이트 측에는 샌딩가공된 거친 표면이 형성되어 오면가공기의 지그 레일 면상과 마찰력이 큰 형태로 접촉되어 미끄러짐을 방지하도록 하는 것이 바람직하다.When the sanded surface is formed on the support plate side of the lower base, it is preferable that the friction surface is in contact with the surface of the jig rail of the processing machine so as to prevent slippage.

또한, 상기 하부 베이스는 지지다리(110) 사이 공간에 형성된 천공홈(122)을 통해 지그 레일홈(21-1)으로부터 분기된 고정볼트가 삽입되면 체결너트로 하여금 조임 고정이 이루어지도록 하는 것으로, 상기 하부 베이스는 지그 레일의 길이방향 연장부를 통해 슬라이딩 되면서 목적하는 세팅 포인트에서 신속하고 용이한 결합이 이루어지도록 형성된다.Further, when the fixing bolt branched from the jig rail groove 21-1 is inserted through the perforation groove 122 formed in the space between the support legs 110, the lower base is fastened and fixed to the fastening nut, The lower base is slid through the longitudinal extension of the jig rail and is configured to provide quick and easy engagement at the desired setting point.

이때, 상기 체결너트의 직경은 천공홈보다 크고, 고정볼트의 머리는 지그 레일의 슬라이딩 홈보다 크며, 고정볼트의 나사축은 지그 레일홈을 관통할 정도로 형성되면서 천공홈으로 돌출되도록 형성된다.At this time, the diameter of the fastening nut is larger than the hole, the head of the fixing bolt is larger than the sliding groove of the jig rail, and the screw shaft of the fastening bolt is formed to penetrate through the groove of the jig rail.

이에, 상기 상부 고정판(200)은 상기 하부 베이스의 상단부측 지지플레이트(120)에 대응되어 결합되도록 하되, 면상 각 모서리측에는 체결공(121)과 대응되도록 조립공(210)이 형성되고, 면상 일측에는 결합공(221)을 갖는 기준 안착홈(220)이 요홈 형태로 형성되도록 이루어진다.The upper fixing plate 200 is adapted to be coupled to the upper end side support plate 120 of the lower base, and an assembly hole 210 is formed on each side of the flat surface to correspond to the fixing hole 121, And a reference seating groove 220 having a coupling hole 221 is formed in the shape of a groove.

또한, 상기 지그 핀(300)은 외주면 일측에 가조립 돌기(330)가 형성되어 상부 고정판의 기준 안착홈(220)에 형성된 가조립 홈(222)과 대응되어 용이한 조립성과 견고한 체결성을 확보하도록 구성된다.In addition, the jig pin 300 has a goggle protrusion 330 formed on one side of the outer circumferential surface thereof to correspond to the gogginess fixing groove 222 formed in the reference mounting groove 220 of the upper fixing plate to assure easy assembling and secure fastening do.

이에, 상기 지그 핀(300)은 상기 상부 고정판의 기준 안착홈(220)에 저면이 끼워져 고정되도록 하되, 내부 중앙에는 결합공(221)과 대응되어 결합용 볼트(B)가 내입되도록 삽입공(310)이 형성되어 이루어진다.The jig pin 300 is fixed to the reference mounting groove 220 of the upper fixing plate so that the bottom surface of the jig pin 300 is fixed to the mounting hole 220. The fixing bolt B is inserted into the insertion hole 310 are formed.

이에, 상기 지그 핀(300)은 상단부에 사다리꼴 형태의 기울기면(320)이 형성되어 진공챔버(10)의 개구부 모서리(11)가 삽입시 슬라이딩 결합되도록 구성된다.The jig pin 300 has a trapezoidal inclined surface 320 formed at its upper end so that the opening edge 11 of the vacuum chamber 10 is slidingly engaged when inserted.

이는 지그 하향 이송되며 자리를 잡는 과정에서 모서리와의 미세 공차에 따른 정밀 삽입(상하향 다운 공정)을 유도하기 위함이다.This is to induce precise insertion (downward and downward process) due to the slight tolerance with the corners in the jig downward and seated position.

이에, 상기 지그 핀의 기울기 면은 곡선으로 형성되도록 하는 것이 바람직하다. 즉, 곡선으로 형성된 만곡면을 통해 지그의 표면에 상처가 발생되지 않도록 하기 위함이다.Therefore, the inclined surface of the jig pin is preferably formed as a curved line. That is, it is intended to prevent a scratch on the surface of the jig through the curved surface formed by the curved line.

이때, 상기 지그 핀(300)은 재질이 알루미늄으로 형성되는 것이 바람직하다. 이는 알루미늄의 무른 성질로 인해 탈부착시 지그의 표면에 스크래치 등의 상처가 발생되는 것을 미연에 방지하기 위함이다.At this time, it is preferable that the jig pin 300 is made of aluminum. This is to prevent a scratch or the like from being generated on the surface of the jig during attachment / detachment due to the loose nature of aluminum.

이에, 상기 고정지그는 진공 챔버의 개구된 모서리(11) 위치에 따라 지그 레일(21) 상에서 가변적으로 포지셔닝할 수 있도록 형성되거나, 상부 고정판(200)의 기준 안착홈(220)을 상부 고정판(200) 면상에서 가변 가공하여 대응되도록 구성된다.
The fixing jig may be formed to be capable of variable positioning on the jig rail 21 in accordance with the position of the opened corner of the vacuum chamber or may be formed in a manner such that the reference mounting groove 220 of the upper fixing plate 200 is fixed to the upper fixing plate 200 ) Surface of the substrate.

본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 고안이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.
It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the present invention as defined by the appended claims and their equivalents. Of course, such modifications are within the scope of the claims.

100 ... 하부 베이스 110 ... 지지리브
120 ... 지지플레이트 121 ... 체결공
122 ... 천공홈 200 ... 상부 고정판
210 ... 조립공 220 ... 기준 안착홈
221 ... 결합공 300 ... 지그 핀
310 ... 삽입공100 ... lower base 110 ... supporting ribs
120 ... support plate 121 ... fastening hole
122 ... Perforated groove 200 ... Upper fixed plate
210 ... assembly 220 ... reference seating groove
221 ... joint ball 300 ... jig pin
310 ... insert hole

Claims (5)

세로로 기립한 다수개의 지지리브(110)를 기준으로 상단부와 하단부에 각각 지지플레이트(120)가 결합되도록 하되, 상기 지지플레이트(120)의 면상에는 다수개의 체결공(121)과 조립용 천공홈(122)이 형성되는 하부 베이스(100)와; 상기 하부 베이스의 상단부측 지지플레이트(120)에 대응되어 결합되도록 하되, 면상 각 모서리측에는 체결공(121)과 대응되도록 조립공(210)이 형성되고, 면상 일측에는 결합공(221)을 갖는 기준 안착홈(220)이 요홈 형태로 형성되도록 하는 상부 고정판(200)과; 상기 상부 고정판의 기준 안착홈(220)에 저면이 끼워져 고정되도록 하되, 내부 중앙에는 결합공(221)과 대응되어 결합용 볼트(B)가 내입되도록 삽입공(310)이 형성되는 지그 핀(300)이; 구성되어 이루어진 진공챔버 가공용 고정지그에 있어서,
상기 지그 핀(300)은 알루미늄 재질로서, 상단부에 사다리꼴 형태의 기울기면(320)이 형성되어 진공챔버(10)의 개구부 모서리(11)가 삽입시 슬라이딩 결합되도록 하되, 상기 지그 핀(300)은 외주면 일측에 가조립 돌기(330)가 형성되어 상부 고정판의 기준 안착홈(220)에 형성된 가조립 홈(222)과 대응되어 결합되도록 하는 것을 특징으로 하는 진공챔버 가공용 고정지그.The support plate 120 is coupled to the upper end portion and the lower end portion of the support ribs 110 with respect to the plurality of support ribs 110. The support plate 120 has a plurality of fastening holes 121, A lower base 100 on which the upper and lower substrates 122 are formed; An assembly hole 210 is formed on each side of the surface in correspondence with the fastening hole 121 so as to correspond to the upper end side support plate 120 of the lower base, An upper fixing plate 200 for forming the groove 220 in the shape of a groove; A jig pin 300 is provided at an inner center thereof and formed with an insertion hole 310 to correspond to the coupling hole 221 and to receive the coupling bolt B therein, )this; Wherein the vacuum chuck is fixed to the vacuum chuck,
The jig pin 300 is made of aluminum and has a trapezoidal inclined surface 320 at its upper end so that the opening edge 11 of the vacuum chamber 10 is slidably engaged when the jig pin 300 is inserted. A fixing projection (330) is formed on one side of the outer circumferential surface so as to be coupled to the fixing groove (222) formed in the reference mounting groove (220) of the upper fixing plate. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제 1항에 있어서, 상기 지그 핀(300)의 기울기 면(320)은 곡선으로 형성되도록 하는 것을 특징으로 하는 진공챔버 가공용 고정지그.The fixing jig for vacuum chamber processing according to claim 1, wherein the inclined surface (320) of the jig pin (300) is formed as a curved line.
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