KR101494529B1 - Gate valve for ingot grower - Google Patents

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웅진에너지 주식회사
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Abstract

잉곳성장장치의 게이트 밸브장치가 개시된다. 본 발명은 잉곳성장장치의 게이트 밸브장치에 관한 것으로, 더욱 상세히는 내부에 도가니가 설치된 챔버 상부를 개폐하는 게이트 밸브장치에 냉각구조를 설치하고 게이트 밸브장치와 함께 개폐하는 게이트 입구를 경사지게 처리함으로써 밀폐를 위한 오링이 손상되는 것을 미연에 방지할 수 있는 잉곳성장장치의 게이트 밸브장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 잉곳성장장치의 게이트 밸브장치는 잉곳성장장치의 진공챔버 상단에 형성된 출입구를 개폐하도록 설치된 게이트 밸브장치로서, 상기 출입구의 테두리 상단에 설치된 오링 상부에 밀착됨으로써 상기 출입구를 개폐하고 내부에 냉매가 흐르는 냉매유로가 형성된 게이트와, 상기 냉매유로와 연결되어 냉매가 유입 및 유출되는 유출입관과, 상기 유출입관에 연결되어 냉매를 순환시키는 순환펌프로 구성된다.A gate valve device of an ingot growing apparatus is disclosed. The present invention relates to a gate valve apparatus for an ingot growing apparatus, and more particularly, to a gate valve apparatus for opening and closing an upper portion of a chamber provided with a crucible therein, and a gate inlet for opening and closing with a gate valve apparatus is inclined, And more particularly, to a gate valve device of an ingot growing apparatus which can prevent damage to an O-ring for an ingot growing apparatus. The gate valve apparatus of the ingot growing apparatus according to the present invention is a gate valve apparatus provided to open and close an entrance formed at the upper end of a vacuum chamber of an ingot growing apparatus, and is in close contact with an upper portion of an O- A gate formed with a refrigerant flow path through which the refrigerant flows, an outlet inlet connected to the refrigerant flow path to allow the refrigerant to flow in and out, and a circulation pump connected to the outlet inlet to circulate the refrigerant.

Description

잉곳성장장치의 게이트 밸브장치 {Gate valve for ingot grower}The present invention relates to a gate valve for an ingot grower,

본 발명은 잉곳성장장치의 게이트 밸브장치에 관한 것으로, 더욱 상세히는 내부에 도가니가 설치된 챔버 상부를 개폐하는 게이트 밸브장치에 냉각구조를 설치하고 게이트 밸브장치와 함께 개폐하는 게이트 입구를 경사지게 처리함으로써 밀폐를 위한 오링이 손상되는 것을 미연에 방지할 수 있는 잉곳성장장치의 게이트 밸브장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a gate valve apparatus for an ingot growing apparatus, and more particularly, to a gate valve apparatus for opening and closing an upper portion of a chamber provided with a crucible therein, and a gate inlet for opening and closing with a gate valve apparatus is inclined, And more particularly, to a gate valve device of an ingot growing apparatus which can prevent damage to an O-ring for an ingot growing apparatus.

일반적으로, 태양광 발전에 사용되는 반도체는 실리콘 단결정 잉곳을 슬라이싱하여 제작하게 된다. 실리콘 단결정 잉곳은 실리콘 단결정 잉곳성장장치에서 제작된다.Generally, a semiconductor used for solar power generation is produced by slicing a silicon single crystal ingot. A silicon single crystal ingot is fabricated in a silicon single crystal ingot growing apparatus.

종래기술에 의한 실리콘 단결정 잉곳성장장치의 모식도가 도 1에 도시되어 있다. 도시된 바와 같이 종래 실리콘 단결정 잉곳성장장치는 하부로부터 도가니 승강 및 회전 어셈블리(300), 도가니(1)가 내부에 설치된 진공 챔버(200), 진공챔버(200) 상부의 시드 승강 및 회전 어셈블리(100)가 순서대로 설치되어 있다. 진공 챔버(200) 내부에는 도가니(1)가 설치되고 도가니(1) 외부에는 히터(2)가 설치되어 도가니(1)에 공급된 폴리실리콘을 고온에서 녹이게 된다. 이러한 도가니(1)는 기계적으로 승강 및 회전하게 되는데, 이러한 동작은 하부에 설치된 도가니 승강 및 회전 어셈블리(300)에 의해 이루어진다. 그리고 진공 챔버(200) 상부에는 시드 승강 및 회전 어셈블리(100)가 설치되는데, 이 구성요소는 멜트 상태로 녹은 실리콘 멜트에 시드(400)를 담근 다음 서서히 회전시키면서 끌어올려 실리콘 단결정 잉곳을 제작하게 되는 동작을 하게 된다.A schematic diagram of a silicon single crystal ingot growing apparatus according to the prior art is shown in Fig. As shown in the drawing, the conventional silicon single crystal ingot growing apparatus includes a crucible lifting and rotating assembly 300, a vacuum chamber 200 in which a crucible 1 is installed, a seed elevating and rotating assembly 100 in an upper part of a vacuum chamber 200, ) Are installed in order. A crucible 1 is provided inside the vacuum chamber 200 and a heater 2 is provided outside the crucible 1 so that the polysilicon supplied to the crucible 1 is melted at a high temperature. The crucible 1 is mechanically lifted and rotated by the crucible lifting and rotating assembly 300 installed at the lower portion. A seed elevating and rotating assembly 100 is installed on the upper part of the vacuum chamber 200. The silicon ingot is immersed in the melt of the melt and the seed 400 is immersed in the molten silicon melt, .

즉, 도가니(1)에 여러 가지 모양의 폴리실리콘 단괴들을 넣고 히터(2)를 사용하여 가열함으로써 녹이게 된다. 실리콘들이 녹으면 도가니(1) 상부에서 시드(400)를 내려 실리콘 멜트에 담근 다음 일정 속도로 회전시키면서 서서히 인상하여 실리콘 단결정 잉곳으로 제작하게 된다. 물론 도가니(1)의 회전과 승강은 그 하부에 설치된 기계장치들인 도가니 승강 및 회전 어셈블리(300)에 의해 이루어진다. 이러한 방법으로 실리콘 단결정을 만드는 방법을 소위 쵸크랄스키법이라 한다.That is, various types of polysilicon nodules are placed in the crucible 1 and melted by heating using the heater 2. [ When the silicon melts, the seed 400 is lowered from the upper part of the crucible 1, immersed in the silicon melt, and slowly pulled up while being rotated at a constant speed to produce a silicon single crystal ingot. Of course, the crucible 1 is rotated and lifted by the crucible lifting and rotating assembly 300, which is a mechanical device installed at the lower part thereof. A method of making a silicon single crystal by this method is called a so-called Czochralski method.

한편, 종래 잉곳성장장치 진공챔버(200)에서 폴리실리콘을 녹이는 과정에서는 진공챔버(200)의 게이트 밸브장치(500)를 폐쇄한 상태에서 작업을 진행하게 된다. 즉 도 2를 참고하면, 진공챔버(200) 상단에는 입구(200a)가 형성되어 있고, 그 입구 테두리(201)에 오링(210)이 설치되어 있다. 오링(210)의 상부에는 게이트(510)가 닫혀 있는 것을 볼 수 있다. 이렇게 게이트(510)가 밀폐된 상태에서 폴리실리콘을 녹이는 작업을 진행하게 된다.Meanwhile, in the process of melting the polysilicon in the conventional vacuum chamber 200 of the ingot growing apparatus, the operation is performed in a state where the gate valve apparatus 500 of the vacuum chamber 200 is closed. 2, an inlet 200a is formed at an upper end of the vacuum chamber 200 and an O-ring 210 is installed at an inlet edge 201 thereof. It can be seen that the gate 510 is closed at the top of the O-ring 210. In this way, the process of melting the polysilicon in a state where the gate 510 is sealed is proceeded.

그러나 종래기술에 의한 잉곳성장장치는 폴리실리콘 멜트 작업시 진공챔버(200) 내부가 고립되도록 게이트(510)를 폐쇄하고 작업을 진행하게 되기 때문에 내부 열기가 그대로 진공챔버(200) 내부 테두리(201)와 게이트(510)에 전달되어 오링(210)이 녹아 파손되는 경우가 종종 발생하는 문제점이 있다.However, in the ingot growing apparatus according to the related art, since the gate 510 is closed so as to isolate the inside of the vacuum chamber 200 during the polysilicon melt process, the internal heat is directly transferred to the inner edge 201 of the vacuum chamber 200, And the gate 510, so that the O-ring 210 is often melted and broken.

또, 종래기술에 의한 잉곳성장장치는 도 2에 도시된 바와 같이 폴리실리콘 칩 투입시 칩(CH)이 오링(210) 상부 진공챔버(200) 테두리(201) 상부에 떨어져 있는 경우 게이트(510)가 제대로 닫히지 않아서 밀폐가 이루어지지 않게 되는 문제점이 있다.
2, the ingot growing apparatus according to the related art includes a gate 510 when the chip CH is separated from the upper edge 201 of the vacuum chamber 200 above the O-ring 210 when the polysilicon chip is inserted, There is a problem in that the sealing is not performed.

대한민국 공개특허공보 10-2007-0042971Korean Patent Publication No. 10-2007-0042971

본 발명은 전술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 오링과 직접 밀착되는 게이트에 냉각구조를 구성함으로써 오링의 파손을 방지하고 수명을 연장시킬 수 있는 잉곳성장장치의 게이트 밸브장치를 제공하고자 한다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems and it is an object of the present invention to provide a gate valve device of an ingot growing apparatus capable of preventing the breakage of O- I want to.

본 발명의 또 다른 목적은 오링이 설치되는 테두리 부분에 폴리실리콘 칩 등이 떨어져 밀폐를 방해하지 않도록 떨어진 칩들이 흘러내리도록 경사면을 형성한 잉곳성장장치의 게이트 밸브장치를 제공하고자 한다.
It is still another object of the present invention to provide a gate valve device of an ingot growing apparatus in which a polysilicon chip or the like is formed at a rim portion where an O-ring is installed to form an inclined surface so that chips are flowed out so as not to obstruct sealing.

상기한 목적을 달성하기 위한 구체적인 수단으로서 본 발명은, 잉곳성장장치의 진공챔버 상단에 형성된 출입구를 개폐하도록 설치된 게이트 밸브장치로서, 상기 출입구의 테두리 상단에 설치된 오링 상부에 밀착됨으로써 상기 출입구를 개폐하고 내부에 냉매가 흐르는 냉매유로가 형성된 게이트와, 상기 냉매유로와 연결되어 냉매가 유입 및 유출되는 유출입관 및 상기 유출입관에 연결되어 냉매를 순환시키는 순환펌프를 포함한다.As a specific means for achieving the above object, the present invention provides a gate valve apparatus for opening and closing an entrance formed on the upper end of a vacuum chamber of an ingot growing apparatus, wherein the gate valve apparatus is in close contact with an upper portion of an O- And a circulation pump connected to the refrigerant channel and connected to the outlet inlet and the circulation pump for circulating the refrigerant.

바람직하게는, 상기 유출입관에는 상기 냉매의 흐름을 제어하는 제어밸브가 구비될 수 있다.Preferably, the outflow inlet may be provided with a control valve for controlling the flow of the refrigerant.

바람직하게는, 상기 유출입관에는 상기 냉매의 압력이 일정 압력 이상이 되면 냉매를 배출함으로써 냉매 압력을 감소시키는 안전밸브가 구비될 수 있다.Preferably, the outlet pipe is provided with a safety valve that reduces refrigerant pressure by discharging the refrigerant when the pressure of the refrigerant reaches a predetermined pressure or more.

바람직하게는, 상기 냉매유로는 상기 게이트가 오링에 밀착된 경우 오링의 위치와 대응되는 위치에 형성될 수 있다.Preferably, the refrigerant passage may be formed at a position corresponding to the position of the O-ring when the gate is in close contact with the O-ring.

바람직하게는, 상기 출입구 테두리는 그 외측면이 경사면으로 형성될 수 있다.
Preferably, the door frame may have an inclined surface on the outer side.

상기한 바와 같은 본 발명에 의하면 다음과 같은 효과가 있다.The present invention as described above has the following effects.

(1) 본 발명에 의한 잉곳성장장치의 게이트 밸브장치는 게이트에 냉매가 흐르면서 게이트의 온도를 낮추기 때문에 이와 밀착되는 오링의 열경화에 의한 파손을 방지하고 수명을 연장할 수 있는 효과를 제공한다.(1) Since the gate valve apparatus of the ingot growing apparatus according to the present invention lowers the temperature of the gate as the coolant flows through the gate, it is possible to prevent damage due to thermal hardening of the O-ring closely attached thereto and to prolong the service life.

(2) 본 발명에 의한 잉곳성장장치의 게이트 밸브장치는 게이트 출입구 테두리 외측면이 경사면으로 형성됨으로써 폴리실리콘 칩이 떨어진 경우 외부로 경사면을 타고 떨어지기 때문에 게이트 폐쇄시 밀폐가 방해될 염려가 없다.
(2) In the gate valve device of the ingot growing apparatus according to the present invention, since the outer surface of the gate entrance and exit edge is formed as an inclined surface, when the polysilicon chip is dropped, the inclined surface falls outside.

도 1은 종래기술에 의한 잉곳성장장치의 모식도이다.
도 2는 종래기술에 의한 잉곳성장장치의 게이트 밸브장치의 단면도이다.
도 3은 본 발명에 의한 잉곳성장장치의 게이트 밸브장치의 단면도이다.
도 4는 본 발명에 의한 잉곳성장장치의 게이트 밸브장치의 구성도이다.
도 5는 본 발명에 의한 잉곳성장장치의 게이트 밸브장치의 또 다른 구성도이다.1 is a schematic view of a conventional ingot growing apparatus.
2 is a cross-sectional view of a gate valve device of an ingot growing apparatus according to the prior art.
3 is a cross-sectional view of the gate valve device of the ingot growing apparatus according to the present invention.
4 is a configuration diagram of a gate valve device of the ingot growing apparatus according to the present invention.
5 is a diagram showing another configuration of the gate valve apparatus of the ingot growing apparatus according to the present invention.

상술한 본 발명의 목적, 특징 및 장점은 다음의 상세한 설명을 통하여 보다 분명해질 것이다. 이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.The above objects, features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 잉곳성장장치의 게이트 밸브장치는 잉곳성장장치의 진공챔버(20) 상단에 형성된 출입구(20a)를 개폐하도록 설치된 게이트 밸브장치로서, 상기 출입구(20a)의 테두리(21) 상단에 설치된 오링(22) 상부에 밀착됨으로써 상기 출입구(20a)를 개폐하고 내부에 냉매가 흐르는 냉매유로(54)가 형성된 게이트(51)와, 상기 냉매유로(54)와 연결되어 냉매가 유입 및 유출되는 유출입관(53,55)과, 상기 유출입관(53,55)에 연결되어 냉매를 순환시키는 순환펌프(52)로 구성된다.The gate valve apparatus of the ingot growing apparatus according to the preferred embodiment of the present invention is a gate valve apparatus provided to open and close an entrance 20a formed at the upper end of the vacuum chamber 20 of the ingot growing apparatus, A gate 51 formed in an upper portion of the O-ring 22 to close and close the inlet 20a and having a refrigerant passage 54 through which the refrigerant flows, a refrigerant passage 54 connected to the refrigerant passage 54, And a circulation pump 52 connected to the outflow pipes 53 and 55 for circulating the refrigerant.

여기서, 상기 유출입관(53,55)에는 상기 냉매의 흐름을 제어하는 제어밸브(56)가 구비된다. 또 상기 유출입관(53,55)에는 상기 냉매의 압력이 일정 압력 이상이 되면 냉매를 배출함으로써 냉매 압력을 감소시키는 안전밸브가 구비될 수 있다.Here, the flow-in inlet pipes 53 and 55 are provided with a control valve 56 for controlling the flow of the refrigerant. In addition, a safety valve may be provided in the outflow inlet (53, 55) to reduce the refrigerant pressure by discharging the refrigerant when the pressure of the refrigerant reaches a predetermined pressure or more.

또한, 상기 냉매유로(54)는 상기 게이트(51)가 오링(22)에 밀착된 경우 오링(22)의 위치와 대응되는 위치에 형성된다.The refrigerant passage 54 is formed at a position corresponding to the position of the O-ring 22 when the gate 51 is in close contact with the O-ring 22.

또, 상기 출입구 테두리(21)는 그 외측면이 경사면(21a)으로 형성된다. 이렇게 경사면(21a)이 형성됨으로써 폴리실리콘 칩(CH)이 게이트(51)와 오링(22)의 밀착 방해를 방지할 수 있게 된다.In addition, the entrance frame 21 is formed with an inclined surface 21a at its outer side. By forming the inclined surface 21a in this way, the polysilicon chip CH can prevent the gate 51 and the O-ring 22 from coming into close contact with each other.

도 3을 참고하면, 본 발명에 의한 잉곳성장장치의 게이브 밸브장치의 단면이 도시되어 있다. 도시된 바와 같이, 진공챔버(20) 상단부에는 폴리실리콘을 공급하거나 잉곳을 성장시켜 상승시킬 수 있도록 출입구(20a)가 형성되어 있다.Referring to Fig. 3, there is shown a cross section of a gate valve apparatus of the ingot growing apparatus according to the present invention. As shown in the figure, an entrance 20a is formed at the upper end of the vacuum chamber 20 so as to supply polysilicon or grow the ingot.

상기 출입구(20a)의 테두리(21)에는 오링(22)이 설치되어 있고, 그 오링(22)은 상기 게이트(51)와 함께 진공챔버(20) 내부를 밀폐하게 된다. 오링(22)은 널리 알려진 밀폐 부품에서 빠질 수 없는 부품으로 힘에 의해 변형됨으로써 밀폐상태를 초래하게 된다. 오링(22)은 신축성 있는 재질, 예를 들면, 고무와 같은 재질로 이루어지는 것이 일반적이나 잉곳성장장치에서는 특수한 고무 재질의 오링을 사용한다. 이것은 오링(22)이 설치되는 위치가 일반적인 기계장치와는 달리 고온이기 때문이다. 따라서 열에 강한 재질로 오링을 제작하여 적용하게 된다. 그러나 전술한 바와 같이 아무리 열에 강한 재질로 제작한다고 하여도 열경화에 의해 수명이 짧아져 자주 교체해야 한다.An O-ring 22 is provided at the rim 21 of the entrance 20a and the O-ring 22 closes the inside of the vacuum chamber 20 together with the gate 51. The O-ring 22 is deformed by a force from a well-known sealing component to a component that can not be removed, resulting in a sealed state. The O-ring 22 is generally made of a material such as a stretchable material, for example, rubber, but a special rubber O-ring is used in the ingot growing apparatus. This is because the position where the O-ring 22 is installed is high, unlike a general mechanical device. Therefore, o-rings made of materials resistant to heat are applied. However, as described above, even if it is made of a material resistant to heat, the lifetime is shortened by heat curing and it must be frequently replaced.

이러한 오링(22)과 함께 출입구(20a)를 밀폐하는 게이트(51)는 그 내부에 냉매유로(54)가 형성되어 있고, 그 냉매유로(54)를 따라 냉매가 흐르도록 되어 있다. 따라서 오링(22)의 열을 빼앗아 오링(22) 온도를 감소시켜주게 된다. 그에 따라 자연스럽게 오링(22)의 수명이 길어져 교체주기도 길어지게 된다. 이것은 물론 생산성의 향상을 가져오게 된다.A gate 51 for sealing the doorway 20a together with the O-ring 22 has a refrigerant passage 54 formed therein and a refrigerant flows along the refrigerant passage 54. [ Accordingly, the heat of the O-ring 22 is taken and the temperature of the O-ring 22 is reduced. The lifetime of the O-ring 22 is naturally extended, and the replacement period is also prolonged. This, of course, leads to an improvement in productivity.

상기 출입구 테두리(21)의 외측면은 경사면(21a)을 이루고 있다. 폴리실리콘을 출입구(20a)를 통하여 진공챔버(20) 내부 도가니로 공급하는 경우 폴리실리콘의 작은 조각인 칩(CH)이 테두리(21) 부분에 떨어져 진공챔버(20) 내외부로 완전히 벗어나지 않고 오링(22)과 출입구 테두리(21)에 남아 있는 경우가 있는데, 이렇게 테두리(21)에 외측 경사면(21a)이 형성됨으로서 폴리실리콘 칩(CH)은 안정되게 머물 수가 없기 때문에 경사면(21a)을 따라 흘러내리게 된다.The outer surface of the door frame 21 forms an inclined surface 21a. When the polysilicon is supplied to the crucible inside the vacuum chamber 20 through the entrance 20a, the chip CH, which is a small piece of polysilicon, falls on the rim 21 so as not to be completely separated from the inside and outside of the vacuum chamber 20, The polygon chip CH can not stay stably because the outer inclined surface 21a is formed in the rim 21 so that it flows down along the inclined surface 21a. do.

이와 같이 폴리실리콘 칩(CH)이 테두리(21) 부분에 남아 있게 되는 경우가 줄어듦으로써 출입(20a)의 밀폐 불량이 발생빈도가 현저하게 줄어들게 된다.Since the number of cases in which the polysilicon chip CH remains in the rim portion 21 is reduced in this manner, the occurrence frequency of the sealing of the entry / exit 20a is remarkably reduced.

도 4를 참고하면, 본 발명에 의한 게이트 밸브 구성이 개략적으로 잘 도시되어 있다. 게이트(51)의 내부에는 냉매유로(54)가 형성되어 있다. 상기 냉매유로(54)는 게이트(51)가 오링(22)에 밀착되는 위치를 따라 그 위치에 대응되도록 원형으로 형성되어 있다.Referring to Figure 4, the gate valve arrangement according to the present invention is schematically well illustrated. A coolant passage 54 is formed in the interior of the gate 51. The coolant passage 54 is formed in a circular shape so as to correspond to a position where the gate 51 is in close contact with the O-ring 22.

상기 냉매유로(54)는 유입관(53)과 유출관(55)에 각각 연결되어 있고, 상기 유출입관(53,55)은 순환펌프(52)에 의해 순환되도록 구성되어 있다.The refrigerant passage 54 is connected to the inlet pipe 53 and the outlet pipe 55 and the outlet pipes 53 and 55 are circulated by the circulation pump 52.

상기 유출입관(53,55)에는 제어밸브(56)가 설치되어 냉매의 순환을 제어한다. 즉 게이트(51)가 열린 경우에는 냉매를 순화시킬 필요가 없기 때문에 제어밸브(56)가 냉매 순환을 멈춘다.A control valve 56 is provided in the outflow inlet pipes 53 and 55 to control the circulation of the refrigerant. In other words, when the gate 51 is opened, it is not necessary to purify the refrigerant, so that the control valve 56 stops the refrigerant circulation.

상기 게이트로(51)부터 열을 전달받은 냉매는 열교환부(57)에서 외부와의 열교환을 하여 냉매의 온도를 다시 감소시키게 된다.The refrigerant having heat transferred from the gate 51 is heat-exchanged with the outside through the heat exchanging part 57 to reduce the temperature of the refrigerant again.

더불어, 도시되어 있지 않지만, 상기 유출관(55)에는 냉매의 압력이 일정이상으로 높아지면 냉매를 외부로 유출시켜 그 압력이 감소되도록 안전밸브를 설치할 수도 있다.In addition, although not shown, a safety valve may be provided in the outflow pipe 55 so that the refrigerant flows out to the outside when the pressure of the refrigerant becomes higher than a predetermined level.

상기 냉매로는 여러 가지 물질을 사용할 수 있지만, 비용상 물을 사용하는 것이 일반적일 것이다.As the refrigerant, various materials can be used, but it is common to use water at a cost.

한편, 냉매유로의 또 다른 실시예가 도 5에 도시되어 있다. 도시된 바와 같이 냉매유로(54')가 도 4와 달리 외측부분 뿐만 아니라 열교환기 모양으로 게이트(51) 내부도 여러 번 거치도록 설계한 것이다.On the other hand, another embodiment of the refrigerant passage is shown in Fig. As shown in the figure, the refrigerant passage 54 'is designed to pass not only the outer portion but also the inside of the gate 51 in the form of a heat exchanger.

이렇게 구성됨으로써, 상기 게이트(51)가 출입구(20a)를 폐쇄하는 경우에는 상기 오링(22)과 밀착하여 출입구(20a)를 폐쇄하게 되고, 순환펌프(52)의 동작에 의해 냉매가 순환되면서 오링(22)의 열을 빼앗아 그 온도를 일정 온도 이하로 유지하게 된다. 이러한 동작은 오링의 수명을 오래 연장시키게 되고, 오링을 수시로 교체하는 경우에 비하여 생산성 향상을 가져오게 된다.When the gate 51 closes the inlet 20a, the outlet 51 is in close contact with the O-ring 22 to close the inlet 20a. As the refrigerant circulates by the operation of the circulation pump 52, The temperature of the heat exchanger 22 is maintained at a predetermined temperature or lower. This operation prolongs the service life of the O-ring and improves the productivity as compared with the case where the O-ring is replaced frequently.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능함은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명백할 것이다.
It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the inventions. It will be apparent to those of ordinary skill in the art.

20 : 진공챔버
20a : 출입구 21 : 테두리
22 : 오링 51 : 게이트
52 : 순환펌프 53 : 유입관
54 : 냉매유로 55 : 유출관
56 : 제어밸브 57 : 열교환부20: Vacuum chamber
20a: entrance 21: rim
22: O-ring 51: Gate
52: circulation pump 53: inlet pipe
54: Refrigerant channel 55: Outflow tube
56: control valve 57: heat exchanger

Claims (5)

잉곳성장장치의 진공챔버 상단에 형성된 출입구를 개폐하도록 설치된 게이트 밸브장치로서,
상기 출입구의 테두리 상단에 설치된 오링 상부에 밀착됨으로써 상기 출입구를 개폐하고 내부에 냉매가 흐르는 냉매유로가 형성된 게이트;
상기 냉매유로와 연결되어 냉매가 유입 및 유출되는 유출입관; 및
상기 유출입관에 연결되어 냉매를 순환시키는 순환펌프;를 포함하고,
상기 유출입관에는 상기 냉매의 압력이 일정 압력 이상이 되면 냉매를 배출함으로써 냉매 압력을 감소시키는 안전밸브가 구비되며,
상기 출입구 테두리는 그 외측면이 경사면으로 형성된 것을 특징으로 하는 잉곳성장장치의 게이트 밸브장치.A gate valve apparatus for opening and closing an entrance formed at an upper end of a vacuum chamber of an ingot growing apparatus,
A gate which is in close contact with an upper portion of an O-ring installed at an upper edge of the doorway to open and close the doorway and has a refrigerant flow path through which refrigerant flows;
An outflow inlet connected to the refrigerant passage to allow the refrigerant to flow in and out; And
And a circulation pump connected to the outflow inlet for circulating the refrigerant,
Wherein the outlet pipe is provided with a safety valve for reducing the refrigerant pressure by discharging the refrigerant when the pressure of the refrigerant reaches a predetermined pressure or more,
Wherein the entrance frame has an inclined surface on an outer surface thereof. 제1항에 있어서,
상기 유출입관에는 상기 냉매의 흐름을 제어하는 제어밸브가 구비된 것을 특징으로 하는 잉곳성장장치의 게이트 밸브장치.The method according to claim 1,
And a control valve for controlling the flow of the refrigerant is provided in the outflow inlet. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 냉매유로는 상기 게이트가 오링에 밀착된 경우 오링의 위치와 대응되는 위치에 형성된 것을 특징으로 하는 잉곳성장장치의 게이트 밸브장치.The method according to claim 1,
Wherein the coolant channel is formed at a position corresponding to the position of the O-ring when the gate is in close contact with the O-ring. 삭제delete
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