KR101489596B1 - Rapid thermal processing device for solar cell - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 태양전지 제조용 열처리 장치에 관한 것으로서 더욱 상세하게는 박막형 태양전지를 제조함에 있어서, 셀레늄의 휘발 및 유출을 막고, 셀레늄 또는 황을 균일하게 증착할 수 있도록 개선한 태양전지 제조용 열처리 장치의 제공에 관한 것이다.The present invention relates to a heat treatment apparatus for manufacturing a solar cell, and more particularly, to a heat treatment apparatus for manufacturing a solar cell improved in that selenium or sulfur can be uniformly deposited while preventing volatilization and outflow of selenium .
화석자원의 고갈과 환경오염에 대처하기 위해 최근 태양력 수력, 풍력 등의 청정에너지에 대한 관심이 높아지고 있으며, 이 중 태양에너지를 전기에너지로 변환하는데 필수적인 요소라 할 수 있는 태양전지에 대한 연구개발이 활력을 얻고 있다.In order to cope with the depletion of fossil resources and environmental pollution, interest in clean energy such as solar water hydropower and wind power is increasing recently. Research and development of solar cell, which is an essential element for converting solar energy into electric energy, I am gaining vitality.
태양전지는 태양광을 직접 전기로 변환하는 반도체 소자이며, 태양 전지의 기술은 대면적화, 저가화, 고효율화를 지향하고 있으며, 실리콘 웨이퍼의 공급 부족 현상으로 인하여 소재가 비싸고 공정 비용이 많이 들고 추가적인 비용절감을 기대하기 어렵다는 이유로 인하여 근자에는 차세대 박막형 태양전지에 관심이 쏠리고 있다.The solar cell is a semiconductor device that converts sunlight directly into electricity. The technology of the solar cell is aimed at large-scale, low-cost, and high-efficiency. Due to the insufficient supply of silicon wafers, materials are expensive, It is difficult to expect the next generation thin-film solar cells are attracting attention.
박막형 태양전지는 실리콘 태양 전지에 비하여 에너지 회수 기간이 반으로 짧고 초박막화 및 대면적화가 가능하기 때문에 추가적인 재료 절감과 롤투롤(Roll-to-Roll) 생산 기술의 개발 등으로 혁신적인 생산 비용 절감이 가능할 것으로 전망되고 있다.Thin-film solar cells have a shorter energy recovery period than silicon solar cells and can be made ultra-thin and large-sized. Therefore, it is possible to reduce the production cost by additional material reduction and development of roll-to-roll production technology .
특히, 박막형 태양전지 중 구리(Cu)-인듐(In)-갈륨(Ga)-셀레늄(Se)의 4 원소화합물 반도체인 CIGS(CuInGaSe2) 태양전지는 셀 효율이 약 20％로서 다결정 실리콘 태양전지와 거의 유사한 고효율을 보여주고 있을 뿐만 아니라, 저가로 구현할 수 있는 장점이 있다.In particular, CIGS (CuInGaSe 2 ) solar cell, which is a four element compound semiconductor of copper (Cu) - indium (In) - gallium (Ga) - selenium (Se) among thin film solar cells, has a cell efficiency of about 20% And it is advantageous in that it can be implemented at a low cost.
CIGS 태양 전지의 CIGS 박막을 제조하는 방법으로는, 동시증발법(Co-Evaporation)과 프리커서(Precursor)의 증착 후 열처리하는 2단계 공정법(Two-Step Process)의 두 가지가 대표적인 공정이 알려져 있다.Two typical processes for producing CIGS thin films of CIGS solar cells are co-evaporation and two-step processes in which precursors are heat-treated after deposition. have.
동시증발법은 단위 원소인 구리(Cu), 인듐(In), 갈륨(Ga) 및 셀레늄(Se)을 열 증발원(Thermal Evaporator)을 이용하여 동시에 증발시켜 고온 기판에 박막을 형성하는 방법이다.Simultaneous evaporation is a method in which a thin film is formed on a high-temperature substrate by simultaneously evaporating copper (Cu), indium (In), gallium (Ga) and selenium (Se), which are unit elements, using a thermal evaporator.
2단계 공정법은 스퍼터링에 의한 프리커서 증착과 화학조성을 완성하기 위한 급속 열처리 공정을 이용하는 것으로서, 단위 원소인 구리, 인듐, 갈륨 또는 셀레늄이 스퍼터링 증착에 의하여 순차적으로 기판 위에 프리커서 박막으로 형성하고, CIGS의 조성을 맞추기 위하여 고온전기로 하이드라이드 가스(H2Se, H2S) 분위기에서 400 ∼ 600℃로 열처리를 통하여 이루어진다.The two-step process utilizes precursor deposition by sputtering and rapid thermal processing to complete the chemical composition. Copper, indium, gallium, or selenium, which is a unit element, is sequentially formed as a precursor thin film on a substrate by sputtering deposition, CIGS is formed by heat treatment at 400 ~ 600 ℃ in a high temperature electric furnace hydride gas (H 2 Se, H 2 S) atmosphere.
종래에도 이러한 박막형 태양전지를 제조하는 과정에서 열처리를 수행하기 위한 열처리 장치가 개발되어 사용되고 있으며, 대표적인 예를 도 5를 통하여 기술적인 구성을 살펴보면 다음과 같다.Conventionally, a heat treatment apparatus for performing heat treatment in the process of manufacturing such a thin film solar cell has been developed and used. A typical example of the heat treatment apparatus will be described with reference to FIG.
종래 기술이 적용되는 태양전지 제조용 열처리 장치(1)는, 일 방향을 따라 길게 배치되며 내부에 설치되는 히터(30)에 의하여 열처리에 필요한 온도범위로 유지되는 복수의 구간으로 구획되는 챔버부(10)를 구비한다.The
상기 챔버부(10)의 길이방향을 따라 서로 이격되어 배치되며 상기 챔버부(10)의 내측에 회전가능하게 결합 되어 태양전지 기판(S)을 이송하는 복수의 롤러(21)와, 상기 복수의 롤러(21)를 구동하기 위한 구동수단(26)을 포함하여 구성된다.A plurality of
상기와 같은 종래 기술에서는, 하나 이상의 챔버부를 직렬로 연결한 상태에서 각각의 챔버부의 내부온도를 다르게 제어한 상태에서 구동수단에 의하여 회전하는 롤러에 의하여 기판이 이송되면서 열처리 될 수 있도록 구성하고 있으나 하기와 같은 문제점들이 발생하게 된다.In the above-described conventional technique, the substrate is transferred by the rollers rotated by the driving means in a state where at least one chamber portion is connected in series and the internal temperature of each chamber portion is controlled differently. And the like.
기판이 순차적으로 챔버부를 통과하면서 히터에 의하여 열처리가 이루어지기 때문에 고온에서 신속하게(고속으로) 열처리가 이루어지지 못하게 되고, 장치가 직렬로 연결된 형태를 유지하여야 하므로 설치공간을 많이 차지하고 그로 인한 전체적인 비용이 상승하게 되는 원인이 된다.Since the substrate is sequentially passed through the chamber portion and the heat treatment is performed by the heater, the heat treatment can not be performed rapidly (at high speed) at high temperature, and the apparatus must be maintained in a connected form in series. Is a cause of the rise.
열처리를 위하여 기판을 공급하면 모터에 의하여 롤러에 안치된 상태에서 직렬로 설치된 챔버부를 경유하게 되므로 이 과정에서 기판의 손상을 야기할 수 있어 열처리가 완료된 후 불량으로 처리될 우려가 높아 전체적인 생산성이 취약하면서 생산원가 상승의 또 다른 원인이 되고 있다.If the substrate is supplied for the heat treatment, the substrate is damaged in the process because the chamber is connected to the chamber in a state where the substrate is placed on the roller by the motor. Therefore, there is a concern that the substrate is damaged after the heat treatment is completed. Which is another cause of rising production costs.
그리고 각각의 챔버부를 기판이 이송할 때 기판의 상면에서만 히터의 열을 전도받는 형태가 되므로 많은 챔버를 통과하는 과정에서 기판의 어느 한 부위에만 열이 집중되어 최종적으로 열처리가 완료되었을 때 기판의 변형을 야기할 우려가 높고, 고른 열처리를 위하여 기판을 역방향으로 다시 통과시켜야 하는 번거로움이 있는 등 전반적으로 비효율적인 등 여러 문제점이 발생하고 있다.In addition, since heat is transferred only to the upper surface of the substrate when each of the chamber parts is transferred to the chamber, heat is concentrated only in one part of the substrate in the process of passing through many chambers, and when the heat treatment is finally completed, And it is troublesome to pass the substrate in the opposite direction again for an even heat treatment, resulting in various problems such as overall inefficiency.
이에 본 발명에서는 상기와 같은 문제점들을 해결하기 위하여 발명한 것으로서, 베이스에 서포터와 브라켓으로 유지되는 열처리바디와, 상기 열처리바디의 내부에 태양전지 제조용 기판을 수용하여 열처리를 수행할 수 있도록 형성하는 열처리공간과, 상기 열처리공간의 상,하측에 설치하는 글라스와, 상기 열처리공간의 전방에 열처리를 수행할 기판을 수납하고 열처리완료된 기판을 인출하도록 형성하는 출입구와, 상기 출입구를 개폐하는 개폐도어와, 상기 개폐도어의 내측에 열처리할 기판을 안치하도록 구비하는 트레이와, 상기 열처리바디의 하부와 상부에는, 하부히터바디와 상부히터바디의 상면과 저면에 다수개의 히터를 배열하여 기판의 열처리를 수행하도록 설치하는 하부히터 및 상부히터로 구성하여;SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention has been made keeping in mind the above problems occurring in the prior art, and an object of the present invention is to provide a solar cell manufacturing method, a solar cell manufacturing method, a solar cell manufacturing method, An opening and closing door for opening and closing the door, a door for opening and closing the door, a door for opening and closing the door, a door for opening and closing the door, A plurality of heaters are arranged on the upper and lower surfaces of the lower heater body and the upper heater body at the lower and upper portions of the heat treatment body to perform heat treatment of the substrate, A lower heater and an upper heater;
태양전지 제조에 사용되는 기판의 열처리를 신속하게 수행할 수 있으면서 기판으로의 열전달을 고르게 하면서 기판의 손상을 최소화하여 열처리 효율성과 기판의 품질을 높일 수 있는 목적 달성이 가능하다.It is possible to rapidly heat the substrate used for manufacturing the solar cell while minimizing damage to the substrate while uniformly transferring heat to the substrate, thereby achieving the object of increasing the heat treatment efficiency and the quality of the substrate.
본 발명은 출입하는 트레이에 기판을 공급하면 기판의 상면과 하면에서 고온으로 신속하게 열처리하도록 함으로서 열처리장치의 구성을 간단하게 하여 설치공간을 줄이면서 조작의 용이성을 제공하고, 균일하고 신속한 열처리를 통하여 열처리 효율성을 극대화할 수 있도록 하면서 열처리 품질을 높일 수 있는 등 다양한 효과를 가지는 발명이다.According to the present invention, when a substrate is supplied to an outgoing tray, the substrate is rapidly heat-treated at a high temperature from the upper and lower surfaces of the substrate, thereby simplifying the structure of the heat treatment apparatus and providing ease of operation while reducing installation space. It is possible to maximize the efficiency of heat treatment while improving the quality of heat treatment.
도 1은 본 발명의 기술이 적용된 태양전지 제조용 열처리 장치를 도시한 사시도.
도 2는 본 발명의 기술이 적용된 태양전지 제조용 열처리 장치의 히터를 개방한 상태의 사시도.
도 3은 본 발명의 기술이 적용된 태양전지 제조용 열처리 장치의 트레이를 개방한 상태의 사시도.
도 4는 본 발명의 기술이 적용된 태양전지 제조용 열처리 장치를 도시한 간략적인 단면도.
도 5는 종래 기술이 적용된 태양전지 제조용 열처리 장치를 도시한 구성도.1 is a perspective view showing a heat treatment apparatus for manufacturing a solar cell to which the technique of the present invention is applied.
FIG. 2 is a perspective view of a heat treatment apparatus for manufacturing a solar cell to which the technique of the present invention is applied in a state in which a heater is opened. FIG.
3 is a perspective view showing a state in which a tray of a heat treatment apparatus for manufacturing a solar cell to which the technique of the present invention is applied is opened.
4 is a schematic sectional view showing a heat treatment apparatus for manufacturing a solar cell to which the technique of the present invention is applied.
5 is a schematic view showing a heat treatment apparatus for manufacturing a solar cell to which the prior art is applied.
이하 첨부되는 도면과 관련하여 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 바람직한 구성과 작용에 대하여 설명하면 다음과 같다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 기술이 적용된 태양전지 제조용 열처리 장치를 도시한 사시도, 도 2는 본 발명의 기술이 적용된 태양전지 제조용 열처리 장치의 히터를 개방한 상태의 사시도, 도 3은 본 발명의 기술이 적용된 태양전지 제조용 열처리 장치의 트레이를 개방한 상태의 사시도, 도 4는 본 발명의 기술이 적용된 태양전지 제조용 열처리 장치를 도시한 간략적인 단면도로서 함께 설명한다.FIG. 1 is a perspective view showing a heat treatment apparatus for manufacturing a solar cell to which the technology of the present invention is applied, FIG. 2 is a perspective view of a heat treatment apparatus for manufacturing a solar cell to which the technology of the present invention is applied, FIG. 4 is a schematic cross-sectional view illustrating a heat treatment apparatus for manufacturing a solar cell to which the technique of the present invention is applied. FIG. 4 is a perspective view showing a state where a tray of a heat treatment apparatus for manufacturing a solar cell is opened.
본 발명의 기술이 적용되는 태양전지 제조용 열처리 장치(100)는, 설비의 프레임에 고정할 수 있도록 구비되는 베이스(101)에 서포터(102)와 브라켓(103)을 이용하여 사방에서 베이스(101)와 소정의 간격을 가지도록 육면체 형상의 열처리바디(105)를 유지시킨다.A
상기 열처리바디(105)의 내부에는 태양전지 제조용 기판(104)을 수용하여 열처리를 수행하기 위한 열처리공간(106)을 형성하고, 상기 열처리공간(106)의 상,하측에는 투명한 재질의 글라스(107)를 설치한다.A heat treatment space 106 for accommodating the solar
상기 열처리공간(106)의 전방에는 열처리를 수행할 기판(104)을 수납하고 열처리완료된 기판(104)을 인출하기 위한 출입구(108)를 형성하고, 상기 출입구(108)는 개폐도어(109)에 의하여 개폐되도록 하고, 상기 출입구(108) 대향위치의 열처리바디(105)에는 셀레늄(se)의 기화 기체분자가 주입할 수 있는 주입포트가 형성됨은 당연할 것이다.An
상기 개폐도어(109)의 내측 위치에는 기판(104)을 안치하여 개폐도어(109)의 작동에 의하여 열처리공간(106)으로 수납 및 인출되는 트레이(110)를 일체로 형성하거나 또는 별도로 고정하여 구비하도록 한다.The
상기 개폐도어(109)의 양측에는 가이드바(111)를 고정하여 열처리바디(105)의 양측에 고정되는 가이드블록(112)과 결합시켜 안정되게 개폐작동이 이루어질 수 있도록 하고, 상기 가이드바(111)의 끝단에는 브라켓(103)의 후방으로 연장되는 록킹플레이트(113)에 설치되는 전자석과 같은 로커(114)에 의하여 작업자가 개폐도어(109)를 당기면 열이고 열처리 과정에서는 개폐도어(109)가 열리지 않도록 구성한다.A
상기 열처리바디(105)의 하부와 상부에는 하부히터(115)와 상부히터(116)를 설치하여 열처리공간(106) 내부에 위치한 기판(104)을 고온으로 신속하게 열처리할 수 있도록 하고, 상기 하부히터(115)와 상부히터(116)는 육면체 형상의 하부히터바디(117)와 상부히터바디(118)의 상면과 저면에 할로겐램프와 같은 다수개의 히터(119)를 배열하여 구성한다.A
상기 하부히터바디(117)에 배열되는 히터(119)와 상부히터바디(118)에 배열되는 히터(119)는 서로 다른 방향을 가지도록 함으로서 열처리공간(106)에 수납된 기판(104)으로 고르게 열을 전달할 수 있도록 하는 것이 좋다.The
상기 하부히터(115)는 열처리바디(105)의 저면 양측에 설치되는 통상적인 슬라이딩레일(120)과 결합 되어 슬라이딩 인출 및 수납되도록 하고, 상부히터(116)는 열처리바디(105)의 후미와 힌지(또는 경첩)과 같은 회동자(121)와 연결되어 여닫이 개폐되도록 구성한다.The
상기 개폐도어(109)와 하부히터(115) 및 상부히터(116)에는 개폐의 용이성을 제공할 수 있도록 손잡이를 더 구비할 수 있을 것이며, 손잡이를 구비하지 않을 경우에는 실린더나 모터 등과 같은 기계적인 수단과 연결하여 기구적으로 개폐할 수 있도록 하여도 무방할 것이다.The opening and closing
상기 개폐도어(109)와 하부히터(115) 및 상부히터(116)에는 열처리 과정에서 발생하는 고열이 외부로 전도되는 것을 방지할 수 있도록 냉각수를 순환시키는 순환펌프와 연결되어 냉각수가 지속적으로 순환되는 냉각유로를 가지도록 함은 당연할 것이다.The opening /
상기 냉각유로는 개폐도어(109)와 하부히터(115) 및 상부히터(116)에 각각 형성하고 순환펌프와는 호스나 배관 등으로 연결하는 데, 냉각유로에 컨넥터를 고정시킨 후 쉽게 결합하고 분해할 수 있도록 하는 통상의 기술내용이므로 구체적인 설명은 생략하도록 한다.The cooling passage is formed in the opening / closing
상기와 같은 본 발명의 기술이 적용된 태양전지 제조용 열처리 장치(100)의 사용상태를 살펴보면 다음과 같다.The state of use of the
기판(104)에 열처리를 수행하고자 할 경우에는 작업 또는 기구적인 수단을 이용하여 개폐도어(109)를 열처리바디(105)로부터 인출되도록 하고, 인출된 개폐도어(109)에 구비되는 트레이(110)에 열처리하고자 하는 기판(104)을 안치시킨 후 개폐도어(109)를 열처리바디(105)와 결합시킨다.When the heat treatment is to be performed on the
물론, 상기 개폐도어(109)에 구비되는 트레이(110)에 기판(104)을 안치하거나 트레이(110)로부터 기판(104)을 인출하는 동작 또한 작업자가 아니 로봇과 같은 기구적인 수단을 이용하여 자동화할 수 있음은 당연할 것이다.Of course, the operation of putting the
개폐도어(109)에 의하여 트레임(110)에 기판(104)을 안치하여 기판(104)이 열처리공(106)으로 진입하면 열처리바디(105)의 저면과 상면에 결합 된 하부히터(115)와 상부히터(116)의 히터(119)가 작동하여 고열을 발생시켜 열처리공간(106)에 위치한 기판(104)에 열을 가하여 열처리를 수행하게 된다.When the
이와 같이 열처리가 이루어지는 과정에서는 열처리바디(105)와 하부히터(115) 및 상부히터(116)에 형성되는 냉각유로에는 냉각수가 지속적으로 순환하여 열처리에 따라 발생하는 고열이 외부로 유출되는 것을 방지하는 역할을 수행하게 된다.In the course of the heat treatment, the cooling water is circulated continuously in the cooling passage formed in the
상기와 같이 열처리가 완료되면, 하부히터(115)와 상부히터(116)가 정지되고 개폐도어(109)는 열처리바디(105)로부터 인출되므로 개폐도어(109)에 구비되는 트레이(110)에 안치되어 있는 열처리 완료된 기판(104)을 인출하면 하나의 기판(104)에 대한 열처리가 완료되며, 이러한 동작을 반복하여 기판(104)의 열처리를 수행하면 되는 것이다.When the heat treatment is completed as described above, the
상기 열처리 과정에서의 개폐도어(109)와 하부히터(115) 및 상부히터(116) 또는 냉각유로를 통하여 냉각수의 순환과 같은 동작의 제어는 콘트롤러(도시하지 않음)에 의하여 설정된 시간 동안 작동하도록 함은 당연할 것이다.The control of the operation such as the circulation of the cooling water through the opening /
그리고, 열처리 과정에서 하부히터(115)와 상부히터(116)를 구성하는 히터(119)의 손상이 있을 경우에는 하부히터(115)를 열처리바디(105)로부터 인출하거나, 상부히터(116)를 열처리바디(105)로부터 회동시켜 히터(119)가 노출되도록 한 상태에서 보수 또는 교환작업을 수행하면 되므로 유지보수의 용이성을 제공할 수 있게 된다.When the
상기와 같은 본 발명은 태양전지 제조에 사용되는 기판의 열처리를 신속하게 수행할 수 있으면서 기판으로의 열전달을 고르게 하면서 기판의 손상을 최소화하여 열처리 효율성과 기판의 품질을 높일 수 있는 등의 장점을 가진다.As described above, the present invention has advantages such that heat treatment of a substrate used for manufacturing a solar cell can be performed quickly, heat transfer to the substrate is uniformed, damage to the substrate is minimized, and heat treatment efficiency and quality of the substrate are improved .
100; 태양전지 제조용 열처리 장치
101; 베이스
105; 열처리바디
106; 열처리공간
108; 출입구
109; 개폐도어
110; 트레이
111; 가이드바
115; 하부히터
116; 상부히터
119; 히터100; Heat treatment equipment for solar cell manufacturing
101; Base
105; Heat treatment body
106; Heat treatment space
108; entrance
109; Opening door
110; tray
111; Guide bar
115; Bottom heater
116; Upper heater
119; heater
Claims (4)
상기 열처리바디의 내부에 태양전지 제조용 기판을 수용하여 열처리를 수행할 수 있도록 형성하는 열처리공간과;
상기 열처리공간의 상,하측에 설치하는 글라스와;
상기 열처리공간의 전방에 열처리를 수행할 기판을 수납하고 열처리완료된 기판을 인출하도록 형성하는 출입구와;
상기 출입구를 개폐하는 개폐도어와;
상기 개폐도어의 내측에 열처리할 기판을 안치하도록 구비하는 트레이와;
상기 열처리바디의 하부와 상부에는, 하부히터바디와 상부히터바디의 상면과 저면에 다수개의 히터를 배열하여 기판의 열처리를 수행하도록 설치하는 하부히터 및 상부히터로 구성하는 것을 특징으로 하는 태양전지 제조용 열처리 장치.A heat-treated body held on the base with a supporter and a bracket;
A heat treatment space in which a substrate for manufacturing a solar cell is housed in the heat treatment body so that heat treatment can be performed;
A glass provided on upper and lower sides of the heat treatment space;
An entrance for receiving a substrate to be subjected to the heat treatment in front of the heat treatment space and for drawing out the heat-treated substrate;
An opening / closing door for opening / closing the doorway;
A tray provided inside the opening / closing door to house a substrate to be heat-treated;
And a lower heater and an upper heater for arranging a plurality of heaters on the lower and upper surfaces of the lower heater body and the upper and lower surfaces of the heat treatment body to perform heat treatment of the substrate, Heat treatment apparatus.
상기 개폐도어의 양측에는 가이드바를 고정하고;
상기 가이드바는 열처리바디의 양측에 고정되는 가이드블록과 결합시키고;
상기 가이드바의 끝단에는 브라켓 후방으로 연장되는 록킹플레이트에 설치되는 로커에 의하여 열처리 과정에서는 개폐도어가 열리지 않도록 구성하는 것을 특징으로 하는 태양전지 제조용 열처리 장치.The method of claim 1, further comprising:
A guide bar is fixed to both sides of the opening / closing door;
The guide bar engages with a guide block fixed to both sides of the heat treatment body;
Wherein the door is not opened in a heat treatment process by a rocker installed on a locking plate extending to a rear side of the bracket at an end of the guide bar.
상기 하부히터바디에 배열되는 히터와 상부히터바디에 배열되는 히터는 서로 다른 방향을 가지도록 하는 것을 특징으로 하는 태양전지 제조용 열처리 장치.The method of claim 1, further comprising:
Wherein the heaters arranged in the lower heater body and the heaters arranged in the upper heater body have different directions.
상기 개폐도어와 하부히터 및 상부히터에는 열처리 과정에서 발생하는 고열을 냉각시킬 수 있도록 냉각수를 순환시키는 순환펌프와 연결되어 냉각수가 지속적으로 순환되는 냉각유로를 더 가지는 것을 특징으로 하는 태양전지 제조용 열처리 장치.The method of claim 1, further comprising:
Wherein the opening and closing door, the lower heater, and the upper heater are further connected to a circulation pump for circulating cooling water so as to cool the high temperature generated during the heat treatment process so that the cooling water is continuously circulated. .
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| KR20130128404A KR101489596B1 (en) | 2013-10-28 | 2013-10-28 | Rapid thermal processing device for solar cell |
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| KR (1) | KR101489596B1 (en) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20170006440A (en) * | 2015-07-08 | 2017-01-18 | 주식회사 케이랩 | Sputtering Apparatus |
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2013
- 2013-10-28 KR KR20130128404A patent/KR101489596B1/en not_active IP Right Cessation
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