KR101488138B1 - Photosensitive resin composition, dry film, cured product, and printed wiring board - Google Patents

Photosensitive resin composition, dry film, cured product, and printed wiring board Download PDF

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KR101488138B1 KR20140112194A KR20140112194A KR101488138B1 KR 101488138 B1 KR101488138 B1 KR 101488138B1 KR 20140112194 A KR20140112194 A KR 20140112194A KR 20140112194 A KR20140112194 A KR 20140112194A KR 101488138 B1 KR101488138 B1 KR 101488138B1
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츠요시 미타니
시노부 곤도
신이치로 후쿠다
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다이요 잉키 세이조 가부시키가이샤
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Abstract

The present invention provides an alkali development type photosensitve resin composition having excellent development, dryness and punching resistance; a dry film including the composition; a cured product thereof; and a printed wiring board having the cured product. The alkali development type photosensitive resin composition comprises (A) a carboxyl group containing resin, (B) an inorganic filler, (C) a thermosetting component and (D) a photopolymerization initiator, wherein (A) the carboxyl group containing resin comprises (A1) a carboxyl group containing resin having a phenol-based backbone (however, excludes a carboxyl group containing resin having a cresol novolak based backbone), and (A2) a carboxyl group containing resin having a cresol novolak based backbone, or (A3) a carboxyl group containing resin having a phenol-based backbone (however, excludes a carboxyl group containing resin having a cresol novolak based backbone) and a carboxyl group containing resin having a cresol novolak based backbone, and (B) the inorganic filler includes spherical silica.

Description

감광성 수지 조성물, 드라이 필름, 경화물 및 프린트 배선판{PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION, DRY FILM, CURED PRODUCT, AND PRINTED WIRING BOARD}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a photosensitive resin composition, a dry film, a cured product, and a printed wiring board,

본 발명은, 감광성 수지 조성물, 드라이 필름, 경화물 및 프린트 배선판에 관한 것이다.The present invention relates to a photosensitive resin composition, a dry film, a cured product and a printed wiring board.

일반적으로 전자 기기 등에 사용되는 프린트 배선판에 있어서, 불필요한 부분에 땜납이 부착되는 것을 방지함과 함께, 회로의 도체가 노출되어 산화나 습기에 의해 부식되는 것을 방지하기 위하여, 회로 패턴이 형성된 기판 상의 접속 구멍을 제외한 영역에 솔더 레지스트가 형성된다.In general, in a printed wiring board used in electronic equipment or the like, in order to prevent the solder from adhering to an unnecessary portion and to prevent the conductor of the circuit from being corroded by oxidation or moisture, A solder resist is formed in the region except for the hole.

기판 상에 원하는 패턴의 솔더 레지스트를 형성하는 방법 중 하나로서, 포토리소그래피 기술을 이용한 형성 방법이 사용되고 있다. 예를 들어, 알칼리 현상형의 감광성 수지 조성물을 포함하는 감광성 솔더 레지스트를 패턴 마스크를 통하여 노광한 후, 알칼리 현상함으로써, 노광부와 비노광부에 발생한 알칼리 현상액에 대한 용해성의 차를 이용하여 패턴을 형성할 수 있다.As a method of forming a solder resist of a desired pattern on a substrate, a forming method using a photolithography technique is used. For example, a photosensitive solder resist containing an alkali developing type photosensitive resin composition is exposed through a pattern mask and then alkali-developed to form a pattern using the difference in solubility in an alkali developing solution generated in the exposed portion and the non- can do.

종래, 현상성 등의 관점에서, 알칼리 현상형의 감광성 수지 조성물로서, 크레졸 노볼락형의 에폭시 수지에 아크릴산 등의 불포화 모노카르복실산을 반응시켜 생성한 수산기에, 헥사히드로프탈산 무수물 등의 포화 또는 불포화 다염기산 무수물을 반응시켜 얻어지는 카르복실기 함유 수지를, 수지 성분의 주성분으로서 함유하는 조성물이 주로 사용되고 있다(예를 들어 특허문헌 1). 그러나, 이러한 조성물을 사용하여 제작한 솔더 레지스트는, 프린트 배선판의 제조 공정에서 필요한 펀칭에 의한 뚫림에 의해, 균열이 생기기 쉽다는 문제가 있었다.Conventionally, from the viewpoint of developability and the like, there has been proposed a photosensitive resin composition of an alkali developing type, in which a hydroxyl group formed by reacting an unsaturated monocarboxylic acid such as acrylic acid with an epoxy resin of cresol novolak type is reacted with a saturated or unsaturated group such as hexahydrophthalic anhydride A composition containing a carboxyl group-containing resin obtained by reacting an unsaturated polybasic acid anhydride as a main component of a resin component is mainly used (for example, Patent Document 1). However, the solder resist produced using such a composition has a problem that cracks tend to occur due to punching by punching necessary in a manufacturing process of a printed wiring board.

또한, 노광 방법으로서, 회로 형성된 기판에 솔더 레지스트층을 도포·건조하고, 이어서 포토툴을 진공 밀착하여 노광하는 접촉 노광이 주류를 이루고 있다. 이때, 건조 도막의 지촉 건조성(점착성)이 나쁘면, 도막에 포토툴이 밀착되어 버려, 포토툴을 박리할 수 없다는 문제나, 또는 기판으로부터 건조 도막이 박리되어 버린다는 문제가 있었다.In addition, as the exposure method, a contact exposure which forms a solder resist layer on a substrate having a circuit formed thereon, followed by drying, and then exposing the photo tool in vacuum contact with it forms mainstream. At this time, if the dry touching property of the dry coating film is poor, there is a problem that the phototool sticks to the coated film, the phototool can not be peeled off, or the dry coating film peels off from the substrate.

일본 특허 공개(평) 7-50473호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 7-50473

따라서 본 발명의 목적은, 현상성, 지촉 건조성, 펀칭 내성이 우수한 알칼리 현상형 감광성 수지 조성물, 상기 조성물을 포함하는 드라이 필름, 이들의 경화물 및 해당 경화물을 갖는 프린트 배선판을 제공하는 데 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide an alkali-developable photosensitive resin composition excellent in developability, touch dryness and punching resistance, a dry film containing the composition, a cured product thereof, and a printed wiring board having the cured product .

본 발명자들은 상기를 감안하여 예의 검토한 결과, 페놀계 골격을 갖는 카르복실기 함유 수지 및 크레졸 노볼락형 골격을 갖는 카르복실기 함유 수지를 배합하거나, 또는 페놀계 골격 및 크레졸 노볼락형 골격을 갖는 카르복실기 함유 수지를 배합하고, 추가로 무기 충전물로서 구상 실리카를 배합함으로써, 상기 과제를 해결할 수 있는 것을 발견하여, 본 발명을 완성하기에 이르렀다.As a result of intensive studies in view of the above, the inventors of the present invention have found that when a carboxyl group-containing resin having a phenol skeleton and a carboxyl group-containing resin having a cresol novolak skeleton are blended or a carboxyl group-containing resin having a phenol skeleton and a cresol novolak skeleton , And further adding spherical silica as an inorganic filler, the above problems can be solved, and the present invention has been accomplished.

즉, 본 발명의 알칼리 현상형 감광성 수지 조성물은 (A) 카르복실기 함유 수지, (B) 무기 충전물, (C) 열경화 성분 및 (D) 광중합 개시제를 함유하는 알칼리 현상형 감광성 수지 조성물로서, (A) 카르복실기 함유 수지로서, (A1) 페놀계 골격을 갖는 카르복실기 함유 수지(단, 크레졸 노볼락형 골격을 갖는 카르복실기 함유 수지를 제외함) 및 (A2) 크레졸 노볼락형 골격을 갖는 카르복실기 함유 수지를 함유하며, (B) 무기 충전물로서, 구상 실리카를 함유하는 것을 특징으로 하는 것이다.That is, the alkali developing photosensitive resin composition of the present invention is an alkali developing photosensitive resin composition containing (A) a carboxyl group-containing resin, (B) an inorganic filler, (C) a thermosetting component and (D) (A1) a carboxyl group-containing resin having a phenol skeleton (provided that a carboxyl group-containing resin having a cresol novolak skeleton is excluded), and (A2) a carboxyl group-containing resin having a cresol novolak skeleton, And (B) an inorganic filler, which contains spherical silica.

본 발명의 알칼리 현상형 감광성 수지 조성물은, 상기 (A1) 페놀계 골격을 갖는 카르복실기 함유 수지 및 (A2) 크레졸 노볼락형 골격을 갖는 카르복실기 함유 수지를, 고형분 환산으로 1:9 내지 9:1의 비율로 포함하는 것이 바람직하다.The alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention is obtained by mixing the carboxyl-containing resin (A1) having a phenolic skeleton and the carboxyl-containing resin (A2) having a cresol novolak skeleton in a solid content of 1: 9 to 9: 1 Ratio.

본 발명의 알칼리 현상형 감광성 수지 조성물은, 상기 (A1) 페놀계 골격을 갖는 카르복실기 함유 수지의 페놀계 골격이 페놀 노볼락형, 비스페놀 A형, 비페닐형, 페놀아랄킬형 및 트리스페닐메탄형의 골격 중 적어도 어느 1종을 포함하는 것이 바람직하다.The alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention is characterized in that the phenolic skeleton of the carboxyl group-containing resin (A1) having a phenol skeleton is a phenol novolak type, a bisphenol A type, a biphenyl type, a phenol aralkyl type, and a trisphenyl methane type And a skeleton.

본 발명의 다른 알칼리 현상형 감광성 수지 조성물은, (A) 카르복실기 함유 수지, (B) 무기 충전물, (C) 열경화 성분 및 (D) 광중합 개시제를 함유하는 알칼리 현상형 감광성 수지 조성물로서, (A) 카르복실기 함유 수지로서, (A3) 페놀계 골격(단, 크레졸 노볼락형 골격을 제외함) 및 크레졸 노볼락형 골격을 갖는 카르복실기 함유 수지를 포함하며, (B) 무기 충전물로서, 구상 실리카를 함유하는 것을 특징으로 하는 것이다.Another alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention is an alkali-developable photosensitive resin composition containing (A) a carboxyl group-containing resin, (B) an inorganic filler, (C) a thermosetting component and (D) (A3) a carboxyl group-containing resin having a phenol skeleton (except for a cresol novolak skeleton) and a cresol novolak skeleton, (B) an inorganic filler, which contains a spherical silica .

본 발명의 다른 알칼리 현상형 감광성 수지 조성물은, 상기 (A3) 페놀계 골격 및 크레졸 노볼락형 골격을 갖는 카르복실기 함유 수지의 페놀계 골격이 페놀 노볼락형, 비스페놀 A형, 비스페놀 F형, 비페닐형, 페놀아랄킬형 및 트리스페닐메탄형의 골격 중 적어도 어느 1종을 포함하는 것이 바람직하다.The other alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention is characterized in that the phenolic skeleton of the carboxyl group-containing resin having the phenol skeleton and the cresol novolak skeleton of (A3) is a phenol novolak type, a bisphenol A type, a bisphenol F type, Type, a phenol aralkyl type, and a trisphenyl methane type skeleton.

본 발명의 드라이 필름은, 상기 알칼리 현상형 감광성 수지 조성물을 필름에 도포·건조시켜 얻어지는 것을 특징으로 하는 것이다.The dry film of the present invention is obtained by applying the alkali-developable photosensitive resin composition to a film and drying the film.

본 발명의 경화물은, 상기 알칼리 현상형 감광성 수지 조성물, 또는 상기 알칼리 현상형 감광성 수지 조성물을 필름에 도포·건조시켜 얻어지는 드라이 필름을, 광경화 및 열경화 중 적어도 어느 하나를 행함으로써 얻어지는 것을 특징으로 하는 것이다.The cured product of the present invention is obtained by subjecting the above-mentioned alkali-developable photosensitive resin composition or the dry film obtained by applying and drying the alkali-developable photosensitive resin composition to a film to perform at least one of photo-curing and thermosetting .

본 발명의 프린트 배선판은, 상기 경화물을 갖는 것을 특징으로 하는 것이다.The printed wiring board of the present invention is characterized by having the cured product.

본 발명에 따르면, 현상성, 지촉 건조성, 펀칭 내성이 우수한 알칼리 현상형 감광성 수지 조성물, 상기 조성물을 포함하는 드라이 필름, 이들의 경화물 및 해당 경화물을 갖는 프린트 배선판을 제공할 수 있다.According to the present invention, it is possible to provide an alkali developing photosensitive resin composition excellent in developability, touch dryness and punching resistance, a dry film containing the composition, a cured product thereof, and a printed wiring board having the cured product.

도 1은 실시예 1의 알칼리 현상형 감광성 수지 조성물의 경화 도막의 단면 사진을 도시하는 도면이다. 우측 하단의 백색 스케일 바는 2㎛를 나타낸다.1 is a cross-sectional photograph of a cured coating film of the alkali-developable photosensitive resin composition of Example 1. Fig. And the white scale bar at the lower right side indicates 2 mu m.

이하, 본 발명의 알칼리 현상형 감광성 수지 조성물의 각 성분에 대하여 설명한다. 또한, 특별한 기재가 없는 한, 본 명세서에 있어서, 기호 「∼(내지)」를 사용하여 표현되는 수치 범위는, 그의 상한과 하한의 수치를 포함하는 범위(즉, 그의 하한 이상, 그의 상한 이하의 범위)를 의미한다.Each component of the alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention will be described below. In addition, unless otherwise specified, in the present specification, the numerical range expressed by using the symbol " (to) " is not limited to the range including the numerical values of the upper limit and the lower limit Range).

[(A) 카르복실기 함유 수지] [(A) Resin containing a carboxyl group]

본 발명의 알칼리 현상형 감광성 수지 조성물은 (A) 카르복실기 함유 수지로서, (A1) 페놀계 골격을 갖는 카르복실기 함유 수지(단, 크레졸 노볼락형 골격을 갖는 카르복실기 함유 수지를 제외함) 및 (A2) 크레졸 노볼락형 골격을 갖는 카르복실기 함유 수지(이하, 간단히 「(A1) 및 (A2)의 카르복실기 함유 수지」라고도 칭함) 또는 (A3) 페놀계 골격(단, 크레졸 노볼락형 골격을 제외함) 및 크레졸 노볼락형 골격을 갖는 카르복실기 함유 수지(이하, 간단히 「(A3)의 카르복실기 함유 수지」라고도 칭함)를 함유한다. 본 발명에 있어서는, 상기 (A1) 페놀계 골격을 갖는 카르복실기 함유 수지 및 상기 (A2) 크레졸 노볼락형 골격을 갖는 카르복실기 함유 수지의 조합에 의해, 펀칭 내성, 현상성, 땜납 내열성, 지촉 건조성의 어떤 특성이든 양호해질 뿐만 아니라, 단독으로 사용한 것보다도 현상성이나 지촉 건조성이 더욱 양호해진다는 예상조차 하지 못한 효과를 얻을 수 있다. 또한, 상기 (A3) 페놀계 골격 및 크레졸 노볼락형 골격을 갖는 카르복실기 함유 수지를 함유함으로써, 각각의 골격을 단독으로 갖는 수지를 사용한 것보다도 현상성이나 지촉 건조성이 더욱 양호해진다는 예상조차 하지 못한 효과를 얻을 수 있다. 상기 (A1) 및 (A2)의 카르복실기 함유 수지 및 상기 (A3)의 카르복실기 함유 수지는 특별히 한정되지 않고, 솔더 레지스트용이나, 층간 절연층용의 광경화성 조성물에 있어서 사용되고 있는 공지 관용의 카르복실기 함유 수지를 채용할 수 있다. 상기 (A1) 페놀계 골격을 갖는 카르복실기 함유 수지는, 페놀계 골격이 주골격인 것이 바람직하다. 상기 (A2) 크레졸 노볼락형 골격을 갖는 카르복실기 함유 수지는, 크레졸 노볼락형 골격이 주골격인 것이 바람직하다. 상기 (A3) 페놀계 골격 및 크레졸 노볼락형 골격을 갖는 카르복실기 함유 수지는, 페놀계 골격 및 크레졸 노볼락형 골격이 주골격인 것이 바람직하다. 또한, 상기 (A1) 및 (A2)의 카르복실기 함유 수지 및 상기 (A3)의 카르복실기 함유 수지는 각각 광경화성이나 내현상성의 관점에서, 분자 내에 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 것이 바람직하지만, 에틸렌성 불포화 이중 결합을 갖지 않을 수도 있다. 에틸렌성 불포화 결합을 갖지 않는 경우에는, 조성물을 광경화성으로 하기 위하여, 분자 중에 1개 이상의 에틸렌성 불포화기를 갖는 화합물(광반응성 단량체)을 병용하는 것이 바람직하다. 에틸렌성 불포화 이중 결합으로서는, 아크릴산 또는 메타크릴산 또는 그들의 유도체 유래의 것이 바람직하다.(A1) a carboxyl group-containing resin having a phenol skeleton (except for a carboxyl group-containing resin having a cresol novolak skeleton) and (A2) a carboxyl group-containing resin having a phenolic skeleton, (Hereinafter, simply referred to as " carboxyl group-containing resin of (A1) and (A2) ") or (A3) phenol skeleton (except for cresol novolak skeleton) and Containing resin having a cresol novolak skeleton (hereinafter, simply referred to as " the carboxyl group-containing resin of (A3) "). In the present invention, the combination of the above-mentioned (A1) carboxyl group-containing resin having a phenolic skeleton and the carboxyl group-containing resin having a cresol novolak skeleton (A2) can be used for any of punching resistance, developability, solder heat resistance, It is possible to obtain an effect that it is not expected that the developing property and the touch-drying property become better than those used singly. Further, by containing the carboxyl group-containing resin having the phenol skeleton and the cresol novolak skeleton (A3), it can be expected that the developing property and the touch dryness are better than those using the resin having each skeleton alone The effect can not be obtained. The carboxyl group-containing resin of the above-mentioned (A1) and (A2) and the carboxyl group-containing resin of the above (A3) are not particularly limited, and the known carboxyl group-containing resin used for the solder resist or the photo- Can be adopted. The carboxyl group-containing resin having a phenolic skeleton (A1) is preferably a skeleton of the phenolic skeleton. The carboxyl group-containing resin having a cresol novolak skeleton (A2) is preferably a skeleton of a cresol novolak skeleton. In the carboxyl group-containing resin having a phenol skeleton and a cresol novolak skeleton, the phenolic skeleton and the cresol novolak skeleton are preferably the main skeleton. The carboxyl group-containing resin of (A1) and (A2) and the carboxyl group-containing resin of (A3) each preferably have an ethylenically unsaturated bond in the molecule from the viewpoints of photo-curability and resistance to aging, It may not have a bond. In the case of not having an ethylenically unsaturated bond, a compound having at least one ethylenic unsaturated group (photoreactive monomer) is preferably used in combination in order to render the composition photo-curable. As the ethylenically unsaturated double bond, those derived from acrylic acid or methacrylic acid or a derivative thereof are preferable.

상기 (A1) 및 (A2)의 카르복실기 함유 수지의 제조 방법은 특별히 한정되지 않지만, 각각 페놀 노볼락형 등의 페놀계 골격을 갖는 에폭시 수지 또는 크레졸 노볼락형 골격을 갖는 에폭시 수지의 에폭시기에, 불포화 모노카르복실산의 카르복실기를 에스테르화 반응(완전 에스테르화 또는 부분 에스테르화, 바람직하게는 완전 에스테르화)시키고, 생성된 수산기에 재차 포화 또는 불포화 다염기산 무수물을 부가 반응시켜 얻을 수 있다. 또한, 상기 (A3)의 카르복실기 함유 수지의 제조 방법은 특별히 한정되지 않지만, 페놀 노볼락형 등의 페놀계 골격 및 크레졸 노볼락형 골격을 갖는 에폭시 수지의 에폭시기에, 불포화 모노카르복실산의 카르복실기를 에스테르화 반응(완전 에스테르화 또는 부분 에스테르화, 바람직하게는 완전 에스테르화)시키고, 생성된 수산기에 재차 포화 또는 불포화 다염기산 무수물을 부가 반응시켜 얻을 수 있다. 각 반응은, 후술하는 바와 같은 촉매를 사용하여, 용매 중에서 용이하게 행할 수 있다. 상기 페놀계 골격으로서는, 페놀 노볼락형, 비스페놀 A형, 비스페놀 F형, 비스페놀 S형, 비페닐형, 페놀아랄킬형, 트리스페닐메탄형 등의 골격을 들 수 있다(단, 상기 (A1)의 카르복실기 함유 수지에 있어서는, 상기 페놀계 골격으로부터 비스페놀 F형 골격을 제외함). 이 중에서도, 현상성, 땜납 내열성, 지촉 건조성이 더욱 향상됨으로써, 페놀 노볼락형이 바람직하다.The method for producing the carboxyl group-containing resin of (A1) and (A2) is not particularly limited, but it is preferable that the epoxy group of an epoxy resin having a phenol skeleton such as phenol novolac type or an epoxy resin having a cresol novolak skeleton, Can be obtained by subjecting a carboxyl group of a monocarboxylic acid to an esterification reaction (complete esterification or partial esterification, preferably complete esterification) and then reacting the resulting hydroxyl group with a saturated or unsaturated polybasic acid anhydride again. The method for producing the carboxyl group-containing resin (A3) is not particularly limited, but the carboxyl group of the unsaturated monocarboxylic acid may be added to the epoxy group of the epoxy resin having the phenol skeleton and the cresol novolak skeleton such as phenol novolac type, The esterification reaction (complete esterification or partial esterification, preferably complete esterification), and the resulting hydroxyl group is reacted again with a saturated or unsaturated polybasic acid anhydride. Each reaction can be easily carried out in a solvent using a catalyst as described below. Examples of the phenolic skeleton include skeletons such as phenol novolak type, bisphenol A type, bisphenol F type, bisphenol S type, biphenyl type, phenol aralkyl type, and trisphenyl methane type. In the case of the carboxyl group-containing resin, the bisphenol F type skeleton is excluded from the phenolic skeleton). Of these, the phenol novolac type is preferred because of further improving developability, solder heat resistance, and touch dryness.

상기 불포화 모노카르복실산의 대표적인 예로서는, 아크릴산, 메타크릴산, 크로톤산, 신남산, α-시아노신남산, β-스티릴아크릴산, β-푸르푸릴아크릴산 등을 들 수 있다. 이들 중에서도, 광반응성과 경화물의 물성, 특히 내열성, 전기 특성 및 내흡습성에 끼치는 영향으로 인하여, 아크릴산 및 메타크릴산 중 적어도 어느 1종이 바람직하다. 이들 불포화 모노카르복실산은 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.Representative examples of the unsaturated monocarboxylic acid include acrylic acid, methacrylic acid, crotonic acid, cinnamic acid,? -Cyanosinic acid,? -Styryl acrylic acid and? -Furfuryl acrylic acid. Among them, at least one of acrylic acid and methacrylic acid is preferable due to the photoreactivity and the physical properties of the cured product, in particular, the heat resistance, the electrical characteristics and the moisture absorption resistance. These unsaturated monocarboxylic acids may be used alone or in admixture of two or more.

상기 페놀 노볼락형 등의 페놀계 골격을 갖는 에폭시 수지 또는 크레졸 노볼락형 골격을 갖는 에폭시 수지에, 또는 상기 페놀 노볼락형 등의 페놀계 골격 및 크레졸 노볼락형 골격을 갖는 에폭시 수지에, 불포화 모노카르복실산을 반응시켜 얻어지는 반응 생성물에, 재차 포화 또는 불포화 다염기산 무수물을 부가하는 반응에 있어서, 다염기산 무수물의 사용량은, 생성되는 카르복실기 함유 감광성 수지의 산가가 바람직하게는 20 내지 200㎎KOH/g, 보다 바람직하게는 50 내지 120㎎KOH/g로 되는 부가량으로 한다. 20 내지 200㎎KOH/g의 범위이면, 알칼리 수용액에 대한 용해성이 향상되고, 형성된 도막의 알칼리 수용액에 의한 현상이 용이해지고, 노광부의 표면이 현상되기 어려워진다.An epoxy resin having a phenol skeleton such as the phenol novolac type or an epoxy resin having a cresol novolac skeleton or an epoxy resin having a phenol skeleton and a cresol novolak skeleton such as the phenol novolac type, The amount of the polybasic acid anhydride used in the reaction of adding the saturated or unsaturated polybasic acid anhydride to the reaction product obtained by reacting the monocarboxylic acid is preferably 20 to 200 mgKOH / g , More preferably 50 to 120 mgKOH / g. If it is in the range of 20 to 200 mgKOH / g, the solubility in an aqueous alkaline solution is improved, the development of the formed coating film by an aqueous alkali solution becomes easy, and the surface of the exposed portion becomes difficult to develop.

상기 불포화기 함유 모노카르복실산과의 에스테르화 반응 및 다염기산 무수물의 부가 반응은, 후술하는 유기 용제의 존재 하에서 히드로퀴논이나 산소 등의 중합 금지제의 존재 하에서, 통상 약 50 내지 150℃에서 행한다. 이때 필요에 따라, 트리에틸아민 등의 3급 아민, 트리에틸벤질암모늄클로라이드 등의 4급 암모늄염, 2-에틸-4-메틸이미다졸 등의 이미다졸 화합물, 트리페닐포스핀 등의 인 화합물 등을 촉매로서 첨가할 수도 있다.The esterification reaction with the unsaturated group-containing monocarboxylic acid and the addition reaction with the polybasic acid anhydride are carried out usually in the presence of an inhibitor of polymerization such as hydroquinone or oxygen in the presence of an organic solvent described later, usually at about 50 to 150 ° C. If necessary, a tertiary amine such as triethylamine, a quaternary ammonium salt such as triethylbenzylammonium chloride, an imidazole compound such as 2-ethyl-4-methylimidazole, a phosphorus compound such as triphenylphosphine, etc. May be added as a catalyst.

상기 다염기산 무수물로서는, 메틸테트라히드로 무수 프탈산, 테트라히드로 무수 프탈산, 헥사히드로 무수 프탈산, 메틸헥사히드로 무수 프탈산, 무수 나딕산, 3,6-엔도메틸렌테트라히드로 무수 프탈산, 메틸엔도메틸렌테트라히드로 무수 프탈산, 테트라브로모 무수 프탈산 등의 지환식 이염기산 무수물; 무수 숙신산, 무수 말레산, 무수 이타콘산, 옥테닐 무수 숙신산, 도데세닐, 펜타데세닐 무수 숙신산, 무수 프탈산, 무수 트리멜리트산 등의 지방족 또는 방향족 이염기산 무수물; 또는 비페닐테트라카르복실산 이무수물, 디페닐에테르테트라카르복실산 이무수물, 부탄테트라카르복실산 이무수물, 시클로펜탄테트라카르복실산 이무수물, 무수 피로멜리트산, 벤조페논테트라카르복실산 이무수물 등의 지방족 또는 방향족 사염기산 이무수물 등을 들 수 있고, 이들 중 1종 또는 2종 이상을 사용할 수 있다. 이들 중에서도, 지환식 이염기산 무수물이 특히 바람직하다.Examples of the polybasic acid anhydride include methyl tetrahydrophthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, methylhexahydrophthalic anhydride, anhydrous nadic acid, 3,6-endomethylenetetrahydrophthalic anhydride, methylendomethylenetetrahydrophthalic anhydride, Alicyclic dibasic acid anhydrides such as tetrabromophthalic anhydride; Aliphatic or aromatic dibasic acid anhydrides such as succinic anhydride, maleic anhydride, itaconic anhydride, octenyl succinic anhydride, dodecenyl, pentadecenylsuccinic anhydride, phthalic anhydride, and trimellitic anhydride; Or biphenyl tetracarboxylic acid dianhydride, diphenyl ether tetracarboxylic dianhydride, butanetetracarboxylic dianhydride, cyclopentanetetracarboxylic dianhydride, anhydrous pyromellitic acid, benzophenonetetracarboxylic acid dianhydride And aliphatic or aromatic tetrabasic acid dianhydrides such as tetrabromobisphenol and the like, and one or more of these may be used. Among them, an alicyclic dibasic acid anhydride is particularly preferable.

상기 (A1) 및 (A2)의 카르복실기 함유 수지 및 상기 (A3)의 카르복실기 함유 수지의 중량 평균 분자량은 각각 수지 골격에 따라 상이하지만, 일반적으로 2,000 내지 150,000인 것이 바람직하다. 이 범위이면, 무점착 성능이 양호하고, 노광 후의 도막의 내습성이 좋고, 현상 시에 막감소가 발생하기 어렵고, 해상도가 향상되고, 현상성이 양호하고, 저장 안정성이 좋아진다. 보다 바람직하게는 5,000 내지 100,000이다. 중량 평균 분자량은 겔 투과 크로마토그래피에 의해 측정할 수 있다.The weight average molecular weights of the carboxyl group-containing resin of (A1) and (A2) and the carboxyl group-containing resin of (A3) differ depending on the resin skeleton, but are preferably 2,000 to 150,000. Within this range, the non-sticking performance is good, the moisture resistance of the coated film after exposure is good, the film is hardly reduced at the time of development, the resolution is improved, the developing property is good, and the storage stability is improved. More preferably from 5,000 to 100,000. The weight average molecular weight can be measured by gel permeation chromatography.

상기 (A1) 및 (A2)의 카르복실기 함유 수지는 각각 1종을 단독으로 사용할 수도 있고, 2종 이상을 조합하여 사용할 수도 있다. 본 발명의 알칼리 현상형 감광성 수지 조성물은, 상기 (A1) 및 (A2)의 카르복실기 함유 수지를 고형분 환산으로 (A1):(A2)=1:9 내지 9:1의 비율로 포함하는 것이 바람직하고, 2.5:7.5 내지 7.5:2.5의 비율로 포함하는 것이 보다 바람직하다.Each of the carboxyl group-containing resins (A1) and (A2) may be used alone or in combination of two or more. The alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention preferably contains the carboxyl-containing resin (A1) and (A2) in a ratio of (A1) :( A2) = 1: 9 to 9: 1 in terms of solid content , And more preferably in a ratio of 2.5: 7.5 to 7.5: 2.5.

상기 (A3)의 카르복실기 함유 수지는 1종을 단독으로 사용할 수도 있고, 2종 이상을 조합하여 사용할 수도 있다. 상기 (A3)의 카르복실기 함유 수지는, 페놀계 골격과 크레졸 노볼락형 골격을 1:9 내지 9:1의 비율로 함유하는 것이 바람직하고, 2.5:7.5 내지 7.5:2.5의 비율로 함유하는 것이 보다 바람직하다.The carboxyl group-containing resin (A3) may be used singly or in combination of two or more kinds. The carboxyl group-containing resin (A3) preferably contains a phenol skeleton and a cresol novolak skeleton at a ratio of 1: 9 to 9: 1, more preferably at a ratio of 2.5: 7.5 to 7.5: 2.5 desirable.

또한, 본 발명의 알칼리 현상형 감광성 수지 조성물은, 본 발명의 효과를 손상시키지 않는 범위에서, 다른 카르복실기 함유 수지를 포함할 수도 있다.The alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention may contain other carboxyl group-containing resins as long as the effect of the present invention is not impaired.

[(B) 무기 충전물] [(B) Inorganic filler]

본 발명의 알칼리 현상형 감광성 수지 조성물은 (B) 무기 충전물로서, 구상 실리카를 함유한다. 본 발명에 있어서, 구상 실리카를 함유함으로써, 펀칭 내성이 향상되고, 나아가 현상성, 땜납 내열성, 지촉 건조성이라는 다른 특성도 우수하다는 예상조차 하지 못한 효과를 얻을 수 있다. 구상 실리카는, 전자 재료 용도의 충전제로서 사용 가능한 구상 실리카이면 어느 것이든 좋다. 구상 실리카의 평균 입경(D50)은 0.01 내지 5㎛이면 되고, 0.1 내지 5㎛인 것이 바람직하고, 0.1㎛ 초과 5㎛ 이하인 것이 보다 바람직하고, 0.1㎛ 초과 3㎛ 이하인 것이 더욱 바람직하다. 평균 입경은 레이저 회절법에 의해 측정된다. 구상 실리카는, 표면을 실란 커플링제로 처리한 것일 수도 있다.The alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention (B) contains spherical silica as an inorganic filler. In the present invention, by containing the spherical silica, the punching resistance is improved, and further, other characteristics such as developability, solder heat resistance, and touch dryness are not expected to be excellent. The spherical silica may be any spherical silica usable as a filler for electronic materials. The average particle diameter (D50) of the spherical silica may be 0.01 to 5 占 퐉, preferably 0.1 to 5 占 퐉, more preferably 0.1 占 퐉 to 5 占 퐉, and still more preferably 0.1 占 퐉 to 3 占 퐉. The average particle diameter is measured by laser diffraction. The spherical silica may be a surface treated with a silane coupling agent.

구상 실리카의 형상은 구상이면 되고, 진구인 것에 한정되는 것은 아니다. 적합한 구상 실리카로서 예를 들어 이하와 같이 측정되는 진구도가 0.8 이상인 것을 들 수 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. The shape of the spherical silica may be spherical, and is not limited to spherical silica. Suitable spherical silicas include, for example, those having a sphericity of not less than 0.8 as measured below, but are not limited thereto.

진구도는 이하와 같이 측정된다. SEM으로 사진을 찍고, 그의 관찰되는 입자의 면적과 주위 길이로부터 (진구도)={4π×(면적)÷(주위 길이)2}로 산출되는 값으로서 산출한다. 구체적으로는 화상 처리 장치를 사용하여 100개의 입자에 대하여 측정한 평균값을 채용한다.The sphericity is measured as follows. A photograph is taken with an SEM and is calculated as a value calculated from the area and the circumference of the observed particle (sphericity) = {4 pi x (area) / (circumferential length) 2 }. Specifically, an average value measured for 100 particles is adopted by using an image processing apparatus.

구상 실리카의 제조 방법은, 특별히 한정되는 것은 아니며, 당업자에게 알려진 방법을 적용할 수 있다. 예를 들어, VMC(기화 금속 연소: Vaporized Metal Combustion)법에 의해, 실리콘 분말을 연소하여 제조할 수 있다. VMC법이란, 산소를 포함하는 분위기 중에서 버너에 의해 화학염을 형성하고, 이 화학염 중에 목적으로 하는 산화물 입자의 일부를 구성하는 금속 분말을 분진운이 형성되는 정도의 양 투입하고, 폭연을 일으켜 산화물 입자를 얻는 방법이다.The method for producing spherical silica is not particularly limited, and a method known to those skilled in the art can be applied. For example, it can be produced by burning a silicon powder by VMC (Vaporized Metal Combustion) method. The VMC method is a method in which a chemical salt is formed by a burner in an atmosphere containing oxygen and a metal powder constituting a part of a target oxide particle is charged into the chemical salt to such an extent that dust cloud is formed, To obtain oxide particles.

시판되고 있는 구상 실리카로서는, 애드마테크사제 SO 시리즈(애드마파인 SO-E2, 애드마파인 SO-E5 등), 도아 고세사제 HPS 시리즈(HPS-0500, HPS-1000, HPS3500 등) 등을 들 수 있다.Examples of the commercially available spherical silica include SO series (Admapain SO-E2, Admapain SO-E5, etc.) manufactured by Admatech, HPS series HPS-0500, HPS-1000 and HPS3500 manufactured by Doago Corporation .

구상 실리카는 1종을 단독으로 사용할 수도 있고, 2종 이상을 조합하여 사용할 수도 있다. 구상 실리카의 배합량은, 고형분 환산으로, 상기 (A1) 및 (A2) 카르복실기 함유 수지의 총량 100질량부 또는 상기 (A3) 카르복실기 함유 수지 100질량부에 대하여 바람직하게는 30 내지 70질량부이며, 보다 바람직하게는 40 내지 60질량부이다. 30 내지 70질량부의 범위이면, 드라이 필름으로서 기재에 라미네이트할 때에 기재나 회로에 대한 매립이나 냉열 사이클 특성이 양호해진다. 또한, 본 발명의 알칼리 현상형 감광성 수지 조성물은, 본 발명의 효과를 손상시키지 않는 범위에서, 다른 무기 충전물을 포함하고 있을 수도 있다. 또한, 상기 배합량은, 상기 (A1) 내지 (A3) 카르복실기 함유 수지를 조합하여 함유하는 경우에는, 상기 (A1) 내지 (A3) 카르복실기 함유 수지의 총량 100질량부에 대한 배합량이며, 이후의 각 배합량에 대해서도 마찬가지로 한다.The spherical silica may be used singly or in combination of two or more kinds. The amount of the spherical silica to be blended is preferably 30 to 70 parts by mass relative to 100 parts by mass of the total amount of the carboxyl group-containing resins (A1) and (A2) in terms of solid content or 100 parts by mass of the resin (A3) Preferably 40 to 60 parts by mass. When the amount is in the range of from 30 to 70 parts by mass, when the substrate is laminated as a dry film, the embedding and cooling / heating cycle characteristics of the substrate and circuit are improved. The alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention may contain other inorganic fillers as long as the effect of the present invention is not impaired. When the carboxyl group-containing resins (A1) to (A3) are contained in combination, the blending amount is the blending amount based on 100 parts by mass of the total amount of the carboxyl group-containing resins (A1) to (A3) .

[(C) 열경화 성분] [(C) Thermal curing component]

본 발명의 알칼리 현상형 감광성 수지 조성물은 (C) 열경화 성분을 함유한다. (C) 열경화 성분은, 카르복실기 함유 수지와 반응하는 것이면 되고, 에폭시 화합물, 아미노기를 갖는 화합물, 옥세탄 화합물, 이소시아네이트 화합물 등을 들 수 있다. 그 중에서도, 에폭시 화합물이 바람직하다.The alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention contains (C) a thermosetting component. The thermosetting component (C) is not limited as long as it reacts with the carboxyl group-containing resin, and examples thereof include an epoxy compound, a compound having an amino group, an oxetane compound, and an isocyanate compound. Among them, an epoxy compound is preferable.

상기 에폭시 화합물로서는, 에폭시화 식물유; 비스페놀 A형 에폭시 수지; 히드로퀴논형 에폭시 수지, 비스페놀형 에폭시 수지, 티오에테르형 에폭시 수지; 브롬화 에폭시 수지; 노볼락형 에폭시 수지; 비페놀 노볼락형 에폭시 수지; 비스페놀 F형 에폭시 수지; 수소 첨가 비스페놀 A형 에폭시 수지; 글리시딜아민형 에폭시 수지; 히단토인형 에폭시 수지; 지환식 에폭시 수지; 트리히드록시페닐메탄형 에폭시 수지; 비크실레놀형 또는 비페놀형 에폭시 수지 또는 그들의 혼합물; 비스페놀 S형 에폭시 수지; 비스페놀 A 노볼락형 에폭시 수지; 테트라페닐올에탄형 에폭시 수지; 복소환식 에폭시 수지; 디글리시딜프탈레이트 수지; 테트라글리시딜크실레노일에탄 수지; 나프탈렌기 함유 에폭시 수지; 디시클로펜타디엔 골격을 갖는 에폭시 수지; 글리시딜메타크릴레이트 공중합계 에폭시 수지; 시클로헥실말레이미드와 글리시딜메타크릴레이트의 공중합 에폭시 수지; 에폭시 변성의 폴리부타디엔 고무 유도체, CTBN 변성 에폭시 수지 등을 들 수 있지만, 이들에 한정되는 것은 아니다. 반응성의 관점에서, 2관능 이상의 에폭시 화합물이 바람직하다. 그 중에서도, 테트라메틸비스페놀 F형 에폭시 화합물, 비스페놀 A 노볼락형 에폭시 화합물, 비페놀 노볼락형 에폭시 화합물이 보다 바람직하다.Examples of the epoxy compound include epoxidized vegetable oil; Bisphenol A type epoxy resin; Hydroquinone type epoxy resins, bisphenol type epoxy resins, and thioether type epoxy resins; Brominated epoxy resin; Novolak type epoxy resins; Biphenol novolak type epoxy resins; Bisphenol F type epoxy resin; Hydrogenated bisphenol A type epoxy resin; Glycidylamine type epoxy resins; Hidanto dolphin epoxy resin; Alicyclic epoxy resins; Trihydroxyphenylmethane type epoxy resin; Biscylenol type or biphenol type epoxy resins or mixtures thereof; Bisphenol S type epoxy resin; Bisphenol A novolak type epoxy resin; Tetraphenylol ethane type epoxy resin; Heterocyclic epoxy resins; Diglycidyl phthalate resin; Tetraglycidylsilanoy ethane resin; A naphthalene group-containing epoxy resin; An epoxy resin having a dicyclopentadiene skeleton; Glycidyl methacrylate copolymer epoxy resin; A copolymerized epoxy resin of cyclohexylmaleimide and glycidyl methacrylate; Epoxy-modified polybutadiene rubber derivatives, CTBN-modified epoxy resins, and the like, but are not limited thereto. From the viewpoint of reactivity, an epoxy compound having two or more functional groups is preferable. Among them, tetramethyl bisphenol F type epoxy compounds, bisphenol A novolak type epoxy compounds and biphenol novolak type epoxy compounds are more preferable.

상기 에폭시 화합물의 배합량은, 고형분 환산으로, 상기 (A1) 및 (A2) 카르복실기 함유 수지의 총량 100질량부 또는 상기 (A3) 카르복실기 함유 수지 100질량부에 대하여 1 내지 100질량부가 바람직하다. 이 범위이면, 경화성이 향상되고, 땜납 내열성과 같은 일반적인 여러 특성이 양호해지기 때문이다. 또한, 충분한 강인성이 얻어지고, 보존 안정성도 저하되지 않기 때문이다. 보다 바람직하게는 2 내지 70질량부이다.The compounding amount of the epoxy compound is preferably 1 to 100 parts by mass relative to 100 parts by mass of the total amount of the carboxyl group-containing resins (A1) and (A2) or 100 parts by mass of the carboxyl group-containing resin (A3) in terms of solid content. Within this range, the curability is improved and various general characteristics such as solder heat resistance are improved. Further, sufficient toughness is obtained, and storage stability is not lowered. More preferably 2 to 70 parts by mass.

상기 아미노기를 갖는 화합물로서는, 멜라민 유도체, 벤조구아나민 유도체 등의 아미노 수지 등을 들 수 있다. 예를 들어 메틸올멜라민 화합물, 메틸올벤조구아나민 화합물, 메틸올글리콜우릴 화합물 및 메틸올요소 화합물 등이 있다. 또한, 알콕시메틸화 멜라민 화합물, 알콕시메틸화 벤조구아나민 화합물, 알콕시메틸화 글리콜우릴 화합물 및 알콕시메틸화 요소 화합물은, 각각의 메틸올멜라민 화합물, 메틸올벤조구아나민 화합물, 메틸올글리콜우릴 화합물 및 메틸올요소 화합물의 메틸올기를 알콕시메틸기로 변환함으로써 얻어진다. 이 알콕시메틸기의 종류에 대해서는 특별히 한정되는 것은 아니며, 예를 들어 메톡시메틸기, 에톡시메틸기, 프로폭시메틸기, 부톡시메틸기 등으로 할 수 있다. 특히 인체나 환경에 친화적인 포르말린 농도가 0.2% 이하인 멜라민 유도체가 바람직하다.Examples of the compound having an amino group include amino resins such as melamine derivatives and benzoguanamine derivatives. For example, methylolmelamine compounds, methylolbenzoguanamine compounds, methylol glycol uril compounds, and methylol urea compounds. The alkoxymethylated melamine compound, the alkoxymethylated benzoguanamine compound, the alkoxymethylated glycoluril compound, and the alkoxymethylated urea compound may be prepared by reacting the respective methylolmelamine compound, methylolbenzoguanamine compound, methylolglycoluril compound, and methylol urea compound Is converted into an alkoxymethyl group. The kind of the alkoxymethyl group is not particularly limited, and examples thereof include a methoxymethyl group, an ethoxymethyl group, a propoxymethyl group, and a butoxymethyl group. Particularly, a melamine derivative having a formalin concentration of 0.2% or less which is friendly to human body and environment is preferable.

상기 옥세탄 화합물로서는, 비스[(3-메틸-3-옥세타닐메톡시)메틸]에테르, 비스[(3-에틸-3-옥세타닐메톡시)메틸]에테르, 1,4-비스[(3-메틸-3-옥세타닐메톡시)메틸]벤젠, 1,4-비스[(3-에틸-3-옥세타닐메톡시)메틸]벤젠, (3-메틸-3-옥세타닐)메틸아크릴레이트, (3-에틸-3-옥세타닐)메틸아크릴레이트, (3-메틸-3-옥세타닐)메틸메타크릴레이트, (3-에틸-3-옥세타닐)메틸메타크릴레이트나 그들의 올리고머 또는 공중합체 등의 다관능 옥세탄류 외에, 옥세탄알코올과 노볼락 수지, 폴리(p-히드록시스티렌), 카르도형 비스페놀류, 칼릭스아렌류, 칼릭스레조르신아렌류 또는 실세스퀴옥산 등의 수산기를 갖는 수지와의 에테르화물 등을 들 수 있다. 그 이외에, 옥세탄환을 갖는 불포화 단량체와 알킬(메트)아크릴레이트와의 공중합체 등도 들 수 있다.Examples of the oxetane compound include bis [(3-methyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] ether, bis [ Methyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] benzene, 1,4-bis [(3-ethyl-3-oxetanylmethoxy) (3-ethyl-3-oxetanyl) methyl methacrylate, (3-methyl-3-oxetanyl) methyl methacrylate, Or polyfunctional oxetanes such as polytetrafluoroethylene, polytetrafluoroethylene, polytetrafluoroethylene, polytetrafluoroethylene, polytetrafluoroethylene, polytetrafluoroethylene, polytetrafluoroethylene, polytetrafluoroethylene, , And the like, and the like. In addition to these, a copolymer of an unsaturated monomer having an oxetane ring and an alkyl (meth) acrylate may also be used.

상기 이소시아네이트 화합물로서는, 분자 중에 복수의 이소시아네이트기를 갖는 폴리이소시아네이트 화합물을 사용할 수 있다. 폴리이소시아네이트 화합물로서는, 예를 들어 방향족 폴리이소시아네이트, 지방족 폴리이소시아네이트 또는 지환식 폴리이소시아네이트가 사용된다. 방향족 폴리이소시아네이트의 구체예로서는, 4,4'-디페닐메탄디이소시아네이트, 2,4-톨릴렌디이소시아네이트, 2,6-톨릴렌디이소시아네이트, 나프탈렌-1,5-디이소시아네이트, o-크실렌디이소시아네이트, m-크실렌디이소시아네이트 및 2,4-톨릴렌디이소시아네이트 이량체를 들 수 있다. 지방족 폴리이소시아네이트의 구체예로서는, 테트라메틸렌디이소시아네이트, 헥사메틸렌디이소시아네이트, 메틸렌디이소시아네이트, 트리메틸헥사메틸렌디이소시아네이트, 4,4-메틸렌비스(시클로헥실이소시아네이트) 및 이소포론디이소시아네이트를 들 수 있다. 지환식 폴리이소시아네이트의 구체예로서는 비시클로헵탄트리이소시아네이트를 들 수 있고, 상기에 예시한 이소시아네이트 화합물의 어덕트체, 뷰렛체 및 이소시아누레이트체를 들 수 있다. 상기 이소시아네이트 화합물은, 이소시아네이트기가 블록제에 의해 보호되어 일시적으로 불활성화된 블록 이소시아네이트 화합물일 수도 있다.As the isocyanate compound, a polyisocyanate compound having a plurality of isocyanate groups in the molecule can be used. As the polyisocyanate compound, for example, aromatic polyisocyanate, aliphatic polyisocyanate or alicyclic polyisocyanate is used. Specific examples of the aromatic polyisocyanate include 4,4'-diphenylmethane diisocyanate, 2,4-tolylene diisocyanate, 2,6-tolylene diisocyanate, naphthalene-1,5-diisocyanate, o-xylene diisocyanate, m -Xylene diisocyanate and 2,4-tolylene diisocyanate dimer. Specific examples of the aliphatic polyisocyanate include tetramethylene diisocyanate, hexamethylene diisocyanate, methylene diisocyanate, trimethylhexamethylene diisocyanate, 4,4-methylene bis (cyclohexyl isocyanate) and isophorone diisocyanate. Specific examples of the alicyclic polyisocyanate include bicycloheptane triisocyanate, and adducts, burettes and isocyanurates of the isocyanate compounds exemplified above. The isocyanate compound may be a block isocyanate compound in which the isocyanate group is protected by a blocking agent to temporarily inactivate it.

(C) 열경화 성분은, 상기 이외의 화합물일 수도 있고, 말레이미드 화합물, 벤조옥사진 수지, 카르보디이미드 수지, 시클로카르보네이트 화합물, 에피술피드 수지 등의 공지 관용의 열경화 성분을 사용할 수 있다. (C) 열경화 성분은 1종을 단독으로 사용할 수도 있고, 2종 이상을 조합하여 사용할 수도 있다.(C) The thermosetting component may be a compound other than the above, and may be a known thermosetting component such as a maleimide compound, a benzoxazine resin, a carbodiimide resin, a cyclocarbonate compound, or an episulfide resin. . The thermosetting component (C) may be used alone or in combination of two or more.

[(D) 광중합 개시제] [(D) Photopolymerization initiator]

본 발명의 알칼리 현상형 감광성 수지 조성물은 (D) 광중합 개시제를 함유한다. (D) 광중합 개시제는, 특별히 한정되지 않고 공지 관용의 광중합 개시제를 사용할 수 있다. 예를 들어, 벤조인, 벤질, 벤조인메틸에테르, 벤조인에틸에테르, 벤조인 n-프로필에테르, 벤조인이소프로필에테르, 벤조인 n-부틸에테르 등의 벤조인류; 벤조인알킬에테르류; 벤조페논, p-메틸벤조페논, 미힐러케톤, 메틸벤조페논, 4,4'-디클로로벤조페논, 4,4'-비스디에틸아미노벤조페논 등의 벤조페논류; 아세토페논, 2,2-디메톡시-2-페닐아세토페논, 2,2-디에톡시-2-페닐아세토페논, 1,1-디클로로아세토페논, 1-히드록시시클로헥실페닐케톤, 2-메틸-1-[4-(메틸티오)페닐]-2-모르폴리노-1-프로파논, 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논-1, N,N-디메틸아미노아세토페논 등의 아세토페논류; 티오크산톤, 2-에틸티오크산톤, 2-이소프로필티오크산톤, 2,4-디메틸티오크산톤, 2,4-디에틸티오크산톤, 2-클로로티오크산톤, 2,4-디이소프로필티오크산톤 등의 티오크산톤류; 안트라퀴논, 클로로안트라퀴논, 2-메틸안트라퀴논, 2-에틸안트라퀴논, 2-tert-부틸안트라퀴논, 1-클로로안트라퀴논, 2-아밀안트라퀴논, 2-아미노안트라퀴논 등의 안트라퀴논류; 아세토페논디메틸케탈, 벤질디메틸케탈 등의 케탈류; 에틸-4-디메틸아미노벤조에이트, 2-(디메틸아미노)에틸벤조에이트, p-디메틸벤조산에틸에스테르 등의 벤조산에스테르류; 1.2-옥탄디온,1-[4-(페닐티오)-,2-(O-벤조일옥심)], 에타논,1-[9-에틸-6-(2-메틸벤조일)-9H-카르바졸-3-일]-,1-(O-아세틸옥심) 등의 옥심에스테르류; 비스(η5-2,4-시클로펜타디엔-1-일)-비스(2,6-디플루오로-3-(1H-피롤-1-일)페닐)티타늄, 비스(시클로펜타디에닐)-비스[2,6-디플루오로-3-(2-(1-필-1-일)에틸)페닐]티타늄 등의 티타노센류; 2,4,6-트리메틸벤조일디페닐포스핀옥사이드, 비스(2,4,6-트리메틸벤조일)-페닐포스핀옥사이드 등의 아실포스핀옥사이드류; 페닐디술피드, 2-니트로플루오렌, 부틸로인, 아니소인에틸에테르, 아조비스이소부티로니트릴, 테트라메틸티우람디술피드 등을 들 수 있다. 이들 광중합 개시제는 1종을 단독으로 사용할 수도 있고, 2종 이상을 조합하여 사용할 수도 있다.The alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention contains (D) a photopolymerization initiator. The photopolymerization initiator (D) is not particularly limited, and a known photopolymerization initiator can be used. For example, benzoin such as benzoin, benzyl, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin n-propyl ether, benzoin isopropyl ether and benzoin n-butyl ether; Benzoin alkyl ethers; Benzophenones such as benzophenone, p-methylbenzophenone, Michler's ketone, methylbenzophenone, 4,4'-dichlorobenzophenone, and 4,4'-bisdiethylaminobenzophenone; Acetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2,2-diethoxy-2-phenylacetophenone, 1,1-dichloroacetophenone, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, N, N-dimethylaniline, N, N-diethylamino-1- (4- Acetophenones such as N-dimethylaminoacetophenone; Thioxanthone, 2-ethylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2,4-di Thioxanthones such as isopropylthioxanthone; Anthraquinones such as anthraquinone, chloroanthraquinone, 2-methyl anthraquinone, 2-ethyl anthraquinone, 2-tert-butyl anthraquinone, 1-chloro anthraquinone, 2-amylanthraquinone and 2-aminoanthraquinone; Ketal such as acetophenone dimethyl ketal and benzyl dimethyl ketal; Benzoic acid esters such as ethyl-4-dimethylaminobenzoate, 2- (dimethylamino) ethylbenzoate and p-dimethylbenzoic acid ethyl ester; (9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-2-yl) Oxime esters such as 3-yl] -, 1- (O-acetyloxime); Bis (η 5 -2,4- cyclopentadiene-1-yl) -bis (2,6-difluoro -3- (1H- pyrrol-1-yl) phenyl) titanium, bis (cyclopentadienyl) Titanocenes such as bis [2,6-difluoro-3- (2- (1-phenyl-1-yl) ethyl) phenyl] titanium; Acylphosphine oxides such as 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide and bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide; Phenyl disulfide, 2-nitrofluorene, butyloline, anisooin ethyl ether, azobisisobutyronitrile, tetramethylthiuram disulfide, and the like. These photopolymerization initiators may be used singly or in combination of two or more.

노광시의 광에 대한 감도를 향상시킬 수 있기 때문에, 티오크산톤류(이하, 「티오크산톤계 광중합 개시제」라고도 칭함)를 다른 광중합 개시제와 병용하는 것이 바람직하다. 티오크산톤계 광중합 개시제로서는, 상기한 것 중에서도 2,4-디에틸티오크산톤을 사용하는 것이 보다 바람직하다. 티오크산톤계 광중합 개시제의 배합량은, 고형분 환산으로, 상기 (A1) 및 (A2) 카르복실기 함유 수지의 총량 100질량부 또는 상기 (A3) 카르복실기 함유 수지 100질량부에 대하여 바람직하게는 0.05 내지 2질량부, 보다 바람직하게는 0.1 내지 1질량부이다. 0.05 내지 2질량부의 범위이면, 감도 향상의 효과가 크며 그 결과 언더컷을 억제하기 쉬워지고, 또한 아웃 가스가 발생하기 어려워지기 때문이다.It is preferable to use thioacetic acid (hereinafter also referred to as " thioxanthone photopolymerization initiator ") in combination with other photopolymerization initiators since the sensitivity to light during exposure can be improved. As the thioxanthene photopolymerization initiator, 2,4-diethylthioxanthone is more preferably used. The blending amount of the thioxanthene photopolymerization initiator is preferably 0.05 to 2 mass parts per 100 mass parts of the above-mentioned (A3) carboxyl group-containing resin in terms of solid content in a total amount of 100 mass parts of the above-mentioned (A1) More preferably 0.1 to 1 part by mass. When the amount is in the range of 0.05 to 2 parts by mass, the effect of improving the sensitivity is large, and as a result, the undercut can be easily suppressed and out gas is hardly generated.

옥심에스테르계 광중합 개시제를 사용하는 경우의 배합량은, 고형분 환산으로, 상기 (A1) 및 (A2) 카르복실기 함유 수지의 총량 100질량부 또는 상기 (A3) 카르복실기 함유 수지 100질량부에 대하여 0.01 내지 5질량부로 하는 것이 바람직하다. 이 범위이면, 구리 상에서의 광경화성이 충분하고, 도막의 경화성이 양호해지고, 내약품성 등의 도막 특성이 향상되고, 심부 경화성도 향상되기 때문이다. 보다 바람직하게는, 상기 (A1) 및 (A2) 카르복실기 함유 수지의 총량 100질량부 또는 상기 (A3) 카르복실기 함유 수지 100질량부에 대하여 0.5 내지 3질량부이다.When the oxime ester-based photopolymerization initiator is used, the blending amount of the total amount of the carboxyl group-containing resins (A1) and (A2) in terms of solid content is preferably from 0.01 to 5 mass parts per 100 mass parts of the resin containing the carboxyl group It is preferable to make the portion. In this range, the photocurability on copper is sufficient, the curability of the coating film is improved, the coating film characteristics such as chemical resistance are improved, and the curability of the bottom portion is also improved. More preferably, the total amount of the carboxyl group-containing resins (A1) and (A2) is 100 parts by mass or 0.5 to 3 parts by mass based on 100 parts by mass of the carboxyl group-containing resin (A3).

또한, 티오크산톤계 광중합 개시제 및 옥심에스테르계 광중합 개시제 이외의 광중합 개시제를 사용하는 경우의 배합량은, 고형분 환산으로, 상기 (A1) 및 (A2) 카르복실기 함유 수지의 총량 100질량부 또는 상기 (A3) 카르복실기 함유 수지 100질량부에 대하여 0.01 내지 20질량부인 것이 바람직하다. 이 범위이면, 구리 상에서의 광경화성이 충분하고, 도막의 경화성이 양호해지고, 내약품성 등의 도막 특성이 향상되고, 심부 경화성도 향상되기 때문이다. 보다 바람직하게는, 상기 (A1) 및 (A2) 카르복실기 함유 수지의 총량 100질량부 또는 상기 (A3) 카르복실기 함유 수지 100질량부에 대하여 0.5 내지 15질량부이다.When a photopolymerization initiator other than the thioxanthone-based photopolymerization initiator and the oxime ester-based photopolymerization initiator is used, the total amount of the above-mentioned (A1) and (A2) carboxyl group-containing resins in terms of solid content or 100% ) Is preferably 0.01 to 20 parts by mass based on 100 parts by mass of the carboxyl group-containing resin. In this range, the photocurability on copper is sufficient, the curability of the coating film is improved, the coating film characteristics such as chemical resistance are improved, and the curability of the bottom portion is also improved. More preferably, the total amount of the carboxyl group-containing resins (A1) and (A2) is from 0.5 to 15 parts by mass based on 100 parts by mass of the resin (A3) or 100 parts by mass of the resin containing the carboxyl group.

(광반응성 단량체) (Photoreactive monomer)

본 발명의 알칼리 현상형 감광성 수지 조성물은, 공지 관용의 광반응성 단량체를 포함할 수도 있다. 광반응성 단량체는, 분자 중에 1개 이상의 에틸렌성 불포화기를 갖는 화합물이다. 광반응성 단량체는, 활성 에너지선 조사에 의한 카르복실기 함유 수지의 광경화를 돕는 것이다.The alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention may contain a photoreactive monomer for publicly known generations. The photoreactive monomer is a compound having at least one ethylenic unsaturated group in the molecule. The photoreactive monomer is to assist in the photocuring of the carboxyl group-containing resin by irradiation with active energy rays.

상기 광반응성 단량체로서 사용되는 화합물로서는, 예를 들어 공지 관용의 폴리에스테르(메트)아크릴레이트, 폴리에테르(메트)아크릴레이트, 우레탄(메트)아크릴레이트, 카르보네이트(메트)아크릴레이트, 에폭시(메트)아크릴레이트 등을 들 수 있다. 구체적으로는, 2-히드록시에틸아크릴레이트, 2-히드록시프로필아크릴레이트 등의 히드록시알킬아크릴레이트류; 에틸렌글리콜, 메톡시테트라에틸렌글리콜, 폴리에틸렌글리콜, 프로필렌글리콜 등의 글리콜의 디아크릴레이트류; N,N-디메틸아크릴아미드, N-메틸올아크릴아미드, N,N-디메틸아미노프로필아크릴아미드 등의 아크릴아미드류; N,N-디메틸아미노에틸아크릴레이트, N,N-디메틸아미노프로필아크릴레이트 등의 아미노알킬아크릴레이트류; 헥산디올, 트리메틸올프로판, 펜타에리트리톨, 디펜타에리트리톨, 트리스-히드록시에틸이소시아누레이트 등의 다가 알코올 또는 이들의 에틸렌옥사이드 부가물, 프로필렌옥사이드 부가물, 또는 ε-카프로락톤 부가물 등의 다가 아크릴레이트류; 페녹시아크릴레이트, 비스페놀 A 디아크릴레이트 및 이들 페놀류의 에틸렌옥사이드 부가물 또는 프로필렌옥사이드 부가물 등의 다가 아크릴레이트류; 글리세린디글리시딜에테르, 글리세린트리글리시딜에테르, 트리메틸올프로판트리글리시딜에테르, 트리글리시딜이소시아누레이트 등의 글리시딜에테르의 다가 아크릴레이트류; 상기에 한하지 않고, 폴리에테르폴리올, 폴리카르보네이트디올, 수산기 말단 폴리부타디엔, 폴리에스테르폴리올 등의 폴리올을 직접 아크릴레이트화, 또는 디이소시아네이트를 통하여 우레탄아크릴레이트화한 아크릴레이트류 및 멜라민아크릴레이트, 및 상기 아크릴레이트에 대응하는 각 메타크릴레이트류 등을 들 수 있다.As the compound used as the photoreactive monomer, for example, known compounds such as polyester (meth) acrylate, polyether (meth) acrylate, urethane (meth) acrylate, carbonate (meth) Methacrylate, and the like. Specific examples thereof include hydroxyalkyl acrylates such as 2-hydroxyethyl acrylate and 2-hydroxypropyl acrylate; Diacrylates of glycols such as ethylene glycol, methoxytetraethylene glycol, polyethylene glycol and propylene glycol; Acrylamides such as N, N-dimethyl acrylamide, N-methylol acrylamide and N, N-dimethylaminopropylacrylamide; Aminoalkyl acrylates such as N, N-dimethylaminoethyl acrylate and N, N-dimethylaminopropyl acrylate; Polyhydric alcohols such as hexanediol, trimethylol propane, pentaerythritol, dipentaerythritol and tris-hydroxyethylisocyanurate, or ethylene oxide adducts thereof, propylene oxide adducts, or? -Caprolactone adducts Polyhydric acrylates; Polyfunctional acrylates such as phenoxy acrylate, bisphenol A diacrylate and ethylene oxide adducts or propylene oxide adducts of these phenols; Polyhydric acrylates of glycidyl ethers such as glycerin diglycidyl ether, glycerin triglycidyl ether, trimethylol propane triglycidyl ether and triglycidyl isocyanurate; The present invention is not limited thereto. Examples of the polyol such as polyether polyol, polycarbonate diol, hydroxyl-terminated polybutadiene, and polyester polyol may be directly acrylated or urethane acrylated through diisocyanate and melamine acrylate , And the respective methacrylates corresponding to the acrylate.

또한, 크레졸 노볼락형 에폭시 수지 등의 다관능 에폭시 수지에 아크릴산을 반응시킨 에폭시아크릴레이트 수지나, 그 에폭시아크릴레이트 수지의 수산기에, 펜타에리트리톨트리아크릴레이트 등의 히드록시아크릴레이트와 이소포론디이소시아네이트 등의 디이소시아네이트의 하프 우레탄 화합물을 더 반응시킨 에폭시우레탄아크릴레이트 화합물 등을 광반응성 단량체로서 사용할 수도 있다. 이러한 에폭시아크릴레이트계 수지는 지촉 건조성을 저하시키지 않고, 광경화성을 향상시킬 수 있다.In addition, an epoxy acrylate resin obtained by reacting a polyfunctional epoxy resin such as cresol novolak type epoxy resin with acrylic acid, or an epoxy acrylate resin obtained by reacting a hydroxy acrylate such as pentaerythritol triacrylate with an isophorone di An epoxy urethane acrylate compound in which a half urethane compound of a diisocyanate such as isocyanate is further reacted may be used as a photoreactive monomer. Such an epoxy acrylate resin can improve photo-curability without deteriorating the touch-dry composition.

광반응성 단량체의 배합량은, 고형분 환산으로, 상기 (A1) 및 (A2) 카르복실기 함유 수지의 총량 100질량부 또는 상기 (A3) 카르복실기 함유 수지 100질량부에 대하여 5 내지 100질량부인 것이 바람직하다. 이 범위이면, 광경화성이 향상되고, 활성 에너지선 조사 후의 알칼리 현상에 의해 패턴 형성이 용이해지고, 도막 강도가 향상되기 때문이다. 보다 바람직하게는 5 내지 70질량부이다.The blending amount of the photoreactive monomer is preferably 5 to 100 parts by mass based on 100 parts by mass of the total amount of the carboxyl group-containing resins (A1) and (A2) or 100 parts by mass of the (A3) carboxyl group-containing resin in terms of solid content. In this range, photo-curability is improved, pattern formation is facilitated by the alkali development after irradiation with active energy rays, and the strength of the coating film is improved. More preferably 5 to 70 parts by mass.

(용제) (solvent)

본 발명의 알칼리 현상형 감광성 수지 조성물은, 조성물의 점도를 조정하기 위해서나 기판이나 캐리어 필름에 도포하기 위한 점도 조정을 위하여, 공지 관용의 유기 용제를 포함할 수도 있다. 예를 들어, 톨루엔, 크실렌, 아세트산에틸, 아세트산부틸, 메탄올, 에탄올, 이소프로필알코올, 이소부틸알코올, 1-부탄올, 디아세톤알코올, 에틸렌글리콜모노부틸에테르, 프로필렌글리콜모노에틸에테르, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 테르피네올, 메틸에틸케톤, 카르비톨, 카르비톨아세테이트, 부틸카르비톨, 부틸카르비톨아세테이트 등을 들 수 있다. 용제는 1종을 단독으로 사용할 수도 있고, 2종 이상을 조합하여 사용할 수도 있다.The alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention may contain an organic solvent for publicly known purposes to adjust the viscosity of the composition or to adjust viscosity for application to a substrate or a carrier film. Examples of the solvent include toluene, xylene, ethyl acetate, butyl acetate, methanol, ethanol, isopropyl alcohol, isobutyl alcohol, 1-butanol, diacetone alcohol, ethylene glycol monobutyl ether, propylene glycol monoethyl ether, Ether acetate, terpineol, methyl ethyl ketone, carbitol, carbitol acetate, butyl carbitol, butyl carbitol acetate and the like. The solvent may be used alone, or two or more solvents may be used in combination.

(기타 임의 성분) (Other optional components)

본 발명의 알칼리 현상형 감광성 수지 조성물에는, 전자 재료의 분야에 있어서 공지 관용의 첨가제를 배합할 수도 있다. 첨가제로서는 열경화 촉매, 열중합 금지제, 자외선 흡수제, 실란 커플링제, 가소제, 난연제, 대전 방지제, 노화 방지제, 항균·방미제, 소포제, 레벨링제, 상기 이외의 충전제, 증점제, 밀착성 부여제, 틱소트로픽성 부여제, 착색제, 광개시 보조제, 증감제 등을 들 수 있다.The alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention may contain known additives in the field of electronic materials. Examples of additives include thermosetting catalysts, thermal polymerization inhibitors, ultraviolet absorbers, silane coupling agents, plasticizers, flame retardants, antistatic agents, antioxidants, antibacterial and antifungal agents, antifoaming agents, leveling agents, fillers other than the above, thickeners, A tropic imparting agent, a coloring agent, a photoinitiator, and a sensitizer.

본 발명의 알칼리 현상형 감광성 수지 조성물은, 캐리어 필름(지지체)과, 해당 캐리어 필름 상에 형성된 상기 알칼리 현상형 감광성 수지 조성물을 포함하는 층을 구비한 드라이 필름의 형태로 할 수도 있다.The alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention may be in the form of a dry film comprising a carrier film (support) and a layer containing the alkali-developable photosensitive resin composition formed on the carrier film.

드라이 필름화시에는, 본 발명의 알칼리 현상형 감광성 수지 조성물을 상기 유기 용제로 희석하여 적절한 점도로 조정하고, 콤마 코터, 블레이드 코터, 립 코터, 로드 코터, 스퀴즈 코터, 리버스 코터, 트랜스퍼 롤 코터, 그라비아 코터, 스프레이 코터 등으로 캐리어 필름 상에 균일한 두께로 도포하고, 통상 50 내지 130℃의 온도에서 1 내지 30분간 건조하여 막을 얻을 수 있다. 도포막 두께에 대해서는 특별히 제한은 없지만, 일반적으로 건조 후의 막 두께로 10 내지 150㎛, 바람직하게는 20 내지 60㎛의 범위에서 적절히 선택된다.In the case of dry film formation, the alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention is diluted with the above-mentioned organic solvent, adjusted to an appropriate viscosity, and then applied in a comma coater, blade coater, lip coater, rod coater, squeeze coater, reverse coater, A gravure coater, a spray coater or the like to a uniform thickness on a carrier film and dried at a temperature of usually 50 to 130 ° C for 1 to 30 minutes to obtain a film. The thickness of the coating film is not particularly limited, but is generally appropriately selected in the range of 10 to 150 占 퐉, preferably 20 to 60 占 퐉 in the film thickness after drying.

캐리어 필름으로서는, 플라스틱 필름이 사용되고, 폴리에틸렌테레프탈레이트 등의 폴리에스테르 필름, 폴리이미드 필름, 폴리아미드이미드 필름, 폴리프로필렌 필름, 폴리스티렌 필름 등의 플라스틱 필름을 사용하는 것이 바람직하다. 캐리어 필름의 두께에 대해서는 특별히 제한은 없지만, 일반적으로 10 내지 150㎛의 범위에서 적절히 선택된다.As the carrier film, a plastic film is used, and it is preferable to use a plastic film such as a polyester film such as polyethylene terephthalate, a polyimide film, a polyamideimide film, a polypropylene film, and a polystyrene film. The thickness of the carrier film is not particularly limited, but is generally appropriately selected in the range of 10 to 150 mu m.

캐리어 필름 상에 본 발명의 알칼리 현상형 감광성 수지 조성물을 성막한 후, 막의 표면에 먼지가 부착되는 것을 방지하는 등의 목적으로 막의 표면에 박리 가능한 커버 필름을 더 적층하는 것이 바람직하다.It is preferable to further laminate a peelable cover film on the surface of the film for the purpose of preventing dust from adhering to the surface of the film after forming the alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention on the carrier film.

박리 가능한 커버 필름으로서는, 예를 들어 폴리에틸렌 필름, 폴리테트라플루오로에틸렌 필름, 폴리프로필렌 필름, 표면 처리한 종이 등을 사용할 수 있고, 커버 필름을 박리할 때에 막과 캐리어 필름과의 접착력보다도 막과 커버 필름과의 접착력이 더 작은 것이면 된다.As the peelable cover film, for example, a polyethylene film, a polytetrafluoroethylene film, a polypropylene film, a surface-treated paper, or the like can be used. When the cover film is peeled off, The adhesive force to the film may be smaller.

본 발명의 알칼리 현상형 감광성 수지 조성물은, 예를 들어 상기 유기 용제로 도포 방법에 적합한 점도로 조정하고, 기재 상에 딥 코팅법, 플로우 코팅법, 롤 코팅법, 바 코터법, 스크린 인쇄법, 커튼 코팅법 등의 방법에 의해 도포하고, 약 60 내지 100℃의 온도에서 조성물 중에 포함되는 유기 용제를 휘발 건조(가건조)시킴으로써, 무점착성의 도막을 형성할 수 있다. 또한, 상기 조성물을 캐리어 필름 상에 도포하고, 건조시켜 필름으로서 권취한 드라이 필름의 경우, 라미네이터 등에 의해 알칼리 현상형 감광성 수지 조성물층이 기재와 접촉하도록 기재 상에 접합한 후, 캐리어 필름을 박리함으로써 수지 절연층을 형성할 수 있다.The alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention can be prepared, for example, by adjusting the viscosity with a suitable viscosity for the coating method with the above-mentioned organic solvent, and applying the coating solution onto the substrate by a dip coating method, a flow coating method, a roll coating method, a bar coater method, Curtain coating method and the like, and then the organic solvent contained in the composition is volatilized and dried (dried) at a temperature of about 60 to 100 DEG C, whereby a non-stick coating film can be formed. Further, in the case of a dry film obtained by applying the above composition onto a carrier film and drying the same, the alkali developing type photosensitive resin composition layer is bonded to the base material by a laminator or the like so as to be in contact with the base material, A resin insulating layer can be formed.

상기 기재로서는, 미리 회로 형성된 프린트 배선판이나 플렉시블 프린트 배선판 이외에, 종이 페놀, 종이 에폭시, 유리천 에폭시, 유리 폴리이미드, 유리천/부직포 에폭시, 유리천/종이 에폭시, 합성 섬유 에폭시, 불소·폴리에틸렌·폴리페닐렌에테르, 폴리페닐렌옥시드·시아네이트에스테르 등을 사용한 고주파 회로용 동장 적층판 등의 재질을 사용한 것이며, 모든 등급(FR-4 등)의 동장 적층판, 기타 폴리이미드 필름, PET 필름, 유리 기판, 세라믹 기판, 웨이퍼판 등을 들 수 있다.In addition to the printed wiring boards and flexible printed wiring boards previously formed in the circuit, the above substrate may be formed of a resin such as paper phenol, paper epoxy, glass cloth epoxy, glass polyimide, glass cloth / nonwoven epoxy, glass cloth / paper epoxy, synthetic fiber epoxy, fluorine, (FR-4, etc.), other polyimide films, PET films, glass substrates, glass substrates, and the like. A ceramic substrate, a wafer plate, and the like.

본 발명의 알칼리 현상형 감광성 수지 조성물을 도포한 후에 행하는 휘발 건조는, 열풍 순환식 건조로, IR로, 핫 플레이트, 컨백션 오븐 등(증기에 의한 공기 가열 방식의 열원을 구비한 것을 사용하여 건조기 내의 열풍을 향류 접촉시키는 방법 및 노즐로부터 지지체에 분사하는 방식)을 사용하여 행할 수 있다.The volatile drying after application of the alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention can be carried out by a hot-air circulating drying furnace, a hot plate, a convection oven or the like (a dryer equipped with a heat source of air- A method in which hot air in the nozzle is countercurrently contacted, and a method in which hot air in the nozzle is jetted onto the support).

본 발명의 알칼리 현상형 감광성 수지 조성물은, 예를 들어 약 140 내지 180℃의 온도에서 가열하여 열경화시킴으로써, 상기 (A1) 및 (A2)의 카르복실기 함유 수지 또는 상기 (A3)의 카르복실기 함유 수지의 카르복실기와 (C) 열경화 성분이 반응하여, 내열성, 내약품성, 내흡습성, 밀착성, 전기 특성 등의 여러 특성이 우수한 경화 도막을 형성할 수 있다.The alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention can be obtained by heating at a temperature of, for example, about 140 to 180 占 폚 to thermally cure the resin of the carboxyl group-containing resin of (A1) or (A2) The carboxyl group and the thermosetting component (C) react with each other to form a cured coating film excellent in various properties such as heat resistance, chemical resistance, hygroscopicity, adhesion, electrical characteristics and the like.

본 발명의 알칼리 현상형 감광성 수지 조성물을 도포하고, 용제를 휘발 건조한 후에 얻어진 도막에 대하여 노광(활성 에너지선의 조사)을 행함으로써, 노광부(활성 에너지선에 의해 조사된 부분)가 경화된다. 또한, 접촉식(또는 비접촉 방식)에 의해, 패턴을 형성한 포토마스크를 통하여 선택적으로 활성 에너지선에 의해 노광 또는 레이저 다이렉트 노광기에 의해 직접 패턴 노광하고, 미노광부를 희알칼리 수용액(예를 들어 0.3 내지 3wt% 탄산소다 수용액)에 의해 현상하여 레지스트 패턴이 형성된다.The exposed portions (portions irradiated with active energy rays) are cured by performing exposure (irradiation with active energy rays) on the coating film obtained by applying the alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention and volatilizing and drying the solvent. Alternatively, a pattern exposure may be performed by a contact type (or noncontact type) through a photomask having a pattern formed thereon by an active energy ray directly or by a laser direct exposure apparatus, and the unexposed portion may be exposed in a dilute alkali aqueous solution (for example, 0.3 To 3 wt% aqueous sodium carbonate solution) to form a resist pattern.

상기 활성 에너지선 조사에 사용되는 노광기로서는, 고압 수은등 램프, 초고압 수은등 램프, 메탈 할라이드 램프, 수은 쇼트 아크 램프 등을 탑재하고, 350 내지 450㎚의 범위에서 자외선을 조사하는 장치이면 되고, 또한 직접 묘화 장치(예를 들어 컴퓨터로부터의 CAD 데이터에 의해 직접 레이저로 화상을 그리는 레이저 다이렉트 이미징 장치)도 사용할 수 있다. 직묘기의 레이저 광원으로서는, 최대 파장이 350 내지 410㎚의 범위에 있는 레이저광을 사용하고 있으면 가스 레이저, 고체 레이저 어느 쪽일 수도 있다. 화상 형성을 위한 노광량은 막 두께 등에 따라 상이하지만, 일반적으로는 20 내지 800mJ/㎠, 바람직하게는 20 내지 600mJ/㎠의 범위 내로 할 수 있다.As an exposure device used for irradiation with the active energy ray, any device that irradiates ultraviolet rays in a range of 350 to 450 nm with a high pressure mercury lamp, an ultra high pressure mercury lamp, a metal halide lamp, a mercury short arc lamp, A device (e.g., a laser direct imaging device that draws a laser image directly with CAD data from a computer) can also be used. As a laser light source of a direct shot, either a gas laser or a solid laser may be used if laser light having a maximum wavelength in the range of 350 to 410 nm is used. The exposure dose for image formation varies depending on the film thickness and the like, but may be generally within the range of 20 to 800 mJ / cm 2, preferably 20 to 600 mJ / cm 2.

상기 현상 방법으로서는, 디핑법, 샤워법, 스프레이법, 브러시법 등에 의해 행할 수 있으며, 현상액으로서는, 수산화칼륨, 수산화나트륨, 탄산나트륨, 탄산칼륨, 인산나트륨, 규산나트륨, 암모니아, 아민류 등의 알칼리 수용액을 사용할 수 있다.Examples of the developing method include a dipping method, a shower method, a spraying method, a brushing method and the like. As the developing solution, an alkali aqueous solution of potassium hydroxide, sodium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate, sodium phosphate, sodium silicate, ammonia, Can be used.

본 발명의 알칼리 현상형 감광성 수지 조성물은, 프린트 배선판이나 플렉시블 프린트 배선판의 솔더 레지스트나 층간 절연층 등의 경화 피막의 형성에 적합하다.The alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention is suitable for forming a cured coating film such as a solder resist or an interlayer insulating layer of a printed wiring board or a flexible printed wiring board.

[실시예][Example]

이하, 실시예, 비교예에 의해 본 발명을 더욱 상세하게 설명하지만, 본 발명은 이들 실시예, 비교예에 의해 제한되는 것은 전혀 아니다. 또한, 특별히 언급이 없는 한, 「부」는 질량부를, 「%」는 질량%를 의미한다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples and comparative examples, but the present invention is by no means limited by these examples and comparative examples. Unless otherwise stated, " part " means mass part and "% " means mass%.

(카르복실기 함유 수지의 제조) (Preparation of carboxyl group-containing resin)

(A1-1: 페놀계 골격을 갖는 카르복실기 함유 수지의 제조) (A1-1: production of carboxyl group-containing resin having phenolic skeleton)

페놀 노볼락형 에폭시 수지(닛본 가야꾸사제, P-201, 에폭시 당량 190g/eq) 190부(1당량), 카르비톨아세테이트 140.1부 및 솔벤트 나프타 60.3부를 플라스크에 투입하고, 90℃에서 가열·교반하여 용해했다. 얻어진 용액을 일단 60℃까지 냉각하고, 아크릴산 72부(1몰), 메틸히드로퀴논 0.5부, 트리페닐포스핀 2부를 첨가하고, 100℃로 가열하고, 약 12시간 반응시켜, 산가가 0.2㎎KOH/g인 반응물을 얻었다. 이것에 테트라히드로 무수 프탈산 80.6부(0.53몰)를 첨가하고, 90℃로 가열하고, 약 6시간 반응시켜, 고형분 산가가 60㎎KOH/g, 고형분 농도 65.8%인 수지 용액을 얻었다. 이하, 바니시 A1-1이라고 칭한다.190 parts (1 equivalent) of phenol novolac epoxy resin (P-201, epoxy equivalent 190 g / eq, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), 140.1 parts of carbitol acetate and 60.3 parts of solvent naphtha were placed in a flask, Respectively. The obtained solution was once cooled to 60 占 폚, and 72 parts (1 mole) of acrylic acid, 0.5 part of methylhydroquinone and 2 parts of triphenylphosphine were added and heated to 100 占 폚 for about 12 hours to obtain an acid value of 0.2 mgKOH / g. < / RTI > Thereto was added 80.6 parts (0.53 mol) of tetrahydrophthalic anhydride, heated to 90 DEG C and reacted for about 6 hours to obtain a resin solution having a solid acid value of 60 mgKOH / g and a solid content concentration of 65.8%. Hereinafter, it is referred to as a varnish A1-1.

(A1-2: 페놀계 골격을 갖는 카르복실기 함유 수지의 제조) (A1-2: Production of carboxyl group-containing resin having phenolic skeleton)

Figure 112014081608990-pat00001
Figure 112014081608990-pat00001

상기 일반식 (1)에 있어서 X가 CH2, 평균의 중합도 n이 6.2인 비스페놀 F형 에폭시 수지 380부와 에피클로로히드린 925부를 디메틸술폭시드 462.5부에 용해시킨 후, 교반 하 70℃에서 98.5% NaOH 60.9부(1.5몰)를 100분에 걸쳐 첨가했다. 첨가 후 70℃에서 3시간 더 반응을 행했다. 반응 종료 후, 물 250부를 첨가하여 수세를 행했다. 유수 분리 후, 유층으로부터 디메틸술폭시드의 대부분 및 과잉의 미반응 에피클로로히드린을 감압 하에 증류 회수하고, 잔류된 부제염과 디메틸술폭시드를 포함하는 반응 생성물을 메틸이소부틸케톤 750부에 용해시키고, 30% NaOH 10부를 첨가하고, 70℃에서 1시간 반응시켰다. 반응 종료 후, 물 200부로 2회 수세를 행했다. 유수 분리 후, 유층으로부터 메틸이소부틸케톤을 증류 회수하고, 에폭시 당량 310g/eq, 연화점 69℃의 에폭시 수지 (a)를 얻었다. 얻어진 에폭시 수지 (a)는, 에폭시 당량으로부터 계산하면, 상기 출발 물질 비스페놀 F형 에폭시 수지에 있어서의 알콜성 수산기 6.2개 중 약 5개가 에폭시화된 것이었다. 이 에폭시 수지 (a) 310부 및 카르비톨아세테이트 282부를 플라스크에 투입하고, 90℃에서 가열·교반하여 용해했다. 얻어진 용액을 일단 60℃까지 냉각하고, 아크릴산 72부(1몰), 메틸히드로퀴논 0.5부, 트리페닐포스핀 2부를 첨가하고, 100℃로 가열하고, 약 60시간 반응시켜, 산가가 0.2㎎KOH/g인 반응물을 얻었다. 이것에 테트라히드로 무수 프탈산 140부(0.92몰)를 첨가하고, 90℃로 가열하고, 고형분 산가가 100㎎KOH/g로 될 때까지 반응을 행하여, 고형분 농도 65%의 수지 용액을 얻었다. 이하, 바니시 A1-2라고 칭한다.Then X is dissolved in 925 parts of dimethyl sulfoxide 462.5 parts gave CH 2, in the average degree of polymerization n is 6.2, a bisphenol F type epoxy resin 380 parts with epichlorohydrin in the general formula (1), 98.5 in the stirring 70 ℃ % NaOH 60.9 parts (1.5 moles) was added over 100 minutes. After the addition, the reaction was further carried out at 70 ° C for 3 hours. After the completion of the reaction, 250 parts of water was added and water was washed. After the water separation, most of the dimethyl sulfoxide and excess unreacted epichlorohydrin were distilled off under reduced pressure, and the reaction product containing the remaining unsubstituted salt and dimethyl sulfoxide was dissolved in 750 parts of methyl isobutyl ketone , And 10 parts of 30% NaOH were added, and the mixture was reacted at 70 DEG C for 1 hour. After completion of the reaction, the reaction mixture was washed twice with 200 parts of water. After the water separation, methyl isobutyl ketone was distilled off and recovered from the oil layer to obtain an epoxy resin (a) having an epoxy equivalent of 310 g / eq and a softening point of 69 캜. The epoxy resin (a) obtained was epoxidized with about 5 of the 6.2 alcoholic hydroxyl groups in the starting bisphenol F epoxy resin as calculated from the epoxy equivalent. 310 parts of the epoxy resin (a) and 282 parts of carbitol acetate were put into a flask, and dissolved by heating and stirring at 90 캜. The obtained solution was once cooled to 60 占 폚, and 72 parts (1 mole) of acrylic acid, 0.5 part of methylhydroquinone and 2 parts of triphenylphosphine were added and heated to 100 占 폚 for about 60 hours to obtain an acid value of 0.2 mgKOH / g. < / RTI > Thereto was added 140 parts (0.92 mol) of tetrahydrophthalic anhydride, heated to 90 占 폚, and reacted until the solid acid value became 100 mgKOH / g to obtain a resin solution having a solid content concentration of 65%. Hereinafter, it is referred to as a varnish A1-2.

(A2-1: 크레졸 노볼락형 골격을 갖는 카르복실기 함유 수지의 제조) (A2-1: Preparation of carboxyl group-containing resin having cresol novolak skeleton)

크레졸 노볼락형 에폭시 수지(닛본 가야꾸사제, EOCN-104S, 에폭시 당량 220g/eq) 220부(1당량), 카르비톨아세테이트 140.1부 및 솔벤트 나프타 60.3부를 플라스크에 투입하고, 90℃에서 가열·교반하여, 용해했다. 얻어진 용액을 일단 60℃까지 냉각하고, 아크릴산 72부(1몰), 메틸히드로퀴논 0.5부, 트리페닐포스핀 2부를 첨가하고, 100℃로 가열하고, 약 12시간 반응시켜, 산가가 0.2㎎KOH/g인 반응물을 얻었다. 이것에 테트라히드로 무수 프탈산 80.6부(0.53몰)를 첨가하고, 90℃로 가열하고, 약 6시간 반응시켜, 고형분 산가가 85㎎KOH/g, 고형분 농도 65.8%인 수지 용액을 얻었다. 이하, 바니시 A2-1이라 칭한다.220 parts (1 equivalent) of cresol novolac epoxy resin (EOCN-104S, epoxy equivalent 220 g / eq), 140.1 parts of carbitol acetate and 60.3 parts of solvent naphtha were charged into a flask, And dissolved. The obtained solution was once cooled to 60 占 폚, and 72 parts (1 mole) of acrylic acid, 0.5 part of methylhydroquinone and 2 parts of triphenylphosphine were added and heated to 100 占 폚 for about 12 hours to obtain an acid value of 0.2 mgKOH / g. < / RTI > Thereto was added 80.6 parts (0.53 mol) of tetrahydrophthalic anhydride, heated to 90 DEG C and reacted for about 6 hours to obtain a resin solution having a solid acid value of 85 mgKOH / g and a solid content concentration of 65.8%. Hereinafter, it is referred to as a varnish A2-1.

(A3-1: 페놀 노볼락형 골격 및 크레졸 노볼락형 골격을 갖는 카르복실기 함유 수지의 제조) (A3-1: production of carboxyl group-containing resin having phenol novolak skeleton and cresol novolac skeleton)

페놀 71g, 크레졸 81g과 산 촉매의 옥살산 1.4g(페놀과 크레졸의 합계에 대하여 0.9wt%)에 37% 포르말린 99g을 90℃ 이하로 유지하면서, 2시간에 걸쳐 적하하고, 2시간 환류했다. 또한 상압 및 감압 증류 제거에 의해, 축합수 또는 미반응의 페놀 단량체, 크레졸 단량체 및 알데히드를 제거하여, 페놀 노볼락 골격과 크레졸 노볼락 골격이 대략 1:1인 담황색 수지 152g을 얻었다.71 g of phenol, 81 g of cresol, and 1.4 g of oxalic acid as an acid catalyst (0.9 wt% with respect to the total amount of phenol and cresol) were added dropwise over 2 hours while maintaining the temperature at 90 占 폚 or lower. The condensed water or unreacted phenol monomer, cresol monomer and aldehyde were removed by normal pressure and reduced pressure distillation to obtain 152 g of a pale yellow resin having phenol novolak skeleton and cresol novolak skeleton of about 1: 1.

얻어진 상기 담황색의 수지 152중량부에 대하여 에피클로로히드린 441중량부, 디메틸술폭시드 107중량부를 첨가하여 용해 후, 40℃로 가열하고, 플레이크상 수산화나트륨(순분 99%) 52중량부를 100분에 걸쳐 첨가하고, 그 후, 재차 50℃에서 2시간, 70℃에서 1시간 반응시켰다. 계속하여 수세를 반복하여 중성으로 되돌린 후, 유층으로부터 가열 감압 하, 과잉의 에피클로로히드린을 증류 제거하고, 잔류물에 761중량부의 메틸이소부틸케톤을 첨가하여 용해했다. 또한, 이 메틸이소부틸케톤의 용액을 70℃로 가열하고 30중량%의 수산화나트륨 수용액 7.6중량부를 첨가하고, 1시간 반응시킨 후, 수세를 반복하여 행하여 중성으로 했다. 계속하여 유층으로부터 가열 감압 하에서 메틸이소부틸케톤을 증류 제거함으로써 에폭시 수지 210중량부를 얻었다.441 parts by weight of epichlorohydrin and 107 parts by weight of dimethyl sulfoxide were added to 152 parts by weight of the obtained pale yellow resin and dissolved, and the mixture was heated to 40 DEG C, and 52 parts by weight of sodium hydroxide (99% pure) And then reacted again at 50 캜 for 2 hours and at 70 캜 for 1 hour. Subsequently, washing with water was repeated to return to neutral. Excess epichlorohydrin was distilled off from the oil layer under heating and reduced pressure, and 761 parts by weight of methyl isobutyl ketone was added to dissolve in the residue. Further, the solution of methyl isobutyl ketone was heated to 70 占 폚, and 7.6 parts by weight of a 30% by weight aqueous solution of sodium hydroxide was added. After reacting for 1 hour, washing was repeated to neutralize the solution. Subsequently, methyl isobutyl ketone was distilled off from the oil layer under heating and reduced pressure to obtain 210 parts by weight of an epoxy resin.

얻어진 상기 에폭시 수지 210부(1당량), 카르비톨아세테이트 140.1부 및 솔벤트 나프타 60.3부를 플라스크에 투입하고, 90℃에서 가열·교반하여 용해했다. 얻어진 용액을 일단 60℃까지 냉각하고, 아크릴산 72부(1몰), 메틸히드로퀴논 0.5부, 트리페닐포스핀 2부를 첨가하고, 100℃로 가열하고, 약 12시간 반응시켜, 산가가 0.2㎎KOH/g인 반응물을 얻었다. 이것에 테트라히드로 무수 프탈산 80.6부(0.53몰)를 첨가하고, 90℃로 가열하고, 약 6시간 반응시켜, 고형분 산가가 60㎎KOH/g, 고형분 농도 69%, 수지의 중량 평균 분자량 7,000인 수지 용액을 얻었다.210 parts of the obtained epoxy resin (1 equivalent), 140.1 parts of carbitol acetate and 60.3 parts of solvent naphtha were charged into a flask, and the mixture was heated and stirred at 90 DEG C to dissolve. The obtained solution was once cooled to 60 占 폚, and 72 parts (1 mole) of acrylic acid, 0.5 part of methylhydroquinone and 2 parts of triphenylphosphine were added and heated to 100 占 폚 for about 12 hours to obtain an acid value of 0.2 mgKOH / g. < / RTI > 80.6 parts (0.53 mol) of tetrahydrophthalic anhydride phthalic acid was added thereto, and the mixture was heated to 90 占 폚 and reacted for about 6 hours to obtain a resin having a solid content acid value of 60 mgKOH / g, a solid content concentration of 69% Solution.

[실시예 1 내지 6, 8 및 9, 참고예 7, 비교예 1 내지 4] [Examples 1 to 6, 8 and 9, Reference Example 7, Comparative Examples 1 to 4]

상기한 수지 용액(바니시)을, 표 1에 나타내는 다양한 성분과 함께 표 1에 나타내는 비율(질량부)로 배합하고, 교반기에 의해 예비 혼합한 후, 3축 롤밀로 혼련하여, 알칼리 현상형 감광성 수지 조성물을 제조했다.The resin solution (varnish) was mixed with the various components shown in Table 1 in the ratio shown in Table 1 (mass part), preliminarily mixed with a stirrer, and kneaded with a three-roll mill to obtain an alkali developing photosensitive resin A composition was prepared.

<평가 기판의 제작>&Lt; Preparation of evaluation substrate &

상기에서 얻은 각 실시예 및 비교예 각각의 알칼리 현상형 감광성 수지 조성물을 기판 상에 스크린 인쇄로 건조 후의 막 두께가 20㎛로 되도록 전체면 도포하고, 80℃의 열풍 순환식 건조로에서 30분간 건조시킨 후, 실온까지 방냉한다. 이 기판을 고압 수은등 탑재 노광 장치(수은 쇼트 아크 램프 도사이 오크 세이사꾸쇼사제 노광기)를 사용하여 최적 노광량으로 노광하고, 온도: 30℃, 스프레이압: 0.2MPa, 현상액: 1질량% 탄산나트륨 수용액의 조건에서 60초간 현상을 행하여 패턴을 얻었다. 또한, 이 기판을, UV 컨베이어로에서 적산 노광량 1000mJ/㎠의 조건에서 자외선 조사한 후, 160℃에서 60분 가열하여 경화했다. 얻어진 프린트 기판(평가 기판)에 대하여, 이하와 같이 특성을 평가했다. 최적 노광량은, 노광시에 스텝 태블릿(스토퍼(Stouffer)사제 T4105C)을 통하여 노광하고, 현상 후에 잔존하는 스텝 태블릿의 단수가 8단일 때를 최적 노광량으로 했다. Each of the alkali-developable photosensitive resin compositions obtained in the above-mentioned Examples and Comparative Examples was coated on the entire surface in such a manner that the film thickness after drying was 20 mu m after being screen-printed, and dried in a hot-air circulation type drying furnace at 80 DEG C for 30 minutes Then, it is allowed to cool to room temperature. The substrate was exposed at an optimum exposure amount using a high pressure mercury lamp mounted exposure apparatus (mercury short arc lamp, manufactured by TOYOTEC Seisakusho Co., Ltd.) and subjected to exposure under the conditions of a temperature of 30 DEG C, a spraying pressure of 0.2 MPa and a developer solution of 1 wt% For 60 seconds to obtain a pattern. The substrate was irradiated with ultraviolet rays under the conditions of an integrated exposure dose of 1000 mJ / cm 2 in a UV conveyer, and then cured by heating at 160 캜 for 60 minutes. The obtained printed board (evaluation board) was evaluated for its characteristics as follows. The optimum exposure dose was exposed through a step tablet (T4105C, manufactured by Stouffer Co.) at the time of exposure, and when the number of stages of the remaining step tablets after development was 8, the optimum exposure dose was used.

<펀칭 내성><Punching Resistance>

상기 평가 기판의 제작에서 얻은, 경화 도막을 형성한 각 평가 기판에 대하여, 슈퍼 하이 스피드 벤치 드릴(SUPER HIGH SPEED BENCH DRILL) FBD-6(후지 덴끼 기카이 가부시키가이샤(FUJI ELECTRIC MACHIN MFG.)사제)에 의해 펀칭을 행하고, 펀칭된 개소의 도막 상태를 광학 현미경으로 관찰하여, 이하의 기준으로 평가했다. 결과를 하기 표 1에 나타낸다.Each of the evaluation boards on which the cured coating film was formed, which had been obtained in the above-mentioned evaluation board, was mounted on a super high speed bench drill (FBD-6, manufactured by FUJI ELECTRIC MACHIN MFG.) ), And the state of the coated film at the punched portion was observed with an optical microscope, and evaluated according to the following criteria. The results are shown in Table 1 below.

◎: 펀칭된 개소에 이상 없음. ◎: No abnormality in the punched portion.

○: 펀칭된 개소에 약간의 변형 있음. ○: There is some deformation at the punched portion.

×: 펀칭된 개소에 변형 있고, 또한 균열이나 휨의 발생. X: Deformed at the punched portion, and cracks and warpage occur.

<현상성><Developability>

상기 평가 기판의 제작에 있어서, 도막 형성 후의 건조 조건을, 80℃에서 90분간으로 바꾸어 건조하고, 건조 후의 막 두께 조건을 (a) 30㎛, (b) 20㎛의 2조건으로 하여, 각각 현상 후의 미노광부의 도막 제거 상태를 육안으로 확인했다. 평가 기준은 이하와 같다. 결과를 하기 표 1에 나타낸다. In the preparation of the evaluation substrate, the drying conditions after the formation of the coating film were changed to 80 캜 for 90 minutes, and the coating conditions after the drying were set as conditions (a) 30 탆 and (b) 20 탆, And the state of removal of the coating film on the unexposed portion was visually confirmed. The evaluation criteria are as follows. The results are shown in Table 1 below.

◎: 건조 후의 막 두께 조건이 30㎛, 20㎛ 모두 현상 잔사가 전혀 없는 것. ⊚: The film thickness condition after drying is 30 탆 or 20 탆 and no developing residue is present at all.

○: 건조 후의 막 두께 조건이 20㎛에서는 현상 잔사가 전혀 없으나, 30㎛는 표면에 조금 필러 잔여가 보이는 것. ?: When the film thickness condition after drying is 20 占 퐉, there is no developing residue, but 30 占 퐉 shows a little residual filler on the surface.

△: 건조 후의 막 두께 조건이 20㎛에서는 현상 잔사가 전혀 없으나, 30㎛는 현상 잔사가 보이는 것. ?: No residue remained when the film thickness condition after drying was 20 占 퐉, but remained remained at 30 占 퐉.

×: 건조 후의 막 두께 조건이 30㎛, 20㎛ 모두 전체적으로 현상 잔사가 있는 것.X: The film thickness condition after drying is 30 占 퐉 and 20 占 퐉.

<땜납 내열성>&Lt; Soldering heat resistance &

상기 평가 기판의 제작으로 얻은, 경화 도막을 형성한 각 평가 기판에 대하여, 로진계 플럭스를 도포하고, 260℃로 설정한 땜납조에 30초간 침지했다. 이 시험 기판을 유기 용제로 세정한 뒤, 셀로판 점착 테이프에 의한 필링 시험을 행하고, 이하의 기준으로 평가했다. 결과를 하기 표 1에 나타낸다.The rosin-based flux was applied to each of the evaluation substrates on which the cured coating film was formed, which had been obtained by the fabrication of the evaluation substrate, and immersed in a solder bath set at 260 캜 for 30 seconds. The test substrate was washed with an organic solvent, and then subjected to a peeling test with a cellophane adhesive tape, and evaluated according to the following criteria. The results are shown in Table 1 below.

◎: 외관 변화 없음. ◎: No appearance change.

○: 약간 황변될 정도의 변색.○: Discoloration to be slightly yellowing.

△: 전체면에 백화가 확인되는 것.△: White papers are confirmed on all sides.

×: 경화 도막의 들뜸, 땜납 잠김이 확인되는 것.X: Deposition of the hard coat film and solder lock are confirmed.

<지촉 건조성><Touch-up Drying>

상기에서 얻은 각 실시예 및 비교예 각각의 알칼리 현상형 감광성 수지 조성물을 각각 패턴 형성된 동박 기판 상에 스크린 인쇄로 전체면 도포하고, 80℃의 열풍 순환식 건조로에서 30분간 건조시켜, 실온까지 방냉했다. 이 기판에 PET 필름을 누르고, 그 후 네가티브 필름을 박리했을 때의 필름의 부착 상태를 이하의 기준으로 평가했다. 결과를 하기 표 1에 나타낸다.Each of the alkali-developable photosensitive resin compositions obtained in the above-mentioned respective Examples and Comparative Examples was coated on the entire surface by screen printing on the patterned copper-clad substrate and dried in a hot-air circulation type drying furnace at 80 캜 for 30 minutes and then cooled to room temperature . A PET film was pressed on this substrate, and thereafter the adhered state of the film when the negative film was peeled off was evaluated based on the following criteria. The results are shown in Table 1 below.

◎: 필름을 박리할 때에, 전혀 저항이 없고, 도막에 자국이 남지 않음.⊚: No peeling off of the film, no marks left on the coating film.

○: 필름을 박리할 때에, 약간 저항이 있고, 도막에 자국이 조금 생김.○: When peeling off the film, there is a little resistance, and marks on the film are slightly formed.

×: 필름을 박리할 때에, 저항이 있고, 도막에 선명히 자국이 나 있음.X: When the film was peeled off, there was resistance, and the film was clearly stained.

<경화 도막의 단면>&Lt; Cross section of cured coating film &

실시예 1의 알칼리 현상형 감광성 수지 조성물을 사용하여, 상기 평가 기판의 제작에 기초하여 기판 상에 각각 경화 도막을 형성했다. 얻어진 경화 도막의 단면 사진을 도 1에 도시한다.Each of the alkali-developable photosensitive resin compositions of Example 1 was used to form a cured coating film on a substrate on the basis of the evaluation substrate. A cross-sectional photograph of the obtained cured coating film is shown in Fig.

Figure 112014081608990-pat00002
Figure 112014081608990-pat00002

*1: 페놀 노볼락형의 골격을 갖는 감광성 카르복실기 함유 수지(PN(페놀 노볼락형 에폭시 수지)/AA(아크릴산)/THPA(테트라히드로프탈산 무수물)) * 1: Photosensitive carboxyl group-containing resin (PN (phenol novolak type epoxy resin) / AA (acrylic acid) / THPA (tetrahydrophthalic anhydride)) having a skeleton of phenol novolac type

*2: 비스페놀 F형의 골격을 갖는 감광성 카르복실기 함유 수지(BisF(비스페놀형 에폭시 수지)/AA(아크릴산)/THPA(테트라히드로프탈산 무수물)) * 2: Photosensitive carboxyl group-containing resin (BisF (bisphenol type epoxy resin) / AA (acrylic acid) / THPA (tetrahydrophthalic anhydride)) having a skeleton of bisphenol F type

*3: 크레졸 노볼락형 골격을 갖는 감광성 카르복실기 함유 수지(CN(크레졸 노볼락형 에폭시 수지)/AA(아크릴산)/THPA(테트라히드로프탈산 무수물)) * 3: Photosensitive carboxyl group-containing resin having cresol novolak skeleton (CN (cresol novolak type epoxy resin) / AA (acrylic acid) / THPA (tetrahydrophthalic anhydride))

*4: 페놀 노볼락형 골격 및 크레졸 노볼락형 골격을 갖는 감광성 카르복실기 함유 수지(PN+CN(페놀 노볼락형 및 크레졸 노볼락형 에폭시 수지)/AA(아크릴산)/THPA(테트라히드로프탈산 무수물)) * 4: Photosensitive carboxyl group-containing resin (PN + CN (phenol novolak type and cresol novolak type epoxy resin) / AA (acrylic acid) / THPA (tetrahydrophthalic anhydride)) having phenol novolac skeleton and cresol novolak skeleton )

*5: 바스프(BASF) 재팬사제 이르가큐어 907(2-메틸-1-(4-메틸티오페닐)-2-모르폴리노프로판-1-온) * 5: Irgacure 907 (2-methyl-1- (4-methylthiophenyl) -2-morpholinopropane-1-one manufactured by BASF Japan)

*6: 닛본 가야꾸사제 DETX-S(2,4-디에틸티오크산톤) * 6: DETX-S (2,4-diethylthioxanthone) manufactured by Nippon Kayaku Co.,

*7: 애드마테크스사제 애드마파인 SO-E2 * 7: ADMATECH CORPORATION ADMAPINE SO-E2

*8: 애드마테크스사제 애드마파인 SO-E5 * 8: Admatheque AdMapain SO-E5

*9: 닛본 에어로실사제 FS-3DC * 9: Nippon Aerosil FS-3DC

*10: 디에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트 * 10: Diethylene glycol monoethyl ether acetate

*11: 방향족 탄화수소(솔베소 150) * 11: Aromatic hydrocarbons (Solvesso 150)

*12: DIC사제 에피클론 N-870(비스페놀 A 노볼락형 에폭시 수지) * 12: Epiclon N-870 (bisphenol A novolak type epoxy resin) manufactured by DIC Corporation

*13: 닛본 가야꾸사제 NC-3000(비페닐노볼락에폭시 수지, 에폭시 당량=275) * 13: NC-3000 manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. (biphenyl novolak epoxy resin, epoxy equivalent = 275)

*14: 신닛테츠 가가꾸사제 YSLV-80XY(테트라메틸비스페놀 F형 에폭시 수지, 에폭시 당량=190 내지 200) * 14: YSLV-80XY (tetramethyl bisphenol F type epoxy resin, epoxy equivalence = 190 to 200), manufactured by Shinnitetsu Chemical Co.,

*15: 디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트 * 15: Dipentaerythritol hexaacrylate

상기 표 1에 나타낸 결과로부터, 실시예 1 내지 6, 8 및 9의 알칼리 현상형 감광성 수지 조성물의 경우, 양호한 펀칭 내성, 현상성, 지촉 건조성을 겸비하고 있는 것을 알 수 있었다. 한편, (A) 성분으로서 (A2) 크레졸 노볼락형 골격을 갖는 카르복실기 함유 수지만을 함유하는 비교예 1은 펀칭 내성이 떨어지는 것이었다. (A) 성분으로서 (A1) 페놀계 골격을 갖는 카르복실기 함유 수지만을 함유하는 비교예 2, 3은 현상성, 지촉 건조성이 떨어지는 것이었다. 또한, (B) 무기 충전물로서, 구상 실리카가 아닌 용융 실리카를 함유하는 비교예 4는 펀칭 내성이 떨어지는 것이었다.From the results shown in Table 1, it was found that the alkali-developable photosensitive resin compositions of Examples 1 to 6, 8 and 9 both had good punching resistance, developability and touch-dryness. On the other hand, Comparative Example 1 containing only a carboxyl group-containing water having a cresol novolak skeleton (A2) as the component (A) had poor punching resistance. Comparative Examples 2 and 3 containing only (A1) a carboxyl group-containing water having a phenolic skeleton as the component (A) had poor developability and poor touch-drying characteristics. In addition, Comparative Example 4 containing fused silica which is not spherical silica as the inorganic filler (B) had poor punching resistance.

Claims (9)

(A) 카르복실기 함유 수지, (B) 무기 충전물, (C) 열경화 성분 및 (D) 광중합 개시제를 함유하는 알칼리 현상형 감광성 수지 조성물로서,
(A) 카르복실기 함유 수지로서, (A1) 페놀계 골격을 갖는 카르복실기 함유 수지(단, 비스페놀 F형 골격을 갖는 카르복실기 함유 수지 및 크레졸 노볼락형 골격을 갖는 카르복실기 함유 수지를 제외함) 및 (A2) 크레졸 노볼락형 골격을 갖는 카르복실기 함유 수지를 포함하며,
(B) 무기 충전물로서, 평균 입경(D50)이 0.1㎛ 초과 5㎛ 이하인 구상 실리카를 함유하는 것을 특징으로 하는 알칼리 현상형 감광성 수지 조성물.
(A) a resin containing a carboxyl group, (B) an inorganic filler, (C) a thermosetting component and (D) a photopolymerization initiator,
(A1) a carboxyl group-containing resin having a phenol skeleton (except for a carboxyl group-containing resin having a bisphenol F skeleton and a carboxyl group-containing resin having a cresol novolac skeleton) and (A2) A carboxyl group-containing resin having a cresol novolak skeleton,
(B) an alkali-soluble photosensitive resin composition comprising an inorganic filler, wherein the inorganic filler contains spherical silica having an average particle diameter (D50) of more than 0.1 m but not more than 5 m.
제1항에 있어서, 상기 구상 실리카의 평균 입경(D50)이 0.1㎛ 초과 3㎛ 이하인 것을 특징으로 하는 알칼리 현상형 감광성 수지 조성물.The alkali-developable photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the spherical silica has an average particle diameter (D50) of more than 0.1 占 퐉 and not more than 3 占 퐉. 제1항에 있어서, 상기 (A1) 페놀계 골격을 갖는 카르복실기 함유 수지 및 (A2) 크레졸 노볼락형 골격을 갖는 카르복실기 함유 수지를, 고형분 환산으로 1:9 내지 9:1의 비율로 함유하는 것을 특징으로 하는 알칼리 현상형 감광성 수지 조성물.The positive resist composition according to Claim 1, which contains the carboxyl group-containing resin (A1) having a phenolic skeleton and the carboxyl group-containing resin (A2) having a cresol novolak skeleton in a ratio of 1: 9 to 9: 1 Wherein the photosensitive resin composition is an alkali developing photosensitive resin composition. 제1항에 있어서, 상기 (A1) 페놀계 골격을 갖는 카르복실기 함유 수지의 페놀계 골격이 페놀 노볼락형, 비스페놀 A형, 비페닐형, 페놀아랄킬형 및 트리스페닐메탄형의 골격 중 적어도 어느 1종을 포함하는 것을 특징으로 하는 알칼리 현상형 감광성 수지 조성물.The resin composition according to claim 1, wherein the phenolic skeleton of the carboxyl group-containing resin (A1) having a phenolic skeleton is at least one of a skeleton of a phenol novolak type, a bisphenol A type, a biphenyl type, a phenol aralkyl type, and a trisphenyl methane type Wherein the alkali-developing photosensitive resin composition is a photosensitive resin composition. (A) 카르복실기 함유 수지, (B) 무기 충전물, (C) 열경화 성분 및 (D) 광중합 개시제를 함유하는 알칼리 현상형 감광성 수지 조성물로서,
(A) 카르복실기 함유 수지로서, (A3) 페놀계 골격(단, 크레졸 노볼락형 골격을 제외함) 및 크레졸 노볼락형 골격을 갖는 카르복실기 함유 수지를 포함하며,
(B) 무기 충전물로서, 구상 실리카를 함유하는 것을 특징으로 하는 알칼리 현상형 감광성 수지 조성물.
(A) a resin containing a carboxyl group, (B) an inorganic filler, (C) a thermosetting component and (D) a photopolymerization initiator,
(A) a carboxyl group-containing resin, (A3) a carboxyl group-containing resin having a phenol skeleton (excluding a cresol novolak skeleton) and a cresol novolak skeleton,
(B) an alkali-developing photosensitive resin composition characterized by containing spherical silica as an inorganic filler.
제5항에 있어서, 상기 (A3) 페놀계 골격 및 크레졸 노볼락형 골격을 갖는 카르복실기 함유 수지의 페놀계 골격이 페놀 노볼락형, 비스페놀 A형, 비스페놀 F형, 비페닐형, 페놀아랄킬형 및 트리스페닐메탄형의 골격 중 적어도 어느 1종을 포함하는 것을 특징으로 하는 알칼리 현상형 감광성 수지 조성물.6. The resin composition according to claim 5, wherein the phenolic skeleton of the carboxyl group-containing resin having the phenol skeleton and the cresol novolak skeleton of (A3) is at least one selected from the group consisting of phenol novolak type, bisphenol A type, bisphenol F type, biphenyl type, phenol aralkyl type, And a skeleton of a trisphenylmethane type. The alkali-developable photosensitive resin composition according to claim 1, 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 기재된 알칼리 현상형 감광성 수지 조성물을 필름에 도포·건조시켜 얻어지는 것을 특징으로 하는 드라이 필름.A dry film obtained by applying and drying the alkali-developable photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 6 to a film. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 기재된 알칼리 현상형 감광성 수지 조성물, 또는 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 기재된 알칼리 현상형 감광성 수지 조성물을 필름에 도포·건조시켜 얻어지는 드라이 필름을, 광경화 및 열경화 중 적어도 어느 하나를 행함으로써 얻어지는 것을 특징으로 하는 경화물.An alkali-developable photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 6, or a dry film obtained by applying and drying the alkali-developable photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 6 to a film Is obtained by performing at least one of photo-curing and thermosetting. 제8항에 기재된 경화물을 갖는 것을 특징으로 하는 프린트 배선판.A printed wiring board having the cured product according to claim 8.
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