KR101475291B1 - 표면증강 라만산란 나노구조가 구비된 크로마토그래피 기판 및 이의 제조방법 - Google Patents

표면증강 라만산란 나노구조가 구비된 크로마토그래피 기판 및 이의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 표면증강 라만산란 나노구조가 구비된 크로마토그래피 기판 및 이의 제조방법에 관한 것으로서, 그 구조는, 크로마토그래피 기판; 및 상기 크로마토그래피 기판의 일면에 형성되는 표면증강 라만산란(Surface-Enhanced Raman Scattering, SERS) 나노구조; 를 포함하며, 상기의 구조에 따르면, 크로마토그래피를 이용한 시료의 분리기능과 표면증강 라만산란을 이용한 시료의 고감도 검출 기능이 결합되어, 시료의 비표지 분리 및 고감도 검출이 동시에 가능한 효과가 있다.

Description

표면증강 라만산란 나노구조가 구비된 크로마토그래피 기판 및 이의 제조방법{chromatography substrate with surface enhanced Raman scattering nano-structure and fabricating method thereof}
본 발명은 시료의 비표지 분리 및 고감도 검출이 동시에 가능하도록 하기 위한 표면증강 라만산란 나노구조가 구비된 크로마토그래피 기판 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
일반적으로, 표면증강 라만산란(Surface Enhanced Raman Scattering)은 거친 금속 표면에서 일어나는 국소표면 플라즈몬 공명(Localized surface plasmon resonance)에 의해 라만산란(Raman scattering)이 10의 7승에서 9승까지 증폭되는 현상을 말한다. 각각의 분자는 그 분자 구조에 따라 고유한 진동, 회전에 따른 양자화된 에너지 상태를 갖고 있는데, 분자에 단파장의 빛을 쪼여 주었을 때, 빛을 받은 분자는 고유한 에너지 상태에 따라 빛을 흡수하여 들뜬 상태(excited state)가 되었다가, 다시 원래 빛의 형태로 에너지를 방출하면서 바닥 상태(ground state)로 돌아가게 된다. 이 때 방출하는 다양한 빛 중에서 적색 편이(Red shift)된 빛을 방출하는 현상을 스토크스-라만 편이(Stokes-Raman shift)라 하고, 이 현상을 라만산란이라고 한다.
앞서 서술한 바와 같이, 각각의 분자는 그 분자 구조에 따라 고유한 에너지 상태를 갖고 있기 때문에, 라만산란은 물질의 고유한 성질을 나타내고 있다. 또한, 한 개의 분자만 있더라도 라만산란 신호가 나타나기 때문에, 극미량의 시료를 사용하여도 시료 검출이 용이하다는 장점이 있으며, 단파장의 빛을 이용하여 신호를 측정하기 때문에 표지가 필요 없다는 장점이 있다. 하지만 라만산란 신호는 매우 약하여 측정이 매우 힘들다는 단점이 있는데, 거친 금속 표면에서 라만산란 신호가 매우 큰 폭으로 증폭된다는 현상이 관찰되어 새롭게 조명을 받고 있다.
국소표면 플라즈몬 공명은 빛의 파장보다 작은 크기의 금속나노구조가 빛을 받을 때 일어나는 전자의 집단적 진동에 의한 현상으로, 수십 나노미터 크기의 영역에 매우 집약적으로 증폭된 전자기장이 나타나는 현상이다. 이 국소 플라즈몬 공명에 의하여 본디 측정하기 힘들었던 라만산란 신호가 증폭되는 현상을 가리켜 표면증강 라만산란이라 한다. 표면증강 라만산란은 라만산란의 장점들을 고스란히 갖고 있으면서도 신호가 강하여 검출이 용이하여, 생체 분자 검출은 물론, 바이오센서에 이용하기 매우 적합하다.
종래 '표면 증강 라만 산란을 위한 기판'이 대한민국 공개특허 제2011-0097834호(2011.08.31)에 제시되어 있다.
한편, 크로마토그래피는 각각의 물질의 이동상과의 결합력과 고정상과의 결합력의 차이를 이용하여 혼합물을 분리하는 기술이다. 물질의 이동상과의 결합력이 고정상과의 결합력보다 강한 경우, 그 물질은 빠른 속도로 이동상을 따라 전개가 되고, 고정상과의 결합력이 더 강한 경우에는 느린 속도로 전개가 되어, 이 전개되는 속도에 따라 혼합물이 분리되게 된다. 이 때 이동상이 이동한 거리 대비 물질이 이동한 거리를 퍼센트로 나타낸 것을 전개율이라 하고, 이 전개율은 물질의 고유한 특성을 나타낸다. 따라서 크로마토그래피를 이용한 혼합물의 분리에는, 적절한 이동상과 고정상의 선택이 매우 중요하다. 하지만 셋 혹은 그 이상의 물질이 섞여있는 혼합물의 경우에는 그 물질의 특성이 비슷하여 적절한 이동상의 선택이 힘든 경우가 많다. 이에 대한 대안의 하나가 2차 전개를 이용하는 것이다. 2차 전개는 한쪽 방향으로만 전개시키는 1차 전개와는 달리, 2차원 형태의 평면에 두 번에 걸쳐서 각각 다른 이동상을 사용하여 전개시키는 방법이다. 보다 자세히 설명하면, 2차원 형태의 평면의 원점 부근에 분리하고자 하는 혼합물을 점의 형태로 찍은 후, 1차 전개 용매를 이용하여 한쪽 방향으로 전개시키면, 전개율이 비슷한 물질들이 모여있는 여러 개의 스팟이 형성되게 된다. 이 상태에서 전개를 멈추고 용매를 모두 증발시킨 후, 2차 전개 용매를 이용하여 다른 한쪽 방향으로 전개시키면, 1차 전개 용매에 대해 전개율이 비슷한 물질들이 2차 전개 용매에 의해 각각의 스팟으로 분리가 되는 원리이다.
종래 '친화 크로마토그래피 미세장치, 이의 제조방법'이 대한민국 등록특허 제0768089호(2007.10.11)에 제시되어 있다.
종래의 표면 증강 라만 산란을 위한 기판은 SERS 검출을 위한 기판이고, 친화 크로마토그래피 미세장치는 단순히 혼합물을 분리하는 장치이므로 시료의 비표지 분리 및 고감도 검출이 동시에 가능하도록 하기 위한 기판의 개발이 지속적으로 요구되어 오고 있다.
대한민국 공개특허 제2011-0097834호('표면 증강 라만 산란을 위한 기판', 2011.08.31) 대한민국 등록특허 제0768089호('친화 크로마토그래피 미세장치, 이의 제조방법', 2007.10.11)
본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 크로마토그래피를 이용한 시료의 분리기능과 표면증강 라만산란을 이용한 시료의 고감도 검출 기능이 결합되어, 시료의 비표지 분리 및 고감도 검출이 동시에 가능한 표면증강 라만산란 나노구조가 구비된 크로마토그래피 기판을 제공하는 데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명의 목적은 제작 방법이 매우 간단하고 저가의 크로마토그래피 기판의 제작이 가능하여 저비용으로 고효율을 수행할 수 있는 표면증강 라만산란 나노구조가 구비된 크로마토그래피 기판의 제조방법을 제공하는 것이다.
본 발명은, 크로마토그래피 기판; 및 상기 크로마토그래피 기판의 일면에 형성되는 표면증강 라만산란(Surface-Enhanced Raman Scattering, SERS) 나노구조;를 포함한다.
본 발명에 있어서, 상기 크로마토그래피 기판의 재질은 종이(paper), 실리카 겔(silica gel), 알루미나(allumina), 폴리머(polymer), 유리(glass) 중 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 한다.
본 발명에 있어서, 상기 크로마토그래피 기판은 적어도 두 개 이상의 단위 기판이 적층된 구조로 된 것을 특징으로 한다.
본 발명에 있어서, 상기 표면증강 라만산란 나노구조의 주기는 광파장 이하의 주기를 갖도록 형성된 것을 특징으로 한다.
한편, 본 발명은, 크로마토그래피 기판의 표면에 플라즈몬 특성을 갖는 플라즈몬 물질을 도포하는 도포 단계; 및 상기 플라즈몬 물질을 입자화하여 나노섬(nano islands)을 형성하는 입자화 단계;를 포함한다.
본 발명에 있어서, 상기 플라즈몬 물질은, 은, 금, 백금, 알루미늄, 철, 아연, 구리, 주석, 청동, 황동, 니켈 이루어진 그룹으로부터 선택되는 적어도 하나 이상의 금속 또는 이들의 합금인 것을 특징으로 한다.
본 발명에 있어서, 상기 플라즈몬 물질은, ITO(Indium Tin Oxide)를 포함하는 산화물, TiN, SiNx를 포함하는 질화물, 폴리에스테르, 폴리아크릴, 폴리에폭시, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌 및 폴리스티렌을 포함하는 저분자 화합물, 고분자, 탄소나노튜브(Carbon Nano Tube), 그래파이트(Graphite), 그래핀(Graphen)을 포함하는 탄소화합물로 이루어진 그룹으로부터 선택되는 적어도 하나 이상의 물질인 것을 특징으로 한다.
본 발명에 있어서, 상기 입자화 단계에서, 질소, 아르곤, 헬륨, 네온, 크립톤, 제논을 포함하는 불활성 기체 중 선택되는 적어도 하나 이상의 기체 또는 진공 또는 대기 중에서 상기 플라즈몬 물질이 입자화되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 있어서, 상기 입자화 단계에서, 열처리, 레이저 가공, 전자기파 조사 중 어느 하나의 방법으로 상기 플라즈몬 물질이 입자화되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 있어서, 상기 열처리는 직접 가열 또는 대류를 이용한 방법인 것을 특징으로 한다.
본 발명에 있어서, 상기 열처리는 30℃ 내지 2000℃의 온도에서 처리하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 있어서, 상기 열처리는 30℃ 내지 300℃의 온도에서 처리하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 표면증강 라만산란 나노구조가 구비된 크로마토그래피 기판에 따르면, 다음과 같은 효과가 있다.
크로마토그래피를 이용한 시료의 분리기능과 표면증강 라만산란을 이용한 시료의 고감도 검출 기능이 결합되어, 시료의 비표지 분리 및 고감도 검출이 동시에 가능하다.
또한, 표면증강 라만산란 나노구조가 구비된 크로마토그래피 기판은 단일 구조층으로 표면증강 라만산란을 실현할 수 있다.
나아가, 다양한 크로마토그래피 기판에 적용이 가능하므로 효율적이다.
한편, 본 발명에 따른 표면증강 라만산란 나노구조가 구비된 크로마토그래피 기판의 제조방법은 제작 방법이 매우 간단하기 때문에 저가의 크로마토그래피 기판의 제작이 가능하므로 저비용으로 고효율을 수행할 수 있어 경제적이다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 표면증강 라만산란 나노구조가 구비된 크로마토그래피 기판을 도시한 도면.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 크로마토그래피 기판의 제조방법 절차를 순차적으로 간략하게 도시한 도면.
도 3은 크로마토그래피 상에 나노갭(nanogap)이 농후한 실버 나노섬을 가지는 셀룰로스 마이크로 화이버의 사진을 도시한 도면.
도 4는 표면증강 라만산란 나노구조가 구비된 크로마토그래피 기판의 고감도 검출을 나타낸 결과 그래프.
도 5는 세 개의 분자의 SERS 검출을 보여주는 그래프.
이하 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여, 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 표면증강 라만산란 나노구조가 구비된 크로마토그래피 기판은 크로마토그래피 기판과 표면증강 라만산란 나노구조를 포함한다.
크로마토그래피 기판의 재질은 종이(paper), 실리카 겔(silica gel), 알루미나(allumina), 폴리머(polymer), 유리(glass) 중 적어도 어느 하나 이상이 선택될 수 있다.
이러한 크로마토그래피 기판은 적어도 두 개 이상의 단위 기판이 적층된 구조로 된 것이 바람직하다. 즉, 복수의 단위 기판이 적층된 구조인 것이 바람직하다.
다시 말해, 크로마토그래피 기판은 단일 재질로 제조되거나, 상술한 바와 같은 여러 종류의 재질 중 두 개 이상의 재질을 조합하여 이루어진 단위 기판이 두 개 이상 적층되어 제조된 구조일 수도 있다.
표면증강 라만산란(Surface-Enhanced Raman Scattering, SERS) 나노구조는 크로마토그래피 기판의 일면에 형성되며, 표면증강 라만산란 나노구조의 주기는 광파장 이하의 주기를 갖는 것이 바람직하다.
본 발명의 일실시예에 따른 표면증강 라만산란 나노구조가 구비된 크로마토그래피 기판을 도 1에 도시하였다. 도 1에 따르면, 크로마토그래피 기판(100)은 종이 재질로 되어 있으며, 특히, 셀룰로스 마이크로 화이버(110) 상에 금속이 강화된 나노섬(200)을 포함하는 계층적 과열점이 구비되어 있다. 도 1에서 도면부호 300은 액체 혼합물과 같은 분석물질이고, 금속이 강화된 나노섬(200)은 열처리를 통하여 나노섬으로 입자화하였으며, 488nm 파장의 레이저를 입사하여 표면증간 라만산란 신호를 측정하였다.
도 1과 같은 표면증강 라만산란 나노구조가 구비된 크로마토그래피 기판에 의해 다른 분자의 액체 혼합물은 쉽게 분리되고, 그 분리는 다른 위치의 각 분자로부터 표면증강 라만산란을 측정할 수 있도록 한다. 따라서, 혼합물의 분리와 다른 분자의 비표지 검출(Label-free detection)이 가능하다.
이하, 상기와 같이 구성된 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 크로마토그래피 기판의 제조방법 절차를 설명하면 다음과 같다.
먼저, 도포 단계로서, 크로마토그래피 기판의 표면에 플라즈몬 특성을 갖는 플라즈몬 물질을 도포한다.
플라즈몬 물질의 일 실시예로서, 플라즈몬 물질은, 은, 금, 백금, 알루미늄, 철, 아연, 구리, 주석, 청동, 황동, 니켈 이루어진 그룹으로부터 선택되는 적어도 하나 이상의 금속 또는 이들의 합금일 수 있다.
이렇게, 플라즈몬 물질이 금속일 경우 금속인 플라즈몬 물질을 도포하기 위해 금속을 고온으로 가열하여 증발시켜 그 증기로 금속을 박막상으로 밀착시키는 증착을 행할 수 있다.
플라즈몬 물질의 다른 실시예로서, 플라즈몬 물질은, ITO(Indium Tin Oxide)를 포함하는 산화물, TiN, SiNx를 포함하는 질화물, 폴리에스테르, 폴리아크릴, 폴리에폭시, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌 및 폴리스티렌을 포함하는 저분자 화합물, 고분자, 탄소나노튜브(Carbon Nano Tube), 그래파이트(Graphite), 그래핀(Graphen)을 포함하는 탄소화합물로 이루어진 그룹으로부터 선택되는 적어도 하나 이상의 물질일 수 있다.
다음으로, 입자화 단계로서, 도포된 플라즈몬 물질을 입자화하여 나노섬(nano islands)을 형성한다.
이 단계에서, 질소, 아르곤, 헬륨, 네온, 크립톤, 제논을 포함하는 불활성 기체 중 선택되는 적어도 하나 이상의 기체 또는 진공 또는 대기 중 어느 하나의 환경 하에서 플라즈몬 물질이 입자화되는 것이 바람직하다.
입자화하는 방법으로는, 열처리, 레이저 가공, 전자기파 조사 중 어느 하나의 방법으로 상기 플라즈몬 물질을 입자화할 수 있다.
이 중 열처리는 직접 가열 또는 대류를 이용한 방법 중 어느 하나의 방법으로 선택할 수 있으며, 30℃ 내지 2000℃의 온도에서 열처리하거나 30℃ 내지 300℃의 온도에서 열처리할 수 있다.
도 2는 크로마토그래피 기판의 제조방법 절차를 순차적으로 간략하게 도시한 도면이다.
도 2의 (a)는 종이 재질의 크로마토그래피 기판에 셀룰로스 마이크로 화이버(110)가 형성된 것을 도시한 도면이며, (b)는 증착에 의해 크로마토그래피 기판에 실버 필름이 형성된 도면이며, (c)는 열처리에 의해 크로마토그래피 기판에 실버(silver)로 구성된 나노섬이 형성된 도면이다. 이렇게, 크로마토그래피 기판에 열에 의해 증착된 얇은 실버 필름을 솔리드 스테이트 디웨팅(solid state de-wetting)에 의해 간단하게 제조할 수 있다.
도 2와 같은 절차로 제조된 크로마토그래피 기판을 도 3에 도시하였다. 도 3에 따르면, 크로마토그래피 상에 나노갭(nanogap)이 농후한 실버 나노섬을 가지는 셀룰로스 마이크로 화이버를 확인할 수 있다.
한편, 도 4는 표면증강 라만산란 나노구조가 구비된 크로마토그래피 기판의 고감도 검출을 나타낸 결과 그래프이다. 도 4에서는, 표면증강 라만산란 나노구조가 구비된 크로마토그래피 기판의 단일 지점(single spot)에서 측정된 다른 농도를 가지는 크리스탈 바이올렛(crystal violet, CV)의 SERS 스펙트라를 보여준다. 도 4에서 별표(*)는 다섯개의 강한 SERS 피크점들을 나타낸다.
도 4에서와 같이 100nM CV의 SERS 시그너처(signature) 피크점은 분명히 구분할 수 있다.
표면증강 라만산란 나노구조가 구비된 크로마토그래피 기판은 고감도의 나노몰 농도에서 작은 분자의 비표지 검출을 보여준다. 따라서, 나노몰 농도로 CV가 검출되는 것을 알 수 있다.
도 5는 세 개의 분자의 SERS 검출을 보여주는 그래프이다. 도 5에 따르면, 다른 몰 농도를 가지는 유색 염료 분자가 혼합 용액으로부터 분명하게 분리되고, SERS 스펙트라에 직접적으로 관계되는 것이 입증된다.
먼저, 크리스탈 바이올렛(crystal violet, CV), 톨루이딘 블루(toluidine blue, TB), 콩고 레드(Congo red, CR)는 분자 검출로 사용되었다. 원액은 에탄올에 다른 농도를 가지는 세가지 염료를 용해하여 준비하였다.
액체 혼합물은 표면증강 라만산란 나노구조가 구비된 크로마토그래피 기판에 발견되고, 상승 크로마토그램은 기밀 상태의 유리 비커 내에서 전개된다.
크로마토그램에 따른 SERS 스펙트라는 488nm 파장의 레이저 자극을 갖는 마이크로스코픽 스펙트로미터(microscopic spectrometer)를 사용함으로써 측정된다.
도 5는 크로마토그램 내의 다른 위치에 있는 염료 분자의 SERS 검출을 보여준다. 즉, SERS 특징의 피크점은 CR(964cm-1 및 1345cm-1 의 파상수)에 대한 포지션 1, TB(856cm-1 및 1434cm-1의 파상수)에 대한 포지션 2, CV(786cm-1, 907cm-1, 1167cm-1의 파상수)에 대한 포지션 3을 나타낸다.
이렇게, 액체 혼합물은 표면증강 라만산란 나노구조가 구비된 크로마토그래피 기판은 염료 혼합물로부터 분자 분리와 SERS 검출이 가능하다.
상기와 같이, 본 발명에 따른 표면증강 라만산란 나노구조가 구비된 크로마토그래피 기판에 의하면, 종이와 같은 크로마토그래피 기판의 표면에 국소표면 플라즈몬 공명(Localized Surface Plasmon Resonance, LSPR)을 유도하는 플라즈모닉 나노 구조를 형성하여 라만산란 증폭 효과를 얻을 수 있다.
이에 따라, 생체 분자를 비롯한 생화학 시료의 고감도 분리 및 검출이 가능하다.
다시 말하면, 크로마토그래피를 이용한 시료의 분리기능과 표면증강 라만산란을 이용한 시료의 고감도 검출 기능이 결합되어, 시료의 비표지 분리 및 고감도 검출이 동시에 가능하다.
또한, 표면증강 라만산란 나노구조가 구비된 크로마토그래피 기판은 단일 구조층으로 표면증강 라만산란을 실현할 수 있다.
나아가, 다양한 크로마토그래피 기판에 적용이 가능하므로 효율적이다.
한편, 본 발명에 따른 표면증강 라만산란 나노구조가 구비된 크로마토그래피 기판의 제조방법은 제작 방법이 매우 간단하기 때문에 저가의 크로마토그래피 기판의 제작이 가능하므로 저비용으로 고효율을 수행할 수 있어 경제적이다.
이상과 같이, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술 사상과 아래에 기재될 청구범위의 균등 범위 내에서 다양한 수정 및 변형 가능함은 물론이다.
100 : 크로마토그래피 기판
200 : 표면증강 라만산란 나노구조

Claims (12)

  1. 종이(paper) 재질의 크로마토그래피 기판; 및
    상기 크로마토그래피 기판의 일면에 형성되며, 셀룰로스 마이크로 화이버(110) 상에 금속이 강화된 나노섬(200)을 포함하는 계층적 과열점이 구비된 표면증강 라만산란(Surface-Enhanced Raman Scattering, SERS) 나노구조; 를 포함하는 표면증강 라만산란 나노구조가 구비된 크로마토그래피 기판.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 표면증강 라만산란 나노구조의 주기는 광파장 이하의 주기를 갖도록 형성된 것을 특징으로 하는 표면증강 라만산란 나노구조가 구비된 크로마토그래피 기판.
  5. 제 1항 및 4항 중 어느 한 항에 의한 크로마토그래피 기판을 제조하는 표면증강 라만산란 나노구조가 구비된 크로마토그래피 기판의 제조방법에 있어서,
    크로마토그래피 기판의 표면에 플라즈몬 특성을 갖는 플라즈몬 물질을 도포하는 도포 단계; 및
    30~160℃에서 열처리 하는 방법으로 상기 플라즈몬 물질이 입자화 되어 나노섬(nano islands)을 형성하는 입자화 단계;를 포함하는 표면증강 라만산란 나노구조가 구비된 크로마토그래피 기판의 제조방법.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 플라즈몬 물질은,
    은, 금, 백금, 알루미늄, 철, 아연, 구리, 주석, 청동, 황동, 니켈 이루어진 그룹으로부터 선택되는 적어도 하나 이상의 금속 또는 이들의 합금인 것을 특징으로 하는 표면증강 라만산란 나노구조가 구비된 크로마토그래피 기판의 제조방법.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 플라즈몬 물질은,
    ITO(Indium Tin Oxide)를 포함하는 산화물,
    TiN, SiNx를 포함하는 질화물,
    폴리에스테르, 폴리아크릴, 폴리에폭시, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌 및 폴리스티렌을 포함하는 저분자 화합물,
    고분자, 탄소나노튜브(Carbon Nano Tube), 그래파이트(Graphite), 그래핀(Graphen)을 포함하는 탄소화합물로 이루어진 그룹으로부터 선택되는 적어도 하나 이상의 물질인 것을 특징으로 하는 표면증강 라만산란 나노구조가 구비된 크로마토그래피 기판의 제조방법.
  8. 제5항에 있어서,
    상기 입자화 단계에서,
    질소, 아르곤, 헬륨, 네온, 크립톤, 제논을 포함하는 불활성 기체 중 선택되는 적어도 하나 이상의 기체 또는 진공 또는 대기 중에서 상기 플라즈몬 물질이 입자화되는 것을 특징으로 하는 표면증강 라만산란 나노구조가 구비된 크로마토그래피 기판의 제조방법.
  9. 삭제
  10. 제5항에 있어서,
    상기 열처리는 직접 가열 또는 대류를 이용한 방법인 것을 특징으로 하는 표면증강 라만산란 나노구조가 구비된 크로마토그래피 기판의 제조방법.
  11. 삭제
  12. 삭제
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