KR101474884B1 - 차압센서 - Google Patents

차압센서 Download PDF

Info

Publication number
KR101474884B1
KR101474884B1 KR1020140070415A KR20140070415A KR101474884B1 KR 101474884 B1 KR101474884 B1 KR 101474884B1 KR 1020140070415 A KR1020140070415 A KR 1020140070415A KR 20140070415 A KR20140070415 A KR 20140070415A KR 101474884 B1 KR101474884 B1 KR 101474884B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
sensor module
sensor
isolation diaphragm
pipe
differential pressure
Prior art date
Application number
KR1020140070415A
Other languages
English (en)
Inventor
김영수
Original Assignee
두온 시스템 (주)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 두온 시스템 (주) filed Critical 두온 시스템 (주)
Priority to KR1020140070415A priority Critical patent/KR101474884B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101474884B1 publication Critical patent/KR101474884B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L13/00—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values
    • G01L13/02—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements
    • G01L13/025—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements using diaphragms
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/08—Means for indicating or recording, e.g. for remote indication
    • G01L19/12—Alarms or signals
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/14—Housings
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L7/00—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements
    • G01L7/02—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements in the form of elastically-deformable gauges
    • G01L7/08—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements in the form of elastically-deformable gauges of the flexible-diaphragm type
    • G01L7/082—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements in the form of elastically-deformable gauges of the flexible-diaphragm type construction or mounting of diaphragms

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

차압센서에 대한 발명이 개시된다. 개시된 차압센서는: 센서바디의 양측에 구비되어 외부에서 전달되는 압력에 의해 변형되는 격리 다이어프램과, 격리 다이어프램의 축상을 벗어난 위치에 구비되는 센서모듈 및 격리 다이어프램과 센서모듈에 연결되며, 격리 다이어프램의 변형을 센서모듈에 전달하는 연동부를 포함하고, 연동부는 센서바디와 격리 다이어프램 사이에 형성되는 수용부와, 수용부와 센서모듈을 상호 연통하는 이송관 및 수용부와 이송관에 충진된 유체를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

차압센서{DIFFERENTIAL PRESSURE SENSOR}
본 발명은 차압센서에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 차압을 전달하는 유체를 적절한 양으로 조절할 수 있어 온도변화의 영향이 감소되어 측정 신뢰도를 향상시킬 수 있는 차압센서에 관한 것이다.
차압센서는 2개의 관로를 통해 양단간의 압력편차를 검출하는 센서를 말한다. 차압센서는 다이어프램식, 정전용량식, 압전방식 및 전기저항식 등 다양한 형태를 갖는다.
이들 중 다이어프램식 차압센서는 양단에 격리 다이어프램이 설치된 센서바디와, 센서바디 내부의 전극과 이격되게 배치되는 센터 다이어프램을 포함하는 구조, 센서 바디의 내부에 설치된 오일 이송관을 포함하는 구조를 갖는다.
측정 대상 입력이 격리 다이어프램으로 작용하면 오일이 오일 이송관을 통해 이송되어 그 압력이 센터 다이어프램 측으로 작용하게 된다. 그에 따라 센서바디 양단의 차압에 의해 센터 다이어프램의 이동이 발생하며, 센터 다이어프램과 전극과의 거리변화에 의해 정전 용량의 변화가 발생한다. 이러한 정전용량의 변화를 압력신호로 변환하여 차압을 측정하게 된다.
이와 같은 구조의 다이어프램식 차압센서를 이용하여 미세 차압을 측정하는 경우, 그 측정 정밀도를 향상시키기 위해서는 격리 다이어프램이 미세 압력에도 변형될 수 있어야 한다. 이를 위해서 격리 다이어프램의 두께를 박막화하거나 격리 다이어프램을 물결 형상(요철)으로 형성하여 변형이 용이하도록 하고 있다. 격리 다이어프램에 물결 형상을 형성하는 공정은 프레스 가공을 통해 이루어지는 것이 일반적이다.
한편, 국내 등록특허 제10-1176003호(등록일:2012.08.16)에는 "오일 공급부를 구비한 차압 센서와, 오일 충진 장치 및 방법"이 개시되어 있다.
본 발명의 목적은 차압을 전달하는 유체을 적절한 양으로 조절함으로써, 온도변화의 영향이 감소되어 측정 신뢰도를 향상시킬 수 있는 차압센서를 제공하는데 있다.
본 발명에 따른 차압센서는: 센서바디의 양측에 구비되어 외부에서 전달되는 압력에 의해 변형되는 격리 다이어프램과, 상기 격리 다이어프램의 축상을 벗어난 위치에 구비되는 센서모듈 및 상기 격리 다이어프램과 상기 센서모듈에 연결되며, 상기 격리 다이어프램의 변형을 상기 센서모듈에 전달하는 연동부를 포함하고, 상기 연동부는 상기 센서바디와 상기 격리 다이어프램 사이에 형성되는 수용부와, 상기 수용부와 상기 센서모듈을 상호 연통하는 이송관 및 상기 수용부와 상기 이송관에 충진된 유체를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 센서바디에는 상기 격리 다이어프램의 축상과 수직되는 방향에 상기 센서모듈이 안착되는 안착부가 구비되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 이송관은 상기 센서바디 내부에 구비되는 제1이송관 및 상기 제1이송관과 연결되어 상기 센서바디의 외측에 구비되어 상기 센서모듈과 연결되는 제2이송관을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 제1이송관에는 외부 온도변화시 상기 유체의 변형을 방지하도록 상기 제1이송관의 내경을 축소시키는 차단핀이 구비되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 제1이송관의 수직부위는 하부로 갈수록 직경이 좁아지도록 단차지게 형성되고, 상기 차단핀은 상기 제1이송관의 수직부위에 대응되어 구비되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 차단핀이 상기 제1이송관의 수직부위에서 기울어지는 것을 방지하는 센터링부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 센터링부는 상기 제1이송관의 수직부위 하단과 상기 차단핀의 하단에 상호 대응되게 형성되는 원뿔부 및 상기 차단핀의 상단부에 상기 제1이송관의 수직부위 상단의 직경과 동일하게 형성되는 헤드부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 차압센서는 격리 다이어프램의 변형을 전달하도록 유체가 충진된 이송관의 수직부위에 차단핀이 구비되어 차단핀에 의해 유체를 적절한 양으로 조절할 수 있어 온도변화의 영향이 감소되어 측정 신뢰도를 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명은 하나의 센서바디에 연동부가 구비되고, 센서모듈이 안착부에 안착되는 구조에 의해 부품수를 줄이고, 조립성을 향상시킬 수 있는 효과를 지닌다.
또한, 본 발명은 센서모듈이 격리 다이어프램의 축상을 벗어난 위치에 구비되어 플랜지 결합시 발생하는 체결력에 의한 영향을 회피하여 측정 신뢰도를 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명은 센서모듈의 둘레를 감싸는 보강부에 의해 하우징의 연결부위에 동시에 인가되는 라인압력에 의한 센서변형을 방지하여 측정 신뢰도를 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명은 센서바디의 외측에 마련되는 안착부에 의해 센서모듈의 지지가 용이하고, 몰딩부에 의해 센서모듈의 유동을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 차압센서의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 차압센서의 분해사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 차압센서의 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 차압센서의 보강부의 역할을 보인 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 차압센서의 요부 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 차압센서의 보강부의 변형예이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 차압센서의 센서모듈을 보인 요부단면도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 차압센서의 연동부를 보인 요부단면도이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 차압센서의 일 실시예를 설명한다.
이 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다. 또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 차압센서의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 차압센서의 분해사시도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 차압센서의 단면도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 차압센서의 보강부의 역할을 보인 도면이며, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 차압센서의 요부 사시도이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 차압센서의 보강부의 변형예이며, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 차압센서의 센서모듈을 보인 요부단면도이고, 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 차압센서의 연동부를 보인 요부단면도이다.
도 1 내지 도 8을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 차압센서(100)는 센서바디(110), 격리 다이어프램(120), 센서모듈(140), 연동부(150) 및 보강부(180)를 포함한다.
센서바디(110)는 하나의 원통 형상으로 이루어지고, 센서바디(110)의 양측에는 격리 다이어프램(120)이 구비된다. 격리 다이어프램(120)은 센서바디(110)의 양측에 구비되어 외부에서 전달되는 압력에 의해 변형되도록 구성된다.
그리고, 센서바디(110)의 양측에는 센서바디(110)와 관로를 연결하는 플랜지(130)가 구비된다. 즉, 도 2 또는 도 3에서 도시된 바와 같이 격리 다이어프램(120)은 관로와 센서바디(110) 사이에 개재되어 구비되며, 관로에서 전달되는 압력에 의해 변형 가능하다.
센서바디(110)의 양측에 구비되는 플랜지(130)는 상호 일치되는 볼트공이 형성되고, 볼트와 너트에 의해 체결된다.
격리 다이어프램(120)은 인가된 압력에 의해 변형이 용이하도록 물결 형상으로 형성된다. 이러한 격리 다이어프램(120)의 형상은 프레스 가공에 의해 형성된다.
센서모듈(140)은 격리 다이어프램(120)의 축상을 벗어난 위치에 구비된다. 이는 플랜지(130) 결합시 인가되는 체결력의 영향을 회피하여 측정 신뢰도를 향상시키기 위한 구성이다.
이러한, 센서모듈(140)은 한 쌍으로 이루어지고, 내부에 취성물질이 충진되는 하우징(142)과, 하우징(142)의 상호 마주하는 면에 각각 형성되어 상호 이격되는 전극(144)과, 전극(144) 사이에 개재되어 연동부(150)에 의해 전달된 압력에 의해 변형되는 센터 다이어프램(146) 및 센터 다이어프램(146)의 변형에 의해 발생되는 전극(144)의 전기적 신호를 압력신호로 변환시키는 전자보드(148)를 포함한다.
하우징(142)은 한 쌍으로 이루어져 용접에 의해 상호 접합된다. 그리고, 센서모듈(140) 내부의 센터 다이어프램(146)은 금속박막의 형태를 가지는데, 센터 다이어프램(146)과 취성물질 사이는 정전용량을 위한 일정한 공간이 형성된다. 이를 위해, 취성물질의 표면은 평면 또는 곡면 가공하여 오목한 형태로 형성된다.
전극(144)은 도전성 물질이 취성물의 표면에 증착되어 형성된다. 전극(144)에는 전선이 연결되며, 전선은 취성물질을 관통하여 하우징(142)의 외부로 노출되어 전자보드(148)와 연결된다.
이러한, 센서모듈(140)은 센서바디(110)의 일측에 구비되는 안착부(115)에 안착되어 고정된다. 안착부(115)는 격리 다이어프램(120)의 축상과 수직되는 방향에 구비되며, 안착부(115)의 내부는 함몰되어 형성되고, 하우징(142)의 하단부는 안착부(115)에 수용된다.
연동부(150)는 격리 다이어프램(120)과 센서모듈(140)에 연결되며, 격리 다이어프램(120)의 변형을 센서모듈(140)에 전달한다. 이러한 연동부(150)는 격리 다이어프램(120) 사이에 형성되는 수용부(152)와 수용부(152)와 센서모듈(140)을 상호 연통시키는 이송관(154) 및 수용부(152)와 이송관(154)에 충진된 유체(158)를 포함한다. 즉 연동부(150)는 격리 다이어프램(120)의 변형에 의해 유체(158)를 이동시킨다. 여기서 유체(158)는 오일로 이루어진다.
수용부(152)는 센서바디(110)의 양측에 형성되며, 센서바디(110)의 양측에 구비되는 격리 다이어프램(120)에 의해 형성되는 공간을 말한다. 수용부(152)의 내면은 격리 다이어프램(120)과 대응되도록 물결 형상이 형성된다.
그리고, 이송관(154)은 센서바디(110) 내부에 구비되는 제1이송관(155) 및 제1이송관(155)과 연결되어 센서바디(110)의 외측에 구비되어 센서모듈(140)과 연결되는 제2이송관(156)을 포함한다.
제1이송관(155)은 수용부(152)와 연결되고, 복수개의 직선관으로 이루어져 상측으로 절곡되어 형성된다. 그리고, 제1이송관(155)에는 외부 온도변화시 유체(158)의 변형을 방지하도록 제1이송관(155)의 내경을 축소시키는 차단핀(160)이 구비된다.
차단핀(160)은 제1이송관(155)의 수직부위에 구비된다. 도 3 또는 도 8에서 도시된 바와 같이 센서바디(110)의 홀로 이루어지는 제1이송관(155)의 수직부위에 차단핀(160)이 구비되어 제1이송관(155)에 충진된 유체(158)의 양을 많은 양이 아닌 적절한 양으로 조절할 수 있다. 이는 유체(158)가 온도변화에 대해 수축과 팽창이 발생하게 되는데, 이 변화는 센서신호에 영향을 미치게 된다. 즉, 유체(158)의 양이 많을 수록 그 변화에 대한 영향은 더 많이 발생하므로 차단핀(160)에 의해 충진된 유체(158)의 양을 적절하게 조절함으로써, 유체(158)의 변형을 최소화할 수 있다.
그리고, 제1이송관(155)은 내부에 유체(158)를 주입할 수 있는 주입관(155a)이 구비된다. 주입관(155a)의 단부는 유체(158) 주입 이후 용접에 의해 밀봉된다. 주입관(155a)을 통한 유체(158)의 유입을 살펴보면, 유체(158)는 격리 다이어프램(120)에 의해 형성되는 수용부(152)와 이송관(154) 및 센서모듈(140)의 센터 다이어프램(146) 사이의 공간에 충진되어 지는데, 진공챔버 내에서 주입관(155a)에 유체(158)충진튜브를 연결한 후 유체(158)충진튜브를 통해 유체(158)를 주입한다.
제1이송관(155)의 수직부위는 하부로 갈수록 직경이 좁아지도록 단차지게 형성되고, 차단핀(160)은 제1이송관(155)의 수직부위에 대응되어 구비된다. 이는 센서바디(110)에 제1이송관(155)의 형성 작업을 용이하게 하기 위한 구성으로, 드릴가공에 의해 형성되는 제1이송관(155)은 하부로 갈수록 점진적으로 작은 직경의 드릴을 이용하는 방법으로 용이하게 제1이송관(155)을 형성할 수 있다.
또한, 차단핀(160)은 센터링부(170)에 의해 제1이송관(155)의 수직부위에서 기울어짐을 방지할 수 있다. 센터링부(170)는 제1이송관(155)의 수직부위 하단과 차단핀(160)의 하단에 상호 대응되게 형성되는 원뿔부(172) 및 차단핀(160)의 상단부에 제1이송관(155)의 수직부위 상단의 직경과 동일하게 형성되는 헤드부(174)를 포함한다. 즉, 차단핀(160)의 상단은 헤드부(174)에 의해 고정되고, 하단은 원뿔부(172)에 의해 정확한 중심에 기립된 상태를 유지할 수 있다.
제2이송관(156)은 제1이송관(155)과 연결되며, 센서바디(110)의 외측에 구비되는 센서모듈(140)의 하우징(142)과 직접 연결된다. 제1이송관(155)은 센서바디(110)에 형성되는 홀인 반면 제2이송관(156)은 원형단면의 곡선관으로 이루어진다. 이는 센서모듈(140)을 격리 다이어프램(120)의 축상에서 벗어난 위치에 구비하기 위한 구성이다.
보강부(180)는 센서모듈(140)의 변형을 방지하는 것으로서, 하우징(142)의 둘레를 감싸는 보강브라켓(182)으로 이루어진다. 보강브라켓(182)은 상하부가 개구된 직육면체 형상으로 이루어져 하우징(142)의 중앙부에 끼워져 고정된다. 이때, 보강브라켓(182)에는 하우징(142)과 연결되는 연동부(150)와 결합되어 보강브라켓(182)이 하우징(142)의 중간부위에 위치되게 하는 센터링절개홀(183)이 형성된다. 즉, 보강브라켓(182)의 양측면에는 제2이송관(156)과 간섭되지 않도록 센터링절개홀(183)이 형성되게 되는데, 센터링절개홀(183)의 깊이에 의해 제2이송관(156)이 삽입되게 되며, 이로 인해 보강브라켓(182)은 하우징(142)의 중간부위에 위치되어 라인압력 발생시 하우징(142)의 변형을 방지할 수 있다.
이러한 보강브라켓(182)은 라인압력에 의한 영향을 억제하여 측정 신뢰도를 향상시키기 위한 구성이다. 여기서, 라인압력은 플랜지(130)에 의해 연결된 관로 내에 발생하는 압력에 의해 유체(158)의 이동으로 하우징(142)과 하우징(142)의 접합부위에 동시에 인가된 압력을 말한다.
이러한 라인압력에 의해 하우징(142)은 도 4에서 도시된 바와 같이 변형이 발생하게 되는데, 보강브라켓(182)에 의해 이를 방지할 수 있어 측정 신뢰도를 향상시킬 수 있다.
한편, 보강브라켓(182)의 변형예로서, 도 6에서 도시된 바와 같이 보강브라켓(182)에는 안착부(115)로부터 보강브라켓(182)을 지지하는 지지레그(184)가 구비된다. 지지레그(184)는 보강브라켓(182)의 하단 각 모서리에서 하부로 연장 형성되어 하우징(142)에서 보강브라켓(182)이 비틀어지는 것을 방지할 수 있다.
그리고, 보강부(180)는 안착부(115) 내에 구비되는 몰딩부(185)를 포함한다. 몰딩부(185)는 합성수지로 이루어지며, 안착부(115) 내에 충진되어 경화됨으로써, 센서모듈(140)의 유동을 방지한다.
이하, 상기한 구조를 갖는 본 발명의 일 실시예에 따른 차압센서의 작용 및 효과를 설명하면 다음과 같다.
센서바디(110)의 양측에는 각각 플랜지(130)가 구비되고, 플랜지(130)는 볼트와 너트에 의해 센서바디(110)의 양측에 결합되며, 플랜지(130)에는 관로가 연결된다.
이때, 센서바다의 양측에는 격리 다이어프램(120)이 용접에 의해 밀폐구조로 형성되고, 격리 다이어프램(120)은 센서바디(110)와 플랜지(130) 사이에 개재되어 관로에서 발생되는 압력이 전달되어 변형될 수 있다.
관로에서 발생되는 압력이 격리 다이어프램(120)에 전달되어 격리 다이어프램(120)을 변형시키면, 이송관(154)을 통해 유체(158)가 이동되어 센서모듈(140)에 전달된다.
즉, 수용부(152)와 이송관(154)내에는 유체(158)가 충진된 상태이므로 격리 다이어프램(120)의 변형은 유체(158)를 제1이송관(155)과 제2이송관(156)을 따라 센서모듈(140)에 공급되고, 센서모듈(140)의 내부에 구비되는 센터 다이어프램(146)을 변형시킨다.
이때, 취성물질에 형성되는 전극(144)과 센터 다이어프램(146) 사이의 거리에 변화가 생기게 되고, 변화된 거리는 정전용량의 변화로 나타나게 된다.
정전용량의 일반적인 수식은 다음과 같다.
Figure 112014054302890-pat00001
C = 정전용량값
K = 유전체상수
A = 면적
d = 거리
이러한 정전용량의 변화는 전선에 의해 전기적인 신호로 전자보드(148)에 전달되며, 전자보드(148)는 전기신호를 압력신호로 변환하여 차압을 측정하게 된다.
이때, 센서모듈(140)은 센서바디(110)의 외측에 마련되는 안착부(115)에 구비되어 센서모듈(140)과 플랜지(130)의 위치를 분리 형성함으로써, 플랜지(130) 결합에 의해 체결력의 영향을 회피할 수 있다. 즉, 플랜지(130) 체결을 위한 볼트, 너트의 체결장력에 의한 격리 다이어프램(120)의 뒤틀림과 높은 라인 압력에 의한 정전용량의 변화를 최소화시킬 수 있다. 이러한 플랜지(130)의 결합에 의한 변화요인에 직접 노출되지 않아 측정 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
그리고, 하우징(142)의 둘레에는 보강브라켓(182)이 구비되어 라인압력으로 인한 하우징(142)의 변형을 방지할 수 있다. 이를 자세히 살펴보면, 도 4에서 도시된 바와 같이 관로에서 발생되는 라인압력은 수용부(152)와 이송관(154)에 충진된 유체(158)에 의해 전달되어 하우징(142)과 하우징(142) 연결부위에 동시에 인가되어 하우징(142)을 변형시킬 수 있는데, 기구적인 보강브라켓(182)에 의해 하우징(142)의 변형을 방지할 수 있어 차압 측정값이 미치는 영향을 방지할 수 있다. 이는 상하부가 개구된 직육면체의 보강브라켓(182)이 하우징(142)의 둘레면에 끼움 결합되므로써, 가능하다.
이때, 보강브라켓(182)에는 센터링절개홀(183)이 형성되어 보강브라켓(182)을 하우징(142)의 중간부위에 정확하게 위치시킬 수 있다. 그리고, 변형예로서, 도 6에서 도시된 바와 같이 보강브라켓(182)의 하부에는 보강브라켓(182)을 지지하는 지지레그(184)가 형성되어 보강브라켓(182)의 결합시 보강브라켓(182)이 하우징(142)에서 비틀어지는 것을 방지할 수 있다.
더욱이, 안착부(115)에 구비되는 하우징(142)은 몰딩부(185)에 의해 고정되므로 유동을 방지할 수 있어 제품의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
도 3에 도시된 바와 같이 제1이송관(155)의 수직부위에는 차단핀(160)이 구비되어 충진된 유체(158)의 양을 많은 양이 아닌 적절한 양으로 조절할 수 있어 온도변화에 의해 발생할 수 있는 유체(158)의 수축과 팽창을 저감시킴으로써, 센서신호에 미치는 영향을 최소화할 수 있다.
그리고, 차단핀(160)은 도 8에서 도시된 바와 같이 제1이송관(155)의 수직부위에서 센터링부(170)에 의해 정확한 중심에 위치될 수 있어 유체(158) 작동의 신뢰성을 향상시킨다.
한편, 센서모듈(140)이 플랜지(130)가 결합되는 격리 다이어프램(120)의 축상에서 벗어난 구조에 의해 온도센서(미도시)를 내장하고 있는 전자보드(148)와 하우징(142)의 거리가 가까워짐에 따라 온도변화에 따른 센서모듈(140)의 변화량 보상이 용이한 구조를 지닌다.
상기한 바와 같이 본 발명의 일 실시예에 따른 차압센서에 의하면, 센서모듈의 위치에 의해 플랜지 결합시 발생하는 체결장력에 의한 영향을 회피할 수 있고, 센서모듈의 둘레를 감싸는 보강부에 의해 하우징의 연결부위에 동시에 인가되는 라인압력에 의한 센서변형을 방지하여 측정 신뢰도를 향상시킬 수 있다.
또한, 격리 다이어프램의 변형을 전달하도록 유체가 충진된 이송관의 수직부위에 차단핀이 구비되어 차단핀에 의해 유체를 적절한 양으로 조절할 수 있어 온도변화의 영향이 감소되어 측정 신뢰도를 향상시킬 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 하여 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.
따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 특허청구범위에 의해서 정하여져야 할 것이다.
100 : 차압센서 110 : 센서바디
115 : 안착부 120 : 격리 다이어프램
130 : 플랜지 140 : 센서모듈
142 : 하우징 143 : 취성물질
144 : 전극 146 : 센터다이어프램
148 : 전자보드 150 : 연동부
152 : 수용부 154 : 이송관
155 : 제1이송관 155a : 주입관
156 : 제2이송관 158 : 유체
160 : 차단핀 170 : 센터링부
172 : 원뿔부 174 : 헤드부
180 : 보강부 182 : 보강브라켓
183 : 센터링절개홀 184 : 지지레그
185 : 몰딩부

Claims (7)

  1. 센서바디의 양측에 구비되어 외부에서 전달되는 압력에 의해 변형되는 격리 다이어프램과, 상기 격리 다이어프램의 축상을 벗어난 위치에 구비되는 센서모듈; 및 상기 격리 다이어프램과 상기 센서모듈에 연결되며, 상기 격리 다이어프램의 변형을 상기 센서모듈에 전달하는 연동부를 포함하고;
    상기 연동부는 상기 센서바디와 상기 격리 다이어프램 사이에 형성되는 수용부와, 상기 수용부와 상기 센서모듈을 상호 연통하는 이송관 및 상기 수용부와 상기 이송관에 충진된 유체를 포함하며;
    상기 이송관은 상기 센서바디 내부에 구비되는 제1이송관 및 상기 제1이송관과 연결되어 상기 센서바디의 외측에 구비되어 상기 센서모듈과 연결되는 제2이송관을 포함하고;
    상기 제1이송관에는 외부 온도변화시 상기 유체의 변형을 방지하도록 상기 제1이송관의 내경을 축소시키는 차단핀이 구비되며;
    상기 제1이송관의 수직부위는 하부로 갈수록 직경이 좁아지도록 단차지게 형성되고;
    상기 차단핀은 상기 제1이송관의 수직부위에 대응되어 구비되며;
    상기 차단핀이 상기 제1이송관의 수직부위에서 기울어지는 것을 방지하는 센터링부를 포함하고;
    상기 센터링부는 상기 제1이송관의 수직부위 하단과 상기 차단핀의 하단에 상호 대응되게 형성되는 원뿔부; 및
    상기 차단핀의 상단부에 상기 제1이송관의 수직부위 상단의 직경과 동일하게 형성되는 헤드부를 포함하며;
    상기 센터링부에 의해 상기 차단핀과 상기 제1이송관의 360도 전방위의 유격이 동일한 것을 특징으로 하는 차압센서.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 센서바디에는 상기 격리 다이어프램의 축상과 수직되는 방향에 상기 센서모듈이 안착되는 안착부가 구비되는 것을 특징으로 하는 차압센서.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 삭제
KR1020140070415A 2014-06-10 2014-06-10 차압센서 KR101474884B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140070415A KR101474884B1 (ko) 2014-06-10 2014-06-10 차압센서

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140070415A KR101474884B1 (ko) 2014-06-10 2014-06-10 차압센서

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101474884B1 true KR101474884B1 (ko) 2014-12-19

Family

ID=52679496

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020140070415A KR101474884B1 (ko) 2014-06-10 2014-06-10 차압센서

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101474884B1 (ko)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007524084A (ja) 2003-10-02 2007-08-23 ローズマウント インコーポレイテッド 密封されたセンサハウジングを有する圧力送信機モジュール

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007524084A (ja) 2003-10-02 2007-08-23 ローズマウント インコーポレイテッド 密封されたセンサハウジングを有する圧力送信機モジュール

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8578783B2 (en) Process fluid pressure transmitter with separated sensor and sensor electronics
RU2581079C2 (ru) Улучшенный копланарный модуль датчика давления технологической текучей среды
US10126193B2 (en) Compact or miniature high temperature differential pressure sensor capsule
CN102334019A (zh) 具有半导体压力测量换能器的压力传感器
KR102017300B1 (ko) 압력 센서
US8234927B2 (en) Differential pressure sensor with line pressure measurement
RU2629900C1 (ru) Узел, чувствительный к давлению технологической текучей среды, для преобразователей давления, подвергающихся высокому рабочему давлению
CN104956194A (zh) 压力传感器、使用该压力传感器的质量流量计以及质量流量控制器
CN101512314A (zh) 压力测量变换器
US9476744B2 (en) Integrated orifice plate assembly
US10048152B2 (en) Pressure transmitter with overpressure protection
EP3123134B1 (en) Span line pressure effect compensation for diaphragm pressure sensor
KR20110134308A (ko) 밀폐형 압력 감지 장치
US10620072B2 (en) Capacitive pressure sensor
US10330547B2 (en) Pressure measuring device
CN103080717A (zh) 具有用于接收膜应力的槽的电容式压力传感器
US20160091379A1 (en) Differential pressure sensor with high pressure capabilities
US20190056280A1 (en) Pressure detection device and pressure sensor
KR101474883B1 (ko) 차압센서
KR101474884B1 (ko) 차압센서
US9285255B2 (en) Flow meter
US8375798B2 (en) External pressure measuring device
JP6022698B2 (ja) 高圧流体カップリング
KR20140070266A (ko) 차압센서
WO2015162113A1 (en) Differential pressure sensor

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181218

Year of fee payment: 5