KR101468881B1 - 캐리어 기판 및 이를 이용한 터치스크린 패널의 제조방법 - Google Patents

캐리어 기판 및 이를 이용한 터치스크린 패널의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명의 캐리어 기판은 기재; 상기 기재 위에 터치스크린 패널용 글라스 기판을 정렬시키기 위해 상기 기재에 형성되는 얼라인 키; 상기 터치스크린 패널용 글라스 기판의 테두리 부분에 대응되는 기재 부분 표면에 오목한 홈 형태로 형성되는 점착부; 및 상기 터치스크린 패널용 글라스 기판이 정렬되는 기재 부분에 상기 기재를 관통하여 형성되는 벤트 홀을 포함하는 것을 특징으로 한다. 상기 캐리어 기판은 초박형의 글라스 기판을 이용한 터치스크린 패널 제조 시, 커버 글라스 기판의 휨 현상, 파손 및 정렬 문제를 해결하여 생산성을 향상시킬 수 있다.

Description

캐리어 기판 및 이를 이용한 터치스크린 패널의 제조방법{CARRIER SUBSTRATE AND METHOD FOR PREPARING TOUCH SCREEN PANEL USING THE SAME}
본 발명은 캐리어 기판 및 이를 이용한 터치스크린 패널의 제조방법에 관한 것이다. 보다 구체적으로, 본 발명은 오목한 홈 형태의 실링부, 벤트 홀 및 얼라인먼트 키를 적용하여, 박형의 글라스 기판을 이용한 터치스크린 패널 제조 시, 센서용 글라스 기판의 휨 현상, 파손 및 정렬 문제를 해결하여 생산성을 향상시킬 수 있는 캐리어 기판 및 이를 이용한 터치스크린 패널의 제조방법에 관한 것이다.
터치스크린 패널은 디스플레이 전면에 부착되어 사용자의 터치 입력을 수신하는 장치이다. 일반적으로, 터치스크린 패널은 투명한 플레이트 표면에 도전 라인을 형성하고, 도전 라인을 통하여 사용자의 터치 입력의 위치를 검출한다. 터치스크린 패널은 저항에 의한 전류의 변화를 감지하는 저항식 터치스크린 패널과 커패시턴스의 변화를 감지하는 정전식 터치스크린 패널로 구분된다. 정전식 터치스크린 패널은 저항식 터치스크린 패널에 비하여 터치감이 우수하여 점점 사용 분야가 증가하고 있다.
일반적인 정전식 터치스크린 패널은 투명한 기판 상에 인듐주석산화물(Indium Tin Oxide)과 같은 투명 감지 전극(투명 전도막)의 상면을 터치하여 터치된 영역의 정전용량의 변동에 따라 위치 좌표를 찾는 방식으로 사용자의 터치 입력의 위치를 검출하고 있다.
통상적으로 터치스크린 패널에 사용되는 투명 기판으로는 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET) 기판이나 글라스(glass) 기판이 대표적이다. 이 중, 글라스 기판이 면저항이나 투과도 측면에서 우수하므로 널리 사용되고 있다. 특히, 통상의 글라스 기판은 PET 기판에 비하여 두껍고 무거운 단점이 있으나, 최근 초박형 플렉서블 글라스 기판이 터치 스크린 패널로 적용되면서 이러한 단점이 보완되어 사용되고 있다. 단, 상기 초박형 플렉서블 글라스 기판을 사용하면 터치스크린 패널의 성능은 향상될 수 있으나, 얇은 두께로 인하여 생산 과정 중 휘어지거나 파손될 우려가 있고, 글라스 기판에 위치하는 여러 개의 소자(cell)는 각각 패턴 정렬(alignment) 시 미세 조절에 어려울 수 있다는 단점이 있다. 이러한 단점은 센서용 모기판(mother glass sheet) 위에 포토리쏘그래피 공정, 증착 공정 등을 수행하여 여러 개의 셀(cell)을 동시에 제조하고, 상기 센서용 모기판을 셀 단위로 커팅(cutting)하여 터치스크린 패널을 제조하는 패널 타입 공정에서, 상기 센서용 모기판으로 사용되는 글라스 기판이 초박형 플렉서블 글라스 기판일 경우, 기판의 크기에 비해 두께가 너무 얇아지므로 더욱 문제가 될 수 있다.
따라서, 이러한 문제를 해결하고 생산성을 향상시킬 수 있는 터치스크린 패널 제조방법이 요구되고 있다.
본 발명의 목적은 박형(예를 들어, 두께 0.2 mm 이하)의 글라스 기판을 이용한 터치스크린 패널 제조 시, 센서용 글라스 기판의 휨 현상, 파손 및 정렬 문제를 해결하여 생산성을 향상시킬 수 있는 캐리어 기판 및 이를 이용한 터치스크린 패널의 제조방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 상기 및 기타의 목적들은 하기 설명되는 본 발명에 의하여 모두 달성될 수 있다.
본 발명의 하나의 관점은 캐리어 기판에 관한 것이다. 상기 캐리어 기판은 기재; 상기 기재 위에 터치스크린 패널용 글라스 기판을 정렬시키기 위해 상기 기재에 형성되는 얼라인 키; 상기 터치스크린 패널용 글라스 기판의 테두리 부분에 대응되는 기재 부분 표면에 오목한 홈 형태로 형성되는 점착부; 및 상기 터치스크린 패널용 글라스 기판이 정렬되는 기재 부분에 상기 기재를 관통하여 형성되는 벤트 홀을 포함하는 것을 특징으로 한다.
구체예에서, 상기 기재의 두께는 0.3 내지 5 mm일 수 있다.
구체예에서, 상기 터치스크린 패널용 글라스 기판의 두께는 0.2 mm 이하일 수 있다.
구체예에서, 상기 점착부의 폭은 0.1 내지 5 mm이고, 깊이는 0.05 내지 0.3 mm일 수 있다.
구체예에서, 상기 점착부에는 상기 기재에 상기 터치스크린 패널용 글라스 기판이 정렬된 후, 점착제가 충진될 수 있다.
바람직하게는 상기 점착제는 내열성 점착제일 수 있다.
구체예에서, 상기 벤트 홀의 직경은 0.5 내지 5 mm일 수 있다.
구체예에서, 상기 벤트 홀은 마개에 의해 개폐될 수 있다.
본 발명의 다른 관점은 터치스크린 패널의 제조방법에 관한 것이다. 상기 제조방법은 상기 캐리어 기판 위에 상기 캐리어 기판의 얼라인 키를 사용하여 터치스크린 패널용 글라스 기판을 정렬하고; 상기 점착부에 점착제를 충진하여 상기 터치스크린 패널용 글라스 기판을 부착하고; 상기 터치스크린 패널용 글라스 기판 위에 제1 회로층을 형성하고; 상기 제1 회로층 위에 절연층을 적층하고; 상기 절연층 위에 제2 회로층을 형성하고; 그리고 상기 캐리어 기판을 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
구체예에서, 상기 제1 및 제2 회로층은 투명 전도층 증착 후, 상기 투명 전도층 위에 금속 전도층을 형성하여 제조할 수 있다.
바람직하게는 상기 금속 전도층 형성 시, 상기 캐리어 기판의 벤트 홀은 금속 전도층 형성방법에 따라 마개로 밀폐되거나 개방될 수 있다.
구체예에서, 상기 캐리어 기판의 분리는 상기 캐리어 기판의 벤트 홀에 공기를 주입하거나, 나이프 에지(knife edge), 또는 유기용매를 사용하여 수행할 수 있다.
본 발명은 박형(예를 들어, 두께 0.2 mm 이하) 글라스 기판을 이용한 터치스크린 패널 제조 시, 센서용 글라스 기판의 휨 현상, 파손 및 정렬 문제를 해결하여 생산성을 향상시킬 수 있는 캐리어 기판 및 이를 이용한 터치스크린 패널의 제조방법을 제공하는 발명의 효과를 갖는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 터치스크린 패널용 글라스 기판을 정렬 및 부착한 캐리어 기판의 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 터치스크린 패널용 글라스 기판을 정렬 및 부착한 캐리어 기판의 평면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 터치스크린 패널 제조방법을 나타낸 공정도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명을 상세히 설명하고자 한다. 그러나, 본 발명에 개시된 기술은 여기서 설명되는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 단지, 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록, 그리고, 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다. 도면에서 각 장치의 구성요소를 명확하게 표현하기 위하여 상기 구성요소의 폭이나 두께 등의 크기를 다소 확대하여 나타내었다. 또한, 설명의 편의를 위하여 구성요소의 일부만을 도시하기도 하였으나, 당업자라면 구성요소의 나머지 부분에 대하여도 용이하게 파악할 수 있을 것이다. 전체적으로 도면 설명 시 관찰자 시점에서 설명하였고, 일 요소가 다른 요소 위 또는 아래에 위치하는 것으로 언급되는 경우, 이는 상기 일 요소가 다른 요소 위 또는 아래에 바로 위치하거나 그들 요소들 사이에 추가적인 요소가 개재될 수 있다는 의미를 모두 포함하며, “위”, “아래”의 기준은 도면을 기준으로 한 것이다. 또한, 해당 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명의 사상을 다양한 다른 형태로 구현할 수 있을 것이다. 그리고, 복수의 도면들 상에서 동일 부호는 실질적으로 서로 동일한 요소를 지칭한다.
한편, 본 발명에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다. “제1 ” 또는 “제2 ” 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다. 예를 들어, 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수도 있다.
또한, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, “포함하다”, “가지다” 등의 용어는 기술되는 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
또한, 방법 또는 제조방법을 수행함에 있어서, 상기 방법을 이루는 각 과정들은 문맥상 명백하게 특정 순서를 기재하지 않은 이상 명기된 순서와 다르게 일어날 수 있다. 즉, 각 과정들은 명기된 순서와 동일하게 일어날 수도 있고 실질적으로 동시에 수행될 수도 있으며 반대의 순서대로 수행될 수도 있다.
도 1 및 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 터치스크린 패널용 글라스 기판을 정렬 및 부착한 캐리어 기판의 단면도 및 평면도이다. 도 1 및 2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 캐리어 기판은 기재(10), 상기 기재(10) 위에 터치스크린 패널용 글라스 기판(20)을 정렬시키기 위해 상기 기재(10)에 형성되는 얼라인 키(12); 상기 터치스크린 패널용 글라스 기판(20)의 테두리 부분에 대응되는 기재(10) 부분 표면에 오목한 홈 형태로 형성되는 점착부(30); 및 상기 터치스크린 패널용 글라스 기판(20)이 정렬되는 기재(10) 부분에 상기 기재(10)를 관통하여 형성되는 벤트 홀(40)을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 사용되는 기재(10)로는 통상의 캐리어 기판용 기재가 제한 없이 사용될 수 있으며, 예를 들면, 유리, 금속, 반도체, 고분자, 세라믹 등을 포함할 수 있으나, 이에 제한되지 않는다. 바람직하게는 유리 기판이 사용될 수 있다. 상기 기재(10)의 두께는 예를 들면 0.3 내지 5 mm, 바람직하게는 0.5 내지 2 mm일 수 있다. 상기 범위에서 수송하고자 하는 박막형 터치스크린 패널용 글라스 기판의 보강성 및 캐리어 기판의 경량화를 확보할 수 있다.
본 발명에 사용되는 얼라인 키(12)는 상기 기재(10) 위에 지그(jig) 등을 사용하여 상기 터치스크린 패널용 글라스 기판(20)이 각 공정 단계마다 패턴용 마스크와 정렬(alignment)되도록 하기 위한 것이다. 상기 얼라인 키(12)는 상기 기재(10) 상의 상기 터치스크린 패널용 글라스 기판이 위치하지 않는 부분, 예를 들어 각 모서리 부분에 형성될 수 있다. 상기 얼라인 키(12)는 통상적인 얼라인 키 형성방법에 따라 형성될 수 있으며, 예를 들면, 상기 기재(10) 표면을 일정 크기 및 깊이로 식각하여 형성하거나 레이저 마킹 프린팅, 또는 블랙매트릭스(BM)를 코팅하여 형성할 수 있다. 또한, 상기 제1 얼라인 키(12)의 모양은 예를 들면, 십자 모양 등일 수 있으나, 이에 제한되지 않는다.
구체예에서, 상기 터치스크린 패널용 글라스 기판(20)으로는 통상의 터치스크린 패널용 글라스 기판이 사용될 수 있으며, 예를 들면, 두께가 0.2 mm 이하, 바람직하게는 0.05 내지 0.2 mm인 초박막형 글라스 기판일 수 있다. 상기 터치스크린 패널용 글라스 기판(20)은 제조하고자 하는 터치스크린 패널의 용도 등에 따라 크기, 조성 등이 달라질 수 있으며, 알루미노 규산염(alumino silicate), 소다 석회(soda lime), 이들의 혼합물 등을 포함하는 유리를 포함할 수 있고, 화학 강화된 유리가 사용될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 또한, 여러 개의 셀(cell)이 형성될 수 있도록, 상기 터치스크린 패널용 글라스 기판(20) 위에 각 셀 영역(22)이 존재할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
본 발명에 사용되는 점착부(30)는 상기 터치스크린 패널용 글라스 기판(20) 정렬 후, 상기 터치스크린 패널용 글라스 기판(20)의 테두리 아래에 점착제(32)를 투입 및 경화시키는 영역이다. 즉, 상기 터치스크린 패널용 글라스 기판(20)을 상기 기재(10)에 밀착 및 부착시키기 위한 상기 점착제(32)가 충진되는 공간이다. 상기 점착부(30)의 폭은 0.1 내지 5 mm, 바람직하게는 0.5 내지 4 mm이고, 깊이는 0.05 내지 0.3 mm, 바람직하게는 0.1 내지 0.2 mm일 수 있다. 상기 범위에서 글라스 기판이 충분히 밀착 및 부착될 수 있는 양의 점착체가 충진될 수 있다.
구체예에서, 상기 점착제(32)는 통상의 내열성 점착제일 수 있다. 예를 들면, 상기 점착제(32)는 150 내지 260℃에서 내열성을 갖는 실리콘계 점착제, 아크릴계 점착제 등을 포함할 수 있으나, 이에 제한되지 않는다. 바람직하게는 실리콘계 점착제가 사용될 수 있다.
본 발명에 사용되는 벤트 홀(40)은 상기 터치스크린 패널용 글라스 기판(20)이 정렬되는 기재(10) 부분에 상기 기재(10)를 관통하여 형성되는 것으로서, 상기 터치스크린 패널용 글라스 기판(20)이 정렬되는 기재(10) 부분, 바람직하게는 상기 터치스크린 패널용 글라스 기판(20)의 중앙 및/또는 가장자리가 정렬되는 기재(10) 부분에 1개 이상, 바람직하게는 1 내지 5개 형성될 수 있다. 상기 벤트 홀(40)의 직경은 0.5 내지 5 mm, 바람직하게는 1 내지 3 mm일 수 있다. 상기 범위에서 진공 및 고온 상태에서 공정을 진행할 경우에도 안정적인 제조가 가능할 수 있다.
구체예에서, 상기 벤트 홀(40)은 마개에 의해 개폐될 수 있다. 예를 들면, 터치스크린 패널 제조 공정 중 포토리쏘그래피 공정과 같이 용매가 사용되는 공정 중에는 상기 마개로 벤트 홀(40)을 막아 상기 터치스크린 패널용 글라스 기판(20)의 표면을 용매로부터 보호할 수 있고, 고온 진공 증착 공정 중에는 상기 벤트 홀(40)을 개방하여 밀폐된 공간이 발생되는 것을 방지하여 해당 공정으로 인한 수축 팽창이 발생되지 않도록 하는 효과를 얻을 수 있다. 또한, 터치스크린 패널 제조 후, 상기 벤트 홀(40)에 공기를 주입하여 캐리어 기판으로부터 터치스크린 패널이 형성된 터치스크린 패널용 글라스 기판(20)을 분리할 수도 있다.
상기 마개는 상기 벤트 홀(40)을 개폐할 수 있는 것을 제한 없이 사용할 수 있으나, 고온 환경과 화학적 용매에 강한 재료가 바람직하게 사용될 수 있다. 예를 들면, 고무 마개(rubber coak) 또는 테이프 등을 사용할 수 있으나, 이에 제한되지 않는다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 터치스크린 패널 제조방법을 나타낸 공정도이다. 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 터치스크린 패널의 제조방법은 상기 캐리어 기판(기재(10)) 위에 상기 캐리어 기판의 얼라인 키(12)를 사용하여 터치스크린 패널용 글라스 기판(20)을 정렬하고(S1 단계); 상기 점착부(30)에 점착제(32)를 충진하여 상기 터치스크린 패널용 글라스 기판(20)을 부착하고(S2 단계); 상기 터치스크린 패널용 글라스 기판(S3 단계) 위에 제1 회로층(50)을 형성하고(S4 단계); 상기 제1 회로층(50) 위에 절연층(60)을 적층하고(S5 단계); 상기 절연층(60) 위에 제2 회로층(70)을 형성하고(S6 단계); 그리고 상기 캐리어 기판을 분리하는 단계(S7 단계)를 포함하는 것을 특징으로 한다.
구체예에서, 상기 터치스크린 패널용 글라스 기판(20)의 정렬은 광학적 카메라 인식을 통한 방법이나 에지(edge) 또는 홀 가공부를 배면에 위치한 지그에 안착시키는 방법에 의한 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않는다. 이러한 얼라인 키에 의한 정렬 방법은 당업자에 의해 용이하게 수행될 수 있다.
구체예에서, 상기 제1 및 제2 회로층(50, 70)은 통상의 터치스크린 패널의 회로층일 수 있으며, 예를 들면, 투명 전도층 증착 후, 상기 투명 전도층 위에 금속 전도층을 형성하여 제조할 수 있다.
상기 투명 전도층으로는 통상의 투명 전도층이 사용될 수 있으며, 예를 들면, 인듐 주석 산화물(ITO, indium tin oxide), 비소 주석 산화물(ATO, antimony tin oxide), 불소 함유 주석 산화물(FTO, fluorine doped tin oxide), 아연 주석 산화물 (ZTO, zinc tin oxide), 전도성 고분자, 탄소 나노 튜브(CNT, carbon nanotube), 그래핀(graphene), 이들의 혼합물 등을 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않는다. 상기 투명 전도층은 화학기상증착법, 진공증착법, 플라즈마증착법, 또는 스퍼터링법에 의하여 형성될 수 있다.
또한, 상기 금속 전도층으로는 통상의 금속 전도층이 사용될 수 있으며, 예를 들면, 팔라듐, 백금, 알루미늄, 은, 구리, 금, 니켈, 주석, 산화인듐, 코발트, 이들의 혼합물 등을 포함할 수 있으나, 이에 제한되지 않는다. 상기 금속 전도층은 포토리소그래피법 또는 인쇄법에 의하여 형성될 수 있다. 이때, 상기 포토리쏘그래피 공정과 같이 용매가 사용되는 공정 중에는 상기 마개로 벤트 홀(40)을 막아 상기 터치스크린 패널용 글라스 기판(20)의 표면을 용매로부터 보호할 수 있다. 상기 제1 및 제2 회로층(50, 70)의 형성은 당업자에 의해 용이하게 수행될 수 있다.
구체예에서, 상기 절연층(60)은 통상의 터치스크린 패널의 절연층일 수 있으며, 예를 들면, 스핀 코팅 또는 인쇄가 가능한 열경화형 수지, UV경화형 수지, 촉매경화형 수지 등을 포함할 수 있으나, 이에 제한되지 않는다. 구체적으로는 아크릴계, 에폭시계, 우레탄계 또는 에틸렌계 열경화형 수지 등이 포함될 수 있다. 상기 절연층(60)의 형성은 당업자에 의해 용이하게 수행될 수 있다.
구체예에서, 상기 캐리어 기판의 분리는 상기 캐리어 기판의 벤트 홀(40)에 공기를 주입하거나, 나이프 에지(knife edge) 를 사용하거나, 점착층의 접착력을 약화 또는 용해시킬 수 있는 통상의 유기용매, 예를 들면, 자일렌, 톨루엔 등의 방향족 유기용매를 사용하여, 캐리어 기판의 기재(10) 또는 점착부(30)에 충진된 점착제(32)로부터 글라스 기판(20)을 분리시킴으로써, 캐리어 기판으로부터 제조된 터치스크린 패널을 분리하는 것일 수 있다.
또한, 상기 글라스 기판(20)에 여러 개의 터치스크린 패널(도 2의 셀 영역(22) 부분)이 형성되었을 경우(패널 타입인 경우), 각 터치스크린 패널은 통상의 커팅(cutting) 방법, 예를 들면, 레이져 커팅(laser cutting) 방법, 다이아몬드 휠을 이용한 커팅 방법 등으로 각 터치스크린 패널이 형성된 글라스 기판을 잘라냄으로써 분리할 수 있으나, 이에 제한되지 않는다.
이상, 도면 및 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허청구범위에 기재된 본 출원의 기술적 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 출원에 개시된 실시예들을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (12)

  1. 기재;
    상기 기재 위에 터치스크린 패널용 글라스 기판을 정렬시키기 위해 상기 기재에 형성되는 얼라인 키;
    상기 터치스크린 패널용 글라스 기판의 테두리 부분에 대응되는 기재 부분 표면에 오목한 홈 형태로 형성되는 점착부; 및
    상기 터치스크린 패널용 글라스 기판이 정렬되는 기재 부분에 상기 기재를 관통하여 형성되는 벤트 홀을 포함하며,
    상기 점착부에는 상기 기재에 상기 터치스크린 패널용 글라스 기판이 정렬된 후, 점착제가 충진되는 것을 특징으로 하는 캐리어 기판.
  2. 제1항에 있어서, 상기 기재의 두께는 0.3 내지 5 mm인 것을 특징으로 하는 캐리어 기판.
  3. 제1항에 있어서, 상기 터치스크린 패널용 글라스 기판의 두께는 0.2 mm 이하인 것을 특징으로 하는 캐리어 기판.
  4. 제1항에 있어서, 상기 점착부의 폭은 0.1 내지 5 mm이고, 깊이는 0.05 내지 0.3 mm인 것을 특징으로 하는 캐리어 기판.
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서, 상기 점착제는 내열성 점착제인 것을 특징으로 하는 캐리어 기판.
  7. 제1항에 있어서, 상기 벤트 홀의 직경은 0.5 내지 5 mm인 것을 특징으로 하는 캐리어 기판.
  8. 제1항에 있어서, 상기 벤트 홀은 마개에 의해 개폐되는 것을 특징으로 하는 캐리어 기판.
  9. 제1항 내지 제4항 및 제6항 내지 제8항 중 어느 한 항에 따른 캐리어 기판 위에 상기 캐리어 기판의 얼라인 키를 사용하여 터치스크린 패널용 글라스 기판을 정렬하고;
    상기 점착부에 점착제를 충진하여 상기 터치스크린 패널용 글라스 기판을 부착하고;
    상기 터치스크린 패널용 글라스 기판 위에 제1 회로층을 형성하고;
    상기 제1 회로층 위에 절연층을 적층하고; 상기 절연층 위에 제2 회로층을 형성하고; 그리고
    상기 캐리어 기판을 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 터치스크린 패널 제조방법.
  10. 제9항에 있어서, 상기 제1 및 제2 회로층은 투명 전도층 증착 후, 상기 투명 전도층 위에 금속 전도층을 형성하여 제조하는 것을 특징으로 하는 터치스크린 패널 제조방법.
  11. 제10항에 있어서, 상기 금속 전도층 형성 시, 상기 캐리어 기판의 벤트 홀은 금속 전도층 형성 방법에 따라 마개로 밀폐되거나 개방되는 것을 특징으로 하는 터치스크린 패널 제조방법.
  12. 제9항에 있어서, 상기 캐리어 기판의 분리는 상기 캐리어 기판의 벤트 홀에 공기를 주입하거나, 나이프 에지(knife edge), 또는 유기용매를 사용하여 수행하는 것을 특징으로 하는 터치스크린 패널 제조방법.
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