KR101468103B1 - 웜기어를 포함하는 xrd장치의 구동수단 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 간단한 구조로서 다양한 특성을 가진 샘플의 구조를 파악할 수 있는 웜기어를 포함하는 XRD장치의 구동수단에 관한 것으로, X선 회절분석장치의 엑스선발생부와 검출부의 각도를 조정하는 구동수단으로서, 제1샤프트에 결합되는 제1웜휠에 맞물리는 제1웜기어, 제1샤프트와 동축인 제2샤프트에 결합되는 제1웜휠에 맞물리는 제2웜기어, 상기 제1웜기어 및 제2웜기어가 전후방으로 평행하게 수용되고 상측에 노출하도록 개방부를 구비하는 수용부와, 양측에 배치되어 제1웜기어 및 제2웜기어의 회전을 지지하는 일측 및 타측지지부를 구비하는 지지브라켓을 포함하고, 상기 수용부에는, 제1웜기어 및 제2웜기어의 하측이 잠기도록 윤활물질이 수용되는 윤활부가 형성되는 웜기어를 포함하는 XRD장치의 구동수단을 제공한다. 따라서, 별도의 감속기의 배치가 필요 없고 구조적으로 단순하면서도 별도의 윤활물질 공급장치가 없이도 상시적인 윤활이 가능한 이점이 있다.

Description

웜기어를 포함하는 XRD장치의 구동수단{DRIVING MEANS OF XRD APPARATUS HAVING WORM GEAR}

본 발명은 광학 검사장비에 관한 것으로, 더욱 구체적으로는 간단한 구조로서 다양한 특성을 가진 샘플의 구조를 파악할 수 있는 웜기어를 포함하는 XRD장치의 구동수단에 관한 것이다.

X선을 이용한 물질 분석 방법은 X선 반사 분석법(XRR), 소각 X선 산란법(SAXS) 및 X선 회절 분석법(XRD) 등으로 구분된다.

X선 반사 분석법(XRR)과 소각 X선 산란법(SAXS)은 주로 기판에 증착된 박판 층의 두께, 밀도 및 표면 특성을 분석하기 위한 기술로 사용된다.

X선 회절 분석법(XRD)은 시료의 결정 구조를 연구하기 위한 기술로서, 시료는 단색의 X선으로 조사되고, 회절 피크의 위차와 광도가 검출부에 의해 측정된다. 특징적인 산란각과 산란광의 광도는 연구 대상 시료의 격자면과 이러한 격자면을 차지하는 원자수에 좌우되는데, 소정이 파장(λ) 및 격자면의 간격(d)에 대하여, X선이 브래그 조건(nλ=2dsinθ, n:산란차수)을 만족하는 각(θ)으로 격자면에 입사한다. 응력, 고용체 또는 기타 조건에 의한 격자면의 변형에 의해 관창 가능한 XRD스펙트럼의 변화가 일어나므로 시료의 구조를 파악할 수 있는 것이다.

참고적으로, 본 발명의 내용 중에 '산란'이라는 용어는 X선을 시료에 조사하여 시료로부터 방출되는 임의의 모든 과정을 나타내는 데 사용되며, X선 반사 분석법(XRR), 소각 X선 산란법(SAXS) 및 X선 회절 분석법(XRD)은 물론 종래의 X선 형광분석에서의 산란을 포함하는 것으로 이해될 수 있다.

도 1은 종래기술의 X선 회절분석장치의 구성을 간략하게 도시한 개념도이다.

시료(S)는 소정의 시료 테이블상에 배치되고, X선 발생장치(11)는 상기 시료(S)의 표면을 향하여 X선의 컨버징 빔(14)을 지향시킨다.

검출부(16)는 상기 시료로부터 산란된 X선(15)을 감지하도록 배치되고, 이와 같은 구성은 X선 회절 분석 장비나 X선 반사 분석 장비의 개념에 공통된다.

종래의 X선을 이용한 물질 분석기구는 X선관과 같은 X선 발생장치와 검출기를 시료 테이블의 중심축에 대해 소정 각도로 고정하여 배치하는 것이 일반적이다.

특히, X선 회절 분석 장비와 같은 경우 X선의 입사각과 산란각에 의한 X선 발생장치, 검출기 및 시료 테이블 배치의 한계로 인해 시료나 미세한 입자와 같은 비교적 균질한 샘플의 구조를 파악하는 데 한정적으로 사용되었다.

최근에는 입사각과 산란각을 하나의 장비에서 가변적으로 사용하기 위하여 회전축상에 서보모터를 사용하여 각도를 제어하는 개념이 제안되기도 한다.

그런데, 엑스선 발생장치나 검출기 및 이를 지지하는 암 등의 구조의 하중에 의한 정밀구동의 어려움과 처짐의 문제가 발생한다. 이러한 각도 가변구조를 각지는 XRD장비에 있어서의 정밀조정의 중요성이 강조된다.

본 발명은 상기한 문제를 해결하기 위하여 안출된 것으로, 주어진 샘플에 다양한 각도로서 X선 산란 측정을 정밀하게 실행할 수 있도록 하여 다양한 특성을 가진 샘플의 구조를 파악할 수 있으며, 안정적인 구동구조를 가지는 웜기어를 포함하는 XRD장치의 구동수단을 제공하는 데 목적이 있다.

또한, 본 발명은 엑스선발생부와 검출부의 정밀한 각도 조정에 있어서 사용상의 신뢰성과 내구성이 보장되는 구조를 가지면서도, 하중에 의한 처짐 문제를 구동부 자체에서 해결할 수 있는 웜기어를 포함하는 XRD장치의 구동수단을 제공하는 데 목적이 있다.

본 발명은, X선 회절분석장치의 엑스선발생부와 검출부의 각도를 조정하는 구동수단으로서, 제1샤프트에 결합되는 제1웜휠에 맞물리는 제1웜기어, 제1샤프트와 동축인 제2샤프트에 결합되는 제1웜휠에 맞물리는 제2웜기어, 상기 제1웜기어 및 제2웜기어가 전후방으로 평행하게 수용되고 상측에 노출하도록 개방부를 구비하는 수용부와, 양측에 배치되어 제1웜기어 및 제2웜기어의 회전을 지지하는 일측 및 타측지지부를 구비하는 지지브라켓을 포함하고, 상기 수용부에는, 제1웜기어 및 제2웜기어의 하측이 잠기도록 윤활물질이 수용되는 윤활부가 형성되는 웜기어를 포함하는 XRD장치의 구동수단을 제공한다. 따라서, 별도의 감속기의 배치가 필요 없고 구조적으로 단순하면서도 별도의 윤활물질 공급장치가 없이도 상시적인 윤활이 가능한 이점이 있다.

상기 제1웜기어의 회전축과 제2웜기어의 회전축은 일측지지부로 연장되어 전후방향으로 평행하게 배치되는 제1구동부 및 제2구동부에 직결되는 것이 바람직하다.

상기 제1웜기어 및 제2웜기어의 회전축은 타측지지부로 연장되고 제1센서부 및 제2센서부에 의하여 광학적으로 회전이 감지되도록 원반 형상으로 이루어지고 슬릿을 구비하는 제1판부와 제2판부에 결합될 수 있다. 따라서, 정확한 회전각도의 제어가 가능하다.

상기 제1웜기어 및 제2웜기어의 회전축의 타측 단부에는 수동으로 회전이 가능한 제1다이얼부와 제2다이얼부가 결합될 수 있다.

상기 일측지지부의 하면을 마주보도록 배치되고 웜기어의 웜휠에 대한 거리를 조절할 수 있는 수직조정부재가 결합되는 조정브라켓을 더 포함할 수 있다.

본 발명의 웜기어를 포함하는 XRD장치의 구동수단에 의하여 엑스선발생부와 검출부가 동일 평면상에서 거의 대부분의 방향으로 변위를 가질 수 있으면서도 이러한 변위의 제어가 정확하게 이루어질 수 있기 때문에 다양한 형질과 형상을 가진 샘플의 구조를 정밀하게 파악할 수 있는 효과가 있다.

또한, 웜기어에 의하여 구동이 이루어지기 때문에 회전구동의 전달의 일방향성이 충족되어 하중에 의한 오작동 또는 모터로의 부하가 방지될 수 있고, 추가적인 감속기의 배치 없이도 미세한 각도의 제어가 가능하며, 종래기술에 비하여 회전제어의 정확성도 비약적으로 증가된다.

또한, 웜기어와 웜휠의 배치 특성상 윤활이 자연스럽게 이루어질 수 있고 이를 위하여 지지브라켓이 하나의 윤활부를 이루어 지속적으로 윤활물질을 공급할 수 있기 때문에 작동의 정확성, 유지보수성 및 내구성이 향상될 수 있으며, 종래의 구동장치들의 배열이 단순화되고 구동수단들이 직결된 상태로 모듈화되어 배치되어 공간상 이점이 향상되는 효과가 있다.

도 1은 종래기술의 XRD장치의 개념도.
도 2는 본 발명의 개념에 따른 구동수단을 구비하는 X선 회절분석장치의 개념도.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 X선 회절분석장치의 정면도.
도 4는 도 3의 X선 회절분석장치를 후방측에서 바라본 도면.
도 5는 본 발명의 웜기어를 포함하는 XRD장치의 구동수단을 나타내는 측단면도.
도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 구동수단을 나타내는 사시도.
도 7은 도 6의 구동수단에서 지지브라켓을 상측에서 바라본 사시도.
도 8은 도 6의 구동수단에서 지지브라켓을 하측에서 바라본 사시도.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웜기어를 포함하는 XRD장치의 구동수단을 상세히 설명한다.

도 2는 본 발명에 따른 구동수단을 포함하는 X선 회절분석장치를 설명하기 위한 개념도이다.

종래기술과 마찬가지로, 본 발명에 따른 웜기어를 포함하는 X선 회절분석장치는 시료 또는 샘플을 고정하여 안착하기 위한 테이블부와, X선을 조사하는 엑스선발생부(100) 및 상기 샘플로부터 산란되는 X선을 검출하는 검출부(200)를 포함한다.

상기 엑스선발생부(100)는 X선을 방출하는 다양한 형태의 장비가 사용되고, 내부에 전자총과 타겟을 구비한 X선관이 사용되며, 바람직하게는 내부가 대략 진공상태이며 고출력인 클로즈드 타입(closed type)의 엑스선발생기가 사용될 수 있다.

상기 전자총으로부터 발생된 전자가 타겟에 충돌하면, X선이 출력되어 테이블부 측에 안착된 샘플에 조사될 수 있다.

상기 검출부(200)는 산란된 X선을 검출할 수 있는 디텍터(detector)를 포함하고, 상기 디텍터는 검출된 X선을 전기신호화하여 제어부(미도시)로 전송함으로써 물질의 구조를 분석할 수 있는 데이터를 제공한다.

본 발명에서는 엑스선발생부(100)와 검출부(200)가 각각 서로 샘플이 안착되는 부위인 테이블부에 대해 소정 각도로 회동 가능하도록 배치되되 각각 웜기어에 의하여 구동되는 개념이 제시된다.

상기 엑스선발생부(100)는 제1암(110)에 결합하고, 검출부(200)는 제2암(210)에 결합한다.

상기 제1암(110)과 제2암(210)은 동축으로 회동할 수 있는 구성을 가지는데, 보다 정확하게는 테이블과 시료가 배치되는 부위를 중심으로 회동할 수 있도록 소정의 프레임에 샤프트가 지지된 상태에서 서로 다른 회동운동이 이루어질 수 있다.

따라서, 상기 제1암(110)은 일단부측에 엑스선발생부(100)를 지지하고 타단부측에서는 프레임에 지지되어 회동된다. 또한, 제2암(210)은 일단부측에 검출부(200)를 지지하고 타단부측에서 프레임에 지지되어 회동된다.

상기 제1암(110)과 제2암(210)의 회동축은 각각 독립적으로 배치될 수도 있지만, 상기 제1암(110)의 회동축인 제1샤프트(530) 제2암(210)의 회동축인 제2샤프트(540)는 동축으로 이루어지고, 더욱 바람직하게는 동축으로 이루어진 상기 샤프트들은 중심이 테이블에 안착된 샘플의 위치에 대응되도록 배치된다.

동축으로의 배치를 위하여 샤프트 중 어느 하나는 내축을 이루고 다른 하나는 내축을 내부에 수용하는 외축의 형태로서 이루어지는 것이 바람직하다.

일실시예로서, 상기 제1암(110)을 연결하는 제1샤프트(530)는 내축으로서 프레임의 후방측으로 관통되고, 제2암(210)을 연결하는 제2샤프트(540)는 외축으로서 상기 제1샤프트(530)를 내주측에 수용한 중공의 원기둥 형태로 이루어질 수 있다.

상기된 제1암(110) 및 제2암(210)의 구동을 위하여 동력을 전달받는 제1웜휠(510)이 제1샤프트(530)에 결합되고, 제2웜휠(520)이 제2샤프트(540)에 결합된다.

외축과 내축의 관계를 고려하여, 도면의 도시사항과 같이 제1암(110)을 회동하는 제1샤프트(530)가 내축을 이루는 경우 제1웜휠(510)이 후방측에 배치되며, 외축을 이루는 제2샤프트(540)는 제1샤프트(530)보다 후방측으로 짧게 형성되고 제2웜휠(520)보다 전방측으로 배치된다.

상기 제1웜휠(510)에 연결되도록 제1웜기어(610)가 배치되며, 제2웜휠(520)에 연결되도록 제2웜기어(620)가 배치된다.

상기 웜기어들은 소정의 구동부의 수평방향, 더욱 정확하게는 전후방향으로의 회전을 수직방향, 즉 상하방향의 회전으로 전환하도록 기능하게 된다.

종래기술에서 암을 회동시키기 위하여 소정의 샤프트를 구비하고, 이와 직결되거나 평행하게 연결된 구동부를 통하여 회전동력을 직접 전달하는 방식이 사용되었다. 이때, 회전동력의 전달을 위하여 벨트, 체인 또는 평기어가 사용되는 것이 일반적이다.

본 발명의 개념에서는 상기와 같이 웜기어를 사용하여 회전 동력을 제공하기 때문에 구동축과 피동축이 직교된다.

이로 인한 이점은 아래와 같다.

첫째로, XRD장비에서는 미세한 각도 조절의 필요성이 존재하기 때문에 벨트, 체인 또는 평기어가 사용되는 경우 필연적으로 감속기와 커플러 등의 구성이 결합되어야 한다. 따라서, 후술될 바와 같이 구조적으로 현저한 단순화가 가능하다.

둘째로, 종래의 동력전달구조의 경우 제1암(110), 제2암(210), 검출부(200), 엑스선발생부(100)의 과도한 하중으로 인하여 처짐이 발생하고 이를 위하여 별도의 처짐방지수단이나 각도의 조정을 위한 피드백 과정이 존재하여야하는데, 본 발명의 개념에 따른 경우 동력의 전달은 정방향으로만 이루어지고 역방향으로는 동력이 전달되지 않기 때문에 하중의 지지가 가능하고, 모터에 가해지는 부하가 제거되는 이점이 있다.

셋째로, 본 발명의 개념에 따른 경우 별도의 추가적인 감속기가 배열될 필요성이 없어 구조적으로 단순하면서도 정밀한 각도의 조정이 가능하다.

넷째로, 후술될 바와 같이 웜기어의 축이 수평하게 배치될 수 있기 때문에 소정의 오일섬프 구조를 통하여 개방된 상태로서 윤활유의 공급이 가능하고, 동작에 따라 웜기어와 웜휠 측에 자연스러운 윤활이 제공된다. 이에 따라 유지보수성과 내구성이 현저하게 향상될 수 있다.

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 X선 회절분석장치의 정면도이다.

상기한 바와 같이 제1암(110)은 엑스선발생부(100)를 지지하면서 테이블부(300)의 시료가 배치되는 부위를 중심으로 회동 가능하도록 배치되며, 제2암(210)은 검출부(200)를 지지하고 시료가 배치되는 부위를 중심으로 회동 가능하도록 제1암(110)과 동축으로서 배치된다.

도 3에서 상기 제1암(110)과 제2암(210)은 판상의 부재로 이루어지는데, 후면이 베이스프레임(400)에 인접되어 회동을 정확하게 가이드하도록 배치될 수 있다.

본 발명의 실시예에서는 제1암(110)의 회전중심인 제1샤프트(530)가 내축으로 형성되고, 제2암(210)의 회전중심인 제1샤프트(530)가 외축으로 형성되기 때문에 이를 기준으로 설명한다. 다만, 엑스선발생부(100) 및 검출부와, 제1암(110) 및 제2암(210)의 결합관계는 선택에 따라 이루어질 수 있고, 제1샤프트(530)와 제2샤프트(540)는 각각 외축 및 내축으로 치환될 수 있음은 본 발명의 권리범위에 포함된다. 이때, 후술될 구동부 및 샤프트들의 후방측의 배치관계 또한 상기의 선택된 예에 적절하게 적용될 수 있음은 당업자에게 자명하다.

본 발명의 실시예에 따라, 제2암(210)은 외축인 제2샤프트(540)에 결합되고 베이스프레임(400)에 실질적으로 후방측이 지지된 상태에서 회동이 가능하다. 더욱 바람직하게는 상기 제2암(210)의 최소한 일부는 제2샤프트(540) 보다 반경이 큰 전방플레이트(220)에 결합되어 회전이 지지될 수 있다.

상기 전방플레이트(220)는 후면이 베이스프레임(400)의 전면에 인접 또는 밀착되는 것이 바람직하다.

본 발명의 개념에서는 구동수단이 웜휠과 윔기어에 의하여 동력을 직교하는 방향으로 전달되기 때문에 별도의 하중의 지지를 위한 구성이 불필요한 이점이 있음은 상기한 바와 같다. 다만, 후술될 바와 같이 검출부(200) 및 제2암(210)의 자중으로 인한 하중이 웜휠을 통하여 웜기어에 전달되어 부재간의 부하를 증가시킬 우려가 있기 때문에 이를 보상하기 위하여 대략 전방플레이트(220)의 제2암(210) 또는 검출부(200)에 회전중심으로부터 대향되는 부위에는 전방카운터웨이트(230)가 배치되는 것이 바람직하다.

상기 전방카운터웨이트(230)는 소정의 질량을 가진 부재들이 다양한 형태로서 선택적인 결합관계로 전방플레이트(220)에 결합될 수 있다. 이 경우, 상기 전방카운터웨이트(230)의 무게는 실질적으로 검출부(200) 및 제2암(210)의 무게에 대응되는 것이 바람직하다. 더욱 정확하세는 상기 전방카운터웨이트(230)는 검출부(200) 및 제2암(210)의 토크에 대응되도록 반대방향의 토크를 제공할 수 있는 무게 및 위치로서 전방플레이트(220)에 결합될 수 있다.

이러한 전방카운터웨이트(230)는 보상관계의 유연한 적응을 위하여 복수의 부재들이 결합될 수 있도록 배치되는 것이 바람직하며, 이를 위하여 상기 전방카운터웨이트(230)는 전방플레이트(220)와 동심을 가지는 부채꼴 형상의 일부로서 이루어지고 각각의 전방카운터웨이트(230)는 측변이 밀착되어 배치되는 것이 더욱 바람직하다.

또한, 제1암(110)은 판상의 부재로서 베이스프레임(400)의 중심측까지 연장되어 제1샤프트(530)에 결합되며, 상기 제1샤프트(530)는 제2샤프트(540)의 중공의 내부를 관통하여 후방측까지 연장되는 형태로서 배치된다. 이와 관련하여서는 도 4의 설명에서 후술하도록 한다.

상기한 바와 같이 엑스선발생부(100)와 검출부(200)가 샘플을 중심으로 각각 회동할 수 있도록 구성되는 경우, 시료나 분말 형상은 물론 입체적인 형상을 가진 샘플에도 유연하게 대응하여 구조를 파악할 수 있는 이점이 있다. 즉, 엑스선발생부(100)와 검출부(200)가 X선의 다양한 입사각과 산란각을 결정할 수 있도록 하기 때문에 간단한 구조로서 다양한 샘플의 구조를 파악할 수 있게 되는 것이다.

또한, 상기 엑스선발생부(100)와 검출부(200)가 회동할 수 있는 각도는 대략 샘플의 수평축에서 수직축에 이르는 90도 정도, 더욱 정확하게는 90도보다 다소 큰 각도까지 이루어지는 것이 바람직하다. 도시된 전방돌부(221)와 전방센서부(222)는 이러한 각도의 제한을 위한 각도제한수단으로서 이에 대해서는 후술하도록 한다.

본 발명의 설명을 위한 도시사항에서는 테이블부(300)에 테이블 및 시료의 배치를 위한 구성 또는 테이블의 방향을 가변하기 위한 구성은 생략되었으나 공지의 구성들이 상기 테이블부(300)에 적용될 수 있을 것이다.

도 4를 기준으로 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웜기어를 포함하는 X선 회절분석장치의 구성을 설명하도록 한다.

상기된 예와 같이 제1암(110)은 제1샤프트(530)에 연결되고, 상기 제1샤프트(530)는 내축을 이루기 때문에 제1샤프트(530)의 구동을 위한 구조는 동력전달 계통 중에서 최후방측에 배치되는 것이 구조적인 단순성을 위하여 바람직하다.

따라서, 베이스프레임(400) 외에 본 발명의 최후방에 배치되는 구성은 후방플레이트(120)로 이루어질 수 있다. 이러한 후방플레이트(120)는 전방플레이트(220)와 마찬가지로 전면이 베이스프레임(400)의 후면에 인접 또는 밀착되는 것이 바람직하다.

또한, 전방카운터웨이트(230)와 같이 엑스선발생부(100) 및 제1암(110)의 자중으로 인한 동력전달계통의 역방향 부하를 감소하기 위하여 후방플레이트(120)의 제1암(110) 또는 엑스선발생부(100)에 회전중심으로부터 대향되는 부위에는 후방카운터웨이트(130)가 배치되는 것이 바람직하다. 이때, 본 발명에서는 후방플레이트(120)가 평면상으로는 베이스프레임(400)의 전면에 배치되는 제1암(110)에 대해서 이격 배치되기 때문에 상기 대향된다는 개념은 정면 또는 평면상 회전중심에 대한 배치를 나타냄에 유의하여야 한다. 즉, 본 발명에서는 구조적인 효율성과 부재간의 간섭을 방지하기 위하여 제1샤프트(530)와 제2샤프트(540)가 동축으로 배치되되 제2샤프트(540)의 정밀한 지지를 위한 구성은 전방측에 배치되고, 제1샤프트(530)의 지지를 위한 구성은 후방측에 배치되는 특징이 있음에 유의하여야 한다.

상기 후방카운터웨이트(130)는 전방카운터웨이트(230)와 마찬가지로 소정의 질량을 가진 부재들이 호 형태로 배열될 수 있는데 상기 전방카운터웨이트(230)와 중복되는 설명은 생략하도록 한다.

다만, 상기 전방플레이트(220)는 외축을 이루는 제2샤프트(540)의 특성상 제2샤프트(540)의 외주면에 결합되고, 후방플레이트(120)는 제1샤프트(530)의 후단측에 직결되는 방식으로 결합될 수 있다.

상기 제1암(110) 및 제2암(210)의 각도제어를 위한 구동수단을 아래에서 더욱 구체적으로 설명한다.

본 발명의 실시예에서, 내축으로 이루어지는 제1샤프트(530)는 제2샤프트(540)보다 후방측으로 더욱 연장되어 배치되고, 제1암(110)의 회동을 위한 구성이 제2암(210)의 회동을 위한 구성보다 후방측으로 배치될 수 있다.

상기 제1샤프트(530)는 외주연에 원주방향으로 배열되는 복수의 치를 포함하는 제1웜휠(510)과 결합된다. 제1웜휠(510)에 대해 맞물리는 나사 형태로 이루어지는 치를 포함하는 제1웜기어(610)는 제1샤프트(530)에 대해 축이 직교하도록 배치되는데, 이러한 웜기어의 지지구조는 베이스프레임(400)에 형성된다.

상기 제1웜기어(610)는 회전축인 제1축(611)과 결합되어, 상기 제1축은 일측으로 연장된 상태에서 제1구동부(410)와 결합되고, 상기 제1구동부(410)는 제1웜기어(610)의 회전수를 조절함으로써 제1웜휠(510) 및 제1암(110)과 엑스선발생부(100)의 각도를 조절하게 된다.

이때, 회전의 조절을 위한 각도의 개념은 제1웜휠(510)의 직경과 각각의 치의 개수에 의하여 결정될 수 있다. 이와 같이 웜기어 및 웜휠을 위한 동력전달구조를 채택함으로써 별도의 감속수단이 생략될 수 있고, 웜휠로부터 웜기어측으로의 역방향의 부하가 구동부로 전달되지 않기 때문에 모터의 부하의 저감이 가능한 이점이 있음은 상기한 바와 같다.

이때, 상기 제1구동부(410) 및 후술될 제2구동부는 서보모터로서 이루어지는 것이 정밀한 제어를 위하여 바람직하나 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.

한편, 본 발명의 개념에서는 모터인 구동부에 의하여 암들의 각도제어가 이루어지기 때문에 초기 설정관계 또는 이상시의 조작의 필요성에 따라 수조작을 위한 구성이 더 배치될 수 있다.

이를 위하여, 상기 제1축(611)은 타측으로 연장되어 그 단부측에 제1다이얼부(615)가 결합될 수 있다. 상기 제1다이얼부(615)는 베이스프레임(400)의 외측으로 최소한 일부가 배치되어 조작자가 이를 회전시켜 제1웜기어(610)를 회전시킴으로써 제1암(110)에 대한 미세 각도의 조정이 가능하다.

이러한 제1웜기어(610)의 회전의 감지는 제1구동부(410)의 작동에 있어서 중요한 제어요소로 작용될 수 있다. 따라서, 상기 제1축(611)은 일부에 소정의 슬릿이 형성되는 제1판부(613)를 결합할 수 있고, 제1축(611)의 회전에 따라 제1판부(613)가 회전되면 제1센서부(614)가 제1판부(613)의 회전을 감지하여 제1웜기어(610)의 회전의 정도를 판단할 수 있도록 한다.

상기 슬릿은 선택에 따라 다양하게 형성될 수 있으나, 제1웜기어(610)가 1회전할 때마다 이를 감지할 수 있도록 단일의 슬릿으로서 이루어지는 것이 바람직하다. 한편, 제어의 편의성을 위하여 상기 제1웜휠(510)과 제1웜기어(610)의 치의 배열관계는 제1웜기어(610)의 1회전마다 제1암(110)이 1도 각도로 회전될 수 있도록 형성될 수 있으나 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.

한편, 상기 제1축(611)의 지지를 위하여 베이스프레임(400)에 결합되는 지지브라켓(700)을 구비할 수 있다.

이러한 지지브라켓(700)은 후술될 바와 같이 구조적인 단순성 및 윤활성을 고려하여 하나의 부재로서 제1축(611)과 제2웜기어에 결합되는 제2축을 함께 지지하는 것이 바람직하나, 경우에 따라 서로 다른 부재로서 형성될 수도 있음은 물론이다.

상기 지지브라켓(700)은 제1웜기어(610)의 회전을 지지하는 기능을 수행하는데, 제1웜휠(510)과의 치합관계의 정확성과 유지보수성을 고려하여 수직조정부재(811)에 연결 또는 접촉되는 것이 바람직하며 이와 관련하여 후술하도록 한다.

상기된 구동을 위한 웜휠과 웜기어의 관계를 도 5를 참고하여 더욱 상세하게 설명하도록 한다.

제1샤프트(530)는 제2샤프트(540)의 중공의 내부를 관통하여 후방으로 더 연장 형성되고, 이에 제1웜휠(510)이 결합됨은 상기한 바와 같다. 이러한 제1웜휠(510)의 전방측으로 소정 간격 이격되어 제2웜휠(520)이 배치된다.

상기 제1웜휠(510)과 제2웜휠(520)의 형상은 실질적으로 동일하게 이루어지는 것이 바람직하나, 경우에 따라 다른 직경이나 치의 개수를 포함할 수 있다. 이러한 제2웜휠(520)의 구동을 위하여 제2웜기어(620)가 지지브라켓(700)에 회전지지된 상태로 배치된다. 제2웜기어(620)의 구성은 제1웜기어(610)와 중복되는 설명은 생략하도록 한다.

이러한 제2웜기어(620)는 제1웜기어(610)와 상호 평행하게 배치될 수 있는데, 이러한 배치 간격은 제1웜휠(510)과 제2웜휠(520)의 간격에 의하여 결정될 수 있다.

상기한 바와 같이 지지브라켓(700)은 단일의 부재로서 이루어지는 것이 바람직한데, 후술될 바와 같이 내부에 소정의 수용공간을 구비하여 윤활부(701)를 형성할 수 있다. 이러한 윤활부(701)는 윤활물질이 수용되고, 웜기어들의 하측의 일부는 윤활부(701)에 잠긴 상태로 회전됨에 따라 고르게 표면에 윤활물질이 도포될 수 있다.

웜기어의 회전에 따라 웜휠이 회전되면 웜기어의 외주연에 도포된 윤활물질은 다시 웜휠의 치 부위에 도포되면서 고른 윤활물질의 공급이 이루어진다.

이렇게, 지지브라켓(700)이 웜기어의 저부에 윤활물질을 공급하게 되면 자연스러운 윤활이 가능해지고 별도의 윤활을 위한 공급유로 또는 공급동력의 생략이 가능하고 회전시에만 적절하게 윤활이 이루어지는 장점이 있다.

한편, 본 발명의 추가적인 개념으로서 각각의 부재 및 회전의 감지를 위한 센서수단이 구비될 수 있는데, 이를 도 3 내지 도 6을 참고하여 구체적으로 설명한다.

본 발명의 추가적인 개념에서는 암의 회전의 감지 및/또는 웜휠의 회전 및/또는 웜기어의 회전의 감지를 위한 구성이 배치될 수 있다.

암의 회전을 감지를 위한 구성은 도 3 및 도 4에 도시한 바와 같이 바람직하게는 각각의 암의 회전을 위한 플레이트 및 이에 인접된 부위에 배치될 수 있다. 즉, 제2암(210)이 직결되는 전방플레이트(220)에는 외주방향으로 돌출되는 전방돌부(221)가 구비되고, 상기 전방돌부(221)가 센싱될 수 있는 전방센서부(222)가 베이스프레임(400)의 전면에 결합될 수 있다.

마찬가지로, 상기 제1암(110)의 원활한 회전을 위한 후방플레이트(120)에는 외주방향으로 돌출되는 후방돌부(121)가 구비되고, 상기 후방돌부(121)가 센싱될 수 있는 후방센서부(122)가 베이스프레임(400)의 후면에 결합될 수 있다.

상기 전방센서부(222)와 후방센서부(122)는 직접적으로 제1암(110)과 제2암(210)의 회전을 감지하여 잘못된 작동이 있는 경우 제1구동부(410) 또는 제2구동부(420)의 회전을 정지하거나, 전체적인 전원을 정지하거나, 암의 회전을 직접적으로 제한하도록 기능할 수 있다.

후술될 웜휠이나 윔기어의 센싱의 경우는 구동을 위한 구성들의 회전을 감지하는 경우임에 반하여 상기 전방센서부(222)와 후방센서부(122)는 제1암(110)과 제2암(210)의 과도한 작동을 방지하여 장비의 파손 등의 문제를 방지하는 데 주요한 기능이 있는 것으로, 회전을 감지하는 것이 아닌 회전의 한도를 파악하는 기능만을 수행하는 것이 적합하다.

따라서, 상기 전방돌부(221), 전방센서부(222), 전방돌부(221) 및 후방센서부(122)는 시료의 위치에 대하여 엑스선발생부(100)와 검출부(200)가 시료가 배치되는 수평면에 대하여 아래로 처지는 현상을 감지하도록 함으로써 불필요한 회동을 제한하게 된다. 상기 전방센서부(222)와 후방센서부(122)는 돌부의 진입시 이를 감지하여 제어신호를 소정의 제어부(미도시)로 보내 더 이상의 회동동작을 제어할 수도 있고, 경우에 따라 직접 회동을 제한하는 스토퍼로서의 기능을 수행할 수도 있다.

상기 전방돌부(221)와 전방센서부(222)의 전방플레이트(220)에 대한 원주상의 위치는 선택적으로 이루어질 수 있는데, 제2암(210)이 수평으로 배치되는 정도를 기준으로 삼을 수 있다. 더욱 정확하게는 시료를 검출부(200)가 수평으로 바라보는 상태보다 과도하게 하방으로 회동되는 정도를 제한할 수 있는데, 대략 제2암(210)이 수평면에 대하여 하방 1도 내지 5도 사이의 각도에서 제한하는 것이 바람직하다. 상기 후방돌부(121)와 후방센서부(122) 역시 상기 설명이 준용된다.

또한, 구동부의 제어를 위하여, 웜기어의 회전을 감지할 필요성이 있는바, 제1웜기어(610)의 회전을 지지하는 제1샤프트(530)에는 원반 형태의 제1판부(613)가 구비되고, 이러한 제1판부(613)에 형성되는 슬릿이 회전의 감지를 위하여 기능하게 된다. 이러한 슬릿의 감지는 광학적으로 이루어지는 것이 바람직하며 이를 위하여 상기 지지브라켓(700) 또는 베이스프레임(400)에는 제1센서부(614)가 구비된다.

이러한 제1센서부(614)는 사이에 제1판부(613)의 일부가 삽입되어 회전될 수 있는 소정의 홈을 구비하고 슬릿의 통과시마다 이를 감지하여 제1웜기어(610)의 회전을 감지하게 된다. 이러한 제1판부(613)의 슬릿은 원주상에 단일로서 배치되고, 제1웜기어(610)의 1회전마다 감지신호를 제어부로 송부하여 제1웜휠(510) 또는 제1암(110)의 회전 각도가 측정 및 제어될 수 있도록 기능한다.

또한, 제2웜기어(620)의 회전을 지지하는 제2샤프트(540)에는 원반 형태의 제2판부(623)가 구비되고 이의 회전 측정을 위한 제2센서부(624)가 제2웜기어(620)의 1회전마다 감지신호를 제어부로 송부하여 제2웜휠(520) 또는 제2암(210)의 회전 각도가 측정 및 제어될 수 있도록 기능하게 된다.

여기서, 상기 제1센서부(614)와 제2센서부(624)는 각각에 대응되는 웜휠의 회전만을 측정하게 되므로 초기 위치의 설정을 위한 구성이 추가적으로 배치될 필요성이 존재한다.

이를 위하여, 회전의 기준 설정을 위한 구성이 배치되며, 도 5를 참고하면, 각각의 웜휠에는 축방향으로 돌출되는 웜휠돌부가 구비될 수 있다.

본 발명의 설명을 위한 도면들에서는 상기 제1웜휠(510) 및 제2웜휠(520)이 원반 형태로 이루어지고 전체적으로 원주방향으로 치가 배열되는 형태로서 도시되었으나, 엑스선발생부(100)와 검출부(200)의 각도의 제한성(실질적으로 90도 각도 이내)을 고려하면 이에 대응되는 부위에만 치가 형성될 수도 있다.

이 경우 상기 웜휠돌부는 각각의 웜휠에 치가 형성되지 않은 부위에 다양한 방향으로 돌출 형성될 수 있음은 물론이다.

본 발명의 실시예를 기준으로 더욱 구체적으로 설명하면, 상기 제1웜휠(510)에는 후방측으로 돌출 형성되는 제1웜휠돌부(511)가 배치되고, 제2웜휠(520)에는 부재간의 간섭을 배제하기 위하여 전방측으로 돌출 형성되는 제2웜휠돌부(521)가 배치될 수 있다.

이러한 웜휠돌부의 감지를 위하여 베이스프레임(400)측에는 소정의 제1웜휠센서 및 제2웜휠센서(미도시)가 각각 제1웜휠돌부(511) 및 제2웜휠돌부(521)에 대응되어 형성될 수 있다.

이때, 상기 웜휠돌부들의 배치관계는 실질적으로 검출부(200) 및 엑스선발생부(100)의 과도한 회동의 방지를 위한 전방돌부(221)와 후방돌부(121)의 관계에 유사하다. 다만, 본 발명의 추가적인 개념에서는 상기 웜휠돌부들은 구동부들에 의한 회전의 기준점을 마련한다는 점에서 기능적으로는 판부의 기능에 더 밀접하다.

이러한 웜휠돌부들은 제1암(110)과 제2암(210)의 다양한 위치를 초기상태로서 측정할 수 있도록 기능하는데, 암들의 수직 또는 수평의 위치를 기준으로 하는 것이 바람직하다.

각각의 조작의 편의성과 구분을 위하여 사실상 검출부(200)와 엑스선발생부(100)가 회전중심을 기준으로 수평하게 배치된 상태로 기준으로 삼을 수 있는데, 이 경우 웜휠돌부들은 완전하게 수평상태를 기준으로 하고 후방돌부(121) 및 전방돌부(221)는 실질적으로 수평상태보다 다소 더 하방으로 회전된 상태를 기준으로 하는 차이점이 있다.

본 발명의 웜기어를 포함하는 XRD장치의 구동수단에서 각각의 센싱수단들의 동작을 전체적인 작동의 시계열적 흐름으로 설명하면, 처음 작동의 준비를 위한 단계에서 제1웜휠(510) 및/또는 제2웜휠(520)을 회전하여 제1웜휠돌부(511) 및/또는 제2웜휠돌부(521)로부터 수평 또는 수직의 초기상태가 설정되어 제어부로 입력되면, 소정의 원하는 각도로의 동작을 위하여 제1센서부(614)와 제2센서부(624)가 각각 제1웜기어(610) 및 제2웜기어(620), 즉 제1구동부(410)와 제2구동부(420)의 각 1회전씩을 감지하여 제어부로 피드백하여 제1암(110)과 제2암(210)의 회전각도를 연산할 수 있도록 하며, 제1암(110) 또는 제2암(210)의 과도한 회전이 발생되면 후방돌부(121) 및/또는 전방돌부(221)가 후방센서부(122) 및/또는 전방센서부(222)에 감지되어 한계회전 여부를 제어부로 전달하고 상기 제어부는 제1구동부(410) 또는 제2구동부(420)의 작동을 정지하거나, 비상모드로서 전체적인 전원을 차단할 수 있다.

도 6은 상기된 본 발명의 웜기어의 구동을 위한 구성들을 더욱 상세하게 나타낸 사시도이다.

상기한 바와 같이 제1웜기어(610)와 제2웜기어(620)는 웜휠의 하측에 접촉된 상태로서 상호 전후방으로 평행하게 배열되고, 지지 및 윤활의 기능을 위하여 지지브라켓(700)이 소정의 수용공간을 구비하고 제1축(611)과 제2축(621)을 회전지지하게 된다.

이러한 지지브라켓(700)은 양측으로 긴 형태로서 측면 및 저부가 폐쇄되고 상측이 개방된 형상으로 형성된다. 이렇게 개방된 부위에 웜기어의 최소한 나사산이 배열된 부위가 노출되고, 웜기어들의 일부는 최소한 하측세어 윤활부(701)에 수용된 윤활물질에 잠긴 상태로서 배치된다.

상기 제1축(611)과 제2축은 지지브라켓(700)의 양측으로 노출되고, 일측에는 제1구동부(410)와 제2구동부(420)가 연결되어 회전동력을 제공받게 된다.

상기 제1구동부(410)와 제2구동부(420)는 공간적인 효율성을 고려하여 상호간에 평행하게 배열되는 것이 바람직하나 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 경우에 따라 제1구동부(410)와 제2구동부(420)들이 지지브라켓(700)을 사이에 두고 일측과 타측에 배치될 수도 있음은 물론이다.

상기 구동부들은 다양한 종류의 회전동력 공급수단이 적용될 수 있는데, 본 발명에서는 별도의 감속기를 구비하지 않고 정밀한 각도의 제어가 필요하기 때문에 서보모터로서 이루어질 수 있다.

또한, 상기 제1축(611)과 제2축(621)에는 회전의 감지 및 피드백을 위하여 제1판부(613) 및 제2판부(623)가 결합되고, 이러한 판부에는 소정의 회전의 기준이 되는 슬릿이 형성되어 제1센서부(614) 및 제2센서부(624)에 의하여 최소한 1회전의 단위로서 회전이 감지될 수 있음은 상기한 바와 같다.

이러한 제1센서부(614)와 제2센서부(624)는 지지브라켓(700)에 결합되거나 베이스프레임(400)의 연결된 상태로 고정배치될 수 있다.

또한, 타측으로 연장되는 제1축(611)과 제2축(621)에는 수동의 회전동작을 위하여 제1다이얼부(615)와 제2다이얼부(625)가 배치되며, 이러한 다이얼부들은 베이스프레임(400)의 외부로 노출되어 조작자에 의한 조작이 가능하게 된다.

상기된 배열을 일측에서부터 바라보면 제1구동부(410) 및 제2구동부(420)와, 웜기어를 지지하는 지지브라켓(700)과, 타측의 제1다이얼부(615) 및 제2다이얼부(625)가 직렬로서 배열되어 있어 모듈화된 상태로 구성된다.

이러한 모듈화된 구성은 종래의 기어, 감속기, 풀리, 벨트 또는 체인 등과 같은 구성의 조합에 비하여 컴팩트하고 유지보수성의 간편성으로 이어지는 이점을 가진다.

유지보수성의 기여를 위하여, 상기 지지브라켓(700) 또는 축들의 수직 또는 수평방향의 위치 설정을 위한 소정의 조절수단들이 더 구비될 수 있다.

상기 지지브라켓(700)의 타측에는 일부분이 외부로 노출된 형태로 수평조절부재(710)가 배치될 수 있고, 상기 수평조절부재(710)는 드라이버와 같은 회전수단이 삽입될 수 있는 탭이 형성되며 일측으로는 소정의 나사산이 형성될 수 있다. 이러한 수평조절부재(710)는 지지브라켓(700) 또는 웜기어의 웜휠에 대한 위치를 직접적으로 조정할 수 있는 기능을 수행할 수 있다.

또한, 상기 웜휠의 치들과 웜기어의 나사산 사이의 치합은 수평의 위치 뿐만 아니라 웜휠의 높이관계에 있어서도 영향을 받게 된다. 이의 정밀한 조정을 위하여 지지브라켓(700)의 상하면을 바라보는 형태로 조정브라켓(810)이 배치될 수 있는데 이와 관련하여서는 후술하도록 한다.

도 7 및 도 8은 상기된 지지브라켓을 더욱 구체적으로 나타낸 사시도이며, 도 7은 상측에서 바라보는 모습이고 도 8은 하측에서 보라보는 모습이다.

상기 지지브라켓(700)은 대략 웜휠이 수용될 수 있도록 전후방의 벽체 및 양측의 일측지지부(750) 및 타측지지부(740)에 의하여 수용부(750)를 형성하고, 이러한 수용부(750)의 내부에 윤활부(701)가 형성되고, 윤활부(701)에는 윤활물질이 수용된다.

이렇게 개방된 공간에 윤활물질이 수용되기 때문에 윤활물질의 소모에 따라 간편한 보충이 가능하여 유지보수성의 편의는 더욱 향상될 수 있다.

이러한 윤활부(701)의 상측은 개방부(730)를 형성하여 웜휠들의 나사산이 상측으로 노출된다.

일측지지부(740)와 타측지지부(740)는 각각 제1축(611)과 제2축(621)을 회전지지하도록 소정의 인출개구(참조번호 미표시)가 형성되며 이러한 인출개구에는 원활한 회전 및 윤활물질의 실링을 위하여 베어링부(720)가 배치될 수 있다.

본 발명의 실시예에서는 타측으로 인출되는 제1축(611)과 제2축(621)에 회전 센싱을 위한 제1판부(613)와 제2판부(623)가 배치되며, 다이얼부들이 결합되기 때문에 상기된 상하방향의 미세 높이 조정을 위한 조정브라켓(810)은 일측으로 배치되는 것이 바람직하다.

이러한 조정브라켓(810)은 전후방에서 바라볼 때 'ㄷ'자 형태로 이루어지고, 일측에 형성되는 조정브라켓(810)의 상하면을 바라보도록 배치된다. 상기 조정브라켓(810)의 상측 및/또는 하측에는 소정의 관통홀이 배치되고 이에 수직조정부재(811)가 삽입된다.

상기 수직조정부재(811)는 소정의 나사산을 구비하고 조정브라켓(810)에 나삽되어 단부측이 지지브라켓(700)의 상면 또는 저면에 밀착되어 상하방향으로 밀어내어 웜휠에 대한 윔기어의 위치를 정확하게 맞출 수 있도록 기능하는데, 최소한 상기 수직조정부재(811)는 하측에는 구비되어 있어야 할 것이다.

상기와 같은 구조를 가지는 웜기어를 포함하는X선 회절분석장치는 엑스선발생부와 검출부가 동일 평면상에서 거의 대부분의 방향으로 변위를 가질 수 있으면서도 이러한 변위의 제어가 정확하게 이루어질 수 있기 때문에 다양한 형질과 형상을 가진 샘플의 구조를 정밀하게 파악할 수 있는 이점이 있다.

또한, 웜기어에 의하여 구동이 이루어지기 때문에 회전구동의 전달의 일방향성이 충족되어 하중에 의한 오작동 또는 모터로의 부하가 방지될 수 있고, 추가적인 감속기의 배치 없이도 미세한 각도의 제어가 가능하며, 종래기술에 비하여 회전감지의 효율성도 향상된다.

또한, 웜기어와 웜휠의 배치 특성상 윤활이 자연스럽게 이루어질 수 있고 이를 위하여 지지브라켓이 하나의 윤활부를 이루어 지속적으로 윤활물질을 공급할 수 있기 때문에 작동의 정확성, 유지보수성 및 내구성이 향상될 수 있는 이점이 있다.

또한, 종래의 구동장치들의 배열이 단순화되고 구동수단들이 직결된 상태로 모듈화되어 배치되어 공간상 이점이 향상되는 이점이 있다.

이상에서, 본 발명은 실시예 및 첨부도면에 기초하여 상세히 설명되었다. 그러나, 이상의 실시예들 및 도면에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않으며, 본 발명의 범위는 후술한 특허청구범위에 기재된 내용에 의해서만 제한될 것이다.

100...엑스선발생부 110...제1암
120...후방플레이트 121...후방돌부
122...후방센서부 200...검출부
210...제2암 220...전방플레이트
221...전방돌부 222...전방센서부
300...테이블부 400...베이스프레임
410...제1구동부 420...제2구동부
510...제1웜휠 511...제1웜휠돌부
520...제2웜휠 521...제2웜휠돌부
530...제1샤프트 540...제2샤프트
600...구동수단 610...제1웜기어
611...제1축 612...제1커플러
613...제1판부 614...제1센서부
615...제1다이얼부 620...제2웜기어
621...제2축 623...제2판부
624...제2센서부 625...제2다이얼부
700...지지브라켓 701...윤활부
710...수평조절부재 720...베어링부
730...개방부 740...일측지지부
750...타측지지부 760...수용부
810...조정브라켓 811...수직조정부재

Claims (5)

1. X선 회절분석장치의 엑스선발생부와 검출부의 각도를 조정하는 구동수단으로서,
   제1샤프트에 결합되는 제1웜휠에 맞물리는 제1웜기어;
   제1샤프트와 동축인 제2샤프트에 결합되는 제1웜휠에 맞물리는 제2웜기어;
   상기 제1웜기어 및 제2웜기어가 전후방으로 평행하게 수용되고 상측에 노출하도록 개방부를 구비하는 수용부와, 양측에 배치되어 제1웜기어 및 제2웜기어의 회전을 지지하는 일측 및 타측지지부를 구비하는 지지브라켓; 및
   일측지지부로 연장된 제1웜기어의 회전축과 제2웜기어의 회전축에 각각 연결되고 상호 평행하게 배치되는 제1구동부 및 제2구동부;를 포함하며,
   상기 수용부에는,
   제1웜기어 및 제2웜기어의 하측이 잠기도록 윤활물질이 수용되는 윤활부가 형성되는 것을 특징으로 하는 웜기어를 포함하는 XRD장치의 구동수단.
   
2. 삭제
3. 제1항에 있어서,
   상기 제1웜기어 및 제2웜기어의 회전축은 타측지지부로 연장되고 제1센서부 및 제2센서부에 의하여 광학적으로 회전이 감지되도록 원반 형상으로 이루어지고 슬릿을 구비하는 제1판부와 제2판부에 결합되는 것을 특징으로 하는 웜기어를 포함하는 XRD장치의 구동수단.
   
4. 제3항에 있어서,
   상기 제1웜기어 및 제2웜기어의 회전축의 타측 단부에는 수동으로 회전이 가능한 제1다이얼부와 제2다이얼부가 결합되는 것을 특징으로 하는 웜기어를 포함하는 XRD장치의 구동수단.
   
5. 제1항에 있어서,
   상기 일측지지부의 하면을 마주보도록 배치되고 웜기어의 웜휠에 대한 거리를 조절할 수 있는 수직조정부재가 결합되는 조정브라켓;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웜기어를 포함하는 XRD장치의 구동수단.

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