KR101460865B1 - Partial cold chamber using dry ice and low temperature test system using thereof - Google Patents

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Abstract

드라이아이스를 이용한 국부적 저온 챔버 및 이를 포함하는 저온 테스트 시스템이 개시된다. 저온 테스트를 위한 피시험 장치가 격납되는 국부적 저온 챔버는 상기 피시험 장치의 상측에 안착되고 드라이아이스가 보관됨으로써 상기 피시험 장치를 냉각시키는 드라이아이스 보관 용기를 포함하고, 상기 드라이아이스는 이산화탄소를 발생시킴으로써 상기 챔버 내부의 공기를 배출시켜 상기 챔버 내부에서의 결로 발생을 방지할 수 있다.A local low temperature chamber using dry ice and a low temperature test system including the same are disclosed. Wherein the local low-temperature chamber in which the device under test for low-temperature testing is stored includes a dry ice storage container which is placed on the upper side of the device under test and stores the dry ice to cool the device under test, The air in the chamber can be discharged to prevent condensation inside the chamber.

Description

드라이아이스를 이용한 국부적 저온 챔버 및 이를 이용한 저온 테스트 시스템{PARTIAL COLD CHAMBER USING DRY ICE AND LOW TEMPERATURE TEST SYSTEM USING THEREOF}Technical Field [0001] The present invention relates to a local low temperature chamber using dry ice, and a low temperature test system using the same. [0002]

본 발명의 실시예들은 드라이아이스를 이용하여 챔버의 국부적인 부분만을 냉각시키는 드라이아이스를 이용한 국부적 저온 챔버 및 이를 이용한 저온 테스트 시스템에 관한 것이다.Embodiments of the present invention relate to a localized low temperature chamber using dry ice for cooling only a localized portion of a chamber using dry ice and a low temperature test system using the same.

일반적으로, 저온 챔버는 피시험 장치(DUT: Device Under Test)의 고속 테스트를 위하여 피시험 장치뿐만 아니라 이를 테스트하기 위한 시스템을 챔버 안에 넣고 동작시킨다. 그렇지 않으면 저온이 필요한 부분인 피시험 장치만을 챔버 안에 넣고 그 밖에 시스템을 챔버 외부에 위치시킨 후 선을 통해 연결해야 하는데, 이 경우 선 길이에 따른 제한으로 인해 고속 테스트가 불가능하다.Generally, the low-temperature chamber places a system for testing the DUT, as well as the DUT, in a chamber for rapid testing of the DUT (Device Under Test). Otherwise, only the EUT, which is the part requiring low temperature, should be placed in the chamber, and the system should be placed outside the chamber and then connected through the line. In this case, high speed testing is impossible due to limitations of the line length.

그러나 기존의 저온 챔버와 같이 피시험 장치와 이를 테스트하기 위한 시스템을 모두 챔버에 넣고 동작시키면, 피시험 장치뿐만 아니라 시스템까지 저온의 영향을 받기 때문에 테스트에 좋지 않은 영향을 미친다. 따라서, 챔버 내부에서 국부적인 부분만을 저온으로 만들 수 있는 방법이 필요하다.However, if both the EUT and the system for testing it are put into the chamber and operated as in the conventional low-temperature chamber, it affects not only the EUT but also the system because it is affected by the low temperature. Therefore, there is a need for a method that can only make the localized portion cool down inside the chamber.

한편, 피시험 장치가 냉각되면 피시험 장치와 챔버 내부 간의 온도 차이로 인해 피시험 장치에 결로 현상이 발생하게 되고, 이는 테스트 시스템의 고장 원인이 된다.On the other hand, when the EUT is cooled, condensation occurs in the EUT due to the temperature difference between the EUT and the chamber, which causes failure of the test system.

이러한 결로 현상을 억제하기 위한 기술 중 하나로 한국공개특허공보 제10-2010-0016738호(공개일 2010년 2월 16일) "결로 방지가 가능한 히트 앤 콜드 척 시스템"에는 히트 앤 콜드 척 시스템이 챔버에 구비된 척을 저온으로 변환시키기 위하여 압축기, 응축기, 팽창밸브 및 열교환기를 통해 냉매를 냉각시키는 냉각유닛, 척을 고온으로 변환시키기 위하여 척에 일체로 형성된 가열기를 통해 척을 가열시키는 가열유닛 및 챔버 내부의 온도가 항상 일정한 상태를 유지하도록 드라이에어가 공급되는 드라이에어 공급유닛을 포함하여 척으로부터 배출되는 드라이에어를 가열시켜 수분을 제거하고 이를 다시 열교환기와 챔버 내에 공급시켜 척의 온도 변환 시 발생되는 결로현상을 억제하는 것이 개시되어 있다.As a technique for suppressing such a condensation phenomenon, Korean Patent Laid-Open No. 10-2010-0016738 (published February 16, 2010) entitled " Heat and cold chuck system capable of preventing condensation " A cooling unit for cooling the refrigerant through a compressor, a condenser, an expansion valve and a heat exchanger to convert the chuck provided in the chiller to a low temperature, a heating unit for heating the chuck through a heater formed integrally with the chuck to convert the chuck into a high temperature, A drying air supply unit including a dry air supply unit supplied with dry air so as to maintain a constant temperature of the inside of the chuck, heating the dry air discharged from the chuck to remove moisture, and supplying the dry air into the heat exchanger and the chamber, Thereby suppressing the phenomenon.

그러나, 이러한 방법은 결로 현상의 발생을 억제하기 위해 외부의 공기밸브를 연결해서 사용해야만 하므로 외부에 공기 소스가 없는 환경에서는 사용할 수 없으며, 챔버의 이동이 제한된다는 단점이 존재한다. 또한, 피시험 장치의 크기가 변하게 되면 적용하기가 용이하지 않아 그 규격에 맞은 시스템을 새로 제작하거나 재구입해야 하는 문제점이 있다.However, this method is disadvantageous in that it can not be used in an environment in which there is no external air source, and the movement of the chamber is restricted because external air valves must be connected to suppress the occurrence of condensation phenomena. Further, if the size of the apparatus under test is changed, it is not easy to apply the system.

따라서, 피시험 장치에 대한 고속 테스트를 수행할 때 외부에 공기 소스가 없는 환경에서도 결로의 발생을 방지할 수 있고, 피시험 장치의 크기와 관계없이 테스트를 수행할 수 있으며, 이동 및 설치가 용이한 챔버가 요구되고 있다.Therefore, when performing a high-speed test on the EUT, it is possible to prevent the occurrence of condensation even in an environment where there is no external air source, to perform a test regardless of the size of the EUT, One chamber is required.

피시험 장치에 대한 고속 테스트를 수행할 때 외부에 공기 소스가 없는 환경에서도 결로 발생을 방지할 수 있는 드라이아이스를 이용한 국부적 저온 챔버 및 이를 이용한 저온 테스트 시스템이 개시된다.Disclosed herein is a localized low temperature chamber using dry ice capable of preventing the occurrence of condensation even in an environment where there is no external air source when performing a high speed test on the device under test, and a low temperature test system using the same.

피시험 장치의 크기에 관계없이 테스트를 수행할 수 있는 드라이아이스를 이용한 국부적 저온 챔버 및 이를 이용한 저온 테스트 시스템이 개시된다.A localized low temperature chamber using dry ice capable of performing a test regardless of the size of the device under test and a low temperature test system using the same are disclosed.

이동 및 설치가 용이한 드라이아이스를 이용한 국부적 저온 챔버 및 이를 이용한 저온 테스트 시스템이 개시된다.Disclosed is a local low temperature chamber using dry ice which is easy to move and install, and a low temperature test system using the same.

저온 테스트를 위한 피시험 장치가 격납되는 국부적 저온 챔버는 상기 피시험 장치의 상측에 안착되고 드라이아이스가 보관됨으로써 상기 피시험 장치를 냉각시키는 드라이아이스 보관 용기를 포함하고, 상기 드라이아이스는 이산화탄소를 발생시킴으로써 상기 챔버 내부의 공기를 배출시켜 상기 챔버 내부에서의 결로 발생을 방지할 수 있다.Wherein the local low-temperature chamber in which the device under test for low-temperature testing is stored includes a dry ice storage container which is placed on the upper side of the device under test and stores the dry ice to cool the device under test, The air in the chamber can be discharged to prevent condensation inside the chamber.

일측에 따르면, 상기 드라이아이스는 상기 피시험 장치의 고속 테스트를 위하여 상기 피시험 장치의 국부 영역을 냉각시킬 수 있다.According to one aspect, the dry ice may cool the localized area of the device under test for rapid testing of the device under test.

다른 측면에 따르면, 상기 챔버 내부의 일측에는 상기 챔버 내부의 이산화탄소의 밀도를 증가시키는 이산화탄소용 드라이아이스가 더 구비될 수 있다.According to another aspect, one side of the chamber may further include a dry ice for carbon dioxide which increases the density of carbon dioxide in the chamber.

또 다른 측면에 따르면, 상기 챔버의 일측에 구비되어 외부의 공기 유입을 차단하며 상기 챔버 내부가 기 설정된 압력 이상이 되면 상기 챔버 내부의 공기를 배출하는 공기 배출구가 더 포함될 수 있다.According to another aspect of the present invention, there is further provided an air outlet provided at one side of the chamber to block the inflow of outside air and to discharge the air inside the chamber when the inside of the chamber becomes a preset pressure or more.

또 다른 측면에 따르면, 상기 공기 배출구를 통해 흡기함으로써 상기 챔버 내부의 공기를 배출시키는 에어 펌프를 더 포함할 수 있다.According to another aspect of the present invention, the apparatus may further include an air pump for discharging air inside the chamber by suction through the air outlet.

또 다른 측면에 따르면, 상기 챔버의 상측에 구비되어 상기 드라이아이스의 보충 시 발생되는 공기의 유동을 억제하는 이너 커버 및 상기 이너 커버 상측에 구비되어 상기 드라이아이스의 보충 시 개폐되는 이너 커버 캡을 더 포함할 수 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided an air conditioner, comprising: an inner cover provided on an upper side of the chamber to suppress air flow generated when the dry ice is replenished; and an inner cover cap provided on the upper side of the inner cover, .

또 다른 측면에 따르면, 상기 드라이아이스 보관 용기의 외벽에는 상기 챔버 내부로의 열 전달을 방지하는 보온재가 구비될 수 있다.According to another aspect, the outer wall of the dry ice storage container may be provided with a heat insulating material for preventing heat transfer to the inside of the chamber.

또 다른 측면에 따르면, 상기 드라이아이스 보관 용기는 상부가 개방된 형태의 용기일 수 있다.According to another aspect, the dry ice storage container may be a container having an open top.

피시험 장치를 챔버에 격납시켜 저온 테스트를 수행하는 시스템은 상기 피시험 장치의 상측에 안착되고 드라이아이스가 보관됨으로써 상기 피시험 장치를 냉각시키는 드라이아이스 보관 용기를 포함하는 국부적 저온 챔버 및 상기 피시험 장치와 연결되어 상기 피시험 장치에 대한 저온 테스트를 수행하는 테스트 장치를 포함하고, 상기 드라이아이스는 이산화탄소를 발생시킴으로써 상기 국부적 저온 챔버 내부의 공기를 배출시켜 상기 국부적 저온 챔버 내부에서의 결로 발생을 방지할 수 있다.A system for performing a low temperature test by storing a device under test in a chamber includes a localized low temperature chamber including a dry ice storage container which is placed on the upper side of the device under test and stores dry ice to cool the device under test, And a test apparatus connected to the apparatus to perform a low temperature test on the DUT. The dry ice generates carbon dioxide, thereby discharging air in the local low temperature chamber to prevent condensation inside the local low temperature chamber can do.

드라이아이스를 이용하여 피시험 장치를 냉각시키고, 챔버 내부의 공기가 드라이아이스로부터 발생된 이산화탄소에 의해 배출되도록 함으로써 피시험 장치에 대한 고속 테스트를 수행할 때 외부의 공기 소스에 관계없이 결로 발생을 방지할 수 있다.Dry ice is used to cool the EUT and allow the air inside the chamber to be released by the carbon dioxide generated from the dry ice, thereby preventing condensation from occurring regardless of the external air source when performing a rapid test on the EUT can do.

드라이아이스 보관 용기를 이용하여 피시험 장치만을 국부적으로 냉각시킴으로써 피시험 장치의 크기에 관계 없이 저온 고속 테스트가 가능하다.By using a dry ice storage vessel to cool only the device under test locally, it is possible to perform low temperature high speed tests regardless of the size of the device under test.

피시험 장치의 저온 테스트 시 드라이아이스를 이용함으로써 압축기, 응축기 등과 같은 별도의 냉각 장치가 필요하기 않기 때문에 이동과 설치가 용이하므로 원하는 곳에 설치가 가능하다.When using the dry ice during the low temperature test of the device under test, there is no need for a separate cooling device such as a compressor or a condenser, so that it is possible to install it in a desired place since it is easy to move and install.

도 1은 본 발명의 일실시예에 있어서, 국부적 저온 챔버를 나타내는 투시도이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 있어서, 국부적 저온 챔버를 이용한 저온 테스트 시스템을 나타내는 예시도이다.1 is a perspective view showing a localized low temperature chamber in one embodiment of the present invention.
2 is an exemplary view showing a low temperature test system using a local low temperature chamber in one embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일실시예에 있어서, 국부적 저온 챔버(Partial Cold Chamber)를 나타내는 투시도이다.1 is a perspective view showing a partial cold chamber in an embodiment of the present invention.

도 1에 도시된 것과 같이, 본 발명에 따른 국부적 저온 챔버(100)의 하측에는 저온 테스트를 위한 피시험 장치(110)가 격납될 수 있다. 일 예로, 피시험 장치(110)는 반도체 메모리 소자일 수 있다.As shown in FIG. 1, a device under test 110 for a low temperature test may be stored under the local low temperature chamber 100 according to the present invention. As an example, the device under test 110 may be a semiconductor memory device.

피시험 장치(110)의 상측에는 피시험 장치(110)의 국부적인 저온 테스트를 위하여 드라이아이스(Dry Ice)가 보관되는 드라이아이스 보관 용기(120)가 안착될 수 있다.A dry ice storage container 120 in which dry ice is stored for a local low temperature test of the device under test 110 may be mounted on the upper side of the DUT 110.

드라이아이스는 고체 탄산이라고도 하는데, 이산화탄소를 고체로 변화시킨 것으로 고체 상태에서 기체 상태로 변화하는 승화성을 갖기 때문에 승화 시 주위의 열을 흡수하여 주변 온도를 급격히 낮춘다. 그러므로, 피시험 장치(110)는 드라이아이스 보관 용기(120)에 보관된 드라이아이스에 의해 국부 영역만이 냉각될 수 있다.Dry ice is also called solid carbon dioxide because it has a sublimation property that changes from a solid state to a gaseous state by changing the carbon dioxide to a solid, thereby absorbing the surrounding heat during the sublimation process and rapidly lowering the ambient temperature. Therefore, the device under test 110 can be cooled only in the local area by the dry ice stored in the dry ice storage container 120. [

이 때, 드라이아이스 보관 용기(120)의 외벽에는 국부적 저온 챔버(100) 내부로의 열 전달을 방지하기 위한 보온재가 구비될 수 있고, 피시험 장치(110) 주변 또한 절연 처리(Insulation)될 수 있다. 따라서, 국부적 저온 챔버(100)의 내부는 드라이아이스 보관 용기(120)가 안착된 영역만이 국부적으로 냉각되기 때문에 피시험 장치(110)는 기 설정된 영역만이 국부적으로 냉각될 수 있으며, 따라서 피시험 장치(110)의 크기가 변하더라도 조정이 용이하고 기 설정된 영역 이외의 부분은 온도에 따른 스트레스를 받지 않으므로 고속 테스트가 가능하다.At this time, the outer wall of the dry ice storage container 120 may be provided with a heat insulating material for preventing heat transfer to the local low-temperature chamber 100, and the periphery of the device under test 110 may also be insulated have. Therefore, since only the area where the dry ice storage container 120 is placed is cooled locally in the inside of the local low temperature chamber 100, only the predetermined area of the device under test 110 can be locally cooled, Adjustment is easy even if the size of the test apparatus 110 changes, and high-speed testing is possible because portions other than the predetermined region are not subjected to stress due to temperature.

한편, 드라이아이스 보관 용기(120)는 상부가 개방된 형태의 용기이거나 저온 테스트 시 상부가 개방됨으로써 드라이아이스로부터 발생된 건조한 이산화탄소에 의해 국부적 저온 챔버(100) 내부의 공기가 공기 배출구(130)를 통해 국부적 저온 챔버(100)의 외부로 배출되도록 할 수 있다.On the other hand, the dry ice storage container 120 is an open top type container, or the upper part of the dry ice storage container 120 is opened during the low temperature test, so that the air inside the local low temperature chamber 100 is discharged through the air discharge opening 130 by dry carbon dioxide generated from the dry ice To the outside of the localized low temperature chamber (100).

이산화탄소(CO2)는 탄산 가스라고도 하는데, 화학적으로 매우 안정한 물질로 밀도가 공기보다 크기 때문에 국부적 저온 챔버(100)의 하부에 쌓이게 된다. 그러므로, 국부적 저온 챔버(100) 내부의 공기는 국부적 저온 챔버(100)의 하부에 쌓이는 건조한 이산화탄소에 의해 공기 배출구(130)를 통해 배출되고, 따라서 국부적 저온 챔버(100) 내부에는 건조한 이산화탄소가 채워짐에 따라 결로의 발생이 방지될 수 있다.Carbon dioxide (CO 2 ), also known as carbon dioxide, is a chemically very stable material that is deposited at the bottom of the localized low temperature chamber 100 because of its greater density than air. Therefore, the air inside the local low-temperature chamber 100 is discharged through the air outlet 130 by the dry carbon dioxide accumulated in the lower portion of the local low-temperature chamber 100, so that dry carbon dioxide is filled in the local low- The occurrence of condensation can be prevented.

이를 위하여 공기 배출구(130)는 국부적 저온 챔버(100)의 일측에 구비되어 외부의 공기 유입을 차단하며, 국부적 저온 챔버(100) 내부가 기 설정된 압력 이상이 되면 내부의 공기를 배출할 수 있다.For this purpose, the air outlet 130 is provided at one side of the local low-temperature chamber 100 to shut off the inflow of the external air and to discharge the internal air when the pressure inside the local low-temperature chamber 100 becomes a predetermined pressure or more.

또한, 본 발명에 따른 국부적 저온 챔버(100)는 도 1에는 도시되지 않았지만 에어 펌프(Air Pump)를 더 포함할 수 있다. 에어 펌프는 필요에 따라 피시험 장치(110)의 테스트 초기 또는 테스트 시 공기 배출구(130)를 통해 국부적 저온 챔버(100) 내부의 공기를 흡기하여 외부로 배출함으로써 이산화탄소가 채워지도록 하여 국부적 저온 챔버(100) 내부의 습기가 보다 효과적으로 제거되도록 할 수 있다.In addition, the local low-temperature chamber 100 according to the present invention may further include an air pump (not shown in FIG. 1). The air pump sucks air in the local low-temperature chamber 100 through the air outlet 130 at the initial stage of the test or during the test of the device under test 110 as needed, and discharges the air to the outside to fill the local low-temperature chamber 100 100 can be more effectively removed.

또한, 국부적 저온 챔버(100) 내부의 일측에는 도 1에 도시된 것과 같이 국부적 저온 챔버(100) 내부의 건조한 이산화탄소의 밀도를 증가시키기 위한 이산화탄소용 드라이아이스(140)가 더 구비될 수도 있다.In addition, one side of the inside of the local low temperature chamber 100 may further include a dry ice 140 for carbon dioxide for increasing the density of dry carbon dioxide inside the local low temperature chamber 100 as shown in FIG.

한편, 피시험 장치(110)에 대한 저온 테스트는 국부적 저온 챔버(100)의 챔버 커버(150)가 닫힌 상태 즉, 국부적 저온 챔버(100)의 내부가 밀폐된 상태로 수행될 수 있다. 그러나, 본 발명에 따른 국부적 저온 챔버(100)는 드라이아이스를 이용하여 피시험 장치(110)를 국부적으로 냉각시키기 때문에 장시간 테스트를 진행할 경우 드라이아이스를 보충해야 하고 이 때, 공기의 유동에 의해 국부적 저온 챔버(100) 내부의 이산화탄소가 유동할 수 있다. 따라서, 국부적 저온 챔버(100) 상측에는 드라이아이스의 보충 시 발생되는 공기의 유동을 억제하는 이너 커버(Inner Cover) (160)가 구비될 수 있고, 이너 커버(160) 상측에는 드라이아이스의 보충 시 개폐하기 위한 이너 커버 캡(Inner Cover Cap) (170)이 구비될 수 있다. 일 예로, 이너 커버(160)는 일측이 개방된 형태일 수 있고 투명 소재로 구현될 수 있다. 이 때, 이너 커버 캡(170)은 이너 커버(160)의 개방된 부분을 개폐하는데 이용될 수 있고, 이너 커버(160)와 마찬가지로 투명 소재로 구현될 수 있다.On the other hand, the low temperature test for the device under test 110 may be performed in a state in which the chamber cover 150 of the local low temperature chamber 100 is closed, that is, the inside of the local low temperature chamber 100 is sealed. However, since the local low temperature chamber 100 according to the present invention locally cools the device under test 110 using dry ice, it is necessary to supplement the dry ice when the test is performed for a long time. At this time, The carbon dioxide in the low-temperature chamber 100 can flow. Therefore, an inner cover 160, which suppresses the flow of air generated when the dry ice is replenished, may be provided on the upper side of the local low-temperature chamber 100. On the upper side of the inner cover 160, An inner cover cap 170 for opening and closing the inner cover can be provided. For example, the inner cover 160 may have a shape of one side opened and a transparent material. At this time, the inner cover cap 170 can be used to open and close the opened portion of the inner cover 160, and can be realized as a transparent material like the inner cover 160.

상술한 국부적 저온 챔버(100)에 격납된 피시험 장치(110)는 국부적 저온 챔버(100)의 일측에 구비된 입출력 포트(Input/Output Port)(180)를 통하여 피시험 장치(110)에 대한 저온 테스트를 수행하는 테스트 장치와 연결될 수 있다.
The DUT 110 stored in the local low temperature chamber 100 is connected to the DUT 110 through an input / output port 180 provided at one side of the local low temperature chamber 100, And can be connected to a test apparatus that performs a low temperature test.

도 2는 본 발명의 일실시예에 있어서, 국부적 저온 챔버를 이용한 저온 테스트 시스템을 나타내는 예시도이다.2 is an exemplary view showing a low temperature test system using a local low temperature chamber in one embodiment of the present invention.

본 발명에 따른 국부적 저온 챔버를 이용한 저온 테스트 시스템은 도 2에 도시된 것과 같이, 피시험 장치의 상측에 안착되고 드라이아이스가 보관됨으로써 피시험 장치를 냉각시키는 드라이아이스 보관 용기(120)를 포함하는 국부적 저온 챔버(100) 및 피시험 장치와 연결되어 피시험 장치에 대한 저온 테스트를 수행하는 테스트 장치(190)를 포함함으로써 테스트 장치(190)를 이용하여 국부적 저온 챔버(100)에 격납된 피시험 장치를 테스트할 수 있다. 이 때, 상기 드라이아이스는 이산화탄소를 발생시킴으로써 국부적 저온 챔버(100) 내부의 공기를 배출시켜 국부적 저온 챔버(100) 내부에서의 결로 발생을 방지할 수 있다.The low temperature test system using the local low temperature chamber according to the present invention includes a dry ice storage container 120 that is placed on the upper side of the device under test and stores dry ice to cool the device under test, And a test apparatus 190 connected to the local low-temperature chamber 100 and the DUT to perform a low-temperature test on the DUT. By using the test apparatus 190, You can test the device. At this time, the dry ice generates carbon dioxide, thereby discharging air in the local low-temperature chamber 100, thereby preventing condensation from occurring in the local low-temperature chamber 100.

일 예로, 본 발명에 따른 국부적 저온 챔버(100)는 도 2와 같은 형태로 구현될 수 있다. 피시험 장치의 국부적인 저온 테스트를 위해 피시험 장치의 상측에 저온용 드라이아이스가 보관된 드라이아이스 보관 용기(120)를 안착시킴으로써 피시험 장치의 온도를 낮춰주고, 주변 환경으로 열 전달을 막기 위해 피시험 장치 주변을 절연 처리(insulation)시킨다. 이를 통해 원하는 피시험 장치만을 저온 환경으로 만들 수 있으며, 피시험 장치의 크기가 변하더라도 조정이 용이하다.For example, the localized low temperature chamber 100 according to the present invention may be realized in the form as shown in FIG. For the local low-temperature test of the device under test, the dry ice storage container (120) storing the low-temperature dry ice is placed on the upper side of the device under test to lower the temperature of the device under test and to prevent heat transfer to the surrounding environment The insulation around the test equipment is insulated. This makes it possible to make the desired EUT only in a low-temperature environment, and it is easy to adjust even if the size of the EUT changes.

또한, 기존의 챔버는 외부에 공기 소스가 필요하지만, 본 발명에 따른 국부적 저온 챔버(100)는 드라이아이스에서 나오는 건조한 이산화탄소로 서리발생을 방지 하였기 때문에, 환경에 구애 받지 않고 어느 장소에서나 테스트가 가능하다.In addition, although the conventional chamber requires an external air source, the local low-temperature chamber 100 according to the present invention prevents the occurrence of frost due to dry carbon dioxide from the dry ice, so that it can be tested at any place without regard to the environment Do.

드라이아이스 보관 용기(120)에 보관되는 저온용 드라이아이스를 통해서 국부적인 저온 환경을 만들 수 있고, 이산화탄소용 드라이아이스(140)를 통해서 피시험 장치에 결로가 발생하는 것을 방지할 수 있다.It is possible to make a local low-temperature environment through the low-temperature dry ice stored in the dry-ice storage container 120, and to prevent condensation from occurring in the device under test through the dry ice for carbon dioxide 140.

또한, 테스트 초기에 국부적 저온 챔버(100) 내부의 습기를 최대한 줄이기 위해 공기 배출구(130)를 통해 외부의 공기 유입을 차단하며, 내부의 공기를 배출하고 이산화탄소를 채울 수 있다.Also, in order to minimize the moisture inside the local low-temperature chamber 100 at the initial stage of the test, external air can be blocked through the air outlet 130, and the air inside the chamber can be discharged and filled with carbon dioxide.

한편, 장시간 저온 테스트를 할 경우 드라이아이스를 리필해야 하는데, 이 때 국부적 저온 챔버(100) 내부의 이산화탄소의 유동을 최대한 줄이기 위해 이너 커버(160)와 이너 커버 캡(170)속 뚜껑과 속 뚜껑 덮개를 사용할 수 있다.In order to minimize the flow of carbon dioxide in the local low temperature chamber 100, the inner cover 160 and the lid in the inner cover cap 170 and the inner lid cover Can be used.

피시험 장치는 입출력 포트(180)를 통해 테스트 장치(190)와 연결될 수 있기 때문에 어떠한 인터페이스라도 적용 가능하다.Since the device under test can be connected to the test apparatus 190 through the input / output port 180, any interface is applicable.

이상과 같이 실시예들이 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기의 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다.　 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 방법과 다른 순서로 수행되거나, 및/또는 설명된 시스템, 구조, 장치, 회로 등의 구성요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments. For example, it is to be understood that the techniques described may be performed in a different order than the described methods, and / or that components of the described systems, structures, devices, circuits, Lt; / RTI > or equivalents, even if it is replaced or replaced.

그러므로, 다른 구현들, 다른 실시예들 및 특허청구범위와 균등한 것들도 후술하는 특허청구범위의 범위에 속한다.Therefore, other implementations, other embodiments, and equivalents to the claims are also within the scope of the following claims.

100: 국부적 저온 챔버
110: 피시험 장치
120: 드라이아이스 보관 용기
130: 공기 배출구
140: 이산화탄소용 드라이아이스
150: 챔버 커버
160: 이너 커버
170: 이너 커버 캡
180: 입출력 포트100: Local low temperature chamber
110: Tested device
120: Dry ice storage container
130: air outlet
140: Dry ice for carbon dioxide
150: chamber cover
160: Inner cover
170: Inner cover cap
180: I / O port

Claims (16)

저온 테스트를 위한 피시험 장치가 격납되는 챔버에 있어서,
상기 피시험 장치의 상측에 안착되고 드라이아이스가 보관됨으로써 상기 피시험 장치를 냉각시키는 드라이아이스 보관 용기; 및
상기 챔버의 일측에 구비되어, 상기 챔버 내부에서의 결로 발생 방지를 위하여 상기 챔버 외부의 공기 유입을 차단하며 상기 챔버 내부가 기 설정된 압력 이상이 되면 상기 챔버 내부의 공기를 상기 챔버 외부로 배출하는 공기 배출구
를 포함하고,
상기 챔버의 내부 공간은 상측 공간 및 하측 공간을 포함하는 적어도 두 개의 공간들로 나누어지고,
상기 챔버의 상측 공간은 챔버 커버에 의하여 여닫히고, 상기 챔버의 하측 공간은 이너 커버에 의하며 여닫히며,
상기 드라이아이스 보관 용기는 상기 피시험 장치의 국부 영역이 냉각되도록 상기 피시험 장치의 국부 영역에 안착되도록 상기 챔버의 하측 공간에 위치하고,
상기 챔버의 일측에는
상기 챔부 내부에서의 결로 발생 방지를 위하여 상기 챔버 외부의 공기 유입을 차단하며 상기 챔버 내부가 기 설정된 압력 이상이 되면 상기 챔버 내부의 공기를 상기 챔버 외부로 배출하는 공기 배출구가 상기 챔버의 하측 공간에 구비되는 것을 특징으로 하는 국부적 저온 챔버.In a chamber in which a device under test for low temperature testing is stored,
A dry ice storage container which is placed on the upper side of the device under test and stores the dry ice to cool the device under test; And
The chamber is provided at one side of the chamber to block the inflow of air outside the chamber in order to prevent condensation from occurring inside the chamber and to discharge air inside the chamber to the outside of the chamber outlet
Lt; / RTI >
Wherein the inner space of the chamber is divided into at least two spaces including an upper space and a lower space,
The upper space of the chamber is closed by the chamber cover, the lower space of the chamber is opened and closed by the inner cover,
Wherein the dry ice storage vessel is located in a lower space of the chamber so that the localized area of the device under test is seated in a localized area of the apparatus under test to cool down,
On one side of the chamber
An air discharge port for discharging the air inside the chamber to the outside of the chamber is provided in the lower space of the chamber so as to prevent air from flowing outside the chamber to prevent condensation from occurring inside the chamber, Wherein the low temperature chamber is provided with at least one chamber. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 피시험 장치를 챔버에 격납시켜 저온 테스트를 수행하는 시스템에 있어서,
상기 피시험 장치의 상측에 안착되고 드라이아이스가 보관됨으로써 상기 피시험 장치를 냉각시키는 드라이아이스 보관 용기를 포함하는 국부적 저온 챔버; 및
상기 피시험 장치와 연결되어 상기 피시험 장치에 대한 저온 테스트를 수행하는 테스트 장치
를 포함하고,
상기 국부적 저온 챔버의 내부 공간은 상측 공간 및 하측 공간을 포함하는 적어도 두 개의 공간들로 나누어지고,
상기 국부적 저온 챔버의 상측 공간은 챔버 커버에 의하여 여닫히고, 상기 국부적 저온 챔버의 하측 공간은 이너 커버에 의하며 여닫히며,
상기 드라이아이스 보관 용기는 상기 피시험 장치의 국부 영역이 냉각되도록 상기 피시험 장치의 국부 영역에 안착되도록 상기 국부적 저온 챔버의 하측 공간에 위치하고,
상기 국부적 저온 챔버의 일측에는
상기 국부적 저온 챔버 내부에서의 결로 발생 방지를 위하여 상기 국부적 저온 챔버 외부의 공기 유입을 차단하며 상기 국부적 저온 챔버 내부가 기 설정된 압력 이상이 되면 상기 국부적 저온 챔버 내부의 공기를 상기 챔버 외부로 배출하는 공기 배출구가 상기 국부적 저온 챔버의 하측 공간에 구비되며,
상기 드라이아이스는,
이산화탄소를 발생시킴으로써 상기 국부적 저온 챔버 내부의 공기를 배출시켜 상기 국부적 저온 챔버 내부에서의 결로 발생을 방지하는 것을 특징으로 하는 저온 테스트 시스템.A system for performing a low temperature test by storing a device under test in a chamber,
A localized low temperature chamber including a dry ice storage vessel which is placed on the upper side of the DUT and stores dry ice to cool the DUT; And
A test apparatus connected to the DUT to perform a low temperature test on the DUT
Lt; / RTI >
Wherein the internal space of the local low temperature chamber is divided into at least two spaces including an upper space and a lower space,
The upper space of the local low temperature chamber is closed by the chamber cover, the lower space of the local low temperature chamber is closed by the inner cover,
Wherein the dry ice storage vessel is located in a lower space of the localized low temperature chamber so as to be seated in a localized area of the device under test to cool the localized area of the device under test,
On one side of the local low-temperature chamber
The chamber is interrupted to prevent the air from flowing outside the local low-temperature chamber to prevent condensation from occurring in the local low-temperature chamber, and when the inside of the local low-temperature chamber is higher than a predetermined pressure, air An outlet is provided in the lower space of the local low temperature chamber,
In the dry ice,
And the air in the local low-temperature chamber is discharged by generating carbon dioxide to prevent condensation from occurring in the local low-temperature chamber. 제9항에 있어서,
상기 드라이아이스는,
상기 피시험 장치의 국부 영역을 냉각시키고,
상기 테스트 장치는,
상기 피시험 장치에 대한 고속 테스트를 수행하는 것을 특징으로 하는 저온 테스트 시스템.10. The method of claim 9,
In the dry ice,
Cooling the local area of the device under test,
The test apparatus includes:
Wherein the high-speed test is performed on the apparatus under test. 제9항에 있어서,
상기 테스트 장치는,
상기 국부적 저온 챔버의 일측에 구비된 입출력 포트를 통하여 상기 피시험 장치와 연결되는 것을 특징으로 하는 저온 테스트 시스템.10. The method of claim 9,
The test apparatus includes:
Wherein the low temperature test system is connected to the EUT through an input / output port provided on one side of the local low temperature chamber. 제9항에 있어서,
상기 국부적 저온 챔버에는,
상기 국부적 저온 챔버 내부의 이산화탄소의 밀도를 증가시키기 위한 이산화탄소용 드라이아이스가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 저온 테스트 시스템.10. The method of claim 9,
In the local low-temperature chamber,
Further comprising a dry ice for carbon dioxide to increase the density of carbon dioxide in the local low temperature chamber. 삭제delete 제9항에 있어서,
상기 국부적 저온 챔버는,
상기 드라이아이스의 보충 시 발생되는 공기의 유동을 억제하는 이너 커버 및 상기 이너 커버 상측에 구비되어 상기 드라이아이스의 보충 시 개폐되는 이너 커버 캡을 포함하는 것을 특징으로 하는 저온 테스트 시스템.10. The method of claim 9,
The local low-
An inner cover for suppressing the flow of air generated when the dry ice is replenished, and an inner cover cap provided on the upper side of the inner cover and opened or closed when the dry ice is replenished. 제9항에 있어서,
상기 드라이아이스 보관 용기의 외벽은,
상기 국부적 저온 챔버 내부로의 열 전달을 방지하는 보온재가 구비되는 것을 특징으로 하는 저온 테스트 시스템.10. The method of claim 9,
The outer wall of the dry ice storage container is,
And a heat insulating material is provided to prevent heat transfer to the inside of the local low temperature chamber. 제9항에 있어서,
상기 드라이아이스 보관 용기는,
상부가 개방된 형태의 용기인 것을 특징으로 하는 저온 테스트 시스템.10. The method of claim 9,
In the dry ice storage container,
Wherein the container is a container having an open top.
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