KR101460164B1 - 기판 처리 장비의 제어 장치 및 그 구동 방법 - Google Patents

기판 처리 장비의 제어 장치 및 그 구동 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 메인 제어 장치와, 적어도 두개의 디스크를 포함하여 메인 제어 장치와 결합 및 분리 가능하고 적어도 두개의 디스크에 저장된 데이터를 동일하게 보존하는 데이터 보존 장치를 포함하여 시스템 데이터 및 구동 데이터가 저장된 제 1 디스크와 데이터 저장 준비 상태를 갖춘 제 2 디스크를 마련하는 단계와, 제 1 디스크의 시스템 데이터 및 구동 데이터를 이용하여 기판 처리 장비를 구동시키는 단계와, 제 1 디스크의 시스템 데이터 및 구동 데이터를 제 2 디스크에 저장하는 단계와, 제 1 및 제 2 디스크의 손상을 검출하는 단계와, 손상되지 않은 디스크의 데이터들을 이용하여 기판 처리 장비를 구동시키는 단계와, 손상된 디스크를 정상 디스크로 교체한 후 손상되지 않은 디스크의 데이터를 교체된 디스크에 저장하는 단계를 포함하는 기판 처리 장비의 공정 제어 장치 및 그 구동 방법을 제시한다.

Description

기판 처리 장비의 제어 장치 및 그 구동 방법{Controlling apparatus for substrate processing equipment and method of operating the same}
본 발명은 기판 처리 장비의 제어 장치에 관한 것으로, 특히 기판 처리 장비를 구동시키기 위한 데이터를 보존할 수 있는 기판 처리 장비의 제어 장치 및 그 구동 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 소자의 제조 공정은 웨이퍼 제조로부터 회로 설계, 마스크, 산화, 웨이퍼 가공(노광, 현상, 식각, 증착, 이온주입, 금속배선), 조립 등 제품에 따라 수십 내지 수백 가지의 복잡한 공정으로 이루어져 있다. 또한, 수십 ㎚의 패턴을 가공하는 반도체 소자의 특성상 기판 처리 장비는 매우 정밀하고 안정화된 구동을 필요로 한다. 이를 위해 내진 설계, 비상 전원 공급 장치 등의 안전 장치가 마련된다.
또한, 매우 고가인 기판 처리 장비는 청정도가 높은 공간에 설치되고, 소모품의 주기적인 교체 및 엔지니어의 체계적인 유지보수하에 관리되므로 수명이 매우 길다. 예를 들어, 1990년에 생산된 6인치용 장비가 20년이 지난 현재도 정상적으로 사용되고 있어 기판 처리 장비의 평균적 수명은 20년 이상이라 할 수 있다.
그런데, 내진 설계, 비상 전원 공급 장치 등의 안전 장치가 준비된 공간에서 구동중인 기판 처리 장비라도 정전, 긴급 정지, 자연 재해, 엔지니어 실수 등의 다양한 사고에 의해 갑작스럽게 오류가 발생하고 구동이 정지될 수 있다. 기판 처리 장비의 정지에 의해 기판 처리 장비의 공정을 제어하는 공정 제어 장치에 저장된 다양한 시스템 데이터, 공정 데이터, 운용 데이터 등이 손상되어 복구가 불가능한 경우가 발생하게 된다. 반도체 소자의 종류에 따라 반도체 제조 공정이 달라지고, 같은 종류의 소자를 생산하는 장비라도 챔버의 미세한 특성에 따라 공정 파라메타(Parameter)가 조금씩 달라지기 때문에 각 장비에 저장된 공정 데이터들은 모두 다르다. 따라서, 사고에 의해 손상된 데이터는 다른 기판 처리 장비의 데이터로 대체할 수가 없다. 이렇게 손상된 데이터는 기판 처리 장비 제조 업체에서 수리를 받기 전에는 사고 이전 상태로 복구되기는 어렵고, 그나마 기본적인 데이터만 제공되므로 사고 이전까지 저장된 데이터의 복구는 불가능하다. 또한, 사고 발생 후 복구까지 수일 내지 수십 일의 시간이 소요되는 동안 장비의 구동이 불가능하므로 반도체 생산 라인에서는 천문학적인 금액의 손실이 발생할 수 있다.
한편, 10년 이상의 사용으로 노후화된 기판 처리 장비에서는 데이터 저장 장치로 사용되는 하드디스크의 노후화나 시스템 불안정 등에 의한 하드디스크의 물리적 손상으로 데이터 손실이 발생하는 사례가 많아지고 있다. 이러한 경우에도 장비의 정상적인 복구까지 발생하는 시간적, 금전적 손실이 매우 크다.
본 발명은 기판 처리 장비의 공정 제어 데이터를 별개의 저장 장치에 동일하게 저장하여 데이터를 보존하는 기판 처리 장비의 제어 장치 및 그 구동 방법을 제공한다.
본 발명은 동일 데이터를 적어도 두개 이상의 저장 장치에 저장하고, 사고에 의해 저장 장치의 어느 하나가 손상된 경우 다른 저장 장치의 데이터를 이용하여 기판 처리 장비를 구동할 수 있는 기판 처리 장비의 제어 장치 및 그 구동 방법을 제공한다.
본 발명의 일 예에 따른 기판 처리 장비의 제어 장치는 메인 제어 장치; 및 적어도 두개의 디스크를 포함하여 상기 메인 제어 장치와 결합 및 분리 가능하고, 상기 적어도 두개의 디스크에 저장된 데이터를 동일하게 보존하는 데이터 보존 장치를 포함한다.
상기 메인 제어 장치가 내부에 마련되고 소정 영역에 삽입구가 마련된 본체를 더 포함하고, 상기 삽입구를 통해 상기 데이터 보존 장치가 삽입된다.
상기 데이터 보존 장치는 플레이트; 상기 플레이트의 일면에 고정된 데이터 보존부; 및 상기 플레이트의 일면에 고정되어 상기 데이터 보존부와 연결되고 상기 적어도 두 개의 디스크를 포함하는 데이터 저장부가 삽입되는 디스크 삽입부를 포함한다.
상기 데이터 저장부는 메인 제어 장치 및 데이터 보존 장치의 시스템 데이터 및 기판 처리 장비 구동 데이터를 저장하는 제 1 디스크와, 상기 제 1 디스크의 상기 데이터들이 저장되는 제 2 디스크를 포함한다.
상기 제 1 및 제 2 디스크는 상기 시스템 데이터가 저장되는 제 1 저장 영역과, 상기 구동 데이터가 저장되는 제 2 저장 영역이 각각 마련된다.
상기 데이터 보존부는 상기 시스템 데이터를 저장하고 오류를 검출하는 제 1 데이터 보존부와, 상기 구동 데이터를 저장하고 오류를 검출하는 제 2 데이터 보존부를 포함한다.
상기 제 1 데이터 보존부는 상기 제 1 디스크의 상기 시스템 데이터를 상기 제 2 디스크에 저장하도록 하는 제 1 데이터 저장부와, 상기 제 1 및 제 2 디스크에 저장된 상기 시스템 데이터의 오류를 검출하는 제 1 오류 검출부와, 상기 제 1 데이터 저장부 및 제 1 오류 검출부를 제어하는 제 1 제어부를 포함한다.
상기 제 1 오류 검출부는 제 1 및 제 2 디스크에 저장된 시스템 데이터들을 비교하여 제 1 및 제 2 디스크의 손상 여부를 검출한다.
상기 제 2 데이터 보존부는 상기 제 1 디스크의 구동 데이터를 상기 제 2 디스크에 저장하도록 하는 제 2 데이터 저장부와, 상기 제 1 및 제 2 디스크에 저장된 상기 구동 데이터의 오류를 검출하는 제 2 오류 검출부와, 상기 제 2 데이터 저장부, 제 2 오류 검출부를 제어하는 제 2 제어부를 포함한다.
상기 제 2 오류 검출부는 제 1 및 제 2 디스크에 저장된 구동 데이터들을 비교하여 제 1 및 제 2 디스크의 손상 여부를 검출한다.
본 발명의 다른 예에 따른 기판 처리 장비의 제어 장치의 구동 방법은 시스템 데이터 및 구동 데이터가 저장된 제 1 디스크와 데이터 저장 준비 상태를 갖춘 제 2 디스크를 마련하는 단계; 상기 제 1 디스크의 상기 시스템 데이터 및 구동 데이터를 이용하여 기판 처리 장비를 구동시키는 단계; 상기 제 1 디스크의 상기 시스템 데이터 및 구동 데이터를 상기 제 2 디스크에 저장하는 단계; 상기 제 1 및 제 2 디스크의 손상을 검출하는 단계; 손상되지 않은 디스크의 상기 데이터들을 이용하여 기판 처리 장비를 구동시키는 단계; 및 손상된 디스크를 정상 디스크로 교체한 후 손상되지 않은 디스크의 상기 데이터를 교체된 디스크에 저장하는 단계를 포함한다.
상기 제 1 및 제 2 디스크를 포함하는 데이터 보존 장치를 메인 제어 장치에 연결하는 단계를 더 포함한다.
상기 시스템 데이터를 이용하여 상기 메인 제어 장치 및 데이터 보존 장치를 구동시키고, 상기 구동 데이터를 이용하여 상기 기판 처리 장비를 구동시킨다.
상기 제 1 디스크의 상기 시스템 데이터 및 구동 데이터는 상기 시스템 데이터에 의해 상기 메인 제어 장치 및 데이터 보존 장치가 구동되는 동안에 상기 제 2 디스크에 저장된다.
상기 기판 처리 장비가 구동되는 동안에 새로운 데이터를 상기 제 1 디스크에 저장하고, 이를 다시 상기 제 2 디스크에 저장하는 단계를 더 포함한다.
상기 디스크의 손상은 상기 제 1 디스크의 데이터들과 상기 제 2 디스크의 데이터들을 비교하여 검출한다.
본 발명은 기판 처리 장비의 공정 제어 장치의 시스템 데이터 및 공정 데이터를 제 1 디스크로부터 제 2 디스크에 저장하고, 기판 처리 장비의 정지에 의한 공정 제어 장치의 오류에 의해 제 1 및 제 2 디스크의 어느 하나가 손상된 경우 손상되지 않은 다른 디스크의 데이터를 이용하여 기판 처리 장비를 구동시킨다. 또한, 손상된 디스크는 기판 처리 장비를 구동시키는 동안에 정상 디스크로 교체하고, 교체된 디스크에 시스템 데이터 및 공정 데이터를 다시 저장한다.
따라서, 기판 처리 장비의 공정 중지 시간을 최소화할 수 있어 생산 중단에 따른 손실을 최소화할 수 있다. 또한, 다년간 축적한 공정 데이터의 손실을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명이 적용되는 기판 처리 장비의 구성을 설명하기 위한 블록도.
도 2 내지 도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 데이터 보존 장치를 포함하는 공정 제어 장치의 외형을 도시한 사시도.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 데이터 보존 장치를 포함하는 공정 제어 장치의 블록도.
도 6 및 도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 데이터 보존 장치를 포함하는 공정 제어 장치의 구동 흐름도.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예를 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 도면에서 여러 층 및 각 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 표현하였으며 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭하도록 하였다.
도 1은 본 발명이 적용되는 기판 처리 장비의 블록도로서, 반응 공간이 마련되어 소정의 웨이퍼(미도시)를 안착하여 웨이퍼에 소정의 공정이 실시되도록 하는 공정 챔버(10)와, 공정 챔버(10)의 온도 및 압력을 각각 조절하는 온도 조절 장치(20) 및 압력 조절 장치(30)와, 공정 챔버(10)에 공정 가스를 공급하는 가스 공급 장치(40)와, 기판 처리 장비의 공정 조건을 제어하는 공정 제어 장치(50)를 포함할 수 있다.
공정 챔버(10)는 내부에 소정의 반응 공간을 마련하고, 이를 기밀하게 유지시킨다. 이러한 공정 챔버(10) 내부의 하측에는 웨이퍼를 지지하는 웨이퍼 지지대(미도시)가 마련되고, 상측에는 웨이퍼에 공정 가스를 분사하는 가스 분사기(미도시)가 마련될 수 있다. 웨이퍼 지지대는 예를 들어 정전척 등이 마련되어 웨이퍼를 정전력에 의해 흡착 유지할 수 있다. 또한, 웨이퍼 지지대 하부에는 웨이퍼 승강기(미도시)가 마련된다. 웨이퍼 승강기는 웨이퍼 지지대의 적어도 일 영역, 예를 들어 중앙 영역을 지지하도록 마련되고, 웨이퍼 지지대를 상측 또는 하측으로 이동시킨다. 그리고, 웨이퍼 지지대 내부에는 히터(미도시)가 마련될 수 있다. 히터는 소정 온도로 발열하여 웨이퍼를 가열함으로써 식각 공정 등의 공정이 웨이퍼 상에 용이하게 실시되도록 한다. 이러한 히터는 온도 조절 장치(20)와 연결되고, 온도 조절 장치(20)에 의해 발열 온도가 조절된다. 한편, 가스 분사기는 샤워헤드를 포함하며, 웨이퍼 지지대와 대향되는 공정 챔버(10) 내부의 상측에 마련되어 공정 가스를 챔버(10)의 하측, 즉 웨이퍼를 향하여 분사한다. 가스 분사기, 예를 들어 샤워헤드는 내부에 소정의 공간이 마련되며, 상측은 가스 공급 장치(40)와 연결되고, 하측에는 복수의 분사홀이 형성된다. 또한, 공정 챔버(100)의 하면 또는 측면의 소정 영역에는 배기구(미도시)가 형성된다.
압력 조절 장치(30)는 공정 챔버(100)의 배기구와 배기관(미도시)을 통해 연결된다. 압력 조절 장치(30)는 터보 분자 펌프 등의 진공 펌프가 사용될 수 있으며, 이에 따라 공정 챔버(10) 내부를 소정의 감압 분위기, 예를 들어 0.1mTorr 이하의 소정의 압력까지 진공 흡입할 수 있도록 구성된다. 또한, 압력 조절 시간을 줄이기 위해 줄이기 위해 복수의 배기관 및 복수의 압력 조절 장치(30)가 더 설치될 수도 있다.
가스 공급 장치(40)는 복수의 공정 가스를 각각 공정 챔버(10) 내의 가스 분사기에 공급한다. 이러한 공정 가스 공급 장치(40)는 복수의 공정 가스를 각각 저장하는 복수의 가스 저장 탱크(미도시)와, 복수의 가스 저장 탱크와 가스 분사기 사이에 마련된 가스 공급관을 포함할 수 있다. 여기서, 공정 가스는 예를 들어 식각 가스와 박막 증착 가스 등을 포함할 수 있다. 식각 가스는 NH3, NF3 등을 포함할 수 있고, 박막 증착 가스는 SiH4, PH3 등을 포함할 수 있다. 또한, 식각 가스와 박막 증착 가스와 더불어 H2, Ar 등의 불활성 가스가 공급될 수 있다.
공정 제어 장치(50)는 공정 챔버(10), 온도 조절 장치(20), 압력 조절 장치(30) 및 가스 공급 장치(40)와 이격되어 마련되어 이들을 각각 제어하기 위한 공정 데이터, 운용 데이터 등을 저장할 수 있다. 또한, 공정 제어 장치(50)는 예를 들어 소정의 연결 케이블을 통해 공정 챔버(10), 온도 조절 장치(20), 압력 조절 장치(30) 및 가스 공급 장치(40)와 각각 연결되어 이들에게 공정 데이터에 따른 제어 신호를 공급할 수 있다. 즉, 공정 제어 장치(50)는 공정 데이터를 이용하여 웨이퍼의 로딩, 언로딩, 웨이퍼 지지대의 승하강 등의 공정 챔버(10)를 제어할 수 있다. 또한, 공정 제어 장치(50)는 웨이퍼 상에 소정의 공정을 실시하기 위한 각각의 경우에 따른 온도, 압력, 가스 공급량 및 공급 시간의 데이터를 저장하고, 그에 따른 공정이 실시되도록 온도 조절 장치(20), 압력 조절 장치(30) 및 가스 공급 장치(40)를 제어할 수 있다. 예를 들어, 공정 제어 장치(50)는 웨이퍼 상의 소정 물질의 박막을 소정 두께로 식각하기 위한 공정 데이터를 저장하고, 이를 이용하여 해당 공정이 실시되도록 온도 조절 장치(20) 등을 제어한다. 이러한 공정 제어 장치(50)는 공정 데이터에 따라 온도 조절 장치(20), 압력 조절 장치(30) 및 가스 공급 장치(40)를 직접 제어할 수 있고, 이들과 공정 챔버(10) 사이의 연결부를 제어할 수도 있다. 예를 들어, 가스 공급 장치(40)는 가스 공급관의 소정 영역에 공정 가스의 공급을 제어하는 밸브 및 질량 흐름기 등이 마련될 수 있는데, 공정 제어 장치(50)는 밸브 및 질량 흐름기를 제어하여 공정 가스의 공급량 및 공급 시간을 제어할 수 있다. 이러한 공정 제어 장치(50)는 메인 제어 장치와, 공정 제어 장치(50)의 운용 데이터 및 공정 데이터를 보존하기 위한 데이터 보존 장치를 포함할 수 있다. 이러한 공정 제어 장치(50)의 구성 및 그 구동 방법을 도 2 내지 도 5를 이용하여 설명하면 다음과 같다.
도 2 내지 도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 데이터 보존 장치를 포함하는 공정 제어 장치의 구성도이고, 도 5는 공정 제어 장치의 블록도이다. 여기서, 도 2는 본체의 외형도이고, 도 3은 데이터 보존 장치의 외형도이며, 도 4는 본체에 데이터 보존 장치가 삽입된 상태의 외형도이다.
도 2 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 공정 제어 장치(50)는 전원 공급부(1100), 메인 제어부(1200) 등을 포함하며 본체(100) 내부에 마련되는 메인 제어 장치(1000)와, 본체(100)에 착탈 가능하며 그에 따라 메인 제어 장치(1000)와 결합 및 분리 가능한 데이터 보존 장치(2000)를 포함할 수 있다.
본체(100)는 도 2에 도시된 바와 같이 내부에 소정의 공간이 마련되는 대략 육면체 형상으로 마련될 수 있으며, 내부 공간에 메인 제어부(1000)가 마련될 수 있다. 또한, 본체(100)의 외측에는 공정 챔버(10), 온도 조절 장치(20), 압력 조절 장치(30) 및 가스 공급 장치(40) 등의 기판 처리 장비와 소정의 연결 케이블을 통해 연결되는 출력부(105)가 마련될 수 있다. 즉, 출력부(105)는 메인 제어부(1200)에 의해 제어되며 연결 케이블을 통해 기판 처리 장비에 공정 데이터를 공급할 수 있다. 또한, 본체(100)의 소정 영역에는 데이터 보존 장치(2000)가 삽입되는 삽입구(110)가 형성된다. 데이터 보존 장치(2000)는 본체(100) 내부로 소정 깊이로 삽입되어 메인 제어 장치(1000)와 결합되므로 삽입구(110)는 데이터 보존 장치(2000)의 삽입 깊이로 형성될 수 있다. 데이터 보존 장치(2000)가 삽입구(110)를 통해 본체(100)에 삽입되면 본체(100) 내부의 메인 제어 장치(1000)와 연결된다. 또한, 본체(100) 상에는 LCD 등의 디스플레이 장치로 이루어질 수 있는 표시 장치(120)가 마련될 수 있다. 표시 장치(120)는 소정의 연결 케이블을 통해 본체(100)와 연결되며, 본체(100) 상에 마련될 수 있고, 본체(100)와 소정 거리 이격되어 마련될 수도 있다. 표시 장치(120)는 본체(100)의 데이터 처리를 표시할 수 있다. 또한, 표시 장치(120)는 터치 스크린으로 마련되어 표시 장치(120)를 통해 사용자의 명령 또는 데이터의 입력을 처리할 수 있다. 물론, 키보드 등의 입력 장치가 표시 장치(120)와 별도로 마련되고 입력 장치를 이용하여 사용자로부터 명령 또는 데이터를 입력할 수도 있다. 한편, 본체(100)의 외부에는 구동 제어 장치의 구동 상태를 나타내는 적어도 하나의 LED가 마련되어 본체(100)로의 전원 인가 상태 등을 표시할 수 있다.
데이터 보존 장치(2000)는 메인 제어 장치(1000)가 내부에 마련된 본체(100)와 별도로 제작되고, 본체(100)의 삽입구(110)를 통해 삽입되어 메인 제어 장치(1000)와 연결된다. 즉, 데이터 보존 장치(2000)는 본체(100)에 착탈 가능하도록 마련된다. 이러한 데이터 보존 장치(2000)는 도 3에 도시된 바와 같이 소정의 판 형상을 갖는 플레이트(130)와, 플레이트(130)의 일면에 고정된 데이터 보존부(2100) 및 적어도 두개의 디스크를 포함하는 데이터 저장부(2200)를 포함할 수 있다. 플레이트(130)는 소정 두께를 갖는 예를 들어 사각형의 판 형상으로 마련되고, 플레이트(130)의 일면에 플레이트(130)와 수직을 이루도록 볼트 등의 고정 부재를 이용하여 데이터 보존부(2100) 및 데이터 저장부(2200)가 각각 결합될 수 있다. 또한, 데이터 보존부(2100)는 PCB 기판 상에 적어도 하나의 마이크로 프로세서 유닛(Micro Processor Unit; MPU)와 복수의 메모리가 실장되어 이루어질 수 있다. 메모리는 SDRAM, 플래시 메모리(flash memory), EEPROM, 게이트 어레이 등을 포함할 수 있다. 데이터 보존부(2100)와 이격되어 그 상부에는 디스크 삽입부(140)가 마련되고, 디스크 삽입부(140)에 적어도 두개의 디스크를 포함하는 데이터 저장부(2220)가 삽입될 수 있다. 디스크 삽입부(140)에 삽입된 적어도 두개의 디스크는 소정의 연결 케이블을 이용하여 데이터 보존부(2100)와 연결될 수 있다. 한편, 플레이트(130)의 디스크 삽입부(140)의 상측에는 소정의 개구가 형성될 수 있고, 개구를 통해 또다른 디스크(미도시)가 삽입될 수 있다. 즉, 소정의 개구 일측에는 디스크 삽입부(140)와 이격되어 그 상측에 제 2 디스크 삽입부(미도시)가 마련될 수 있고, 제 2 디스크 삽입부에 하나 이상의 디스크가 삽입될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 데이터 보존 장치(2000)는 적어도 두개 이상의 디스크를 포함할 수 있다. 또한, 데이터 보존 장치(2000)는 시스템 데이터 및 구동 데이터의 저장 및 동작 등을 표시하는 적어도 하나의 LED(160)가 마련될 수 있다.
이러한 본 발명에 따른 공정 제어 장치를 이루는 메인 제어 장치(1000)와 데이터 보존 장치(2000)의 구성 및 그 기능을 도 5를 이용하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 5를 참조하면, 메인 제어 장치(1000)는 전원 공급부(1100)와, 메인 제어부(1200)를 포함할 수 있다. 전원 공급부(1100)는 메인 제어 장치(1000) 및 데이터 보존 장치(2000)에 전원을 공급한다. 이러한 전원 공급부(1100)는 스위치의 온(ON)에 의해 예를 들어 교류 전원을 인가받아 이를 메인 제어부(1200) 및 데이터 보존 장치(2000)의 구동에 필요한 직류 전원으로 변환시켜 공급할 수 있다. 메인 제어부(1200)는 기판 처리 장비의 구동에 관련된 모든 데이터를 처리한다. 즉, 메인 제어부(1200)는 공정 데이터 파일의 저장 및 실행, 기판 처리 장비와의 네트워크, 데이터 처리 등의 모든 과정을 처리한다. 이러한 메인 제어부(1200)는 메인 CPU(Main CPU)(1210), 제 1 메모리(1220), 서브 CPU(sub CPU), 제 2 메모리(1240) 및 전원부(1250)를 포함할 수 있다. 메인 CPU(1210)는 메인 제어 장치(1000)의 구동을 위한 운영 체제(Operating System)의 실행, 통신, 파일 관리 등의 기능을 하는 중앙 처리 장치이다. 제 1 메모리(1220)는 읽기 및 쓰기가 가능한 주기억 장치로서, 메인 CPU(1210)를 도와 프로그램 등을 실행하게 된다. 서브 CPU(1230)는 기판 처리 장비의 구동에 필요한 I/O, 시퀀스, 프로그램 등을 메인 CPU(1210)로부터 받아서 처리하는 부 제어 장치이다. 제 2 메모리(1240)는 읽기 및 쓰기가 가능한 기억 장치로서, 서브 CPU(1230)를 도와 프로그램 등을 실행하게 된다. 여기서, 제 1 및 제 2 메모리(1220, 1240)은 각각 읽기 및 쓰기가 가능한 RAM을 이용할 수 있다. 또한, 전원부(1250)는 전원 공급부(1100)로부터 전원을 공급받아 메인 제어부(1200)의 구동을 위해 이용한다.
데이터 보존 장치(2000)는 데이터 보존부(2100)와 데이터 저장부(2200)를 포함할 수 있다. 데이터 보존부(2100)는 시스템 데이터 보존부(2110)와, 공정 데이터 보존부(2120)를 포함할 수 있다. 즉, 시스템 데이터 보존부(2110)는 공정 제어 장치의 구동을 위한 운용 체제(Operating System) 등의 구동 프로그램 및 데이터를 저장할 수 있고, 구동 데이터 보존부(2120)는 기판 처리 장비를 구동하기 위한 데이터, 예를 들어 온도 제어 데이터, 압력 제어 데이터 및 가스 제어 데이터 등을 저장할 수 있다.
시스템 데이터 보존부(2110)는 제 1 제어부(2111)와, 제 1 디스크(2210)의 시스템 데이터를 제 2 디스크(2220)에 저장하도록 하는 제 1 데이터 저장부(2112)와, 제 1 및 제 2 디스크(2210, 2220)에 저장된 시스템 데이터의 오류를 검출하는 제 1 오류 검출부(2113)와, 메인 제어 장치(1000) 및 데이터 저장부(2200)와의 사이에서 데이터를 입출력하는 제 1 입출력부(2114)와, 시스템 데이터 보존부(2110)에 전원을 공급하는 제 1 전원부(2115)를 포함할 수 있다. 제 1 제어부(2111)는 시스템 데이터 보존부(2110)의 동작 전반을 제어한다. 즉, 제 1 제어부(2111)는 제 1 데이터 저장부(2112)를 제어하여 시스템 데이터를 저장하도록 하며, 제 1 오류 검출부(2113)로부터 신호를 전달받아 디스크의 오류 여부를 확인한다. 또한, 제 1 제어부(2111)는 시스템 데이터 보존부(2110)의 동작 상태, 디스크 오류 등의 상태를 제 1 입출력부(2114)를 통해 메인 제어 장치에 전달한다. 제 1 데이터 저장부(2112)는 제 1 제어부(2111)의 제어 신호에 따라 구동되며, 제 1 디스크(2210)의 시스템 데이터를 제 2 디스크(2220)에 저장하도록 한다. 이때, 제 1 데이터 저장부(2112)는 제 1 입출력부(2114)를 이용하여 제 1 디스크(2210)의 시스템 데이터를 제 2 디스크(2220)에 저장하도록 한다. 제 1 오류 검출부(2113)는 제 1 및 제 2 디스크(2210, 2220)의 연결 상태, 데이터 손상 등을 검출한다. 즉, 제 1 및 제 2 디스크(2210, 2220)는 데이터 보존 장치(2000)에 연결되는데, 제 1 및 제 2 디스크(2210, 2220)의 인식 여부를 확인하여 연결 상태를 확인할 수 있다. 또한, 제 1 오류 검출부(2113)는 제 1 및 제 2 디스크(2210, 2220)에 저장된 시스템 데이터를 확인하여 제 1 및 제 2 디스크(2210, 2220)의 오류를 확인할 수 있다. 즉, 제 1 및 제 2 디스크(2210, 2220)에 동일하게 저장된 시스템 데이터들을 비교하여 제 1 디스크(2210) 또는 제 2 디스크(2220)의 적어도 어느 하나의 데이터가 다른 디스크에 없는 경우에 해당 데이터가 손실된 것으로 판단할 수 있다. 이러한 제 1 오류 검출부(2113)로부터 검출된 디스크 손상 정보는 제 1 제어부(2111)에 전달되며, 제 1 제어부(2111)는 이를 메인 제어 장치에 전달한다. 제 1 입출력부(2114)는 인터페이스 관련 직렬 및 병렬 데이터 버스를 관장한다. 즉, 시스템 데이터 보존부(2110)와 메인 제어 장치(1000) 및 시스템 데이터 보존부(2110)와 제 1 및 제 2 디스크(2210, 2220)의 데이터 이동을 담당한다. 제 1 전원부(2115)는 시스템 데이터 보존부(2110)에 전원을 공급한다. 즉, 제 1 전원부(2115)는 전원 공급부(1110)로부터 전원을 공급받아 시스템 데이터 보존부(2110)를 구동시킨다.
구동 데이터 보존부(2120)는 제 2 제어부(2121)와, 제 1 디스크(2210)의 구동 데이터를 제 2 디스크(2220)에 저장하도록 하는 제 2 데이터 저장부(2122)와, 제 1 및 제 2 디스크(2210, 2220)에 저장된 구동 데이터의 오류를 검출하는 제 2 오류 검출부(2123)와, 메인 제어 장치(1000) 및 데이터 저장부(2200)와의 사이에서 구동 데이터를 입출력하는 제 2 입출력부(2124)와, 구동 데이터 보존부(2110)에 전원을 공급하는 제 2 전원부(2125)를 포함할 수 있다. 제 2 제어부(2121)는 구동 데이터 보존부(2120)의 동작 전반을 제어한다. 즉, 제 2 제어부(2121)는 제 2 데이터 저장부(2122)를 제어하여 구동 데이터를 저장하도록 하며, 제 2 오류 검출부(2123)로부터 신호를 전달받아 디스크의 오류 여부를 확인한다. 또한, 제 2 제어부(2121)는 구동 데이터 보존부(2120)의 동작 상태, 디스크 오류 등의 상태를 제 2 입출력부(2124)를 통해 메인 제어 장치(1000)에 전달한다. 제 2 데이터 저장부(2122)는 제 2 제어부(2121)의 제어 신호에 따라 구동되며, 제 1 디스크(2210)의 구동 데이터를 제 2 디스크(2220)에 저장하도록 한다. 이때, 제 2 데이터 저장부(2122)는 제 2 입출력부(2124)를 이용하여 제 1 디스크(2210)의 구동 데이터를 제 2 디스크(2220)에 저장하도록 한다. 제 2 오류 검출부(2123)는 제 1 및 제 2 디스크(2210, 2220)의 구동 데이터의 오류 여부를 검출하여 제 1 및 제 2 디스크(2210, 2220)의 손상 여부를 검출한다. 예를 들어, 제 1 및 제 2 디스크(2210, 2220)에 저장된 구동 데이터를 확인하여 제 1 및 제 2 디스크(2210, 2220)의 오류를 확인할 수 있다. 즉, 제 1 및 제 2 디스크(2210, 2220)에 동일하게 저장된 구동 데이터들을 비교하여 제 1 디스크(2210) 또는 제 2 디스크(2220)의 적어도 어느 하나의 데이터가 다른 디스크에 없는 경우에 해당 데이터가 손실된 것으로 판단할 수 있다. 이러한 제 2 오류 검출부(2123)로부터 검출된 디스크 손상 정보는 제 2 제어부(2121)에 전달되며, 제 2 제어부(2121)는 이를 메인 제어 장치(1000)에 전달한다. 제 2 입출력부(2124)는 구동 데이터 보존부(2110)와 메인 제어 장치(1000) 및 구동 데이터 보존부(2110)와 제 1 및 제 2 디스크(2210, 2220)의 데이터 이동을 담당한다. 제 2 전원부(2125)은 구동 데이터 보존부(2120)에 전원을 공급한다. 즉, 제 2 전원부(2125)는 전원 공급부(1100)로부터 전원을 공급받아 구동 데이터 보존부(2120)를 구동시킨다.
데이터 저장부(2200)는 시스템 데이터와 구동 데이터를 저장하는 제 1 디스크(2210)과, 데이터 보존부(2100)에 의해 제 1 디스크(2210)의 데이터가 복사되어 저장되는 제 2 디스크(2220)를 포함할 수 있다. 또한, 제 3 디스크(미도시)가 더 마련되어 제 1 디스크(2210)의 데이터가 제 2 디스크(2220)와 동시에 저장될 수 있다. 여기서, 제 1 디스크(2210)는 시스템 데이터가 저장되는 제 1 저장 영역(2211)과 구동 데이터가 저장되는 제 2 저장 영역(2212)을 포함할 수 있고, 제 2 디스크(2220)는 제 1 디스크(2210)의 데이터가 그대로 복사되므로 제 1 디스크(2210)와 마찬가지로 시스템 데이터가 저장되는 제 1 저장 영역(2221)과 구동 데이터가 저장되는 제 2 저장 영역(2222)을 포함할 수 있다. 따라서, 시스템 데이터가 제 1 및 제 2 디스크(2210, 2220)의 제 1 저장 영역(2211, 2221)에 각각 저장되고, 구동 데이터가 제 1 및 제 2 디스크(2210, 2220)의 제 2 저장 영역(2212, 2222)에 각각 저장될 수 있다. 물론, 제 1 저장 영역(2211, 2221) 및 제 2 저장 영역(2212, 2222)은 제 1 및 제 2 디스크(2210, 2220) 내에 물리적으로 분리된 영역일 수 있고, 예를 들어 파티션으로 구획된 영역일 수도 있다.
도 6 및 도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 데이터 보존 장치를 포함하는 공정 제어 장치의 제어 방법을 설명하기 위한 흐름도로서, 도 6은 데이터 보존 방법의 흐름도이고, 도 7은 공정 제어 장치의 오류 시의 구동 방법의 흐름도이다.
도 6 및 도 7을 참조하면, 메인 제어 장치와 분리되어 마련된 데이터 보존 장치를 메인 제어 장치에 삽입한다(S110). 즉, 메인 제어 장치가 내부에 마련된 본체에는 소정의 삽입구가 형성되고, 데이터 보존 장치가 삽입구에 삽입된다. 데이터 보존 장치가 본체에 삽입되면 데이터 보존 장치가 메인 제어 장치와 연결되는데, 예를 들어, 데이터 보존부가 전원 공급부 및 메인 제어부 등에 연결될 수 있다.
사용자의 전원 공급, 예를 들어 전원 연결 및 스위치 온에 의해 메인 제어 장치에 전원이 인가된다(S120). 메인 제어 장치에 전원이 인가되면 메인 제어 장치와 연결되어 본체 외부에 마련된 예를 들어 LED가 점등되어 전원 인가 상태가 표시된다. 그러나, LED가 점등되지 않으면 전원이 정상적으로 공급되지 않은 것으로 판단하고 스위치, 플러그, 전원 공급부 등을 점검할 수 있다(S130). 즉, 스위치가 제대로 온되지 않았는지, 플러그가 전원에 제대로 연결되었는지를 점검하게 되고, 이들이 제대로 동작하지만 전원이 공급되지 않으면 전원 공급부에 이상이 발생한 것으로 판단할 수 있다. 따라서, 전원 공급부를 확인하여 수리 또는 교체할 수 있다.
메인 제어 장치의 LED가 점등하여 정상적으로 전원이 인가되면 메인 제어 장치와 데이터 보존 장치의 연결 상태를 확인한다(S140). 즉, 전원이 인가되면 전원 공급부로부터 메인 제어부 및 데이터 보존 장치로 전달되는데, 이는 데이터 보존 장치의 외부에 마련된 예를 들어 LED를 이용하여 확인할 수 있다. 데이터 보존 장치의 LED가 점등되면 데이터 보존 장치가 메인 제어 장치에 제대로 연결되어 전원이 정상적으로 공급되는 것으로 판단할 수 있다. 그러나, 데이터 보존 장치의 LED가 점등되지 않으면 데이터 보존 장치가 메인 제어 장치에 정상적으로 연결되지 않은 것으로 판단할 수 있다. 따라서, 데이터 보존 장치를 메인 제어 장치로부터 분리한 후(S150) 데이터 보존 장치와 메인 제어 장치의 연결부를 확인한 후 데이터 보존 장치를 메인 제어 장치에 삽입 연결할 수 있다. 데이터 보존 장치가 메인 제어 장치와 정상적으로 연결된 경우 전원 공급부를 통해 메인 제어부 및 데이터 보존 장치에 전원이 공급되어 공정 제어 장치가 구동된다. 한편, 본 발명은 메인 제어 장치의 전원 인가 상태를 확인하는 제 1 LED와 데이터 보존 장치의 연결 또는 전원 인가 상태를 확인하는 제 2 LED가 마련될 수 있고, 제 1 LED는 본체의 외부에 마련되고, 제 2 LED는 데이터 보존 장치의 외부에 마련될 수 있다. 물론, 제 1 및 제 2 LED가 모두 본체 또는 데이터 보존 장치의 외부에 마련될 수도 있다. 또한, 제 1 및 제 2 LED는 다른 색깔을 이용함으로써 어느 부분의 오류인지 확인할 수도 있다.
메인 제어 장치 및 데이터 보존 장치에 전원이 인가되면 데이터 보존 장치의 제 1 디스크에 저장된 시스템 데이터를 이용하여 공정 제어 장치가 구동된다(S160). 즉, 메인 제어 장치 및 데이터 보존 장치의 구동을 위한 운영 체제(operating system)가 구동되어 공정 제어 장치가 부팅된다. 운영 체제가 구동되기 위해 예를 들어 메인 제어 장치의 메인 CPU는 서브 CPU를 통해 운영 체제 구동을 명령하고, 서브 CPU는 데이터 보존 장치의 시스템 데이터 보존부의 제 1 제어부를 통해 제 1 디스크에 저장된 시스템 데이터를 불러와 운영 체제를 구동한다. 운영 체제의 구동에 따른 공정 제어 장치의 부팅 상태는 본체 상부에 마련된 LCD 등의 표시 장치에 표시된다. 그런데, 메인 제어 장치 및 데이터 보존 장치에 전원이 정상적으로 공급된 후에도 표시 장치에 부팅 상태가 표시되지 않으면 메인 제어 장치의 메인 CPU 또는 서브 CPU의 오류 또는 고장을 확인하고, 그에 따라 메인 CPU 또는 서브 CPU의 오류를 수정하거나 정상적인 것으로 교체할 수 있다.
시스템 데이터를 이용하여 공정 제어 장치가 구동되는 동안 데이터 보존 장치는 디스크 쓰기 검증을 실시한다(S170). 즉, 데이터 보존 장치에 결합 및 분리를 가능하게 마련되는 제 1 및 제 2 디스크와 데이터 보존 장치의 연결 상태를 확인한다. 이를 위해 예를 들어 시스템 데이터 보존부의 제 1 오류 검출부는 제 1 제어부의 명령에 따라 제 1 및 제 2 디스크의 연결 상태를 확인하고, 그 결과를 제 1 제어부에 전달한다. 물론, 구동 데이터 보존부의 제 2 오류 검출부를 이용하여 연결 상태를 확인할 수 있다. 확인 결과, 제 1 및 제 2 디스크의 적어도 어느 하나가 제대로 연결되지 않았으면 이를 메인 제어 장치를 통해 사용자에게 전달하여 사용자가 제 1 및 제 2 디스크의 연결 상태를 확인하도록 한다(S180).
제 1 및 제 2 디스크가 데이터 보존 장치에 제대로 연결되었으면 제 1 디스크의 데이터를 제 2 디스크에 저장한다(S190). 이때, 제 1 디스크에는 시스템 데이터를 저장하는 제 1 저장 영역과 구동 데이터를 저장하는 제 2 저장 영역이 마련되고, 제 1 및 제 2 저장 영역의 데이터를 제 2 디스크에 동일하게 저장한다. 즉, 제 2 디스크에도 제 1 및 제 2 저장 영역이 마련되고, 제 1 디스크의 제 1 및 제 2 저장 영역의 데이터가 제 2 디스크의 제 1 및 제 2 저장 영역에 각각 저장된다. 시스템 데이터 저장을 위해 시스템 데이터 보존부의 제 1 제어부는 제 1 데이터 저장부에 시스템 데이터 저장 명령을 내리고, 제 1 데이터 저장부는 제 1 입출력부를 통해 제 1 디스크의 시스템 데이터를 제 2 디스크에 저장한다. 또한, 구동 데이터 저장을 위해 구동 데이터 보존부의 제 2 제어부는 제 2 데이터 저장부에 구동 데이터 저장 명령을 내리고, 제 2 데이터 저장부는 제 2 입출력부를 통해 제 1 디스크의 구동 데이터를 제 2 디스크에 저장한다. 이러한 시스템 데이터 저장 및 구동 데이터 저장은 동시에 이루어질 수 있다. 이때, 데이터 보존 장치의 외부에는 예를 들어 LED가 마련되어 제 1 및 제 2 디스크의 데이터 저장을 표시할 수 있다. 예를 들어, 데이터 보존 장치의 외부에는 전원 인가 상태를 표시하는 제 2 LED와는 별도로 시스템 데이터 저장을 표시하는 제 3 LED와 구동 데이터 저장을 표시하는 제 4 LED가 더 마련될 수 있다. 시스템 데이터가 저장되는 동안 제 3 LED가 점등하고, 구동 데이터가 저장되는 동안 제 4 LED가 점등될 수 있다.
그런데, 제 1 디스크의 데이터를 제 2 디스크에 저장하는 과정에서 오류가 발생되면 알람 장치를 이용하여 이를 사용자에게 알린다(S200). 즉, 제 1 및 제 2 데이터 저장부를 이용하여 시스템 및 구동 데이터를 저장할 때 제 2 디스크에 데이터가 저장되지 않을 수 있다. 저장 오류가 발생되면 제 1 또는 제 2 저장부는 제 1 또는 제 2 제어부를 통해 메인 제어 장치에 전달하고, 메인 제어 장치는 알람 장치를 이용하여 사용자에게 알리게 된다. 사용자는 오류 발생의 원인을 검출하고, 제 2 디스크에 이상이 없고 예를 들어 순간적으로 잘못된 신호가 발생된 경우 단순 오류로 판단하여 데이터 저장을 계속 진행한다. 그러나, 에러 발생 원인이 제 2 디스크의 저장 공간 부족, 배드 섹터 등에 의한 인식 불능 등일 경우 저장 과정을 중단하고 제 2 디스크를 교체한 후(S210) 제 1 디스크의 데이터를 제 2 디스크에 다시 저장한다. 한편, 알람 장치는 본체 상에 마련된 표시등을 이용할 수 있고, LCD 등의 표시 장치에 표시할 수도 있다.
이렇게 구동 제어 장치가 부팅되는 동안 제 1 디스크의 데이터가 제 2 디스크에 저장된다. 그러나, 제 1 디스크의 데이터는 부팅이 완료된 후 기판 처리 장비를 구동하는 동안에도 제 2 디스크에 저장될 수 있다. 즉, 데이터 저장 시간이 부팅 시간보다 길 경우 부팅이 완료된 후에도 데이터가 저장되고, 데이터를 이용하여 기판 처리 장비를 구동하는 동안에도 데이터가 저장될 수 있다. 또한, 제 1 디스크의 데이터가 제 2 디스크에 저장된 후 제 1 디스크의 데이터와 제 2 디스크의 데이터를 비교한 후 새로운 데이터를 저장할 수도 있다. 즉, 사용자에 의해 새로운 데이터가 제 1 디스크에 저장될 수 있는데, 사용자에 의해 새로운 데이터가 저장된 후 또는 소정 시간 간격으로 제 1 디스크의 데이터와 제 2 디스크의 데이터를 비교한 후 새로운 데이터를 제 2 디스크에 저장한다(S220).
제 1 디스크 또는 제 2 디스크의 구동 데이터를 이용하여 기판 처리 장비를 구동시킨다(S230). 즉, 제 1 또는 제 2 디스크의 구동 데이터를 제 2 데이터 입출력부를 통해 불러와 메인 제어 장치에 전달하고, 메인 제어 장치는 서브 CPU를 이용하여 기판 처리 장비에 구동 데이터를 전달한다.
이렇게 반도체 장치를 구동시키는 동안에 정전, 긴급 정지, 자연 재해, 엔지니어 실수 등의 다양한 사고에 의해 구동 제어 장치의 구동이 정지될 수 있다(S240). 사용자는 구동 제어 장치의 구동이 정지된 후 구동 정지 원인에 따라 적절하게 조치한 후 구동 제어 장치에 전원을 다시 인가하여 구동 제어 장치를 재부팅시킨다(S250). 예를 들어, 정전의 경우 전원 인가 상태를 확인할 수 있고, 긴급 정지의 경우 공정 가스의 누출 등 긴급 정지의 원인을 확인할 수 있다.
구동 제어 장치가 재부팅되는 동안에 데이터 보존부의 제 1 및 제 2 오류 검출부는 제 1 및 제 2 디스크의 오류를 검출한다(S260). 예를 들어, 제 1 오류 검출부는 제 1 및 제 2 디스크의 시스템 데이터를 비교하고, 제 2 오류 검출부는 제 1 및 제 2 디스크의 구동 데이터를 비교하여 제 1 및 제 2 디스크의 데이터가 일치하지 않을 경우 디스크의 오류로 판단한다. 즉, 제 2 디스크의 일 데이터가 제 1 디스크에는 없는 경우 또는 제 1 디스크의 데이터를 읽을 수 없는 경우 제 1 디스크의 오류로 판단한다. 이러한 오류 검출부의 확인 결과 어느 하나의 디스크에 오류가 발생된 경우, 예를 들어 제 1 디스크가 손상된 경우 제 2 디스크를 이용하여 구동 제어 장치 및 기판 처리 장비를 구동시킨다(S280). 즉, 제 1 및 제 2 디스크의 데이터를 비교하고, 어느 하나의 디스크에 손상이 발생된 경우 손상되지 않은 다른 디스크의 데이터를 이용하여 구동 제어 장치 및 기판 처리 장비를 구동시킨다.
그런데, 제 1 디스크 및 제 2 디스크가 모두 오류가 발생된 경우, 예를 들어 제 1 디스크의 적어도 어느 하나의 데이터가 제 2 디스크에 없는 경우 및 제 2 디스크의 적어도 어느 하나의 데이터가 제 1 디스크에 없는 경우 제 1 및 제 2 디스크가 모두 손상된 것으로 판단한다(S270). 따라서, 구동 제어 장치의 전원을 차단하고 제 1 및 제 2 디스크를 모두 새로운 디스크로 교체한다(S280).
어느 하나의 디스크만 손상된 경우 손상되지 않은 디스크, 예를 들어 제 2 디스크의 데이터를 이용하여 구동 제어 장치 및 기판 처리 장비를 구동시키고(S290), 그 동안에 손상된 디스크, 예를 들어 제 1 디스크를 분리한 후 그 자리에 새로운 디스크를 삽입한다(S300).
새로운 디스크, 예를 들어 제 3 디스크가 삽입되면 데이터 보존 장치는 제 3 디스크의 연결 상태를 확인한 후 데이터 보존부의 데이터 저장부를 이용하여 제 2 디스크의 데이터를 제 3 디스크에 저장한다. 즉, 손상되지 않은 디스크의 시스템 데이터 및 구동 데이터를 교체된 새로운 디스크에 저장한다(S310).
본 발명의 기술적 사상은 상기 실시 예에 따라 구체적으로 기술되었으나, 상기 실시 예는 그 설명을 위한 것이며, 그 제한을 위한 것이 아님을 주지해야 한다. 또한, 본 발명의 기술분야에서 당업자는 본 발명의 기술 사상의 범위 내에서 다양한 실시 예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.
10 : 공정 챔버 20 : 온도 조절 장치
30 : 압력 조절 장치 40 : 가스 공급 장치
50 : 공정 제어 장치 1000 : 메인 제어 장치
2000 : 데이터 보존 장치 2100 : 데이터 보존부
2110 : 시스템 데이터 보존부 2120 : 구동 데이터 보존부
2200 : 데이터 저장부

Claims (16)

  1. 메인 제어 장치; 및
    적어도 두개의 디스크를 포함하여 상기 메인 제어 장치와 결합 및 분리 가능하고, 상기 적어도 두개의 디스크에 저장된 데이터를 동일하게 보존하는 데이터 보존 장치를 포함하고,
    상기 데이터 보존 장치는 데이터 보존부를 포함하며,
    상기 데이터 보존부는 상기 메인 제어 장치 및 상기 데이터 보존 장치의 시스템 데이터를 저장하고 오류를 검출하는 제 1 데이터 보존부와, 기판 처리 장비의 구동 데이터를 저장하고 오류를 검출하는 제 2 데이터 보존부를 포함하는 기판 처리 장비의 제어 장치.
  2. 청구항 1에 있어서, 상기 메인 제어 장치가 내부에 마련되고 소정 영역에 삽입구가 마련된 본체를 더 포함하고, 상기 삽입구를 통해 상기 데이터 보존 장치가 삽입되는 기판 처리 장비의 제어 장치.
  3. 청구항 2에 있어서, 상기 데이터 보존 장치는 플레이트;
    상기 플레이트의 일면에 고정된 상기 데이터 보존부; 및
    상기 플레이트의 일면에 고정되어 상기 데이터 보존부와 연결되고 상기 적어도 두 개의 디스크를 포함하는 데이터 저장부가 삽입되는 디스크 삽입부를 포함하는 기판 처리 장비의 제어 장치.
  4. 청구항 3에 있어서, 상기 데이터 저장부는 상기 메인 제어 장치 및 상기 데이터 보존 장치의 시스템 데이터 및 상기 기판 처리 장비의 구동 데이터를 저장하는 제 1 디스크와, 상기 제 1 디스크의 상기 데이터들이 저장되는 제 2 디스크를 포함하는 기판 처리 장비의 제어 장치.
  5. 청구항 4에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 디스크는 상기 시스템 데이터가 저장되는 제 1 저장 영역과, 상기 구동 데이터가 저장되는 제 2 저장 영역이 각각 마련된 기판 처리 장비의 제어 장치.
  6. 삭제
  7. 청구항 5에 있어서, 상기 제 1 데이터 보존부는 상기 제 1 디스크의 상기 시스템 데이터를 상기 제 2 디스크에 저장하도록 하는 제 1 데이터 저장부와,
    상기 제 1 및 제 2 디스크에 저장된 상기 시스템 데이터의 오류를 검출하는 제 1 오류 검출부와,
    상기 제 1 데이터 저장부 및 제 1 오류 검출부를 제어하는 제 1 제어부를 포함하는 기판 처리 장비의 제어 장치.
  8. 청구항 7에 있어서, 상기 제 1 오류 검출부는 제 1 및 제 2 디스크에 저장된 시스템 데이터들을 비교하여 제 1 및 제 2 디스크의 손상 여부를 검출하는 기판 처리 장비의 제어 장치.
  9. 청구항 5에 있어서, 상기 제 2 데이터 보존부는 상기 제 1 디스크의 구동 데이터를 상기 제 2 디스크에 저장하도록 하는 제 2 데이터 저장부와,
    상기 제 1 및 제 2 디스크에 저장된 상기 구동 데이터의 오류를 검출하는 제 2 오류 검출부와,
    상기 제 2 데이터 저장부, 제 2 오류 검출부를 제어하는 제 2 제어부를 포함하는 기판 처리 장비의 제어 장치.
  10. 청구항 9에 있어서, 상기 제 2 오류 검출부는 제 1 및 제 2 디스크에 저장된 구동 데이터들을 비교하여 제 1 및 제 2 디스크의 손상 여부를 검출하는 기판 처리 장비의 제어 장치.
  11. 시스템 데이터 및 구동 데이터가 저장된 제 1 디스크와 데이터 저장 준비 상태를 갖춘 제 2 디스크를 포함하는 데이터 보존 장치를 마련하는 단계;
    상기 데이터 보존 장치를 메인 제어 장치에 연결하는 단계;
    상기 제 1 디스크의 상기 시스템 데이터 및 구동 데이터를 이용하여 기판 처리 장비를 구동시키는 단계;
    상기 제 1 디스크의 상기 시스템 데이터 및 구동 데이터를 상기 제 2 디스크에 저장하는 단계;
    상기 제 1 및 제 2 디스크의 손상을 검출하는 단계;
    손상되지 않은 디스크의 상기 데이터들을 이용하여 기판 처리 장비를 구동시키는 단계; 및
    손상된 디스크를 정상 디스크로 교체한 후 손상되지 않은 디스크의 상기 데이터를 교체된 디스크에 저장하는 단계를 포함하는 기판 처리 장비 제어 장치의 구동 방법.
  12. 삭제
  13. 청구항 11에 있어서, 상기 시스템 데이터를 이용하여 상기 메인 제어 장치 및 데이터 보존 장치를 구동시키고, 상기 구동 데이터를 이용하여 상기 기판 처리 장비를 구동시키는 기판 처리 장비 제어 장치의 구동 방법.
  14. 청구항 13에 있어서, 상기 제 1 디스크의 상기 시스템 데이터 및 구동 데이터는 상기 시스템 데이터에 의해 상기 메인 제어 장치 및 데이터 보존 장치가 구동되는 동안에 상기 제 2 디스크에 저장되는 기판 처리 장비 제어 장치의 구동 방법.
  15. 청구항 11 또는 청구항 14에 있어서, 상기 기판 처리 장비가 구동되는 동안에 새로운 데이터를 상기 제 1 디스크에 저장하고, 이를 다시 상기 제 2 디스크에 저장하는 단계를 더 포함하는 기판 처리 장비 제어 장치의 구동 방법.
  16. 청구항 15에 있어서, 상기 디스크의 손상은 상기 제 1 디스크의 데이터들과 상기 제 2 디스크의 데이터들을 비교하여 검출하는 기판 처리 장비 제어 장치의 구동 방법.

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