JP7311253B2 - 半導体製造装置のためのユーザ相互作用を自動化するシステムおよび方法 - Google Patents
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Description
本願は、2017年9月11日出願の米国仮出願第62/556,733号の利益を主張する。上記の出願の開示全体が、参照によって本明細書に組み込まれる。
本発明は、たとえば、以下のような態様で実現することもできる。
適用例1:
システムであって、
基板を処理するよう構成された複数の処理モジュールを備えた基板処理ツールの状態を受信するためのインターフェースと、
前記状態を、前記状態に基づいて前記インターフェースから前記基板処理ツールによって以前に受信された入力と相関させ、前記相関に基づいて前記基板処理ツールを制御するための出力を生成するためのコントローラと、
を備える、システム。
適用例2:
適用例1のシステムであって、前記コントローラは、前記基板処理ツールの複数の状態と前記複数の状態に基づいて前記基板処理ツールによって受信された対応する入力とをデータベースに格納し、前記データベースを用いて前記相関を実行するよう構成されている、システム。
適用例3:
適用例2のシステムであって、前記コントローラは、前記基板処理ツールおよびさらなる基板処理ツールの1または複数に関連する履歴データに基づいて前記データベースを更新し、前記更新したデータベースを用いて前記相関を実行するよう構成されている、システム。
適用例4:
適用例2のシステムであって、前記コントローラは、さらなる基板処理ツールに関連するデータであって、前記さらなる基板処理ツールの状態と、前記状態に基づいて前記さらなる基板処理ツールによって受信された対応する入力と、を含むデータを、前記データベースに格納し、前記データを用いて前記相関を実行するよう構成されている、システム。
適用例5:
適用例1のシステムであって、前記基板処理ツールの前記状態は、前記基板処理ツールに関連するエラーを示すデータを含み、前記入力は、前記エラーへの対応を示すデータを含む、システム。
適用例6:
適用例1のシステムであって、前記基板処理ツールの前記状態は、前記基板処理ツールに関連する差し迫ったエラーを示すデータを含み、前記入力は、前記エラーを防止するための対応を示すデータを含む、システム。
適用例7:
適用例1のシステムであって、前記コントローラは、前記基板処理ツールのオペレータの存在を検出し、前記出力に基づいて前記オペレータによって受信された対応に従って前記基板処理ツールを制御するよう構成されている、システム。
適用例8:
適用例1のシステムであって、前記コントローラは、前記基板処理ツールのオペレータの不在を検出し、前記出力に基づいて前記オペレータの不在時に前記基板処理ツールを制御するよう構成されている、システム。
適用例9:
適用例1のシステムであって、前記コントローラは、前記基板処理ツールのオペレータの不在を検出し、前記出力に関して前記オペレータに通知するよう構成されている、システム。
適用例10:
適用例1のシステムであって、前記コントローラは、前記基板の処理の完了を確実にし、前記基板への損傷を防止し、前記処理モジュールのアイドリングを防止するために、前記出力に基づいて前記基板処理ツールを制御するよう構成されている、システム。
適用例11:
適用例1のシステムであって、前記コントローラは、前記処理モジュールによる前記基板の処理のスケジューリングを最適化するために、前記出力に基づいて前記基板処理ツールを制御するよう構成されている、システム。
適用例12:
方法であって、
基板を処理するよう構成された複数の処理モジュールを備えた基板処理ツールの状態を受信する工程と、
前記状態を、前記状態に基づいて前記基板処理ツールによって以前に受信された入力と相関させる工程と、
前記相関に基づいて前記基板処理ツールを制御するための出力を生成する工程と、
を備える、方法。
適用例13:
適用例12の方法であって、さらに、
前記基板処理ツールの複数の状態と、前記複数の状態に基づいて前記基板処理ツールによって受信された対応する入力とを、データベースに格納する工程と、
前記データベースを用いて前記相関を実行する工程と、
を備える、方法。
適用例14:
適用例13の方法であって、さらに、
前記基板処理ツールおよびさらなる基板処理ツールの1または複数に関連する履歴データに基づいて前記データベースを更新する工程と、
前記更新したデータベースを用いて前記相関を実行する工程と、
を備える、方法。
適用例15:
適用例13の方法であって、さらに、
さらなる基板処理ツールに関連するデータであって、前記さらなる基板処理ツールの状態と、前記状態に基づいて前記さらなる基板処理ツールによって受信された対応する入力と、を含むデータを、前記データベースに格納する工程と、
前記データを用いて前記相関を実行する工程と、
を備える、方法。
適用例16:
適用例12の方法であって、前記基板処理ツールの前記状態は、前記基板処理ツールに関連するエラーを示すデータを含み、前記入力は、前記エラーへの対応を示すデータを含む、方法。
適用例17:
適用例12の方法であって、前記基板処理ツールの前記状態は、前記基板処理ツールに関連する差し迫ったエラーを示すデータを含み、前記入力は、前記エラーを防止するための対応を示すデータを含む、方法。
適用例18:
適用例12の方法であって、さらに、
前記基板処理ツールのオペレータの存在を検出する工程と、
前記出力に基づいて前記オペレータによって受信された対応に従って前記基板処理ツールを制御する工程と、を備える、方法。
適用例19:
適用例12の方法であって、さらに、
前記基板処理ツールのオペレータの不在を検出する工程と、
前記出力に基づいて前記オペレータの不在時に前記基板処理ツールを制御する工程と、
を備える、方法。
適用例20:
適用例12の方法であって、さらに、
前記基板処理ツールのオペレータの不在を検出する工程と、
前記出力に関して前記オペレータに通知する工程と、
を備える、方法。
適用例21:
適用例12の方法であって、さらに、前記基板の処理の完了を確実にし、前記基板への損傷を防止し、前記処理モジュールのアイドリングを防止するために、前記出力に基づいて前記基板処理ツールを制御する工程を備える、方法。
適用例22:
適用例12の方法であって、さらに、前記処理モジュールによる前記基板の処理のスケジューリングを最適化するために、前記出力に基づいて前記基板処理ツールを制御する工程を備える、方法。
適用例23:
システムであって、
プロセッサと、
有形のマシン読み取り可能な媒体に格納されたマシン読み取り可能な命令であって、前記プロセッサによって実行された時に、
基板を処理するよう構成された複数の処理モジュールを備えた基板処理ツールの状態を受信し、
前記状態を、前記状態に基づいて前記基板処理ツールによって以前に受信された入力と相関させ、
前記相関に基づいて前記基板処理ツールを制御するための出力を生成するように、前記プロセッサを構成する、マシン読み取り可能な命令と、
を備える、システム。
適用例24:
適用例23のシステムであって、前記マシン読み取り可能な命令は、
前記基板処理ツールの複数の状態と、前記複数の状態に基づいて前記基板処理ツールによって受信された対応する入力と、をデータベースに格納し、
前記データベースを用いて前記相関を実行するように、前記プロセッサを構成する、システム。
適用例25:
適用例24のシステムであって、前記マシン読み取り可能な命令は、
前記基板処理ツールおよびさらなる基板処理ツールの1または複数に関連する履歴データに基づいて、前記データベースを更新し、
前記更新したデータベースを用いて前記相関を実行するように、前記プロセッサを構成する、システム。
適用例26:
適用例24のシステムであって、前記マシン読み取り可能な命令は、
さらなる基板処理ツールに関連するデータであって、前記さらなる基板処理ツールの状態と前記状態に基づいて前記さらなる基板処理ツールによって受信された対応する入力とを含むデータを、前記データベースに格納し、
前記データを用いて前記相関を実行するように、前記プロセッサを構成する、システム。
適用例27:
適用例23のシステムであって、前記基板処理ツールの前記状態は、前記基板処理ツールに関連するエラーを示すデータを含み、前記入力は、前記エラーへの対応を示すデータを含む、システム。
適用例28:
適用例23のシステムであって、前記基板処理ツールの前記状態は、前記基板処理ツールに関連する差し迫ったエラーを示すデータを含み、前記入力は、前記エラーを防止するための対応を示すデータを含む、システム。
適用例29:
適用例23のシステムであって、前記マシン読み取り可能な命令は、
前記基板処理ツールのオペレータの存在を検出し、
前記出力に基づいて前記オペレータによって受信された対応に従って前記基板処理ツールを制御するように、前記プロセッサを構成する、システム。
適用例30:
適用例23のシステムであって、前記マシン読み取り可能な命令は、
前記基板処理ツールのオペレータの不在を検出し、
前記出力に基づいて前記オペレータの不在時に前記基板処理ツールを制御するように、前記プロセッサを構成する、システム。
適用例31:
適用例23のシステムであって、前記マシン読み取り可能な命令は、
前記基板処理ツールのオペレータの不在を検出し、
前記出力に関して前記オペレータに通知するように、前記プロセッサを構成する、システム。
適用例32:
適用例23のシステムであって、前記マシン読み取り可能な命令は、前記基板の処理の完了を確実にし、前記基板への損傷を防止し、前記処理モジュールのアイドリングを防止するために、前記出力に基づいて前記基板処理ツールを制御するように、前記プロセッサを構成する、システム。
適用例33:
適用例23のシステムであって、前記マシン読み取り可能な命令は、前記処理モジュールによる前記基板の処理のスケジューリングを最適化するために、前記出力に基づいて前記基板処理ツールを制御するように、前記プロセッサを構成する、システム。
Claims (34)
- 半導体製造装置のためのユーザ相互作用を自動化するシステムであって、
基板を処理するよう構成された複数の処理モジュールを備えた基板処理ツールの状態を受信するためのインターフェースであって、前記基板処理ツールの前記状態は、前記基板処理ツールの前記処理モジュールから、および前記基板処理ツールに関連付けられた複数のセンサから、受け取ったデータに基づいて、決定される、インターフェースと、
前記インターフェースに接続されたコントローラであって、
前記インターフェースによって受け取られた前記基板処理ツールの前記状態と、前記状態の以前の発生に応じて前記基板処理ツールを制御するために、前記インターフェースから前記基板処理ツールによって以前に受信された入力と、の相関を生成し、前記相関は、前記状態の以前の発生に応じて前記基板処理ツールによって以前に受け取られた、あらかじめ定められた回数の入力に、少なくとも部分的に基づいており、
前記インターフェースによって受け取られた前記基板処理ツールの前記状態と、前記状態の以前の発生に応じて前記インターフェースから前記基板処理ツールによって以前に受信された入力と、の前記相関に基づいて、以前に受信された前記入力と類似の応答を含む出力であって、前記基板処理ツールを制御するための出力を、生成する、コントローラと、
を備える、システム。 - 請求項1に記載のシステムであって、前記コントローラは、前記基板処理ツールの複数の状態と前記複数の状態に基づいて前記基板処理ツールによって受信された対応する入力とをデータベースに格納し、前記データベースを用いて前記相関を実行するよう構成されている、システム。
- 請求項2に記載のシステムであって、前記コントローラは、前記基板処理ツールおよびさらなる基板処理ツールの1または複数に関連する履歴データに基づいて前記データベースを更新し、前記更新したデータベースを用いて前記相関を実行するよう構成されている、システム。
- 請求項2に記載のシステムであって、前記コントローラは、さらなる基板処理ツールに関連するデータであって、前記さらなる基板処理ツールの状態と、前記状態に基づいて前記さらなる基板処理ツールによって受信された対応する入力と、を含むデータを、前記データベースに格納し、前記データを用いて前記相関を実行するよう構成されている、システム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記基板処理ツールの前記状態は、前記基板処理ツールに関連するエラーを示すデータを含み、前記入力は、前記エラーへの対応を示すデータを含む、システム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記基板処理ツールの前記状態は、前記基板処理ツールに関連する差し迫ったエラーを示すデータを含み、前記入力は、前記差し迫ったエラーを防止するための対応を示すデータを含む、システム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記コントローラは、前記基板処理ツールのオペレータの存在を検出し、前記出力に基づいて前記オペレータによって受信された対応に従って前記基板処理ツールを制御するよう構成されている、システム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記コントローラは、前記基板処理ツールのオペレータの不在を検出し、前記出力に基づいて前記オペレータの不在時に前記基板処理ツールを制御するよう構成されている、システム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記コントローラは、前記基板処理ツールのオペレータの不在を検出し、前記出力に関して前記オペレータに通知するよう構成されている、システム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記コントローラは、前記基板の処理の完了を確実にし、前記基板への損傷を防止し、前記処理モジュールのアイドリングを防止するために、前記出力に基づいて前記基板処理ツールを制御するよう構成されている、システム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記コントローラは、前記処理モジュールによる前記基板の処理のスケジューリングを最適化するために、前記出力に基づいて前記基板処理ツールを制御するよう構成されている、システム。
- 半導体製造装置のためのユーザ相互作用を自動化する方法であって、
基板処理ツールの複数の処理モジュールから、および前記基板処理ツールに関連付けられた複数のセンサから、データを受け取る工程と、
前記処理モジュールおよび前記センサから受け取った前記データに基づいて、前記基板処理ツールの状態を決定する工程と、
前記基板処理ツールの前記状態と、前記状態の以前の発生に応じて前記基板処理ツールを制御するために前記基板処理ツールによって以前に受信された入力と、の相関を生成する工程であって、前記相関は、前記状態の以前の発生に応じて前記基板処理ツールによって以前に受け取られた、あらかじめ定められた回数の入力に、少なくとも部分的に基づいている工程と、
前記基板処理ツールの前記状態と、前記状態の以前の発生に応じて前記基板処理ツールによって以前に受信された入力と、の前記相関に基づいて、以前に受信された前記入力と類似の応答を含む出力であって、前記基板処理ツールを制御するための出力を、生成する工程と、
を備える、方法。 - 請求項12に記載の方法であって、さらに、
前記基板処理ツールの複数の状態と、前記複数の状態に基づいて前記基板処理ツールによって受信された対応する入力とを、データベースに格納する工程と、
前記データベースを用いて前記相関を実行する工程と、
を備える、方法。 - 請求項13に記載の方法であって、さらに、
前記基板処理ツールおよびさらなる基板処理ツールの1または複数に関連する履歴データに基づいて前記データベースを更新する工程と、
前記更新したデータベースを用いて前記相関を実行する工程と、
を備える、方法。 - 請求項13に記載の方法であって、さらに、
さらなる基板処理ツールに関連するデータであって、前記さらなる基板処理ツールの状態と、前記状態に基づいて前記さらなる基板処理ツールによって受信された対応する入力と、を含むデータを、前記データベースに格納する工程と、
前記データを用いて前記相関を実行する工程と、
を備える、方法。 - 請求項12に記載の方法であって、前記基板処理ツールの前記状態は、前記基板処理ツールに関連するエラーを示すデータを含み、前記入力は、前記エラーへの対応を示すデータを含む、方法。
- 請求項12に記載の方法であって、前記基板処理ツールの前記状態は、前記基板処理ツールに関連する差し迫ったエラーを示すデータを含み、前記入力は、前記差し迫ったエラーを防止するための対応を示すデータを含む、方法。
- 請求項12に記載の方法であって、さらに、
前記基板処理ツールのオペレータの存在を検出する工程と、
前記出力に基づいて前記オペレータによって受信された対応に従って前記基板処理ツールを制御する工程と、を備える、方法。 - 請求項12に記載の方法であって、さらに、
前記基板処理ツールのオペレータの不在を検出する工程と、
前記出力に基づいて前記オペレータの不在時に前記基板処理ツールを制御する工程と、
を備える、方法。 - 請求項12に記載の方法であって、さらに、
前記基板処理ツールのオペレータの不在を検出する工程と、
前記出力に関して前記オペレータに通知する工程と、
を備える、方法。 - 請求項12に記載の方法であって、さらに、基板の処理の完了を確実にし、前記基板への損傷を防止し、前記処理モジュールのアイドリングを防止するために、前記出力に基づいて前記基板処理ツールを制御する工程を備える、方法。
- 請求項12に記載の方法であって、さらに、前記処理モジュールによる基板の処理のスケジューリングを最適化するために、前記出力に基づいて前記基板処理ツールを制御する工程を備える、方法。
- 半導体製造装置のためのユーザ相互作用を自動化するシステムであって、
プロセッサと、
有形のマシン読み取り可能な媒体に格納されたマシン読み取り可能な命令であって、前記プロセッサによって実行された時に、
基板処理ツールの複数の処理モジュールから、および前記基板処理ツールに関連付けられた複数のセンサから、データを受け取り、
前記処理モジュールおよび前記センサから受け取った前記データに基づいて、前記基板処理ツールの状態を決定し、
前記基板処理ツールの前記状態と、前記状態の以前の発生に応じて前記基板処理ツールを制御するために前記基板処理ツールによって以前に受信された入力と、の相関を生成し、前記相関は、前記状態の以前の発生に応じて前記基板処理ツールによって以前に受け取られた、あらかじめ定められた回数の入力に、少なくとも部分的に基づいており、
前記基板処理ツールの前記状態と、前記状態の以前の発生に応じて前記基板処理ツールによって以前に受信された入力と、の前記相関に基づいて、以前に受信された前記入力と類似の応答を含む出力であって、前記基板処理ツールを制御するための出力を、生成するように、前記プロセッサを構成する、マシン読み取り可能な命令と、
を備える、システム。 - 請求項23に記載のシステムであって、前記マシン読み取り可能な命令は、
前記基板処理ツールの複数の状態と、前記複数の状態に基づいて前記基板処理ツールによって受信された対応する入力と、をデータベースに格納し、
前記データベースを用いて前記相関を実行するように、前記プロセッサを構成する、システム。 - 請求項24に記載のシステムであって、前記マシン読み取り可能な命令は、
前記基板処理ツールおよびさらなる基板処理ツールの1または複数に関連する履歴データに基づいて、前記データベースを更新し、
前記更新したデータベースを用いて前記相関を実行するように、前記プロセッサを構成する、システム。 - 請求項24に記載のシステムであって、前記マシン読み取り可能な命令は、
さらなる基板処理ツールに関連するデータであって、前記さらなる基板処理ツールの状態と前記状態に基づいて前記さらなる基板処理ツールによって受信された対応する入力とを含むデータを、前記データベースに格納し、
前記データを用いて前記相関を実行するように、前記プロセッサを構成する、システム。 - 請求項23に記載のシステムであって、前記基板処理ツールの前記状態は、前記基板処理ツールに関連するエラーを示すデータを含み、前記入力は、前記エラーへの対応を示すデータを含む、システム。
- 請求項23に記載のシステムであって、前記基板処理ツールの前記状態は、前記基板処理ツールに関連する差し迫ったエラーを示すデータを含み、前記入力は、前記差し迫ったエラーを防止するための対応を示すデータを含む、システム。
- 請求項23に記載のシステムであって、前記マシン読み取り可能な命令は、
前記基板処理ツールのオペレータの存在を検出し、
前記出力に基づいて前記オペレータによって受信された対応に従って前記基板処理ツールを制御するように、前記プロセッサを構成する、システム。 - 請求項23に記載のシステムであって、前記マシン読み取り可能な命令は、
前記基板処理ツールのオペレータの不在を検出し、
前記出力に基づいて前記オペレータの不在時に前記基板処理ツールを制御するように、前記プロセッサを構成する、システム。 - 請求項23に記載のシステムであって、前記マシン読み取り可能な命令は、
前記基板処理ツールのオペレータの不在を検出し、
前記出力に関して前記オペレータに通知するように、前記プロセッサを構成する、システム。 - 請求項23に記載のシステムであって、前記マシン読み取り可能な命令は、基板の処理の完了を確実にし、前記基板への損傷を防止し、前記処理モジュールのアイドリングを防止するために、前記出力に基づいて前記基板処理ツールを制御するように、前記プロセッサを構成する、システム。
- 請求項23に記載のシステムであって、前記マシン読み取り可能な命令は、前記処理モジュールによる基板の処理のスケジューリングを最適化するために、前記出力に基づいて前記基板処理ツールを制御するように、前記プロセッサを構成する、システム。
- 請求項1に記載のシステムであって、
前記相関は、データベースに格納されている、状態と入力の関係性に基づいて、生成され、前記関係性は、シミュレーション環境において、複数の基板処理ツールからのデータと、他の状態と入力とをシミュレーションすることにより生成されたデータと、を再生されることにより取得される、システム。
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