KR101456899B1 - Wet Electrostatic Precipitator - Google Patents

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황유성
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(주)에코솔루텍
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Abstract

The present invention relates to a wet electrostatic precipitator comprising: multiple dust collecting electrodes which are formed in a plate form and are horizontally installed at particular intervals by means of a spacer; and multiple discharge electrodes which are disposed between the dust collecting electrodes so as to generate an electric field by means of high voltage applied through top and bottom hanger bars equipped at the top and bottom of the dust collecting electrodes so that the dust collecting electrodes can collect dust. On the left and right surfaces of each of the dust collecting electrodes, a film plate having an adhesive member which can be adhered thereon is further comprised so that dust collected in the dust collecting electrodes can be conveniently removed simultaneously with desorption. In the present invention, even though the dust collecting electrodes are not replaced, contaminants can be conveniently removed, and the lifespan of the dust collecting electrodes can be extended. Accordingly, maintenance and replacing costs can be reduced, and collected dust can be actively removed.

Description

습식 전기집진기{Wet Electrostatic Precipitator}[0001] Wet Electrostatic Precipitator [

본 발명은 습식 전기집진기에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 집진극의 표면에 필름판을 탈부착 가능하게 설치함으로써, 집진극을 교체하지 않고 간편하게 오염물을 제거함에 따라 집진극의 수명을 연장할 수 있고, 이로 인해 유지보수 및 교체비용을 절감할 수 있는 습식 전기집진기에 관한 것이다.The present invention relates to a wet electrostatic precipitator, and more particularly, to a wet electrostatic precipitator capable of detachably attaching a film plate to a surface of a dust collecting pole to easily remove the pollutant without replacing the dust collecting pole, Thereby reducing maintenance and replacement costs. ≪ Desc / Clms Page number 2 >

일반적으로 반도체 및 첨단 디스플레이 생산공정 중 하나인 박막공정 및 건식식각공정으로부터 배출되는 입자상의 물질(이하, 먼지라고 칭함)을 제거하기 위해 습식 전기집진기가 사용된다.In general, a wet electrostatic precipitator is used to remove particulate matter (hereinafter referred to as dust) discharged from a thin film process and a dry etching process, which is one of semiconductor and advanced display production processes.

상기한 공정에 의해 배출되는 먼지는 주로 서브마이크론의 산화규소(SiO2) 성분으로 이루어져 있다.The dust discharged by the above process is mainly composed of a sub-micron silicon oxide (SiO 2 ) component.

따라서, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 습식 전기집진기는 건식 전기집진기와 마찬가지로 다수의 방전극과 이 방전극 사이에 일정간격으로 이격 설치된 다수의 집진극으로 이루어지면, 건식이 추타 방법으로 전극에 부착된 먼지를 떨어내는 것과는 달리 간헐적으로, 고전압을 끈 상태에서 세척노즐을 통해 물을 분사하여 청소하는 것이 일반적이다.Therefore, as shown in FIG. 1, if the wet electrostatic precipitator is composed of a plurality of discharge electrodes and a plurality of dust collecting electrodes spaced apart from each other at a predetermined interval, as in the dry electrostatic precipitator, Unlike removing dust, it is common to clean the nozzle by intermittently spraying water through a cleaning nozzle while the high voltage is turned off.

최근에는 습식 전기집진기에 있어서, 선 출원된 특허등록번호 10-1153008호(습식 전기집진기)에 의하면 연속 수막을 이용하는 방법으로 집진극의 오염을 최소화 할 수는 있지만 결국에는 일정 시간 뒤에 집진극의 오염을 피할 수는 없으며, 결국 집진극을 교체해야 하므로 이에 따를 교체비용은 물론 인건비 등 유지보수비용이 증가되는 문제가 있다.In recent years, according to the wet electrostatic precipitator, although the contamination of the dust collecting electrode can be minimized by using the continuous water film according to the patent application No. 10-1153008 (wet electrostatic precipitator), the contamination of the dust collecting electrode Therefore, there is a problem that the maintenance cost such as labor cost increases as well as the replacement cost due to the replacement of the dust collecting pole.

또한, 먼지의 점착 및 경화현상으로 인한 집진극 표면의 오염에 따른 전기전도도가 떨어지는 것은 물론 과도한 스파크(Spark)를 유발하여 집진효율의 저하 및 화제사고 등의 원인이 된다.Further, not only the electric conductivity due to the contamination of the surface of the dust collecting electrode due to the adhesion and hardening phenomenon of the dust is lowered but also causes an excessive spark, which causes a decrease in the dust collecting efficiency and a topical accident.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 본 발명은 집진극의 좌,우면에 필름판을 탈부착 가능하게 설치함으로써, 집진극을 교체하지 않고 간편하게 오염물을 제거함에 따라 집진극의 수명을 연장할 수 있고, 이로 인해 유지보수 및 교체비용을 절감할 수 있는 습식 전기집진기를 제공하는데 목적이 있다.In order to solve the above-mentioned problems, according to the present invention, a film plate is detachably attached to left and right sides of a dust collecting pole, so that the life of the dust collecting pole can be extended by removing contaminants easily without replacing the dust collecting pole, Thereby reducing the maintenance and replacement cost of the wet electrostatic precipitator.

또한, 상기한 필름판의 일면을 표면처리함에 따라 원활하게 수막이 형성될 수 있게 함으로써, 포집되는 먼지가 원활하게 제거될 수 있는 습식 전기집진기를 제공하는데 다른 목적이 있다.Another object of the present invention is to provide a wet electrostatic precipitator capable of smoothly forming a water film by surface-treating one side of the above-mentioned film plate so that collected dust can be smoothly removed.

상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 판 형상으로 형성됨과 아울러 스페이서에 의해 수평방향을 따라 간격을 두고 이격 설치되는 다수의 집진극과; 상기 집진극의 상,하부에 각각 구비된 상,하부행거바를 통해 인가되는 고전압에 의해 전기장을 발생하여 상기 집진극이 먼지를 포집할 수 있도록 상기 집진극의 각 사이에 구비되는 다수의 방전극으로 이루어진 습식 전기집진기에 있어서,According to an aspect of the present invention, there is provided a dust collecting apparatus comprising: a plurality of dust collecting electrodes formed in a plate shape and spaced apart from each other by a spacer in a horizontal direction; And a plurality of discharge electrodes provided between angles of the dust collecting electrodes to generate an electric field by a high voltage applied through the upper and lower hanger bars provided on the upper and lower sides of the dust collecting electrode, In a wet electrostatic precipitator,

상기 집진극의 좌,우면에는 탈착과 동시에 집진극으로 포집된 먼지를 간편하게 제거할 수 있도록 상기 집진극에 부착할 수 있는 접착부재를 갖는 필름판이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 습식 전기집진기를 제공한다.Wherein the left and right surfaces of the dust collecting electrode are further provided with a film plate having an adhesive member which can be attached to the dust collecting electrode so as to easily remove the dust collected by the dust collecting electrode upon desorption .

여기서, 상기 필름판의 일면에는 원활하게 수막이 형성될 수 있도록 샌드블라스팅, 플라즈마, 나노입자코팅 중 어느 한가지 방법을 통해 표면처리된 것을 특징으로 한다.Here, the film is surface-treated through one of sandblasting, plasma and nano-particle coating so that a water film can be smoothly formed on one surface of the film.

상기와 같이 구성된 본 발명을 제공함으로써, 집진극을 교체하지 않고 간편하게 오염물을 제거함에 따라 집진극의 수명을 연장할 수 있고, 이로 인해 유지보수 및 교체비용을 절감할 수 있는 것은 물론 포집되는 먼지가 원활하게 제거될 수 있는 장점이 있다.According to the present invention configured as described above, since the pollutants are easily removed without replacing the dust collecting pole, it is possible to extend the service life of the dust collecting pole, thereby reducing maintenance and replacement costs, There is an advantage that it can be smoothly removed.

도 1은 일반적인 습식 전기집진기의 구성도.
도 2는 본 발명에 따른 습식 전기집진기의 구성도.
도 3은 본 발명에 따른 습식 전기집진기에서 필름판의 설치상태 단면구성도.
도 4는 본 발명에 따른 습식 전기집진기에서 접착부재의 예시도.1 is a schematic view of a general wet electrostatic precipitator;
2 is a configuration diagram of a wet electrostatic precipitator according to the present invention;
3 is a cross-sectional view of a state in which a film plate is installed in a wet electrostatic precipitator according to the present invention.
4 is an illustration of an adhesion member in a wet electrostatic precipitator according to the present invention.

이하 본 발명에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 구체적인 실시예를 통해 구성 및 작용을 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명은 도 2에 도시된 바와 같이, 판 형상으로 형성됨과 아울러 스페이서(160)에 의해 수평방향을 따라 간격을 두고 이격 설치되는 다수의 집진극(130)과; 상기 집진극(130)의 상,하부에 각각 구비된 상,하부행거바(110,120)를 통해 인가되는 고전압에 의해 전기장을 발생하여 상기 집진극(130)이 먼지를 포집할 수 있도록 상기 집진극(130)의 각 사이에 구비되는 다수의 방전극(150)으로 이루어진 습식 전기집진기(100)를 구성한다.As shown in FIG. 2, the present invention includes a plurality of dust collecting poles 130 formed in a plate shape and spaced apart from each other by a spacer 160 in the horizontal direction. An electric field is generated by the high voltage applied through the upper and lower hanger bars 110 and 120 provided on the upper and lower sides of the dust collecting pole 130 so that the dust collecting pole 130 can collect the dust, 130 and a plurality of discharge electrodes 150 provided between the electrodes of the discharge electrode 130.

이때, 상기 집진극(130)의 좌,우면(130a,130b)에는 탈착과 동시에 집진극(130)으로 포집된 먼지를 간편하게 제거할 수 있도록 상기 집진극(130)에 부착할 수 있는 접착부재(141)를 갖는 필름판(140)이 더 구비된다.At this time, the left and right surfaces 130a and 130b of the dust collecting pole 130 are attached to the dust collecting pole 130 with an adhesive member (not shown) attached to the dust collecting pole 130 to easily remove the dust collected by the dust collecting pole 130 141) is further provided.

도 3에 의하면, 상기 접착부재(141)는 상기 필름판(140)의 테두리를 따라 모서리 측 내부에 구비되는 다수의 영구자석(141a)으로 이루어지는 것은 물론 접착시트로 이루어질 수 있다.Referring to FIG. 3, the adhesive member 141 may include a plurality of permanent magnets 141a provided inside the edge of the film plate 140 along the edge of the film plate 140, as well as an adhesive sheet.

또한, 상기 집진극(130)의 좌,우면(130a,130b)에 부착되는 필름판(140)은 작업자가 용이하게 파지하여 탈부착할 수 있도록 4 ~ 10mm의 두께로 형성되는 것이 바람직하다.The film plate 140 attached to the left and right surfaces 130a and 130b of the dust collecting pole 130 is preferably formed to have a thickness of 4 to 10 mm so that the operator can easily grasp and detach the same.

도 4에 의하면, 상기 필름판(140)의 내부에 영구자석(141a)을 삽입할 수 있도록 상기 필름판(140)의 일면에 수용홈(145)을 형성하고, 이 수용홈(145)에 영구자석(141a)을 매립한 후 상기 수용홈(145)에 대응하는 커버(146)를 덮어 밀봉하는 것이 바람직하다.4, a receiving groove 145 is formed on one surface of the film plate 140 so that the permanent magnet 141a can be inserted into the film plate 140, It is preferable that the magnet 141a is buried and then the cover 146 corresponding to the receiving groove 145 is covered and sealed.

이때, 상기 필름판(140)에 매립되는 영구자석(141a)은 100 ~ 300mm 간격으로 다수개가 배열 설치되며, 상기 집진극(130)의 반대편에 설치되는 필름판(140)의 영구자석(141a)과 반대 극성으로 이루어져 접착력이 상승된다.A plurality of permanent magnets 141a embedded in the film plate 140 are arranged at intervals of 100 to 300 mm and the permanent magnets 141a of the film plate 140 installed on the opposite side of the dust collecting poles 130, And the adhesive strength is increased.

한편, 상기 필름판(140)의 표면(142)에는 원활하게 수막(143)이 형성될 수 있도록 샌드블라스팅, 플라즈마, 나노입자코팅 중 어느 한가지 방법을 통해 표면처리된다.On the other hand, the surface 142 of the film plate 140 is surface-treated through one of sandblasting, plasma and nano-particle coating so that the water film 143 can be smoothly formed.

이와 같이, 상기 필름판(140)의 재질은 주로 PVC가 적당하며, 집진극(130)의 표면(142)에는 샌드블라스팅을 통해 표면의 조도를 조절해줌으로써 향후 연속 수막형성에 유리하다.
As described above, the material of the film plate 140 is mainly PVC, and the surface 142 of the dust collecting electrode 130 is sandblasted to control the surface roughness, which is advantageous for forming a continuous water film in the future.

상기와 같이 구성된 본 발명을 제공함으로써, 집진극을 교체하지 않고 간편하게 오염물을 제거함에 따라 집진극의 수명을 연장할 수 있고, 이로 인해 유지보수 및 교체비용을 절감할 수 있는 것은 물론 포집되는 먼지가 원활하게 제거될 수 있는 장점이 있다.
According to the present invention configured as described above, since the pollutants are easily removed without replacing the dust collecting pole, it is possible to extend the service life of the dust collecting pole, thereby reducing maintenance and replacement costs, There is an advantage that it can be smoothly removed.

이상에 설명한 본 명세서 및 청구범위에 사용되는 용어 및 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 본 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.The terms and words used in the present specification and claims should not be construed to be limited to ordinary or dictionary terms. It should be interpreted as meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention.

따라서, 본 명세서에 기재된 도면 및 실시예에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것이 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.Therefore, the configurations shown in the drawings and the embodiments described herein are merely the most preferred embodiments of the present invention, and are not intended to represent all of the technical ideas of the present invention. Therefore, It should be understood that various equivalents and modifications may be present.

100: 습식 전기집진기 110: 상부행거바
120: 하부행거바 130: 집진극
130a: 전면 130b: 후면
140: 필름판 141: 접착부재
141a: 영구자석 143: 수막
150: 방전극 160: 스페이서100: wet electrostatic precipitator 110: upper hanger bar
120: lower hanger bar 130: dust collecting pole
130a: front surface 130b: rear surface
140: Film plate 141: Adhesive member
141a: permanent magnet 143: water film
150: discharge electrode 160: spacer

Claims (3)

판 형상으로 형성됨과 아울러 스페이서(160)에 의해 수평방향을 따라 간격을 두고 이격 설치되는 다수의 집진극(130)과; 상기 집진극(130)의 상,하부에 각각 구비된 상,하부행거바(110,120)를 통해 인가되는 고전압에 의해 전기장을 발생하여 상기 집진극(130)이 먼지를 포집할 수 있도록 상기 집진극(130)의 각 사이에 구비되는 다수의 방전극(150)으로 이루어진 습식 전기집진기(100)에 있어서,
상기 집진극(130)의 좌,우면(130a,130b)에는 탈착과 동시에 집진극(130)으로 포집된 먼지를 간편하게 제거할 수 있도록 상기 집진극(130)에 부착할 수 있는 접착부재(141)를 갖는 필름판(140)이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 습식 전기집진기.A plurality of dust collecting poles (130) formed in a plate shape and spaced apart from each other by a spacer (160) along the horizontal direction; An electric field is generated by the high voltage applied through the upper and lower hanger bars 110 and 120 provided on the upper and lower sides of the dust collecting pole 130 so that the dust collecting pole 130 can collect the dust, And a plurality of discharge electrodes (150) provided between angles of the discharge electrodes (130) and the discharge electrodes (130), the wet electrostatic precipitator (100)
The left and right surfaces 130a and 130b of the dust collecting pole 130 are provided with an adhesive member 141 that can be attached to the dust collecting pole 130 to easily remove the dust collected by the dust collecting pole 130, And a film plate (140) having a plurality of holes (140). 제1항에 있어서,
상기 필름판(140)의 표면(142)에는 원활하게 수막(143)이 형성될 수 있도록 샌드블라스팅, 플라즈마, 나노입자코팅 중 어느 한가지 방법을 통해 표면처리된 것을 특징으로 하는 습식 전기집진기.The method according to claim 1,
Wherein the surface of the film plate (140) is surface-treated through any one of sand blasting, plasma and nano-particle coating so that a water film (143) can be smoothly formed on the surface (142) of the film plate (140). 제1항에 있어서,
상기 접착부재(141)는 상기 필름판(140)의 테두리를 따라 모서리 측 내부에 구비되는 다수의 영구자석(141a)으로 구성된 것을 특징으로 하는 습식 전기집진기.The method according to claim 1,
Wherein the adhesive member (141) comprises a plurality of permanent magnets (141a) provided inside the edge side along the rim of the film plate (140).
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