KR101443256B1

KR101443256B1 - Sliding door type sealed chamber apparatus

Info

Publication number: KR101443256B1
Application number: KR1020140044774A
Authority: KR
Inventors: 강성덕
Original assignee: 강성덕
Priority date: 2014-04-15
Filing date: 2014-04-15
Publication date: 2014-09-22
Anticipated expiration: 2034-04-15
Also published as: WO2015160090A1

Abstract

컴팩트하게 개폐되어 공간활용을 극대화하고, 보다 효과적으로 안정적인 밀폐구조를 형성하는 슬라이딩 도어형 밀폐 챔버장치가 제공된다. 챔버장치는, 전면부에 개구부가 형성된 하우징, 하우징 내부에 수용되며 개구부와 연통된 챔버, 개구부를 사이에 두고 전면부를 따라 서로 나란히 배치된 한 쌍의 가이드레일, 가이드레일을 따라 슬라이딩 이동하여 개구부를 개폐하는 도어부, 및 도어부의 슬라이딩 이동경로에 도어부와 인접하게 배치되며, 전후방으로 슬라이딩 이동하는 지지패널을 포함한다.There is provided a sliding door type hermetic chamber device which is compactly opened and closed to maximize space utilization and form a more effective and stable hermetic structure. The chamber device includes a housing having an opening formed in a front portion thereof, a chamber communicated with the opening portion and housed in the housing, a pair of guide rails arranged side by side along the front portion with the opening portion interposed therebetween, And a support panel which is disposed adjacent to the door portion in a sliding movement path of the door portion and slidably moves forward and backward.

Description

[0001] Sliding door type sealed chamber apparatus [0002]

본 발명은 밀폐 챔버장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 컴팩트하게 개폐되어 공간활용을 극대화하고, 보다 효과적으로 안정적인 밀폐구조를 형성하는 슬라이딩 도어형 밀폐 챔버장치에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a hermetically closed chamber device, and more particularly, to a sliding door hermetically closed chamber device that is compactly opened and closed to maximize space utilization and form a more effective and stable hermetic structure.

반도체소자 등을 제조하거나 각종 전자기기 제품의 테스트를 실시하는 데 밀폐된 챔버장치가 사용된다. 챔버장치는 내부와 외부를 분리하여 밀폐하고 내부에 극한의 물리적 환경을 조성하도록 형성되며, 목적에 따라서 내부 온도, 건조도 등의 물리적 조건이 서로 다르게 형성될 수 있다. 이러한 챔버장치를 이용하여 제조 공정을 진행하거나, 완성된 제품을 특정 환경에서 테스트 할 수 있다.Sealed chambers are used for manufacturing semiconductor devices and the like or for testing various electronic apparatus products. The chamber device is formed so as to separate the inside and the outside from each other and to seal the inside of the chamber device and to create an extreme physical environment therein. Depending on the purpose, physical conditions such as the internal temperature and the drying degree may be formed differently. Such a chamber device can be used to carry out the manufacturing process, or the finished product can be tested in a specific environment.

챔버장치는 챔버를 개폐하고 기밀을 유지하기 위한 도어구조를 필요로 한다. 챔버장치는 일반적으로 챔버와 챔버에 연결된 각종 장치들이 하우징 내부에 수용된 형태로 형성되는 경우가 많아 이를 보다 원활히 개폐하기 위해 대개 스윙타입의 도어구조가 채용되었다. 또한 스윙타입의 도어는 압력을 가하여 보다 원활히 밀폐구조를 형성할 수 있어 각종 챔버장치에 보다 유용하게 적용되는 장점이 있다. 대한민국 공개특허 제10-2013-0142364호 등에 이러한 챔버의 도어구조가 개시되어 있다.The chamber device requires a door structure for opening and closing the chamber and maintaining the airtightness. In many cases, the chamber device is generally formed in a form in which the chamber and various devices connected to the chamber are accommodated in the housing, and a swing-type door structure is generally employed to more smoothly open and close the chamber. Further, the swing type door can be more advantageously applied to various chamber devices because it can form a closed structure more smoothly by applying pressure. Korean Patent Publication No. 10-2013-0142364 discloses a door structure of such a chamber.

그러나, 이러한 도어구조가 적용된 종래의 챔버장치는 도어가 챔버 또는 하우징의 외측으로 회전하여 열리므로 불필요하게 공간 활용이 저해되는 단점이 있었다. 특히, 각종의 제조장비 또는 테스트 장비가 다수 설치된 작업실이나 테스트 룸은 효율적인 공간 활용이 필수적인 바, 이러한 요구가 충족되지 못하여 장치 설치를 위한 공간의 선정 등이 매우 까다로운 문제가 있었다. 또한, 이를 해결하기 위해 일반적인 슬라이딩 형식의 도어를 적용하려는 경우 스윙타입 도어와 달리 구조상 기밀을 유지하기가 쉽지 않아 이러한 문제가 원만히 해결되기 어려웠다.
However, the conventional chamber device having such a door structure is disadvantageous in that space utilization is undesirably deteriorated because the door rotates to the outside of the chamber or the housing and is opened. Particularly, in a work room or a test room in which various manufacturing equipments or test equipments are installed, it is necessary to utilize efficient space. Since such requirements are not satisfied, there is a problem that it is very difficult to select a space for installing the apparatus. In order to solve this problem, unlike the swing type door, it is difficult to maintain the airtightness of the sliding door.

대한민국 공개특허 제10-2013-0142364호,(2013.12.30), 도면 1Korean Patent Publication No. 10-2013-0142364, (2013.12.30), Drawing 1

본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위한 것으로 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 컴팩트하게 개폐되어 공간활용을 극대화하고, 보다 효과적으로 안정적인 밀폐구조를 형성하는 슬라이딩 도어형 밀폐 챔버장치를 제공하려는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention has been made to solve the above-mentioned problems occurring in the prior art, and it is an object of the present invention to provide a sliding door type hermetic chamber device which is compactly opened and closed to maximize space utilization and form a more stable and stable sealing structure.

본 발명의 기술적 과제는 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제는 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
The technical problem of the present invention is not limited to the above-mentioned problems, and another technical problem which is not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

본 발명에 의한 슬라이딩 도어형 밀폐 챔버장치는, 전면부에 개구부가 형성된 하우징; 상기 하우징 내부에 수용되며 상기 개구부와 연통된 챔버; 상기 개구부를 사이에 두고 상기 전면부를 따라 서로 나란히 배치된 한 쌍의 가이드레일; 상기 가이드 레일을 따라 슬라이딩 이동하여 상기 개구부를 개폐하는 도어부; 및 상기 도어부의 슬라이딩 이동경로에 상기 도어부와 인접하게 배치되며, 전후방으로 슬라이딩 이동하는 지지패널을 포함한다.The sliding door-type closed chamber device according to the present invention comprises: a housing having an opening formed in a front portion thereof; A chamber received in the housing and communicating with the opening; A pair of guide rails disposed side by side along the front portion with the opening portion interposed therebetween; A door part that slides along the guide rail and opens and closes the opening part; And a support panel disposed adjacent to the door portion in a sliding movement path of the door portion and slidably moving forward and backward.

상기 챔버장치는, 상기 한 쌍의 가이드레일은 전후방으로 이동 가능하게 상기 하우징에 결합되며, 상기 하우징에 설치되어 상기 한 쌍의 가이드레일을 전후방으로 이동시키는 적어도 하나의 제1 구동부를 더 포함할 수 있다.The chamber device may further include at least one first driving unit coupled to the housing so as to be movable forward and rearward and configured to move the pair of guide rails forward and backward, have.

상기 지지패널은 상기 도어부의 하부에 배치되며 전방으로 이동하여 상기 도어부를 지지하거나, 후방으로 이동하여 상기 도어부의 슬라이딩 이동경로에서 벗어날 수 있다.The support panel is disposed at a lower portion of the door portion and moves forward to support the door portion, or to move backward to escape the sliding movement path of the door portion.

상기 챔버장치는 상기 하우징에 설치되어 상기 지지패널을 전후방으로 이동시키는 적어도 하나의 제2 구동부를 더 포함할 수 있다.The chamber device may further include at least one second driving unit installed in the housing and moving the supporting panel forward and backward.

상기 챔버장치는 일단부가 상기 도어부에 결합되는 적어도 하나의 가요성 와이어, 및 상기 가요성 와이어의 타단부가 결합되어 상기 가요성 와이어를 견인하는 견인장치를 더 포함할 수 있다.The chamber device may further include at least one flexible wire having one end coupled to the door portion and a traction device coupled to the other end of the flexible wire to pull the flexible wire.

상기 견인장치는, 상기 하우징에 회전 가능하게 결합되며 외주면에 나사산이 형성된 스크류바, 상기 스크류바를 회전시키는 모터, 및 상기 가요성 와이어의 타단부가 결합되고 상기 스크류바와 치합되는 스크류너트부를 포함할 수 있다.The pulling device may include a screw bar rotatably coupled to the housing and having threads on an outer circumferential surface thereof, a motor for rotating the screw bar, and a screw nut portion coupled to the other end of the flexible wire, have.

상기 챔버장치는 상기 스크류바와 평행하게 상기 하우징에 설치되는 적어도 하나의 가이드바를 더 포함하며, 상기 스크류너트부가 상기 가이드바에 슬라이딩 가능하게 결합되어 상기 가이드바를 따라 이동할 수 있다.The chamber device may further include at least one guide bar installed in the housing in parallel with the screw bar, and the screw nut may be slidably coupled to the guide bar to move along the guide bar.

상기 견인장치는 상기 챔버의 상부에 위치하여 상기 도어부를 견인하며, 상기 도어부는 자중에 의해 하부로 이동되어 상기 개구부를 개방하고 상기 견인장치가 상기 가요성 와이어를 견인하면 상기 개구부를 폐쇄할 수 있다.The pulling device is located at an upper portion of the chamber to pull the door portion and the door portion is moved downward by its own weight to open the opening portion and close the opening portion when the pulling device pulls the flexible wire .

상기 챔버장치는 상기 하우징에 결합되고 상기 가요성 와이어에 접한 채 함께 회전하여 상기 가요성 와이어의 이동방향을 전환하는 회전휠을 더 포함할 수 있다.The chamber device may further include a rotating wheel coupled to the housing and rotated together with the flexible wire to switch the direction of movement of the flexible wire.

상기 챔버장치는 상기 챔버의 하부에 설치되며, 상기 챔버 내부의 온도을 조절하는 온도조절부와 상기 챔버 내부의 습도를 조절하는 습도조절부 중 적어도 하나를 더 포함할 수 있다.The chamber device may further include at least one of a temperature controller for adjusting a temperature inside the chamber and a humidity controller for adjusting humidity inside the chamber.

상기 챔버장치는 상기 지지패널을 관통하여 형성되며 상기 하우징 내부와 외부 사이의 공기 순환통로가 되는 그릴부를 더 포함할 수 있다.
The chamber device may further include a grill portion formed through the support panel and serving as an air circulation passage between the inside and the outside of the housing.

본 발명의 챔버장치는 컴팩트하고 유기적으로 작동되는 슬라이딩 도어구조로 장치 주변의 공간활용을 극대화할 수 있을 뿐만 아니라, 보다 효과적이고 안정적인 밀폐구조를 형성할 수 있다. 따라서 설치장소에 구애되지 않고 다양한 장소에 장치를 적용하는 것이 가능하며, 챔버를 이용한 제조공정이나 테스트 작업 등의 다양한 작업을 더욱 안전하게 진행하는 것이 가능하다.
The chamber device of the present invention can maximize space utilization around the apparatus by a compact and organically operated sliding door structure and can form a more effective and stable sealing structure. Therefore, it is possible to apply the apparatus to various places without depending on the installation place, and it is possible to carry out various operations such as the manufacturing process and the test work using the chamber more safely.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 슬라이딩 도어형 밀폐 챔버장치의 사시도이다.
도 2는 도 1의 챔버장치의 도어부가 개방된 상태의 사시도이다.
도 3은 도 1의 챔버장치의 내부구조를 도시한 종단면도이다.
도 4는 도 1의 챔버장치의 상부구조 및 도어부와 가이드레일의 배치상태를 도시한 A-A' 단면도이다.
도 5는 도 4의 챔버장치의 도어부와 가이드레일이 이동한 상태를 도시한 단면도이다.
도 6은 도 1의 챔버장치의 지지패널의 배치상태를 도시한 B-B' 단면도이다.
도 7은 도 6의 지지패널이 이동한 상태를 도시한 단면도이다.
도 8 내지 도 10은 도 1의 챔버장치의 작동과정을 도시한 작동도이다.1 is a perspective view of a sliding door type hermetic chamber device according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a perspective view of the chamber device of Fig. 1 with the door part open. Fig.
3 is a longitudinal sectional view showing the internal structure of the chamber device of FIG.
4 is a cross-sectional view taken along the line AA 'of FIG. 1 showing the upper structure of the chamber device and the arrangement of the door part and the guide rail.
Fig. 5 is a sectional view showing the door unit and the guide rail of the chamber apparatus of Fig. 4 moved. Fig.
6 is a cross-sectional view taken along the line BB 'of FIG. 1 showing the arrangement of the support panel of the chamber device.
7 is a cross-sectional view showing a state in which the support panel of Fig. 6 is moved.
8 to 10 are operation diagrams showing the operation of the chamber device of FIG.

본 발명의 이점 및 특징 그리고 그것들을 달성하기 위한 방법들은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 본 실시예들은 단지 본 발명의 개시가 완전하도록 하고 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 단지 청구항에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조부호는 동일 구성요소를 지칭한다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The advantages and features of the present invention and methods for achieving them will become apparent with reference to the embodiments described in detail below with reference to the accompanying drawings. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as being limited to the embodiments set forth herein. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be thorough and complete, and will fully convey the concept of the invention to those skilled in the art. Is provided to fully convey the scope of the invention to those skilled in the art, and the present invention is only defined by the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout the specification.

이하, 도 1 내지 도 10을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 의한 슬라이딩 도어형 밀폐 챔버장치에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, a sliding door type closed chamber device according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 10. FIG.

도 1은 본 발명의 일 실시예에의한 슬라이딩 도어형 밀폐 챔버장치의 사시도이고, 도 2는 도 1의 챔버장치의 도어부가 개방된 상태의 사시도이며, 도 3은 도 1의 챔버장치의 내부구조를 도시한 종단면도이다.FIG. 1 is a perspective view of a sliding door type closed chamber apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a perspective view of the chamber apparatus of FIG. 1 with its door open, Fig.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 의한 슬라이딩 도어형 밀폐 챔버장치(1)는 전면부에 개구부(101)가 형성된 하우징(100), 하우징(100) 내부에 수용되며 개구부(101)와 연통된 챔버(110), 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 개구부(101)를 사이에 두고 하우징(100)의 전면부를 따라 서로 나란히 배치된 한 쌍의 가이드레일(210), 가이드레일(210)을 따라 슬라이딩 이동하여 개구부(101)를 개폐하는 도어부(200), 및 도어부(200)의 슬라이딩 이동경로에 도어부(200)와 인접하게 배치되며 전후방으로 슬라이딩 이동하는 지지패널(300)을 포함한다. 1 to 3, a sliding door type closed chamber device 1 according to an embodiment of the present invention includes a housing 100 having an opening 101 formed in a front portion thereof, a housing 100 housed in the housing 100, A pair of guide rails 210 arranged side by side along the front portion of the housing 100 with the opening 101 interposed therebetween as shown in Figs. 1 and 2, A door part 200 slidably moving along the guide rail 210 to open and close the opening part 101 and a door part 200 disposed adjacent to the door part 200 in the sliding movement path of the door part 200, Panel 300 as shown in FIG.

이 때, 하우징(100)의 전면부는, 도어부(200)가 형성되어 개폐가 가능한 하우징(100)의 일 면으로 도 2에 도시된 바와 같이 챔버(110)와 연통된 개구부(101)가 있어 도어부(200)가 개방되면 사용자가 개구부(101)를 통해 챔버(110)에 접근 가능한 면을 말한다. 또한 전방은 이러한 하우징(100)의 전면부를 향하는 방향이고 후방은 전방의 반대방향으로, 전방과 후방을 연결하는 일직선상의 방향을 전후방으로 포괄하여 지칭할 수 있다. 예를 들어, 하우징(100)의 전면부는 도 3에서 볼 때 도어부(200)와 지지패널(300)이 위치하는 좌측부분의 수직면 전체가 될 수 있고 전후방은 이러한 전면부를 향하거나 그 반대방향으로 향하도록 형성된 전면부와 수직한 도 3의 수평방향이 될 수 있다.At this time, the front surface of the housing 100 has an opening 101 communicating with the chamber 110, as shown in FIG. 2, on one side of the housing 100 in which the door part 200 is formed and can be opened and closed Refers to a surface through which the user can access the chamber 110 through the opening 101 when the door unit 200 is opened. Further, the forward direction may be referred to as a direction toward the front portion of the housing 100, and the rear direction may include the forward direction and the backward direction in a direction opposite to the forward direction and connecting the forward direction and the rear direction. For example, the front portion of the housing 100 may be the entire vertical surface of the left portion where the door portion 200 and the support panel 300 are positioned as viewed in FIG. 3, and the front and rear portions may be directed to the front portion, 3 < / RTI >

본 발명의 일 실시예에 의한 슬라이딩 도어형 밀폐 챔버장치(1)는 도어부(200)가 하우징(100)의 전면부를 따라 연장된 가이드레일(210) 위에서 슬라이딩 이동하고, 지지패널(300)은 도어부(200)의 슬라이딩 이동경로 상에서 전면부를 향하거나 또는 그 반대방향을 향해서(즉, 전후방으로) 슬라이딩 이동한다. 이와 같이 유기적인 도어 구조로 도어부(200)가 매우 컴팩트하게 작동하고, 지지패널(300)과 함께 보다 안정적인 밀폐구조를 형성할 수 있다.The sliding door type closed chamber device 1 according to an embodiment of the present invention is configured such that the door portion 200 is slid on the guide rail 210 extending along the front portion of the housing 100, (I.e., forward and backward) toward or away from the front portion on the sliding movement path of the door portion 200. [ With the organic door structure as described above, the door portion 200 operates very compactly, and a more stable sealing structure can be formed together with the support panel 300.

또한, 본 발명의 일 실시예에 의한 슬라이딩 도어형 밀폐 챔버장치(1)는 상기 한 쌍의 가이드레일(210) 역시 전후방으로 이동 가능하게 하우징(100)에 결합될 수 있다. 따라서, 가이드레일(210)이 도어부(200)와 함께 하우징(100)의 전면부를 압박하여 컴팩트하게 작동하면서도 보다 효과적인 밀폐구조를 형성할 수 있다. 이하, 이러한 특징을 갖는 슬라이딩 도어형 밀폐 챔버장치(1)의 각 구성부와 특징들에 대해 도면을 참조하여 보다 상세히 설명한다.In addition, the sliding door type hermetic chamber device 1 according to an embodiment of the present invention can be coupled to the housing 100 such that the pair of guide rails 210 can also be moved forward and backward. Therefore, the guide rail 210 pushes the front portion of the housing 100 together with the door portion 200 to operate compactly, thereby forming a more effective sealing structure. Hereinafter, the components and features of the sliding door-type hermetic chamber device 1 having such features will be described in detail with reference to the drawings.

하우징(100)은 내부에 수용공간(102)이 형성된 것으로 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 전체적으로 박스 형상으로 형성되어 그 중의 일 면이 전술한 바와 같은 전면부로 활용될 수 있다. 하우징(100)의 하부에는 적어도 하나의 바퀴부(600)가 형성되어 슬라이딩 도어형 밀폐 챔버장치(1)가 용이하게 이동하도록 구성될 수 있으며, 하우징(100)의 전면부 일 측, 도어부(200)의 일 측에는 장치를 개폐할 수 있는 스위치(104, 203)가 제공될 수 있다.1 and 2, the housing 100 is formed in a box shape as a whole, and one side of the housing 100 can be used as the front side as described above. At least one wheel unit 600 may be formed at the lower portion of the housing 100 so that the sliding door type closed chamber device 1 can be easily moved. 200 may be provided with switches 104, 203 capable of opening and closing the apparatus.

본 발명의 일 실시예에 따라 하우징(100)이 박스 형상으로 형성되었으나 하우징(100)의 형상이 이와 같이 한정될 필요는 없다. 하우징(100)은 전면부로 활용 가능한 적어도 하나의 면을 포함하는 다양한 형상으로 형성하는 것이 가능하다. 전면부는 전술한 바와 같이 수직한 면으로 형성되는 것이 바람직하며, 이를 통해 중력을 이용하는 방식으로 보다 용이하게 도어부(200)를 작동시킬 수 있다. 도어부(200)의 작동과정에 대해서는 후술하여 보다 상세히 설명한다. Although the housing 100 is formed in a box shape according to an embodiment of the present invention, the shape of the housing 100 need not be limited. The housing 100 can be formed in various shapes including at least one surface that can be utilized as a front portion. The front portion is preferably formed as a vertical surface as described above, and the door portion 200 can be operated more easily by using gravity. The operation of the door unit 200 will be described later in more detail.

개구부(101)는 하우징(100)의 전면부에 형성되며, 챔버(110)는 하우징(100) 내부에 수용되어 개구부(101)와 연통된다. 따라서, 전술한 바와 같이 도어부(200)가 개구부(101)를 개방하면 사용자가 개구부(101)를 통해 챔버(110)에 접근할 수 있다. 챔버(110)는 도 2에 도시된 바와 같이 개구부(101)와 중첩된 부분이 개방되어 형성될 수 있으나, 개방된 부분에 별도의 도어가 추가적으로 장착된 것을 사용할 수도 있다. 또한 도시된 바와 같은 챔버(110)의 형상은 예시적인 것으로서 챔버(110)의 형상 역시 박스 형상이 아닌 다양한 형상으로 변형될 수 있다. 챔버(110)는 상대적으로 두꺼운 내벽을 가져 효과적으로 기밀을 유지할 수 있는 것인 한 제한 없이 다양한 형태로 형성될 수 있다. The opening 101 is formed in the front portion of the housing 100 and the chamber 110 is accommodated in the housing 100 and communicates with the opening 101. Accordingly, as described above, when the door portion 200 opens the opening portion 101, the user can access the chamber 110 through the opening portion 101. As shown in FIG. 2, the chamber 110 may be formed by opening a portion overlapping the opening 101, but an additional door may be additionally provided in the opened portion. Also, the shape of the chamber 110 as illustrated is exemplary, and the shape of the chamber 110 may also be modified into various shapes other than a box shape. The chamber 110 may be formed in various forms without limitation as long as it has a relatively thick inner wall and can effectively maintain airtightness.

가이드레일(210)은 한 쌍이 개구부(101)를 사이에 두고 하우징(100)의 전면부를 따라 서로 나란히 배치된다. 가이드레일(210)은 도시된 바와 같이 하우징(100)의 전면부와 평행한 방향으로 연장되며, 도어부(200)를 향하는 면에 레일부(도 3 및 도 4의 211 참조)가 형성되어 도어부(200)가 용이하게 슬라이딩 하도록 형성될 수 있다. 가이드레일(210)은 전술한 바와 같이 수직한 면으로 형성되는 전면부를 따라 수직방향으로 연장되는 것이 바람직하다.The pair of guide rails 210 are arranged side by side along the front portion of the housing 100 with the opening 101 therebetween. The guide rail 210 extends in a direction parallel to the front portion of the housing 100 and has a rail portion 211 (see FIGS. 3 and 4) formed on a surface facing the door portion 200, The portion 200 can be formed to easily slide. The guide rail 210 preferably extends in the vertical direction along the front surface formed by the vertical surface as described above.

한편, 가이드레일(210)은 전술한 바와 같이 하우징(100)에 전후방으로 이동이 가능하게 결합된다. 따라서, 가이드레일(210)에 결합된 도어부(200)가 단순히 가이드레일(210)을 따라서만 슬라이딩하는 것이 아니라 하우징(100)의 전면부를 향해 움직여 전면부를 압박하고 보다 효과적인 밀폐구조를 형성하게 된다. 구체적으로 가이드레일(210)은 하우징(100)에 설치되어 가이드레일(210)을 전후방으로 이동시키는 적어도 하나의 제1구동부(220)에 연결될 수 있다. 제1구동부(220)는 일단부가 하우징(100)에 고정되고 타단부는 가이드레일(210)에 연결되어 신장 및 수축하는 유압 실린더와 같은 선형 액츄에이터로 형성될 수 있으며, 제1구동부(220)는 도 3에 도시된 바와 같이 가이드레일(210)의 서로 다른 지점에 나란히 연결되어 가이드레일(210)을 안정적으로 구동시킬 수 있다.Meanwhile, the guide rail 210 is coupled to the housing 100 so as to be movable forward and backward as described above. Accordingly, the door portion 200 coupled to the guide rail 210 is not simply moved along the guide rail 210 but is moved toward the front portion of the housing 100 to urge the front portion to form a more effective sealing structure . More specifically, the guide rail 210 may be connected to at least one first driving unit 220 installed in the housing 100 to move the guide rail 210 forward and backward. The first driving part 220 may be a linear actuator such as a hydraulic cylinder in which one end is fixed to the housing 100 and the other end is connected to the guide rail 210 to extend and contract. The guide rail 210 can be stably driven by being connected to different points of the guide rail 210 as shown in FIG.

도어부(200)는 가이드레일(210)에 슬라이딩 가능하게 결합되어 가이드레일(210)을 따라서 슬라이딩 이동한다. 도어부(200)는 가이드레일(210)을 따라 슬라이딩 이동하여 도 1에 도시된 바와 같이 개구부(101)를 폐쇄하거나, 또는 도 2에 도시된 바와 같이 개구부(101)를 개방하되, 단순히 가이드레일(210)을 따라서만 이동하지 않고, 전술한 바와 같이 가이드레일(210)이 전후방으로 이동하는 때 함께 이동하여 하우징(100)의 전면부를 압박하거나, 반대로 하우징(100)으로부터 손쉽게 이탈된다. 도어부(200)의 가이드레일(210)을 향하는 면에는 레일부(도 3 및 도 4의 211 참조)와 결합되는 슬라이더(도 3 및 도 4의 201 참조)가 형성되어 슬라이딩 가능한 결합구조를 용이하게 형성할 수 있다.The door unit 200 is slidably coupled to the guide rail 210 and slides along the guide rail 210. The door part 200 slides along the guide rail 210 to close the opening 101 as shown in Figure 1 or to open the opening 101 as shown in Figure 2, The guide rails 210 move together along the guide rails 210 as described above so as to press the front portion of the housing 100 or vice versa. A slider (see 201 in FIGS. 3 and 4) coupled with a rail portion (see 211 in FIGS. 3 and 4) is formed on the surface of the door portion 200 facing the guide rail 210, .

도어부(200)와 하우징(100)의 사이에는 적어도 하나의 패킹부(103)가 형성되어 보다 용이하게 기밀을 유지할 수 있다. 패킹부(103)는 도 2에 도시된 바와 같이 개구부(101) 둘레에 개구부(101)와 인접하게 형성될 수 있으며, 필요한 경우 개구부(101)를 향하는 도어부(200)의 일 면에도 형성될 수 있다(도 5의 202 참조) 이와 같은 방식으로 이중의 또는 삼중의 패킹부를 형성하여 용이하게 기밀을 유지할 수 있다. 한편, 도어부(200) 일 측에는 내부를 투시하여 관찰할 수 있는 윈도우(204)가 형성될 수 있으며, 하우징(100) 내 챔버의 작동상태 등을 외부로 표시할 수 있는 표시부(205) 등이 형성되는 것도 가능하다.At least one packing part 103 is formed between the door part 200 and the housing 100, so that airtightness can be maintained more easily. The packing portion 103 may be formed adjacent to the opening portion 101 around the opening portion 101 as shown in FIG. 2 and may be formed on one side of the door portion 200 facing the opening portion 101, if necessary (See 202 in FIG. 5). In this way, double or triple packing portions can be formed to easily maintain airtightness. A window 204 can be formed on one side of the door unit 200 so as to observe the inside of the door unit 200. A display unit 205 or the like capable of externally displaying the operation state of the chamber in the housing 100 .

지지패널(300)은 가이드레일(210)을 따라 슬라이딩 이동하는 도어부(200)의 이동경로 상에 배치된다. 지지패널(300)은 특히 도어부(200)의 하부에 배치되며 전방으로 이동하여 도 1에 도시된 바와 같이 도어부(200)를 지지하거나, 그 반대방향인 후방으로 이동하여 도 2에 도시된 바와 같이 후퇴된 상태로 도어부(200)의 슬라이딩 이동경로에서 벗어날 수 있다. 즉, 지지패널(300)은 도어부(200)가 슬라이딩되지 못하도록 이동경로를 제한하거나, 이동경로를 개방하여 도어부(200)가 용이하게 슬라이딩되도록 유기적으로 작동되고, 도어부(200)의 이동경로를 제한하는 동시에 이를 지지함으로써 보다 안정적인 밀폐구조가 형성되도록 할 수 있다. 지지패널(300)에는 지지패널(300)을 관통하여 하우징(100) 내부와 외부 사이의 공기 순환통로가 되는 그릴부(310)가 형성될 수 있다.The support panel 300 is disposed on the movement path of the door portion 200 sliding along the guide rail 210. The support panel 300 is disposed at the lower portion of the door portion 200 and moves forward to support the door portion 200 as shown in FIG. 1 or to move backward in the opposite direction, as shown in FIG. 2 So that it can escape from the sliding movement path of the door part 200 in a retracted state. That is, the support panel 300 is operated organically so that the door part 200 can be easily slid by limiting the movement path so that the door part 200 can not be slid or opening the movement path, By restricting the path and supporting it, a more stable sealing structure can be formed. The support panel 300 may be provided with a grille 310 which penetrates the support panel 300 and serves as an air circulation passage between the inside and the outside of the housing 100.

구체적으로 지지패널(300)은 하우징(100)에 설치되어 지지패널(300)을 전후방으로 이동시키는 적어도 하나의 제2구동부(320)에 연결되어 이동할 수 있으며, 제2구동부(320)는 전술한 제1구동부(220)와 마찬가지로 일단부는 하우징(100)에 고정되고 타단부는 지지패널(300)에 연결되어 신장 및 수축하는 유압 실린더와 같은 선형 액츄에이터로 형성될 수 있다. 제2구동부(320) 역시 도 3에 도시된 바와 같이 지지패널(300)의 서로 다른 지점에 나란히 연결되어 지지패널(300)을 안정적으로 구동시킬 수 있다.More specifically, the support panel 300 may be connected to at least one second drive unit 320 installed in the housing 100 to move the support panel 300 forward and backward, and the second drive unit 320 may move As with the first driving part 220, the first driving part 220 may be formed of a linear actuator such as a hydraulic cylinder, one end of which is fixed to the housing 100 and the other end of which is connected to the supporting panel 300 to extend and contract. The second driving unit 320 may also be connected to other points of the supporting panel 300, as shown in FIG. 3, to stably drive the supporting panel 300.

이와 같이 도어부(200), 가이드레일(210), 및 지지패널(300)이 서로 유기적으로 조합된 슬라이딩 도어형 밀폐 챔버장치(1)는 각 도면에 도시된 바와 같이 일단부가 도어부(200)에 결합되는 적어도 하나의 가요성와이어(401)와, 가요성와이어(401)의 타단부가 결합되어 가요성와이어(401)를 견인하는 견인장치(400)를 이용하여 이에 최적화된 방식으로 보다 용이하게 도어부(200)를 작동시킬 수 있다. 견인장치(400)는 스크류바(410), 스크류너트부(420), 스크류바(410)를 회전시키는 모터(411), 및 스크류너트부(420)가 결합되는 가이드바(430)를 포함하는 방식으로 구성된다. 이하 도 4 내지 도 7을 참조하여 견인장치(400) 및 가요성와이어(401)의 구체적인 구조와 각 구성부의 작동과정에 대해 보다 상세히 설명한다.The sliding door type closed chamber device 1 in which the door part 200, the guide rail 210, and the support panel 300 are organically combined with each other is formed in the door part 200, At least one flexible wire 401 coupled to the flexible wire 401 and a pulling device 400 coupled to the other end of the flexible wire 401 to pull the flexible wire 401, The door unit 200 can be operated. The traction device 400 includes a screw bar 410, a screw nut 420, a motor 411 for rotating the screw bar 410, and a guide bar 430 to which the screw nut 420 is coupled . Hereinafter, the specific structure of the pulling device 400 and the flexible wire 401 and the operation of each component will be described in more detail with reference to FIGS. 4 to 7. FIG.

도 4는 도 1의 챔버장치의 상부구조 및 도어부와 가이드레일의 배치상태를 도시한 A-A' 단면도이고, 도 5는 도 4의 챔버장치의 도어부와 가이드레일이 이동한 상태를 도시한 단면도이며, 도 6은 도 1의 챔버장치의 지지패널의 배치상태를 도시한 B-B' 단면도이고, 도 7은 도 6의 지지패널이 이동한 상태를 도시한 단면도이다.FIG. 4 is a cross-sectional view of the upper part of the chamber device of FIG. 1 and the arrangement of the door part and the guide rail, and FIG. 5 is a sectional view of the door device of FIG. FIG. 6 is a cross-sectional view taken along the line BB 'in FIG. 1 illustrating the arrangement of the support panel of the chamber device of FIG. 1, and FIG. 7 is a cross-sectional view of the support panel of FIG. 6 moved.

먼저 도 4 및 도 5를 참조하면, 견인장치(400)는 하우징(100)에 회전 가능하게 결합되며 외주면에 나사산이 형성된 스크류바(410), 스크류바(410)를 회전시키는 모터(411), 전술한 바와 같이 일단부가 도어부(200)에 결합된 가요성와이어(401)의 타단부가 결합되고 스크류바(410)와 치합되는 스크류너트부(420)를 포함한다. 스크류너트부(420)는 스크류바(410)와 평행하게 하우징(100)에 설치되는 적어도 하나의 가이드바(430)에 슬라이딩 가능하게 결합되어 가이드바(430)를 따라 이동할 수 있다.4 and 5, the traction device 400 includes a screw bar 410 rotatably coupled to the housing 100 and having a screw thread formed on the outer circumference thereof, a motor 411 rotating the screw bar 410, And a screw nut portion 420 to which the other end of the flexible wire 401 coupled to the door portion 200 is coupled and engaged with the screw bar 410 as described above. The screw nut 420 is slidably coupled to at least one guide bar 430 installed in the housing 100 in parallel with the screw bar 410 and can move along the guide bar 430.

스크류바(410)는 모터(411)에 결합되어 회전되며, 외주면에 나사산이 형성되어 스크류바(410)와 치합된 스크류너트부(420)를 직선상으로 이동시킬 수 있다. 스크류너트부(420)는 스크류바(410)가 관통하는 부분에 스크류바(410)의 나사산과 치합되는 치합부(421)가 형성되어 스크류바(410)의 회전운동을 직선운동으로 용이하게 변환할 수 있다. 상기 치합부(421)는 예를 들어, 스크류바(410)의 나사산에 삽입되어 회전하는 볼과 같은 구체를 포함하는 것일 수 있다. 서로 치합되는 스크류바(410) 및 스크류너트부(420)는 회전운동을 직선운동으로 변환하는 기계요소인 볼 스크류(Ball screw)로 기능할 수 있다.The screw bar 410 is coupled to the motor 411 and rotated, and a screw thread is formed on the outer circumferential surface of the screw bar 410 so that the screw nut 420 engaged with the screw bar 410 can be linearly moved. The screw nut 420 has a mating portion 421 formed at a portion of the screw bar 410 through which the screw bar 410 penetrates to mate with the screw of the screw bar 410 to easily convert the rotational motion of the screw bar 410 into a linear motion. can do. The mating portion 421 may include, for example, a spherical body such as a ball inserted into the thread of the screw bar 410 and rotating. The screw bar 410 and the screw nut 420 which are engaged with each other can function as a ball screw which is a mechanical element for converting rotational motion into linear motion.

스크류너트부(420)는 스크류바(410)에 치합되어 스크류바(410)를 따라 직선상으로 운동하는 것으로 상기 치합부(421)는 스크류너트부(420)와 일체로 형성될 수도 있고, 스크류너트부(420)에 결합되어 고정된 것일 수도 있다. 즉, 스크류너트부(420)는 스크류바(410)에 치합되어 전술한 볼 스크류를 구성할 수 있는 것인 한 그 형상이나 크기 등에 제약을 받지 않는다. 스크류너트부(420)는 도시된 바와 같이 양 단부가 확장된 형태로 형성되어 스크류바(410)와 평행한 가이드바(430)가 그 일부를 관통하도록 형성될 수 있으며, 이를 통해 스크류너트부(420)는 스크류바(410)의 회전에 의해, 가이드바(430)를 따라 보다 안정적으로 슬라이딩 이동할 수 있다.The screw nut portion 420 is engaged with the screw bar 410 and moves linearly along the screw bar 410 so that the mating portion 421 may be formed integrally with the screw nut portion 420, Or may be fixedly coupled to the nut portion 420. That is, the screw nut 420 is not limited by the shape and size of the screw nut 410 as long as it can be engaged with the screw bar 410 to form the ball screw. As shown in the figure, the screw nut portion 420 may be formed so that both end portions thereof are formed in an expanded shape so that a guide bar 430 parallel to the screw bar 410 passes through the screw nut portion 420, 420 can slide more stably along the guide bar 430 by the rotation of the screw bar 410.

이러한 견인장치(400)는 챔버(도 1 내지 도 3의 110 참조)의 상부에 위치하여 도어부(200)를 보다 용이하게 견인하고, 견인력을 조절하여 도어부(200)를 하강 또는 상승시킬 수 있다. 즉 도어부(200)는 자중에 의해 슬라이딩 이동하여 챔버(110)의 하부로 이동되어 개구부(101)를 개방하고 챔버(110) 상부에서 견인장치(400)가 가요성와이어(401)를 견인하면 슬라이딩 이동하여 개구부(101)를 폐쇄하도록 형성될 수 있다.The towing device 400 may be located above the chamber (see 110 in FIGS. 1 to 3) to more easily pull the door portion 200 and adjust the traction force to lower or raise the door portion 200 have. That is, the door part 200 slides by its own weight and moves to the lower part of the chamber 110 to open the opening part 101. When the pulling device 400 pulls the flexible wire 401 from above the chamber 110 And may be formed so as to close the opening 101 by sliding movement.

견인장치(400)는 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이 예를 들어, 하우징(100)의 상단부에 위치하여 하우징(100)의 상부구조를 형성할 수 있다. 이와 같이 상부에서 작동하여 상부로부터 하부로 연결된 가요성와이어(401)를 견인하면, 견인력을 조절하여 도어부(200)가 자중에 의해 용이하게 하강하도록 할 수 있는 것이다. 또한, 이와 같은 견인구조를 이용하여 도어부(200)가 하방으로 이동하여 지지패널(도 1 내지 도 3의 300 참조)에 보다 손쉽게 안착되도록 할 수 있다.The traction device 400 may be located at the upper end of the housing 100, for example, as shown in FIGS. 4 and 5, to form the upper structure of the housing 100. As described above, when the flexible wire 401 connected to the lower portion is pulled by operating the upper portion, the door portion 200 can be easily lowered by its own weight by adjusting the pulling force. Further, by using such a pulling structure, the door portion 200 can be moved downward to be more easily seated on the support panel (see 300 in FIG. 1 to FIG. 3).

한편, 가요성와이어(401)는 일단부가 도어부(200)에 결합되고 타단부는 스크류너트부(420)에 결합되며, 회전휠(도 3의 402 참조)에 접하여 적어도 한번 이동방향이 전환될 수 있다. 즉, 하우징(100)에 결합되고 가요성와이어(401)에 접한 채 함께 회전하여 가요성와이어(401)의 이동방향을 전환하는 회전휠(402)을 이용하여, 견인장치(400)의 견인방향과 가요성와이어(401)의 이동방향이 일치하지 않더라도 장치가 원활하게 작동하도록 할 수 있다.Meanwhile, the flexible wire 401 has one end coupled to the door portion 200 and the other end coupled to the screw nut portion 420, and the moving direction of the flexible wire 401 is switched at least once in contact with the rotating wheel (see 402 in FIG. 3) . That is, by using the rotary wheel 402 that is coupled to the housing 100 and rotates together with the flexible wire 401 to change the direction of movement of the flexible wire 401, the pulling direction of the pulling device 400 So that the apparatus can be smoothly operated even if the direction of movement of the flexible wire 401 does not match.

가요성와이어(401)는 도어부(200)와 견인장치(400) 특히, 견인장치(400)의 스크류너트부(420)와의 사이로 연장되어 서로를 연결 가능한 굴절 가능한 기계요소인 한 특별히 제한되지 않는다. 가요성와이어(401)는 예를 들어, 금속선과 같은 충분한 강성을 갖는 강선으로 이루어질 수도 있고, 체인이나 벨트와 같은 기계적인 동력전달요소로 이루어질 수도 있다. 회전휠(402) 역시 가요성와이어(401)의 구현 형태에 따라 그에 대응하여 적어도 일부 형상이 변형될 수 있다. 특히, 가요성와이어(401)가 체인 형태로 형성되는 경우, 회전휠(402)은 체인 형태의 가요성와이어(401)에 치합되는 기어형태로 형성될 수 있다.The flexible wire 401 is not particularly limited as long as it is a deflectable mechanical element that extends between the door part 200 and the pulling device 400, particularly the screw nut part 420 of the pulling device 400 . The flexible wire 401 may be made of a steel wire having sufficient rigidity, for example, a metal wire, or may be made of a mechanical power transmission element such as a chain or a belt. The rotation wheel 402 may also be deformed at least in part according to the embodiment of the flexible wire 401. [ In particular, when the flexible wire 401 is formed in the form of a chain, the rotating wheel 402 may be formed in the form of a gear that meshes with the flexible wire 401 in the form of a chain.

이와 같이 가요성와이어(401)를 이용한 구조는 가이드레일(210)이 전술한 전후방으로 이동하여 하우징(100)에 밀착되거나 하우징(100)으로부터 이격되는 경우에도 가요성와이어(401)가 그에 대응하여 유연하게 굴절되면서 도어부(200)를 용이하게 지지할 수 있는 장점을 갖는다. 즉, 도 5에 도시된 바와 같이 가이드레일(210)이 평행 이동(화살표 참조)하여 하우징(100)으로부터 이격되는 경우에도 가요성와이어(401)의 유연성으로 인해 도어부(200)가 견인장치(400)로부터 이탈되는 등의 문제없이 연결상태를 용이하게 유지할 수 있는 것이다. 도 5에 도시돤 바와 같이 가이드레일(210)이 이동하면 스크류너트부(420) 역시 그에 대응하는 만큼 이동하여 가요성와이어(401)에 걸리는 장력이 급격히 증가하는 것을 방지하고 장력이 적절한 크기가 되도록 유지할 수 있다.The structure using the flexible wire 401 can prevent the flexible wire 401 from moving in the front and rear directions of the guide rail 210 even when the guide rail 210 is moved forward and backward to come in close contact with the housing 100 or away from the housing 100 So that the door unit 200 can be easily supported while flexibly bending. 5, even when the guide rail 210 is moved away from the housing 100 in parallel (see arrows), the flexibility of the flexible wire 401 causes the door portion 200 to be pulled out of the pulling device 400 can be easily maintained without a problem such as being separated from the connection state. 5, when the guide rail 210 moves, the screw nut 420 also moves correspondingly to prevent the tension applied to the flexible wire 401 from increasing sharply, so that the tension is appropriately increased. .

도어부(200)는 전술한 바와 같이 가이드레일(210)을 향하는 면에 슬라이더(201)가 형성되고, 가이드레일(210)은 도어부(200)를 향하는 면에 레일부(211)가 형성되어 슬라이더(201)와 결합된다. 따라서, 도어부(200)는 가이드레일(210)을 따라 용이하게 슬라이딩하되 가이드레일(210)로부터 쉽게 분리되지 않는 견고한 결합구조를 형성한다. 도어부(200)는 하우징(100)에 결합된 제1구동부(220)의 신장에 의해 도 5에 도시된 바와 같이 전후방(도시된 화살표 방향 및 그 반대방향)으로 이동할 수 있다. 도어부(200)와 하우징(100)의 사이에는 패킹부(103, 202)가 형성되어 제1구동부(220)가 수축하고 도어부(200)가 다시 하우징(100)을 향해 이동하여 밀착되는 때 보다 효과적인 밀폐구조를 형성할 수 있다. 패킹부(103, 202)는 전술한 바와 같이 개구부(101) 둘레와 도어부(200) 측에 하나 이상이 형성될 수 있다.The slider 201 is formed on the surface of the door part 200 facing the guide rail 210 and the rail part 210 is formed on the surface of the guide rail 210 facing the door part 200 And is engaged with the slider 201. Accordingly, the door portion 200 forms a rigid coupling structure that easily slides along the guide rail 210 but is not easily separated from the guide rail 210. The door portion 200 can be moved forward and backward (in the direction of the arrow shown in FIG. 5 and the opposite direction thereof) as shown in FIG. 5 by the extension of the first driving portion 220 coupled to the housing 100. The packing parts 103 and 202 are formed between the door part 200 and the housing 100 so that the first driving part 220 contracts and the door part 200 moves toward the housing 100 again A more effective sealing structure can be formed. As described above, one or more packing portions 103 and 202 may be formed around the opening portion 101 and the door portion 200 side.

한편, 도 6 및 도 7을 참조하면, 지지패널(300) 역시 제2구동부(320)에 의해 전후방(도시된 화살표 방향 및 그 반대방향)으로 이동한다. 특히, 제1구동부(220)가 신장되어 가이드레일(210)이 하우징(100)으로부터 이격되는 때, 제2구동부(320)는 수축하여 가이드레일(210)이 이동하는 반대방향(도시된 화살표 방향)으로 이동하게 된다. 이와 같은 가이드레일(210)과 지지패널(300) 상호간의 유기적인 움직임으로 인해 지지패널(300)이 도어부(도 4 및 도 5의 200 참조)의 슬라이딩 경로에서 용이하게 벗어나게 되고 도어부(200)가 손쉽게 개구부(도 1 내지 도 3의 101 참조)를 개방할 수 있다.6 and 7, the support panel 300 is also moved forward and backward (in the arrow direction and the opposite direction shown) by the second driver 320. [ In particular, when the first driving unit 220 is extended and the guide rail 210 is separated from the housing 100, the second driving unit 320 contracts to move in the opposite direction . Such an organic movement between the guide rail 210 and the support panel 300 allows the support panel 300 to be easily released from the sliding path of the door portion (see 200 in FIGS. 4 and 5) Can readily open the opening (see 101 in Figs. 1 to 3).

즉, 가이드레일(210)과 지지패널(300)은 제1구동부(220) 및 제2구동부(320)의 구동에 의해 전술한 전후방으로 이동하되 서로 반대방향으로 유기적으로 움직인다. 따라서, 가이드레일(210) 및 지지패널(300)의 상호 움직임을 최소화하면서도 도어부(200)가 슬라이딩 되도록 하거나 반대로 지지패널(300)이 도어부(200)의 이동경로에 삽입되어 도어부(200)를 용이하게 지지하도록 할 수 있는 것이다. 이하, 도 8 내지 도 10을 참조하여 이에 대해 좀 더 상세히 설명한다.That is, the guide rail 210 and the support panel 300 are moved forward and backward by the driving of the first driving part 220 and the second driving part 320, and are moved in the opposite directions organically. The support panel 300 is inserted into the movement path of the door part 200 and the door part 200 is inserted into the door part 200 while the mutual movement of the guide rail 210 and the support panel 300 is minimized, Can be easily supported. Hereinafter, this will be described in more detail with reference to FIGS. 8 to 10. FIG.

도 8 내지 도 10은 도 1의 챔버장치의 작동과정을 도시한 도면이다.FIGS. 8 to 10 are views showing the operation of the chamber device of FIG. 1. FIG.

먼저, 도 8을 참조하면, 가이드레일(210)과 도어부(200)가 하우징(100)에 밀착된 상태로 도어부(200)가 하우징(100) 전면부의 개구부(101)를 폐쇄하고, 지지패널(300)은 도어부(200)의 하부에 위치하여 도어부(200)를 지지한다. 이를 통해 도어부(200)가 하우징(100)의 전면부를 향해 압박된 상태로 안정적으로 지지되어 보다 효과적이고 안정적인 밀폐구조를 형성할 수 있다. 상기와 같은 상태에서 제1구동부(220)는 수축된 상태로 유지되고, 제2구동부(320)는 신장된 상태로 유지된다.8, the door part 200 closes the opening part 101 of the front part of the housing 100 with the guide rail 210 and the door part 200 in close contact with the housing 100, The panel 300 is positioned below the door part 200 and supports the door part 200. The door portion 200 is stably supported in a state of being pressed toward the front portion of the housing 100, so that a more effective and stable sealing structure can be formed. In this state, the first driving unit 220 is maintained in a contracted state and the second driving unit 320 is maintained in a stretched state.

또한, 이러한 상태에서 지지패널(300)에 형성된 그릴부(도 1 및 도 2의 310 참조)는 하우징(100) 내 외부로 공기를 순환시켜 하우징(100) 내측의 온도가 급격히 상승하지 않도록 방지할 수 있다. 즉, 하우징(100) 내측의 수용공간(102)에는 챔버(110)의 하부에 설치되고 챔버(110)와 연결되어 챔버(110) 내부의 온도를 조절하는 온도조절부(510), 및 챔버(110) 내부의 습도를 조절하는 습도조절부(520) 중 적어도 하나를 포함하는 장치들이 설치될 수 있는 바, 그릴부(310)를 이용하여 이러한 장치들이 발열되어 온도가 급격히 상승하는 것을 막을 수 있다. 필요한 경우, 공기순환용 팬(미도시) 등을 하우징(100)이나 지지패널(300) 일 측에 추가로 구성할 수 있음은 물론이다. 이와 같은 방식으로 챔버장치는, 이를 테면, 항온항습조로 이용될 수 있다.1 and 2) formed in the support panel 300 circulates air to the outside of the housing 100 to prevent the temperature inside the housing 100 from rising sharply . That is, a temperature control unit 510 installed in a lower portion of the chamber 110 and connected to the chamber 110 to adjust the temperature inside the chamber 110 is provided in the accommodation space 102 inside the housing 100, The humidity control unit 520 for controlling the humidity of the inside of the indoor unit 110 may be installed. By using the grill unit 310, such devices can be heated to prevent the temperature from rising sharply . A fan (not shown) for air circulation may be additionally provided on one side of the housing 100 or the support panel 300 if necessary. In this way, the chamber device can be used, for example, as a constant temperature and humidity bath.

도 9를 참조하면, 전술한 바와 같이 제1구동부(220)가 신장되고, 제2구동부(320)가 수축되어 가이드레일(210) 및 지지패널(300)이 전후방(도면상의 화살표 참조)으로 유기적으로 이동하면, 지지패널(300)은 도어부(200)의 슬라이딩 경로 상에서 벗어나고, 도어부(200)는 하우징(100)으로부터 이탈되어 압박이 해제된다. 이 때, 가이드레일(210)은 도어부(200)가 하우징(100) 전면부에서 분리될 수 있는 정도만 움직이는 것으로 충분하며, 지지패널(300)은 온도조절부(510) 및 습도조절부(520) 등의 장치와 가이드레일(210) 사이의 한정된 공간 상에서만 필요한 만큼 움직일 수 있다. 이와 같이 하여 최소한의 움직임만으로 도어부(200)가 슬라이딩 가능한 상태로 전환된다.9, the first driving unit 220 is extended, the second driving unit 320 is contracted, and the guide rail 210 and the supporting panel 300 are moved forward and backward (see arrows in the drawing) The support panel 300 is released from the sliding path of the door part 200 and the door part 200 is released from the housing 100 and the pressing is released. At this time, it is sufficient that the guide rail 210 moves only to the extent that the door portion 200 can be separated from the front portion of the housing 100, and the support panel 300 has the temperature control portion 510 and the humidity control portion 520 Or the like and the guide rail 210, as shown in FIG. In this way, the door unit 200 is switched to the slidable state with only minimal movement.

또한, 가요성와이어(401)는 도시된 바와 같이 가이드레일(210) 및 도어부(200)의 이동에 따라 경사진 상태로 굴절방향이 변화되면서 가이드레일(210)과 하우징(100) 사이에 생긴 유격에 용이하게 대응할 수 있다. 전술한 바와 같이, 가이드레일(210)이 이동할 때 견인장치(400)의 스크류너트부(420)가 함께 이동하여 가요성와이어(401)에 걸리는 장력이 급격히 증가하지 않도록 조절할 수 있다.The flexible wire 401 is bent in a tilted state according to the movement of the guide rail 210 and the door part 200 as shown in FIG. It is possible to easily cope with the play. As described above, when the guide rail 210 moves, the screw nut portion 420 of the pulling device 400 moves together to adjust the tension applied to the flexible wire 401 so as not to increase rapidly.

도 10을 참조하면, 이와 같이 배치상태가 변화된 후, 견인장치(400)의 스크류너트부(420)가 가이드바(430)를 따라 신속히 이동함으로써 도어부(200)가 하부로 이동되어 개구부(101)가 개방되고 사용자가 개구부(101)를 통해 챔버(110)에 접근할 수 있다. 도어부(200)는 자중에 의해 하방으로 움직여 손쉽게 개구부(101)가 개방될 수 있으므로, 견인장치(400) 및 가요성와이어(401)는 도어부(200)가 너무 빠르게 하강하지 않도록 적절한 견인력을 제공하는 것으로 충분할 수 있다. 이와 같은 방식으로 공간활용을 극대화 하면서도, 매우 용이하게 개폐되는 도어구조를 형성할 수 있는 것이다. 도 8 내지 도 10의 과정을 역순으로 진행하면, 도어부(200)가 견인되어 상승하고, 가이드레일(210)과 함께 다시 개구부(101)가 형성된 하우징(100)의 전면부에 밀착되어, 하우징(100)의 전면부를 압박하는 효과적인 밀폐구조를 형성할 수 있다.10, the screw nut 420 of the traction device 400 is rapidly moved along the guide bar 430 after the arrangement state is changed as described above, so that the door part 200 is moved downward, Can be opened and the user can access the chamber 110 through the opening 101. The door unit 200 can be moved downward by its own weight so that the opening 101 can be opened easily so that the pulling device 400 and the flexible wire 401 can be properly pulled out of the door unit 200 It may be sufficient to provide. In this way, it is possible to form a door structure which can be opened and closed very easily while maximizing space utilization. 8 to 10 are reversed, the door portion 200 is pulled up and is brought into close contact with the front portion of the housing 100 where the opening portion 101 is formed together with the guide rail 210, It is possible to form an effective sealing structure for pressing the front portion of the body 100.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이면 한정적이 아닌 것으로 이해해야 한다.
While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, You will understand. It is therefore to be understood that the above-described embodiments are not limitative in any way whatsoever exemplary.

1: 슬라이딩 도어형 밀폐 챔버장치 100: 하우징
104, 203: 스위치 101: 개구부
102: 수용공간 110: 챔버
103, 202: 패킹부 200: 도어부
201: 슬라이더 204: 윈도우
205: 표시부 210: 가이드레일
211: 레일부 220: 제1구동부
300: 지지패널 310: 그릴부
320: 제2구동부 400: 견인장치
401: 가요성와이어 402: 회전휠
410: 스크류바 411: 모터
420: 스크류너트부 421: 치합부
430: 가이드바 510: 온도조절부
520: 습도조절부 600: 바퀴부1: Sliding door type hermetic chamber device 100: Housing
104, 203: switch 101: opening
102: accommodation space 110: chamber
103, 202: packing part 200: door part
201: Slider 204: Window
205: display portion 210: guide rail
211: rail part 220: first drive part
300: Support panel 310: Grille part
320: second driving part 400: traction device
401: flexible wire 402: rotating wheel
410: screw bar 411: motor
420: screw nut portion 421:
430: guide bar 510: temperature control unit
520: humidity controller 600:

Claims

A housing having an opening formed in a front portion thereof;
A chamber received in the housing and communicating with the opening;
A pair of guide rails disposed side by side along the front portion with the opening portion interposed therebetween;
A door part that slides along the guide rail and opens and closes the opening part;
A support panel disposed adjacent to the door portion in a sliding movement path of the door portion and slidably moving forward and backward; And
And at least one first driving unit installed in the housing and moving the pair of guide rails forward and backward,
The pair of guide rails are coupled to the housing so as to be movable forward and backward,
Wherein the support panel is disposed at a lower portion of the door portion and moves forward to support the door portion or move backward to deviate from a sliding movement path of the door portion.

delete

The method according to claim 1,
And at least one second driving unit installed in the housing and moving the support panel forward and backward.

A housing having an opening formed in a front portion thereof;
A chamber received in the housing and communicating with the opening;
A pair of guide rails disposed side by side along the front portion with the opening portion interposed therebetween;
A door part that slides along the guide rail and opens and closes the opening part;
A support panel disposed adjacent to the door portion in a sliding movement path of the door portion and slidably moving forward and backward;
At least one first driving unit installed in the housing and moving the pair of guide rails forward and backward;
At least one flexible wire having one end coupled to the door portion; And
And a traction device coupled to the other end of the flexible wire to pull the flexible wire,
Wherein the pair of guide rails are coupled to the housing so as to be movable forward and backward.

6. The method of claim 5,
The towing device comprises:
A screw bar rotatably coupled to the housing,
A motor for rotating the screw bar, and
And a screw nut portion to which the other end of the flexible wire is coupled and engaged with the screw bar.

The method according to claim 6,
And at least one guide bar installed in the housing in parallel with the screw bar,
Wherein the screw nut portion is slidably engaged with the guide bar and moves along the guide bar.

6. The method of claim 5,
The towing device is located at an upper portion of the chamber to pull the door portion,
Wherein the door portion is moved downward by its own weight to open the opening portion and close the opening portion when the pulling device pulls the flexible wire.

6. The method of claim 5,
Further comprising a rotating wheel coupled to the housing and rotating together with the flexible wire to switch the direction of movement of the flexible wire.

A housing having an opening formed in a front portion thereof;
A chamber received in the housing and communicating with the opening;
A pair of guide rails disposed side by side along the front portion with the opening portion interposed therebetween;
A door part that slides along the guide rail and opens and closes the opening part;
A support panel disposed adjacent to the door portion in a sliding movement path of the door portion and slidably moving forward and backward; And
And at least one of a temperature controller for adjusting a temperature inside the chamber and a humidity controller for adjusting humidity inside the chamber, the humidity controller being installed at a lower portion of the chamber.

11. The method of claim 10,
And a grill portion formed through the support panel and serving as an air circulation passage between the inside and the outside of the housing.