KR101441479B1 - Ｏｌｅｄ 제조용 박막 증착장치 - Google Patents

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Abstract

OLED 제조용 박막 증착장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 OLED 제조용 박막 증착장치는, 챔버 내에서 증착 대상의 기판을 지지하는 기판 지지모듈; 기판에 이웃하게 배치되는 마스크(mask)를 경유하여 기판 쪽으로 증착물질을 제공하는 소스(source); 및 마스크에 이웃하게 배치되며, 기판 또는 소스 중 어느 하나의 이동에 연동되어 마스크의 개구(open)를 선택적으로 개폐하는 마스크 셔터(mask shutter)를 포함한다.

Description

ＯＬＥＤ 제조용 박막 증착장치{THIN LAYERS DEPOSITION APPARATUS FOR MANUFACTURING OLED}
본 발명은, OLED 제조용 박막 증착장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 기판의 원하는 위치에 증착물질을 증착시킬 수 있어 우수한 증착품질 향상을 기대할 수 있으며, 특히 마스크를 통해 분사되는 증착물질로 인해 챔버의 내부가 오염되는 현상을 효율적으로 저지시킬 수 있는 OLED 제조용 박막 증착장치에 관한 것이다.
일반적으로 평판표시소자인 유기전계발광표시장치(OLED, Organic Light Emitting Display)는 유기물의 자체 발광에 의해 컬러 화상을 구현하는 초경박형 표시장치로서, 그 구조가 간단하면서 광효율이 높다는 점에서 차세대의 유망 디스플레이 장치로서 주목받고 있다.
이러한 유기전계발광표시장치(OLED)는 애노드와 캐소드 그리고, 애노드와 캐소드 사이에 개재된 유기막들을 포함하고 있다.
여기서 유기막들은 최소한 발광층을 포함하며, 발광층 이외에도 정공 주입층, 정공 수송층, 전자 수송층, 전자 주입층을 더 포함할 수 있다.
유기전계발광표시장치는 유기막 특히, 발광층을 이루는 물질에 따라서 고분자 유기발광소자와 저분자 유기발광소자로 나누어질 수 있다. 풀 칼라(full color)를 구현하기 위해서는 발광층을 패터닝해야 하는데, 대형 OLED를 제작하는 방식으로는 FMM(Fine Metal Mask, 이하 마스크라 함)을 이용한 직접 패터닝 방식과 LITI(Laser Induced Thermal Imaging) 공법을 적용한 방식, 컬러 필터(color filter)를 이용하는 방식 등이 있다.
마스크 방식을 적용하여 대형 OLED를 제작할 때에는 챔버 내에 기판과 패터닝(patterning)된 마스크를 수평으로 배치시킨 후에 마스크를 향해 증착물질을 분사하여 기판을 증착시키는 이른 바 수평식 상향 증착공법이 널리 적용되고 있다.
한편, 기판에 대한 증착 공정 시 마스크를 경유하는 증착물질이 기판의 필요한 위치에만 증착이 되는 것이 바람직하지만 현재까지 알려진 증착장치의 경우, 구조적인 한계로 인해 불필요한 영역, 예컨대 기판을 이동시키는 캐리어 등을 비롯하여 챔버의 내벽이 증착되어 오염될 소지가 많다.
이와 같은 현상을 방지하기 위해 대한민국특허청 공개번호 제10-2012-0077382호와 같이 마스크 내에 플레이트 타입(plate type)의 마스크 셔터(mask shutter)를 배치하여 필요 시 마스크 셔터를 개폐함으로써 증착물질에 의한 챔버 내의 오염 발생을 예방시키고 있다.
그런데, 상기 문헌을 비롯하여 현재까지 알려지고 있는 종래기술의 경우, 마스크 셔터가 플레이트 타입으로서 단순 개폐(open/close)되는 구조를 가지고 있기 때문에 기판의 원하는 위치에 증착물질을 증착시키기가 어려운 문제점이 있다.
뿐만 아니라 종래기술의 경우, 구조적인 한계로 인해 마스크를 통해 분사되는 증착물질로 인한 챔버 내의 오염을 방지시키기에 효율적이지 못하므로 마스크 상부의 방착판을 수시로 교체해야 하는 등 추가적인 문제를 야기할 수 있으므로 이에 대한 새로운 구조 개선이 요구된다.
대한민국특허청 공개번호 제10-2012-0077382호
따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 기판의 원하는 위치에 증착물질을 증착시킬 수 있어 우수한 증착품질 향상을 기대할 수 있으며, 특히 마스크를 통해 분사되는 증착물질로 인해 챔버의 내부가 오염되는 현상을 효율적으로 저지시킬 수 있는 OLED 제조용 박막 증착장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 챔버 내에서 증착 대상의 기판을 지지하는 기판 지지모듈; 상기 기판에 이웃하게 배치되는 마스크(mask)를 경유하여 상기 기판 쪽으로 증착물질을 제공하는 소스(source); 및 상기 마스크에 이웃하게 배치되며, 상기 기판 또는 상기 소스 중 어느 하나의 이동에 연동되어 상기 마스크의 개구(open)를 선택적으로 개폐하는 마스크 셔터(mask shutter)를 포함하는 것을 특징으로 하는 OLED 제조용 박막 증착 장치가 제공될 수 있다.
상기 마스크 셔터는, 상호간 접근 또는 이격 구동되는 제1 및 제2 셔터부재를 포함할 수 있다.
상기 제1 및 제2 셔터부재는 동일한 구조로서 대칭되게 배치될 수 있다.
상기 제1 및 제2 셔터부재가 맞닿는 단부 영역은 비직선형 라인을 형성할 수 있다.
상기 제1 및 제2 셔터부재가 맞닿는 단부 영역에는 전류의 공급에 기초하여 상대편에 선택적으로 부착 또는 부착 해제되는 전자석이 마련될 수 있다.
상기 제1 및 제2 셔터부재는 일자형 플레이트 타입으로 제작되며, 상기 제1 및 제2 셔터부재를 합한 면적은 상기 마스크 내의 개구 면적보다 크게 마련될 수 있다.
상기 기판 지지모듈은 상기 챔버의 상부 영역에 고정되는 고정식 기판 지지모듈일 수 있으며, 상기 소스는 이동식 소스일 수 있다.
상기 마스크 셔터와 연결되어 상기 마스크 셔터를 구동시키는 셔터 구동부; 및 상기 이동식 소스의 이동에 연동되어 상기 셔터 구동부의 동작을 제어하는 제어부를 더 포함할 수 있다.
상기 기판 지지모듈은 상기 챔버의 상부 영역에서 이동되는 이동식 기판 지지모듈일 수 있으며, 상기 소스는 고정식 소스일 수 있다.
상기 기판 지지모듈은, 모듈 바디; 상기 모듈 바디에 연결되고 상기 마스크를 향한 일측에서 상기 기판이 지지되는 기판 지지용 플레이트; 및 상기 기판 지지용 플레이트에 접촉되는 상기 기판을 해당 위치에서 파지하는 기판 파지부를 포함할 수 있다.
상기 기판 지지용 플레이트는 쿨링 플레이트(cooling plate)일 수 있다.
상기 기판 지지모듈은, 상기 기판 지지용 플레이트에 마련되며, 상기 마스크가 상기 기판에 밀착되면서 면접촉될 수 있도록 상기 기판을 사이에 두고 상기 마스크를 상기 모듈 바디 쪽으로 끌어당기는 자력을 발생시키는 마그네트 어레이를 더 포함할 수 있다.
상기 마그네트 어레이는 상기 기판 지지용 플레이트 내에 매입되게 마련되는 다수의 단위 마그네트의 배열 구조에 의해 마련될 수 있다.
상기 기판은 유기전계발광표시장치(OLED, Organic Light Emitting Display)용 기판일 수 있으며, 상기 증착물질은 유기물질일 수 있다.
상기 기판에 대한 증착 방식은 수평식 상향 증착 방식 또는 수직식 증착 방식일 수 있다.
본 발명에 따르면, 기판의 원하는 위치에 증착물질을 증착시킬 수 있어 우수한 증착품질 향상을 기대할 수 있으며, 특히 마스크를 통해 분사되는 증착물질로 인해 챔버의 내부가 오염되는 현상을 효율적으로 저지시킬 수 있다.
도 1은 유기막과 무기막이 교대로 10층 증착된 유기전계발광표시장치의 개략적인 구조도이다.
도 2 내지 도 5는 각각 본 발명의 일 실시예에 따른 OLED 제조용 박막 증착장치의 동작을 개략적으로 도시한 도면들이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 OLED 제조용 박막 증착장치의 제어블록도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 OLED 제조용 박막 증착장치의 구조도이다.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 OLED 제조용 박막 증착장치의 구조도이다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.
도 1은 유기막과 무기막이 교대로 10층 증착된 유기전계발광표시장치의 개략적인 구조도이다.
이 도면을 참조하면, 유기전계발광표시장치(1, OLED)는 기판과, 기판 상에 적층되는 유기발광소자(3)를 포함할 수 있다.
기판은 유리(glass)로 마련되는 유리기판일 수 있다. 유기발광소자(3)에 대해 도면참조부호 없이 간략하게 설명하면, 유기발광소자(3)는 양극, 3층의 유기막(홀 수송층, 발광층, 전자 수송층), 음극의 적층 구조를 갖는다. 유기 분자는 에너지를 받으면(자, 여기 상태임), 원래의 상태(기저 상태)로 돌아오려고 하는데, 그때에 받은 에너지를 빛으로서 방출하려는 성질을 가진다.
유기발광소자(3)에서는 전압을 걸면 양극으로부터 주입된 홀(＋)과 음극으로부터 주입된 전자(－)가 발광층 내에서 재결합하게 되고, 이때에 유기 분자를 여기해서 발광한다. 이처럼 전압을 가하면 유기물이 빛을 발하는 특성을 이용하여 디스플레이하는 것이 유기전계발광표시장치(1)인데, 유기발광소자(3) 상의 유기물에 따라 R(Red), G(Green), B(Blue)를 발하는 특성을 이용해 풀 칼라(Full Color)를 구현한다.
한편, 유기발광소자(3)는 대기 중의 기체나 수분에 의해 쉽게 손상될 수 있기 때문에 그 수명 문제가 대두될 수 있게 되었고, 이를 해결하기 위해 도 1처럼 유기막과 무기막을 교대로 다수 층 적층함으로써 기체나 수분의 유입으로부터 유기발광소자(3)를 보호하기에 이르렀다.
도 1에는 총 10층의 유기막과 무기막이 교대로 적층되어 있다. 즉 유기발광소자(3)로부터 제1 유기막, 제1 무기막, 제2 유기막, 제2 무기막 ‥ 제5 유기막, 제5 무기막이 순서대로 또한 층별로 증착되어 있다.
이를 자세히 살펴보면, 제1 무기막이 제1 유기막을 완전히 감싸는 형태로, 이어 제2 유기막이 제1 무기막을 부분적으로 감싸는 형태로, 이어 제2 무기막이 제2 유기막을 완전히 감싸는 형태 등으로 막이 증착되어 있는 것을 알 수 있으며, 이와 같은 증착을 위해 아래와 같은 OLED 제조용 박막 증착장치가 요구된다.
도 2 내지 도 5는 각각 본 발명의 일 실시예에 따른 OLED 제조용 박막 증착장치의 동작을 개략적으로 도시한 도면들이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 OLED 제조용 박막 증착장치의 제어블록도이다.
이들 도면을 참조하면, 본 실시예의 OLED 제조용 박막 증착장치는, 챔버(100) 내에서 증착 대상의 기판을 지지하는 기판 지지모듈(130)과, 기판에 이웃하게 배치되는 마스크(110, mask)를 경유하여 기판 쪽으로 증착물질을 제공하는 소스(150, source)와, 마스크(110)에 이웃하게 배치되며, 기판 또는 소스(150) 중 어느 하나의 이동에 연동되어 마스크(110)의 개구(open)를 선택적으로 개폐하는 마스크 셔터(120, mask shutter)를 포함한다.
여기서, 기판은 전술한 바와 같이, 유기전계발광표시장치(OLED, Organic Light Emitting Display)용 기판일 수 있다.
그리고 본 실시예의 경우, 기판 지지모듈(130)은 챔버(100)의 상부 영역에 고정되는 고정식 기판 지지모듈(130)로서, 그리고 소스(150)는 이동식 소스(150)로서 적용된다.
하지만, 반대의 경우도 충분히 가능하다. 즉 기판 지지모듈(130)이 챔버(100)의 상부 영역에서 이동되는 이동식 기판 지지모듈로서 마련되고, 소스(150)는 고정식 소스로 마련될 수도 있을 것인데, 이러한 구조가 적용되더라도 본 발명의 효과를 제공할 수 있다.
챔버(100)는 기판에 대한 증착 공정이 진행되는 장소를 이룬다. 본 실시예의 경우, 기판이 수평으로 배치된 후에 상방으로 향하는 증착물질에 의해 기판에 대한 증착 공정이 진행되는 수평식 상향 증착 방식을 제시하고 있다.
하지만, 기판을 비롯하여 마스크(110) 등의 구성들이 수직되게 혹은 비스듬하게 세워져 배치된 후에 증착되는 수직식 증착 방식이 적용되는 증착장치에도 본 발명의 권리범위가 적용될 수 있을 것이다.
챔버(100)의 내부는 기판에 대한 증착 공정이 신뢰성 있게 진행될 수 있도록 진공 분위기를 형성한다. 이를 위해, 챔버(100)의 일측에는 챔버(100)의 내부를 진공 분위기로 유지하기 위한 수단으로서 진공 펌프(101)가 연결된다. 진공 펌프(101)는 소위, 터보 펌프일 수 있다.
진공 펌프(101)에는 진공 펌프(101)의 진공압 발생을 보조하기 위한 진공압 보조 유닛(102)이 도 2처럼 더 연결되어 사용될 수 있다. 진공압 보조 유닛(102)이 사용되는 경우에는 진공 펌프(101)와 직결로 연결되어 진공 펌프(101)의 진공 정도를 조절하는데 도움을 줄 수 있다.
소스(150)에는 진공 조절 펌프(103)가 연결되어 소스(150)가 적어도 10-7 torr 이하의 진공도를 유지할 수 있도록 하며, 그래야만 증착물질, 즉 유기물질이 증기의 형태로 분사되면서 기판 상의 유기발광소자(3, 도 1 참조) 영역으로 향한 후에 증착될 수 있다.
진공 조절 펌프(103)는 터보 펌프일 수 있으며, 진공 조절 펌프(103)의 후방에는 필터부재(104)가 진공 조절 펌프(103)와 연결되어 챔버(100)내에서 증착되지 않은 물질이 외부로 배출될 때 필터링할 수 있다.
기판 지지모듈(130)은 챔버(100) 내에서 증착 대상의 기판을 지지하는 역할을 한다. 앞서 기술한 것처럼 본 실시예에서 기판 지지모듈(130)은 챔버(100)의 상부 영역에 고정되는 고정식 기판 지지모듈(130)로 마련된다.
이러한 기판 지지모듈(130)은, 모듈 바디(131)와, 모듈 바디(131)에 연결되고 마스크(110)를 향한 일측에서 기판이 지지되는 기판 지지용 플레이트(132)와, 기판 지지용 플레이트(132)에 접촉되는 기판을 해당 위치에서 파지하는 기판 파지부(133)를 포함할 수 있다. 물론, 도면에 도시된 기판 지지모듈(130)이 이상적일 수는 있지만 기판 지지모듈(130)의 구조가 반드시 도면과 같을 필요는 없다.
모듈 바디(131)는 기판 지지모듈(130)의 메인 골격을 이룬다. 나머지 구성들이 모듈 바디(131)에 의해 지지될 수 있다.
기판 지지용 플레이트(132)는 표면에서 기판이 지지되는 장소이다. 참고로, 기판은 별도의 트레이(tray, 미도시)를 통해 롤러(roller) 형태의 트레이 이송부(미도시)를 따라 챔버(100)의 내부로 이송될 수 있으며, 이송된 후에는 기판 지지용 플레이트(132)의 표면에 배치된다.
본 실시예에서 기판 지지용 플레이트(132)는 쿨링 플레이트(132, cooling plate)로 적용된다. 쿨링 플레이트(132)로 적용될 수 있는 기판 지지용 플레이트(132)는 기판의 표면에서 실제 증착 공정이 이루어지기 전에 기판의 온도를 하강시킴으로써 증착 효율을 향상시킬 수 있도록 한다.
물론, 본 발명의 권리범위가 이에 제한될 필요는 없으므로 기판 지지용 플레이트(132)가 쿨링 플레이트(132)로 마련되는 대신에 기판 지지용 플레이트(132) 내에 냉각수나 혹은 냉각공기 주입 라인을 배치하는 것도 충분히 가능하다.
기판 지지용 플레이트(132)의 내부에는 금속 재질의 마스크(110)가 기판에 밀착되면서 면접촉될 수 있도록 기판을 사이에 두고 마스크(110)를 모듈 바디(131) 쪽으로 끌어당기는 자력을 발생시키는 마그네트 어레이(135)가 더 마련된다. 즉 마그네트 어레이(135)는 마스크(110)와 기판이 접촉할 때 자장 형성을 통해 금속 재질인 마스크(110)가 기판에 보다 확실히 밀착하도록 하여 마스크(110)와 기판 사이의 들뜸 현상 등으로 인해 증착 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있도록 한다.
본 실시예에서 마그네트 어레이(135)는 기판 지지용 플레이트(132) 내에 매입되게 마련되는 다수의 단위 마그네트(미도시)의 배열 구조에 의해 마련되나 본 발명의 권리범위가 이에 제한될 필요는 없다.
기판 파지부(133)는 기판 지지용 플레이트(132)의 표면에 배치된 기판을 해당 위치에서 파지하는 수단이다. 도면에는 기판 파지부(133)가 개략적으로 도시되었으나 기판 파지부(133)의 형태와 구조는 다양할 수 있다.
기판 파지부(133)를 마련함에 있어 기판은 마스크(110)와 실질적으로 면접촉 지지되어야 하기 때문에, 기판 파지부(133)가 이를 방해해서는 곤란하다. 따라서 기판 파지부(133)의 선단부가 기판의 표면보다 마스크(110) 쪽으로 더 돌출되는 형태로 마련되는 것은 바람직하지 않다.
마스크(110)는 기판에 이웃하게 배치되며, 소스(150)로부터 기판 쪽으로 향하는 증착물질이 경유되는 장소를 이룬다.
이러한 마스크(110)는 기판의 표면에 미리 결정된 패턴(pattern)으로 증착을 진행하기 위하여 기판의 표면에 접촉 지지될 수 있다. 도면에는 편의를 위해 마스크(110)와 기판을 이격시켜 도시하였다.
한편, 앞서 기술한 바와 같이, 종래기술의 경우, 마스크(110)에 이웃하게 배치되는 마스크 셔터(미도시)가 플레이트 타입으로서 단순 개폐(open/close)되는 구조를 가지고 있기 때문에 기판의 원하는 위치에 증착물질을 증착시키기가 어려웠을 뿐만 아니라 마스크(110)를 통해 분사되는 증착물질로 인한 챔버(100) 내의 오염을 방지시키기에 효율적이지 못하였으나 본 실시예의 경우에는 아래와 같은 효율적인 마스크 셔터(120)를 제안함으로써 종래의 문제점을 효율적으로 해결하고 있는 것이다.
이와 같은 역할을 담당하는 마스크 셔터(120)는 마스크(110)에 이웃하게 배치되며, 도 2 내지 도 5처럼 소스(150)의 이동에 연동되어 마스크(110)의 개구(open)를 선택적으로 개폐하는 역할을 한다.
도 2 내지 도 5처럼 마스크 셔터(120)가 소스(150)의 이동에 연동되어 마스크(110)의 개구를 선택적으로 개폐할 수 있기 때문에, 종래와 달리 기판의 원하는 위치에 증착물질을 증착시킬 수 있어 우수한 증착품질 향상을 기대할 수 있으며, 특히 마스크(110)를 통해 분사되는 증착물질로 인해 챔버(100)의 내부가 오염되는 현상을 효율적으로 저지시킬 수 있게 된다.
이와 같은 역할을 담당하는 마스크 셔터(120)는 상호간 접근 또는 이격 구동되는 제1 및 제2 셔터부재(121,122)를 포함한다. 제1 및 제2 셔터부재(121,122)는 서로 동일한 구조로서 대칭되게 배치될 수 있다.
즉 본 실시예에서 제1 및 제2 셔터부재(121,122)는 일자형 플레이트 타입으로 제작된다. 이처럼 일자형 플레이트 타입으로 제1 및 제2 셔터부재(121,122)가 제작되는 것이 제작상의 이점도 있고 구동상의 이점도 있다. 하지만, 제1 및 제2 셔터부재(121,122)의 형상이 반드시 일자형 플레이트 타입일 필요는 없다. 예컨대, 제1 및 제2 셔터부재(121,122)는 스커트 형상의 구조물일 수도 있다.
본 실시예에서 제1 및 제2 셔터부재(121,122)는 얇은 금속 혹은 플라스틱 판상체로서 일체로 제작될 수 있다.
그리고 본 실시예에서 제1 및 제2 셔터부재(121,122)를 합한 면적은 마스크(110) 내의 개구 면적보다 크게 마련될 수 있는데, 그래야만 마스크(110) 내의 개구를 차폐할 수 있어 마스크(110)를 통한 증착물질의 분사로 인해 챔버(100) 내의 오염을 저지시킬 수 있다.
특히, 도시하지는 않았지만 마스크(110)의 상부에 배치되는 방착판이 증착물질로 인해 오염되는 것을 방지시킬 수 있다. 즉 본 실시예의 경우에는 간단한 구조의 마스크 셔터(120)만을 교체하면 되기 때문에 종래처럼 마스크(110) 상부의 방착판을 수시로 교체할 필요는 없는 것이다.
실제, 방착판은 전량 스테인리스 스틸 재질로 제작되기 때문에 단가가 높은데, 종래처럼 수시로 교체하는 경우에는 유지보수 비용이 증가할 수밖에 없으며, 또한 매번 방착판을 교체하는 데 따른 노력과 시간이 증가하기 때문에 종래에는 생산성에도 차질이 빚어질 수 있다. 하지만, 본 실시예의 경우에는 간단한 구조의 마스크 셔터(120)만을 교체하면 되기 때문에 종래처럼 마스크(110) 상부의 방착판을 수시로 교체할 필요가 없어 방착판 교체에 따른 다양한 문제점을 해소할 수 있게 되는 것이다.
참고로, 증착물질이 잘 달라붙지 않는 재질로 마스크 셔터(120)를 제작할 수만 있다면 마스크 셔터(120)의 교체 주기를 좀 더 늘릴 수 있어 생산성 향상에 기여할 수도 있을 것이다.
본 실시예에서 제1 및 제2 셔터부재(121,122)가 맞닿는 단부 영역은 도 2에 확대 도시한 바와 같이, 비직선형 라인을 형성한다. 즉 한쪽의 단부가 다른 쪽의 단부를 덮어 오버랩시키는 형상으로 제1 및 제2 셔터부재(121,122)의 단부가 형성된다. 이와 같은 구조를 가질 경우, 제1 및 제2 셔터부재(121,122)가 맞닿는 단부 영역을 통해서 증착물질이 분사되어 챔버(100) 내부가 오염되는 현상을 더욱 저지시킬 수 있다.
한편, 도 6에 도시된 바와 같이, 본 실시예의 OLED 제조용 박막 증착 장치는 마스크 셔터(120)와 연결되어 마스크 셔터(120)를 구동시키는 셔터 구동부(160)와, 소스(150)의 이동에 연동되어 셔터 구동부(160)의 동작을 제어하는 제어부(170)를 더 포함할 수 있다.
이러한 구성을 갖는 OLED 제조용 박막 증착장치의 작용에 대해 간략하게 알아보면 다음과 같다.
도 2 내지 도 5처럼 소스(150)가 이동될 때 제1 셔터부재(121)가 이동됨으로써 제1 및 제2 셔터부재(121,122) 사이에서 열리는 마스크(110) 내의 개구를 통해 기판의 원하는 위치에 증착이 이루어질 수 있다.
한편, 기판에 대한 증착이 완료됨과 동시에 혹은 소스(150)의 이동에 연동되어 제2 셔터부재(122)가 뒤따르게 되는데, 이와 같은 제2 셔터부재(122)의 이동에 의하여 마스크(110) 내의 개구가 차폐되도록 함으로써 마스크(110)를 통해 증착물질이 비산되어 챔버(100)의 내부가 오염되는 현상을 효율적으로 저지시킬 수 있게 된다.
이와 같은 구조와 동작을 갖는 본 실시예의 OLED 제조용 박막 증착장치에 따르면, 마스크(110)의 사이즈 대비 처짐을 종래 보다 현저히 감소시킬 수 있고 챔버(100)의 공간도 종래보다 감소시킬 수 있을 뿐만 아니라 기판과 마스크(110)의 얼라인이 정밀하게 이루어질 수 있어 특히, 대형 OLED 양산 제조에 적합하게 적용될 수 있게 된다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 OLED 제조용 박막 증착장치의 구조도이고, 도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 OLED 제조용 박막 증착장치의 구조도이다.
이들 도면을 참조하면, 제1 및 제2 셔터부재(121,122)가 맞닿는 단부 영역에는 전류의 공급에 기초하여 상대편에 선택적으로 부착 또는 부착 해제되는 전자석(210,220)이 마련될 수 있다.
도 7은 제1 셔터부재(121)에만 전자석(210)이 마련되어 금속 재질의 제2 셔터부재(122)의 단부에 결합되는 경우이고, 도 8은 제1 및 제2 셔터부재(121,122) 모두에 전자석(210,220)이 마련된 경우이다. 특히, 도 8과 같을 경우, 제1 및 제2 셔터부재(121,122)가 반드시 금속 재질일 필요는 없다.
어떠한 구조이든지 제1 및 제2 셔터부재(121,122)가 맞닿는 단부 영역에 전자석(210,220)이 마련되면 예컨대, 도 2처럼 혹은 도 5처럼 제1 및 제2 셔터부재(121,122)가 닫혀야 하는 경우에 있어 전자석(210,220)으로 전류를 공급하면, 제1 및 제2 셔터부재(121,122)가 자기적으로 부착될 수 있기 때문에 제1 및 제2 셔터부재(121,122)의 간격이 벌어지지 않아 유리한 효과를 이끌어낼 수 있다.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
100 : 챔버 110 : 마스크
120 : 마스크 셔터 121,122 : 제1 및 제2 셔터부재
130 : 기판 지지모듈 131 : 모듈 바디
132 : 기판 지지용 플레이트 133 : 기판 파지부
135 : 마그네트 어레이 150 : 소스
160 : 셔터 구동부 170 : 제어부

Claims (15)

  1. 챔버 내에서 증착 대상의 기판을 지지하는 기판 지지모듈;
    상기 기판에 이웃하게 배치되는 마스크(mask)를 경유하여 상기 기판 쪽으로 증착물질을 제공하는 소스(source); 및
    상기 마스크에 이웃하게 배치되며, 상기 기판 또는 상기 소스 중 어느 하나의 이동에 연동되어 상기 마스크의 개구(open)를 선택적으로 개폐하는 마스크 셔터(mask shutter)를 포함하며,
    상기 마스크 셔터는 상호간 접근 또는 이격 구동되는 제1 및 제2 셔터부재를 포함하며,
    상기 제1 및 제2 셔터부재가 맞닿는 단부 영역은 비직선형 라인을 형성하는 것을 특징으로 하는 OLED 제조용 박막 증착 장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 셔터부재는 동일한 구조로서 대칭되게 배치되는 것을 특징으로 하는 OLED 제조용 박막 증착 장치.
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 셔터부재가 맞닿는 단부 영역에는 전류의 공급에 기초하여 상대편에 선택적으로 부착 또는 부착 해제되는 전자석이 마련되는 것을 특징으로 하는 OLED 제조용 박막 증착 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 셔터부재는 일자형 플레이트 타입으로 제작되며, 상기 제1 및 제2 셔터부재를 합한 면적은 상기 마스크 내의 개구 면적보다 크게 마련되는 것을 특징으로 하는 OLED 제조용 박막 증착 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 기판 지지모듈은 상기 챔버의 상부 영역에 고정되는 고정식 기판 지지모듈이며,
    상기 소스는 이동식 소스인 것을 특징으로 하는 OLED 제조용 박막 증착 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 마스크 셔터와 연결되어 상기 마스크 셔터를 구동시키는 셔터 구동부; 및
    상기 이동식 소스의 이동에 연동되어 상기 셔터 구동부의 동작을 제어하는 제어부를 더 포함하는 것을 OLED 제조용 박막 증착 장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 기판 지지모듈은 상기 챔버의 상부 영역에서 이동되는 이동식 기판 지지모듈이며,
    상기 소스는 고정식 소스인 것을 특징으로 하는 OLED 제조용 박막 증착 장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 기판 지지모듈은,
    모듈 바디;
    상기 모듈 바디에 연결되고 상기 마스크를 향한 일측에서 상기 기판이 지지되는 기판 지지용 플레이트; 및
    상기 기판 지지용 플레이트에 접촉되는 상기 기판을 해당 위치에서 파지하는 기판 파지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 OLED 제조용 박막 증착 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 기판 지지용 플레이트는 쿨링 플레이트(cooling plate)인 것을 특징으로 하는 OLED 제조용 박막 증착 장치.
  12. 제10항에 있어서,
    상기 기판 지지모듈은,
    상기 기판 지지용 플레이트에 마련되며, 상기 마스크가 상기 기판에 밀착되면서 면접촉될 수 있도록 상기 기판을 사이에 두고 상기 마스크를 상기 모듈 바디 쪽으로 끌어당기는 자력을 발생시키는 마그네트 어레이를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 OLED 제조용 박막 증착 장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 마그네트 어레이는 상기 기판 지지용 플레이트 내에 매입되게 마련되는 다수의 단위 마그네트의 배열 구조에 의해 마련되는 것을 특징으로 하는 OLED 제조용 박막 증착 장치.
  14. 제1항에 있어서,
    상기 기판은 유기전계발광표시장치(OLED, Organic Light Emitting Display)용 기판이며,
    상기 증착물질은 유기물질인 것을 특징으로 하는 OLED 제조용 박막 증착장치.
  15. 제1항에 있어서,
    상기 기판에 대한 증착 방식은 수평식 상향 증착 방식 또는 수직식 증착 방식인 것을 특징으로 하는 OLED 제조용 박막 증착장치.
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