KR101427284B1 - method and apparatus for inspecting hanger and clamp of electroplating apparatus - Google Patents

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Abstract

본 발명은 전해도금장치용 행거 및 클램프의 불량여부 검사방법 및 검사장치에 관한 것으로서, 특히 행거 및 클램프의 전류통전량을 검사하고, 클램프의 파지력을 검사여, 불량행거를 보다 정확하게 검출할 수 있는 전해도금장치용 행거 및 클램프의 불량여부 검사방법 및 검사장치에 관한 것이다.
본 발명의 전해도금장치용 행거 및 클램프의 불량여부 검사방법은, 도금이송라인을 따라 설치된 레일을 따라 이동하는 행거와, 상기 행거에 전류를 공급하는 상기 레일 사이의 전류통전량을 측정하는 행거통전량측정단계와; 상기 행거에 설치되어 기판을 파지하고 상기 행거로부터 공급된 전류를 상기 기판에 전달하는 클램프의 전류통전량을 측정하는 클램프통전량측정단계와; 상기 클램프의 파지력을 측정하는 파지력측정단계를 포함하여 이루어지되, 상기 행거통전량측정단계, 클램프통전량측정단계, 파지력측정단계 중 어느 하나 이상에서 측정한 측정값이 미리 설정된 허용범위에 있지 않으면 제품불량으로 판단하는 것을 특징으로 한다.The present invention relates to a hanger for an electroplating apparatus and a method for inspecting a defect of a clamp and an inspection apparatus. More particularly, the present invention relates to an inspection apparatus for inspecting a hanging hanger by inspecting a current carrying amount of a hanger and a clamp, A hanger for an electrolytic plating apparatus, a method for inspecting whether or not a clamp is defective, and an inspection apparatus.
A hanger for an electroplating apparatus and a method for inspecting a clamp for an electroplating apparatus according to the present invention includes a hanger for moving along a rail provided along a plating transfer line and a hanger unit for measuring a current passing amount between the rail for supplying current to the hanger A total quantity measuring step; A clamping amount measuring step of measuring a current carrying amount of a clamp installed on the hanger and gripping the substrate and transferring the current supplied from the hanger to the substrate; And a gripping force measuring step of measuring a gripping force of the clamp, wherein if the measured value measured at any one or more of the hanger energization amount measuring step, the clamp energizing amount measuring step, and the gripping force measuring step is not within the preset allowable range, It is judged that it is defective.

Description

전해도금장치용 행거 및 클램프의 불량여부 검사방법 및 검사장치 { METHOD AND APPARATUS FOR INSPECTING HANGER AND CLAMP OF ELECTROPLATING APPARATUS }TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a hanger for an electrolytic plating apparatus, and a method of inspecting a hanger and a clamp of the electrolytic plating apparatus,

본 발명은 전해도금장치용 행거 및 클램프의 불량여부 검사방법 및 검사장치에 관한 것으로서, 특히 행거 및 클램프의 전류통전량을 검사하고, 클램프의 파지력을 검사여, 불량행거를 보다 정확하게 검출할 수 있는 전해도금장치용 행거 및 클램프의 불량여부 검사방법 및 검사장치에 관한 것이다.The present invention relates to a hanger for an electroplating apparatus and a method for inspecting a defect of a clamp and an inspection apparatus. More particularly, the present invention relates to an inspection apparatus for inspecting a hanging hanger by inspecting a current carrying amount of a hanger and a clamp, A hanger for an electrolytic plating apparatus, a method for inspecting whether or not a clamp is defective, and an inspection apparatus.

수직연속 도금장치는 인쇄회로기판과 같은 평판 형상의 기판을 행거에 파지한 상태에서 도금조에 침지시킨 후, 상기 기판의 침지상태를 유지한 채로 연속적으로 이송시켜가면서 전기를 공급하여 도금하는 방식이다.The vertical continuous plating apparatus is a system in which a plate-shaped substrate such as a printed circuit board is immersed in a plating bath while holding the substrate in a hanger, and then electricity is supplied while continuously transferring the substrate while maintaining the immersed state.

상기 행거에는 다수개의 클램프가 장착되어 기판을 파지한다.A plurality of clamps are mounted on the hanger to grip the substrate.

상기 행거는 급전수단인 레일을 따라 이동하다가 도금조에 도달하게 되며, 상기 레일로부터 공급받은 전류를 상기 기판에 전달하여, 상기 기판의 표면에 도금층이 형성되도록 한다.The hanger moves along a rail as a power supply unit, reaches a plating bath, and transfers a current supplied from the rail to the substrate, thereby forming a plating layer on the surface of the substrate.

등록특허공보 제10-1074361호에는, 행거에 전기적인 문제가 있을 경우 이러한 불량행거를 검출하는 기술이 게재되어 있다.Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-1074361 discloses a technique for detecting such a bad hanger when there is an electrical problem in the hanger.

그러나, 등록특허공보 제10-1074361호에는, 행거의 전기적 상태를 측정하는 측정부가 행거에만 연결되어 있어, 단순히 행거 자체의 전기적 불량여부만을 측정할 수 있다.However, in Japanese Patent Application No. 10-1074361, only the measuring unit for measuring the electrical condition of the hanger is connected to the hanger, so that it is possible to measure only whether or not the hanger itself is electrically defective.

따라서, 행거가 전기통전과 관련해서는 정상이지만, 클램프가 전기적으로 불량이거나 클램프의 파지력 등이 불량인 경우에는 이를 검출할 없어, 기판에 도금불량이 발생하게 되는 단점이 있다.Therefore, when the hanger is electrically connected, it is normal. However, when the clamp is electrically defective or the clamping force of the clamp is poor, the hanger is not detected and the plating is defective on the substrate.

본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로써, 행거의 전기적 상태뿐만 아니라, 클램프의 전기적 상태 및 클램프의 파지력을 검사하여, 불량 행거를 검출시켜 제품 불량률을 낮추고 제품의 신뢰성을 높일 수 있는 전해도금장치용 행거 및 클램프의 불량여부 검사방법 및 검사장치를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide an electroplating apparatus capable of detecting not only the electrical state of a hanger but also an electric state of a clamp and a gripping force of a clamp, thereby detecting a defective hanger, And a method for inspecting whether or not a hanger and a clamp of the apparatus are defective.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 전해도금장치용 행거 및 클램프의 불량여부 검사방법은, 레일에 체결된 행거와, 상기 행거에 전류를 공급하는 상기 레일 사이의 전류통전량을 측정하는 행거통전량측정단계와; 상기 행거에 설치되어 기판을 파지하고 상기 행거로부터 공급된 전류를 상기 기판에 전달하는 클램프의 전류통전량 또는 파지력을 측정하는 클램프측정단계를 포함하여 이루어지되, 상기 행거통전량측정단계 또는 클램프측정단계 중 어느 하나 이상에서 측정한 측정값이 미리 설정된 허용범위에 있지 않으면 제품불량으로 판단하는 것을 특징으로 한다.In order to attain the above object, the present invention provides a method for inspecting a hanger and a clamp for an electrolytic plating apparatus for an electrolytic plating apparatus, the method comprising the steps of: measuring the amount of current flowing between a hanger fastened to a rail and a rail supplying current to the hanger; A measuring step; And a clamp measuring step of measuring a current carrying amount or gripping force of a clamp installed in the hanger and holding a substrate and transferring the current supplied from the hanger to the substrate, wherein the hanger carrying amount measuring step or the clamp measuring step The determination is made that the product is defective if the measured value measured in any one or more of the above-

상기 행거통전량측정단계는, 상기 행거가 정지된 상태와, 상기 행거가 상기 레일을 따라 이동하는 도중에 각각의 전류통전량을 측정한다.The step of measuring the amount of hanger electric power measures the amount of electric current flowing in each of the hanger stopped state and the moving direction of the hanger along the rail.

상기 행거통전량측정단계에서 측정된 측정값이 미리 설정된 허용범위에 있으면 상기 클램프측정단계를 수행하고, 미리 설정된 허용범위에 없으면 제품불량으로 판단하여 경고를 발생시키는 제1판단단계와; 상기 클램프측정단계에서 측정된 측정값이 미리 설정된 허용범위에 있으면 제품정상으로 판단하고, 미리 설정된 허용범위에 없으면 제품불량으로 판단하여 경고를 발생시키는 클램프판단단계를 더 포함하여 이루어진다.A first determining step of performing the clamp measuring step if the measured value measured in the hanger carrying amount measuring step is within a preset allowable range, and generating a warning by judging that the product is defective if the measured value is not within the preset allowable range; Further comprising a clamp determination step of determining that the product is normal when the measured value measured in the clamp measuring step is within a preset allowable range, and generating a warning when it is determined that the product is defective if the measured value is not within the preset tolerable range.

상기 행거통전량측정단계 이전에 상기 행거에 개별인식표를 장착하는 인식표장착단계를 더 포함하여 이루어지되, 상기 행거통전량측정단계 또는 클램프측정단계에서는 상기 개별인식표가 장착된 각각의 행거에 대한 측정값을 개별적으로 추적관리한다.Further comprising a tag attaching step of attaching an individual tag to the hanger before the step of measuring the amount of hanger passage, wherein in the step of measuring the amount of hanger passage or the clamp measuring step, Respectively.

그리고, 폐루프 형상의 도금이송라인을 따라 상기 레일이 설치되고, 상기 행거는 상기 레일을 따라 상기 도금이송라인을 이동하되, 상기 행거통전량측정단계 또는 클램프측정단계 중 어느 하나 이상에서 제품불량으로 판단된 행거를 도금이송라인의 외부로 배출하는 행거배출단계와; 상기 행거통전량측정단계 또는 클램프측정단계의 완료 후 도금이송라인의 외부로 배출된 행거의 수만큼 새로운 정상 행거를 상기 행거의 도금이송라인에 투입하는 행거투입단계를 더 포함하여 이루어진다.The rails are installed along a closed-loop plating transfer line, and the hanger moves the plating transfer line along the rails. In the hanger hanger amount measuring step or the clamp measuring step, A hanger discharging step of discharging the judged hanger to the outside of the plating transfer line; And a hanger placing step of putting a new normal hanger into the plating transferring line of the hanger as many times as the number of hanger discharged to the outside of the plating transferring line after completion of the hanger passing amount measuring step or the clamp measuring step.

또한, 상기 클램프측정단계는, 상기 클램프의 전류통전량을 측정하는 클램프통전량측정단계와; 상기 클램프의 파지력을 측정하는 파지력측정단계로 이루어진다.The clamp measuring step may include: a clamping amount measuring step of measuring a current carrying amount of the clamp; And a gripping force measuring step of measuring the gripping force of the clamp.

이때에는, 상기 행거통전량측정단계에서 측정된 측정값이 미리 설정된 허용범위에 있으면 상기 클램프측정단계를 수행하고, 미리 설정된 허용범위에 없으면 제품불량으로 판단하여 경고를 발생시키는 제1판단단계와; 상기 클램프통전량측정단계 또는 파지력측정단계 중 어느 하나에서 측정된 측정값이 미리 설정된 허용범위에 있으면 상기 클램프통전량측정단계 또는 파지력측정단계 중 나머지 단계를 수행하고, 미리 설정된 허용범위에 없으면 제품불량으로 판단하여 경고를 발생시키는 제2판단단계와; 상기 클램프통전량측정단계 또는 파지력측정단계 중 나머지 단계에서 측정된 측정값이 미리 설정된 허용범위에 있으면 제품정상으로 판단하고, 미리 설정된 허용범위에 없으면 제품불량으로 판단하여 경고를 발생시키는 제3판단단계를 더 포함하여 이루어진다.In this case, the clamp measuring step is performed when the measured value measured in the hanger carrying amount measuring step is within a predetermined allowable range, and a warning is issued when it is determined that the product is defective if the measured value is not within the preset allowable range. If the measurement value measured in any one of the clamping amount measuring step or the gripping force measuring step is within a predetermined allowable range, the remaining steps of the clamping amount measuring step or the gripping force measuring step are performed, And generating a warning; A third determination step of determining that the product is normal if the measured value measured in the remaining step of the clamping power supply measuring step or the gripping force measuring step is in a preset allowable range, .

한편, 상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 전해도금장치용 행거 및 클램프의 불량여부 검사장치는, 전류를 공급하는 레일과; 상기 레일을 따라 이동하는 행거와; 상기 행거에 설치되어 기판을 파지하는 클램프와; 상기 레일과 행거 사이의 전류통전량 및 상기 행거와 클램프 사이의 전류통전량을 측정하는 통전측정기와; 상기 통전측정기 의해 측정된 측정값에 의해 제품의 불량여부를 판단하는 검사판단부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, there is provided an apparatus for inspecting a hanger and a clamp for an electrolytic plating apparatus, comprising: a rail for supplying current; A hanger moving along the rail; A clamp installed on the hanger to grip the substrate; An energization measuring device for measuring a current carrying amount between the rail and the hanger and a current carrying amount between the hanger and the clamp; And a test determination unit for determining whether the product is defective based on the measured value measured by the electrification measuring device.

상기 클램프에 삽입되는 통전측정판을 더 포함하여 이루어지되, 상기 통전측정기는, 일단이 상기 행거에 연결되고, 타단이 상기 클램프에 삽입되는 통전측정판에 연결되어 상기 행거와 클램프 사이의 전류통전량을 측정하여 기록한다.Wherein the energizing measuring instrument is connected to the energizing measuring plate, one end of which is connected to the hanger and the other end of which is inserted into the clamp, so that the amount of electric current flowing between the hanger and the clamp Is measured and recorded.

폐루프 형상의 도금이송라인을 따라 상기 레일이 설치되고, 상기 행거는 이송부에 의해 상기 레일을 따라 상기 도금이송라인을 이동하도록 설치되되, 상기 검사판단부에서 제품불량으로 판단된 행거를 도금이송라인의 외부로 배출시키는 배출부와; 상기 배출부를 통해 배출된 행거의 수만큼 새로운 정상 행거를 상기 행거의 도금이송라인에 투입하는 투입부를 더 포함하여 이루어진다.Wherein the rail is installed along a closed-loop plating transfer line, and the hanger is installed to move the plating transfer line along the rail by a transfer unit, A discharge unit for discharging the gas to the outside of the chamber; And a charging unit for charging a new normal hanger to the plating transferring line of the hanger by the number of hanger discharged through the discharging unit.

그리고, 상기 기판을 파지하는 상기 클램프의 파지력을 측정하는 파지력측정기를 더 포함하여 이루어지되, 상기 검사판단부에서는, 상기 통전측정기 및 파지력측정기 의해 측정된 측정값에 의해 제품의 불량여부를 판단한다.The apparatus further comprises a gripping force measuring unit for measuring a gripping force of the clamp holding the substrate, wherein the inspection determining unit determines whether or not the product is defective based on the measured values measured by the energization measuring unit and the gripping force measuring unit.

또한, 상기 클램프에 삽입되는 푸시풀게이지를 더 포함하여 이루어지되, 상기 파지력측정기는 상기 푸시풀게이지에 연결되어 상기 클램프의 파지력을 측정하여 기록한다.The grip force measuring device further includes a push-pull gauge inserted into the clamp, wherein the grip force measuring device is connected to the push-pull gauge to measure and record the gripping force of the clamp.

이상에서 설명한 바와 같은 본 발명의 전해도금장치용 행거 및 클램프의 불량여부 검사방법 및 검사장치에 따르면, 아래와 같은 효과가 있다.According to the hanger for the electroplating apparatus of the present invention and the inspection method and inspection apparatus for the defect of the clamp as described above, the following effects can be obtained.

행거의 전기적 불량 여부 뿐만아니라 클램프의 전기적 불량여부 및 클램프의 파지력 불량여부를 모두 검사할 수 있어, 더욱 정확하게 불량 행거를 검출할 수 있다.It is possible to check both the electrical failure of the clamp and the poor gripping force of the clamp as well as whether the hanger is electrically defective or not, thereby more accurately detecting the defective hanger.

따라서, 도금제품 불량률을 낮추고 제품의 신뢰성을 높일 수 있다.Therefore, it is possible to lower the defective product rate of plating and increase the reliability of the product.

또한, 투입부와 배출부에 의해 연속도금라인에서 불량행거가 발생되더라도 도금공정이 끊김없이 연속적으로 이루어지도록 할 수 있다.In addition, even if a bad hanger is generated in the continuous plating line by the charging unit and the discharging unit, the plating process can be continuously performed without interruption.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 전해도금장치용 행거 및 클램프의 불량여부 검사장치의 구성도,
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 전해도금장치용 행거 및 클램프의 불량여부 검사장치가 도금이송라인에 설치된 구성도,
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 전해도금장치용 행거 및 클램프의 불량여부 검사방법의 순서도,
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 전해도금장치용 행거 및 클램프의 불량여부 검사방법에서 행거통전량측정단계를 설명하기 위한 설명도,
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 전해도금장치용 행거 및 클램프의 불량여부 검사방법에서 클램프통전량측정단계를 설명하기 위한 설명도,
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 전해도금장치용 행거 및 클램프의 불량여부 검사방법에서 파지력측정단계를 설명하기 위한 설명도,1 is a configuration diagram of a hanger for an electroplating apparatus and a clamp defect inspection apparatus according to an embodiment of the present invention,
FIG. 2 is a view showing a hanger for an electrolytic plating apparatus and a clamp defect inspection apparatus according to an embodiment of the present invention,
3 is a flow chart of a method of checking whether or not a hanger and a clamp are bad for an electrolytic plating apparatus according to an embodiment of the present invention,
FIG. 4 is an explanatory view for explaining a step of measuring a hanging amount in the hanger for an electroplating apparatus and the method for checking whether or not a clamp is broken according to an embodiment of the present invention;
FIG. 5 is an explanatory view for explaining a step of measuring a clamping current amount in the method of checking whether a hanger and a clamp are bad for an electroplating apparatus according to an embodiment of the present invention;
6 is an explanatory view for explaining a gripping force measuring step in a hanger for an electroplating apparatus according to an embodiment of the present invention,

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 전해도금장치용 행거 및 클램프의 불량여부 검사장치의 구성도이고, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 전해도금장치용 행거 및 클램프의 불량여부 검사장치가 도금이송라인에 설치된 구성도이다.FIG. 1 is a configuration diagram of a hanger and clamp defect inspection apparatus for an electrolytic plating apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a hanger for an electrolytic plating apparatus according to an embodiment of the present invention, And a plating transfer line.

도 1에 도시된 바와 같이 본 발명의 전해도금장치용 행거 및 클램프의 불량여부 검사장치(100)는, 레일(10)과, 행거(20)와, 이송부(30)와, 클램프(40)와, 통전측정기(50)와, 파지력측정기(60)와, 검사판단부(70) 등을 포함하여 이루어진다.1, the hanger and clamp defect inspection apparatus 100 for an electrolytic plating apparatus according to the present invention includes a rail 10, a hanger 20, a transfer unit 30, a clamp 40, An energization measuring device 50, a gripping force measuring device 60, a test determination section 70, and the like.

도 1은 본 발명의 검사장치(100)가 도금이송라인에 설치된 것이 아니라, 별도로 설치된 것을 도시하고 있다.Fig. 1 shows that the inspection apparatus 100 of the present invention is not installed in the plating transfer line but installed separately.

상기 레일(10)은 상기 행거(20)에 전류를 공급하는 급전바로 작용한다.The rails (10) act as power feeders for supplying electric current to the hanger (20).

상기 행거(20)는 상기 레일(10)을 따라 이동 가능하게 장착된다.The hanger (20) is mounted movably along the rail (10).

상기 이송부(30)는 상기 행거(20)가 상기 레일(10)을 따라 이동하도록 구동력을 가한다.The conveying unit 30 applies a driving force to move the hanger 20 along the rail 10. [

이러한 상기 이송부(30)는 컨베이어 등으로 이루어진다.The conveying unit 30 is made of a conveyor or the like.

경우에 따라 상기 이송부(30)없이 상기 행거(20)를 수동으로 이동시킬 수도있다.The hanger 20 may be manually moved without the transporting unit 30 as the case may be.

상기 클램프(40)는 다수개로 이루어져 상기 행거(20)의 상부, 하부, 측부 등에 설치되어, 도금의 대상물인 기판을 파지한다.The clamp 40 is formed of a plurality of clamps, and is installed on the upper, lower, side, and the like of the hanger 20 to grasp the substrate, which is an object of plating.

상기 통전측정기(50)는 상기 레일(10)과 행거(20) 사이의 전류통전량 및 상기 행거(20)와 클램프(40) 사이의 전류통전량을 측정한다.The energization measuring device 50 measures a current carrying amount between the rail 10 and the hanger 20 and a current carrying amount between the hanger 20 and the clamp 40.

상기 파지력측정기(60)는 상기 기판을 파지하는 상기 클램프(40)의 파지력을 측정한다.The gripping force measuring device (60) measures the gripping force of the clamp (40) holding the substrate.

본 발명에서는 상기 클램프(40)의 전류통전량을 보다 잘 측정하도록 하기 위해, 상기 클램프(40)에 삽입되는 통전측정판(55)을 더 포함하여 이루어진다.The present invention further includes an energization measuring plate 55 inserted into the clamp 40 to measure the current passing amount of the clamp 40 more easily.

상기 통전측정기(50)는, 일단이 상기 행거(20)에 연결되고, 타단이 상기 클램프(40)에 삽입되는 통전측정판(55)에 연결되어 상기 행거(20)와 클램프(40) 사이의 전류통전량을 측정하여 기록한다.The energization measuring instrument 50 is connected to the energizing measuring plate 55 whose one end is connected to the hanger 20 and the other end is inserted into the clamp 40 so that the distance between the hanger 20 and the clamp 40 Measure and record the current flow rate.

또한, 상기 클램프(40)의 파지력을 보다 잘 측정하도록 하기 위해, 상기 클램프(40)에 삽입되는 푸시풀게이지(65)를 더 포함하여 이루어진다.Further, it further includes a push-pull gauge 65 inserted in the clamp 40 to better measure the gripping force of the clamp 40.

상기 파지력측정기(60)는 상기 푸시풀게이지(65)에 연결되어 상기 클램프(40)의 파지력을 측정하여 기록한다.The gripping force measuring instrument 60 is connected to the push-pull gauge 65 to measure and record the gripping force of the clamp 40.

상기 검사판단부(70)는, 상기 통전측정기(50) 및 파지력측정기(60) 의해 측정된 측정값이 미리 설정된 허용범위 이내에 있는지 산출하여, 제품 즉 행거(20)의 불량여부를 판단한다.The inspection determination unit 70 determines whether the measurement value measured by the energization measuring device 50 and the gripping force measuring device 60 is within a predetermined allowable range and determines whether the product or the hanger 20 is defective.

상기 검사판단부(70)에서는 제품불량으로 판단된 행거(20)가 있을 경우에는, 이를 소리, 램프 등을 통해 작업자에게 알려주도록 한다.If there is a hanger (20) judged as a product defect, the inspection and determination unit (70) informs the operator of the hanger (20) through a sound, a lamp or the like.

경우에 따라 본 발명은 상기 파지력측정기(60)없이 상기 행거(20) 및 클램프(40)의 전류통전량만을 측정하도록 할 수도 있다.The present invention may be adapted to measure only the amount of current flowing through the hanger 20 and the clamp 40 without the gripping force measuring instrument 60. [

한편, 위와 같은 본 발명의 검사장치(100)가 폐루프 형상으로 이루어진 도금이송라인에 설치된 경우에는, 도 2에 도시된 바와 같은 구성으로 이루어지도록 한다.On the other hand, when the inspection apparatus 100 according to the present invention as described above is installed in a closed-loop plating transfer line, the inspection apparatus 100 is configured as shown in FIG.

이때, 상기 레일(10)은 폐루프 형상의 도금이송라인(L)을 따라 설치되고, 상기 행거는 이송부(30)에 의해 상기 레일(10)을 따라 상기 도금이송라인(L)을 이동하도록 설치된다.At this time, the rail 10 is installed along a closed-loop plating transfer line L, and the hanger is installed to move the plating transfer line L along the rail 10 by the transfer unit 30 do.

도 2에 도시된 바와 같이 인라인 즉 도금이송라인(L)의 중간에 검사장치(100)가 설치된 경우에는, 상기 통전측정기(50) 및/또는 파지력측정기(60)에 의해 제품불량으로 판단된 행거(20)를 도금이송라인(L)의 외부로 배출시키는 배출부(90)와, 상기 배출부(90)를 통해 배출된 행거(20)의 수만큼 새로운 정상 행거(20)를 상기 행거(20)의 도금이송라인(L)에 투입하는 투입부(80)를 더 포함하여 이루어진다.When the inspection apparatus 100 is installed in the middle of the inline or plating transfer line L as shown in FIG. 2, the hanging force measuring device 50 and / (20) to the outside of the plating transfer line (L), and a new normal hanger (20) as many as the number of hanger (20) discharged through the discharge portion (90) To the plating transfer line (L) of the plating liquid transfer line (L).

상기 행거(20)를 도금이송라인(L)의 외부로 배출시키거나 투입시키는 것은 별도의 이송수단을 이용하여 이루어지도록 한다.The hanger (20) is discharged or introduced outside the plating transfer line (L) by using a separate transfer means.

그리고, 본 발명의 전해도금장치용 행거 및 클램프의 불량여부 검사방법은 도 3 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 인식표장착단계(S1)와, 행거통전량측정단계(S2)와, 제1판단단계(S3)와, 클램프측정단계와, 클램프판단단계를 포함하여 이루어진다.3 to 6, the method for inspecting the hanger and the clamp for the electrolytic plating apparatus according to the present invention includes a tag attaching step S1, a hanger carry amount measuring step S2, A step S3, a clamp measuring step, and a clamp judging step.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 전해도금장치용 행거(20) 및 클램프(40)의 불량여부 검사방법의 순서도이고, 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 전해도금장치용 행거(20) 및 클램프(40)의 불량여부 검사방법에서 행거통전량측정단계(S2)를 설명하기 위한 설명도이며, 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 전해도금장치용 행거(20) 및 클램프(40)의 불량여부 검사방법에서 클램프통전량측정단계(S4)를 설명하기 위한 설명도이고, 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 전해도금장치용 행거(20) 및 클램프(40)의 불량여부 검사방법에서 파지력측정단계(S6)를 설명하기 위한 설명도이다.FIG. 3 is a flow chart of a method for inspecting the hanger 20 and the clamp 40 for an electroplating apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG. 4 is a view showing a hanger 20 for an electroplating apparatus according to an embodiment of the present invention, 5 is a perspective view illustrating a hanger 20 and a clamp 40 for an electrolytic plating apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG. 6 is an explanatory view for explaining the step of measuring the clamping amount of the hanger 20 for the electrolytic plating apparatus according to the embodiment of the present invention and the inspection method of the defectiveness of the clamp 40 The gripping force measuring step S6 in Fig.

상기 인식표장착단계(S1)는, 상기 행거통전량측정단계(S2)가 수행되기 이전에 상기 행거(20)에 QR코드, 바코드 등과 같은 개별인식표(25)를 장착하는 단계이다.The tag attaching step S1 is a step of attaching an individual tag 25 such as a QR code, a bar code or the like to the hanger 20 before the step of measuring the hanging amount of the hanger S2 is performed.

위와 같이 상기 행거(20)에 개별인식표(25)를 장착함으로써, 상기 행거통전량측정단계(S2), 클램프통전량측정단계(S4), 파지력측정단계(S6) 등에서 상기 개별인식표(25)가 장착된 각각의 행거(20)에 대한 측정값을 개별적으로 추적하여 관리할 수 있게 된다.By mounting the individual identification tags 25 on the hanger 20 as described above, the individual identification tags 25 can be detected in the hanger electric current amount measuring step S2, the clamp electric current amount measuring step S4 and the gripping force measuring step S6, It is possible to individually track and manage the measured values for each mounted hanger 20.

상기 행거통전량측정단계(S2)는, 레일(10)을 따라 이동하는 상기 행거(20)와, 상기 행거(20)에 전류를 공급하는 상기 레일(10) 사이의 전류통전량을 측정하는 단계이다.The step of measuring the amount of hanger electric power S2 comprises the steps of measuring the amount of electric current flowing between the hanger 20 moving along the rail 10 and the rail 10 supplying electric current to the hanger 20 to be.

상기 행거통전량측정단계(S2)는, 상기 행거(20)가 정지된 상태에서 상기 행거(20)와 레일(10) 사이의 전류통전량을 측정하고, 상기 행거(20)가 상기 레일(10)을 따라 이동하는 상태에서 상기 행거(20)와 레일(10) 사이의 전류통전량을 측정하여 기록한다.The hanging amount measuring step S2 measures the amount of electric current flowing between the hanger 20 and the rail 10 while the hanger 20 is stopped, The amount of electric current flowing between the hanger 20 and the rail 10 is measured and recorded.

특히, 상기 행거(20)가 레일(10)을 따라 이동하는 도중에는 상기 행거(20)와 레일(10) 사이에 발생하는 마찰에 의해 전류통전량에 변화가 발생할 수 있는데, 상기 행거통전량측정단계(S2)에서 상기 행거(20)의 이동 도중에 상기 행거(20)와 레일(10) 사이의 전류통전량을 측정함으로써, 상기 행거(20)에 가해지는 실질적인 전류통전량을 보다 정확하게 측정할 수 있다.Particularly, during the movement of the hanger 20 along the rail 10, a change in the current carrying amount may occur due to the friction occurring between the hanger 20 and the rail 10, The actual amount of electric current to be applied to the hanger 20 can be more accurately measured by measuring the amount of current flow between the hanger 20 and the rail 10 during the movement of the hanger 20 in step S2 .

상기 행거(20)의 전류통전량을 측정하는 방법으로는, 도 4에 도시된 바와 같이 상기 통전측정기(50)의 일단이 상기 레일(10)에 연결되고 타단이 상기 행거(20)에 연결되어 상기 레일(10)과 행거(20) 사이의 전류통전량을 측정할 수 있다.As shown in FIG. 4, one end of the energization measuring instrument 50 is connected to the rail 10 and the other end is connected to the hanger 20 as a method of measuring the current passing amount of the hanger 20 The amount of electric current flowing between the rail 10 and the hanger 20 can be measured.

상기 제1판단단계(S3)는, 상기 행거통전량측정단계(S2)에서 측정된 측정값 즉 상기 행거(20)의 전류통전량값이 미리 설정된 허용범위에 있으면 상기 클램프통전량측정단계(S4)로 이동하여 수행하고, 미리 설정된 허용범위에 없으면 제품불량으로 판단하여 경고를 발생시킨다.The first judging step S3 is a step of judging whether or not the measured value measured in the hanging amount measuring step S2, that is, the current carrying amount value of the hanger 20, ), And if it is not within the preset allowable range, it is determined that the product is defective and a warning is generated.

상기 클램프측정단계는, 상기 행거(20)에 설치되어 기판을 파지하고 상기 행거(20)로부터 공급된 전류를 상기 기판에 전달하는 상기 클램프(40)의 전류통전량 및/또는 파지력을 측정하여 기록하는 단계이다.The clamp measuring step measures the amount and / or the gripping force of the clamp (40) provided on the hanger (20) and holding the substrate and delivering the current supplied from the hanger .

이러한 상기 클램프측정단계는, 클램프통전량측정단계(S4)와 파지력측정단계(S6)로 이루어지고, 경우에 따라 어느 하나만으로 이루어질 수도 있다.The clamp measuring step may include a clamping amount measuring step (S4) and a gripping force measuring step (S6).

본 실시예에서는 상기 클램프통전량측정단계(S4) 이후에 상기 파지력측정단계(S6)가 수행되도록 하였으나, 상기 클램프통전량측정단계(S4)와 상기 파지력측정단계(S6)는 상호 순서가 변경되어도 가능하다.In the present embodiment, the clamping force measurement step S6 is performed after the clamping amount measurement step S4, but the clamping force measurement step S4 and the gripping force measurement step S6 may be performed in the order of It is possible.

그리고, 상기 클램프판단단계는, 상기 클램프측정단계에서 측정된 측정값이 미리 설정된 허용범위에 있으면 제품정상으로 판단하고, 미리 설정된 허용범위에 없으면 제품불량으로 판단하여 경고를 발생시키는 단계로써, 제2판단단계(S5)와 제3판단단계(S7)로 이루어지며, 경우에 따라 어느 하나만으로 이루어질 수도 있다.The clamp determination step determines that the product is normal when the measured value measured in the clamp measurement step is within the preset allowable range, and generates a warning when the measured value is not within the preset tolerable range, The determination step S5 and the third determination step S7 may be performed.

상기 클램프통전량측정단계(S4)는, 상기 클램프(40)의 전류통전량을 측정하여 기록하는 단계이다.The step of measuring the amount of clamping electricity (S4) is a step of measuring and recording the amount of current flowing through the clamp (40).

상기 클램프(40)의 전류통전량을 측정하는 방법으로는, 도 5에 도시된 바와 같이 상기 클램프(40)에 상기 통전측정판(55)을 삽입한 후, 상기 통전측정기(50)의 일단을 상기 행거(20)에 연결하고 타단을 상기 통전측정판(55)에 연결하여 상기 행거(20)와 클램프(40) 사이의 전류통전량을 측정하여 기록한다.5, after inserting the energizing measurement plate 55 into the clamp 40, one end of the energization measuring instrument 50 is inserted into the clamp 40, Connected to the hanger (20), and the other end is connected to the energization measurement plate (55), and the amount of current flow between the hanger (20) and the clamp (40) is measured and recorded.

상기 제2판단단계(S5)는, 상기 클램프통전량측정단계(S4)에서 측정된 측정값 즉 상기 클램프(40)의 전류통전량값이 미리 설정된 허용범위에 있으면 상기 파지력측정단계(S6)로 이동하여 수행하고, 미리 설정된 허용범위에 없으면 제품불량으로 판단하여 경고를 발생시킨다.The second determination step S5 is a step of determining whether or not the measured value measured in the clamping amount measuring step S4, that is, the current carrying amount value of the clamp 40, If it is not within the preset allowable range, it is determined that the product is defective and a warning is generated.

상기 파지력측정단계(S6)는, 상기 기판을 파지하는 상기 클램프(40)의 파지력을 측정하여 기록하는 단계이다.The gripping force measuring step (S6) is a step of measuring and recording the gripping force of the clamp (40) holding the substrate.

상기 클램프(40)의 파지력을 측정하는 방법으로는, 도 6에 도시된 바와 같이 상기 클램프(40)에 상기 푸시풀게이지(65)를 삽입한 후, 상기 파지력측정기(60)를 상기 푸시풀게이지(65)에 연결하여 상기 클램프(40)의 파지력을 측정하여 기록한다.As a method of measuring the gripping force of the clamp 40, after the push-pull gauge 65 is inserted into the clamp 40 as shown in FIG. 6, the gripping force measuring instrument 60 is inserted into the push- (65) to measure and record the gripping force of the clamp (40).

상기 제3판단단계(S7)는, 상기 파지력측정단계(S6)에서 측정된 측정값 즉 상기 클램프(40)의 파지력값이 미리 설정된 허용범위에 있으면 제품정상으로 판단하고, 미리 설정된 허용범위에 없으면 제품불량으로 판단하여 경고를 발생시킨다.If the measured value measured in the gripping force measurement step S6, that is, the gripping force value of the clamp 40 is within the preset allowable range, the third determination step S7 determines that the product is normal. If the measured value is not within the preset allowable range A product is judged to be defective and a warning is issued.

위와 같은 본 발명에서는 상기 행거통전량측정단계(S2), 클램프통전량측정단계(S4), 파지력측정단계(S6) 중 어느 하나 불량에서 측정한 측정값이 미리 설정된 허용범위에 있지 않으면 제품불량으로 판단하여 외부로 보고함으로써, 작업자가 제품불량인 행거(20)를 쉽게 검출할 수 있다.In the present invention, if the measurement value measured at the defective one of the hanging amount measuring step S2, the clamping amount measuring step S4 and the gripping force measuring step S6 is not within the preset allowable range, So that the operator can easily detect the hanger 20 which is defective.

또한, 상기 행거(20)에는 각각의 개별인식표(25)가 장착되어 있기 때문에, 위와 같은 측정단계 등을 수행하는 도중에 어떤 행거(20)에 문제가 발생되었는지를 쉽게 알 수 있다.Further, since each individual identification tag 25 is attached to the hanger 20, it is easy to know which hanger 20 has a problem during the above-described measurement step or the like.

그리고, 본 발명이 폐루프 형상으로 이루어진 도금이송라인(L)에 적용될 경우에는, 행거배출단계(S8)와, 행거투입단계(S9)를 더 포함하여 이루어지도록 한다.When the present invention is applied to a closed-loop plating transfer line L, it is further made to include a hanger discharge step S8 and a hanger injection step S9.

상기 행거배출단계(S8)는, 상기 행거통전량측정단계(S2), 클램프통전량측정단계(S4), 파지력측정단계(S6) 중 어느 하나 이상에서 제품불량으로 판단된 행거(20)를 도금이송라인(L)의 외부로 배출하는 단계이다.The hanger discharging step S8 is a step of discharging the hanger 20 judged as a product defect in at least one of the hanger electric current amount measuring step S2, the clamp electric current amount measuring step S4 and the gripping force measuring step S6, To the outside of the transfer line (L).

상기 행거투입단계(S9)는, 상기 행거통전량측정단계(S2), 클램프통전량측정단계(S4), 파지력측정단계(S6)의 완료 후 상기 행거배출단계(S8)에 의해 외부로 배출된 행거(20)의 수만큼 새로운 정상 행거(20)를 상기 행거(20)의 도금이송라인(L)에 투입하는 단계이다.The hanging step S9 is a step of discharging the hanger by the hanger discharging step S8 after completion of the hanger electric current amount measuring step S2, the clamp electric current amount measuring step S4 and the gripping force measuring step S6 A new normal hanger 20 is inserted into the plating transfer line L of the hanger 20 by the number of the hanger 20.

위와 같은 상기 행거배출단계(S8) 및 행거투입단계(S9)에 의해 폐루프 도금이송라인(L)에서도 행거(20)의 불량여부를 검사하면서 이송과정이 끊김없이 연속적으로 이루어지도록 할 수 있다.The transfer process can be performed continuously without interruption while checking whether the hanger 20 is defective in the closed loop plating transfer line L by the hanger discharging step S8 and the hanger applying step S9 as described above.

본 발명인 전해도금장치용 행거 및 클램프의 불량여부 검사방법 및 검사장치는 전술한 실시예에 국한하지 않고, 본 발명의 기술 사상이 허용되는 범위 내에서 다양하게 변형하여 실시할 수 있다.The hanger for the electrolytic plating apparatus of the present invention and the inspection method and the inspection apparatus for the defect of the clamp are not limited to the above embodiments but can be variously modified within the scope of the technical idea of the present invention.

10 : 레일, 20 : 행거, 25 : 개별인식표, 30 : 이송부, 40 : 클램프, 50 : 통전측정기, 55 : 통전측정판, 60 : 파지력측정기, 65 : 푸시풀게이지, 70 : 검사판단부, 80 : 투입부, 90 : 배출부, L : 도금이송라인, 100 : 검사장치,
S1 : 인식표장착단계, S2 : 행거통전량측정단계, S3 : 제1판단단계, S4 : 클램프통전량측정단계, S5 : 제2판단단계, S6 : 파지력측정단계, S7 : 제3판단단계, S8 : 행거배출단계, S9 : 행거투입단계,The present invention relates to a clamping force measuring apparatus and a clamping force measuring apparatus which are capable of detecting a clamping force of a clamping force of a clamping force of a clamping force. : Input portion, 90: discharge portion, L: plating transfer line, 100: inspection device,
S6 is the gripping force measuring step, S7 is the third determining step, S8 is the gripping force applying amount measuring step, S6 is the gripping force applying amount measuring step, : Hanger release step, S9: hanger input step,

Claims (12)

레일에 행거가 이동 가능하게 설치되고 상기 레일을 통해 상기 행거에 전류를 공급하는 구조에서, 상기 행거와 상기 레일 사이의 전류통전량을 측정하는 행거통전량측정단계와;
상기 행거에 설치되어 기판을 파지하고 상기 행거로부터 공급된 전류를 상기 기판에 전달하는 클램프의 전류통전량을 측정하는 클램프측정단계를 포함하여 이루어지되,
상기 행거통전량측정단계 또는 클램프측정단계 중 어느 하나 이상에서 측정한 측정값이 미리 설정된 허용범위에 있지 않으면 제품불량으로 판단하고,
상기 클램프측정단계에서는,
일단이 상기 행거에 연결되고 타단이 상기 클램프에 삽입되는 통전측정판에 연결되는 통전측정기를 이용하여 상기 행거와 클램프 사이의 전류통전량을 측정하여 기록하는 것을 특징으로 하는 전해도금장치용 행거 및 클램프의 불량여부 검사방법.A hanger carrying amount measuring step of measuring a current carrying amount between the hanger and the rail in a structure in which a hanger is movably provided on the rail and current is supplied to the hanger through the rail;
And a clamp measuring step of measuring a current carrying amount of the clamp installed in the hanger and holding the substrate and transferring the current supplied from the hanger to the substrate,
If it is determined that the measurement value measured in any one or more of the hanger full-charge measuring step or the clamp measuring step is not within the preset allowable range,
In the clamp measuring step,
Wherein the hanger and the clamp for the electrolytic plating apparatus are formed by measuring the amount of electric current flowing between the hanger and the clamp using a current measuring instrument having one end connected to the hanger and the other end connected to the current measurement plate inserted into the clamp To check whether there is a defect. 청구항1에 있어서,
상기 행거통전량측정단계는, 상기 행거가 정지된 상태와, 상기 행거가 상기 레일을 따라 이동하는 도중에 각각의 전류통전량을 측정하는 것을 특징으로 하는 전해도금장치용 행거 및 클램프의 불량여부 검사방법.The method according to claim 1,
Wherein said step of measuring the amount of hanger electric power comprises measuring the amount of electric current flowing in each of the hanger and the clamps while the hanger is stopped and the hanger is moving along the rail . 청구항1에 있어서,
상기 행거통전량측정단계에서 측정된 측정값이 미리 설정된 허용범위에 있으면 상기 클램프측정단계를 수행하고, 미리 설정된 허용범위에 없으면 제품불량으로 판단하여 경고를 발생시키는 제1판단단계와;
상기 클램프측정단계에서 측정된 측정값이 미리 설정된 허용범위에 있으면 제품정상으로 판단하고, 미리 설정된 허용범위에 없으면 제품불량으로 판단하여 경고를 발생시키는 클램프판단단계를 더 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 전해도금장치용 행거 및 클램프의 불량여부 검사방법.The method according to claim 1,
A first determining step of performing the clamp measuring step if the measured value measured in the hanger carrying amount measuring step is within a preset allowable range, and generating a warning by judging that the product is defective if the measured value is not within the preset allowable range;
Further comprising a clamp judging step of judging that the product is normal when the measured value measured in the clamp measuring step is within a preset allowable range and judging that the product is defective when the measured value is not within the preset allowable range and generating a warning. Hanger for plating apparatus and method for checking whether or not the clamp is defective. 청구항1에 있어서,
상기 행거통전량측정단계 이전에 상기 행거에 개별인식표를 장착하는 인식표장착단계를 더 포함하여 이루어지되,
상기 행거통전량측정단계 또는 클램프측정단계에서는 상기 개별인식표가 장착된 각각의 행거에 대한 측정값을 개별적으로 추적관리하는 것을 특징으로 하는 전해도금장치용 행거 및 클램프의 불량여부 검사방법.The method according to claim 1,
Further comprising the step of mounting an individual identification tag on the hanger before the step of measuring the quantity of the hanger,
Wherein the measurement values of each hanger on which the individual identification tag is mounted are individually tracked and managed in the step of measuring the quantity of hanger hanger or the step of measuring clamping hanger. 폐루프 형상의 도금이송라인을 따라 레일이 설치되고, 상기 레일을 따라 상기 도금이송라인을 이동하도록 행거가 설치되며, 상기 레일을 통해 상기 행거에 전류를 공급하는 구조에서, 상기 행거와 상기 레일 사이의 전류통전량을 측정하는 행거통전량측정단계와;
상기 행거에 설치되어 기판을 파지하고 상기 행거로부터 공급된 전류를 상기 기판에 전달하는 클램프의 전류통전량을 측정하는 클램프측정단계와;
상기 행거통전량측정단계 또는 클램프측정단계 중 어느 하나 이상에서 측정한 측정값이 미리 설정된 허용범위에 있지 않으면 제품불량으로 판단하고, 제품불량으로 판단된 행거를 도금이송라인의 외부로 배출하는 행거배출단계와;
상기 행거통전량측정단계 또는 클램프측정단계의 완료 후 도금이송라인의 외부로 배출된 행거의 수만큼 새로운 정상 행거를 상기 행거의 도금이송라인에 투입하는 행거투입단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 전해도금장치용 행거 및 클램프의 불량여부 검사방법.Wherein a hanger is provided for moving the plating transfer line along the rail and a current is supplied to the hanger through the rail, wherein the hanger and the rail A hanger electric current amount measuring step of measuring a current electric current amount of the hanger;
A clamp measuring step of measuring a current carrying amount of a clamp installed in the hanger and holding the substrate and transferring the current supplied from the hanger to the substrate;
If it is determined that the measurement value measured in one or more of the hanger full-charge measurement step or the clamp measurement step is not within the preset allowable range, it is determined that the product is defective and the hanger determined to be defective is discharged to the outside of the plating transfer line ;
And a hanger placing step of putting a new normal hanger into the plating transferring line of the hanger as many times as the number of hanger discharged to the outside of the plating transfer line after completion of the hanger passing amount measuring step or the clamp measuring step Hanger for plating apparatus and method for checking whether or not the clamp is defective. 청구항1 또는 청구항5에 있어서,
상기 클램프측정단계는,
상기 클램프의 전류통전량을 측정하는 클램프통전량측정단계와;
상기 클램프의 파지력을 측정하는 파지력측정단계로 이루어진 것을 특징으로하는 전해도금장치용 행거 및 클램프의 불량여부 검사방법.The method according to claim 1 or 5,
The clamp measuring step may include:
A clamping amount measuring step of measuring a current carrying amount of the clamp;
And a gripping force measuring step of measuring a gripping force of the clamp. 청구항6에 있어서,
상기 행거통전량측정단계에서 측정된 측정값이 미리 설정된 허용범위에 있으면 상기 클램프측정단계를 수행하고, 미리 설정된 허용범위에 없으면 제품불량으로 판단하여 경고를 발생시키는 제1판단단계와;
상기 클램프통전량측정단계 또는 파지력측정단계 중 어느 하나에서 측정된 측정값이 미리 설정된 허용범위에 있으면 상기 클램프통전량측정단계 또는 파지력측정단계 중 나머지 단계를 수행하고, 미리 설정된 허용범위에 없으면 제품불량으로 판단하여 경고를 발생시키는 제2판단단계와;
상기 클램프통전량측정단계 또는 파지력측정단계 중 나머지 단계에서 측정된 측정값이 미리 설정된 허용범위에 있으면 제품정상으로 판단하고, 미리 설정된 허용범위에 없으면 제품불량으로 판단하여 경고를 발생시키는 제3판단단계를 더 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 전해도금장치용 행거 및 클램프의 불량여부 검사방법.The method of claim 6,
A first determining step of performing the clamp measuring step if the measured value measured in the hanger carrying amount measuring step is within a preset allowable range, and generating a warning by judging that the product is defective if the measured value is not within the preset allowable range;
If the measurement value measured in any one of the clamping amount measuring step or the gripping force measuring step is within a predetermined allowable range, the remaining steps of the clamping amount measuring step or the gripping force measuring step are performed, And generating a warning;
A third determination step of determining that the product is normal if the measured value measured in the remaining step of the clamping power supply measuring step or the gripping force measuring step is in a preset allowable range, The method comprising the steps of: (a) inspecting the hanger for the electrolytic plating apparatus; 삭제delete 전류를 공급하는 레일과;
상기 레일을 따라 이동하는 행거와;
상기 행거에 설치되어 기판을 파지하는 클램프와;
상기 레일과 행거 사이의 전류통전량 및 상기 행거와 클램프 사이의 전류통전량을 측정하는 통전측정기와;
상기 통전측정기 의해 측정된 측정값에 의해 제품의 불량여부를 판단하는 검사판단부와;
상기 클램프에 삽입되는 통전측정판을 포함하여 이루어지되,
상기 통전측정기는, 일단이 상기 행거에 연결되고, 타단이 상기 클램프에 삽입되는 통전측정판에 연결되어 상기 행거와 클램프 사이의 전류통전량을 측정하여 기록하는 것을 특징으로 하는 전해도금장치용 행거 및 클램프의 불량여부 검사장치.A rail for supplying current;
A hanger moving along the rail;
A clamp installed on the hanger to grip the substrate;
An energization measuring device for measuring a current carrying amount between the rail and the hanger and a current carrying amount between the hanger and the clamp;
An inspection determiner for determining whether the product is defective based on the measured value measured by the electrification meter;
And an energization measurement plate inserted into the clamp,
Wherein said energizing measuring instrument is connected to an energizing measuring plate whose one end is connected to said hanger and whose other end is inserted into said clamp so as to measure and record the amount of electric current flowing between said hanger and said clamp, Inspection device for badness of clamp. 폐루프 형상의 도금이송라인을 따라 설치되어 행거에 전류를 공급하는 레일과;
이송부에 의해 상기 레일을 따라 상기 도금이송라인을 이동하도록 설치된 행거와;
상기 행거에 설치되어 기판을 파지하는 클램프와;
상기 레일과 행거 사이의 전류통전량 및 상기 행거와 클램프 사이의 전류통전량을 측정하는 통전측정기와;
상기 통전측정기 의해 측정된 측정값에 의해 제품의 불량여부를 판단하는 검사판단부와;
상기 검사판단부에서 제품불량으로 판단된 행거를 도금이송라인의 외부로 배출시키는 배출부와;
상기 배출부를 통해 배출된 행거의 수만큼 새로운 정상 행거를 상기 행거의 도금이송라인에 투입하는 투입부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 전해도금장치용 행거 및 클램프의 불량여부 검사장치.A rail installed along the closed-loop plating transfer line to supply current to the hanger;
A hanger installed to move the plating transfer line along the rail by a transfer unit;
A clamp installed on the hanger to grip the substrate;
An energization measuring device for measuring a current carrying amount between the rail and the hanger and a current carrying amount between the hanger and the clamp;
An inspection determiner for determining whether the product is defective based on the measured value measured by the electrification meter;
A discharge unit for discharging a hanger determined as a product defect to the outside of the plating transfer line by the inspection and determination unit;
And a charging unit for charging a new normal hanger as many as the number of hanger discharged through the discharge unit to the plating transfer line of the hanger. 전류를 공급하는 레일과;
상기 레일을 따라 이동하는 행거와;
상기 행거에 설치되어 기판을 파지하는 클램프와;
상기 레일과 행거 사이의 전류통전량 및 상기 행거와 클램프 사이의 전류통전량을 측정하는 통전측정기와;
상기 통전측정기 의해 측정된 측정값에 의해 제품의 불량여부를 판단하는 검사판단부와;
상기 기판을 파지하는 상기 클램프의 파지력을 측정하는 파지력측정기를 포함하여 이루어지되,
상기 검사판단부에서는, 상기 통전측정기 및 파지력측정기 의해 측정된 측정값에 의해 제품의 불량여부를 판단하는 것을 특징으로 하는 전해도금장치용 행거 및 클램프의 불량여부 검사장치.A rail for supplying current;
A hanger moving along the rail;
A clamp installed on the hanger to grip the substrate;
An energization measuring device for measuring a current carrying amount between the rail and the hanger and a current carrying amount between the hanger and the clamp;
An inspection determiner for determining whether the product is defective based on the measured value measured by the electrification meter;
And a gripping force measuring device for measuring gripping force of the clamp for gripping the substrate,
Wherein the inspection judging unit judges whether or not the product is defective based on the measurement values measured by the energization measuring device and the gripping force measuring device. 청구항11에 있어서,
상기 클램프에 삽입되는 푸시풀게이지를 더 포함하여 이루어지되,
상기 파지력측정기는 상기 푸시풀게이지에 연결되어 상기 클램프의 파지력을 측정하여 기록하는 것을 특징으로 하는 전해도금장치용 행거 및 클램프의 불량여부 검사장치.
The method of claim 11,
Further comprising a push-pull gauge inserted into the clamp,
Wherein the gripping force measuring device is connected to the push-pull gauge to measure and record the gripping force of the clamp.
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