KR101424811B1 - Photosensitive resin composition - Google Patents

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Abstract

바인더 수지 (A), 광중합성 화합물 (B), 광중합 개시제 (C) 및 용제 (D) 를 함유하고, 바인더 수지 (A) 가, 불포화 카르복실산 및/또는 불포화 카르복실산 무수물 (A1) 과 지방족 다고리형 에폭시 화합물 (A2) 의 공중합체인 감광성 수지 조성물.(A), a photopolymerizable compound (B), a photopolymerization initiator (C) and a solvent (D), wherein the binder resin (A) contains an unsaturated carboxylic acid and / or an unsaturated carboxylic acid anhydride And the aliphatic polycyclic epoxy compound (A2).

Description

감광성 수지 조성물{PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION}[0001] PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION [0002]

본 발명은 감광성 수지 조성물에 관한 것이다.The present invention relates to a photosensitive resin composition.

액정 표시 장치나 터치 패널 등, 표시 장치를 구성하는 컬러 필터 기판과 어레이 기판 사이에는, 양 기판의 간격을 유지하기 위해 스페이서가 형성되어 있다. 이 스페이서에는, 유리 비즈, 플라스틱 비즈 등의 구형 입자가 사용되고 있다.Spacers are formed between the color filter substrate and the array substrate constituting the display device, such as the liquid crystal display device and the touch panel, in order to maintain the spacing between both substrates. In this spacer, spherical particles such as glass beads and plastic beads are used.

그러나, 이러한 구형 입자를 사용하면, 당해 구형 입자가 유리 기판 상에 무질서하게 산포되기 때문에, TFT 소자나 전극 등에 손상을 주거나, 또한 당해 구형 입자가 투과 화소부 내에 존재하면, 입사광의 산란에 의해, 액정 표시 소자의 콘트라스트가 저하되는 경우도 있었다. 그래서, 구형 입자를 사용하는 대신에, 감광성 수지 조성물로 스페이서를 형성하는 것이 제안되어 있다. 이 방법에 의하면, 임의의 장소에 스페이서를 형성할 수 있기 때문에, 상기 기술한 문제점을 해결할 수 있다.However, when such spherical particles are used, since the spherical particles are scattered randomly on the glass substrate, if the spherical particles are present in the transmissive pixel portion, the scattering of the incident light causes scattering of the incident light, The contrast of the liquid crystal display element is sometimes lowered. Thus, instead of using spherical particles, it has been proposed to form a spacer with a photosensitive resin composition. According to this method, since the spacer can be formed at an arbitrary place, the above-described problem can be solved.

이러한 감광성 수지 조성물로는, 카르복실기 및 글리시딜에테르기를 갖는 아크릴 공중합체를 바인더 수지로서 함유하는 스페이서 형성용 조성물이 알려져 있고 (특허 문헌 1), 그 조성물을 사용하면, 내용제성, 내열성이 우수한 스페이서 패턴 을 얻을 수 있는 것이 개시되어 있다.As such a photosensitive resin composition, there is known a composition for forming a spacer containing an acrylic copolymer having a carboxyl group and a glycidyl ether group as a binder resin (Patent Document 1). When the composition is used, a spacer having excellent solvent resistance and heat resistance A pattern can be obtained.

[특허 문헌 1] 일본 공개특허공보 평11-133600호[Patent Document 1] JP-A-11-133600

그런데, 본 발명자의 검토에 의하면, 글리시딜에테르기를 구성 성분으로서 갖는 수지보다 안정성이 양호하다고 되어 있는 지방족 단고리형 에폭시기를 구성 성분으로서 갖는 수지를 함유하는 감광성 수지 조성물은, 보존시의 점도 상승이 큰 것을 알았다.According to the study by the inventors of the present invention, it has been found that the photosensitive resin composition containing a resin having an aliphatic monocyclic epoxy group as a constituent component, which is said to have better stability than a resin having a glycidyl ether group as a constituent component, I knew something big.

또한, 미세한 선폭의 패턴을 부여하는 감광성 수지 조성물의 개발도 요구되고 있었다.In addition, development of a photosensitive resin composition which gives a fine line width pattern has been demanded.

본 발명의 목적은, 보존시의 점도 상승이 작고, 미세한 선폭의 패턴을 형성할 수 있는 감광성 수지 조성물을 제공하는 것에 있다.An object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition capable of forming a fine line width pattern with a small viscosity increase during storage.

본 발명자는, 상기 과제를 해결할 수 있는 감광성 수지 조성물을 알아내기 위해 검토한 결과, 어떤 종류의 2원계 공중합체를 함유하는 감광성 수지 조성물이 보존시의 점도 상승이 작고, 미세한 선폭의 패턴을 형성할 수 있는 것을 알아냈다.The inventor of the present invention has conducted a study to find out a photosensitive resin composition capable of solving the above problems and found that a photosensitive resin composition containing any kind of binary copolymer has a small increase in viscosity at the time of storage and forms a fine line width pattern I found out I could.

즉, 본 발명은, 이하의 [1]∼[5] 를 제공하는 것이다.That is, the present invention provides the following [1] to [5].

[1]. 바인더 수지 (A), 광중합성 화합물 (B), 광중합 개시제 (C) 및 용제 (D) 를 함유하고, 바인더 수지 (A) 가, 불포화 카르복실산 및/또는 불포화 카르복실산 무수물 (A1) 과 지방족 다고리형 에폭시 화합물 (A2) 의 공중합체인 감광성 수지 조성물.[One]. (A), a photopolymerizable compound (B), a photopolymerization initiator (C) and a solvent (D), wherein the binder resin (A) contains an unsaturated carboxylic acid and / or an unsaturated carboxylic acid anhydride And the aliphatic polycyclic epoxy compound (A2).

[2]. 지방족 다고리형 에폭시 화합물 (A2) 가, 지방족 다고리형 화합물의 고 리 상에 에폭시기를 가지며, 또한 불포화 결합을 갖는 화합물인 [1] 에 기재된 감광성 수지 조성물.[2]. The photosensitive resin composition according to [1], wherein the aliphatic polycyclic epoxy compound (A2) is a compound having an epoxy group on the ring of the aliphatic polycyclic compound and having an unsaturated bond.

[3]. 지방족 다고리형 에폭시기를 갖는 단량체 (A2) 가, 식 (Ⅰ) 로 표시되는 화합물 및 식 (Ⅱ) 로 표시되는 화합물로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 종의 화합물인 [1] 또는 [2] 에 기재된 감광성 수지 조성물.[3]. The liquid crystal composition according to [1] or [2], wherein the monomer (A2) having an aliphatic polycyclic epoxy group is at least one compound selected from the group consisting of a compound represented by formula (I) and a compound represented by formula (II) Sensitive resin composition.

Figure 112007090916051-pat00001
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[식 (Ⅰ) 및 식 (Ⅱ) 중, R 은 각각 독립적으로 수소 원자 또는 수산기로 치환되어 있어도 되는 탄소수 1∼4 의 알킬기를 나타내고, X 는 각각 독립적으로 단결합 또는 헤테로 원자를 함유해도 되는 탄소수 1∼6 의 알킬렌기를 나타낸다][In the formulas (I) and (II), each R independently represents an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms which may be substituted with a hydrogen atom or a hydroxyl group, and each X independently represents a single bond or a hetero atom- An alkylene group having 1 to 6 carbon atoms,

[4]. [1]∼[3] 중 어느 하나에 기재된 감광성 수지 조성물을 사용하여 형성되는 패턴.[4]. A pattern formed by using the photosensitive resin composition according to any one of [1] to [3].

[5]. [4] 에 기재된 패턴을 포함하는 액정 표시 장치.[5]. A liquid crystal display device comprising the pattern described in [4].

본 발명에 따르면, 보존시의 점도 상승이 작고, 미세한 선폭의 패턴을 형성할 수 있는 감광성 수지 조성물을 수득할 수 있다.According to the present invention, it is possible to obtain a photosensitive resin composition capable of forming a fine line width pattern with a small viscosity increase during storage.

이하, 본 발명을 상세하게 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail.

본 발명의 감광성 수지 조성물은, 바인더 수지 (A), 광중합성 화합물 (B) 및 광중합 개시제 (C), 또한 임의로 그 밖의 첨가제 (F), 용제 (D) 를 함유하는 것이다.The photosensitive resin composition of the present invention contains a binder resin (A), a photopolymerizable compound (B) and a photopolymerization initiator (C), and optionally other additives (F) and a solvent (D).

본 발명의 감광성 수지 조성물은, 주로 패턴 형성 재료로서 사용되는 것이 바람직하고, 바인더 수지 (A), 광중합성 화합물 (B) 및 광중합 개시제 (C), 또한 임의로 그 밖의 첨가제 (F) 는, 용제 (D) 에 용해 또는 분산되어 있는 것이 바람직하다.The photosensitive resin composition of the present invention is preferably used mainly as a pattern forming material and the binder resin (A), the photopolymerizable compound (B) and the photopolymerization initiator (C) and optionally other additives (F) D).

본 발명의 감광성 수지 조성물에 사용되는 바인더 수지 (A) 는, 불포화 카르복실산 및/또는 불포화 카르복실산 무수물 (A1), 지방족 다고리형 에폭시기를 갖는 단량체 (A2) 와의 공중합체이고, 알칼리 용해성을 갖는 것이 바람직하다.The binder resin (A) used in the photosensitive resin composition of the present invention is a copolymer of an unsaturated carboxylic acid and / or an unsaturated carboxylic acid anhydride (A1) and a monomer (A2) having an aliphatic polycyclic epoxy group and has alkali solubility .

상기 불포화 카르복실산 및/또는 불포화 카르복실산 무수물 (A1) 로는, 구체적으로는, 예를 들어 아크릴산, 메타크릴산, 크로톤산 등의 불포화 모노카르복실산류 ;Specific examples of the unsaturated carboxylic acid and / or unsaturated carboxylic acid anhydride (A1) include unsaturated monocarboxylic acids such as acrylic acid, methacrylic acid and crotonic acid;

말레산, 푸마르산, 시트라콘산, 메사콘산, 이타콘산 등의 불포화 디카르복실산류 ;Unsaturated dicarboxylic acids such as maleic acid, fumaric acid, citraconic acid, mesaconic acid and itaconic acid;

및 상기 불포화 디카르복실산류의 무수물 ;And anhydrides of said unsaturated dicarboxylic acids;

숙신산 모노[2-(메트)아크릴로일옥시에틸], 프탈산 모노[2-(메트)아크릴로일옥시에틸] 등의 2 가 이상의 다가 카르복실산의 불포화 모노[(메트)아크릴로일옥시알킬]에스테르류 ;(Meth) acryloyloxyalkyl (meth) acrylate of a divalent or higher polyvalent carboxylic acid such as mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] succinate and mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] ] Esters;

α-(히드록시메틸)아크릴산과 같은, 동일 분자 중에 히드록시기 및 카르복실 기를 함유하는 불포화 아크릴레이트류 등을 들 수 있다.and unsaturated acrylates containing a hydroxyl group and a carboxyl group in the same molecule, such as? - (hydroxymethyl) acrylic acid.

이들 중, 아크릴산, 메타크릴산, 무수 말레산 등이 공중합 반응성, 알칼리 수용액에 대한 용해성이 높은 점에서 바람직하게 사용된다. 이들은, 단독으로도 2 종 이상을 조합하여 사용해도 된다.Of these, acrylic acid, methacrylic acid, maleic anhydride and the like are preferably used because of their high copolymerization reactivity and high solubility in an aqueous alkali solution. These may be used alone or in combination of two or more.

상기 지방족 다고리형 에폭시 화합물 (A2) 는, 지방족 다고리형 화합물의 고리 상에 에폭시기를 갖는 화합물이고, 상기 지방족 다고리형 에폭시 화합물 (A2) 는, 지방족 다고리형 화합물의 고리 상에 에폭시기를 가지며, 또한 불포화 결합을 갖는 화합물인 것이 바람직하다.The aliphatic polycyclic epoxy compound (A2) is a compound having an epoxy group on the ring of the aliphatic polycyclic compound. The aliphatic polycyclic epoxy compound (A2) has an epoxy group on the ring of the aliphatic polycyclic compound, Bond is preferable.

당해 지방족 다고리형 화합물로는, 예를 들어 디시클로펜탄, 트리시클로데칸, 노르보르난, 이소노르보르난, 비시클로옥탄, 비시클로노난, 비시클로운데칸, 트리시클로운데칸, 비시클로도데칸, 트리시클로도데칸 등을 들 수 있고, 탄소수가 8 내지 12 의 화합물이 바람직하고, 보다 바람직하게는 식 (Ⅰ) 로 표시되는 화합물 및 식 (Ⅱ) 로 표시되는 화합물로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 종의 화합물을 들 수 있다.Examples of the aliphatic polycyclic compound include dicyclopentane, tricyclodecane, norbornane, isonorbornane, bicyclooctane, bicyclo-nonane, bicyclo-decane, tricyclodecane, , Tricyclododecane and the like, and a compound having a carbon number of 8 to 12 is preferable, and a compound having at least a carbon number of at least 8 selected from the group consisting of a compound represented by the formula (I) and a compound represented by the formula (II) And one kind of compound.

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Figure 112007090916051-pat00002

식 (Ⅰ) 및 식 (Ⅱ) 에 있어서, R 은 각각 독립적으로 수소 원자 또는 수산기로 치환되어 있어도 되는 탄소수 1∼4 의 알킬기를 나타낸다.In the formulas (I) and (II), each R independently represents an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms which may be substituted with a hydrogen atom or a hydroxyl group.

X 는 각각 독립적으로 단결합 또는 헤테로 원자를 함유해도 되는 탄소수 1∼6 의 알킬렌기를 나타낸다.X each independently represents an alkylene group having 1 to 6 carbon atoms which may contain a single bond or a hetero atom.

R 로는 구체적으로는, 수소 원자 ; 메틸기, 에틸기, n-프로필기, 이소프로필기, n-부틸기, sec-부틸기, tert-부틸기 등의 알킬기 ;Specific examples of R include a hydrogen atom; An alkyl group such as methyl group, ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, n-butyl group, sec-butyl group and tert-butyl group;

히드록시메틸기, 1-히드록시에틸기, 2-히드록시에틸기, 1-히드록시-n-프로필기, 2-히드록시-n-프로필기, 3-히드록시-n-프로필기, 1-히드록시-이소프로필기, 2-히드록시-이소프로필기, 1-히드록시-n-부틸기, 2-히드록시-n-부틸기, 3-히드록시-n-부틸기, 4-히드록시-n-부틸기 등의 수산기 함유 알킬기를 들 수 있다. 그 중에서도, 바람직하게는 수소 원자, 메틸기, 히드록시메틸기, 1-히드록시에틸기, 2-히드록시에틸기를 들 수 있고, 보다 바람직하게는 수소 원자, 메틸기를 들 수 있다.Hydroxy-n-propyl group, 3-hydroxy-n-propyl group, 1-hydroxy-1-hydroxypropyl group, N-butyl group, 3-hydroxy-n-butyl group, 4-hydroxy-n-butyl group, 2-hydroxy- And a hydroxyl group-containing alkyl group such as a butyl group. Among them, a hydrogen atom, a methyl group, a hydroxymethyl group, a 1-hydroxyethyl group and a 2-hydroxyethyl group are preferable, and a hydrogen atom and a methyl group are more preferable.

X 로는 구체적으로는, 단결합 ; 메틸렌기, 에틸렌기, 프로필렌기 등의 알킬렌기 ;Specific examples of X include a single bond; Alkylene groups such as a methylene group, an ethylene group and a propylene group;

옥시메틸렌기, 옥시에틸렌기, 옥시프로필렌기, 티오메틸렌기, 티오에틸렌기, 티오프로필렌기, 아미노메틸렌기, 아미노에틸렌기, 아미노프로필렌기 등의 헤테로 원자 함유 알킬렌기 등을 들 수 있다. 그 중에서도, 바람직하게는 단결합, 메틸렌기, 에틸렌기, 옥시메틸렌기, 옥시에틸렌기를 들 수 있고, 보다 바람직하게는 단결합, 옥시에틸렌기를 들 수 있다.Containing alkylene groups such as a methylene group, an oxyethylene group, an oxyethylene group, an oxyethylene group, an oxypropylene group, a thiomethylene group, a thioethylene group, a thiopropylene group, an aminomethylene group, an aminoethylene group and an aminopropylene group. Among them, a single bond, a methylene group, an ethylene group, an oxymethylene group and an oxyethylene group are preferable, and a single bond and an oxyethylene group are more preferable.

식 (Ⅰ) 로 표시되는 화합물로는, 식 (Ⅰ-1)∼식 (Ⅰ-15) 로 표시되는 화합물 등을 들 수 있고, 바람직하게는 식 (Ⅰ-1), 식 (Ⅰ-3), 식 (Ⅰ-5), 식 (Ⅰ-7), 식 (Ⅰ-9), 식 (Ⅰ-11)∼식 (Ⅰ-15) 를 들 수 있고, 보다 바람직하게는 식 (Ⅰ-1), 식 (Ⅰ-7), 식 (Ⅰ-9), 식 (Ⅰ-15) 를 들 수 있다.Examples of the compound represented by the formula (I) include a compound represented by the formula (I-1) to formula (I-15), preferably a compound represented by the formula (I- (I-5), Formula (I-7), Formula (I-9), Formula (I-11) , Formula (I-7), formula (I-9), and formula (I-15).

Figure 112007090916051-pat00003
Figure 112007090916051-pat00003

식 (Ⅱ) 로 표시되는 화합물로는, 식 (Ⅱ-1)∼식 (Ⅱ-15) 로 표시되는 화합물 등을 들 수 있고, 바람직하게는 식 (Ⅱ-1), 식 (Ⅱ-3), 식 (Ⅱ-5), 식 (Ⅱ-7), 식 (Ⅱ-9), 식 (Ⅱ-11)∼식 (Ⅱ-15) 를 들 수 있고, 보다 바람직하게는 식 (Ⅱ-1), 식 (Ⅱ-7), 식 (Ⅱ-9), 식 (Ⅱ-15) 를 들 수 있다.Examples of the compound represented by the formula (II) include compounds represented by the formulas (II-1) to (II-15), preferably the compounds represented by the formulas (II- (II-5), Formula (II-7), Formula (II-9) and Formula (II-11) to Formula (II- , Formula (II-7), formula (II-9), and formula (II-15).

Figure 112007090916051-pat00004
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식 (Ⅰ) 로 표시되는 화합물 및 식 (Ⅱ) 로 표시되는 화합물로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 종의 화합물은, 각각 단독으로 사용할 수 있고, 임의의 비율로 혼합할 수 있다. 혼합하는 경우, 그 혼합 비율은 몰비로, 바람직하게는 식 (Ⅰ):식 (Ⅱ) 에서 5:95∼95:5, 보다 바람직하게는 10:90∼90:10, 더욱 바람직하게는 20:80∼80:20 이다.The at least one compound selected from the group consisting of the compound represented by the formula (I) and the compound represented by the formula (II) may be used alone or in any ratio. The mixing ratio thereof is preferably from 5:95 to 95: 5, more preferably from 10:90 to 90:10, even more preferably from 20:90 to 90:10 in the formula (I): formula (II) 80 to 80:20.

본 발명에 사용되는 바인더 수지 (A) 는, (A1) 및 (A2) 의 공중합이다.The binder resin (A) used in the present invention is a copolymer of (A1) and (A2).

본 발명에 사용되는 바인더 수지 (A) 는, (A1) 및 (A2) 를 공중합시켜 얻어지는 공중합체이고, 각각으로부터 유도되는 구성 성분의 비율이, 상기 공중합체를 구성하는 구성 성분의 합계 몰수에 대하여 몰분율로, 이하의 범위에 있는 것이 바 람직하다.The binder resin (A) used in the present invention is a copolymer obtained by copolymerizing (A1) and (A2), and the ratio of the constituent components derived from each other is preferably within a range from the total number of moles of constituent components constituting the copolymer It is preferable that the molar fraction is in the following range.

(A1) 로부터 유도되는 구성 단위 ; 5∼75 몰%(A1); 5 to 75 mol%

(A2) 로부터 유도되는 구성 단위 ; 25∼95몰%(A2); 25 to 95 mol%

또한, 상기 구성 성분의 비율이 이하의 범위이면, 보다 바람직하다.It is more preferable that the ratio of the constituent components is in the following range.

(A1) 로부터 유도되는 구성 단위 ; 10∼70 몰%(A1); 10 to 70 mol%

(A2) 로부터 유도되는 구성 단위 ; 30∼90 몰%(A2); 30 to 90 mol%

상기 구성 성분의 비율이 상기 범위에 있으면, 감광성 수지 조성물의 보존 안정성, 그 조성물로부터 얻어지는 패턴의 해상성, 현상성, 내용제성, 내열성 및 기계 강도가 양호해지는 경향이 있다.When the ratio of the above components is in the above range, there is a tendency that the storage stability of the photosensitive resin composition, the resolution of the pattern obtained from the composition, developability, solvent resistance, heat resistance and mechanical strength are improved.

상기 바인더 수지 (A) 는, 예를 들어 문헌 「고분자 합성의 실험법」 (오오쯔 타카유키 저 발행소 (주) 화학동인 제 1 판 제 1 쇄 1972 년 3 월 1 일 발행) 에 기재된 방법 및 당해 문헌에 기재된 인용 문헌을 참고로 하여 제조할 수 있다.The binder resin (A) can be produced by a method described in, for example, "Experimental Method of Polymer Synthesis" (published by Otsu Takayuki Co., Ltd., 1st edition, 1st edition, published on March 1, 1972) Can be produced by referring to the cited document.

구체적으로는, 공중합체를 구성하는 단위 (A1) 및 (A2) 의 소정량, 중합 개시제 및 용제를 반응 용기 중에 넣어 질소에 의해 산소를 치환함으로써, 산소 부존재 하에서, 교반, 가열, 보온함으로써 중합체가 얻어진다. 또, 얻어진 공중합체는, 반응 후의 용액을 그대로 사용해도 되고, 농축 또는 희석한 용액을 사용해도 되고, 재침전 등의 방법으로 고체 (분체) 로서 추출한 것을 사용해도 된다.Specifically, the polymerization reaction is carried out by placing the polymerization initiator and the solvent in a predetermined amount of the units (A1) and (A2) constituting the copolymer and replacing the oxygen with nitrogen by the reaction, stirring, heating and keeping them under oxygen- . As the obtained copolymer, the solution after the reaction may be used as it is, or a concentrated or diluted solution may be used, or a solid (powder) extracted by a method such as re-precipitation may be used.

상기 바인더 수지 (A) 의 폴리스티렌 환산의 중량 평균 분자량은, 바람직하게는 3,000∼100,000, 보다 바람직하게는 5,000∼50,000 이다. 바인더 수지 (A) 의 중량 평균 분자량이 상기 범위에 있으면, 도포성이 양호해지는 경향이 있 고, 또한 현상시에 막감소가 잘 발생하지 않고, 또한 현상시에 비화소 부분의 탈락성이 양호하고, 해상성이 양호한 경향이 있기 때문에 바람직하다.The weight average molecular weight of the binder resin (A) in terms of polystyrene is preferably 3,000 to 100,000, more preferably 5,000 to 50,000. When the weight average molecular weight of the binder resin (A) is within the above range, the coating property tends to be good, the film is hardly reduced at the time of development, and the decolorability of the non- , It is preferable since the resolution tends to be good.

바인더 수지 (A) 의 분자량 분포 [중량 평균 분자량 (Mw)/수평균 분자량 (Mn)] 는, 바람직하게는 1.1∼6.0 이고, 보다 바람직하게는 1.2∼4.0 이다. 분자량 분포가 상기 범위에 있으면, 현상성이 양호하고 해상성이 우수한 경향이 있기 때문에 바람직하다.The molecular weight distribution (weight average molecular weight (Mw) / number average molecular weight (Mn)) of the binder resin (A) is preferably 1.1 to 6.0, more preferably 1.2 to 4.0. When the molecular weight distribution is in the above range, it is preferable because the developing property tends to be good and the resolution tends to be excellent.

본 발명의 감광성 수지 조성물에 사용되는 바인더 수지 (A) 의 함유량은, 감광성 수지 조성물 중의 고형분 (조성물 중의 성분 중에서, 25℃ 에서 고체인 것을 말한다) 에 대하여 질량분율로, 바람직하게는 5∼90 질량%, 보다 바람직하게는 10∼70 질량% 이다. 바인더 수지 (A) 의 함유량이 상기 범위에 있으면, 현상액에 대한 용해성이 충분하고, 비화소 부분의 기판 상에 현상 잔류물이 잘 발생하지 않고, 또한 현상시에 노광부의 화소 부분의 막감소가 잘 발생하지 않고, 비화소 부분의 탈락성이 양호한 경향이 있기 때문에 바람직하다.The content of the binder resin (A) used in the photosensitive resin composition of the present invention is preferably from 5 to 90 mass%, more preferably from 5 to 90 mass%, based on the solid content in the photosensitive resin composition %, More preferably from 10 to 70 mass%. When the content of the binder resin (A) is in the above range, solubility in a developing solution is sufficient, development residues do not occur on the substrate of the non-pixel portion well, and the film thickness of the pixel portion of the exposed portion And the decolorability of the non-pixel portion tends to be favorable.

본 발명의 감광성 수지 조성물에 함유되는 광중합성 화합물 (B) 로는, 단관능 모노머, 2관능 모노머, 그 밖에 3관능 이상의 다관능 모노머를 들 수 있다.Examples of the photopolymerizable compound (B) contained in the photosensitive resin composition of the present invention include monofunctional monomers, bifunctional monomers, and other multifunctional monomers having three or more functionalities.

단관능 모노머의 구체예로는, 노닐페닐카르비톨아크릴레이트, 2-히드록시-3-페녹시프로필아크릴레이트, 2-에틸헥실카르비톨아크릴레이트, 2-히드록시에틸아크릴레이트, N-비닐피롤리돈 등을 들 수 있다.Specific examples of monofunctional monomers include nonylphenylcarbitol acrylate, 2-hydroxy-3-phenoxypropyl acrylate, 2-ethylhexylcarbitol acrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, N- Ralidon, and the like.

2관능 모노머의 구체예로는, 1,6-헥산디올디(메트)아크릴레이트, 에틸렌글리콜디(메트)아크릴레이트, 네오펜틸글리콜디(메트)아크릴레이트, 트리에틸렌글리콜 디(메트)아크릴레이트, 비스페놀 A 의 비스(아크릴로일옥시에틸)에테르, 3-메틸펜탄디올디(메트)아크릴레이트 등을 들 수 있다.Specific examples of the bifunctional monomer include 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, ethylene glycol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, triethylene glycol di (meth) , Bis (acryloyloxyethyl) ether of bisphenol A, 3-methylpentanediol di (meth) acrylate, and the like.

그 밖의 3관능 이상의 다관능 모노머의 구체예로는, 트리메틸올프로판트리(메트)아크릴레이트, 펜타에리트리톨트리(메트)아크릴레이트, 펜타에리트리톨테트라(메트)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨펜타(메트)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨헥사(메트)아크릴레이트, 펜타에리트리톨트리(메트)아크릴레이트와 산무수물의 반응물, 디펜타에리트리톨펜타(메트)아크릴레이트와 산무수물의 반응물, 분자 내에 1 이상의 카프로락톤 변성된 3관능 이상의 다관능 모노머, 분자 내에 3 이상의 알킬렌옥사이드 변성된 3관능 이상의 다관능 모노머 등을 들 수 있다.Specific examples of other trifunctional or more multifunctional monomers include trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (Meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, a reaction product of pentaerythritol tri (meth) acrylate and an acid anhydride, a reaction product of dipentaerythritol penta (meth) acrylate and an acid anhydride, Caprolactone-modified trifunctional or more polyfunctional monomer, and trifunctional or higher-functional polyfunctional monomer having three or more alkylene oxide-modified groups in the molecule.

또, 본 명세서에 있어서, 카프로락톤 변성이란, (메트)아크릴레이트 화합물의 알코올 유래 부위와 (메트)아크릴로일옥시기 사이에, 카프로락톤의 개환체 또는 개환 중합체가 도입되는 것을 의미한다.In the present specification, caprolactone denaturation means that a caprolactone ring-opening polymer or ring opening polymer is introduced between the alcohol-derived site of the (meth) acrylate compound and the (meth) acryloyloxy group.

또한, 알킬렌옥사이드 변성이란, (메트)아크릴레이트 화합물의 알코올 유래 부위와 (메트)아크릴로일옥시기 사이에, 알킬렌글리콜 또는 그 탈수 축합체 및 알킬렌옥사이드의 개환체, 또는 그 개환 중합체가 도입되는 것을 의미한다.Further, the alkylene oxide modification means that an alkylene glycol or a dehydration condensate thereof and a ring-opening polymer of an alkylene oxide, or a ring-opening polymer thereof, between the alcohol-derived site of the (meth) acrylate compound and the (meth) acryloyloxy group .

분자 내에 1 이상의 카프로락톤 변성된 3관능 이상의 다관능 모노머로는, 예를 들어 KAYARAD DPCA-20, KAYARAD DPCA-40, KAYARAD DPCA-60, KAYARAD DPCA-120 (모두 닛폰 화약 (주) 사 제조), NK 에스테르 AD-TMP-4CL (신나카무라 화학 공업 (주) 제조) 등의 시판품을 들 수 있다.KAYARAD DPCA-20, KAYARAD DPCA-40, KAYARAD DPCA-60, and KAYARAD DPCA-120 (all manufactured by Nippon Gakurafu Co., Ltd.), and the like are examples of the trifunctional or more polyfunctional monomer having at least one caprolactone- NK ester AD-TMP-4CL (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.), and the like.

분자 내에 3 이상의 알킬렌옥사이드 변성된 3관능 이상의 다관능 모노머에 있어서, 바람직한 알킬렌옥사이드로는, 에틸렌옥사이드, 프로필렌옥사이드를 들 수 있다.In the polyfunctional monomers having three or more functional groups modified with three or more alkylene oxides in the molecule, preferred alkylene oxides include ethylene oxide and propylene oxide.

이들 중에서도, 2관능 이상의 다관능 모노머가 바람직하게 사용된다. 이들 광중합성 화합물 (B) 는, 단독 또는 2 종 이상 병용하여 사용할 수 있다.Of these, polyfunctional monomers having two or more functionalities are preferably used. These photopolymerizable compounds (B) may be used alone or in combination of two or more.

광중합성 화합물 (B) 의 함유량은, 바인더 수지 (A) 및 광중합성 화합물 (B) 의 합계량에 대하여 질량분율로, 바람직하게는 1∼90 질량%, 보다 바람직하게는 10∼80 질량% 이다. 광중합성 화합물 (B) 의 함유량이 상기 범위에 있으면, 화소부의 강도나 평활성, 신뢰성이 양호해지는 경향이 있기 때문에 바람직하다.The content of the photopolymerizable compound (B) is preferably 1 to 90 mass%, more preferably 10 to 80 mass%, based on the total amount of the binder resin (A) and the photopolymerizable compound (B). When the content of the photopolymerizable compound (B) is within the above range, the strength, smoothness and reliability of the pixel portion tends to be improved.

본 발명의 감광성 수지 조성물에 함유되는 광중합 개시제 (C) 로는, 아세토페논계 화합물, 비이미다졸계 화합물, 옥심계 화합물, 트리아진계 화합물, 아실포스핀옥사이드계 화합물이 바람직하게 사용된다. 이들 광중합 개시제 (C) 에 광중합 개시 보조제 (C-1) 을 병용함으로써, 얻어지는 감광성 수지 조성물은 더욱 고감도가 되기 때문에, 이것을 사용하여 패턴을 형성하면, 패턴의 생산성이 향상되므로 바람직하다.As the photopolymerization initiator (C) contained in the photosensitive resin composition of the present invention, an acetophenone-based compound, a nonimidazole-based compound, an oxime-based compound, a triazine-based compound or an acylphosphine oxide-based compound is preferably used. When the photopolymerization initiator (C) is used in combination with the photopolymerization initiator (C-1), the resultant photosensitive resin composition has a higher sensitivity. Therefore, when a pattern is formed using the photopolymerization initiator, the productivity of the pattern is improved.

상기 아세토페논계 화합물로는, 예를 들어 디에톡시아세토페논, 2-히드록시-2-메틸-1-페닐프로판-1-온, 벤질디메틸케탈, 2-히드록시-1-[4-(2-히드록시에톡시)페닐]-2-메틸프로판-1-온, 1-히드록시시클로헥실페닐케톤, 2-메틸-1-(4-메틸티오페닐)-2-모르폴리노프로판-1-온, 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)부탄-1-온, 2-(2-메틸벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부탄온, 2-(3-메틸벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부탄온, 2-(4-메틸벤질)-2-디메틸아미노 -1-(4-모르폴리노페닐)-부탄온, 2-(2-에틸벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부탄온, 2-(2-프로필벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부탄온, 2-(2-부틸벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부탄온, 2-(2,3-디메틸벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부탄온, 2-(2,4-디메틸벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부탄온, 2-(2-클로로벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부탄온, 2-(2-브로모벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부탄온, 2-(3-클로로벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부탄온, 2-(4-클로로벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부탄온, 2-(3-브로모벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부탄온, 2-(4-브로모벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부탄온, 2-(2-메톡시벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부탄온, 2-(3-메톡시벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부탄온, 2-(4-메톡시벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부탄온, 2-(2-메틸-4-메톡시벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부탄온, 2-(2-메틸-4-브로모벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부탄온, 2-(2-브로모-4-메톡시벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부탄온, 2-히드록시-2-메틸-1-[4-(1-메틸비닐)페닐]프로판-1-온의 올리고머 등을 들 수 있다.Examples of the acetophenone-based compound include diethoxyacetophenone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, benzyldimethylketal, 2- 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2-methyl-1- (4-methylthiophenyl) -2-morpholinopropane-1- 2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one, 2- ) -Butanone, 2- (3-methylbenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (2-propylbenzyl) -2-dimethylamino- (2-butylbenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- Dimethylbenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (2,4- 2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2 (2-chlorobenzyl) - (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (3-chlorobenzyl) -2-dimethylamino- Phenyl) -butanone, 2- (4-chlorobenzyl) -2-dimethylamino-1- - (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (2-methoxybenzyl) -2-dimethylamino- Butanone, 2- (3-methoxybenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) 2- (4-methoxybenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (2-methyl-4-bromobenzyl) Bromo-4 2-methyl-1- [4- (1-methylvinyl) phenyl] propane-1, 2- -One oligomers, and the like.

상기 비이미다졸 화합물로는, 예를 들어 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐비이미다졸, 2,2'-비스(2,3-디클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐비이미다졸 (예를 들어, 일본 공개특허공보 평6-75372호, 일본 공개특허공보 평6-75373호 등 참조), 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐비이미다졸, 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라(알콕시페닐)비이미다졸, 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라(디알콕시페닐)비이미다졸, 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라(트리알콕시페닐)비이미다졸 (예를 들어, 일본 특허공보 소48-38403호, 일본 공개특허공보 소62-174204호 등 참조), 4,4'5,5'-위치의 페닐기가 카르보알콕시기에 의해 치환되어 있는 이미다졸 화합물 (예를 들어, 일본 공개특허공보 평7-10913호 등 참조) 등을 들 수 있다. 바람직하게는 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐비이미다졸, 2,2'-비스(2,3-디클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐비이미다졸을 들 수 있다.Examples of the imidazole compound include 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenylbiimidazole, 2,2'-bis 4,4 ', 5,5'-tetraphenylbiimidazole (see, for example, JP-A-6-75372, JP-A-6-75373, Bis (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenylbiimidazole, 2,2'-bis Tetra (alkoxyphenyl) biimidazole, 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetra -Chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetra (trialkoxyphenyl) biimidazole (see, for example, Japanese Patent Publication No. 48-38403, Japanese Patent Application Laid- Imidazole compounds in which the phenyl group at the 4,4'5,5'-position is substituted by a carboalkoxy group (see, for example, JP-A-7-10913). Preferred are 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenylbiimidazole, 2,2'-bis (2,3-dichlorophenyl) ', 5,5'-tetraphenylbiimidazole.

상기 옥심 화합물로는, 예를 들어 O-에톡시카르보닐-α-옥시이미노-1-페닐프로판-1-온, 식 (3) 으로 표시되는 화합물, 식 (4) 로 표시되는 화합물 등을 들 수 있다.Examples of the oxime compound include O-ethoxycarbonyl- [alpha] -oxyimino-1-phenylpropan-1-one, a compound represented by formula (3), a compound represented by formula (4) .

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상기 트리아진계 화합물로는, 예를 들어 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-(4-메톡시페닐)-1,3,5-트리아진, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-(4-메톡시나프틸)-1,3,5-트리아진, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-피페로닐-1,3,5-트리아진, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-(4-메톡시스티릴)-1,3,5-트리아진, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-[2-(5-메틸푸란-2-일)에테닐]-1,3,5-트리아진, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-[2-(푸란- 2-일)에테닐]-1,3,5-트리아진, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-[2-(4-디에틸아미노-2-메틸페닐)에테닐]-1,3,5-트리아진, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-[2-(3,4-디메톡시페닐)에테닐]-1,3,5-트리아진 등을 들 수 있다.Examples of the triazine compound include 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (4-methoxyphenyl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (4-methoxynaphthyl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6-piperonyl-1,3,5-triazine, 2,4 -Bis (trichloromethyl) -6- [2- (5-methylfuran-1-yl) Yl) ethenyl] -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (furan- Triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (4-diethylamino-2-methylphenyl) ethenyl] -1,3,5-triazine, 2,4- L-methylethyl) -6- [2- (3,4-dimethoxyphenyl) ethenyl] -1,3,5-triazine.

상기 아실포스핀옥사이드계 화합물로는, 예를 들어 2,4,6-트리메틸벤조일디페닐포스핀옥사이드 등을 들 수 있다.Examples of the acylphosphine oxide-based compound include 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide and the like.

또한, 본 발명의 효과를 저해하지 않을 정도이면, 이 분야에서 통상 사용되고 있는 광중합 개시제 등을 추가로 병용할 수 있고, 당해 광중합 개시제로는, 예를 들어 벤조인계 화합물, 벤조페논계 화합물, 티오크산톤계 화합물, 안트라센계 화합물 등을 들 수 있다.Further, as long as the effect of the present invention is not impaired, a photopolymerization initiator and the like commonly used in this field can be further used in combination. Examples of the photopolymerization initiator include benzoin compounds, benzophenone compounds, Anthone compound, anthone compound, anthracene compound, and the like.

보다 구체적으로는 이하와 같은 화합물을 들 수 있고, 이들을 각각 단독으로도, 또는 2 종 이상 조합하여 사용해도 된다.More specifically, the following compounds may be used. These may be used alone or in combination of two or more.

상기 벤조인계 화합물로는, 예를 들어 벤조인, 벤조인메틸에테르, 벤조인에틸에테르, 벤조인이소프로필에테르, 벤조인이소부틸에테르 등을 들 수 있다.Examples of the benzoin compound include benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, and benzoin isobutyl ether.

상기 벤조페논계 화합물로는, 예를 들어 벤조페논, o-벤조일벤조산 메틸, 4-페닐벤조페논, 4-벤조일-4'-메틸디페닐술파이드, 3,3',4,4'-테트라(tert-부틸퍼옥시카르보닐)벤조페논, 2,4,6-트리메틸벤조페논 등을 들 수 있다.Examples of the benzophenone compound include benzophenone, methyl o-benzoylbenzoate, 4-phenylbenzophenone, 4-benzoyl-4'-methyldiphenylsulfide, 3,3 ', 4,4'-tetra (tert-butylperoxycarbonyl) benzophenone, 2,4,6-trimethylbenzophenone, and the like.

상기 티오크산톤계 화합물로는, 예를 들어 2-이소프로필티오크산톤, 4-이소프로필티오크산톤, 2,4-디에틸티오크산톤, 2,4-디클로로티오크산톤, 1-클로로-4-프로폭시티오크산톤 등을 들 수 있다.Examples of the thioxanthone compound include 2-isopropylthioxanthone, 4-isopropylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2,4-dichlorothioxanthone, 1- -4-propoxyoctanoic acid, and the like.

상기 안트라센계 화합물로는, 예를 들어 9,10-디메톡시안트라센, 2-에틸- 9,10-디메톡시안트라센, 9,10-디에톡시안트라센, 2-에틸-9,10-디에톡시안트라센 등을 들 수 있다.Examples of the anthracene compound include 9,10-dimethoxyanthracene, 2-ethyl-9,10-dimethoxyanthracene, 9,10-diethoxyanthracene, 2-ethyl-9,10-diethoxyanthracene, etc. .

그 외에도, 10-부틸-2-클로로아크리돈, 2-에틸안트라퀴논, 벤질, 9,10-페난트렌퀴논, 캄파퀴논, 페닐글리옥실산 메틸, 티타노센 화합물 등이 광중합 개시제로서 예시된다.In addition, examples of the photopolymerization initiator include 10-butyl-2-chloroacridone, 2-ethyl anthraquinone, benzyl, 9,10-phenanthrenequinone, camphorquinone, methyl phenylglyoxylate and titanocene compounds.

또한, 연쇄 이동을 일으킬 수 있는 기를 갖는 광중합 개시제로서, 일본 공표특허공보 2002-544205호에 기재되어 있는 광중합 개시제를 사용할 수 있다.As a photopolymerization initiator having a group capable of chain transfer, a photopolymerization initiator described in JP-A-2002-544205 can be used.

상기 연쇄 이동을 일으킬 수 있는 기를 갖는 광중합 개시제로는, 예를 들어 하기 식 (5)∼(10) 의 광중합 개시제를 들 수 있다.Examples of the photopolymerization initiator having a group capable of causing chain transfer include photopolymerization initiators represented by the following formulas (5) to (10).

Figure 112007090916051-pat00006
Figure 112007090916051-pat00006

또한, 광 및/또는 열 양이온 중합 개시제를 사용할 수 있다.Further, a light and / or thermal cationic polymerization initiator may be used.

광 및/또는 열 양이온 중합 개시제는, 오늄 양이온과 루이스산 유래의 음이온으로 구성되어 있는 것도 사용할 수 있다.The light and / or thermal cationic polymerization initiator may be composed of an onium cation and an anion derived from a Lewis acid.

상기 오늄 양이온의 구체예로는, 디페닐요오드늄, 비스(p-톨릴)요오드늄, 비스(p-tert-부틸페닐)요오드늄, 비스(p-옥틸페닐)요오드늄, 비스(p-옥타데실페닐)요오드늄, 비스(p-옥틸옥시페닐)요오드늄, 비스(p-옥타데실옥시페닐)요오드늄, 페닐(p-옥타데실옥시페닐)요오드늄, (p-톨릴)(p-이소프로필페닐)요오드늄, 트리페닐술포늄, 트리스(p-톨릴)술포늄, 트리스(p-이소프로필페닐)술포늄, 트리스(2,6-디메 틸페닐)술포늄, 트리스(p-tert-부틸페닐)술포늄, 트리스(p-시아노페닐)술포늄, 트리스(p-클로로페닐)술포늄, 디메틸(메톡시)술포늄, 디메틸(에톡시)술포늄, 디메틸(프로폭시)술포늄, 디메틸(부톡시)술포늄, 디메틸(옥틸옥시)술포늄, 디메틸(옥타데칸옥시)술포늄, 디메틸(이소프로폭시)술포늄, 디메틸(tert-부톡시)술포늄, 디메틸(시클로펜틸옥시)술포늄, 디메틸(시클로헥실옥시)술포늄, 디메틸(플루오로메톡시)술포늄, 디메틸(2-클로로에톡시)술포늄, 디메틸(3-브로모프로폭시)술포늄, 디메틸(4-시아노부톡시)술포늄, 디메틸(8-니트로옥틸옥시)술포늄, 디메틸(18-트리플루오로메틸옥타데칸옥시)술포늄, 디메틸(2-히드록시이소프로폭시)술포늄, 또는 디메틸(트리스(트리클로로메틸)메틸)술포늄 등을 들 수 있다.Specific examples of the onium cation include diphenyliodonium, bis (p-tolyl) iodonium, bis (p-tert-butylphenyl) iodonium, bis (P-octyloxyphenyl) iodonium, (p-octadecyloxyphenyl) iodonium, (p-tolyl) (p-iso (P-tert-butylphenyl) sulfonium, tris (2,6-dimethylphenyl) sulfonium, tris (p- (P-cyanophenyl) sulfonium, tris (p-chlorophenyl) sulfonium, dimethyl (methoxy) sulfonium, dimethyl (ethoxy) , Dimethyl (butoxy) sulfonium, dimethyl (octyloxy) sulfonium, dimethyl (octadecoxy) sulfonium, dimethyl ) Sulfonium, dimethyl (3-bromoproxy) sulfonium, dimethyl (4-cyanobutoxy) sulfonium, dimethyl (4-cyanobutoxy) sulfonium, Dimethyl (tris (trichloromethyl) methyl) diphenylsulfonium chloride, dimethyl (8-nitrooctyloxy) sulfonium, dimethyl (18- trifluoromethyloctadecaneoxy) Sulfonium, and the like.

바람직한 오늄 양이온으로는, 비스(p-톨릴)요오드늄, (p-톨릴)(p-이소프로필페닐)요오드늄, 비스(p-tert-부틸페닐)요오드늄, 트리페닐술포늄 또는 트리스(p-tert-부틸페닐)술포늄 등을 들 수 있다.Preferable examples of the onium cation include bis (p-tolyl) iodonium, p-tolyl (p-isopropylphenyl) iodonium, bis (p-tert- butylphenyl) iodonium, triphenylsulfonium or tris -tert-butylphenyl) sulfonium, and the like.

상기 루이스산 유래의 음이온의 구체예로는, 헥사플루오로포스페이트, 헥사플루오로아르세네이트, 헥사플루오로안티모네이트 또는 테트라키스(펜타플루오로페닐)보레이트 등을 들 수 있다. 바람직한 루이스산 유래의 음이온으로는, 헥사플루오로안티모네이트 또는 테트라키스(펜타플루오로페닐)보레이트를 들 수 있다.Specific examples of the anion derived from the Lewis acid include hexafluorophosphate, hexafluoroarsenate, hexafluoroantimonate, and tetrakis (pentafluorophenyl) borate. Preferred examples of the anion derived from Lewis acid include hexafluoroantimonate or tetrakis (pentafluorophenyl) borate.

상기 오늄 양이온 및 루이스산 유래의 음이온은 임의로 조합할 수 있다.The onium cation and the anion derived from the Lewis acid may be arbitrarily combined.

양이온 중합 개시제의 구체예로는, 디페닐요오드늄헥사플루오로포스페이트, 비스(p-톨릴)요오드늄헥사플루오로포스페이트, 비스(p-tert-부틸페닐)요오드늄헥사플루오로포스페이트, 비스(p-옥틸페닐)요오드늄헥사플루오로포스페이트, 비스(p-옥 타데실페닐)요오드늄헥사플루오로포스페이트, 비스(p-옥틸옥시페닐)요오드늄헥사플루오로포스페이트, 비스(p-옥타데실옥시페닐)요오드늄헥사플루오로포스페이트, 페닐(p-옥타데실옥시페닐)요오드늄헥사플루오로포스페이트, (p-톨릴)(p-이소프로필페닐)요오드늄헥사플루오로포스페이트, 메틸나프틸요오드늄헥사플루오로포스페이트, 에틸나프틸요오드늄헥사플루오로포스페이트, 트리페닐술포늄헥사플루오로포스페이트, 트리스(p-톨릴)술포늄헥사플루오로포스페이트, 트리스(p-이소프로필페닐)술포늄헥사플루오로포스페이트, 트리스(2,6-디메틸페닐)술포늄헥사플루오로포스페이트, 트리스(p-tert-부틸페닐)술포늄헥사플루오로포스페이트, 트리스(p-시아노페닐)술포늄헥사플루오로포스페이트, 트리스(p-클로로페닐)술포늄헥사플루오로포스페이트, 디메틸나프틸술포늄헥사플루오로포스페이트, 디에틸나프틸술포늄헥사플루오로포스페이트, 디메틸(메톡시)술포늄헥사플루오로포스페이트, 디메틸(에톡시)술포늄헥사플루오로포스페이트, 디메틸(프로폭시)술포늄헥사플루오로포스페이트, 디메틸(부톡시)술포늄헥사플루오로포스페이트, 디메틸(옥틸옥시)술포늄헥사플루오로포스페이트, 디메틸(옥타데칸옥시)술포늄헥사플루오로포스페이트, 디메틸(이소프로폭시)술포늄헥사플루오로포스페이트, 디메틸(tert-부톡시)술포늄헥사플루오로포스페이트, 디메틸(시클로펜틸옥시)술포늄헥사플루오로포스페이트, 디메틸(시클로헥실옥시)술포늄헥사플루오로포스페이트, 디메틸(플루오로메톡시)술포늄헥사플루오로포스페이트, 디메틸(2-클로로에톡시)술포늄헥사플루오로포스페이트, 디메틸(3-브로모프로폭시)술포늄헥사플루오로포스페이트, 디메틸(4-시아노부톡시)술포늄헥사플루오로포스페이트, 디메틸(8-니트로옥틸옥시)술포늄헥사플루오로포스페이트, 디메틸(18-트리 플루오로메틸옥타데칸옥시)술포늄헥사플루오로포스페이트, 디메틸(2-히드록시이소프로폭시)술포늄헥사플루오로포스페이트, 디메틸(트리스(트리클로로메틸)메틸)술포늄헥사플루오로포스페이트 ;Specific examples of the cationic polymerization initiator include diphenyliodonium hexafluorophosphate, bis (p-tolyl) iodonium hexafluorophosphate, bis (p-tert-butylphenyl) iodonium hexafluorophosphate, bis (P-octadecylphenyl) iodonium hexafluorophosphate, bis (p-octyloxyphenyl) iodonium hexafluorophosphate, bis (p-octadecyloxyphenyl) iodonium hexafluorophosphate, bis ) Iodonium hexafluorophosphate, phenyl (p-octadecyloxyphenyl) iodonium hexafluorophosphate, (p-tolyl) (p-isopropylphenyl) iodonium hexafluorophosphate, methylnaphthyl iodonium hexafluoro (P-tolyl) sulfonium hexafluorophosphate, tris (p-isopropylphenyl) sulfonium hexafluorophosphate, triphenylsulfonium hexafluorophosphate, tris (P-cyanophenyl) sulfonium hexafluorophosphate, tris (2,6-dimethylphenyl) sulfonium hexafluorophosphate, tris (p-tert- butylphenyl) sulfonium hexafluorophosphate, tris Dimethyl (methoxy) sulfonium hexafluorophosphate, dimethyl (ethoxy) phosphonium hexafluorophosphate, tris (p-chlorophenyl) sulfonium hexafluorophosphate, dimethylnaphthylsulfonium hexafluorophosphate, diethylnaphthylsulfonium hexafluorophosphate, Dimethyl (octyloxy) sulfonium hexafluorophosphate, dimethyl (octyloxy) sulfonium hexafluorophosphate, dimethyl (propoxyl) sulfonium hexafluorophosphate, dimethyl (butoxy) sulfonium hexafluorophosphate, (Isopropoxy) sulfonium hexafluorophosphate, dimethyl (tert-butoxy) sulfonium hexafluorophosphate, dimethyl (cyclopentyl) sulfonium hexafluorophosphate, dimethyl (2-chloroethoxy) sulfonium hexafluorophosphate, dimethyl (cyclohexyloxy) sulfonium hexafluorophosphate, dimethyl (fluoromethoxy) sulfonium hexafluorophosphate, dimethyl (4-cyanobutoxy) sulfonium hexafluorophosphate, dimethyl (8-nitrooctyloxy) sulfonium hexafluorophosphate, dimethyl (3-bromopropoxy) sulfonium hexafluorophosphate, dimethyl (Trichloromethyl) methylsulfonium hexafluorophosphate, dimethyl (2-hydroxyisopropoxy) sulfonium hexafluorophosphate, dimethyl (tris (trichloromethyl) methyl) sulfonium hexafluorophosphate, ;

디페닐요오드늄헥사플루오로아르세네이트, 비스(p-톨릴)요오드늄헥사플루오로아르세네이트, 비스(p-tert-부틸페닐)요오드늄헥사플루오로아르세네이트, 비스(p-옥틸페닐)요오드늄헥사플루오로아르세네이트, 비스(p-옥타데실페닐)요오드늄헥사플루오로아르세네이트, 비스(p-옥틸옥시페닐)요오드늄헥사플루오로아르세네이트, 비스(p-옥타데실옥시페닐)요오드늄헥사플루오로아르세네이트, 페닐(p-옥타데실옥시페닐)요오드늄헥사플루오로아르세네이트, (p-톨릴)(p-이소프로필페닐)요오드늄헥사플루오로아르세네이트, 메틸나프틸요오드늄헥사플루오로아르세네이트, 에틸나프틸요오드늄헥사플루오로아르세네이트, 트리페닐술포늄헥사플루오로아르세네이트, 트리스(p-톨릴)술포늄헥사플루오로아르세네이트, 트리스(p-이소프로필페닐)술포늄헥사플루오로아르세네이트, 트리스(2,6-디메틸페닐)술포늄헥사플루오로아르세네이트, 트리스(p-tert-부틸페닐)술포늄헥사플루오로아르세네이트, 트리스(p-시아노페닐)술포늄헥사플루오로아르세네이트, 트리스(p-클로로페닐)술포늄헥사플루오로아르세네이트, 디메틸나프틸술포늄헥사플루오로아르세네이트, 디에틸나프틸술포늄헥사플루오로아르세네이트, 디메틸(메톡시)술포늄헥사플루오로아르세네이트, 디메틸(에톡시)술포늄헥사플루오로아르세네이트, 디메틸(프로폭시)술포늄헥사플루오로아르세네이트, 디메틸(부톡시)술포늄헥사플루오로아르세네이트, 디메틸(옥틸옥시)술포늄헥사플루오로아르세네이트, 디메틸(옥타데칸옥시)술포늄헥사플루오로아르세네이트, 디메틸(이소프로폭시)술포늄헥사플루오로아르세네이트, 디메틸(tert-부톡시)술포늄헥사플루오로아르세네이트, 디메틸(시클로펜틸옥시)술포늄헥사플루오로아르세네이트, 디메틸(시클로헥실옥시)술포늄헥사플루오로아르세네이트, 디메틸(플루오로메톡시)술포늄헥사플루오로아르세네이트, 디메틸(2-클로로에톡시)술포늄헥사플루오로아르세네이트, 디메틸(3-브로모프로폭시)술포늄헥사플루오로아르세네이트, 디메틸(4-시아노부톡시)술포늄헥사플루오로아르세네이트, 디메틸(8-니트로옥틸옥시)술포늄헥사플루오로아르세네이트, 디메틸(18-트리플루오로메틸옥타데칸옥시)술포늄헥사플루오로아르세네이트, 디메틸(2-히드록시이소프로폭시)술포늄헥사플루오로아르세네이트, 디메틸(트리스(트리클로로메틸)메틸)술포늄헥사플루오로아르세네이트 ;Diphenyliodonium hexafluoroarsenate, diphenyliodonium hexafluoroarsenate, bis (p-tolyl) iodonium hexafluoroarsenate, bis (p-tert-butylphenyl) iodonium hexafluoroarsenate, bis ), Iodonium hexafluoroarsenate, bis (p-octadecylphenyl) iodonium hexafluoroarsenate, bis (p-octyloxyphenyl) iodonium hexafluoroarsenate, bis (P-tolyl) (p-isopropylphenyl) iodonium hexafluoroarsenate (p-phenylphenyl) iodonium hexafluoroarsenate, phenyl (p-octadecyloxyphenyl) iodonium hexafluoroarsenate, , Methyl naphthyl iodonium hexafluoroarsenate, ethyl naphthyl iodonium hexafluoroarsenate, triphenylsulfonium hexafluoroarsenate, tris (p-tolyl) sulfonium hexafluoroarsenate , Tris (p-isopropylphenyl) sulfonium hexafluoro Tris (2,6-dimethylphenyl) sulfonium hexafluoroarsenate, tris (p-tert-butylphenyl) sulfonium hexafluoroarsenate, tris (p-cyanophenyl) sulfonium hexa Dimethyl (methoxy) hexafluoroarsenate, dimethyl naphthylsulfonium hexafluoroarsenate, diethyl naphthylsulfonium hexafluoroarsenate, tris (p-chlorophenyl) sulfonium hexafluoroarsenate, (Methoxy) sulfonium hexafluoroarsenate, dimethyl (ethoxy) sulfonium hexafluoroarsenate, dimethyl (propoxy) sulfonium hexafluoroarsenate, dimethyl (butoxy) sulfonium hexafluoroarsenate , Dimethyl (octyloxy) sulfonium hexafluoroarsenate, dimethyl (octadecaneoxy) sulfonium hexafluoroarsenate, dimethyl (isopropoxy) sulfonium hexafluoroarsenate, dimethyl Ethoxy) sulfonium hexafluoro Dimethyl (cyclopentyloxy) sulfonium hexafluoroarsenate, dimethyl (cyclohexyloxy) sulfonium hexafluoroarsenate, dimethyl (fluoromethoxy) sulfonium hexafluoroarsenate, dimethyl (2-chloroethoxy) sulfonium hexafluoroarsenate, dimethyl (3-bromopropoxy) sulfonium hexafluoroarsenate, dimethyl (4-cyanobutoxy) sulfonium hexafluoroarsenate , Dimethyl (8-nitrooctyloxy) sulfonium hexafluoroarsenate, dimethyl (18-trifluoromethyloctadecaneoxy) sulfonium hexafluoroarsenate, dimethyl (2-hydroxyisopropoxy) Tetra (trichloromethyl) methyl) sulfonium hexafluoroarsenate, dimethyl (tris (trichloromethyl) methyl) sulfonium hexafluoroarsenate;

디페닐요오드늄헥사플루오로안티모네이트, 비스(p-톨릴)요오드늄헥사플루오로안티모네이트, 비스(p-tert-부틸페닐)요오드늄헥사플루오로안티모네이트, 비스(p-옥틸페닐)요오드늄헥사플루오로안티모네이트, 비스(p-옥타데실페닐)요오드늄헥사플루오로안티모네이트, 비스(p-옥틸옥시페닐)요오드늄헥사플루오로안티모네이트, 비스(p-옥타데실옥시페닐)요오드늄헥사플루오로안티모네이트, 페닐(p-옥타데실옥시페닐)요오드늄헥사플루오로안티모네이트, (p-톨릴)(p-이소프로필페닐)요오드늄헥사플루오로안티모네이트, 메틸나프틸요오드늄헥사플루오로안티모네이트, 에틸나프틸요오드늄헥사플루오로안티모네이트, 트리페닐술포늄헥사플루오로안티모네이트, 트리스(p-톨릴)술포늄헥사플루오로안티모네이트, 트리스(p-이소프로필페닐)술포늄헥사플루오로안티모네이트, 트리스(2,6-디메틸페닐)술포늄헥사플루오로안티모네이트, 트리스(p-tert-부틸페닐)술포늄헥사플루오로안티모네이트, 트리스(p-시아노페 닐)술포늄헥사플루오로안티모네이트, 트리스(p-클로로페닐)술포늄헥사플루오로안티모네이트, 디메틸나프틸술포늄헥사플루오로안티모네이트, 디에틸나프틸술포늄헥사플루오로안티모네이트, 디메틸(메톡시)술포늄헥사플루오로안티모네이트, 디메틸(에톡시)술포늄헥사플루오로안티모네이트, 디메틸(프로폭시)술포늄헥사플루오로안티모네이트, 디메틸(부톡시)술포늄헥사플루오로안티모네이트, 디메틸(옥틸옥시)술포늄헥사플루오로안티모네이트, 디메틸(옥타데칸옥시)술포늄헥사플루오로안티모네이트, 디메틸(이소프로폭시)술포늄헥사플루오로안티모네이트, 디메틸(tert-부톡시)술포늄헥사플루오로안티모네이트, 디메틸(시클로펜틸옥시)술포늄헥사플루오로안티모네이트, 디메틸(시클로헥실옥시)술포늄헥사플루오로안티모네이트, 디메틸(플루오로메톡시)술포늄헥사플루오로안티모네이트, 디메틸(2-클로로에톡시)술포늄헥사플루오로안티모네이트, 디메틸(3-브로모프로폭시)술포늄헥사플루오로안티모네이트, 디메틸(4-시아노부톡시)술포늄헥사플루오로안티모네이트, 디메틸(8-니트로옥틸옥시)술포늄헥사플루오로안티모네이트, 디메틸(18-트리플루오로메틸옥타데칸옥시)술포늄헥사플루오로안티모네이트, 디메틸(2-히드록시이소프로폭시)술포늄헥사플루오로안티모네이트, 디메틸(트리스(트리클로로메틸)메틸)술포늄헥사플루오로안티모네이트 ;Diphenyliodonium hexafluoroantimonate, bis (p-tolyl) iodonium hexafluoroantimonate, bis (p-tert-butylphenyl) iodonium hexafluoroantimonate, bis ), Iodonium hexafluoroantimonate, bis (p-octadecylphenyl) iodonium hexafluoroantimonate, bis (p-octyloxyphenyl) iodonium hexafluoroantimonate, bis Iodonium hexafluoroantimonate, phenyl (p-octadecyloxyphenyl) iodonium hexafluoroantimonate, (p-tolyl) (p-isopropylphenyl) iodonium hexafluoroantimonate , Methylnaphthyl iodonium hexafluoroantimonate, ethylnaphthyl iodonium hexafluoroantimonate, triphenylsulfonium hexafluoroantimonate, tris (p-tolyl) sulfonium hexafluoroantimonate , Tris (p-isopropylphenyl) sulfonium hexafluoro (P-tert-butylphenyl) sulfonium hexafluoroantimonate, tris (p-cyanophenyl) sulfonium hexa sulphonium hexafluoroantimonate, Dimethyl (methoxy) hexafluoroantimonate, dimethyl naphthylsulfonium hexafluoroantimonate, diethyl naphthylsulfonium hexafluoroantimonate, tris (p-chlorophenyl) sulfonium hexafluoroantimonate, dimethyl naphthylsulfonium hexafluoroantimonate, (Methoxy) sulfonium hexafluoroantimonate, dimethyl (ethoxy) sulfonium hexafluoroantimonate, dimethyl (propoxy) sulfonium hexafluoroantimonate, dimethyl (butoxy) sulfonium hexafluoroantimonate , Dimethyl (octyloxy) sulfonium hexafluoroantimonate, dimethyl (octadecaneoxy) sulfonium hexafluoroantimonate, dimethyl (isopropoxy) sulfonium hexafluoroantimonate, dimethyl Ethoxy) sulfonium hexafluoro Dimethyl (cyclopentyloxy) sulfonium hexafluoroantimonate, dimethyl (cyclohexyloxy) sulfonium hexafluoroantimonate, dimethyl (fluoromethoxy) sulfonium hexafluoroantimonate, dimethyl (2-chloroethoxy) sulfonium hexafluoroantimonate, dimethyl (3-bromopropoxy) sulfonium hexafluoroantimonate, dimethyl (4-cyanobutoxy) sulfonium hexafluoroantimonate , Dimethyl (8-nitrooctyloxy) sulfonium hexafluoroantimonate, dimethyl (18-trifluoromethyloctadecaneoxy) sulfonium hexafluoroantimonate, dimethyl (2-hydroxyisopropoxy) Dimethyl (tris (trichloromethyl) methyl) sulfonium hexafluoroantimonate, tetra (trichloromethyl) methylsulfonium hexafluoroantimonate;

디페닐요오드늄테트라키스(펜타플루오로페닐)보레이트, 비스(p-톨릴)요오드늄테트라키스(펜타플루오로페닐)보레이트, 비스(p-tert-부틸페닐)요오드늄테트라키스(펜타플루오로페닐)보레이트, 비스(p-옥틸페닐)요오드늄테트라키스(펜타플루오로페닐)보레이트, 비스(p-옥타데실페닐)요오드늄테트라키스(펜타플루오로페닐)보레이트, 비스(p-옥틸옥시페닐)요오드늄테트라키스(펜타플루오로페닐)보레이트, 비스(p- 옥타데실옥시페닐)요오드늄테트라키스(펜타플루오로페닐)보레이트, 페닐(p-옥타데실옥시페닐)요오드늄테트라키스(펜타플루오로페닐)보레이트, (p-톨릴)(p-이소프로필페닐)요오드늄테트라키스(펜타플루오로페닐)보레이트, 메틸나프틸요오드늄테트라키스(펜타플루오로페닐)보레이트, 에틸나프틸요오드늄테트라키스(펜타플루오로페닐)보레이트, 트리페닐술포늄테트라키스(펜타플루오로페닐)보레이트, 트리스(p-톨릴)술포늄테트라키스(펜타플루오로페닐)보레이트, 트리스(p-이소프로필페닐)술포늄테트라키스(펜타플루오로페닐)보레이트, 트리스(2,6-디메틸페닐)술포늄테트라키스(펜타플루오로페닐)보레이트, 트리스(p-tert-부틸페닐)술포늄테트라키스(펜타플루오로페닐)보레이트, 트리스(p-시아노페닐)술포늄테트라키스(펜타플루오로페닐)보레이트, 트리스(p-클로로페닐)술포늄테트라키스(펜타플루오로페닐)보레이트, 디메틸나프틸술포늄테트라키스(펜타플루오로페닐)보레이트, 디에틸나프틸술포늄테트라키스(펜타플루오로페닐)보레이트, 디메틸(메톡시)술포늄테트라키스(펜타플루오로페닐)보레이트, 디메틸(에톡시)술포늄테트라키스(펜타플루오로페닐)보레이트, 디메틸(프로폭시)술포늄테트라키스(펜타플루오로페닐)보레이트, 디메틸(부톡시)술포늄테트라키스(펜타플루오로페닐)보레이트, 디메틸(옥틸옥시)술포늄테트라키스(펜타플루오로페닐)보레이트, 디메틸(옥타데칸옥시)술포늄테트라키스(펜타플루오로페닐)보레이트, 디메틸(이소프로폭시)술포늄테트라키스(펜타플루오로페닐)보레이트, 디메틸(tert-부톡시)술포늄테트라키스(펜타플루오로페닐)보레이트, 디메틸(시클로펜틸옥시)술포늄테트라키스(펜타플루오로페닐)보레이트, 디메틸(시클로헥실옥시)술포늄테트라키스(펜타플루오로페닐)보레이트, 디메틸(플루오로메톡시)술포늄테트라키스 (펜타플루오로페닐)보레이트, 디메틸(2-클로로에톡시)술포늄테트라키스(펜타플루오로페닐)보레이트, 디메틸(3-브로모프로폭시)술포늄테트라키스(펜타플루오로페닐)보레이트, 디메틸(4-시아노부톡시)술포늄테트라키스(펜타플루오로페닐)보레이트, 디메틸(8-니트로옥틸옥시)술포늄테트라키스(펜타플루오로페닐)보레이트, 디메틸(18-트리플루오로메틸옥타데칸옥시)술포늄테트라키스(펜타플루오로페닐)보레이트, 디메틸(2-히드록시이소프로폭시)술포늄테트라키스(펜타플루오로페닐)보레이트, 디메틸(트리스(트리클로로메틸)메틸)술포늄테트라키스(펜타플루오로페닐)보레이트 등을 들 수 있고, 바람직하게는 비스(p-톨릴)요오드늄헥사플루오로포스페이트, (p-톨릴)(p-이소프로필페닐)요오드늄헥사플루오로포스페이트, 비스(p-tert-부틸페닐)요오드늄헥사플루오로포스페이트, 트리페닐술포늄헥사플루오로포스페이트, 트리스(p-tert-부틸페닐)술포늄헥사플루오로포스페이트, 비스(p-톨릴)요오드늄헥사플루오로아르세네이트, (p-톨릴)(p-이소프로필페닐)요오드늄헥사플루오로아르세네이트, 비스(p-tert-부틸페닐)요오드늄헥사플루오로아르세네이트, 트리페닐술포늄헥사플루오로아르세네이트, 트리스(p-t-부틸페닐)술포늄헥사플루오로아르세네이트, 비스(p-톨릴)요오드늄헥사플루오로안티모네이트, (p-톨릴)(p-이소프로필페닐)요오드늄헥사플루오로안티모네이트, 비스(p-tert-부틸페닐)요오드늄헥사플루오로안티모네이트, 트리페닐술포늄헥사플루오로안티모네이트, 트리스(p-tert-부틸페닐)술포늄헥사플루오로안티모네이트, 비스(p-톨릴)요오드늄테트라키스(펜타플루오로페닐)보레이트, (p-톨릴)(p-이소프로필페닐)요오드늄테트라키스(펜타플루오로페닐)보레이트, 비스(p-tert-부틸페닐)요오드늄, 트리페닐술포늄테트라키스(펜타플루오로페닐)보레이트, 트리스(p-tert-부틸페닐)술포늄테트라키스(펜타플루오로페닐)보레이트 등을 들 수 있고, 보다 바람직하게는 비스(p-톨릴)요오드늄헥사플루오로안티모네이트, (p-톨릴)(p-이소프로필페닐)요오드늄헥사플루오로안티모네이트, 비스(p-tert-부틸페닐)요오드늄헥사플루오로안티모네이트, 트리페닐술포늄헥사플루오로안티모네이트, 트리스(p-tert-부틸페닐)술포늄헥사플루오로안티모네이트, 비스(p-톨릴)요오드늄테트라키스(펜타플루오로페닐)보레이트, (p-톨릴)(p-이소프로필페닐)요오드늄테트라키스(펜타플루오로페닐)보레이트, 비스(p-tert-부틸페닐)요오드늄테트라키스(펜타플루오로페닐)보레이트, 트리페닐술포늄테트라키스(펜타플루오로페닐)보레이트, 또는 트리스(p-tert-부틸페닐)술포늄테트라키스(펜타플루오로페닐)보레이트 등을 들 수 있다.(Pentafluorophenyl) borate, bis (p-tolyl) iodonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, bis (p-tert- butylphenyl) iodonium tetrakis ) Borate, bis (p-octylphenyl) iodonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, bis (p-octadecylphenyl) iodonium tetrakis (pentafluorophenyl) Iodonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, phenyl (p-octadecyloxyphenyl) iodonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, bis (p-octadecyloxyphenyl) (Pentafluorophenyl) borate, methylnaphthyl iodonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, ethyl naphthyl iodonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, (Pentafluorophenyl) borate, (Pentafluorophenyl) borate, tris (p-tolyl) sulfonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, tris (p-isopropylphenyl) sulfonium tetrakis Borate, tris (2,6-dimethylphenyl) sulfonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, tris (p-tert- butylphenyl) sulfonium tetrakis (pentafluorophenyl) (Pentafluorophenyl) borate, tris (p-chlorophenyl) sulfonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, dimethylnaphthylsulfonium tetrakis (pentafluorophenyl) (Pentafluorophenyl) borate, dimethyl (methoxy) sulfonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, dimethyl (ethoxy) sulfonium tetrakis ) Sulfonium tet (Pentafluorophenyl) borate, dimethyl (octyldecyloxy) borate, dimethyl (octyldecyloxy) borate, dimethyl (Pentafluorophenyl) borate, dimethyl (isopropoxy) sulfonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, dimethyl (tert-butoxy) sulfonium tetrakis (Pentafluorophenyl) borate, dimethyl (cyclohexyloxy) sulfonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, dimethyl (fluoromethoxy) sulfonium tetrakis (pentafluorophenyl) ) Borate, dimethyl (2-chloroethoxy) sulfonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, dimethyl (3-bromoproxy) sulfonium tetrakis (Pentafluorophenyl) borate, dimethyl (8-nitrooctyloxy) sulfonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, dimethyl (18-trifluoromethyloctadecanoxy) sulfonium tetrakis (Pentafluorophenyl) borate, dimethyl (tris (trichloromethyl) methylsulfonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, dimethyl (2-hydroxyisopropoxy) sulfonium tetrakis (P-tolyl) (p-isopropylphenyl) iodonium hexafluorophosphate, bis (p-tert-butylphenyl) iodonium hexafluorophosphate, (P-tert-butylphenyl) sulfonium hexafluorophosphate, bis (p-tolyl) iodonium hexafluoroarsenate, (p-tert-butylphenyl) sulfonium hexafluorophosphate, - tolyl) (p-isopropylphenyl ) Iodonium hexafluoroarsenate, bis (p-tert-butylphenyl) iodonium hexafluoroarsenate, triphenylsulfonium hexafluoroarsenate, tris (pt-butylphenyl) sulfonium hexafluoro (P-tert-butylphenyl) iodonium hexafluoroantimonate, bis (p-tolyl) iodonium hexafluoroantimonate, (P-tert-butylphenyl) sulfonium hexafluoroantimonate, bis (p-tolyl) iodonium tetrakis (pentaerythritol hexafluoroantimonate), triphenylsulfonium hexafluoroantimonate, Iodonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, bis (p-tert-butylphenyl) iodonium, triphenylsulfonium tetrakis (penta Fluorophenyl) borate, tris (p-tert-butylphenyl) sulfonium tetrakis (pentafluoro (P-tolyl) (p-isopropylphenyl) iodonium hexafluoroantimonate, bis (p-tolyl) hexafluoroantimonate and the like can be given. (p-tert-butylphenyl) iodonium hexafluoroantimonate, triphenylsulfonium hexafluoroantimonate, tris (p-tert-butylphenyl) sulfonium hexafluoroantimonate, bis Iodonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, bis (p-tert-butylphenyl) iodonium tetra (pentafluorophenyl) borate, (Pentafluorophenyl) borate, triphenylsulfonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, or tris (p-tert-butylphenyl) sulfonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate.

또한, 광중합 개시제에 광중합 개시 보조제 (C-1) 을 조합하여 사용할 수도 있고, 광중합 개시 보조제를 복수의 조합으로 사용할 수도 있다.The photopolymerization initiator may be used in combination with the photopolymerization initiator (C-1), or a plurality of photopolymerization initiators may be used in combination.

광중합 개시 보조제로는, 아민 화합물, 카르복실산 화합물, 다관능 티올 화합물, 식 (Ⅲ) 으로 표시되는 화합물 등을 들 수 있다. 상기 아민 화합물로는, 방향족 아민 화합물이 바람직하다. 광중합 개시제로는, 아민 화합물, 다관능 티올, 식 (Ⅲ) 으로 표시할 수 있는 화합물이 바람직하다.Examples of the photopolymerization initiator include amine compounds, carboxylic acid compounds, polyfunctional thiol compounds, and compounds represented by the formula (III). As the amine compound, an aromatic amine compound is preferable. As the photopolymerization initiator, an amine compound, a polyfunctional thiol, and a compound represented by the formula (III) are preferable.

광중합 개시 보조제 (C-1) 로는, 예를 들어 트리에탄올아민, 메틸디에탄올아민, 트리이소프로판올아민 등의 지방족 아민 화합물, 4-디메틸아미노벤조산 메틸, 4-디메틸아미노벤조산 에틸, 4-디메틸아미노벤조산 이소아밀, 4-디메틸아미노벤조산 2-에틸헥실, 벤조산 2-디메틸아미노에틸, N,N-디메틸파라톨루이딘, 4,4'-비스 (디메틸아미노)벤조페논 (통칭 ; 미힐러케톤), 4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논 등의 방향족 아민 화합물 ;Examples of the photopolymerization initiation auxiliary (C-1) include aliphatic amine compounds such as triethanolamine, methyldiethanolamine and triisopropanolamine; aliphatic amine compounds such as methyl 4-dimethylaminobenzoate, ethyl 4-dimethylaminobenzoate, Amyl, 2-ethylhexyl 4-dimethylaminobenzoate, 2-dimethylaminoethyl benzoate, N, N-dimethylparatoluidine, 4,4'-bis (dimethylamino) benzophenone Aromatic amine compounds such as bis (diethylamino) benzophenone;

페닐티오아세트산, 메틸페닐티오아세트산, 에틸페닐티오아세트산, 메틸에틸페닐티오아세트산, 디메틸페닐티오아세트산, 메톡시페닐티오아세트산, 디메톡시페닐티오아세트산, 클로로페닐티오아세트산, 디클로로페닐티오아세트산, N-페닐글리신, 페녹시아세트산, 나프틸티오아세트산, N-나프틸글리신, 나프톡시아세트산 등의 방향족 헤테로아세트산류 등의 카르복실산 화합물 ;Phenylthioacetic acid, methylphenylthioacetic acid, methylphenylthioacetic acid, methylphenylthioacetic acid, dimethylphenylthioacetic acid, methoxyphenylthioacetic acid, dimethoxyphenylthioacetic acid, chlorophenylthioacetic acid, dichlorophenylthioacetic acid, N-phenylglycine , Aromatic acetoacetic acids such as phenoxyacetic acid, naphthylthioacetic acid, N-naphthylglycine, and naphthoxyacetic acid;

헥산디티올, 데칸디티올, 1,4-디메틸메르캅토벤젠, 부탄디올비스티오프로피오네이트, 부탄디올비스티오글리콜레이트, 에틸렌글리콜비스티오글리콜레이트, 트리메틸올프로판트리스티오글리콜레이트, 부탄디올비스티오프로피오네이트, 트리메틸올프로판트리스티오프로피오네이트, 트리메틸올프로판트리스티오글리콜레이트, 펜타에리트리톨테트라키스티오프로피오네이트, 펜타에리트리톨테트라키스티오글리콜레이트, 트리스히드록시에틸트리스티오프로피오네이트, 펜타에리트리톨테트라키스(3-메르캅토부틸레이트), 1,4-비스(3-메르캅토부티릴옥시)부탄 등의 다관능 티올 화합물 ;Hexanediol diol, hexanediol diol, hexanediol diol, hexanediol, hexanediol, decanediol, hexanediol, decanediol, hexanediol, decanediol, decanediol, hexanediol, Pentaerythritol tetrakisthiopropionate, pentaerythritol tetrakisthiopropionate, pentaerythritol tetrakisthiopropionate, pentaerythritol tetrakisthiopropionate, pentaerythritol tetrakisthiopropionate, pentaerythritol tetrakisthiopropionate, pentaerythritol tetrakisthiopropionate, Multifunctional thiol compounds such as lithol tetrakis (3-mercaptobutyrate) and 1,4-bis (3-mercaptobutyryloxy) butane;

하기 식 (Ⅲ) 으로 표시되는 화합물 등을 들 수 있다.And compounds represented by the following formula (III).

Figure 112007090916051-pat00007
Figure 112007090916051-pat00007

식 (Ⅲ) 중, X 로 나타내는 점선은 할로겐 원자로 치환되어 있어도 되는 탄 소수 6∼12 의 방향족 고리를 나타낸다.In the formula (III), the dotted line X represents an aromatic ring having 6 to 12 carbon atoms which may be substituted with a halogen atom.

Y 는 산소 원자, 황 원자를 나타낸다.Y represents an oxygen atom or a sulfur atom.

R1 은 탄소수 1∼6 의 알킬기를 나타낸다.R 1 represents an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms.

R2 는 할로겐 원자로 치환되어 있어도 되는 탄소수 1∼12 의 알킬기 또는 할로겐 원자로 치환되어 있어도 되는 아릴기를 나타낸다.R 2 represents an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms which may be substituted with a halogen atom or an aryl group which may be substituted with a halogen atom.

할로겐 원자로는, 불소 원자, 염소 원자, 브롬 원자 등을 들 수 있다. 탄소수 6∼12 의 방향족 고리로는, 벤젠 고리, 나프탈렌 고리 등을 들 수 있다.Examples of the halogen atom include a fluorine atom, a chlorine atom, and a bromine atom. Examples of the aromatic ring having 6 to 12 carbon atoms include a benzene ring and a naphthalene ring.

할로겐 원자로 치환되어 있어도 되는 탄소수 6∼12 의 방향족 고리로는, 벤젠 고리, 메틸벤젠 고리, 디메틸벤젠 고리, 에틸벤젠 고리, 프로필벤젠 고리, 부틸벤젠 고리, 펜틸벤젠 고리, 헥실벤젠 고리, 시클로헥실벤젠 고리, 클로로벤젠 고리, 디클로로벤젠 고리, 브로모벤젠 고리, 디브로모벤젠 고리, 페닐벤젠 고리, 클로로페닐벤젠 고리, 브로모페닐벤젠 고리, 나프탈렌 고리, 클로로나프탈렌 고리, 브로모나프탈렌 고리 등을 들 수 있다.Examples of the aromatic ring having 6 to 12 carbon atoms which may be substituted with a halogen atom include a benzene ring, a methylbenzene ring, a dimethylbenzene ring, an ethylbenzene ring, a propylbenzene ring, a butylbenzene ring, a pentylbenzene ring, a hexylbenzene ring, Examples of the ring include a ring, a chlorobenzene ring, a dichlorobenzene ring, a bromobenzene ring, a dibromobenzene ring, a phenylbenzene ring, a chlorophenylbenzene ring, a bromophenylbenzene ring, a naphthalene ring, a chloronaphthalene ring, a bromonaphthalene ring, .

탄소수 1∼6 의 알킬기로는, 메틸기, 에틸기, n-프로필기, 이소프로필기, n-부틸기, 1-메틸-n-프로필기, 2-메틸-n-프로필기, tert-부틸기, n-펜틸기, 1-메틸-n-부틸기, 2-메틸-n-부틸기, 3-메틸-n-부틸기, 1,1-디메틸-n-프로필기, 1,2-디메틸-n-프로필기, 2,2-디메틸-n-프로필기, n-헥실기, 시클로헥실기 등을 들 수 있다.Examples of the alkyl group having 1 to 6 carbon atoms include a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an isopropyl group, an n-butyl group, a 1-methyl- butyl group, a 3-methyl-n-butyl group, a 1,1-dimethyl-n-propyl group, a 1,2-dimethyl-n-butyl group, -Propyl group, 2,2-dimethyl-n-propyl group, n-hexyl group, cyclohexyl group and the like.

할로겐 원자로 치환되어 있어도 되는 탄소수 1∼12 의 알킬기로는, 메틸기, 에틸기, n-프로필기, 이소프로필기, n-부틸기, 1-메틸-n-프로필기, 2-메틸-n-프로 필기, tert-부틸기, n-펜틸기, 1-메틸-n-부틸기, 2-메틸-n-부틸기, 3-메틸-n-부틸기, 1,1-디메틸-n-프로필기, 1,2-디메틸-n-프로필기, 2,2-디메틸-n-프로필기, n-헥실기, 시클로헥실기, 1-클로로-n-부틸기, 2-클로로-n-부틸기, 3-클로로-n-부틸기 등을 들 수 있다.Examples of the alkyl group having 1 to 12 carbon atoms which may be substituted with a halogen atom include a methyl group, ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, n-butyl group, 1-methyl- butyl group, a 1-methyl-n-butyl group, a 1-methyl-n-propyl group, a 1-methyl- N-propyl group, a 2-dimethyl-n-propyl group, an n-hexyl group, a cyclohexyl group, Chloro-n-butyl group and the like.

할로겐 원자로 치환되어 있어도 되는 아릴기로는, 페닐기, 클로로페닐기, 디클로로페닐기, 브로모페닐기, 디브로모페닐기, 클로로브로모페닐기, 비페닐기, 클로로비페닐기, 디클로로비페닐기, 브로모페닐기, 디브로모페닐기, 나프틸기, 클로로나프틸기, 디클로로나프틸기, 브로모나프틸기, 디브로모나프틸기 등을 들 수 있다.Examples of the aryl group which may be substituted with a halogen atom include a phenyl group, a chlorophenyl group, a dichlorophenyl group, a bromophenyl group, a dibromophenyl group, a chlorobenzophenyl group, a biphenyl group, a chlorobiphenyl group, a dichlorobiphenyl group, a bromophenyl group, A phenyl group, a naphthyl group, a chloronaphthyl group, a dichloronaphthyl group, a bromonaphthyl group, and a dibromonaphthyl group.

식 (Ⅲ) 으로 표시되는 화합물로서, 구체적으로는,As the compound represented by the formula (III), specifically,

2-벤조일메틸렌-3-메틸-나프토[2,1-d]티아졸린,2-benzoylmethylene-3-methyl-naphtho [2,1-d] thiazoline,

2-벤조일메틸렌-3-메틸-나프토[1,2-d]티아졸린,2-benzoylmethylene-3-methyl-naphtho [1,2-d] thiazoline,

2-벤조일메틸렌-3-메틸-나프토[2,3-d]티아졸린,2-benzoylmethylene-3-methyl-naphtho [2,3-d] thiazoline,

2-(2-나프토일메틸렌)-3-메틸벤조티아졸린,2- (2-naphthoylmethylene) -3-methylbenzothiazoline,

2-(1-나프토일메틸렌)-3-메틸벤조티아졸린,2- (1-naphthoylmethylene) -3-methylbenzothiazoline,

2-(2-나프토일메틸렌)-3-메틸-5-페닐벤조티아졸린,2- (2-naphthoylmethylene) -3-methyl-5-phenylbenzothiazoline,

2-(1-나프토일메틸렌)-3-메틸-5-페닐벤조티아졸린,2- (1-naphthoylmethylene) -3-methyl-5-phenylbenzothiazoline,

2-(2-나프토일메틸렌)-3-메틸-5-플루오로벤조티아졸린,2- (2-naphthoylmethylene) -3-methyl-5-fluorobenzothiazoline,

2-(1-나프토일메틸렌)-3-메틸-5-플루오로벤조티아졸린,2- (1-naphthoylmethylene) -3-methyl-5-fluorobenzothiazoline,

2-(2-나프토일메틸렌)-3-메틸-5-클로로벤조티아졸린,2- (2-naphthoylmethylene) -3-methyl-5-chlorobenzothiazoline,

2-(1-나프토일메틸렌)-3-메틸-5-클로로벤조티아졸린,2- (1-naphthoylmethylene) -3-methyl-5-chlorobenzothiazoline,

2-(2-나프토일메틸렌)-3-메틸-5-브로모벤조티아졸린,2- (2-naphthoylmethylene) -3-methyl-5-bromobenzothiazoline,

2-(1-나프토일메틸렌)-3-메틸-5-브로모벤조티아졸린,2- (1-naphthoylmethylene) -3-methyl-5-bromobenzothiazoline,

2-(4-비페노일메틸렌)-3-메틸벤조티아졸린,2- (4-biphenoylmethylene) -3-methylbenzothiazoline,

2-(4-비페노일메틸렌)-3-메틸-5-페닐벤조티아졸린,2- (4-biphenoylmethylene) -3-methyl-5-phenylbenzothiazoline,

2-(2-나프토일메틸렌)-3-메틸-나프토[2,1-d]티아졸린,2- (2-naphthoylmethylene) -3-methyl-naphtho [2,1-d] thiazoline,

2-(2-나프토일메틸렌)-3-메틸-나프토[1,2-d]티아졸린,2- (2-naphthoylmethylene) -3-methyl-naphtho [1,2-d] thiazoline,

2-(4-비페노일메틸렌)-3-메틸-나프토[2,1-d]티아졸린,2- (4-biphenoylmethylene) -3-methyl-naphtho [2,1-d] thiazoline,

2-(4-비페노일메틸렌)-3-메틸-나프토[1,2-d]티아졸린,2- (4-biphenoylmethylene) -3-methyl-naphtho [1,2-d] thiazoline,

2-(p-플루오로벤조일메틸렌)-3-메틸-나프토[2,1-d]티아졸린,2- (p-fluorobenzoylmethylene) -3-methyl-naphtho [2,1-d] thiazoline,

2-(p-플루오로벤조일메틸렌)-3-메틸-나프토[1,2-d]티아졸린,2- (p-fluorobenzoylmethylene) -3-methyl-naphtho [1,2-d] thiazoline,

2-벤조일메틸렌-3-메틸-나프토[2,1-d]옥사졸린,2-benzoylmethylene-3-methyl-naphtho [2,1-d] oxazoline,

2-벤조일메틸렌-3-메틸-나프토[1,2-d]옥사졸린,2-benzoylmethylene-3-methyl-naphtho [1,2-d] oxazoline,

2-벤조일메틸렌-3-메틸-나프토[2,3-d]옥사졸린,2-benzoylmethylene-3-methyl-naphtho [2,3-d] oxazoline,

2-(2-나프토일메틸렌)-3-메틸벤조옥사졸린,2- (2-naphthoylmethylene) -3-methylbenzooxazoline,

2-(1-나프토일메틸렌)-3-메틸벤조옥사졸린,2- (1-naphthoylmethylene) -3-methylbenzooxazoline,

2-(2-나프토일메틸렌)-3-메틸-5-페닐벤조옥사졸린,2- (2-naphthoylmethylene) -3-methyl-5-phenylbenzooxazoline,

2-(1-나프토일메틸렌)-3-메틸-5-페닐벤조옥사졸린,2- (1-naphthoylmethylene) -3-methyl-5-phenylbenzooxazoline,

2-(2-나프토일메틸렌)-3-메틸-5-플루오로벤조옥사졸린,2- (2-naphthoylmethylene) -3-methyl-5-fluorobenzooxazoline,

2-(1-나프토일메틸렌)-3-메틸-5-플루오로벤조옥사졸린,2- (1-naphthoylmethylene) -3-methyl-5-fluorobenzooxazoline,

2-(2-나프토일메틸렌)-3-메틸-5-클로로벤조옥사졸린,2- (2-naphthoylmethylene) -3-methyl-5-chlorobenzooxazoline,

2-(1-나프토일메틸렌)-3-메틸-5-클로로벤조옥사졸린,2- (1-naphthoylmethylene) -3-methyl-5-chlorobenzooxazoline,

2-(2-나프토일메틸렌)-3-메틸-5-브로모벤조옥사졸린,2- (2-naphthoylmethylene) -3-methyl-5-bromobenzooxazoline,

2-(1-나프토일메틸렌)-3-메틸-5-브로모벤조옥사졸린,2- (1-naphthoylmethylene) -3-methyl-5-bromobenzooxazoline,

2-(4-비페노일메틸렌)-3-메틸벤조옥사졸린,2- (4-biphenoylmethylene) -3-methylbenzooxazoline,

2-(4-비페노일메틸렌)-3-메틸-5-페닐벤조옥사졸린,2- (4-biphenoylmethylene) -3-methyl-5-phenylbenzooxazoline,

2-(2-나프토일메틸렌)-3-메틸-나프토[2,1-d]옥사졸린,2- (2-naphthoylmethylene) -3-methyl-naphtho [2,1-d] oxazoline,

2-(2-나프토일메틸렌)-3-메틸-나프토[1,2-d]옥사졸린,2- (2-naphthoylmethylene) -3-methyl-naphtho [1,2-d] oxazoline,

2-(4-비페노일메틸렌)-3-메틸-나프토[2,1-d]옥사졸린,2- (4-biphenoylmethylene) -3-methyl-naphtho [2,1-d] oxazoline,

2-(4-비페노일메틸렌)-3-메틸-나프토[1,2-d]옥사졸린,2- (4-biphenoylmethylene) -3-methyl-naphtho [1,2-d] oxazoline,

2-(p-플루오로벤조일메틸렌)-3-메틸-나프토[2,1-d]옥사졸린,2- (p-fluorobenzoylmethylene) -3-methyl-naphtho [2,1-d] oxazoline,

2-(p-플루오로벤조일메틸렌)-3-메틸-나프토[1,2-d]옥사졸린2- (p-fluorobenzoylmethylene) -3-methyl-naphtho [1,2-d] oxazoline

등을 들 수 있다.And the like.

그 중에서도, 식 (Ⅲ-1) 로 표시되는 2-(2-나프토일메틸렌)-3-메틸벤조티아졸린, 식 (Ⅲ-2) 로 표시되는 2-벤조일메틸렌-3-메틸-나프토[1,2-d]티아졸린 및 식 (Ⅲ-3) 으로 표시되는 2-(4-비페노일메틸렌)-3-메틸-나프토[1,2-d]티아졸린이 바람직하다.Among them, 2- (2-naphthoylmethylene) -3-methylbenzothiazoline represented by the formula (III-1), 2-benzoylmethylene-3-methyl-naphtho [ 1,2-d] thiazoline and 2- (4-biphenoylmethylene) -3-methyl-naphtho [1,2-d] thiazoline represented by the formula (III-3) are preferable.

Figure 112007090916051-pat00008
Figure 112007090916051-pat00008

광중합 개시제 (C) 의 함유량은, 바인더 수지 (A) 및 광중합성 화합물 (B) 의 합계량에 대하여 질량분율로, 바람직하게는 0.1∼40 질량%, 보다 바람직하게는 1∼30 질량% 이다.The content of the photopolymerization initiator (C) is preferably 0.1 to 40% by mass, more preferably 1 to 30% by mass, based on the total amount of the binder resin (A) and the photopolymerizable compound (B).

또한, 광중합 개시 보조제 (C-1) 의 함유량은, 상기와 동일한 기준으로, 바람직하게는 0.01∼50 질량%, 보다 바람직하게는 0.1∼40 질량% 이다.The content of the photopolymerization initiation auxiliary (C-1) is preferably 0.01 to 50% by mass, more preferably 0.1 to 40% by mass on the same basis as described above.

광중합 개시제 (C) 의 합계량이 상기 범위에 있으면, 감광성 수지 조성물이 고감도가 되고, 상기 감광성 수지 조성물을 사용하여 형성한 화소부의 강도나, 상기 화소의 표면에서의 평활성이 양호해지는 경향이 있기 때문에 바람직하다. 상기에 추가하여, 광중합 개시 보조제 (C-1) 의 양이 상기 범위에 있으면, 얻어지는 감광성 수지 조성물의 감도가 더욱 높아지고, 상기 감광성 수지 조성물을 사용하여 형성하는 패턴 기판의 생산성이 향상되는 경향이 있기 때문에 바람직하다.When the total amount of the photopolymerization initiator (C) is within the above range, the photosensitive resin composition becomes highly sensitive, and the strength of the pixel portion formed using the photosensitive resin composition and the smoothness of the surface of the pixel tends to be favorable, Do. In addition to the above, when the amount of the photopolymerization initiator (C-1) is in the above range, the sensitivity of the obtained photosensitive resin composition becomes higher and the productivity of the pattern substrate formed using the photosensitive resin composition tends to be improved Therefore, it is preferable.

본 발명의 감광성 수지 조성물은 용제 (D) 를 함유한다. 상기 용제 (D) 로는, 감광성 수지 조성물의 분야에서 사용되고 있는 각종 유기 용제를 들 수 있 고, 그 구체예로는, 에틸렌글리콜모노메틸에테르, 에틸렌글리콜모노에틸에테르, 에틸렌글리콜모노프로필에테르 및 에틸렌글리콜모노부틸에테르와 같은 에틸렌글리콜모노알킬에테르류 ;The photosensitive resin composition of the present invention contains a solvent (D). Examples of the solvent (D) include various organic solvents used in the field of the photosensitive resin composition, and specific examples thereof include ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monopropyl ether, and ethylene glycol Ethylene glycol monoalkyl ethers such as monobutyl ether;

디에틸렌글리콜디메틸에테르, 디에틸렌글리콜디에틸에테르, 디에틸렌글리콜에틸메틸에테르, 디에틸렌글리콜디프로필에테르, 디에틸렌글리콜디부틸에테르 등의 디에틸렌글리콜디알킬에테르류 ;Diethylene glycol dialkyl ethers such as diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol ethyl methyl ether, diethylene glycol dipropyl ether and diethylene glycol dibutyl ether;

메틸셀로솔브아세테이트, 에틸셀로솔브아세테이트, 에틸렌글리콜모노부틸에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트 등의 에틸렌글리콜알킬에테르아세테이트류 ;Ethylene glycol alkyl ether acetates such as methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, ethylene glycol monobutyl ether acetate and ethylene glycol monoethyl ether acetate;

프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노프로필에테르아세테이트, 메톡시부틸아세테이트, 메톡시펜틸아세테이트 등의 알킬렌글리콜알킬에테르아세테이트류 ;Alkylene glycol alkyl ether acetates such as propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monopropyl ether acetate, methoxybutyl acetate, and methoxypentyl acetate;

프로필렌글리콜모노메틸에테르, 프로필렌글리콜모노에틸에테르, 프로필렌글리콜모노프로필에테르, 프로필렌글리콜모노부틸에테르 등의 프로필렌글리콜모노알킬에테르류 ;Propylene glycol monoalkyl ethers such as propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monopropyl ether and propylene glycol monobutyl ether;

프로필렌글리콜디메틸에테르, 프로필렌글리콜디에틸에테르, 프로필렌글리콜에틸메틸에테르, 프로필렌글리콜디프로필에테르프로필렌글리콜프로필메틸에테르, 프로필렌글리콜에틸프로필에테르 등의 프로필렌글리콜디알킬에테르류 ;Propylene glycol dialkyl ethers such as propylene glycol dimethyl ether, propylene glycol diethyl ether, propylene glycol ethyl methyl ether, propylene glycol dipropyl ether, propylene glycol propyl methyl ether and propylene glycol ethyl propyl ether;

프로필렌글리콜메틸에테르프로피오네이트, 프로필렌글리콜에틸에테르프로피오네이트, 프로필렌글리콜프로필에테르프로피오네이트, 프로필렌글리콜부틸에테르 프로피오네이트 등의 프로필렌글리콜알킬에테르프로피오네이트류 ;Propylene glycol alkyl ether propionates such as propylene glycol methyl ether propionate, propylene glycol ethyl ether propionate, propylene glycol propyl ether propionate and propylene glycol butyl ether propionate;

메톡시부틸알코올, 에톡시부틸알코올, 프로폭시부틸알코올, 부톡시부틸알코올 등의 부틸디올모노알킬에테르류 ;Butyldiol monoalkyl ethers such as methoxybutyl alcohol, ethoxybutyl alcohol, propoxybutyl alcohol and butoxybutyl alcohol;

메톡시부틸아세테이트, 에톡시부틸아세테이트, 프로폭시부틸아세테이트, 부톡시부틸아세테이트 등의 부탄디올모노알킬에테르아세테이트류 ;Butanediol monoalkyl ether acetates such as methoxybutyl acetate, ethoxybutyl acetate, propoxybutyl acetate and butoxybutyl acetate;

메톡시부틸프로피오네이트, 에톡시부틸프로피오네이트, 프로폭시부틸프로피오네이트, 부톡시부틸프로피오네이트 등의 부탄디올모노알킬에테르프로피오네이트류 ;Butanediol monoalkyl ether propionates such as methoxy butyl propionate, ethoxy butyl propionate, propoxy butyl propionate and butoxy butyl propionate;

디프로필렌글리콜디메틸에테르, 디프로필렌글리콜디에틸에테르, 디프로필렌글리콜메틸에틸에테르 등의 디프로필렌글리콜디알킬에테르류 ;Dipropylene glycol dialkyl ethers such as dipropylene glycol dimethyl ether, dipropylene glycol diethyl ether and dipropylene glycol methyl ethyl ether;

벤젠, 톨루엔, 자일렌, 메시틸렌 등의 방향족 탄화수소류 ;Aromatic hydrocarbons such as benzene, toluene, xylene and mesitylene;

메틸에틸케톤, 아세톤, 메틸아밀케톤, 메틸이소부틸케톤, 시클로헥사논 등의 케톤류 ;Ketones such as methyl ethyl ketone, acetone, methyl amyl ketone, methyl isobutyl ketone, and cyclohexanone;

에탄올, 프로판올, 부탄올, 헥산올, 시클로헥산올, 에틸렌글리콜, 글리세린 등의 알코올류 ;Alcohols such as ethanol, propanol, butanol, hexanol, cyclohexanol, ethylene glycol and glycerin;

아세트산 메틸, 아세트산 에틸, 아세트산 프로필, 아세트산 부틸, 2-히드록시프로피온산 에틸, 2-히드록시-2-메틸프로피온산 메틸, 2-히드록시-2-메틸프로피온산 에틸, 히드록시아세트산 메틸, 히드록시아세트산 에틸, 히드록시아세트산 부틸, 락트산 메틸, 락트산 에틸, 락트산 프로필, 락트산 부틸, 3-히드록시프로피온산 메틸, 3-히드록시프로피온산 에틸, 3-히드록시프로피온산 프로필, 3-히드록시프 로피온산 부틸, 2-히드록시-3-메틸부탄산 메틸, 메톡시아세트산 메틸, 메톡시아세트산 에틸, 메톡시아세트산 프로필, 메톡시아세트산 부틸, 에톡시아세트산 메틸, 에톡시아세트산 에틸, 에톡시아세트산 프로필, 에톡시아세트산 부틸, 프로폭시아세트산 메틸, 프로폭시아세트산 에틸, 프로폭시아세트산 프로필, 프로폭시아세트산 부틸, 부톡시아세트산 메틸, 부톡시아세트산 에틸, 부톡시아세트산 프로필, 부톡시아세트산 부틸, 2-메톡시프로피온산 메틸, 2-메톡시프로피온산 에틸, 2-메톡시프로피온산 프로필, 2-메톡시프로피온산 부틸, 2-에톡시프로피온산 메틸, 2-에톡시프로피온산 에틸, 2-에톡시프로피온산 프로필, 2-에톡시프로피온산 부틸, 2-부톡시프로피온산 메틸, 2-부톡시프로피온산 에틸, 2-부톡시프로피온산 프로필, 2-부톡시프로피온산 부틸, 3-메톡시프로피온산 메틸, 3-메톡시프로피온산 에틸, 3-메톡시프로피온산 프로필, 3-메톡시프로피온산 부틸, 3-에톡시프로피온산 메틸, 3-에톡시프로피온산 에틸, 3-에톡시프로피온산 프로필, 3-에톡시프로피온산 부틸, 3-프로폭시프로피온산 메틸, 3-프로폭시프로피온산 에틸, 3-프로폭시프로피온산 프로필, 3-프로폭시프로피온산 부틸, 3-부톡시프로피온산 메틸, 3-부톡시프로피온산 에틸, 3-부톡시프로피온산 프로필, 3-부톡시프로피온산 부틸 등의 에스테르류 ;Examples of the solvent include methyl acetate, ethyl acetate, propyl acetate, butyl acetate, ethyl 2-hydroxypropionate, methyl 2-hydroxy-2-methylpropionate, ethyl 2-hydroxypropionate, methylhydroxyacetate, Hydroxypropionate, propyl 3-hydroxypropionate, propyl 3-hydroxypropionate, propyl 3-hydroxypropionate, butyl 3-hydroxypropionate, 2-hydroxybutyl 3-hydroxypropionate, Methyl methoxyacetate, methyl methoxyacetate, propyl methoxyacetate, butyl methoxyacetate, methyl ethoxyacetate, ethoxyacetate, ethoxyacetate, ethoxyacetate, and the like. , Methyl propoxyacetate, ethyl propoxyacetate, propoxypropylacetate, butyl propoxyacetate, methyl butoxyacetate, Methoxypropionate, methyl 2-methoxypropionate, ethyl 2-methoxypropionate, butyl 2-methoxypropionate, methyl 2-ethoxypropionate, ethyl 2-methoxypropionate, Ethoxypropionate, propyl 2-ethoxypropionate, butyl 2-ethoxypropionate, methyl 2-butoxypropionate, ethyl 2-butoxypropionate, propyl 2-butoxypropionate, butyl 3-butoxypropionate, Ethoxypropionate, propyl 3-ethoxypropionate, propyl 3-methoxypropionate, propyl 3-methoxypropionate, methyl 3-methoxypropionate, Ethoxypropionate, methyl 3-propoxypropionate, ethyl 3-propoxypropionate, propyl 3-propoxypropionate, butyl 3-propoxypropionate, methyl 3-butoxypropionate, Esters such as ethyl butoxypropionate, propyl 3-butoxypropionate and butyl 3-butoxypropionate;

테트라히드로푸란, 피란 등의 고리형 에테르류 ;Cyclic ethers such as tetrahydrofuran and pyran;

γ-부티로락톤 등의 고리형 에스테르류 등을 들 수 있다.and cyclic esters such as? -butyrolactone.

상기 용제 중, 도포성, 건조성 면에서, 바람직하게는 상기 용제 중에서 비점이 100℃∼200℃ 인 유기 용제가 바람직하고, 보다 바람직하게는 알킬렌글리콜알킬에테르아세테이트류, 케톤류, 부탄디올알킬에테르아세테이트류, 부탄디올모노알킬 에테르류, 3-에톡시프로피온산 에틸, 3-메톡시프로피온산 메틸 등의 에스테르류를 들 수 있고, 더욱 바람직하게는 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 시클로헥사논, 메톡시부틸아세테이트, 메톡시부탄올, 3-에톡시프로피온산 에틸, 3-메톡시프로피온산 메틸을 들 수 있다.In view of coatability and dryness, an organic solvent having a boiling point of 100 ° C to 200 ° C is preferably used in the above solvent, more preferably an alkylene glycol alkyl ether acetate, a ketone, a butanediol alkyl ether acetate Propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, cyclohexane monoethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, and propylene glycol monoethyl ether acetate, and more preferably, Methoxybutyl acetate, methoxybutanol, ethyl 3-ethoxypropionate, and methyl 3-methoxypropionate.

이들 용제 (D) 는, 각각 단독으로도, 2 종류 이상 혼합하여 사용해도 된다.These solvents (D) may be used alone or in combination of two or more.

본 발명의 감광성 수지 조성물에 있어서의 용제 (D) 의 함유량은, 감광성 수지 조성물에 대하여 질량분율로, 바람직하게는 60∼90 질량%, 보다 바람직하게는 70∼85 질량% 이다. 용제 (D) 의 함유량이 상기 범위에 있으면, 스핀 코터, 슬릿 & 스핀 코터, 슬릿 코터 (다이 코터, 커튼플로우 코터라고도 불리는 경우가 있다), 잉크젯 등의 도포 장치로 도포했을 때 도포성이 양호해질 가능성이 있기 때문에 바람직하다.The content of the solvent (D) in the photosensitive resin composition of the present invention is preferably 60 to 90 mass%, more preferably 70 to 85 mass%, based on the mass of the photosensitive resin composition. When the content of the solvent (D) is within the above range, the coating property becomes good when the coating composition is applied by a spin coater, a slit & spin coater, a slit coater (sometimes referred to as a die coater or a curtain flow coater) This is preferable because there is a possibility.

본 발명의 감광성 수지 조성물에는, 필요에 따라 충전제, 다른 고분자 화합물, 레벨링제, 밀착 촉진제, 산화 방지제, 자외선 흡수제, 응집 방지재, 연쇄 이동제 등의 첨가제 (F) 를 병용할 수도 있다.The photosensitive resin composition of the present invention may optionally contain additives (F) such as fillers, other polymer compounds, leveling agents, adhesion promoters, antioxidants, ultraviolet absorbers, anti-aggregation agents, chain transfer agents and the like.

충전제로서 구체적으로는, 유리, 실리카, 알루미나 등을 들 수 있다.Specific examples of the filler include glass, silica and alumina.

다른 고분자 화합물로서 구체적으로는, 에폭시 수지, 말레이미드 수지 등의 경화성 수지나 폴리비닐알코올, 폴리아크릴산, 폴리에틸렌글리콜모노알킬에테르, 폴리플루오로알킬아크릴레이트, 폴리에스테르, 폴리우레탄 등의 열가소성 수지 등을 들 수 있다.Specific examples of the other polymer compound include thermosetting resins such as epoxy resin and maleimide resin, thermoplastic resins such as polyvinyl alcohol, polyacrylic acid, polyethylene glycol monoalkyl ether, polyfluoroalkyl acrylate, polyester, and polyurethane .

레벨링제로는, 시판되는 계면 활성제를 사용할 수 있고, 예를 들어 실리콘 계, 불소계, 에스테르계, 양이온계, 음이온계, 비이온계, 양성 등의 계면 활성제 등을 들 수 있고, 각각 단독으로도 2 종 이상을 조합하여 사용해도 된다. 상기 계면 활성제로는, 예를 들어 폴리옥시에틸렌알킬에테르류, 폴리옥시에틸렌알킬페닐에테르류, 폴리에틸렌글리콜디에스테르류, 소르비탄지방산 에스테르류, 지방산 변성 폴리에스테르류, 3 급 아민 변성 폴리우레탄류, 폴리에틸렌이민류 등 외에, 상품명으로 KP (신에쯔 화학 공업 (주) 제조), 폴리플로우 (쿄에이 화학 (주) 제조), 에프톱 (토켐프로덕츠사 제조), 메가팍 (다이닛폰 잉크 화학 공업 (주) 제조), 플로라드 (스미토모 쓰리엠 (주) 제조), 아사히가드, 사프론 (이상, 아사히가라스 (주) 제조), 소르스파스 (제네카 (주) 제조), EFKA (EFKA CHEMICALS 사 제조), PB821 (아지노모토 (주) 제조) 등을 들 수 있다.As the leveling agent, a commercially available surfactant can be used, and examples thereof include surfactants such as silicon-based, fluorine-based, ester-based, cationic, anionic, nonionic and amphoteric surfactants. A combination of two or more species may be used. Examples of the surfactant include polyoxyethylene alkyl ethers, polyoxyethylene alkylphenyl ethers, polyethylene glycol diesters, sorbitan fatty acid esters, fatty acid-modified polyesters, tertiary amine-modified polyurethanes, (Manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), Polyflow (manufactured by Kyoei Chemical Co., Ltd.), F-top (manufactured by TOKEM PRODUCTS CO., LTD.), Megapak (manufactured by Dainippon Ink Chemical Industry Co., (Manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.), SORPARS (manufactured by Zeneca), EFKA (manufactured by EFKA CHEMICALS Co., Ltd.), FERRAD (manufactured by Sumitomo 3M Ltd.) , And PB821 (manufactured by Ajinomoto Co., Ltd.).

밀착 촉진제로는, 실란계 화합물이 바람직하고, 구체적으로는, 비닐트리메톡시실란, 비닐트리에톡시실란, 비닐트리스(2-메톡시에톡시)실란, N-(2-아미노에틸)-3-아미노프로필메틸디메톡시실란, N-(2-아미노에틸)-3-아미노프로필트리메톡시실란, 3-아미노프로필트리에톡시실란, 3-글리시독시프로필트리메톡시실란, 3-글리시독시프로필메틸디메톡시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)에틸트리메톡시실란, 3-클로로프로필메틸디메톡시실란, 3-클로로프로필트리메톡시실란, 3-메타크릴로일옥시프로필트리메톡시실란, 3-메르캅토프로필트리메톡시실란 등을 들 수 있다.As the adhesion promoter, silane compounds are preferable, and specific examples thereof include vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinyltris (2-methoxyethoxy) silane, N- (2-aminoethyl) -3 Aminopropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltrimethoxysilane, 3- (3-chloropropylmethyldimethoxysilane, 3-chloropropyltrimethoxysilane, 3-methacryloyloxypropylmethyldimethoxysilane, 3-chloropropylmethyldimethoxysilane, 3- Trimethoxysilane, 3-mercaptopropyltrimethoxysilane, and the like.

산화 방지제로서 구체적으로는, 2-tert-부틸-6-(3-tert-부틸-2-히드록시-5-메틸벤질)-4-메틸페닐아크릴레이트, 2-[1-(2-히드록시-3,5-디-tert-펜틸페닐)에틸]-4,6-디-tert-펜틸페닐아크릴레이트, 6-[3-(3-tert-부틸-4-히드록시-5-메틸페 닐)프로폭시]-2,4,8,10-테트라-tert-부틸디벤즈[d,f][1,3,2]디옥사포스페핀, 3,9-비스[2-{3-(3-tert-부틸-4-히드록시-5-메틸페닐)프로피오닐옥시}-1,1-디메틸에틸]-2,4,8,10-테트라옥사스피로[5.5]운데칸, 2,2'-메틸렌비스(6-tert-부틸-4-메틸페놀), 4,4'-부틸리덴비스(6-tert-부틸-3-메틸페놀), 4,4'-티오비스(2-tert-부틸-5-메틸페놀), 2,2'-티오비스(6-tert-부틸-4-메틸페놀), 디라우릴 3,3'-티오디프로피오네이트, 디미리스틸 3,3'-티오디프로피오네이트, 디스테아릴 3,3'-티오디프로피오네이트, 펜타에리트리틸테트라키스(3-라우릴티오프로피오네이트), 1,3,5-트리스(3,5-디-tert-부틸-4-히드록시벤질)-1,3,5-트리아진-2,4,6(1H,3H,5H)-트리온, 3,3',3'',5,5',5''-헥사-tert-부틸-a,a',a''-(메시틸렌-2,4,6-트리일)트리-p-크레졸, 펜타에리트리톨테트라키스[3-(3,5-디-tert-부틸-4-히드록시페닐)프로피오네이트], 2,6-디-tert-부틸-4-메틸페놀 등을 들 수 있다.Specific examples of the antioxidant include 2-tert-butyl-6- (3-tert-butyl-2-hydroxy-5-methylbenzyl) -4- methylphenyl acrylate, 2- [1- (3-tert-butyl-4-hydroxy-5-methylphenyl) ethyl] -4,6-di- Propoxy] -2,4,8,10-tetra-tert-butyldibenz [d, f] [1,3,2] dioxaphosphperine, 3,9-bis [2- {3- methylphenyl) propionyloxy} -1,1-dimethylethyl] -2,4,8,10-tetraoxaspiro [5.5] undecane, 2,2'-methylenebis (6-tert-butyl-4-methylphenol), 4,4'-butylidenebis (6-tert- -Methylphenol), 2,2'-thiobis (6-tert-butyl-4-methylphenol), dilauryl 3,3'-thiodipropionate, dimyristyl 3,3'-thiodipropion (3-laurylthiopropionate), 1,3,5-tris (3,5-di-tert-butylphenyl) 3,3 ', 3' ', 5,5', 5 ', 5'-triene, -Hexa-tert-butyl-a, a ', a "- (mesitylene-2,4,6-triyl) tri-p-cresol, pentaerythritol tetrakis [3- -tert-butyl-4-hydroxyphenyl) propionate], 2,6-di-tert-butyl-4-methylphenol and the like.

자외선 흡수제로서 구체적으로는, 2-(3-tert-부틸-2-히드록시-5-메틸페닐)-5-클로로벤조트리아졸, 알콕시벤조페논 등을 들 수 있다.Specific examples of the ultraviolet absorber include 2- (3-tert-butyl-2-hydroxy-5-methylphenyl) -5-chlorobenzotriazole and alkoxybenzophenone.

또한 응집 방지제로는, 구체적으로는, 폴리아크릴산 나트륨 등을 들 수 있다.Specific examples of the anti-aggregation agent include sodium polyacrylate and the like.

연쇄 이동제로는, 도데실메르캅탄, 2,4-디페닐-4-메틸-1-펜텐 등을 들 수 있다.Examples of the chain transfer agent include dodecyl mercaptan, 2,4-diphenyl-4-methyl-1-pentene, and the like.

감광성 수지 조성물은, 예를 들어 이하와 같이 하여 기재 상에 도포하고, 광경화 및 현상하여 패턴을 형성할 수 있다. 먼저, 이 조성물을 기판 (통상은 유리) 또는 먼저 형성된 감광성 수지 조성물의 고형분으로 이루어지는 층 상에 도포 하고, 도포된 감광성 수지 조성물층부터 프리베이크함으로써 용제 등의 휘발 성분을 제거하여 평활한 도막을 얻는다. 이 때의 도막의 두께는, 통상 약 1∼6㎛ 이다. 이렇게 하여 얻어진 도막에, 목적으로 하는 패턴을 형성하기 위한 마스크를 통해 자외선을 조사한다. 이 때, 노광부 전체에 균일하게 평행 광선이 조사되고, 또한 마스크와 기판의 정확한 위치 맞춤이 실시되도록, 마스크 얼라이너나 스테퍼 등의 장치를 사용하는 것이 바람직하다. 또한, 그 후, 경화가 종료된 도막을 알칼리 수용액에 접촉시켜 비노광부를 용해시키고, 현상함으로써, 목적으로 하는 패턴 형상이 얻어진다. 현상 방법은, 액첨가법, 디핑법, 스프레이법 등의 어느 것이어도 된다. 또한 현상시에 기판을 임의의 각도로 기울여도 된다.The photosensitive resin composition can be applied on a substrate, for example, as described below, and photo-cured and developed to form a pattern. First, this composition is applied on a substrate (usually glass) or a layer made of a solid component of a previously formed photosensitive resin composition, and pre-baked from the applied photosensitive resin composition layer to remove volatile components such as a solvent to obtain a smooth coated film . The thickness of the coating film at this time is usually about 1 to 6 mu m. Ultraviolet rays are applied to the thus obtained coating film through a mask for forming a desired pattern. At this time, it is preferable to use an apparatus such as a mask aligner or a stepper so as to uniformly irradiate a parallel light beam onto the entire exposed portion and accurately align the mask and the substrate. Thereafter, the coated film, which has been cured, is brought into contact with an aqueous alkaline solution to dissolve the unexposed portion and then developed, thereby obtaining a desired pattern shape. The developing method may be any of a liquid addition method, a dipping method, and a spraying method. Further, the substrate may be inclined at an arbitrary angle during development.

도포 방법으로는, 예를 들어 스핀 코트, 유연 도포법, 롤 도포법, 슬릿 앤드 스핀 코트 또는 슬릿 코트법 등에 의해 실시된다. 도포 후, 가열 건조 (프리베이크), 또는 감압 건조 후에 가열하여 용제 등의 휘발 성분을 휘발시킴으로써, 감광성 수지 조성물층이 형성된다. 여기에서, 가열 온도는, 통상 70∼200℃, 바람직하게는 80∼130℃ 이다. 그 감광성 수지 조성물층은 휘발 성분을 거의 함유하지 않는다. 또한, 상기 감광성 수지 조성물층의 두께는, 통상 1.5∼8㎛ 정도이다.The application method is, for example, a spin coating method, a flexible coating method, a roll coating method, a slit and spin coating method, a slit coating method, or the like. After the application, the photosensitive resin composition layer is formed by heating and drying (pre-baking) or heating under reduced pressure and drying to volatilize the volatile components such as a solvent. Here, the heating temperature is usually 70 to 200 占 폚, preferably 80 to 130 占 폚. The photosensitive resin composition layer contains little volatile components. The thickness of the photosensitive resin composition layer is usually about 1.5 to 8 mu m.

패터닝 노광 후의 현상에 사용하는 현상액은, 통상 알칼리성 화합물과 계면 활성제를 함유하는 수용액이다.The developing solution used for development after patterning exposure is usually an aqueous solution containing an alkaline compound and a surfactant.

알칼리성 화합물은, 무기 및 유기 알칼리성 화합물의 어느 것이어도 된다. 무기 알칼리성 화합물의 구체예로는, 수산화 나트륨, 수산화 칼륨, 인산수소 2나 트륨, 인산 2수소나트륨, 인산수소 2암모늄, 인산 2수소암모늄, 인산 2수소칼륨, 규산 나트륨, 규산 칼륨, 탄산 나트륨, 탄산 칼륨, 탄산 수소나트륨, 탄산 수소칼륨, 붕산 나트륨, 붕산 칼륨, 암모니아 등을 들 수 있다.The alkaline compound may be either an inorganic or an organic alkaline compound. Specific examples of the inorganic alkaline compound include sodium hydroxide, potassium hydroxide, disodium hydrogenphosphate, sodium dihydrogenphosphate, ammonium dihydrogenphosphate, ammonium dihydrogenphosphate, potassium dihydrogenphosphate, sodium silicate, potassium silicate, sodium carbonate, Potassium carbonate, sodium hydrogencarbonate, potassium hydrogencarbonate, sodium borate, potassium borate, and ammonia.

또한, 유기 알칼리성 화합물의 구체예로는, 테트라메틸암모늄히드록사이드, 2-히드록시에틸트리메틸암모늄히드록사이드, 모노메틸아민, 디메틸아민, 트리메틸아민, 모노에틸아민, 디에틸아민, 트리에틸아민, 모노이소프로필아민, 디이소프로필아민, 에탄올아민 등을 들 수 있다. 이들 무기 및 유기 알칼리성 화합물은, 각각 단독으로 또는 2 종 이상 조합하여 사용해도 된다. 알칼리 현상액 중의 알칼리성 화합물의 농도는, 바람직하게는 0.01∼10 질량% 이고, 보다 바람직하게는 0.03∼5 질량% 이다.Specific examples of the organic alkaline compound include tetramethylammonium hydroxide, 2-hydroxyethyltrimethylammonium hydroxide, monomethylamine, dimethylamine, trimethylamine, monoethylamine, diethylamine, triethylamine , Monoisopropylamine, diisopropylamine, ethanolamine, and the like. These inorganic and organic alkaline compounds may be used alone or in combination of two or more. The concentration of the alkaline compound in the alkaline developer is preferably 0.01 to 10% by mass, and more preferably 0.03 to 5% by mass.

알칼리 현상액 중의 계면 활성제는, 비이온계 계면 활성제, 음이온계 계면 활성제 또는 양이온계 계면 활성제의 어느 것이어도 된다.The surfactant in the alkali developing solution may be any of a nonionic surfactant, an anionic surfactant and a cationic surfactant.

비이온계 계면 활성제의 구체예로는, 폴리옥시에틸렌알킬에테르, 폴리옥시에틸렌아릴에테르, 폴리옥시에틸렌알킬아릴에테르, 그 밖의 폴리옥시에틸렌 유도체, 옥시에틸렌/옥시프로필렌 블록 코폴리머, 소르비탄지방산 에스테르, 폴리옥시에틸렌소르비탄지방산 에스테르, 폴리옥시에틸렌소르비톨지방산 에스테르, 글리세린지방산 에스테르, 폴리옥시에틸렌지방산 에스테르, 폴리옥시에틸렌알킬아민 등을 들 수 있다.Specific examples of the nonionic surfactants include polyoxyethylene alkyl ethers, polyoxyethylene aryl ethers, polyoxyethylene alkyl aryl ethers, other polyoxyethylene derivatives, oxyethylene / oxypropylene block copolymers, sorbitan fatty acid esters , Polyoxyethylene sorbitan fatty acid esters, polyoxyethylene sorbitol fatty acid esters, glycerin fatty acid esters, polyoxyethylene fatty acid esters, and polyoxyethylene alkylamines.

음이온계 계면 활성제의 구체예로는, 라우릴알코올황산 에스테르나트륨이나 올레일알코올황산 에스테르나트륨과 같은 고급 알코올황산 에스테르염류, 라우릴황 산 나트륨이나 라우릴황산 암모늄과 같은 알킬황산염류, 도데실벤젠술폰산 나트륨이나 도데실나프탈렌술폰산 나트륨과 같은 알킬아릴술폰산염류 등을 들 수 있다.Specific examples of the anionic surfactant include higher alcohol sulfuric acid ester salts such as sodium lauryl alcohol sulfate ester and sodium oleyl alcohol sulfate ester, alkylsulfates such as sodium laurylsulfate and ammonium laurylsulfate, And alkylarylsulfonic acid salts such as sodium sulfonate and sodium dodecylnaphthalenesulfonate.

양이온계 계면 활성제의 구체예로는, 스테아릴아민염산염이나 라우릴트리메틸암모늄클로라이드와 같은 아민염 또는 제 4 급 암모늄염 등을 들 수 있다.Specific examples of the cationic surfactant include amine salts such as stearylamine hydrochloride and lauryltrimethylammonium chloride, and quaternary ammonium salts.

이들 계면 활성제는, 각각 단독으로도, 또한 2 종 이상 조합하여 사용해도 된다.These surfactants may be used singly or in combination of two or more kinds.

알칼리 현상액 중의 계면 활성제의 농도는, 바람직하게는 0.01∼10 질량% 의 범위, 보다 바람직하게는 0.05∼8 질량%, 더욱 바람직하게는 0.1∼5 질량% 이다.The concentration of the surfactant in the alkali developer is preferably in the range of 0.01 to 10 mass%, more preferably 0.05 to 8 mass%, and still more preferably 0.1 to 5 mass%.

현상 후, 수세하고, 또한 필요에 따라 150∼230℃ 에서 10∼60 분의 포스트베이크를 실시할 수도 있다.After development, it is washed with water, and post baking at 150 to 230 캜 for 10 to 60 minutes may be carried out if necessary.

본 발명의 감광성 수지 조성물을 사용하고, 이상과 같은 각 공정을 거쳐 기판 상 또는 컬러 필터 기판 상에 패턴을 형성할 수 있다. 이 패턴은, 액정 표시 장치에 사용되는 포토스페이서로서 유용하다. 또한, 건조 도막에 대한 패터닝 노광시에, 홀 형성용 포토마스크를 사용하면, 홀을 형성할 수 있어 층간 절연막으로서 유용하다. 또한, 건조 도막에 대한 노광시, 포토마스크를 사용하지 않고 전체면 노광 및 가열 경화, 또는 가열 경화만으로 투명막을 형성할 수 있고, 이 투명막은 오버코트로서 유용하고, 또한, 터치 패널로도 사용할 수 있다.Using the photosensitive resin composition of the present invention, a pattern can be formed on a substrate or a color filter substrate through each of the steps described above. This pattern is useful as a photo spacer used in a liquid crystal display device. When a photomask for hole formation is used for patterning exposure of a dry coating film, a hole can be formed and is useful as an interlayer insulating film. Further, at the time of exposure to a dry film, a transparent film can be formed only by full-surface exposure, heat curing, or heat curing without using a photomask, and this transparent film is useful as an overcoat and can also be used as a touch panel .

따라서, 이렇게 해서 얻어지는 패턴을 액정 표시 장치 등의 표시 장치에 장착함으로써, 우수한 품질의 표시 장치를 높은 수율로 제조할 수 있다.Therefore, by attaching the thus obtained pattern to a display device such as a liquid crystal display device, a display device of excellent quality can be manufactured with a high yield.

본 발명의 감광성 수지 조성물은, 보존시의 점도 변화가 작고, 미세한 패턴 까지 해상 가능하고, 내용제성, 내열성이 우수한 패턴이나 도막을 형성할 수 있다.The photosensitive resin composition of the present invention is capable of forming a pattern or a coating film having a small change in viscosity at the time of storage, resolving to a fine pattern, and excellent in solvent resistance and heat resistance.

본 발명의 감광성 수지 조성물은, 예를 들어 오버코트, 포토스페이서, 절연막, 액정 배향 제어용 돌기, 착색 패턴의 막두께를 맞추기 위한 코트층 등의 컬러 필터의 일부를 구성하는 투명막을 형성하기 위한 재료로서 바람직하게 사용된다.The photosensitive resin composition of the present invention is preferably used as a material for forming a transparent film constituting a part of a color filter such as an overcoat, a photo spacer, an insulating film, a projection for controlling liquid crystal alignment, a coat layer for adjusting the thickness of a coloring pattern Lt; / RTI >

실시예Example

이하, 본 발명을 실시예에 의해 더욱 상세하게 설명하는데, 본 발명이 이들 실시예에 의해 한정되는 것이 아님은 말할 필요도 없다. 예 중, 함유량 내지 사용량을 나타내는 % 및 부는, 특별히 언급하지 않는 한 질량 기준이다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples, but it goes without saying that the present invention is not limited by these Examples. In the examples,% and parts representing the content or amount are based on mass unless otherwise specified.

합성예 1Synthesis Example 1

환류 냉각기, 적하 깔대기 및 교반기를 구비한 1L 의 플라스크 내에 질소를 0.02L/분으로 흐르게 하여 질소 분위기로 하고, 3-메톡시-1-부탄올 200 질량부 및 3-메톡시부틸아세테이트 105 질량부를 넣고, 교반하면서 70℃ 까지 가열하였다. 이어서, 메타크릴산 60 질량부, 3,4-에폭시트리시클로[5.2.1.02.6]데실아크릴레이트 (식 (Ⅰ-1) 로 표시되는 화합물 및 식 (Ⅱ-1) 로 표시되는 화합물의 몰비, 50:50 의 혼합물) 240 질량부 및 3-메톡시부틸아세테이트 140 질량부에 용해하여 용액을 조제하고, 그 용해액을, 적하 깔대기를 사용하여 4 시간에 걸쳐 70℃ 로 보온한 플라스크 내에 적하하였다. 한편, 중합 개시제 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 30 질량부를 3-메톡시부틸아세테이트 225 질량부에 용해한 용액을, 별도의 적하 깔대기를 사용하여 4 시간에 걸쳐 플라스크 내에 적하하였다. 중합 개시 제의 용액의 적하가 종료된 후, 4 시간, 70℃ 로 유지하고, 그 후 실온까지 냉각시키고, 고형분 32.6 질량%, 산가 110㎎-KOH/g (고형분 환산) 의 공중합체 (수지 Aa) 의 용액을 얻었다. 얻어진 수지 Aa 의 중량 평균 분자량 Mw 는 13,400, 분산도는 2.50 이었다.A 1 L flask equipped with a reflux condenser, a dropping funnel and a stirrer was charged with nitrogen at a flow rate of 0.02 L / min to give a nitrogen atmosphere. 200 parts by mass of 3-methoxy-1-butanol and 105 parts by mass of 3-methoxybutyl acetate , And the mixture was heated to 70 DEG C while stirring. Then, 60 parts by mass of methacrylic acid, the molar ratio of the compound represented by the formula (I-1) and the compound represented by the formula (II-1), 3,4-epoxytricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decyl acrylate 50: 50) and 140 parts by mass of 3-methoxybutyl acetate to prepare a solution, and the solution was dropped into a flask heated to 70 DEG C over 4 hours using a dropping funnel . On the other hand, a solution prepared by dissolving 30 parts by mass of polymerization initiator 2,2'-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) in 225 parts by mass of 3-methoxybutyl acetate was added to a flask / RTI > After the dropwise addition of the polymerization initiator solution was completed, the solution was kept at 70 占 폚 for 4 hours and then cooled to room temperature to obtain a copolymer (solid content: 32.6 mass%, acid value: 110 mg-KOH / g ) Was obtained. The weight average molecular weight Mw of the obtained resin Aa was 13,400 and the degree of dispersion was 2.50.

합성예 2Synthesis Example 2

환류 냉각기, 적하 깔대기 및 교반기를 구비한 1L 의 플라스크 내에 질소를 0.02L/분으로 흐르게 하여 질소 분위기로 하고, 3-메톡시-1-부탄올 200 질량부 및 3-메톡시부틸아세테이트 105 질량부를 넣고, 교반하면서 70℃ 까지 가열하였다. 이어서, 메타크릴산 55 질량부, 3,4-에폭시트리시클로[5.2.1.02.6]데실아크릴레이트 (식 (Ⅰ-1) 로 표시되는 화합물 및 식 (Ⅱ-1) 로 표시되는 화합물의 몰비, 50:50 의 혼합물) 175 질량부 및 N-시클로헥실말레이미드 70 질량부를, 3-메톡시부틸아세테이트 140 질량부에 용해하여 용액을 조제하고, 그 용해액을, 적하 깔대기를 사용하여 4 시간에 걸쳐 70℃ 로 보온한 플라스크 내에 적하하였다. 한편, 중합 개시제 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 30 질량부를 3-메톡시부틸아세테이트 225 질량부에 용해한 용액을, 별도의 적하 깔대기를 사용하여 4 시간에 걸쳐 플라스크 내에 적하하였다. 중합 개시제의 용액의 적하가 종료된 후, 4 시간, 70℃ 로 유지하고, 그 후 실온까지 냉각시키고, 고형분 32.6 질량%, 산가 105㎎-KOH/g 의 공중합체 (수지 Ab) 의 용액을 얻었다. 얻어진 수지 Ab 의 중량 평균 분자량 Mw 는 13,600, 분산도는 2.54 이었다.A 1 L flask equipped with a reflux condenser, a dropping funnel and a stirrer was charged with nitrogen at a flow rate of 0.02 L / min to give a nitrogen atmosphere. 200 parts by mass of 3-methoxy-1-butanol and 105 parts by mass of 3-methoxybutyl acetate , And the mixture was heated to 70 DEG C while stirring. Subsequently, 55 parts by mass of methacrylic acid, the molar ratio of the compound represented by the formula (I-1) and the compound represented by the formula (II-1), 3,4-epoxytricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decyl acrylate 50: 50) and 70 parts by mass of N-cyclohexylmaleimide were dissolved in 140 parts by mass of 3-methoxybutyl acetate to prepare a solution, and the solution was added dropwise to the reaction mixture over 4 hours using a dropping funnel Lt; RTI ID = 0.0 > 70 C < / RTI > On the other hand, a solution prepared by dissolving 30 parts by mass of polymerization initiator 2,2'-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) in 225 parts by mass of 3-methoxybutyl acetate was added to a flask / RTI > After the dropwise addition of the polymerization initiator solution was completed, the solution was maintained at 70 DEG C for 4 hours and then cooled to room temperature to obtain a solution of a copolymer (resin Ab) having a solid content of 32.6 mass% and an acid value of 105 mg-KOH / g . The weight average molecular weight Mw of the obtained resin Ab was 13,600 and the degree of dispersion was 2.54.

합성예 3Synthesis Example 3

일본 공개특허공보 평11-133600호의 합성예 1 과 동일하게, 냉각관, 교반기를 구비한 플라스크에, 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 7 질량부, 디에틸렌글리콜디메틸에테르 200 질량부를 넣었다. 이어서 스티렌 30 질량부, 메타크릴산 20 질량부, 메타크릴산 글리시딜 50 질량부를 넣어 질소 치환한 후, 천천히 교반을 시작하였다. 용액의 온도를 70℃ 로 상승시키고, 이 온도를 5 시간 유지하여 수지 Ac 를 함유하는 중합체 용액을 얻었다. 얻어진 수지 Ac 의 폴리스티렌 환산 중량 평균 분자량은 24,000 이었다.In the same manner as in Synthesis Example 1 of JP-A-11-133600, 7 parts by mass of 2,2'-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) and 20 parts by mass of diethylene glycol And 200 parts by mass of dimethyl ether. Subsequently, 30 parts by mass of styrene, 20 parts by mass of methacrylic acid and 50 parts by mass of glycidyl methacrylate were purged with nitrogen, and stirring was started slowly. The temperature of the solution was raised to 70 캜 and maintained at this temperature for 5 hours to obtain a polymer solution containing the resin Ac. The weight average molecular weight of the resin Ac obtained in terms of polystyrene was 24,000.

상기 바인더 폴리머의 중량 평균 분자량 (Mw) 및 수평균 분자량 (Mn) 의 측정에 대해서는, GPC 법을 사용하여, 이하의 조건에서 실시하였다.The weight average molecular weight (Mw) and the number average molecular weight (Mn) of the binder polymer were measured by the GPC method under the following conditions.

장치 ; K2479 ((주) 시마즈 제작소 제조)Device ; K2479 (manufactured by Shimadzu Corporation)

칼럼 ; SHIMADZU Shim-pack GPC-80Mcolumn ; SHIMADZU Shim-pack GPC-80M

칼럼 온도 ; 40℃Column temperature; 40 ℃

용매 ; THF (테트라히드로푸란)Solvent; THF (tetrahydrofuran)

유속 ; 1.0mL/minFlow rate; 1.0 mL / min

검출기 ; RIDetector; RI

상기에서 얻어진 폴리스티렌 환산의 중량 평균 분자량 및 수평균 분자량의 비를 분산도 (Mw/Mn) 로 하였다.The ratio of the weight average molecular weight and the number average molecular weight in terms of polystyrene obtained as described above was determined as the degree of dispersion (Mw / Mn).

실시예 1Example 1

합성예 1 에서 얻어진 수지 Aa 를 함유하는 수지 용액 (A) 169 부 (고형분 환산 55 부), 디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트 (B) 45 부, 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐비이미다졸 (C) 4 부, 2-(2-나프토일메틸렌)-3-메틸벤조티아졸린 (C-1) 0.5 부, 펜타에리트리톨테트라키스티오프로피오네이트 (C-1) 3 부, IRGANOX3114 (Ciba Specialty Chemicals 사 제조) (F) 0.8 부, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 58 부, 3-에톡시에틸프로피오네이트 42 부, 3-메톡시 1-부탄올 3 부 및 3-메톡시부틸아세테이트 2 부를 혼합하여 감광성 수지 조성물 1 을 얻었다.169 parts (55 parts in terms of solid content) of a resin solution (A) containing the resin Aa obtained in Synthesis Example 1, 45 parts of dipentaerythritol hexaacrylate (B), 2,2'-bis (2-chlorophenyl) 4 parts of 4,4 ', 5,5'-tetraphenylbiimidazole (C), 0.5 parts of 2- (2-naphthoylmethylene) -3-methylbenzothiazoline (C-1), 0.5 parts of pentaerythritol tetrakis 3 parts of thiopropionate (C-1), 0.8 parts of IRGANOX 3141 (Ciba Specialty Chemicals) (F), 58 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate, 42 parts of 3-ethoxyethyl propionate, 3 parts of 1-butanol and 2 parts of 3-methoxybutyl acetate were mixed to obtain Photosensitive Resin Composition 1.

<패턴 형성>&Lt; Pattern formation >

가로 세로 2 인치의 유리 기판 (이글 2000 ; 코닝사 제조) 이 중성 세제, 물 및 알코올로 순차 세정되고 나서 건조되었다. 이 유리 기판 상에, 감광성 수지 조성물 1 이, 100mJ/㎠ 의 노광량 (405㎚) 으로 노광되고, 현상, 수세, 포스트베이크되었을 때의 막두께가 3.0㎛ 가 되도록 스핀 코트되고, 다음으로 클린오븐 중에서, 90℃ 에서 3 분간 프리베이크되었다. 냉각 후, 이 감광성 수지 조성물을 도포한 기판과 석영 유리제 포토마스크의 간격이 10㎛ 가 되고, 노광기 (TME-150RSK ; 톱콘 (주) 제조) 를 사용하고, 대기 분위기 하에서, 100mJ/㎠ 의 노광량 (405㎚ 기준) 으로 광조사되었다. 또, 이 때의 중합성 수지 조성물에 대한 조사는, 초고압 수은등으로부터의 방사광을, 광학 필터 (LU0400 ; 아사히 분광 (주) 제조) 를 통과시키고, 400㎚ 이하의 광을 커트하여 사용하였다.A glass substrate (Eagle 2000; manufactured by Corning) having an aspect ratio of 2 inches was sequentially washed with a neutral detergent, water and alcohol, and then dried. The photosensitive resin composition 1 was exposed to an exposure amount (405 nm) of 100 mJ / cm 2 on the glass substrate, spin-coated so as to have a film thickness of 3.0 μm when developed, washed and post-baked, And prebaked at 90 DEG C for 3 minutes. After cooling, the space between the substrate coated with this photosensitive resin composition and the quartz glass photomask was set to 10 mu m and an exposure amount of 100 mJ / cm &lt; 2 &gt; was formed in an atmosphere of an atmosphere using an exposure machine (TME-150RSK; Topcon Co., 405 nm). The irradiation of the polymerizable resin composition at this time was carried out by passing the radiation from the ultra-high pressure mercury lamp through an optical filter (LU0400; manufactured by Asahi Spectroscopy), and cutting light having a wavelength of 400 nm or less.

또, 포토마스크로서, 다음 패턴이 동일 평면 상에 형성된 포토마스크가 사용되었다.A photomask in which the following pattern is formed on the same plane was used as the photomask.

·1 변이 10㎛ 인 정사각형의 투광부 (패턴) 를 가지며, 당해 정사각형의 간격이 100㎛.- A light-transmitting portion (pattern) having a square of 10 mu m in one side, and the interval of the square is 100 mu m.

·1 변이 15㎛ 인 정사각형의 투광부 (패턴) 를 가지며, 당해 정사각형의 간격이 100㎛.- A light-transmitting portion (pattern) having a square of 15 mu m per side, and the interval of the square is 100 mu m.

광조사 후, 그 기판은, 비이온계 계면 활성제 0.12% 와 수산화 칼륨 0.04% 를 함유하는 수계 현상액에 상기 도막을 25℃ 에서 100 초간 침지하여 현상되고, 수세 후, 오븐 중에서, 220℃ 에서 20 분간 포스트베이크가 실시되었다. 방랭 후, 얻어진 경화막의 막두께는, 막두께 측정 장치 (DEKTAK3 ; 닛폰 진공 기술 (주) 제조) 를 사용하여 측정된 결과, 3.0㎛ 이었다.After the light irradiation, the substrate was developed by immersing the coating film in an aqueous developing solution containing 0.12% of a nonionic surfactant and 0.04% of potassium hydroxide at 25 캜 for 100 seconds, rinsed and then rinsed in an oven at 220 캜 for 20 minutes Post-baking was carried out. After the cooling, the film thickness of the obtained cured film was measured using a film thickness measuring device (DEKTAK3; manufactured by Nippon Vacuum Technology Co., Ltd.), and it was 3.0 탆.

<보존 안정성><Storage stability>

상기에서 얻어진 감광성 수지 조성물 1 의 점도가 측정되었다. 그리고, 감광성 수지 조성물 1 은 차광 용기에 봉입되고, 그 용기는 23℃ 의 항온조 중에서 2 주간 보존되었다.The viscosity of the photosensitive resin composition 1 obtained above was measured. Then, the photosensitive resin composition 1 was sealed in a light-shielding container, and the container was stored in a thermostatic chamber at 23 DEG C for 2 weeks.

보관 후의 감광성 수지 조성물 1 의 점도가 측정되었다. 하기 식에 기초하여 구해진 점도 변화는 100% 이었다.The viscosity of the photosensitive resin composition 1 after storage was measured. The viscosity change obtained on the basis of the following formula was 100%.

점도 변화 = ([23℃ 2 주간 보존 후의 감광성 수지 조성물의 점도] / [보존 전의 감광성 수지 조성물의 점도]) × 100 (%)Viscosity change = ([Viscosity of photosensitive resin composition after storage for 2 weeks at 23 占 폚] / [Viscosity of photosensitive resin composition before storage] 占 100%

점도 변화가 작을수록, 예를 들어 100∼103% 의 범위이면 양호하다. 또, 점도의 측정은 이하와 같이 실시하였다.The smaller the viscosity change is, for example, the range of 100 to 103% is preferable. The measurement of the viscosity was carried out as follows.

또, 점도는, 점도계 (VISCOMETER TV-30 ; 토키 산업 (주) 제조) 를 사용하 고, 23℃ 에서 측정되었다.The viscosity was measured at 23 캜 using a viscometer (VISCOMETER TV-30, manufactured by Toray Industries, Ltd.).

<선폭, 단면 형상><Line width, sectional shape>

얻어진 경화막은, 주사형 전자 현미경 (S-4000 ; (주) 히타치 제작소사 제조) 을 사용하고, 선폭, 형상 (단면) 이 관찰, 측정되었다.The line width and shape (cross section) of the cured film were observed and measured using a scanning electron microscope (S-4000, manufactured by Hitachi, Ltd.).

포토마스크 상의 10㎛ 패턴에 대응하는 패턴에 있어서 측정된 선폭은 10.0㎛ 이었다.The line width measured in the pattern corresponding to the 10 mu m pattern on the photomask was 10.0 mu m.

단면 형상은, 기판에 대한 패턴의 각도가 90 도 미만이고, 순테이퍼이었다. 또, 기판에 대한 패턴의 각도가 90 도 이상일 때를 역테이퍼로서 판단하였다.The cross-sectional shape was an angle of the pattern with respect to the substrate was less than 90 degrees, and was a net taper. When the angle of the pattern with respect to the substrate was 90 degrees or more, it was judged as an inverse taper.

순테이퍼이면, 액정 표시 장치의 형성시에 ITO 배선의 단선이 일어나기 어렵기 때문에 바람직하다.A net taper is preferable because disconnection of the ITO wirings hardly occurs at the time of forming the liquid crystal display device.

<기계 특성> (총 변위량 및 회복률)<Mechanical Characteristics> (Total Displacement and Recovery Rate)

얻어진 경화막은, 다이나믹 초미소 경도계 (DUH-W201 ; (주) 시마즈 제작소 제조) 를 사용하고, 그 총 변위량 (㎛) 및 탄성 변위량 (㎛) 이 측정되었다. 그들 수치로부터 회복률 (%) 이 구해졌다. 총 변위량은 0.57㎛ 이고, 회복률은 92.9% 이었다.The total amount of displacement (占 퐉) and the amount of elastic displacement (占 퐉) were measured using a dynamic ultra-microhardness tester (DUH-W201; Shimadzu Corporation). Recovery rates (%) were obtained from these figures. The total displacement amount was 0.57 탆 and the recovery rate was 92.9%.

-측정 조건--Measuring conditions-

시험 모드 ; 부하-제하 (除荷) 시험Test mode; Load - unloading test

시험력 ; 5gf [SI 단위 환산값 ; 49.0mN]Test force; 5gf [SI conversion value; 49.0 mN]

부하 속도 ; 0.45gf/sec [SI 단위 환산값 ; 4.41mN/sec]Load speed; 0.45 gf / sec [SI unit conversion value; 4.41 mN / sec]

유지 시간 ; 5secRetention time; 5sec

압자 ; 원뿔대 압자 (직경 50㎛)Indenter; Conical indenter indenter (diameter 50 탆)

회복률 (%) ; [탄성 변위량 (㎛)]/[총 변위량 (㎛)] × 100Recovery rate (%); [Elastic displacement (占 퐉)] / [Total displacement (占 퐉)] 占 100

<내용제성><Solvent resistance>

노광 공정에서, 포토마스크를 사용하지 않은 것 이외에는, 동일한 조작을 실시하여 도막이 제조되고, 그 막두께가 측정되었다. 얻어진 도막이 40℃ 의 N-메틸피롤리돈 중에 40 분간 침지되고, 침지 후의 막두께가 측정되었다. 다음 식에 따라서 막두께 변화가 구해지고, 이것을 내용제성의 지표로 하였다. 얻어진 값은 103.9% 이었다.In the exposure step, except that a photomask was not used, the same operation was carried out to prepare a coating film, and the film thickness thereof was measured. The resulting coating film was immersed in N-methylpyrrolidone at 40 占 폚 for 40 minutes, and the film thickness after immersion was measured. The change in film thickness was determined according to the following formula, and this was taken as an index of the solvent resistance. The value obtained was 103.9%.

막두께 변화 (%) ; [침지 후의 막두께 (㎛)]/[침지 전의 막두께 (㎛)] × 100Film thickness change (%); [Thickness after immersion (占 퐉)] / [Thickness before immersion (占 퐉)] 占 100

상기 막두께 변화는 104% 이하인 것이 바람직하다.The film thickness change is preferably 104% or less.

<내열성><Heat resistance>

노광 공정에서, 포토마스크를 사용하지 않은 것 이외에는, 동일한 조작이 실시되어 도막이 제조되었다. 제조된 도막이, 240℃ 의 클린오븐 중에 1 시간 방치되고, 가열 전후의 막두께가 측정되고, 다음 식에 따라서 그 막두께 변화가 구해지고, 이것을 내열성의 지표로 하였다. 얻어진 값은 98.2% 이었다.In the exposure process, the same operation was carried out except that the photomask was not used, and a coating film was produced. The coated film thus prepared was allowed to stand in a clean oven at 240 캜 for 1 hour. The film thickness before and after heating was measured, and the film thickness change was determined according to the following formula, which was regarded as an index of heat resistance. The value obtained was 98.2%.

막두께 변화 (%) ; [가열 후의 막두께 (㎛)]/[가열 전의 막두께 (㎛)] × 100Film thickness change (%); [Film thickness after heating (占 퐉)] / [Film thickness before heating (占 퐉)] × 100

상기 막두께 변화는 97% 이상인 것이 바람직하다.The film thickness change is preferably 97% or more.

실시예 2Example 2

표 1 에 나타내는 조성이 되도록 감광성 수지 조성물 2 를 얻고, 실시예 1 과 동일하게 하여 그 평가를 실시하였다. 결과를 표 2 에 나타낸다.The photosensitive resin composition 2 was obtained so as to have the composition shown in Table 1 and evaluated in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 2.

실시예 3Example 3

표 1 에 나타내는 조성이 되도록 감광성 수지 조성물 3 을 얻고, 실시예 1 과 동일하게 하여 그 평가를 실시하였다. 결과를 표 2 에 나타낸다.The photosensitive resin composition 3 was obtained so as to have the composition shown in Table 1 and evaluated in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 2.

비교예 1Comparative Example 1

표 1 에 나타내는 조성이 되도록 감광성 수지 조성물 4 를 얻고, 실시예 1 과 동일하게 하여 그 평가를 실시하였다. 결과를 표 2 에 나타낸다.The photosensitive resin composition 4 was obtained so as to have the composition shown in Table 1, and the evaluation was carried out in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 2.

비교예 2Comparative Example 2

표 1 에 나타내는 조성이 되도록 감광성 수지 조성물 5 를 얻었다. 실시예 1 과 동일하게 하여 보존 안정성을 측정한 결과, 증점되었기 때문에 그 평가를 중지하였다.The photosensitive resin composition 5 was obtained so as to have the composition shown in Table 1. The storage stability was measured in the same manner as in Example 1, and the evaluation was stopped because it was thickened.

실시예 1Example 1 실시예 2Example 2 실시예 3Example 3 비교예 1Comparative Example 1 비교예 2Comparative Example 2 감광성 수지 조성물Photosensitive resin composition 1One 22 33 44 55 바인더
수지 (A)
bookbinder
Resin (A)
수지 AaResin Aa 5555 5050 4545 -- --
수지 AbResin Ab -- -- -- 5555 -- 수지 AcResin Ac -- -- -- -- 6060 광중합성 화합물 (B) ;
디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트
(KAYARAD DPHA ; 닛폰 화약 (주) 제조)
Photopolymerizable compound (B);
Dipentaerythritol hexaacrylate
(KAYARAD DPHA; manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
4545 5050 5555 4545 4040
광중합
개시제 (C) ;
Light curing
Initiator (C);
2,2'-비스(o-클로로페닐)-4,5,4',5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸 (B-CIM ; 호도가야 화학 공업 (주) 제조)Bis (o-chlorophenyl) -4,5,4 ', 5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole (B-CIM manufactured by Hodogaya Chemical Co., Ltd.) 44 44 44 44 --
2-메틸-2-모르폴리노(4-티오메틸페닐)프로판-1-온 (Irgacure-907 ; Ciba Specialty Chemicals 사 제조)2-methyl-2-morpholino (4-thiomethylphenyl) propan-1-one (Irgacure-907, manufactured by Ciba Specialty Chemicals) -- -- -- -- 66 광중합 개시 보조제 (C-1) ;A photopolymerization initiation auxiliary (C-1); 2-(2-나프토일메틸렌)-3-메틸벤조티아졸린2- (2-naphthoylmethylene) -3-methylbenzothiazoline 0.50.5 0.50.5 0.50.5 0.50.5 -- 펜타에리트리톨테트라키스티오프로피오네이트 (PEMP ; 사카이 화학 공업 (주) 제조)Pentaerythritol tetrakisthiopropionate (PEMP; manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd.) 33 33 33 33 -- 용제 (D) ;Solvent (D); 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트Propylene glycol monomethyl ether acetate 5858 5858 5858 5858 -- 3-에톡시에틸프로피오네이트3-ethoxyethyl propionate 4242 4242 4242 4242 -- 3-메톡시-1-부탄올3-Methoxy-1-butanol 33 77 1010 33 -- 3-메톡시부틸아세테이트3-methoxybutylacetate 22 99 1717 22 -- 디에틸렌글리콜디메틸에테르Diethylene glycol dimethyl ether -- -- -- -- 197197 첨가제 (F)Additive (F) 산화 방지제 ; 1,3,5-트리스(3,5-디-tert-부틸-4-히드록시벤질)-1,3,5-트리아진-2,4,6(1H,3H,5H)-트리온 (Irganox3114 ; Ciba Specialty Chemicals 사 제조)Antioxidants; 1,3,5-tris (3,5-di-tert-butyl-4-hydroxybenzyl) -1,3,5-triazine-2,4,6 (1H, 3H, 5H) Irganox 3114 (manufactured by Ciba Specialty Chemicals) 0.80.8 0.80.8 0.80.8 0.80.8 --

실시예 1Example 1 실시예 2Example 2 실시예 3Example 3 비교예 1Comparative Example 1 비교예 2Comparative Example 2 감광성 수지 조성물Photosensitive resin composition 1One 22 33 44 55 보존 안정성 (%)Storage stability (%) 100100 101101 100100 101101 107107 패턴pattern 선폭 (㎛)Line width (탆) 10.010.0 8.98.9 8.28.2 11.611.6 -- 형상shape 순테이퍼Sun Taper 순테이퍼Sun Taper 순테이퍼Sun Taper 순테이퍼Sun Taper -- 기계 특성Mechanical properties 총 변위량 (㎛)Total displacement (㎛) 0.570.57 0.730.73 0.670.67 0.500.50 -- 회복률 (%)Recovery Rate (%) 92.992.9 77.977.9 75.675.6 88.388.3 -- 내용제성Solvent resistance (%)(%) 103.9103.9 102.2102.2 103.0103.0 105.3105.3 -- 내열성Heat resistance (%)(%) 98.298.2 98.198.1 98.098.0 98.098.0 --

실시예 4Example 4

표 3 에 나타내는 조성이 되도록 감광성 수지 조성물 6 을 얻었다.The photosensitive resin composition 6 was obtained so as to have the composition shown in Table 3.

<패턴 형성>&Lt; Pattern formation >

가로 세로 2 인치의 유리 기판 (이글 2000 ; 코닝사 제조) 이 중성 세제, 물 및 알코올로 순차 세정되고 나서 건조되었다. 이 유리 기판 상에, 감광성 수지 조성물 1 이, 40mJ/㎠ 의 노광량 (365㎚) 으로 노광되고, 현상, 수세, 포스트베이크되었을 때의 막두께가 3.0㎛ 가 되도록 스핀 코트되고, 다음으로 클린오븐 중에서, 85℃ 에서 3 분간 프리베이크되었다. 냉각 후, 이 감광성 수지 조성물을 도포한 기판과 석영 유리제 포토마스크의 간격이 10㎛ 가 되고, 노광기 (TME-150RSK ; 톱콘 (주) 제조) 를 사용하고, 대기 분위기 하에서, 40mJ/㎠ 의 노광량 (365㎚ 기준) 으로 광조사되었다. 또, 이 때의 중합성 수지 조성물에 대한 조사는, 초고압 수은등으로부터의 방사광을, 광학 필터 (UV-31 ; 아사히 분광 (주) 제조) 를 통과시켰다.A glass substrate (Eagle 2000; manufactured by Corning) having an aspect ratio of 2 inches was sequentially washed with a neutral detergent, water and alcohol, and then dried. The photosensitive resin composition 1 was exposed to an exposure dose (365 nm) of 40 mJ / cm 2 on the glass substrate, spin-coated so as to have a film thickness of 3.0 μm when developed, washed and post-baked, , And pre-baked at 85 캜 for 3 minutes. After cooling, the distance between the substrate coated with this photosensitive resin composition and the quartz glass photomask was 10 mu m, and an exposure amount of 40 mJ / cm &lt; 2 &gt; was measured under an atmospheric environment using an exposure apparatus (TME-150RSK; Topcon Co., 365 nm). The irradiation of the polymerizable resin composition at this time was carried out by passing the radiation from the ultra-high pressure mercury lamp through an optical filter (UV-31; manufactured by Asahi Spectroscopy).

또, 포토마스크로서, 다음 패턴이 동일 평면 상에 형성된 포토마스크가 사용되었다.A photomask in which the following pattern is formed on the same plane was used as the photomask.

·1 변이 10㎛ 인 정사각형의 투광부 (패턴) 를 가지며, 당해 정사각형의 간격이 100㎛.- A light-transmitting portion (pattern) having a square of 10 mu m in one side, and the interval of the square is 100 mu m.

·1 변이 15㎛ 인 정사각형의 투광부 (패턴) 를 가지며, 당해 정사각형의 간격이 100㎛.- A light-transmitting portion (pattern) having a square of 15 mu m per side, and the interval of the square is 100 mu m.

광조사 후, 그 기판은, 비이온계 계면 활성제 0.12% 와 수산화 칼륨 0.04% 를 함유하는 수계 현상액에 상기 도막을 23℃ 에서 40 초간 침지하여 현상되고, 수세 후, 오븐 중에서, 220℃ 에서 20 분간 포스트베이크가 실시되었다. 방랭 후, 얻어진 경화막의 막두께는, 막두께 측정 장치 (DEKTAK3 ; 닛폰 진공 기술 (주) 제조) 를 사용하여 측정된 결과, 3.0㎛ 이었다.After light irradiation, the substrate was developed by immersing the coating film in an aqueous developing solution containing 0.12% of a nonionic surfactant and 0.04% of potassium hydroxide at 23 DEG C for 40 seconds. After washing with water, the substrate was dried in an oven at 220 DEG C for 20 minutes Post-baking was carried out. After the cooling, the film thickness of the obtained cured film was measured using a film thickness measuring device (DEKTAK3; manufactured by Nippon Vacuum Technology Co., Ltd.), and it was 3.0 탆.

패턴 형성 후의 평가는 실시예 1 과 동일하게 평가하였다.Evaluation after pattern formation was evaluated in the same manner as in Example 1.

비교예 3Comparative Example 3

표 3 에 나타내는 조성이 되도록 감광성 수지 조성물 7 을 얻었다. 실시예 4 와 동일하게 평가하였다.The photosensitive resin composition 7 was obtained so as to have the composition shown in Table 3. And evaluated in the same manner as in Example 4.

실시예 4Example 4 비교예 3Comparative Example 3 중합성
수지 조성물 6
Polymerizable
Resin composition 6
중합성
수지 조성물 7
Polymerizable
Resin composition 7
수지 (A)Resin (A) 수지 Aa (고형분만)Resin Aa (solids only) 6060 수지 Ab (고형분만)Resin Ab (solids only) 6060 수지 Ac (고형분만)Resin Ac (solids only) 중합성 화합물 (B)The polymerizable compound (B) 디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트
닛폰 화약 (주) 제조 KAYARAD DPHA
Dipentaerythritol hexaacrylate
KAYARAD DPHA manufactured by Nippon Gunpaku Co., Ltd.
4040 4040
개시제 (C)Initiator (C) 에탄온, 1-[9-에틸-6-(2-메틸벤조일)-9H-카르바졸-3-일]-,1-(O-아세틸옥심)
CIBA SPECIALTY CHEMICALS 사 제조 OXE-02
1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] -, 1- (O-acetyloxime)
OXE-02 manufactured by CIBA SPECIALTY CHEMICALS
22 22
용제 (D)Solvent (D) 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트Propylene glycol monomethyl ether acetate 4141 4141 3-에톡시에틸프로피오네이트3-ethoxyethyl propionate 3737 3737 3-메톡시-1-부탄올3-Methoxy-1-butanol 44 44 3-메톡시부틸아세테이트3-methoxybutylacetate 00 00 3-메톡시-1-부탄올
+3-메톡시부틸아세테이트
수지 (A) 로부터의 유입분
3-Methoxy-1-butanol
+ 3-methoxybutyl acetate
The inflow from the resin (A)
124124 124124

실시예 4Example 4 비교예 3Comparative Example 3 감광성 수지 조성물Photosensitive resin composition 66 77 보존 안정성Storage stability 100100 101101 패턴pattern 선폭Line width 13.113.1 20.020.0 형상shape 순테이퍼Sun Taper 순테이퍼Sun Taper

표 2 에 나타내는 실시예 1∼3 의 결과로부터, 지방족 다고리형 에폭시 화합물을 함유하는 바인더 수지를 함유하는 본 발명의 감광성 수지 조성물은 보존 안정성이 우수하다. 또 본 발명의 감광성 수지 조성물을 사용하면, 패턴 형상, 기계 특성, 내용제성, 내열성이 양호한 패턴 및 도막이 얻어지는 것을 알 수 있다. 또한, 비교예 1 과 비교하면, 미세한 패턴까지 해상 가능한 것을 알 수 있다.From the results of Examples 1 to 3 shown in Table 2, the photosensitive resin composition of the present invention containing a binder resin containing an aliphatic polycyclic epoxy compound is excellent in storage stability. It is also understood that when the photosensitive resin composition of the present invention is used, a pattern and a coating film having good pattern shape, mechanical properties, solvent resistance, and heat resistance can be obtained. Compared with the comparative example 1, it can be understood that even a fine pattern can be resolved.

또한, 표 4 에 나타내는 실시예 4 의 결과로부터, 지방족 다고리형 에폭시 화합물을 함유하는 바인더 수지를 함유하는 본 발명의 감광성 수지 조성물은 보존 안정성이 우수하다. 또 본 발명의 감광성 수지 조성물을 사용하면, 패턴 형상이 양호한 패턴 및 도막이 얻어지는 것을 알 수 있다. 또한, 비교예 3 과 비교하면, 미세한 패턴까지 해상 가능한 것을 알 수 있다.From the results of Example 4 shown in Table 4, the photosensitive resin composition of the present invention containing a binder resin containing an aliphatic polycyclic epoxy compound is excellent in storage stability. It is also understood that when the photosensitive resin composition of the present invention is used, a pattern and a coating film having a good pattern shape can be obtained. Compared with Comparative Example 3, it can be seen that a fine pattern can be resolved.

본 발명의 감광성 수지 조성물은 보존 안정성이 우수하고, 패턴 형상, 표면 평활성, 기계 특성, 내열성, 내용제성이 우수한 패턴 및 도막을 형성하는 것이 가능하고, 오버코트, 포토스페이서, 절연막, 액정 배향 제어용 돌기, 착색 패턴의 막두께를 맞추기 위한 코트층 등, 표시 장치에 사용되는 막의 형성에 바람직하게 사용할 수 있다.The photosensitive resin composition of the present invention can form a pattern and a coating film excellent in storage stability, excellent in pattern shape, surface smoothness, mechanical characteristics, heat resistance and solvent resistance, and can be used as an overcoat, a photo spacer, an insulating film, And a coat layer for adjusting the film thickness of the colored pattern.

Claims (5)

바인더 수지 (A), 광중합성 화합물 (B), 광중합 개시제 (C) 및 용제 (D) 를 함유하고, 바인더 수지 (A) 가, 불포화 카르복실산 및/또는 불포화 카르복실산 무수물 (A1) 과 지방족 다고리형 에폭시 화합물 (A2) 만을 공중합시켜 얻어지는 공중합체이고, 공중합체 중, 불포화 카르복실산 및/또는 불포화 카르복실산 무수물 (A1) 로부터 유도되는 구성 단위의 비율이, 공중합체를 구성하는 구성 단위의 합계 몰수에 대하여, 5∼75 몰%이고, 지방족 다고리형 에폭시 화합물 (A2) 로부터 유도되는 구성 단위의 비율이, 공중합체를 구성하는 구성 단위의 합계 몰수에 대하여, 25∼95 몰%인 감광성 수지 조성물.(A), a photopolymerizable compound (B), a photopolymerization initiator (C) and a solvent (D), wherein the binder resin (A) contains an unsaturated carboxylic acid and / or an unsaturated carboxylic acid anhydride (A2) alone, and the ratio of the constitutional units derived from the unsaturated carboxylic acid and / or the unsaturated carboxylic acid anhydride (A1) in the copolymer is not particularly limited as long as the ratio of the constituent units constituting the copolymer And the proportion of the constituent unit derived from the aliphatic polycyclic epoxy compound (A2) relative to the total molar number of the constituent units constituting the copolymer is from 25 to 95 mol% Sensitive resin composition. 제 1 항에 있어서,The method according to claim 1, 지방족 다고리형 에폭시 화합물 (A2) 가, 지방족 다고리형 화합물의 고리 상에 에폭시기를 가지며, 또한 불포화 결합을 갖는 화합물인 감광성 수지 조성물.The aliphatic polycyclic epoxy compound (A2) is a compound having an epoxy group on the ring of an aliphatic polycyclic compound and having an unsaturated bond. 제 1 항에 있어서,The method according to claim 1, 지방족 다고리형 에폭시기를 갖는 단량체 (A2) 가, 식 (Ⅰ) 로 표시되는 화합물 및 식 (Ⅱ) 로 표시되는 화합물로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 종의 화합물인 감광성 수지 조성물.Wherein the monomer (A2) having an aliphatic polycyclic epoxy group is at least one compound selected from the group consisting of a compound represented by the formula (I) and a compound represented by the formula (II).
Figure 112014010050218-pat00009
Figure 112014010050218-pat00009
[식 (Ⅰ) 및 식 (Ⅱ) 중, R 은 각각 독립적으로 수소 원자 또는 수산기로 치환되어 있어도 되는 탄소수 1∼4 의 알킬기를 나타내고, X 는 각각 독립적으로 단결합 또는 헤테로 원자를 함유해도 되는 탄소수 1∼6 의 알킬렌기를 나타낸다][In the formulas (I) and (II), each R independently represents an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms which may be substituted with a hydrogen atom or a hydroxyl group, and each X independently represents a single bond or a hetero atom- An alkylene group having 1 to 6 carbon atoms,
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 기재된 감광성 수지 조성물을 사용하여 형성되는 패턴.A pattern formed by using the photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 3. 제 4 항에 기재된 패턴을 포함하는 액정 표시 장치.A liquid crystal display device comprising the pattern according to claim 4.
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