KR102093759B1 - Photosensitive resin composition for transparent pixel - Google Patents

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Abstract

본 발명은 (A) 알칼리 가용성 수지; (B) 광중합성 화합물; (C)광중합 개시제; 및 (D)용제를 포함하는 투명화소 형성용 감광성 수지조성물로서, 상기 (A) 알칼리 가용성 수지는, (A') 라디칼광개시제 및 UV조사에 대하여 반응성인 알칼리 가용성 수지 및 (A") 라디칼광개시제 및 UV조사에 대하여 비반응성인 알칼리 가용성 수지가 8:2 내지 1:7의 중량비로 혼합된 것이며, 상기 (A") 라디칼광개시제 및 UV조사에 대하여 비반응성인 알칼리 가용성 수지의 분자량이 10,000 내지 30,000인 것을 특징으로 하는 투명화소 형성용 감광성 수지조성물을 제공한다.The present invention (A) alkali-soluble resin; (B) photopolymerizable compounds; (C) photopolymerization initiator; And (D) a photosensitive resin composition for forming a transparent pixel comprising a solvent, wherein the (A) alkali-soluble resin comprises: (A ') an alkali-soluble resin reactive to UV radiation and (A') a radical photoinitiator and (A ") radical photoinitiator, and An alkali-soluble resin that is non-reactive to UV irradiation is mixed in a weight ratio of 8: 2 to 1: 7, and the molecular weight of the (A ") radical photoinitiator and alkali-soluble resin that is non-reactive to UV irradiation is 10,000 to 30,000. It provides a photosensitive resin composition for forming a transparent pixel, characterized in that.

Description

투명화소 형성용 감광성 수지조성물{PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION FOR TRANSPARENT PIXEL}Photosensitive resin composition for forming transparent pixels {PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION FOR TRANSPARENT PIXEL}

본 발명은 미세 화소픽셀의 형성이 용이하고, 투명전극 형성을 위한 컨택홀 구현이 가능한 투명화소 형성용 감광성 수지조성물에 관한 것이다.The present invention relates to a photosensitive resin composition for forming a transparent pixel that can easily form a fine pixel pixel and implement a contact hole for forming a transparent electrode.

최근 디스플레이 산업은 CRT에서 PDP, OLED, LCD등으로 대변되는 평판디스플레이로 급격한 변화를 진행해 왔다. 그 중 액정표시장치(LCD)는 거의 모든 산업에서 화상표시장치로써 널리 이용되고 있으며, 그 응용 범위는 지속적으로 확대되고 있다. 일반적으로 액정표시장치는 광투과 제어를 위한 액정, 이 액정구동을 위한 전기신호 장치인 TFT array층, 블랙 매트릭스가 패턴 형성된 기판상에 적색, 녹색 및 청색의 화소패턴을 형성하고, 각각의 화소패턴들 간의 평탄성을 부여하기 위해 오버코트가 도포 된 컬러필터층, 다시 TFT array층과 컬러필터층을 합착하는 단계에서 셀갭 유지를 위한 컬럼스페이서로 구성된다. 이렇게 구성된 액정표시장치 (LCD)는 휴대장비, 산업기계, 군사, 의료용도 등 모든 산업분야에서 폭넓게 사용되고 있다.Recently, the display industry has undergone a rapid change from CRT to flat panel displays represented by PDP, OLED, and LCD. Among them, a liquid crystal display (LCD) is widely used as an image display device in almost all industries, and its application range is continuously expanding. In general, a liquid crystal display device forms red, green, and blue pixel patterns on a substrate on which a liquid crystal for light transmission control, a TFT array layer as an electrical signal device for driving the liquid crystal, and a black matrix are patterned, and each pixel pattern. It is composed of a column spacer for maintaining a cell gap in the step of bonding the color filter layer, the TFT array layer and the color filter layer, which are coated with an overcoat, to impart flatness between them. The liquid crystal display (LCD) configured as described above is widely used in all industrial fields such as portable equipment, industrial machinery, military, and medical applications.

하지만, 액정표시장치(LCD)의 사용환경이 실내에서 실외 광고등의 정보전달매체로 사용되면서, 외부 태양광에 의한 휘도저하 문제로 시인성이 급격히 떨어지는 문제가 발생되고 있다. 이러한 문제를 해결하기 위해 백라이트의 밝기를 향상시키거나, 컬러필터층의 적색, 녹색, 청색 화소들의 투과도를 높이는 방법이 사용되었으나, 소비전력의 문제 및 착색재료의 한계물성으로 충분한 해결이 되지 못했으며, 다른 한편으로는 적색, 녹색, 청색으로 구성된 화소픽셀에 백라이트의 휘도손실이 없는 빈 공간을 형성시키는 방법이 제안되었다.However, as the use environment of a liquid crystal display (LCD) is used as an information transmission medium such as indoor or outdoor advertising, there is a problem in that visibility is rapidly deteriorated due to a decrease in luminance caused by external sunlight. In order to solve this problem, a method of improving the brightness of the backlight or increasing the transmittance of red, green, and blue pixels of the color filter layer was used, but it was not sufficiently solved by the problem of power consumption and the limiting properties of the coloring material. On the other hand, a method has been proposed in which a pixel space composed of red, green, and blue pixels is formed with an empty space without loss of backlight luminance.

하지만, 상기의 방법에 따른 투명층을 가진 컬러필터는 외부광에 의한 시인성 측면에서는 휘도 향상효과로 상당부분 개선시킬 수 있었으나, 주변의 착색재료 층과의 단차가 커지면서 액정구동 불량의 원인이 되고 있어, 착색 칼라픽셀과 동일한 두께의 투명화소 픽셀이 요구되고 있다.However, the color filter having a transparent layer according to the above method was able to be improved considerably in terms of the brightness enhancement effect in terms of visibility by external light, but as a step difference with the surrounding coloring material layer increases, it causes a liquid crystal drive defect, A transparent pixel pixel having the same thickness as a colored color pixel is required.

이에 따라 상기의 투명화소 픽셀을 구현하기 위해, 대한민국 공개 제2007-0007895호 등에 기재된 기존의 투명재료 중 오버코트나 감광성 컬럼스페이서 등을 이용하여 투명 화소층을 제조하였으나, 투명화소 패턴의 구현이 어렵고, 특히 40um이하의 미세 컨택홀(Contact-hole)을 생성시킬 수 없는 문제를 가지고 있다.Accordingly, in order to realize the transparent pixel pixel, a transparent pixel layer was manufactured using an overcoat or a photosensitive column spacer among the existing transparent materials described in Korean Publication No. 2007-0007895, etc., but it is difficult to implement a transparent pixel pattern, In particular, it has a problem that it is not possible to create a fine contact hole (40t) or less.

대한민국 공개 제2007-0007895호Republic of Korea Publication No. 2007-0007895

본 발명은, 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 투명화소 패턴 형성시 미세 컨택홀(Contact-hole)이 가능할 뿐 아니라, 테이퍼 끌림이 최소화되고 우수한 잔막률을 나타내는 투명화소 형성용 감광성 수지조성물을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention is to solve the problems of the prior art as described above, as well as the fine contact hole (Contact-hole) is possible when forming a transparent pixel pattern, the taper drag is minimized and the photosensitive for forming a transparent pixel exhibiting excellent residual rate It is an object to provide a resin composition.

본 발명은 (A) 알칼리 가용성 수지; (B) 광중합성 화합물; (C)광중합 개시제; 및 (D)용제를 포함하는 투명화소 형성용 감광성 수지조성물로서, 상기 (A) 알칼리 가용성 수지는, (A') 라디칼광개시제 및 UV조사에 대하여 반응성인 알칼리 가용성 수지 및 (A") 라디칼광개시제 및 UV조사에 대하여 비반응성인 알칼리 가용성 수지가 8:2 내지 1:7의 중량비로 혼합된 것이며, 상기 (A") 라디칼광개시제 및 UV조사에 대하여 비반응성인 알칼리 가용성 수지의 분자량이 10,000 내지 30,000인 것을 특징으로 하는 투명화소 형성용 감광성 수지조성물을 제공한다.The present invention (A) alkali-soluble resin; (B) photopolymerizable compounds; (C) photopolymerization initiator; And (D) a photosensitive resin composition for forming a transparent pixel comprising a solvent, wherein the (A) alkali-soluble resin comprises: (A ') an alkali-soluble resin reactive to UV radiation and (A') a radical photoinitiator and (A ") radical photoinitiator, and An alkali-soluble resin that is non-reactive to UV irradiation is mixed in a weight ratio of 8: 2 to 1: 7, and the molecular weight of the (A ") radical photoinitiator and alkali-soluble resin that is non-reactive to UV irradiation is 10,000 to 30,000. It provides a photosensitive resin composition for forming a transparent pixel, characterized in that.

또한, 본 발명은 상기 투명화소 형성용 감광성 수지조성물을 사용하여 형성한 컬러필터를 제공한다.
In addition, the present invention provides a color filter formed using the photosensitive resin composition for forming the transparent pixels.

본 발명의 투명화소 형성용 감광성 수지조성물을 이용하여, 컬러필터의 투명화소픽셀을 형성하면, 화소부의 평탄성이 우수하고, 미세 화소픽셀의 형성이 용이하며, 투명전극 형성을 위한 컨택홀 구현이 가능할 뿐 아니라 내열성 및 내화학성이 우수하여 고품질의 컬러필터를 제공할 수 있다. When a transparent pixel pixel of a color filter is formed using the photosensitive resin composition for forming a transparent pixel of the present invention, the flatness of the pixel portion is excellent, the formation of a fine pixel pixel is easy, and a contact hole for forming a transparent electrode can be implemented. In addition, it is possible to provide a high quality color filter due to its excellent heat resistance and chemical resistance.

도 1은 본 발명에 따라 제조된 제조예의 컬러필터(Glass기판)과 비교제조예의 컬러필터(Glass기판)의 사진을 나타낸 도면이다.
도 2는 종래의 R, G, B등의 착색 감광성 조성물을 적용하여 형성된 평탄성 수준(위의 그림)과, 종래의 투명 감광성 수지조성물을 적용하여 형성된 평탄성 수준(아래의 그림)을 비교하여 나타낸 도면이다.
도 3은 투명화소 형성용 감광성 수지조성물의 평탄성을 평가하는 방법을 내타낸 도면이다.
1 is a view showing a picture of a color filter (Glass substrate) of a production example and a color filter (Glass substrate) of a comparative example prepared according to the present invention.
Figure 2 is a view showing a comparison between the flatness level formed by applying a conventional photosensitive composition of R, G, B, etc. (pictured above) and the flatness level formed by applying a conventional transparent photosensitive resin composition (pictured below) to be.
3 is a view showing a method for evaluating the flatness of a photosensitive resin composition for forming a transparent pixel.

이하, 본 발명을 상세하게 설명한다. 하기의 구체적 설명은 본 발명의 일실시예에 대한 설명이므로, 비록 한정적 표현이 있더라도 특허청구범위로부터 정해지는 권리범위를 제한하는 것은 아니다.
Hereinafter, the present invention will be described in detail. Since the following detailed description is for one embodiment of the present invention, it is not intended to limit the scope of rights determined from the claims even if there is a limited expression.

본 발명은 (A) 알칼리 가용성 수지; (B) 광중합성 화합물; (C)광중합 개시제; 및 (D)용제를 포함하는 투명화소 형성용 감광성 수지조성물 및 이를 이용하여 형성된 컬러필터에 대한 것으로서, 상기 (A) 알칼리 가용성 수지는, (A') 라디칼광개시제 및 UV조사에 대하여 반응성인 알칼리 가용성 수지 및 (A") 라디칼광개시제 및 UV조사에 대하여 비반응성인 알칼리 가용성 수지가 8:2 내지 1:7의 중량비로 혼합된 것을 특징으로 한다. 또한, 상기 (A") 라디칼광개시제 및 UV조사에 대하여 비반응성인 알칼리 가용성 수지의 분자량이 10,000 내지 30,000인 것을 특징으로 한다.The present invention (A) alkali-soluble resin; (B) photopolymerizable compounds; (C) photopolymerization initiator; And (D) a photosensitive resin composition for forming a transparent pixel comprising a solvent, and a color filter formed using the same, wherein (A) the alkali-soluble resin is (A ') an alkali-soluble initiator that is reactive with respect to a radical photoinitiator and UV irradiation It characterized in that the resin and (A ") radical photoinitiator and alkali-soluble resin which is non-reactive to UV irradiation are mixed in a weight ratio of 8: 2 to 1: 7. In addition, (A") radical photoinitiator and UV irradiation The molecular weight of the non-reactive alkali-soluble resin is 10,000 to 30,000.

이하, 본 발명의 구성 요소별로 상세히 설명한다.
Hereinafter, each component of the present invention will be described in detail.

(A)알칼리 가용성 수지(A) Alkali-soluble resin

상기 (A)알칼리 가용성 수지는 투명화소 형성용 감광성 수지조성물을 이용하여 형성된 투명화소 감광성 수지층의 비노광부를 알칼리 가용성으로 만들어 제거될 수 있게 하고, 노광영역을 잔류시키는 역할을 한다. 특히, 본 발명은 (A)알칼리 가용성 수지가 (A') 라디칼광개시제 및 UV조사에 대하여 반응성인 알칼리 가용성 수지 및 (A") 라디칼광개시제 및 UV조사에 대하여 비반응성인 알칼리 가용성 수지가 혼합된 것을 특징으로 하며, 8:2 내지 1:7의 중량비로 혼합되는 경우, 컬러필터의 투명화소 형성시 미세 화소픽셀의 형성이 용이하고, 투명전극 형성을 위한 컨택홀 구현이 가능하게 됨을 실험적으로 확인하여 본 발명을 완성하였다. The (A) alkali-soluble resin serves to make the non-exposed portion of the transparent pixel photosensitive resin layer formed by using the photosensitive resin composition for forming transparent pixels to be removed by making it alkali-soluble, and to remain the exposed area. In particular, the present invention is that the (A) alkali-soluble resin is (A ') a radical photoinitiator and an alkali-soluble resin reactive to UV irradiation and (A ") a radical photoinitiator and an alkali-soluble resin non-reactive to UV irradiation mixed. It is characterized in that, when mixed in a weight ratio of 8: 2 to 1: 7, it has been experimentally confirmed that it is easy to form fine pixel pixels when forming a transparent pixel of a color filter, and it is possible to implement a contact hole for forming a transparent electrode. The present invention has been completed.

상기 (A)알칼리 가용성 수지의 혼합비율은 (A')반응성 알칼리 가용성 수지와 (A")비반응성 알칼리 가용성 수지를 각각 8:2 내지 1:7이 바람직하며, 더욱 바람직하게는 7:3 내지 1:6이다. 반응성 알칼리 가용성 수지의 함량이 2보다 낮으면 현상 잔막율이 떨어지게 되며, 반대로 8를 넘으면 경화도가 높아져서 컨택홀에서 테이퍼끌림이 현저하게 발생할 뿐 아니라 내열성 및 내화학성이 저하되는 문제가 발생한다.
The mixing ratio of the (A) alkali-soluble resin is preferably 8: 2 to 1: 7, and more preferably 7: 3 to (A ') the reactive alkali-soluble resin and the (A ") non-reactive alkali-soluble resin, respectively. 1: 6. When the content of the reactive alkali-soluble resin is lower than 2, the developing residual film rate decreases. Conversely, when it exceeds 8, the degree of hardening increases, resulting in a significant taper drag in the contact hole, as well as a decrease in heat resistance and chemical resistance. Occurs.

본 발명에 사용되는 (A')반응성 알칼리 가용성 수지는 (A'1), (A'2) 및 (A'3) 이외에 다른 단량체들을 추가하여 함께 중합하는 것도 가능하다. 즉, 상기의 (A'1) 내지 (A'3)화합물 이외의 다른 단량체가 더 포함되어 중합되는 경우도 본 발명의 범위에 포함된다.The (A ') reactive alkali-soluble resin used in the present invention can also be polymerized together by adding other monomers in addition to (A'1), (A'2) and (A'3). That is, when other monomers other than the above-mentioned (A'1) to (A'3) compounds are further included, polymerization is also included in the scope of the present invention.

상기 (A')반응성 알칼리 가용성 수지에 포함되는 (A'1)성분은 1 분자 중에 불포화 결합과 카르복실산기를 갖는 화합물로서, 중합이 가능한 불포화 이중 결합을 갖는 카르복실산 화합물이라면 제한되지 않으며, 각각 단독으로 또는 2종 이상을 조합하여 사용할 수 있다. 구체적인 예로 아크릴산, 메타크릴산, 크로톤산 등의 모노카르복실산류; 푸마르산, 메사콘산, 이타콘산 등의 디카르복실산류; 및 상기 디카르복실산의 무수물; ω-카르복시폴리카프로락톤모노(메타)아크릴레이트 등의 양 말단에 카르복실기와 수산기를 갖는 폴리머의 모노(메타)아크릴레이트류 등을 들 수 있다. 상기 화합물 중 아크릴산, 메타크릴산이 공중합 반응성 및 현상액에 대한 용해성이 우수하므로 바람직하다.The component (A'1) contained in the (A ') reactive alkali-soluble resin is a compound having an unsaturated bond and a carboxylic acid group in one molecule, and is not limited as long as it is a carboxylic acid compound having an unsaturated double bond capable of polymerization. Each may be used alone or in combination of two or more. Specific examples include monocarboxylic acids such as acrylic acid, methacrylic acid, and crotonic acid; Dicarboxylic acids such as fumaric acid, mesaconic acid, and itaconic acid; And the anhydride of the dicarboxylic acid. and mono (meth) acrylates of polymers having carboxyl groups and hydroxyl groups at both ends, such as ω-carboxypolycaprolactone mono (meth) acrylate. Among the above compounds, acrylic acid and methacrylic acid are preferred because they have excellent copolymerization reactivity and solubility in a developer.

상기 (A')반응성 알칼리 가용성 수지에 포함되는 (A'2)성분은 (A'1)과 중합 가능한 불포화 결합을 갖는 화합물이며, 중합이 가능한 불포화 이중 결합을 갖는 화합물이라면 제한 없이 사용될 수 있다. 구체적인 예로는, 메틸(메타)아크릴레이트, 에틸(메타)아크릴레이트, 부틸(메타)아크릴레이트, 2-히드록시에틸(메타)아크릴레이트, 아미노에틸(메타)아크릴레이트 등의 불포화 카르복실산의 비치환 또는 치환 알킬에스테르 화합물; 시클로펜틸(메타)아크릴레이트, 시클로헥실(메타)아크릴레이트, 메틸시클로헥실(메타)아크릴레이트, 시클로헵틸(메타)아크릴레이트, 시클로옥틸(메타)아크릴레이트, 멘틸(메타)아크릴레이트, 시클로펜테닐(메타)아크릴레이트, 시클로헥세닐(메타)아크릴레이트, 시클로헵테닐(메타)아크릴레이트, 시클로옥테닐(메타)아크릴레이트, 멘타디에닐(메타)아크릴레이트, 이소보르닐(메타)아크릴레이트, 피나닐(메타)아크릴레이트, 아다만틸(메타)아크릴레이트, 노르보르닐(메타)아크릴레이트, 피네닐(메타)아크릴레이트 등의 지환식 치환기를 포함하는 불포화 카르복실산 에스테르 화합물; 3-((메타)아크릴로일옥시메틸)옥세탄, 3-((메타)아크릴로일옥시메틸)-3-에틸옥세탄, 3-((메타)아크릴로일옥시메틸)-2-메틸옥세탄, 3-((메타)아크릴로일옥시메틸)-2-트리플로로메틸옥세탄 등의 열경화 가능한 치환기를 포함하는 불포화 카르복실산 에스테르 화합물; 올리고에틸렌글리콜 모노알킬(메타)아크릴레이트 등의 글리콜류의 모노포화 카르복실산 에스테르 화합물; 벤질(메타)아크릴레이트, 페녹시(메타)아크릴레이트 등의 방향환을 갖는 치환기를 포함하는 불포화 카르복실산 에스테르 화합물; 스티렌, α-메틸스티렌, 비닐톨루엔 등의 방향족 비닐 화합물; 아세트산 비닐, 프로피온산 비닐 등의 카르복실산 비닐에스테르; 및 (메타)아크릴로니트릴, α-클로로아크릴로니트릴 등의 시안화 비닐 화합물 등을 들 수 있다. 이들 중에서도, 감도 향상 및 아웃가스 감량을 위해서 방향족 비닐화합물이 바람직하다. 이들은 각각 단독으로 또는 2종 이상을 조합하여 사용될 수 있다. The (A'2) component included in the (A ') reactive alkali-soluble resin is a compound having an unsaturated bond polymerizable with (A'1), and any compound having an unsaturated double bond polymerizable may be used without limitation. Specific examples include unsaturated carboxylic acids such as methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, and aminoethyl (meth) acrylate. Unsubstituted or substituted alkyl ester compounds; Cyclopentyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, methylcyclohexyl (meth) acrylate, cycloheptyl (meth) acrylate, cyclooctyl (meth) acrylate, menthyl (meth) acrylate, cyclophene Tenyl (meth) acrylate, cyclohexenyl (meth) acrylate, cycloheptenyl (meth) acrylate, cyclooctenyl (meth) acrylate, mentadienyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylic Unsaturated carboxylic acid ester compounds containing alicyclic substituents such as rate, pinanyl (meth) acrylate, adamantyl (meth) acrylate, norbornyl (meth) acrylate, and pinenyl (meth) acrylate; 3-((meth) acryloyloxymethyl) oxetane, 3-((meth) acryloyloxymethyl) -3-ethyloxetane, 3-((meth) acryloyloxymethyl) -2-methyl Unsaturated carboxylic acid ester compounds containing thermosetting substituents such as oxetane and 3-((meth) acryloyloxymethyl) -2-trifluoromethyloxetane; Monosaturated carboxylic acid ester compounds of glycols such as oligoethylene glycol monoalkyl (meth) acrylate; Unsaturated carboxylic acid ester compounds containing a substituent having an aromatic ring such as benzyl (meth) acrylate or phenoxy (meth) acrylate; Aromatic vinyl compounds such as styrene, α-methylstyrene, and vinyltoluene; Carboxylic acid vinyl esters such as vinyl acetate and vinyl propionate; And vinyl cyanide compounds such as (meth) acrylonitrile and α-chloroacrylonitrile. Among these, aromatic vinyl compounds are preferable for improving sensitivity and reducing outgas. These may be used alone or in combination of two or more.

본 명세서 중에 기록된 (메타)아크릴레이트란 아크릴레이트 및(또는) 메타크릴레이트를 의미한다.
The (meth) acrylate recorded in the present specification means acrylate and / or methacrylate.

본 발명에서 사용되는 (A'1) 내지(A'2)를 포함하는 화합물들을 중합하여 얻어지는 공중합체에 있어서, (A'1) 내지 (A'2) 각각으로부터 유도되는 구성 성분의 비율은 상기의 (A'1)내지 (A'2) 구성 성분의 총 몰수에 대하여 몰 분율로 이하의 범위에 있는 것이 바람직하다.In the copolymer obtained by polymerizing the compounds containing (A'1) to (A'2) used in the present invention, the proportion of the component derived from each of (A'1) to (A'2) is the above It is preferable that it is in the following range in a molar fraction with respect to the total number of moles of the components (A'1) to (A'2).

(A'1)로부터 유도되는 구성 단위: 2 내지 70몰%,Constituent unit derived from (A'1): 2 to 70 mol%,

(A'2)로부터 유도되는 구성 단위: 30 내지 98몰%, Constituent unit derived from (A'2): 30 to 98 mol%,

특히, 상기의 구성 성분의 비율이 이하의 범위인 것이 보다 바람직하다.In particular, it is more preferable that the ratio of the above-described constituent components is in the following range.

(A'1)로부터 유도되는 구성 단위: 10 내지 60몰%,Constituent unit derived from (A'1): 10 to 60 mol%,

(A'2)로부터 유도되는 구성 단위: 40 내지 90몰%, Constituent unit derived from (A'2): 40 to 90 mol%,

상기의 구성 비율이 상기 범위에 있으면 알칼리 가용성 및 내열성의 균형이 양호하므로 바람직한 공중합체를 얻을 수 있다.
When the above-described composition ratio is in the above range, a good copolymer can be obtained because the balance of alkali solubility and heat resistance is good.

본 발명에 있어서, 상기 (A')반응성 알칼리 가용성 수지의 제조방법의 일례로, (A'1) 내지(A'2)의 화합물을 공중합시켜 얻어지는 경우, 이하와 같은 방법으로 제조할 수 있다. In this invention, as an example of the manufacturing method of the said (A ') reactive alkali-soluble resin, when it is obtained by copolymerizing the compound of (A'1)-(A'2), it can manufacture by the following method.

교반기, 온도계, 환류 냉각관, 적하 로트 및 질소 도입관을 구비한 플라스크에 (A'1)내지 (A'2)의 총 질량에 대하여 0.5 내지 20 배량의 용제를 도입하고 플라스크내 분위기를 공기에서 질소로 치환한다. 그 후, 용제를 40 내지 140℃로 승온시킨 후, (A'1)내지 (A'2)의 소정량, (A'1)내지 (A'2)의 총 질량에 대하여 0 내지 20 배량의 용제, 및 아조비스이소부티로니트릴이나 벤조일퍼옥시드 등의 중합 개시제를 (A'1)내지 (A'2)의 총 몰수에 대하여 0.1 내지 10몰% 첨가한 용액(실온 또는 가열하에 교반 용해)을 적하 로트로부터 0.1 내지 8시간에 걸쳐 상기의 플라스크에 적하하고, 40 내지 140℃에서 1 내지 10시간 더 교반한다.Into a flask equipped with a stirrer, thermometer, reflux cooling tube, dripping lot, and nitrogen introduction tube, 0.5 to 20 times the amount of the solvent was introduced with respect to the total mass of (A'1) to (A'2), and the atmosphere in the flask was aired. Replace with nitrogen. Thereafter, the temperature of the solvent was increased to 40 to 140 ° C., and then a predetermined amount of (A'1) to (A'2) and 0 to 20 times the total mass of (A'1) to (A'2) A solution in which 0.1 to 10 mol% of a solvent and a polymerization initiator such as azobisisobutyronitrile or benzoyl peroxide are added with respect to the total number of moles of (A'1) to (A'2) (dissolved under stirring at room temperature or heating) Was added dropwise from the dropping lot to the above flask over 0.1 to 8 hours, and further stirred at 40 to 140 ° C for 1 to 10 hours.

또한, 상기의 공정에서 중합 개시제의 일부 또는 전량을 플라스크에 넣을 수도 있고, (A'1)내지 (A'2)의 일부 또는 전량을 플라스크에 넣을 수도 있다. 또한, 분자량이나 분자량 분포를 제어하기 위해 α-메틸스티렌 다이머나 머캅토 화합물을 연쇄 이동제로서 사용할 수도 있다. α-메틸스티렌 다이머나 머캅토 화합물의 사용량은(A'1)내지 (A'2)의 총 질량에 대하여 0.005 내지 5질량%이다. 또한, 상기의 중합 조건은 제조 설비나 중합에 의한 발열량 등을 고려하여 투입 방법이나 반응 온도를 적절하게 조정할 수도 있다.
Further, in the above step, part or all of the polymerization initiator may be placed in the flask, or part or all of (A'1) to (A'2) may be added to the flask. Further, in order to control the molecular weight or molecular weight distribution, an α-methylstyrene dimer or mercapto compound can also be used as a chain transfer agent. The amount of the α-methylstyrene dimer or mercapto compound used is 0.005 to 5% by mass relative to the total mass of (A'1) to (A'2). In addition, the above-mentioned polymerization conditions may be appropriately adjusted for the input method and the reaction temperature in consideration of the production facility or the amount of heat generated by polymerization.

본 발명의 투명화소 형성용 감광성 수지조성물에 함유되는 (A')반응성 알칼리 가용성 수지는 일례로, (A'1) 내지 (A'2)의 화합물을 중합하여 얻어지는 공중합체에 (A'3) 화합물을 더 반응시킴으로써 얻을 수 있다. 상기의 공중합체에 (A'3)를 부가함으로써 알칼리 가용성 수지에 광/열경화성을 부여하여 내열성 및 내화학성을 향상 시킬 수 있다.
The (A ') reactive alkali-soluble resin contained in the photosensitive resin composition for forming a transparent pixel of the present invention is, for example, (A'3) in the copolymer obtained by polymerizing the compounds of (A'1) to (A'2). It can be obtained by further reacting the compound. By adding (A'3) to the above copolymer, light / thermal curability can be imparted to the alkali-soluble resin to improve heat resistance and chemical resistance.

상기 (A')반응성 알칼리 가용성 수지에 포함되는 (A'3)성분은 1 분자 중에 불포화 결합과 에폭시기를 갖는 화합물이며, 구체적 일례로는, 글리시딜(메타)아크릴레이트, 3,4-에폭시시클로헥실(메타)아크릴레이트, 3,4-에폭시시클로헥실메틸(메타)아크릴레이트, 메틸글리시딜(메타)아크릴레이트 등을 들 수 있다. 이들 중에서 글리시딜(메타)아크릴레이트가 바람직하게 사용된다. 이들은 각각 단독으로 또는 2종 이상을 조합하여 사용될 수 있다.
The component (A'3) contained in the (A ') reactive alkali-soluble resin is a compound having an unsaturated bond and an epoxy group in one molecule, and specific examples thereof include glycidyl (meth) acrylate and 3,4-epoxy. And cyclohexyl (meth) acrylate, 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate, and methylglycidyl (meth) acrylate. Among them, glycidyl (meth) acrylate is preferably used. These may be used alone or in combination of two or more.

상기 (A'3) 1 분자 중에 불포화 결합과 에폭시기를 갖는 화합물은 상기 공중합체에 포함되는 (A'1) 1 분자 중에 불포화 결합과 카르복실산기를 갖는 화합물의 몰수를 기준으로 5 내지 80몰%로 반응시키는 것이 바람직하며, 특히 10 내지 80몰%가 좋다. (A'3)의 조성비가 상기 범위 내에 있으면 노광감도 및 현상성이 우수하기 때문에 바람직하다.
The compound having an unsaturated bond and an epoxy group in the molecule (A'3) is 5 to 80 mol% based on the number of moles of a compound having an unsaturated bond and a carboxylic acid group in the molecule (A'1) contained in the copolymer. It is preferred to react with, particularly 10 to 80 mol% is good. When the composition ratio of (A'3) is within the above range, it is preferable because it has excellent exposure sensitivity and developability.

본 발명에 있어서, 상기 (A')반응성 알칼리 가용성 수지는 (A'1)내지 (A'2)를 공중합하여 얻어지는 공중합체와 (A'3)를, 예를 들면 이하와 같은 방법으로 반응시킴으로써 제조할 수 있다.In the present invention, the (A ') reactive alkali-soluble resin is obtained by reacting (A'3) with a copolymer obtained by copolymerizing (A'1) to (A'2) by, for example, the following method. Can be produced.

플라스크내 분위기를 질소에서 공기로 치환하고, 상기 공중합체 중의 (A'1)으로부터 유도되는 구성 단위에 대하여 몰분율로 5 내지 80몰%의 (A'3), 카르복실기와 에폭시기의 반응 촉매로서, 예를 들면 트리스디메틸아미노메틸페놀을 (A'1) 내지 (A'3)의 총 질량에 대하여 0.01 내지 5질량% 및 중합금지제로서, 예를 들면 히드로퀴논을 총 질량에 대하여 0.001 내지 5질량%를 플라스크내에 넣고 60 내지 130℃에서 1 내지 10시간 반응함으로써, 상기의 공중합체와 (A'3)를 반응시킬 수 있다. 또한, 중합 조건과 마찬가지로 제조 설비나 중합에 의한 발열량 등을 고려하여 투입 방법이나 반응 온도를 적절하게 조정할 수도 있다.
As a reaction catalyst of a carboxyl group and an epoxy group of 5 to 80 mol% (A'3) in a molar fraction with respect to the constitutional unit derived from (A'1) in the copolymer, the atmosphere in the flask is replaced by nitrogen to air, e.g. For example, trisdimethylaminomethylphenol is 0.01 to 5% by mass relative to the total mass of (A'1) to (A'3), and as a polymerization inhibitor, for example, hydroquinone is 0.001 to 5% by mass relative to the total mass. The above copolymer and (A'3) can be reacted by placing them in a flask and reacting at 60 to 130 ° C for 1 to 10 hours. In addition, it is also possible to appropriately adjust the input method and the reaction temperature in consideration of the production facility or the amount of heat generated by polymerization as in the polymerization conditions.

본 발명에 있어서, (A')반응성 알칼리 가용성 수지는 그의 폴리스티렌 환산의 중량평균분자량이 3,000 내지 100,000의 범위에 있는 것이 바람직하고, 5,000 내지 50,000의 범위에 있는 것이 보다 바람직하다. (A')반응성 알칼리 가용성 수지의 중량평균분자량이 3,000 내지 100,000의 범위에 있으면 현상시에 노광부의 막 감소가 생기기 어렵고, 비 노광부분의 용해성에 양호한 경향이 있으므로 바람직하다.
In the present invention, the (A ') reactive alkali-soluble resin preferably has a weight average molecular weight in the range of 3,000 to 100,000 in terms of polystyrene, and more preferably in the range of 5,000 to 50,000. (A ') When the weight-average molecular weight of the reactive alkali-soluble resin is in the range of 3,000 to 100,000, it is difficult to reduce the film of the exposed portion during development, and it is preferable because the solubility of the non-exposed portion tends to be good.

(A')반응성 알칼리 가용성 수지의 산가는 고형분 기준으로 30 내지 150 mgKOH/g의 범위가 바람직하다. 산가가 30mgKOH/g 미만일 경우 알칼리 현상액에 대한 용해성이 낮아지고 기판에 잔사를 남길 우려가 있으며, 산가가 150mgKOH/g을 초과하는 경우에는 패턴의 뜯김이 일어날 가능성이 높아진다.
(A ') The acid value of the reactive alkali-soluble resin is preferably in the range of 30 to 150 mgKOH / g on a solid basis. When the acid value is less than 30 mgKOH / g, the solubility in the alkali developer is lowered and there is a risk of leaving a residue on the substrate, and when the acid value exceeds 150 mgKOH / g, the possibility of pattern tearing increases.

(A')반응성 알칼리 가용성 수지의 분자량 분포는 1.0 내지 6.0인 것이 바람직하고, 1.5 내지 4.0인 것이 보다 바람직하다. 분자량분포가 1.0 내지 6.0 이면 현상성이 우수하기 때문에 바람직하다.
(A ') The molecular weight distribution of the reactive alkali-soluble resin is preferably 1.0 to 6.0, and more preferably 1.5 to 4.0. A molecular weight distribution of 1.0 to 6.0 is preferred because of its excellent developability.

본 발명에 사용되는 (A") 비반응성 알칼리 가용성 수지는 (A') 반응성 알칼리 가용성 수지와 동일한 방법으로 제조될 수 있다. 다만, (A") 비반응성 알칼리 가용성 수지 분자사슬내에 UV조사와 라디칼광개시제에 의한 광중합이 일어날수 있는 불포화이중결합이 없는 상태로 중합되어야 하기 때문에 (A')반응성 알칼리 가용성 수지에 포함되는 (A'3)를 공중합하는 과정이 생략되며, (A"1)내지 (A"2)를 공중합하여 제조되거나, (A"3)내지 (A"5)를 공중합하여 제조된다. 그 방법적인 예는 (A')반응성 알칼리 가용성 수지의 일반적인 합성예와 동일하다.The (A ") non-reactive alkali-soluble resin used in the present invention can be prepared in the same way as the (A ') reactive alkali-soluble resin. However, (A") non-reactive alkali-soluble resin is irradiated with UV rays and radicals in the molecular chain. Since the polymerization must be performed in the absence of unsaturated double bonds, which may cause photopolymerization by photoinitiators, the process of copolymerizing (A'3) contained in (A ') the reactive alkali-soluble resin is omitted, and (A "1) to ( It is prepared by copolymerizing A "2), or by copolymerizing (A" 3) to (A "5). The method example is the same as the general synthetic example of (A ') reactive alkali-soluble resin.

(A"1)성분 및 (A"2)성분은 각각 상기 (A'1) 성분 및 (A'2) 성분으로 예시된 물질을 사용할 수 있다. As the component (A "1) and the component (A" 2), substances exemplified as the components (A'1) and (A'2) may be used, respectively.

또한, (A"3)내지 (A"5) 성분은 다음과 같다:In addition, the components (A "3) to (A" 5) are as follows:

(A"3) 분자 중에 불포화 결합과 카르복실산기를 갖는 화합물(A "3) Compounds with unsaturated bonds and carboxylic acid groups in the molecule

(A"4) 에폭시기와 불포화 결합을 갖는 지방족 다고리형 화합물(A "4) Aliphatic polycyclic compound having an unsaturated bond with an epoxy group

(A"5) 상기 (A"3) 내지 (A"4)와 중합 가능한 불포화 결합을 갖는 디카르보닐 이미드 유도체.
(A "5) A dicarbonyl imide derivative having an unsaturated bond polymerizable with (A" 3) to (A "4).

본 발명에 사용되는 (A")반응성 알칼리 가용성 수지는 상기 (A"3), (A"4) 및 (A"5) 이외에 다른 단량체들을 추가하여 함께 중합하는 것도 가능하다. 즉, 상기의 (A"3) 내지 (A"5)화합물 이외의 다른 단량체가 더 포함되어 중합되는 경우도 본 발명의 범위에 포함된다.The (A ") reactive alkali-soluble resin used in the present invention can also be polymerized together by adding other monomers in addition to (A" 3), (A "4) and (A" 5). That is, when other monomers other than the above-mentioned (A "3) to (A" 5) compounds are further included, polymerization is also included in the scope of the present invention.

상기 (A")비반응성 알칼리 가용성 수지에 포함되는 (A"3)성분은 (A')반응성 알칼리 가용성 수지에 포함되는 (A'1)과 동일 하며, The component (A "3) contained in the (A") non-reactive alkali-soluble resin is the same as (A'1) contained in the (A ') reactive alkali-soluble resin,

상기 (A")비반응성 알칼리 가용성 수지에 포함되는 (A"4)에폭시기와 불포화 결합을 갖는 지방족 다고리형 화합물로는, 예를 들어 디시클로펜탄, 트리시클로데칸, 노르보르난, 이소노르보르난, 비시클로옥탄, 시클로노난, 비시클로운데칸, 트리시클로운데칸, 비시클로도데칸, 트리시클로도데칸 등을 들 수 있다. 보다 바람직하게는 상기 에폭시기와 불포화 결합을 갖는 지방족 다고리형 화합물(A"4) 에폭시기와 불포화 결합을 갖는 지방족 다고리형 화합물 은 하기 화학식 1로 표시되는 화합물 및 하기 화학식 2로 표시되는 화합물로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1 종의 화합물을 포함하는 것이 바람직하다.Examples of the aliphatic polycyclic compound having an (A "4) epoxy group and an unsaturated bond contained in the (A") non-reactive alkali-soluble resin include, for example, dicyclopentane, tricyclodecane, norbornane, and isonorbornane. , Bicyclooctane, cyclononane, bicycloundecane, tricycloundecane, bicyclododecane, tricyclododecane, and the like. More preferably, the aliphatic polycyclic compound (A "4) having an unsaturated bond with the epoxy group is an aliphatic polycyclic compound having an unsaturated bond with the epoxy group from the group consisting of a compound represented by the following formula (1) and a compound represented by the following formula (2) It is preferred to include at least one compound selected.

Figure 112014002701492-pat00001
Figure 112014002701492-pat00001

Figure 112014002701492-pat00002
Figure 112014002701492-pat00002

(상기 화학식 1 및 2에서 R은 각각 독립적으로 수소 원자 또는 수산기로 치환되거나 치환되지 않은 탄소수 1∼4의 알킬기이고, X는 각각 독립적으로 단일결합 또는 헤테로 원자를 함유하거나 함유하지 않는 탄소수 1∼6의 알킬렌기이다)(In the formulas 1 and 2, R is an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, each independently substituted or unsubstituted with a hydrogen atom or a hydroxyl group, and X is 1 to 6 carbon atoms each independently containing or not containing a single bond or a hetero atom. Is an alkylene group)

상기 화학식 1 및 2에서 R은 구체적으로는, 수소 원자; 메틸기, 에틸기, n-프로필기, 이소프로필기, n-부틸기, sec-부틸기, tert-부틸기 등의 알킬기; 히드록시메틸기, 1-히드록시에틸기, 2-히드록시에틸기, 1-히드록시-n-프로필기, 2-히드록시-n-프로필기, 3-히드록시-n-프로필기, 1-히드록시-이소프로필기, 2-히드록시-이소프로필기,1-히드록시-n-부틸기, 2-히드록시-n-부틸기, 3-히드록시-n-부틸기, 4-히드록시-n-부틸기 등의 수산기 함유 알킬기일 수 있다. 그 중에서도 R은 수소 원자, 메틸기, 히드록시메틸기, 1-히드록시에틸기 또는 2-히드록시에틸기인 것이 바람직하며, 특히 수소 원자 또는 메틸기인 것이 더욱 바람직하다.In Chemical Formulas 1 and 2, R is specifically a hydrogen atom; Alkyl groups such as methyl group, ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, n-butyl group, sec-butyl group, and tert-butyl group; Hydroxymethyl group, 1-hydroxyethyl group, 2-hydroxyethyl group, 1-hydroxy-n-propyl group, 2-hydroxy-n-propyl group, 3-hydroxy-n-propyl group, 1-hydroxy -Isopropyl group, 2-hydroxy-isopropyl group, 1-hydroxy-n-butyl group, 2-hydroxy-n-butyl group, 3-hydroxy-n-butyl group, 4-hydroxy-n -It may be a hydroxyl group-containing alkyl group such as a butyl group. Among them, R is preferably a hydrogen atom, a methyl group, a hydroxymethyl group, a 1-hydroxyethyl group or a 2-hydroxyethyl group, and more preferably a hydrogen atom or a methyl group.

상기 화학식 1 및 2에서 X는 구체적으로는, 단일결합; 메틸렌기, 에틸렌기, 프로필렌기 등의 알킬렌기; 옥시메틸렌기, 옥시에틸렌기, 옥시프로필렌기, 티오메틸렌기, 티오에틸렌기, 티오프로필렌기, 아미노메틸렌기, 아미노에틸렌기, 아미노프로필렌기 등의 헤테로 원자 함유 알킬렌기일 수 있다. 그 중에서도, X는 단일결합,메틸렌기, 에틸렌기, 옥시메틸렌기 또는 옥시에틸렌기인 것이 바람직하고, 특히 단일결합 또는 옥시에틸렌기인것이 더욱 바람직하다.In Formulas 1 and 2, X is specifically, a single bond; Alkylene groups such as methylene group, ethylene group, and propylene group; It may be an alkylene group containing a hetero atom such as an oxymethylene group, an oxyethylene group, an oxypropylene group, a thiomethylene group, a thioethylene group, a thiopropylene group, an aminomethylene group, an aminoethylene group, or an aminopropylene group. Among them, X is preferably a single bond, a methylene group, an ethylene group, an oxymethylene group or an oxyethylene group, and more preferably a single bond or an oxyethylene group.

상기 화학식 1로 표시되는 화합물 및 화학식 2로 표시되는 화합물은 각각 단독으로 또는 2종 이상을 조합하여 사용할 수 있고, 특히 화학식 1로 표시되는 화합물 및 화학식 2로 표시되는 화합물을 임의의 비율로 혼합하여사용할 수도 있다.The compound represented by the formula (1) and the compound represented by the formula (2) can be used alone or in combination of two or more, and in particular, by mixing the compound represented by the formula (1) and the compound represented by the formula (2) in any ratio You can also use

상기 (A")비반응성 알칼리 가용성 수지에 포함되는 (A"5) 디카르보닐 이미드 유도체로는, N-페닐말레이미드, N-시클로헥실말레이미드, N-벤질말레이미드, N-숙신이미딜- 3-말레이미드벤조에이트, N-숙신이미딜-4-말레이미드부틸레이트, N-숙신이미딜-6-말레이미드카프로에이트, N-숙신이미딜-3-말레이미드프로피오네이트, N-(9-아크리디닐)말레이미드 등을 들 수 있으며, 이들 중 N-페닐말레이미드, N-시클로헥실말레이미드, N-벤질말레이미드등이 공중합 반응성 및 알칼리 수용액에 대한 용해성 면에서 바람직하다. As the (A "5) dicarbonyl imide derivative contained in the (A") non-reactive alkali-soluble resin, N-phenylmaleimide, N-cyclohexylmaleimide, N-benzylmaleimide, N-succinim already Di- 3-maleimide benzoate, N-succinimidyl-4-maleimide butyrate, N-succinimidyl-6-maleimide caproate, N-succinimidyl-3-maleimide propionate, N -(9-acridinyl) maleimide, and the like. Among them, N-phenylmaleimide, N-cyclohexylmaleimide, and N-benzylmaleimide are preferable in terms of copolymerization reactivity and solubility in an aqueous alkali solution. .

본 발명에 사용되는 (A") 비반응성 바인더 수지는, (A"3), (A"4) 및 (A"5)을 공중합시켜 얻어지는 공중합체이고, 각각으로부터 유도되는 구성 성분의 비율이, 상기 공중합체를 구성하는 구성 성분의 합계 몰수에 대하여 몰분율로, 이하의 범위에 있는 것이 바람직하다.The (A ") non-reactive binder resin used in the present invention is a copolymer obtained by copolymerizing (A" 3), (A "4) and (A" 5), and the proportion of constituent components derived from each is It is preferable that it is in the following range with a molar fraction with respect to the total number of moles of the component which comprises the said copolymer.

(A"3) 로부터 유도되는 구성 단위 ; 2∼40 몰%Structural unit derived from (A "3): 2-40 mol%

(A"4) 로부터 유도되는 구성 단위 ; 2∼95 몰%Constituent unit derived from (A "4): 2 to 95 mol%

(A"5) 으로부터 유도되는 구성 단위 ; 1∼65 몰%
The structural unit derived from (A "5): 1-65 mol%

또한, 상기 구성 성분의 비율이 이하의 범위인 것이 보다 바람직하다.Moreover, it is more preferable that the ratio of the said component is the following range.

(A"3) 로부터 유도되는 구성 단위 ; 5∼35 몰%Constituent unit derived from (A "3): 5 to 35 mol%

(A"4) 로부터 유도되는 구성 단위 ; 5∼80 몰%Constituent unit derived from (A "4): 5 to 80 mol%

(A"5) 으로부터 유도되는 구성 단위 ; 1∼60 몰%Constituent unit derived from (A "5): 1 to 60 mol%

상기 구성 비율이 상기 범위에 있으면, 감광성 수지 조성물의 보존 안정성, 그 조성물로부터 얻어지는 패턴의 현상성, 내용제성, 내열성 및 기계 강도가 양호해지는 경향이 있다.
When the said composition ratio is in the said range, storage stability of the photosensitive resin composition, the developability of the pattern obtained from the composition, solvent resistance, heat resistance, and mechanical strength tend to become favorable.

본 발명에 있어서, (A")비반응성 알칼리 가용성 수지는 그의 폴리스티렌 환산의 중량평균분자량이 10,000 내지 30,000의 범위에 있는 것을 특징으로 한다. 본 발명자는, (A")비반응성 알칼리 가용성 수지의 분자량이 10,000 내지 30,000일 경우, 현상 잔막율, 내열성, 내화학성, 평탄성이 우수하고, 미세패턴 구현이 가능한 투명화소를 형성 할 수 있음을 실험적으로 확인하였다.
In the present invention, the (A ") non-reactive alkali-soluble resin is characterized in that its weight average molecular weight in terms of polystyrene is in the range of 10,000 to 30,000. The present inventor has a molecular weight of (A") non-reactive alkali-soluble resin. In the case of 10,000 to 30,000, it was experimentally confirmed that the developed residual film rate, heat resistance, chemical resistance, and flatness are excellent, and that a transparent pixel capable of realizing a fine pattern can be formed.

(A")비반응성 알칼리 가용성 수지의 산가는 고형분 기준으로 30 내지 150 mgKOH/g의 범위가 바람직하다. 산가가 30mgKOH/g 미만일 경우 알칼리 현상액에 대한 용해성이 낮아지고 기판에 잔사를 남길 우려가 있으며, 산가가 150mgKOH/g을 초과하는 경우에는 패턴의 뜯김이 일어날 가능성이 높아진다.(A ") The acid value of the non-reactive alkali-soluble resin is preferably in the range of 30 to 150 mgKOH / g on a solid basis. When the acid value is less than 30 mgKOH / g, the solubility in the alkali developer is lowered and there is a risk of leaving residue on the substrate. , When the acid value exceeds 150 mgKOH / g, the possibility of tearing of the pattern increases.

(A")비반응성 알칼리 가용성 수지의 분자량 분포는 1.0 내지 6.0인 것이 바람직하고, 1.5 내지 4.0인 것이 보다 바람직하다. 분자량분포가 1.0 내지 6.0 이면 현상성이 우수하기 때문에 바람직하다.
(A ") The molecular weight distribution of the non-reactive alkali-soluble resin is preferably 1.0 to 6.0, more preferably 1.5 to 4.0. A molecular weight distribution of 1.0 to 6.0 is preferred because of excellent developability.

상기 (A)알칼리 가용성 수지의 함유량은 투명화소 형성용 감광성 수지조성물 중의 고형분에 대해서 질량분율로 통상 20 내지 85질량%, 바람직하게는 40 내지 75질량%의 범위이다. (A)알칼리 가용성 수지의 함유량이 상기의 기준으로 20 내지 85질량%이면 현상액에의 용해성이 충분하여 비화소 부분의 기판상에 현상 잔사가 발생하기 어렵고, 현상시에 노광부의 막 감소가 생기기 어렵고, 비 노광부분의 용해성에 양호한 경향이 있으므로 바람직하다.
The content of the alkali-soluble resin (A) is usually in the range of 20 to 85% by mass, preferably 40 to 75% by mass, as a mass fraction relative to the solid content in the photosensitive resin composition for forming a transparent pixel. (A) When the content of the alkali-soluble resin is 20 to 85% by mass based on the above criteria, the solubility in the developer is sufficient, so that development residues are less likely to occur on the substrate of the non-pixel portion, and film development of the exposed portion is less likely to occur during development. , It is preferable because it tends to have good solubility in the non-exposed portion.

(B)(B) 광중합성Photopolymerization 화합물 compound

본 발명의 투명화소 형성용 감광성 수지조성물에 함유되는 (B)광중합성 화합물은 광 및 후술하는 광중합 개시제의 작용으로 중합할 수 있는 화합물로서, 단관능 단량체, 2관능 단량체, 그 밖의 다관능 단량체 등을 들 수 있다. The photopolymerizable compound (B) contained in the photosensitive resin composition for forming a transparent pixel of the present invention is a compound capable of polymerizing under the action of light and a photopolymerization initiator described later, such as a monofunctional monomer, a bifunctional monomer, and other multifunctional monomers. Can be mentioned.

단관능 단량체의 구체예로는 노닐페닐카르비톨아크릴레이트, 2-히드록시-3-페녹시프로필아크릴레이트, 2-에틸헥실카르비톨아크릴레이트, 2-히드록시에틸아크릴레이트, N-비닐피롤리돈 등을 들 수 있다. Specific examples of the monofunctional monomer include nonylphenylcarbitolacrylate, 2-hydroxy-3-phenoxypropylacrylate, 2-ethylhexylcarbitolacrylate, 2-hydroxyethylacrylate, and N-vinylpyrroli And money.

2관능 단량체의 구체예로는 1,6-헥산디올디(메타)아크릴레이트, 에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 네오펜틸글리콜디(메타)아크릴레이트, 트리에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 비스페놀 A의 비스(아크릴로일옥시에틸)에테르, 3-메틸펜탄디올디(메타)아크릴레이트 등을 들 수 있다.As specific examples of the bifunctional monomer, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, ethylene glycol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, triethylene glycol di (meth) acrylate, And bis (acryloyloxyethyl) ether of bisphenol A, 3-methylpentanediol di (meth) acrylate, and the like.

그 밖의 다관능 단량체의 구체예로서는 트리메틸올프로판트리(메타)아크릴레이트, 에톡실레이티드트리메틸올프로판트리(메타)아크릴레이트, 프로폭실레이티드트리메틸올프로판트리(메타)아크릴레이트, 펜타에리트리톨트리(메타)아크릴레이트, 펜타에리트리톨테트라(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨펜타(메타)아크릴레이트, 에톡실레이티드디펜타에리트리톨헥사(메타)아크릴레이트, 프로폭실레이티드디펜타에리트리톨헥사(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨헥사(메타)아크릴레이트 등을 들 수 있다.  Specific examples of other polyfunctional monomers include trimethylolpropane tri (meth) acrylate, ethoxylated trimethylolpropane tri (meth) acrylate, propoxylated trimethylolpropane tri (meth) acrylate, and pentaerythritol tri (Meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, ethoxylated dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, propoxylated dipentaerythritol And hexa (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, and the like.

이들 중에서 2관능 이상의 다관능 단량체가 바람직하게 사용된다. 특히 바람직하게는 5관능 이상의 다관능 단량체를 사용할 수 있으며, 더욱 바람직 하게는 하기 화학식 3의 수산기가(價)가 70내지 130 mgKOH/g인 디펜타에리트리톨(폴리)아크릴레이트를 사용하는 것이 바람직하다.Among them, a bifunctional or higher polyfunctional monomer is preferably used. Particularly preferably, a polyfunctional monomer having 5 or more functionalities may be used, and more preferably, dipentaerythritol (poly) acrylate having a hydroxyl value of 70 to 130 mgKOH / g of the following Chemical Formula 3 is used. Do.

Figure 112014002701492-pat00003
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(상기 화학식 3에서 R은 수소 또는 탄소수 2내지 6개의 아크릴로일기)
(In the formula (3), R is hydrogen or an acryloyl group having 2 to 6 carbon atoms)

상기 (B)광중합성 화합물은 투명화소 형성용 감광성 수지조성물 중의 고형분에 대해서 질량분율로 통상 10 내지 60질량%, 바람직하게는 20 내지 50질량%의 범위에서 사용된다. (B)광중합성 화합물이 상기의 기준으로 10 내지 60질량%의 범위이면 화소부의 강도, 공정진행에 따른 잔막율, 컨택홀 특성이 양호하게 되는 경향이 있기 때문에 바람직하다.
The photopolymerizable compound (B) is usually used in a range of 10 to 60 mass%, preferably 20 to 50 mass%, in mass fraction relative to the solid content in the photosensitive resin composition for forming transparent pixels. (B) When the photopolymerizable compound is in the range of 10 to 60% by mass based on the above criteria, it is preferable because the strength of the pixel portion, the residual film ratio according to the process progress, and the contact hole characteristics tend to be good.

(C)(C) 광중합Light polymerization 개시제Initiator

본 발명의 투명화소 형성용 감광성 수지조성물에 함유되는 (C)광중합 개시제는 제한되지 않으나 트리아진계 화합물, 아세토페논계 화합물, 비이미다졸계 화합물 및 옥심 화합물로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 이상의 화합물이다. 상기한 (C)광중합 개시제를 함유하는 투명화소 형성용 감광성 수지조성물은 고감도이고, 이 조성물을 사용하여 형성되는 막은 그 화소부의 강도나 컨택홀특성이 양호해진다. The photopolymerization initiator (C) contained in the photosensitive resin composition for forming a transparent pixel of the present invention is not limited, but is at least one compound selected from the group consisting of triazine compounds, acetophenone compounds, biimidazole compounds and oxime compounds. . The photosensitive resin composition for forming a transparent pixel containing the photopolymerization initiator (C) described above has high sensitivity, and a film formed using this composition has good pixel portion strength and contact hole characteristics.

또한, (C)광중합 개시제에 (C-1)광중합 개시 보조제를 병용하면, 이들을 함유하는 투명화소 형성용 감광성 수지조성물이 더욱 고감도가 되어 이 조성물을 사용하여 컬러필터를 형성할 때의 생산성이 향상되므로 바람직하다.
In addition, when the (C) photopolymerization initiator is used in combination with the (C) photopolymerization initiator, the photosensitive resin composition for forming a transparent pixel containing them becomes more highly sensitive, thereby improving productivity when forming a color filter using this composition. Is preferred.

트리아진계 화합물로서는, 예를 들면 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-(4-메톡시페닐)-1,3,5-트리아진, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-(4-메톡시나프틸)-1,3,5-트리아진, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-피페로닐-1,3,5-트리아진, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-(4-메톡시스티릴)-1,3,5-트리아진, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-[2-(5-메틸퓨란-2-일)에테닐]-1,3,5-트리아진, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-[2-(퓨란-2-일)에테닐]-1,3,5-트리아진, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-[2-(4-디에틸아미노-2-메틸페닐)에테닐]-1,3,5-트리아진, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-[2-(3,4-디메톡시페닐)에테닐]-1,3,5-트리아진 등을 들 수 있다.
As the triazine-based compound, for example, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (4-methoxyphenyl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6 -(4-methoxynaphthyl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6-piperonyl-1,3,5-triazine, 2,4-bis (Trichloromethyl) -6- (4-methoxystyryl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (5-methylfuran-2- 1) ethenyl] -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (furan-2-yl) ethenyl] -1,3,5-triazine , 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (4-diethylamino-2-methylphenyl) ethenyl] -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl ) -6- [2- (3,4-dimethoxyphenyl) ethenyl] -1,3,5-triazine.

아세토페논계 화합물로서는, 예를 들면, 디에톡시아세토페논, 2-히드록시-2-메틸-1-페닐프로판-1-온, 벤질디메틸케탈, 2-히드록시-1-[4-(2-히드록시에톡시)페닐]-2-메틸프로판-1-온, 1-히드록시시클로헥실페닐케톤, 2-메틸-1-(4-메틸티오페닐)-2-모르폴리노프로판-1-온, 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)부탄-1-온, 2-히드록시-2-메틸-1-[4-(1-메틸비닐)페닐]프로판-1-온의 올리고머 등을 들 수 있다. 또한, 하기 화학식 4로 표시되는 화합물을 들 수 있다. Examples of acetophenone-based compounds include diethoxyacetophenone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, benzyldimethylketal, and 2-hydroxy-1- [4- (2- Hydroxyethoxy) phenyl] -2-methylpropan-1-one, 1-hydroxycyclohexylphenylketone, 2-methyl-1- (4-methylthiophenyl) -2-morpholinopropan-1-one , 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one, 2-hydroxy-2-methyl-1- [4- (1-methylvinyl) phenyl] propane- And 1-on oligomers. Moreover, the compound represented by following formula (4) is mentioned.

(화학식 4)(Formula 4)

Figure 112014002701492-pat00004
Figure 112014002701492-pat00004

상기 식중, In the above formula,

R1 내지 R4는 각각 독립적으로 수소 원자, 할로겐 원자, 수산기, 탄소수 1 내지 12의 알킬기로 치환되거나 비치환된 페닐기, 탄소수 1 내지 12의 알킬기로 치환되거나 비치환된 벤질기, 또는 탄소수 1 내지 12의 알킬기로 치환되거나 비치환된 나프틸기를 나타낸다. R1 to R4 are each independently a hydrogen atom, a halogen atom, a hydroxyl group, a phenyl group unsubstituted or substituted with an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, a benzyl group unsubstituted or substituted with an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, or 1 to 12 carbon atoms. It represents a naphthyl group unsubstituted or substituted with an alkyl group.

상기 화학식 4로 표시되는 화합물의 구체예로는 2-메틸-2-아미노(4-모르폴리노페닐)에탄-1-온, 2-에틸-2-아미노(4-모르폴리노페닐)에탄-1-온, 2-프로필-2-아미노(4-모르폴리노페닐)에탄-1-온, 2-부틸-2-아미노(4-모르폴리노페닐)에탄-1-온, 2-메틸-2-아미노(4-모르폴리노페닐)프로판-1-온, 2-메틸-2-아미노(4-모르폴리노페닐)부탄-1-온, 2-에틸-2-아미노(4-모르폴리노페닐)프로판-1-온, 2-에틸-2-아미노(4-모르폴리노페닐)부탄-1-온, 2-메틸-2-메틸아미노(4-모르폴리노페닐)프로판-1-온, 2-메틸-2-디메틸아미노(4-모르폴리노페닐)프로판-1-온, 2-메틸-2-디에틸아미노(4-모르폴리노페닐)프로판-1-온 등을 들 수 있다.
Specific examples of the compound represented by Chemical Formula 4 include 2-methyl-2-amino (4-morpholinophenyl) ethan-1-one, 2-ethyl-2-amino (4-morpholinophenyl) ethane- 1-one, 2-propyl-2-amino (4-morpholinophenyl) ethan-1-one, 2-butyl-2-amino (4-morpholinophenyl) ethan-1-one, 2-methyl- 2-amino (4-morpholinophenyl) propan-1-one, 2-methyl-2-amino (4-morpholinophenyl) butan-1-one, 2-ethyl-2-amino (4-morpholino) Nophenyl) propan-1-one, 2-ethyl-2-amino (4-morpholinophenyl) butan-1-one, 2-methyl-2-methylamino (4-morpholinophenyl) propan-1- And 2-methyl-2-dimethylamino (4-morpholinophenyl) propan-1-one, 2-methyl-2-diethylamino (4-morpholinophenyl) propan-1-one, and the like. have.

상기 비이미다졸 화합물로는, 예를 들면 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐비이미다졸, 2,2'-비스(2,3-디클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐비이미다졸, 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라(알콕시페닐)비이미다졸, 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라(트리알콕시페닐)비이미다졸, 4,4',5,5' 위치의 페닐기가 카르보알콕시기에 의해 치환되어 있는 이미다졸 화합물 등을 들 수 있다. 이들 중에서 2,2'비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐비이미다졸, 2,2'-비스(2,3-디클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐비이미다졸이 바람직하게 사용된다.
Examples of the biimidazole compound include 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenylbiimidazole and 2,2'-bis (2,3). -Dichlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenylbiimidazole, 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4', 5,5'-tetra (alkoxyphenyl) ratio Imidazole, 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetra (trialkoxyphenyl) biimidazole, phenyl group at 4,4', 5,5 'position And imidazole compounds substituted with a alkoxy group. Of these, 2,2'bis (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenylbiimidazole, 2,2'-bis (2,3-dichlorophenyl) -4,4', 5,5'-tetraphenylbiimidazole is preferably used.

상기 옥심 화합물로는, 하기의 화학식 5, 6, 7 등을 들 수 있다. Examples of the oxime compound include the following Chemical Formulas 5, 6, and 7.

(화학식 5)(Formula 5)

Figure 112014002701492-pat00005
Figure 112014002701492-pat00005

(화학식 6)(Formula 6)

Figure 112014002701492-pat00006
Figure 112014002701492-pat00006

(화학식 7)(Formula 7)

Figure 112014002701492-pat00007
Figure 112014002701492-pat00007

또한, 본 발명의 효과를 손상하지 않는 정도이면 이 분야에서 통상 사용되고 있는 그 밖의 광중합 개시제 등을 추가로 병용할 수도 있다. 그 밖의 광중합 개시제로서는, 예를 들면 벤조인계 화합물, 벤조페논계 화합물, 티오크산톤계 화합물, 안트라센계 화합물 등을 들 수 있다. 이들은 각각 단독으로 또는 2종 이상 조합하여 사용할 수 있다. Further, other photopolymerization initiators and the like commonly used in this field may be used in combination as long as the effects of the present invention are not impaired. Examples of other photopolymerization initiators include benzoin compounds, benzophenone compounds, thioxanthone compounds, and anthracene compounds. These may be used alone or in combination of two or more.

벤조인계 화합물로서는, 예를 들면, 벤조인, 벤조인메틸에테르, 벤조인에틸에테르, 벤조인이소프로필에테르, 벤조인이소부틸에테르 등을 들 수 있다. Examples of the benzoin-based compound include benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, and benzoin isobutyl ether.

벤조페논계 화합물로는, 예를 들면 벤조페논, 0-벤조일벤조산 메틸, 4-페닐 벤조페논, 4-벤조일-4'-메틸디페닐술피드, 3,3',4,4'-테트라(tert-부틸퍼옥시카르보닐)벤조페논, 2,4,6-트리메틸벤조페논, 4,4'-디(N,N'-디메틸아미노)-벤조페논 등을 들 수 있다. Examples of the benzophenone-based compound include benzophenone, 0-benzoylbenzoate methyl, 4-phenyl benzophenone, 4-benzoyl-4'-methyldiphenyl sulfide, 3,3 ', 4,4'-tetra ( tert-butylperoxycarbonyl) benzophenone, 2,4,6-trimethylbenzophenone, 4,4'-di (N, N'-dimethylamino) -benzophenone, and the like.

티오크산톤계 화합물로는, 예를 들면 2-이소프로필티오크산톤, 2,4-디에틸티오크산톤, 2,4-디클로로티오크산톤, 1-클로로-4-프로폭시티오크산톤 등을 들 수 있다. Examples of the thioxanthone-based compound include 2-isopropylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2,4-dichlorothioxanthone, 1-chloro-4-propoxythioxanthone, and the like. Can be mentioned.

안트라센계 화합물로는, 예를 들면 9,10-디메톡시안트라센, 2-에틸-9,10- 디메톡시안트라센, 9,10-디에톡시안트라센, 2-에틸-9,10-디에톡시안트라센 등을 들 수 있다. Examples of the anthracene-based compound include 9,10-dimethoxyanthracene, 2-ethyl-9,10-dimethoxyanthracene, 9,10-diethoxyanthracene, and 2-ethyl-9,10-diethoxyanthracene. Can be lifted.

그 밖에 2,4,6-트리메틸벤조일디페닐포스핀옥시드, 10-부틸-2-클로로아크리돈, 2-에틸안트라퀴논, 벤질, 9,10-페난트렌퀴논, 캄포퀴논, 페닐클리옥실산 메틸, 티타노센 화합물 등을 그 밖의 광중합 개시제로서 들 수 있다.
Other 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, 10-butyl-2-chloroacridone, 2-ethylanthraquinone, benzyl, 9,10-phenanthrenequinone, campoquinone, phenylclyoxylic acid A methyl, titanocene compound, etc. are mentioned as another photoinitiator.

또한, 본 발명에서 (C)광중합 개시제에 조합하여 사용할 수 있는 (C-1)광중합 개시 보조제로는 아민 화합물, 카르복실산 화합물 등으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상의 화합물이 바람직하게 사용될 수 있다. In addition, in the present invention, one or more compounds selected from the group consisting of amine compounds, carboxylic acid compounds, and the like can be preferably used as the (C-1) photopolymerization initiator adjuvant that can be used in combination with the (C) photopolymerization initiator. .

광중합 개시 보조제 중 아민 화합물의 구체예로는 트리에탄올아민, 메틸디에탄올아민, 트리이소프로판올아민 등의 지방족 아민 화합물, 4-디메틸아미노벤조산 메틸, 4-디메틸아미노벤조산 에틸, 4-디메틸아미노벤조산 이소아밀, 4-디메틸아미노벤조산 2-에틸헥실, 벤조산 2-디메틸아미노에틸, N,N-디메틸파라톨루이딘, 4,4'-비스(디메틸아미노)벤조페논(통칭 : 미힐러 케톤), 4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논 등의 방향족 아민 화합물을 들 수 있다. 아민 화합물로서는 방향족 아민 화합물이 바람직하게 사용된다. Specific examples of the amine compound in the photopolymerization initiation aid include aliphatic amine compounds such as triethanolamine, methyldiethanolamine, triisopropanolamine, methyl 4-dimethylaminobenzoate, ethyl 4-dimethylaminobenzoate, isoamyl 4-dimethylaminobenzoate, 4-dimethylaminobenzoic acid 2-ethylhexyl, benzoic acid 2-dimethylaminoethyl, N, N-dimethylparatoluidine, 4,4'-bis (dimethylamino) benzophenone (commonly known as Mihiler ketone), 4,4'- And aromatic amine compounds such as bis (diethylamino) benzophenone. As the amine compound, an aromatic amine compound is preferably used.

카르복실산 화합물의 구체예로서는 페닐티오아세트산, 메틸페닐티오아세트산, 에틸페닐티오아세트산, 메틸에틸페닐티오아세트산, 디메틸페닐티오아세트산, 메톡시페닐티오아세트산, 디메톡시페닐티오아세트산, 클로로페닐티오아세트산, 디클로로페닐티오아세트산, N-페닐글리신, 페녹시아세트산, 나프틸티오아세트산, N-나프틸글리신, 나프톡시아세트산 등의 방향족 헤테로아세트산류를 들 수 있다.
Specific examples of the carboxylic acid compound include phenylthioacetic acid, methylphenylthioacetic acid, ethylphenylthioacetic acid, methylethylphenylthioacetic acid, dimethylphenylthioacetic acid, methoxyphenylthioacetic acid, dimethoxyphenylthioacetic acid, chlorophenylthioacetic acid and dichlorophenyl Aromatic heteroacetic acids such as thioacetic acid, N-phenylglycine, phenoxyacetic acid, naphthylthioacetic acid, N-naphthylglycine, and naphthoxyacetic acid.

본 발명의 투명화소 형성용 감광성 수지조성물에서 (C)광중합 개시제의 함량은 전체 고형성분을 기준으로 0.1 내지 20질량%, 바람직하게는 1 내지 10질량%이며, (C-1)광중합 개시 보조제의 사용량은 상기의 기준으로, 통상 0.1 내지 20질량%, 바람직하게는 1 내지 10질량%이다. The content of the photopolymerization initiator (C) in the photosensitive resin composition for forming a transparent pixel of the present invention is 0.1 to 20 mass%, preferably 1 to 10 mass%, based on the total solid component, and the (C-1) photopolymerization initiator adjuvant The amount used is usually 0.1 to 20% by mass, preferably 1 to 10% by mass, based on the above.

상기 (C)광중합 개시제의 사용량이 상기의 범위에 있으면 투명화소 형성용 감광성 수지조성물이 고감도화되어 화소부의 강도나, 이 화소부 표면에서의 평활성이 양호하게 되는 경향이 있기 때문에 바람직하다. 또한, 광중합 개시 보조제(C-1)의 사용량이 상기의 범위에 있으면 투명화소 형성용 감광성 수지조성물의 감도 효율성이 더욱 높아지고, 이 조성물을 사용하여 형성되는 컬러필터의 생산성이 향상되는 경향이 있기 때문에 바람직하다.
When the amount of the photopolymerization initiator (C) used is in the above range, the photosensitive resin composition for forming a transparent pixel is highly sensitive, which is preferable because the strength of the pixel portion and the smoothness on the surface of the pixel portion tend to be good. In addition, when the amount of the photopolymerization initiation aid (C-1) used is in the above range, the sensitivity efficiency of the photosensitive resin composition for forming a transparent pixel is further increased, and the productivity of the color filter formed using the composition tends to be improved. desirable.

(D)용제(D) Solvent

본 발명의 투명화소 형성용 감광성 수지조성물에 함유되는 (D)용제는 특별히 제한되지 않으며 감광성 수지 조성물의 분야에서 사용되고 있는 각종 유기 용제를 사용할 수 있다. The (D) solvent contained in the photosensitive resin composition for forming a transparent pixel of the present invention is not particularly limited and various organic solvents used in the field of photosensitive resin compositions can be used.

상기 (D)용제의 구체예로는 에틸렌글리콜모노메틸에테르, 에틸렌글리콜모노에틸에테르, 에틸렌글리콜모노프로필에테르, 에틸렌글리콜모노부틸에테르 등의 에틸렌글리콜모노알킬에테르류, 디에틸렌글리콜디메틸에테르, 디에틸렌글리콜디에틸에테르, 디에틸렌글리콜디프로필에테르, 디에틸렌글리콜디부틸에테르 등의 디에틸렌글리콜디알킬에테르류, 메틸셀로솔브아세테이트, 에틸셀로솔브아세테이트 등의 에틸렌글리콜알킬에테르아세테이트류, 프로필렌글리콜모노메틸에테르 등의 프로필렌글리콜디알킬에테르류, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노프로필에테르아세테이트, 메톡시부틸아세테이트 및 메톡시펜틸아세테이트 등의 알킬렌글리콜알킬에테르아세테이트류, 벤젠, 톨루엔, 크실렌, 메시틸렌 등의 방향족 탄화수소류, 메틸에틸케톤, 아세톤, 메틸아밀케톤, 메틸이소부틸케톤, 시클로헥사논 등의 케톤류, 에탄올, 프로판올, 부탄올, 헥사놀, 시클로헥사놀, 에틸렌글리콜, 글리세린 등의 알코올류, 3-에톡시프로피온산 에틸, 3-메톡시프로피온산 메틸 등의 에스테르류, γ-부티로락톤 등의 환상 에스테르류 등을 들 수 있다. Specific examples of the (D) solvent include ethylene glycol monoalkyl ethers such as ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monopropyl ether, and ethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, and diethylene Diethylene glycol dialkyl ethers such as glycol diethyl ether, diethylene glycol dipropyl ether, and diethylene glycol dibutyl ether, ethylene glycol alkyl ether acetates such as methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, and propylene glycol Propylene glycol dialkyl ethers such as monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monopropyl ether acetate, methoxybutyl acetate and alkylene glycol alkyl ether acetates such as methoxypentyl acetate Ryu, Aromatic hydrocarbons such as zen, toluene, xylene, mesitylene, ketones such as methyl ethyl ketone, acetone, methyl amyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, ethanol, propanol, butanol, hexanol, cyclohexanol, ethylene And alcohols such as glycol and glycerin, esters such as ethyl 3-ethoxypropionate and methyl 3-methoxypropionic acid, and cyclic esters such as γ-butyrolactone.

상기의 용제 중, 도포성, 건조성 면에서 바람직하게는 상기 용제 중에서 비점이 100℃ 내지 200℃인 유기 용제를 들 수 있고, 보다 바람직하게는 알킬렌글리콜알킬에테르아세테이트류, 케톤류, 3-에톡시프로피온산 에틸이나, 3-메톡시프로피온산 메틸 등의 에스테르류를 들 수 있으며, 더욱 바람직하게는 프로필렌글리콜모노메틸에테르, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 시클로헥사논, 3-에톡시프로피온산 에틸, 3-메톡시프로피온산 메틸 등을 들 수 있다.
Among the above-mentioned solvents, organic solvents having a boiling point of 100 ° C to 200 ° C can be exemplified in terms of coatability and dryness, and more preferably alkylene glycol alkyl ether acetates, ketones, 3-to And esters such as ethyl methoxypropionate and methyl 3-methoxypropionate. More preferably, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, cyclohexanone, 3- Ethyl ethoxypropionate, methyl 3-methoxypropionate, and the like.

이들 (D)용제는 각각 단독으로 또는 2종류 이상 혼합하여 사용할 수 있다. These (D) solvents can be used alone or in combination of two or more.

본 발명의 투명화소 형성용 감광성 수지조성물 중의 (D)용제의 함유량은 용제를 포함하는 투명화소 형성용 감광성 수지조성물 전체량에 대하여 질량분율로 통상 60 내지 90질량%, 바람직하게는 70 내지 85 질량%이다. (D)용제의 함유량이 상기의 기준으로 60 내지 90질량%의 범위이면 롤 코터, 스핀 코터, 슬릿 앤드 스핀 코터, 슬릿 코터(다이 코터라고도 하는 경우가 있음), 잉크젯 등의 도포 장치로 도포했을 때 도포성이 양호해지는 경향이 있기 때문에 바람직하다.
The content of the (D) solvent in the photosensitive resin composition for forming a transparent pixel of the present invention is usually 60 to 90 mass%, preferably 70 to 85 mass%, in mass fraction relative to the total amount of the photosensitive resin composition for forming a transparent pixel containing a solvent. %to be. (D) If the content of the solvent was in the range of 60 to 90% by mass based on the above criteria, it was coated with a coating device such as a roll coater, a spin coater, a slit and spin coater, a slit coater (sometimes referred to as a die coater), inkjet It is preferable because the coating property tends to be good at the time.

(E)첨가제(E) Additive

본 발명의 투명화소 형성용 감광성 수지조성물에는 필요에 따라 충진제, 다른 고분자 화합물, 경화제, 안료 분산제. 밀착 촉진제, 산화 방지제, 자외선 흡수제, 응집 방지제 등의 (E)첨가제를 병행하는 것도 가능하다.
In the photosensitive resin composition for forming a transparent pixel of the present invention, a filler, another polymer compound, a curing agent, and a pigment dispersant, if necessary. It is also possible to use (E) additives, such as an adhesion promoter, antioxidant, ultraviolet absorber, and aggregation inhibitor.

상기 충진제의 구체적인 예는 유리, 실리카, 알루미나 등이 예시된다.
Specific examples of the filler include glass, silica, and alumina.

상기 다른 고분자 화합물로서는 구체적으로 에폭시 수지, 말레이미드 수지 등의 경화성 수지, 폴리비닐알코올, 폴리아크릴산, 폴리에틸렌글리콜모노알킬에테르, 폴리플루오로알킬아크릴레이트, 폴리에스테르, 폴리우레탄 등의 열가소성 수지 등을 들 수 있다.
Examples of the other polymer compound include curable resins such as epoxy resins and maleimide resins, polyvinyl alcohol, polyacrylic acid, polyethylene glycol monoalkyl ether, polyfluoroalkyl acrylate, polyester, and thermoplastic resins such as polyurethane. You can.

상기 경화제는 심부 경화 및 기계적 강도를 높이기 위해 사용되며, 경화제로는 에폭시 화합물, 다관능 이소시아네이트 화합물, 멜라민 화합물, 옥세탄 화합물 등을 들 수 있다. The curing agent is used to increase the core hardening and mechanical strength, and examples of the curing agent include epoxy compounds, polyfunctional isocyanate compounds, melamine compounds, and oxetane compounds.

상기 경화제에서 에폭시 화합물로는, 예를 들면, 비스페놀 A계 에폭시 수지, 수소화 비스페놀 A계 에폭시 수지, 비스페놀 F계 에폭시 수지, 수소화 비스페놀 F계 에폭시 수지, 노블락형 에폭시 수지, 기타 방향족계 에폭시 수지, 지환족계 에폭시 수지, 글리시딜에스테르계 수지, 글리시딜아민계 수지, 또는 이러한 에폭시 수지의 브롬화 유도체, 에폭시 수지 및 그 브롬화 유도체 이외의 지방족, 지환족 또는 방향족 에폭시 화합물, 부타디엔 (공)중합체 에폭시화물, 이소프렌 (공)중합체 에폭시화물, 글리시딜(메타)아크릴레트 (공)중합체, 트리글리시딜이소시아눌레이트 등을 들 수 있다.As the epoxy compound in the curing agent, for example, bisphenol A-based epoxy resin, hydrogenated bisphenol A-based epoxy resin, bisphenol F-based epoxy resin, hydrogenated bisphenol F-based epoxy resin, no-block type epoxy resin, other aromatic epoxy resin, alicyclic Group-based epoxy resins, glycidyl ester-based resins, glycidylamine-based resins, or brominated derivatives of these epoxy resins, aliphatic resins other than epoxy resins and brominated derivatives thereof, alicyclic or aromatic epoxy compounds, butadiene (co) polymer epoxides , Isoprene (co) polymer epoxide, glycidyl (meth) acrylate (co) polymer, triglycidyl isocyanurate, and the like.

상기 경화제에서 옥세탄 화합물로는, 예를 들면, 카르보네이트비스옥세탄, 크실렌비스옥세탄, 아디페이트비스옥세탄, 테레프탈레이트비스옥세탄, 시클로헥산디카르복실산비스옥세탄 등을 들 수 있다. Examples of the oxetane compound in the curing agent include carbonate bisoxetane, xylene bisoxetane, adipate bisoxetane, terephthalate bisoxetane, and cyclohexanedicarboxylic acid bisoxetane. have.

상기 경화제는 경화제와 함께 에폭시 화합물의 에폭시기, 옥세탄 화합물의 옥세탄 골격을 개환 중합하게 할 수 있는 경화 보조 화합물을 포함할 수 있다. 경화 보조 화합물로는, 예를 들면, 다가 카르본산류, 다가 카르본산 무수물류, 산 발생제 등을 들 수 있다. The curing agent may include a curing aid compound capable of ring-opening polymerization of the epoxy group of the epoxy compound and the oxetane skeleton of the oxetane compound together with the curing agent. As a hardening auxiliary compound, polyhydric carboxylic acids, polyhydric carboxylic anhydrides, acid generator, etc. are mentioned, for example.

카르본산 무수물류로서, 에폭시 수지 경화제로서 시판되는 것을 이용할 수 있다. 그 에폭시 수지 경화제로서는, 예를 들면, 상품명(아데카하도나 EH-700)(아데카공업㈜ 제조), 상품명(리카싯도 HH)(신일본이화㈜ 제조), 상품명(MH-700)(신일본이화㈜ 제조) 등을 들 수 있다. 상기 경화제는 단독으로 또는 2종 이상 혼합하여 이용할 수 있다.
As the carboxylic anhydride, commercially available ones can be used as the epoxy resin curing agent. As the epoxy resin curing agent, for example, a trade name (Adeka Hadona EH-700) (manufactured by Adeka Industries Co., Ltd.), a trade name (Rikasitdo HH) (manufactured by Shin Nippon Ehwa Co., Ltd.), a trade name (MH-700) Shin Nippon Ewha Co., Ltd.). The curing agents may be used alone or in combination of two or more.

상기 안료 분산제로는 시판되는 계면 활성제를 이용할 수 있고, 예를 들면 실리콘계, 불소계, 에스테르계, 양이온계, 음이온계, 비이온계, 양성 등의 계면 활성제 등을 들 수 있다. 이들은 각각 단독으로 또는 2종 이상을 조합하여 사용될 수 있다. 상기의 계면 활성제로서, 예를 들면 폴리옥시에틸렌알킬에테르류, 폴리옥시에틸렌알킬페닐에테르류, 폴리에틸렌글리콜디에스테르류, 소르비탄 지방상 에스테르류, 지방산 변성 폴리에스테르류, 3급 아민 변성 폴리우레탄류, 폴리에틸렌이민류 등이 있으며 이외에, 상품명으로 KP(신에쯔 가가꾸 고교㈜ 제조), 폴리플로우(POLYFLOW)(교에이샤 가가꾸㈜ 제조), 에프톱(EFTOP)(토켐 프로덕츠사 제조), 메가팩(MEGAFAC)(다이닛본 잉크 가가꾸 고교㈜ 제조), 플로라드(Flourad)(스미또모 쓰리엠㈜ 제조), 아사히가드(Asahi guard), 서플론(Surflon)(이상, 아사히 글라스㈜ 제조), 솔스퍼스(SOLSPERSE)(제네까㈜ 제조), EFKA(EFKA 케미칼스사 제조), PB 821(아지노모또㈜ 제조) 등을 들 수 있다. As the pigment dispersant, commercially available surfactants can be used, and examples thereof include silicone-based, fluorine-based, ester-based, cationic, anionic, nonionic and amphoteric surfactants. These may be used alone or in combination of two or more. As the above-mentioned surfactant, for example, polyoxyethylene alkyl ethers, polyoxyethylene alkylphenyl ethers, polyethylene glycol diesters, sorbitan fatty phase esters, fatty acid modified polyesters, tertiary amine modified polyurethanes , Polyethyleneimines, etc. In addition, KP (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), polyflow (POLYFLOW) (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.), EFTOP (manufactured by Tochem Products), Megapack (MEGAFAC) (manufactured by Dai Nippon Ink Chemical Co., Ltd.), Florad (manufactured by Sumitomo 3M), Asahi guard, Surflon (above, manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.), And SOLSPERSE (manufactured by Genecca Co., Ltd.), EFKA (manufactured by EFKA Chemicals), and PB 821 (manufactured by Ajinomoto Co., Ltd.).

이들 안료 분산제는 각각 단독으로 또는 2종 이상 조합하여 사용할 수 있으며, 투명화소 형성용 감광성 수지조성물 중의 고형분에 대해서 질량분율로 통상 0.01 내지 15질량%로 포함될 수 있다.
These pigment dispersants may be used alone or in combination of two or more, respectively, and may be generally included in a mass fraction of 0.01 to 15% by mass with respect to the solid content in the photosensitive resin composition for forming a transparent pixel.

상기 밀착 촉진제로는, 예를 들면 비닐트리메톡시실란, 비닐트리에톡시실란, 비닐트리스(2-메톡시에톡시)실란, N-(2-아미노에틸)-3-아미노프로필메틸디메톡시실란, N-(2-아미노에틸)-3-아미노프로필트리메톡시실란, 3-아미노프로필트리에톡시실란, 3-글리시독시프로필트리메톡시실란, 3-글리시독시프로필메틸디메톡시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)에틸트리메톡시실란, 3-클로로프로필메틸디메톡시실란, 3-클로로프로필트리메톡시실란, 3-메타크릴옥시프로필트리메톡시실란, 3-머캅토프로필트리메톡시실란, 3-이소시아네이트프로필트리메톡시실란, 3-이소시아네이트프로필트리에톡시실란 등을 들 수 있다.Examples of the adhesion promoter include vinyl trimethoxysilane, vinyl triethoxysilane, vinyl tris (2-methoxyethoxy) silane, and N- (2-aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane. , N- (2-aminoethyl) -3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, 3-chloropropylmethyldimethoxysilane, 3-chloropropyltrimethoxysilane, 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 3-mercapto And propyltrimethoxysilane, 3-isocyanatepropyltrimethoxysilane, and 3-isocyanatepropyltriethoxysilane.

이들 밀착 촉진제는 각각 단독으로 또는 2종 이상 조합하여 사용할 수 있으며, 투명화소 형성용 감광성 수지조성물 중의 고형분에 대해서 질량분율로 통상 0.01 내지 10질량%, 바람직하게는 0.05 내지 2 질량%를 포함한다.
These adhesion promoters may be used alone or in combination of two or more, and usually contain 0.01 to 10% by mass, preferably 0.05 to 2% by mass, with respect to the solid content in the photosensitive resin composition for forming a transparent pixel.

상기 산화 방지제로는 구체적으로 2,2'-티오비스(4-메틸-6-t-부틸페놀), 2,6-디-t-부틸-4-메틸페놀 등을 들 수 있다.
Examples of the antioxidant include 2,2'-thiobis (4-methyl-6-t-butylphenol), 2,6-di-t-butyl-4-methylphenol, and the like.

상기 자외선 흡수제로서는 구체적으로 2-(3-tert-부틸-2-히드록시-5-메틸페닐)-5-클로로벤조티리아졸, 알콕시벤조페논 등을 들 수 있다.
Specific examples of the ultraviolet absorber include 2- (3-tert-butyl-2-hydroxy-5-methylphenyl) -5-chlorobenzothiazole, alkoxybenzophenone, and the like.

상기 응집 방지제로는 구체적으로 폴리아크릴산 나트륨 등을 들 수 있다.
Specific examples of the aggregation inhibitor include sodium polyacrylate and the like.

본 발명의 투명화소 형성용 감광성 수지조성물은, 예를 들면 이하와 같은 방법에 의해 제조할 수 있다. (A)알칼리 가용성수지, (B)광중합성 화합물, (C)광중합 개시제, (D)용제를 적절한 비율로 혼합하고, 필요에 따라 사용되는 그 밖의 성분을 더 첨가하여 목적하는 투명화소 형성용 감광성 수지조성물을 얻는다.
The photosensitive resin composition for forming a transparent pixel of the present invention can be produced, for example, by the following method. (A) Alkali-soluble resin, (B) photopolymerizable compound, (C) photopolymerization initiator, (D) solvent are mixed in an appropriate ratio, and other components used as necessary are further added to form the desired photosensitive properties for forming transparent pixels. Obtain a resin composition.

이하에서는 본 발명에 따른 투명화소 형성용 감광성 수지조성물의 패턴 형성방법을 설명한다.Hereinafter, a method for forming a pattern of a photosensitive resin composition for forming a transparent pixel according to the present invention will be described.

본 발명에 따른 투명화소 형성용 감광성 수지조성물의 패턴 형성방법은, 전술한 투명화소 형성용 감광성 수지조성물을 기재상에 도포하는 단계, 상기 투명화소 형성용 감광성 수지조성물의 일부 영역을 선택적으로 노광하는 단계, 및 상기 투명화소 형성용 감광성 수지조성물의 노광 영역 또는 비노광 영역을 제거하는 단계를 포함하여 이루어진다. The method of forming a pattern of a photosensitive resin composition for forming a transparent pixel according to the present invention comprises the steps of applying the photosensitive resin composition for forming a transparent pixel on a substrate, and selectively exposing a portion of the photosensitive resin composition for forming a transparent pixel And removing an exposed area or a non-exposed area of the photosensitive resin composition for forming a transparent pixel.

그 일례로서, 이하와 같이하여 기재 상에 도포하고, 광 경화 및 현상을 하여 패턴을 형성하게 되고, 블랙 매트릭스 또는 착색 및 투명화소(착색 화상)로 사용할 수 있게 된다. As an example, a pattern is formed by applying on the substrate as described below, photocuring and developing, and can be used as a black matrix or colored and transparent pixels (colored images).

우선, 이 조성물을 기재(제한되지 않음, 통상은 유리 혹은 실리콘 웨이퍼) 또는 먼저 형성된 투명화소 형성용 감광성 수지조성물의 고형분을 포함하는 층 위에 도포하여 예비 건조함으로써 용제 등의 휘발 성분을 제거하여 평활한 도막을 얻는다. 이 때의 도막의 두께는 대개 1 내지 3㎛ 정도이다. 이와 같이하여 얻어진 도막에 목적하는 패턴을 얻기 위해 마스크를 통해 특정 영역에 자외선을 조사한다. 이때, 노광부 전체에 균일하게 평행 광선이 조사되고, 마스크와 기판이 정확히 위치가 맞도록 마스크 얼라이너나 스테퍼 등의 장치를 사용하는 것이 바람직하다. 또한 이후, 경화가 종료된 도막을 알칼리 수용액에 접촉시켜 비노광 영역을 용해시키고 현상함으로써 목적하는 패턴을 제조할 수 있게 된다. 현상 후, 필요에 따라 150 내지 230℃에서 10 내지 60 분 정도의 후 건조를 실시할 수 있다.
First, the composition is applied onto a layer containing a solid content of a photosensitive resin composition for forming a transparent pixel to form a substrate (not limited, usually a glass or a silicon wafer) or preliminarily dried to remove a volatile component such as a solvent to smooth it. Get a coating. The thickness of the coating film at this time is usually about 1 to 3 µm. In order to obtain a desired pattern on the coating film thus obtained, ultraviolet rays are irradiated to a specific region through a mask. At this time, it is preferable to use a device such as a mask aligner or a stepper so that parallel light is uniformly irradiated to the entire exposed portion and the mask and the substrate are accurately positioned. In addition, afterwards, a desired pattern can be produced by dissolving and developing a non-exposed region by contacting the coating film after curing with an aqueous alkali solution. After development, after drying at about 150 to 230 ° C. for about 10 to 60 minutes, drying may be performed as necessary.

패턴화 노광 후의 현상에 사용하는 현상액은 통상 알칼리성 화합물과 계면 활성제를 포함하는 수용액이다. 알칼리성 화합물은 무기 및 유기 알칼리성 화합물 중 어느 것이어도 좋다. 무기 알칼리성 화합물의 구체예로써는 수산화나트륨, 수산화칼륨, 인산수소이나트륨, 인산이수소나트륨, 인산수소이암모늄, 인산이수소암모늄, 인산이수소칼륨, 규산나트륨, 규산칼륨, 탄산나트륨, 탄산칼륨, 탄산수소나트륨, 탄산수소칼륨, 붕산나트륨, 붕산칼륨, 암모니아 등을 들 수 있다. The developing solution used for development after patterned exposure is usually an aqueous solution containing an alkaline compound and a surfactant. The alkaline compound may be either an inorganic or organic alkaline compound. Specific examples of the inorganic alkaline compound include sodium hydroxide, potassium hydroxide, disodium hydrogen phosphate, sodium dihydrogen phosphate, diammonium hydrogen phosphate, ammonium dihydrogen phosphate, potassium dihydrogen phosphate, sodium silicate, potassium silicate, sodium carbonate, potassium carbonate, sodium hydrogen carbonate , Potassium hydrogen carbonate, sodium borate, potassium borate, ammonia and the like.

또한, 유기 알칼리성 화합물의 구체예로써는 테트라메틸암모늄히드록시드, 2-히드록시에틸트리메틸암모늄히드록시드, 모노메틸아민, 디메틸아민, 트리메틸아민, 모노에틸아민, 디에틸아민, 트리에틸아민, 모노이소프로필아민, 디이소프로필아민, 에탄올아민 등을 들 수 있다. 이들 무기 및 유기 알칼리성 화합물은 각각 단독으로 또는 2종 이상 조합하여 사용할 수 있다. Further, specific examples of the organic alkaline compound include tetramethylammonium hydroxide, 2-hydroxyethyltrimethylammonium hydroxide, monomethylamine, dimethylamine, trimethylamine, monoethylamine, diethylamine, triethylamine, and mono And isopropylamine, diisopropylamine, and ethanolamine. These inorganic and organic alkaline compounds may be used alone or in combination of two or more.

알칼리 현상액 중의 알칼리성 화합물의 바람직한 농도는 0.01 내지 10질량%의 범위이고, 보다 바람직하게는 0.03 내지 5 질량%이다. The preferred concentration of the alkaline compound in the alkali developer is in the range of 0.01 to 10% by mass, more preferably 0.03 to 5% by mass.

알칼리 현상액 중의 계면 활성제는 비 이온계 계면 활성제, 음이온계 계면 활성제 또는 양이온계 계면 활성제 중 모두 사용할 수 있다. The surfactant in the alkali developer can be used either as a nonionic surfactant, anionic surfactant, or cationic surfactant.

비 이온계 계면 활성제의 구체예로는 폴리옥시에틸렌알킬에테르, 폴리옥시에틸렌아릴에테르, 폴리옥시에틸렌알킬아릴에테르, 그 밖의 폴리옥시에틸렌 유도체, 옥시에틸렌/옥시프로필렌 블록 공중합체, 소르비탄 지방산 에스테르, 폴리옥시에틸렌소르비탄 지방산 에스테르, 폴리옥시에틸렌소르비톨 지방산 에스테르, 글리세린 지방산 에스테르, 폴리옥시에틸렌 지방산 에스테르, 폴리옥시에틸렌알킬아민 등을 들 수 있다. Specific examples of nonionic surfactants include polyoxyethylene alkyl ethers, polyoxyethylene aryl ethers, polyoxyethylene alkyl aryl ethers, other polyoxyethylene derivatives, oxyethylene / oxypropylene block copolymers, sorbitan fatty acid esters, Polyoxyethylene sorbitan fatty acid ester, polyoxyethylene sorbitol fatty acid ester, glycerin fatty acid ester, polyoxyethylene fatty acid ester, polyoxyethylene alkylamine, and the like.

음이온계 계면 활성제의 구체예로는 라우릴알코올황산에스테르나트륨이나 올레일알코올황산에스테르나트륨 등의 고급 알코올 황산에스테르염류, 라우릴황산나트륨이나 라우릴황산암모늄 등의 알킬황산염류, 도데실벤젠술폰산나트륨이나 도데실나프탈렌술폰산나트륨 등의 알킬아릴술폰산염류 등을 들 수 있다. Specific examples of the anionic surfactant include higher alcohol sulfate ester salts such as sodium lauryl alcohol sulfate ester or sodium oleyl alcohol sulfate, alkyl sulfates such as sodium lauryl sulfate or ammonium lauryl sulfate, and sodium dodecylbenzenesulfonate. And alkyl aryl sulfonates such as sodium dodecyl naphthalene sulfonate.

양이온계 계면 활성제의 구체예로는 스테아릴아민염산염이나 라우릴트리메틸암모늄클로라이드 등의 아민염 또는 4급 암모늄염 등을 들 수 있다. Specific examples of the cationic surfactant include amine salts such as stearylamine hydrochloride and lauryl trimethylammonium chloride or quaternary ammonium salts.

이들 계면 활성제는 각각 단독으로 또는 2종 이상 조합하여 사용할 수 있다. These surfactants can be used alone or in combination of two or more.

알칼리 현상액 중의 계면 활성제의 농도는, 통상 0.01 내지 10질량%, 바람직하게는 0.05 내지 8 질량%, 보다 바람직하게는 0.1 내지 5 질량%이다.
The concentration of the surfactant in the alkali developer is usually 0.01 to 10% by mass, preferably 0.05 to 8% by mass, more preferably 0.1 to 5% by mass.

이하에서는, 본 발명에 따른 컬러필터를 설명한다. Hereinafter, the color filter according to the present invention will be described.

본 발명에 따른 컬러필터는 전술한 투명화소 형성용 감광성 수지조성물을 소정의 패턴으로 형성 후 노광, 현상하여 형성되는 화소를 포함하는 것을 특징으로 한다. The color filter according to the present invention is characterized in that it comprises a pixel formed by exposing and developing the photosensitive resin composition for forming a transparent pixel described above in a predetermined pattern.

투명화소 형성용 감광성 수지조성물의 패턴 형성방법은 전술한 바에 의하고 자세한 설명은 생략한다. 전술한 바와 같이 투명화소 형성용 감광성 수지조성물 용액의 도포, 건조, 얻어지는 건조 도막에의 패턴화 노광, 그리고 현상이라는 각 조작을 거쳐 투명화소 형성용 감광성 수지조성물에 상당하는 화소 또는 블랙 매트릭스가 얻어지고, 또한 이러한 조작을 컬러필터에 필요로 하는 단위화소의 수만큼 반복함으로써 컬러필터를 얻을 수 있다. 컬러필터의 구성 및 제조방법은 본 기술분야에서 잘 알려져 있으므로 그에 의하고 자세한 설명은 생략한다.
The method of forming a pattern of a photosensitive resin composition for forming a transparent pixel is as described above, and detailed description is omitted. As described above, a pixel or a black matrix corresponding to the photosensitive resin composition for forming a transparent pixel is obtained through each operation of coating, drying, and patterning exposure to the obtained dry coating film and developing the photosensitive resin composition for forming a transparent pixel, Also, a color filter can be obtained by repeating this operation as many times as the number of unit pixels required for the color filter. The configuration and manufacturing method of the color filter are well known in the art, and detailed description thereof will be omitted.

본 발명의 투명화소 형성용 감광성 수지조성물을 사용하여 제조된 컬러필터는 면내의 화소간 막 두께차가 적고, 예를 들면 1 내지 4㎛의 막 두께로 면내 막 두께차를 0.15㎛ 이하, 나아가 0.05㎛ 이하로 할 수 있다. 따라서, 이렇게 해서 얻어지는 컬러필터는 평활성이 우수하고, 이것을 컬러 액정표시장치에 조립함으로써 우수한 품질의 액정표시장치를 높은 수율로 제조할 수 있다. 또한, 상기의 컬러필터를 사용하면 우수한 품질의 촬상소자를 제조할 수 있다.
The color filter manufactured using the photosensitive resin composition for forming a transparent pixel of the present invention has a small difference in film thickness between in-plane pixels, for example, an in-plane film thickness difference of 0.15 μm or less, furthermore 0.05 μm, with a film thickness of 1 to 4 μm. It can be done as follows. Therefore, the color filter obtained in this way is excellent in smoothness, and by assembling it in a color liquid crystal display device, a liquid crystal display device of excellent quality can be manufactured with high yield. In addition, when the color filter is used, it is possible to manufacture an image pickup device of excellent quality.

이하, 실시예에 의해 본 발명을 보다 구체적으로 설명하지만, 본 발명이 실시예에 의해 한정되는 것은 물론 아니다. 또한, 이하의 실시예, 비교예에서 함유량을 나타내는 "%" 및 "부"는 특별히 언급하지 않는 한 질량 기준이다.
Hereinafter, the present invention will be described more specifically by examples, but the present invention is not limited to the examples. In addition, "%" and "part" showing content in the following Examples and Comparative Examples are based on mass unless otherwise specified.

<< 합성예Synthetic example >>

합성예Synthetic example 1-1: 반응성 알칼리 가용성 수지 A'의 합성 1-1: Synthesis of reactive alkali-soluble resin A '

교반기, 온도계 환류 냉각관, 적하 로트 및 질소 도입관을 구비한 플라스크를 준비하고, 한편, N-벤질말레이미드 84.2부, 메타크릴산 38.7부, 트리사이클로데실 메타크릴레이트 22부, t-부틸퍼옥시-2-에틸헥사노에이트 4부, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트(이하, "PGMEA"라 함) 40부를 투입후 교반 혼합하여 모노머 적하 로트를 준비하고, n-도데칸티올6부, PGMEA 24부를 넣고 교반 혼합하여 연쇄 이동제 적하 로트를 준비했다. 이후 플라스크에 PGMEA 395부를 도입하고 플라스크내 분위기를 공기에서 질소로 한 후 교반하면서 플라스크의 온도를 90℃까지 승온했다. 이어서 모노머 및 연쇄 이동제를 적하 로트로부터 적하를 개시했다. 적하는, 90℃를 유지하면서, 각각 2h 동안 진행하고 1h 후에 110℃ 승온하여 3h 유지한 뒤, 가스 도입관을 도입시켜, 산소/질소=5/95(v/v)혼합 가스의 버블링을 개시했다. 이어서, 글리시딜메타크릴레이트 14.2부, 2,2'-메틸렌비스(4-메틸-6-t-부틸페놀) 0.4부, 트리에틸아민 0.8부를 플라스크내에 투입하여 110℃에서 8시간 반응을 계속하고, 그후 실온까지 냉각하면서 고형분 29.1중량%, 중량평균분자량 32,000 산가가 114㎎KOH/g인 수지A'를 얻었다.
A flask equipped with a stirrer, a thermometer reflux cooling tube, a dropping lot, and a nitrogen introduction tube was prepared, while 84.2 parts of N-benzylmaleimide, 38.7 parts of methacrylic acid, 22 parts of tricyclodecyl methacrylate, and t-butylper 4 parts of oxy-2-ethylhexanoate, 40 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate (hereinafter referred to as "PGMEA") were added, followed by stirring and mixing to prepare a monomer dropping lot, and 6 parts of n-dodecanthiol, PGMEA 24 Part was added and stirred and mixed to prepare a chain transfer agent dropping lot. Thereafter, 395 parts of PGMEA was introduced into the flask, the atmosphere in the flask was changed to nitrogen from air, and the temperature of the flask was raised to 90 ° C. while stirring. Subsequently, the monomer and the chain transfer agent were dripped from the dropping lot. The dropping, while maintaining at 90 ° C, proceeds for 2h each, and after 1h, the temperature is raised to 110 ° C and maintained for 3h, and then a gas introduction tube is introduced to bubble oxygen / nitrogen = 5/95 (v / v) mixed gas. Started. Subsequently, 14.2 parts of glycidyl methacrylate, 0.4 parts of 2,2'-methylenebis (4-methyl-6-t-butylphenol), and 0.8 parts of triethylamine were introduced into the flask to continue the reaction at 110 ° C for 8 hours. Then, while cooling to room temperature, a resin A 'having a solid content of 29.1 wt% and a weight average molecular weight of 32,000 having an acid value of 114 mgKOH / g was obtained.

합성예Synthetic example 1-2: 반응성 알칼리 가용성 수지  1-2: Reactive alkali-soluble resin A'A ' 의 합성(Synthesis of A1-aA1-a ))

교반기, 온도계 환류 냉각관, 적하 로트 및 질소 도입관을 구비한 플라스크를 준비하고, 한편, N-벤질말레이미드 45부, 메타크릴산 45부, 트리사이클로데실 메타크릴레이트 10부, t-부틸퍼옥시-2-에틸헥사노에이트 4부, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트(이하, "PGMEA"라 함) 40부를 투입후 교반 혼합하여 모노머 적하 로트를 준비하고, n-도데칸티올6부, PGMEA 24부를 넣고 교반 혼합하여 연쇄 이동제 적하 로트를 준비했다. 이후 플라스크에 PGMEA 395부를 도입하고 플라스크내 분위기를 공기에서 질소로 한 후 교반하면서 플라스크의 온도를 90℃까지 승온했다. 이어서 모노머 및 연쇄 이동제를 적하 로트로부터 적하를 개시했다. 적하는, 90℃를 유지하면서, 각각 2h 동안 진행하고 1h 후에 110℃ 승온하여 3h 유지한 뒤, 가스 도입관을 도입시켜, 산소/질소=5/95(v/v)혼합 가스의 버블링을 개시했다. 이어서, 글리시딜메타크릴레이트 10부, 2,2'-메틸렌비스(4-메틸-6-t-부틸페놀) 0.4부, 트리에틸아민 0.8부를 플라스크내에 투입하여 110℃에서 8시간 반응을 계속하고, 그후 실온까지 냉각하면서 고형분29.1중량%, 중량평균분자량 32,000 산가가 114㎎KOH/g인 수지A'를 얻었다.
A flask equipped with a stirrer, a thermometer reflux cooling tube, a dropping lot, and a nitrogen introduction tube was prepared, while N-benzylmaleimide 45 parts, methacrylic acid 45 parts, tricyclodecyl methacrylate 10 parts, t-butylper 4 parts of oxy-2-ethylhexanoate, 40 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate (hereinafter referred to as "PGMEA") were added, followed by stirring and mixing to prepare a monomer dropping lot, and 6 parts of n-dodecanthiol, PGMEA 24 Part was added and stirred and mixed to prepare a chain transfer agent dropping lot. Thereafter, 395 parts of PGMEA was introduced into the flask, the atmosphere in the flask was changed to nitrogen from air, and the temperature of the flask was raised to 90 ° C. while stirring. Subsequently, the monomer and the chain transfer agent were dripped from the dropping lot. The dropping, while maintaining 90 ° C, proceeds for 2h each, and after 1h, the temperature is raised to 110 ° C and maintained for 3h. Started. Subsequently, 10 parts of glycidyl methacrylate, 0.4 parts of 2,2'-methylenebis (4-methyl-6-t-butylphenol), and 0.8 parts of triethylamine were added into the flask to continue the reaction at 110 ° C for 8 hours. Then, while cooling to room temperature, a resin A 'having a solid content of 29.1% by weight and a weight average molecular weight of 32,000 with an acid value of 114 mgKOH / g was obtained.

합성예Synthetic example 2-1:  2-1: 비반응성Non-reactive 알칼리 가용성 수지 A"의 합성 Synthesis of alkali-soluble resin A "

교반기, 온도계 환류 냉각관, 적하 로트 및 질소 도입관을 구비한 플라스크를 준비하고, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트(PGMEA) 300부를 투입후 교반 하면서 75도까지 가열한다. 플라스크에 3, 4-에폭시-8-(아크릴로일옥시)트리시클로일[5.2.1.02,6]데칸(EDCPA) 13.7중량부, 아크릴산(AA)10.9 중량부, 비닐톨루엔 26.5 중량부를 PGMEA 170중량부에 녹인 용액을 적하 로트를 이용하여 5시간동안 적하시켰다. 한편, 중합개시제 아조비스이소부티로니트릴 30중량부를 PGMEA 200중량부에 용해시킨 용액을 별도의 적하 로트를 이용하여 5시간에 걸쳐서 적하시켰다. 중합개시제의 적하가 완료된후에, 약 4시간동안 온도를 유지하면서 그후 실온까지 냉각하면서 고형분 37.6중량%, 중량평균분자량 10,740, 산가111㎎KOH/g인 수지A"를 얻었다.
Prepare a flask equipped with a stirrer, a thermometer reflux cooling tube, a dropping lot, and a nitrogen introduction tube, and add 300 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate (PGMEA) and heat to 75 degrees while stirring. 3,4-epoxy-8- (acryloyloxy) tricycloyl [5.2.1.02,6] decane (EDCPA) 13.7 parts by weight, acrylic acid (AA) 10.9 parts by weight, vinyltoluene 26.5 parts by weight PGMEA 170 parts by weight in the flask The solution dissolved in the part was dripped using a dropping lot for 5 hours. Meanwhile, a solution in which 30 parts by weight of the polymerization initiator azobisisobutyronitrile was dissolved in 200 parts by weight of PGMEA was added dropwise over 5 hours using a separate dropping lot. After the dropping of the polymerization initiator was completed, the temperature was maintained for about 4 hours, and then cooled to room temperature to obtain a resin A "having a solid content of 37.6 wt%, a weight average molecular weight of 10,740, and an acid value of 111 mgKOH / g.

합성예Synthetic example 2-2:  2-2: 비반응성Non-reactive 알칼리 가용성 수지 A"의 합성( Synthesis of alkali-soluble resin A "( A2-aA2-a ))

교반기, 온도계 환류 냉각관, 적하 로트 및 질소 도입관을 구비한 플라스크를 준비하고, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트(PGMEA) 300부를 투입후 교반 하면서 75도까지 가열한다. 플라스크에 3, 4-에폭시-8-(아크릴로일옥시)트리시클로일[5.2.1.02,6]데칸(EDCPA) 76.8중량부(60mol%), 메타아크릴산(MAA) 10.0중량부(20mol%), N-시클로헥실말레이미드 19.2중량부(20mol%)를 PGMEA 170중량부에 녹인 용액을 적하 로트를 이용하여 5시간동안 적하시켰다. 한편, 중합개시제 아조비스이소부티로니트릴 20중량부를 PGMEA 200중량부에 용해시킨 용액을 별도의 적하 로트를 이용하여 5시간에 걸쳐서 적하시켰다. 중합개시제의 적하가 완료된후에, 약 4시간동안 온도를 유지하면서 그후 실온까지 냉각하면서 고형분 37.6중량%, 중량평균분자량 15,740, 산가 121㎎KOH/g인 수지A"를 얻었다.
Prepare a flask equipped with a stirrer, a thermometer reflux cooling tube, a dropping lot, and a nitrogen introduction tube, and add 300 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate (PGMEA) and heat to 75 degrees while stirring. 3,4-epoxy-8- (acryloyloxy) tricycloyl [5.2.1.02,6] decane (EDCPA) 76.8 parts by weight (60 mol%), methacrylic acid (MAA) 10.0 parts by weight (20 mol%) in the flask , N-cyclohexylmaleimide 19.2 parts by weight (20 mol%) was dissolved in 170 parts by weight of PGMEA and added dropwise using a dropping lot for 5 hours. Meanwhile, a solution in which 20 parts by weight of the polymerization initiator azobisisobutyronitrile was dissolved in 200 parts by weight of PGMEA was added dropwise over 5 hours using a separate dropping lot. After dropping of the polymerization initiator was completed, the temperature was maintained for about 4 hours, and then cooled to room temperature to obtain a resin A "having a solid content of 37.6 wt%, a weight average molecular weight of 15,740, and an acid value of 121 mgKOH / g.

합성예Synthetic example 2-3 및  2-3 and 비교합성예Comparative Synthesis Example 1 내지 4:  1 to 4: 비반응성Non-reactive 알칼리 가용성 수지 A"의 합성 Synthesis of alkali-soluble resin A "

합성 방법은 상기 합성예 2-1의 방법과 동일하게 하고, 분자량 조절을 위해 아조비스이소부티로니트릴의 함량을 조절하여 합성예 2-3를 하기 표 1과 같이 제조하였으며, 분자량이 본원 발명의 범위를 벗어나는 비교합성예 1 및 2와, N-시클로헥실말레이미드를 포함하지 않는 비교합성예 3 및 4를 제조하였다. 하기 표 1에 반응 단량체의 몰%와 합성결과를 나타내었다. The synthesis method was the same as the method of Synthesis Example 2-1, and by adjusting the content of azobisisobutyronitrile to control the molecular weight, Synthesis Example 2-3 was prepared as shown in Table 1 below, and the molecular weight of the present invention Comparative Synthesis Examples 1 and 2 out of range and Comparative Synthesis Examples 3 and 4 not containing N-cyclohexylmaleimide were prepared. Table 1 shows the molar percentage of the reaction monomer and the synthesis results.

중합 단량체(Mol%)Polymerized monomer (Mol%) 합성예 2-3Synthesis Example 2-3 비교합성예 1Comparative Synthesis Example 1 비교합성예 2Comparative Synthesis Example 2 비교합성예 3Comparative Synthesis Example 3 비교합성예 4Comparative Synthesis Example 4 A2-cA2-c A2-bA2-b A2-dA2-d A2-eA2-e A2-fA2-f E-DCPA
(3, 4-에폭시-8-(아크릴로일옥시) 트리시클로일[5.2.1.02,6]데칸)
E-DCPA
(3, 4-epoxy-8- (acryloyloxy) tricycloyl [5.2.1.02,6] decane)
6060 6060 6060 8080 8080
MAA
(메타아크릴산)
MAA
(Methacrylic acid)
2020 2020 2020 2020 2020
CHMI
(N-시클로헥실말레이미드)
CHMI
(N-cyclohexylmaleimide)
2020 2020 2020 00 00
고형분(%)Solid content (%) 40.7%40.7% 39.6%39.6% 39.2%39.2% 41.3%41.3% 41.0%41.0% 중량평균분자량Weight average molecular weight 23,70023,700 9,0309,030 32,30032,300 8,6008,600 14,60014,600 산가Mountain 120120 122122 122122 123123 121121

분자량평가Molecular weight evaluation

상기의 (A)알칼리 가용성 수지의 중량평균분자량(Mw) 측정에 대해서는 GPC법을 이용하여 이하의 조건으로 행하였다.About the weight average molecular weight (Mw) measurement of the said (A) alkali-soluble resin, it performed under the following conditions using GPC method.

장치: HLC-8120GPC(도소㈜ 제조) Device: HLC-8120GPC (manufactured by Tosoh Corporation)

칼럼: TSK-GELG4000HXL + TSK-GELG2000HXL(직렬 접속) Column: TSK-GELG4000HXL + TSK-GELG2000HXL (serial connection)

칼럼 온도: 40℃ Column temperature: 40 ° C

이동상 용매: 테트라히드로퓨란 Mobile phase solvent: tetrahydrofuran

유속: 1.0 ㎖/분 Flow rate: 1.0 ml / min

주입량: 50 ㎕ Injection volume: 50 μl

검출기: RI Detector: RI

측정 시료 농도: 0.6 질량%(용매 = 테트라히드로퓨란) Measurement sample concentration: 0.6% by mass (solvent = tetrahydrofuran)

교정용 표준 물질: TSK STANDARD POLYSTYRENE F-40, F-4, F-1, A-2500, A-500(도소㈜ 제조)
Standard materials for calibration: TSK STANDARD POLYSTYRENE F-40, F-4, F-1, A-2500, A-500 (manufactured by Tosoh Corporation)

고형분Solids

중합체 용액을 알루미늄 컵에 약 1 g 칭량하여 넣고, 아세톤 약 3 g 을 첨가하여 용해시킨 후, 상온에서 자연건조시켰다. 그리고, 열풍 건조기 (에스펙 주식회사 제조, 상품명:PHH-101) 를 사용하여, 진공하 160 ℃에서 3 시간 건조시킨 후, 데시케이터 내에서 방랭시키고 중량을 측정하였다. 그 중량 감소량으로부터 중합체 용액의 고형분을 계산하였다.
The polymer solution was weighed about 1 g into an aluminum cup, and dissolved by adding about 3 g of acetone, and then naturally dried at room temperature. Then, using a hot air dryer (manufactured by SPEC Co., Ltd., product name: PHH-101), dried under vacuum at 160 ° C. for 3 hours, allowed to cool in a desiccator and weighed. The solid content of the polymer solution was calculated from the weight reduction amount.

산가Mountain

수지 용액 3 g을 정칭하여 아세톤 90 g/물 10 g 혼합 용매에 용해시키고, 티몰 블루를 지시약으로 하여 0.1 N의 KOH 수용액을 적정액으로서 사용하여, 자동 적정 장치 (히라누마 산업사 제조, 상품명:COM-555) 에 의해 중합체 용액의 산가를 측정하고, 용액의 산가와 용액의 고형분으로부터 고형분 1 g 당의 산가를 구하였다.
3 g of resin solution is weighed, dissolved in a mixed solvent of 90 g of acetone / 10 g of water, and an automatic titration device (Hiranum Industries Co., Ltd.) using 0.1 N KOH aqueous solution as a titrant using thymol blue as an indicator. The acid value of the polymer solution was measured by -555), and the acid value per 1 g of solid content was determined from the acid value of the solution and the solid content of the solution.

<< 실시예와Example 비교예Comparative example >>

실시예Example 1~7 및  1-7 and 비교예Comparative example 1~5:  1-5: 투명화소Transparent pixels 형성용 감광성 수지조성물의 제조 Preparation of photosensitive resin composition for formation

하기 표 2 에 기재된 바와 같이 각각 성분을 혼합한 후, 전체 고형분이 18중량%가 되도록 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트로 희석한 뒤, 충분히 교반하여 실시예 1 내지 7과 비교예 1 내지 5의 투명화소 형성용 감광성 수지조성물을 얻었다.After mixing the components as described in Table 2 below, after diluting with propylene glycol monomethyl ether acetate so that the total solid content is 18% by weight, and sufficiently stirred, the transparent pixels of Examples 1 to 7 and Comparative Examples 1 to 5 A photosensitive resin composition for formation was obtained.

항목Item (A)알칼리 가용성 수지(A) Alkali-soluble resin (B)광중합성화합물(B) Photopolymerizable compound (C)광중합개시제(C) Photopolymerization initiator (A') 반응성(A ') reactivity (A") (A ") 비반응성Non-reactive 중량비
(A':A")
Weight ratio
(A ': A ")
실시예1Example 1 55.1755.17 13.7913.79 8:28: 2 29.5629.56 1.481.48 실시예2Example 2 48.348.3 20.720.7 7:37: 3 28.9828.98 2.022.02 실시예3Example 3 41.3541.35 27.5727.57 6:46: 4 28.8628.86 2.222.22 실시예4Example 4 34.234.2 34.234.2 5:55: 5 29.0329.03 2.572.57 실시예5Example 5 27.2327.23 40.8440.84 4:64: 6 29.1329.13 2.82.8 실시예6Example 6 20.3920.39 47.5747.57 3:73: 7 29.1329.13 2.912.91 실시예7Example 7 13.5313.53 54.1154.11 2:82: 8 28.9828.98 3.383.38 비교예1Comparative Example 1 00 67.6367.63 0:100:10 28.9928.99 3.383.38 비교예2Comparative Example 2 68.9768.97 00 10:010: 0 29.5529.55 1.481.48 비교예3Comparative Example 3 62.0762.07 6.96.9 9:19: 1 29.5529.55 1.481.48 비교예4Comparative Example 4 58.5458.54 10.3310.33 8.5:1.58.5: 1.5 29.3529.35 1.781.78 비교예5Comparative Example 5 6.766.76 60.8760.87 1:91: 9 28.9928.99 3.383.38

- (A)알칼리 가용성 수지-(A) alkali-soluble resin

(A') 반응성: 합성예 1-1     (A ') Reactivity: Synthesis Example 1-1

(A") 비반응성: 합성예 2-1     (A ") Non-reactive: Synthesis Example 2-1

- (B)광중합성 화합물:디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트(KAYARAD DPHA; 닛본 카야꾸 ㈜ 제조)-(B) Photopolymerizable compound: dipentaerythritol hexaacrylate (KAYARAD DPHA; manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)

-(C)광중합개시제:1,2-옥탄디올,1-[4-(페닐티오)-,2-(O-벤조일옥심)](IRGACURE OXE01; Ciba Specialty Chemical 사 제조)-(C) Photopolymerization initiator: 1,2-octanediol, 1- [4- (phenylthio)-, 2- (O-benzoyloxime)] (IRGACURE OXE01; manufactured by Ciba Specialty Chemical)

-(D)용제:프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트(PGMEA)
-(D) Solvent: Propylene glycol monomethyl ether acetate (PGMEA)

실시예Example 8~11 및  8-11 and 비교예Comparative example 6~12:  6 ~ 12: 투명화소Transparent pixels 형성용 감광성 수지조성물의 제조 Preparation of photosensitive resin composition for formation

하기 표 3 및 표 4 에 기재된 바와 같이 각각 성분을 혼합한 후, 전체 고형분이 18중량%가 되도록 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트로 희석한 뒤, 충분히 교반하여 화소형성용 컬러리스 감광성 수지조성물을 얻었다.
After mixing the components as described in Tables 3 and 4, respectively, the mixture was diluted with propylene glycol monomethyl ether acetate so that the total solid content was 18% by weight, and then stirred sufficiently to obtain a colorless photosensitive resin composition for pixel formation.

실시예Example 실시예 8Example 8 실시예 9Example 9 실시예 10Example 10 실시예 11Example 11 (A')반응성(A ') Reactivity 합성예 1-2
A1-a
Synthesis Example 1-2
A1-a
3232 10.510.5 88 10.510.5
(A")비반응성(A ") non-reactive 합성예 2-2
A2-a
Synthesis Example 2-2
A2-a
3232 53.553.5 5656 --
합성예 2-3
A2-c
Synthesis Example 2-3
A2-c
-- -- -- 53.553.5
(B)광중합성 화합물(B) Photopolymerizable compound 3030 3030 3030 3030 (C)광중합 개시제(C) Photopolymerization initiator 44 44 44 44

비교예Comparative example 비교예 6Comparative Example 6 비교예 7Comparative Example 7 비교예 8Comparative Example 8 비교예 9Comparative Example 9 비교예 10Comparative Example 10 비교예 11Comparative Example 11 비교예 12Comparative Example 12 (A')반응성(A ') Reactivity 합성예 1-2
A1-a
Synthesis Example 1-2
A1-a
42.542.5 6.56.5 00 10.510.5 10.510.5 10.510.5 10.510.5
(A")비반응성(A ") non-reactive 합성예 2-2
A2-a
Synthesis Example 2-2
A2-a
21.521.5 57.557.5 6464 -- -- -- --
비교합성예 1
A2-b
Comparative Synthesis Example 1
A2-b
-- -- -- 53.553.5 -- -- --
비교합성예 2
A2-d
Comparative Synthesis Example 2
A2-d
-- -- -- -- 53.553.5 -- --
비교합성예 3
A2-e
Comparative Synthesis Example 3
A2-e
-- -- -- -- -- 53.553.5 --
비교합성예 4
A2-f
Comparative Synthesis Example 4
A2-f
-- -- -- -- -- -- 53.553.5
(B)광중합성 화합물(B) Photopolymerizable compound 3030 3030 3030 3030 3030 3030 3030 (C)광중합 개시제(C) Photopolymerization initiator 44 44 44 44 44 44 44

-(B)광중합성 화합물: 수산기가 90mgKOH/g의 디펜타에리트리톨 폴리아크릴레이트(KAYARAD ; 닛본 카야꾸 ㈜ 제조)-(B) Photopolymerizable compound: Dipentaerythritol polyacrylate having a hydroxyl value of 90 mgKOH / g (KAYARAD; manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)

-(C)광중합개시제:1,2-옥탄디올,1-[4-(페닐티오)-,2-(O-벤조일옥심)](IRGACURE OXE01; Ciba Specialty Chemical 사 제조)-(C) Photopolymerization initiator: 1,2-octanediol, 1- [4- (phenylthio)-, 2- (O-benzoyloxime)] (IRGACURE OXE01; manufactured by Ciba Specialty Chemical)

-(D)용제:프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트(PGMEA)
-(D) Solvent: Propylene glycol monomethyl ether acetate (PGMEA)

<컬러필터(<Color filter ( GlassGlass 기판) Board) 제조예Manufacturing example >>

제조예Manufacturing example 1~11 및  1-11 and 비교제조예Comparative manufacturing example 1~12: 컬러필터의 제조 1 ~ 12: Preparation of color filter

상기 실시예 1 내지 11과 비교예 1 내지 12에서 제조된 투명화소 형성용 감광성 수지조성물을 이용하여 각각 상기 제조예 1 내지 11과 비교제조예 1 내지 12의 컬러필터를 제조하였다. The color filters of Preparation Examples 1 to 11 and Comparative Production Examples 1 to 12 were prepared using the photosensitive resin compositions for forming transparent pixels prepared in Examples 1 to 11 and Comparative Examples 1 to 12, respectively.

즉, 상기 실시예 1 내지 11과 비교예 1 내지 12에서 제조된 투명화소 형성용 감광성 수지조성물을 스핀 코팅법으로 유리 기판 위에 도포한 다음, 가열판 위에 놓고 100℃의 온도에서 3분간 유지하여 박막을 형성시켰다. 이어서 상기 박막 위에 가로x세로 50um x 50um 내지 10um x 10um까지의 정사각형 패턴과 1㎛ 내지 100㎛의 라인/스페이스 패턴을 갖는 시험 포토마스크를 올려놓고 시험 포토마스크와의 간격을 300㎛로 하여 자외선을 조사하였다. That is, the photosensitive resin composition for forming transparent pixels prepared in Examples 1 to 11 and Comparative Examples 1 to 12 was coated on a glass substrate by spin coating, then placed on a heating plate and held at a temperature of 100 ° C. for 3 minutes to obtain a thin film. Formed. Subsequently, on the thin film, a test photomask having a square pattern ranging from 50 um x 50 um to 10 um x 10 um and a line / space pattern of 1 µm to 100 µm was placed, and the distance between the test photomask was set to 300 µm and UV light was emitted. Was investigated.

이때, 자외선광원은 우시오 덴끼㈜제의 초고압 수은 램프(상품명 USH-250D)를 이용하여 대기 분위기하에 50mJ/㎠의 노광량(365㎚)으로 광조사하였으며, 특별한 광학 필터는 사용하지 않았다. 상기에서 자외선이 조사된 박막을 pH 10.5의 KOH 수용액 현상 용액에 80초 동안 담궈 현상하였다. 이 박막이 입혀진 유리판을 증류수를 사용하여 세척한 다음, 질소 가스를 불어서 건조하고, 230℃의 가열 오븐에서 25분 동안 가열하여 컬러필터를 제조하였다. 상기에서 제조된 컬러필터의 필름 두께는 3.0㎛이었다.
At this time, the ultraviolet light source was irradiated with an exposure amount (365 nm) of 50 mJ / cm 2 in an atmosphere using an ultra-high pressure mercury lamp (trade name USH-250D) manufactured by Ushio Denki Co., Ltd., and no special optical filter was used. The thin film irradiated with ultraviolet rays was immersed in a KOH aqueous solution developing solution having a pH of 10.5 for 80 seconds. The glass plate coated with the thin film was washed with distilled water, then dried by blowing nitrogen gas, and heated in a heating oven at 230 ° C. for 25 minutes to prepare a color filter. The film thickness of the color filter prepared above was 3.0 μm.

<< 실험예Experimental example >>

잔막율측정Residual rate measurement

상기 각각의 투명화소 형성용 감광성 수지조성물을 스핀 코팅법으로 유리 기판 위에 도포한 다음, 가열판 위에 놓고 100℃의 온도에서 3분간 유지하여 박막을 형성시킨후 포토마스크가 없는 전면노광으로 50mJ/cm2의 자외선을 조사한 후, 패턴의 막두께를 막두께 측정 장치(DEKTAK 6M; Veeco사 제조)를 사용하여 측정하였다. 두께 측정이 완료된 기판을 다시 pH 10.5의 KOH 수용액 현상 용액에 80초 동안 담궈 현상한 후, 두께를 측정하였다. Each photosensitive resin composition for forming transparent pixels was coated on a glass substrate by a spin coating method, and then placed on a heating plate and held at a temperature of 100 ° C. for 3 minutes to form a thin film, and then exposed to a total exposure of 50 mJ / cm2 without a photomask. After irradiating with ultraviolet rays, the film thickness of the pattern was measured using a film thickness measuring device (DEKTAK 6M; manufactured by Veeco). After the thickness measurement was completed, the substrate was immersed in a KOH aqueous solution developing solution having a pH of 10.5 for 80 seconds, and then the thickness was measured.

잔막율(%)=현상후 두께(um)/현상전 두께(um)Residual rate (%) = thickness after development (um) / thickness before development (um)

잔막율이 85%이하의 경우는 막경도약화 및 공정마진에 영향이 크다고 판단하였다.
When the residual film ratio was 85% or less, it was judged that the film hardness was weakened and the process margin was greatly affected.

컨택홀사이즈Contact hole size  And 테이퍼끌림Taper pull 관찰 observe

상기의 예로 제조된 기판을 놓고 포토마스크의 40um x 40um 정사각형 컨택홀을 관찰하여, 컨택홀의 사이즈를 측정하고, 테이크끌림을 관찰한 뒤 사진을 찍었다.After placing the substrate prepared as an example of the above, observing a 40 um x 40 um square contact hole of the photomask, measuring the size of the contact hole, observing take drag, and taking a picture.

OM장비:ECLIPSE LV100POL 니콘사제조OM equipment: ECLIPSE LV100POL manufactured by Nikon

테이퍼 끌림의 평가기준Criteria for evaluation of taper attraction

O:테이퍼끌림 없는 상태O: Without tapered

△: 한쪽변의 테이퍼끌림이 2um이하△: Taper drag on one side is 2um or less

X: 한쪽변의 테이퍼끌림이 3um이상
X: Taper drag on one side is 3um or more

상기 컬러필터의 컨택홀사이즈, 테이퍼끌림, 노광/현상 잔막율을 하기와 같이 측정 및 평가하여 그 결과를 하기 도 1 및 표 5~7에 나타내었다.The contact hole size, taper drag, and exposure / development residual rate of the color filter were measured and evaluated as follows, and the results are shown in FIGS. 1 and 5 to 7 below.

항목Item 40 x 40um 컨택홀(포토마스크)40 x 40um contact hole (photomask) 현상전후의
잔막율(%)
Before and after phenomenon
Residual rate (%)
컨택홀사이즈(um)Contact hole size (um) 테이퍼끌림Taper pull 제조예1Preparation Example 1 29.729.7 OO 92%92% 제조예2Preparation Example 2 29.529.5 OO 90%90% 제조예3Preparation Example 3 30.930.9 OO 90%90% 제조예4Preparation Example 4 32.532.5 OO 89%89% 제조예5Preparation Example 5 33.833.8 OO 87%87% 제조예6Preparation Example 6 35.535.5 OO 87%87% 제조예7Preparation Example 7 33.833.8 OO 85%85% 비교제조예1Comparative Production Example 1 4242 OO 68%68% 비교제조예2Comparative Production Example 2 홀 막힘Plugging holes -- 94%94% 비교제조예3Comparative Production Example 3 2222 XX 92%92% 비교제조예4Comparative Production Example 4 2525 XX 90%90% 비교제조예5Comparative Production Example 5 3939 OO 75%75%

도 1 및 상기 표 5를 참조하면, 본 발명의 (A')반응성 알칼리 가용성 수지와 (A")비반응성 알칼리 가용성 수지를 8:2 내지 1:7로 혼합하여 사용할 경우, 제조예 1 내지 7과 같이 테이퍼끌림이 없거나 최소화되고, 외관적으로 미려한 컨택홀을 얻을 수 있으며, 잔막율도 85%이상으로 만족할만한 결과를 얻을 수 있다. 그 외의 비율에서는 비교제조예 1 내지 5와 같이 컨택홀이 막히거나, 컨택홀이 깨끗하게 형성되도 잔막율이 지나치게 낮거나, 혹은 테이퍼끌림이 크게 발생하는 것을 알 수 있다.
Referring to FIG. 1 and Table 5, when the (A ') reactive alkali-soluble resin and (A ") non-reactive alkali-soluble resin of the present invention are used in a mixture of 8: 2 to 1: 7, Preparation Examples 1 to 7 As shown in Fig. 1, the contact holes are clogged as in Comparative Production Examples 1 to 5. Or, even if the contact hole is formed cleanly, it can be seen that the residual film rate is too low, or the taper drag is largely generated.

내열성 측정Heat resistance measurement

상기 투명화소가 형성된 컬러필터를 다시 230℃의 가열 오븐에서 120분 동안 가열하여, 투명화소 패턴의 두께를 측정하였다.
The color filter on which the transparent pixel was formed was again heated in a heating oven at 230 ° C. for 120 minutes to measure the thickness of the transparent pixel pattern.

내열성(%)= 추가 bake 후 두께(um)/ 추가 bake 전 두께(um)
Heat resistance (%) = thickness after additional bake (um) / thickness before additional bake (um)

내열성이 96%이하인 경우는, LCD panel 제작시 표면주름의 영향을 줄 수 있다.
When the heat resistance is less than 96%, surface wrinkles may be affected during LCD panel manufacturing.

내화학성 측정Chemical resistance measurement

상기 투명화소가 형성된 컬러필터를 내화학성 평가용제 N-Methyl-2-pyrrolidone(NMP)에 60℃ 조건에서 30분간 침지 시킨 후 투명화소 패턴의 두께를 측정하였다.The color filter on which the transparent pixel was formed was immersed in chemical resistance evaluation solvent N-Methyl-2-pyrrolidone (NMP) for 30 minutes at 60 ° C., and then the thickness of the transparent pixel pattern was measured.

내화학성(%)= 침지 후 두께(um)/ 침지 전 두께(um)
Chemical resistance (%) = thickness after immersion (um) / thickness before immersion (um)

내화학성이 110%이상일 경우는, 도막의 부푸름 현상이 심하여 공정불량 및 표면주름 문제를 일으킬 수 있다.
When the chemical resistance is 110% or more, the swelling phenomenon of the coating film is severe, which may cause process defects and surface wrinkle problems.

미세패턴 측정Fine pattern measurement

상기 투명화소가 형성된 컬러필터 중 100㎛의 라인/스페이스 패턴 마스크를 통해 얻어진, 패턴의 크기를 OM장비(ECLIPSE LV100POL 니콘사제조)를 통해 패턴 크기를 측정하였다.The size of the pattern obtained through a line / space pattern mask of 100 µm among the color filters in which the transparent pixels were formed was measured by using OM equipment (ECLIPSE LV100POL manufactured by Nikon).

미세패턴(Δum) = (라인/스페이스 패턴 마스크 size, 100㎛)-(측정된 화소패턴 size)
Fine pattern (Δum) = (line / space pattern mask size, 100㎛)-(measured pixel pattern size)

미세패턴의 값이 10um 보다 크면, 미세화소의 구현이 어려워지고, 마이너스 값을 가지면 공정불량을 야기할 수 있다.
If the value of the fine pattern is greater than 10 μm, it is difficult to implement the micro-pixel, and having a negative value may cause process failure.

평탄성Flatness 평가 evaluation

상기의 예로 제조된 기판을 놓고 1차코팅 된 청색패턴에서 라인사이즈 50um, 스페이스사이즈는 100um인 부분의 전체두께프로파일을 평가한다. (도 2 및 도 3 참조) 막두께 측정장비는 DEKTAK 6M(Veeco사 제조)를 사용하여 측정하였다.An example of the above example is placed and the overall thickness profile of a portion having a line size of 50 um and a space size of 100 um is evaluated in the primary coated blue pattern. (See FIGS. 2 and 3) The film thickness measurement equipment was measured using DEKTAK 6M (manufactured by Beeco).

측정한 막두께의 그래프데이터를 하기와 같은 방법으로 평탄성을 계산한다. 스페이스의 중앙부분을 기준점으로 해서 표면과 기준선과의 두께차인 x값이 기준두께(기준점에서)를 5%이하인 스페이스의 길이만을 측정한다.
The flatness of the measured film thickness is calculated by the following method. Using the center of the space as a reference point, only the length of the space whose x value, which is the thickness difference between the surface and the reference line, is 5% or less of the reference thickness (at the reference point) is measured.

평탄성(%)=(X값이 기준두께 5%이하인 스페이스길이) / 전체스페이스길이Flatness (%) = (space length where the X value is 5% or less of the reference thickness) / total space length

평탄성이 80% 이하인 경우에는, 화소 상부의 액정구동에 영향을 주어 광특성이 저하될 수 있다.
When the flatness is 80% or less, the optical characteristics may be deteriorated by affecting the liquid crystal driving at the top of the pixel.

표면이상 평가Surface abnormality evaluation

상기의 예로 제조된 기판에 대해 육안 판단하였다.The substrate manufactured by the above example was visually judged.

표면이상 여부: 양호수준-표면이물 관찰 안됨, 불량수준-표면 백화현상 관찰.Surface abnormality: good level-no surface foreign matter observed, bad level-surface whitening observed.

상기 표면상태가 백화현상을 나타내게 되면, 투명화소 형성용도로서 효용가치가 없어지게 된다. 상기 컬러필터의 현상 잔막율, 내열성, 내화학성, 미세패턴, 평탄성, 표면이상에 대한 평가결과를 하기 표 6 및 표 7에 나타내었다.When the surface state exhibits a whitening phenomenon, the utility value is lost as a purpose for forming a transparent pixel. Table 6 and Table 7 show the evaluation results for the development residual film rate, heat resistance, chemical resistance, fine pattern, flatness, and surface abnormality of the color filter.

실시예 8Example 8 실시예 9Example 9 실시예 10Example 10 실시예 11Example 11 현상 잔막율(%)Remaining film rate (%) 92.7%92.7% 89.3%89.3% 86.4%86.4% 90.1%90.1% 내열성 (%)Heat resistance (%) 96.2%96.2% 97.4%97.4% 98.3%98.3% 97.6%97.6% 내화학성 (%)Chemical resistance (%) 108.0%108.0% 106.5%106.5% 103.3%103.3% 105.9%105.9% 미세패턴 변화 (um)Fine pattern change (um) 9um9um 55 22 77 평탄성(%)Flatness (%) 93.0%93.0% 87.1%87.1% 83.3%83.3% 90.7%90.7% 표면이상Surface abnormality 양호Good 양호Good 양호Good 양호Good

비교예 6Comparative Example 6 비교예 7Comparative Example 7 비교예 8Comparative Example 8 비교예 9Comparative Example 9 비교예 10Comparative Example 10 비교예 11Comparative Example 11 비교예 12Comparative Example 12 현상 잔막율(%)Remaining film rate (%) 94.3%94.3% 83.7%83.7% 82.6%82.6% 87.2%87.2% 90.0%90.0% 88.9%88.9% 측정불가Measurement impossible 내열성 (%)Heat resistance (%) 94.1%94.1% 98.4%98.4% 98.5%98.5% 95.2%95.2% 97.9%97.9% 96.2%96.2% 측정불가Measurement impossible 내화학성 (%)Chemical resistance (%) 113.3%113.3% 103.1%103.1% 102.8%102.8% 108.2%108.2% 105.3%105.3% 110.3%110.3% 측정불가Measurement impossible 미세패턴 변화 (um)Fine pattern change (um) 12㎛12㎛ -2 ㎛ -2 μm - 4㎛ -4㎛ 3㎛3㎛ 23㎛23㎛ 4㎛4㎛ 측정불가Measurement impossible 평탄성(%)Flatness (%) 95.1%95.1% 80.2%80.2% 76.1%76.1% 77.9%77.9% 84.6%84.6% 76.1%76.1% 측정불가Measurement impossible 표면이상(백화)Surface abnormality (whitening) 양호Good 양호Good 양호Good 양호Good 양호Good 양호Good 불량Bad

본 발명의 (A') 반응성 알칼리 가용성 수지와 (A") 비반응성 알칼리 가용성 수지를 8:2 내지 1:7로 혼합하여 사용할 경우, 실시예 8 내지 11에서와 같이 현상 잔막율, 내열성, 내화학성이 우수한 결과를 얻을 수 있었으며, 그 외의 비율에서는 비교예 6 및 7과 같이 미세패턴 변화가 크거나 마스크 패턴크기에 비해 작은 패턴이 형성되는 문제가 있었다. 또한 비반응성 바인더(A")의 단량체 중 디카르보닐 이미드 유도체가 없는 경우 비교예 11에서와 같이 충분한 평탄성을 확보할 수 없거나, 평탄성 확보를 위해 분자량을 높일경우 비교예 12에서와 같이 표면이상에 의해 양호한 패턴을 만들수 없었다. When the (A ') reactive alkali-soluble resin of the present invention and (A ") non-reactive alkali-soluble resin are mixed and used at 8: 2 to 1: 7, as in Examples 8 to 11, the residual film ratio, heat resistance, and resistance Excellent chemical results were obtained, and in other ratios, there was a problem in that micropattern changes were large or small patterns were formed compared to the mask pattern size as in Comparative Examples 6 and 7. In addition, monomers of the non-reactive binder (A ") When there is no dicarbonyl imide derivative, sufficient flatness cannot be secured as in Comparative Example 11, or when the molecular weight is increased to secure flatness, a good pattern cannot be produced due to surface abnormalities as in Comparative Example 12.

한편 디카르보닐 이미드 유도체가 포함되더라도 분자량이 작은 비교예 8은 평탄성이 부족하였으며, 비교예 9는 분자량이 너무 높아서 미세패턴 변화가 큰 문제가 있었다.On the other hand, even if the dicarbonyl imide derivative was included, Comparative Example 8 having a small molecular weight lacked flatness, and Comparative Example 9 had a problem that the micropattern change was too high because the molecular weight was too high.

본 발명에 따르면, (A') 반응성 알칼리 가용성 수지와 (A") 비반응성 알칼리 가용성 수지를 8:2 내지 1:7로 혼합하고, 이때의 (A") 비반응성 알칼리 가용성 수지의 단량체가 (A"3), (A"4), (A"5)으로 중합된 공중합체이며, 분자량이 10,000 내지 30,000일 경우, 현상 잔막율, 내열성, 내화학성, 평탄성이 우수하고, 미세패턴 구현이 가능한 투명화소를 형성 할 수 있었다.
According to the present invention, the (A ') reactive alkali-soluble resin and (A ") non-reactive alkali-soluble resin are mixed at 8: 2 to 1: 7, and the monomer of (A") non-reactive alkali-soluble resin is ( A "3), (A" 4), (A "5) is a copolymerized polymer. When the molecular weight is 10,000 to 30,000, it is excellent in developing residual film rate, heat resistance, chemical resistance, flatness, and realizing fine pattern. Transparent pixels could be formed.

Claims (9)

(A) 알칼리 가용성 수지; (B) 광중합성 화합물; (C)광중합 개시제; 및 (D)용제를 포함하는 투명화소 형성용 감광성 수지조성물로서,
상기 투명화소 형성용 감광성 수지조성물은 착색제를 포함하지 않으며,
상기 (A) 알칼리 가용성 수지는, (A') 라디칼광개시제 및 UV조사에 대하여 반응성인 알칼리 가용성 수지 및 (A") 라디칼광개시제 및 UV조사에 대하여 비반응성인 알칼리 가용성 수지가 8:2 내지 1:7의 중량비로 혼합된 것이며,
상기 (A") 라디칼광개시제 및 UV조사에 대하여 비반응성인 알칼리 가용성 수지의 분자량이 10,000 내지 30,000이며,
상기 (A") 라디칼광개시제 및 UV조사에 대하여 비반응성인 알칼리 가용성 수지는 (A"3) 분자 중에 불포화 결합과 카르복실산기를 갖는 화합물; (A"4) 에폭시기와 불포화 결합을 갖는 지방족 다고리형 화합물; 및 비닐 톨루엔 또는 (A"5) 상기 (A"3) 내지 (A"4)와 중합 가능한 불포화 결합을 갖는 디카르보닐 이미드 유도체의 중합에 의한 공중합체로서, 중합 완료 후 수지분자사슬안에 중합가능한 불포화이중결합이 없는 공중합체인 것을 특징으로 하며,
상기 (A"4) 에폭시기와 불포화 결합을 갖는 지방족 다고리형 화합물은 하기 화학식 1로 표시되는 화합물 및 하기 화학식 2로 표시되는 화합물로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1 종의 화합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 투명화소 형성용 감광성 수지조성물.
Figure 112020023497203-pat00013

Figure 112020023497203-pat00014

상기 화학식 1 및 2에서 R은 각각 독립적으로 수소 원자 또는 수산기로 치환되거나 치환되지 않은 탄소수 1∼4의 알킬기이고, X는 각각 독립적으로 단일결합 또는 헤테로 원자를 함유하거나 함유하지 않는 탄소수 1∼6의 알킬렌기이다.
(A) alkali-soluble resin; (B) photopolymerizable compounds; (C) photopolymerization initiator; And (D) a photosensitive resin composition for forming a transparent pixel comprising a solvent,
The photosensitive resin composition for forming a transparent pixel does not contain a colorant,
The (A) alkali-soluble resin, (A ') a radical photoinitiator and an alkali-soluble resin reactive to UV irradiation and (A ") an alkali-soluble resin non-reactive to the radical photoinitiator and UV irradiation 8: 2 to 1: It is mixed in a weight ratio of 7,
The molecular weight of the (A ") alkali-soluble resin which is non-reactive to the radical photoinitiator and UV irradiation is 10,000 to 30,000,
The (A ") radical photoinitiator and alkali-soluble resin that is non-reactive to UV irradiation include (A" 3) compounds having an unsaturated bond and a carboxylic acid group in the molecule; (A "4) An aliphatic polycyclic compound having an unsaturated bond with an epoxy group; and vinyl toluene or (A" 5) a dicarbonyl imide derivative having an unsaturated bond polymerizable with (A "3) to (A" 4) As a copolymer by polymerization, it is characterized in that it is a copolymer without an unsaturated double bond polymerizable in the resin molecular chain after completion of polymerization,
The (A "4) aliphatic polycyclic compound having an unsaturated bond with an epoxy group is characterized by comprising at least one compound selected from the group consisting of a compound represented by the following formula (1) and a compound represented by the following formula (2) Photosensitive resin composition for forming transparent pixels.
Figure 112020023497203-pat00013

Figure 112020023497203-pat00014

In Formulas 1 and 2, R is an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, each independently substituted or unsubstituted with a hydrogen atom or a hydroxyl group, and X are each independently 1 to 6 carbon atoms with or without a single bond or a hetero atom. It is an alkylene group.
청구항 1에 있어서,
상기 (A') 라디칼광개시제 및 UV조사에 대하여 반응성인 알칼리 가용성 수지는, (A'1) 1 분자 중에 불포화 결합과 카르복실산기를 갖는 화합물 및 (A'2) 상기 (A'1)과 중합 가능한 불포화 결합을 갖는 화합물을 포함하는 화합물들의 중합에 의한 공중합체와 (A'3) 1분자 중에 불포화 결합과 에폭시기를 갖는 화합물을 더 중합시켜 얻어지는 공중합체인 것을 특징으로 하는 투명화소 형성용 감광성 수지조성물.
The method according to claim 1,
The (A ') radical photoinitiator and alkali-soluble resin reactive to UV irradiation are polymerized with (A'1) a compound having an unsaturated bond and a carboxylic acid group in one molecule and (A'2) (A'1). A photosensitive resin composition for forming a transparent pixel, characterized in that it is a copolymer obtained by further polymerizing a copolymer containing a compound having a possible unsaturated bond and a compound having an unsaturated bond and an epoxy group in one molecule (A'3). .
청구항 2에 있어서,
상기 (A'1) 1 분자 중에 불포화 결합과 카르복실산기를 갖는 화합물은, 아크릴산, 메타크릴산 및 크로톤산을 포함하는 모노카르복실산류; 푸마르산, 메사콘산 및 이타콘산을 포함하는 디카르복실산류와 상기 디카르복실산의 무수물; 및 ω-카르복시폴리카프로락톤모노(메타)아크릴레이트를 포함하는 양 말단에 카르복실기와 수산기를 갖는 폴리머의 모노(메타)아크릴레이트류로 구성된 그룹에서 선택되는 하나 이상이며,
상기 (A'2)의 (A'1)과 중합 가능한 불포화 결합을 갖는 화합물은 메틸(메타)아크릴레이트, 에틸(메타)아크릴레이트, 부틸(메타)아크릴레이트, 2-히드록시에틸(메타)아크릴레이트 및 아미노에틸(메타)아크릴레이트를 포함하는 불포화 카르복실산의 비치환 또는 치환 알킬에스테르 화합물; 시클로펜틸(메타)아크릴레이트, 시클로헥실(메타)아크릴레이트, 메틸시클로헥실(메타)아크릴레이트, 시클로헵틸(메타)아크릴레이트, 시클로옥틸(메타)아크릴레이트, 멘틸(메타)아크릴레이트, 시클로펜테닐(메타)아크릴레이트, 시클로헥세닐(메타)아크릴레이트, 시클로헵테닐(메타)아크릴레이트, 시클로옥테닐(메타)아크릴레이트, 멘타디에닐(메타)아크릴레이트, 이소보르닐(메타)아크릴레이트, 피나닐(메타)아크릴레이트, 아다만틸(메타)아크릴레이트, 노르보르닐(메타)아크릴레이트 및 피네닐(메타)아크릴레이트를 포함하는 지환식 치환기를 포함하는 불포화 카르복실산 에스테르 화합물; 3-((메타)아크릴로일옥시메틸)옥세탄, 3-((메타)아크릴로일옥시메틸)-3-에틸옥세탄, 3-((메타)아크릴로일옥시메틸)-2-메틸옥세탄 및 3-((메타)아크릴로일옥시메틸)-2-트리플로로메틸옥세탄을 포함하는 열경화 가능한 치환기를 포함하는 불포화 카르복실산 에스테르 화합물; 올리고에틸렌글리콜 모노알킬(메타)아크릴레이트 를 포함하는 글리콜류의 모노포화 카르복실산 에스테르 화합물; 벤질(메타)아크릴레이트 및 페녹시(메타)아크릴레이트를 포함하는 방향환을 갖는 치환기를 포함하는 불포화 카르복실산 에스테르 화합물; 스티렌, α-메틸스티렌 및 비닐톨루엔을 포함하는 방향족 비닐 화합물; 아세트산 비닐 및 프로피온산 비닐을 포함하는 카르복실산 비닐에스테르; 및 (메타)아크릴로니트릴 및 α-클로로아크릴로니트릴을 포함하는 시안화 비닐 화합물로 구성된 그룹에서 선택되는 하나 이상이며,
상기 (A'3) 1분자 중에 불포화 결합과 에폭시기를 갖는 화합물은 글리시딜(메타)아크릴레이트, 3,4-에폭시시클로헥실(메타)아크릴레이트, 3,4-에폭시시클로헥실메틸(메타)아크릴레이트 및 메틸글리시딜(메타)아크릴레이트를 포함하는 시안화 비닐 화합물로 구성된 그룹에서 선택되는 하나 이상인 것을 특징으로 하는 투명화소 형성용 감광성 수지조성물.
The method according to claim 2,
Compounds having an unsaturated bond and a carboxylic acid group in the molecule (A'1) include monocarboxylic acids containing acrylic acid, methacrylic acid, and crotonic acid; Dicarboxylic acids including fumaric acid, mesaconic acid and itaconic acid and anhydrides of the dicarboxylic acids; And ω-carboxy polycaprolactone mono (meth) acrylate is at least one selected from the group consisting of mono (meth) acrylates of a polymer having a carboxyl group and a hydroxyl group at both ends,
The compound having an unsaturated bond polymerizable with (A'1) of (A'2) is methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) Unsubstituted or substituted alkyl ester compounds of unsaturated carboxylic acids including acrylates and aminoethyl (meth) acrylates; Cyclopentyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, methylcyclohexyl (meth) acrylate, cycloheptyl (meth) acrylate, cyclooctyl (meth) acrylate, menthyl (meth) acrylate, cyclophene Tenyl (meth) acrylate, cyclohexenyl (meth) acrylate, cycloheptenyl (meth) acrylate, cyclooctenyl (meth) acrylate, mentadienyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylic Unsaturated carboxylic acid ester compounds containing alicyclic substituents including acrylate, pinanyl (meth) acrylate, adamantyl (meth) acrylate, norbornyl (meth) acrylate and pinenyl (meth) acrylate ; 3-((meth) acryloyloxymethyl) oxetane, 3-((meth) acryloyloxymethyl) -3-ethyloxetane, 3-((meth) acryloyloxymethyl) -2-methyl Unsaturated carboxylic acid ester compounds containing a thermosetting substituent including oxetane and 3-((meth) acryloyloxymethyl) -2-trifluoromethyloxetane; Monosaturated carboxylic acid ester compounds of glycols containing oligoethylene glycol monoalkyl (meth) acrylate; An unsaturated carboxylic acid ester compound containing a substituent having an aromatic ring containing benzyl (meth) acrylate and phenoxy (meth) acrylate; Aromatic vinyl compounds including styrene, α-methylstyrene and vinyl toluene; Carboxylic acid vinyl esters including vinyl acetate and vinyl propionate; And (meth) acrylonitrile and α-chloroacrylonitrile.
Compounds having an unsaturated bond and an epoxy group in the molecule (A'3) are glycidyl (meth) acrylate, 3,4-epoxycyclohexyl (meth) acrylate, 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) A photosensitive resin composition for forming a transparent pixel, characterized in that at least one selected from the group consisting of a vinyl cyanide compound containing acrylate and methylglycidyl (meth) acrylate.
청구항 1에 있어서,
상기 (A") 라디칼광개시제 및 UV조사에 대하여 비반응성인 알칼리 가용성 수지는 (A"1) 분자 중에 불포화 결합과 카르복실산기를 갖는 화합물 및 (A"2) 상기 (A"1)과 중합 가능한 불포화 결합을 갖는 화합물을 포함하는 화합물들의 중합에 의한 공중합체로서, 중합 완료 후 수지분자사슬안에 중합가능한 불포화이중결합이 없는 공중합체인 것을 특징으로 하는 투명화소 형성용 감광성 수지조성물.
The method according to claim 1,
The (A ") radical photoinitiator and alkali-soluble resin which is non-reactive to UV irradiation are polymerizable with (A" 1) a compound having an unsaturated bond and a carboxylic acid group in the molecule and (A "2) (A" 1). A photosensitive resin composition for forming a transparent pixel, which is a copolymer by polymerization of compounds containing a compound having an unsaturated bond, and is a copolymer without an unsaturated double bond polymerizable in a resin molecular chain after completion of polymerization.
삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 (A"4) 에폭시기와 불포화 결합을 갖는 지방족 다고리형 화합물은 디시클로펜탄, 트리시클로데칸, 노르보르난, 이소노르보르난, 비시클로옥탄, 시클로노난, 비시클로운데칸, 트리시클로운데칸, 비시클로도데칸 및 트리시클로도데칸으로 구성된 그룹에서 선택되는 하나 이상인 것을 특징으로 하는 투명화소 형성용 감광성 수지조성물.
The method according to claim 1,
The (A "4) aliphatic polycyclic compound having an unsaturated bond with an epoxy group is dicyclopentane, tricyclodecane, norbornane, isonorbornane, bicyclooctane, cyclononane, bicycloundecane, tricycloundecane , A photosensitive resin composition for forming a transparent pixel, characterized in that at least one selected from the group consisting of bicyclododecane and tricyclododecane.
삭제delete 청구항 1에 있어서,
투명화소 형성용 감광성 수지조성물 중의 고형분에 대해서,
(A) 알칼리 가용성 수지 20 내지 85질량%;
(B) 광중합성 화합물 10 내지 60질량%; 및
(C)광중합 개시제 0.1 내지 20질량%를 포함하는 것을 특징으로 하는 투명화소 형성용 감광성 수지조성물.
The method according to claim 1,
Solid content in the photosensitive resin composition for forming a transparent pixel,
(A) 20 to 85% by mass of an alkali-soluble resin;
(B) 10 to 60% by mass of a photopolymerizable compound; And
(C) Photopolymerization initiator Photosensitive resin composition for forming a transparent pixel, characterized in that it contains 0.1 to 20% by mass.
청구항 1 내지 4, 6, 및 8 중 어느 한항의 투명화소 형성용 감광성 수지조성물을 이용하여 형성하는 컬러필터.
A color filter formed using the photosensitive resin composition for forming a transparent pixel of any one of claims 1 to 4, 6, and 8.
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