KR101421314B1 - Linear motor armature and linear motor - Google Patents

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가부시키가이샤 야스카와덴키
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Abstract

각종 결선을 외부에서 간단하게 실현할 수 있고, 여러 가지의 결선 요구에 대응하는 것이 가능해지는 리니어 모터를 제공한다.

복수의 영구자석(2a)을 배치한 2개의 계자 요크(2b)를 서로 대향 배치시킨 2개의 계자극(2)과 계자극(2), 이 계자극(2)과 계자극(2)의 사이에 놓여지는 전기자(1)를 구비하여 이루어지는 리니어 모터에 있어서, 하 플레이트(1d)에 단자대(5)를 장착하고 전기자(1)의 각 티스(teeth)의 양 슬롯(slot)에 감아 돌려지는 2개의 전기자 권선(1a)과 전기자 권선(1a)을 코일 인도선(1f)으로 한 번에 감기로 형성하고, 각각의 전기자 권선의 감기 시작(1n) 및 감기 마침(1n)을 단자대(5)에 결선하였다.

Figure R1020097015496

리니어 모터, 전기자, 계자 요크, 주 티스, 보조 티스, 계자극, 단자대, 냉각 재킷, 영구자석, 전기자 코어

A linear motor capable of easily realizing various types of wiring from the outside and capable of coping with various wiring requirements is provided.

Two field poles 2 and two field poles 2 in which two field yokes 2b on which a plurality of permanent magnets 2a are arranged are arranged so as to face each other and a field pole 2 between the field pole 2 and the field pole 2 A terminal block 5 is mounted on a lower plate 1d and wound around a slot of each teeth of the armature 1 so as to rotate the armature 1 The armature winding 1a and the armature winding 1a are formed by winding one at a time through the coil lead wire 1f and the winding start 1n and the winding end 1n of each armature winding are connected to the terminal block 5 Respectively.

Figure R1020097015496

Linear motor, armature, field yoke, main teeth, auxiliary teeth, magnetic pole, terminal block, cooling jacket, permanent magnet, armature core

Description

리니어 모터 전기자 및 리니어 모터{LINEAR MOTOR ARMATURE AND LINEAR MOTOR}[0001] LINEAR MOTOR ARMATURE AND LINEAR MOTOR [0002]

본 발명은 흡인력 상쇄형의 리니어 모터에 관계되고, 특히 그 전기자를 구성하는 2개의 전기자 권선의 결선 및 권선의 냉각에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a linear motor capable of canceling attraction force, and particularly relates to wiring of two armature windings constituting the armature and cooling of windings.

서로 평행하게 뻗어있는 2개의 계자 요크(field yoke)의 서로 대향하는 측에 길이 방향으로 복수의 영구자석을 극성이 교대로 다르도록 배치하여 계자극(field electrode)을 구성하고, 한편 슬롯(slot)과 티스(teeth)를 가지는 전기자 코어(core)의 그 슬롯에 전기자 권선을 감아 돌리고, 위에서 상 플레이트(upper plate)로, 또 아래에서 하 플레이트(lower plate)로 전기자 코어를 샌드위치 형상으로 끼워 전기자를 구성하고, 계자극과 전기자의 어느 한쪽을 고정자로 하고 다른 한쪽을 가동자로 하여 리니어 모터를 구성하는 기술은 공지이다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조).A plurality of permanent magnets are alternately arranged in the longitudinal direction on opposite sides of two field yokes extending in parallel to each other to constitute a field electrode, The armature core is sandwiched from the lower to the upper plate and from above to the armature core by winding the armature windings around the slot of the armature core having the teeth and the teeth, And a linear motor is constituted by using either one of the system magnetic pole and the armature as a stator and the other as a mover (for example, refer to Patent Document 1).

도 12 ~ 도 14는 종래 기술에 의한 리니어 모터를 설명하는 도로, 도 12는 그 정면 단면도이고, 도 13은 각 상(phase)의 전기자 권선의 결선 관계를 설명하는 상면도이고, 도 14는 그 측면도이다.Fig. 12 is a front view of the linear motor according to the prior art, Fig. 12 is a front sectional view thereof, Fig. 13 is a top view explaining the connection relation of the armature winding of each phase, Side view.

특허 문헌 1 : 일본특허공개공보 2000－228860호Patent Document 1: Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-228860

도 12에 있어서, 2개가 대향하여 배치된 계자 요크(2b)의 각각의 대향하는 측에 복수의 영구자석(2a)을 극성이 교대로 다르도록 직선 형상으로(도 12의 지면에서 수직 방향으로) 배치하고, 2개의 계자극(2)의 사이에 자기 갭(magnetic gap)을 개입시켜 전기자(1)를 대향 배치하고 있다. 가동자로 되는 상 플레이트(1c)의 하방에 전기자 코어(1b)가 고정되고, 전기자 코어(1b)는 U상·V상·W상의 각 상(phase)마다 설치되고, 1개의 전기자 코어(1b)에는 각각 2개의 전기자 권선(코일)(1a)이 감아 돌려져 있다. 이들 2개의 전기자 권선(1a)은, 도 13에 나타내듯이 각 상(U·V·W상)마다 각각 2개의 전기자 권선 U1L과 U1R을, V1L과 V1R을, W1L과 W1R을, U2L과 U2R을, V2L과 V2R을, W2L과 W2R을, ··· 과 같이 각각 결선 기판(9) 상에서 결선되어 전기자(1) 전체로부터는 U·V·W 각 상의 모터 리드(motor lead)를 1개씩 꺼낸 구조로 하고 있다.12, a plurality of permanent magnets 2a are formed linearly on the opposite sides of the field yokes 2b arranged opposite to each other so as to have alternating polarities (in a direction perpendicular to the paper surface of Fig. 12) And the armatures 1 are arranged opposite to each other with a magnetic gap between the two system magnetic poles 2. [ An armature core 1b is fixed below a phase plate 1c serving as a mover. An armature core 1b is provided for each phase of U phase, V phase, W phase, Respectively, two armature windings (coils) 1a are wound and turned. As shown in Fig. 13, these two armature windings 1a have two armature windings U1L and U1R for each phase (U, V and W phases), V1L and V1R, W1L and W1R, U2L and U2R W2L and W2R are interconnected on the wiring board 9 as shown in FIG. 3, and motor leads of U, V and W phases are taken out from the entire armature 1, .

도 14에 있어서, 상 플레이트(1c)의 하방에 전기자 코어(1b)가 각 상마다 고정되고, 그 각 상의 전기자 코어(1b)에 전기자 권선(1a)이 2개 감아 돌려지고(도에서는, 한쪽의 전기자 권선만이 그려져 있다.), 2개의 각 전기자 권선(1a)은 서로 결선 기판(9)에 결선되어 있다(도 13 참조). 결선은 결선 기판(9)의 단부로부터 커넥터(connector)(7)를 통해 전기자(1)의 외부로 취출된다.In Fig. 14, the armature core 1b is fixed to each phase below the phase plate 1c, and two armature windings 1a are wound around the armature core 1b on each phase thereof The two armature windings 1a are connected to the wiring board 9 with each other (see Fig. 13). The wiring is taken out from the end of the wiring board 9 to the outside of the armature 1 through the connector 7. [

이들의 전기자 권선을 외부의 제어 장치에 의해 선택적으로 여자(勵磁)함으로써 전기자(1)와 계자극(2)이 축차 흡인·반발함에 따라 전기자(1)와 계자극(2)이 상대 이동함으로써 리니어 모터가 구성된다.The armature 1 and the field pole 2 are moved relative to each other as the armature 1 and the field pole 2 are successively attracted and repelled by selective excitation of the armature windings by an external control device A linear motor is constituted.

그러나, 종래 장치에서는, 도 12 ~ 도 14에 나타낸 것처럼, 전기자 권선(1a) 끼리의 결선을 전기자(1)의 내부에 있는 결선 기판(9) 상에서 행하고 있으므로, 결선을 간단하게 변경할 수가 없기 때문에 모든 요구 성능에 대응할 수가 없다고 하는 결점이 있었다.However, in the conventional apparatus, since the wiring of the armature windings 1a is carried out on the wiring board 9 inside the armature 1 as shown in Figs. 12 to 14, since the wiring can not be easily changed, There is a drawback that it can not cope with the required performance.

또, 도 12 ~ 도 14에 나타낸 리니어 모터는 리니어 모터 구동 시, 전기자가 발열하여 가동자 베이스(base)나 그 위에 장착되는 부하로 전열해 버려 바람직하지 않았다. 특히, 흡인력 상쇄형 리니어 모터는 액정·반도체의 제조 장치나 검사 장치, 또는 전자 부품 실장 장치 등에 사용되는 일이 많지만, 이들의 용도에서는 부하로의 전열이 큰 장애로 되는 일이 많았다.The linear motor shown in Figs. 12 to 14 is not preferable because the armature generates heat when the linear motor is driven, and is transferred to a mover base or a load mounted thereon. Particularly, the suction force canceling type linear motor is often used in a manufacturing apparatus for liquid crystals and semiconductors, an inspection apparatus, an electronic component mounting apparatus, and the like. In these applications, however, heat transfer to a load is often a serious obstacle.

그래서, 전기자 권선을 냉각하는 것이 종래로부터 몇 개가 시도되었다.Thus, several attempts have been made to cool the armature winding conventionally.

도 15는 종래의 냉각 장치를 구비한 리니어 모터를 나타내고 있다.Fig. 15 shows a linear motor having a conventional cooling device.

도 15에 있어서, 도 12와 같은 부호는 같은 기능을 가지는 것이므로 중복 설명은 생략한다. 도 15가 도 12와 다른 것은, 도 15가 도에 나타내듯이, 냉각 파이프(3a)를 온도 상승이 높은 전기자 코어(1b)의 측면에 배치하여 이루어지는 것이다.In FIG. 15, the same reference numerals as in FIG. 12 denote the same functions, and a duplicate description will be omitted. Fig. 15 is different from Fig. 12 in that the cooling pipe 3a is disposed on the side of the armature core 1b with a high temperature rise, as shown in Fig.

이에 의해, 전기자 권선(1a)은 냉각 파이프(3a)에 의해 냉각되므로 가동자 베이스나 그 위에 장착되는 부하로 전열(傳熱)되는 일이 적어졌다.Thereby, since the armature winding 1a is cooled by the cooling pipe 3a, the heat transfer to the mover base and the load mounted thereon is reduced.

그러나, 이 경우, 전기자(1)와 영구자석(2a) 열(列)의 자기 공극을 넓힐 필요가 있기 때문에 모터의 전기적 특성이 손실된다고 하는 결점이 있었다.However, in this case, there is a drawback that electrical characteristics of the motor are lost because it is necessary to widen the magnetic clearance between the armature 1 and the permanent magnet 2a row.

또, 다른 냉각 장치를 구비한 리니어 모터도 공지이다.A linear motor having another cooling device is also known.

도 16은 다른 냉각 장치를 구비한 리니어 모터를 나타내고 있다.Fig. 16 shows a linear motor having another cooling device.

도 16에 있어서, 도 12와 같은 부호는 같은 기능을 가지는 것이므로, 중복 설명은 생략한다. 도 16이 도 12와 다른 것은, 도 16이 도에 나타내듯이, 동관(copper pipe)(4i)을 장착한 냉각 재킷(cooling jacket)(4j)을 가동자 베이스(1c) 위에 배치하고, 동관(4i)에 냉매를 흘림으로써 냉각을 행한다고 하는 것이다.In Fig. 16, the same reference numerals as those in Fig. 12 denote the same functions, and a duplicate description will be omitted. 16 is different from Fig. 12 in that, as shown in Fig. 16, a cooling jacket 4j equipped with a copper pipe 4i is disposed on the mover base 1c, 4i to cool the refrigerant.

이에 의해, 전기자 권선(1a)은 냉각 파이프(4i)에 의해 냉각되므로 가동자 베이스(1c)나 그 위에 장착되는 부하로 전열되는 일이 적어졌다.Thereby, since the armature winding 1a is cooled by the cooling pipe 4i, the heat transfer to the mover base 1c and the load mounted thereon is reduced.

그렇지만, 이 경우, 액추에이터(actuator)의 사이즈(size)가 커져 버린다고 하는 결점이 있었다. However, in this case, there is a drawback that the size of the actuator becomes large.

종래 장치에서는, 전기자와 영구자석 열의 자기 공극을 넓힐 필요가 있기 때문에, 모터의 전기적 특성이 손실된다고 하는 결점이나, 액추에이터의 사이즈가 커져 버린다고 하는 결점이 있었다.In the conventional apparatus, there is a drawback that the electric characteristics of the motor are lost because of the necessity of widening the magnetic gap of the armature and the permanent magnet row, and there is a drawback that the size of the actuator is increased.

<발명이 해결하고자 하는 과제> [PROBLEMS TO BE SOLVED BY THE INVENTION]

상기와 같이 종래 장치에서는, 도 12 ~ 도 14에 나타낸 것처럼, 전기자 권선(1a)끼리의 결선을 전기자(1)의 내부에 있는 결선 기판(9) 상에서 행하고 있으므로 결선을 간단하게 변경할 수가 없기 때문에, 모든 결선 요구에 대응할 수가 없었다.As described above, in the conventional apparatus, since the wiring between the armature windings 1a is performed on the wiring board 9 inside the armature 1 as shown in Figs. 12 to 14, the wiring can not be easily changed, All wiring requests could not be met.

또, 도 15 및 도 16에 나타낸 것처럼, 종래 장치에서는 전기자와 영구자석 열의 자기 공극을 넓힐 필요가 있기 때문에, 모터의 전기적 특성이 손실된다고 하는 결점이나, 액추에이터의 사이즈가 커져 버린다고 하는 결점이 있었다.In addition, as shown in Fig. 15 and Fig. 16, there is a drawback that the electric characteristics of the motor are lost because of the necessity of widening the magnetic clearance between the armature and the permanent magnet row in the conventional apparatus, and the drawback that the size of the actuator is increased.

본 발명의 목적은 이들의 과제를 해결하기 위해 이루어진 것으로, 제 1의 목적은 모터 구동 시의 열 발생 손실을 억제하여 부하로의 전열을 억제하는 고효율의 리니어 모터를 제공하는 것에 있다. 또, 제2의 목적은 모터의 전기적 특성이 손실되는 일 없고 액추에이터 사이즈의 대형화를 억제할 수 있는 리니어 모터를 제공하는 것에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve these problems, and a first object of the present invention is to provide a linear motor of high efficiency which suppresses heat generation loss during motor driving and suppresses heat transfer to a load. A second object of the present invention is to provide a linear motor capable of suppressing an increase in size of an actuator without losing electrical characteristics of the motor.

<과제를 해결하기 위한 수단> MEANS FOR SOLVING THE PROBLEMS [

상기 문제를 해결하기 위해, 청구항 1에 기재의 리니어 모터 전기자의 발명은, 티스(teeth)와 상기의 티스의 각각 계자극측의 근방에 형성된 2개소의 슬롯(slot)을 가지는 전기자 코어와, 상기 슬롯에 각각 감아 돌려지는 2개의 전기자 권선과, 상기 전기자 코어를 위와 아래로부터 샌드위치 형상으로 끼우는 상 플레이트 및 하 플레이트를 설치하여 이루어지는 리니어 모터 전기자에 있어서, 상기 하 플레이트의 양단에 스트로크를 따라 단자대(端子臺)를 장착하고, 상기 전기자 코어에는 상기 2개소의 슬롯을 연결하는 인도선 홈이 형성되어 있고, 상기 2개의 전기자 권선을 각각 한 번에 감기로 형성하고, 상기 2개의 전기자 권선의 코일 인도선을 상기 인도선 홈내에 수납하여 보호하고, 한편, 각각의 전기자 권선의 감기 시작 및 감기 마침을 상기 단자대에 결선한 것을 특징으로 하고 있다.In order to solve the above problems, the invention of a linear motor armature according to claim 1 is characterized in that it comprises: an armature core having teeth and two slots formed in the vicinity of the magnetic pole sides of the teeth respectively; And an upper plate and a lower plate sandwiching the armature core sandwiched therebetween, the linear motor armature being characterized in that both ends of the lower plate are connected to a terminal block Wherein the armature core is formed with a lead wire groove for connecting the two slots, wherein the two armature windings are each formed by winding one at a time, and the two coil windings of the two armature windings, And the winding start and the winding end of each armature winding are connected to the terminal block The good and characterized.

청구항 2에 기재의 발명은, 청구항 1에 기재의 리니어 모터 전기자에 있어서, 상기 각 단자대의 U·V·W상의 각각을 직렬 결선한 것을 특징으로 하고 있다.According to a second aspect of the present invention, in the linear motor armature according to the first aspect, each of the U, V and W phases of the respective terminal blocks is connected in series.

청구항 3에 기재의 발명은, 청구항 1에 기재의 리니어 모터 전기자에 있어서, 상기 각 단자대의 U·V·W상의 각각을 병렬 결선한 것을 특징으로 하고 있다.According to a third aspect of the present invention, in the linear motor armature according to the first aspect, each of the U, V and W phases of the respective terminal blocks is connected in parallel.

청구항 4에 기재의 발명은, 청구항 1에 기재의 리니어 모터 전기자에 있어서, 상기 복수의 티스(teeth)(주 티스(main teeth)라고 한다)의 스트로크(stroke) 방향의 전단과 후단에 상기 주 티스(main teeth)보다 소형의 보조 티스(auxiliary teeth)를 각각 배치한 것을 특징으로 하고 있다.According to a fourth aspect of the present invention, in the linear motor armature according to the first aspect of the invention, the front teeth and the rear teeth of the plurality of teeth (referred to as main teeth) and auxiliary teeth smaller than the main teeth are respectively disposed.

청구항 5에 기재의 발명은, 청구항 1에 기재의 리니어 모터 전기자에 있어서, 상기 2개의 전기자 권선을 각각 한 번에 감기로 형성하는 것에 대신하여, 상기 2개의 전기자 권선의 일단끼리를 직접 서로 결선한 것을 특징으로 하고 있다.According to a fifth aspect of the present invention, in the linear motor armature according to the first aspect, instead of winding the two armature windings one at a time, one ends of the two armature windings are directly connected to each other .

청구항 6에 기재의 리니어 모터 전기자의 발명은, 청구항 1에 기재의 리니어 모터 전기자에 있어서, 에어(air)를 하방을 향해 분출하는 복수의 에어 분출구를 설치한 냉각 파이프를 상기 전기자의 바닥면에 설치한 것을 특징으로 하고 있다.According to a sixth aspect of the invention, there is provided a linear motor armature as set forth in the first aspect, wherein a cooling pipe provided with a plurality of air blowing openings for blowing air downward is provided on the bottom surface of the armature .

청구항 7에 기재의 발명은, 청구항 6에 기재의 리니어 모터 전기자에 있어서, 상기 복수의 에어 분출구를 상기 냉각 파이프에 등간격으로 설치한 것을 특징으로 하고 있다.According to a seventh aspect of the present invention, in the linear motor armature according to the sixth aspect of the invention, the plurality of air spouts are provided at equal intervals in the cooling pipe.

청구항 8에 기재의 리니어 모터의 발명은, 서로 평행하게 뻗어있는 2개의 계자 요크(field magnet york)와 상기 계자 요크의 서로 대향하는 측에 극성이 스트로크 방향으로 교대로 다르도록 배치된 복수의 영구자석으로 이루어지는 2개의 계자극과, 상기 2개의 계자극의 사이에 놓여진 청구항 1 내지 7 중 어느 한 항 기재의 리니어 모터 전기자를 구비하여 상기 계자극과 상기 전기자의 어느 한쪽을 고정자로 하고 다른 한쪽을 가동자로 한 것을 특징으로 하고 있다.According to an eighth aspect of the present invention, there is provided a linear motor comprising two field magnet yokes extending in parallel with each other and a plurality of permanent magnets arranged alternately in the stroke direction on opposite sides of the field yoke, And a linear motor armature according to any one of claims 1 to 7, which is interposed between the two system magnetic poles, so that either one of the system magnetic pole and the armature is used as a stator and the other is operated As shown in FIG.

청구항 9에 기재의 발명은, 청구항 8에 기재의 리니어 모터에 있어서, 상기 계자극이 상기 전기자보다 스트로크 방향으로 짧은 계자 요크에 직선 형상으로 배치된 복수개의 주극 영구자석과, 상기 계자 요크의 스트로크 방향 양단에 장착된 보극 영구자석으로 이루어지고, 상기 전기자를 고정자로 하고, 상기 계자극을 가동자로 한 것을 특징으로 하고 있다.According to a ninth aspect of the present invention, in the linear motor according to the eighth aspect, the permanent magnet has a plurality of permanent magnets arranged linearly on a field yoke shorter in the stroke direction than the armature, And a permanent magnet fixed on the both ends of the permanent magnet, wherein the armature serves as a stator and the permanent magnet serves as a movable element.

청구항 10에 기재의 발명은, 청구항 9에 기재의 리니어 모터에 있어서, 상기 단자대에 접속된 상기 전기자 권선을, 상기 계자극과 대향하는 전기자 권선만을 여자하도록 시간적으로 전환하도록 한 것을 특징으로 하고 있다.According to a tenth aspect of the present invention, in the linear motor according to the ninth aspect, the armature winding connected to the terminal block is temporally switched so that only the armature winding opposed to the system magnetic pole is excited.

<발명의 효과> EFFECTS OF THE INVENTION [

청구항 1에 기재의 발명에 의하면, 양측의 전기자 권선을 한 번에 감기로 하였으므로, 2개의 전기자 권선끼리의 결선 행정을 생략할 수가 있어 생산성이 향상되고, 또한 각 전기자 권선의 감기 시작 및 감기 마침을 전기자 외부에 설치한 단자대에 결선함으로써, 결선 기판무(substrateless)화가 가능하게 됨과 아울러 결선을 간단하고 자유롭게 바꿀 수 있게 된다.According to the invention as set forth in claim 1, since the armature windings on both sides are wound one at a time, the wiring process of the two armature windings can be omitted, productivity can be improved, and the winding start and winding end of each armature winding can be prevented By connecting to the terminal block provided outside the armature, it becomes possible to make the wiring board substeless, and the wiring can be changed easily and freely.

청구항 2에 기재의 발명에 의하면, 각 단자대의 U·V·W상의 각각을 직렬 결선함으로써, 전원으로부터 공급하는 전류의 억제를 할 수 있게 된다According to the invention as set forth in claim 2, by connecting each of the U, V and W phases of the respective terminal blocks in series, the current supplied from the power supply can be suppressed

청구항 3에 기재의 발명에 의하면, 각 단자대의 U·V·W상의 각각을 병렬 결선함으로써, 전기자 권선에 유기되는 전압의 억제, 즉 모터 주행 속도의 향상이 가능하게 되어 요구되는 모든 모터 성능에 대응할 수 있게 된다According to the invention as set forth in claim 3, it is possible to suppress the voltage induced in the armature winding, that is, to improve the motor running speed by connecting each of the U, V and W phases of the respective terminal blocks in parallel, Be able to

청구항 4에 기재의 발명에 의하면, 코깅(cogging)이 생기기 어려워진다.According to the invention described in claim 4, cogging is less likely to occur.

청구항 5에 기재의 발명에 의하면, 기존의 전기자 권선을 이용하여도 한 번에 감기의 경우와 같은 효과, 즉 결선 기판무화가 가능하게 됨과 아울러 결선을 간단하고 자유롭게 바꿀 수 있게 된다.According to the invention as set forth in claim 5, even when the conventional armature winding is used, the same effect as in the case of winding at once can be achieved, that is, the wiring board can be atomized, and the wiring can be changed easily and freely.

청구항 6에 기재의 발명에 의하면, 냉각 파이프를 전기자의 바닥면에 설치하였으므로, 모터의 전기적 특성이 손실되는 일 없고 액추에이터의 사이즈가 커지는 일 없는 리니어 모터를 얻을 수 있다.According to the sixth aspect of the present invention, since the cooling pipe is provided on the bottom surface of the armature, it is possible to obtain a linear motor in which the electrical characteristics of the motor are not lost and the size of the actuator is not increased.

청구항 7에 기재의 발명에 의하면, 복수의 에어 분출구를 냉각 파이프에 등간격으로 설치하였으므로 효율적인 냉각을 행할 수가 있다.According to the invention as set forth in claim 7, since a plurality of air blowing ports are provided at equal intervals in the cooling pipe, efficient cooling can be performed.

청구항 8에 기재의 발명에 의하면, 모터 구동 시의 열 발생 손실을 억제하여 부하로의 전열을 억제하는 고효율의 리니어 모터를 얻을 수 있게 된다.According to the eighth aspect of the present invention, it is possible to obtain a high-efficiency linear motor that suppresses heat generation loss during motor driving and suppresses heat transfer to the load.

청구항 9에 기재의 발명에 의하면, 계자 요크, 영구자석, 보극 영구자석으로 이루어지는 계자극의 스트로크 방향 길이를 전기자보다 짧게 하고, 전기자를 고정자로 하고 계자극을 가동자로 함으로써, 모터 케이블이 기어 돌아다니지 않게 하는 간단한 구동 기구를 실현할 수 있게 된다. According to the invention of claim 9, since the stroke direction length of the field pole made of the field yoke, the permanent magnet, and the permanent magnet for the bipolar permanent magnet is shorter than that of the armature and the armature is used as a stator and the system magnetic pole as a mover, It is possible to realize a simple driving mechanism which does not require a driving force.

청구항 10에 기재의 발명에 의하면, 여자(勵磁)하는 전기자 권선을 시간적으로 전환함으로써 모터 열발생 손실을 억제한 고효율 구동이 가능하게 된다.According to the invention as set forth in claim 10, by switching the armature winding to be energized temporally, it becomes possible to perform high-efficiency driving in which loss of motor heat generation is suppressed.

도 1은 본 발명의 실시예 1에 관련되는 리니어 모터의 정면 단면도이다.1 is a front sectional view of a linear motor according to a first embodiment of the present invention.

도 2는 실시예 1에 관련되는 리니어 모터의 전자부(電磁部)의 상면도이다.2 is a top view of an electronic part (electromagnetic part) of the linear motor according to the first embodiment.

도 3은 실시예 1에 관련되는 각 상의 2개의 전기자 권선의 한 번에 감기를 설명하는 상면도이다.Fig. 3 is a top view for explaining winding of two armature windings of each phase according to the first embodiment at one time; Fig.

도 4는 실시예 1에 관련되는 리니어 모터의 상면도이다.4 is a top view of the linear motor according to the first embodiment.

도 5는 실시예 1에 관련되는 리니어 모터의 측면도이다.5 is a side view of the linear motor according to the first embodiment.

도 6은 실시예 1에 관련되는 각 전기자 권선의 결선 회로도이다.6 is a wiring circuit diagram of each armature winding according to the first embodiment.

도 7은 본 발명의 실시예 2를 나타내는 전자부 구성의 상세도이다.7 is a detailed view of an electronic part configuration showing a second embodiment of the present invention.

도 8은 본 발명의 실시예 2의 결선 회로를 설명하는 도로, (a)는 본 발명에 의한 한 번에 감기의 상태의 도이고, (b)는 실시예 2에 의한 직렬 결선 후의 회로도이다.Fig. 8 is a view for explaining a wiring circuit according to a second embodiment of the present invention, Fig. 8 (a) is a state of winding once according to the present invention, and Fig. 8 (b) is a circuit diagram after series connection according to the second embodiment.

도 9는 본 발명의 실시예 3의 냉각 방법이 실시된 리니어 모터의 정면도이다.9 is a front view of a linear motor to which a cooling method according to a third embodiment of the present invention is applied.

도 10은 도 9의 냉각계(3)(일점쇄선의 테두리안)의 확대도이다.Fig. 10 is an enlarged view of the cooling system 3 (in the frame of one dotted line) in Fig.

도 11은 본 발명의 실시예 3이 적용된 리니어 모터의 평면도이다.11 is a plan view of a linear motor to which a third embodiment of the present invention is applied.

도 12는 종래 기술에 의한 리니어 모터의 정면 단면도이다.12 is a front cross-sectional view of a conventional linear motor.

도 13은 그 각 상의 전기자 권선의 결선 관계를 설명하는 상면도이다.Fig. 13 is a top view for explaining the connection relationship of the armature winding of each phase. Fig.

도 14는 종래 기술에 의한 리니어 모터의 측면도이다.14 is a side view of a conventional linear motor.

도 15는 종래 기술에 의한 냉각 장치를 구비한 리니어 모터의 정면 단면도이다.15 is a front sectional view of a linear motor having a cooling device according to the prior art.

도 16은 종래 기술에 의한 다른 냉각 장치를 구비한 리니어 모터의 정면 단면도이다.16 is a front sectional view of a linear motor having another cooling device according to the prior art.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명> Description of the Related Art

1 :　전기자 1: Armature

1a :　전기자 권선 1b :　전기자 코어 1a: armature winding 1b: armature core

1b1 :　주 티스(main teeth) 1b2 :　보조 티스(auxiliary teeth)1b1: main teeth 1b2: auxiliary teeth

1c :　상 플레이트(upper plate) 1d :　하 플레이트(lower plate)1c: upper plate 1d: lower plate

1e :　전기자 권선 1f :　코일 인도선1e: Armature winding 1f: Coil lead wire

1k :　인도선 홈 1m :　볼트(bolt)1k: Lead wire slot 1m: Bolt

1n :　인출선 1s :　슬롯(slot)1n: Lead line 1s: Slot (slot)

2 :　계자극(field electrode) 2: Field electrode

2a : 영구자석(주극)(main-pole) 2a: permanent magnet (main pole) (main pole)

2b :　계자 요크(field yoke)2b: field yoke

2c :　영구자석(보조극)(auxiliary-pole)2c: auxiliary-pole (auxiliary pole)

2d :　고정자 베이스(base)2d: Stator base (base)

3 :　냉각계(cooling system)3: Cooling system

3a :　냉각 파이프 3b :　파이프 고정부3a: cooling pipe 3b: pipe fixing portion

3c :　에어 분출구3c: Air outlet

3in :　에어 입구 3out :　에어 출구3in: air inlet 3out: air outlet

4i :　동관(copper pipe) 4j :　냉각 재킷(cooling jacket)4i: copper pipe 4j: cooling jacket

5 :　단자대(端子臺)5: Terminal block

6 :　모터 리드(motor lead)6: Motor lead

7 :　커넥터(connector)7: Connector

9 :　결선 기판9: Connection board

Lu :　에어Lu: Air

이하, 본 발명의 실시의 형태에 대해서 도를 참조하여 설명한다. 또 본 발명에 있어서 종래와 같은 구성 요소에 대해서는 동일 부호를 붙여 중복 설명을 생략하고 다른 점만 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the present invention, the same constituent elements as those in the prior art are denoted by the same reference numerals, and a duplicate description thereof will be omitted and only different points will be described.

<실시예 1>  &Lt; Example 1 >

도 1 ~ 도 6은 본 발명의 실시예 1에 관련되는 리니어 모터를 설명하는 도이다.1 to 6 illustrate a linear motor according to a first embodiment of the present invention.

도 1은 본 발명의 실시예 1에 관련되는 리니어 모터의 정면 단면도, 도 2는 도 1의 전자부의 상면도, 도 3은 각 상의 2개의 전기자 권선의 한 번에 감기를 설명하는 상면도, 도 4는 리니어 모터의 상면도, 도 5는 그 측면도, 도 6은 각 전기자 권선의 결선 회로도를 각각 나타내고 있다.Fig. 1 is a front sectional view of a linear motor according to a first embodiment of the present invention, Fig. 2 is a top view of the electronic part in Fig. 1, Fig. 3 is a top view for explaining winding of two armature windings in each phase, 4 is a top view of the linear motor, FIG. 5 is a side view thereof, and FIG. 6 is a wiring diagram of each armature winding.

도 1 및 도 2에 있어서, 2개가 대향하여 배치된 계자 요크(2b)의 각각의 대향하는 측에 복수의 영구자석(2a)을 극성이 교대로 다르도록 직선 형상으로(도 1의 지면에서 수직 방향으로) 배치하고, 2개의 계자극(2)의 사이에 자기 공극을 개입시켜 전기자(1)를 배치하고 있다. 가동자로 되는 상 플레이트(1c)의 하방에 전기자 코어(1b)가 고정되고, 전기자 코어(1b)는 U상·V상·W상의 각 상마다 설치되고, 1개의 전기자 코어(1b)에는 각각 2개의 전기자 권선(코일)(1a)이 감아 돌려져 있다.In Fig. 1 and Fig. 2, a plurality of permanent magnets 2a are arranged on opposite sides of two field yokes 2b arranged opposite to each other in a straight line shape (in Fig. 1, , And the armature 1 is disposed between the two system magnetic poles 2 with a magnetic gap interposed therebetween. An armature core 1b is fixed to a lower portion of a phase plate 1c serving as a mover. An armature core 1b is provided for each phase of a U-phase, a V-phase and a W-phase, The armature windings (coils) 1a are wound and turned.

이들 2개의 전기자 권선(1a)은, 도 3에 나타내듯이 각 상(U·V·W상)마다 각각 2개의 전기자 권선 U1L과 U1R을, V1L과 V1R을, W1L과 W1R을, U2L과 U2R을, V2L과 V2R을, W2L과 W2R을(도 13의 결선 기판(9) 상에서 결선하는 일 없이,) 코일 인도선(1f)으로 나타내듯이 한 번에 감기로 형성하고 있는 점이 특징이다.As shown in Fig. 3, these two armature windings 1a have two armature windings U1L and U1R, respectively, V1L and V1R, W1L and W1R, U2L and U2R for each phase (U, V, W phase) , And V2L and V2R are formed by winding one at a time, as indicated by the coil lead wire 1f (without wiring on the wiring board 9 in Fig. 13), and W2L and W2R.

전기자 코어(1b)의 1개의 형상은 도 2의 해칭(hatching)으로 나타낸 전기자 코어(1b)와 같은 형상을 하고 있다. 즉, 1개의 전기자 코어(1b)의 형상은, 스트로크 방향의 한쪽 중앙에 오목부와, 스트로크 방향의 다른 한쪽 중앙에 볼록부와, 스트로크 방향의 상기 오목부 및 상기 볼록부의 중간에 볼트 구멍(bolt hole)과, 직각 방향으로 양단 근방에 각각 코일 수납용의 슬롯(1s)과 2개의 슬롯(1s)을 연결하는 인도선 홈(1k)이 각각 형성되어 있다. 코일 인도선(1f)은 그 인도선 홈(1k) 내에 수납되어 보호되고 있다.One shape of the armature core 1b has the same shape as the armature core 1b shown by hatching in Fig. In other words, one armature core 1b has a concave portion at one center in the stroke direction, a convex portion at the other center in the stroke direction, a concave portion in the stroke direction, and a bolt and a lead wire groove 1k for connecting a slot 1s for accommodating a coil and two slots 1s are formed in the vicinity of both ends in a direction perpendicular to the direction. The coil lead wire 1f is housed and protected in the lead wire groove 1k.

도 4 및 도 5에 있어서, 상 플레이트(upper plate)(1c)의 하방에 전기자 코어(1b)(도 2)가 각 상마다 볼트(1m)로 고정되어 있다. 하 플레이트(lower plate)(1d)의 스트로크 방향을 따라 양단에 단자대(5)가 설치되고, 2개의 전기자 권선(1a)(도 1)의 양단의 인출선(1n)이 단자대(5)에 접속된다(도 5 참조). 각 단자대(5)의 각 상단자(phase terminals)에는 각각 모터 리드(6)가 접속되고 한데 모아 커넥터(7)에 접속된다. 복수의 전기자 권선(1a)을 도 6에서 나타내듯이, 우측의 전기자 권선(1a)을 한데 모아 접속하는 결선 방법으로 하기에는 커넥터(7)(도 4)의 측에서 모두 접속함으로써 간단하게 실현할 수가 있다.4 and 5, an armature core 1b (Fig. 2) is fixed to each phase with bolts 1m below the upper plate 1c. The terminal block 5 is provided at both ends along the stroke direction of the lower plate 1d and the lead wires 1n at both ends of the two armature windings 1a (Fig. 1) are connected to the terminal block 5 (See FIG. 5). The motor leads 6 are connected to the phase terminals of each terminal block 5 and are connected together to the connector 7. As shown in Fig. 6, the plurality of armature windings 1a can be easily realized by connecting all the armature windings 1a on the right side by connecting them together on the side of the connector 7 (Fig. 4).

또, 도 8(a)와 같은 한 번에 감겨진 좌우의 전기자 권선(1a)을 또한 도 8(b) 와 같이 각 상마다 접속하는 결선을 실시하고 싶을 때도, (전기자(1)의 내부를 비우는 것을 하지 않아도) 도 8의 커넥터(7)(도 4)의 측에서 스위칭 소자를 이용하여 간단하게 실현할 수가 있다.Even when it is desired to connect the left and right armature windings 1a wound at one time as shown in Fig. 8 (a) to each phase as shown in Fig. 8 (b) It can be easily realized by using a switching element on the side of the connector 7 (Fig. 4) of Fig.

이상과 같이, 본 실시예에서는 각 전기자 권선(1a)의 좌우 양측으로부터 나와 있는 모터 리드 중 편측을 모두 단락(도 6 참조) 하면(즉, 결선 상은 병렬 결선으로 한다) 직렬 결선시에 비해서 유기전압을 억제할 수 있기 때문에(도 6에서는 U·V·W 각 상 5코일씩이고, 유기전압은 직렬 결선시의 5분의 1로 된다), 고속 구동 요구에 대응 가능하게 된다.As described above, in this embodiment, when all of the motor leads out of both the left and right sides of each armature winding 1a are short-circuited (see Fig. 6) (In Fig. 6, each phase of U, V, W is 5 coils, and the induced voltage becomes one fifth of that in series connection), so that it becomes possible to cope with a high-speed driving demand.

또, 전기자 권선(1a)을 직렬 결선(도 8(b) 참조)으로 하면, 병렬 결선시에 비해, 전원으로부터 전기자로 공급하는 전류를 억제할 수 있게 된다(도 5에서는 UVW 각 상 5코일씩이고, 공급 전류는 병렬 결선시의 5분의 1로 된다).When the armature winding 1a is connected in series (see Fig. 8 (b)), the current supplied from the power source to the armature can be suppressed as compared with the case of parallel connection (in Fig. 5, And the supply current is one fifth of that in the parallel connection).

종래 장치에서는 전기자(1)의 내부에 있는 결선 기판 상에서 결선을 행하고 있었으므로 결선을 간단하게 변경할 수가 없었지만, 본 발명과 같이 도 8(a)의 한 번에 감겨진 좌우의 전기자 권선(1a)의 각 인출선(1n)(도 5)을 전기자(1)의 외부에 있는 단자대(5)에 결선함으로써. 각종 결선을 외부에서 간단하게 실현할 수 있으므로, 모든 요구 성능에 대응하는 것이 가능하게 된다.In the conventional device, since the wiring is performed on the wiring board inside the armature 1, the wiring can not be easily changed. However, as in the present invention, the left and right armature windings 1a By connecting each lead line 1n (Fig. 5) to the terminal block 5 outside the armature 1, Various types of wiring can be easily realized from the outside, so that it is possible to cope with all required performance.

<실시예 2>  &Lt; Example 2 >

도 7 및 도 8은 본 발명의 리니어 모터의 실시예 2를 나타내는 것으로, 도 7은 전자부(電磁部) 구성의 상세도를, 도 8은 코일의 결선 회로를 설명하는 도로, (a)는 본 발명에 의한 한 번에 감기의 상태의 도, (b)는 실시예 2에 의한 직렬 결 선 후의 회로도를 각각 나타내고 있다.7 and 8 show a second embodiment of a linear motor according to the present invention. Fig. 7 shows a detailed view of the configuration of an electromagnetic part, Fig. 8 shows a road for explaining a wiring circuit of a coil, (B) shows a circuit diagram after the series connection according to the second embodiment, and Fig.

도 7 및 도 8에서는, 전기자(1)보다도 스트로크 방향으로 짧은 계자 요크(2b)에 직선 형상으로 복수개의 영구자석(2a)을 배치하고, 또한 계자 요크(2b)의 스트로크 방향 양단에 보극 영구자석(2c)을 장착하고, 전기자(1)를 고정자로 하고 계자극(2)을 가동자로 한 점에 특징이 있다.7 and 8 show that a plurality of permanent magnets 2a are linearly arranged on the field yoke 2b shorter in the stroke direction than the armature 1 and the permanent magnets 2a are disposed on both ends of the field yoke 2b in the stroke direction, The armature 1 is used as a stator and the system magnetic pole 2 is used as a movable element.

도 8(a)에 나타내듯이, 실시예 2에서는, U·V·W 각 상에 유기되는 전압이 상시 삼상 평형을 유지하기 위해서, 각 전기자 권선의 좌우 양측으로부터 나와 있는 U·V·W 각 상을 도 8(b)와 같이 각각 직렬 결선하고 있다. 도 7 및 도 8의 예는, 모든 전기자 권선을 상시 여자한 것으로 되어 있지만, 여자하는 전기자 권선을 시간적으로 전환할 수도 있다. 이에 의해 모터 구동 시에 전기자 권선에 발생하는 손실을 최소한까지 억제하고 고효율 구동이 가능하게 된다.As shown in Fig. 8 (a), in the second embodiment, in order to maintain the three-phase balance at all times of the voltages induced in the U, V, W phases, the U, V, W phases Are connected in series as shown in Fig. 8 (b). In the examples of Figs. 7 and 8, all the armature windings are excited at all times, but the exciting armature windings may be switched in time. As a result, the loss generated in the armature winding at the time of driving the motor can be minimized and high-efficiency driving becomes possible.

이상 설명한 것처럼, 리니어 모터에 있어서 전기자 권선의 결선을 전기자 내부에 배설(配設)한 기판 상에서 행하는 것이 아니라, 각 전기자 권선을 전기자의 외부에 장착한 단자대에 결선함으로써, 전기자 가동형 혹은 계자극 가동형의 어느 쪽에도 적용할 수 있고, 또 결선 방법을 자유롭게 바꿀 수 있기 때문에, 모든 요구 성능에 대응한 모터를 제공할 수 있게 된다.As described above, by connecting the armature windings to the terminal block mounted on the outside of the armature instead of wiring the armature windings on the board in which the wiring of the armature winding is arranged in the armature, It is possible to freely change the wiring method, and thus it is possible to provide a motor corresponding to all required performance.

또한, 이상의 예에서는 2개의 전기자 권선을 각각 한 번에 감기로 형성하고 있었지만, 기존의 전기자 권선을 2개 이용하는 것도 물론 가능하다. 그 경우, 2개의 전기자 권선은 결선 기판을 개재시켜 결선하는 것이 아니라, 2개의 전기자 권선의 코일단 끼리를 본 발명에 따라 직접 접속하거나, 혹은 다른 리드 선으로 코일 인도선(1f)(도 3)에 상당하는 부분을 대용시켜도 좋다.Further, in the above example, the two armature windings are each formed by winding one at a time, but it is of course possible to use two existing armature windings. In this case, the two armature windings are not connected to each other via the wiring board, but the coil ends of the two armature windings may be directly connected according to the present invention, or the coil lead wires 1f (Fig. 3) May be replaced with a portion corresponding to the above.

<실시예 3>  &Lt; Example 3 >

본 발명의 실시예 3의 리니어 모터 냉각 방법을 도 9 ~ 도 11에 나타낸다.Figs. 9 to 11 show a linear motor cooling method according to the third embodiment of the present invention. Fig.

도 9는 실시예 3의 냉각 방법이 실시된 리니어 모터의 정면도, 도 10은 도 9의 냉각계(3)(일점쇄선의 테두리안)의 확대도, 도 11은 리니어 모터의 평면도를 각각 나타내고 있다.Fig. 9 is a front view of the linear motor to which the cooling method of the third embodiment is applied, Fig. 10 is an enlarged view of the cooling system 3 (in the frame of one dot chain line) in Fig. 9, and Fig. 11 is a plan view of the linear motor have.

실시예 3의 리니어 모터 냉각 방법은 리니어 모터의 전기자 바닥면에 파이프 고정부(3b)에 의해 냉각 파이프(3a)를 고정한 것이 특징이다.The cooling method of the linear motor according to the third embodiment is characterized in that the cooling pipe 3a is fixed to the bottom surface of the armature of the linear motor by the pipe fixing portion 3b.

도 9와 같이 구성함으로써, 실시예 3의 냉각계(3)는 도 10에 나타내듯이, 냉각 파이프(3a)에 유입한 에어(Lu)가 에어 분출구(3c)(도 11)로부터 고정자 베이스(2d)로 향해 분출되고, 그 반사 에어(Lu)로 전기자(1)를 냉각하는 것으로 되고, 이에 의해 부하로의 전열을 억제하는 것이 가능하게 된다.9, the cooling system 3 of the third embodiment is configured such that the air Lu flowing into the cooling pipe 3a flows from the air blowing port 3c (Fig. 11) to the stator base 2d , And the armature 1 is cooled by the reflection air Lu, thereby making it possible to suppress heat transfer to the load.

이와 같이, 실시예 3에서는, 전기자의 바닥면과 고정자 베이스간의 스페이스(space)를 이용하여 냉각을 행함으로써, 액추에이터 전체의 사이즈를 늘리는 일 없이, 부하로의 전열을 억제할 수가 있기 때문에, 액정·반도체의 제조 장치나 검사 장치, 혹은 반도체 실장 장치 등에 적용 가능하다.As described above, in the third embodiment, since the cooling is performed by using the space between the bottom surface of the armature and the stator base, the heat transfer to the load can be suppressed without increasing the size of the entire actuator, A semiconductor manufacturing apparatus, a testing apparatus, or a semiconductor mounting apparatus.

본 발명의 리니어 모터 전기자는, 전기자의 각 티스(teeth)의 양 슬롯(slot)에 감아 돌려지는 2개의 전기자 권선을 코일 인도선을 이용하여 한 번에 감기로 형성하고, 각각의 전기자 권선의 감기 시작 및 감기 마침을 전기자의 외부에 있는 단 자대에 결선을 간단하게 실현할 수 있으므로, 모든 요구 성능에 대응한 리니어 모터를 제공할 수가 있어 액정·반도체의 제조 장치 등에 적용 가능한 것은 물론이다.The linear motor armature of the present invention is characterized in that two armature windings wound on both slots of each tooth of the armature are formed by winding one at a time using a coil lead wire, It is possible to easily realize the connection of the start and the winding end to the terminal block located outside the armature. Therefore, it is possible to provide a linear motor corresponding to all required performance, and of course, the present invention can be applied to a liquid crystal / semiconductor manufacturing apparatus.

Claims (10)

티스와 상기의 티스의 각각 계자극측의 근방에 형성된 2개소의 슬롯을 가지는 전기자 코어와, 상기 슬롯에 각각 감아 돌려지는 2개의 전기자 권선과, 상기 전기자 코어를 위와 아래로부터 샌드위치 형상으로 끼우는 상 플레이트 및 하 플레이트를 설치하여 이루어지는 리니어 모터 전기자에 있어서,An armature core having two slots formed in the vicinity of magnetic poles of the tooth and the teeth, two armature windings wound around the slots, and an upper plate sandwiching the armature core sandwiched from above and below, And a lower plate are provided in the linear motor armature, 상기 하 플레이트의 양단에 스트로크를 따라 단자대를 장착하고,A terminal block is attached to both ends of the lower plate along a stroke, 상기 전기자 코어에는 상기 2개소의 슬롯을 연결하는 인도선 홈이 형성되어 있고,The armature core is formed with lead wire grooves connecting the two slots, 상기 2개의 전기자 권선을 각각 한 번에 감기로 형성하고, 상기 2개의 전기자 권선의 코일 인도선을 상기 인도선 홈내에 수납하여 보호하고, 한편, Wherein the two armature windings are each formed by winding one at a time and the coil lead wires of the two armature windings are housed and protected in the lead wire groove, 각각의 전기자 권선의 감기 시작 및 감기 마침을 상기 단자대에 결선한 것을 특징으로 하는 리니어 모터 전기자.Wherein the winding start and the winding end of each of the armature windings are connected to the terminal block. 제 1항에 있어서,The method according to claim 1, 상기 각 단자대의 U·V·W상의 각각을 직렬 결선한 것을 특징으로 하는 리니어 모터 전기자.Wherein the U, V and W phases of the respective terminal blocks are connected in series. 제 1항에 있어서,The method according to claim 1, 상기 각 단자대의 U·V·W상의 각각을 병렬 결선한 것을 특징으로 하는 리니어 모터 전기자.Wherein the U, V and W phases of the respective terminal blocks are connected in parallel. 제 1항에 있어서,The method according to claim 1, 상기 복수의 티스(주 티스라고 한다)의 스트로크 방향의 전단과 후단에 상기 주 티스(main teeth)보다 소형의 보조 티스(auxiliary teeth)를 각각 배치한 것을 특징으로 하는 리니어 모터 전기자.And auxiliary teeth smaller than the main teeth are disposed at the front end and the rear end of the plurality of teeth (referred to as main teeth) in the stroke direction. 제 1항에 있어서,The method according to claim 1, 상기 2개의 전기자 권선을 각각 한 번에 감기로 형성하는 것에 대신하여, 상기 2개의 전기자 권선의 일단 끼리를 직접 서로 결선한 것을 특징으로 하는 리니어 모터 전기자.Wherein one end of each of the two armature windings is directly connected to each other instead of winding the two armature windings one at a time. 제 1항에 있어서,The method according to claim 1, 에어를 하방을 향해 분출하는 복수의 에어 분출구를 설치한 냉각 파이프를 상기 전기자 코어의 바닥면에 설치한 것을 특징으로 하는 리니어 모터 전기자.Wherein a cooling pipe provided with a plurality of air blowing outlets for blowing air downward is provided on the bottom surface of the armature core. 제 6항에 있어서,The method according to claim 6, 상기 복수의 에어 분출구를 상기 냉각 파이프에 등간격으로 설치한 것을 특징으로 하는 리니어 모터 전기자.Wherein the plurality of air blowing outlets are provided at equal intervals in the cooling pipe. 서로 평행하게 뻗어있는 2개의 계자 요크와, 상기 계자 요크의 서로 대향하는 측에 극성이 스트로크 방향으로 교대로 다르도록 배치된 복수의 영구자석으로 이루어지는 2개의 계자극과,Two field yokes extending in parallel to each other and two field yokes each composed of a plurality of permanent magnets arranged so that the polarities of the field yokes are alternately different in the stroke direction on opposite sides of the field yoke, 상기 2개의 계자극의 사이에 놓여진 청구항 1 내지 청구항 7 중 어느 한 항에 기재된 리니어 모터 전기자를 구비하고, 상기 계자극과 상기 전기자의 어느 한쪽을 고정자로 하고 다른 한쪽을 가동자로 한 것을 특징으로 하는 리니어 모터.Characterized in that the linear motor armature according to any one of claims 1 to 7 placed between the two system magnetic poles is provided and either one of the system magnetic pole and the armature is used as a stator and the other is used as a mover Linear motor. 제 8항에 있어서,9. The method of claim 8, 상기 계자극이 상기 전기자보다 스트로크 방향으로 짧은 계자 요크에 직선 형상으로 배치된 복수개의 주극 영구자석과, 상기 계자 요크의 스트로크 방향 양단에 장착된 보극 영구자석으로 이루어지고, 상기 전기자를 고정자로 하고, 상기 계자극을 가동자로 한 것을 특징으로 하는 리니어 모터.A plurality of main pole permanent magnets linearly arranged in a field yoke shorter in the stroke direction than the armature in the magnetic pole direction and a permanent magnet for a sub magnetic pole mounted on both ends of the field yoke in the stroke direction, And the system magnetic pole is used as a movable element. 제 9항에 있어서,10. The method of claim 9, 상기 단자대에 접속된 상기 전기자 권선을, 상기 계자극과 대향하는 전기자 권선만을 여자하도록 시간적으로 전환하도록 한 것을 특징으로 하는 리니어 모터.Wherein the armature winding connected to the terminal block is temporally switched so as to excite only the armature winding opposed to the field pole.
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