KR101420228B1 - Improved Surface Acoustic Wave Atomizer for Electrostatic Deposition, and Spray-Type Pattern Forming Apparatus and Substrate Coating Apparatus Having the Same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 개선된 정전 증착용 표면 탄성파 분무 장치, 및 이를 구비한 스프레이 방식 패턴 형성 장치 및 기판 코팅 장치를 개시한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 표면 탄성파 분무 장치는 잉크 용액을 저장하는 잉크 저장부; 상기 잉크 저장부 내의 상기 잉크 용액을 진동시켜 양이온의 하전 입자를 발생시키도록 표면 탄성파를 발생시키는 표면 탄성파 발생 장치; 상기 잉크 저장부 상에 제공되는 하나 이상의 전극에 연결되는 전원 장치; 및 상기 잉크 저장부와 연결되며, 상기 잉크 용액을 상기 잉크 저장부에 순환 방식으로 공급 및 회수하는 잉크 순환 장치를 포함하고, 상기 잉크 저장부 내의 상기 잉크 용액은 상기 잉크 순환 장치에 의해 미리 정해진 일정한 점도를 유지하는 것을 특징으로 한다.The present invention relates to an improved electrostatic spray-wearing surface acoustic wave spraying apparatus, a spray type pattern forming apparatus and a substrate coating apparatus having the same.
According to an aspect of the present invention, there is provided a surface acoustic wave spraying apparatus comprising: an ink storage unit for storing an ink solution; A surface acoustic wave generator generating a surface acoustic wave to generate charged particles of positive ions by vibrating the ink solution in the ink reservoir; A power supply connected to one or more electrodes provided on the ink reservoir; And an ink circulation device connected to the ink reservoir and circulatingly supplying and recovering the ink solution to the ink reservoir, wherein the ink solution in the ink reservoir is circulated by the ink circulation device, And the viscosity is maintained.

Description

개선된 정전 증착용 표면 탄성파 분무 장치, 및 이를 구비한 스프레이 방식 패턴 형성 장치 및 기판 코팅 장치{Improved Surface Acoustic Wave Atomizer for Electrostatic Deposition, and Spray-Type Pattern Forming Apparatus and Substrate Coating Apparatus Having the Same}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to an improved electrostatic spraying surface acoustic wave spraying apparatus, and a spray type pattern forming apparatus and a substrate coating apparatus having the same.

본 발명은 개선된 정전 증착용 표면 탄성파 분무 장치, 및 이를 구비한 스프레이 방식 패턴 형성 장치 및 기판 코팅 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an improved electrostatic spray-wearing surface acoustic-wave spraying apparatus, and a spray-type pattern forming apparatus and a substrate-coating apparatus having the same.

좀 더 구체적으로, 본 발명은 표면 탄성파를 이용한 정전 증착용 분무 장치에 사용되는 잉크 용액을 순환 방식으로 공급함으로써, 하전입자를 발생시키는 잉크 용액을 계속 사용하더라도 일정한 점도를 유지시키고, 그에 따라 스프레이 방식으로 도포된 복수의 패턴 또는 박막이 일정한 점도를 유지하여 최종 제품의 품질이 향상되고 불량 발생 가능성이 최소화되는 개선된 정전 증착용 표면 탄성파 분무 장치, 및 이를 구비한 스프레이 방식 패턴 형성 장치 및 기판 코팅 장치를 제공하기 위한 것이다.More specifically, the present invention provides an ink solution used in an electrostatic spraying apparatus using a surface acoustic wave in a circulating manner, thereby maintaining a constant viscosity even when an ink solution for generating charged particles is continuously used, A plurality of patterns or thin films applied on the substrate are maintained in a constant viscosity to improve the quality of the final product and minimize the possibility of occurrence of defects, and a spray type pattern forming apparatus and a substrate coating apparatus .

일반적으로 PDP 패널, LCD 패널, 또는 OLED(유기 발광소자)과 같은 유기 EL 패널과 같은 FPD 또는 FPD의 부품을 제조하기 위해서는 글래스와 같은 기재(基材) 또는 작업물(work piece: 이하 "기판"이라 한다) 상에 R, G, B 픽셀 등과 같은 패턴을 형성하여야 한다. 이러한 패턴 형성 장치의 하나로 종래 기술에서는 마스크(선택 사양)와 스프레이 장치를 포함하는 패턴 형성 장치를 사용하여 포토레지스트(PR)액 또는 금속 페이스트(paste)(이하 통칭하여 "잉크"라 한다)를 기판 상에 도포시켜 패턴을 형성한다.Generally, in order to manufacture parts of FPD or FPD such as PDP panel, LCD panel, or organic EL panel such as OLED (organic light emitting device), a substrate or a work piece such as glass, A pattern such as R, G, or B pixels should be formed on the surface of the substrate. As one of such pattern forming apparatuses, in the prior art, a photoresist (PR) solution or a metal paste (hereinafter collectively referred to as "ink") is formed on a substrate To form a pattern.

상술한 종래 기술의 스프레이 방식 패턴 형성 장치에서 잉크를 도포하는 스프레이 장치의 하나로 표면 탄성파(surface acoustic wave: SAW)를 이용한 정전 증착(electrostatic deposition)용 분무 장치(이하 "표면 탄성파 분무 장치"라 한다)가 사용되고 있다.(Hereinafter referred to as "surface acoustic wave spraying apparatus ") using a surface acoustic wave (SAW) as one of the spraying apparatuses for applying ink in the above- Is used.

좀 더 구체적으로, 도 1a는 종래 기술에 따른 표면 탄성파 분무 장치 및 이를 구비한 스프레이 방식 패턴 형성 장치의 개략적인 사시도를 도시한 도면이다.More specifically, FIG. 1A is a schematic perspective view of a surface acoustic wave atomizing apparatus and a spraying pattern forming apparatus having the same according to the related art.

도 1a를 참조하면, 종래 기술의 스프레이 방식의 패턴 형성 장치(100)는 표면 탄성파 분무 장치(111)를 포함한다. 표면 탄성파 분무 장치(111)는 잉크 저장부(114) 상에 제공되는 하나 이상의 전극(118)에 연결되는 전원 장치(216)와 연결되어 있다. 또한, 기판(130)은 기판 지지용 전극판(132)을 통해 접지되어 있다. 전원 장치(116)에 의해 전압이 인가되면, 표면 탄성파 분무 장치(111)는 표면 탄성파 발생 장치(112)에 의해 발생된 표면 탄성파를 이용하여 잉크 저장부(114)에 제공되는 잉크 용액(S)을 진동시켜 양이온의 하전 입자를 발생시키고, 발생된 하전 입자는 예를 들어 마스크(120)에 형성된 복수의 패턴 홀(122)을 통해 스프레이 방식으로 분사되어 기판(130) 상에 정전 증착되어 복수의 패턴(124a)을 형성할 수 있다.Referring to FIG. 1A, a spray pattern forming apparatus 100 of the prior art includes a surface acoustic wave spraying apparatus 111. The surface acoustic wave spraying device 111 is connected to a power supply 216 connected to one or more electrodes 118 provided on the ink reservoir 114. Further, the substrate 130 is grounded via the electrode plate 132 for supporting the substrate. When the voltage is applied by the power supply device 116, the surface acoustic wave atomizer 111 applies the surface acoustic wave generated by the surface acoustic wave generator 112 to the ink solution S supplied to the ink reservoir 114, And the generated charged particles are sprayed in a spraying manner through a plurality of pattern holes 122 formed in the mask 120 and electrostatically deposited on the substrate 130 to form a plurality of The pattern 124a can be formed.

또한, 도 1b는 또 다른 종래 기술에 따른 표면 탄성파 분무 장치 및 이를 구비한 스프레이 방식 패턴 형성 장치의 개략적인 사시도를 도시한 도면이다.1B is a schematic perspective view of a surface acoustic wave atomizing apparatus and a spraying pattern forming apparatus having the same according to another prior art.

도 1b를 참조하면, 또 다른 종래 기술에 따른 스프레이 방식의 패턴 형성 장치(100)에서는 도 1a의 경우와는 달리 마스크(120)가 사용되지 않는다. 따라서, 표면 탄성파 분무 장치(111)는 표면 탄성파 발생 장치(112)에 의해 발생된 표면 탄성파를 이용하여 잉크 저장부(114)에 제공되는 잉크 용액(S)을 진동시켜 양이온의 하전 입자를 발생시키고, 발생된 하전 입자는 스프레이 방식으로 기판(130) 상에 분사되어 기판(130) 표면 상에 전면 도포된 박막(124b)(예를 들어, 보호 커버)을 형성한다.Referring to FIG. 1B, in the spray pattern forming apparatus 100 according to another conventional technique, the mask 120 is not used unlike the case of FIG. 1A. Therefore, the surface acoustic wave spraying apparatus 111 vibrates the ink solution S provided to the ink reservoir 114 using the surface acoustic wave generated by the surface acoustic wave generator 112 to generate charged particles of positive ions , The generated charged particles are sprayed on the substrate 130 in a spray manner to form a thin film 124b (e.g., a protective cover) that is applied over the surface of the substrate 130. [

그러나, 상술한 도 1a 및 도 1b에 도시된 종래 기술의 표면 탄성파 분무 장치(111) 및 이를 구비한 스프레이 방식 패턴 형성 장치(100)에서는 잉크 저장부(114)에 제공된 잉크 용액(S)이 표면 탄성파 발생 장치(112)에 의해 발생된 진동에 의해 하전 입자를 발생시킴에 따라, 잉크 저장부(114) 내의 잉크 용액(S)의 점도가 변한다. 그에 따라, 예를 들어 10장의 기판(130)이 사용되는 경우, 10장의 기판(130) 상에 각각 도포되는 복수의 패턴(124a) 또는 전면 도포된 박막(124b)은 서로 점도가 상이하여, 균일한 점도를 갖는 복수의 패턴(124a) 또는 박막(124b)을 형성하기 어렵다는 문제가 있었다.However, in the surface acoustic wave atomizing apparatus 111 and the spraying pattern forming apparatus 100 having the same in the prior art shown in Figs. 1A and 1B, the ink solution S provided in the ink reservoir 114 is formed on the surface As the charged particles are generated by the vibration generated by the elastic wave generating device 112, the viscosity of the ink solution S in the ink reservoir 114 is changed. Accordingly, when ten substrates 130 are used, for example, the plurality of patterns 124a or the entire surface of the thin film 124b coated on the ten substrates 130 are different in viscosity from each other, There is a problem that it is difficult to form a plurality of patterns 124a or thin films 124b having a single viscosity.

또한, 서로 다른 기판(130) 상에 각각 형성된 복수의 패턴(124a) 또는 박막(124b) 이 서로 상이한 점도를 갖는 경우, 경화 공정 후에 기판(130) 상에 잔류하는 잉크의 양이 서로 달라져 복수의 패턴(124a) 또는 박막(124b)의 두께(즉, 높이)가 서로 상이하게 되어 최종 제품의 품질의 균일성을 달성하기 어려우며 심한 경우 불량이 발생할 수 있다.In the case where the plurality of patterns 124a or 124b formed on different substrates 130 have different viscosities, the amount of ink remaining on the substrate 130 after the curing process is different from each other, The thickness (i.e., height) of the pattern 124a or the thin film 124b is different from each other, so that it is difficult to achieve the uniformity of quality of the final product, and in the worst case, defects may occur.

한편, 도 1c는 종래 기술에 따른 부상 방식 기판 코팅 장치의 평면도 및 정단면도를 개략적으로 도시한 도면이다. 이러한 종래 기술에 따른 부상 방식 기판 코팅 장치는 본 출원인에 의해 2009년 11월 5일자로 "부상 방식의 코팅 시스템 및 방법"이라는 발명의 명칭으로 대한민국 특허출원 제10-2009-0106473호로 출원되어, 2011년 6월 14일자로 등록된 대한민국 특허 제10-1043051호에 상세히 기술되어 있다. 1C is a schematic view showing a plan view and a front cross-sectional view of a floating type substrate coating apparatus according to the related art. Such a float-type substrate coating apparatus according to the prior art was filed by the present applicant as a Korean Patent Application No. 10-2009-0106473 entitled " Floating-type coating system and method "issued on Nov. 5, Korean Patent No. 10-1043051, filed on June 14, 2004, which is incorporated herein by reference.

도 1c를 참조하면, 종래 기술에 따른 부상 방식 기판 코팅 장치(140)에서는 기판(130)이 이송 장치(184)의 한 쌍의 슬라이더(198) 상에 제공되는 흡착 패드(144) 상에 진공 흡착 방식으로 장착되어 한 쌍의 리니어 모션 가이드(196)를 따라 로딩 영역의 제 1 부상 유닛(176a)에서 코팅 영역의 제 2 부상 유닛(176b)을 거쳐 언로딩 영역의 제 3 부상 유닛(176c) 상으로 이송된다. 기판(130)이 코팅 영역의 제 2 에어 부상 유닛(176b) 상을 통과할 때, 노즐 장치(178)가 코팅액을 도포한다.1C, in a floating type substrate coating apparatus 140 according to the related art, a substrate 130 is vacuum-adsorbed on a suction pad 144 provided on a pair of sliders 198 of a transfer device 184 Mounted on the third floating unit 176c of the unloading region through the second floating unit 176b of the coating region from the first floating unit 176a of the loading region along a pair of linear motion guides 196 . When the substrate 130 passes over the second air floating unit 176b in the coating area, the nozzle device 178 applies the coating liquid.

그러나, 도 1c에 도시된 바와 같이 종래 기술에 따른 부상 방식 박막 코팅 시스템(140)에서는, 기판(130) 상에 코팅액을 도포하기 위해서는 노즐 장치(178) 및 노즐 장치(178)를 지지하기 위한 갠트리(150)가 사용되어야 한다. 그에 따라, 종래 기술의 부상 방식 박막 코팅 시스템(140)에서는 고가의 노즐 장치(178) 및 갠트리(150)가 사용되므로 전체 구성이 복잡할 뿐만 아니라, 전체 제조 비용이 증가한다는 문제가 발생한다.However, in the floating type thin film coating system 140 according to the related art, as shown in FIG. 1C, in order to apply the coating liquid on the substrate 130, the nozzle apparatus 178 and the nozzle apparatus 178, (150) should be used. Accordingly, since the expensive nozzle apparatus 178 and the gantry 150 are used in the floating type thin film coating system 140 of the related art, there arises a problem that not only the entire structure is complicated but also the total manufacturing cost is increased.

따라서, 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 새로운 방안이 요구된다.Therefore, there is a need for a new method for solving the problems of the above-described conventional techniques.

대한민국 특허 제10-1043051호Korean Patent No. 10-1043051

본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 표면 탄성파를 이용한 정전 증착용 분무 장치에 사용되는 잉크 용액을 순환 방식으로 공급함으로써, 하전입자를 발생시키는 잉크 용액을 계속 사용하더라도 일정한 점도를 유지시키고, 그에 따라 스프레이 방식으로 도포된 복수의 패턴 또는 박막이 일정한 점도를 유지하여 최종 제품의 품질이 향상되고 불량 발생 가능성이 최소화되는 개선된 정전 증착용 표면 탄성파 분무 장치, 및 이를 구비한 스프레이 방식 패턴 형성 장치 및 기판 코팅 장치를 제공하기 위한 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the above problems of the prior art, and it is an object of the present invention to provide an ink jet recording apparatus in which an ink solution used in an electrostatic spraying apparatus using surface acoustic waves is supplied in a circulating manner, A plurality of patterns or thin films applied by a spray method are maintained to maintain a constant viscosity, thereby improving the quality of the final product and minimizing the possibility of occurrence of defects, and a spray method A pattern forming apparatus, and a substrate coating apparatus.

본 발명의 제 1 특징에 따른 정전 증착용 표면 탄성파 분무 장치는 잉크 용액을 저장하는 잉크 저장부; 상기 잉크 저장부 내의 상기 잉크 용액을 진동시켜 양이온의 하전 입자를 발생시키도록 표면 탄성파를 발생시키는 표면 탄성파 발생 장치; 상기 잉크 저장부 상에 제공되는 하나 이상의 전극에 연결되는 전원 장치; 및 상기 잉크 저장부와 연결되며, 상기 잉크 용액을 상기 잉크 저장부에 순환 방식으로 공급 및 회수하는 잉크 순환 장치를 포함하고, 상기 잉크 저장부 내의 상기 잉크 용액은 상기 잉크 순환 장치에 의해 미리 정해진 일정한 점도를 유지하는 것을 특징으로 한다.An electrostatic spraying surface acoustic wave spraying apparatus according to a first aspect of the present invention includes: an ink storage portion for storing an ink solution; A surface acoustic wave generator generating a surface acoustic wave to generate charged particles of positive ions by vibrating the ink solution in the ink reservoir; A power supply connected to one or more electrodes provided on the ink reservoir; And an ink circulation device connected to the ink reservoir and circulatingly supplying and recovering the ink solution to the ink reservoir, wherein the ink solution in the ink reservoir is circulated by the ink circulation device, And the viscosity is maintained.

본 발명의 제 2 특징에 따른 스프레이 방식의 패턴 형성 장치는 기판; 상기 기판을 지지하며, 접지 상태 또는 음전압이 인가되는 전극판; 상기 기판의 하부에 제공되며, 복수의 패턴 홀을 구비하는 마스크; 및 상기 마스크의 하부에 제공되는 표면 탄성파 분무 장치를 포함하되, 상기 표면 탄성파 분무 장치는 잉크 용액을 저장하는 잉크 저장부; 상기 잉크 저장부 내의 상기 잉크 용액을 진동시켜 양이온의 하전 입자를 발생시키도록 표면 탄성파를 발생시키는 표면 탄성파 발생 장치; 상기 잉크 저장부 상에 제공되는 하나 이상의 전극에 연결되는 전원 장치; 및 상기 잉크 저장부와 연결되며, 상기 잉크 용액을 상기 잉크 저장부에 순환 방식으로 공급 및 회수하는 잉크 순환 장치를 포함하고, 상기 잉크 저장부 내의 상기 잉크 용액은 상기 잉크 순환 장치에 의해 미리 정해진 일정한 점도를 유지하는 것을 특징으로 한다. A spray pattern forming apparatus according to a second aspect of the present invention includes: a substrate; An electrode plate which supports the substrate and to which a grounded or negative voltage is applied; A mask provided below the substrate, the mask having a plurality of pattern holes; And a surface acoustic wave spraying device provided at a lower portion of the mask, wherein the surface acoustic wave spraying device comprises: an ink storage portion storing an ink solution; A surface acoustic wave generator generating a surface acoustic wave to generate charged particles of positive ions by vibrating the ink solution in the ink reservoir; A power supply connected to one or more electrodes provided on the ink reservoir; And an ink circulation device connected to the ink reservoir and circulatingly supplying and recovering the ink solution to the ink reservoir, wherein the ink solution in the ink reservoir is circulated by the ink circulation device, And the viscosity is maintained.

본 발명의 제 3 특징에 따른 스프레이 방식의 패턴 형성 장치는 기판; 상기 기판을 지지하며, 접지 상태 또는 음전압이 인가되는 전극판; 및 상기 기판(230)의 하부에 제공되는 표면 탄성파 분무 장치를 포함하되, 상기 표면 탄성파 분무 장치는 잉크 용액을 저장하는 잉크 저장부; 상기 잉크 저장부 내의 상기 잉크 용액을 진동시켜 양이온의 하전 입자를 발생시키도록 표면 탄성파를 발생시키는 표면 탄성파 발생 장치; 상기 잉크 저장부 상에 제공되는 하나 이상의 전극에 연결되는 전원 장치; 및 상기 잉크 저장부와 연결되며, 상기 잉크 용액을 상기 잉크 저장부에 순환 방식으로 공급 및 회수하는 잉크 순환 장치를 포함하고, 상기 잉크 저장부 내의 상기 잉크 용액은 상기 잉크 순환 장치에 의해 미리 정해진 일정한 점도를 유지하는 것을 특징으로 한다.A spray pattern forming apparatus according to a third aspect of the present invention includes: a substrate; An electrode plate which supports the substrate and to which a grounded or negative voltage is applied; And a surface acoustic wave spraying device provided at a lower portion of the substrate (230), wherein the surface acoustic wave spraying device comprises: an ink storage portion for storing an ink solution; A surface acoustic wave generator generating a surface acoustic wave to generate charged particles of positive ions by vibrating the ink solution in the ink reservoir; A power supply connected to one or more electrodes provided on the ink reservoir; And an ink circulation device connected to the ink reservoir and circulatingly supplying and recovering the ink solution to the ink reservoir, wherein the ink solution in the ink reservoir is circulated by the ink circulation device, And the viscosity is maintained.

본 발명의 제 4 특징에 따른 기판 코팅 장치는 로딩 영역에서 기판을 부상시키기 위한 제 1 부상 유닛; 코팅 영역의 하부에 제공되며, 상기 기판의 하부면 상에 잉크를 분사하는 표면 탄성파 분무 장치; 상기 코팅 영역 상에서 상기 표면 탄성파 분무 장치 및 상기 기판 사이에 제공되며, 복수의 패턴 홀을 구비하는 마스크; 언로딩 영역에서 상기 기판을 부상시키기 위한 제 3 부상 유닛; 상기 기판을 상기 제 1 부상 유닛에서 상기 코팅 영역을 거쳐 상기 제 3 부상 유닛으로 이송하는 이송장치; 및 상기 코팅 영역 상에 제공되며, 접지 상태 또는 음전압이 인가되는 전극판을 포함하되, 상기 표면 탄성파 분무 장치는 잉크 용액을 저장하는 잉크 저장부; 상기 잉크 저장부 내의 상기 잉크 용액을 진동시켜 양이온의 하전 입자를 발생시키도록 표면 탄성파를 발생시키는 표면 탄성파 발생 장치; 상기 잉크 저장부 상에 제공되는 하나 이상의 전극에 연결되는 전원 장치; 및 상기 잉크 저장부와 연결되며, 상기 잉크 용액을 상기 잉크 저장부에 순환 방식으로 공급 및 회수하는 잉크 순환 장치를 포함하고, 상기 잉크 저장부 내의 상기 잉크 용액은 상기 잉크 순환 장치에 의해 미리 정해진 일정한 점도를 유지하는 것을 특징으로 한다.A substrate coating apparatus according to a fourth aspect of the present invention includes: a first floating unit for floating a substrate in a loading region; A surface acoustic wave spraying device provided at a lower portion of the coating area and spraying ink onto the lower surface of the substrate; A mask provided between the surface acoustic wave spraying device and the substrate on the coating area, the mask having a plurality of pattern holes; A third floating unit for floating the substrate in the unloading area; A transfer device for transferring the substrate from the first floating unit to the third floating unit via the coating area; And an electrode plate provided on the coating region and to which a ground state or a negative voltage is applied, wherein the surface acoustic wave spraying apparatus comprises: an ink storage portion storing an ink solution; A surface acoustic wave generator generating a surface acoustic wave to generate charged particles of positive ions by vibrating the ink solution in the ink reservoir; A power supply connected to one or more electrodes provided on the ink reservoir; And an ink circulation device connected to the ink reservoir and circulatingly supplying and recovering the ink solution to the ink reservoir, wherein the ink solution in the ink reservoir is circulated by the ink circulation device, And the viscosity is maintained.

본 발명의 제 5 특징에 따른 기판 코팅 장치는 로딩 영역에서 기판을 부상시키기 위한 제 1 부상 유닛; 코팅 영역의 하부에 제공되며, 상기 기판의 하부면 상에 잉크를 분사하는 표면 탄성파 분무 장치; 언로딩 영역에서 상기 기판을 부상시키기 위한 제 3 부상 유닛; 상기 기판을 상기 제 1 부상 유닛에서 상기 코팅 영역을 거쳐 상기 제 3 부상 유닛으로 이송하는 이송장치; 및 상기 코팅 영역 상에 제공되며, 접지 상태 또는 음전압이 인가되는 전극판을 포함하되, 상기 표면 탄성파 분무 장치는 잉크 용액을 저장하는 잉크 저장부; 상기 잉크 저장부 내의 상기 잉크 용액을 진동시켜 양이온의 하전 입자를 발생시키도록 표면 탄성파를 발생시키는 표면 탄성파 발생 장치; 상기 잉크 저장부 상에 제공되는 하나 이상의 전극에 연결되는 전원 장치; 및 상기 잉크 저장부와 연결되며, 상기 잉크 용액을 상기 잉크 저장부에 순환 방식으로 공급 및 회수하는 잉크 순환 장치를 포함하고, 상기 잉크 저장부 내의 상기 잉크 용액은 상기 잉크 순환 장치에 의해 미리 정해진 일정한 점도를 유지하는 것을 특징으로 한다.A substrate coating apparatus according to a fifth aspect of the present invention includes: a first floating unit for floating a substrate in a loading region; A surface acoustic wave spraying device provided at a lower portion of the coating area and spraying ink onto the lower surface of the substrate; A third floating unit for floating the substrate in the unloading area; A transfer device for transferring the substrate from the first floating unit to the third floating unit via the coating area; And an electrode plate provided on the coating region and to which a ground state or a negative voltage is applied, wherein the surface acoustic wave spraying apparatus comprises: an ink storage portion storing an ink solution; A surface acoustic wave generator generating a surface acoustic wave to generate charged particles of positive ions by vibrating the ink solution in the ink reservoir; A power supply connected to one or more electrodes provided on the ink reservoir; And an ink circulation device connected to the ink reservoir and circulatingly supplying and recovering the ink solution to the ink reservoir, wherein the ink solution in the ink reservoir is circulated by the ink circulation device, And the viscosity is maintained.

본 발명의 제 6 특징에 따른 기판 코팅 장치는 기판을 고정 지지하는 제 1 및 제 2 지지 부재; 상기 기판의 하부에 제공되며, 상기 기판의 하부면 상에 잉크를 분사하는 표면 탄성파 분무 장치; 상기 표면 탄성파 분무 장치를 상기 기판의 하부면에서 이동시키기 위한 구동 장치; 및 상기 기판의 상부면 상에 제공되며, 접지 상태 또는 음전압이 인가되는 전극판을 포함하되, 상기 표면 탄성파 분무 장치는 잉크 용액을 저장하는 잉크 저장부; 상기 잉크 저장부 내의 상기 잉크 용액을 진동시켜 양이온의 하전 입자를 발생시키도록 표면 탄성파를 발생시키는 표면 탄성파 발생 장치; 상기 잉크 저장부 상에 제공되는 하나 이상의 전극에 연결되는 전원 장치; 및 상기 잉크 저장부와 연결되며, 상기 잉크 용액을 상기 잉크 저장부에 순환 방식으로 공급 및 회수하는 잉크 순환 장치를 포함하고, 상기 잉크 저장부 내의 상기 잉크 용액은 상기 잉크 순환 장치에 의해 미리 정해진 일정한 점도를 유지하는 것을 특징으로 한다.According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a substrate coating apparatus comprising: first and second supporting members for fixing and supporting a substrate; A surface acoustic wave spraying device provided at a lower portion of the substrate, the surface acoustic wave spraying device spraying ink onto a lower surface of the substrate; A driving device for moving the surface acoustic wave spraying device on a lower surface of the substrate; And an electrode plate provided on the upper surface of the substrate and to which a grounded state or a negative voltage is applied, wherein the surface acoustic wave spraying apparatus comprises: an ink storage portion for storing an ink solution; A surface acoustic wave generator generating a surface acoustic wave to generate charged particles of positive ions by vibrating the ink solution in the ink reservoir; A power supply connected to one or more electrodes provided on the ink reservoir; And an ink circulation device connected to the ink reservoir and circulatingly supplying and recovering the ink solution to the ink reservoir, wherein the ink solution in the ink reservoir is circulated by the ink circulation device, And the viscosity is maintained.

본 발명의 제 7 특징에 따른 기판 코팅 장치는 기판의 상부에서 상기 기판의 상부면을 전면 흡착하여 고정 지지하는 흡착 부재; 상기 흡착 부재와 연결되는 진공 펌핑 장치; 상기 기판의 하부에 제공되며, 상기 기판의 하부면 상에 잉크를 분사하는 표면 탄성파 분무 장치; 상기 표면 탄성파 분무 장치를 상기 기판의 하부면에서 이동시키기 위한 구동 장치; 및 상기 기판의 상부면 상에 제공되며, 접지 상태 또는 음전압이 인가되는 전극판을 포함하되, 상기 표면 탄성파 분무 장치는 잉크 용액을 저장하는 잉크 저장부; 상기 잉크 저장부 내의 상기 잉크 용액을 진동시켜 양이온의 하전 입자를 발생시키도록 표면 탄성파를 발생시키는 표면 탄성파 발생 장치; 상기 잉크 저장부 상에 제공되는 하나 이상의 전극에 연결되는 전원 장치; 및 상기 잉크 저장부와 연결되며, 상기 잉크 용액을 상기 잉크 저장부에 순환 방식으로 공급 및 회수하는 잉크 순환 장치를 포함하고, 상기 잉크 저장부 내의 상기 잉크 용액은 상기 잉크 순환 장치에 의해 미리 정해진 일정한 점도를 유지하는 것을 특징으로 한다.According to a seventh aspect of the present invention, there is provided a substrate coating apparatus comprising: an adsorption member for adsorbing and fixing an upper surface of a substrate on an upper surface of a substrate; A vacuum pumping device connected to the adsorption member; A surface acoustic wave spraying device provided at a lower portion of the substrate, the surface acoustic wave spraying device spraying ink onto a lower surface of the substrate; A driving device for moving the surface acoustic wave spraying device on a lower surface of the substrate; And an electrode plate provided on the upper surface of the substrate and to which a grounded state or a negative voltage is applied, wherein the surface acoustic wave spraying apparatus comprises: an ink storage portion for storing an ink solution; A surface acoustic wave generator generating a surface acoustic wave to generate charged particles of positive ions by vibrating the ink solution in the ink reservoir; A power supply connected to one or more electrodes provided on the ink reservoir; And an ink circulation device connected to the ink reservoir and circulatingly supplying and recovering the ink solution to the ink reservoir, wherein the ink solution in the ink reservoir is circulated by the ink circulation device, And the viscosity is maintained.

본 발명에 따른 개선된 정전 증착용 표면 탄성파 분무 장치, 및 이를 구비한 스프레이 방식 패턴 형성 장치 및 기판 코팅 장치를 사용하면 다음과 같은 장점이 달성된다.The following advantages are achieved by using the improved electrostatic spray-wearing surface acoustic-wave spraying apparatus, the spray-type pattern-forming apparatus and the substrate-coating apparatus having the same according to the present invention.

1. 표면 탄성파 분무 장치에서 잉크 용액이 순환 방식으로 공급되므로, 하전 입자가 스프레이 방식으로 분사되더라도 잉크 용액의 일정한 점도 유지가 가능하다.1. Since the ink solution is supplied in a circulating manner in the surface acoustic wave spraying apparatus, it is possible to maintain a constant viscosity of the ink solution even when the charged particles are sprayed by the spray method.

2. 잉크 하전입자의 점도가 일정하게 유지되므로 따라 스프레이 방식으로 도포된 복수의 패턴 또는 박막이 일정한 점도를 유지하여 경화 공정 후에도 기판 상에 도포된 복수의 패턴 또는 박막의 두께(즉, 높이)가 균일하다.2. Since the viscosity of the ink-receiving layer is maintained constant, a plurality of patterns or thin films applied by the spraying method maintain a constant viscosity so that the thickness (i.e., height) of a plurality of patterns or thin films It is uniform.

3. 최종 제품의 품질의 균일성이 달성되고, 그에 따라 불량 발생 가능성이 최소화된다.3. The uniformity of the quality of the final product is achieved, thereby minimizing the likelihood of failure.

4. 본 발명에 따른 표면 탄성파 분무가 장치가 기판 코팅 장치에 적용되어, 기판 코팅 장치의 전체 구성이 간단해지고 제조 비용이 크게 감소된다.4. The surface acoustic wave spraying apparatus according to the present invention is applied to the substrate coating apparatus, so that the overall configuration of the substrate coating apparatus is simplified and the manufacturing cost is greatly reduced.

본 발명의 추가적인 장점은 동일 또는 유사한 참조번호가 동일한 구성요소를 표시하는 첨부 도면을 참조하여 이하의 설명으로부터 명백히 이해될 수 있다. Further advantages of the present invention can be clearly understood from the following description with reference to the accompanying drawings, in which like or similar reference numerals denote like elements.

도 1a는 종래 기술에 따른 표면 탄성파 분무 장치 및 이를 구비한 스프레이 방식 패턴 형성 장치의 개략적인 사시도를 도시한 도면이다.
도 1b는 또 다른 종래 기술에 따른 표면 탄성파 분무 장치 및 이를 구비한 스프레이 방식 패턴 형성 장치의 개략적인 사시도를 도시한 도면이다.
도 1c는 종래 기술에 따른 부상 방식 기판 코팅 장치의 평면도 및 정단면도를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 표면 탄성파 분무 장치의 개략적인 사시도를 도시한 도면이다.
도 2b는 본 발명의 표면 탄성파 분무 장치를 구비한 제 1 실시예에 따른 스프레이 방식 패턴 형성 장치의 개략적인 사시도를 도시한 도면이다.
도 2c는 본 발명의 표면 탄성파 분무 장치를 구비한 제 2 실시예에 따른 스프레이 방식 패턴 형성 장치의 개략적인 사시도를 도시한 도면이다.
도 2d는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판 코팅 장치의 평면도 및 정단면도를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2e는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 기판 코팅 장치의 평면도 및 정단면도를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2f는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 기판 코팅 장치의 평면도 및 정단면도를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2g는 본 발명의 제 4 실시예에 따른 기판 코팅 장치의 평면도 및 정단면도를 개략적으로 도시한 도면이다.1A is a schematic perspective view of a conventional surface acoustic wave atomizing apparatus and a spraying pattern forming apparatus having the same.
1B is a schematic perspective view of a surface acoustic wave atomizing apparatus and a spraying pattern forming apparatus having the same according to another conventional art.
1C is a schematic view showing a plan view and a front cross-sectional view of a floating type substrate coating apparatus according to the related art.
2A is a schematic perspective view of a surface acoustic wave spraying apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2B is a schematic perspective view of a spray pattern forming apparatus according to a first embodiment having a surface acoustic wave spraying apparatus of the present invention. FIG.
2C is a schematic perspective view of a spray pattern forming apparatus according to a second embodiment having a surface acoustic wave spraying apparatus of the present invention.
FIG. 2D is a schematic view showing a top view and a front sectional view of the substrate coating apparatus according to the first embodiment of the present invention.
FIG. 2E is a plan view and a front sectional view of a substrate coating apparatus according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 2F is a schematic view showing a top view and a front sectional view of a substrate coating apparatus according to a third embodiment of the present invention.
FIG. 2G is a schematic plan view and a front sectional view of a substrate coating apparatus according to a fourth embodiment of the present invention. FIG.

이하에서 본 발명의 실시예 및 도면을 참조하여 본 발명을 설명한다.BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, the present invention will be described with reference to embodiments and drawings of the present invention.

도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 표면 탄성파 분무 장치의 개략적인 사시도를 도시한 도면이다.2A is a schematic perspective view of a surface acoustic wave spraying apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 2a를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 표면 탄성파 분무 장치(211)는 잉크 용액(S)을 저장하는 잉크 저장부(214); 상기 잉크 저장부(214) 내의 상기 잉크 용액(S)을 진동시켜 양이온의 하전 입자를 발생시키도록 표면 탄성파(SAW)를 발생시키는 표면 탄성파 발생 장치(212); 상기 잉크 저장부(214) 상에 제공되는 하나 이상의 전극(218)에 연결되는 전원 장치(216); 및 상기 잉크 저장부(214)와 연결되며, 상기 잉크 용액(S)을 상기 잉크 저장부(214)에 순환 방식으로 공급 및 회수하는 잉크 순환 장치(208)를 포함하고, 상기 잉크 저장부(214) 내의 상기 잉크 용액(S)은 상기 잉크 순환 장치(208)에 의해 미리 정해진 일정한 점도를 유지하는 것을 특징으로 한다.2A, a surface acoustic wave spraying apparatus 211 according to an embodiment of the present invention includes an ink storage 214 for storing an ink solution S; A surface acoustic wave generator 212 for generating a surface acoustic wave (SAW) to generate charged particles of positive ions by vibrating the ink solution S in the ink reservoir 214; A power supply 216 connected to one or more electrodes 218 provided on the ink reservoir 214; And an ink circulation device (208) connected to the ink reservoir (214) and circulatingly supplying and recovering the ink solution (S) to the ink reservoir (214), wherein the ink reservoir ) Is characterized in that the ink solution (S) in the ink circulation device (208) maintains a predetermined constant viscosity by the ink circulation device (208).

상술한 잉크 순환 장치(208)는 잉크 공급 관로(202a)를 통해 상기 잉크 저장부(214)에 상기 잉크 용액(S)을 공급하는 잉크 공급 부재(202); 및 잉크 회수 관로(204a)를 통해 상기 잉크 저장부(214)로부터 상기 잉크 용액(S)을 회수하는 잉크 회수 부재(204)를 포함하고, 상기 잉크 공급 부재(202) 및 상기 잉크 회수 부재(204)와 각각 연결되며, 상기 잉크 회수 부재(204)로 회수된 상기 잉크 용액(S)의 점도를 상기 미리 정해진 일정한 점도로 조정하는 리사이클 부재(206)를 선택적으로 포함한다.The ink circulation apparatus 208 described above includes an ink supply member 202 for supplying the ink solution S to the ink reservoir 214 via an ink supply line 202a; And an ink recovery member (204) for recovering the ink solution (S) from the ink reservoir (214) through an ink return line (204a), wherein the ink supply member (202) and the ink recovery member And a recycle member 206 for adjusting the viscosity of the ink solution S recovered by the ink recovery member 204 to the predetermined constant viscosity.

또한, 도 2b는 본 발명의 표면 탄성파 분무 장치를 구비한 제 1 실시예에 따른 스프레이 방식 패턴 형성 장치의 개략적인 사시도를 도시한 도면이다.FIG. 2B is a schematic perspective view of a spray pattern forming apparatus according to a first embodiment of the present invention having a surface acoustic wave spraying apparatus.

도 2b를 참조하면, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 스프레이 방식 패턴 형성 장치(200)는 기판(230); 상기 기판(230)을 지지하며, 접지 상태 또는 음전압(또는 부전압)이 인가되는 전극판(232); 상기 기판(230)의 하부에 제공되며, 복수의 패턴 홀(222)을 구비하는 마스크(220); 및 상기 마스크(220)의 하부에 제공되는 표면 탄성파 분무 장치(211)를 포함하되, 상기 표면 탄성파 분무 장치(211)는 잉크 용액(S)을 저장하는 잉크 저장부(214); 상기 잉크 저장부(214) 내의 상기 잉크 용액(S)을 진동시켜 양이온의 하전 입자를 발생시키도록 표면 탄성파(SAW)를 발생시키는 표면 탄성파 발생 장치(212); 상기 잉크 저장부(214) 상에 제공되는 하나 이상의 전극(218)에 연결되는 전원 장치(216); 및 상기 잉크 저장부(214)와 연결되며, 상기 잉크 용액(S)을 상기 잉크 저장부(214)에 순환 방식으로 공급 및 회수하는 잉크 순환 장치(208)를 포함하고, 상기 잉크 저장부(214) 내의 상기 잉크 용액(S)은 상기 잉크 순환 장치(208)에 의해 미리 정해진 일정한 점도를 유지하는 것을 특징으로 한다. 도 2b의 실시예에서는 전극판(232)이 접지 상태인 것으로 예시적으로 도시되어 있지만, 당업자라면 전극판(232)이 상기 전원 장치(216) 또는 별도로 제공되는 전원 장치(미도시)의 음극에 연결되어 음전압(또는 부전압)이 인가될 수 있다는 것을 충분히 이해할 수 있을 것이다.Referring to FIG. 2B, the apparatus 200 for forming a spray pattern according to the first embodiment of the present invention includes a substrate 230; An electrode plate 232 which supports the substrate 230 and to which a grounded state or a negative voltage (or a negative voltage) is applied; A mask 220 provided below the substrate 230 and having a plurality of pattern holes 222; And a surface acoustic wave spraying device 211 provided at a lower portion of the mask 220. The surface acoustic wave spraying device 211 includes an ink storage 214 for storing the ink solution S; A surface acoustic wave generator 212 for generating a surface acoustic wave (SAW) to generate charged particles of positive ions by vibrating the ink solution S in the ink reservoir 214; A power supply 216 connected to one or more electrodes 218 provided on the ink reservoir 214; And an ink circulation device (208) connected to the ink reservoir (214) and circulatingly supplying and recovering the ink solution (S) to the ink reservoir (214), wherein the ink reservoir ) Is characterized in that the ink solution (S) in the ink circulation device (208) maintains a predetermined constant viscosity by the ink circulation device (208). Although the electrode plate 232 is illustrated as being in the grounded state in the embodiment of FIG. 2B, those skilled in the art will appreciate that the electrode plate 232 may be attached to the cathode of the power supply 216 or a separately provided power supply (not shown) (Or negative voltage) may be applied to the power source.

또한, 도 2c는 본 발명의 표면 탄성파 분무 장치를 구비한 제 2 실시예에 따른 스프레이 방식 패턴 형성 장치의 개략적인 사시도를 도시한 도면이다.2C is a schematic perspective view of a spray pattern forming apparatus according to a second embodiment of the present invention, which includes a surface acoustic wave spraying apparatus.

도 2c를 참조하면, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 스프레이 방식 패턴 형성 장치(200)는 기판(230); 상기 기판(230)을 지지하며, 접지 상태 또는 음전압이 인가되는 전극판(232); 및 상기 기판(230)의 하부에 제공되는 표면 탄성파 분무 장치(211)를 포함하되, 상기 표면 탄성파 분무 장치(211)는 잉크 용액(S)을 저장하는 잉크 저장부(214); 상기 잉크 저장부(214) 내의 상기 잉크 용액(S)을 진동시켜 양이온의 하전 입자를 발생시키도록 표면 탄성파(SAW)를 발생시키는 표면 탄성파 발생 장치(212); 상기 잉크 저장부(214) 상에 제공되는 하나 이상의 전극(218)에 연결되는 전원 장치(216); 및 상기 잉크 저장부(214)와 연결되며, 상기 잉크 용액(S)을 상기 잉크 저장부(214)에 순환 방식으로 공급 및 회수하는 잉크 순환 장치(208)를 포함하고, 상기 잉크 저장부(214) 내의 상기 잉크 용액(S)은 상기 잉크 순환 장치(208)에 의해 미리 정해진 일정한 점도를 유지하는 것을 특징으로 한다.Referring to FIG. 2C, an apparatus 200 for forming a spray pattern according to a second embodiment of the present invention includes a substrate 230; An electrode plate (232) supporting the substrate (230) and to which a grounded or negative voltage is applied; And a surface acoustic wave spraying device 211 provided at a lower portion of the substrate 230. The surface acoustic wave spraying device 211 includes an ink storage 214 for storing the ink solution S; A surface acoustic wave generator 212 for generating a surface acoustic wave (SAW) to generate charged particles of positive ions by vibrating the ink solution S in the ink reservoir 214; A power supply 216 connected to one or more electrodes 218 provided on the ink reservoir 214; And an ink circulation device (208) connected to the ink reservoir (214) and circulatingly supplying and recovering the ink solution (S) to the ink reservoir (214), wherein the ink reservoir ) Is characterized in that the ink solution (S) in the ink circulation device (208) maintains a predetermined constant viscosity by the ink circulation device (208).

이하에서는 상술한 본 발명의 실시예에 따른 표면 탄성파 분무 장치(211) 및 이를 구비한 스프레이 방식 패턴 형성 장치(200)의 구체적인 구성 및 동작을 상세히 기술한다.Hereinafter, the detailed configuration and operation of the surface acoustic wave atomizing apparatus 211 and the spraying pattern forming apparatus 200 having the same according to the embodiment of the present invention will be described in detail.

다시 도 2a 내지 도 2c를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 표면 탄성파 분무 장치(211)는 잉크 용액(S)을 저장하는 잉크 저장부(214)를 포함한다. 잉크 저장부(214)는 잉크 순환 장치(208)와 연결되어 있다. 잉크 순환 장치(208)는 잉크 공급 관로(202a)를 통해 잉크 저장부(214)와 연결되는 잉크 공급 부재(202); 및 잉크 회수 관로(204a)를 통해 잉크 저장부(214)와 연결되는 잉크 회수 부재(204)를 포함한다. 잉크 공급 부재(202)는 잉크 공급 관로(202a)를 통해 잉크 저장부(214)에 잉크 용액(S)을 공급하고, 잉크 회수 부재(204)는 잉크 회수 관로(204a)를 통해 잉크 저장부(214)로부터 잉크 용액(S)을 회수한다. 그에 따라, 표면 탄성파 분무 장치(211)에서는 잉크 용액(S)이 잉크 저장부(214)로 순환 방식으로 공급되어 잉크 저장부(214) 내에서 흐름 상태(flow state)를 유지하여 잉크 용액(S)의 점도가 미리 정해진 일정한 점도로 유지될 수 있다,Referring again to FIGS. 2A to 2C, the surface acoustic wave atomizing apparatus 211 according to the embodiment of the present invention includes an ink reservoir 214 for storing the ink solution S. FIG. The ink reservoir 214 is connected to the ink circulator 208. [ The ink circulation device 208 includes an ink supply member 202 connected to the ink reservoir 214 through an ink supply line 202a; And an ink recovery member 204 connected to the ink reservoir 214 through an ink return line 204a. The ink supply member 202 supplies the ink solution S to the ink reservoir 214 through the ink supply line 202a and the ink recovery member 204 is connected to the ink reservoir 204a through the ink return line 204a 214). ≪ / RTI > Accordingly, in the surface acoustic wave spraying apparatus 211, the ink solution S is supplied to the ink reservoir 214 in a circulating manner to maintain the flow state in the ink reservoir 214, ) Can be maintained at a predetermined constant viscosity,

또한, 표면 탄성파 분무 장치(211)는 잉크 공급 부재(202) 및 잉크 회수 부재(204)와 각각 연결되는 리사이클 부재(206)를 선택적으로 포함할 수 있다. 이러한 리사이클 부재(206)에서는 잉크 회수 부재(204)로 회수된 잉크 용액(S)의 점도를 미리 정해진 일정한 점도로 조정될 수 있다. 그 후, 잉크 용액(S)은 잉크 공급 부재(202)로 공급되어 잉크 공급 관로(202a)를 통해 잉크 저장부(214)로 공급될 수 있다. 이 경우, 잉크 용액(S)가 리사이클링되므로 잉크 용액(S)의 낭비가 줄어들어 전체 비용이 감소될 수 있다.The surface acoustic wave atomizing device 211 may optionally include a recycle member 206 connected to the ink supply member 202 and the ink recovery member 204, respectively. In this recycle member 206, the viscosity of the ink solution S recovered by the ink recovery member 204 can be adjusted to a predetermined constant viscosity. Then, the ink solution S may be supplied to the ink supply member 202 and supplied to the ink reservoir 214 through the ink supply line 202a. In this case, since the ink solution S is recycled, the waste of the ink solution S is reduced, and the overall cost can be reduced.

한편, 도 2b 및 도 2c에 각각 도시된 본 발명의 제 1 및 제 2 실시예에 따른 스프레이 방식 패턴 형성 장치(200)에서는, 표면 탄성파 분무 장치(211)의 전원 장치(216)에 전압이 인가되면, 표면 탄성파 분무 장치(211)는 표면 탄성파 발생 장치(212)에 의해 발생된 표면 탄성파를 이용하여 잉크 저장부(214)의 잉크 용액(S)을 진동시켜 양이온의 하전 입자를 발생시킨다.In the apparatus 200 for spray pattern formation according to the first and second embodiments of the present invention shown in Figs. 2B and 2C, when a voltage is applied to the power supply unit 216 of the surface acoustic wave spraying apparatus 211 The surface acoustic wave atomizer 211 vibrates the ink solution S of the ink reservoir 214 using surface acoustic waves generated by the surface acoustic wave generator 212 to generate charged particles of positive ions.

하전 입자는 마스크(220)에 형성된 복수의 패턴 홀(222)을 통해 스프레이 방식으로 분사되어 기판(230) 상에 정전 증착되어 복수의 패턴(224a)을 형성하거나(도 2b의 실시예 참조), 또는 스프레이 방식으로 기판(230) 상에 분사되어 기판(230) 표면 상에 전면 도포된 박막(224b)(예를 들어, 보호 커버)을 형성할 수 있다(도 2c의 실시예 참조). 이 경우, 도 2a를 참조하여 상세히 기술한 바와 같이, 잉크 용액(S)이 미리 정해진 일정한 점도를 유지된 상태에서 하전 입자가 발생되므로, 기판(230) 상에서 복수의 패턴(224a) 또는 박막(224b)은 일정한 점도를 유지하여 균일한 두께(즉, 높이)로 형성된다. 그에 따라, 최종 제품의 품질의 균일성이 달성되고, 그에 따라 불량 발생 가능성이 최소화된다.The charged particles are sprayed through a plurality of pattern holes 222 formed in the mask 220 and electrostatically deposited on the substrate 230 to form a plurality of patterns 224a (see the embodiment of FIG. 2B) Or sprayed onto the substrate 230 in a spray manner to form a fully coated thin film 224b (e.g., a protective cover) on the surface of the substrate 230 (see the embodiment of FIG. 2C). 2A, since the charged particles are generated in a state in which the ink solution S is maintained at the predetermined constant viscosity, the plurality of patterns 224a or the thin films 224b are formed on the substrate 230. In this case, Are formed with a uniform thickness (i.e., height) while maintaining a constant viscosity. Thus, uniformity of quality of the final product is achieved, thereby minimizing the likelihood of failure.

도 2d는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판 코팅 장치의 평면도 및 정단면도를 개략적으로 도시한 도면이다.FIG. 2D is a schematic view showing a top view and a front sectional view of the substrate coating apparatus according to the first embodiment of the present invention.

도 2d를 참조하면, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판 코팅 장치(240)는 로딩 영역에서 기판(230)을 부상시키기 위한 제 1 부상 유닛(276a); 코팅 영역의 하부에 제공되며, 상기 기판(230)의 하부면 상에 잉크를 분사하는 표면 탄성파 분무 장치(211); 상기 코팅 영역 상에서 상기 표면 탄성파 분무 장치(211) 및 상기 기판(230) 사이에 제공되며, 복수의 패턴 홀(222)을 구비하는 마스크(220); 언로딩 영역에서 상기 기판(230)을 부상시키기 위한 제 3 부상 유닛(276c); 상기 기판(230)을 상기 제 1 부상 유닛(276a)에서 상기 코팅 영역을 거쳐 상기 제 3 부상 유닛(276c)으로 이송하는 이송장치(284); 및 상기 코팅 영역 상에 제공되며, 접지 상태 또는 음전압이 인가되는 전극판(232)을 포함하되, 상기 표면 탄성파 분무 장치(211)는 잉크 용액(S)을 저장하는 잉크 저장부(214); 상기 잉크 저장부(214) 내의 상기 잉크 용액(S)을 진동시켜 양이온의 하전 입자를 발생시키도록 표면 탄성파(SAW)를 발생시키는 표면 탄성파 발생 장치(212); 상기 잉크 저장부(214) 상에 제공되는 하나 이상의 전극(218)에 연결되는 전원 장치(216); 및 상기 잉크 저장부(214)와 연결되며, 상기 잉크 용액(S)을 상기 잉크 저장부(214)에 순환 방식으로 공급 및 회수하는 잉크 순환 장치(208)를 포함하고, 상기 잉크 저장부(214) 내의 상기 잉크 용액(S)은 상기 잉크 순환 장치(208)에 의해 미리 정해진 일정한 점도를 유지하는 것을 특징으로 한다.Referring to FIG. 2D, the substrate coating apparatus 240 according to the first embodiment of the present invention includes a first floating unit 276a for lifting the substrate 230 in the loading region; A surface acoustic wave spraying device 211 provided below the coating area and spraying ink onto the lower surface of the substrate 230; A mask 220 provided between the surface acoustic wave spraying device 211 and the substrate 230 on the coating area, the mask 220 having a plurality of pattern holes 222; A third floating unit 276c for floating the substrate 230 in the unloading region; A transfer device (284) for transferring the substrate (230) from the first float unit (276a) to the third float unit (276c) through the coating area; And an electrode plate (232) provided on the coating region and to which a ground state or a negative voltage is applied, wherein the surface acoustic wave spraying apparatus (211) comprises: an ink storage portion (214) for storing the ink solution (S); A surface acoustic wave generator 212 for generating a surface acoustic wave (SAW) to generate charged particles of positive ions by vibrating the ink solution S in the ink reservoir 214; A power supply 216 connected to one or more electrodes 218 provided on the ink reservoir 214; And an ink circulation device (208) connected to the ink reservoir (214) and circulatingly supplying and recovering the ink solution (S) to the ink reservoir (214), wherein the ink reservoir ) Is characterized in that the ink solution (S) in the ink circulation device (208) maintains a predetermined constant viscosity by the ink circulation device (208).

도 2e는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 기판 코팅 장치의 평면도 및 정단면도를 개략적으로 도시한 도면이다.FIG. 2E is a plan view and a front sectional view of a substrate coating apparatus according to a second embodiment of the present invention.

도 2e를 참조하면, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 기판 코팅 장치(240)는 로딩 영역에서 기판(230)을 부상시키기 위한 제 1 부상 유닛(276a); 코팅 영역의 하부에 제공되며, 상기 기판(230)의 하부면 상에 잉크를 분사하는 표면 탄성파 분무 장치(211); 언로딩 영역에서 상기 기판(230)을 부상시키기 위한 제 3 부상 유닛(276c); 상기 기판(230)을 상기 제 1 부상 유닛(276a)에서 상기 코팅 영역을 거쳐 상기 제 3 부상 유닛(276c)으로 이송하는 이송장치(284); 및 상기 코팅 영역 상에 제공되며, 접지 상태 또는 음전압이 인가되는 전극판(232)을 포함하되, 상기 표면 탄성파 분무 장치(211)는 잉크 용액(S)을 저장하는 잉크 저장부(214); 상기 잉크 저장부(214) 내의 상기 잉크 용액(S)을 진동시켜 양이온의 하전 입자를 발생시키도록 표면 탄성파(SAW)를 발생시키는 표면 탄성파 발생 장치(212); 상기 잉크 저장부(214) 상에 제공되는 하나 이상의 전극(218)에 연결되는 전원 장치(216); 및 상기 잉크 저장부(214)와 연결되며, 상기 잉크 용액(S)을 상기 잉크 저장부(214)에 순환 방식으로 공급 및 회수하는 잉크 순환 장치(208)를 포함하고, 상기 잉크 저장부(214) 내의 상기 잉크 용액(S)은 상기 잉크 순환 장치(208)에 의해 미리 정해진 일정한 점도를 유지하는 것을 특징으로 한다.Referring to FIG. 2E, a substrate coating apparatus 240 according to a second embodiment of the present invention includes a first floating unit 276a for lifting a substrate 230 in a loading region; A surface acoustic wave spraying device 211 provided below the coating area and spraying ink onto the lower surface of the substrate 230; A third floating unit 276c for floating the substrate 230 in the unloading region; A transfer device (284) for transferring the substrate (230) from the first float unit (276a) to the third float unit (276c) through the coating area; And an electrode plate (232) provided on the coating region and to which a ground state or a negative voltage is applied, wherein the surface acoustic wave spraying apparatus (211) comprises: an ink storage portion (214) for storing the ink solution (S); A surface acoustic wave generator 212 for generating a surface acoustic wave (SAW) to generate charged particles of positive ions by vibrating the ink solution S in the ink reservoir 214; A power supply 216 connected to one or more electrodes 218 provided on the ink reservoir 214; And an ink circulation device (208) connected to the ink reservoir (214) and circulatingly supplying and recovering the ink solution (S) to the ink reservoir (214), wherein the ink reservoir ) Is characterized in that the ink solution (S) in the ink circulation device (208) maintains a predetermined constant viscosity by the ink circulation device (208).

도 2d 및 도 2e에 각각 도시된 상술한 본 발명의 제 1 및 제 2 실시예에 따른 기판 코팅 장치(240)는 각각 예를 들어 로봇 암과 같은 별도의 이송 장치(미도시)에 의해 이송 가능하게 제공되며, 상기 전극판(232)의 하부면을 세정하기 위한 세정 장치(234)를 추가로 포함할 수 있다.The substrate coating apparatus 240 according to the first and second embodiments of the present invention shown in FIGS. 2D and 2E, respectively, can be transported by a separate transport apparatus (not shown) such as a robot arm And may further include a cleaning device 234 for cleaning the lower surface of the electrode plate 232.

또한, 도 2d 및 도 2e에 각각 도시된 상술한 본 발명의 제 1 및 제 2 실시예에 따른 기판 코팅 장치(240)에 사용되는 표면 탄성파 분무 장치(211)는 잉크 공급 부재(202) 및 잉크 회수 부재(204)와 각각 연결되는 리사이클 부재(206)를 선택적으로 포함할 수 있다. 이러한 리사이클 부재(206)에서는 잉크 회수 부재(204)로 회수된 잉크 용액(S)의 점도를 미리 정해진 일정한 점도로 조정될 수 있다. 그 후, 잉크 용액(S)은 잉크 공급 부재(202)로 공급되어 잉크 공급 관로(202a)를 통해 잉크 저장부(214)로 공급될 수 있다. 이 경우, 잉크 용액(S)가 리사이클링되므로 잉크 용액(S)의 낭비가 줄어들어 전체 비용이 감소될 수 있다.The surface acoustic wave spraying apparatus 211 used in the substrate coating apparatus 240 according to the first and second embodiments of the present invention shown in Figs. 2D and 2E, respectively, And a recycle member 206 connected to the recovery member 204, respectively. In this recycle member 206, the viscosity of the ink solution S recovered by the ink recovery member 204 can be adjusted to a predetermined constant viscosity. Then, the ink solution S may be supplied to the ink supply member 202 and supplied to the ink reservoir 214 through the ink supply line 202a. In this case, since the ink solution S is recycled, the waste of the ink solution S is reduced, and the overall cost can be reduced.

이하에서는 상술한 본 발명의 실시예에 따른 기판 코팅 장치(240)의 구체적인 구성 및 동작을 상세히 기술한다.Hereinafter, the specific configuration and operation of the substrate coating apparatus 240 according to the embodiment of the present invention will be described in detail.

다시 도 2d 및 도 2e를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 기판 코팅 장치(240)에서는 기판(230)이 이송 장치(284)의 한 쌍의 슬라이더(298) 상에 제공되는 흡착 패드(244) 상에 진공 흡착 방식으로 장착되어 한 쌍의 리니어 모션 가이드(296)를 따라 로딩 영역의 제 1 부상 유닛(276a)에서 표면 탄성파 분무 장치(211)가 제공되는 코팅 영역을 거쳐 언로딩 영역의 제 3 부상 유닛(276c) 상으로 이송된다.Referring again to Figures 2d and 2e, in the substrate coating apparatus 240 according to the embodiment of the present invention, the substrate 230 is supported by a pair of sliders 298 of the transfer device 284, ), And is guided along a pair of linear motion guides 296 to the first floating unit 276a of the loading area through the coating area where the surface acoustic wave spraying device 211 is provided, And is transferred onto the third lifting unit 276c.

기판(230)이 코팅 영역의 표면 탄성파 분무 장치(211) 상을 통과할 때, 표면 탄성파 분무 장치(211)의 전원 장치(216)에 전압이 인가되면, 표면 탄성파 분무 장치(211)는 표면 탄성파 발생 장치(212)에 의해 발생된 표면 탄성파를 이용하여 잉크 저장부(214)의 잉크 용액(S)을 진동시켜 양이온의 하전 입자를 발생시킨다.When a voltage is applied to the power source device 216 of the surface acoustic wave spraying device 211 when the substrate 230 passes over the surface acoustic wave spraying device 211 in the coating area, the surface acoustic wave spraying device 211 applies a surface acoustic wave The surface acoustic wave generated by the generating device 212 is used to vibrate the ink solution S in the ink reservoir 214 to generate charged particles of positive ions.

하전 입자는 마스크(220)에 형성된 복수의 패턴 홀(222)을 통해 스프레이 방식으로 분사되어 기판(230) 상에 정전 증착되어 복수의 패턴(미도시)을 형성하거나(도 2d의 실시예 참조), 또는 스프레이 방식으로 기판(230) 상에 분사되어 기판(230) 표면 상에 전면 도포된 박막(미도시)(예를 들어, 보호 커버)을 형성할 수 있다(도 2e의 실시예 참조).Charged particles are sprayed through a plurality of pattern holes 222 formed in the mask 220 and electrostatically deposited on the substrate 230 to form a plurality of patterns (not shown) (see the embodiment of FIG. 2D) (E. G., A protective cover) on the surface of the substrate 230 (see the embodiment of FIG. 2e), or sprayed onto the substrate 230 in a spray manner.

상술한 도 2a를 참조하여 상세히 기술한 바와 같이, 잉크 용액(S)이 미리 정해진 일정한 점도를 유지된 상태에서 하전 입자가 발생되므로, 본 발명의 실시예에 따른 기판 코팅 장치(240)에서도 또한 기판(230) 상에서 복수의 패턴(미도시) 또는 박막(미도시)은 일정한 점도를 유지하여 균일한 두께(즉, 높이)로 형성된다. 그에 따라, 최종 제품의 품질의 균일성이 달성되고, 그에 따라 불량 발생 가능성이 최소화된다.As described in detail above with reference to FIG. 2A, since the charged particles are generated in a state where the ink solution S is maintained at a predetermined constant viscosity, A plurality of patterns (not shown) or thin films (not shown) are formed with a uniform thickness (i.e., height) while maintaining a constant viscosity. Thus, uniformity of quality of the final product is achieved, thereby minimizing the likelihood of failure.

도 2f는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 기판 코팅 장치의 평면도 및 정단면도를 개략적으로 도시한 도면이다.FIG. 2F is a schematic view showing a top view and a front sectional view of a substrate coating apparatus according to a third embodiment of the present invention.

도 2f를 참조하면, 본 발명의 제 3 실시예에 따른 기판 코팅 장치(240)는 기판(230)을 고정 지지하는 제 1 및 제 2 지지 부재(280a,280b); 상기 기판(230)의 하부에 제공되며, 상기 기판(230)의 하부면 상에 잉크를 분사하는 표면 탄성파 분무 장치(211); 상기 표면 탄성파 분무 장치(211)를 상기 기판(230)의 하부면에서 이동시키기 위한 구동 장치(M); 상기 기판(230)의 상부면 상에 제공되며, 접지 상태 또는 음전압이 인가되는 전극판(232)을 포함하되, 상기 표면 탄성파 분무 장치(211)는 잉크 용액(S)을 저장하는 잉크 저장부(214); 상기 잉크 저장부(214) 내의 상기 잉크 용액(S)을 진동시켜 양이온의 하전 입자를 발생시키도록 표면 탄성파(SAW)를 발생시키는 표면 탄성파 발생 장치(212); 상기 잉크 저장부(214) 상에 제공되는 하나 이상의 전극(218)에 연결되는 전원 장치(216); 및 상기 잉크 저장부(214)와 연결되며, 상기 잉크 용액(S)을 상기 잉크 저장부(214)에 순환 방식으로 공급 및 회수하는 잉크 순환 장치(208)를 포함하고, 상기 잉크 저장부(214) 내의 상기 잉크 용액(S)은 상기 잉크 순환 장치(208)에 의해 미리 정해진 일정한 점도를 유지하는 것을 특징으로 한다. 여기서, 전극판(232)은 표면 탄성파 분무 장치(211)가 구동 장치(M)에 의해 기판(230)의 하부면에서 이동할 때, 표면 탄성파 분무 장치(211)와 연동하여 기판(230)의 상부면에서 이동한다.Referring to FIG. 2F, the substrate coating apparatus 240 according to the third embodiment of the present invention includes first and second support members 280a and 280b for fixing and supporting the substrate 230; A surface acoustic wave spraying device 211 provided below the substrate 230 for spraying ink onto the lower surface of the substrate 230; A driving device (M) for moving the surface acoustic wave spraying device (211) on a lower surface of the substrate (230); And an electrode plate 232 provided on the upper surface of the substrate 230 and to which a grounded or negative voltage is applied. The surface acoustic wave spraying apparatus 211 includes an ink reservoir (214); A surface acoustic wave generator 212 for generating a surface acoustic wave (SAW) to generate charged particles of positive ions by vibrating the ink solution S in the ink reservoir 214; A power supply 216 connected to one or more electrodes 218 provided on the ink reservoir 214; And an ink circulation device (208) connected to the ink reservoir (214) and circulatingly supplying and recovering the ink solution (S) to the ink reservoir (214), wherein the ink reservoir ) Is characterized in that the ink solution (S) in the ink circulation device (208) maintains a predetermined constant viscosity by the ink circulation device (208). The electrode plate 232 is connected to the upper surface of the substrate 230 in cooperation with the surface acoustic wave spraying device 211 when the surface acoustic wave spraying device 211 is moved by the driving device M from the lower surface of the substrate 230. [ .

도 2g는 본 발명의 제 4 실시예에 따른 기판 코팅 장치의 평면도 및 정단면도를 개략적으로 도시한 도면이다.FIG. 2G is a schematic plan view and a front sectional view of a substrate coating apparatus according to a fourth embodiment of the present invention. FIG.

도 2g를 참조하면, 본 발명의 제 4 실시예에 따른 기판 코팅 장치(240)는 기판(230)의 상부에서 상기 기판(230)의 상부면을 전면 흡착하여 고정 지지하는 흡착 부재(282); 상기 흡착 부재(282)와 연결되는 진공 펌핑 장치(284); 상기 기판(230)의 하부에 제공되며, 상기 기판(230)의 하부면 상에 잉크를 분사하는 표면 탄성파 분무 장치(211); 상기 표면 탄성파 분무 장치(211)를 상기 기판(230)의 하부면에서 이동시키기 위한 구동 장치(M); 및 상기 기판(230)의 상부면 상에 제공되며, 접지 상태 또는 음전압이 인가되는 전극판(232)을 포함하되, 상기 표면 탄성파 분무 장치(211)는 잉크 용액(S)을 저장하는 잉크 저장부(214); 상기 잉크 저장부(214) 내의 상기 잉크 용액(S)을 진동시켜 양이온의 하전 입자를 발생시키도록 표면 탄성파(SAW)를 발생시키는 표면 탄성파 발생 장치(212); 상기 잉크 저장부(214) 상에 제공되는 하나 이상의 전극(218)에 연결되는 전원 장치(216); 및 상기 잉크 저장부(214)와 연결되며, 상기 잉크 용액(S)을 상기 잉크 저장부(214)에 순환 방식으로 공급 및 회수하는 잉크 순환 장치(208)를 포함하고, 상기 잉크 저장부(214) 내의 상기 잉크 용액(S)은 상기 잉크 순환 장치(208)에 의해 미리 정해진 일정한 점도를 유지하는 것을 특징으로 한다. 여기서, 전극판(232)은 표면 탄성파 분무 장치(211)가 구동 장치(M)에 의해 기판(230)의 하부면에서 이동할 때, 표면 탄성파 분무 장치(211)와 연동하여 기판(230)의 상부면에서 이동한다.Referring to FIG. 2G, the substrate coating apparatus 240 according to the fourth embodiment of the present invention includes an adsorption member 282 for adsorbing and fixing the upper surface of the substrate 230 at the top of the substrate 230, A vacuum pumping device 284 connected to the adsorption member 282; A surface acoustic wave spraying device 211 provided below the substrate 230 for spraying ink onto the lower surface of the substrate 230; A driving device (M) for moving the surface acoustic wave spraying device (211) on a lower surface of the substrate (230); And an electrode plate (232) provided on the upper surface of the substrate (230) and to which a ground state or a negative voltage is applied, wherein the surface acoustic wave spraying device (211) A portion 214; A surface acoustic wave generator 212 for generating a surface acoustic wave (SAW) to generate charged particles of positive ions by vibrating the ink solution S in the ink reservoir 214; A power supply 216 connected to one or more electrodes 218 provided on the ink reservoir 214; And an ink circulation device (208) connected to the ink reservoir (214) and circulatingly supplying and recovering the ink solution (S) to the ink reservoir (214), wherein the ink reservoir ) Is characterized in that the ink solution (S) in the ink circulation device (208) maintains a predetermined constant viscosity by the ink circulation device (208). The electrode plate 232 is connected to the upper surface of the substrate 230 in cooperation with the surface acoustic wave spraying device 211 when the surface acoustic wave spraying device 211 is moved by the driving device M from the lower surface of the substrate 230. [ .

상술한 도 2f 및 도 2g에 각각 도시된 본 발명의 제 3 및 제 4 실시예에 따른 기판 코팅 장치(240)는 상기 표면 탄성파 분무 장치(211) 및 상기 기판(230) 사이에 제공되며, 복수의 패턴 홀(222)을 구비하는 마스크(220)를 추가로 구비할 수 있다. 따라서, 마스크(220)가 사용되지 않는 경우 표면 탄성파 분무 장치(211)는 기판(230)의 하부면 상에 잉크를 전면 분사하여 도포된 박막(미도시)(예를 들어, 보호 커버)을 형성하고, 마스크(220)가 사용되는 경우 표면 탄성파 분무 장치(211)는 기판(230)의 하부면 상에 잉크를 분사하여 복수의 패턴 홀(222)에 대응되는 복수의 패턴(미도시)을 형성한다.The substrate coating apparatus 240 according to the third and fourth embodiments of the present invention shown in FIGS. 2F and 2G is provided between the surface acoustic wave atomizing apparatus 211 and the substrate 230, And a mask 220 having a pattern hole 222 of a pattern shape. Accordingly, when the mask 220 is not used, the surface acoustic wave spraying apparatus 211 forms a thin film (not shown) (for example, a protective cover) by spraying ink on the lower surface of the substrate 230 When the mask 220 is used, the surface acoustic wave spraying device 211 forms a plurality of patterns (not shown) corresponding to the plurality of pattern holes 222 by spraying ink on the lower surface of the substrate 230 do.

또한, 도 2f 및 도 2g에 각각 도시된 본 발명의 제 3 및 제 4 실시예에 따른 기판 코팅 장치(240)는 각각 예를 들어 로봇 암과 같은 별도의 이송 장치(미도시)에 의해 이송 가능하게 제공되며, 상기 전극판(232)의 하부면을 세정하기 위한 세정 장치(234)를 추가로 포함할 수 있다.In addition, the substrate coating apparatus 240 according to the third and fourth embodiments of the present invention shown in FIGS. 2F and 2G, respectively, can be transported by a separate transport apparatus (not shown) such as a robot arm And may further include a cleaning device 234 for cleaning the lower surface of the electrode plate 232.

상술한 도 2f 및 도 2g에 각각 도시된 본 발명의 제 3 및 제 4 실시예에 따른 기판 코팅 장치(240)에서는 기판(230)이 제 1 및 제 2 지지 부재(280a,280b) 상에 또는 흡착 부재(282)에 고정 지지된 상태에서, 표면 탄성파 분무 장치(211)가 구동 장치(M)에 의해 기판(230)의 하부면에서 이동하면서 잉크 분사가 이루어진다는 점을 제외하고는 표면 탄성파 분무 장치(211)가 정지된 상태에서 기판(230)이 제 1 및 제 3 부상 유닛(276a,276c)에 의해 부상 상태로 이송장치(284)에 의해 이송되면서 잉크 분사가 이루어지는 도 2d 및 도 2e에 도시된 본 발명의 제 1 및 제 2 실시예와 실질적으로 동일하다는 점에 유의하여야 한다. 따라서, 본 발명의 제 3 및 제 4 실시예에 따른 기판 코팅 장치(240)의 구체적인 구성 및 동작의 상세한 기술은 생략하기로 한다. In the substrate coating apparatus 240 according to the third and fourth embodiments of the present invention shown in FIGS. 2F and 2G described above, the substrate 230 is supported on the first and second support members 280a and 280b Except that the surface acoustic wave atomizing device 211 is moved by the driving device M on the lower surface of the substrate 230 while the ink is ejected in a state where the surface acoustic wave spraying device 211 is fixedly supported by the suction member 282, 2D and 2E in which the ink is ejected while the substrate 230 is being transported by the transfer device 284 to the floating state by the first and third floating units 276a and 276c with the apparatus 211 stopped, It should be noted that the present invention is substantially the same as the first and second embodiments of the present invention shown in the drawings. Therefore, detailed description of the specific configuration and operation of the substrate coating apparatus 240 according to the third and fourth embodiments of the present invention will be omitted.

다양한 변형예가 본 발명의 범위를 벗어남이 없이 본 명세서에 기술되고 예시된 구성 및 방법으로 만들어질 수 있으므로, 상기 상세한 설명에 포함되거나 첨부 도면에 도시된 모든 사항은 예시적인 것으로 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 따라서, 본 발명의 범위는 상술한 예시적인 실시예에 의해 제한되지 않으며, 이하의 청구범위 및 그 균등물에 따라서만 정해져야 한다.Various modifications may be made by those skilled in the art without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the following claims. It is not. Accordingly, the scope of the present invention should not be limited by the above-described exemplary embodiments, but should be determined only in accordance with the following claims and their equivalents.

100,200: 패턴 형성 장치 111,211: 표면 탄성파 분무 장치
112,212: 표면 탄성파 발생 장치 114,214: 잉크 저장부
116,216: 전원 장치 118,218: 전극 120,220: 마스크
122,222: 패턴 홀 124a,224a: 패턴 124b,224b: 박막
130,230: 기판 132,232: 전극판 140,240: 기판 코팅 장치
144,244: 흡착 패드 150: 갠트리 184,284: 이송 장치
196,198: 리니어 모션 가이드 198,298: 슬라이더
176a,276a,176b, 176c,276c: 부상 유닛 178: 노즐 장치
202: 잉크 공급 부재 202a; 잉크 공급 관로 204: 잉크 회수 부재
204a: 잉크 회수 관로 206: 리사이클 부재 208: 잉크 순환 장치
234: 세정 장치 280a280b: 지지 부재 282: 흡착 부재
284: 진공 펌핑 장치 M: 구동 장치100, 200: pattern forming device 111, 211: surface acoustic wave spraying device
112, 212: Surface acoustic wave generating device 114, 214:
116, 216: power source device 118, 218: electrode 120, 220: mask
122, 222: pattern holes 124a, 224a: patterns 124b, 224b: thin film
130, 230: substrate 132, 232: electrode plate 140, 240:
144, 244: Adsorption pad 150: Gantry 184, 284:
196, 198: Linear motion guide 198, 198: Slider
176a, 276a, 176b, 176c, 276c: floating unit 178: nozzle unit
202: ink supply member 202a; Ink supply line 204:
204a: ink recovery duct 206: recycle member 208: ink circulation device
234: Cleaning device 280a280b: Supporting member 282:
284: Vacuum pumping device M: Drive device

Claims (22)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 기판 코팅 장치에 있어서,
로딩 영역에서 기판을 부상시키기 위한 제 1 부상 유닛;
코팅 영역의 하부에 제공되며, 상기 기판의 하부면 상에 잉크를 분사하는 표면 탄성파 분무 장치;
상기 코팅 영역 상에서 상기 표면 탄성파 분무 장치 및 상기 기판 사이에 제공되며, 복수의 패턴 홀을 구비하는 마스크;
언로딩 영역에서 상기 기판을 부상시키기 위한 제 3 부상 유닛;
상기 기판을 상기 제 1 부상 유닛에서 상기 코팅 영역을 거쳐 상기 제 3 부상 유닛으로 이송하는 이송장치; 및
상기 코팅 영역 상에 제공되며, 접지 상태 또는 음전압이 인가되는 전극판
을 포함하되,
상기 표면 탄성파 분무 장치는
잉크 용액을 저장하는 잉크 저장부;
상기 잉크 저장부 내의 상기 잉크 용액을 진동시켜 양이온의 하전 입자를 발생시키도록 표면 탄성파를 발생시키는 표면 탄성파 발생 장치;
상기 잉크 저장부 상에 제공되는 하나 이상의 전극에 연결되는 전원 장치; 및
상기 잉크 저장부와 연결되며, 상기 잉크 용액을 상기 잉크 저장부에 순환 방식으로 공급 및 회수하는 잉크 순환 장치
를 포함하고,
상기 잉크 저장부 내의 상기 잉크 용액은 상기 잉크 순환 장치에 의해 미리 정해진 일정한 점도를 유지하는
기판 코팅 장치.In the substrate coating apparatus,
A first floating unit for floating the substrate in the loading area;
A surface acoustic wave spraying device provided at a lower portion of the coating area and spraying ink onto the lower surface of the substrate;
A mask provided between the surface acoustic wave spraying device and the substrate on the coating area, the mask having a plurality of pattern holes;
A third floating unit for floating the substrate in the unloading area;
A transfer device for transferring the substrate from the first floating unit to the third floating unit via the coating area; And
And an electrode plate provided on the coating region and to which a grounded or negative voltage is applied,
≪ / RTI >
The surface acoustic wave spraying apparatus
An ink storage portion for storing the ink solution;
A surface acoustic wave generator generating a surface acoustic wave to generate charged particles of positive ions by vibrating the ink solution in the ink reservoir;
A power supply connected to one or more electrodes provided on the ink reservoir; And
An ink circulation device connected to the ink reservoir and circulatingly supplying and recovering the ink solution to the ink reservoir,
Lt; / RTI >
Wherein the ink solution in the ink reservoir maintains a predetermined constant viscosity by the ink circulating device
Substrate coating apparatus. 제 10항에 있어서,
상기 기판 코팅 장치는 별도의 이송 장치에 의해 이송 가능하게 제공되며, 상기 전극판의 하부면을 세정하기 위한 세정 장치를 추가로 포함하는 기판 코팅 장치.11. The method of claim 10,
Wherein the substrate coating apparatus is transportably provided by a separate transfer device and further comprises a cleaning device for cleaning the lower surface of the electrode plate. 제 10항 또는 제 11항에 있어서,
상기 잉크 순환 장치는
잉크 공급 관로를 통해 상기 잉크 저장부에 상기 잉크 용액을 공급하는 잉크 공급 부재; 및
잉크 회수 관로를 통해 상기 잉크 저장부로부터 상기 잉크 용액을 회수하는 잉크 회수 부재
를 포함하는 기판 코팅 장치.The method according to claim 10 or 11,
The ink circulating device
An ink supply member for supplying the ink solution to the ink reservoir through an ink supply line; And
An ink recovery unit for recovering the ink solution from the ink reservoir through an ink recovery duct,
And a substrate coating apparatus. 제 12항에 있어서,
상기 표면 탄성파 분무 장치는 상기 잉크 공급 부재 및 상기 잉크 회수 부재와 각각 연결되며, 상기 잉크 회수 부재로 회수된 상기 잉크 용액의 점도를 상기 미리 정해진 일정한 점도로 조정하는 리사이클 부재를 추가로 포함하는 기판 코팅 장치.13. The method of claim 12,
Wherein the surface acoustic wave atomizing device further comprises a recycle member connected to the ink supply member and the ink recovery member, respectively, for regulating the viscosity of the ink solution recovered by the ink recovery member to the predetermined constant viscosity, Device. 기판 코팅 장치에 있어서,
로딩 영역에서 기판을 부상시키기 위한 제 1 부상 유닛;
코팅 영역의 하부에 제공되며, 상기 기판의 하부면 상에 잉크를 분사하는 표면 탄성파 분무 장치;
언로딩 영역에서 상기 기판을 부상시키기 위한 제 3 부상 유닛;
상기 기판을 상기 제 1 부상 유닛에서 상기 코팅 영역을 거쳐 상기 제 3 부상 유닛으로 이송하는 이송장치; 및
상기 코팅 영역 상에 제공되며, 접지 상태 또는 음전압이 인가되는 전극판
을 포함하되,
상기 표면 탄성파 분무 장치는
잉크 용액을 저장하는 잉크 저장부;
상기 잉크 저장부 내의 상기 잉크 용액을 진동시켜 양이온의 하전 입자를 발생시키도록 표면 탄성파를 발생시키는 표면 탄성파 발생 장치;
상기 잉크 저장부 상에 제공되는 하나 이상의 전극에 연결되는 전원 장치; 및
상기 잉크 저장부와 연결되며, 상기 잉크 용액을 상기 잉크 저장부에 순환 방식으로 공급 및 회수하는 잉크 순환 장치
를 포함하고,
상기 잉크 저장부 내의 상기 잉크 용액은 상기 잉크 순환 장치에 의해 미리 정해진 일정한 점도를 유지하는
기판 코팅 장치.In the substrate coating apparatus,
A first floating unit for floating the substrate in the loading area;
A surface acoustic wave spraying device provided at a lower portion of the coating area and spraying ink onto the lower surface of the substrate;
A third floating unit for floating the substrate in the unloading area;
A transfer device for transferring the substrate from the first floating unit to the third floating unit via the coating area; And
And an electrode plate provided on the coating region and to which a grounded or negative voltage is applied,
≪ / RTI >
The surface acoustic wave spraying apparatus
An ink storage portion for storing the ink solution;
A surface acoustic wave generator generating a surface acoustic wave to generate charged particles of positive ions by vibrating the ink solution in the ink reservoir;
A power supply connected to one or more electrodes provided on the ink reservoir; And
An ink circulation device connected to the ink reservoir and circulatingly supplying and recovering the ink solution to the ink reservoir,
Lt; / RTI >
Wherein the ink solution in the ink reservoir maintains a predetermined constant viscosity by the ink circulating device
Substrate coating apparatus. 제 14항에 있어서,
상기 기판 코팅 장치는 별도의 이송 장치에 의해 이송 가능하게 제공되며, 상기 전극판의 하부면을 세정하기 위한 세정 장치를 추가로 포함하는 기판 코팅 장치.15. The method of claim 14,
Wherein the substrate coating apparatus is transportably provided by a separate transfer device and further comprises a cleaning device for cleaning the lower surface of the electrode plate. 제 14항 또는 제 15항에 있어서,
상기 잉크 순환 장치는
잉크 공급 관로를 통해 상기 잉크 저장부에 상기 잉크 용액을 공급하는 잉크 공급 부재; 및
잉크 회수 관로를 통해 상기 잉크 저장부로부터 상기 잉크 용액을 회수하는 잉크 회수 부재
를 포함하는 기판 코팅 장치.16. The method according to claim 14 or 15,
The ink circulating device
An ink supply member for supplying the ink solution to the ink reservoir through an ink supply line; And
An ink recovery unit for recovering the ink solution from the ink reservoir through an ink recovery duct,
And a substrate coating apparatus. 제 16항에 있어서,
상기 표면 탄성파 분무 장치는 상기 잉크 공급 부재 및 상기 잉크 회수 부재와 각각 연결되며, 상기 잉크 회수 부재로 회수된 상기 잉크 용액의 점도를 상기 미리 정해진 일정한 점도로 조정하는 리사이클 부재를 추가로 포함하는 기판 코팅 장치.17. The method of claim 16,
Wherein the surface acoustic wave atomizing device further comprises a recycle member connected to the ink supply member and the ink recovery member, respectively, for regulating the viscosity of the ink solution recovered by the ink recovery member to the predetermined constant viscosity, Device. 기판 코팅 장치에 있어서,
기판을 고정 지지하는 제 1 및 제 2 지지 부재;
상기 기판의 하부에 제공되며, 상기 기판의 하부면 상에 잉크를 분사하는 표면 탄성파 분무 장치;
상기 표면 탄성파 분무 장치를 상기 기판의 하부면에서 이동시키기 위한 구동 장치; 및
상기 기판의 상부면 상에 제공되며, 접지 상태 또는 음전압이 인가되는 전극판
을 포함하되,
상기 표면 탄성파 분무 장치는
잉크 용액을 저장하는 잉크 저장부;
상기 잉크 저장부 내의 상기 잉크 용액을 진동시켜 양이온의 하전 입자를 발생시키도록 표면 탄성파를 발생시키는 표면 탄성파 발생 장치;
상기 잉크 저장부 상에 제공되는 하나 이상의 전극에 연결되는 전원 장치; 및
상기 잉크 저장부와 연결되며, 상기 잉크 용액을 상기 잉크 저장부에 순환 방식으로 공급 및 회수하는 잉크 순환 장치
를 포함하고,
상기 잉크 저장부 내의 상기 잉크 용액은 상기 잉크 순환 장치에 의해 미리 정해진 일정한 점도를 유지하는
기판 코팅 장치.In the substrate coating apparatus,
First and second supporting members for fixing and supporting the substrate;
A surface acoustic wave spraying device provided at a lower portion of the substrate, the surface acoustic wave spraying device spraying ink onto a lower surface of the substrate;
A driving device for moving the surface acoustic wave spraying device on a lower surface of the substrate; And
And an electrode plate provided on the upper surface of the substrate,
≪ / RTI >
The surface acoustic wave spraying apparatus
An ink storage portion for storing the ink solution;
A surface acoustic wave generator generating a surface acoustic wave to generate charged particles of positive ions by vibrating the ink solution in the ink reservoir;
A power supply connected to one or more electrodes provided on the ink reservoir; And
An ink circulation device connected to the ink reservoir and circulatingly supplying and recovering the ink solution to the ink reservoir,
Lt; / RTI >
Wherein the ink solution in the ink reservoir maintains a predetermined constant viscosity by the ink circulating device
Substrate coating apparatus. 기판 코팅 장치에 있어서,
기판의 상부에서 상기 기판의 상부면을 전면 흡착하여 고정 지지하는 흡착 부재;
상기 흡착 부재와 연결되는 진공 펌핑 장치;
상기 기판의 하부에 제공되며, 상기 기판의 하부면 상에 잉크를 분사하는 표면 탄성파 분무 장치;
상기 표면 탄성파 분무 장치를 상기 기판의 하부면에서 이동시키기 위한 구동 장치; 및
상기 기판의 상부면 상에 제공되며, 접지 상태 또는 음전압이 인가되는 전극판
을 포함하되,
상기 표면 탄성파 분무 장치는
잉크 용액을 저장하는 잉크 저장부;
상기 잉크 저장부 내의 상기 잉크 용액을 진동시켜 양이온의 하전 입자를 발생시키도록 표면 탄성파를 발생시키는 표면 탄성파 발생 장치;
상기 잉크 저장부 상에 제공되는 하나 이상의 전극에 연결되는 전원 장치; 및
상기 잉크 저장부와 연결되며, 상기 잉크 용액을 상기 잉크 저장부에 순환 방식으로 공급 및 회수하는 잉크 순환 장치
를 포함하고,
상기 잉크 저장부 내의 상기 잉크 용액은 상기 잉크 순환 장치에 의해 미리 정해진 일정한 점도를 유지하는
기판 코팅 장치.In the substrate coating apparatus,
An adsorption member for adsorbing and fixing the upper surface of the substrate at the top of the substrate;
A vacuum pumping device connected to the adsorption member;
A surface acoustic wave spraying device provided at a lower portion of the substrate, the surface acoustic wave spraying device spraying ink onto a lower surface of the substrate;
A driving device for moving the surface acoustic wave spraying device on a lower surface of the substrate; And
And an electrode plate provided on the upper surface of the substrate,
≪ / RTI >
The surface acoustic wave spraying apparatus
An ink storage portion for storing the ink solution;
A surface acoustic wave generator generating a surface acoustic wave to generate charged particles of positive ions by vibrating the ink solution in the ink reservoir;
A power supply connected to one or more electrodes provided on the ink reservoir; And
An ink circulation device connected to the ink reservoir and circulatingly supplying and recovering the ink solution to the ink reservoir,
Lt; / RTI >
Wherein the ink solution in the ink reservoir maintains a predetermined constant viscosity by the ink circulating device
Substrate coating apparatus. 제 18항 또는 제 19항에 있어서,
상기 전극판은 상기 표면 탄성파 분무 장치가 상기 구동 장치에 의해 상기 기판의 하부면에서 이동할 때, 상기 표면 탄성파 분무 장치와 연동하여 상기 기판의 상부면에서 이동하는 기판 코팅 장치.20. The method according to claim 18 or 19,
Wherein the electrode plate moves on the upper surface of the substrate in cooperation with the surface acoustic wave spraying device when the surface acoustic wave spraying device moves on the lower surface of the substrate by the driving device. 제 18항 또는 제 19항에 있어서,
상기 기판 코팅 장치는 상기 표면 탄성파 분무 장치 및 상기 기판 사이에 제공되며, 복수의 패턴 홀을 구비하는 마스크를 추가로 구비하는 기판 코팅 장치.20. The method according to claim 18 or 19,
Wherein the substrate coating apparatus further comprises a mask provided between the surface acoustic wave atomizing apparatus and the substrate, the mask including a plurality of pattern holes. 제 18항 또는 제 19항에 있어서,
상기 기판 코팅 장치는 별도의 이송 장치에 의해 이송 가능하게 제공되며, 상기 전극판의 하부면을 세정하기 위한 세정 장치를 추가로 포함하는 기판 코팅 장치.20. The method according to claim 18 or 19,
Wherein the substrate coating apparatus is transportably provided by a separate transfer device and further comprises a cleaning device for cleaning the lower surface of the electrode plate.
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