KR101413416B1 - 시트 형상 몰드 이송 위치 결정 장치 - Google Patents

Abstract

이송 위치 결정 장치이며, 시트 형상 몰드 M의 몰드 원반 MB를 설치하는 몰드 원반 설치 장치(9)와, 몰드 원반 설치 장치(9)로부터 조출되어 있는 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA를 권취하는 몰드 권취 장치(11)와, 릴리징을 할 때에 평판 형상의 시트 형상 몰드의 형태가 변화되어도, 평판 형상의 시트 형상 몰드의 장력을 일정하게 유지하는 장력 유지 장치를 갖는다.

Description

시트 형상 몰드 이송 위치 결정 장치 {SHEET-MOLD TRANSFER/POSITIONING DEVICE}

본 발명은 시트 형상 몰드 이송 위치 결정 장치에 관한 것으로, 특히 미세한 전사 패턴이 형성되어 있는 시트 형상 몰드를 이송하여 위치 결정하는 것에 관한 것이다.

최근, 전자선 묘화법 등으로 석영 기판 등에 초미세한 전사 패턴을 형성하여 형틀(몰드)을 제작하고, 피성형품에 상기 형틀을 소정의 압력으로 압박하고, 당해 형틀에 형성된 전사 패턴을 전사하는 나노 임프린트 기술이 연구 개발되어 있다(예를 들어, 비특허 문헌 1 참조).

나노 오더의 미세한 패턴(전사 패턴)을 저비용으로 성형하는 방법으로서 리소그래피 기술을 사용한 임프린트법이 고안되어 있다. 이 성형법은 크게 구별하여 열 임프린트법과 UV 임프린트법으로 분류된다.

열 임프린트법에서는 형틀을 기판에 압박하여, 열가소성 폴리머로 이루어지는 수지(열가소성 수지)가 충분히 유동 가능해지는 온도로 될 때까지 가열하여 미세 패턴에 수지를 유입시킨 후, 형틀과 수지를 글래스 전이 온도 이하로 될 때까지 냉각하여, 기판에 전사된 미세 패턴을 고화한 후 형틀을 분리한다.

UV 임프린트법에서는 광을 투과할 수 있는 투명한 형틀을 사용하여, UV 경화성 액에 형틀을 압박하여 UV 방사광을 가한다. 적당한 시간 방사광을 가하여 액을 경화시켜 미세 패턴을 전사한 후 형틀을 분리한다.

또한, 상기 전사를 위해 시트 형상의 몰드를 사용하는 장치로서, 예를 들어 특허 문헌 1에 개시하는 것이 제안되어 있다(예를 들어, 특허 문헌 1 참조).

일본 특허 출원 공개 제2011-020272호 공보

Precision Engineering Journal of the International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology 25(2001)192-199

그런데, 상기 종래의 전사 장치에서는, 전사를 함으로써 피성형품에 부착되어 있는 시트 형상 몰드를 피성형품으로부터 릴리징할 때에, 시트 형상 몰드의 형태(연신의 형태)가 바뀌어(특허 문헌 1의 도 8이나 도 9 참조), 시트 형상 몰드가 느슨해지거나 끊어져 버릴 우려가 있다. 그리고, 전사 장치의 원활한 작동이 저해되는 경우가 있다.

본 발명은 상기 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 미세한 전사 패턴이 형성되어 있는 시트 형상 몰드를 평판 형상으로 하고, 이 평판 형상의 시트 형상 몰드의 미세한 전사 패턴을 평판 형상의 피성형품에 전사하여 이 전사에 의해 부착되어 있는 상기 피성형품을 시트 형상 몰드로부터 릴리징하기 위해, 평판 형상의 시트 형상 몰드를 소정의 방향으로 이송한 후에 위치 결정하는 시트 형상 몰드 이송 위치 결정 장치에 있어서, 시트 형상 몰드가 느슨해지거나 끊어지는 것을 방지할 수 있는 것을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 제1 형태는, 미세한 전사 패턴이 형성되어 있는 시트 형상 몰드를 평판 형상으로 하고, 이 평판 형상의 시트 형상 몰드의 미세한 전사 패턴을 평판 형상의 피성형품에 전사하여 이 전사에 의해 부착되어 있는 상기 피성형품을 상기 평판 형상의 시트 형상 몰드로부터 릴리징하기 위해, 상기 평판 형상의 시트 형상 몰드를 소정의 방향으로 이송하여 위치 결정하는 이송 위치 결정 장치이며, 상기 시트 형상 몰드의 몰드 원반을 설치하는 몰드 원반 설치 장치와, 상기 몰드 원반 설치 장치로부터 조출되어 있는 평판 형상의 시트 형상 몰드를 권취하는 몰드 권취 장치와, 상기 릴리징을 할 때에 평판 형상의 시트 형상 몰드의 형태가 변화되어도, 상기 평판 형상의 시트 형상 몰드의 장력을 일정하게 유지하는 장력 유지 장치를 갖는다.

상기 릴리징은 상기 전사를 위해 평판 형상의 시트 형상 몰드와 피성형품이 끼워져 있을 때에, 상기 전사를 하는 개소와 상기 몰드 권취 장치 사이에 존재하여 상기 전사에 의해 서로 부착되어 있는 상기 피성형품과 상기 평판 형상의 시트 형상 몰드 중 시트 형상 몰드를 몰드 보유 지지체로 흡착하고 피성형품을 피성형품 보유 지지체로 흡착하여, 상기 몰드 보유 지지체를 회전시킴으로써 이루어지는 것이 바람직하다. 상기 장력 유지 장치는 상기 전사를 하는 개소와 상기 몰드 권취 장치 사이에 있어서의 평판 형상의 시트 형상 몰드의 장력을 유지하는 것이 바람직하다.

상기 장력 유지 장치는 상기 전사를 하는 개소와 상기 몰드 권취 장치 사이에 존재하고 있는 평판 형상의 시트 형상 몰드가 권취되는 롤러와, 이 롤러에 권취되어 있는 평판 형상의 시트 형상 몰드에 적정한 장력을 부여하도록, 상기 롤러의 위치에 관계없이 대략 일정한 힘으로 상기 롤러를 가압하는 가압 장치를 구비해도 된다. 상기 가압 장치는 에어 실린더와, 이 에어 실린더에 공급되는 공기압을 일정한 값으로 제어하는 공기압 제어 기기를 구비해도 된다.

상기 장력 유지 장치의 롤러에는 상기 시트 형상 몰드의, 미세한 전사 패턴이 형성되어 있는 면과는 반대측의 면인 배면이 접촉되어 있는 것이 바람직하다.

본 발명에 따르면, 미세한 전사 패턴이 형성되어 있는 시트 형상 몰드를 평판 형상으로 하고, 이 평판 형상의 시트 형상 몰드의 미세한 전사 패턴을 평판 형상의 피성형품에 전사하여 이 전사에 의해 부착되어 있는 상기 피성형품을 시트 형상 몰드로부터 릴리징하기 위해, 평판 형상의 시트 형상 몰드를 소정의 방향으로 이송한 후에 위치 결정하는 이송 위치 결정 장치에 있어서, 시트 형상 몰드가 느슨해지거나 끊어지는 것을 방지할 수 있다고 하는 효과를 발휘한다.

도 1은 본 발명의 실시 형태에 관한 전사 시스템의 개요를 도시하는 도면이다.
도 2는 전사 시스템의 개요를 도시하는 평면도이다.
도 3은 전사 시스템의 개요를 도시하는 평면도이다.
도 4는 평판 형상의 시트 형상 몰드와 각 접촉 부재 등의 크기나 위치의 관계를 나타내는 도면이다.
도 5는 평판 형상의 시트 형상 몰드와 각 접촉 부재 등의 크기나 위치의 관계를 나타내는 도면이다.
도 6은 전사 장치 개략 구성을 도시하는 사시도이다.
도 7은 전사 장치 개략 구성을 도시하는 사시도이다.
도 8은 전사 장치의 단면 화살표도이다.
도 9는 전사 장치의 개요와 동작을 도시하는 도면이다.
도 10은 전사 장치의 개요와 동작을 도시하는 도면이다.
도 11은 전사 장치의 개요와 동작을 도시하는 도면이다.
도 12는 전사 장치의 개요와 동작을 도시하는 도면이다.
도 13은 전사 장치의 개요와 동작을 도시하는 도면이다.
도 14는 전사 장치의 개요와 동작을 도시하는 도면이다.
도 15는 전사 장치의 개요와 동작을 도시하는 도면이다.
도 16은 릴리징 장치의 개요와 동작을 도시하는 도면이다.
도 17은 릴리징 장치의 개요와 동작을 도시하는 도면이다.
도 18은 릴리징 장치의 개요와 동작을 도시하는 도면이다.
도 19는 릴리징 장치의 개요와 동작을 도시하는 도면이다.
도 20은 릴리징 장치의 개요와 동작을 도시하는 도면이다.
도 21은 도 9의 (a)에 있어서의 XXI부의 확대도이다.
도 22는 시트 형상 몰드 작성 장치의 개요를 도시하는 도면이다.
도 23은 변형예에 관한 시트 형상 몰드 작성 장치의 개요를 도시하는 도면이다.
도 24는 시트 형상 몰드를 도시하는 도면이다.
도 25는 시트 형상 몰드 작성 장치를 포함하는 전사 시스템의 개요를 도시하는 평면도이다.
도 26은 도 24의 (a)에 있어서의 XXVI-XXVI 단면을 도시하는 도면이다.
도 27은 전사 장치의 모식도, 변형예에 관한 전사 장치의 모식도이다.
도 28은 변형예에 관한 전사 장치의 모식도이다.
도 29는 변형예에 관한 전사 장치의 모식도이다.
도 30은 변형예에 관한 전사 장치의 모식도이다.
도 31은 변형예에 관한 전사 장치에 사용되는 이동체 지지체를 도시하는 도면이다.

도 1은 본 발명의 실시 형태에 관한 이송 위치 결정 장치(시트 형상 몰드 이송 위치 결정 장치)(3)가 사용되는 전사 시스템(1)의 개요를 도시하는 도면이고, 도 2, 도 3은 전사 시스템(1)의 개요를 도시하는 평면도이다.

전사 시스템(1)은 시트 형상의 몰드 M에 형성되어 있는 미세한 전사 패턴 M1을 피성형품 W에 전사하는 시스템으로, 이송 위치 결정 장치(3)와 전사 장치(5)와 릴리징 장치(7)를 구비한다.

도 6, 도 7은 전사 장치(5)의 개략 구성을 도시하는 사시도이고, 도 8은 전사 장치(5)의 단면 화살표도이며, 도 8의 (a)는 도 6에 있어서의 VIIIA-VIIIA 단면 화살표도이고, 도 8의 (b)는 도 6에 있어서의 VIIIB-VIIIB 단면 화살표도이고, 도 8의 (c)는 도 8의 (b)에 있어서의 C-C 단면을 도시하는 도면이다. 또한, 도 8의 (a)에서는, 상세하게는 후술하는 벨로즈(107), 하측 접촉 부재(109)의 표시를 생략하고 있다. 도 9 내지 도 15는 전사 장치(5)의 개요와 동작을 도시하는 도면이고, 도 16 내지 도 20은 릴리징 장치(7)의 개요와 동작을 도시하는 도면이고, 도 21은 도 9의 (a)에 있어서의 XXI부의 확대도이다.

이송 위치 결정 장치(3)는 시트 형상의 몰드 M의 이송에 의해, 소정의 개소에서 평판 형상으로 하여, 이 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA를 소정의 방향으로 위치 결정하는 장치이다. 소정의 개소라 함은, 예를 들어 몰드 원반 설치 장치(9)와 몰드 권취 장치(11) 사이이고, 소정의 방향이라 함은, 예를 들어 몰드 원반 설치 장치(9)로부터 몰드 권취 장치(11)를 향하는 수평 방향이다. 또한, 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA의 이송 및 위치 결정은 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA의 미세한 전사 패턴을, 전사 장치(5)를 사용하여 평판 형상의 피성형품 W에 전사를 할 때, 이 전사의 준비를 위해, 또한 이 전사에 의해 시트 형상 몰드 MA에 부착되어 있는 피성형품 W를 시트 형상 몰드로부터 릴리징할 때, 이 릴리징의 준비를 위해 이루어지는 것이다.

시트 형상 몰드 위치 검출 장치(183)(도 1, 도 26 참조)는 이송 위치 결정 장치(3)에 설치되어 있다. 그리고, 시트 형상 몰드 위치 검출 장치(183)에 의해 이송되어 있는 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA의 소정 부위가 검출했을 때에, 시트 형상 몰드 MA의 이송을 정지하여, 전사 장치(5) 등에 대한 시트 형상 몰드 MA의 위치 결정이 이루어지도록 되어 있다.

또한, 미세한 전사 패턴 M1은, 예를 들어 다수의 미세한 요철로 형성되어 있고, 높이나 피치가 가시광선의 파장 정도이거나 혹은 가시광선의 파장보다도 약간 크거나 약간 작은 패턴이고, 시트 형상 몰드 M의 두께 방향의 한쪽의 면에 형성되어 있다. 즉, 도 1, 도 9 내지 도 20에서는, 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA의 하면에 미세한 전사 패턴이 형성되어 있다.

전사 장치(5)는 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA에 형성되어 있는 미세한 전사 패턴 M1을 피성형품(피전사품) W에, 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA로 피성형품 W를 압박하여 전사하는 장치이고, 이송 위치 결정 장치(3)에 의한 시트 형상 몰드 M의 이송 방향에서 상류측(도 1, 도 9 내지 도 20 등에서는 좌측)에 설치되어 있다.

릴리징 장치(피성형품 분리 장치)(7)는 전사 장치(5)에 의한 전사가 이루어져 서로가 부착되어 있는 시트 형상 몰드 MA와 피성형품(전사 후 피성형품) W를 릴리징하는(시트 형상 몰드 MA로부터 피성형품 W를 릴리징하는;분리하는) 장치이고, 이송 위치 결정 장치(3)에 의한 시트 형상 몰드 MA의 이송 방향에서 하류측[전사 장치(5)로부터 이격되어 전사 장치(5)보다도 하류측;도 1, 도 9 내지 도 20 등에서는 우측]에 설치되어 있다.

또한, 릴리징 장치(7)에 의한 릴리징은 전사 장치(5)에 의한 전사가 이루어진 후이며 이송 위치 결정 장치(3)에 의한 시트 형상 몰드 MA와 이 시트 형상 몰드 MA에 부착되어 있는 피성형품 W의 이송 및 위치 결정이 이루어진 후, 전사 장치(5)에 의한 다음의 다른 전사가 이루어져 있을 때에 행해지도록 되어 있다. 또한, 이송 위치 결정 장치(3)에 의한 시트 형상 몰드 MA와 피성형품 W의 이송 및 위치 결정은 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA를 몰드 권취 장치(11)로 권취함으로써 행해지도록 되어 있다.

또한, 전사 시스템(1)에는 제1 스토커(전사 전 피성형품 스토커, 전사 전 기판 스토커)(13)와 제1 반송 장치(전사 전 피성형품 반송 장치)(15)와 제2 스토커(전사 후 피성형품 스토커, 전사 후 기판 스토커)(17)와 제2 반송 장치(전사 후 피성형품 반송 장치)(19)가 설치되어 있다.

제1 스토커(13)는 전사 장치(5)에 의한 전사가 이루어지기 전의 복수의 피성형품 W를 저장하는 스토커이고, 제1 반송 장치(15)는 제1 스토커(13)에 저장되어 있는 피성형품 W를 낱장으로(즉, 1매씩) 전사 장치(5)에 공급하는 장치이다.

제2 스토커(17)는 전사 장치(5)에 의한 전사가 이루어진 후의 복수의 피성형품 W를 저장하는 스토커이고, 제2 반송 장치(19)는 릴리징 장치(7)에서 시트 형상 몰드 MA로부터 릴리징된 전사 후 피성형품 W를 낱장으로 제2 스토커(17)에 공급하는 장치이다.

또한, 제1 반송 장치(15)는 로봇(21)과 슬라이더(23)를 구비한다. 슬라이더(23)는 제1 스토커(13)에 저장되어 있는 전사 전 피성형품 W를 낱장으로 제1 스토커(13)로부터 취출하여 로봇(21)에 인도하는 장치이다.

또한, 제2 반송 장치(19)는 로봇(21)과 슬라이더(25)를 구비한다. 슬라이더(25)는 로봇(21)으로부터 수취한 전사 후의 피성형품 W를, 제2 스토커(17)에 낱장으로 저장하는 장치이다.

또한, 전사 시스템(1)에는 시트 형상 몰드 작성 장치(27)가 설치되어 있다.

도 22는 시트 형상 몰드 작성 장치(27)의 개요를 도시하는 도면이다.

시트 형상 몰드 작성 장치(27)는 시트 형상의 소재 M2의 두께 방향의 한쪽의 면에 미세한 전사 패턴 M1을, 예를 들어 전사에 의해 형성하여 시트 형상 몰드(시트 형상의 형) M을 작성하는 장치이다. 전사 시스템(1)에서는, 1대의 시트 형상 몰드 작성 장치(27)에 대해, 1대의 이송 위치 결정 장치(3)와 1대의 전사 장치(5)와 1대의 릴리징 장치(7)를 1조로서 구비하는 유닛(이송ㆍ전사ㆍ릴리징 유닛)(29)이 복수 설치되어 있다.

즉, 도 25에 도시한 바와 같이, 1대의 시트 형상 몰드 작성 장치(27)에 대해, 복수대의 유닛(29)이 설치되어 있다. 그리고, 시트 형상 몰드 작성 장치(27)로 작성된 시트 형상의 몰드 M이 각각의 유닛(29)에 공급되도록 되어 있다. 시트 형상 몰드 작성 장치(27)와 유닛(29)의 수의 비는 시트 형상 몰드 작성 장치(27)의 택트 타임과 유닛(29)의 택트 타임을 참조하여, 시트 형상 몰드 작성 장치(27)나 유닛(29)의 유휴 시간(아이들링 타임)이 최소로 되어, 가장 효율적으로 시트 형상 몰드 M으로부터 피성형품 W로의 전사가 이루어지도록 정해져 있다.

또한, 유닛(29)이, 제1 스토커(13), 제1 반송 장치(15), 제2 스토커(17), 제2 반송 장치(19)를 구비하고 있어도 된다.

전사 장치(5)는, 예를 들어, 도 9의 (a)에 도시한 바와 같이, 압박체(31)와 피성형품 W를 설치하는 피성형품 설치체(33)로 피성형품 W와 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA를 끼워 넣고, 전사를 하도록 구성되어 있다.

압박체(31)는 평판 형상의 완충재(35)에 의해, 피성형품 W와 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA의 끼워 넣기를 행하도록 구성되어 있다. 이 평판 형상의 완충재라 함은, 예를 들어 자외선이 투과하는 경질 고무 혹은 부드러운 수지 등의 탄성재로 구성된 완충재이다.

피성형품 설치체(33)와 압박체(31)로, 시트 형상 몰드 MA와 피성형품 W를 끼워 넣고 있는 상태에서는, 피성형품 설치체(33)에 피성형품 W가 접촉하고, 피성형품 W에 시트 형상 몰드 MA가 접촉하고, 시트 형상 몰드 MA에 압박체(31)가 접촉하고 있다[예를 들어, 도 12의 (a) 참조].

전사 장치(5)의 압박체(31)는, 도 21에 도시한 바와 같이, 자외선이 투과하는 글래스 등의 강성이 높은 재료로 구성된 평판 형상의 기재(예를 들어, 백업 글래스)(37)와, 이 기재(37)를 덮도록 층 형상으로 설치된 완충재(35)와, 자외선이 투과하여 시트 형상 몰드 M에 부착되기 어려운(예를 들어, 마찰 계수가 작은 재료) 재료(예를 들어, 글래스, PET 수지)로 구성된 평판 형상의 몰드 접촉재(39)를 구비한다. 몰드 접촉재(39)는 완충재(35)를 덮도록 층 형상[완충재(35)의 탄성 변형에 따라서 탄성 변형될 정도의 얇은 층 형상]으로 설치되어 있다.

또한, 피성형품 설치체(33)와 압박체(31)로, 시트 형상 몰드 MA와 피성형품 W를 끼워 넣고 있는 상태에서는, 몰드 접촉재(39)가 시트 형상 몰드 MA에 접촉하고 있다.

몰드 원반 설치 장치(9)와 몰드 권취 장치(11) 사이에서, 예를 들어 수평 방향으로 연장되어 있는 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA는 시트 형상 몰드 M이 권취되어 있는 몰드 원반 MB로부터 연장되어 있는 시트 형상 몰드이다(도 1 등 참조).

도 21에 도시하는 미세한 전사 패턴 M1은 시트 형상 몰드 M의 일부인 전사 패턴 형성 영역 AE1에 형성되어 있고, 전사 패턴 형성 영역 이외의 시트 형상 몰드 M의 부위 AE2 중 적어도 일부에는 스페이서(라미네이트 필름) S1이 설치되어 있다(도 24 참조). 또한, 도 24의 (a)는 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA의 평면도이고, 도 24의 (b)는 도 24의 (a)에 있어서의 B-B 단면을 도시하는 도면이다.

라미네이트 필름 S1은, 도 24의 (c)(몰드 원반 MB의 단면도)에 도시한 바와 같이, 몰드 원반 MB로 되어 있는 시트 형상 몰드 M(Mx)의 미세한 전사 패턴 M1;Mx1(전사 패턴 형성 영역 AE1)이, 이 미세한 전사 패턴 M1(Mx1)에 인접하여 대향하고 있는 시트 형상 몰드 M(My)에 압박되는 것을 방지하기(예를 들어, 접촉하는 것을 방지하기) 위한 소정의 두께로 되어 있다.

시트 형상의 몰드 M은, 이미 이해된 바와 같이 소정의 폭으로 길게 형성되어 있다. 또한, 도 1, 도 9 내지 도 22의 지면에 직교하는 방향이 시트 형상의 몰드 M의 폭 방향으로 되어 있다.

미세한 전사 패턴 M1은, 도 24의 (a)에 도시한 바와 같이, 예를 들어 직사각 형상의 영역 AE1에 형성되어 있다. 이 직사각 형상의 전사 패턴 형성 영역 AE1은 시트 형상의 몰드 M의 폭보다도 작게 되어 있다. 시트 형상의 몰드 M의 두께 방향으로부터 보면, 전사 패턴 형성 영역 AE1은 이 폭 방향이 시트 형상의 몰드 M의 폭 방향과 일치하고, 시트 형상의 몰드 M의 중간 정도에 위치하고 있다. 시트 형상의 몰드 M의 길이 방향에서는, 전사 패턴 형성 영역 AE1이 소정의 간격을 두고(피치 p1로), 시트 형상 몰드 M의 길이 방향으로 배열되어 있다.

이송 위치 결정 장치(3)는 몰드 원반 MB를 설치하는 몰드 원반 설치 장치(조출 롤러)(9)와, 이 몰드 원반 설치 장치(9)에 설치되어 있는 몰드 원반 MB로부터 조출되어 있는(연장되어 있는) 시트 형상의 몰드 MA를 권취하는 몰드 권취 장치(권취 롤러)(11)를 구비한다. 그리고, 전술한 바와 같이, 몰드 원반 설치 장치(9)와 몰드 권취 장치(11) 사이에서, 시트 형상 몰드 MA가 연장되어, 대략 평판 형상으로 되어 있다(도 1 등 참조). 또한, 몰드 원반 설치 장치(9), 몰드 권취 장치(11)는 베드(45)에 일체적으로 설치되어 있다.

몰드 원반 설치 장치(9)와 몰드 권취 장치(11) 사이에서, 평판 형상으로 되어 있는 시트 형상 몰드(평판 형상의 시트 형상 몰드) MA에는 장력 부여 장치(195)[도 1, 도 9의 (a), 도 16의 (a) 참조]에 의해, 이 길이 방향[몰드 원반 설치 장치(9)와 몰드 권취 장치(11)를 서로 연결하는, 예를 들어 수평한 방향]으로 소정의 장력이 가해져 있다. 이에 의해, 평판 형상의 형태를 유지하도록 되어 있다. 미세한 전사 패턴 M1은, 도 9 내지 도 20에는 도시하고 있지 않지만, 전술한 바와 같이, 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA의 하면에 형성되어 있다(도 21 참조).

몰드 원반(피륙 형상의 몰드) MB는 전사 장치(5)에 의한 전사에 사용되기 전의 롤 형상의 몰드이다. 몰드 원반 MB는 시트 형상의 몰드 M을, 원기둥 형상의 코어재의 외주에, 이 외주의 둘레 방향과 시트 형상의 몰드 M의 길이 방향이 서로 일치하도록 하여 겹쳐서 권취하여, 원통 형상 혹은 원기둥 형상으로 형성되어 있다.

몰드 권취 장치(11)로 권취된 권취 종료된 몰드 MC는 전사 장치(5)에 의한 전사에 사용된 몰드이고, 몰드 원반 MB와 마찬가지로 하여 롤 형상으로 되어 있다.

몰드 원반 설치 장치(9)에 설치되어 있는 몰드 원반 MB는 이 중심축[예를 들어, 수평 방향으로 연장되어 있는 축;도 1이나 도 9의 (a) 등의 지면에 직교하는 방향으로 연장되어 있는 축] C1을 회전 중심으로 하여 회전하도록 되어 있다. 몰드 권취 장치(11)로 권취되는 권취 종료된 몰드 MC도, 이 중심축(축 C1과 평행하고 수평 방향으로 연장되어 있는 축) C2를 회전 중심으로 하여 회전하도록 되어 있다.

몰드 원반 설치 장치(9)와 몰드 권취 장치(11) 사이에 존재하고 있는 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA는, 전술한 바와 같이, 예를 들어 두께 방향이 상하 방향으로 되어 있고, 길이 방향이 수평한 일방향이며 몰드 원반 설치 장치(9)와 몰드 권취 장치(11)를 서로 연결하는 방향으로 되어 있고, 폭 방향이 수평한 다른 일방향이며 두께 방향과 길이 방향에 직교하는 방향으로 되어 있다.

평판 형상의 시트 형상 몰드 MA는 이 길이 방향이며, 몰드 원반 설치 장치(9)로부터 몰드 권취 장치(11)를 향하는 방향으로, 대략 평판 형상의 형태를 유지한 상태에서, 이송 위치 결정 장치(3)에 의해 이송 및 위치 결정되도록 되어 있다.

이송 위치 결정 장치(3)에 의한 1회의 이송 거리는, 예를 들어 미세한 전사 패턴 M1이 형성되어 있는 영역 AE1의 피치 p1과 동등하게 되어 있다. 또한, 이송 위치 결정 장치(3)에 의한 이송이 이루어질 때 및 이루어진 후에는, 장력 부여 장치(195)에 의해, 몰드 원반 설치 장치(9)와 몰드 권취 장치(11) 사이에서 연장되어 있는 시트 형상 몰드 MA는 소정의 장력을 유지한 상태에서 그 위치가 대략 유지되도록 되어 있다.

장력 부여 장치(195)에 대해 예를 들어 상세하게 설명하면, 몰드 원반 설치 장치(9)에 설치되어 있는 몰드 원반 MB는 파우더 클러치 등의 토크 제어 클러치를 통해 모터 등의 액추에이터의 회전 출력축에 연결되어, 회전하도록 되어 있다. 몰드 권취 장치(11)로 권취되는 시트 형상 몰드 M(권취 종료된 몰드 MC)은 서보 모터 등의 액추에이터의 회전 출력축으로 되어, 회전하도록 되어 있다.

그리고, 몰드 원반 설치 장치(9)와 몰드 권취 장치(11) 사이에서 연장되어 있는 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA를 이송하는 경우에는, 몰드 원반 설치 장치(9)의 모터를 역회전시켜 두고[평판 형상의 시트 형상 몰드 MA를 몰드 원반 설치 장치(9)로 권취하도록 몰드 원반 MB의 모터의 회전 출력축을 회전시켜 두고], 파우더 클러치의 토크를 소정의 값 T1로 해 두고, 몰드 권취 장치(11)의 서보 모터의 회전 출력축을, 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA를 권취하는 방향으로 소정의 토크 T2로 소정의 회전 각도만큼 회전시킨다. 이 경우에 있어서, 몰드 원반 설치 장치(9)에 설치되어 있는 몰드 원반 MB의 반경을 「R1」로 하고, 몰드 권취 장치(11)에 있어서의 권취 종료된 몰드 MC의 반경을 「R2」로 하면, 「T1/R1<T2/R2」로 되어 있다. 이에 의해, 소정의 장력 F1(F1＝T2/R2－T1/R1)을 유지하고, 몰드 원반 설치 장치(9)와 몰드 권취 장치(11) 사이에서 연장되어 있는 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA가, 몰드 권취 장치(11)측으로 이송되도록 되어 있다.

이송 위치 결정 장치(3)에 의한 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA의 이송이 이루어져 있지 않고, 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA가 그 위치를 유지하고 있는 상태에서는, 몰드 권취 장치(11)의 서보 모터의 회전 출력축은 소정의 보유 지지 토크에서 정지하고 있다. 또한, 몰드 원반 설치 장치(9)의 모터와 파우더 클러치에서, 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA가 소정의 장력을 얻고 있다.

몰드 원반 설치 장치(9)와 몰드 권취 장치(11) 사이에서 연장되어 있는 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA의 이송 거리의 결정(이송 및 위치 결정)은 시트 형상 몰드 위치 검출기(191)를 구비한 시트 형상 몰드 위치 검출 장치(183)(도 1, 도 26 등을 참조)를 사용하여 이루어지도록 되어 있다.

시트 형상 몰드 위치 검출 장치(183)는 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA를 소정의 방향(시트 형상 몰드 MA의 길이 방향;도 1, 도 9, 도 26에서는 좌측으로부터 우측을 향하는 방향)으로 이송하여, 상기 길이 방향을 위치 결정할 때에, 시트 형상 몰드 MA의 소정 부위를 검출하는 장치이다.

또한, 상기 위치 결정은, 전술한 바와 같이 이송 위치 결정 장치(3)에 의한 시트 형상 몰드 MA의 이송을 정지함으로써 이루어지는 것이다. 즉, 이송 위치 결정 장치(3)는 이 장치에 의한 시트 형상 몰드 MA의 이송이 이루어져 있을 때, 시트 형상 몰드 위치 검출기(191)에서의 검출 결과에 따라서, 제어 장치(179)의 제어 하에서, 이송 위치 결정 장치(3)에 의한 시트 형상 몰드 MA의 이송을 정지하여, 시트 형상 몰드 MA의 위치 결정을 하도록 구성되어 있다.

시트 형상 몰드 위치 검출기(191)는 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA에 있어서의 광의 투과율의 변화, 시트 형상 몰드 MA에 있어서의 광의 반사율의 변화, 시트 형상 몰드 MA에 미리 형성되어 있는 마크(위치 검출 마크;아이 마크) M3[도 24의 (a) 참조] 중 적어도 어느 한쪽을, 예를 들어 전사 장치(5)의 근방에서 검출함으로써, 시트 형상 몰드 MA의 소정 부위(예를 들어, 전사 장치에 대한 시트 형상 몰드 MA의 위치)를 검출하도록 구성되어 있다.

또한, 상기 광은 소정의 파장의 가시광, 소정의 파장의 근적외선 혹은 소정의 파장의 근자외선이다.

여기서, 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA에 있어서의 광의 투과율을 사용한 시트 형상 몰드 위치 검출기(191)에 대해 상세하게 설명한다.

전술한 바와 같이, 시트 형상 몰드 MA에는 전사 패턴 형성 영역 AE1과 전사 패턴 비형성 영역 AE2가 존재하고 있다[도 24의 (a) 참조].

시트 형상 몰드 위치 검출기(191)는 전사 패턴 형성 영역 AE1과 전사 패턴 비형성 영역 AE2에 있어서의 광의 투과율의 차이를 검출함으로써, 시트 형상 몰드의 위치(소정 부위)를 검출하도록 구성되어 있다. 예를 들어, 전사 패턴 형성 영역 AE1과 전사 패턴 비형성 영역 AE2의 경계인 엣지(소정 부위)를 검출함으로써, 시트 형상 몰드의 위치를 검출하도록 구성되어 있다.

즉, 도 26의 (a)에 도시한 바와 같이, 광투과형 센서(185)의 발광부(185A)를 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA의 상측에 설치하고, 광투과형 센서(185)의 수광부(185B)를 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA의 하측에 설치하고 있다. 또한, 발광부(185A)와 수광부(185B)의 위치를 교체해도 된다. 발광부(185A)와 수광부(185B)는 전사 장치(5)의 근방에서, 전사 장치(5)의 베이스 부재(47)에 일체적으로 설치되어 있다.

광투과형 센서(185)의 발광부(185A)와 광투과형 센서(185)의 수광부(185B) 사이를, 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA의 전사 패턴 형성 영역 AE1과 전사 패턴 비형성 영역 AE2가, 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA의 이송에 의해 통과하도록 되어 있다. 그리고, 광투과형 센서(185)의 발광부(185A)와 광투과형 센서(185)의 수광부(185B) 사이를 이송되는 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA에서의 광의 투과율의 차이에 의해, 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA의 이송 및 위치 결정이 이루어지도록 되어 있다.

더 설명하면, 도 24의 (a)의 점 P1의 위치에 광투과형 센서(185)가 설치되어 있는 것으로 한다. 광투과형 센서(185)의 광의 투과율은 전사 패턴 형성 영역 AE1에서는 낮고, 전사 패턴 형성 영역 AE2에서는 높게 되어 있는 것으로 한다. 또한, 도 24의 (a)에 도시하는 상태에서는, 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA가 미리 이송되어 위치 결정이 이루어져 있는 것으로 한다.

그리고, 도 24의 (a)에 도시하는 상태로부터, 광투과형 센서(185)에 대해 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA를 우측 방향으로 소정의 거리인 피치 p1만큼 이송하여 위치 결정할 때에는, 광투과형 센서(185)에 의한 광의 투과율이 처음에는 낮고 다음에 높아지고 이 후에는 낮아진다. 이 낮아졌을 때에, 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA의 이동을 정지한다. 이에 의해, 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA는 1피치 p1만큼 이송되어 위치 결정된다.

또한, 시트 형상 몰드 위치 검출기(191)에 있어서, 광투과형 센서(185) 대신에, 광반사형 센서(187)를 채용하여[도 26의 (b) 참조], 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA의 이송 거리의 결정(이송 및 위치 결정)을 행해도 된다.

즉, 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA에 광반사형 센서(187)로부터 광을 조사하고, 이 광의 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA에 있어서의 반사율의 차이를, 광반사형 센서(187)로 검출함으로써, 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA의 소정 부위를 검출하여 이송 거리의 결정을 행해도 된다. 또한, 광반사형 센서(187)도 광투과형 센서(185)와 마찬가지로 하여 전사 장치(5)의 근방에서, 전사 장치(5)의 베이스 부재(47)에 일체적으로 설치되어 있다.

또한, 전사 패턴 형성 영역 AE1에 있어서의 광의 반사율은 전사 패턴 비형성 영역 AE2에 있어서의 광의 반사율보다도, 일반적으로는 낮게 되어 있다.

이와 같이, 평판 형상의 시트 형상 몰드 M에 있어서의 광의 투과율의 차이나 반사율의 차이를 검출함으로써 시트 형상 몰드 M의 소정 부위를 검출하면, 시트 형상 몰드 M을 정확하게 위치 결정할 수 있다. 또한, 전사 패턴 형성 영역 AE1과 전사 패턴 비형성 영역 AE2에 있어서의 광의 투과율의 차이를 검출하므로, 시트 형상 몰드 M에 별도로 마크를 설치할 필요가 없어, 시트 형상 몰드 M의 제조 공정을 간소화할 수 있다.

또한, 시트 형상 몰드 위치 검출기(191)에 있어서, 전사 패턴 형성 영역 AE1과 전사 패턴 비형성 영역 AE2에 있어서의 광의 투과율이나 반사율의 차이를 검출하는 대신에, 시트 형상 몰드 M에 미세한 전사 패턴 M1을 형성할 때에 생성되는 엣지 라인 L1[도 24의 (a) 참조]을 검출함으로써, 시트 형상 몰드의 소정 부위를 검출하도록 해도 된다. 이 경우에 있어서도, 광투과형 센서(185) 혹은 광반사형 센서(187)로, 광의 투과율이나 반사율을 측정하는 것으로 한다.

엣지 라인 L1은, 상세는 후술하지만, 시트 형상 몰드 M에 미세한 전사 패턴 M1을 형성할 때에, 예를 들어 필연적으로 생성되는 선분이다.

이와 같이, 시트 형상 몰드에 미세한 전사 패턴 M1을 형성할 때에 생성되는 엣지 라인 L1을 검출함으로써 시트 형상 몰드 M의 소정 부위를 검출하면, 시트 형상 몰드 M을 정확하게 위치 결정할 수 있다. 또한, 엣지 라인 L1을 검출하므로, 시트 형상 몰드 M에 별도로 마크를 설치할 필요가 없어, 시트 형상 몰드 M의 제조 공정을 간소화할 수 있다.

또한, 엣지 라인 L1을 검출하기 위해, 광투과형 센서(185)나 광반사형 센서(187) 대신에, 도 26의 (c)에 도시하는 카메라(189)와 제어 장치(179) 내에 설치되어 있는 화상 처리 장치를 사용해도 된다. 또한, 카메라(189)는 전사 장치(5)의 베이스 부재(47)에 일체적으로 설치되어 있는 것으로 한다.

또한, 시트 형상 몰드 위치 검출기(191)에 있어서, 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA의 소정의 위치에, 마크 M3[도 24의 (a) 참조]을, 예를 들어 시트 형상 몰드 작성 장치(27)로 미리 설치해 두고, 그 마크 M3을 카메라(189)[도 26의 (c) 참조]나 화상 처리 장치로 검출하여, 시트 형상 몰드 M의 위치 결정을 하도록 구성해도 된다.

마크 M3은 미세한 전사 패턴 M1을 시트 형상의 소재 M2에, 예를 들어 전사 릴(131)의 원형으로부터 미세한 전사 패턴을 전사하여 형성할 때에 형성되는 마크이다.

시트 형상 몰드 M의 소정 부위인 마크 M3은 도 22나 도 23에 도시하는 마커(잉크젯, 레이저 마커 등)(181)에 의해 형성되도록 되어 있다. 또한, 마크 M3은, 도 24의 (a)에 도시한 바와 같이, 예를 들어 소정의 피치 p1로, 전사 패턴 비형성 영역 AE2이며 라미네이트 필름 S1이 설치되어 있지 않은 부위(시트 형상 몰드 M의 부위)에 형성되어 있다. 또한, 마크 M3을, 전사 패턴 비형성 영역 AE2이며 라미네이트 필름 S1이 설치되어 있는 부위에 설치하고 있어도 된다.

마커(181)에 의한 마크 M3의 형성은 도시하지 않은 제어 장치의 제어 하에서, 전사 롤(131)의 회전에 동기하여 이루어지도록 되어 있다. 예를 들어, 전사 패턴 형성 영역 AE1이나 엣지 라인 L1이나 마크 M3의 피치 p1은 전사 롤(131)이 1회전함으로써 형성되는 것이다. 따라서, 마커(181)는 전사 롤(131)의 회전 각도를 검출 가능한 회전 각도 검출 장치(도시하지 않은 로터리 인코더)로, 모터 등의 액추에이터에 의해 전사 롤(131)의 1회전을 검출하고, 이 검출한 1회전마다 시트 형상 몰드 M(시트 형상 소재 M2)에, 예를 들어 점 형상의 마크 M3을 형성하도록 되어 있다.

이와 같이, 시트 형상 몰드 M에 형성되어 있는 마크 M3을 검출함으로써 시트 형상 몰드 M의 소정 부위를 검출하면, 시트 형상 몰드 M을, 한층 정확하게 위치 결정할 수 있다.

또한, 마크 M3을 사용하여, 전사 장치(5)에 의한 전사 전에, 피성형품 설치체(33)에 설치되어 있는 피성형품 W와, 시트 형상 몰드 MA의 위치 결정을 하도록 해도 된다.

이 경우, 피성형품 W의 소정의 위치에 마크가 설치되어 있고, 시트 형상 몰드 MA의 마크 M3과 피성형품 W의 마크를, 도시하지 않은 카메라로 촬영하여, 화상 처리 장치에서 시트 형상 몰드 MA의 마크 M3에 대한 피성형품 W의 마크의 위치 어긋남량을 측정할 수 있도록 되어 있다.

또한, 로드셀(95)과 하측 부재(53) 사이에는 XY 스테이지가 설치되어 있고, 피성형품 설치체(33)에 설치되어 있는 피성형품 W를, XY 방향(피성형품 W의 상면의 전개 방향)에서 이동 위치 결정할 수 있도록 되어 있다. 그리고, 제어 장치(179)의 제어 하에서, 측정한 위치 어긋남량이 없어지도록 XY 스테이지를 가동하도록 되어 있다.

또한, 종래와 같이, 몰드 권취 장치(11)에 설치되어 있는 서보 모터의 회전 출력축의 회전 각도를 검출 가능한 로터리 인코더를 설치하는 동시에, 몰드 권취 장치(11)로 권취하고 있는 권취 종료된 몰드 MC의 외경을 센서로 측정함으로써, 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA의 이송 거리의 결정(이송 및 위치 결정)을 하도록 해도 된다.

그런데, 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA의 장력 F1은, 도 9의 (a) 등에 도시한 바와 같이 텐셔너(장력 검출 장치;장력 측정 수단)(41)로 검출되도록 되어 있다. 이 검출 결과에 따라서, 장력 F1이 소정의 값으로 되도록 파우더 클러치의 토크가 제어되도록 되어 있다.

그리고, 텐셔너(41)에 의해 측정된 장력의 값에 따라서, 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA의 장력이 소정의 값으로 되도록 장력 부여 장치(195)를 제어 장치(179)로 제어하도록 되어 있다.

텐셔너(41)는 원기둥 형상의 롤러(43)와, 베이스(도시하지 않음)를 구비하고 있다. 롤러(43)는 베어링(도시하지 않음)을 통해 베이스[도 1에 도시하는 베드(45)에 일체적으로 설치되어 있는 베이스]에 설치되어 있고, 롤러(43)의 중심축[도 9의 (a) 등의 지면에 직교하는 방향으로 연장되어 있는 축] C3을 회전 중심으로 하여 회전하도록 되어 있다.

또한, 베이스와 베어링 사이에는 로드셀(도시하지 않음)이 설치되어 있어, 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA의 장력에 따라서 롤러(43)에 가해지는 하중을 검출할 수 있도록 되어 있다. 즉, 롤러(43)에는 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA가 권취되어 걸려 있다. 이 권취되어 걸려 있는 시트 형상의 몰드 MA가, 롤러(43)의 베어링에 하중을 가하도록 구성되어 있다. 그리고, 로드셀에 가해지는 하중을 검출(측정)함으로써, 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA의 장력을 검출할 수 있도록 되어 있다.

또한, 롤러(43)는 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA의 상방에 위치하고 있고, 롤러(43)의 하방측에 시트 형상의 몰드 MA가 권취되어 걸려 있다.

이에 의해, 롤러(43)에는 시트 형상 몰드 MA의, 미세한 전사 패턴 M1이 형성되어 있는 면과는 반대측의 면인 배면(상면)이 접촉하고 있게 된다.

전사 장치(5)는 도 6 등에 도시한 바와 같이, 베이스 부재(47)와 이동체(49)와 이동체 지지체(51)를 구비하고 있다. 베이스 부재(47)는 하측 부재(53)와 상측 부재(55)와 타이 바(타이 로드)(57)를 구비하고 있다. 하측 부재(53)와 상측 부재(55)와 이동체(49)는, 예를 들어 직사각형인 평판 형상이며 서로가 대략 동일 형상으로 형성되어 있다.

하측 부재(53)와 상측 부재(55)는, 예를 들어 두께 방향이 서로 일치하도록 하여(예를 들어, 상하 방향이 이루어지도록 하여), 상하 방향에서 소정의 간격을 두고 설치되어 있다. 이동체(49)는 하측 부재(53)와 상측 부재(55) 사이에 위치하고 있다. 하측 부재(53)와 상측 부재(55)를 평면에서 보면, 서로가 대략 겹쳐져 있다. 또한, 하측 부재(53)와 상측 부재(55)는, 예를 들어 4개의 타이 바(57)에 의해 연결되어 있다.

타이 바(57)는, 예를 들어 원기둥 형상으로 형성되어 있고, 중심축의 연신 방향이 상하 방향으로 되도록 하여, 하측 부재(53)와 상측 부재(55) 사이에서, 하측 부재(53)와 상측 부재(55)에 일체적으로 설치되어 있다. 평면에서 보면, 4개의 타이 바(57)는 하측 부재(53)나 상측 부재(55)의 코너부의 근방에 설치되어 있다. 또한, 4개의 타이 바(57)는 하측 부재(53)나 상측 부재(55)의 중심에 대해 대칭적으로 배치되어 있다. 예를 들어, 4개의 타이 바(57)의 대각선의 교점과, 하측 부재(53)나 상측 부재(55)의 중심이 서로 일치하고 있다. 또한, 전사 장치(5)에 의한 전사 시의 압박에 의해, 타이 바(57)에 인장 응력이 발생하여 극히 약간 탄성 변형되는 것이지만, 이 인장 응력에 의한 4개의 타이 바(57)의 약간의 연장량이 서로 동등해지는 것이면, 일반적으로, 타이 바(57)가, 하측 부재(53)나 상측 부재(55)의 중심에 대해 대칭적으로 배치되어 있는 것으로 한다.

이동체 지지체(51)는 직사각형인 평판 형상의 기부(59)와 「역ㄷ」자 형상의 측부(61)를 구비하여, 예를 들어 일체로 형성되어 있다. 더 설명하면, 기부(59)는 하측 부재(53)나 상측 부재(55)와 마찬가지로 하여 직사각형인 평판 형상으로 형성되어 있고, 측부(61)는 기부(59)의 측면으로부터 기부(59)의 두께 방향으로 기립하고 있다. 그리고, 평면에서 보면[기부(59)의 두께 방향으로부터 보면), 측부(61)는 「역ㄷ」자 형상으로 되어 있고, 기부(59)의 1개의 변과, 이 1개의 변에 인접하고 있는 2개의 변에 위치하고 있다. 또한, 평면에서 본 경우, 「역ㄷ」자 형상의 측부(61)의 일단부는 기부(59)의 1개의 변에 인접하고 있는 한쪽의 변의 대략 중앙부에 위치하고 있고, 「역ㄷ」자 형상의 측부(61)의 타단부는 기부(59)의 1개의 변에 인접하고 있는 다른 쪽의 변의 대략 중앙부에 위치하고 있다(도 8 등 참조).

그리고, 이동체 지지체(51)는 기부(59)의 두께 방향의 한쪽의 면[측부(61)가 연장되어 있는 측의 면]이 하측 부재(53)의 하면에 대향하도록 하여, 하측 부재(53)에 일체적으로 설치되어 있다. 또한, 평면에서 보면, 이동체 지지체(51)의 기부(59)는 하측 부재(53)에 대략 겹쳐져 있고, 이동체 지지체(51)의 측부(61)는 하측 부재(53)로부터 약간 이격되어 하측 부재(53)의 외주의 절반을 둘러싸고 있다[하측 부재(53)의 1개의 변과 이 1개의 변에 인접하고 있는 2개의 변의 대략 절반을 둘러싸고 있음]. 또한, 측면에서 보면, 측부(61)의 선단면(상면;도 6 참조)(63)은 하측 부재(53)와 상측 부재(55) 사이에 위치하고 있다.

이동체 지지체(51)와 하측 부재(53)의 접합은 하측 부재(53)나 이동체 지지체(51)의 기부(59)의 중심의 근방에서만 이루어져 있다. 예를 들어, 이동체 지지체(51)의 기부(59)의 중심 근방에는 복수의 시트[기부(59)의 상측의 면보다 약간 돌출되어 있는 동시에 상면이 평면으로 되어 있는 부위](65)가 설치되어 있다. 시트(65)는, 예를 들어 4개 설치되어 있다. 평면에서 보면, 4개의 시트(65)는 이동체 지지체(51)의 기부(59)의 중심[하측 부재(53)의 중심]의 근방 주변에 배치되어 있다. 또한, 기부(59)의 중심을 중심으로 한 작은 원을 4개 등배하는 위치에, 각 시트(65)가 설치되어 있다.

이동체 지지체(51)의 시트(65)의 상면과 하측 부재(53)의 하면의 일부가 서로 면 접촉하고[도 8의 (c) 참조], 또한 이동체 지지체(51)의 다른 부위가, 하측 부재(53) 등의 베이스 부재(47)와는 일절 접촉하지 않고 지지되지 않도록 이격되고, 이동체 지지체(51)가 하측 부재(53)에 볼트(67) 등의 체결구에 의해 일체적으로 설치되어 있다.

이동체(49)는 두께 방향이 상하 방향으로 되도록 하여, 하측 부재(53)와 상측 부재(55) 사이에 설치되어 있다. 평면에서 보면, 이동체(49)는 하측 부재(53)나 상측 부재(55)와 대략 겹쳐져 있다. 또한, 이동체(49)의 코너부에는 절결부(69)가 형성되어 있고, 이 절결부(69)에 의해, 이동체(49)는 타이 바(57)[베이스 부재(47)]로부터 이격되고, 타이 바(57)와는 비접촉으로 되어 있다[도 8의 (a) 참조].

또한, 이동체(49)는 리니어 가이드 베어링(71)을 통해, 이동체 지지체(51)에 지지되어 있고, 상하 방향[하측 부재(53)와 상측 부재(55)를 서로 연결하는 방향;타이 바(57)의 중심축의 연신 방향]에서 이동하도록 되어 있다.

즉, 이동체 지지체(51)의 측부(61)의 한쪽의 단부에는 리니어 가이드 베어링(71)의 레일(73)이 일체적으로 설치되어 있다. 이 레일(73)은 상하 방향으로 연신되어 있다. 이동체 지지체(51)의 측부(61)의 다른 쪽의 단부에도 리니어 가이드 베어링(71)의 레일(73)이 상하 방향으로 연신되어 일체적으로 설치되어 있다[예를 들어, 도 8의 (a), (b) 참조].

이동체(49)에는 한 쌍의 레일(73)과 결합하고 있는 한 쌍의 베어링(75)이 일체적으로 설치되어 있다. 이에 의해, 이동체(49)가, 리니어 가이드 베어링(71)만으로 지지되어, 하측 부재(53)와 상측 부재(55) 사이에서 상하 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 또한, 평면에서 보면, 한 쌍의 리니어 가이드 베어링(71)은 하측 부재(53)나 상측 부재(55)나 이동체(49)의 중심에 대해 대칭적으로(예를 들어, 점대칭의 위치에) 배치되어 있다.

또한, 이동체(49)는, 예를 들어 볼 나사(77)와 서보 모터(79) 등의 액추에이터에 의해, 상하 방향에서 이동 위치 결정 가능하게 되어 있다.

상세하게 설명하면, 도 6 내지 도 8에 도시한 바와 같이, 볼 나사(77)의 나사 축부(81)의 중심축이 하측 부재(53)의 중심을 통해 상하 방향으로 연신되어, 나사 축부(81)가 하측 부재(53)에 회전 가능하게 설치되어 있다. 볼 나사(77)의 나사 축부(81)는 하측 부재(53)에 설치되어 있는 베어링(83)을 통해, 하측 부재(53)에 회전 가능하게 설치되어 있고, 하측 부재(53)로부터 상방으로 연장되어 있다. 볼 나사(77)의 나사 축부(81)의 상측의 부위는 이동체(49)에 일체적으로 설치된 너트(85)에 결합하고 있다.

볼 나사(77)의 나사 축부(81)의 하측의 부위는 커플링(87)을 통해 서보 모터(79)의 회전 출력축에 연결되어 있다. 서보 모터(79)의 하우징은 통 형상의 스페이서(89)를 통해, 하측 부재(53)의 하측에서 하측 부재(53)에 일체적으로 설치되어 있다. 또한, 서보 모터(79)나 스페이서(89)와 이동체 지지체(51)의 간섭을 피하기 위해, 이동체 지지체(51)의 기부(59)의 중심부에는 관통 구멍(91)이 형성되어 있다. 각 시트(65)는 관통 구멍(91)의 주변 근방에서, 관통 구멍(91)의 가능한 한 가까이에 배치되어 있다.

이와 같이 구성되어 있음으로써, 이동체(49)가 상하 방향[상측 부재(55)에 대해 접근 이격되는 방향]에서 이동 위치 결정 가능하게 되어 있다. 또한, 미세한 분진을 발할 우려(발진의 우려)가 있는 부위[너트(85)나 베어링(83)이나 서보 모터(79)]가, 이동체(49)의 하측에 배치되어 있고, 전사 시스템(1)이 설치되어 있는 청정 공기의 다운플로우와 더불어, 전사를 할 때에, 피성형품 W에 미세한 이물질이 혼입되는 것을 방지할 수 있다.

또한, 전사 장치(5)와 베드(45)(도 1 참조)의 고정은 하측 부재(53), 이동체 지지체(51) 중 적어도 어느 한쪽이, 베드(45)에 결합함으로써 이루어져 있다. 예를 들어, 하측 부재(53)를 볼트 등의 체결구를 사용하여 베드(45)에 고정하고 있다.

상측 부재(55)의 하면에는, 도 9의 (a) 등에 도시한 바와 같이 압박체(31)가 일체적으로 설치되어 있다. 압박체(31)는 상측 부재(55)의 하면으로부터 하방으로 돌출되어 있고, 압박체(31)의 하면은 수평한 평면(예를 들어, 원형이나 직사각 형상의 평면)으로 되어 있고, 전사를 할 때에, 이 평면이 시트 형상의 몰드 MA에 면 접촉하도록 되어 있다.

이동체(49)의 상면에는, 도 9의 (a) 등에 도시한 바와 같이 로드셀(95)이나 스페이서(97)를 사이에 두고, 피성형품 설치체(33)가 일체적으로 설치되어 있다. 평판 형상의 로드셀(95)이나 평판 형상의 스페이서(97)나 피성형품 설치체(33)는 이동체(49)의 상면으로부터 상방으로 돌출되어 있고, 피성형품 설치체(33)의 상면은 수평한 평면(예를 들어, 원 형상이나 직사각 형상의 평면)으로 되어 있다.

그리고, 피성형품 W의 하면(평판 형상의 피성형품 W의 두께 방향의 한쪽의 면;도 21에 도시하는 기재 W1의 하면)이, 피성형품 설치체(33)의 상면에 면 접촉하고, 피성형품 W의 두께 방향이 상하 방향으로 되도록 하여, 피성형품 W가 피성형품 설치체(33)에 적재되어 있다. 또한, 피성형품 W는, 예를 들어 진공 흡착으로 피성형품 설치체(33)에 일체적으로 설치되도록 되어 있다.

상측 부재(55)의 하면에는 진공 성형실(99)[예를 들어, 도 11의 (a) 참조]을 형성하기 위한 통 형상의 벨로즈(상측 벨로즈)(101)가 하방으로 돌출되어 설치되어 있다. 벨로즈(101)의 기단부(상단부)는 상측 부재(55)에 일체적으로 설치되어 있고, 벨로즈(101)의 선단(하단부)에는 원환상의 상측 접촉 부재(103)가 일체적으로 설치되어 있다. 상측 접촉 부재(103)의 하면은, 예를 들어 수평한 원환상의 평면으로 되어 있다.

상측 접촉 부재(103)와 상측 부재(55)에는, 예를 들어 도 9의 (a)에 도시한 바와 같이, 에어 실린더(105) 등의 액추에이터가 설치되어 있다. 에어 실린더(105)는 상측 부재(55)에 일체적으로 설치되어 있고, 에어 실린더(105)의 로드(피스톤 로드)는 상측 접촉 부재(103)에 일체적으로 설치되어 있다. 그리고, 에어 실린더(105)에 의해, 벨로즈(101)가 신축하도록 되어 있다.

에어 실린더(105)는 3포지션 타입의 것으로, 로드의 스트로크의 양단부에 추가하여, 로드의 스트로크의 중간부의 소정의 위치에서, 실린더에 대한 로드의 위치를 고정할 수 있도록 되어 있다.

그리고, 로드가 가장 도입된 상태에서는, 상측 접촉 부재(103)의 하면이 압박체(31)의 하면보다도 상방에 위치하고 있고[예를 들어, 도 9의 (a) 참조], 로드가 중간부의 소정의 위치에 위치하고 있는 상태에서는, 상측 접촉 부재(103)의 하면이 압박체(31)의 하면과 동일한 높이에 위치하고 있고[예를 들어, 도 11의 (b) 참조], 로드가 가장 연장된 상태에서는 상측 접촉 부재(103)의 하면이 압박체(31)의 하면보다도 약간 하방에 위치하도록 되어 있다[예를 들어, 도 10의 (a) 참조].

평판 형상의 스페이서(97)는, 예를 들어, 도 9의 (a)에 도시한 바와 같이 이 두께 방향이 상하 방향으로 되도록 하여, 로드셀(95)과 피성형품 설치체(33)에 일체적으로 설치되어 있다. 로드셀(95)은 이동체(49)에 일체적으로 설치되어 있다.

스페이서(97)의 상면에는 진공 성형실(99)을 형성하기 위한 통 형상의 벨로즈(상측 벨로즈와 동일 형상으로 형성된 하측 벨로즈)(107)가 상방으로 돌출되어 설치되어 있다. 벨로즈(107)의 기단부(하단부)는 스페이서(97)에 일체적으로 설치되어 있고, 벨로즈(107)의 선단(상단부)에는 원환상의 하측 접촉 부재[상측 접촉 부재(103)와 동일 형상으로 형성된 하측 접촉 부재](109)가 일체적으로 설치되어 있다. 하측 접촉 부재(109)의 상면은, 예를 들어 수평한 원환상의 평면으로 되어 있다.

하측 접촉 부재(109)와 스페이서(97)에는 에어 실린더(111) 등의 액추에이터가 설치되어 있다. 에어 실린더(111)의 실린더는 스페이서(97)에 일체적으로 설치되어 있고, 에어 실린더(111)의 로드(피스톤 로드)는 하측 접촉 부재(109)에 일체적으로 설치되어 있다. 그리고, 에어 실린더(111)에 의해, 벨로즈(107)가 신축하도록 되어 있다.

그리고, 로드가 가장 도입된 상태에서는 하측 접촉 부재(109)의 상면이 피성형품 설치체(33)의 상면보다도 하방에 위치하고 있고[예를 들어, 도 9의 (a) 참조], 로드가 가장 연장된 상태에서는 하측 접촉 부재(109)의 상면이 피성형품 설치체(33)의 위보다도 약간 상방에 위치하도록 되어 있다[예를 들어, 도 10의 (a) 참조].

또한, 상측 벨로즈(101)를 신축시키는 에어 실린더(105)의 추력은 하측 벨로즈(107)를 신축시키는 에어 실린더(111)의 추력보다도 크게 되어 있다. 따라서, 예를 들어, 하측 접촉 부재(109)에 의해 상측 접촉 부재(103)가 밀려도, 상측 벨로즈(101)를 신축시키는 에어 실린더(105)의 로드는 도입되지 않도록[상측 벨로즈(101)가 수축하지 않아 상측 접촉 부재(103)가 상방으로 이동하지 않도록] 되어 있다.

도 21 등에 도시한 바와 같이, 피성형품 W는, 예를 들어 원 형상 혹은 직사각 형상이고 평판 형상인 기재(예를 들어, 글래스판) W1과, 이 글래스판 W1의 두께 방향의 한쪽의 면(예를 들어, 전체면)에 설치된 박막 형상의 자외선 경화 수지 W2로 구성되어 있다. 제1 스토커(13)에 저장되어 있는 전사 전 피성형품 W에는 미리 다른 장치에서, 액체상으로 박막 형상의 자외선 경화 수지 W2가 설치되어 있는 것으로 한다.

전사 장치(5)에 의한 전사는 박막 형상의 자외선 경화 수지 W2의 미세한 전사 패턴 M1을 전사하여 이루어지도록 되어 있다. 또한, 도 21 등에 나타내는 참조 부호 113은 로봇(21)의 핸드를 나타내고 있다.

전사 장치(5)에 의해 전사가 이루어지기 전의 상태(전사 준비 상태)에서는 이동체(49)가 하강 단부에 위치하고 있다. 경화 전의 자외선 경화 수지 W2가 위로 되도록 하여, 피성형품 W가 피성형품 설치체(33)에 적재되어 있다. 각 벨로즈(101, 107)는 수축하고 있다. 또한, 피성형품 W와 압박체(31)[몰드 접촉재(39)]는 소정의 거리만큼 이격되어 있다[도 21, 도 9의 (b) 등 참조]. 몰드 원반 설치 장치(9)와 몰드 권취 장치(11) 사이에서 연장되어 있는 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA는 이송되지 않고 정지하고 있다. 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA는 압박체(31)와 피성형품 설치체(33)에 적재되어 있는 피성형품 W 사이에서, 압박체(31)로부터 극히 약간 이격되어[도 9의 (a)에 도시한 바와 같이 약간의 거리 L2만큼 이격되어] 수평 방향으로 연장되어 있다.

전사 장치(5)의 전사 준비 상태나 전사하고 있는 상태에서 평면에서 보면, 피성형품 설치체(33)의 상면과 피성형품 W가 동일한 크기로 되어 있고 피성형품 설치체(33)의 상면의 전체면에 피성형품 W가 씌워져 있다. 또한, 피성형품 W의 쪽이 피성형품 설치체(33)의 상면보다도 약간 크게 되어 있고, 피성형품 설치체(33)의 상면이 피성형품 W의 내측에 위치하고 있어도 되고, 피성형품 W의 쪽이 피성형품 설치체(33)의 상면보다도 약간 작게 되어 있고, 피성형품 설치체(33)의 상면의 내측에 피성형품 W가 위치하고 있어도 된다.

또한, 전사 장치(5)의 전사 준비 상태나 전사하고 있는 상태에서 평면에서 보면, 압박체(31)의 하면과 피성형품 W가 동일한 크기로 되어 있고 압박체(31)의 하면의 전체면에 피성형품 W가 씌워져 있다. 또한, 피성형품 W의 쪽이 압박체(31)의 하면보다도 약간 크게 되어 있고, 압박체(31)의 하면이 피성형품 W의 내측에 위치하고 있어도 되고, 피성형품 W의 쪽이 압박체(31)의 하면보다도 약간 작게 되어 있고, 압박체(31)의 하면의 내측에 피성형품 W가 위치하고 있어도 된다.

또한, 전사 장치(5)의 전사 준비 상태나 전사하고 있는 상태에서 평면에서 보면, 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA의 1개의 전사 패턴 형성 영역 AE1과 피성형품 W가 동일한 크기로 되어 있고, 피성형품 W의 전체에 1개의 전사 패턴 형성 영역 AE1이 씌워져 있다. 또한, 전사 패턴 형성 영역 AE1의 쪽이 피성형품 W보다도 약간 크게 되어 있고, 전사 패턴 형성 영역 AE1의 내측에 피성형품 W가 위치하고 있어도 되고, 전사 패턴 형성 영역 AE1의 쪽이 피성형품 W보다도 약간 작게 되어 있고, 피성형품 W의 내측에 전사 패턴 형성 영역 AE1이 위치하고 있어도 된다.

또한, 전술한 바와 같이, 도 24의 (a) 등에 도시한 바와 같이 전사 패턴 형성 영역 AE1이 직사각 형상으로 형성되어 있어도 되고, 도 4나 도 5에 도시한 바와 같이 원 형상으로 형성되어 있어도 된다. 또한, 전사 패턴 형성 영역 AE1이 직사각형이나 원형 이외의 소정의 형상으로 형성되어 있어도 된다.

또한, 전사 준비 상태나 전사하고 있는 상태에서 평면에서 보면, 원 형상으로 되어 있는 각 벨로즈(101, 107)가 서로 겹쳐져 있고, 원환상의 각 접촉 부재(103, 109)도 서로 겹쳐져 있다. 또한, 각 벨로즈(101, 107)와 각 접촉 부재(103, 109)의 내측에, 피성형품 설치체(33), 피성형품 W, 압박체(31)가 존재하고 있다. 또한, 원환상의 각 접촉 부재(103, 109)의 직경보다도 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA의 폭이 크게 되어 있고, 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA의 내측에 각 접촉 부재(103, 109)가 위치하고 있다[도 5의 (a) 참조]. 또한, 도 5의 (a)는 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA와 각 접촉 부재(103, 109) 등의 크기나 위치의 관계를 나타내는 평면도이고, 도 5의 (b)는 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA와 각 접촉 부재(103, 109) 등의 크기나 위치의 관계를 나타내는 측면도이다.

즉, 도 4의 (a)에 도시한 바와 같이, 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA의 폭이 원환상의 각 접촉 부재(103, 109)의 직경보다도 작으면, 도 4의 (a)에 도시하는 부위 AE3에서, 약간의 간극(시트 형상 몰드 MA의 두께에 기인하는 간극)이 발생해 버려, 진공 성형실(99)의 기밀성이 악화된다. 그러나, 도 5의 (a)에 도시한 바와 같이, 원환상의 각 접촉 부재(103, 109)의 직경보다도 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA의 폭을 크게 함으로써, 진공 성형실(99)의 기밀성을 높일 수 있다. 또한, 도 4의 (a)는 폭이 좁은 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA와 각 접촉 부재(103, 109) 등의 크기나 위치의 관계를 나타내는 평면도이고, 도 4의 (b)는 폭이 좁은 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA와 각 접촉 부재(103, 109) 등의 크기나 위치의 관계를 나타내는 측면도이다.

원환상의 각 접촉 부재(103, 109)의 직경보다도 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA의 폭을 크게 함으로써, 전사를 하기 직전이나 전사를 할 때에, 각 벨로즈(101, 107) 등에 의해 진공 성형실(99)이 형성되지만, 시트 형상 몰드 MA로 구획됨으로써, 진공 성형실(99)은 상측 진공 성형실(115)과, 하측 진공 성형실(117)이 형성되도록 되어 있다[예를 들어, 도 11의 (b) 참조].

상측 진공 성형실(115)은 내부에 압박체(31)가 위치하는 폐쇄 공간이고, 상측 부재(55)와 벨로즈(101)와 시트 형상 몰드 MA에 의해 폐쇄 공간이 형성된다. 하측 진공 성형실(117)은 내부에 피성형품 설치체(33)와 피성형품 W가 위치하는 폐쇄 공간이고, 스페이서(97)와 벨로즈(107)와 시트 형상 몰드 MA에 의해 폐쇄 공간이 형성되어 있다.

하측 진공 성형실(117)과 상측 진공 성형실(115)은 이들 각 진공 성형실(115, 117)의 외부로 연장되어 있는 배관(119)에 의해 서로 연결되어 있다. 그리고, 도 1에 도시하는 진공 펌프(121)를 사용하여, 배관(119)에 의해 각 진공 성형실(115, 117)을 동시에 진공화할 수 있도록 되어 있다. 진공화를 했을 때에는, 각 진공 성형실(115, 117)이 동등한 기압을 유지하여 감압되도록 되어 있다. 이에 의해, 시트 형상 몰드 MA의 휨을 없앨 수 있다.

또한, 평면에서 볼 때에 있어서, 각 벨로즈(101, 107)의 중심과 각 접촉 부재(103, 109)의 중심과 피성형품 W의 중심과 압박체(31)의 중심과 전사 패턴 형성 영역 AE1의 중심은, 예를 들어 서로가 일치하고 있다.

압박체(31)는, 전술한 바와 같이, 또한, 도 21에 도시한 바와 같이 기재(37)와 완충재(35)와 몰드 접촉재(39)를 구비하여 구성되어 있고, 또한 압박체(31)는 압박체 지지체(123)의 하측에 설치되어 있고, 압박체 지지체(123)를 통해 베이스 부재(47)의 상측 부재(55)에 일체적으로 설치되어 있다. 또한, 몰드 접촉재(39)를 삭제한 구성이어도 된다.

기재(37)와 완충재(35)와 몰드 접촉재(39)는, 예를 들어 직사각형인 평판 형상으로 형성되어 있고, 각각의 두께 방향이 서로 일치하도록 하여 기재(37), 완충재(35), 몰드 접촉재(39)의 순으로 겹쳐져 있다. 또한, 압박체 지지체(123)의 상부에는 피성형품 W의 자외선 경화 수지 W2를 경화하는 자외선을 발생하는 자외선 발생 장치(125)가 설치되어 있다[예를 들어, 도 12의 (a) 참조].

또한, 전사 장치(5)에는 전사를 하는 경우 등에 평판 형상의 시트 형상 몰드(이송되지 않고 정지하고 있는 시트 형상 몰드) MA의 위치 어긋남이 발생하는 것을 방지하기 위해, 시트 형상 몰드 MA를 일시적으로 보유 지지하는 몰드 보유 지지 기구(127)가 설치되어 있다[예를 들어, 도 13의 (b) 참조].

몰드 보유 지지 기구(127)는, 예를 들어 베이스 부재(47)에 일체적으로 설치되어 있는 흡착 패드(129)에 의해 구성되어 있고, 흡착 패드(129)로 시트 형상 몰드 MA의 상면(미세한 전사 패턴 M1이 형성되어 있는 면과는 반대측의 면)을 진공 흡착하여 시트 형상 몰드 MA를 보유 지지하도록 되어 있다.

흡착 패드(129)는 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA의 이송 방향의 상류측과 하류측에서 전사 장치(5)[각 접촉 부재(103, 109)]의 근방에 설치되어 있다. 또한, 흡착 패드(129)는, 전술한 바와 같이 베이스 부재(47)에 일체적으로 설치되어 있지만, 베이스 부재(47)에 대해 이동하도록 되어 있어도 된다. 그리고, 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA가 정지하고 있을 때에는, 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA에 접촉하고, 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA가 이송될 때에는, 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA로부터 이격되도록 되어 있어도 된다.

또한, 몰드 보유 지지 기구(127)에 의한 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA의 보유 지지는, 예를 들어 전사가 종료되고 진공 성형실(99)을 없앨 때에 이루어지도록 되어 있다. 또한, 몰드 보유 지지 기구(127)는, 도 13의 (b), 도 14, 도 15에 도시하고 있고, 다른 도면에서는 도시를 생략하고 있다.

여기서, 전사 장치(5)에 대해 더 설명한다.

도 27의 (a)는 전사 장치(5)의 모식도이다.

전사 장치(5)는, 전술한 바와 같이 베이스 부재(47)와, 제3 부재(이동체)(49)와, 지지체(이동체 지지체)(51)를 구비한다.

베이스 부재(47)는 제1 압박부(압박체)(31)를 구비한 제1 부재(상측 부재)(55)와, 압박체(31)가 설치되어 있는 측(하측)에서 상측 부재(55)로부터 이격되어 있는 제2 부재(하측 부재)(53)와, 상측 부재(55)와 하측 부재(53)를 연결하고 있는 연결 부재(타이 바)(57)를 구비하여 일체적으로 형성되어 있다.

이동체(49)는 상측 부재(55)와 하측 부재(53) 사이에서, 상측 부재(55)와 하측 부재(53)로부터 이격되어 설치되어 있다. 이동체(49)는 압박체(31)에 대향하고 있는 제2 압박부(피성형품 설치체)(33)를 구비하고 있다.

또한, 이동체(49)는 상측 부재(55)와 하측 부재(53)를 서로 연결하는 방향에서, 베이스 부재(47)에 대해 직선적으로 이동 가능하게 되어 있다(예를 들어, 상하 방향으로 이동 가능하게 되어 있음).

그리고, 이동체(49)가 상측으로 이동함으로써, 피성형품 설치체(33)가 압박체(31)와 협동하여, 시트 형상 몰드 MA와 피성형품 W를, 전사를 위해 끼워 넣고 압박하도록 되어 있다.

또한, 이동체(49)의 구동(이동)은 서보 모터(79)와 볼 나사(77)를 구비하여 구성된 구동 장치(193)로 이루어지도록 되어 있다.

이동체 지지체(51)는 일부[측부(61)]에, 이동체(49)의 이동을 가이드하는 가이드부[리니어 가이드 베어링(71)]를 구비하고 있다. 또한, 이동체 지지체(51)는 이것 이외의 일부[기부(59)의 시트(65)]에서, 하측 부재(53)에 결합하여 하측 부재(53)에 일체적으로 설치되어 있다.

이에 의해, 이동체 지지체(51)가, 반력의 중심 F2의 근방의 부위에만 하측 부재(53)에 결합하고, 하측 부재(53)에 일체적으로 설치되어 있게 된다. 또한, 상기 반력은 구동 장치(193)로 이동체(49)를 상방으로 이동하여, 시트 형상 몰드 MA와 피성형품 W를 끼워 넣고 압박할 때에, 하측 부재(53)에 발생하는 반력이다.

또한, 평면에서 보면, 상측 부재(55)와 하측 부재(53)가 서로 대략 겹쳐져 있고, 상측 부재(55)의 중심과 하측 부재(53)의 중심과 이동체(49)의 중심이 서로 대략 일치하고 있다.

또한, 전술한 바와 같이, 압박체(31)는 상측 부재(55)의, 하측 부재(53)[이동체(49)]에 대향하고 있는 평면[상측 부재(55)의 하면]으로부터, 하측으로 돌출되어 있고, 압박체(31)의 선단면(하면)은 상측 부재(55)의 하면과 평행하게 되어 있다.

또한, 피성형품 설치체(33)는 이동체(49)의, 상측 부재(55)에 대향하고 있는 평면[이동체(49)의 상면]으로부터, 상측으로 돌출되어 있고, 피성형품 설치체(33)의 선단면(상면)은 이동체(49)의 상면과 평행하게 되어 있다.

평면에서 보면, 압박체(31)의 하면의 중심과, 피성형품 설치체(33)의 상면의 중심과, 상측 부재(55)[하측 부재(53)]의 중심이 서로 대략 일치하고 있다.

또한, 구동 장치(193)에 의한 압박(시트 형상 몰드 MA와 피성형품 W를 끼워 넣는 압박)은 하측 부재(53)로부터 이동체(49)를 멀게 하는 힘을, 하측 부재(53)와 이동체(49)에 가함으로써 이루어지는 구성으로 되어 있다.

또한, 시트 형상 몰드 MA와 피성형품 W를 끼워 넣고 압박할 때에, 상측 부재(55)에 발생하는 반력은 상향이고, 하측 부재(53)에 발생하는 반력의 방향은 하향이다.

또한, 평면에서 보면, 상기 각 반력의 중심은 상측 부재(55)[하측 부재(53)]의 중심과 일치하고 있다.

전사 장치(5)에 따르면, 이동체 지지체(51)가, 하측 부재(53)의 중심의 근방에만 하측 부재(53)에 결합하고 있으므로, 전사를 위한 압박으로 하측 부재(53)에 반력이 발생하고, 이 반력에 의해 하측 부재(53)가 약간 탄성 변형되어도, 이 탄성 변형에 의한 영향을 이동체 지지체(51)가 받기 어렵게 되어 있어, 이동체 지지체(51)의 리니어 가이드 베어링(71)의 레일(73)에 있어서 얼라인먼트의 이상이 발생하는 경우가 없어진다. 그리고, 이동체(49)를 정확하게 이동할 수 있어, 정확한 전사를 할 수 있다.

도 27의 (a)를 참조하여 상세하게 설명한다. 도 27의 (a)에 도시하는 상태로부터, 이동체(49)를 상승시키고, 압박체(31)와 피성형품 설치체(33)로, 시트 형상 몰드 MA와 피성형품 W를 끼워 넣고 압박하면, 상측 부재(55)와 하측 부재(53)에 반력이 발생한다. 또한, 참조 부호 F1은 상측 부재(55)에 발생하는 반력의 중심(힘의 벡터)을 나타내고 있고, 참조 부호 F2는 하측 부재(53)에 발생하는 반력의 중심(힘의 벡터)을 나타내고 있다. 상기 각 반력의 중심은 상측 부재(55)나 하측 부재(53)의 중심을 통해 상하 방향으로 연신되어 있다.

상측 부재(55)나 하측 부재(53)에 반력이 발생하기 전에는, 상측 부재(55)의 중립면은 평면 L4로 되어 있고, 하측 부재(53)의 중립면은 평면 L5로 되어 있고, 타이 바(57)의 중심축은 직선 L6, L7로 되어 있다.

상측 부재(55)나 하측 부재(53)에 반력이 발생하면, 이 반력에 의한 굽힘 모멘트에 의해, 상측 부재(55)의 중립면은 곡면 L4A[도 27의 (a)에서는 이차원으로 나타내고 있으므로 원호 형상의 곡선]로 되고, 하측 부재(53)의 중립면은 곡면 L5A로 되고, 타이 바(57)의 중심축은 곡선 L6A, L7A로 된다.

상술한 곡면 L5A로부터 이해할 수 있는 바와 같이, 하측 부재(53)의 점 P8이나 점 P9의 부위에서는, 반력에 의해 발생하고 있는 굽힘 모멘트에 의해, 하측 부재(53)의 휨각이 크게 되어 있다. 따라서, 만약, 이동체 지지체(51)가, 점 P8이나 점 P9의 부위에서 하측 부재(53)에 지지되어 있는 것으로 하면, 이동체 지지체(51)의 측부[61(61A, 61B)]가 똑바로 상하 방향으로 연장되지 않고, 극히 약간 기울어져 버린다. 즉, 측부(61)의 하단부에 있어서의 측부(61A)와 측부(61B)의 거리가, 측부(61)의 상단부에 있어서의 측부(61A)와 측부(61B)의 거리보다도 극히 약간 커진다. 그리고, 이동체(49)를 정확하게 이동할 수 없는 경우가 발생한다.

이에 대해, 이동 지지체(51)가, 하측 부재(53)의 점 P5(반력의 중심 F2)의 근방에서 하측 부재(53)에 지지되어 있으므로, 반력에 의해 발생하고 있는 굽힘 모멘트에 의해, 하측 부재(53)가 극히 약간 탄성 변형되어도, 점 P5의 부위나 이 근방에 부위에서는 하측 부재(53)의 휨각이 「0」이거나 혹은 「0」에 매우 가까운 값으로 된다. 즉, 곡선 L5A에 있어서의 접선이 대략 수평으로 된다. 따라서, 이동체 지지체(51)가 베이스 부재(47)에 대해, 모멘트 프리의 상태로 되어, 이동체 지지체(51)의 측부(61)가 기울어지는 경우가 없어져, 이동체(49)를 정확하게 이동할 수 있어, 정확한 전사를 할 수 있다.

그런데, 도 27의 (a)에 도시한 형태를 적절하게 변경해도 된다.

도 27의 (b)는 전사 장치(5)의 변형예를 도시하는 도면이며, 도 27의 (a)에 대응하는 도면이다.

도 27의 (b)에 도시하는 전사 장치(5a)는 시트 형상 몰드 MA 대신에, 소정의 두께를 구비한 판형상의 몰드 MD를 사용하고 있는 점이, 도 27의 (a)에 도시하는 전사 장치(5)와는 다르고, 그 밖의 점은 전사 장치(5)와 마찬가지로 구성되어 있고, 동일한 효과를 발휘한다.

또한, 도 27의 (b)에 도시하는 전사 장치(5a)에서는, 몰드 MD를 압박체(31)에, 예를 들어 일체적으로 설치하고 있다.

도 28은 전사 장치(5)의 변형예를 도시하는 도면이며, 도 27의 (a)에 대응하는 도면이다.

도 28에 도시하는 전사 장치(5b)는 이동체 지지체(51)를 상측 부재(55)에 설치하고 있는 점이, 이동체 지지체(51)를 하측 부재(53)에 설치하고 있는 전사 장치(5)[도 27의 (a)에 도시하는 전사 장치]와는 다르고, 그 밖의 점은 전사 장치(5)와 마찬가지로 구성되어 있고, 동일한 효과를 발휘한다.

또한, 도 28에 도시하는 전사 장치(5b)에서는 서보 모터(79)와의 간섭이 없으므로, 반력[시트 형상 몰드 MA와 피성형품 W를 끼워 넣고 압박할 때에, 상측 부재(55)에 발생하는 반력]의 중심 F1의 부위에만, 이동체 지지체(51)가 상측 부재(55)에 결합하여 상측 부재(55)에 일체적으로 설치되어 있다. 즉, 도 27의 (a)에 도시하는 점 P4의 부위(휨각이 대략 「0」이 되는 부위)에서, 이동체 지지체(51)가 상측 부재(55)에 결합하고 있으므로, 전사 장치(5)의 경우와 동일한 효과를 발휘한다.

또한, 도 28에 도시하는 전사 장치(5b)에 있어서, 상기 반력의 중심 F1의 근방의 부위에만, 이동체 지지체(51)가 상측 부재(55)에 결합하여 상측 부재(55)에 일체적으로 설치되어 있어도 되고, 상기 반력의 중심 F1의 부위 및 상기 반력의 중심 F1의 근방의 부위에만, 이동체 지지체(51)가 상측 부재(55)에 결합하여 상측 부재(55)에 일체적으로 설치되어 있어도 된다.

도 29는 전사 장치(5)의 변형예를 도시하는 도면이며, 도 27의 (a)에 대응하는 도면이다.

도 29의 (a)에 도시하는 전사 장치(5c)는 도 27의 (a)에 도시하는 전사 장치(5)에 있어서, 이동체 지지체(51)나 구동 장치(193)를, 하측 부재(53)가 아니라, 상측 부재(55)에 설치한 것이다. 도 29의 (b) 도시하는 전사 장치(5d)는 도 28에 도시하는 전사 장치(5b)에 있어서, 이동체 지지체(51)를, 상측 부재(55)가 아니라, 하측 부재(53)에 설치하고, 구동 장치(193)를, 하측 부재(53)가 아니라, 상측 부재(55)에 설치한 것이다.

도 30의 (a)는 전사 장치(5)의 변형예를 도시하는 도면이며, 도 27의 (a)에 대응하는 도면이고, 도 30의 (b)는 도 30의 (a)에 있어서의 B화살표도이다. 도 31은 도 30에 도시하는 전사 장치(5e)의 이동체 지지체(51a)를 도시하는 도면이다. 또한, 도 31의 (b)는 도 31의 (a)에 있어서의 B-B 단면 화살표도이다.

도 30에 도시하는 전사 장치(5e)는 이동체 지지체(51a)를 타이 바(57)의 길이 방향의 중앙부에서 타이 바(57)에 결합시켜, 타이 바(57)에 일체적으로 설치하고 있다. 이에 의해, 도 27의 (a)에 도시하는 점 P6, P7의 부위(휨각이 대략 「0」이 되는 부위)에서, 이동체 지지체(51)가 타이 바(57)에 결합하고 있게 되고, 전사 장치(5)의 경우와 동일한 효과를 발휘한다.

또한, 상술한 전사 장치(5 내지 5e)는 몰드에 형성되어 있는 미세한 전사 패턴을 피성형품에 전사하는 전사 장치이며, 제1 압박부를 구비한 베이스 부재와, 상기 제1 압박부와 협동하여 상기 몰드와 상기 피성형품을 끼워 넣고 압박하는 제2 압박부를 구비하고, 상기 제2 압박부가 상기 제1 압박부에 대해 접근 혹은 이격하는 방향에서 직선적으로 이동하도록, 상기 베이스 부재에 설치되어 있는 이동 부재(이동체)와, 상기 이동 부재의 상기 이동을 가이드하는 가이드부를 구비하고, 상기 압박을 했을 때의 반력으로(상기 각 압박부에서 상기 몰드와 상기 피성형품을 끼워 넣고 압박했을 때의 반력에 의해 상기 베이스 부재에 발생하는 모멘트로) 극히 약간 탄성 변형되는 상기 베이스 부재의 탄성 변형 부위이며 상기 탄성 변형에 의한 휨각이 대략 「0」이 되는 탄성 변형 부위에만, 상기 베이스 부재에 결합하여 상기 베이스 부재에 일체적으로 설치되어 있는 지지체(이동체 지지체)를 갖는 전사 장치의 예이다.

시트 형상 몰드 작성 장치(27)는 도 22에 도시한 바와 같이, 롤 투 롤 방식(roll to roll 방식)으로 몰드 원반 MB를 작성하는 장치이며, 축 C7을 중심으로 하여 회전하는 전사 롤(131)과 축 C6을 중심으로 하여 회전하는 백업 롤(133)과 시트 형상의 소재(소재 원반) M2를 설치하는 소재 원반 설치 장치(135)와 시트 형상의 몰드 M을 권취하는 몰드 권취 장치(137)를 갖는다.

시트 형상의 소재 M2는 두께 방향의 양면이 평면 형상으로 되어 있고, 몰드 원반 MB와 마찬가지로 롤 형상으로 형성되어 있고, 원기둥 형상의 코어재에 PET 수지 등의 수지 재료로 구성된 시트 형상의 소재 M2를 권취한 소재 원반으로 되어 있다.

소재 원반 설치 장치(135)에 설치된 소재 원반으로부터 조출된 시트 형상의 소재 M2에, 미세한 전사 패턴을 전사하여 설치하고, 이 전사가 이루어진 시트 형상의 소재를 몰드 권취 장치(137)로 권취하면, 몰드 원반 MB이 생성되도록 되어 있다.

또한, 소재 원반 설치 장치(135)에 설치된 소재 원반은 축 C5를 중심으로 하여 회전하고, 몰드 권취 장치에서 권취되는 몰드 원반 MB는 축 C9를 중심으로 하여 회전하도록 되어 있다. 전사 롤(131)과 몰드 권취 장치(137) 사이에는 축 C8을 중심으로 하여 회전하는 텐션 롤러(139)가 설치되어 있다.

더 설명하면, 소재 원반 설치 장치(135)와 몰드 권취 장치(137) 사이에서, 소재 원반으로부터 조출되어 있는 시트 형상의 소재 M2의 한쪽의 면에, 도포 시공 노즐(141)에 의해 액체상의 자외선 경화 수지 W2를 막 형상으로 도포하도록 되어 있다. 계속해서, 액체상의 자외선 경화 수지 W2가 도포된 시트 형상의 소재 M2를, 전사 롤(131)에 권취하여 거는 동시에, 전사 롤(131)과 백업 롤(133)로 끼워 넣고, 자외선 발생 장치(143)가 발하는 자외선을 자외선 경화 수지 W2에 조사하여 자외선 경화 수지 W2를 경화시키고, 전사 롤(131)로부터 자외선 경화 수지 W2로, 전사 롤(131)의 원기둥 측면 형상의 외주면에 미리 형성되어 있던 미세한 전사 패턴이 전사되도록 되어 있다. 그리고, 도 24의 (a)에 도시한 바와 같은, 전사 패턴 M1이 형성되도록 되어 있다.

또한, 도 24의 (a)에 도시하고 있는 엣지 라인 L1은 시트 형상 몰드 M의 길이 방향에서 소정의 간격을 두고 설치되어 있는 전사 패턴 형성 영역 AE1(서로가 인접하는 한 쌍의 전사 패턴 형성 영역 AE1) 사이에 형성되어 있다. 또한, 엣지 라인 L1은 전사 롤(131)의 외주의 이음매(도 22에 도시하는 점 P2의 개소에서 도 22의 지면에 직교하는 방향으로 직선 형상으로 연장되어 있는 이음매)에 의해 형성되어 있는 것이다. 이음매는 두께 방향의 한쪽의 면에 미세한 전사 패턴이 형성되어 있는 직사각형인 얇은 평판 형상의 원형을, 전사 롤(131)의 외주에 일체적으로 설치했을 때에, 상기 원형의 각 단부의 맞댐부에 의해 형성되는 것이다. 실제의 엣지 라인 L1은 시트 형상 몰드 M(소재 M2에 막 형상으로 부착되어 있는 경화된 자외선 경화 수지)에 형성된 직선 형상이고 극히 약간 돌출되어 있는 볼록부, 혹은 극히 오목하게 되어 있는 오목부로 형성되어 있다.

또한, 도 22에 도시하는 시트 형상 몰드 작성 장치(27)에 있어서, 라미네이트 필름 S1을 설치하도록 해도 된다(도 23 참조). 도 23에 도시한 시트 형상 몰드 작성 장치(27a)에서는, 미세한 전사 패턴이 전사된 시트 형상의 소재 M2에 라미네이트 필름 S1을 공급하도록 되어 있다. 그리고, 몰드 권취 장치(137)에서 권취되어 생성되는 몰드 원반 MB에는 시트 형상의 몰드 M 사이에 라미네이트 필름 S1이 들어가도록 되어 있다.

즉, 축 C10을 중심으로 하여 회전하는 라미네이트 원반(145)으로부터 라미네이트 필름 S1이 공급되도록 되어 있다. 그리고, 몰드 권취 장치(137)에서 권취되어 생성되는 몰드 원반 MB에서는, 시트 형상의 몰드 M의 두께 방향, 라미네이트 필름 S1의 두께 방향이, 몰드 원반 MB의 직경 방향과 일치하고 있는 동시에, 시트 형상의 몰드 M과 라미네이트 필름 S1이 교대로 겹쳐져 있다[도 24의 (c) 참조]. 이에 의해, 몰드 원반 MB에 있어서의 시트 형상의 몰드 M끼리의 부착을 방지할 수 있어, 몰드 원반 MB로부터의 시트 형상의 몰드 M의 조출을 하기 쉽게 되어 있다.

그런데, 라미네이트 필름 S1을, 시트 형상의 몰드 M과 동일한 폭으로 하여, 시트 형상의 몰드 M의 전체면을 덮도록 설치되어 있어도 되지만, 본 실시 형태에서는 시트 형상의 몰드 M의 일부에 라미네이트 필름 S1을 설치하고 있다.

예를 들어, 라미네이트 필름 S1의 폭을 가늘게 하여, 라미네이트 필름 S1을 시트 형상의 몰드 M의 폭 방향의 양단부(전사 패턴 비형성 영역 AE2의 일부)에만 설치하고 있다[도 24의 (a), (b), (c) 참조]. 이에 의해, 전술한 바와 같이, 몰드 원반 MB에 있어서, 도 24의 (c)에 도시한 바와 같이 시트 형상 몰드 M의 미세한 전사 패턴 M1이, 이에 대향하고 있는 시트 형상 몰드 M의 배면(미세한 전사 패턴 M1이 형성되어 있는 면과는 반대측의 면)에 접촉하지 않거나 접촉하기 어렵게 되어 있어, 미세한 전사 패턴 M1의 손상을 방지할 수 있다.

또한, 라미네이트 필름 S1의 형상을 적절하게 변경해도 된다. 도 24의 (a)에 2점 쇄선 L3으로 나타내는 부위를 부가하여, 라미네이트 필름 S1을 사다리 형상(전사 패턴 형성 영역 AE1에 상당하는 부분에, 직사각형의 관통 구멍을 소정의 간격을 두고 형성한 형상)으로 형성하여, 전사 패턴 형성 영역 AE1을 둘러싸도록 해도 된다.

몰드 원반 MB에 라미네이트 필름 S1을 설치한 경우에는, 도 9의 (a)에 2점 쇄선으로 나타내는 라미네이트 필름 박리 장치(145)에서 라미네이트 필름 S1을 박리하여 권취하도록 되어 있다.

릴리징 장치(7)는 도 16의 (a) 등에 도시한 바와 같이, 베이스 부재(147)와 피성형품 보유 지지부(149)와 몰드 보유 지지부(151)와 몰드 끼움 지지부(153)와 이형부(155)를 구비한다.

피성형품 보유 지지부(149)는 평면 형상의 상면을 구비한 피성형품 보유 지지체(157)를 구비하고 있고, 이 피성형품 보유 지지체(157)가, 상하 방향에서 이동 위치 결정 가능하도록 베이스 부재(147)에 설치되어 있다. 즉, 피성형품 보유 지지체(157)가 리니어 가이드 베어링(159)을 통해 베이스 부재(147)에 설치되어 있고, 도시하지 않은 에어 실린더 등의 액추에이터에 의해 상하 방향으로 이동하도록 되어 있다. 또한, 전사 장치(5)에 의한 전사 후에 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA에 부착되어 있는 피성형품 W의 하면에, 피성형품 보유 지지체(157)의 상면이 면 접촉하고, 예를 들어 진공 흡착에 의해 피성형품 W(기재 W1)를 보유 지지할 수 있도록 되어 있다.

몰드 보유 지지부(151)는 평면 형상의 하면을 구비한 몰드 보유 지지체(161)를 구비하고 있다. 또한, 몰드 보유 지지체(161)는 피성형품 보유 지지체(157)의 상방에서 베이스 부재(147)에 설치되어 있다. 몰드 보유 지지체(161)의 하면은 피성형품 보유 지지체(157)의 상방에서 피성형품 보유 지지체(157)의 상면과 대향하고 있다. 그리고, 전사 후에 피성형품 W가 부착되어 있는 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA의 상면에, 몰드 보유 지지체(161)의 하면이 면 접촉하고, 예를 들어 진공 흡착에 의해 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA를 보유 지지하도록 되어 있다.

또한, 이들의 서로가 대향하고 있는 피성형품 보유 지지체(157)의 상면과 몰드 보유 지지체(161)의 하면 사이를, 전사 후에 서로가 부착되어 있는 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA와 피성형품 W가 위치하도록, 시트 형상 몰드 MA가 이송 위치 결정 장치(3)에 의해 이송 위치 결정되도록 되어 있다. 또한, 시트 형상 몰드 MA와 피성형품 W의 두께 방향이 피성형품 보유 지지체(157)의 상면이나 몰드 보유 지지체(161)의 하면과 직교하고 있다.

전사 장치(5)에서 전사가 이루어진 피성형품 W가, 시트 형상 몰드 MA에 부착한 상태에서 전사 장치(5)로부터 릴리징 장치(7)로 이송되는 것이지만, 전사 장치(5)와 릴리징 장치(7) 사이에, 소정의 간격[도 24의 (a)에 도시하는 피치 p1]을 두고, 단수 혹은 복수의 피성형품(시트 형상 몰드 MA에 부착되어 있는 피성형품) W가 존재하고 있어도 된다(예를 들어, 도 5 참조). 이에 의해, 전사 장치(5)와 릴리징 장치(7)의 거리를 크게 취할 수 있다.

또한, 이미 이해된 바와 같이, 피성형품 보유 지지체(157)가 상승 단부에 위치하고 있을 때에는, 피성형품 보유 지지체(157)의 상면이 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA에 부착되어 있는 피성형품 W에 접촉하도록 되어 있다. 한편, 피성형품 보유 지지체(157)가 하부 상승 단부에 위치하고 있을 때에는, 피성형품 보유 지지체(157)의 상면이 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA에 부착되어 있는 피성형품 W의 하방에서 피성형품(W)으로부터 소정의 거리만큼 이격되어 있다.

몰드 보유 지지체(161)는 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA의 이송 방향의 상류측[도 16의 (a)의 좌측]에서 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA의 폭 방향으로 연신되고 있는 축 C12를 회전 중심으로 하여 회전하도록, 베이스 부재(147)에 설치되어 있다. 그리고, 정상적인 상태에서는, 몰드 보유 지지체(161)의 하면이, 도시하지 않은 스토퍼에 의해 수평으로 되어 있고, 시트 형상 몰드 MA의 수평한 상면에 접촉하고 있다. 또한, 몰드 보유 지지체(161)가 회전함으로써, 몰드 보유 지지체(161)의 하류측이 솟아올라, 몰드 보유 지지체(161)의 하면이 약간 경사지도록 되어 있다[도 18의 (a) 등을 참조].

몰드 끼움 지지부(153)는 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA의 이송 방향의 하류측에서, 몰드 보유 지지체(161)에 설치되어 있다. 몰드 끼움 지지부(153)는 막대 형상의 몰드 끼움 지지체(163)를 구비하고 있고, 몰드 끼움 지지체(163)는 가늘고 긴 평면 형상의 상면을 구비하고 있다. 이 상면은 몰드 보유 지지체(161)의 하면과 대향하고 있는 동시에, 상면의 길이 방향이 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA의 폭 방향과 일치하고 있고, 몰드 끼움 지지체(163)의 상면의 폭 방향이, 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA의 길이 방향[도 16의 (a)의 좌우 방향]과 일치하고 있다.

또한, 몰드 끼움 지지체(163)는 몰드 보유 지지체(161)에 대해 접근 이격되는 방향에서 이동 가능하도록, 도시하지 않은 리니어 가이드 베어링을 통해 몰드 보유 지지체(161)에 설치되어 있다.

그리고, 에어 실린더(165) 등의 액추에이터에 의해 몰드 끼움 지지체(163)가 몰드 보유 지지체(161)측으로 이동함으로써, 몰드 끼움 지지체(163)와 몰드 보유 지지체(161)가 협동하여 시트 형상의 몰드 MA를 끼워 넣도록 되어 있다[예를 들어, 도 17의 (b) 참조]. 한편, 몰드 끼움 지지체(163)가 몰드 보유 지지체(161)로부터 이격되는 측으로 이동함으로써, 시트 형상 몰드 MA의 끼움 지지가 해제되도록 되어 있다.

또한, 몰드 끼움 지지체(163)는 피성형품 보유 지지체(157)와는 간섭하지 않는 위치에 설치되어 있고, 또한 몰드 끼움 지지체(163)와 몰드 보유 지지체(161)에서 피성형품 W를 끼워 넣는 일이 없도록 되어 있다.

이형부(155)는 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA의 이송 방향의 하류측에서 베이스 부재(147)에 설치되어 있다. 이형부(155)는 이형체(167)를 구비하고 있고, 이 이형체(167)를 에어 실린더(169) 등의 액추에이터에 의해 상승시킴으로써, 이형체(167)로 몰드 보유 지지체(161)[몰드 끼움 지지체(163)]를 밀어 올려, 몰드 보유 지지체(161)를 회전시키고, 전술한 바와 같이, 몰드 보유 지지체(161)의 하면을 비스듬히 할 수 있도록 되어 있다. 또한, 이형체(167)로 몰드 보유 지지체(161)를 밀어 올리고 있지 않은 상태에서는, 이형체(167)가 하방에 위치하여 몰드 보유 지지체(161)[몰드 끼움 지지체(163)]로부터 이격되어 있다.

또한, 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA의 이송 방향에 있어서의 릴리징 장치(7)의 하류에는 몰드 길이 조정 장치(장력 유지 장치)(171)가 설치되어 있다.

장력 유지 장치(171)는 릴리징 장치(7)에 의한 릴리징에 의해(릴리징을 하고 있을 때) 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA의 형태[예를 들어, 전사 장치(5)와 몰드 권취 장치(11) 사이에 존재하고 있는 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA의 연신의 경로]가 변화되어도[예를 들어, 도 17의 (b)로부터 도 18의 (a)에 도시한 바와 같이 비스듬해지도록 변화되어도], 시트 형상의 몰드 MA가 느슨해지거나, 시트 형상의 몰드 MA가 장력 과다에 의해 절단되지 않도록, 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA의 장력을 대략 일정하게 유지하는 것이다.

장력 유지 장치(171)에 의해, 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA의 형태에 관계 없이, 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA의 장력을 대략 일정하게 유지하므로, 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA로부터 피성형품 W를 릴리징할 때에, 시트 형상 몰드 MA가 느슨해지거나 끊어져 버리는 것을 방지할 수 있어, 전사 장치(5)를 원활하게 작동시킬 수 있다.

또한, 이미 이해된 바와 같이, 전사 장치(5)에 의한 전사는 이송이 종료되고 위치 결정되어 정지하고 있는 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA를 사용하여 이루어지도록 되어 있고, 릴리징 장치(11)에 의한 릴리징은 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA의 이송이 정지하고 있는 것에 추가하여, 전사 장치(5)에 의해 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA와 피성형품 W가 끼워져 있을 때에 이루어지도록 되어 있다.

또한, 릴리징 장치(11)에 의한 릴리징은 서로 부착되어 있는 피성형품 W와 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA 중 시트 형상 몰드 MA의 배면(미세한 전사 패턴이 형성되어 있는 면과는 반대측의 면;상면)을 몰드 보유 지지체(161)로 흡착하여 보유 지지하고, 서로 부착되어 있는 피성형품 W와 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA 중 피성형품 W의 배면(미세한 전사 패턴이 형성된 면과는 반대측의 면;하면)을 피성형품 보유 지지체(157)로 흡착하여 보유 지지하고, 몰드 보유 지지체(161)를 회전시킴으로써 이루어지도록 구성되어 있다[도 18의 (a) 참조].

또한, 서로 부착되어 있는 피성형품 W와 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA는 전사 장치(5)에 의해 전사를 하는 개소와 몰드 권취 장치(11) 사이에 존재하고 있다.

상술한 바와 같은, 릴리징 장치(11)에 있어서의 릴리징은, 예를 들어 릴리징이 완료된 부위와 릴리징이 미완료된 부위의 직선 형상의 경계(시트 형상 몰드 MA의 폭 방향으로 연신되어 있는 경계)가, 시트 형상 몰드 MA의 길이 방향의 일단부로부터 타단부를 향해(예를 들어, 도 17이나 도 18의 우측으로부터 좌측을 향해) 이동하고, 이 이동이 완료되었을 때에 완료하도록 되어 있다.

장력 유지 장치(171)는 전사 장치(5)에 의해 전사를 하는 개소와 몰드 권취 장치(11) 사이에 있어서의 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA의 장력을 유지하도록 되어 있다. 그리고, 전술한 바와 같이, 몰드 보유 지지체(161)가 회전함으로써, 전사 장치(5)에 의해 전사를 하는 개소와 몰드 권취 장치(11) 사이에서, 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA의 형태가 변화되지만, 이 변화가 있어도, 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA의 장력이 대략 일정한 값으로 유지되도록 되어 있다.

이송 위치 결정 장치(3)에 따르면, 전사를 하기 위해 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA와 피성형품 W가 끼워져 있을 때에, 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA와 피성형품 W의 릴리징을 하므로, 릴리징을 하고 있어도, 전사 장치(5)에서는 시트 형상 몰드 MA의 위치 어긋남이 일어나지 않아, 전사 불량의 발생을 회피할 수 있다.

또한, 전사 장치(5)와 몰드 권취 장치(11)의 사이라고 하는 비교적 짧은 범위에서 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA의 장력을 일정하게 유지하면 되므로, 장력의 값을 목표값에 가까운 정확한 것으로 할 수 있다.

몰드 길이 조정 장치(장력 유지 장치)(171)에 대해, 예를 들어 상세하게 설명한다. 몰드 길이 조정 장치(171)는 베이스 부재(147)에 일체적으로 지지되어 있는 가이드 레일(173)과, 가이드 레일(173)에 결합하여 상하 방향으로 이동 가능하게 되어 있는 베어링 부재(175)와, 이 베어링 부재(175)에 축[축 C12나 도 9의 (a)에 도시하는 축 C3에 평행한 축] C4를 회전 중심으로 하여 회전 가능하게 설치되어 있는 롤러(177)를 구비한다.

롤러(177)는 전사 장치(5)에 의해 전사를 하는 개소와 몰드 권취 장치(11) 사이[보다 구체적으로는, 릴리징 장치(7)와 몰드 권취 장치(11) 사이]에 존재하고 있다. 롤러(177)는 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA의 상방에 위치하고 있고, 롤러(177)의 하방측에는 시트 형상 몰드 MA가 권취되어 걸려 있다.

이에 의해, 롤러(177)에는 시트 형상 몰드 MA의, 미세한 전사 패턴 M1이 형성되어 있는 면과는 반대측의 면인 배면(상면)이 접촉하고 있게 된다.

몰드 길이 조정 장치(171)에는 가압 장치(197)[도 16의 (a) 참조]가 설치되어 있다. 가압 장치(197)는 롤러(177)에 권취되어 걸려 있는 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA에 장력을 부여하는 방향[도 16의 (a)에서는 하방향]이고, 또한 롤러(177)의 위치에 관계없이 대략 일정한 힘으로 롤러(177)를 가압하는 것이다. 즉, 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA에 적정한 장력을 부여하도록, 롤러(177)를 가압하는 것이다.

구체적으로는, 가압 장치(197)는 에어 실린더(도시하지 않음)와, 이 에어 실린더에 공급되는 공기압을 일정한 값으로 제어하는 공기압 제어 기기(예를 들어, 레귤레이터와 릴리브 밸브)를 구비한다.

즉, 베어링 부재(175)는 가압 장치(197)에 의해, 예를 들어 시트 형상 몰드 MA를 하방에 일정한 힘으로 가압하고 있다. 구체적으로는, 도시하지 않은 공기압 실린더에 의해, 베어링 부재(175)가 가압되어 있다. 이 공기압 실린더에 공급되는 압축 공기의 배관부에는 도시하지 않은 레귤레이터와 릴리브 밸브가 접속되어 있고, 공기압 실린더로부터의 로드의 연장량에 관계없이, 항상 일정한 가압력을 베어링 부재(175)에 부여할 수 있도록 되어 있다.

이송 위치 결정 장치(3)에 따르면, 장력 유지 장치(171)가, 롤러(177)와 에어 실린더를 구비하므로, 복잡한 제어를 하지 않고, 간소한 구성으로 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA의 장력을 대략 일정하게 유지할 수 있다.

또한, 에어 실린더에 공급되어 있는 압축 공기는 압축성을 구비한 기체이므로, 어떤 요인으로, 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA의 형태가 급격하게 변화된 경우라도, 그 급격한 변화에 대응하여 장력을 조정할 수 있다. 따라서, 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA에서 급격한 형태의 변화가 있어도, 시트 형상 몰드 MA가 절단 등을 해 버리는 것을 방지할 수 있다.

또한, 롤러(177) 등의 질량은 최대한 작게 되어 있는 것이 바람직하다. 또한, 롤러(177) 등의 질량이 큰 경우에는 롤러(177) 등의 중량을 경감시키는 방향(상향)으로 에어 실린더에 의해 가압해도 된다. 이 경우, 경감된 롤러(177) 등의 중량으로, 시트 형상 몰드 MA에 장력을 부여하게 된다.

또한, 이송 위치 결정 장치(3)에 따르면, 장력 유지 장치(171)의 롤러(177)가, 시트 형상 몰드 MA의 배면에 접촉하므로, 시트 형상 몰드 MA에 형성되어 있는 미세한 전사 패턴 M1의 손상을 방지할 수 있고, 경우에 따라서는, 시트 형상 몰드 MA의 재사용이 가능해진다.

또한, 도 16의 (a) 등에서는, 시트 형상 몰드 MA의 이송 방향의 상류측에 위치하고 있는 축 C12를 회전 중심으로 하여, 몰드 보유 지지체(161)가 회전하도록 되어 있고, 이에 의해, 릴리징 장치(7)와 몰드 권취 장치(11) 사이에 몰드 길이 조정 장치(171)가 설치되어 있다.

이에 대해, 시트 형상 몰드 MA의 이송 방향의 하류측에 위치하고 있는 축을 회전 중심으로 하여 몰드 보유 지지체(161)가 회전하도록 구성하고, 전사 장치(5)와 릴리징 장치(7) 사이에 몰드 길이 조정 장치(171)를 설치해도 된다.

이송 위치 결정 장치(3)에 의해 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA를 이송할 때에는, 도 16의 (a) 등에 도시한 바와 같이, 피성형품 보유 지지체(157)의 상면은 시트 형상 몰드 MA나 피성형품 W의 하방에서 시트 형상 몰드 MA나 피성형품 W로부터 이격되어 있고, 몰드 보유 지지체(161)의 하면은 수평으로 되어 시트 형상 몰드 MA의 상면에 접촉하고 있거나 혹은 극히 약간 이격되어 있다. 또한, 이형체(167)는 하방에 위치하고 있고, 몰드 끼움 지지체(163)도 하방에 위치하여 몰드를 사이에 두고 있지 않다.

이송 위치 결정 장치(3)에 의한 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA의 이송이 종료되고, 시트 형상 몰드 MA로부터 피성형품 W를 릴리징할 때에는, 예를 들어, 도 17의 (a)에 도시한 바와 같이, 피성형품 보유 지지체(157)가 상승하여, 진공 흡착에 의해 피성형품 W를 보유 지지하고, 진공 흡착에 의해 몰드 보유 지지체(161)로 시트 형상 몰드 MA를 보유 지지하도록 되어 있다.

그리고, 도 18의 (a) 등에 도시한 바와 같이, 몰드 끼움 지지체(163)와 몰드 보유 지지체(161)로, 시트 형상 몰드 MA를 끼움 지지하고, 이형체(167)를 상승시켜 몰드 보유 지지체(161)[몰드 끼움 지지체(163)]를 회전시켜, 시트 형상 몰드 MA와 피성형품 W의 분리를 하도록 되어 있다. 이때, 몰드 원반 설치 장치(9)[전사 장치(5)]와 몰드 권취 장치(11) 사이에서 연장되어 있는 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA의 길이에 변화가 생기므로, 이 변화를 몰드 길이 조정 장치(171)에서 흡수하여, 시트 형상 몰드 MA에 무리한 장력을 발생시키지 않고(장력을 대략 일정하게 해 두고), 몰드 보유 지지체(161)[몰드 끼움 지지체(163)]의 회전을 가능하게 하고 있다.

또한, 몰드 릴리징 장치(7)의 베이스 부재(147)는 베드(45)에 일체적으로 설치되어 있다. 또한, 몰드 릴리징 장치(7)에 의한 시트 형상 몰드 MA로부터의 피성형품 W의 릴리징은 전사 장치(5)에 의한 전사가 이루어져 있을 때[보다 구체적으로는, 압박체(31)와 피성형품 설치체(33)로, 시트 형상 몰드 MA와 피성형품 W의 끼워 넣기를 하고 있을 때]에 이루어지도록 되어 있다.

다음에, 전사 시스템(1)의 동작을 설명한다.

초기 상태에서는, 도 9의 (a)에 도시한 바와 같이, 몰드 원반 설치 장치(9)에 몰드 원반 MB가 설치되어 있고, 몰드 권취 장치(11)와 몰드 원반 설치 장치(9) 사이에, 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA가 적절한 장력으로 존재하고 있다. 또한, 시트 형상 몰드 MA의 전사 패턴 형성 영역 AE1이, 전사 장치(5)에 의한 전사가 이루어지는 위치에 위치하고 있다.

전사 장치(5)의 진공 성형실(99)은 개방되어 있고[각 벨로즈(101, 107)가 수축하고 있고], 이동체(49)는 하강하고 있고, 자외선 발생 장치(125)는 정지하여 자외선을 발생하고 있지 않다. 또한, 도 9의 (a)에 도시하는 거리[압박체(31)의 하면과 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA의 상면 사이의 거리] L2는, 실제로는 극히 약간의 거리로 되어 있다.

또한, 상기 초기 상태에서는, 도 16의 (a)에 도시한 바와 같이, 릴리징 장치(7)의 피성형품 보유 지지체(157)는 하강하고 있고, 몰드 보유 지지체(161)는 회전하고 있지 않고, 몰드 보유 지지체(161)의 하면은 수평으로 되어 있다. 몰드 끼움 지지체(163)는 하방에 위치하고, 시트 형상 몰드 MA를 끼움 지지하고 있지 않고, 이형체(167)는 하방에 위치하고 있고, 피성형품 보유 지지체(157)의 밀어 올림을 하고 있지 않다. 또한, 피성형품 W가 부착되어 있는 시트 형상 몰드 MA가, 릴리징 장치(7)에 의한 릴리징에 적합한 적절한 위치에 위치하고 있다.

우선, 전사 장치(5)의 동작에 대해 설명한다.

상기 초기 상태에 있어서, 제어 장치(179)의 제어 하에서, 제1 반송 장치(15)에 의해 전사 전의 피성형품 W를, 전사 장치(5)의 피성형품 설치체(33)에 설치한다[도 9의 (b) 참조].

계속해서, 각 에어 실린더(105, 111)로 상하의 각 벨로즈(101, 107)를 연장시킨다[도 10의 (a) 참조]. 이동체(49)를 상승시켜 진공 성형실(99)을 형성하고[도 10의 (b) 참조], 진공 성형실(99) 내를 진공 펌프(도 2 등 참조)(121)에 의해 감압하여 대략 진공의 상태로 한다[도 11의 (a) 참조].

계속해서, 진공 성형실(99)을 유지한 상태에서, 상측의 에어 실린더(105)를 중간 위치로 하고, 이동체(49)를 극히 약간 더욱 상승시켜, 평판 형상의 시트 형상 몰드 MA를 압박체(31)[몰드 접촉재(39)]에 접촉시키고(도 11의 (b) 등 참조), 이동체(49)를 약간 더욱 상승시켜, 압박체(31)와 피성형품 설치체(33)로 피성형품 W와 시트 형상 몰드 MA를 끼워 넣고 압박하고, 자외선 발생 장치(125)가 발하는 자외선을 피성형품 W의 자외선 경화 수지 W2에 조사하여, 자외선 경화 수지 W2를 경화시킨다[도 12의 (a) 참조].

계속해서, 진공 성형실(99)을 대기압으로 복귀시켜[도 12의 (b) 참조], 상측의 에어 실린더(105)로 상측 접촉 부재(103)를 하강시키는 동시에 이동체(49)를 극히 약간 하강하여, 서로가 부착되어 있는 시트 형상 몰드 MA와 피성형품 W를, 압박체(31)와 피성형품 설치체(33)로부터 이격한다[도 13의 (a) 참조].

계속해서, 몰드 보유 지지 기구(127)로 시트 형상 몰드 MA를 보유 지지하고[도 13의 (b) 참조], 각 에어 실린더(105, 111)로 상하의 각 벨로즈(101, 107)를 축소시키고, 진공 성형실(99)을 개방하여[없애고, 도 14의 (a) 참조], 이동체(49)를 더욱 하강한다[도 14의 (b) 참조].

계속해서, 몰드 보유 지지 기구(127)에 의한 시트 형상 몰드 MA의 보유 지지를 멈추고, 이송 위치 결정 장치(3)에 의해, 시트 형상 몰드 MA를 피성형품 W가 부착된 상태에서 릴리징 장치(7)로 이송하여(도 15 참조), 다음의 전사에 대비한다.

다음에, 릴리징 장치(7)의 동작에 대해 설명한다.

상기 초기 상태에 있어서, 제어 장치(179)의 제어 하에서, 피성형품 보유 지지체(157)를 상승시켜, 피성형품 보유 지지체(157)와 몰드 보유 지지체(161)로 시트 형상 몰드 MA와 피성형품 W를 끼워 넣고[도 16의 (b) 참조], 진공 흡착에 의해 피성형품 보유 지지체(157)로 피성형품 W를 보유 지지하고, 진공 흡착에 의해 몰드 보유 지지체(161)로 시트 형상 몰드 MA를 보유 지지한다[도 17의 (a) 참조].

계속해서, 몰드 끼움 지지체(163)를 상승시켜, 몰드 끼움 지지체(163)와 몰드 보유 지지체(161)로 시트 형상 몰드 MA를 끼워 넣고[도 17의 (b) 참조], 이형체(167)를 상승시켜 몰드 보유 지지체(161)를 회전시켜, 피성형품(전사 후 피성형품) W로부터 시트 형상 몰드 MA를 릴리징하고[도 18의 (a) 참조], 피성형품 보유 지지체(157)를 하강한다[도 18의 (b) 참조].

계속해서, 피성형품 보유 지지체(157)에 의한 진공 흡착을 정지하고[도 19의 (a) 참조], 제2 반송 장치(19)에 의해, 피성형품 W를 반출하고[도 19의 (b) 참조], 이형체(167)를 하강하여 몰드 보유 지지체(161)의 하면을 수평으로 하고, 몰드 끼움 지지체(163)를 하강하여 시트 형상 몰드 MA의 끼움 지지를 멈추고, 몰드 보유 지지체(161)에 의한 진공 흡착을 멈추고[도 20의 (a) 참조], 이송 위치 결정 장치(3)에 의해 시트 형상 몰드 MA를 이송하여, 상술한 초기 상태로 된다[도 20의 (b) 참조].

전사 시스템(1)에 따르면, 전사 장치(5)에 의해 전사를 행하여, 시트 형상 몰드 MA와 피성형품 W가 서로 부착되어 있는 상태에서 시트 형상 몰드 MA를 이송하고, 전사 장치(5)로부터 이격되어 별개로 설치되어 있는 릴리징 장치(7)에서 시트 형상 몰드 MA와 피성형품 W의 릴리징을 행하므로, 바꾸어 말하면, 전사와 릴리징을 다른 개소의 별도의 공정에서 행하므로, 전사와 릴리징을 병행하여 행할 수 있고, 시트 형상의 몰드 MA에 형성되어 있는 미세한 전사 패턴 M1을 피성형품 W에 전사할 때에, 전사가 이루어진 피성형품 W를 효율적으로 얻을 수 있다(전사의 처리량을 단축할 수 있음).

또한, 릴리징 장치(7)를 전사 장치(5)로부터 이격하여 설치할 수 있으므로, 릴리징 장치(7)의 설치 스페이스에 여유가 생겨, 무리가 없는 설계 사상으로 전사 장치(5)나 릴리징 장치(7)를 작성할 수 있다. 또한, 제1 반송 장치(15)나 제2 반송 장치(19)의 설치를 하기 쉬워진다.

또한, 전사 시스템(1)에 따르면, 처리의 능력이 높은(택트 타임이 짧은) 1대의 시트 형상 몰드 작성 장치(27)에 대해, 시트 형상 몰드 작성 장치(27)보다도 처리 능력이 낮은(택트 타임이 긴) 전사 장치(5) 등이 복수대 설치되어 있으므로(도 25 참조), 시트 형상 몰드 작성 장치(27)의 대수를 적게 할 수 있어, 전사 시스템(1)을 간소화하여 저렴하게 할 수 있다.

또한, 전사 시스템(1)에 따르면, 전사 장치(5)에 완충재(35)를 설치하고 있으므로, 전사 시에 균일한 압력으로 시트 형상 몰드 MA와 피성형품 W를 끼워 넣을 수 있어, 전사 누락의 발생을 억제할 수 있다.

또한, 전사 시스템(1)에 따르면, 전사 장치(5)의 완충재(35)에 몰드 접촉재(39)가 설치되어 있으므로, 전사 시에 있어서의 시트 형상 몰드 MA와 피성형품 W의 끼워 넣기를 하여 전사를 하고, 이 전사 후에 압박체(31)를 시트 형상 몰드 MA로부터 이격할 때에, 압박체(31)가 시트 형상 몰드 MA에 부착되기 어렵게 되어 있고, 전사 후의 끼워 넣기의 개방을 확실하게 행할 수 있다.

또한, 전사 시스템(1)에 따르면, 라미네이트 필름 S1이 설치되어 있으므로, 몰드 원반 MB에 있어서의 미세한 전사 패턴 M1의 손상을 회피할 수 있다.

또한, 상기 설명에서는, 시트 형상 몰드 작성 장치(27), 전사 장치(5)에 있어서, UV 임프린트법을 하는 것을 예로 들어 설명하였지만, 시트 형상 몰드 작성 장치(27), 전사 장치(5)에 있어서, 열 임프린트법을 하도록 해도 된다.

Claims (4)

1. 미세한 전사 패턴이 형성되어 있는 시트 형상 몰드를 평판 형상으로 배치하고, 이 평판 형상의 시트 형상 몰드의 미세한 전사 패턴을 평판 형상의 피성형품에 전사하여 이 전사에 의해 부착되어 있는 상기 피성형품을 상기 평판 형상의 시트 형상 몰드로부터 릴리징하기 위해, 상기 평판 형상의 시트 형상 몰드를 소정의 방향으로 이송하여, 상기 전사를 행하는 장소 또는 상기 릴리징을 행하는 장소로 위치 결정하는 이송 위치 결정 장치이며,
   상기 시트 형상 몰드의 몰드 원반을 설치하는 몰드 원반 설치 장치와,
   상기 몰드 원반 설치 장치로부터 조출되어 있는 평판 형상의 시트 형상 몰드를 권취함으로써 상기 전사를 행하는 장소 또는 상기 릴리징을 행하는 장소로 이송 및 위치 결정하는 몰드 권취 장치와,
   상기 릴리징을 할 때에 평판 형상의 시트 형상 몰드의 형태가 변화되어도, 상기 평판 형상의 시트 형상 몰드의 장력을 일정하게 유지하는 장력 유지 장치를 갖는 것을 특징으로 하는, 이송 위치 결정 장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 릴리징은 상기 전사를 위해 평판 형상의 시트 형상 몰드와 피성형품이 끼워져 있을 때에, 상기 전사를 하는 개소와 상기 몰드 권취 장치 사이에 존재하여 상기 전사에 의해 서로 부착되어 있는 상기 피성형품과 상기 평판 형상의 시트 형상 몰드 중 시트 형상 몰드를 몰드 보유 지지체로 흡착하고 피성형품을 피성형품 보유 지지체로 흡착하여, 상기 몰드 보유 지지체를 회전시킴으로써 이루어지도록 구성되어 있고,
   상기 장력 유지 장치는 상기 전사를 하는 개소와 상기 몰드 권취 장치 사이에 있어서의 평판 형상의 시트 형상 몰드의 장력을 유지하는 것을 특징으로 하는 이송 위치 결정 장치.
3. 제2항에 있어서, 상기 장력 유지 장치는 상기 전사를 하는 개소와 상기 몰드 권취 장치 사이에 존재하고 있는 평판 형상의 시트 형상 몰드가 권취되는 롤러와, 이 롤러에 권취되어 있는 평판 형상의 시트 형상 몰드에 적정한 장력을 부여하도록, 상기 롤러의 위치에 관계없이 일정한 힘으로 상기 롤러를 가압하는 가압 장치를 구비하고, 상기 가압 장치는 에어 실린더와, 이 에어 실린더에 공급되는 공기압을 일정한 값으로 제어하는 공기압 제어 기기를 구비하는 것을 특징으로 하는, 이송 위치 결정 장치.
4. 제3항에 있어서, 상기 장력 유지 장치의 롤러에는 상기 시트 형상 몰드의, 미세한 전사 패턴이 형성되어 있는 면과는 반대측의 면인 배면이 접촉되어 있는 것을 특징으로 하는, 이송 위치 결정 장치.

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