KR101411367B1 - Cushion for wafer cassette - Google Patents

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비아이 이엠티 주식회사
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Abstract

본 발명은 웨이퍼 카세트용 쿠션에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 웨이퍼 카세트용 쿠션은 웨이퍼 카세트의 내면에 설치되어 웨이퍼의 단부를 가압 지지하는 웨이퍼 카세트용 쿠션에 있어서, 나란하게 이격 배치되어 웨이퍼 카세트의 내면에 고정되는 한 쌍의 고정부;와, 중앙에 오목부가 형성되고 오목부의 양측에 볼록부가 형성되어 상기 한 쌍의 고정부 사이를 연결하는 탄성플레이트;와, 상기 볼록부의 중앙에 고정부를 따라 길이방향으로 형성되는 개방부;와, 상기 개방부 내에서 웨이퍼에 대응하는 위치에 각각 배치되어 웨이퍼의 단부에 접촉하는 지지부;와, 상기 개방부의 내주면 중 상기 고정부측 내주면과 지지부를 연결하는 제1탄성체; 및, 상기 개방부의 내주면 중 오목부측에 위치하는 개방부측 내주면과 지지부를 연결하는 제2탄성체;를 포함하며, 상기 제1탄성체와 제2탄성체는 지지부가 볼록부보다 웨이퍼를 향해 돌출된 위치에 배치되도록 볼록부의 길이보다 길게 형성되어 탄성플레이트보다 작은 탄성력으로 지지부를 지지하고, 상기 지지부가 웨이퍼의 단부에 접촉한 상태에서 웨이퍼의 중심을 향하도록 지지부를 탄성지지하는 것을 특징으로 한다. The present invention relates to a wafer cassette cushion, wherein a wafer cassette cushion according to the present invention is provided on an inner surface of a wafer cassette and presses and supports an end portion of the wafer. The cushion for a wafer cassette includes: An elastic plate having a concave portion formed at the center thereof and formed with convex portions on both sides of the concave portion so as to connect the pair of the stationary portions; A first elastic member disposed at a position corresponding to the wafer in the opening and contacting an end of the wafer, and a second elastic member, which connects the inner circumferential surface of the opening and the support, ; And a second elastic body connecting the inner circumferential surface of the opening portion on the concave portion side of the inner circumferential surface of the opening portion and the support portion, wherein the first elastic body and the second elastic body are disposed at positions where the support portions protrude from the convex portion toward the wafer And the support portion is elastically supported so as to face the center of the wafer while the support portion is in contact with the end portion of the wafer.

Description

웨이퍼 카세트용 쿠션 {Cushion for wafer cassette}Cushion for wafer cassette < RTI ID = 0.0 >

본 발명은 웨이퍼 카세트용 쿠션에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 웨이퍼의 단부를 지지하는 지지부의 가압 지지력이 웨이퍼의 중심을 향하도록 함으로써 지지부와 웨이퍼의 접촉부에서의 마찰에 의해 파티클이 발생하는 것을 방지할 수 있는 웨이퍼 카세트용 쿠션에 관한 것이다.More particularly, the present invention relates to a cushion for a wafer cassette, and more particularly, to a cushion for a wafer cassette, which is capable of preventing particles from being generated due to friction at a contact portion between a support and a wafer, To a cushion for a wafer cassette.

반도체 웨이퍼와 같은 기판을 저장하거나 이송하기 위해서는 박스 형태의 캐리어가 이용된다. 캐리어는 일반적으로 전면이 개방된 본체와 이를 개폐하는 도어로 이루어진다. 본체의 내부 양 측면 및 후면에는 다수의 슬롯이 형성된다. 슬롯은 기판이 수용될 시 가이드 레일의 기능을 수행하고 수용된 이후에는 기판들 간의 간섭을 방지하면서 안정적으로 기판을 유지하도록 한다.A box-shaped carrier is used to store or transport a substrate such as a semiconductor wafer. The carrier generally comprises a main body having an open front and a door for opening and closing the main body. A plurality of slots are formed on both inner and rear surfaces of the body. The slots perform the function of a guide rail when the substrate is received and after the accommodation, the substrate is stably held while preventing interference between the substrates.

기판이 본체에 수용된 이후에는 로봇 암 등에 의해 도어가 폐쇄된다. 도어의 중앙에는 본체의 슬롯에 대응되는 형태의 슬롯을 구비하는 전방 쿠션이 장착된다. 전방 쿠션은 도어의 폐쇄시 기판을 밀착하여 유지한다. 그러나, 이러한 전방 쿠션은 기판의 포장 내지 이동 과정에서 반드시 기판과 접촉부위에서 미끄러짐이 발생되기 때문에 그 접촉부위에서 마찰에 의한 파티클이 발생할 가능성이 크다.After the substrate is housed in the main body, the door is closed by the robot arm or the like. At the center of the door, a front cushion having a slot corresponding to a slot of the main body is mounted. The front cushion keeps the substrate in close contact when the door is closed. However, such a front cushion necessarily causes slippage on the substrate and the contact portion during the process of packaging or moving the substrate, so there is a high possibility that particles are generated due to friction on the contact portion.

기판을 이송 또는 처리할 때에 파티클이 발생하게 되면 중대한 오염문제가 발생한다. 특히 반도체 산업에 있어서는 이러한 오염을 단일의 가장 큰 산률 손실(yield loss)의 원인으로 인식하고 있다. 더욱이, 반도체의 집적도가 고도화되는 추세에 따라 오염을 야기하는 파티클의 크기 또한 나노 단위로 극소화되는 추세이다. 따라서, 이러한 파티클의 발생을 최소화할 수 있는 전방 쿠션의 구조적 설계는 매우 중요하다.Significant contamination problems occur when particles are generated when the substrate is transferred or processed. Particularly in the semiconductor industry, this pollution is perceived as the single largest cause of yield loss. Moreover, as the degree of integration of semiconductors becomes more advanced, the size of particles causing contamination is also being minimized to nano units. Therefore, the structural design of the front cushion that minimizes the generation of such particles is very important.

특허문헌1. 공개특허 10-2009-0086520, 신에츠 폴리머 가부시키가이샤 (2009.08.13)Patent Document 1. Patent Document 10-2009-0086520, Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. (Aug. 13, 2009)

따라서, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 웨이퍼의 단부를 지지하는 지지부의 가압 지지력이 웨이퍼의 중심을 향하도록 함으로써 지지부와 웨이퍼의 접촉부에서의 마찰에 의해 파티클이 발생하는 것을 방지할 수 있는 웨이퍼 카세트용 쿠션을 제공함에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is an object of the present invention to solve such conventional problems, and it is an object of the present invention to provide a method of manufacturing a semiconductor device in which particles are generated by friction at a contact portion between a support and a wafer, And a cushion for a wafer cassette.

또한, 지지부가 웨이퍼의 중심을 향하도록 경사배치되어 지지부의 가압력이 웨이퍼의 중심을 향하도록 함으로써, 안정적인 지지력을 발휘할 수 있는 웨이퍼 카세트용 쿠션을 제공함에 있다.In addition, the present invention provides a cushion for a wafer cassette in which a support portion is inclined so as to face the center of the wafer and a pressing force of the support portion is directed toward the center of the wafer, thereby exhibiting a stable supporting force.

또한, 탄성플레이트가 커버측에 탄성압축된 상태로 결합된 상태를 유지하면서 웨이퍼를 가압하는 것이므로, 웨이퍼에 지지력이 강하게 작용하게 되어 웨이퍼가 고정된 상태에서 임의로 위치이동하는 것을 방지할 수 있는 웨이퍼 카세트용 쿠션을 제공함에 있다. In addition, since the elastic plate presses the wafer while maintaining the state in which the elastic plate is elastically compressed in the state of being pressed, the wafer cassette can prevent the wafer from moving arbitrarily in a fixed state, For example.

상기 목적은, 본 발명에 따라, 웨이퍼 카세트의 내면에 설치되어 웨이퍼의 단부를 가압 지지하는 웨이퍼 카세트용 쿠션에 있어서, 나란하게 이격 배치되어 웨이퍼 카세트의 내면에 고정되는 한 쌍의 고정부;와, 중앙에 오목부가 형성되고 오목부의 양측에 볼록부가 형성되어 상기 한 쌍의 고정부 사이를 연결하는 탄성플레이트;와, 상기 볼록부의 중앙에 고정부를 따라 길이방향으로 형성되는 개방부;와, 상기 개방부 내에서 웨이퍼에 대응하는 위치에 각각 배치되어 웨이퍼의 단부에 접촉하는 지지부;와, 상기 개방부의 내주면 중 상기 고정부측 내주면과 지지부를 연결하는 제1탄성체; 및, 상기 개방부의 내주면 중 오목부측에 위치하는 개방부측 내주면과 지지부를 연결하는 제2탄성체;를 포함하며, 상기 제1탄성체와 제2탄성체는 지지부가 볼록부보다 웨이퍼를 향해 돌출된 위치에 배치되도록 볼록부의 길이보다 길게 형성되어 탄성플레이트보다 작은 탄성력으로 지지부를 지지하고, 상기 지지부가 웨이퍼의 단부에 접촉한 상태에서 웨이퍼의 중심을 향하도록 지지부를 탄성지지하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트용 쿠션에 의해 달성된다. According to the present invention, there is provided a wafer cassette cushion provided on an inner surface of a wafer cassette for pressingly supporting an end of the wafer, comprising: a pair of fixing parts spaced apart from each other and fixed to the inner surface of the wafer cassette; An elastic plate formed with a concave portion at the center and formed with convex portions on both sides of the concave portion to connect the pair of fixed portions; an opening portion formed in the center of the convex portion along the fixing portion in the longitudinal direction; A first elastic body disposed at a position corresponding to the wafer in the portion and contacting the end portion of the wafer, a first elastic body connecting the inner circumferential surface of the fixed portion with the support portion of the inner circumferential surface of the open portion; And a second elastic body connecting the inner circumferential surface of the opening portion on the concave portion side of the inner circumferential surface of the opening portion to the support portion, wherein the first elastic body and the second elastic body are disposed at positions where the support portions protrude from the convex portions toward the wafer Wherein the holding portion is supported by the elastic force smaller than that of the elastic plate so that the supporting portion elastically supports the supporting portion so as to face the center of the wafer while the supporting portion is in contact with the end portion of the wafer, Lt; / RTI >

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또한, 상기 지지부는 웨이퍼의 단부가 안착되는 안착홈과, 안착홈의 양측에서 돌출 형성되는 안내편을 포함하는 것이 바람직하다.It is preferable that the support portion includes a seating groove on which the end portion of the wafer is seated and a guide piece protruding from both sides of the seating groove.

또한, 상기 웨이퍼 카세트의 내면에는 한 쌍의 고정부가 삽입고정되는 결합부가 형성되는 것이 바람직하다.Further, it is preferable that an engaging portion is formed on the inner surface of the wafer cassette to which a pair of fixing portions are inserted and fixed.

또한, 상기 결합부와 고정부에는 서로 맞물리는 돌기와 요홈이 형성되는 것이 바람직하다.Preferably, the engaging portion and the fixing portion are formed with protrusions and recesses that mesh with each other.

본 발명에 따르면, 웨이퍼의 단부를 지지하는 지지부의 가압 지지력이 웨이퍼의 중심을 향하도록 함으로써 지지부와 웨이퍼의 접촉부에서의 마찰에 의해 파티클이 발생하는 것을 방지할 수 있는 웨이퍼 카세트용 쿠션이 제공된다.According to the present invention, there is provided a wafer cassette cushion capable of preventing particles from being generated due to friction at the contact portion between the support portion and the wafer by making the pressing support force of the support portion for supporting the end portion of the wafer toward the center of the wafer.

또한, 지지부가 웨이퍼의 중심을 향하도록 경사배치되어 지지부의 가압력이 웨이퍼의 중심을 향하도록 함으로써, 안정적인 지지력을 발휘할 수 있는 웨이퍼 카세트용 쿠션이 제공된다.In addition, a cushion for a wafer cassette is provided in which a support portion is disposed so as to be inclined toward the center of the wafer so that the pressing force of the support portion is directed toward the center of the wafer, thereby exhibiting a stable supporting force.

또한, 탄성플레이트가 커버측에 탄성압축된 상태로 결합된 상태를 유지하면서 웨이퍼를 가압하는 것이므로, 웨이퍼에 지지력이 강하게 작용하게 되어 웨이퍼가 고정된 상태에서 임의로 위치이동하는 것을 방지할 수 있는 웨이퍼 카세트용 쿠션이 제공된다. In addition, since the elastic plate presses the wafer while maintaining the state in which the elastic plate is elastically compressed in the state of being pressed, the wafer cassette can prevent the wafer from moving arbitrarily in a fixed state, Cushion is provided.

도 1은 본 발명 웨이퍼 카세트용 쿠션의 사시도,
도 2는 본 발명 웨이퍼 카세트용 쿠션의 분해사시도,
도 3은 본 발명 웨이퍼 카세트용 쿠션의 단면도,
도 4는 본 발명 웨이퍼 카세트용 쿠션의 작용단면도,
도 5는 도 4의 "A"부분 확대도,
도 6은 본 발명 웨이퍼 카세트용 쿠션의 분해상태를 나타내는 단면도이고,
도 7은 본 발명 웨이퍼 카세트용 쿠션의 정면도이다.1 is a perspective view of a cushion for a wafer cassette according to the present invention,
2 is an exploded perspective view of a cushion for a wafer cassette according to the present invention,
3 is a sectional view of a cushion for a wafer cassette of the present invention,
4 is a functional sectional view of a cushion for a wafer cassette of the present invention,
5 is an enlarged view of a portion "A" in Fig. 4,
6 is a cross-sectional view showing the decomposition state of the cushion for a wafer cassette of the present invention,
7 is a front view of a cushion for a wafer cassette of the present invention.

설명에 앞서, 여러 실시예에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예에서는 제1실시예와 다른 구성에 대해서 설명하기로 한다.Prior to the description, components having the same configuration are denoted by the same reference numerals as those in the first embodiment. In other embodiments, configurations different from those of the first embodiment will be described do.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 제1실시예에 따른 웨이퍼 카세트용 쿠션에 대하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, a cushion for a wafer cassette according to a first embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

첨부도면 중 도 1은 본 발명 웨이퍼 카세트용 쿠션의 사시도이고, 도 2는 본 발명 웨이퍼 카세트용 쿠션의 분해사시도이다.1 is a perspective view of a cushion for a wafer cassette of the present invention, and Fig. 2 is an exploded perspective view of a cushion for a wafer cassette of the present invention.

상기 도면에서 도시하는 바와 같은 본 발명 웨이퍼 카세트용 쿠션(100)은 웨이퍼 카세트의 커버(10) 내측면에 설치되어 커버(10)의 폐쇄 작용과 동시에 웨이퍼(W)의 단부를 가압 지지함으로써 웨이퍼(W)에 외부 충격이 전달되는 것을 방지하는 것은 물론, 웨이퍼 카세트의 이동 중 웨이퍼(W)가 움직이는 것을 방지하기 위한 것으로서, 고정부(110), 탄성플레이트(120), 지지부(130), 제2탄성체(140), 제1탄성체(150)를 포함하여 구성된다.The cushion 100 for a wafer cassette according to the present invention as shown in the figure is provided on the inner side surface of the cover 10 of the wafer cassette and presses and supports the end portion of the wafer W simultaneously with the closing action of the cover 10, W and prevents the wafer W from moving during movement of the wafer cassette. The fixing unit 110, the elastic plate 120, the supporting unit 130, the second An elastic body 140, and a first elastic body 150.

상기 고정부(110)는 웨이퍼 카세트의 웨이퍼(W) 배열 방향을 따라 나란하게 이격 배치되어 커버(10)의 내측면에 형성되는 결합부(11)에 체결되는 것으로, 외측면에는 결합부(11)의 돌기(11a)에 맞물리는 위치안내용 요홈(111)이 형성된다. The fixing part 110 is spaced apart from the wafer cassette in the direction of arrangement of the wafers W and is fastened to the coupling part 11 formed on the inner surface of the cover 10, (Not shown) formed on the inner surface of the protrusion 11a.

상기 탄성플레이트(120)는 중앙에 오목부(121)가 형성되고, 오목부(121)의 양측에 볼록부(122)가 형성되어 대략 "W"자의 형태로 이루어지며, 볼록부(122)가 웨이퍼(W)를 향해 돌출된 형태로 배치된다. 또한, 상기 볼록부(122)의 중앙에는 고정부와 나란한 방향으로 개방부(123)가 관통 형성된다. The elastic plate 120 has a concave portion 121 formed at the center thereof and a convex portion 122 formed on both sides of the concave portion 121 so as to have a substantially W character shape and the convex portion 122 And are arranged in a protruding manner toward the wafer W. An opening 123 is formed in the center of the convex portion 122 in a direction parallel to the fixing portion.

상기 지지부(130)는 상기 탄성플레이트(120)의 볼록부(122)에 배치되는 것으로, 웨이퍼(W)의 단부가 안착되는 안착홈(131)과, 안착홈(131)의 양측에서 돌출 형성되는 안내편(132)을 포함한다.The support portion 130 is disposed in the convex portion 122 of the elastic plate 120 and includes a seating groove 131 on which the end portion of the wafer W is seated and a protrusion 131 formed on both sides of the seating groove 131 And includes a guide piece 132.

여기서, 상기 안내편(132)은 대략 삼각 형상의 선단부를 가지며, 안착홈(131)과의 대향하는 면에 웨이퍼(W)의 안착을 유도하는 경사면이 형성된다.Here, the guide piece 132 has a substantially triangular front end, and a sloped surface for guiding the seating of the wafer W is formed on a surface facing the seating groove 131.

한편, 상기 지지부(130)는 카세트에 수용되는 웨이퍼(W)의 배열방향에 따라 다수 이격 배치될 수 있으며, 이러한 경우 각각의 지지부(130)의 안내편(132)은 인접 배치되는 지지부(130)의 안내편(132)과 삼각 형상의 선단부가 서로 엇갈리도록 배치될 수 있다.In this case, the guide pieces 132 of the respective support parts 130 may be spaced apart from each other in the direction of arrangement of the wafers W accommodated in the cassette, And the tip of the triangular shape may be staggered from each other.

상기 제2탄성체(140)는 일단부가 지지부(130)에 연결되고 타단부가 개방부(123)의 내주면 중 고정부(110)측 내주면에 연결되는 것으로, 중앙이 외측을 향해 절곡되어 상기 지지부(130)의 안착홈(131)이 웨이퍼(W)의 중심을 향하도록 탄성지지한다.One end of the second elastic body 140 is connected to the support portion 130 and the other end of the second elastic body 140 is connected to the inner peripheral surface of the fixing portion 110 in the inner peripheral surface of the opening 123, 130 are elastically supported so as to face the center of the wafer W.

상기 제1탄성체(150)는 일단부가 지지부(130)에 연결되고 타단부가 개방부의 내주면 중 오목부측 내주면에 연결되는 것으로, 개방부의 오목부측 내주면으로부터 경사배치되어 상기 지지부(130)의 안착홈(131)이 웨이퍼(W)의 중심을 향하도록 탄성지지한다.One end of the first elastic body 150 is connected to the support 130 and the other end of the first elastic body 150 is connected to the inner circumferential surface of the concave portion in the inner circumferential surface of the opening. 131 are elastically supported so as to face the center of the wafer W.

한편, 상기 탄성플레이트(120)의 볼록부(122)에는 개방부가 형성되고, 서로 마주하는 개방부(123)의 내주면 양측(개방부(123)의 내주면 중 오목부(121)측 내주면과 고정부(110)측 내주면)과 지지부(130)를 연결하는 제2탄성체(140)와 제1탄성체(150)가 형성되며, 이러한 제2탄성체(140)와 제1탄성체(150)는 지지부(130)가 웨이퍼(W)의 중심을 향하도록 탄성플레이트(120)로부터 지지부(130)를 탄성지지한다.The convex portion 122 of the elastic plate 120 is formed with an open portion and the inner circumferential surface on the concave portion 121 side of the inner circumferential surface of the open portion 123 A second elastic body 140 and a first elastic body 150 that connect the first elastic body 140 and the support portion 130 are formed on the inner circumferential surface of the support portion 130. The second elastic body 140 and the first elastic body 150 are connected to the support portion 130, The support portion 130 is elastically supported from the elastic plate 120 so as to face the center of the wafer W.

특히, 지지부(130)에 웨이퍼(W)가 안착되어 가압력이 가해지는 경우, 상기 제1탄성체(150)는 웨이퍼 카세트의 내면을 향해 탄성 변형되고, 상기 제2탄성체(140)는 오목부(121)의 반대방향으로 탄성 변형되도록 설계된다. 또한, 상기와 같은 제1탄성체(150)와 제2탄성체(140)가 탄성플레이트(120) 상에 배치되는 것이므로, 중앙 양측에 배치되는 지지대(130)의 균형이 탄성플레이트(120)에 의해 유지되는 것과 동시에, 양측의 지지대(130)가 각각 제1탄성체(150)와 제2탄성체(140)에 의해 탄력적으로 지지되므로 외부로부터 충격이 발생하더라도 웨이퍼(W)를 안정적으로 지지할 수 있게 된다. The first elastic body 150 is elastically deformed toward the inner surface of the wafer cassette and the second elastic body 140 is deformed toward the inner surface of the wafer cassette when the wafer W is put on the support portion 130 and the pressing force is applied thereto, In the direction opposite to the direction of the arrows. Since the first elastic body 150 and the second elastic body 140 are disposed on the elastic plate 120 as described above, the balance of the support rods 130 disposed on both sides of the center is maintained by the elastic plate 120 And the support bars 130 on both sides are elastically supported by the first and second elastic members 150 and 140 so that the wafer W can be stably supported even if an external impact is generated.

한편, 상기 볼록부(122)와 오목부(121) 사이의 경사부는 웨이퍼(W)를 가압 지지한 상태에서 웨이퍼(W)의 상단부와의 접촉이 일어나지 않는 범위로 설정되고, 상기 제1탄성체(150)는 상기 경사부로부터 지지부(130)가 웨이퍼(W)의 중심을 향하도록 하는 각도로 연장되는 것이 바람직하다. 즉, 상기 제1탄성체(150)의 경사각도는 지지부(130)의 안착홈(131)이 웨이퍼(W)와의 접촉점을 기준으로 접선을 이루도록 설정되는 것이 바람직할 것이다.
On the other hand, the inclined portion between the convex portion 122 and the concave portion 121 is set to a range in which contact with the upper end portion of the wafer W does not occur in a state in which the wafer W is pressed and supported, 150 extend from the inclined portion at an angle such that the supporter 130 faces the center of the wafer W. [ That is, it is preferable that the inclination angle of the first elastic body 150 is set so that the seating groove 131 of the support part 130 tangentially contacts the contact point with the wafer W. [

지금부터는 상술한 웨이퍼 카세트용 쿠션의 제1실시예의 작동에 대하여 설명한다.Now, the operation of the above-described wafer cassette cushion of the first embodiment will be described.

첨부도면 중 도 3은 본 발명 웨이퍼 카세트용 쿠션의 단면도이고, 도 4는 본 발명 웨이퍼 카세트용 쿠션의 작용단면도이고, 도 5는 도 4의 "A"부분 확대도이고, 도 6은 본 발명 웨이퍼 카세트용 쿠션의 분해상태를 나타내는 단면도이고, 도 7은 본 발명 웨이퍼 카세트용 쿠션의 정면도이다.4 is a partially enlarged view of Fig. 4, Fig. 6 is an enlarged view of the wafer cassette of the present invention, Fig. 6 is a cross- Fig. 7 is a front view of the cushion for a wafer cassette according to the present invention. Fig.

먼저, 도 3은 웨이퍼(W)가 수용된 웨이퍼(W) 케이스(미도시)로부터 커버(10)가 분리된 상태를 나타내는 것으로서, 탄성플레이트(120)의 양측 볼록부(122)에 형성된 지지부(130)가 웨이퍼(W)를 향하도록 배치된 상태에서, 커버(10)의 내측면에 형성된 결합부(11)에 탄성플레이트(120)의 양단부에 연결된 고정부(110)가 체결된다. 이러한 탄성플레이트(120)는 대략 "W"자형으로 배치되어 지지부(130)에 가압력이 작용하게 되는 경우, 탄성 변형되면서 양측 볼록부(122)에 각각 배치되어 있는 지지부(130)들이 웨이퍼(W)를 안정적으로 가압 지지할 수 있도록 탄성력을 제공한다.3 shows a state in which the cover 10 is detached from a wafer W case (not shown) in which the wafer W is accommodated. The support portion 130 formed on both side convex portions 122 of the elastic plate 120 The fixing portions 110 connected to both ends of the elastic plate 120 are fastened to the engaging portions 11 formed on the inner side surface of the cover 10 in a state where the fixing portions 110 are arranged to face the wafers W. When the elastic plate 120 is disposed in a substantially W shape and a pressing force is applied to the supporting portion 130, the supporting portions 130 disposed on the both side convex portions 122 are elastically deformed, So as to stably press and hold it.

이때, 상기 볼록부(122)에는 웨이퍼(W)의 단부를 가압 지지하는 지지부(130)가 각각 배치되어 있으며, 지지부(130)의 내측 단부는 상기 개방부(123)의 오목부(121)측 내주면에 연결된 제1탄성체(150)와 연결되고, 지지부(130)의 외측 단부는 상기 상기 개방부(123)의 고정부(110)측 내주면에 연결된 제2탄성체(140)에 연결되며, 상기 지지부(130)는 제1탄성체(150)와 제2탄성체(140)에 의해 웨이퍼(W)의 중심을 향하도록 탄성지지된다. At this time, the convex portion 122 is provided with a support portion 130 for pressing and supporting the end portion of the wafer W, and an inner end portion of the support portion 130 is connected to the concave portion 121 side And the outer end of the support part 130 is connected to the second elastic body 140 connected to the inner peripheral surface of the fixed part 110 of the opening part 123. The support part 130 is connected to the first elastic body 150, (130) is elastically supported by the first elastic body (150) and the second elastic body (140) so as to face the center of the wafer (W).

즉, 도 4 및 도 5와 같이 웨이퍼(W)의 중심을 향해 배치되어 있는 지지부(130)에 웨이퍼(W)로부터 가압력이 작용하게 되는 경우, 탄성플레이트(120)가 커버(10)를 향해 압축되면서 탄성 변형이 이루어지므로, 웨이퍼의 중앙 양측을 지지하는 한 쌍의 지지부(130)의 균형이 유지된다.
또한, 지지부(130)의 양측을 각각 탄성플레이트(120)로부터 탄력적으로 지지하고 있는 제1탄성체(150)와 제2탄성체(140)가 각각 압축되면서 탄성 변형하게 되는데,
이때, 제1탄성체는 탄성플레이트와의 연결부분에서 탄성 변형이 이루어지고, 지지부(130)를 사이에 두고 제1탄성체(150)의 반대편에 위치하는 제2탄성체는 중앙부분이 절곡되는 형태로 탄성 변형이 이루어지므로, 지지부(130)가 웨이퍼(W)에 최초 접촉한 상태로부터 위치 이동하지 않게 된다. 따라서, 지지부(130)와 웨이퍼(W)의 접촉부위에서의 미끄럼이 발생하지 않으므로 접촉부위에서의 마찰에 의한 파티클 발생이 방지된다.4 and 5, when the pressing force is applied from the wafer W to the support portion 130 disposed toward the center of the wafer W, the elastic plate 120 is compressed toward the cover 10 The balance of the pair of supporting portions 130 supporting both sides of the center of the wafer is maintained.
The first elastic body 150 and the second elastic body 140 elastically supporting both sides of the supporter 130 from the elastic plate 120 are elastically deformed while being compressed.
At this time, the first elastic body is elastically deformed at the connection portion with the elastic plate, and the second elastic body positioned on the opposite side of the first elastic body 150 with the support portion 130 therebetween, The support 130 does not move from the initial contact state with the wafer W. [ Therefore, no slippage occurs on the contact portion between the supporter 130 and the wafer W, so that generation of particles due to friction on the contact portion is prevented.

특히, 지지부(130)의 가압 지지력(P)이 웨이퍼(W)의 중심을 향하게 되면서 웨이퍼(W)가 안정적으로 지지므로, 외부 충격으로 의해 웨이퍼가 파손되는 것을 방지하는 것은 물론, 웨이퍼가 카세트 내의 안착위치로부터 임의로 이탈하는 것을 방지할 수 있다.Particularly, since the pressing force P of the support portion 130 is directed toward the center of the wafer W, the wafer W is stably supported, thereby preventing the wafer from being damaged by an external impact, It is possible to prevent disengagement from the seating position.

또한, 탄성플레이트(120)는 양단부에 형성된 고정부(110)가 커버(10)의 결합부(11)에 체결되는 과정에서 탄성 압축된 상태로 결합되는 것이므로, 지지부(130)가 웨이퍼(W)를 가압하면서 탄성 변형되었다가 가압력이 해제되어 원래의 상태로 복원하고자 하는 탄성복원력이 강하게 작용하게 되므로, 웨이퍼(W)가 가압 지지된 상태에서 임의로 위치이동하는 것이 방지된다.
Since the elastic plate 120 is elastically compressed in the process of fastening the fixing part 110 formed at the both ends to the coupling part 11 of the cover 10, The pressing force is released and the elastic restoring force to be restored to the original state is strongly exerted. Therefore, the position of the wafer W is prevented from being arbitrarily moved in a state where the wafer W is pressed and supported.

한편, 도 6 및 도 7을 참조하여 본 발명 웨이퍼 카세트용 쿠션이 커버(10)의 내측면에 결합하는 과정을 살펴보면 다음과 같다. 6 and 7, the process of attaching the cushion for a wafer cassette to the inner surface of the cover 10 will be described below.

먼저, 도 6과 같이 커버(10)의 내측면에 본 발명의 쿠션(100)이 배치된 상태에서, 탄성플레이트(120)의 양단부에 형성된 고정부(110)가 커버(10)의 내측면에 형성된 결합부(11)에 각각 체결되면서 커버(10)와 쿠션(100)가 결합된다. 6, when the cushion 100 of the present invention is disposed on the inner surface of the cover 10, the fixing portion 110 formed at both ends of the elastic plate 120 is pressed against the inner surface of the cover 10 The cover 10 and the cushion 100 are coupled to each other.

이때, 탄성플레이트(120)의 양단부에 형성된 고정부(110)가 커버(10)의 결합부(11)에 체결되는 과정에서 탄성플레이트(120)의 양단부 사이간격이 좁혀지면서 탄성압축된 상태가 되며, 리테이터의 고정부(110)가 커버(10)의 결합부(11)에 결합된 상태에서는 고정부(110)와 결합부(11)의 고정방향으로 탄성력이 작용하게 되므로 커버(10)의 내측면에서 쿠션(100)가 임의로 분리되는 것이 방지된다. At this time, in the process of fastening the fixing part 110 formed at the both ends of the elastic plate 120 to the engaging part 11 of the cover 10, the gap between the both ends of the elastic plate 120 is narrowed, The elastic force acts on the fixing portion 110 of the retainer 110 in the fixing direction of the fixing portion 110 and the engaging portion 11 when the fixing portion 110 of the retainer 110 is engaged with the engaging portion 11 of the cover 10, The cushion 100 is prevented from being arbitrarily separated from the inner side.

또한, 커버(10)의 내측면 양측에서 각각 형성된 수용홈부가 서로 대향하도록 배치되는 고리 형태의 결합부(11)에 탄성플레이트(120)의 양단부에 형성된 고정부(110)를 각각 삽입하여 체결하는 것이므로, 유지보수를 위해 커버(10)로부터 쿠션(100)를 간편하게 착탈할 수 있는 이점을 제공한다.The fixing portions 110 formed on both end portions of the elastic plate 120 are inserted into the annular engaging portions 11 arranged in such a manner that the receiving grooves formed on both sides of the inner surface of the cover 10 are opposed to each other, So that the cushion 100 can be easily removed from the cover 10 for maintenance.

또한, 도 7과 같이, 커버(10)의 적어도 4개소에 각각 형성된 결합부(11)에 리테이터의 제2탄성체(140)의 양단부에 형성된 고정부(110)가 결합하는 과정에서, 결합부(11)의 내부에 각각 형성된 돌기(11a)가 고정부(110)에 형성된 요홈(111)에 삽입되어 위치고정되므로, 쿠션(100)의 고정위치가 쉽게 정렬되며, 커버(10)의 내측면에 결합된 상태에서 임의로 위치이동하는 것이 방지된다.
7, in the process of engaging the fixing portions 110 formed at both ends of the second elastic body 140 of the retainer with the engaging portions 11 formed at at least four positions of the cover 10, The protrusions 11a formed in the inside of the cover 11 are inserted and fixed in the recesses 111 formed in the fixing portions 110 so that the fixing positions of the cushions 100 are easily aligned, It is prevented from arbitrarily moving in position.

본 발명의 권리범위는 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.The scope of the present invention is not limited to the above-described embodiments, but may be embodied in various forms of embodiments within the scope of the appended claims. It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the present invention as defined by the appended claims.

10:커버, 11:결합부, 11a:돌기, 100:쿠션,
110:고정부, 111:요홈, 120:탄성플레이트, 121:오목부,
122:볼록부, 130:지지부, 131:안착부, 132:안내편,
140:제2탄성체, 150:제1탄성체, W:웨이퍼10: cover, 11: engaging portion, 11a: projection, 100: cushion,
110: fixing portion, 111: concave groove, 120: elastic plate, 121: concave portion,
122: convex part, 130: support part, 131: seat part, 132:
140: second elastic body, 150: first elastic body, W: wafer

Claims (6)

삭제delete 삭제delete 웨이퍼 카세트의 내면에 설치되어 웨이퍼의 단부를 가압 지지하는 웨이퍼 카세트용 쿠션에 있어서,
나란하게 이격 배치되어 웨이퍼 카세트의 내면에 고정되는 한 쌍의 고정부;
중앙에 오목부가 형성되고 오목부의 양측에 볼록부가 형성되어 상기 한 쌍의 고정부 사이를 연결하는 탄성플레이트;
상기 볼록부의 중앙에 고정부를 따라 길이방향으로 형성되는 개방부;
상기 개방부 내에서 웨이퍼에 대응하는 위치에 각각 배치되어 웨이퍼의 단부에 접촉하는 지지부;
상기 개방부의 내주면 중 상기 고정부측 내주면과 지지부를 연결하는 제1탄성체;
상기 개방부의 내주면 중 오목부측에 위치하는 개방부측 내주면과 지지부를 연결하는 제2탄성체;를 포함하며,
상기 제1탄성체와 제2탄성체는 지지부가 볼록부보다 웨이퍼를 향해 돌출된 위치에 배치되도록 볼록부의 길이보다 길게 형성되어 탄성플레이트보다 작은 탄성력으로 지지부를 지지하고, 상기 지지부가 웨이퍼의 단부에 접촉한 상태에서 웨이퍼의 중심을 향하도록 지지부를 탄성지지하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트용 쿠션.A wafer cassette cushion provided on an inner surface of a wafer cassette for pressingly supporting an end portion of the wafer,
A pair of fixing parts spaced side by side and fixed to the inner surface of the wafer cassette;
An elastic plate having a concave portion formed at the center thereof and a convex portion formed on both sides of the concave portion to connect the pair of fixed portions;
An opening formed in the center of the convex portion in the longitudinal direction along the fixed portion;
A supporting portion disposed at a position corresponding to the wafer in the opening portion and contacting the end portion of the wafer;
A first elastic body for connecting the inner circumferential surface of the fixed portion to the support portion of the inner circumferential surface of the opening portion;
And a second elastic body connecting the inner circumferential surface of the opening portion on the concave portion side of the inner circumferential surface of the opening portion to the support portion,
The first elastic body and the second elastic body are formed to be longer than the length of the convex portion so that the support portion is located at a position protruding toward the wafer than the convex portion to support the support portion with an elastic force smaller than that of the elastic plate, The supporting portion is elastically supported so as to face the center of the wafer. 제 3항에 있어서,
상기 지지부는 웨이퍼의 단부가 안착되는 안착홈과, 안착홈의 양측에서 돌출 형성되는 안내편을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트용 쿠션.The method of claim 3,
Wherein the support portion includes a seating groove on which an end of the wafer is seated and a guide piece protruding from both sides of the seating groove. 제 3항 또는 제 4항에 있어서,
상기 웨이퍼 카세트의 내면에는 한 쌍의 고정부가 삽입고정되는 결합부가 형성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트용 쿠션.The method according to claim 3 or 4,
And a coupling portion is formed on an inner surface of the wafer cassette to which a pair of fixing portions are inserted and fixed. 제 5항에 있어서,
상기 결합부와 고정부에는 서로 맞물리는 돌기와 요홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트용 쿠션.6. The method of claim 5,
Wherein the engaging portion and the fixing portion are formed with protrusions and recesses that engage with each other.
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