KR101403608B1 - 인터락 제어 시스템 및 그의 제어 방법 - Google Patents

인터락 제어 시스템 및 그의 제어 방법 Download PDF

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KR101403608B1
KR101403608B1 KR1020120139190A KR20120139190A KR101403608B1 KR 101403608 B1 KR101403608 B1 KR 101403608B1 KR 1020120139190 A KR1020120139190 A KR 1020120139190A KR 20120139190 A KR20120139190 A KR 20120139190A KR 101403608 B1 KR101403608 B1 KR 101403608B1
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주식회사 유창테크
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Abstract

본 명세서는 제어용 컴퓨터와 부하단 사이에 설치된 인터락 제어 장치를 통해, 상기 제어용 컴퓨터에서 상기 부하단으로 전송되는 제어 신호가 미리 설정된 시간 이상 동일하게 유지될 때, 오프 신호를 포함하는 인터락 신호를 생성하여 상기 부하단에 전송하여, 상기 제어용 컴퓨터의 이상에 따른 부하단 및/또는 챔버의 작동 오류를 방지할 수 있는 인터락 제어 시스템 및 그의 제어 방법에 관한 것이다. 이를 위하여 본 명세서의 실시예에 따른 인터락 제어 시스템은, 필드 버스를 통해 상호 연결된 제어용 단말기와, 인터락 제어 장치와, 부하단과, 반도체 설비를 포함하는 인터락 제어 시스템에 있어서, 상기 부하단에 포함된 하나 이상의 장치 중 임의의 장치를 제어하기 위한 제어 신호를 생성하여 전송하는 제어용 단말기; 상기 제어용 단말기로부터 전송되는 제어 신호를 수신하여 상기 부하단에 전송하며, 상기 수신된 제어 신호가 오프 상태에서 온 상태로 상태 천이가 일어나는 신호일 때 인터락 시간을 카운팅하고, 상기 카운팅되는 상기 인터락 시간이 미리 설정된 시간을 초과할 때 인터락 신호를 생성하여 상기 부하단에 전송하는 인터락 제어 장치; 상기 인터락 제어 장치로부터 전송되는 제어 신호 또는 인터락 신호를 근거로 상기 하나 이상의 장치 중 상기 제어 신호 또는 상기 인터락 신호에 대응하는 특정 장치의 동작 상태를 제어하는 부하단; 및 상기 부하단의 동작 상태에 따른 출력을 근거로 동작을 제어하는 반도체 설비;를 포함한다.

Description

인터락 제어 시스템 및 그의 제어 방법{Interlock control system and controlling method thereof}
본 명세서는 인터락 제어 시스템 및 그의 제어 방법에 관한 것으로, 더욱 상세히는 제어용 컴퓨터와 부하단 사이에 설치된 인터락 제어 장치를 통해, 상기 제어용 컴퓨터에서 상기 부하단으로 전송되는 제어 신호가 미리 설정된 시간 이상 동일하게 유지될 때, 오프 신호를 포함하는 인터락 신호를 생성하여 상기 부하단에 전송하여, 상기 제어용 컴퓨터의 이상에 따른 부하단 및/또는 챔버의 작동 오류를 방지할 수 있는 인터락 제어 시스템 및 그의 제어 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 인터락 제어 장치는, 임의의 장치에 대한 인터락 제어 기능을 수행하는 장치이다.
또한, 반도체 제조 장치는, 임의의 PC에서 발생된 제어 신호를 근거로 동작하여, 임의의 반도체를 제조하는 장치이다.
이러한, 상기 반도체 제조 장치는, 상기 PC의 비정상적인 종료에 의해, 상기 PC로부터 추가적인 제어 신호가 전송되지 않는 경우에도, 상기 PC로부터 전송된 마지막 상태의 제어 신호를 근거로 자기 유지 기능을 수행하여, 무한 흐름의 동작을 수행함에 따라 반도체 제조 장치에 포함된 다수의 구성 요소의 오염/손상 및 오작동을 유발할 수 있는 문제점이 있다.
한국 특허 출원 번호 제10-2004-0085474호
본 명세서의 목적은, 제어용 컴퓨터와, 반도체 제조 설비와 연결된 부하단 사이에 인터락 제어 장치를 구성하여, 상기 제어용 컴퓨터의 비정상 종료에 따른 상기 반도체 제조 설비의 오염/손상 및 오작동을 방지할 수 있는 인터락 제어 시스템 및 그의 제어 방법을 제공하는 데 있다.
본 명세서의 실시예에 따른 인터락 제어 시스템은, 필드 버스를 통해 상호 연결된 제어용 단말기와, 인터락 제어 장치와, 부하단과, 반도체 설비를 포함하는 인터락 제어 시스템에 있어서, 상기 부하단에 포함된 하나 이상의 장치 중 임의의 장치를 제어하기 위한 제어 신호를 생성하여 전송하는 제어용 단말기; 상기 제어용 단말기로부터 전송되는 제어 신호를 수신하여 상기 부하단에 전송하며, 상기 수신된 제어 신호가 오프 상태에서 온 상태로 상태 천이가 일어나는 신호일 때 인터락 시간을 카운팅하고, 상기 카운팅되는 상기 인터락 시간이 미리 설정된 시간을 초과할 때 인터락 신호를 생성하여 상기 부하단에 전송하는 인터락 제어 장치; 상기 인터락 제어 장치로부터 전송되는 제어 신호 또는 인터락 신호를 근거로 상기 하나 이상의 장치 중 상기 제어 신호 또는 상기 인터락 신호에 대응하는 특정 장치의 동작 상태를 제어하는 부하단; 및 상기 부하단의 동작 상태에 따른 출력을 근거로 동작을 제어하는 반도체 설비;를 포함할 수 있다.
본 명세서와 관련된 일 예로서, 상기 필드 버스는, 디바이스 넷(Device Net), 전력선 통신(Power Line Communication), 프로피버스(Profibus), 제어 넷(Control Net), 월드 핍(World Factory Information Protocol : World Fip), 피-넷(P-Net), 인터 버스(Inter Bus), 이더넷-아이피(Ethernet-IP), 캔 오픈(CAN Open), 캔 킹돔(CAN Kingdom), 에이디에스-넷(ADS-Net) 및, 에프엘-넷(FL-Net) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
본 명세서와 관련된 일 예로서, 상기 인터락 제어 장치는, 상기 제어용 단말기로부터 전송되는 제어 신호를 수신하는 입력 커넥터; 상기 입력 커넥터를 통해 수신된 제어 신호가 오프 상태에서 온 상태로 상태 천이가 일어나는 신호일 때, 상기 인터락 시간을 카운팅하고, 상기 카운팅되는 상기 인터락 시간이 상기 미리 설정된 시간을 초과할 때 인터락 신호를 생성하여 전달하는 제어부; 및 상기 제어부로부터 전달되는 상기 제어 신호 또는 상기 인터락 신호를 상기 부하단에 포함된 하나 이상의 장치 중 상기 임의의 장치에 전달하기 위해 출력 커넥터에 전달하는 릴레이;를 포함할 수 있다.
본 명세서와 관련된 일 예로서, 상기 인터락 제어 장치는, 상기 수신된 제어 신호가 온 상태에서 오프 상태로 상태 천이가 일어나는 신호일 때, 인터락 시간을 리셋할 수 있다.
본 명세서와 관련된 일 예로서, 상기 부하단에 포함된 하나 이상의 장치는, RF 제너레이터, 원격 플라즈마 클리너(Remote Plasma Cleaner) 및, 유량 제어 장치(Mass Flow Control Device) 중 하나 이상을 포함할 수 있다.
본 명세서와 관련된 일 예로서, 상기 부하단은, 상기 인터락 신호를 수신할 때, 상기 인터락 신호에 대응하는 특정 장치에 대한 동작 상태를 오프라인 상태로 제어할 수 있다.
본 명세서의 실시예에 따른 인터락 제어 시스템의 제어 방법은, 필드 버스를 통해 상호 연결된 제어용 단말기와, 인터락 제어 장치와, 부하단과, 반도체 설비를 포함하는 인터락 제어 시스템의 제어 방법에 있어서, 상기 제어용 단말기를 통해, 상기 부하단에 포함된 하나 이상의 장치 중 임의의 장치를 제어하기 위한 제어 신호를 생성하여 상기 인터락 제어 장치에 전송하는 단계; 상기 인터락 제어 장치를 통해, 상기 제어용 단말기로부터 전송되는 제어 신호를 수신하여 상기 부하단에 전송하는 단계; 상기 인터락 제어 장치를 통해, 상기 수신된 제어 신호가 오프 상태에서 온 상태로 상태 천이가 일어나는 신호일 때, 인터락 시간을 카운팅하는 단계; 상기 인터락 제어 장치를 통해, 상기 카운팅되는 상기 인터락 시간이 미리 설정된 시간을 초과할 때, 인터락 신호를 생성하여 상기 부하단에 전송하는 단계; 상기 부하단을 통해, 상기 인터락 제어 장치로부터 전송되는 상기 제어 신호 또는 상기 인터락 신호를 근거로 상기 부하단에 포함된 하나 이상의 장치 중 상기 제어 신호 또는 상기 인터락 신호에 대응하는 특정 장치의 동작 상태를 제어하는 단계; 및 상기 반도체 설비를 통해, 상기 부하단의 동작 상태에 따른 출력을 근거로 상기 반도체 설비의 동작을 제어하는 단계;를 포함할 수 있다.
본 명세서와 관련된 일 예로서, 상기 제어 신호 또는 상기 인터락 신호를 근거로 상기 부하단에 포함된 하나 이상의 장치 중 상기 제어 신호 또는 상기 인터락 신호에 대응하는 특정 장치의 동작 상태를 제어하는 단계는, 상기 부하단을 통해, 상기 인터락 신호를 수신할 때, 상기 인터락 신호에 대응하는 특정 장치에 대한 동작 상태를 오프라인 상태로 제어할 수 있다.
본 명세서의 실시예에 따른 인터락 제어 시스템 및 그의 제어 방법은, 제어용 컴퓨터와, 반도체 제조 설비와 연결된 부하단 사이에 인터락 제어 장치를 구성함으로써, 상기 제어용 컴퓨터의 비정상 종료에 따른 상기 반도체 제조 설비의 오염/손상 및 오작동을 방지할 수 있다.
도 1은 본 명세서의 실시예에 따른 인터락 제어 시스템의 구성을 나타낸 블록도이다.
도 2는 본 명세서의 실시예에 따른 인터락 제어 장치의 구성을 나타낸 블록도이다.
도 3은 본 명세서의 일 실시예에 따른 인터락 제어 시스템의 통신 과정을 보인 신호 흐름도이다.
본 명세서에서 사용되는 기술적 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아님을 유의해야 한다. 또한, 본 명세서에서 사용되는 기술적 용어는 본 명세서에서 특별히 다른 의미로 정의되지 않는 한, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 의미로 해석되어야 하며, 과도하게 포괄적인 의미로 해석되거나, 과도하게 축소된 의미로 해석되지 않아야 한다. 또한, 본 명세서에서 사용되는 기술적인 용어가 본 발명의 사상을 정확하게 표현하지 못하는 잘못된 기술적 용어일 때에는, 당업자가 올바르게 이해할 수 있는 기술적 용어로 대체되어 이해되어야 할 것이다. 또한, 본 발명에서 사용되는 일반적인 용어는 사전에 정의되어 있는 바에 따라, 또는 전후 문맥상에 따라 해석되어야 하며, 과도하게 축소된 의미로 해석되지 않아야 한다.
또한, 본 명세서에서 사용되는 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "구성된다" 또는 "포함한다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 여러 구성 요소들, 또는 여러 단계를 반드시 모두 포함하는 것으로 해석되지 않아야 하며, 그 중 일부 구성 요소들 또는 일부 단계들은 포함되지 않을 수도 있고, 또는 추가적인 구성 요소 또는 단계들을 더 포함할 수 있는 것으로 해석되어야 한다.
또한, 본 명세서에서 사용되는 제1, 제2 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 상세히 설명하되, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 유사한 구성 요소는 동일한 참조 번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
또한, 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 첨부된 도면은 본 발명의 사상을 쉽게 이해할 수 있도록 하기 위한 것일 뿐, 첨부된 도면에 의해 본 발명의 사상이 제한되는 것으로 해석되어서는 아니 됨을 유의해야 한다.
도 1은 본 명세서의 실시예에 따른 인터락 제어 시스템(10)의 구성을 나타낸 블록도이다.
도 1에 도시한 바와 같이, 인터락 제어 시스템(10)은, 제어용 단말기(100), 인터락 제어 장치(200), 부하단(300) 및, 챔버(400)로 구성된다. 도 1에 도시된 인터락 제어 시스템(10)의 구성 요소 모두가 필수 구성 요소인 것은 아니며, 도 1에 도시된 구성 요소보다 많은 구성 요소에 의해 인터락 제어 시스템(10)이 구현될 수도 있고, 그보다 적은 구성 요소에 의해서도 인터락 제어 시스템(10)이 구현될 수도 있다.
상기 제어용 단말기(100)는, 개인용 컴퓨터(Personal Computer), 노트북 컴퓨터(Notebook Computer), 텔레매틱스 단말기(Telematics Terminal) 등과 같은 다양한 단말기 중 어느 하나일 수 있다.
또한, 상기 제어용 단말기(100)는, 유/무선 통신망을 통해 내부의 임의의 구성 요소 또는, 상기 인터락 제어 장치(200) 및/또는 상기 부하단(300) 등과 통신 연결한다. 여기서, 상기 제어용 단말기(100)는, 필드 버스를 통해 상기 인터락 제어 장치(200) 및/또는 상기 부하단(300) 등과 통신 연결할 수도 있다. 이때, 상기 필드 버스는, 디바이스 넷(Device Net), 전력선 통신(Power Line Communication), 프로피버스(Profibus), 제어 넷(Control Net), 월드 핍(World Factory Information Protocol : World Fip), 피-넷(P-Net), 인터 버스(Inter Bus), 이더넷-아이피(Ethernet-IP), 캔 오픈(CAN Open), 캔 킹돔(CAN Kingdom), 에이디에스-넷(ADS-Net) 및, 에프엘-넷(FL-Net) 등을 포함한다. 또한, 유선 통신 기술로는, USB 통신, 이더넷(Ethernet), 시리얼 통신(serial communication), 광/동축 케이블 등이 포함될 수 있다.
또한, 상기 제어용 단말기(100)는, 상기 챔버(400) 등과 같은 반도체 제조 설비와 연동하는 상기 부하단(300)을 제어하기 위한 제어 신호(또는, 동작 신호)를 생성한다. 이때, 상기 제어 신호는, 디지털 형태(또는, 디지털 출력 신호) 또는 아날로그 형태(또는, 아날로그 출력 신호)일 수 있다.
또한, 상기 제어용 단말기(100)는, 상기 필드 버스를 통해, 상기 인터락 제어 장치(200)에 상기 생성된 제어 신호를 전송한다.
상기 인터락 제어 장치(200)는, 상기 제어용 단말기(100)와 상기 부하단(300) 사이에 형성한다.
또한, 상기 인터락 제어 장치(200)는, 도 2에 도시한 바와 같이, 커넥터(210), 제어부(220) 및, 릴레이(230)로 구성된다. 도 2에 도시된 인터락 제어 장치(200)의 구성 요소 모두가 필수 구성 요소인 것은 아니며, 도 2에 도시된 구성 요소보다 많은 구성 요소에 의해 인터락 제어 장치(200)가 구현될 수도 있고, 그보다 적은 구성 요소에 의해서도 인터락 제어 장치(200)가 구현될 수도 있다.
상기 커넥터(210)는, 입력 커넥터(미도시)와 출력 커넥터(미도시)를 포함한다.
또한, 상기 입력 커넥터는, 상기 제어용 단말기(100)로부터 전송되는 제어 신호를 수신한다.
또한, 상기 출력 커넥터는, 상기 릴레이(230)로부터 전달되는 제어 신호를 수신한다.
또한, 상기 출력 커넥터는, 상기 필드 버스를 통해서, 하나 이상의 상기 출력 커넥터 중에서 상기 제어 신호에 대응하는 해당 부하단에 상기 제어 신호를 전송(또는, 전달/출력)한다.
또한, 상기 출력 커넥터는, 상기 필드 버스를 통해서, 상기 하나 이상의 상기 출력 커넥터 중에서 상기 제어부(220)에 의해 생성되어 전달되는 인터락 신호(interlock signal)에 대응하는 해당 부하단에 상기 인터락 신호를 전송(또는, 전달/출력)한다.
상기 제어부(또는, Micro Controller Unit : MCU)(220)는, 상기 커넥터(210)(또는, 상기 입력 커넥터)로부터 수신된 제어 신호를 근거로 상기 릴레이(230)를 제어한다.
또한, 상기 제어부(220)는, 상기 수신된 제어 신호가 오프 상태에서 온 상태로의 상태 천이가 일어나는 신호(또는, 오프 상태에서 온 상태로 전환되는 신호)를 포함한 경우, 인터락 시간(또는, 타임 인터락)을 카운팅한다.
또한, 상기 제어부(220)는, 상기 수신된 제어 신호가 온 상태에서 오프 상태로의 상태 천이가 일어나는 신호(또는, 온 상태에서 오프 상태로 전환되는 신호)를 포함한 경우, 상기 제어 신호와 관련된 인터락 시간(또는, 상기 카운팅 중인 인터락 시간)을 리셋(reset)(또는, 초기화)한다.
또한, 상기 제어부(220)는, 상기 수신된 제어 신호를 상기 릴레이(230)에 전달(또는, 전송)한다.
이때, 상기 제어부(220)는, 상기 수신된 제어 신호가 상기 부하단(300)에 직접 전송되어야 하는 미리 설정된 제어 신호인 경우, 상기 입력 커넥터를 통해 수신된 상기 미리 설정된 제어 신호를 바이패스하여 상기 출력 커넥터에 전달할 수도 있다.
즉, 상기 제어부(220)는, 상기 수신된 제어 신호가 상기 부하단(300)에 바로 전송되어야 하는 상기 미리 설정된 제어 신호일 때, 상기 입력 커넥터를 통해 수신된 상기 미리 설정된 제어 신호를 상기 릴레이(230)를 통하지 않고 바로 상기 출력 커넥터에 전달할 수도 있다.
또한, 상기 제어부(220)는, 상기 카운팅되는 인터락 시간이 미리 설정된 시간을 초과하는지 여부를 확인(또는, 판단)한다. 여기서, 상기 미리 설정된 시간은, 상기 제어 신호와 관련된 상기 부하단(300) 및/또는 상기 챔버(400)에 포함되는 각각의 모든 부품(또는, 장비/설비)에 대해, 서로 다른 값을 각각 설정할 수 있다.
또한, 상기 제어부(220)는, 상기 확인 결과(또는, 상기 판단 결과), 상기 카운팅되는 인터락 시간이 상기 미리 설정된 시간을 초과할 때, 인터락 신호(또는, 인터락 제어 신호)를 생성한다. 여기서, 상기 인터락 신호는, 상기 인터락 신호(또는, 상기 카운팅하는 인터락 신호와 관련된 해당 제어 신호)와 관련된 해당하는 상기 부하단(300) 및/또는 상기 챔버(400)의 동작 상태를 오프 상태로 전환하기 위한, 오프 상태의 신호일 수 있다.
또한, 상기 제어부(220)는, 상기 확인 결과(또는, 상기 판단 결과), 상기 카운팅되는 인터락 시간이 상기 미리 설정된 시간을 초과하지 않을 때, 상기 인터락 시간을 계속하여 카운팅한다.
또한, 상기 제어부(220)는, 상기 생성된 인터락 신호를 상기 릴레이(230)에 전달(또는, 전송)한다.
상기 릴레이(230)는, 상기 제어부(220)로부터 전달되는 제어 신호를 수신한다.
또한, 상기 릴레이(230)는, 상기 수신된 제어 신호를 근거로 상기 부하단(300)에 포함된 하나 이상의 임의의 장치 중에서, 상기 제어 신호에 대응하는 해당 부하단에 상기 제어 신호를 전송하기 위해서 상기 제어 신호를 상기 커넥터(210)에 포함된 상기 출력 커넥터에 전달한다. 여기서, 상기 출력 커넥터는, 복수의 출력 커넥터 중에서, 상기 제어 신호를 전송하기 위한 상기 해당 부하단과 연결된 출력 커넥터일 수 있다.
또한, 상기 릴레이(230)는, 상기 제어부(220)로부터 전달되는 인터락 신호를 상기 부하단(300)에 포함된 하나 이상의 임의의 장치 중에서, 상기 인터락 신호와 관련된(또는, 상기 카운팅되는 인터락 시간과 관련된) 해당 부하단에 상기 인터락 신호를 전송하기 위해서 상기 인터락 신호를 상기 커넥터(210)에 포함된 상기 출력 커넥터에 전달한다. 여기서, 상기 출력 커넥터는, 복수의 출력 커넥터 중에서, 상기 인터락 신호를 전송하기 위한 상기 해당 부하단과 연결된 출력 커넥터일 수 있다.
상기 부하단(300)은, 상기 인터락 제어 장치(200)로부터 전송되는 제어 신호 및/또는 인터락 신호를 수신한다. 여기서, 상기 부하단(300)은, RF 제너레이터, 원격 플라즈마 클리너(Remote Plasma Cleaner) 및, 유량 제어 장치(Mass Flow Control Device) 등 중 하나 이상을 포함할 수 있다.
또한, 상기 부하단(300)은, 상기 수신된 제어 신호를 근거로 상기 부하단(300)에 포함된 상기 하나 이상의 임의의 장치를 제어한다.
즉, 상기 부하단(300)은, 상기 수신된 제어 신호를 근거로 상기 제어 신호와 관련된 상기 부하단(300)에 포함된 임의의 장치의 동작 상태를 제어한다.
또한, 상기 부하단(300)은, 상기 수신된 인터락 신호를 근거로 상기 인터락 신호에 대응하는 상기 부하단(300)에 포함된 해당 장치의 동작 상태를 제어한다.
즉, 상기 부하단(300)은, 상기 수신된 인터락 신호와 관련된 특정 부하의 동작 상태를 오프 상태로 전환(또는, 제어)한다.
상기 챔버(400)는, 상기 부하단(300)과 연결된다.
또한, 상기 챔버(400)는, 상기 부하단(300)에 포함된 하나 이상의 장치들의 동작에 의해 제공되는 다양한 정보(예를 들어, 제어 신호, 가스 등 포함)를 근거로 동작한다.
즉, 상기 챔버(400)는, 상기 제어용 단말기(100)와 상기 인터락 제어 장치(200)와 상기 부하단(300)을 통해 전송되는 정상적인 상기 제어 신호에 의해, 정상 동작을 수행한다.
또한, 상기 챔버(400)는, 상기 카운팅되는 인터락 시간이 상기 미리 설정된 시간을 초과할 때 생성된 상기 인터락 신호에 의해 동작 상태를 오프 상태로 전환함으로써, 상기 챔버(400)의 무한 루프 상태(또는, 자기 유지 기능에 의한 온 상태) 유지에 따른 상기 챔버(400)에 위치한 웨이퍼 손상, 각종 부품(오-링(O-ring), 샤워 헤드(shower head), 히터(heater) 및, 세라믹류 등 포함) 손상 등을 방지하거나 최소화할 수 있다.
이와 같이, 상기 챔버(400)는, 상기 부하단(300)의 동작 상태에 따른 상기 부하단(300)의 출력을 근거로 상기 챔버(400)의 동작을 제어한다.
또한, 상기 실시예에서는, 상기 챔버(400)에 대한 내용을 위주로 설명하고 있으나, 이에 한정되지 않으며, 상기 챔버(400) 이외에도, 다양한 반도체 설비, 고온 장비 및, 밀폐 장비 등에도 적용할 수 있다.
이와 같이, 제어용 컴퓨터와, 반도체 제조 설비와 연결된 부하단 사이에 인터락 제어 장치를 구성하여, 상기 제어용 컴퓨터의 비정상 종료에 따른 상기 반도체 제조 설비의 오염/손상 및 오작동을 방지할 수 있다.
이하에서는, 본 명세서에 따른 인터락 제어 시스템의 제어 방법을 도 1 내지 도 3을 참조하여 상세히 설명한다.
도 3은 본 명세서의 일 실시예에 따른 인터락 제어 시스템의 통신 과정을 보인 신호 흐름도이다.
먼저, 제어용 단말기(100)는, 챔버(400) 등과 같은 반도체 제조 설비와 연동하는 부하단(300)을 제어하기 위한 제어 신호(또는, 동작 신호)를 생성한다. 이때, 상기 제어 신호는, 디지털 출력 신호 또는 아날로그 출력 신호일 수 있다(SP310).
이후, 상기 제어용 단말기(100)는, 필드버스를 통해 통신 연결된 인터락 제어 장치(200)에 상기 생성된 제어 신호를 전송한다(SP320).
이후, 상기 인터락 제어 장치(200)는, 상기 제어용 단말기(100)로부터 전송되는 제어 신호를 수신한다.
또한, 상기 인터락 제어 장치(200)는, 상기 수신된 제어 신호를 근거로 상기 수신된 제어 신호가 오프 상태에서 온 상태로 상태 천이가 일어나는 신호(또는, 상기 오프 상태에서 상기 온 상태로 전환되는 신호)를 포함한 경우, 인터락 시간(또는, 타임 인터락)을 카운팅한다.
일 예로, 상기 인터락 제어 장치(200)는, 상기 수신된 디지털 형식의 제어 신호가 오프 상태에서 온 상태로 전환되는 신호를 포함할 때, 상기 온 상태로 전환된 시점부터 인터락 시간을 카운팅한다.
또한, 상기 인터락 제어 장치(200)는, 상기 수신된 제어 신호를 근거로 상기 수신된 제어 신호가 온 상태에서 오프 상태로 상태 천이가 일어나는 신호(또는, 온 상태에서 오프 상태로 전환되는 신호)를 포함한 경우, 상기 수신된 제어 신호와 관련된 상기 인터락 시간(또는, 상기 카운팅 중인 인터락 시간)을 리셋한다(SP330).
이후, 상기 인터락 제어 장치(200)는, 상기 수신된 제어 신호를 상기 부하단(300)에 전송한다. 이때, 상기 인터락 제어 장치(200)는, 상기 부하단(300)에 포함된 하나 이상의 임의의 장치 중에서, 상기 제어 신호에 대응하는 해당 부하단(300)에 상기 제어 신호를 전송한다. 여기서, 상기 부하단(300)에 포함된 하나 이상의 임의의 장치는, RF 제너레이터, 원격 플라즈마 클리너(Remote Plasma Cleaner) 및, 유량 제어 장치(Mass Flow Control Device) 등 중 하나 이상일 수 있다.
일 예로, 상기 인터락 제어 장치(200)는, 상기 수신된 제어 신호가 상기 부하단(300)에 포함된 RF 제너레이터를 제어하기 위한 제어 신호인 경우, 상기 수신된 제어 신호를 상기 RF 제너레이터에 전송한다(SP340).
이후, 상기 부하단(300)은, 상기 인터락 제어 장치(200)로부터 전송된 제어 신호를 수신한다.
또한, 상기 부하단(300)은, 상기 인터락 제어 장치(200)로부터 전송된 제어 신호를 근거로 상기 부하단(300)에 포함된 상기 하나 이상의 임의의 장치를 제어한다.
일 예로, 상기 부하단(300)에 포함된 상기 RF 제너레이터는, 상기 인터락 제어 장치(200)로부터 전송된 제어 신호를 수신한다. 또한, 상기 RF 제너레이터는, 상기 수신된 제어 신호를 근거로 상기 RF 제너레이터의 동작 상태를 제어한다.
이와 같이, 상기 제어 신호를 근거로 상기 부하단(300)에 포함된 하나 이상의 임의의 장치에 대한 제어를 통해, 상기 챔버(400)의 임의의 기능을 제어한다(SP350).
이후, 상기 인터락 제어 장치(200)는, 상기 카운팅되는 인터락 시간이 미리 설정된 시간을 초과하는지 여부를 확인(또는, 판단)한다. 여기서, 상기 미리 설정된 시간은, 상기 제어 신호와 관련된 상기 부하단(300) 및/또는 상기 챔버(400)에 포함되는 각각의 모든 부품(또는, 장비/설비)에 대해, 서로 다른 값을 각각 설정할 수 있다.
일 예로, 상기 인터락 제어 장치(200)는, 상기 오프 상태에서 온 상태로 전환된 제어 신호에 대한 상기 카운팅되는 인터락 시간이 상기 미리 설정된 시간(예를 들어, 600초)을 초과하는지 여부를 확인한다(SP360).
이후, 상기 인터락 제어 장치(200)는, 상기 확인 결과(또는, 상기 판단 결과), 상기 카운팅되는 인터락 시간이 상기 미리 설정된 시간을 초과하는 경우, 인터락 신호(또는, 인터락 제어 신호)를 생성한다. 여기서, 상기 인터락 신호는, 상기 인터락 신호(또는, 상기 카운팅하는 인터락 신호와 관련된 해당 제어 신호)와 관련된 해당하는 상기 부하단(300) 및/또는 상기 챔버(400)의 동작 상태를 오프 상태로 전환하기 위한, 오프 상태의 신호일 수 있다.
일 예로, 상기 인터락 제어 장치(200)는, 상기 확인 결과, 상기 카운팅되는 인터락 시간이 상기 미리 설정된 시간(예를 들어, 600초)을 초과할 때, 상기 인터락 신호를 생성한다(SP370).
이후, 상기 인터락 제어 장치(200)는, 상기 생성된 인터락 신호를 상기 부하단(300)에 전송한다. 이때, 상기 인터락 제어 장치(200)는, 상기 부하단(300)에 포함된 하나 이상의 임의의 장치 중에서, 상기 카운팅되는 시간과 관련된 해당 부하단(300)에 상기 생성된 인터락 신호를 전송한다.
일 예로, 상기 인터락 제어 장치(200)는, 상기 카운팅되는 인터락 시간이 상기 부하단(300)에 포함된 상기 RF 제너레이터와 관련된 경우(또는, 상기 RF 제너레이터를 제어하기 위한 제어 신호)와 관련된 경우, 상기 생성된 인터락 신호를 상기 RF 제너레이터에 전송한다(SP380).
이후, 상기 부하단(300)은, 상기 인터락 제어 장치(200)로부터 전송되는 인터락 신호를 수신한다.
또한, 상기 부하단(300)은, 상기 수신된 인터락 신호를 근거로 해당 부하단(300)의 동작 상태를 제어한다.
일 예로, 상기 RF 제너레이터는, 상기 인터락 제어 장치(200)로부터 전송되는 상기 인터락 신호를 수신한다. 또한, 상기 RF 제너레이터는, 상기 수신된 인터락 신호를 근거로 상기 RF 제너레이터의 동작 상태를 오프 상태로 전환한다. 상기 RF 제너레이터가 오프 상태로 전환됨에 따라, 상기 RF 제너레이터에서 상기 챔버(400)로 전송되는 다양한 정보의 전송이 더 이상 수행되지 않게 된다(SP390).
본 명세서의 실시예는 앞서 설명한 바와 같이, 제어용 컴퓨터와, 반도체 제조 설비와 연결된 부하단 사이에 인터락 제어 장치를 구성하여, 상기 제어용 컴퓨터의 비정상 종료에 따른 상기 반도체 제조 설비의 오염/손상 및 오작동을 방지할 수 있다.
전술한 내용은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
10: 인터락 제어 시스템 100: 제어용 단말기
200: 인터락 제어 장치 300: 부하단
400: 챔버 210: 커넥터
220: 제어부 230: 릴레이

Claims (10)

  1. 필드 버스를 통해 상호 연결된 제어용 단말기와, 인터락 제어 장치와, 부하단과, 반도체 설비를 포함하는 인터락 제어 시스템에 있어서,
    상기 부하단에 포함된 하나 이상의 장치 중 임의의 장치를 제어하기 위한 제어 신호를 생성하여 상기 인터락 제어 장치로 전송하는 제어용 단말기;
    상기 제어용 단말기로부터 전송되는 제어 신호를 수신하여 상기 부하단에 전송하며, 상기 수신된 제어 신호가 오프 상태에서 온 상태로 상태 천이가 일어나는 신호일 때 인터락 시간을 카운팅하고, 상기 카운팅되는 상기 인터락 시간이 미리 설정된 시간을 초과할 때 인터락 신호를 생성하여 상기 부하단에 전송하는 인터락 제어 장치;
    상기 인터락 제어 장치로부터 전송되는 제어 신호 또는 인터락 신호를 근거로 상기 하나 이상의 장치 중 상기 제어 신호 또는 상기 인터락 신호에 대응하는 특정 장치의 동작 상태를 제어하는 부하단; 및
    상기 부하단의 동작 상태에 따른 출력을 근거로 동작을 제어하는 반도체 설비;를 포함하는 것을 특징으로 하는 인터락 제어 시스템.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 필드 버스는,
    디바이스 넷(Device Net), 전력선 통신(Power Line Communication), 프로피버스(Profibus), 제어 넷(Control Net), 월드 핍(World Factory Information Protocol : World Fip), 피-넷(P-Net), 인터 버스(Inter Bus), 이더넷-아이피(Ethernet-IP), 캔 오픈(CAN Open), 캔 킹돔(CAN Kingdom), 에이디에스-넷(ADS-Net) 및, 에프엘-넷(FL-Net) 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 인터락 제어 시스템.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 인터락 제어 장치는,
    상기 제어용 단말기로부터 전송되는 제어 신호를 수신하는 입력 커넥터;
    상기 입력 커넥터를 통해 수신된 제어 신호를 릴레이로 전달하고, 상기 제어 신호가 오프 상태에서 온 상태로 상태 천이가 일어나는 신호일 때, 상기 인터락 시간을 카운팅하고, 상기 카운팅되는 상기 인터락 시간이 상기 미리 설정된 시간을 초과할 때 인터락 신호를 생성하여 전달하는 제어부; 및
    상기 제어부로부터 전달되는 상기 제어 신호 또는 상기 인터락 신호를 상기 부하단에 포함된 하나 이상의 장치 중 상기 임의의 장치에 전달하기 위해 출력 커넥터에 전달하는 릴레이;를 포함하는 것을 특징으로 하는 인터락 제어 시스템.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 인터락 제어 장치는,
    상기 수신된 제어 신호가 온 상태에서 오프 상태로 상태 천이가 일어나는 신호일 때, 인터락 시간을 리셋하는 것을 특징으로 하는 인터락 제어 시스템.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 부하단에 포함된 하나 이상의 장치는,
    RF 제너레이터, 원격 플라즈마 클리너(Remote Plasma Cleaner) 및, 유량 제어 장치(Mass Flow Control Device) 중 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 인터락 제어 시스템.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 부하단은,
    상기 인터락 신호를 수신할 때, 상기 인터락 신호에 대응하는 특정 장치에 대한 동작 상태를 오프라인 상태로 제어하는 것을 특징으로 하는 인터락 제어 시스템.
  7. 필드 버스를 통해 상호 연결된 제어용 단말기와, 인터락 제어 장치와, 부하단과, 반도체 설비를 포함하는 인터락 제어 시스템의 제어 방법에 있어서,
    상기 제어용 단말기를 통해, 상기 부하단에 포함된 하나 이상의 장치 중 임의의 장치를 제어하기 위한 제어 신호를 생성하여 상기 인터락 제어 장치에 전송하는 단계;
    상기 인터락 제어 장치를 통해, 상기 제어용 단말기로부터 전송되는 제어 신호를 수신하여 상기 부하단에 전송하는 단계;
    상기 인터락 제어 장치를 통해, 상기 수신된 제어 신호가 오프 상태에서 온 상태로 상태 천이가 일어나는 신호일 때, 인터락 시간을 카운팅하는 단계;
    상기 인터락 제어 장치를 통해, 상기 카운팅되는 상기 인터락 시간이 미리 설정된 시간을 초과할 때, 인터락 신호를 생성하여 상기 부하단에 전송하는 단계;
    상기 부하단을 통해, 상기 인터락 제어 장치로부터 전송되는 상기 제어 신호 또는 상기 인터락 신호를 근거로 상기 부하단에 포함된 하나 이상의 장치 중 상기 제어 신호 또는 상기 인터락 신호에 대응하는 특정 장치의 동작 상태를 제어하는 단계; 및
    상기 반도체 설비를 통해, 상기 부하단의 동작 상태에 따른 출력을 근거로 상기 반도체 설비의 동작을 제어하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 인터락 제어 시스템의 제어 방법.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 필드 버스는,
    디바이스 넷, 전력선 통신, 프로피버스(Profibus), 제어 넷, 월드 핍(World Fip), 피-넷(P-Net), 인터 버스(Inter Bus), 이더넷-아이피(Ethernet-IP), 캔 오픈(CAN Open), 캔 킹돔(CAN Kingdom), 에이디에스-넷(ADS-Net) 및, 에프엘-넷(FL-Net) 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 인터락 제어 시스템의 제어 방법.
  9. 청구항 7에 있어서,
    상기 부하단에 포함된 하나 이상의 장치는,
    RF 제너레이터, 원격 플라즈마 클리너 및, 유량 제어 장치 중 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 인터락 제어 시스템의 제어 방법.
  10. 청구항 7에 있어서,
    상기 제어 신호 또는 상기 인터락 신호를 근거로 상기 부하단에 포함된 하나 이상의 장치 중 상기 제어 신호 또는 상기 인터락 신호에 대응하는 특정 장치의 동작 상태를 제어하는 단계는,
    상기 부하단을 통해, 상기 인터락 신호를 수신할 때, 상기 인터락 신호에 대응하는 특정 장치에 대한 동작 상태를 오프라인 상태로 제어하는 것을 특징으로 하는 인터락 제어 시스템의 제어 방법.
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