KR101399496B1 - The edge of the plate processing apparatus and method of the same - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a plate border processing device and a processing method thereby. The device includes an unloading unit moving one of plates by taking the plate from an in-cassette storing a plurality of plates having borders to be processed; a chuck table supporting the plate which is placed by being moved by the unloading unit and horizontally reciprocating to a position in which the plates is processed; a pair of grinding units vertically and horizontally moving the place to the position of the plate which is placed on the chuck table and is moved to the processing position and rotating to process a border of the plate but facing each other while being separated from each other based on the plate; and a loading unit moving the plate from the chuck table returning to an initial position since the processing of the border of the plate is complete in order to store the plate in an out-cassette.

Description

플레이트의 가장자리 가공장치 및 이에 의한 가공방법{The edge of the plate processing apparatus and method of the same}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a plate edge processing apparatus,

본 발명은 플레이트의 가장자리 가공장치 및 이에 의한 가공방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 다양한 형상을 갖는 플레이트에 대응하여 플레이트의 가장자리를 연삭 및 연마 가공할 수 있는 플레이트의 가장자리 가공장치 및 이에 의한 가공방법에 관한 것이다.The present invention relates to a plate edge processing apparatus and a method of processing the same, and more particularly, to a plate edge processing apparatus capable of grinding and polishing an edge of a plate corresponding to a plate having various shapes, .

TFT-LCD(Thin film transistor-liquid crystal display), PDP(Plasma Display Panel), EL(Electro-Luminescent) 등의 평판 디스플레이를 제조하기 위해 사용되는 플레이트 또는 카메라용 필터를 제조하기 위해 사용되는 플레이트는 일정한 규격에 맞도록 절단하고, 날카로워진 모서리 부분과 장/단면에 대한 가장자리(에지;edge) 부위를 연삭하는 공정이 수행된다.Plates used for manufacturing plates or camera filters used for manufacturing flat panel displays such as TFT-LCD (Thin film transistor-liquid crystal display), PDP (Plasma Display Panel), EL (Electro-Luminescent) A cutting process is carried out to cut the edge to the standard, and to sharpen the corner portion and edge / edge portion of the edge / edge.

절단된 플레이트의 가장자리 부위는 매우 날카롭고, 크랙이 쉽게 발생될 수 있다. 특히, 크랙은 이후 제조 공정에서 기판의 파손을 야기할 수 있다. 그리고 플레이트의 날카로운 가장자리 부위는 외부 충격에 약하여 다루기에도 곤란한 점이 있다.The edge portion of the cut plate is very sharp and a crack can easily be generated. In particular, cracks can cause breakage of the substrate in subsequent manufacturing processes. The sharp edges of the plate are vulnerable to external shocks and are difficult to handle.

플레이트의 날카로운 모서리 부분과 장/단면의 가장자리 부위를 연삭하는 공정은 일반적으로 플레이트의 모서리를 큰 거칠기를 황삭한 후, 거칠기를 작게하여 정삭, 폴리싱하는 순서로 진행된다. 그런데 종래의 플레이트를 연삭하는 장치로는 하나의 형태의 플레이트만을 연삭할 수밖에 없어 플레이트의 형상에 따른 다양한 종류의 플레이트 연삭장치가 필요하였다. 즉, 원형의 플레이트를 연삭하는 장치로는 원형의 플레이트만을 연삭할 수밖에 없었고, 사각형의 플레이트를 연삭하는 장치로는 사각형의 플레이트만을 연삭할 수밖에 없었다. 이외에 다른 형태의 다각형의 플레이트를 연삭하는 장치는 해당하는 다각형의 플레이트만을 연삭할 수밖에 없었다. The process of grinding the sharp edges of the plate and the edge portions of the length / cross section generally proceeds in the order of finishing and polishing the corners of the plate after roughing the large roughness and reducing the roughness. However, as a conventional apparatus for grinding a plate, only one type of plate is required to be ground, and various types of plate grinding apparatuses corresponding to the shape of the plate are required. That is, in the apparatus for grinding a circular plate, only a circular plate was inevitably grinded, and as a device for grinding a rectangular plate, only a rectangular plate had to be grinded. In addition, a device for grinding a plate of a polygon of another type has only to grind the plate of the corresponding polygon.

따라서 플레이트의 형태에 따라 많은 종류의 연삭장치가 필요하였고 이는 디스플레이용 플레이트 또는 필터용 플레이트를 제조하는 비용의 증가로 이어질 수밖에 없었다.Therefore, many types of grinding apparatuses are required depending on the shape of the plate, which leads to an increase in the cost of manufacturing the plate for display or the plate for filter.

대한민국공개특허공보 제10-2013-0062581호Korean Patent Publication No. 10-2013-0062581

본 발명은 다양한 형상을 갖는 플레이트에 대응하여 플레이트의 가장자리를 연삭 및 연마 가공할 수 있는 플레이트의 가장자리 가공장치 및 이에 의한 가공방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a plate edge processing apparatus capable of grinding and polishing an edge of a plate corresponding to a plate having various shapes and a processing method therefor.

본 발명은, 가장자리의 가공이 진행될 플레이트들이 복수 개 저장되어 있는 인 카세트(in cassette)에서 상기 플레이트들 중 어느 하나의 상기 플레이트를 꺼내어 이동시키는 언로딩 유닛; 상기 언로딩 유닛에 의해 이동되어 안착된 상기 플레이트를 지지하고, 상기 플레이트의 가공 작업이 이루어지는 위치로 수평 왕복 이동하는 척 테이블; 상기 척 테이블에 안착되어 가공 작업이 이루어지는 위치로 이동된 상기 플레이트의 위치에 맞도록 수평 이동 및 수직 이동하며, 상기 플레이트의 가장자리를 가공하기 위하여 회전하되, 상기 플레이트를 기준으로 상호 이격되어 마주하는 한 쌍으로 구비되는 그라인딩 유닛; 및 상기 플레이트의 가장자리 가공이 완료되어 초기 위치로 복원한 상기 척 테이블에서 상기 플레이트를 아웃 카세트(out cassette)에 저장되도록 이동시키는 로딩 유닛을 포함하는 플레이트의 가장자리 가공장치를 제공한다.The present invention relates to an unloading unit for taking out and moving any one of the plates in an in cassette in which a plurality of plates for processing margins are stored, A chuck table supporting the plate moved and seated by the unloading unit and horizontally reciprocating to a position where a machining operation of the plate is performed; The chuck table is horizontally moved and vertically moved to fit the position of the plate moved to the position where the chuck table is moved to perform a machining operation and rotates to process the edge of the plate, A pair of grinding units; And a loading unit for moving the plate so that the plate is stored in an out cassette in the chuck table that has been finished with edge processing of the plate and has been restored to the initial position.

본 발명의 다른 측면에 따르면 본 발명은, 복수 개의 플레이트들이 저장되어 있는 인 카세트에서 어느 하나의 상기 플레이트를 언로딩 유닛으로 이동시켜 상기 플레이트를 지지하는 척 테이블 상에 안착시키는 단계; 상기 플레이트가 안착된 상기 척 테이블이 수평 이동하여 상기 플레이트의 가공 위치로 이동하는 단계; 상기 척 테이블을 기준으로 상호 이격되어 마주하는 한 쌍의 그라인딩 유닛이 상기 플레이트의 가장자리와 접하는 위치로 이동하여 상기 플레이트의 가장자리를 가공하는 단계; 가공이 완료된 상기 플레이트가 안착된 상기 척 테이블이 초기 위치로 이동하는 단계; 및 언로딩 유닛으로 상기 척 테이블에 안착된 상기 플레이트를, 가공이 완료된 상기 플레이트를 복수 개 저장하는 아웃 카세트로 이동시키는 단계를 포함하는 플레이트의 가장자리 가공방법을 제공한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a plasma display panel, comprising the steps of: moving one of the plates to an unloading unit and placing the plate on a chuck table supporting the plate in a draw cassette in which a plurality of plates are stored; Moving the chuck table on which the plate is placed horizontally to a processing position of the plate; Moving a pair of grinding units facing each other with respect to the chuck table to a position where the pair of grinding units are in contact with the edge of the plate, thereby processing the edge of the plate; Moving the chuck table on which the machined plate is placed to an initial position; And moving the plate seated on the chuck table as an unloading unit to an out cassette storing a plurality of processed plates.

본 발명에 플레이트의 가장자리 가공장치 및 이에 의한 가공방법은 다음과 같은 효과가 있다. In the present invention, an edge processing apparatus for a plate and a processing method therefor have the following effects.

첫째, 척 테이블이 수평 방향으로 왕복 이동을 할 수 있고, 척 테이블을 기준으로 한 쌍의 그라인딩 유닛이 구비되기 때문에 어느 하나의 형상의 플레이트에 한정되지 않고 다양한 형상의 플레이트에 대응하여 가장자리 가공을 진행할 수 있다.First, since the chuck table can reciprocate in the horizontal direction and a pair of grinding units are provided on the basis of the chuck table, the edge processing is not limited to any one of the plates, .

둘째, 한 쌍의 그라인딩 유닛이 동시에 작동하여 플레이트의 가장자리 가공을 진행함으로써 한 쌍의 그라인딩 유닛이 플레이트의 양측에서 동일한 힘을 가하기 때문에 가장자리 가공 시 불량 발생을 방지하는 효과를 가질 수 있다.Second, since a pair of grinding units are simultaneously operated to advance the edge processing of the plate, a pair of grinding units apply the same force to both sides of the plate, thereby preventing the occurrence of defects during edge processing.

셋째, 그라인딩 유닛과 폴리싱 유닛을 모두 구비할 수 있어 플레이트의 가장자리 가공 시간을 단축시키는 효과를 가질 수 있다.Third, since both the grinding unit and the polishing unit can be provided, the edge machining time of the plate can be shortened.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 플레이트용 가장자리 가공장치에 관한 것이다.
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 플레이트용 가장자리 가공장치에 관한 것이다. FIG. 1 is a view for explaining an edge machining apparatus for a plate according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a perspective view of a plate edge processing apparatus according to another embodiment of the present invention.

도 1에는 본 발명의 일 실시예에 따른 플레이트용 가장자리 가공장치가 도시되어 있다.Fig. 1 shows a plate edge processing apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 플레이트의 가장자리 가공장치(100)를 살펴보면, 언로딩 유닛(130), 척 테이블(140), 그라인딩 유닛(150) 및 로딩 유닛(160)을 포함한다. 먼저, 상기 언로딩 유닛(130)은 가장자리에 연삭 가공이 진행될 플레이트(g)들이 복수 개 저장되어 있는 인 카세트(110; in cassette)에서 상기 플레이트(g)들 중 어느 하나의 상기 플레이트(g)를 꺼내어 이동시키는 역할을 한다. 여기서 상기 플레이트(g)는 글라스 기판, 사파이어 기판, 카메라 필터용 기판, 사파이어 웨이퍼, 실리콘 웨이퍼 등 다양한 기판들이 적용될 수 있다.1, an unfolding unit 130, a chuck table 140, a grinding unit 150, and a loading unit 160 are provided in the plate edge processing apparatus 100 according to an embodiment of the present invention. . First, the unloading unit 130 includes a plate g in any one of the plates g in a cassette 110 in which a plurality of plates g to be subjected to grinding are stored, And moves it. Here, the plate g may be formed of various substrates such as a glass substrate, a sapphire substrate, a camera filter substrate, a sapphire wafer, and a silicon wafer.

본 실시예에 도시된 상기 인 카세트(110)에는 상기 플레이트(g)들이 상기 인 카세트(110)의 중심을 기준으로 원주 방향을 따라 상호 이격되어 복수 개 저장된다. 그러나 상기 인 카세트(110)에 상기 플레이트(g)가 저장되는 방식은 이에 한정되지 않고, 수직 방향으로 복수 개 적층되는 등 다양한 방식으로 저장될 수 있다. 따라서 상기 인 카세트(110)는 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전한다.The plates g are spaced apart from each other in the circumferential direction with respect to the center of the cassette 110, and a plurality of plates g are stored in the cassette 110 shown in this embodiment. However, the manner in which the plate g is stored in the in-cassette 110 is not limited thereto, and a plurality of the plates g may be vertically stacked. Therefore, the ink cassette 110 rotates clockwise or counterclockwise.

상기 플레이트(g)는 다각형 또는 원형 중 어느 하나의 형태로 형성된다. 본 실시예에서는 도 1에 도시된 바와 같이, 사각형의 형태인 플레이트(g)를 예로 들어 설명한다.The plate (g) is formed in either a polygonal shape or a circular shape. In this embodiment, as shown in Fig. 1, a plate g in the form of a quadrangle is taken as an example.

상기 언로딩 유닛(130)은 전술한 바와 같은 상기 인 카세트(110)에 저장된 상기 플레이트(g)들 중 어느 하나의 상기 플레이트(g)를 꺼낸다. 상기 언로딩 유닛(130)이 꺼낸 상기 플레이트(g)는 연삭 가공 공정을 진행할 수 있도록 상기 척 테이블(140) 상에 안착시킨다. The unloading unit 130 takes out the plate g of any one of the plates g stored in the cassette 110 as described above. The plate (g) taken out by the unloading unit (130) is placed on the chuck table (140) so that the grinding process can be performed.

상기 언로딩 유닛(130)은 본체(131), 언로딩 암(132), 제1 회전모터(133), 제1 구동모터(134)를 포함한다. 상기 언로딩 암(132)은 상기 제1 회전모터(133)에 의해 상기 본체(131)에 연결되어 있다. 상기 언로딩 암(132)에 의해 상기 플레이트(g)가 상기 인 카세트(110)에서 꺼내어 질 수 있는데, 상기 제1 회전모터(133)가 상기 언로딩 암(132)에 회전력을 전달하기 때문에 상기 언로딩 암(132)이 상기 인 카세트(110)에서 상기 척 테이블140)로 회전할 수 있는 것이다. 상기 언로딩 암(132)이 상기 인 카세트(110)에서 상기 플레이트(g)를 꺼낸 후, 상기 척 테이블(140)에 안착시킨다.The unloading unit 130 includes a main body 131, an unloading arm 132, a first rotating motor 133, and a first driving motor 134. The unloading arm 132 is connected to the main body 131 by the first rotation motor 133. The plate g can be taken out from the drawer cassette 110 by the unloading arm 132. Since the first rotating motor 133 transmits the rotating force to the unloading arm 132, The unloading arm 132 can be rotated from the drawer cassette 110 to the chuck table 140). The unloading arm 132 removes the plate g from the drawer cassette 110 and then places the plate g on the chuck table 140.

상기 본체(131)와 상기 제1 구동모터(134)는 상기 본체(131)에 결합된 제1축(135)에 의해 연결되어 있으며, 상기 제1 구동모터(134)가 상기 제1축(135)을 시계 방향 및 반시계 방향으로 회전시켜 상기 본체(131)가 수평 방향을 따라 전진 및 후진하면서 왕복 이동을 한다. 상기 본체(131)는 상기 제1축(135)을 따라 수평 방향으로 왕복 이동을 하면서 상기 플레이트(g)가 상기 척 테이블(140)에 안착될 수 있는 위치로 조절한다. The main body 131 and the first driving motor 134 are connected by a first shaft 135 coupled to the main body 131. The first driving motor 134 is connected to the first shaft 135 Is rotated clockwise and counterclockwise so that the main body 131 reciprocates while advancing and retracting along the horizontal direction. The main body 131 reciprocates horizontally along the first axis 135 to adjust the position of the plate g so that the plate g can be seated on the chuck table 140.

상기 척 테이블(140)은 전술한 바와 같이, 상기 인 카세트(110)에서 꺼내진 상기 플레이트(g)가 안착되면 상기 플레이트(g)를 지지하고, 상기 플레이트(g)를 연삭 가공이 이루어지는 위치로 이동시키는 역할을 하는 것이다. 상기 척 테이블(140)은 수평 방향으로 왕복 이동을 한다. 상기 플레이트(g)의 가공 공정 위치로 이동하면 상기 플레이트(g)를 지지하면서 회전할 수도 있다. 즉, 상기 척 테이블(140)은 수평 방향으로 왕복 이동을 함과 동시에, 회전할 수도 있는 것이다. As described above, the chuck table 140 supports the plate g when the plate g taken out from the draw cassette 110 is seated, and moves the plate g to a position where grinding is performed It is a role to move. The chuck table 140 reciprocates in the horizontal direction. When the plate g is moved to the processing position, the plate g may rotate while supporting the plate g. That is, the chuck table 140 may reciprocate in the horizontal direction and rotate.

보다 구체적으로 설명하면, 다각형의 형상인 상기 플레이트(g)인 경우 상기 척 테이블(140)은 상기 플레이트(g)를 연삭 가공이 이루어지는 위치로 이동시키기 위해 수평 이동을 하며, 상기 플레이트(g)의 연삭 가공이 이루어지는 동안에는 상기 플레이트(g)의 가로길이(d`) 또는 세로길이(d)만큼 수평 왕복 이동을 한다. 상기 플레이트(g)를 가공이 이루어지는 위치로 이동시켜 상기 플레이트(g)의 가로 방향 가장자리의 연삭 공정을 진행한 후에는 상기 척 테이블(140)이 90°만큼 회전하여 상기 플레이트(g)의 세로 방향 가장자리의 연삭 공정을 진행할 수 있다. 이와 같은 방식으로 상기 척 테이블(140)은 상기 플레이트(g)의 형상에 따라 상기 플레이트(g)의 가장자리 연삭 공정이 이루어지는 동안 수평 이동 및 회전을 반복할 수 있다.More specifically, in the case of the plate g having a polygonal shape, the chuck table 140 horizontally moves to move the plate g to a position where grinding is performed, During horizontal grinding, horizontal reciprocating movement is performed by the length d 'or the vertical length d of the plate g. After the plate g is moved to the machining position and the grinding process of the transverse edge of the plate g is performed, the chuck table 140 rotates by 90 degrees to move the plate g in the longitudinal direction The edge grinding process can be performed. In this way, the chuck table 140 can repeat horizontal movement and rotation during the edge grinding process of the plate g according to the shape of the plate g.

반면, 원형의 형상인 상기 플레이트(g)인 경우 상기 척 테이블(140)은 상기 플레이트(g)의 연삭 가공이 이루어지는 위치로 이동하거나 초기 위치로 이동하기 위해 수평 방향으로 왕복 이동을 한다. 상기 플레이트(g)를 연삭 가공이 이루어지는 위치로 이동시킨 후에는 상기 척 테이블(140)은 수평 방향으로의 왕복 이동은 하지 않고, 회전을 하여 원형의 상기 플레이트(g)의 가장자리 연삭 공정을 진행할 수 있다.On the other hand, in the case of the plate g having a circular shape, the chuck table 140 reciprocates horizontally to move to the position where the grinding process of the plate g is performed or to move to the initial position. After the plate g is moved to the position where the grinding process is performed, the chuck table 140 does not reciprocate in the horizontal direction, but rotates to proceed the edge grinding process of the circular plate g have.

상기 그라인딩 유닛(150)은 상기 척 테이블(140)에 안착된 상기 플레이트(g)의 위치에 따라 수평 이동 및 수직 이동을 하여 위치 조절을 한 후, 상기 플레이트(g)의 가장자리 연삭 가공을 한다. 이와 같은 상기 그라인딩 유닛(150)은 상기 척 테이블(140)을 기준으로 상호 이격되어 마주하는 한 쌍으로 구비된다. 그리고 상기 플레이트(g)의 형상에 따라 한 쌍의 상기 그라인딩 유닛(150)이 모두 작동할 수도 있고, 한 쌍의 상기 그라인딩 유닛(150) 중 어느 하나의 상기 그라인딩 유닛(150)만 작동할 수도 있다.The grinding unit 150 horizontally and vertically moves according to the position of the plate g mounted on the chuck table 140 to adjust the position of the grinding unit 150 and then grind the edge of the plate g. The grinding unit 150 is provided as a pair facing each other with respect to the chuck table 140. Depending on the shape of the plate g, a pair of the grinding units 150 may be all operated, or only one of the pair of the grinding units 150 may operate. .

상기 그라인딩 유닛(150)은 연삭 휠(151), 제2 구동모터(152) 및 제3 구동모터(153)를 포함한다. 상기 연삭 휠(151)은 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전되며, 상기 플레이트(g)의 가장자리와 접하면 마찰에 의해 상기 플레이트(g)의 가장자리를 연삭하는 역할을 하는 것이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 연삭 휠(151)은 일반적으로 원형의 플레이트 형태로 형성된다. 회전하는 상기 연삭 휠(151)에 상기 플레이트(g)가 접촉하면 상기 연삭 휠(151)과의 마찰에 의해 상기 플레이트(g)의 가장자리 부분이 깎여지면서 연삭이 되는 것이다. 상기 연삭 휠(151)에 의해 상기 플레이트(g)가 연삭되는 동안, 상기 플레이트(g)는 상기 플레이트(g)의 세로 길이(d) 또는 가로 길이(d`)만큼 수평 왕복 이동하여 상기 플레이트(g)의 가장자리가 균일하게 연삭되게 한다.The grinding unit 150 includes a grinding wheel 151, a second driving motor 152, and a third driving motor 153. The grinding wheel 151 rotates in a clockwise or counterclockwise direction and grinds the edge of the plate g by friction when it comes into contact with the edge of the plate g. As shown in FIG. 1, the grinding wheel 151 is generally formed in the form of a circular plate. When the plate g contacts the rotating grinding wheel 151, the edge of the plate g is ground by friction with the grinding wheel 151, and the grinding is performed. While the grinding wheel 151 grinds the plate g, the plate g horizontally reciprocates by a length d or a length d 'of the plate g, 0.0 > g). < / RTI >

상기 제2 구동모터(152)는 상기 연삭 휠(151)을 수평 왕복 이동시키도록 구비되는 것으로, 상기 플레이트(g)의 연삭 가공 위치까지 상기 연삭 휠(151)을 이동시키는 것이다. 따라서 상기 제2 구동모터(152)는 상기 연삭 휠(151)을 상기 플레이트(g)의 연삭 가공이 이루어지는 위치까지 수평 이동시킨 후, 상기 플레이트(g)의 연삭 가공이 끝나면 상기 연삭 휠(151)의 초기 위치로 수평 이동시킨다.The second driving motor 152 is provided to horizontally reciprocate the grinding wheel 151 and moves the grinding wheel 151 to the grinding position of the plate g. The second driving motor 152 horizontally moves the grinding wheel 151 to a position where the grinding process of the plate g is performed and then the grinding wheel 151 is rotated, As shown in FIG.

상기 제3 구동모터(153)는 상기 연삭 휠(151)을 수직 방향으로 왕복 이동시키며, 상기 연삭 휠(151)의 위치가 상기 플레이트(g)의 높이에 맞도록 상기 연삭 휠(151)의 높이를 조절하는 역할을 하는 것이다. 일반적으로 상기 플레이트(g)가 안착되는 상기 척 테이블(140)의 높이는 일정하게 유지되나, 상기 척 테이블(140)에 안착되는 상기 플레이트(g)의 두께에 따라 상기 연삭 휠(151)의 높이를 미세하게 조정할 필요가 있다. 따라서 상기 제3 구동모터(153)는 상기 연삭 휠(151)을 수직 방향으로 왕복 이동시키면서 상기 플레이트(g)의 두께에 따라 상기 연삭 휠(151)의 높이를 조정하는 것이다.The third driving motor 153 reciprocates the grinding wheel 151 vertically and adjusts the height of the grinding wheel 151 so that the position of the grinding wheel 151 matches the height of the plate g And the like. Generally, the height of the chuck table 140 on which the plate g is mounted is kept constant, but the height of the grinding wheel 151 depends on the thickness of the plate g mounted on the chuck table 140 It is necessary to fine-tune it. Therefore, the third driving motor 153 adjusts the height of the grinding wheel 151 according to the thickness of the plate g while reciprocally moving the grinding wheel 151 in the vertical direction.

전술한 바와 같이 상기 그라인딩 유닛(150)은 상기 플레이트(g)를 기준으로 상호 이격되어 마주하는 한 쌍으로 구비되며, 상기 플레이트(g)가 다각형의 형태로 형성되면 한 쌍이 상기 그라인딩 유닛(150)이 동시에 작동되고, 상기 플레이트(g)가 원형의 형태로 형성되면 한 쌍의 상기 그라인딩 유닛(150) 중 어느 하나의 상기 그라인딩 유닛(150)만 작동되거나, 한 쌍의 상기 그라인딩 유닛(150)이 모두 작동될 수도 있다. 그리고 상기 그라인딩 유닛(150)이 상기 플레이트(g)의 가장자리를 연삭 가공하는 동안 상기 플레이트(g)를 지지하고 있는 상기 척 테이블(140)은 상기 플레이트(g)의 세로 길이(d) 또는 가로 길이(d`)만큼 수평 방향으로 왕복 이동한다. 따라서 상기 플레이트(g)의 가장자리가 균일하게 연삭 가공된다.As described above, the grinding units 150 are provided as a pair facing each other with respect to the plate g. When the plate g is formed in a polygonal shape, When the plate g is formed in a circular shape, only one of the grinding units 150 of the pair of the grinding units 150 is operated, or a pair of the grinding units 150 is operated Both may work. The chuck table 140 supporting the plate g while the grinding unit 150 grinds the edge of the plate g grasps the longitudinal length d or the transverse length d of the plate g, (d '). Therefore, the edge of the plate (g) is uniformly ground.

상기 로딩 유닛(160)은 상기 플레이트(g)의 가장자리 연삭 가공이 끝난 후, 상기 플레이트(g)가 안착된 상기 척 테이블(140)이 초기 위치로 이동하면, 상기 플레이트(g)를 상기 척 테이블(140)에 상기 플레이트(g)가 복수 개 저장되는 아웃 카세트(170; out cassette)로 이동시키는 역할을 하는 것이다.After the edge grinding of the plate g is finished, the loading unit 160 moves the plate g to the chuck table 140 when the chuck table 140 on which the plate g is mounted moves to the initial position, To an out cassette (170) in which a plurality of the plates (g) are stored in the cassette (140).

상기 로딩 유닛(160)은 상기 언로딩 유닛(130)과 동일한 구성을 포함하여, 상기 로딩 유닛(160)도 본체(161), 로딩 암(162), 제2 회전모터(163) 및 제4 구동모터(164)를 포함한다. 상기 로딩 암(162)이 상기 본체(161)에 연결되되, 상기 제2 회전모터(163)에 의해 연결되어 회전하면서 상기 플레이트(g)를 상기 척 테이블(140)에서 상기 아웃 카세트(170)로 이동시킨다. 상기 본체(161)와 상기 제4 구동모터(164)는 상기 본체(161)가 결합된 제2축(165)에 의해 연결된다. 상기 제4 구동모터(164)가 상기 제2축(165)을 시계 방향 및 반시계 방향으로 회전시키면 상기 본체(161)가 전진 및 후진을 한다. 이렇게 상기 본체(161)가 전진 및 후진을 하면서 상기 로딩 암(162)이 상기 척 테이블(140)에서 상기 아웃 카세트(170)로 상기 플레이트(g)를 이동시키기 위한 적정한 위치로 이동한다.The loading unit 160 has the same configuration as the unloading unit 130 and the loading unit 160 is also connected to the main body 161, the loading arm 162, the second rotation motor 163, Motor < / RTI > The loading arm 162 is connected to the main body 161 and connected to the second rotary motor 163 to rotate the plate g from the chuck table 140 to the out cassette 170 . The main body 161 and the fourth driving motor 164 are connected by a second shaft 165 to which the main body 161 is coupled. When the fourth driving motor 164 rotates the second shaft 165 clockwise and counterclockwise, the main body 161 advances and retreats. The loading arm 162 moves to the proper position for moving the plate g from the chuck table 140 to the out cassette 170 while the main body 161 moves forward and backward.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 상기 플레이트의 가장자리 가공장치(100)는 얼라인 유닛(120)을 더 포함할 수 있다. 상기 얼라인 유닛(120)은 상기 인 카세트(110)와 상기 척 테이블(140) 사이에 위치하여 상기 인 카세트(110)에서 꺼내진 상기 플레이트(g)가 상기 척 테이블(140)로 이동되기 전, 상기 플레이트(g)의 얼라인을 조절하는 것이다. 상기 얼라인 유닛(120)은 얼라인 스테이지(121) 및 검사부재(125)를 포함한다. 상기 얼라인 스테이지(121)는 상기 플레이트(g)가 안착되어 얼라인 조절 작업이 이루어지는 작업 공간을 제공하는 역할을 한다. 상기 얼라인 스테이지(121)에 안착된 상기 플레이트(g)은 상기 검사부재(125)를 통해 얼라인 조절이 이루어진다. 상기 검사부재(125)는 예시적으로 얼라인 비전을 포함하지만, 이에 한정되지 않고 다양한 종류의 검사부재가 사용될 수 있다.Meanwhile, the edge processing apparatus 100 according to an embodiment of the present invention may further include an alignment unit 120. The alignment unit 120 is positioned between the in-cassette 110 and the chuck table 140 and is positioned between the chuck table 140 and the chuck table 140 before the plate g taken out of the in- , And controls the alignment of the plate (g). The alignment unit 120 includes an alignment stage 121 and an inspection member 125. The alignment stage 121 serves to provide a work space in which the plate g is seated and an alignment adjustment operation is performed. The plate (g) seated on the alignment stage (121) is aligned through the inspection member (125). The inspection member 125 illustratively includes an alignment vision, but it is not so limited and various types of inspection members may be used.

상기 플레이트(g)의 가장자리 연삭 가공을 하기 전, 상기 얼라인 유닛(120)을 통해 얼라인 조절을 하면 상기 플레이트(g)의 가장자리 모두 균일하고 동일하게 연삭 가공될 수 있다. 따라서 상기 플레이트(g)의 불량률을 감소하는 효과를 가질 수 있다.
The edges of the plate g may be uniformly and uniformly grinded by aligning the edges of the plate g through the aligning unit 120 before edge grinding of the plate g. Therefore, the defective rate of the plate g can be reduced.

전술한 바와 같은 상기 플레이트의 가장자리 가공장치(100)의 작업 공정을 살펴보면, 먼저 상기 언로딩 유닛(130)을 통해 상기 인 카세튼(110)에 저장된 복수 개의 상기 플레이트(g)들 중 하나의 상기 플레이트(g)를 꺼낸다. 상기 플레이트(g)를 상기 얼라인 유닛(120)의 상기 얼라이 스테이지(12) 상에 안착시킨 후, 상기 검사부재(125)를 통해 상기 플레이트(g)의 얼라인을 조절한다.The operation of the plate edge machining apparatus 100 as described above will be described below. First, one of the plurality of plates (g) stored in the incase setter (110) through the unloading unit (130) Remove the plate (g). After the plate g is placed on the alignment stage 12 of the alignment unit 120, the alignment of the plate g is adjusted through the inspection member 125.

상기 플레이트(g)의 얼라인이 조절된 후에는 상기 언로딩 유닛(130)이 상기 플레이트(g)를 이동시켜 상기 척 테이블(140) 상에 안착시킨다. 상기 척 테이블(140)은 상기 플레이트(g)가 안착되면 상기 플레이트(g)의 가장자리 연삭 가공이 이루어지는 위치로 수평 이동한다. 상기 척 테이블(140)에 의해 상기 플레이트(g)가 연삭 가공이 이루어지는 위치로 이동하면, 상기 그라인딩 유닛(150)이 작동을 시작하는데, 상기 제2 구동모터(152) 및 상기 제3 구동모터(153)에 의해 상기 연삭 휠(151)이 상기 플레이트(g)의 가장자리에 근접하게 이동한다.After the alignment of the plate g is adjusted, the unloading unit 130 moves the plate g to be placed on the chuck table 140. The chuck table 140 horizontally moves to a position where edge grinding of the plate g is performed when the plate g is seated. The grinding unit 150 starts operating when the plate g is moved to the position where grinding is performed by the chuck table 140. The second driving motor 152 and the third driving motor 153 move the grinding wheel 151 close to the edge of the plate g.

상기 연삭 휠(151)은 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전하면서 상기 플레이트(g)의 가장자리 부위와 접촉하고, 상기 연삭 휠(151)과의 마찰에 의해 상기 플레이트(g)의 가장자리 부위가 연삭 가공되는 것이다. 이때, 상기 척 테이블(140)은 상기 플레이트(g)의 가로 길이(d`)또는 세로 길이(d)만큼 수평으로 왕복 이동을 하여 상기 플레이트(g)의 가장자리가 균일하게 연삭 가공되도록 한다.The grinding wheel 151 rotates in a clockwise or counterclockwise direction to come into contact with the edge portion of the plate g and the edge portion of the plate g is ground by grinding with the grinding wheel 151 . At this time, the chuck table 140 horizontally reciprocates by the length d 'or the longitudinal length d of the plate g so that the edge of the plate g is uniformly ground.

상기 플레이트(g)의 가장자리 연삭 가공이 완료된 후에는 상기 척 테이블(140)이 초기 위치로 이동하고, 상기 언로딩 유닛(160)이 상기 플레이트(g)를 상기 척 테이블(140)에서 상기 아웃 카세트(170)로 이동시킨다.
After the edge grinding of the plate g is completed, the chuck table 140 moves to the initial position and the unloading unit 160 moves the plate g from the chuck table 140 to the out- (170).

도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 플레이트의 가장자리 가공장치(200)가 도시되어 있다. 도 2에 도시된 상기 플레이트의 가장자리 가공장치(200)는 도 1에 도시된 상기 플레이트의 가장자리 가공장치(100)와 대부분의 구성이 동일하고, 폴리싱 유닛(210)을 더 포함하는 것이다. 따라서 동일한 구성에 대해서는 동일한 도면 부호를 사용하고 이에 대한 설명을 생략하기로 한다.FIG. 2 shows a plate edge finishing apparatus 200 according to another embodiment of the present invention. The edge finishing apparatus 200 shown in FIG. 2 is substantially the same as the edge finishing apparatus 100 shown in FIG. 1 and further includes a polishing unit 210. Therefore, the same reference numerals are used for the same components, and a description thereof will be omitted.

상기 폴리싱 유닛(210)은 상기 플레이트(g)의 가장자리 연삭 가공이 끝난 후, 연삭 가공이 된 상기 플레이트(g)의 가장자리 부위를 연마 가공하기 위한 것이다. 상기 폴리싱 유닛(210)에 의해 연마 가공을 하기 위해 상기 척 테이블(140)은 연삭 가공 위치에서 연마 가공 위치로 수평 이동을 한다. The polishing unit 210 polishes the edges of the plate g after grinding of the edge of the plate g is finished. The chuck table 140 horizontally moves from the grinding process position to the abrasive machining position to perform the grinding process by the polishing unit 210.

상기 폴리싱 유닛(210)은 상기 그라인딩 유닛(150)의 구성과 비슷하여 연마 휠(211), 제5 구동모터(212) 및 제6 구동모터(213)를 포함한다. 상기 연마 휠(211)도 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전되며, 상기 플레이트(g)의 가장자리 부위와 접하면 마찰에 의해 상기 플레이트(g)의 가장자리 부위를 연마하는 것이다. 상기 연마 휠(211)은 상기 제5 구동모터(212) 및 상기 제6 구동모터(213)와 연결되어 있어, 상기 연마 휠(211)을 수평 이동 및 수직 이동시켜 상기 플레이트(g)의 위치에 맞도록 조정하는 역할을 하는 것이다. The polishing unit 210 is similar to that of the grinding unit 150 and includes a polishing wheel 211, a fifth driving motor 212 and a sixth driving motor 213. The grinding wheel 211 is also rotated in a clockwise or counterclockwise direction. When the grinding wheel 211 contacts the edge of the plate g, the edge of the plate g is polished by friction. The grinding wheel 211 is connected to the fifth driving motor 212 and the sixth driving motor 213 so that the grinding wheel 211 is horizontally moved and vertically moved to the position of the plate g It is the role that adjusts to fit.

따라서, 도 2에 도시된 상기 플레이트의 가장자리 가공장치(200)로는 상기 플레이트(g)의 가공 작업이 연삭에서 끝나지 않고 연마까지 완료되어야 상기 플레이트(g)의 가공 작업이 모두 완료되는 것이다. Therefore, in the edge machining apparatus 200 shown in FIG. 2, the machining operation of the plate g is not completed until grinding is completed without grinding.

상기 폴리싱 유닛(210)에 의해 상기 플레이트(g)의 연마 가공이 진행되는 동안 상기 척 테이블(140)이 상기 플레이트(g)의 가로 길이(d`) 또는 세로 길이(d)만큼 왕복 이동하는 것은 상기 그라인딩 유닛(150)에 의해 상기 플레이트(g)의 연삭 가공이 진행될 때와 동일하다. 또한, 상기 폴리싱 유닛(210)도 상기 그라인딩 유닛(150)과 마찬가지로 상기 척 테이블(140)을 기준으로 상호 이격되어 마주하는 한 쌍으로 구비되며, 상기 플레이트(g)가 다각형의 형상인 경우 상기 한 쌍의 폴리싱 유닛(210)이 동시에 작동되어 연마 가공을 진행하고, 상기 플레이트(g)가 원형의 형상인 경우 상기 한 쌍의 폴리싱 유닛(210) 중 어느 하나의 상기 폴리싱 유닛(210)만 작동되어 연마 가공을 진행하거나, 한 쌍의 폴리싱 유닛(210)이 모두 작동하여 연마 가공을 진행할 수도 있다.
The chuck table 140 reciprocates by the horizontal length d 'or the vertical length d of the plate g during the polishing process of the plate g by the polishing unit 210 Is the same as when the grinding process of the plate (g) is progressed by the grinding unit (150). The polishing unit 210 is also provided as a pair facing each other with respect to the chuck table 140 as in the case of the grinding unit 150. When the plate g has a polygonal shape, The pair of polishing units 210 are simultaneously operated to perform the polishing process and when the plate g is in a circular shape, only one of the polishing units 210 of the pair of polishing units 210 is operated The polishing process may be performed, or both of the polishing units 210 may be operated to perform the polishing process.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
While the present invention has been described with reference to exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the appended claims. Accordingly, the true scope of the present invention should be determined by the technical idea of the appended claims.

100, 200: 플레이트의 가장자리 가공장치
110: 인 카세트 120: 얼라인 유닛
130: 언로딩 유닛 140: 척 테이블
150: 그라인딩 유닛 160: 로딩 유닛
170: 아웃 카세트 100, 200: Edge machining device of the plate
110: In cassette 120: Align unit
130: Unloading unit 140: Chuck table
150: Grinding unit 160: Loading unit
170: Out cassette

Claims (15)

가장자리의 가공이 진행되며, 다각형 또는 원형의 형태로 형성되는 플레이트들이 복수 개 저장되어 있는 인카세트(in cassette)에서 상기 플레이트들 중 어느 하나의 상기 플레이트를 꺼내어 이동시키는 언로딩 유닛;
상기 언로딩 유닛에 의해 이동되어 안착된 상기 플레이트를 지지하고, 상기 플레이트의 가공 작업이 이루어지는 위치로 수평 이동하며 상기 가공 작업이 이루어지는 위치에서 설정 길이만큼 수평 왕복 이동하거나, 설정 각도 또는 360 회전하는 척 테이블;
상기 척 테이블에 안착되어 가공 작업이 이루어지는 위치로 이동된 상기 플레이트의 위치에 맞도록 수평 이동 및 수직 이동하며, 상기 플레이트의 가장자리를 가공하기 위하여 회전하되, 상기 플레이트를 기준으로 상호 이격되어 마주하는 한 쌍으로 구비되는 그라인딩 유닛; 및
상기 플레이트의 가장자리 가공이 완료되어 초기 위치로 복원한 상기 척 테이블에서 상기 플레이트를 아웃 카세트(out cassette)에 저장되도록 이동시키는 로딩 유닛을 포함하고,
상기 플레이트가 다각형이면, 상기 척 테이블이 상기 플레이트를 설정 각도 회전시켜서 상기 플레이트의 가장자리 중 가공되고자 하는 부분이 상기 그라인딩 유닛을 마주보도록 하고, 상기 한 쌍의 그라인딩 유닛이 상기 가공 작업이 이루어지는 위치에서 회전을 하는 동안, 상기 플레이트를 수평 왕복이동시키면서 상기 플레이트의 가장자리가 가공되고,
상기 플레이트가 원형이면, 상기 한 쌍의 그라인딩 유닛이 상기 가공 작업이 이루어지는 위치에서 회전을 하는 동안 상기 척 테이블이 360° 회전하면서 상기 플레이트의 가장자리가 가공되는 플레이트 가장자리 가공장치.An unloading unit for picking up and moving any one of the plates in an in cassette in which a plurality of plates formed in the form of a polygonal or circular shape are machined at an edge;
The plate being moved by the unloading unit and supported by the plate, horizontally moving to a position where the plate is machined, horizontally reciprocating by a set length at a position where the plate is machined, table;
The chuck table is horizontally moved and vertically moved to fit the position of the plate moved to the position where the chuck table is moved to perform a machining operation and rotates to process the edge of the plate, A pair of grinding units; And
And a loading unit for moving the plate so that the plate is stored in an out cassette in the chuck table,
The chuck table rotates the plate by a predetermined angle so that a part of the edge of the plate to be machined faces the grinding unit, and when the pair of grinding units rotates at the position where the machining operation is performed, The edge of the plate is processed while the plate is reciprocated horizontally,
Wherein the chuck table is rotated 360 degrees while the pair of grinding units rotate at a position where the machining operation is performed, if the plate is circular, so that the edge of the plate is machined. 삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 플레이트는 패널용 글라스 또는 웨이퍼인 플레이트의 가장자리 가공장치.The method according to claim 1,
Wherein the plate is a glass for a panel or a wafer-like plate. 청구항 1에 있어서,
상기 언로딩 유닛은,
본체;
상기 본체에 회전 가능하게 결합되어 상기 인 카세트에서 상기 척 테이블로 상기 플레이트를 이동시키는 언로딩 암;
상기 본체와 상기 언로딩 암 사이에 설치되어 상기 언로딩 암에 회전력을 전달하는 제1 회전모터; 및
상기 본체가 결합된 제1축에 연결되어, 상기 제1축을 통해 상기 본체를 수평 방향을 따라 전진 또는 후진 이동시키는 제1 구동모터를 포함하는 플레이트의 가장자리 가공장치.The method according to claim 1,
Wherein the unloading unit comprises:
main body;
An unloading arm rotatably coupled to the body to move the plate from the in-cassette to the chuck table;
A first rotation motor installed between the main body and the unloading arm to transmit rotational force to the unloading arm; And
And a first drive motor connected to the first shaft coupled with the main body to move the main body forward or backward along the horizontal direction through the first shaft. 청구항 4에 있어서,
상기 그라인딩 유닛은,
시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전되며, 상기 플레이트의 가장자리와 접하면 마찰에 의해 상기 플레이트의 가장자리를 연삭하는 연삭 휠;
상기 연삭 휠을 수평 방향으로 왕복 이동시키며, 상기 플레이트의 가장자리와 상기 연삭 휠이 접하는 위치로 상기 연삭 휠을 이동시키는 제2 구동모터; 및
상기 연삭 휠을 수직 방향으로 왕복 이동시키며, 상기 플레이트의 높이에 맞춰 상기 연삭 휠의 높이를 조절하는 제3 구동모터를 포함하는 플레이트의 가장자리 가공장치.The method of claim 4,
The grinding unit includes:
A grinding wheel which is rotated in a clockwise or counterclockwise direction and grinds the edge of the plate by abrasion in contact with an edge of the plate;
A second driving motor for reciprocating the grinding wheel horizontally and moving the grinding wheel to a position where the edge of the plate contacts the grinding wheel; And
And a third driving motor for reciprocating the grinding wheel in the vertical direction and adjusting the height of the grinding wheel according to the height of the plate. 청구항 1에 있어서,
상기 로딩 유닛은,
본체;
상기 본체에 회전 가능하게 결합되어 상기 가장자리 가공 작업이 끝난 상기 플레이트를 상기 척 테이블에서 상기 아웃 카세트로 이동시키는 로딩 암;
상기 본체와 상기 로딩 암 사이에 설치되어 상기 로딩 암에 회전력을 전달하는 제2 회전모터; 및
상기 본체가 결합된 제2축에 연결되어, 상기 제2축을 통해 상기 본체를 수평방향을 따라 전진 또는 후진 이동시키는 제4 구동모터를 포함하는 플레이트의 가장자리 가공장치.The method according to claim 1,
The loading unit includes:
main body;
A loading arm rotatably coupled to the main body to move the plate having the edge machining operation from the chuck table to the out cassette;
A second rotary motor installed between the main body and the loading arm to transmit rotational force to the loading arm; And
And a fourth drive motor connected to the second shaft coupled with the main body and moving the main body forward or backward along the horizontal direction through the second shaft. 청구항 1에 있어서,
상기 인 카세트와 상기 언로딩 유닛 사이에 상기 인 카세트에서 꺼낸 상기 플레이트의 위치를 얼라인을 조절하도록 구비되는 얼라인 유닛을 더 포함하는 플레이트의 가장자리 가공장치.The method according to claim 1,
Further comprising an aligning unit disposed between the in-cassette and the unloading unit to adjust the alignment of the plate taken out from the in-cassette. 청구항 7에 있어서,
상기 얼라인 유닛은,
상기 플레이트의 얼라인을 조절을 하기 위해 상기 플레이트가 안착되는 얼라인 스테이지; 및
상기 플레이트의 얼라인을 검사하는 검사부재를 포함하는 플레이트의 가장자리 가공장치.The method of claim 7,
The alignment unit includes:
An alignment stage on which the plate is seated to adjust an alignment of the plate; And
And an inspection member for inspecting the alignment of the plate. 청구항 1에 있어서,
상기 그라인딩 유닛에 의해 상기 플레이트의 가장자리 연삭 가공이 끝난 후, 상기 플레이트의 가장자리 연마 공정을 할 수 있도록 상기 그라인딩 유닛의 후방에 상기 척 테이블을 기준으로 상호 이격되어 마주하는 한 쌍으로 구비되는 폴리싱 유닛을 더 포함하는 플레이트의 가장자리 가공장치.The method according to claim 1,
A pair of polishing units facing each other on the chuck table at the rear of the grinding unit so as to be able to perform the edge polishing process of the plate after the edge grinding of the plate is finished by the grinding unit, Further comprising an edge processing device for the plate. 청구항 9에 있어서,
상기 폴리싱 유닛은,
시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전되며, 상기 플레이트의 가장자리와 접하면 마찰에 의해 상기 플레이트의 가장자리를 연마하는 연마 휠;
상기 연마 휠을 수평 방향으로 이동시키며, 상기 플레이트의 가장자리와 상기 연삭 휠이 접하는 위치로 상기 연삭 휠을 이동시키는 제5 구동모터; 및
상기 연마 휠을 수직 방향으로 왕복 이동시키며, 상기 플레이트의 높이에 맞춰 상기 연마 휠의 높이를 조절하는 제6 구동모터를 포함하는 플레이트의 가장자리 가공장치.The method of claim 9,
The polishing unit includes:
A polishing wheel which is rotated in a clockwise or counterclockwise direction and abrades an edge of the plate by friction when the edge of the plate contacts with the edge of the plate;
A fifth driving motor for moving the grinding wheel in a horizontal direction and moving the grinding wheel to a position where the edge of the plate contacts the grinding wheel; And
And a sixth drive motor for reciprocating the grinding wheel in the vertical direction and adjusting the height of the grinding wheel in accordance with the height of the plate. 복수 개의 다각형 또는 원형의 형태로 형성되는 플레이트들이 저장되어 있는 인 카세트에서 어느 하나의 상기 플레이트를 언로딩 유닛으로 이동시켜 상기 플레이트를 지지하는 척 테이블 상에 안착시키는 단계;
상기 플레이트가 안착된 상기 척 테이블이 상기 플레이트의 가공 작업이 이루어지는 위치로 수평 이동하는 단계;
상기 척 테이블을 기준으로 상호 이격되어 마주하는 한 쌍의 그라인딩 유닛이 상기 플레이트의 가장자리와 접하는 위치로 이동하여 상기 플레이트의 가장자리를 가공하는 단계;
가공이 완료된 상기 플레이트가 안착된 상기 척 테이블이 초기 위치로 이동하는 단계; 및
언로딩 유닛으로 상기 척 테이블에 안착된 상기 플레이트를, 가공이 완료된 상기 플레이트를 복수 개 저장하는 아웃 카세트로 이동시키는 단계를 포함하며,
상기 플레이트의 가장자리를 가공하는 단계에서는,
상기 플레이트가 다각형이면, 상기 척 테이블이 상기 플레이트를 설정 각도 회전시켜서 상기 플레이트의 가장자리 중 가공되고자 하는 부분이 상기 그라인딩 유닛을 마주보도록 하고, 상기 한 쌍의 그라인딩 유닛이 상기 가공 작업이 이루어지는 위치에서 회전을 하는 동안, 상기 플레이트를 수평 왕복이동 시키면서 상기 플레이트의 가장자리가 가공되고,
상기 플레이트가 원형이면, 상기 한 쌍의 그라인딩 유닛이 상기 가공 작업이 이루어지는 위치에서 회전을 하는 동안 상기 척 테이블이 360° 회전하면서 상기 플레이트의 가장자리가 가공되는 플레이트의 가장자리 가공방법.Moving one of the plates to an unloading unit and placing the plate on a chuck table supporting the plate in an in-cassette storing plates formed in a plurality of polygonal or circular shapes;
Moving the chuck table on which the plate is placed horizontally to a position where a machining operation of the plate is performed;
Moving a pair of grinding units facing each other with respect to the chuck table to a position where the pair of grinding units are in contact with the edge of the plate, thereby processing the edge of the plate;
Moving the chuck table on which the machined plate is placed to an initial position; And
Moving the plate seated on the chuck table as an unloading unit to an out-cassette storing a plurality of processed plates,
In the step of machining the edge of the plate,
The chuck table rotates the plate by a predetermined angle so that a part of the edge of the plate to be machined faces the grinding unit, and when the pair of grinding units rotates at the position where the machining operation is performed, The edge of the plate is processed while the plate is reciprocated horizontally,
Wherein the chuck table is rotated 360 degrees while the pair of grinding units rotate at a position where the machining operation is performed, if the plate is circular, so that the edge of the plate is machined. 청구항 11에 있어서,
상기 척 테이블 상에 안착시키는 단계가 이루어지기 전,
상기 인 카세트와 상기 척 테이블 사이에 구비된 얼라인 유닛을 통해 상기 플레이트의 얼라인을 조절하는 단계를 더 포함하는 플레이트의 가장자리 가공방법.The method of claim 11,
Before the step of seating on the chuck table is performed,
And adjusting the alignment of the plate through an aligning unit provided between the chuck table and the draw cassette. 청구항 11에 있어서,
상기 플레이트의 가장자리를 가공하는 단계에서,
상기 한 쌍의 그라인딩 유닛이 모두 작동되거나, 또는 상기 한 쌍의 그라인딩 유닛 중 어느 하나의 그라인딩 유닛만 작동되는 플레이트의 가장자리 가공방법.The method of claim 11,
In the step of machining the edge of the plate,
Wherein either one of the pair of grinding units is operated, or only one of the pair of grinding units is operated. 청구항 11에 있어서,
상기 플레이트의 가장자리를 가공하는 단계에서는 상기 그라인딩 유닛이 상기 플레이트의 가장자리를 연삭 가공하는 플레이트의 가장자리 가공방법.The method of claim 11,
Wherein the grinding unit grinds the edge of the plate in the step of machining the edge of the plate. 청구항 14에 있어서,
상기 그라인딩 유닛의 후방에는 상기 척 테이블을 기준으로 상호 이격되어 마주하는 한 쌍의 폴리싱 유닛을 더 포함하며,
상기 플레이트의 가장자리를 가공하는 단계 끝나고, 상기 척 테이블이 초기 위치로 이동하는 단계가 이루어지기 전,
상기 한 쌍이 폴리싱 유닛을 이용하여 상기 플레이트의 가장자리를 연마 가공하는 단계를 더 포함하는 플레이트의 가장자리 가공방법.15. The method of claim 14,
Further comprising a pair of polishing units spaced apart from each other with respect to the chuck table at the rear of the grinding unit,
After the step of machining the edge of the plate and before the chuck table is moved to the initial position,
Further comprising grinding the edge of the plate using the pair of polishing units.
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