KR101392820B1 - Drying apparatus using deionized hot water - Google Patents

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KR101392820B1
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김정인
이희명
서동원
황봉길
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주식회사 듀라소닉
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    • H01L21/67034—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for drying

Abstract

A pure hot water drying device is disclosed. The pure hot water drying device according to the present invention comprises; a water tank in which pure hot water is stored; a partition which divides the inner side of the water tank into a drying section for receiving water to be cleaned and a non-drying section which does not receives the water to be cleaned; and a circulation line in which one end is connected to the water tank at the drying section and forms an outlet, and the other end is connected to the water tank at the non-drying section and forms an inlet. The pure hot water passes through the inner side of the circulation line. The pure hot water drying device comprises; a pump which is formed on the circulation line and pressurizes the pure hot water; and a bubble producing unit which is formed on the circulation line and prevents a part of the pure hot water flow to form bubbles on the pure hot water. According to the present invention, the pure hot water of the drying section passes through the non-drying section through the circulation line and bubbles are formed by the bubble producing unit. The bubbles are collected in the non-drying section which does not receive the water to be cleaned and are discharged. Therefore, dissolved gas is reduced significantly in the drying section which receives the water to be cleaned. It is prevented that the bubbles are generated on the surface of the water to be cleaned. A drying failure caused by the bubbles can be prevented.

Description

온순수 건조장치{DRYING APPARATUS USING DEIONIZED HOT WATER}[0001] DRYING APPARATUS USING DEIONIZED HOT WATER [0002]

본 발명은 온순수 건조장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 반도체 디바이스, 렌즈, 글라스와 같은 피세정물을 순수를 이용하여 건조시키는 온순수 건조장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a hot pure water drying apparatus, and more particularly, to a hot pure water drying apparatus for drying an object to be cleaned such as a semiconductor device, a lens and a glass by using pure water.

세정 공정이 완료된 웨이퍼(wafer) 또는 마스크(mask) 등과 같은 반도체 디바이스(semiconductor device)를 소정 온도로 가열된 순수(탈이온수, deionized water)에 완전히 담근 상태에서 일정한 속도와 시간을 유지하면서 순수의 수면 밖으로 반도체 디바이스를 끌어올리면서 건조시키거나, 탈이온수를 반도체 디바이스보다 낮은 위치에서 외부로 배출하여 반도체 디바이스를 건조시키는, 순수를 이용한 반도체 디바이스 건조 방법이 사용되고 있다.A semiconductor device such as a wafer or mask which has been cleaned is completely immersed in pure water heated to a predetermined temperature (deionized water) There is used a method of drying a semiconductor device using pure water which dries the semiconductor device while pulling it out, or discharges deionized water from the semiconductor device to the outside to dry the semiconductor device.

즉, 반도체 제조시 사용되는 마스크 및 웨이퍼, LCD 등의 제조를 위한 글라스, 렌즈 등과 같은 피세척물의 건조를 위하여, 단일 또는 여러 단계의 세척과 린스를 수행하고 온순수(deionized hot water)에 의해 피세척물의 온도를 올린 후 열풍건조나 진공건조를 통해 건조를 하고 있으며, 피세척물을 수조에 담근 후 일정시간 유지 후 서서히 끌어올려 물의 표면장력에 의해 건조와 린스를 동시에 수행하도록 하고 있다.That is, in order to dry the objects to be washed such as glasses, lenses and the like for manufacturing masks and wafers used for manufacturing semiconductors, and the like, single or multiple stages of washing and rinsing are performed and deionized water After the temperature of the washing water is raised, drying is carried out by hot air drying or vacuum drying. After the soaked water is immersed in the water tank for a certain period of time, the water is gradually drawn up and dried and rinsed simultaneously by the surface tension of the water.

이와 관련하여 한국등록특허 제10-1134526호는 "기판 건조장치 및 기판 건조방법"을 개시하며, 구체적으로 고온의 순수로 세척과 건조를 동시에 수행하는 인상 건조 방법으로 1차 건조를 수행함에 연이어 IR 히팅 등으로 2차 건조를 수행하여 기판과 카세트를 완벽하게 세척 및 건조할 수 있는 기판 건조장치 및 기판 건조방법에 관한 것으로서, 순수가 일정한 온도로 가열한 상태로 채워져 있는 온순수 탱크; 다수장의 기판이 기립된 상태로 수납되는 카세트; 카세트에 수납된 기판이 완전히 온순수에 잠기도록 카세트를 온순수 탱크 내로 하강시키고, 카세트가 완전히 대기에 노출되도록 들어올리는 카세트 승강수단; 온순수 탱크에 구비되며, 온순수 탱크 내에 온순수를 연속적으로 공급하여 온순수 탱크에서 온순수의 오버 플로우(over flow) 상태가 유지되도록 하는 오버플로우 수단; 카세트의 하강동작 및 하강 상태에서의 정지 동작 중에는 오버플로우 수단을 가동시키고, 카세트의 상승 동작 및 상승상태에서의 정지 동작 중에는 오버플로우 수단의 가동을 중지시키며, 카세트의 상승 동작시 상기 카세트의 상승 속도가 1 ~ 600 mm/min가 되도록 카세트 승강수단을 제어하는 제어수단; 온순수 탱크에 인접하게 설치되며, 카세트 및 수납된 기판의 수분을 제거하는 2차 건조 수단;을 포함하도록 하고, 이에 의하면 기판을 고온의 온순수 속에서 끌어올리면서 1차 건조가 이루어지므로, 건조 과정에서 기판 표면에 파티클이 묻는 현상이 발생하지 않으며, 1차적으로 온순수 인상 건조가 마무리된 후 즉시 카세트 또는 기판에 남아 있는 수분을 2차 건조하게 되므로 건조 시간이 단축되고, 건조 과정에서 기판이 재오염되지 않음을 기재하고 있다.Korean Patent No. 10-1134526 discloses a " substrate drying apparatus and method for drying a substrate ", and specifically, a primary drying is performed by an impression-drying method in which washing and drying are simultaneously performed at high temperature and pure water, The present invention relates to a substrate drying apparatus and a substrate drying method capable of performing a secondary drying operation by heating or the like to completely clean and dry a substrate and a cassette, the method comprising: a pure water tank filled with pure water heated to a predetermined temperature; A cassette in which a plurality of substrates are stored in a standing state; Cassette lifting means for lowering the cassette into the pure pure water tank so that the substrate housed in the cassette is completely immersed in pure pure water, and lifting the cassette to be completely exposed to the atmosphere; An overflow means provided in the hot pure water tank for continuously supplying pure water into the hot pure water tank to maintain the overflow state of the pure water from the pure water tank; The overflow means is operated during the lowering operation of the cassette and the stopping operation in the lowering state and the operation of the overflow means is stopped during the raising operation of the cassette and the stopping operation in the raising state, Is in the range of 1 to 600 mm / min; And a secondary drying means provided adjacent to the hot pure water tank for removing moisture from the cassette and the stored substrate, and the substrate is firstly dried by pulling up the substrate in hot, pure water, The drying time is shortened because the particles remaining on the cassette or the substrate are dried immediately after the pure impression and drying process is finished first and the substrate is not dried during the drying process, It is not re-contaminated.

이처럼, 온순수를 이용한 건조방법은 알코올 등의 유기용제에서 나타나는 렌즈나 글라스 등의 피세척물의 표면상태의 변화를 최소화할 수 있고 친환경적인 건조방법으로서 산업용 세척방법으로 널리 사용되고 있다.As described above, the drying method using pure water can minimize the change in the surface state of the objects to be cleaned, such as lenses and glasses, which appear in organic solvents such as alcohol, and is widely used as an industrial cleaning method as an environmentally friendly drying method.

그러나 한국등록특허 제10-1134526호에서 개시되는 건조방법을 포함하여 종래의 건조방법에 의할 경우, 가열된 순수에 기포가 많이 함유되어 있어 물속에서 피세척물을 올릴 때 피세척물에 묻은 기포가 수조 상단의 표면 근처에서 터짐으로써 공기 중의 이물질에 의해 세척대상물에 워터마크 등의 건조불량이 발생하는 문제점이 나타나고 있다. 또한, 피세척물에 잔류하는 이물질의 제거가 기포에 의해 잘 제거되지 못하여 열풍건조 후 건조불량이 발생할 소지가 있게 된다.However, according to the conventional drying method including the drying method disclosed in Korean Patent No. 10-1134526, since the heated pure water contains a large amount of air bubbles, the air bubbles A problem is that a drying defect such as a watermark is generated in the object to be cleaned due to foreign substances in the air. In addition, since the removal of the foreign matter remaining in the object to be washed can not be well removed by the bubbles, drying failure may occur after the hot air is dried.

(0001) 대한민국등록특허 제10-1134526호(공고일: 2012.04.13)(0001) Korean Patent No. 10-1134526 (Published on April 14, 2012)

본 발명의 목적은, 수조 내에서 히터에 의해 생성되는 기포를 제거하여 수조의 표면에서 기포가 생성되지 않도록 하여 표면에서 일어나는 기포에 의한 건조불량을 차단할 수 있는 온순수 건조장치를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a hot pure water drying apparatus capable of preventing bubbles from being generated on the surface of a water tank by removing bubbles generated by a heater in a water tank, thereby preventing drying defects due to bubbles occurring on the surface.

상기 목적은, 온순수가 저장되는 수조; 상기 수조 내부에서 피세정물이 수용되는 건조구역과 상기 피세정물이 수용되지 않는 비건조구역으로 구분하는 격벽; 일단이 상기 건조구역 쪽에서 상기 수조에 연결되어 배출구가 형성되고, 타단이 상기 비건조구역 쪽에서 상기 수조에 연결되어 유입구가 형성되며, 내부에서 온순수가 흐르도록 이루어지는 순환라인; 상기 순환라인 상에 형성되어 온순수를 가압하는 펌프; 상기 순환라인 상에 형성되어 온순수에 기포가 형성되도록 온순수 흐름의 일부를 차단하는 기포생성유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 온순수 건조장치에 의해 달성된다.The above-mentioned object is achieved by a water treatment system comprising: a water tank in which warm water is stored; A partition wall dividing into a drying zone in which the object to be cleaned is received in the water tank and a non-drying zone in which the object to be cleaned is not received; A circulation line in which one end is connected to the water tank at the one end of the drying zone to form an outlet port and the other end is connected to the water tank at the non-drying zone to form an inlet port; A pump for pressurizing pure water formed on the circulation line; And a bubble generating unit for blocking a part of the pure water flow which has been generated so as to form bubbles in the pure water formed on the circulation line.

그리고 상기 유입구는 상기 격벽의 하단보다 높게 형성될 수 있다.The inlet may be formed higher than the lower end of the partition.

또한 상기 수조 내부로 온순수를 공급하는 공급라인을 더 포함하고, 상기 공급라인은 상기 비건조구역 쪽에서 상기 수조에 연결될 수 있다.The apparatus may further include a supply line for supplying pure water into the water tank, and the supply line may be connected to the water tank on the non-drying zone side.

나아가 상기 건조구역과 비건조구역이 아래쪽에서만 서로 연통되도록, 상기 격벽의 상단은 상기 수조의 상단보다 높게 형성되고 상기 격벽 하단의 전부 또는 일부는 상기 수조의 바닥에서 이격될 수 있다.Further, the upper end of the partition wall may be formed higher than the upper end of the water tank, and all or a part of the lower end of the partition may be spaced apart from the bottom of the water tank, so that the drying zone and the non-drying zone communicate only with each other.

본 발명에 따른 온순수 건조장치에서, 상기 기포생성유닛은, 바디; 및 상기 바디에서 온순수 흐름방향으로 관통형성된 다수의 관통공을 포함하여 이루어지고, 상기 관통공의 단면적의 합은 상기 순환라인의 단면적보다 작게 이루어질 수 있다.In the hot pure water drying apparatus according to the present invention, the bubble generating unit includes: a body; And a plurality of through holes formed through the body in a pure water flow direction, wherein a sum of cross sectional areas of the through holes is smaller than a cross sectional area of the circulation line.

여기서 상기 기포생성유닛은, 상기 관통공의 일부를 막도록 상기 바디에 결합되는 차단띠를 더 포함할 수 있다.The bubble generating unit may further include a blocking band coupled to the body to block a portion of the through-hole.

그리고 다수의 상기 관통공은 상기 바디에서 원형으로 배열되고, 상기 차단띠는 원형으로 형성되어 다수의 상기 관통공의 중앙을 가로지르도록 상기 바디에 결합될 수 있다.The plurality of through holes may be arranged in a circular shape in the body, and the blocking band may be formed in a circular shape and may be coupled to the body to cross the center of the plurality of through holes.

본 발명에 의하면, 순환라인을 통하여 건조구역의 온순수가 비건조구역으로 흐르도록 하면서 기포생성유닛에 의해 기포가 생성되도록 함으로써, 피세정물이 수용되지 않는 비건조구역 쪽에서는 기포가 모여 배출되도록 하면서 피세정물이 수용되는 건조구역에서의 용존가스를 현저히 줄일 수 있게 되어, 피세척물의 표면에는 기포가 발생되는 것을 방지할 수 있고 이에 따라 기포에 따른 건조불량을 차단할 수 있다. According to the present invention, since bubbles are generated by the bubble generating unit while allowing the gentle water of the drying zone to flow through the circulation line to the non-drying zone, bubbles are collected and discharged from the non- It is possible to remarkably reduce the dissolved gas in the drying zone in which the object to be cleaned is contained, thereby preventing the generation of air bubbles on the surface of the object to be cleaned, thereby preventing the drying failure due to air bubbles.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 온순수 건조장치를 개략적으로 도시한 도면,
도 2는 본 발명에 따른 기포생성유닛을 도시한 사시도,
도 3은 도 2에 도시된 기포생성유닛이 순환라인 상에 결합된 상태를 도시한 단면도이다.1 is a schematic view of a hot pure water drying apparatus according to an embodiment of the present invention,
2 is a perspective view showing a bubble generating unit according to the present invention,
Fig. 3 is a cross-sectional view showing the state in which the bubble producing unit shown in Fig. 2 is coupled onto the circulation line.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세하게 설명하면 다음과 같다. 다만, 본 발명을 설명함에 있어서, 이미 공지된 기능 혹은 구성에 대한 설명은, 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략하기로 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the following description of the present invention, the well-known functions or constructions are not described in order to simplify the gist of the present invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 온순수 건조장치(1)를 개략적으로 도시한 도면이다.1 is a view schematically showing a hot pure water drying apparatus 1 according to an embodiment of the present invention.

본 발명에 따른 온순수 건조장치(1)는 순수(탈이온수, deionized water)를 이용한 건조장치이며, 가열된 순수(온순수)에 반도체 제조시 사용되는 마스크 및 웨이퍼, LCD 등의 제조를 위한 글라스, 렌즈 등과 같은 피세척물을 담근 후 인출하여 건조와 린스가 동시에 이루어지도록 하는 건조장치이다.The apparatus for drying pure water 1 according to the present invention is a drying apparatus using pure water (deionized water). The drying apparatus 1 includes a mask for use in manufacturing semiconductors, a glass for manufacturing wafers and LCDs, , A lens, and the like, and then draws and draws and rinses simultaneously.

이를 위하여 본 발명에 따른 온순수 건조장치(1)는 수조(10), 격벽(20), 순환라인(30), 펌프(40) 및 기포생성유닛(50)을 포함하여 이루어진다. 또한 온순수 건조장치(1)는 공급라인(70)을 더 포함하여 이루어진다.The apparatus for drying pure water according to the present invention comprises a water tank 10, a partition 20, a circulation line 30, a pump 40 and a bubble generating unit 50. The on-line pure water drying apparatus 1 further comprises a supply line 70.

수조(10)는 내부에 온순수가 저장되며 상측으로 개구된 용기형태로 이루어진다.The water tank 10 has a container shape in which gentle water is stored therein and is opened upward.

수조(10) 내부에는 온순수가 가득 차게 되고, 수조(10) 상단 테두리에는 수조(10)에서 넘치는 온순수가 저장되는 물받이(60)가 형성된다. The water tray 10 is filled with gentle water and the water tray 60 is formed at the upper edge of the water tray 10 to store the gentle water overflowing from the water tray 10.

격벽(20)은 수조(10) 내부의 공간을 건조구역(11)과 비건조구역(12)으로 나누되, 건조구역(11)과 비건조구역(12)이 완전히 분리되도록 나누는 것은 아니고 건조구역(11)과 비건조구역(12)의 하단 부분은 서로 연통되도록 수조(10) 내부의 공간을 구획한다. The partition 20 divides the space inside the water tub 10 into a drying zone 11 and a non-drying zone 12 and is not divided into a complete separation of the drying zone 11 and the non-drying zone 12, The space inside the water tub 10 is partitioned so that the lower end portions of the non-drying zone 11 and the lower end portions of the non-drying zone 12 communicate with each other.

즉, 격벽(20)의 상단은 바스켓의 상단보다 높게 형성되어 격벽(20)의 위쪽을 통해 건조구역(11)과 비건조구역(12)의 온순수가 서로 이동할 수는 없도록 이루어지고, 격벽(20)의 하단의 전부 또는 일부는 수조(10)의 바닥에서 이격되어 수조(10) 내부에서의 온순수가 격벽(20)의 하단 아래쪽을 통하여 이동할 수 있도록 이루어진다.That is, the upper end of the partition 20 is formed to be higher than the upper end of the basket so that the number of warmths of the drying zone 11 and the non-drying zone 12 can not move through the upper portion of the partition 20, Are separated from the bottom of the water tank 10 so that the gentle water in the water tank 10 can be moved through the lower end of the partition 20.

건조구역(11)은 수조(10) 내부에서 피세정물(G)이 수용되는 공간으로서 비교적 넓게 형성되고, 비건조구역(12)은 수조(10) 내부에서 피세정물(G)이 수용되지 않는 공간으로서 건조구역(11)에 비하여 좁게 형성되며, 건조구역(11)과 비건조구역(12)에는 모두 온순수가 채워진다. 건조구역(11)에서 피세척물을 수조(10)에 담근 후 일정시간 유지 후 서서히 끌어올려 온순수의 표면장력에 의해 피세척물의 건조와 린스를 동시에 수행할 수 있다.The drying zone 11 is formed relatively wide as a space for accommodating the object G to be cleaned in the water bath 10 and the non-drying zone 12 is formed in the water bath 10, The drying zone 11 and the non-drying zone 12 are both filled with gentle tap water. It is possible to simultaneously dry and rinse the objects to be washed by the surface tension of the pure water which has been immersed in the water tank 10 in the drying zone 11 and then slowly raised for a certain period of time.

순환라인(30)은 건조구역(11)과 비건조구역(12)을 서로 연결하며, 배관 형태로 이루어져 건조구역(11)에서의 온순수가 순환라인(30)을 거쳐 비건조구역(12)으로 이동할 수 있도록 이루어진다.The circulation line 30 connects the drying zone 11 and the non-drying zone 12 to each other and is in the form of a pipe so that the gentle water in the drying zone 11 passes through the circulation line 30 to the non- To be moved.

순환라인(30)에서 건조구역(11) 쪽에 연결되는 배출구(31)는 건조구역(11)의 아래쪽에 치우쳐 연결되고, 순환라인(30)에서 비건조구역(12) 쪽에 연결되는 유입구(32)는 격벽(20)의 하단보다 높은 위치에서 비건조구역(12)에 연결된다.The discharge port 31 connected to the drying zone 11 side in the circulation line 30 is biased to the lower side of the drying zone 11 and connected to the inlet port 32 connected to the non-drying zone 12 side in the circulation line 30. [ Is connected to the non-drying zone (12) at a position higher than the lower end of the partition (20).

펌프(40)는 순환라인(30) 상에서 결합되어, 건조구역(11) 쪽의 온순수가 비건조구역(12) 쪽으로 이동하도록 순환라인(30) 내부의 온순수를 가압한다.The pump 40 is coupled on the circulation line 30 to pressurize the hot pure water in the circulation line 30 so that the gentle water on the side of the drying zone 11 moves toward the non-

공급라인(70)은 수조(10) 내부로 온순수가 공급되는 통로이며, 비건조구역(12) 쪽에서 수조(10)에 결합되어 공급라인(70)을 통해 공급되는 온순수가 비건조구역(12)으로 유입되도록 한다. The supply line 70 is a passage through which the gentle water is supplied into the water tank 10. The gentle water that is connected to the water tank 10 at the side of the non-drying zone 12 and supplied through the supply line 70, .

공급라인(70) 상에는 순수의 가열을 위하여 히터(80)가 결합된다.On the supply line 70, a heater 80 is coupled for pure water heating.

기포생성유닛(50)은 순환라인(30) 상에 형성되어 온순수에 기포가 형성되도록 온순수 흐름의 일부를 차단하도록 이루어진다. 즉, 기포생성유닛(50)을 거치는 온순수의 속도가 빨라지도록 하여 온순수에서 압력저하가 발생되며, 이에 의하여 온순수 중에 기포가 발생되도록 한다. 기포생성유닛(50)은 펌프(40)의 앞쪽 또는 뒤쪽에 형성될 수 있다.The bubble generating unit 50 is configured to block a part of the pure water flow which has been formed on the circulation line 30 so that bubbles are formed in the pure water. That is, the pressure of the pure water passing through the bubble generating unit 50 is increased so that the pressure is lowered in the pure water, thereby causing the bubbles to be generated in the warm pure water. The bubble generating unit 50 may be formed in front of or behind the pump 40.

상술한 바와 같이 본 발명에 따른 온순수 건조장치(1)에서는, 공급라인(70)을 통하여 온순수가 비건조구역(12)으로 유입되고, 격벽(20)의 하단을 통하여 온순수가 이동하여 수조(10)의 건조구역(11)과 비건조구역(12)에는 모두 온순수가 가득 차게 된다.As described above, according to the present invention, the warm water is introduced into the non-drying zone 12 through the supply line 70, Drying zone 11 and the non-drying zone 12 of the washing machine 10 are filled with gentle water.

공급라인(70)을 통하여 온순수의 공급이 계속되는 경우, 수조(10) 내부의 온순수는 흘러넘쳐 물받이(60) 쪽으로 이동하며, 물받이(60)로 이동된 온순수는 이물질(particle)을 포함하게 되는데, 이렇게 물받이(60) 쪽으로 이동되는 물은 배수되거나 필터 등을 이용하여 이물질이 걸러진 후 다시 사용될 수 있다.When the supply of pure water through the supply line 70 is continued, the hot pure water in the water tank 10 overflows to the water receptacle 60, and the hot pure water transferred to the water receptacle 60 contains particles The water that is moved toward the water receiver 60 may be drained or used again after the foreign matter is filtered using a filter or the like.

순환라인(30) 상에 형성된 펌프(40)가 작동하면 건조구역(11) 내부의 온순수는 순환라인(30)을 거쳐 비건조구역(12) 쪽으로 이동하며, 이러한 온순수가 기포생성유닛(50)을 거치면서 다수의 기포가 발생된다. When the pump 40 formed on the circulation line 30 is operated, the hot pure water in the drying zone 11 moves to the non-drying zone 12 via the circulation line 30, A plurality of bubbles are generated.

기포생성유닛(50)에 의해 생성된 기포(B)는 비건조구역(12) 내부에서 히터(80)에 의해 생성된 기포와 함께 위로 상승하여 수조(10) 밖으로 배출되며, 펌프(40)의 작동이 계속되는 경우 비건조구역(12) 쪽에 부유성 기포가 다량형성되고 건조구역(11) 쪽의 용존산소가 감소하게 된다.The bubbles B generated by the bubble generating unit 50 rise upward together with the bubbles generated by the heater 80 inside the non-drying zone 12 and are discharged out of the water tank 10, If the operation is continued, a large amount of floating bubbles is formed on the non-drying zone (12) side and dissolved oxygen on the drying zone (11) side is decreased.

즉, 펌프(40) 및 기포생성유닛(50)의 작용이 계속되는 경우, 건조구역(11) 내부의 용존산소는 제거되고 기포형성이 억제되게 된다.That is, when the operation of the pump 40 and the bubble generating unit 50 continues, dissolved oxygen in the drying zone 11 is removed and bubble formation is suppressed.

아래의 표 1은 본 발명에 따른 온순수 건조장치(1)에서 시간의 경과에 따라 건조구역(11)에서의 용존산소량(DO) 변화를 측정한 결과이다.Table 1 below shows the results of measuring the change in the dissolved oxygen amount (DO) in the drying zone 11 with the lapse of time in the hot pure drying apparatus 1 according to the present invention.

유량: 10 liter/minFlow rate: 10 liter / min 측정시간Measuring time DO(ppm)DO (ppm) 초기Early 7.97.9 10분10 minutes 5.035.03 20분20 minutes 3.983.98 30분30 minutes 3.53.5

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 온순수 건조장치(1)에 의하면, 순환라인(30)을 통하여 건조구역(11)의 온순수가 비건조구역(12)으로 흐르도록 하면서 기포생성유닛(50)에 의해 기포(B)가 생성되도록 함으로써, 피세정물(G)이 수용되지 않는 비건조구역(12) 쪽에서는 기포(B)가 모여 배출되도록 하면서 피세정물(G)이 수용되는 건조구역(11)에서의 용존가스를 현저히 줄일 수 있게 되어, 건조구역(11)에서 피세척물의 표면에 기포가 발생되는 것을 방지할 수 있고 이에 따라 기포에 따른 건조불량을 차단할 수 있게 된다. As described above, according to the present invention, since the bubble generating unit 50 is arranged in such a manner that the warm water of the drying zone 11 flows into the non-drying zone 12 through the circulation line 30, Drying zone 12 in which the object G to be cleaned is accommodated is formed at the side of the non-drying zone 12 where the object G is accommodated 11 can be significantly reduced, so that it is possible to prevent the generation of air bubbles on the surface of the object to be washed in the drying zone 11, thereby preventing the drying failure due to air bubbles.

또한, 공급라인(70)을 비건조구역(12) 쪽에 연결되도록 함으로써, 초기 수조(10)로 유입되는 가열된 온순수에서의 기포 발생이 건조구역(11)보다는 비건조구역(12)에서 이루어지도록 하여 건조구역(11)에서의 기포발생을 더욱 줄일 수 있게 된다.The supply line 70 is connected to the non-drying zone 12 so that bubbles in the heated hot pure water flowing into the initial water tank 10 are generated in the non-drying zone 12 rather than the drying zone 11 So that the generation of bubbles in the drying zone 11 can be further reduced.

1 : 온순수 건조장치 10 : 수조
11 : 건조구역 12 : 비건조구역
20 : 격벽 30 : 순환라인
31 : 배출구 32 : 유입구
40 : 펌프 50 : 기포생성유닛
51 : 바디 52 : 관통공
53 : 차단띠 60 : 물받이
70 : 공급라인 80 : 히터
G : 피세정물1: On-Pure Drying Device 10: Water Tank
11: Drying area 12: Non-drying area
20: partition wall 30: circulation line
31: outlet 32: inlet
40: pump 50: bubble generating unit
51: Body 52: Through-hole
53: blocking band 60: water tray
70: supply line 80: heater
G: The object to be cleaned

Claims (7)

온순수가 저장되는 수조;
상기 수조 내부에서 피세정물이 수용되는 건조구역과 상기 피세정물이 수용되지 않는 비건조구역으로 구분하는 격벽;
일단이 상기 건조구역 쪽에서 상기 수조에 연결되어 배출구가 형성되고, 타단이 상기 비건조구역 쪽에서 상기 수조에 연결되어 유입구가 형성되며, 내부에서 온순수가 흐르도록 이루어지는 순환라인;
상기 순환라인 상에 형성되어 온순수를 가압하는 펌프;
상기 순환라인 상에 형성되어 온순수에 기포가 형성되도록 온순수 흐름의 일부를 차단하는 기포생성유닛; 및
상기 수조 내부로 온순수를 공급하는 공급라인을 포함하고,
상기 공급라인은 상기 비건조구역 쪽에서 상기 수조에 연결되는 것을 특징으로 하는 온순수 건조장치.A water tank in which warm water is stored;
A partition wall dividing into a drying zone in which the object to be cleaned is received in the water tank and a non-drying zone in which the object to be cleaned is not received;
A circulation line in which one end is connected to the water tank at the one end of the drying zone to form an outlet port and the other end is connected to the water tank at the non-drying zone to form an inlet port;
A pump for pressurizing pure water formed on the circulation line;
A bubble generating unit for blocking a part of the pure water flow which has been formed on the circulation line so that bubbles are formed in the purified water; And
And a supply line for supplying pure water into the water tank,
Wherein the supply line is connected to the water tank at the non-drying zone side. 제1항에 있어서,
상기 유입구는 상기 격벽의 하단보다 높게 형성되는 것을 특징으로 하는 온순수 건조장치.The method according to claim 1,
Wherein the inlet port is formed higher than the lower end of the partition wall. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 건조구역과 비건조구역이 아래쪽에서만 서로 연통되도록, 상기 격벽의 상단은 상기 수조의 상단보다 높게 형성되고 상기 격벽 하단의 전부 또는 일부는 상기 수조의 바닥에서 이격되는 것을 특징으로 하는 온순수 건조장치.The method according to claim 1,
Characterized in that the upper end of the partition wall is formed higher than the upper end of the water tank and all or a part of the lower end of the partition is separated from the bottom of the water tank so that the drying zone and the non- . 제1항, 제2항 및 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 기포생성유닛은,
바디; 및
상기 바디에서 온순수 흐름방향으로 관통형성된 다수의 관통공을 포함하여 이루어지고,
상기 관통공의 단면적의 합은 상기 순환라인의 단면적보다 작은 것을 특징으로 하는 온순수 건조장치.The method according to any one of claims 1, 2, and 4,
The bubble generating unit includes:
body; And
And a plurality of through holes formed through the body in a pure water flow direction,
And the sum of the cross-sectional areas of the through-holes is smaller than the cross-sectional area of the circulation line. 제5항에 있어서,
상기 기포생성유닛은,
상기 관통공의 일부를 막도록 상기 바디에 결합되는 차단띠를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 온순수 건조장치.6. The method of claim 5,
The bubble generating unit includes:
And a blocking band coupled to the body to block a portion of the through-hole. 제6항에 있어서,
다수의 상기 관통공은 상기 바디에서 원형으로 배열되고,
상기 차단띠는 원형으로 형성되어 다수의 상기 관통공의 중앙을 가로지르도록 상기 바디에 결합되는 것을 특징으로 하는 온순수 건조장치.The method according to claim 6,
Wherein a plurality of said through holes are arranged in a circle in said body,
Wherein the blocking band is formed in a circular shape and is coupled to the body so as to cross the center of the plurality of through holes.
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