KR101380719B1 - 분리막 투과증발을 이용한 불산폐액 농축장치 및 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 분리막 투과증발을 이용한 불산폐액 농축장치 및 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 불산폐액을 수용하는 탱크; 상기 탱크에 수용된 불산폐액을 투과증발막 모듈로 공급하는 공급라인; 상기 탱크로부터 공급받은 불산폐액을 필터링함으로써 수분을 투과분리하는 투과증발막 모듈; 상기 투과증발막 모듈에 가열된 공기를 공급하는 온풍 공급부; 상기 투과증발막 모듈을 통과하지 못한 농축액을 다시 탱크로 회수하는 회수라인; 및 상기 투과증발막 모듈에 공급된 공기를 외부로 배출하기 위한 배출부를 포함하는 분리막 투과증발을 이용한 불산폐액 농축장치 및 방법에 관한 것이다.

Description

분리막 투과증발을 이용한 불산폐액 농축장치 및 방법{Pervaporation Apparatus For Concentrating Waste Solution With Hydrofluoric Acid and Process For Concentrating Using thereof}

본 발명은 반도체 산업 등에서 발생하는 불산 등을 포함하는 산성폐액을 투과증발공정을 이용하여 수분을 탈수하고 고농도로 농축하여 재활용이 가능하도록 하는 분리막 투과증발을 이용한 불산폐액 농축장치 및 방법에 관한 것이다.

종래의 농축기술은 열을 가하여 수분을 제거함으로써 물질의 농도를 높이는 증발농축법이 사용되었다. 특정 물질을 농축하기 위해 증발시키는 것은 대부분 물이며 증발시키기 위해 용액을 끓는점까지 열을 가해야 한다. 가열방식은 액속에 열풍을 불어넣는 직접가열증발법와 2중으로 된 용기에 증기로 가열하는 간접가열증발법로 나누어진다. 전자에 속하는 것에는 천일증발기(天日蒸發器), 폴리온증발기, 분무증발기, 탑식증발기 등이 있고, 후자에는 직화증발기(直火蒸發器), 열유가열기(熱油加熱器), 수증기가열증발기등이 있다. 공업적으로 가장 많이 사용되는 것은 수증기가열증발기인데, 이것에는 강제순환식, 자연대류식, 액막식(液膜式)의 세 가지 방식이 있다. 강제순환식은 증발관 외부에 가열기를 놓고 액체를 펌프로 순환시키며, 자연 대류식은 증발관 속에 가열부(관)를 내장하고 있다. 액막식은 수형장관(竪型長管) 내부로 액체를 통과시켜 끓게 하는 것이다. 또, 끓는점을 낮춤으로써 증발능력을 크게 할 수 있으므로 대부분의 증발은 진공이나 저압하에서 행한다.

상기와 같은 증발농축기술은 모두 열을 가하는 방식이며 농축비율을 높이기 위해서는 큰 에너지를 소모한다는 점에서 운영 및 유지에 있어 경제성이 낮다는 단점이 있다. 또한, 현재 산성폐액의 증발방식은 탑식증발방법으로 높은 증발탑을 비롯하여 설비설치에 있어 면적과 비용이 많이 소요된다는 문제점이 있으며, 최대 농축율이 3배(300%)이하라는 단점이 있다.

부가적으로 증발농축 시 인체에 유해한 산성폐액의 흄이 발생된다는 문제점이 있으며, 농축정도가 낮기 때문에 재활용함에 있어 부적합하다는 단점이 있다. 따라서 종래의 농축기술인 증발농축법은 농축도, 내구성, 경제성, 설치·적용의 용이성 면에서 비효율적이라 할 수 있다.

불산폐액을 처리하거나 농축하는 기술로 다음과 같은 특허들이 제안된 바 있다. 대한민국 특허등록 제10-1007522호는 멤브레인을 이용한 불산 폐수 처리시스템 및 처리방법에 관한 것으로, 불산 폐수를 약품투입장치에 의해 약품을 투입하여 화학적 반응을 일으켜 응집물을 형성시키고, 폐수를 중성으로 조정하여, 멤브레인을 통과시켜 응집물과 폐액을 분리하는 멤브레인 처리부를 포함하고 있다. 대한민국 특허공개 제2004-0047633호는 불산 폐수 처리 방법 및 장치에 관한 것으로, 불산 폐수를 가열기를 통과하도록 하여 증발 농축하고 있다.

이와 같이 종래에 제안된 기술보다 경제적이면서 효율적으로 불산폐액 중의 수분을 제거하여 농축할 수 있는 기술의 개발이 필요하다.

대한민국 특허등록 제10-1007522호 대한민국 특허공개 제2004-0047633호

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 과제는 투과증발막 공정을 이용하여 경제적이면서도 효율적으로 불산폐액 중에 함유된 수분을 탈수하여 고농도로 농축할 수 있는 분리막 투과증발을 이용한 불산폐액 농축장치 및 방법을 제공함에 있다.

본 발명의 다른 과제는 폐기물로 폐기되어야 하는 불산폐액을 농축하여 재활용함으로써, 이에 따라 폐기에 요구되는 폐기 비용을 효율적으로 절감하며 환경부하를 감소시킬 수 있는 분리막 투과증발을 이용한 불산폐액 농축장치 및 방법을 제공함에 있다.

상기와 같은 본 발명의 과제를 해결하기 위하여, 본 발명은

불산폐액을 수용하는 탱크;

상기 탱크에 수용된 불산폐액을 투과증발막 모듈로 공급하는 공급라인;

상기 탱크로부터 공급받은 불산폐액을 필터링함으로써 수분을 투과분리하는 투과증발막 모듈;

상기 투과증발막 모듈에 가열된 공기를 공급하는 온풍 공급부;

상기 투과증발막 모듈을 통과하지 못한 농축액을 다시 탱크로 회수하는 회수라인; 및

상기 투과증발막 모듈에 공급된 공기를 외부로 배출하기 위한 배출부

를 포함하는 분리막 투과증발을 이용한 불산폐액 농축장치를 제공한다.

또한 본 발명은

불산폐액을 투과증발막 모듈로 공급하여 수분을 투과분리하는 단계;

상기 투과증발막 모듈에 온풍을 공급하여 분리된 수분을 증발시키는 단계;

상기 증발된 수분을 투과증발막 모듈의 외부로 배출하는 단계; 및

상기 투과증발막 모듈을 통해 수분이 제거됨으로써 농축된 불산폐액을 회수하는 단계

를 포함하는 분리막 투과증발을 이용한 불산폐액 농축방법을 제공한다.

본 발명에 따르면, 폐기물인 불산폐액을 고농도로 농축할 수 있으며, 농축된 불산폐액은 일련의 정제와 농도 조절 과정을 거쳐 철강 등의 산세 공정에 세정용 산으로써 재활용이 가능하다. 이와 같은 폐기물의 재활용을 통해 IT 업계의 환경부하를 감소시키고 새로운 부가가치를 창출할 수 있다.

도 1은 본 발명의 분리막 투과증발을 이용한 불산폐액 농축장치를 개략적으로 도시한 블록 구성도이다.
도 2는 본 발명의 분리막 투과증발을 이용한 불산폐액 농축방법을 보여주는 흐름도이다.

본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도면에 도시된 바에 한정되지 않으며, 여러 부분 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 분리막 투과증발을 이용한 불산폐액 농축장치를 개략적으로 도시한 블록 구성도이다.

도면을 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예는 반도체 공정 등에서 발생하는 불산을 함유하는 산성폐액인 불산폐액 중의 수분을 제거하여 이를 농축함으로써 폐기물로 처리해야하는 불산폐액을 금속 소재에 부착되어 있는 스케일이나 녹을 제거하는 산세공정 등에 재활용할 수 있도록 한 농축장치(100)를 제공한다.

이러한 농축장치(100)는 종래의 열을 가하는 증발농축이 아니라, 투과증발막 분리를 이용하여 불산폐액 중의 수분을 기체상태로 분리·회수함으로써, 경제적이면서 고효율적으로 불산폐액을 농축할 수 있는 구성으로 이루어진다.

이를 위한 본 발명의 일실시예에 따른 상기 농축장치(100)는 탱크(10)와, 투과증발막 모듈(20)과, 온풍 공급부(30)과, 공급라인(40)과, 배출부(50)와 회수라인(60)을 포함하여 구성되며, 이를 구성 별로 설명하면 다음과 같다.

상기에서, 탱크(10)는 농축 대상이 되는 불산폐액이 투과증발막 모듈(20)로 공급되기 전에 이를 저장하였다가 이후 불산폐액이 투과증발막 모듈(20)을 통과함으로써 수분이 제거된 나머지 농축액을 회수하여 저장하기 위한 것이다.

일예로, 반도체 생산 공정의 폐액 발생라인으로부터 불산폐액을 공급받아 탱크(10)로 이송한 후 처리할 수 있다.

상기 탱크(10) 내에 수용된 불산폐액은 공급라인(40)을 통해 투과증발막 모듈(20)로 유입되고, 투과증발막 모듈(20)에서 처리된 농축액은 회수라인(60)을 통해 다시 탱크(10)로 회수된다.

상기 공급라인(40)에는 탱크 내에 수용된 불산폐액을 투과증발막 모듈(20)로 순환 공급하기 위한 펌프(70)가 설치될 수 있다. 펌프(70)를 통해 불산폐액은 1~1400 L/min의 속도로 장치 내를 순환하는 것이 바람직하다.

그리고, 공급라인(40)에는 투과증발막 모듈(20)로 공급되는 폐액을 가열하기 위한 액체 히터부(80)가 구비될 수 있다. 이때 액체 히터부(80)를 통해 불산폐액은 30 ~ 80 ℃로 가열된다. 상기 액체 히터부(80)의 온도를 소정의 온도로 조절하기 위하여 온도 제어부(미도시)가 부착될 수 있음은 물론이다.

본 실시예에서, 상기 투과증발막 모듈(20)은 공급측과 투과측의 농도와 증기압 차이를 통해 불산폐액에 함유된 수분을 투과 및 증발시키기 위한 것이다.

즉, 불산폐액 중의 수분은 분리막으로의 흡수, 분리막 내부로의 확산, 투과측으로의 증발 과정을 통해 분리제거된다.

공급급과 투과측의 농도와 증기압 차를 발생시키기 위해 투과증발막 모듈(20)의 공급측에는 불산폐액을, 투과측에는 공기를 흘려준다. 이때 불산폐액의 순환속도 대 공기의 투입 속도비율은 1~ 30% 범위인 것이 바람직하다.

여기서, 투과증발막의 소재 및 막 모듈은 본 발명에서 특별히 제한되지 않지만, 수분에 대한 분리효율이 높은 것일수록 바람직하며, 과불소화 술폰산 소재의 비다공성막이 더욱 바람직하다.

상기 투과증발막 모듈(20)을 거치면서 농도차에 의해 불산폐액 중의 수분이 막 내부로 투과하여 투과측에 남게 된다.

상기에서, 온풍 공급부(30)는 투과증발막 모듈(20)의 투과측에 남은 수분을 증기압 차이를 통해 증발시키기 위한 구성이다.

상기 온풍 공급부(30)는 송풍부(31)와, 공기필터(33)와, 온풍 히터부(35)와, 제어부(37)와 온풍라인(39)으로 구성될 수 있다.

송풍부(31)는 외부로부터 공기를 투과증발막 모듈(20)로 공급하기 위한 장치이다.

온풍 히터부(35)는 송풍부를 통해 투과증발막 모듈의 투과측에 공급되는 공기를 가열하기 위한 구성이다.

상기 송풍부(31)과 온풍 히터부(35) 사이에는 공기필터(33)가 배치되어, 온풍 히터부(35)로 유입되는 공기를 필터링한다. 이에 따라 투과증발막 모듈(20)의 미세분진에 의한 오염을 방지할 수 있다.

따라서, 송풍장치(31)에 의하여 공급된 공기는 공기필터(33)에 의하여 정화된 후 온풍히터(35)에 의하여 가열된다.

이렇게 가열된 온풍은 온풍라인(39)를 통해 투과증발막 모듈(20)의 투과측으로 공급되며, 상기 투과증발막 모듈로 공급되는 공기의 온도는 제어부(37)에 의해 30 내지 70 ℃의 온도를 유지하도록 제어된다.

상기 온풍 공급부(30)을 통해 투과증발막 모듈(20)에 온풍이 공급되므로, 투과증발막 모듈(20) 내 분리막 투과측에서 수분은 막 표면의 온풍과 접촉하면서 지속적으로 증발하게 된다.

이때 제거되는 수분양은 투과증발막 모듈(20)로 공급되는 온풍 내의 포화수증기량과 투과증발막 모듈(20)을 통과한 공기의 포화수증기량의 차 만큼이다.

여기서, 온풍 공급부(30)를 통해 온풍은 10~35,000 L/min으로 공급되는 것이 바람직하다.

상기에서, 배출부(50)은 투과증발막 모듈(20)에 공급된 온풍이 수증기를 머금고 외부로 배출하도록 하기 위한 구성이다.

여기서, 배출부(50)는 상기 투과증발막 모듈(20)과 연통되어 외부로 연장되는 배출유로(51)을 포함한다.

상기 배출유로(51) 상에는 외부로 배출되는 공기를 정화하기 위한 습식 스크러버(미도시) 또는 집진기(미도시)가 설치될 수 있다.

이렇게 상기 배출부(50)를 통해 투과증발막 모듈(20)로 공급된 공기가 수증기를 머금고 외부로 배출됨으로써, 이에 따라 투과증발막 모듈(20)의 투과측 막 표면은 건조 상태를 유지하게 되고, 막 내·외부는 농도차를 유지한다.

배출부(50)를 통해 공기가 배출됨으로써 수분이 제거된 만큼 투과증발막 모듈(20)을 투과하지 못한 배제액은 고농도로 농축된다.

이와 같이 농축된 불산폐액은 회수라인(60)을 통해 탱크(10)로 회수된다.

본 발명의 일실시예에 따른 농축장치는 불산폐액과 접촉하게 되므로, 이를 구성하는 소재는 불산폐액에 내부식성을 갖는 재질을 사용할 수 있으며, 바람직하기로 폴리프로필렌, 폴리에틸렌, 테프론을 사용한다.

전술한 바의 불산폐액 농축장치를 통해 폐기물인 불산폐액을 3배 이상 농축할 수 있으며, 농축된 불산폐액은 일련의 정제와 농도 조절 과정을 거쳐 산세 공정에 재활용이 가능하다. 이와 같은 폐기물의 재활용을 통해 IT 업계의 환경부하를 감소시키고 새로운 부가가치를 창출할 수 있다. 농축분리 후 발생하는 투과증기는 스크러버(scrubber) 또는 집진설비를 이용하여 회수되며 이는 원폐수에 비해 처리부하가 극히 작아 불산폐액 처리비용을 50 % 정도 절감할 수 있다. 또한, 설비의 규모가 컴팩트하여 가동 중인 폐액발생라인에 적용하기 용이하다.

다음은, 상기와 같이 구성되는 분리막 투과증발을 이용한 불산폐액 농축장치을 이용한 불산폐액 농축 방법을 설명하도록 한다.

도 2는 본 발명의 분리막 투과증발을 이용한 불산폐액 농축방법을 보여주는 흐름도이다.

도 2을 참조하면, 분리막 투과증발을 이용한 불산폐액 농축방법은

불산폐액을 투과증발막 모듈로 공급하여 수분을 투과분리하는 단계;

상기 투과증발막 모듈에 온풍을 공급하여 분리된 수분을 증발시키는 단계;

상기 증발된 수분을 투과증발막 모듈의 외부로 배출하는 단계; 및

상기 투과증발막 모듈을 통해 수분이 제거됨으로써 농축된 불산폐액을 회수하는 단계

를 포함한다.

이하 각 단계별로 더욱 상세히 설명한다.

먼저, 불산폐액을 투과증발막 모듈로 공급하여 수분을 투과분리한다.

투과증발은 액체혼합물을 선택투과성이 있는 분리막의 한쪽에 접하게 하고 반대면에는 담체가스를 흘려보내 액체혼합물을 분리하는 막분리공정으로, 막 공급측에서는 분리막으로 용해되고, 분리막 내부에서는 농도차에 의하여 막 공급측에서 막 투과측으로 확산되며, 막 투과측에서는 증발되는 과정으로 이뤄진다.

이러한 투과증발막을 통해 불산폐액 중에 혼합된 수분은 농도차에 의해 막 내부로 투과하여 막 투과측에 남게 된다.

상기 투과증발막 공정은 운용비가 저렴할 뿐만 아니라 낮은 온도에서 수분을 효율적으로 분리되므로 에너지 소모를 절약할 수 있다.

이때 투과증발막으로 공급되는 불산폐액의 온도는 30 내지 80 ℃인 것이 바람직하다. 이같은 불산폐액의 온도 범위는 열손실을 최소화하고 연료비를 감소시키면서도, 용이하게 투과증발막의 선택 분리가 이루어지도록 하기 위한 온도이다.

다음으로, 투과증발막 모듈에 온풍을 공급하여 분리된 수분을 증발시킨다.

투과증발막의 투과측에 온풍을 공급한다. 그러면 투과증발막을 거치면서 분리막 투과측에 남게된 수분은 투과측으로 공급된 온풍과 접촉하면서 지속적으로 증발하게 된다. 이때 공급되는 온풍의 온도는 30 내지 70 ℃인 것이 바람직하다. 만약 온풍의 온도가 상기 범위 미만이면 수분의 증발이 미미할 염려가 있으며, 이와 반대로 상기 범위를 초과하면 에너지 소모가 지나치게 커지는 문제점이 있다.

이어서, 상기 증발된 수분을 투과증발막 모듈의 외부로 배출한다.

투과증발막의 투과측에 공급되어 수분과 접촉하면서 수증기를 머금은 온풍을 외부로 배출한다. 이에 따라 투과증발막의 투과측 막 표면은 건조 상태를 유지하게 되고, 막 내·외부는 농도차를 유지한다.

그 결과, 투과증발막 투과측에 액체 상태로 존재하는 수분이 온풍 내의 포화수증기량과 투과증발막을 통과한 공기의 포화수증기량의 차 만큼 증발하여 제거된다.

마지막으로 투과증발막을 거쳐 수분이 제거됨으로써 농축된 불산폐액을 회수한다.

이렇게 투과증발막을 거쳐 수분이 증발 제거됨으로써 농축된 불산폐액을 회수한다. 이때 상기한 방법을 불산폐액이 1.5 내지 4배 농축될 때까지 수행한다.

회수된 농축 불산폐액은 일련의 정제(암모니아 제거) 및 농도조절(불산과 질산의 농도, 혼합비 조절) 과정을 통해 산세 공정의 세정용 혼산으로 재활용 될 수 있다.

이에 따라, 본 발명은 투과증발공정을 통해 경제적이면서 효율적으로 수분을 분리제거하여 불산폐액을 고농도로 농축할 수 있다. 또한, 폐기물을 재활용함으로써 환경부하를 감소시키고 이로 인하여 폐기에 요구되는 비용을 현저하게 절감할 수 있다.

이하, 본 발명의 실시예를 들어 본 발명을 더욱 상세히 설명하지만, 하기 실시예는 본 발명을 예시하는 것일 뿐, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 의하여 한정되는 것은 아니다.

(실시예 1)

탱크에 불산폐액을 넣고 펌프로 1.5L/min의 유속으로 순환시켰다. 이때 불산폐액의 온도는 히터를 이용하여 50 ℃로 유지하였고, 과불소화 술폰산 소재의 비다공성막을 투과증발막으로 사용하였다. 송풍기를 이용하여 40L/min의 속도로 30 ℃의 공기를 투과증발막 모듈에 통과시켜주었으며, 배기되는 공기는 10 ℃의 냉각장치를 이용하여 냉각함으로써 막 투과수를 다시 응축시켰다.

상기와 같은 실험조건 하에 반도체 조공정에서 발생하는 불산폐액을 이용하여 실험을 하였으며, 실험에 사용된 폐수의 성상은 불산 약 32,000mg/L, 암모니아성 질소 22,000 mg/L, 질산성 질소 약 524mg/L 이고, pH는 4.8 이었다.

2회에 걸친 테스트를 통해 얻은 원액과 농축액, 투과수의 농도를 측정하였으며, 이를 바탕으로 하여 농축률을 계산하여 그 결과를 아래 표 1에 나타내었다.

구분	F(mg/L)		NH3-N(mg/L)		NO3 --N(mg/L)
	Test1	Test2	Test1	Test2	Test1	Test2
원액	31885.3	32574.1	22000	22000	524.75	524.75
농축액	62657.9	118120	45700	90130	1072.5	2083.5
투과액	728.8	888.9	0.4	4.1	5.83	0.31
농축율(%)	196.5	362.6	207.7	409.7	204.4	397

상기 표 1을 참조하면, 1회 테스트(test 1)에서는 약 6.25시간 운전을 하였으며 원액이 1165.6g에서 500.5g까지 감소하였고, 불산 농도측정 결과 약 2배 정도 농축되었다. 2회 테스트(test 2)에서는 약 18시간 운전을 하여 원액이 2475g에서 625.5g으로 감소하였고, 불산 농도측정결과 약 3.6배 정도 농축이 되었다. 이러한 결과를 통하여 순환시간이 증가함에 따라 불산폐액 내 불산이 농축되어 농도가 증가함을 확인할 수 있었다.

또한, 투과증발막로 투과된 증기를 응축시켜 분석한 결과 불산 및 암모니아성 질소, 질산성 질소의 함량이 낮았으며, 이는 투과증발막의 막소재가 이들에 대한 선택성이 있어 최종적으로 배기되는 가스의 환경부하가 적음을 알 수 있다.

10: 탱크 20: 투과증발막 모듈
30: 온풍 공급부 31: 송풍부
33: 공기필터 35: 온풍 히터부
37: 제어부 39: 온풍 라인
40: 공급라인 50: 배출부
51: 배출라인 60: 회수라인
70: 펌프 80: 액체 히터부

Claims (8)

1. 불산폐액을 수용하는 탱크;
   상기 탱크에 수용된 불산폐액을 투과증발막 모듈로 공급하는 공급라인;
   상기 탱크로부터 공급받은 불산폐액을 필터링함으로써 수분을 투과분리하는 투과증발막 모듈;
   상기 투과증발막 모듈에 가열된 공기를 공급하는 온풍 공급부;
   상기 투과증발막 모듈을 통과하지 못한 농축액을 다시 탱크로 회수하는 회수 라인; 및
   상기 투과증발막 모듈에 공급된 공기를 외부로 배출하기 위한 배출부를 포함하고,
   상기 온풍 공급부는
   상기 투과증발막 모듈의 투과측에 공기를 공급하는 송풍부;
   상기 송풍부 후단에 배치되며 송풍부를 통해 투과증발막 모듈의 투과측에 공급되는 공기를 가열하는 온풍 히터부;
   상기 송풍부와 온풍 히터부 사이에 배치되며 온풍 히터부에 유입되는 공기를 정화시키기 위한 공기필터;
   상기 온풍 히터부에서 가열된 공기를 투과증발막 모듈로 공급하는 온풍라인; 및
   상기 투과증발막 모듈로 공급되는 공기의 온도를 제어하기 위한 제어부를 포함하고,
   상기 공급라인에는 투과증발막 모듈로 공급되는 불산폐액을 가열하기 위한 액체 히터부가 설치되는 것을 특징으로 하는 분리막 투과증발을 이용한 불산폐액 농축장치.
2. 삭제
3. 제1항에 있어서,
   상기 투과증발막 모듈은 과불소화 술폰산을 포함하는 비다공성 분리막으로 구성된 것인 불산폐액 농축장치.
4. 제1항에 있어서,
   상기 공급라인에는 탱크에 수용된 불산폐액을 투과증발막 모듈로 순환 공급하기 위한 펌프가 설치되는 것인 불산폐액 농축장치.
5. 삭제
6. 제1항의 불산폐액 농축 장치를 사용하여 불산 폐액을 농축하는 방법에 있어서,
   탱크에 수용된 불산폐액을 액체 히터부를 통해 30 내지 80 ℃로 가열하여 공급 라인을 따라 투과증발막 모듈로 공급하여 수분을 투과분리하는 단계;
   상기 투과증발막 모듈에 온풍 공급부를 통해 30 내지 70 ℃의 온풍을 공급하여 분리된 수분을 증발시키는 단계;
   상기 증발된 수분을 배출부를 통해 투과증발막 모듈의 외부로 배출하는 단계; 및
   상기 투과증발막 모듈을 통해 수분이 제거됨으로써 농축된 불산폐액을 회수 라인을 통해 다시 상기 탱크로 회수하는 단계
   를 포함하는 불산폐액 농축방법.
7. 삭제
8. 삭제

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