KR101372217B1 - 스티킹 방지용 알에프 스위치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 스티킹 방지용 RF 스위치에 관한 것으로, 지지부와; 상기 지지부에 연결되고, 하부로부터 부상되어 있는 캔틸레버와; 상기 캔틸레버 상부에 형성되고, 각각 독립적으로 구동하는 제 1과 2 압전 구동부와; 상기 캔틸레버와 연결되어 있는 스위치 접촉부로 구성된다.
따라서, 본 발명은 제 2 압전 구동부 또는 스티킹 방지부를 구비하여, 스위치 접촉부가 신호 전송선들에 스티킹(Sticking) 되어 있거나, 또는 접촉 표면에 용융되어 붙어 있을 때에도, 스위치 접촉부를 쉽게 신호 전송선들로부터 이탈시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 신호 전송선들로부터 스위치 접촉부의 이탈 속도를 향상시켜, 스위칭 속도를 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
스위치, 스티킹, 접촉, 이탈, 가압, 압전
Description
도 1은 종래 기술에 따른 RF 멤즈(MEMS) 스위치의 동작을 설명하기 위한 개략적인 도면
도 2는 종래 기술에 따른 다른 RF 멤즈 스위치의 동작을 설명하기 위한 개략적인 도면
도 3은 본 발명에 따른 스티킹(Sticking) 방지용 RF 스위치의 구성을 설명하기 위한 개략적인 평면도
도 4는 본 발명에 따른 스티킹 방지용 RF 스위치에 있는 압전 구동부들의 개략적인 단면도
도 5a와 5b는 본 발명에 따른 스티킹 방지용 RF 스위치에 있는 압전 구동부들의 구동 방법을 설명하기 위한 개략적인 단면도
도 6은 본 발명에 따른 스티킹 방지용 RF 스위치에 있는 제 2 압전 구동부의 일례를 설명하기 위한 개략적인 평면도
도 7은 본 발명에 따른 스티킹 방지용 RF 스위치에 있는 제 2 압전 구동부의 다른례를 설명하기 위한 개략적인 평면도
도 8은 본 발명에 따른 스티킹 방지용 RF 스위치의 다른 실시예를 설명하기 위한 개략적인 평면도
도 9는 본 발명에 따른 스티킹 방지용 RF 스위치의 또 다른 실시예의 구성을 설명하기 위한 개념적인 평면도
도 10a 내지 10d는 본 발명에 따른 스티킹 방지용 RF 스위치의 또 다른 실시예의 동작을 설명하기 위한 개념도
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
100 : 지지부
121,122,131,132,141,142,151,152,300,400 : 압전 구동부
200 : 캔틸레버 210,220 : 캔틸레버부
310,410 : 압전막 320,420 : 상부 전극
350 : 하부 전극 500,710 : 스위치 접촉부
520 : 힌지(Hinge) 610,620 : 신호 전송선
810 : 구동부 820 : 스티킹(Sticking) 방지부
본 발명은 스티킹 방지용 RF 스위치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 스위칭 속도를 향상시킬 수 있는 스티킹 방지용 RF 스위치에 관한 것이다.
최근 정보 통신 기술의 발달과 더불어 소자의 소형화, 경량화 및 고성능화를 위한 연구가 활발히 이루어지고 있다.
특히, RF 스위치는 정보 통신 기기의 신호 제어 및 가변 소자 구현을 위한 부품으로서 응용 범위가 다양하고, 소자의 소형화 및 성능에 매우 중요한 영향을 미치는 핵심 부품이다.
현재, 위성 통신 안테나, 신호 제어 시스템 및 이동 통신 단말기 등에서 요구하는 사양을 충족시키기 위한 RF 스위치의 개발에 많은 노력이 집중되고 있다.
특히, 차세대 이동 통신 단말기는 PCS, CDMA, GSM 폰 등을 통합한 다중 대역의 통합폰으로 발전해 나갈 것이며, 동시에 IMT-2000, GPS 등 다기능 폰의 수요가 크게 확대될 것이다.
이러한, 기술 구현을 위해 많은 연구가 이루어지고 있으며, 고주파 대역 및 다중 대역 적용을 위한 가변 핵심 부품으로서 RF 스위치의 소형화 및 성능 개선이 시급한 상황이다.
기존의 RF 스위치로서 FET 나 PIN 다이오드를 이용한 전기적 스위치를 주로 사용하고 있다.
이러한, 전기적 스위치는 주파수 대역이 높아지면서, 삽입 손실이 커지고 동시에 신호 격리도 특성에 있어서도 한계점을 가지고 있다.
또한, 스위치 구동을 위한 전력 손실이 커지고, 소자의 비선형성 및 신호 왜곡 현상으로 인하여 전체 시스템의 성능 구현을 어렵게 하는 요인이 되고 있다. 이러한 기존의 전기적 스위치의 문제점을 해결하기 위한 유력한 대안으로서 RF 멤즈(MEMS) 스위치에 대한 연구가 많은 주목을 받고 있다.
RF 멤즈 스위치는 전기적 스위치 요소를 기계적인 스위치로 대체하여 고주파수 대역에서의 삽입 손실 특성이 개선되고 신호 격리도 또한 우수한 특성을 가지고 있다.
또한, 스위치의 구동 방식에 따라 전력 손실을 줄일 수 있을 뿐만 아니라 선형성이 좋아지며, 신호의 왜곡 및 간섭을 줄일 수 있는 장점을 가지고 있다.
기존의 RF 멤즈 스위치의 구동에 있어서 정전력(Electrostatic), 전자기력(Electromagnetic) 및 열(Thermal) 구동 방식 등의 구동 방식을 사용하고 있다.
전자기력과 열 구동을 이용하는 스위치의 경우 스위치의 구동 속도가 느리고 구동시 필요한 전류에 의해 소비 전력이 크다는 단점을 가지고 있다.
스위치의 구동 방식으로서 정전력을 이용하는 경우, 스위치의 구동 시간이 빠르고 전력 소모가 작으며 소자의 제조 방법이 용이하다는 장점으로 인해 가장 많은 연구가 이루어지고 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 RF 멤즈 스위치의 동작을 설명하기 위한 개략적인 도면으로서, 이 RF 멤즈 스위치는 정전력을 이용하여 구동하는 것으로, 스위치의 기계적 구동부와 하부 전극 사이에 정전압을 인가하게 되면 정전력이 발생하게 되고, 이 힘에 의해 스위치가 기계적인 구동을 하게 되는 원리를 이용한다.
즉, 두 신호 전송선(11,12)을 개방 및 연결시켜 스위치의 기능을 수행하게 된다.
일반적으로, 정전력을 이용한 경우 소자의 크기를 줄일 수 있고, 전력 손실이 없다는 장점이 있으나, 스위치의 성능을 위한 구동 전압이 커지게 되고, 저전압 설계 및 신뢰성 확보를 위한 구조 구현이 어려운 단점을 가지고 있다.
정전력으로 구동되는 RF 멤즈 스위치의 경우, 스위치의 구동을 위해서 구동부와 바닥 전극이 필요하고, 스위치 구조의 패키징을 위해 공동 구조가 있는 상부 기판이 필요하다.
종래의 연구에 있어서 이러한 스위치 구조의 패키징을 위해서 실리콘이나 유리 기판을 상부 기판으로 사용하며, 상부 기판과 하부 기판의 접합은 폴리머 접착 본딩(Polymer adhesive bonding), 유테틱 본딩(Eutectic bonding), 아노딕 본딩(Anodic bonding) 방법 등을 사용한다.
이와 같은 방식의 패키징 기술은 하부 기판에 완성된 RF 멤즈 스위치의 특성을 변화시키지 않으면서 동시에 패키징의 성능을 유지하기 위한 추가의 패키징 가공 기술을 요구한다.
즉, 상부 기판의 공동 구조와 함께 하부 기판 스위치 소자의 전기적 연결선을 위한 연결선 공정 등을 고려하여 접합하여야 하며, 이와 동시에 패키징의 기계적 강도와 허미틱(hermitic) 패키징을 보장하기 위한 웨이퍼 단위의 패키징 기술 구현이 매우 힘든 단점이 있다.
도 2는 종래 기술에 따른 다른 RF 멤즈 스위치의 동작을 설명하기 위한 개략적인 도면으로서, 이런 압전 방식을 이용한 RF 멤즈 스위치는 스위치의 구동 전압이 5V 이하이면서 동시에 삽입 손실, 격리도, 스위칭 속도,소모 전력 및 수율 등이 우수하다.
또한, 스위치의 제작과 동시 공정으로 전체 스위치 소자가 유테틱 기판 접합에 의해 패키징함으로써, 스위치의 RF 특성 및 패키징의 기계적 특성이 우수한 웨이퍼 단위의 패키징이 가능하게 하여 단가가 낮은 RF 멤즈 스위치 소자의 제조 방법을 가능하게 한다.
그러나, 압전 방식의 RF 멤즈 스위치의 경우 그 제조 방법이 복잡하여 높은 수율을 보장하기 힘든 단점이 있다.
이 구조의 경우 압전박막을 구동하는 전극들(21,22)과 신호 전송선들(31,32)을 상부 기판을 관통하는 관통홀(Through hole)을 통해 연결하고 있다.
그리고, 압전체(50)의 구동으로 스위치 접촉부(40)를 신호 전송선들(31,32)에 접촉 및 이탈시켜 스위칭 작용을 한다.
정전력으로 구동을 하던 압전으로 구동을 하던 이러한 기계적 스위치는 신호 전송선과 스위치 접촉부가 단락되었을 때, 주변의 습기나 혹은 스위치 접촉부와 신호 전송선간의 과도한 전류로 인해 일부 용융되어 붙어 버리는 현상, 즉 스티킹(Sticking) 현상을 일으킬 수 있다.
본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 제 2 압전 구동부 또는 스티킹 방지부를 구비하여, 스위치 접촉부가 신호 전송선들에 스티킹(Sticking) 되어 있거나, 또는 접촉 표면에 용융되어 붙어 있을 때에도, 스위치 접촉부를 쉽게 신호 전송선들로부터 이탈시킬 수 있는 스티킹 방지용 RF 스위치를 제공하는 데 목적이 있다.
본 발명의 다른 목적은 스위치 접촉부가 신호 전송선들에 접촉된 후 이탈되는 속도를 향상시켜, 스위칭 속도를 향상시킬 수 있는 스티킹 방지용 알에프 스위치를 제공하는 데 있다.
상기한 본 발명의 목적들을 달성하기 위한 바람직한 양태(樣態)는,
지지부와;
상기 지지부에 연결되고, 하부로부터 부상되어 있는 캔틸레버와;
상기 캔틸레버 상부에 형성되고, 각각 독립적으로 구동하는 제 1과 2 압전 구동부와;
상기 캔틸레버와 연결되어 있는 RF 스위치 접촉부로 구성된 스티킹 방지용 알에프 스위치가 제공된다.
상기한 본 발명의 목적들을 달성하기 위한 바람직한 다른 양태(樣態)는,
상호 이격되어 있는 한 쌍의 신호 전송선들과;
상기 신호 전송선들에 접촉 또는 이탈되는 스위치 접촉부와;
상기 신호 전송선들에 접촉 또는 이탈되도록, 상기 스위치 접촉부를 구동시키는 구동부와;
상기 신호 전송선들 중 하나를 가압하여 상기 스위치 접촉부가 상기 신호 전송선들에 스티킹되는 것을 방지시키는 스티킹 방지부로 구성된 스티킹 방지용 알에 프 스위치가 제공된다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하면 다음과 같다.
도 3은 본 발명에 따른 스티킹(Sticking) 방지용 RF 스위치의 구성을 설명하기 위한 개략적인 평면도로서, 지지부(100)와; 상기 지지부(100)에 연결되고, 하부로부터 부상되어 있는 캔틸레버(200)와; 상기 캔틸레버(200) 상부에 형성되고, 각각 독립적으로 구동하는 제 1과 2 압전 구동부(300,400)와; 상기 캔틸레버(200)와 연결되어 있는 스위치 접촉부(500)로 구성된다.
여기서, 상기 스위치 접촉부(500)는 캔틸레버(200)에 힌지(Hinge)(520)로 연결되어 있는 것이 바람직하다.
이렇게 구성된 본 발명의 스티킹 방지용 RF 스위치는 제 1 압전 구동부(300)를 구동시켜 캔틸레버를 상승시키면, 상기 스위치 접촉부(500)는 캔틸레버(200)와 연결되어 있으므로, 캔틸레버(200)와 동반 상승되어 상기 스위치 접촉부(500) 상부에 있는 신호 전송선들(미도시)에 접촉된다.
이때, 상기 신호 전송선들은 상호 이격되어 있으며, 상기 스위치 접촉부가 상기 이격되어 있는 신호 전송선들에 접촉됨으로써, 상기 신호 전송선들은 스위치 온(On)되는 것이다.
여기서, 상기 캔틸레버(200)는 상기 제 1 압전 구동부(300)가 형성되어 있는 제 1 캔틸레버부(210)와, 상기 제 2 압전 구동부(400)가 형성되어 있고 상기 제 1 캔틸레버부(210)에 연결되어 있는 제 2 캔틸레버부(220)로 구성된다.
전술된 제 2 압전 구동부(400)는 상기 스위치 접촉부(500)보다 낮은 위치에 있는 것이 바람직하다.
즉, 상기 제 2 압전 구동부(400)가 상기 스위치 접촉부(500)보다 낮은 위치에 있으면, 상기 스위치 접촉부(500)가 상기 신호 전송선들에 접촉될 때 방해가 되지 않는다.
그리고, 상기 스위치 접촉부(500)가 상기 신호 전송선들에 접촉된 후, 이탈될 때 상기 제 2 압전 구동부(400)가 구동되면 상기 제 2 압전 구동부(400)가 상기 신호 전송선들을 가압하게 되어, 상기 스위치 접촉부(500)가 상기 신호 전송선들에 스티킹(Sticking) 되어 있거나, 또는 접촉 표면에 용융되어 붙어 있을 때에도, 상기 스위치 접촉부(500)는 쉽게 상기 신호 전송선들로부터 이탈된다.
그러므로, 본 발명은 스위칭 속도를 향상시킬 수 있는 것이다.
도 4는 본 발명에 따른 스티킹(Sticking) 방지용 RF 스위치에 있는 압전 구동부들의 개략적인 단면도로서, 제 1과 2 압전 구동부(300,400)는 캔틸레버(200) 상부에 형성되어 있다.
상기 제 1과 2 압전 구동부(300,400)는 상기 캔틸레버(200) 상부에 형성된 압전 캐패시터이고, 독립적으로 구동된다.
그리고, 상기 제 1과 2 압전 구동부(300,400)는 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 캔틸레버(200) 상부에 형성된 공통의 하부 전극(350)과; 상기 하부 전극(350) 상부에 상호 이격되어 형성된 제 1과 2 압전막(310,410)과; 상기 제 1과 2 압전막 (310,410) 상부 각각에 형성된 상부 전극(320,420)으로 구성된다.
도 5a와 5b는 본 발명에 따른 스티킹(Sticking) 방지용 RF 스위치에 있는 압전 구동부들의 구동 방법을 설명하기 위한 개략적인 단면도로서, 제 1 압전 구동부(300)에 전압을 인가하면, 상기 제 1 압전 구동부(300)의 압전막에서 작용되는 압전력에 의해 도 5a에 도시된 바와 같이, 캔틸레버(200)는 상승한다.
그 후, 도 5b와 같이, 제 2 압전 구동부(400)에 전압을 인가하면, 상기 제 2 압전 구동부(400)가 형성된 캔틸레버(200) 영역이 상승한다.
이렇게, 상기 제 1 압전 구동부(300)의 구동으로 도 5a와 같이 캔틸레버(200)를 1차로 'A'선상까지 상승시키면, 상기 캔틸레버(200)에 연결된 스위치 접촉부를 신호 전송선에 접촉시켜, 스위치를 온(On)시킬 수 있는 것이다.
이때, 상기 제 2 압전 구동부(400)에는 전압이 인가되지 않아 구동되지 않는다.
그리고, 상기 제 2 압전 구동부(400)를 구동시키면, 'A'선상보다 높은 'B'선상까지 캔틸레버가 상승할 수 있어, 신호 전송선에 가압되어 스위치 접촉부가 신호 전송선에 스티킹될 수 있는 것을 방지할 수 있게 된다.
도 6은 본 발명에 따른 스티킹 방지용 RF 스위치에 있는 제 2 압전 구동부의 일례를 설명하기 위한 개략적인 평면도로서, 지지부(100)로부터 부상되어 있는 캔틸레버(200)는 제 1 압전 구동부(300)가 형성되어 있는 제 1 캔틸레버부(210)와, 상기 제 2 압전 구동부(400)가 형성되어 있고 상기 제 1 캔틸레버부(210)에 연결되어 있는 제 2 캔틸레버부(220)로 구성된다.
그러므로, 도 6과 같이, 상기 제 1 캔틸레버부(210)가 지지부(100)에 직접 연결되어 있고, 상기 제 2 캔틸레버부(220)는 상기 제 1 캔틸레버부(210)에 연결되어 있으므로, 상기 제 1 압전 구동부(300)가 구동될 때에는 상기 제 1과 2 캔틸레버부(210,220)가 모두 상승된다.
그리고, 상기 제 2 압전 구동부(400)가 구동될 때에는 상기 제 2 캔틸레버부(220)가 상승된다.
여기서, 상기 제 2 캔틸레버부(220)는 상기 제 1 캔틸레버부(210)의 선단에 위치되어 있다.
참고로, 도 5a와 5b는 도 6의 A-A'선의 단면도이다.
도 7은 본 발명에 따른 스티킹 방지용 RF 스위치에 있는 제 2 압전 구동부의 다른례를 설명하기 위한 개략적인 평면도로서, 제 2 캔틸레버부(220)는 제 1 캔틸레버부(210)의 측면에 연결되어 있다.
즉, 상기 제 2 캔틸레버부(220)는 제 1 캔틸레버부(210)의 동일한 수평선상에 위치되어 있다.
그리고, 제 2 캔틸레버부(220) 상부에 있는 제 1 압전 구동부(300)와 상기 제 2 압전 구동부(400)도 동일한 수평선상에 위치되어 있다.
그러므로, 상기 제 1 캔틸레버부(210)의 선단에 상기 제 2 캔틸레버부(220)가 존재하지 않으므로, 상기 제 1 캔틸레버부(210) 선단에 스위치 접촉부를 연결할 수 있게 되어, 스위치 접촉부가 신호 전송선에 접촉할 때 상기 제 2 압전 구동부(400)가 방해될 염려는 없게 된다.
도 8은 본 발명에 따른 스티킹 방지용 RF 스위치의 다른 실시예를 설명하기 위한 개략적인 평면도로서, 지지부(100)에 연결되어 있고 하부로부터 부상되어 있는 풍차(Windmill) 형상의 영역(110)을 형성하고, 이 풍차 형상의 영역(110) 각각의 날개에 제 1 압전 구동부(121,131,141,151) 및 제 2 압전 구동부(122,132,142,152)을 형성하여 스티킹 방지용 RF 스위치를 형성한다.
이 스티킹 방지용 RF 스위치 역시, 전술된 바와 같이 구동된다.
이와 같이, 지지부(100)에 연결된 부상되어 있는 영역은 앞서 설명한 바와 같은 캔틸레버, 도 8의 풍차 형상 등 그 형태는 자유롭게 설계 변경할 수 있는 것이다.
도 9는 본 발명에 따른 스티킹 방지용 RF 스위치의 또 다른 실시예의 구성을 설명하기 위한 개념적인 평면도로서, 상호 이격되어 있는 한 쌍의 신호 전송선들(610,620)과; 상기 신호 전송선들(610,620)에 접촉 또는 이탈되는 스위치 접촉부(710)와; 상기 신호 전송선들(610,620)에 접촉 또는 이탈되도록, 상기 스위치 접 촉부(710)를 구동시키는 구동부(810)와; 상기 신호 전송선들(610,620) 중 하나를 가압하여 상기 스위치 접촉부(710)가 상기 신호 전송선들(610,620)에 스티킹되는 것을 방지시키는 스티킹 방지부(820)로 구성된다.
이렇게 구성된 본 발명의 또 다른 실시예의 스티킹 방지용 RF 스위치는 스티킹 방지부(820)를 구비하여, 스위치 접촉부(710)가 신호 전송선들(610,620)에 스티킹되는 것을 방지할 수 있는 것이다.
도 10a 내지 10d는 본 발명에 따른 스티킹 방지용 RF 스위치의 또 다른 실시예의 동작을 설명하기 위한 개념도로서, 먼저, 스위치 접촉부(710)를 구동시키는 구동부(미도시) 및 스티킹 방지부(820)가 동작되지 않으면, 상기 스위치 접촉부(710) 및 스티킹 방지부(820)는 신호 전송선들(610,620)로부터 이격된 하부에 위치하게 된다.(도 10a)
그 후, 상기 구동부를 구동시키면, 상기 스위치 접촉부(710)는 상기 신호 전송선들(610,620)에 접촉되어 스위치 온(On)된다.(도 10b)
이때, 상기 스티킹 방지부(820)는 동작되지 않는다.
이어서, 상기 스티킹 방지부(820)를 동작시켜, 상기 신호 전송선들(610,620) 중 하나를 가압시키고, 상기 구동부의 동작을 해제하면, 상기 스위치 접촉부(710)는 상기 신호 전송선들(610,620)로부터 이탈된다.(도 10c)
여기서, 상기 스위치 접촉부(710)가 상기 신호 전송선들(610,620)에 스티킹되어 있는 경우, 상기 스티킹 방지부(820)가 상기 신호 전송선들(610,620) 중 하나 를 가압하는 것은, 상기 신호 전송선들(610,620)로부터 상기 스위치 접촉부(710)가 이탈되는 것을 원활하게 해준다.
그 다음, 상기 스티킹 방지부(820)의 동작을 해제하면, 스위치 오프(Off) 상태가 되고, 도 10a와 동일한 상태가 된다.(도 10d)
이상 상술한 바와 같이, 본 발명은 제 2 압전 구동부 또는 스티킹 방지부를 구비하여, 스위치 접촉부가 신호 전송선들에 스티킹(Sticking) 되어 있거나, 또는 접촉 표면에 용융되어 붙어 있을 때에도, 스위치 접촉부를 쉽게 신호 전송선들로부터 이탈시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 스위치 접촉부가 신호 전송선들에 접촉된 후 이탈되는 속도를 향상시켜, 스위칭 속도를 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
본 발명은 구체적인 예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.
Claims (8)
- 지지부와;상기 지지부의 상부에 일측이 연결되어 하부로부터 부상되어 있으며, 단계적으로 다단으로 동작하는 캔틸레버와;상기 캔틸레버 상부에 형성되고, 각각 독립적으로 서로 일정 거리 이격되어 인가되는 전압에 따라 독립적으로 구동하여 상기 캔틸레버를 다단으로 구동하는 제 1과 2 압전 구동부와;상기 캔틸레버와 연결되어 있는 스위치 접촉부로 구성된 스티킹 방지용 알에프 스위치.
- 제 1 항에 있어서,상기 스위치 접촉부는,상기 캔틸레버에 힌지(Hinge)로 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 스티킹 방지용 알에프 스위치.
- 제 1 항에 있어서,상기 제 2 압전 구동부가 상기 스위치 접촉부보다 낮은 위치에 있는 것을 특징으로 하는 스티킹 방지용 알에프 스위치.
- 제 1 항에 있어서,상기 제 1과 2 압전 구동부는,상기 캔틸레버 상부에 형성된 압전 캐패시터인 것을 특징으로 하는 스티킹 방지용 알에프 스위치.
- 제 4 항에 있어서,상기 제 1과 2 압전 구동부는,상기 캔틸레버 상부에 형성된 공통의 하부 전극과;상기 하부 전극 상부에 상호 이격되어 형성된 제 1과 2 압전막과;상기 제 1과 2 압전막 상부 각각에 형성된 상부 전극으로 구성된 것을 특징으로 하는 스티킹 방지용 알에프 스위치.
- 제 1 항에 있어서,상기 캔틸레버는,상기 제 1 압전 구동부가 형성되어 있는 제 1 캔틸레버부와,상기 제 2 압전 구동부가 형성되어 있고 상기 제 1 캔틸레버부에 연결되어 있는 제 2 캔틸레버부로 구성된 것을 특징으로 하는 스티킹 방지용 알에프 스위치.
- 제 6 항에 있어서,상기 제 1과 2 압전 구동부는 동일한 수평선상에 위치되어 있는 것을 특징으 로 하는 스티킹 방지용 알에프 스위치.
- 상호 이격되어 있는 한 쌍의 신호 전송선들과;상기 신호 전송선들에 접촉 또는 이탈되는 스위치 접촉부와;상기 신호 전송선들에 접촉 또는 이탈되도록, 상기 스위치 접촉부를 구동시키는 구동부와;상기 신호 전송선들 중 하나를 가압하여 상기 스위치 접촉부가 상기 신호 전송선들에 스티킹되는 것을 방지시키는 스티킹 방지부로 구성된 스티킹 방지용 알에프 스위치.
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| KR20040103054A (ko) * | 2003-05-30 | 2004-12-08 | 전자부품연구원 | 시소형 알에프 멤스 스위치 |
| KR20060078097A (ko) * | 2004-12-30 | 2006-07-05 | 엘지전자 주식회사 | 압전력 및 정전력 구동 ｒｆ ｍｅｍｓ 스위치 |
| KR20070013950A (ko) * | 2005-07-27 | 2007-01-31 | 삼성전자주식회사 | 정전기력 및 압전력에 의해 구동되는 멤스 스위치 |
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