KR101366391B1 - 세포 계수용 칩 - Google Patents
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Abstract
세포 계수용 칩이 개시된다. 본 발명에 의한 세포 계수용 칩은 활성 영역의 폭(width)이 서로 다른 복수개의 셀이 다양한 형태로 배치될 수 있는 전계 효과 트랜지스터(Field Effect Transistor, FET) 어레이 형태로서, 각 셀을 구성하는 검출 프로브 또는 활성 영역의 폭을 변화시켜 다양한 종류 및 크기를 가지는 세포를 한번에 분리 및 계수할 수 있다.
Description
본 발명은 세포 계수용 칩에 관한 것으로, 보다 상세하게는 활성 영역의 폭(width)이 서로 다른 복수개의 셀을 배치하여 다양한 종류 및 크기를 가지는 세포를 분리 및 계수할 수 있는 전계 효과 트랜지스터(Field Effect Transistor, FET) 어레이 형태의 세포 계수용 칩에 관한 것이다.
전계 효과 트랜지스터 바이오 센서는 민감도, 신속성, 휴대성 및 크기 등에 이점이 있어 H+ 이온 농도를 측정하는 고정 효소 전계 효과 트랜지스터 센서, DNA 혼성화를 검출하는 DNA 전계 효과 트랜지스터 센서, 세포 밖 전위 또는 세포 대사기전을 검출하는 전계 효과 트랜지스터 센서 등 그 연구가 활발하다.
일반적으로, 전계 효과 트랜지스터 바이오 센서는 소스(source) 전극, 게이트(gate) 전극 및 드레인(drain) 전극으로 구성되어 있으며, 전기장 효과에 의해 소스 전극 및 드레인 전극 사이의 채널 영역을 흐르는 전류가 변하는 반도체 특성을 이용한다.
이와 관련하여, 대한민국 공개특허 제10-2010-0100083호에서는 전계 효과 트랜지스터 바이오 센서를 이용한 변이 p53의 검출방법에 대해 개시하고 있다. 이는 p53 단백질과 특이적으로 결합하는 DNA를 이용하여 변이 p53 단백질을 검출하는 기술로서, 게이트 전극에 p53 단백질이 함유된 시료를 점적시켜 상기 DNA와 반응시키고, 이 때 소스 전극 및 드레인 전극 사이의 채널 영역에 흐르는 전류값을 측정하며, 상기 측정된 전류값을 이용하여 p53 단백질의 변이 여부를 확인하는 단계를 거쳐 변이된 특정 단백질을 검출한다.
상기와 같이, 현재까지의 전계 효과 트랜지스터 바이오 센서에 관한 연구는 주로 하나의 전계 효과 트랜지스터를 이용하여 특정한 한, 두 종류의 단백질 또는 DNA의 존재 유무를 확인하거나, 이를 검출하는 것에 그치고 있었다.
한편, 줄기 세포는 각종 신체 조직으로 분화할 수 있는 능력을 가진 미분화세포를 의미한다. 이는 치료, 미용, 성형 등 의료 목적으로 연구되고 있으며, 전세계적으로 환자 본인의 생체 조직을 이용하는 방법이 실용화 단계에 있다. 특히, 줄기 세포의 한 예로서 지방 줄기 세포(Stromal vascular fraction, SVF)는 줄기 세포 중 가장 풍부한 양을 용이하게 획득할 수 있고, 다양한 조직을 재생할 수 있으므로, 응용 가능성이 무한하여 최근 많은 연구 결과가 보고되고 있다.
이 때 의료 목적으로 행해지는 줄기 세포 시술시, 줄기 세포를 추출하고 채취하는 과정에서 외부 요인으로 발생하는 줄기 세포 오염 등에 의한 의료사고를 예방하기 위한 노력이 필요한 바, 그 일환으로 줄기 세포가 자동 추출되면서 오염을 방지할 수 있는 의료 기기의 개발이 절실하다. 이에 따라 국내외적으로 안전하게 지방 줄기 세포를 획득할 수 있는 기기 또는 시스템의 개발이 진행되고 있다.
상기와 같은 줄기 세포 응용 기술의 핵심은 보다 정밀한 세포의 검지, 분류 및 계수 기술의 개발인 바, 현행의 방식은 숙련된 연구원이 육안으로 검지하고, 이를 분리 및 계수하는 방식이다. 그러나, 이는 연구원의 육안에 의존하는 원시적인 방법을 사용하여 회수 효율이 낮은 문제점이 있었으며, 이조차도 연구원들의 숙련도에 크게 의존하여 나타나는 문제점이 있었다. 더불어, 생체 조직에서 추출하는 줄기 세포는 그 형태가 일정치 않기 때문에 육안으로는 정확하게 계수하기 어려운 문제점이 있었다.
이에 본 발명의 목적은 복수개의 셀을 포함하고, 각 셀의 활성 영역의 폭(width)을 다르게 형성하여 지방 줄기 세포를 포함하는 다양한 종류 및 크기를 가지는 세포를 검지, 분류 및 계수할 수 있는 전계 효과 트랜지스터 어레이 형태의 세포 계수용 칩을 제공하는 데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 기판, 상기 기판 내의 상부 영역에 도핑된 채널층, 상기 채널층의 양측부에 형성된 소스 및 드레인 영역, 상기 채널층의 상부에 형성되는 게이트 절연막, 상기 기판의 양측부에 형성되어 활성 영역을 정의하는 필드 산화막, 상기 필드 산화막 상에 형성되며, 샘플액 주입 공간을 정의하는 스페이서, 상기 샘플액 주입 공간을 통해 주입되는 샘플액에 전압을 인가하는 게이트 전극을 포함하는 복수개의 셀을 포함하고, 상기 복수개의 셀이 어레이 형태를 구성하며, 각 셀의 활성 영역의 폭이 서로 다른 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의한 세포 계수용 칩은 복수개의 각 셀을 구성하는 활성 영역의 폭을 세포의 크기에 대응하도록 변화시켜 다양한 종류의 세포를 보다 정밀한 감도로 검지 및 계수할 수 있는 효과가 있다.
도 1a 내지 도 1l은 본 발명의 일 실시예에 의한 세포 계수용 칩을 구성하는 단일 셀의 제조 공정을 나타내는 공정도들이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 세포 계수용 칩의 원리를 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 의한 세포 계수용 칩의 평면도이다.
도 4는 도 3의 세포 계수용 칩을 구성하는 A셀 및 D셀의 평면도이다.
도 5는 도 3의 세포 계수용 칩을 구성하는 A셀의 세포 계수를 나타내는 평면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 세포 계수용 칩의 원리를 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 의한 세포 계수용 칩의 평면도이다.
도 4는 도 3의 세포 계수용 칩을 구성하는 A셀 및 D셀의 평면도이다.
도 5는 도 3의 세포 계수용 칩을 구성하는 A셀의 세포 계수를 나타내는 평면도이다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명되는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다. 도면들에 있어서, 층들 및 영역들의 두께는 명확성을 기하기 위하여 과장된 것이다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 구성요소에 대해 유사한 참조부호를 사용하였다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함하여 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다.
도 1a 내지 도 1l은 본 발명의 일 실시예에 의한 세포 계수용 칩을 구성하는 단일 셀의 제조 공정을 나타내는 공정도들이다.
도 1a를 참조하면, 기판(100) 상에 필드 산화막(120)을 형성한다. 상기 기판(100)은 P형 Si 기판일 수 있으며, 상기 필드 산화막(120)은 SiO2막일 수 있다. 상기 필드 산화막(120)은 상기 기판(100) 상에 플라즈마 화학기상 증착(PECVD) 공정을 통해 1μm 이상의 두께를 가지도록 형성할 수 있다.
도 1b를 참조하면, 필드 산화막(120)의 일부를 식각함으로써 채널층이 형성될 활성 영역(A)을 정의한다. 일례로, 필드 산화막(120) 상부에 포토 레지스트가 코팅되고, 노광 및 현상에 의하여 활성 영역(A)으로 정의된 영역의 포토레지스트가 오픈되며, 상기 오픈된 영역에 노출된 필드 산화막(120)이 식각으로 제거될 수 있다.
상기에서, 필드 산화막(120)의 식각 정도를 조절하여 검출 및/또는 계수하고자 하는 세포의 크기에 대응하도록 정의되는 활성 영역(A)의 폭(width)을 변화시킬 수 있다. 이 때, 보다 정밀한 감도로 세포를 분류 및 계수하기 위해 상기 활성 영역(A)의 폭은 세포 하나가 지나갈 수 있을 만큼의 크기로 설정되는 것이 바람직하다. 따라서, 상기 활성 영역(A)의 폭은 기 공지된 세포의 종류에 따른 세포의 크기를 참조하여 결정될 수 있다.
도 1c를 참조하면, 필드 산화막(120) 및 상기 필드 산화막(120)을 식각하여 노출된 기판(100) 전면에 게이트 절연막(140)을 형성한다. 상기 게이트 절연막(140)은 SiO2와 Si3N4의 이중막일 수 있다. 상기 이중막 중 SiO2 산화막은 열 증착(thermal evaporation) 공정을 통해 형성할 수 있으며, Si3N4 산화막은 저압 화학기상 증착(LPCVD) 공정을 통해 형성할 수 있다.
도 1d를 참조하면, 문턱 전압을 조절하기 위해 상기 기판(100)의 내부에 소정의 도펀트(dopant)를 이온 주입(ion implantation)하여 채널층(160)을 형성한다. 이 때, 이온 주입되는 도펀트는 보론(Boron) 또는 플루오르화 보론(BF2)일 수 있으며, 도즈(Dose)량은 1×1015ion/cm2 내지 1×1016ion/cm2 인 것이 바람직하다.
도 1e를 참조하면, 기판(100) 내 상부 영역에 일정 거리 이격되도록 소정의 도펀트를 주입하여 소스/드레인 영역(180a, 180b)을 형성한다. 이 때, 상기 도펀트 주입은 이온 주입법을 이용할 수 있다. 일례로, 감광막의 패턴과 같은 이온 주입 마스크막(170)을 형성하고, 아세나이드(As) 또는 인(P)과 같은 N형 소스/드레인 형성 도펀트를 기판(100) 내 상부 영역에 일정 거리 이격되도록 고농도로 이온 주입하고, 상기 이온 주입 마스크막(170)을 제거하여 소스/드레인 영역(180a, 180b)을 형성할 수 있다. 상기 이온 주입되는 도펀트의 도즈량은 1×1020ion/cm2 내지 1×1021ion/cm2 인 것이 바람직하다. 이후, 열처리 공정을 통해 상기 도펀트들을 활성화시킴으로 일정 거리 이격된 N+형 소스 및 드레인 영역(180a, 180b)을 형성한다.
도 1f를 참조하면, 활성 영역을 마스킹하기 위한 마스크막(190)을 형성한 후, 게이트 절연막(140)을 전면 식각하여 소스 및 드레인 영역(180a, 180b)을 노출시킴으로써 금속 배선을 형성하기 위한 콘택 홀을 오픈한다.
도 1g 내지 도 1h를 참조하면, 전극용 금속 물질을 전면 증착한 후, 활성 영역을 마스킹하는 마스크막(190)을 제거하여 소스 및 드레인 영역(180a, 180b)과 컨택하는 금속 배선(200)을 형성한다. 상기 금속 배선(200)을 형성하기 위한 전극용 금속 물질은 예컨대, 알루미늄일 수 있다.
도 1i를 참조하면, 금속 배선을 형성한 이후, 절연 물질을 선택적으로 도포하여 전극용 패드 및 채널층이 형성된 활성 영역을 제외한 양 측벽에 스페이서(220)를 형성한다. 상기 스페이서(220)를 형성하기 위한 절연 물질은 예컨대, PDMS(polydimethylsiloxane), PMMA(polymethylmethacrylate) 일 수 있다. 상기 스페이서 사이의 공간으로 샘플액 주입구(미도시)를 통해 검출 및/또는 계수하고자 하는 세포 등 타겟 물질이 포함된 샘플액(electrolyte)을 주입한다. 상기 샘플액은 검출 및/또는 계수하고자 하는 단백질, 펩티드, 아미노산, 지방 줄기 세포 등 생체 세포로 구성되는 타겟 물질을 포함한다.
도 1j를 참조하면, 게이트 절연막(140) 상에 검출 프로브(probe) 형성을 원활히 하기 위한 역할을 수행하는 촉매층(240)을 형성한다. 상기 게이트 절연막(140) 상에 검출 프로브를 직접 고정화하기 위해서는 실란 커플링(silane coupling) 등의 번잡한 전처리가 필요하다. 따라서 이를 방지하기 위해 게이트 절연막(140) 상에 촉매층(240)을 형성할 수 있다. 다만, 세포의 종류가 기 결정된 상태에서 세포의 수를 계수하는 경우에는 검출 프로브를 형성하지 않을 수 있으며, 상기와 같이 검출 프로브를 형성하지 않는 경우에는 상기 촉매층(240)을 형성하는 공정이 불필요하다. 상기 촉매층(240)은 예컨대, 금(Au) 나노 입자를 포함할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 검출 프로브를 고정시킬 수 있는 고분자 폴리머도 박막화하여 촉매층(240)으로 사용할 수 있다.
도 1k를 참조하면, 촉매층(240)상에 검출 프로브(260)를 부착한다. 상기 검출 프로브(260)는 핵산, 항체, 항원, 효소 등의 단백질, 펩타이드(peptid), 당류 등을 포함할 수 있다. 이는 검출 및/또는 계수하고자 하는 타겟 물질의 종류에 따라 선택 사용할 수 있다. 상기 검출 프로브(260)는 필요에 따라 부착될 수 있다. 즉, 검출하고자 하는 세포의 종류가 기 결정된 경우에는 검출 프로브(260)의 부착 공정이 불필요할 수 있다.
도 1l을 참조하면, 전압을 인가하기 위한 게이트 전극(280)을 형성한다. 상기 게이트 전극(280)은 샘플액(300)에 게이트 전압을 인가하는 기준 전극(reference electrode)일 수 있다. 상기 기준 전극으로서는 은/염화은(Ag/AgCl), 금(Au), 백금(Pt) 등을 이용할 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 세포 계수용 칩의 원리를 나타내는 도면이다.
도 2를 참조하면, 예컨대, 지방 줄기 세포를 검출 및/또는 계수하기 위하여 검출 프로브(260)로서 지방 줄기 세포에 특이적으로 결합하는 항체를 이용할 수 있다. 이 때, 스페이서 사이의 공간에 상기 지방 줄기 세포가 포함된 샘플액(300a, 300b)을 주입하는 경우, 상기 샘플액(300a, 300b)에 포함된 세포 중 상기 항체에 대응하는 타겟 물질 즉, 지방 줄기 세포가 포획된다. 상기 포획된 지방 줄기 세포는 전기적 특이성을 나타내며, 이는 게이트 절연막(140)에 전기적 영향을 미쳐 기판(100)의 상부에 형성된 채널층(160)의 전하 농도를 변화시킨다.
상기와 같은 채널층(160)의 전하 농도 변화는 항체에 의해 흡착되는 지방 줄기 세포의 숫자에 따라 문턱 전압 (Threshold Voltage :Vth) 변화의 차이로 나타난다.
예컨대, 검출 및/또는 계수하고자 지방 줄기 세포 1개를 포함하는 샘플액(300a)을 주입한 경우와 지방 줄기 세포 7개를 포함하는 샘플액(300b)을 주입한 경우, 검출 프로브(260) 역할을 수행하는 항체와 결합하는 상기 지방 줄기 세포의 개수가 1개인지 7개인지에 따라 채널층(160) 전하 농도의 변화 정도가 달라진다. 이 때, 지방 줄기 세포수가 증가할수록 그 변화 정도가 증가하므로, 문턱 전압의 변화의 차이에 따라서 지방 줄기 세포의 수를 계수할 수 있다. 또한, 검출 프로브(260)에 타겟 물질이 결합하면 채널층(160)에 전하가 모인 것처럼 동작하여 단일 셀의 문턱 전압이 증가하게 된다. 따라서 채널층(160)을 따라 흐르는 전류는 감소한다. 따라서, 지방 줄기 세포가 7개인 경우 게이트 절연막(140)에 미치는 전기적 영향의 정도가 1개일 경우에 비해 상대적으로 크므로, 문턱 전압은 1개일 경우에 비해 증가하고, 채널층(160)을 따라 흐르는 전류는 감소하게 된다.
즉, 본 발명의 세포 계수기용 칩은 특정 타겟 물질과 결합하는 검출 프로브에 타겟 물질이 얼마나 결합되느냐에 따라 게이트 전극(기준 전극) 전압과 채널층 사이에 포텐셜(potential) 차이를 발생시켜 문턱 전압이 변화하는 것을 측정하여 타겟 물질의 종류를 확인하고, 그 양을 계수하는 원리로 동작한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 의한 세포 계수용 칩의 평면도이다.
도 4는 도 3의 세포 계수용 칩을 구성하는 A셀 및 D셀의 평면도이다.
도 5는 도 3의 세포 계수용 칩을 구성하는 A셀의 세포 계수를 나타내는 평면도이다.
도 3, 도 4a 및 도 4b를 참조하면, 활성 영역의 폭(width)이 서로 다른 복수개의 셀을 배치하고, 이를 하나의 칩으로 구성하여 다양한 종류 및 크기를 가지는세포들을 효과적으로 검출 및/또는 계수할 수 있다. 상기 복수개의 셀 배치 형태는 검출 및/또는 계수하고자 하는 세포의 종류 또는 수에 따라 다양하게 변화시킬 수 있다. 예컨대, m개의 행(row)과 n개의 열(column)을 포함하는 m×n 매트릭스 형태의 배치 구조를 가질 수 있다. 복수개의 셀들은 각각 소스, 드레인, 게이트 전극용 패드를 통해 통상적으로 사용되는 방법으로 연결될 수 있으며, 이를 통해 각 셀을 다양한 배치 형태를 가지도록 연결하여 복수개의 셀을 포함하는 하나의 세포 계수기용 칩을 구성할 수 있다.
또한, 상기 복수개의 셀은 검출 프로브를 포함하거나 또는 포함하지 않을 수 있다. 그러나, 검출 프로브를 포함하는 경우, 특정한 검출 프로브에만 결합하는 세포의 특이성으로 인해 정확한 세포의 종류 및 개수를 동시에 측정해낼 수 있으므로, 이를 포함하는 것이 보다 바람직하다.
이 때, 상기와 같이 복수개의 셀이 m개의 행과 n개의 열을 포함하는 m×n 매트릭스 형태의 배치 구조를 가지는 경우, 동일한 행에 배치되는 셀들은 특정한 생체 세포에만 결합하는 동일한 종류의 항체를 포함하도록 검출 프로브를 형성하고, 활성 영역의 폭만을 다르게 설정할 수 있다.
상기 복수개의 셀들은 검출하고자 하는 타겟 물질의 종류에 따라 활성 영역의 폭이 달라질 수 있다. 상기 타겟 물질은 단백질, 펩티드, 아미노산, 지방 줄기 세포 등의 생체 세포를 포함할 수 있다. 이 때, 상기 각 셀의 활성 영역의 폭은 세포 하나가 지나갈 수 있을 만큼의 크기로 설정하는 것이 바람직한 바, 이는 보다 정밀한 감도로 세포를 계수하기 위함이다. 따라서, 상기 활성 영역의 폭은 기 공지된 세포의 종류에 따르는 세포의 크기를 참조하여 설계될 수 있다.
예컨대, 상기 복수개의 셀을 구성하는 A 내지 F 셀 각각은, A셀은 100μm, B셀은 70μm, C셀은 50 μm, D셀은 40μm, E셀은 30μm, F셀은 20μm 와 같이 서로 다른 활성 영역의 폭을 가지도록 설정될 수 있다. 이 때, 활성 영역의 길이는 약 1000μm 수준으로 크게 하여 타겟 물질의 흡착 가능성을 높인다. 또한, 1행을 구성하는 A셀 및 D셀, 2행을 구성하는 B셀 및 E셀, 3행을 구성하는 C셀 및 F셀은 동일한 종류의 검출 프로브를 포함할 수 있다.
이를 통해, A셀 및 D셀의 검출 프로브에만 특이적으로 결합하는 타겟 물질이 존재하는 경우에도, 양 셀의 활성 영역 폭의 차이로 인해 A셀에서만 타겟 물질이 검출될 수 있으며, 이로써 상기 타겟 물질의 종류를 확인할 수 있다. 또한, 상기 타겟 물질이 서로 다른 개수로 검출 프로브에 부착된 경우, 예컨대, A셀에서만 검출된 타겟 물질이 상기 A셀의 검출 프로브에 1개 부착된 경우와 3개 부착된 경우, 상기 타겟 물질이 부착된 개수에 따라 기판 내부의 소스 및 드레인 영역 사이의 채널층 길이 방향으로 전류 흐름을 차단하는 정도가 다르므로, 문턱 전압의 차이가 나타나게 되어 이로써 세포의 개수를 측정할 수 있다. 상기와 같이 타겟 물질의 종류 및 개수에 따라서 타겟 물질이 부착되는 셀 및 상기 셀의 문턱 전압에 차이가 발생하므로, 크기가 다른 세포의 선별 및 계수가 효과적으로 가능한 이점이 있다.
100: 기판 120: 필드 산화막
140: 게이트 절연막 160: 채널층
170, 190: 마스크막 180a, 180b: 소스/드레인 영역
200: 금속 배선 220: 스페이서
240: 촉매층 260: 검출 프로브
280: 게이트 전극 300: 샘플액
140: 게이트 절연막 160: 채널층
170, 190: 마스크막 180a, 180b: 소스/드레인 영역
200: 금속 배선 220: 스페이서
240: 촉매층 260: 검출 프로브
280: 게이트 전극 300: 샘플액
Claims (9)
- 기판;
상기 기판 내의 상부 영역에 도핑된 채널층;
상기 채널층의 양측부에 형성된 소스 및 드레인 영역;
상기 채널층의 상부에 형성되는 게이트 절연막;
상기 기판의 양측부에 형성되어, 상기 채널층의 활성 영역을 정의하는 필드 산화막;
상기 필드 산화막 상에 형성되며, 검출 세포가 함유된 샘플액의 주입 공간을 정의하는 스페이서; 및
상기 샘플액의 주입 공간을 통해 주입되는 샘플액에 전압을 인가하는 게이트 전극을 구비하는 셀을 적어도 두 개 포함하고,
상기 셀들은 전극들과 연결되며, 상기 각 셀의 활성 영역의 폭이 서로 다른 세포 계수용 칩. - 제1항에 있어서,
상기 게이트 절연막 상에 형성되는 검출 프로브를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 세포 계수용 칩. - 제1항에 있어서,
상기 검출 세포가 상기 채널층의 전하 농도를 변화시켜 발생하는 문턱 전압의 변화로 상기 검출 세포를 계수하는 것을 특징으로 하는 세포 계수용 칩. - 삭제
- 제2항에 있어서,
상기 게이트 절연막과 검출 프로브 사이에 검출 프로브의 부착을 용이하게 하기 위한 촉매층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 세포 계수용 칩. - 제5항에 있어서,
상기 촉매층은 금 나노입자를 포함하는 것을 특징으로 하는 세포 계수용 칩. - 제1항에 있어서,
상기 샘플액은 단백질, 펩티드, 아미노산 및 지방 줄기 세포 중에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 세포 계수용 칩. - 제1항에 있어서,
상기 각 셀의 활성 영역의 폭은 상기 검출 세포의 크기보다 큰 것을 특징으로 하는 세포 계수용 칩. - 제1항에 있어서,
상기 활성 영역의 폭은 20μm 내지 100μm의 범위에서 선택되는 것을 특징으로 하는 세포 계수용 칩.
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Citations (4)
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| JP2006527380A (ja) * | 2003-06-10 | 2006-11-30 | イサム リサーチ デベロップメント カンパニー オブ ザ ヘブルー ユニバーシティ オブ エルサレム | 生体細胞との通信のための電子装置 |
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| KR20100100083A (ko) * | 2009-03-05 | 2010-09-15 | 한국생명공학연구원 | 전계효과트랜지스터 바이오센서를 이용한 변이 ｐ53 단백질의 검출방법 |
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