KR101359719B1 - Method of manufacturing a powder of platinum-ruthenium alloys - Google Patents
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Abstract
본 발명은 고품질 유리 제조장치를 위해 사용되는 백금 장치중 고강도 및 유리물과의 탈착성이 요구되는 산화물 분산강화형 백금-루테늄 합금 분말 제조 방법에 관한 것으로 종래의 방법에 의해 제조할 경우, 공정수가 많고, 산처리등의 문제가 발생되며, 제조시간도 수일이상 소요되는 단점을 개선하기 위해 고안된 것이다.
이를 해결하기 위해, 백금에 목적조성의 루테늄 및 산화물 분산강화용 합금원소를 첨가하여 백금합금 잉곳을 제조하고, 제조된 잉곳에 열처리를 행하여 산화층을 형성시키고, 플라즈마 형성 후 산소를 일정량 투입시켜 용이하게 백금-루테늄 합금 분말을 제조하는 것을 목적으로 한다.The present invention relates to a method for producing an oxide dispersion-reinforced platinum-ruthenium alloy powder which requires high strength and desorption with glass in the platinum apparatus used for the high quality glass manufacturing apparatus. Many, problems such as acid treatment occurs, and is designed to improve the disadvantage that the manufacturing time also takes several days.
In order to solve this problem, platinum alloy ingot is added to platinum to form a target composition of ruthenium and oxide dispersion strengthening, heat treatment is performed on the prepared ingot, an oxide layer is formed, and a certain amount of oxygen is easily added after plasma formation. It is an object to produce a platinum-ruthenium alloy powder.
Description
본 발명은, 고품질 유리 제조장치를 위해 사용되는 백금 장치류(용해 설비, 크루서블(Crucible), 부싱(Bushing) 등) 등에 고강도가 요구되는 곳에 많이 사용되어지고 있는 산화물 분산강화형 백금재료 제조를 위한 백금-루테늄 합금 분말 제조방법에 관한 것으로, 상세하게는 백금-루테늄 잉곳을 제조 후 건식법을 이용하여 간단하게 목적조성의 백금-루테늄 합금 분말을 만드는 것에 관한 것이다.The present invention provides the production of oxide dispersed strengthening platinum materials, which are widely used in places where high strength is required for platinum devices (melting equipment, crucibles, bushings, etc.) used for high quality glass manufacturing apparatus. The present invention relates to a method for preparing a platinum-ruthenium alloy powder, and more particularly, to a method of preparing a platinum-ruthenium alloy powder using a dry method after manufacturing a platinum-ruthenium ingot.
백금은 면심입방 구조로 실온 및 고온에서 가공이 용이하고, 높은 융점(1780℃)을 가지고 있으며, 고온에서 화학적 안정성 및 산화에 대한 저항력, 휘발성이 우수하고, 산 및 화학약품에 대한 부식성도 우수하여 재료가 고가임에도 불구하고 여러 용도로 이용되고 있으며, 특히 최근 LCD산업의 성장과 더불어, LCD용 고품질 Glass 제조용 소재 및 장치에 많이 사용되고 있다.Platinum is a face-centered cubic structure that is easy to process at room temperature and high temperature, has a high melting point (1780 ℃), chemical stability at high temperature, resistance to oxidation and volatility, and corrosion resistance to acids and chemicals. Although the material is expensive, it has been used for various purposes. In particular, with the recent growth of the LCD industry, it is widely used for materials and devices for manufacturing high-quality glass for LCD.
상기의 백금 장치는 여러 형상 및 형태로 제조되고, 제조된 백금 장치는 Glass 제조 공정내 주요부에 설치되어 최종 Glass를 제조 후, LCD Panel를 제조하여 제품에 이르게 된다. 제조된 백금 소재와 장치는 Glass 제조공정 Line내에서 Melter, Refiner, Pipe, Stirrer에 핵심적인 원천소재로 적용되고 있으며, 각각의 요구특성에 맞는 백금소재가 사용되고 있다. The platinum device is manufactured in various shapes and forms, and the manufactured platinum device is installed in the main part of the glass manufacturing process, and after manufacturing the final glass, manufactures the LCD panel and leads to the product. The platinum material and device manufactured are applied as the core source material for Melter, Refiner, Pipe, Stirrer in the glass manufacturing process line, and the platinum material suitable for each requirement is used.
특히, 최근 평판 디스플레이 산업의 성장과 함께 LCD용 글라스(Glass) 수요가 폭발적으로 증가되고 있는 추세이며, 이와 더불어 LCD용 고품질 글라스 수요 증가에 따른 LCD 제조용 소재 및 장치에 사용되는 백금의 수요도 크게 증가되고 있다. 이러한 고품질의 글라스를 제조하기 위해서는 기존 백금에 비해 강도가 향상된 백금소재가 요구되는데, 백금의 강도를 증가시키기 위해 종래에는 백금에 유리물과의 젖음성 향상을 위해 금(Au)을 합금화 하거나, 백금소재의 강도향상을 위해 로듐(Rh), 유리물과의 탈착성과 내열성 향상을 위해 루테늄(Ru) 등을 합금화하여, 사용되어져 왔다. 이들 합금원소들은 대개 백금에 고용시켜 백금소재를 사용하였으나, 고용원소로 사용된 합금원소가 고비용이며 합금성분에 따라 착색된다는 단점이 있어, 최근에는 이러한 합금보다 가격이 매우 저렴하고 고온강도가 우수한 산화물 분산강화형 백금소재로 대체되고 있는 추세이다.In particular, with the recent growth of the flat panel display industry, the demand for LCD glass has exploded. In addition, the demand for platinum used in LCD manufacturing materials and devices has increased significantly due to the increase in demand for high quality glass for LCD. It is becoming. Platinum material with improved strength is required to manufacture such high-quality glass, and conventionally alloys gold (Au) or platinum material to improve wettability with glass in platinum to increase the strength of platinum. In order to improve the strength of rhodium (Rh), ruthenium (Ru) and the like has been used in order to improve the desorption and heat resistance with glass. These alloying elements are usually employed by platinum to use platinum material. However, the alloying element used as a solid solution is expensive and colored according to the alloying component. Recently, these alloys are very inexpensive and have high temperature strength. It is being replaced by distributed reinforced platinum materials.
산화물 분산강화형 백금소재는 순수한 백금에 비해 산화력이 우수한 원소를 합금화하여 산화물 형성 및 분산시킨 소재로, 산화물 분산강화형 백금의 특징을 요약하면 1200℃이상의 고온에서 장시간 사용해도 결정립의 성장이 거의 없고 변형이 적으며, 산화물에 의해 재결정이 방해되어 연신된 결정립을 갖으며, 이로 인해 높은 고온 크립강도를 나타낸다. 또한, 산화물 양이 적어 백금, 백금-로듐합금, 백금-금합금, 백금-루테늄 합금 등에 백금에 비해 산화력이 우수한 지르코늄(Zr), 사마륨(Sm), 이트륨(Y), 유로퓸(Eu), 하프늄(Hf) 등의 원소를 이용하여 산화물을 형성 및 분산시킨 백금재료가 다양하게 연구 및 개발되고 있는 실정이다. Oxide dispersion-enhanced platinum material is an oxide formed and dispersed by alloying an element with superior oxidation power compared to pure platinum. Summarizing the characteristics of oxide-dispersed platinum, there is almost no grain growth even when used for a long time at a high temperature of more than 1200 ℃. Less deformation, recrystallization is hindered by the oxide, and thus have elongated grains, resulting in high high temperature creep strength. In addition, due to the low amount of oxide, zirconium (Zr), samarium (Sm), yttrium (Y), europium (Eu), and hafnium (Pt), platinum-rhodium alloy, platinum-gold alloy, platinum-ruthenium alloy, etc. BACKGROUND ART Platinum materials in which oxides are formed and dispersed using elements such as Hf) have been researched and developed in various ways.
이들 산화물을 함유한 백금 또는 백금합금재료는, 사용되는 분위기 및 용도에 따라 합금원소의 선택이 가능하며, 이들 백금합금에 산화물을 분산시켜, 1200℃ 이상의 고온에서 장시간 사용해도 결정립의 성장이 없고 변형이 적으며, 산화물에 의해 재결정이 방해되어 연신된 결정립을 갖게 되어 높은 고온 크립 강도를 나타내는 것으로 알려져 있다.Platinum or platinum alloy materials containing these oxides can be selected from alloying elements depending on the atmosphere and purpose of use. The oxides are dispersed in these platinum alloys, and crystal grains do not grow and deform even when used for a long time at a high temperature of 1200 ° C or higher. It is known to have a small amount, and recrystallization is prevented by oxides, resulting in elongated crystal grains and exhibiting high high temperature creep strength.
종래에는, 산화물 분산강화형 백금 또는 백금합금 소재를 제조하기 위한 백금 또는 백금합금 분말의 제조방법으로 습식법과 건식법이 알려져 있다. 습식법의 경우에는, 백금 또는 백금합금에 주요 합금원소인 금, 로듐, 또는 루테늄 등의 원료 및 산화물 분산강화용 원소를 첨가하여 최종 산화물 분산강화형 백금 또는 백금합금 소재를 제조하기 위한 백금 또는 백금합금 분말을 제조하게 된다. 건식법을 이용할 경우에는, 백금 또는 백금합금 잉곳을 제조 및 wire로 제조한 후, 아크 용사기 등을 이용하여 물속에 분사시켜 분말을 제조한 후, 분쇄 및 탈가스 처리 등을 거쳐 백금 또는 백금합금 소재를 제조하기 위한 백금 또는 백금합금 분말을 제조한다.Conventionally, the wet method and the dry method are known as a method for producing platinum or platinum alloy powder for producing an oxide dispersion-enhanced platinum or platinum alloy material. In the case of the wet method, platinum or platinum alloys for producing final oxide dispersion-enhanced platinum or platinum alloy materials by adding raw materials such as gold, rhodium, or ruthenium, which are the main alloying elements, and elements for oxide dispersion strengthening to platinum or platinum alloys The powder is prepared. When using the dry method, platinum or platinum alloy ingots are manufactured and made of wire, and then sprayed into water using an arc sprayer, etc. to produce powder, and then pulverized and degassed, and then platinum or platinum alloy material To prepare a platinum or platinum alloy powder to prepare.
종래에 알려진 습식법을 적용할 경우 미세한 분말제조가 가능하다는 장점이 있으나, 백금, 루테늄 및 산화물 분산강화형 합금원소에 대한 용해 및 농축 등의 복잡한 공정이 요구되고, 많은 공정에 의해 장시간 소요되며, 용해 및 농축 공정시 질산, 염산, 및 왕수 등의 강산을 사용하기 때문에 폐액 등의 관리나 강산을 이용하는데 많은 어려움이 있고, 합금원소의 함량제어가 어렵다는 단점이 있다.When the wet method known in the art is applied, there is an advantage that fine powder can be manufactured. However, complex processes such as dissolution and concentration of platinum, ruthenium, and oxide dispersion-enhanced alloying elements are required. And strong acids such as nitric acid, hydrochloric acid, and aqua regia in the concentration process, there are many difficulties in managing waste liquids and using strong acids, and it is difficult to control the content of alloying elements.
또한, 최근에 알려진 건식법의 경우에도 습식법에 비해 함량제어가 용이하고 높은 고온강도를 갖는 백금 소재의 제조가 가능하다는 장점이 있으나, 분말을 제조하는데 합금잉곳 제조 후 신선에 의한 와이어 제조, 분사에 의한 분말화, 분쇄 및 탈가스 처리 등의 공정이 복잡하여 비용 증가 및 순도저하의 단점이 있다. In addition, in the case of the recently known dry method, there is an advantage that it is easier to control the content than the wet method and that the platinum material having a high temperature strength can be manufactured. Processes such as powdering, pulverization and degassing are complicated, resulting in increased costs and reduced purity.
본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해소하기위해 안출한 것으로, 산화물 분산강화형 백금재료 제조를 위한 백금-루테늄 합금 분말 제조방법에 관한 것으로, 종래의 습식공법이나, 용해를 이용한 잉곳을 제조 및 와이어로 제조 후 복잡한 공정을 이용하여 분말을 제조하는 방식이 아니라, 제조된 잉곳에 산화열처리를 행한 후 플라즈마를 이용하여 용이하게 백금-루테늄-지르코늄 합금 분말을 만드는데 목적이 있다.The present invention has been made in order to solve the above-mentioned conventional problems, and relates to a platinum-ruthenium alloy powder manufacturing method for producing an oxide dispersion-enhanced platinum material, and to manufacture and manufacture ingots using a conventional wet method or melting The purpose of the present invention is not to prepare a powder using a complicated process after the wire is manufactured, but to easily prepare a platinum-ruthenium-zirconium alloy powder using plasma after performing an oxidation heat treatment on the manufactured ingot.
상세하게는, 백금에 목적조성의 루테늄 및 산화물 분산강화용 합금원소를 첨가하여 백금합금 잉곳을 제조하고, 잉곳에 열처리를 행하여 산화층을 형성시키고, 플라즈마 형성후 산소를 일정량 투입시켜 용이하게 백금-루테늄 합금 분말을 제조하는 것을 목적으로 한다. In detail, a platinum alloy ingot is prepared by adding a ruthenium and an oxide dispersing alloying element of the target composition to platinum, heat treating the ingot to form an oxide layer, and injecting a certain amount of oxygen after plasma formation to easily add platinum-ruthenium. An object is to produce an alloy powder.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명은, 대기중에서 용해시 산화 및 휘발되기 쉬운, 루테늄 및 산화물 분산강화용 합금원소의 목적조성 제어를 위해 불활성 분위기에서 합금원소를 첨가하여 백금합금 잉곳을 제조하고, 필요에 따라서 산화처리를 실시하고 플라즈마 형성시 산소를 일부 투입하여 비산된 백금합금 분말을 제조하며, 수소열처리를 이용한 환원처리 및 분급을 행하여 균일한 특성을 갖은 산화물 분산강화형 고순도 백금-루테늄 합금분말을 제조하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the present invention is to prepare a platinum alloy ingot by adding the alloying element in an inert atmosphere for the purpose of controlling the composition of the ruthenium and oxide dispersion strengthening alloy element, which is easily oxidized and volatilized when dissolved in the atmosphere, Oxide treatment is carried out as necessary, and oxygen is partially added during plasma formation to prepare scattered platinum alloy powder. Oxide dispersion-enhanced high purity platinum-ruthenium alloy powder having uniform characteristics by reduction treatment and classification using hydrogen heat treatment. It characterized in that the manufacturing.
본 발명은 산화물 분산강화형 백금소재에 사용되는 백금 합금 분말을 제조하는데 있어 기존의 습식 및 건식공법이 아닌 백금합금 잉곳에 플라즈마를 이용하여 용이하게 백금 합금 분말제조 하는 것을 목적으로 하며, 기존 열플라즈마에 의한 용탕 형성 후 기화에 의한 분말 제조가 아닌, 균일한 목적조성의 백금 합금 분말제조를 위해 비산 분말 제조를 목적으로 한다. 이를 통해 산화물 분산강화형 백금 합금 분말을 제조하는데 있어, 비용절감이 가능하고, 고온에서 높은 강도를 갖는 조성이 균일한 산화물 분산강화형 백금소재 제조가 가능하다.The present invention aims to easily produce platinum alloy powder using a plasma to the platinum alloy ingot, rather than the conventional wet and dry method in the production of platinum alloy powder used in the oxide dispersion-enhanced platinum material, the existing thermal plasma It is aimed at the production of scattering powder for the production of a platinum alloy powder of uniform purpose composition, rather than the powder production by evaporation after the formation of the molten metal. Through this, in the production of oxide dispersion-enhanced platinum alloy powder, cost reduction is possible, and it is possible to manufacture oxide dispersion-enhanced platinum material having a uniform composition having high strength at high temperature.
도 1은, 플라즈마를 이용하여 백금-루테늄 합금분말을 제조하는 작업 순서도이다.1 is a flowchart showing the operation of manufacturing a platinum-ruthenium alloy powder using plasma.
산화물 분산강화형 백금 소재 제조를 위한 백금-루테늄 합금 분말을 제조하는데 있어서, 백금합금 잉곳을 제조하는 단계에서 불활성 분위기에서 용해하고, 백금합금 분말을 제조하는 단계에서 플라즈마를 이용하여 분말을 제조하는 것을 특징으로 한다.In the production of platinum-ruthenium alloy powder for the production of oxide dispersion-enhanced platinum material, the powder is dissolved in an inert atmosphere in the production of platinum alloy ingot, and the powder is prepared using plasma in the production of platinum alloy powder. It features.
산화물 분산강화형 백금소재를 제조하기 위한 백금-루테늄합금 분말을 제조하는 방법으로는, 순수백금에 목적조성의 합금원소를 첨가하여 백금합금 잉곳을 제조하는 단계, 백금 합금잉곳에 대해 산화처리하는 단계, 산화처리된 백금 합금잉곳을 플라즈마 장비 내부에 세팅하는 단계, 플라즈마 장비 내부를 감압하고, 플라즈마를 형성시켜 백금합금 분말을 제조하는 단계 및 백금합금 분말에 열처리를 실시하여 고순도의 백금합금 분말을 제조하는 단계로 구성된다.As a method for producing a platinum-ruthenium alloy powder for producing an oxide dispersion-enhanced platinum material, a method of preparing a platinum alloy ingot by adding an alloying element of a desired composition to pure platinum, and oxidizing the platinum alloy ingot To prepare a high-purity platinum alloy powder by the step of setting the oxidized platinum alloy ingot inside the plasma equipment, depressurizing the inside of the plasma equipment, forming a plasma to produce a platinum alloy powder and heat-treating the platinum alloy powder. It is composed of steps.
더욱 상세하게는, 산화물 분산강화형 백금 재료를 제조하기 위한 백금-루테늄 합금 분말 제조방법에 있어서, 순수백금에 루테늄 및 산화물 분산강화형 원소를 첨가하여 백금-루테늄 합금 잉곳을 제조하는 단계; 제조된 백금-루테늄 합금 잉곳에 열처리 하는 단계; 열처리된 백금-루테늄 합금 잉곳을 플라즈마 장비 내부에 전처리 하는 단계; 플라즈마 장비 내부를 감압하고, 플라즈마를 형성시켜 비산된 백금-루테늄 합금 분말을 제조하는 단계; 비산된 백금-루테늄 합금 분말에 대해 열처리 및 분급하는 단계로 구성되는 것을 특징으로 한다.More specifically, the method for producing a platinum-ruthenium alloy powder for producing an oxide dispersion-enhanced platinum material, comprising: adding a ruthenium and an oxide dispersion-enhanced element to pure platinum to prepare a platinum-ruthenium alloy ingot; Heat-treating the prepared platinum-ruthenium alloy ingot; Pretreating the heat-treated platinum-ruthenium alloy ingot inside the plasma equipment; Pressure-reducing the inside of the plasma equipment, and forming a plasma to prepare scattered platinum-ruthenium alloy powder; Heat-treating and classifying the scattered platinum-ruthenium alloy powder.
이하, 본 발명의 실시예와 첨부한 도면을 참조하여 상기공정단계에 대해 상세하게 설명한다.Hereinafter, the process steps will be described in detail with reference to embodiments of the present invention and the accompanying drawings.
도 1은, 플라즈마를 이용하여 백금-루테늄 합금분말을 제조하는 작업 순서도이다.1 is a flowchart showing the operation of manufacturing a platinum-ruthenium alloy powder using plasma.
도 1에 도시된 바와 같이, 먼저, 순수백금에 목적조성의 합금원소를 첨가하여 백금합금 잉곳을 제조한다.(S1) As shown in FIG. 1, first, a platinum alloy ingot is prepared by adding an alloying element of the target composition to pure platinum. (S1)
먼저 합금원소의 목적조성 제어를 용이하게 하기 위해, 백금과 루테늄 합금 또는 백금과 분산강화용 원소를 첨가하여 이원계 백금 합금을 제조하고, 나머지 합금원소를 추가하여 3원계 백금 합금잉곳을 만드는 것이 바람직하다. 백금-루테늄 잉곳을 제조하는 단계에 첨가되는 주요 합금원소로 루테늄(Ru)인 것을 특징으로 하며, 첨가되는 루테늄 합금양은 0.05wt 내지 10wt%것이 바람직한데, 이는 0.05wt%이하인 경우, 루테늄의 고온 안정성 효과 및 유리물과의 반응을 억제하는 효과를 얻기가 어렵고, 10wt%이상인 경우에는 백금재료의 연성을 저하시켜, 가공성이 현저히 저하되어 유리물 장치에 적합하지 않다. 산화물 분산강화용 합금원소로서는 지르코늄(Zr), 사마륨(Sm), 이트륨(Y), 유로퓸(Eu), 하프늄(Hf) 등이 가능하며, 이들 중 어느하나를 선택하는 것이 가능하다. 첨가되는 합금원소의 종류는 다양하게 선택가능하나, 유리용 산업에 쓰이는 용도를 감안하여 백금 재료의 내식성을 저해시키지 않고, 백금에 비해 산화도가 큰 원소로 선정하는 것이 바람직한데, 이는 산화물 분산강화형 백금 소재를 제조하기 위해 실시되는 중간 대기 열처리나, 최종 대기 열처리시 백금에 비해 합금원소를 먼저 산화시켜 산화물을 형성하기 위함이다. 첨가되는 산화물 분산강화용 합금원소의 양은 0.02 wt% 내지 1 wt%인 것을 특징으로 하는데, 이는 0.02 wt% 미만에서는 백금소재의 분산강화 효과를 얻을 수 없어 고온 강도가 낮아지고, 1 wt%를 초과하는 경우 합금원소의 산화물 분산 강화효과가 커져 가공성이 저하되는 단점이 있다. 따라서 상기의 합금 원소 및 합금 원소의 양은 분산강화 효과를 극대화하면서 가공성을 좋게 하는 수준에서 선택하는 것이 바람직하다. 또한, 루테늄이나, 산화물 분산강화형 원소의 경우에는, 백금에 비해 산화성이 우수하여, 대기 중에서 용해할 경우 산화 및 휘발에 의해 목적조성의 함량제어가 어려우므로 불활성 분위기에서 백금합금 잉곳을 제조하는 것이 바람직하다.First, in order to facilitate the control of the composition of the alloying elements, it is preferable to prepare a platinum-based platinum alloy by adding platinum and ruthenium alloys or platinum and an element for dispersing strengthening, and adding the remaining alloying elements to form a ternary platinum alloy ingot. . Ruthenium (Ru) is the main alloying element added to the step of preparing a platinum-ruthenium ingot, and the amount of ruthenium alloy added is preferably 0.05wt to 10wt%, which is less than 0.05wt%, the high temperature stability of ruthenium It is difficult to obtain the effect and the effect of suppressing the reaction with the glass, and in the case of 10 wt% or more, the ductility of the platinum material is lowered, and the workability is remarkably lowered, which is not suitable for the glass apparatus. Zirconium (Zr), samarium (Sm), yttrium (Y), europium (Eu), hafnium (Hf), etc. can be selected as an alloy element for oxide dispersion strengthening, and any of these can be selected. There are various types of alloying elements to be added, but considering the use in the glass industry, it is preferable to select an element having a higher oxidation degree than platinum, without inhibiting the corrosion resistance of the platinum material. This is to form an oxide by oxidizing the alloying element first in comparison with platinum in the intermediate atmospheric heat treatment or final atmospheric heat treatment performed to manufacture the type platinum material. The amount of the alloying element for oxide dispersion strengthening is added is characterized in that 0.02 wt% to 1 wt%, which is less than 0.02 wt%, the dispersion strengthening effect of the platinum material can not be obtained, the high temperature strength is lowered, exceeding 1 wt% In this case, the oxide dispersion strengthening effect of the alloying element is increased, resulting in a decrease in workability. Therefore, the amount of the alloying element and the alloying element is preferably selected at the level to improve the workability while maximizing the dispersion strengthening effect. In addition, in the case of ruthenium or an oxide dispersion-enhanced element, it is excellent in oxidizing property compared with platinum, and when dissolved in the air, it is difficult to control the content of the target composition by oxidation and volatilization. desirable.
제조된 백금합금 잉곳에 비산분말 제조를 위해 산화처리를 실시한다.(S2)The prepared platinum alloy ingot is subjected to oxidation treatment to prepare scattering powder. (S2)
플라즈마를 이용하는 데 있어 단상의 경우에는 플라즈마에 의해 용해 및 기화분말을 얻더라도 조성의 변화가 없다는 장점이 있으나, 이원계 이상의 합금분말을 제조하는 경우에는, 금속 원소간의 기화온도가 틀려 제조된 기화분말의 경우, 전체 분말의 조성이 균일하지 않을 가능성이 높다. 이를 방지하기 위해 본 발명에서는 기화가 아닌 균일하게 조성제어가 된 잉곳에 비산분말 위주로 제조하는 것을 목적으로 하며, 비산 분말 제조를 용이하게 하기 위해, 산화물 또는 반응가스로 산소를 일부 투입시켜 비산분말 제조가 용이하다는 것을 확인하였으며, 우선적으로 비산분말 제조를 용이하게 위해 열처리를 실시한다. 이때 열처리온도는 800~1200℃에서 1시간~5시간으로, 대기분위기에서 행하는 것이 유리한데 이는 열처리 조건이 800℃, 1시간 이하일 경우에는 산화층의 형성을 기대하기 어렵고, 1200℃, 5시간이상일 경우에는 루테늄의 휘발 가능성이 높아, 목적조성 제어가 어렵다는 단점이 있으며, 산화막 형성을 위해 대기중에서 실시하는 것이 바람직하다. In the case of using a plasma, there is an advantage in that the composition does not change even when dissolution and vaporization powder are obtained by plasma. However, in the case of preparing an alloy powder of binary or higher type, the vaporization powder produced by the vaporization temperature between metal elements is different. In this case, there is a high possibility that the composition of the whole powder is not uniform. In order to prevent this problem, the present invention aims to manufacture the scattering powder mainly in an ingot that is uniformly controlled, not vaporized, and to facilitate the preparation of scattering powder, preparing a scattering powder by injecting some oxygen into an oxide or a reaction gas. It was confirmed that it is easy, first of all to perform a heat treatment to facilitate the production of fly ash powder. At this time, the heat treatment temperature is 1 to 5 hours at 800 ~ 1200 ℃, it is advantageous to perform in the air atmosphere, which is difficult to form the oxide layer when the heat treatment conditions are 800 ℃, 1 hour or less, when 1200 ℃, 5 hours or more There is a disadvantage that ruthenium has high volatility, and it is difficult to control the composition of the purpose, and it is preferable to carry out in the air to form an oxide film.
산화처리된 백금-루테늄 합금 잉곳에 대해 플라즈마 장비 내부에 세팅한다.(S3)The oxidized platinum-ruthenium alloy ingot is set inside the plasma apparatus. (S3)
플라즈마 처리 전에 챔버 내부를 세정하여 불순물이나, 이물질의 혼입을 방지하는 것이 바람직하다. 세정된 챔버 내부 몰드 위에 백금합금잉곳을 세팅하고, 플라즈마 형성을 위해 플라즈마 토치와 타겟 간의 거리를 조정한다. 고순도의 백금합금분말을 제조하기 위해서는, 플라즈마 형성을 위해 사용되는 전극의 재료가 중요하며 플라즈마 전극에 의한 오염을 최소화하는 것이 중요하다. 적용 가능한 음극 재료로는, 몰리브덴(Mo), 텅스텐(W), 백금(Pt)이 가능하며, 이들 중 선택된 어느 하나인 것이 적용 가능하며, 원료와 동일 재질인 백금을 사용하는 것이 고순도 분말을 제조하는데 가장 바람직하다. 백금합금 잉곳이 세팅되는 양극에 사용가능한 몰드 재료로는 몰리브덴(Mo), 텅스텐(W), 구리(Cu), 카본(Carbon) 또는 백금(Pt)등이 사용가능하며, 이들 중 선택된 어느 하나인 것이 사용가능하다. 고순도를 유지하고 몰드에 의한 오염을 최소화하는 것이 중요한데, 동일 재질인 백금이 가장 바람직하며, 몰드에 의해 오염이 발생되더라도 오염의 제거가 용이한 카본 몰드를 선택하는 것이 유리하다It is preferable to clean the inside of the chamber before the plasma treatment to prevent the incorporation of impurities and foreign substances. A platinum alloy ingot is set on the cleaned chamber internal mold and the distance between the plasma torch and the target is adjusted for plasma formation. In order to produce high purity platinum alloy powder, the material of the electrode used for plasma formation is important and it is important to minimize contamination by the plasma electrode. Applicable negative electrode materials may include molybdenum (Mo), tungsten (W), and platinum (Pt), and any one selected from among them may be applicable, and the use of platinum, which is the same material as that of the raw material, may produce high purity powder. Most preferred. Molybdenum (Mo), tungsten (W), copper (Cu), carbon, or platinum (Pt) may be used as the mold material for the anode to which the platinum alloy ingot is set. Is available. Maintaining high purity and minimizing contamination by the mold is important. Platinum, which is the same material, is most preferable, and it is advantageous to select a carbon mold that is easy to remove the contamination even if contamination occurs by the mold.
플라즈마 장비내부를 감압하고, 반응가스 투입 및 작업 진공도를 조절 후 전력을 인가하여 플라즈마를 형성시켜 잉곳이 비산된 백금-루테늄 합금 분말을 제조한다.(S4)After depressurizing the inside of the plasma equipment, adjusting the reaction gas and adjusting the working vacuum, electric power is applied to form a plasma to prepare platinum-ruthenium alloy powder in which the ingot is scattered.
플라즈마를 형성시키기 위해 진공 시스템을 이용하여 10-1 torr 수준으로 감압하고, 반응가스 투입 및 작업 진공도를 조절 후 전력을 인가하여 플라즈마를 형성시킨다. 사용되는 주요 반응가스로는 Ar, H2, N2, CH4, Ar+H2, Ar+N2등의 혼합가스 사용이 가능하며, 이들 중 선택된 어느 하나 이상이 가능하나, N2, H2 또는 이들이 함유된 혼합가스를 사용할 경우에는 분말제조 후에 백금 분말에 잔존하여 소재 제조시 트랩(Trap)되어, 가공에 의한 크랙이 발생될 수 있으므로, Ar을 사용하는 것이 가장 바람직하다. 분말 제조 속도 증가를 위해 Ar가스에 N2, H2를 일부 함유하더라도, 반응가스 함량의 1 내지 5% 이하로 투입하는 것이 바람직한데, 이는 1% 이하일 경우에는 분말제조속도 증가 효과를 기대할 수 없으며, 5% 이상일 경우에는 분말내 잔존될 가능성이 높기 때문이다. 작업진공도는 대략 50~700 torr에서 작업하는 것이 바람직한데 50 torr 이하일 경우 플라즈마가 몰드까지 전이되어 재료에 직접적인 열전달이 어렵고, 700 torr 이상일 경우에는 배기 능력이 저하되어 용해 중 가스성분이나 저기압에서 제거 가능한 불순물 등의 제거가 어려울 수 있기 때문이다. 진공도 조절은 장비에 부착된 기타 냉각가스를 이용하거나 진공도 제어 밸브를 이용하여 조절하는 것이 바람직하다. 비산분말의 제조를 용이하기 위해 상기의 주요 반응가스에 산소를 소량 투입시킨다. 이전 공정에서 대기열처리에 의한 산화물 형성에 의해 플라즈마 형성후 초기에는 비산분말의 제조가 쉬우나, 일정시간 이후에는 산화물층이 감소되어 비산분말 제조에 한계가 있으므로, 연속적으로 비산분말을 얻기 위해, 산소를 원재료 주위에 공급해주는 것을 목적으로 한다. 산소의 함량은 반응가스 함량대비 0.5~5%이하로 하는 것이 바람직한데, 산소의 함량이 반응가스 함량대비 0.5%이하일 경우 산소효과가 저하되어 비산분말 제조가 어렵고, 산소함량이 5%이상일 경우에는, 폭발 등의 작업 위험 가능성이 있으므로, 산소함량 제어가 필요하다. 플라즈마 전력은 10 내지 100 kw 이하가 바람직한데, 10 kw 이하일 경우 전력이 낮아 플라즈마 효과가 저하되며, 장비의 안정성을 고려하여 100 kw 이하에서 실시한다. In order to form a plasma, a vacuum system was used to reduce the pressure to a level of 10 −1 torr, and the plasma was formed by applying electric power after adjusting the reaction gas input and working vacuum degree. The main reaction gases used are Ar, H 2 , Mixed gas such as N 2 , CH 4 , Ar + H 2 , Ar + N 2 may be used, and any one or more of these may be used, but when using N 2 , H 2 or a mixed gas containing them, powder It is most preferable to use Ar because it remains in the platinum powder after manufacture and is trapped in manufacturing the material, so that cracks due to processing may occur. Even if N 2 and H 2 are partially contained in the Ar gas to increase the powder production speed, it is preferable to add 1 to 5% or less of the reaction gas content, which is not expected to increase the powder production speed when it is 1% or less. If 5% or more, it is likely to remain in the powder. It is desirable to work at roughly 50 ~ 700 torr. If it is less than 50 torr, the plasma is transferred to the mold, which makes it difficult to transfer heat directly to the material. If it is more than 700 torr, the exhaust capacity is deteriorated. This is because removal of impurities and the like may be difficult. It is desirable to adjust the vacuum degree using other cooling gas attached to the equipment or by using a vacuum control valve. In order to facilitate the preparation of fly ash powder, a small amount of oxygen is added to the main reaction gas. In the previous process, the formation of fly ash powder is easy at the beginning after plasma formation by the formation of oxide by queuing process, but after a certain time, the oxide layer is reduced and there is a limit to the preparation of fly ash powder. It aims to supply around raw materials. The oxygen content is preferably 0.5 to 5% or less than the reaction gas content. When the oxygen content is less than 0.5% to the reaction gas content, the oxygen effect is lowered, making it difficult to prepare scattered powder, and when the oxygen content is 5% or more. There is a possibility of work hazards such as explosion and explosion. Therefore, oxygen content control is necessary. Plasma power is preferably 10 to 100 kw or less. If the power is 10 kw or less, the plasma effect is lowered due to low power, and is performed at 100 kw or less in consideration of the stability of the equipment.
제조된 백금-루테늄 합금 분말에 대해 열처리 및 분급을 실시한다.(S5) The prepared platinum-ruthenium alloy powder is subjected to heat treatment and classification. (S5)
일반적으로 동일재질의 백금-루테늄 도가니가 비용적인 측면에서 적용이 어려우며, 오염이 되더라도 오염원제거가 용이한 카본 재질을 많이 이용하는데, 카본 재질을 사용할 경우에는, 백금족 원소 특성상 카본과 반응이 일어나며, 일부 카본의 기화도 발생되므로, 대기열처리를 실시하여 카본이 제거된 고순도의 백금-루테늄 합금 분말 제조가 가능하다. 열처리의 경우, 분위기는 대기 또는 산소분위기가 바람직한데, 이는 미세한 카본이 500℃ 이상의 고온에서 산소와 결합, 일산화 탄소(CO) 또는 이산화탄소(CO2)등의 가스로 형성시켜, 카본을 제거하고자 위함이다.In general, platinum-ruthenium crucibles of the same material are difficult to apply in terms of cost, and even if they are contaminated, they use a lot of carbon materials that are easy to remove pollutants. When carbon materials are used, they react with carbon due to the properties of platinum group elements. Since vaporization of carbon also occurs, it is possible to produce a high purity platinum-ruthenium alloy powder from which carbon is removed by queuing. In the case of heat treatment, the atmosphere is preferably an atmosphere or an oxygen atmosphere, in order to remove the carbon by forming fine carbon combined with oxygen, gas such as carbon monoxide (CO) or carbon dioxide (CO 2 ) at a high temperature of 500 ° C. or higher. to be.
이때 실시되는 열처리 온도는 600 내지 1200℃ 및 1시간 내지 5 시간 동안 열처리를 하는 것이 바람직하다. 온도가 600℃ 이하이고 1 시간 이하로 짧을 경우 잔존한 카본이 충분히 제거되지 않을 가능성이 높아 최종 백금소재에서 가공성을 저하시키며, 온도가 1200℃ 이상 높고 5 시간 이상의 장시간일 경우 제조된 분말이 응집 및 산화물 분산강화형 원소의 조대화 가능성이 높다. In this case, the heat treatment temperature is preferably performed at 600 to 1200 ° C. for 1 hour to 5 hours. If the temperature is 600 ℃ or less and less than 1 hour, the remaining carbon is not likely to be sufficiently removed, resulting in deterioration of processability in the final platinum material. There is a high possibility of coarsening of the oxide dispersion strengthening element.
카본성분이 제거된 백금 합금 분말에 대해서 표준체를 이용하여 원하는 크기의 분말 제어가 가능하다. 분말 크기 제어는 산화물 분산강화형 백금소재의 균일한 특성을 나타내는데 중요하므로, 분말 사용 수율과 백금소재의 특성을 고려하여 선택하는 것이 바람직하다. For the platinum alloy powder from which the carbon component has been removed, a powder of a desired size can be controlled using a standard body. Powder size control is important for showing uniform characteristics of the oxide dispersion-enhanced platinum material, so it is preferable to consider the powder use yield and the properties of the platinum material.
[실시예][Example]
Pt-5.0Ru-0.3Zr(wt%)의 조성을 갖는 분말을 제조하기 위해, 진공 고주파 유도 용해로를 이용하여, 3N5이상의 순도를 갖는 백금 947 gr과 3N5이상의 순도를 갖는 루테늄 50gr, 3N이상의 지르코늄 3 gr을 투입하여 잉곳 1,000 gr을 제조하였다. 제조된 잉곳에 대해, 1000℃에서 1시간 대기열처리를 행하였으며, 플라즈마 장비를 이용하여 Pt-Ru-Zr 분말을 제조하였는데 제조공정은 다음과 같다. 그라파이트 몰드 내에 제조된 잉곳을 세팅하고, 플라즈마 토치와의 거리를 조절 후 플라즈마 장비에 부착된 진공펌프를 이용하여 10-2 torr까지 감압 후, 냉각가스를 이용하여 작업진공도를 700torr로 제어 후, Ar을 반응가스로 하여 플라즈마를 형성시키고, 플라즈마 형성후 산소를 1%투입시켜 Pt-Ru-Zr 분말을 제조하였으며 플라즈마를 이용한 백금합금 분말의 제조공정조건을 표 1에 나타내었다.To prepare a powder having a composition of Pt-5.0Ru-0.3Zr (wt%), using a vacuum high frequency induction furnace, 947 gr of platinum having a purity of 3N5 or higher, 50 gr of ruthenium having a purity of 3N5 or higher, 3 gr of zirconium of 3N or higher Ingot was prepared 1,000 gr. The prepared ingot was subjected to a 1 hour queue treatment at 1000 ° C., and a Pt-Ru-Zr powder was prepared using a plasma apparatus. The manufacturing process is as follows. After setting the ingot manufactured in the graphite mold, adjusting the distance from the plasma torch, and reducing the pressure to 10 -2 torr using a vacuum pump attached to the plasma equipment, controlling the working vacuum degree to 700torr using a cooling gas, and then Ar Was formed as a reaction gas, and after the plasma was formed, 1% oxygen was added to prepare Pt-Ru-Zr powder, and the process conditions for producing the platinum alloy powder using plasma are shown in Table 1.
Process item
반응 가스
Reaction gas
(L/min)Gas flow rate
(L / min)
(L/min)Other gas flow rate (composition)
(L / min)
플라즈마에 의해 제조되어 카본이 오염된 Pt-Ru-Zr 분말에 대해, 대기 분위기에서 900℃ x 1hr 열처리를 실시하여 카본이 제거된 Pt-Ru-Zr분말 을 얻을 수 있었다. Pt-Ru-Zr powder prepared by plasma was subjected to heat treatment at 900 ° C. × 1 hr in an air atmosphere to obtain Pt-Ru-Zr powder from which carbon was removed.
제조된 분말은 구상의 형태를 보이고 있으며, 230㎛ 표준체를 이용하여, 1~230㎛수준의 분말을 얻을 수 있었다. The prepared powder showed a spherical form, and powder of 1-230 µm level was obtained using a 230 µm standard.
열처리된 분말에 대한 카본 유무를 확인하기 위해 열처리 전후 EDS 및 카본분석기를 이용한 분석 결과를 표 2에 나타내었다.Table 2 shows the results of analysis using EDS and carbon analyzer before and after heat treatment to confirm the presence or absence of carbon for the heat-treated powder.
상기의 결과로부터, 대기 열처리에 의해 카본이 제거됨을 확인하였으며, 열처리 후 분말은 조대한 분말의 경우 열처리 전의 형상을 유지하고 있으나, 미세한 분말의 경우 응집되어 있는 형태를 보이고 있다. 제조된 백금 합금 분말에 대한 순도 확인 및 Zr 함량 확인을 위해 ICP 분석을 실시한 결과, 루테늄 함량은 4.8wt%, 지르코늄 함량은 0.259 wt%, 불순물 총 함량은 380 ppm으로 루테늄 및 지르코늄을 제외한 백금의 순도는 3N5 이상으로 고순도가 유지된 백금-루테늄 합금 분말제조가 가능하였다.From the above results, it was confirmed that the carbon is removed by the atmospheric heat treatment, the powder after the heat treatment maintains the shape of the coarse powder before the heat treatment, but in the case of fine powder shows a form that is agglomerated. ICP analysis was carried out to confirm the purity and Zr content of the prepared platinum alloy powder.The ruthenium content was 4.8 wt%, the zirconium content was 0.259 wt%, and the impurity total content was 380 ppm, which was the purity of platinum except ruthenium and zirconium. It was possible to manufacture a platinum-ruthenium alloy powder maintained at a high purity of 3N5 or more.
Claims (11)
순수백금에 루테늄 및 산화물 분산강화형 원소를 첨가하여 백금-루테늄 합금 잉곳을 제조하는 단계;
제조된 백금-루테늄 합금 잉곳에 열처리 하는 단계;
열처리된 백금-루테늄 합금 잉곳을 플라즈마 장비 내부에 세팅하는 단계;
플라즈마 장비 내부를 감압하고, 반응가스 투입 및 작업 진공도를 조절 후 전력을 인가하여 플라즈마를 형성시켜 잉곳이 비산된 백금-루테늄 합금 분말을 제조하는 단계;
비산된 백금-루테늄 합금 분말에 대해 열처리 및 분급하는 단계로 구성되는 것을 특징으로 하는 백금-루테늄 합금 분말 제조방법.In the platinum-ruthenium alloy powder production method for producing an oxide dispersion-enhanced platinum material,
Preparing a platinum-ruthenium alloy ingot by adding ruthenium and an oxide dispersion strengthening element to pure platinum;
Heat-treating the prepared platinum-ruthenium alloy ingot;
Setting the heat-treated platinum-ruthenium alloy ingot inside the plasma equipment;
Preparing a platinum-ruthenium alloy powder in which the ingot is scattered by forming a plasma by depressurizing the inside of the plasma equipment, adjusting the reaction gas and adjusting the working vacuum, and then applying electric power;
Platinum-ruthenium alloy powder manufacturing method comprising the step of heat treatment and classification for the scattered platinum-ruthenium alloy powder.
백금-루테늄 합금 잉곳을 제조하는 단계에 첨가되는 루테늄 원소의 양은 0.05 wt% 내지 10wt%인 것을 특징으로 하는 백금-루테늄 합금 분말 제조방법.The method of claim 1,
A method of producing a platinum-ruthenium alloy powder, characterized in that the amount of ruthenium element added in the step of producing the platinum-ruthenium alloy ingot is 0.05 wt% to 10wt%.
백금-루테늄 합금 잉곳을 제조하는 단계에 있어 산화물 분산강화형 합금원소로, 지르코늄(Zr), 사마륨(Sm), 이트륨(Y), 유로퓸(Eu), 하프늄(Hf) 중에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 백금-루테늄 합금 분말 제조방법.The method of claim 1,
Oxide dispersion-enhanced alloying element in the step of producing a platinum-ruthenium alloy ingot, characterized in that any one selected from zirconium (Zr), samarium (Sm), yttrium (Y), europium (Eu), hafnium (Hf). Platinum-ruthenium alloy powder manufacturing method to use.
백금-루테늄 합금 잉곳을 제조하는 단계에 첨가되는 산화물 분산강화형 합금원소의 양은 0.02 wt% 내지 1 wt%인 것을 특징으로 하는 백금-루테늄 합금 분말 제조방법.The method according to claim 1 or 4,
Platinum-ruthenium alloy powder manufacturing method, characterized in that the amount of the oxide dispersion-enhanced alloying element added to the step of producing a platinum-ruthenium alloy ingot is 0.02 wt% to 1 wt%.
제조된 백금-루테늄 합금 잉곳에 대해 대기중 800℃ 내지 1200℃의 온도에서 1시간 내지 5 시간 동안 열처리하는 것을 특징으로 하는 백금-루테늄 합금 분말 제조방법.The method of claim 1,
Method for producing a platinum-ruthenium alloy powder, characterized in that heat treatment for 1 to 5 hours at a temperature of 800 ℃ to 1200 ℃ in the air for the prepared platinum-ruthenium alloy ingot.
플라즈마 장비에 사용되는 몰드의 재료는 몰리브덴(Mo),텅스텐(W),구리(Cu),카본(Carbon) 또는 백금(Pt) 중에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 백금-루테늄 합금 분말 제조방법.The method of claim 1,
The material of the mold used in the plasma equipment is molybdenum (Mo), tungsten (W), copper (Cu), carbon (Carbon) or platinum (Pt), characterized in that any one of the platinum-ruthenium alloy powder manufacturing method.
플라즈마 장비에 사용되는 음극의 재료는 몰리브덴(Mo), 텅스텐(W) 또는 백금(Pt) 중에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 백금-루테늄 합금 분말 제조방법.The method of claim 1,
The material of the cathode used in the plasma equipment is molybdenum (Mo), tungsten (W) or platinum (Pt) any one selected from platinum-ruthenium alloy powder manufacturing method.
플라즈마 형성시 사용되는 반응가스는 Ar, H2, N2, CH4, Ar+H2, Ar+N2 중에서 선택된 하나 이상인 것을 특징으로 하는 백금-루테늄 합금 분말 제조방법.The method of claim 1,
The reaction gas used for plasma formation is Ar, H 2 , N 2 , CH 4 , Ar + H 2 , Ar + N 2 The platinum-ruthenium alloy powder manufacturing method, characterized in that at least one selected from.
플라즈마 형성 후 반응가스에 산소를 추가하고, 산소의 함량은 반응가스 함량대비 0.5~5% 첨가하는 것을 특징으로 하는 백금-루테늄 합금 분말 제조방법.The method of claim 1,
Oxygen is added to the reaction gas after the plasma formation, the content of oxygen is 0.5 to 5% compared to the content of the reaction gas platinum-ruthenium alloy powder manufacturing method.
플라즈마에 의해 제조된 백금-루테늄 합금 분말에 대해, 대기분위기 또는 산소분위기에서, 600℃ 내지 1200℃의 온도에서 1시간 내지 5 시간 동안 열처리하는 것을 특징으로 하는 백금-루테늄 합금 분말 제조방법.The method of claim 1,
Platinum-ruthenium alloy powder prepared by plasma, characterized in that the heat treatment for 1 to 5 hours at an air atmosphere or oxygen atmosphere at a temperature of 600 ℃ to 1200 ℃.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020120028631A KR101359719B1 (en) | 2012-03-21 | 2012-03-21 | Method of manufacturing a powder of platinum-ruthenium alloys |
JP2015501553A JP2015512472A (en) | 2012-03-21 | 2012-03-22 | Method for producing platinum-ruthenium alloy powder |
PCT/KR2012/002085 WO2013141420A1 (en) | 2012-03-21 | 2012-03-22 | Method for manufacturing platinum-ruthenium alloy powder |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020120028631A KR101359719B1 (en) | 2012-03-21 | 2012-03-21 | Method of manufacturing a powder of platinum-ruthenium alloys |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20130106943A KR20130106943A (en) | 2013-10-01 |
KR101359719B1 true KR101359719B1 (en) | 2014-02-10 |
Family
ID=49222857
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020120028631A KR101359719B1 (en) | 2012-03-21 | 2012-03-21 | Method of manufacturing a powder of platinum-ruthenium alloys |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2015512472A (en) |
KR (1) | KR101359719B1 (en) |
WO (1) | WO2013141420A1 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2610378B (en) * | 2021-08-20 | 2023-11-01 | Cookson Precious Metals Ltd | Additive manufacturing of platinum group metal oxide dispersion strengthened alloys |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08134511A (en) * | 1994-11-11 | 1996-05-28 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | Production of strengthened platinum material |
KR100851064B1 (en) | 2006-12-07 | 2008-08-12 | 희성금속 주식회사 | Manufacturing method of the oxide dispersed platinum material using a thermal spray process |
KR20100107683A (en) * | 2009-03-26 | 2010-10-06 | 최정숙 | Brief for urinary incontinence |
KR20100136653A (en) * | 2009-06-19 | 2010-12-29 | 희성금속 주식회사 | Fabrication method of a high purity precious metals powder by plasma process |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101175676B1 (en) * | 2010-03-25 | 2012-08-22 | 희성금속 주식회사 | Manufacturing method of a high purity and refining Ru powder using a waste-Ru target |
-
2012
- 2012-03-21 KR KR1020120028631A patent/KR101359719B1/en active IP Right Grant
- 2012-03-22 WO PCT/KR2012/002085 patent/WO2013141420A1/en active Application Filing
- 2012-03-22 JP JP2015501553A patent/JP2015512472A/en not_active Abandoned
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08134511A (en) * | 1994-11-11 | 1996-05-28 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | Production of strengthened platinum material |
KR100851064B1 (en) | 2006-12-07 | 2008-08-12 | 희성금속 주식회사 | Manufacturing method of the oxide dispersed platinum material using a thermal spray process |
KR20100107683A (en) * | 2009-03-26 | 2010-10-06 | 최정숙 | Brief for urinary incontinence |
KR20100136653A (en) * | 2009-06-19 | 2010-12-29 | 희성금속 주식회사 | Fabrication method of a high purity precious metals powder by plasma process |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2013141420A1 (en) | 2013-09-26 |
KR20130106943A (en) | 2013-10-01 |
JP2015512472A (en) | 2015-04-27 |
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A201 | Request for examination | ||
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