KR101355883B1 - 미세선폭을 갖는 바이오센서 제조를 위한 레이저 위치보정 장치 및 방법 - Google Patents

미세선폭을 갖는 바이오센서 제조를 위한 레이저 위치보정 장치 및 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 기판이 장착되고, 얼라인 마크(Align Mark)가 표시된 적재수단, 상기 적재수단에 장착된 기판에 얼라인 마크를 레이저로 조사해 얼라인 마크에 따른 보정 좌표값을 생성하는 비전수단, 상기 적재수단 상측에 위치하여 상기 적재수단 상단방향으로 레이저 빔을 발생시키는 레이저 발생수단, 상기 적재수단 중앙에 위치하여 상기 레이저 발생수단에서 발생시키는 레이저 빔의 정보를 감지하는 위치 감지수단(Position Detector). 및 상기 비전수단이 생성한 보정 좌표값에 따라 상기 레이저 발생수단의 X-Y 스캔미러를 제어하고, 상기 위치 감지수단에서 감지된 정보에 따라 상기 레이저 발생수단의 레이저 빔 파워를 제어하거나 상기 적재수단의 위치를 제어하는 제어수단을 제공한다.

Description

미세선폭을 갖는 바이오센서 제조를 위한 레이저 위치보정 장치 및 방법{LASER POSITION CORRECTION DEVICE FOR MAKING BIOSENSOR HAVING WIDTH OF TINY LINE AND SAME METHOD}
본 발명은 미세선폭을 갖는 바이오센서 제조를 위한 레이저 위치보정 장치 및 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 Pet Film에 코팅된 박막(Thin Film)에 레이저를 조사하여 바이오센서용 집적회로를 패터닝하기 위한 미세선폭을 갖는 바이오센서 제조를 위한 레이저 위치보정 장치 및 방법에 관한 것이다.
바이오센서는 생물학적 요소로 이루어진 감지물질을 이용한 것으로서, 최근 들어 이러한 바이오센서가 의료용을 포함한 여러 산업분야에서 높은 활용 가능성을 보여주고 있다. 특히 식품 및 농축산물 안전성 분야에서는 식중독 발병 세균의 신속검출기술 개발을 가능케 할 기술로서 많은 기대를 받고 있다. 바이오센서는 감지물질로부터 얻어진 신호와 그 변환방법에 따라 광학식, 전기화학식, 압전식, 임피던스식 등 여러 가지로 분류된다.
이러한 여러 종류의 바이오센서 중에서 임피던스 바이오센서는 전극 표면에 생물분자의 검출부를 형성하여 특정생물재료의 정전용량과 저항 변화를 함께 분석할 수 있는 도구로서 많은 분야에서 활용되어 왔다.
이와 같은 바이오 센서의 정밀도를 높이기 위해서 금 박막에 회로 패턴을 구현할 수 있다.
종래에는 박막에 회로패턴을 구현하기 위해서 포토레지스트를 이용하여 노광, 식각, 에칭등 복잡한 공정을 반복적으로 거치면서 박막에 회로패턴을 구현하였다.
그러나, 금 박막은 기판 상에 열증착(Thermal evaporation)법과 같은 방법을 이용하여 형성한다.
금 박막은 포토레지스트 패턴을 마스크로 습식 식각, 또는 건식을 이용하여 패터닝함으로써, 금 패턴, 즉 바이오 센서를 형성할 수 있다.
그러나, 금 박막을 습식 식각하여 패터닝하면, 포토레지스트 패턴과 금 박막 상호간의 접착력 문제에 의해 식각 공정 중에 포토레지스트 패턴의 박리 현상이 발생되고, 박리된 포토레지스트 패턴이 식각조를 오염시킨다. 더욱이 습식 식각 방법은 등방적 식각현상에 의해 미세 패턴이 용이하지 않다.
또한, 금 박막을 건식 식각하여 패터닝하면 쓰루풋이 낮고 식각 공정 중에 포토레지스트가 재 증착되는 문제점이 있다.
또한, 다수의 제조 공정이 필요하므로 생산성에서도 한계가 있다.
본 발명은 레이저를 이용하여 정밀도가 높은 미세선폭 패턴으로 이루어진 바이오센서를 구현하기 위한 레이저 위치보정 장치 및 방법을 제공하기 위한 것이다.
또한, 본 발명은 바이오센서의 회로패턴 생성 전, X-Y 스캔미러의 동작오차및 평면 렌즈의 오차에 의해 발생되는 왜곡을 보정하여 미세선폭을 갖는 바이오센서 제조를 위한 레이저 위치보정 장치 및 방법을 제공하기 위한 것이다.
또한, 레이저 빔의 원형 Spot이 셀의 중심에 위치하여 정밀한 좌표계로 형성하는 미세선폭을 갖는 바이오센서 제조를 위한 레이저 위치보정 장치 및 방법을 제공하기 위한 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않는다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 미세선폭을 갖는 바이오센서 제조를 위한 레이저 위치보정 장치는 얼라인(Align) 마크가 표면에 표시되고, 기판이 적재되는 적재수단; 상기 적재수단 상측에 위치하여 상기 적재수단 상단방향으로 레이저 빔을 발생시켜 기판에 얼라인 마크 및 미세패턴을 생성하는 레이저 발생수단; 상기에서 생성된 기판의 얼라인 마크와 상기 레이저 발생수단의 구동오차에 따른 보정 좌표값을 생성하는 비전수단; 상기 적재수단 중앙 하단에 위치하여 상기 레이저 발생수단에서 발생시키는 레이저 빔의 정보를 감지하는 위치 감지수단(Position Detector); 및 상기 비전수단이 생성한 보정 좌표값에 따라 상기 레이저 발생수단를 제어하고, 상기 위치 감지수단에서 감지된 정보에 따라 상기 레이저 발생수단의 레이저 빔 파워를 제어하거나 상기 적재수단의 위치를 제어하는 제어수단;을 포함할 수 있다.
구체적으로, 상기 기판은 바이오센서용 회로패턴이 형성될 수 있다.
또한, 상기 레이저 빔의 정보는 레이저 빔의 위치, 크기 및 파워 중 적어도 하나 이상을 포함할 수 있다.
또한, 상기 위치 감지수단이 감지한 레이저 빔의 정보 중 레이저 빔의 크기가 상이한 경우, 상기 레이저 발생수단을 Z축으로 이동시켜 레이저 빔의 포커싱을 조절할 수 있다.
또한, 상기 위치 감지수단이 감지한 레이저 빔의 정보 중 레이저 빔의 위치가 구간 좌표계의 원점을 벗어난 경우, 상기 적재수단을 X축 및 Y축으로 이동시켜 각 구간에서의 레이저 빔의 위치를 원점(0,0)으로 정의시킬 수 있다.
또한, 상기 레이저 발생수단은 레이저를 생성하는 레이저 생성부; 상기 레이저 생성부로 생성된 레이저를 기 설정된 크기로 잘라내는 조리개부; 상기 조리개부에서 잘라진 레이저 빔을 기 설정된 배율로 확장하는 레이저 확장기; 및 상기 레이저 확장기를 통해 확장된 레이저의 위치를 조절하여 평면렌즈로 전달하는 X-Y 스캔미러;를 포함할 수 있다.
또한, 상기 적재수단의 하단에 위치하여 적재수단을 이동시키는 UVW 스테이지와, 상기 UVW 스테이지가 이동되는 엔코더의 값으로 좌표값을 계산하여 보정할 수 있다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 또 다른 바이오센서용 미세선폭 조절을 위한 레이저 위치보정 방법은 비전수단이 적재수단에 표시된 얼라인 마크를 기준으로 정의된 원점에 기판의 중심위치를 일치시키고, 일치된 원점 좌표에 따라 가공된 기판의 얼라인 마크를 검사하는 제1 단계; 상기 기판의 얼라인 마크의 검사로 보정 좌표계를 획득한 후, 레이저 발생수단을 보정하는 제2 단계; 상기에서 보정된 레이저 발생수단을 통해 조사되는 레이저 빔을 위치 감지수단에 전달하는 제3 단계; 상기 위치 감지수단이 전달받은 레이저 빔의 정보와 상기 위치 감지수단의 정보를 비교하는 제4 단계; 및 제어수단이 상기 위치 감지수단이 전달받은 레이저 빔의 정보에 따라 위치가 원점(0,0)이 되도록 적재수단을 이동시키는 제5 단계;를 포함할 수 있다.
구체적으로, 상기 위치 감지수단은 전달받은 레이저 빔으로 레이저 빔의 크기, 및 레이저 빔의 파워에 대한 정보를 더 획득할 수 있다.
또한, 상기 제 5단계에서, 상기 제어수단이 상기 위치 감지수단의 기 설정된 레이저 빔의 크기와 전달받은 레이저 빔의 크기가 상이한 경우, 상기 레이저 발생수단을 Z축으로 이동시켜 레이저 빔의 포커싱을 조절하는 단계를 더 포함할 수도 있다.
또한, 상기 제 5단계에서, 상기 제어수단이 상기 위치 감지수단의 기설정된 레이저 빔의 파워에 따라 레이저 발생수단의 세기를 조절시키는 단계를 더 포함할 수도 있다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은 정밀한 센서부분의 회로 성형에서 대량생산과 반복적인 가공 정밀성을 충족시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 X-Y 스캔미러 및 평면렌즈의 왜곡을 줄이는 보정을 하여 미세한 선폭을 얻음과 동시에 집적도가 높아진다는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 정밀한 반복성을 갖는 스테이지와 기판 적재시 발생되는 오차를 보정(얼라인 영상장치)하여 반복 작업에도 균일하고 정밀한 바이오센서를 생성할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 미세선폭을 갖는 바이오센서 제조를 위한 레이저 위치보정 장치를 나타낸 개략도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 미세선폭을 갖는 바이오센서 제조를 위한 레이저 위치보정 장치를 나타낸 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 미세선폭을 갖는 바이오센서 제조를 위한 레이저 위치보정 장치의 레이저 발생수단을 나타낸 도면이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 미세선폭을 갖는 바이오센서 제조를 위한 레이저 위치보정 장치를 나타낸 전면도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 미세선폭을 갖는 바이오센서 제조를 위한 레이저 위치보정 장치의 위치 감시수단을 나타낸 도면이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 미세선폭을 갖는 바이오센서 제조를 위한 레이저 위치보정 장치의 위치 감시수단이 감지한 레이저 빔 및 재 정의된 좌표를 나타낸 도면이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 미세선폭을 갖는 바이오센서 제조를 위한 레이저 위치보정 방법을 나타낸 흐름도이다.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 미세선폭을 갖는 바이오센서 제조를 위한 레이저 위치보정 방법의 얼라인 마크 비교를 나타낸 흐름도이다.
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 미세선폭을 갖는 바이오센서 제조를 위한 레이저 위치보정 방법에서 위치 감시수단이 전달받은 레이저 빔의 정보를 나타낸 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다. 도면들 중 동일한 구성요소들은 가능한 어느 곳에서든지 동일한 부호로 표시한다. 또한 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 바이오센서용 미세선폭 조절을 위한 레이저 위치보정 장치를 나타낸 도면으로서, 레이저 위치보정 장치(100)는 적재수단(110), 레이저 발생수단(120), 비전수단(130), 위치 감지수단(140), 및 제어수단(150)을 포함한다.
적재수단(110)에는 얼라인 마크가 표면에 표시되어있고, 기판이 적재된다. 이때, 적재수단(110)은 복수개의 흡입홀이 형성되어 기판을 흡입하여 고정한다.
또한, 적재수단(110)은 Y축 스테이지(20)에 장착되어 Y축 이동이 용이하고, 적재수단(110)은 UVW 스테이지(40) 상단에 장착되어 UVW 스테이지(40)상단에서 X-Y-θ(theta)로 움직일 수 있다. 여기서, 적재수단(110)은 UVW 스테이지(40)에 고정되고 UVW 스테이지(40)가 X-Y-θ으로 이동됨이 바람직하다. 이때, 적재수단(110)은 UVW 스테이지(40)가 이동되는 엔코더(미도시)의 값으로 좌표값을 계산하여 보정한다.
레이저 발생수단(120)은 적재수단(110) 상측에 위치하여 적재수단(110) 상당방향으로 레이저 빔을 발생하는 것으로, 적재수단(110)이 Y축으로 이동하여 레이저 발생수단(120)으로 이동되어 위치한다. 이때, 레이저 발생수단(120)은 기판에 얼라인 마크를 생성하거나 기판에 미세패턴을 생성한다.
여기서, 미세패턴의 선폭은 100㎛이하인 것이 바람직하다.
또한, 레이저 발생수단(120)은 레이저 빔의 선폭을 조절하기 위해 Z축 스테이지(30)에 장착되어 상하로만 이동이 용이하다.
도 3에 나타낸 바와 같이, 레이저 발생수단(120)은 레이저 생성부(121), 조리개부(122), 레이저 확장기(123), 및 X-Y 스캔미러(124)를 포함한다.
여기서, 레이저 생성부(121)는 레이저 소스원을 생성한다.
여기서, 조리개부(Aperture, 122)는 레이저 생성부(121)에서 생성된 레이저 소스원을 기 설정된 크기로 잘라낸다.
여기서, 레이저 확장기(Laser Expander, 123)는 조리개부(122)에서 잘라진 레이저 빔을 기설정된 배율로 확장한다. 이때, 레이저 확장기(123)는 선폭의 사이즈를 조절한다.
여기서, X-Y 스캔미러(124)는 레이저 확장기(123)를 통해 확장된 레이저의 위치를 조절하여 평면렌즈(F-theta, 125)로 전달하여 레이저 빔을 외부로 방출하게 한다.
비전수단(130)은 적재수단(110)에 적재된 기판에 레이저 발생수단으로 레이저 빔을 조사하여 적재수단(110)의 얼라인 마크에 따른 보정 좌표값을 생성한다. 이때, 비전수단(130)은 적재수단(110)의 얼라인 마크를 인식하기 위해 적재수단(110)이 Y축으로 이동하면 비전수단(130)이 X축으로 이동하여 복수개로 형성된 적재수단(110)에 모두 적용될 수 있도록 X축 스테이지(10)에 장착된다.
여기서, 비전수단(130)은 도 4와 같은 배치로 각각 배율렌즈 영상장치(131), 얼라인 영상장치(132), 및 모니터링 영상장치(133)를 포함한다.
배율렌즈 영상장치(131)는 적재수단(110)의 얼라인 마크를 검사하여 원점을 정의하고 레이저 발생수단(120)이 발생한 레이저 빔으로 가공한 기판의 얼라인 마크를 검사하여 X-Y 스캔미러(124)의 좌표를 보정한다.
더욱 상세하게는 적재수단(110)의 상단을 영상으로 입력받아, 적재수단에 적재된 기판의 얼라인 마크를 비교하여 보정 좌표를 취득한다.
얼라인 영상장치(132)는 적재된 기판의 얼라인 마크를 실시간으로 입력받아 기판이 얼라인 영상장치에서 정의된 원점에 위치하도록 한다.
모니터링 영상장치(133)은 레이저 빔의 가공 영역에서 가공상태를 확인하기 위해 가공영역의 영상을 모니터로 전달하여 직접적으로 작업자가 레이저 빔을 보지 않고 모니터링 할 수 있도록 한다.
위치 감지수단(140)은 적재수단(110)의 중앙 하부에 위치하여 레이저 발생수단(120)에서 발생시키는 레이저 빔를 전달받아 레이저 빔의 정보를 감지한다.
도 5에 나타낸 바와 같이, 위치 감지수단(140)은 조사된 레이저 빔의 정보를 얻기 위해 렌즈(141), 필터(142), 및 CCD카메라(143)를 포함하여, 렌즈(141)에 닿는 레이저 빔을 필터(142)로 필터링하여 CCD카메라(143)로 레이저 빔의 정보를 얻는다.
이때, 레이저 빔의 정보는 레이저 빔의 위치, 크기 및 파워 중 적어도 하나 이상을 포함한다.
제어수단(150)은 비전수단(130)이 생성한 보정 좌표값에 따라 레이저 발생수단(120)의 X-Y스캔미러(124)를 제어하고, 위치 감지수단(140)에서 감지된 정보에 따라 레이저 발생수단(120)의 레이저 빔의 파워를 제어하거나 적재수단(110)의 위치를 제어한다.
제어수단(150)은 도 6(a)와 같이, 위치 감지수단(140)에 의해 감지된 레이저 빔의 전달위치가 기 설정된 위치감지수단(140)의 원점(0,0)의 위치와 다소 오차가 발생하는 경우 도 6(b)와 같이, 오차가 나는 거리만큼 적재수단(110)을 이동시켜 레이저 빔이 전달된 위치를 원점(0,0)으로 재정의 한 후, 이동된 거리만큼 다른 좌표로 재설정한다.
즉, 제어수단(150)은 위치 감지수단(140)이 감지한 레이저 빔의 정보 중 레이저 빔의 위치가 구간 좌표계의 원점을 벗어난 경우, 상기 적재수단(110)을 X축 및 Y축으로 이동시켜 각 구간에서의 레이저 빔의 위치를 원점(0,0)으로 정의시킨다. 정의된 좌표로 셀(Cell) 단위로 이루어진 기판의 각 셀을 보정한다.
또한, 제어수단(150)은 위치 감지수단(140)이 감지한 레이저 빔의 정보 중 레이저 빔의 크기가 상이한 경우, 상기 레이저 발생수단(120)을 Z축으로 이동시켜 레이저 빔의 포커싱을 조절한다.
도 7는 본 발명의 실시예에 따른 바이오센서용 미세선폭 조절을 위한 레이저 위치보정 방법은 다음과 같다. 본 발명의 실시예에서는 셀 단위로 이루어진 기판 중 하나의 셀에 따른 위치 보정을 중심으로 설명하나 실질적으로 전 구간에 적용되는 기술이다.
먼저, 비전수단(130)은 적재수단(110)에 표시된 얼라인 마크를 기준으로 정의된 원점에 적재된 기판의 원점이 일치하도록 하고, 레이저 발생수단(120)이 발생하는 레이저 빔으로 기판에 얼라인 마크를 가공하고, 원점 좌표와 기판의 얼라인 마크를 비교하여 검사한다(S10).
이를 도 8을 이용하여 S10을 더욱 상세히 설명하면, 비전수단(130)이 적재수단(110)의 얼라인 마크를 이용하여 원점을 정의한다(S11). 적재수단(110)의 적재된 기판의 원점을 얼라인 영상장치에 일치되게 하고(S12), 레이저 발생수단(120)으로 기판에 얼라인 마크를 가공한다(S13). 이때, 기판의 얼라인 마크는 적재수단(110)의 얼라인 마크의 원점에 따라 가공됨이 바람직하다.
그리고, 비전수단(130)은 기판에 가공된 얼라인 마크를 비교하여 검사한다(S14).
이어서, 비전수단(130)의 배율렌즈 영상장치(131)로 검사하면 가공된 기판의 얼라인 마크와 적재수단(110)의 정의된 원점 좌표에서 발생한 오차에 따라 레이저 발생수단(120)의 X-Y 스캔미러(124)의 보정 좌표계를 획득하고, X-Y 스캔미러(124)를 보정한다(S20). 이때, 적재수단(110)의 얼라인 마크에 원점과 기판의 원점을 일치시키고 가공하지만 오차가 발생하는 이유는 X-Y 스캔미러(124)의 동작오차에 의해 원점에서 멀어질수록 왜곡이 발생하기 때문이다.
또한, 기판의 가공된 얼라인 마크가 배율렌즈 영상장치(131)에서 검사 시 얼라인 마크 가공 상태에 따라서 인식오차를 발생하게 된다.
이어서, 상기에서 보정된 레이저 발생수단(130)의 X-Y 스캔미러(124)를 경유하여 조사되는 레이저 빔을 위치 감지수단(140)에 전달한다(S30).
이어서, 위치 감지수단(140)이 전달받은 레이저 빔의 정보와 기 설정된 위치 감지수단의 정보를 비교한다(S40). 이때, 기판의 중심점에 실제 조사되는 레이저 빔은 정의된 좌표에 따라 보정된 X-Y 스캔미러(124)를 통해 전달되는 위치를 의미한다.
또한, 위치 감지수단(140)은 도 9에 나타낸 도면과 같이 전달받은 레이저 빔의 다양한 정보를 알 수 있다.
예를 들어, 위치 감지수단(140)에 전달받은 레이저 빔의 크기(1), 레이저 빔의 파워(2), 및 레이저 빔의 온도상태(3), 레이저 빔의 X축 좌표(4), 및 레이저 빔의 Y축 좌표(5) 등을 알 수 있다.
마지막으로, 제어수단(150)은 위치 감지수단(140)이 전달받은 레이저 빔의 위치가 원점(0.0)이 되도록 적재수단(110)을 이동시킨다(S50). 이때, 여기서, 위치 감지수단(140)은 적재수단(110)을 장착한 UVW 스테이지(40)의 현재위치에 따른 좌표와 위치 감지수단(140)에 전달받은 레이저 빔을 원점으로 하기 위해 이동되는 UVW 스테이지(40)의 좌표로 이동된 좌표 값을 알 수 있다.
또한, 레이저 빔의 위치는 가장 높은 열에너지 중심점으로 알 수 있다.
적재수단(110)은 Y축 스테이지(20)에 장착되어 Y축으로만 이동될 수 있으나, 적재수단(110)의 하단에 장착된 UVW 스테이지(40)가 X-Y-θ(theta)로 움직여 원점을 조절할 수 있다.
또한, 제어수단(150)이 위치 감지수단(140)의 기 설정된 레이저 빔의 크기와 위치 감지수단(140)이 전달받은 레이저 빔의 크기가 상이한 경우, 상기 레이저 발생수단(120)을 Z축으로 이동시켜 레이저 빔의 포커싱을 조절한다.
또한, 상기 제 5단계에서, 상기 제어수단(150)이 상기 위치 감지수단(140)의 기설정된 레이저 빔의 파워에 따라 레이저 발생수단(120)의 세기를 조절시킨다.
또한 본 발명은 정밀한 반복성을 갖는 스테이지와 기판 적재시 발생되는 오차를 보정하고 X-Y 스캔미러 및 평면렌즈의 왜곡을 줄이는 보정으로 미세한 선폭을 얻음과 동시에 실제 조사되는 레이저의 정보를 이용해서 정밀 보정 작업을 통해서 반복 작업에도 균일하고 정밀한 바이오센서를 생성할 수 있는 효과가 있다.
상기와 같은 바이오센서용 미세선폭 조절을 위한 레이저 위치보정 장치 및 방법은 위에서 설명된 실시예들의 구성과 작동 방식에 한정되는 것이 아니다. 상기 실시예들은 각 실시예들의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합되어 다양한 변형이 이루어질 수 있도록 구성될 수도 있다.
10: X축 스테이지 20: Y축 스테이지
30: Z축 스테이지 40: UVW 스테이지
110: 적재수단 120: 레이저 발생수단
121: 레이저 생성부 122: 조리개부
123: 레이저 확장기 124: X-Y 스캔미러
130: 비전수단 131: 배율렌즈 영상장치
132: 얼라인 영상장치 133: 모니터링 영상장치
140: 위치 감지수단 141: 렌즈
142: 필터 143: CCD 카메라
150: 제어수단

Claims (11)

  1. 얼라인(Align) 마크가 표면에 표시되면서 기판이 적재되어 고정되도록 복수개의 흡입홀이 형성된 적재수단;
    상기 적재수단의 하단에 위치하여 상기 적재수단을 이동시키면서 이동되는 엔코더의 값으로 좌표값을 계산하여 보정하는 UVW스테이지;
    상기 적재수단 상측에 위치하여 상기 적재수단 상단방향으로 레이저 빔을 발생시켜 기판에 얼라인 마크 및 미세패턴을 생성하도록, 레이저를 생성하는 레이저 생성부와, 상기 레이저 생성부로 생성된 레이저를 기설정된 크기로 잘라내는 조리개부와, 상기 조리개부에서 잘라진 레이저 빔을 기설정된 배율로 확장하는 레이저 확장기와, 상기 레이저 확장기를 통해 확장된 레이저의 위치를 조절하여 평면렌즈로 전달하는 X-Y 스캔미러로 구성되는 레이저 발생수단;
    상기에서 생성된 기판의 얼라인 마크와 상기 레이저 발생수단의 구동오차에 따른 보정 좌표값을 생성하기 위하여, 상기 적재수단의 얼라인 마크를 검사하여 원점을 정의하고 레이저 발생수단이 발생한 레이저 빔으로 가공한 기판의 얼라인 마크를 검사하여 X-Y 스캔미러의 좌표를 보정하는 배율렌즈 영상장치와, 적재된 기판의 얼라인 마크를 실시간으로 입력받아 기판이 얼라인 영상장치에서 정의된 원점에 위치하도록 하는 얼라인 영상장치와, 상기 레이저 빔의 가공 영역에서 가공상태를 확인하기 위해 가공영역의 영상을 모니터로 전달하여 직접적으로 작업자가 레이저 빔을 보지 않고 모니터링 할 수 있는 모니터링 영상장치로 구성된 비전수단;
    상기 적재수단 중앙 하단에 위치하여 상기 레이저 발생수단에서 발생시키는 레이저 빔의 정보를 감지하도록, 조사된 레이저 빔의 정보를 얻기 위해 렌즈, 필터 및 CCD카메라를 포함하여 상기 렌즈에 닿는 레이저 빔을 필터로 필터링하여 CCD카메라로 레이저 빔의 정보를 얻는 위치 감지수단(Position Detector); 및
    상기 비전수단이 생성한 보정 좌표값에 따라 상기 레이저 발생수단를 제어하고, 상기 위치 감지수단에서 감지된 정보에 따라 상기 레이저 발생수단의 레이저 빔 파워를 제어하거나 상기 적재수단의 위치를 제어하는 제어수단;을 포함하는 미세선폭을 갖는 바이오센서 제조를 위한 레이저 위치보정 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 기판은 바이오센서용 회로패턴이 형성되는 미세선폭을 갖는 바이오센서 제조를 위한 레이저 위치보정 장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 레이저 빔의 정보는 레이저 빔의 위치, 크기 및 파워 중 적어도 하나 이상을 포함하는 미세선폭을 갖는 바이오센서 제조를 위한 레이저 위치보정 장치.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 위치 감지수단이 감지한 레이저 빔의 정보 중 레이저 빔의 크기가 상이한 경우, 상기 레이저 발생수단을 Z축으로 이동시켜 레이저 빔의 포커싱을 조절하는 미세선폭을 갖는 바이오센서 제조를 위한 레이저 위치보정 장치.
  5. 청구항 3에 있어서,
    상기 위치 감지수단이 감지한 레이저 빔의 정보 중 레이저 빔의 위치가 구간 좌표계의 원점을 벗어난 경우, 상기 적재수단을 X축 및 Y축으로 이동시켜 각 구간에서의 레이저 빔의 위치를 원점(0,0)으로 정의시키는 미세선폭을 갖는 바이오센서 제조를 위한 레이저 위치보정 장치.
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