KR101354807B1 - 저온 테스트용 액화질소 분사 시스템 - Google Patents

저온 테스트용 액화질소 분사 시스템 Download PDF

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이기웅
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Abstract

본 발명은 피검체의 저온 테스트를 위해서 저온 환경을 조성하도록 하는 액화질소가 내측으로 공급되는 액화질소분사관; 상기 액화질소분사관에 마련되어 액화가스를 분사하도록 하는 액화질소분사노즐; 상기 액화질소분사관이 내측에 설치됨으로써 상기 액화질소분사관과의 사이에 압축공기가 이동하는 공간을 형성하여, 압축공기가 상기 액화질소분사관 내의 액화질소와 열교환이 이루어지도록 하고, 상기 액화질소분사노즐로부터 분사되는 액화질소가 외측으로 분사되도록 허용하는 결빙방지부재; 상기 결빙방지부재의 내측에 압축공기를 공급하도록 설치되는 압축공기공급관; 및 상기 압축공기공급관에 의해 상기 결빙방지부재의 내측으로 공급되는 압축공기가 열교환을 마치고서 외부로 배출되도록 하는 압축공기배출부를 포함하는 저온 테스트용 액화질소 분사 시스템에 관한 것이다.
본 발명에 의하면, 피검체에 대한 저온 테스트를 수행하기 위해 분사되는 액화질소의 결빙을 압축공기에 의해 방지하고, 이로 인해 피검체의 저온 테스트가 안정적으로 수행되도록 하여, 저온 테스트에 소요되는 시간과 노력을 최소화하며, 저온 테스트의 결과에 대한 신뢰성을 높일 수 있고, 액화질소의 분사를 위한 경로를 적절히 제공함으로써 액화질소가 기화 상태로 분사되어 균일한 저온 환경을 신속하게 조성하도록 한다.

Description

저온 테스트용 액화질소 분사 시스템{Liquid nitrogen injection system for using low-temperature test}
본 발명은 저온 테스트용 액화질소 분사 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 액화질소의 결빙을 방지하도록 하는 저온 테스트용 액화질소 분사 시스템에 관한 것이다.
일반적으로, 메모리 또는 비메모리 반도체 소자 및 이들을 적절히 하나의 기판상에 회로적으로 구성한 모듈 아이씨(Module IC) 등은 제조를 마친 다음, 여러 가지 테스트 과정을 거친 후 출하된다.
이와 같은 반도체 소자나 모듈 아이씨 등을 비롯한 피검체는 상온 상태에서 일반적인 성능 테스트 뿐만 아니라, 밀폐된 챔버 내에서 히터에 의해 조성되는 고온 상태와 액화질소(LN2) 분사 시스템의 의해 조성되는 저온 상태의 환경하에서 정상적인 기능을 수행하는지를 테스트받게 된다.
종래의 고온 및 저온 테스트 장치로는 한국공개특허 제10-2007-0011675호의 "고온 저온용 테스트 챔버 장치"가 개시된 바 있다.
이러한 종래의 고온 및 저온 테스트 장치는 운용자의 조작에 의해 고온 또는 저온의 항온 실험에 필요한 테스트 설정 입력신호를 입력받음과 동시에 그에 상응한 각종 제어신호를 출력하는 컨트롤 박스; 상기 컨트롤 박스로부터 모터구동 제어신호를 입력받아 구동되는 모터와, 상기 컨트롤 박스로부터 액화질소 공급 제어신호를 입력받음과 동시에 그에 상응한 밸브 온/오프 동작을 수행하는 솔레노이드 밸브로 이루어진 구동부; 상기 모터와 샤프트를 통해 연결되어 상기 모터의 구동 동작에 연동하여 구동되는 중앙이 개구된 원통형상의 원형팬이 형성되고, 그 원형팬의 좌우 양측으로 상기 솔레노이드 밸브로부터 공급되는 액화질소를 상기 원형팬에 분사하는 다수개의 분사구가 형성된 바 형상의 액화질소 노즐이 장착된 팬가이드 덕트가 내부공간을 가지는 사각형상의 저면부에 형성되며, 그 팬가이드 덕트의 개구된 상부로 상기 컨트롤 박스로부터 입력받은 히터구동 제어신호에 의해 구동되어 히팅열을 발생시키는 한 쌍의 히터로 이루어진 히터부가 설치되며, 상기 팬가이드 덕트의 좌우로 원형팬을 통해 흡입된 내부의 공기를 가이드시키기 위해 연결된 송풍덕트가 각각 형성되고, 상기 송풍덕트의 일측으로 챔버 내부의 온도를 감지하여 상기 컨트롤 박스로 전송하는 온도 센서가 장착되며, 상기 팬가이드 덕트의 상부로 항온 실험을 위한 테스트 제품이 안착되는 다수개의 타공이 형성된 사각형상의 작업대가 다수개의 지지대에 의해 고정되게 설치된 테스트 챔버; 및 상기 컨트롤 박스로부터 경고발생 제어신호를 입력받음과 동시에 그에 상응한 경고등과 알람을 울리는 경고부로 구성된다.
그러나, 이와 같은 종래의 고온 및 저온 테스트 장치는 피검체에 대한 저온 테스트를 위하여, 액화질소의 분사에 의해 대략 -40℃ 정도의 저온을 형성하는 과정에서, 액화질소의 결빙으로 인해 피검체에 대한 저온 테스트를 제대로 수행하지 못하고, 이로 인해 저온 테스트에 많은 시간과 노력이 소요될 뿐만 아니라, 테스트 결과의 신뢰성을 저하시키는 문제점을 가지고 있었다.
상기한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 피검체에 대한 저온 테스트를 수행하기 위해 분사되는 액화질소의 결빙을 방지하고, 이로 인해 피검체의 저온 테스트가 안정적으로 수행되도록 하여, 저온 테스트에 소요되는 시간과 노력을 최소화하며, 저온 테스트의 결과에 대한 신뢰성을 높이도록 하는데 목적이 있다.
상기한 바와 같은 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 일 측면에 따르면, 피검체의 저온 테스트를 위해서 저온 환경을 조성하도록 하는 액화질소가 내측으로 공급되는 액화질소분사관; 상기 액화질소분사관에 마련되어 액화질소를 분사하도록 하는 액화질소분사노즐; 상기 액화질소분사관이 내측에 설치됨으로써 상기 액화질소분사관과의 사이에 압축공기가 이동하는 공간을 형성하여, 압축공기가 상기 액화질소분사관 내의 액화질소와 열교환이 이루어지도록 하고, 상기 액화질소분사노즐로부터 분사되는 액화질소가 외측으로 분사되도록 허용하는 결빙방지부재; 상기 결빙방지부재의 내측에 압축공기를 공급하도록 설치되는 압축공기공급관; 및 상기 압축공기공급관에 의해 상기 결빙방지부재의 내측으로 공급되는 압축공기가 열교환을 마치고서 외부로 배출되도록 하는 압축공기배출부를 포함하고, 상기 액화질소분사관은, 내측으로 공급되는 액화질소가 외부로 배출되기 위한 제 1 유로가 측부에 형성되는 이너튜브; 및 상기 이너튜브를 감싸도록 설치되고, 상기 제 1 유로를 통해서 내측으로 공급되는 액화질소가 외부로 배출되기 위한 제 2 유로가 상기 제 1 유로의 반대측에 위치하도록 형성되며, 상기 제 2 유로에 상기 액화질소분사노즐이 연결되는 아웃터튜브를 포함하고, 상기 압축공기배출부는, 압축공기를 분산시켜서 배출시키도록 다공 구조를 가지는 것을 특징으로 하는 저온 테스트용 액화질소 분사 시스템이 제공될 수 있다.
삭제
상기 액화질소분사노즐은, 상기 액화질소분사관에 길이방향을 따라 간격을 두고서 다수로 돌출되도록 마련될 수 있다.
상기 결빙방지부재는, 상기 액화질소분사관이 중심부에 설치되는 튜브로 이루어질 수 있다.
상기 결빙방지부재는, 상기 튜브가 상기 액화질소분사관의 길이방향을 따라 다수로 배열되어 서로 연결될 수 있다.
상기 결빙방지부재는, 압축공기가 공급되기 위한 공급구가 길이방향을 따라 간격을 두고서 다수로 마련되고, 상기 압축공기공급관은, 상기 공급구 각각에 연결됨으로써 압축공기를 상기 공급구 각각으로 분배하여 공급할 수 있다.
상기 압축공기배출부는, 상기 액화질소분사노즐과 동일한 방향에 위치하도록 상기 결빙방지부재에 설치될 수 있다.
상기 압축공기배출부는, 상기 액화질소분사노즐과 직각 방향에 위치하도록 상기 결빙방지부재에 설치될 수 있다.
본 발명에 따른 저온 테스트용 액화질소 분사 시스템에 의하면, 다음과 같은 효과를 가진다.
첫째, 피검체에 대한 저온 테스트를 수행하기 위해 분사되는 액화질소의 결빙을 압축공기에 의해 방지하고, 이로 인해 피검체의 저온 테스트가 안정적으로 수행되도록 하여, 저온 테스트에 소요되는 시간과 노력을 최소화하며, 저온 테스트의 결과에 대한 신뢰성을 높일 수 있다.
둘째, 액화질소의 분사를 위한 관 전체에 대해서 압축공기에 의해 외기 온도와 유사한 환경을 제공함으로써 액화질소의 결빙 억제에 대한 효과가 우수하도록 한다.
셋째, 액화질소의 분사를 위한 경로를 적절히 제공함으로써 액화질소가 기화 상태로 분사되어 균일한 저온 환경을 신속하게 조성하도록 한다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 저온 테스트용 액화질소 분사 시스템을 도시한 측단면도이고,
도 2는 도 1의 A-A'선에 따른 단면도이고,
도 3은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 저온 테스트용 액화질소 분사 시스템을 도시한 측단면도이고,
도 4는 도 3의 B-B'선에 따른 단면도이고,
도 5는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 저온 테스트용 액화질소 분사 시스템을 도시한 평면도이다.
본 발명은 다양한 변경에 의해 여러 가지의 실시예를 가질 수 있으므로, 특정 실시예들을 도면에 예시하여 상세히 설명하고자 한다. 이러한 특정한 실시예가 본 발명을 한정하는 것이 아니고, 본 발명의 기술 사상에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명하기로 하며, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 대응하는 구성요소에 대해서는 동일한 참조 번호를 부여하고, 이에 대하여 중복되는 설명을 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 저온 테스트용 액화질소 분사 시스템을 도시한 측단면도이고, 도 2는 도 1의 A-A'선에 따른 단면도이다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 저온 테스트용 액화질소 분사 시스템(100)은 피검체의 저온 테스트를 위한 액화질소(LN2)를 분사하여 저온 환경을 조성하기 위한 것으로서, 액화질소분사관(110), 액화질소분사노즐(120), 결빙방지부재(130), 압축공기공급관(140) 및 압축공기배출부(150)를 포함할 수 있다. 여기서, 저온 환경은 피검체가 위치하는 테스트 챔버 내의 환경을 의미할 수 있고, 피검체로는 메모리 또는 비메모리 반도체 소자, 반도체 패키지, 모듈 아이씨 등의 전자 소자나 전자 부품 뿐만 아니라, 저온 테스트를 받기 위한 다양한 제품들이 모두 포함될 수 있다.
액화질소분사관(110)은 피검체의 저온 테스트를 위해서 저온 환경을 조성하도록 하는 액화질소가 내측으로 공급되는데, 외부에 설치된 액화질소공급부로부터 액화질소공급라인을 통해서 액화질소를 공급받을 수 있으며, 이러한 액화질소공급라인과의 연결을 위하여 피팅부재(115)가 일단에 마련될 수 있다.
액화질소분사관(110)은 액화질소의 분사를 위한 경로를 적절히 제공함으로써 액화질소의 기화에 유리하도록 이너튜브(inner tube; 111)와 아웃터튜브(outer tube; 112)를 포함할 수 있다. 여기서, 이너튜브(111)는 외부의 액화가스공급부로부터 내측으로 공급되는 액화질소가 외부로 배출되기 위한 제 1 유로(113)가 측부에 형성된다. 또한 아웃터튜브(112)는 이너튜브(111)를 감싸도록 설치됨으로써 이너튜브(111)와 함께 2중관을 이루게 되고, 제 1 유로(113)를 통해서 내측으로 공급되는 액화질소가 외부로 배출되기 위한 제 2 유로(114)가 제 1 유로(113)의 반대측에 위치하도록 형성되며, 제 2 유로(114)에 액화질소분사노즐(120)이 연결된다. 한편 제 1 및 제 2 유로(113,114)는 이너튜브(111) 및 아웃터튜브(112)의 측부에 길이방향을 따라 비연속적으로 다수의 홀이나 슬릿 형태로 형성되거나, 길이방향을 따라 연속적으로 단일의 슬릿 형태로 형성될 수도 있다. 또한 제 1 및 제 2 유로(113,114)는 본 실시예에서처럼 이너튜브(111)의 중심축을 기준으로 서로 180도를 이루도록 형성될 수 있으며, 이에 한하지 않고 다양한 각도를 이루도록 형성될 수도 있다.
액화질소분사노즐(120)은 액화질소분사관(110)에 마련되어 액화질소를 분사하여, 피검체에 대한 저온 환경을 조성하기 위한 공간 내지 영역으로 액화질소가 분사되도록 한다. 또한 액화질소분사노즐(120)은 본 실시예에서처럼 액화질소분사관(110)에 길이방향을 따라 간격을 두고서 다수로 돌출되도록 마련될 수 있다.
액화질소분사노즐(120)은 본 실시예에서처럼 일례로 원형튜브 형태로 이루어져서 액화질소분사관(110)에 나사 결합, 억지 끼움, 용접 등의 방법에 의해 연결되도록 고정될 수 있고, 다른 예로서 내부에 유로를 가진 노즐조립체로 이루어져서 액화질소분사관(110)의 외주면에 나사 결합, 억지 끼움 등의 방법에 의해 연결되도록 고정될 수 있으며, 또 다른 예로서 관통홀로 이루어짐으로써 액화질소분사관(110)에 형성될 수도 있다.
결빙방지부재(130)는 액화질소분사관(110)이 내측에 설치됨으로써 액화질소분사관(110)과의 사이에 압축공기가 이동하는 공간을 형성하여, 압축공기가 액화질소분사관(110) 내의 액화질소와 열교환이 이루어지도록 하고, 액화질소분사노즐(120)로부터 분사되는 액화질소가 외측으로 분사되도록 허용한다. 결빙방지부재(130)는 액화질소분사노즐(120)로부터 분사되는 액화질소가 자신의 외측으로 분사되도록 허용하기 위하여, 본 실시예에서처럼 내측에 위치하는 액화질소분사노즐(120)과 일치하도록 분사구(131)가 형성될 수 있고, 다른 예로서 액화질소분사노즐(120)이 외부로 노출되도록 설치될 수 있으며, 또 다른 예로서 액화질소분사노즐(120)이 외부로 돌출되도록 설치될 수도 있다. 또한 결빙방지부재(130)에는 단열을 위한 단열부재가 내측 또는 외측에 설치될 수 있다.
결빙방지부재(130)는 액화질소분사관(110)을 감싸서 압축공기가 통과하기 위한 공간을 제공하기 위한 다양한 형태의 챔버나 케이싱 구조를 가질 수 있으며, 본 실시예에서처럼 액화질소분사관(110)이 중심부에 설치되는 튜브(tube)로 이루어질 수 있으며, 이로 인해 액화질소분사관(110)이 2중관인 경우, 이러한 액화질소분사관(110)과 함께 3중관을 이루게 된다.
결빙방지부재(130)는 액화질소분사관(110)과의 사이에 형성되는 공간을 안정적으로 유지하도록 액화질소분사관(110)과의 사이에 스페이서(spacer)가 설치될 수 있고, 본 실시예에서처럼 액화질소분사관(110)이 길게 형성될 경우, 이러한 액화질소분사관(110)의 외측면에 쉽게 설치되기 위하여, 상기한 튜브가 액화질소분사관(110)의 길이방향을 따라 다수로 배열되어 관이음부(133)에 의해 서로 연결될 수 있다. 여기서 관이음부(133)는 볼팅, 플랜지이음, 끼움구조, 나사결합, 저온에 견디는 접착물질을 이용한 본딩 등의 다양한 방식을 이용하여 상기한 튜브들을 서로 연결시킬 수 있으며, 이 경우 필요에 따라 상기한 스페이서의 역할을 할 수도 있다.
압축공기공급관(140)은 결빙방지부재(130)의 내측에 압축공기를 공급하도록 설치되어, 압축공기가 결빙방지부재(130)와 액화질소분사관(110) 사이의 공간으로 공급되어 액화질소분사관(110) 내의 액화질소가 일례로 외기의 온도에 근사한 온도를 가짐으로써 결빙되지 않도록 한다. 압축공기공급관(140)은 외부의 압축공기공급부, 예컨대 콤프레셔나 압축공기저장탱크로부터 압축공기공급라인을 통해서 압축공기를 공급받을 수 있는데, 압축공기공급라인과의 연결을 위해 피팅부재(142)가 일단에 마련될 수 있다.
한편 결빙방지부재(130)는 압축공기가 내부 공간 전체에 걸쳐서 균일하게 공급됨으로써 결빙 방지 효과를 높이기 위하여, 압축공기가 공급되기 위한 공급구(132)가 길이방향을 따라 간격을 두고서 다수로 마련될 수 있다. 이때, 압축공기공급관(140)은 피팅부재 등과 같은 연결부(141)를 통해서 공급구(132) 각각에 연결됨으로써 압축공기를 공급구(132) 각각으로 분배하여 공급할 수 있다.
압축공기배출부(150)는 압축공기공급관(140)에 의해 결빙방지부재(130)의 내측으로 공급되는 압축공기가 액화질소분사관(110) 내의 액화질소와의 열교환을 마치고서 외부로 배출되도록 한다. 또한 압축공기배출부(150)는 본 실시예에서처럼 결빙방지부재(130)에 관통하도록 나사결합되는 결합부(151)에 의해 결빙방지부재(130)에 돌출되도록 설치될 수 있으며, 이에 한하지 않고 다양한 결합 방식에 의해 결빙방지부재(130)에 설치될 수 있다.
한편 압축공기배출부(150)는 압축공기를 분산시켜서 배출시키도록 다공 구조를 가질 수 있고, 본 실시예에서처럼 결빙방지부재(130)의 길이방향을 따라 다수로 배열될 수 있으며, 액화질소분사노즐(120)과 동일한 방향에 위치하도록 결빙방지부재(130)에 설치될 수 있다. 따라서, 결빙방지부재(130)는 액화질소분사노즐(120)의 노출 내지 분사를 허용하기 위한 분사구(131)와 압축공기배출부(150)의 결합부(151)가 나사결합되기 나사결합부가 동일측에 형성될 수 있다. 또한 압축공기배출부(150)는 다공 구조로서, 예컨대 외부에 다수의 홀이 형성 내지 천공되는 구조나 메쉬 구조를 가질 수 있으며, 내측에 압력 분산을 위한 다공부재가 설치될 수도 있고, 이로 인해 압축공기의 배출압력을 완화시킴으로써 피검체나 주변 장비에 미치는 영향을 최소화할 수 있다. 한편 이와는 달리 압축공기배출부(150)는 단일의 배출홀을 가질 수 있음은 물론이다.
도 3은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 저온 테스트용 액화질소 분사 시스템을 도시한 측단면도이고, 도 4는 도 3의 B-B'선에 따른 단면도이고, 도 5는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 저온 테스트용 액화질소 분사 시스템을 도시한 평면도이다.
도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 저온 테스트용 액화질소 분사 시스템(200)는 액화질소분사관(210), 액화질소분사노즐(220), 결빙방지부재(230), 압축공기공급관(240) 및 압축공기배출부(250)를 포함하는데, 이들 구성들은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 저온 테스트용 액화질소 분사 시스템(100)에서 상세히 설명하였으므로 차이점 위주로 설명하기로 한다.
본 실시예에서처럼 액화질소분사관(210)의 길이가 비교적 짧은 경우, 제 1 실시예에서와 달리, 결빙방지부재(230)는 단일로 튜브로 이루어질 수 있고, 공급구(미도시) 역시 단일로 이루어질 수 있다. 또한 이 경우 압축공기배출부(250)도 단일로 이루어질 수 있다.
본 실시예에서 압축공기배출부(250)는 이전의 실시예와 마찬가지로 압축공기를 분산시켜서 배출시키도록 다공 구조를 가질 수 있되, 결빙방지부재(230)의 중심을 기준으로 액화질소분사노즐(220)과 직각 방향에 위치하도록 결빙방지부재(230)에 설치될 수 있다. 따라서, 결빙방지부재(230)는 액화질소분사노즐(220)의 노출 내지 분사를 허용하기 위한 분사구(231)와 압축공기배출부(250)의 결합부(251)가 나사결합되기 나사결합부가 90도를 이루도록 위치할 수 있다.
이와 같은 본 발명에 따른 저온 테스트용 액화질소 분사 시스템에 따르면, 피검체에 대한 저온 테스트를 수행하기 위해 분사되는 액화질소가 압축공기와의 열교환에 의해 액화가스의 결빙을 방지하도록 하고, 이로 인해 피검체의 저온 테스트가 안정적으로 수행되도록 하여, 저온 테스트에 소요되는 시간과 노력을 최소화하며, 저온 테스트의 결과에 대한 신뢰성을 높일 수 있다.
또한 액화질소분사관 전체를 감싸는 결빙방지부재에 다수의 공급구를 통해서 다수의 영역으로 압축공기를 공급함으로써, 액화질소분사관 전체에 대해서 압축공기에 의해 외기 온도와 유사한 환경을 제공하여 액화질소의 결빙 억제에 대한 효과가 우수하도록 한다.
또한 서로 유로가 반대방향으로 형성되는 이중관으로 이루어진 액화질소분사관에 의해 액화질소의 분사를 위한 경로를 적절히 제공함으로써 액화질소가 기화 상태로 분사되어 균일한 저온 환경을 신속하게 조성하도록 한다.
이와 같이 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 설명하였으나, 본 발명의 기술 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변형이 이루어질 수 있다. 따라서, 본 발명의 범위는 상기한 실시예에 국한되어 정해져서는 안되며, 특허청구범위뿐만 아니라 이러한 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
110,210 : 액화질소분사관 111 : 이너튜브
112 : 아웃터튜브 113 : 제 1 유로
114 : 제 2 유로 115 : 피팅부재
120,220 : 액화질소분사노즐 130,230 : 결빙방지부재
131,231 : 분사구 132 : 공급구
133 : 관이음부 140,240 : 압축공기공급관
141 : 연결부 142 : 피팅부재
150,250 : 압축공기배출부 151,251 : 결합부

Claims (7)

  1. 피검체의 저온 테스트를 위해서 저온 환경을 조성하도록 하는 액화질소가 내측으로 공급되는 액화질소분사관;
    상기 액화질소분사관에 마련되어 액화질소를 분사하도록 하는 액화질소분사노즐;
    상기 액화질소분사관이 내측에 설치됨으로써 상기 액화질소분사관과의 사이에 압축공기가 이동하는 공간을 형성하여, 압축공기가 상기 액화질소분사관 내의 액화질소와 열교환이 이루어지도록 하고, 상기 액화질소분사노즐로부터 분사되는 액화질소가 외측으로 분사되도록 허용하는 결빙방지부재;
    상기 결빙방지부재의 내측에 압축공기를 공급하도록 설치되는 압축공기공급관; 및
    상기 압축공기공급관에 의해 상기 결빙방지부재의 내측으로 공급되는 압축공기가 열교환을 마치고서 외부로 배출되도록 하는 압축공기배출부를 포함하고,
    상기 액화질소분사관은,
    내측으로 공급되는 액화질소가 외부로 배출되기 위한 제 1 유로가 측부에 형성되는 이너튜브; 및
    상기 이너튜브를 감싸도록 설치되고, 상기 제 1 유로를 통해서 내측으로 공급되는 액화질소가 외부로 배출되기 위한 제 2 유로가 상기 제 1 유로의 반대측에 위치하도록 형성되며, 상기 제 2 유로에 상기 액화질소분사노즐이 연결되는 아웃터튜브를 포함하고,
    상기 압축공기배출부는,
    압축공기를 분산시켜서 배출시키도록 다공 구조를 가지는 것을 특징으로 하는 저온 테스트용 액화질소 분사 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 액화질소분사노즐은,
    상기 액화질소분사관에 길이방향을 따라 간격을 두고서 다수로 돌출되도록 마련되는 것을 특징으로 하는 저온 테스트용 액화질소 분사 시스템.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 결빙방지부재는,
    상기 액화질소분사관이 중심부에 설치되는 튜브로 이루어지는 것을 특징으로 하는 저온 테스트용 액화질소 분사 시스템.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 결빙방지부재는,
    상기 튜브가 상기 액화질소분사관의 길이방향을 따라 다수로 배열되어 서로 연결되는 것을 특징으로 하는 저온 테스트용 액화질소 분사 시스템.
  5. 제 3 항에 있어서, 상기 결빙방지부재는,
    압축공기가 공급되기 위한 공급구가 길이방향을 따라 간격을 두고서 다수로 마련되고,
    상기 압축공기공급관은,
    상기 공급구 각각에 연결됨으로써 압축공기를 상기 공급구 각각으로 분배하여 공급하는 것을 특징으로 하는 저온 테스트용 액화질소 분사 시스템.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 압축공기배출부는,
    상기 액화질소분사노즐과 동일한 방향에 위치하도록 상기 결빙방지부재에 설치되는 것을 특징으로 하는 저온 테스트용 액화질소 분사 시스템.
  7. 제 1 항에 있어서, 상기 압축공기배출부는,
    상기 액화질소분사노즐과 직각 방향에 위치하도록 상기 결빙방지부재에 설치되는 것을 특징으로 하는 저온 테스트용 액화질소 분사 시스템.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR101008383B1 (ko) * 2008-11-25 2011-01-13 이재규 유체분사장치
KR101129468B1 (ko) * 2009-12-08 2012-03-28 주식회사 비스 히팅블록이 형성된 3중 배관구조의 액체질소 분사장치

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