KR101345369B1 - 전력 제어기 및 이를 이용한 진공 열처리 장치 - Google Patents

전력 제어기 및 이를 이용한 진공 열처리 장치 Download PDF

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박병훈
조강일
최성준
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주식회사 테라세미콘
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Abstract

본 발명은 전력 제어기 및 이를 이용한 진공 열처리 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 태양에 따르면, 제1전원 및 제2전원을 공급받는 히터, 상기 제1전원을 공급하기 위한 제1전원 인가 단자 및 상기 제2전원을 공급하기 위한 제2전원 인가 단자를 구비하는 진공 챔버, 메인 전원을 공급하는 전원부, 상기 메인 전원을 전송하되, 상기 진공 챔버의 내부 압력이 소정의 압력 범위 내에 있음을 나타내는 제1제어 신호에 응답하여 오프되는 스위칭부, 및 상기 스위칭부를 통하여 전송되는 상기 메인 전원의 출력을 상기 진공 챔버의 내부 온도를 감지하여 발생되는 제2제어 신호에 응답하여 조절하여 제1전원을 발생하는 출력 조절부를 구비하는 것을 특징으로 하는 진공 열처리 장치가 제공된다. 이에 따르면, 진공 챔버의 내부의 압력이 진공 방전이 일어날 수 있는 범위 내에 있으면, 진공 챔버로 전원이 공급되지 않도록 함으로써, 원하지 않는 진공 방전을 방지할 수 있다.

Description

전력 제어기 및 이를 이용한 진공 열처리 장치 {POWER CONTROLLER AND VACUUM HEAT TREATMENT APPARATUS USING THE SAME}
본 발명은 전력 제어기 및 이를 이용한 진공 열처리 장치에 관한 것으로, 특히 진공 챔버를 펌핑할 때 챔버의 내부 압력이 낮아짐에 따라 방전 전압이 낮아지게 되고, 이에 따라 히터로 전압이 공급될 때 원하지 않는 방전이 일어날 수 있는데, 이 때 히터로 공급되는 전원이 차단되게 함으로써 방전이 일어나지 않도록 하는 전력 제어기 및 이를 이용한 진공 열처리 장치에 관한 것이다.
진공 열처리 장치는 진공 챔버 내에 히터를 구비하고, 진공 챔버 내의 히터를 가열함에 의해서 진공 상태에서 금속, 금속 합금 또는 비금속 등에 대하여 각종 열처리를 하기 위한 장치이다.
한국특허공개번호 제10-2007-0063684호에 공개된 기술은 초전도 자석의 코일을 수용하는 진공 챔버와 진공 챔버의 상하부에 개폐되는 상하부커버를 포함하여 구성된 열처리 챔버, 열처리 챔버 내부를 진공으로 만드는 진공 펌프부, 열처리 챔버 내부에 설치되어 온도를 각각 독립적으로 제어하도록 하는 하나 이상의 열선 세트가 포함된 온도 제어부, 진공 챔버 내에 설치되는 초전도자석 코일 내부에 초순수 아르곤 가스를 연속적으로 흘려주어 아르곤에 포함된 산소 및 수분의 농도가 일정 수준 이하로 유지 되도록 구성된 가스 퍼지부, 및 열처리 챔버에서 수집된 정보 중 열처리 온도, 진공도, 가스의 농도, 잔여가스 분석, 수온을 모니터링하는 운전 제어 및 모니터링부를 포함하는 진공 열처리 장치를 공개한다. 한국특허공개번호 제10-2007-0063684호는 온도 제어부가 PID(Proportional Integral & Differential) 온도 조절기에 의해서 SCR을 제어하여 히터의 온도를 제어하는 것을 공개한다.
그런데, 진공 챔버의 크기가 대용량화됨에 따라, 진공 챔버 내의 히터를 가열하기 위하여 높은 전원이 요구될 수 있으며, 이에 따라 진공 챔버 내부에서 원하지 않는 방전이 일어날 수 있다. 예를 들면, 진공 챔버를 관통하면서 구성된 핀 관통 도체(전원이 인가되는 도체)와 진공 챔버의 내부 표면 사이의 거리가 가깝고, 챔버 내부의 압력이 낮아지면 방전 전압이 낮아져서, 진공 챔버의 내부에서 원하지 않는 진공 방전이 일어날 수 있다.
따라서, 본 발명은 상술한 문제들을 모두 해결하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 진공 챔버의 내부 압력이 진공 방전이 일어날 수 있는 범위 내에 있으면, 진공 챔버로 공급되는 전원을 차단함으로써 원하지 않는 진공 방전을 방지할 수 있는 것을 다른 목적으로 한다.
상기한 바와 같은 본 발명의 목적을 달성하고, 후술하는 본 발명의 특징적인 효과를 실현하기 위한, 본 발명의 특징적인 구성은 하기와 같다.
본 발명의 일 태양에 따르면, 메인 전원을 공급하는 전원부, 상기 메인 전원을 전송하되, 장치의 내부 압력이 소정의 범위 내에 있음을 나타내는 제1제어 신호에 응답하여 오프되는 스위칭부, 및 상기 스위칭부를 통하여 전송되는 상기 메인 전원의 출력을 상기 장치의 내부 온도를 감지하여 발생되는 제2제어 신호에 응답하여 조절하여 상기 장치로 공급되는 제1전원을 발생하는 출력 조절부를 구비하는 것을 특징으로 하는 전력 제어기가 제공된다.
본 발명의 다른 태양에 따르면, 제1전원 및 제2전원을 공급받는 히터, 상기 제1전원을 공급하기 위한 제1전원 인가 단자 및 상기 제2전원을 공급하기 위한 제2전원 인가 단자를 구비하는 진공 챔버, 메인 전원을 공급하는 전원부, 상기 메인 전원을 전송하되, 상기 진공 챔버의 내부 압력이 소정의 압력 범위 내에 있음을 나타내는 제1제어 신호에 응답하여 오프되는 스위칭부, 및 상기 스위칭부를 통하여 전송되는 상기 메인 전원의 출력을 상기 진공 챔버의 내부 온도를 감지하여 발생되는 제2제어 신호에 응답하여 조절하여 제1전원을 발생하는 출력 조절부를 구비하는 것을 특징으로 하는 진공 열처리 장치가 제공된다.
본 발명에 따르면, 진공 챔버 내부의 압력이 진공 방전이 일어날 수 있는 범위 내에 있으면, 진공 챔버로 전원이 공급되지 않도록 차단함으로써, 진공 챔버 내부에서 일어날 수 있는 원하지 않는 진공 방전을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 열처리 장치를 나타내는 블록도이다.
도 2는 본 발명의 진공 펌프의 내부 압력의 변화에 따른 전압을 나타내는 그래프이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예의 스위칭부를 나타내는 것이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 스위칭부를 나타내는 것이다.
후술하는 본 발명에 대한 상세한 설명은, 본 발명이 실시될 수 있는 특정 실시예를 예시로서 도시하는 첨부 도면을 참조한다. 이들 실시예는 당업자가 본 발명을 실시할 수 있기에 충분하도록 상세히 설명된다. 본 발명의 다양한 실시예는 서로 다르지만 상호 배타적일 필요는 없음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 여기에 기재되어 있는 특정 형상, 구조 및 특성은 일 실시예에 관련하여 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시예로 구현될 수 있다. 또한, 각각의 개시된 실시예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 변경될 수 있음이 이해되어야 한다. 따라서, 후술하는 상세한 설명은 한정적인 의미로서 취하려는 것이 아니며, 본 발명의 범위는, 적절하게 설명된다면, 그 청구항들이 주장하는 것과 균등한 모든 범위와 더불어 첨부된 청구항에 의해서만 한정된다. 도면에서 유사한 참조부호는 여러 측면에 걸쳐서 동일하거나 유사한 기능을 지칭한다.
이하, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있도록 하기 위하여, 본 발명의 바람직한 실시예들에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 열처리 장치를 나타내는 블록도이다. 진공 열처리 장치(100)는 진공 챔버(10) 및 전력 제어부(20)를 포함할 수 있다. 진공 챔버(10)는 히터(12) 및 제1 및 제2전원 인가 단자들(14, 16)을 포함할 수 있다. 제1 및 제2전원 인가 단자들(14, 16)은 핀 관통 도체들일 수 있다. 전력 제어부(20)는 전원부(22), 스위칭부(24), 버스바(26), 누전 차단부(28), 출력 조절부(30) 및 제어부(32)를 포함할 수 있으며, 누전 차단부(28)는 누전 차단기들(28-1, 28-2, , 28-n)을 포함할 수 있으며, 누전 차단기는 ELB(Earth Leakage Breaker)일 수 있다. 출력 조절부(30)는 실리콘 제어 정류기들(SCR; 30-1 ~ 30-n)을 포함할 수 있다.
도 1에 나타낸 블록들 각각의 기능을 설명하면 다음과 같다.
진공 챔버(10)는 진공 펌프(미도시)에 의해서 내부가 진공 상태로 펌핑될 수 있다. 히터(12)는 제1전원과 제2전원이 공급됨에 의해서 진공 챔버(10)의 내부를 가열할 수 있다. 제1 전원 인가 단자 및 제2전원 인가 단자들(14, 16)은 진공 챔버(10)를 관통하는 도체로서, 제1전원 인가 단자(14)는 제1전원을 히터(12)로 공급하고, 제2전원 인가 단자(16)는 제2전원을 히터(12)로 공급할 수 있다. 진공 챔버(10)는 내부의 온도와 압력을 감지하기 위한 온도 센서(미도시) 및 압력 센서(미도시)를 구비할 수 있다.
전력 제어부(20)는 진공 챔버(10)의 내부의 온도를 감지하고, 제1전원 및 제2전원을 제어하여 진공 챔버(10)의 내부 온도를 원하는 온도, 가령 타겟 온도로 가열할 수 있다. 전원부(22)는 3상의 메인 전원을 공급할 수 있다. 3상의 메인 전원은 120도의 위상 차를 가지는 교류 전원일 수 있다. 스위칭부(24)는 제어 신호(c1)에 응답하여 오프될 수 있다. 버스바(26)는 3상의 메인 전원을 전송할 수 있다. 여기에서, 제1전원, 제2전원 및 메인 전원은 전압 및 전류 중 적어도 하나를 포함하는 개념일 수 있다. 누전 차단부(28)는 2상의 메인 전원들을 공급받고, 누설 전류를 감지하여 전류를 차단할 수 있다. 누전 차단부(28)는 120도의 위상 차를 가지는 2상의 메인 전원들을 공급받을 수 있다. 누전 차단기들(28-1 ~ 28-n) 각각은 2상의 메인 전원들을 공급받고, 누설 전류를 감지하여 전류를 차단할 수 있으며, 추가적으로 합선 및 과부하시에도 전류를 차단할 수 있다. 출력 조절부(30)는 실리콘 제어 정류기들(30-1 ~ 30-n)을 포함할 수 있다. 실리콘 제어 정류기들(30-1 ~ 30-n) 각각은 n개의 제1라인들 각각에 직렬로 연결되어 구성될 수 있으며, 메인 전원의 출력을 소정 범위, 가령 0% 내지 대략 100%로 제어하여 발생할 수 있다. 실리콘 제어 정류기들(30-1 ~ 30-n) 각각은 제어 신호(c2)에 응답하여 온될 수 있으며, 메인 전원의 출력을 소정 범위, 가령 0% 내지 대략 100%로 제어하여 제1전원을 출력할 수 있다. 제어부(32)는 진공 챔버의 내부 상태, 가령 압력 및 온도를 감지하여 발생되는 궤환 신호(feedback signal)를 입력하고, 진공 챔버의 내부 압력을 감지하여 진공 방전, 예를 들면, 전원이 인가된 도체와 진공 챔버의 내부 표면 사이의 진공 방전을 유발할 수 있는 소정의 압력 범위 내에 있으면, 스위칭부(24)를 오프하기 위한 제어 신호(c1)를 발생할 수 있다. 또한, 제어부(32)는 진공 챔버의 내부 압력이 소정의 압력 범위를 벗어나는 경우에, 내부 온도가 원하는 온도, 즉 타겟 온도보다 높으면, 실리콘 제어 정류기들(30-1 ~ 30-n)이 메인 전원을 최소, 가령 0%로 제어하고, 타겟 온도보다 낮으면, 감지된 온도에 따라 실리콘 제어 정류기들(30-1 ~ 30-n)이 메인 전원을 1%부터 대략 100%까지로 제어하기 위한 제어 신호(c2)를 발생할 수 있다. 실리콘 제어 정류기들(26-1 ~ 26-n)은 진공 챔버(10)의 내부 온도 감지 센서에 의해서 감지된 궤환 신호(feedback signal)에 응답하여 발생되는 제어 신호(c2)에 응답하여 위상각 제어(phase angle control) 방식 또는 제로 크로싱 제어(zero crossing control) 방식을 이용하여 메인 전원을 0%로부터 대략 100%까지 제어하여 출력할 수 있다.
도 2는 본 발명의 진공 챔버의 내부 압력 및 거리의 변화에 따른 방전 전압을 나타내는 그래프이다.
도 2는 파센의 곡선(Paschen's curve)을 나타내는 것으로, 가로 축은 진공 챔버의 내부 압력·거리(torr·cm)을, 세로 축은 진공 챔버로 공급되는 전압(V)을 나타낸다. 여기에서, Vd는 방전 전압으로, 진공 챔버 내부에서 일어날 수 있는 방전 개시 전압 또는 방전 문턱 전압을 말한다.
도 2를 참조하면, 진공 챔버를 펌핑할 때, 진공 챔버의 내부 압력·거리가 소정의 압력 범위(A) 내에 있으면, 방전 전압이 Vd 이하로 낮아지게 된다. 이에 따라, 진공 챔버의 전원 인가 단자 및 전원이 인가된 도체와 진공 챔버의 내부 표면 사이의 간격(거리)가 작은 경우에, 전원이 인가된 도체와 진공 챔버의 내부 표면 사이에 진공 방전이 일어날 수 있다. 그러나, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 도 1의 제어부(28)는 진공 챔버의 내부 압력·거리가 이 범위(A) 내에 있는 것을 감지하면, 스위칭부(24)를 오프함에 의해서 진공 챔버로의 전원 공급을 차단하여, 진공 챔버의 전원이 인가된 도체와 진공 챔버의 내부 표면 사이에 일어날 수 있는 진공 방전을 방지할 수 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시예의 스위칭부(24)를 나타내는 것으로, 제1스위치(24-1), 제2스위치(24-2), 차단기(24-3) 및 서지 보호기(24-4)를 포함할 수 있다.
도 3에 나타낸 블록들 각각의 기능을 설명하면 다음과 같다.
제1스위치(24-1)는 제어 신호(c1)에 응답하여 온되면 3상의 전원을 수신하여 출력하고, 오프되면 3상의 전원이 출력되지 않도록 차단할 수 있다. 제2스위치(24-2)는 제어 신호(c1)에 응답하여 온되면 3상의 전원을 수신하여 출력하고, 오프되면 3상의 전원이 출력되지 않도록 차단할 수 있다. 즉, 도 1의 제어부(28)는 진공 챔버(10)의 내부 압력이 도 2의 범위(A) 내에 있는 것이 감지되면, 제어 신호(c1)를 발생하여 제1스위치(24-1) 및 제2스위치(24-2)를 오프할 수 있다. 제1스위치(24-1) 및 제2스위치(24-2)를 직렬로 연결하여 구성함에 의해서 제1스위치(24-1) 및 제2스위치(24-2) 중 적어도 하나의 스위치의 접점이 들러붙어 있음으로 인해서 전원이 제대로 차단되지 않는 경우에 다른 하나의 스위치에 의해서 전원이 제대로 차단될 수 있도록 하기 위함이다. 서지 보호기(24-4)는 제2스위치(24-2)를 통하여 급격하게 높은 전압이 발생되면 접지로 전류를 흘려 보낼 수 있다. 차단기(24-3)는 서지 보호기(24-4)의 소손, 파괴 등 이상 발생시 접지부로 전류가 유출되는 것을 차단할 수 있다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예의 스위칭부(24)를 나타내는 블록도로서, 도 4의 스위칭부(24)는 도 3의 스위칭부(24)의 구성에 제3스위치(24-5)를 포함하고, 제1스위치(24-1) 및 제2스위치(24-2)를 제1스위치(24-1') 및 제2스위치(24-2')로 대체하여 구성되어 있다. 제3스위치(24-5)는 제1스위치(24-1)의 전단에 연결되어 구성될 수 있다.
도 4에 나타낸 블록들 중 도 1에 나타낸 블록들과 동일한 참조 번호를 가지는 블록들은 도 3에 나타낸 블록들의 기능과 동일하므로 도 3의 기능 설명을 참고하면 쉽게 이해될 것이고, 여기에서는 추가되거나 대체되는 블록들 각각의 기능에 대해서만 설명하기로 한다.
제3스위치(24-5)는 제어 신호(c3)에 응답하여 오프되어 3상의 전원이 공급되는 것을 차단할 수 있다. 제어 신호(c3)는 긴급 상황이 감지되었을 때, 도 1의 제어부(32)에 의해서 발생되거나, 다른 별도의 긴급 상황을 감지하는 수단에 의해서 발생될 수 있다. 제1스위치(24-1')는 제어 신호(c1) 또는 제어 신호(c3)에 응답하여 오프되어 3상의 전원이 공급되는 것을 차단할 수 있다. 제2스위치(24-2')는 제어 신호(c1) 또는 제어 신호(c3)에 응답하여 오프되어 3상의 전원이 공급되는 것을 차단할 수 있다. 즉, 도 4의 스위칭부(24)는 긴급 상황이 감지되었을 때는 제1 내지 제3스위치들(24-1', 24-2', 24-5)을 오프함에 의해서 3상의 전원이 공급되는 것을 차단하고, 진공 챔버(10)의 내부 압력이 도 2의 범위(A) 내에 있는 것이 감지되었을 때는 제1 및 제2스위치들(24-1', 24-2')을 오프함에 의해서 3상의 전원이 공급되는 것을 차단할 수 있다.
제1스위치(24-1'), 제2스위치(24-2') 및 제3스위치(24-5)를 직렬로 연결하여 구성함에 의해서 긴급 상황시에는 제1스위치(24-1'), 제2스위치(24-2') 및 제3스위치(24-5) 중 제1스위치(24-1') 및 제2스위치(24-2')의 접점이 들러붙어 있음으로 인해서 전원이 제대로 차단되지 않는 경우에 제3스위치(24-5)에 의해서 전원이 제대로 차단될 수 있도록 하고, 도 1의 진공 챔버(10)의 내부 압력이 도 2의 범위(A) 내에 있는 것이 감지되었을 때는 제1스위치(24-1')와 제2스위치(24-2') 중 적어도 하나의 스위치의 접점이 들러붙어 있음으로 인해서 전원이 제대로 차단되지 않는 경우에 다른 하나의 스위치에 의해서 전원이 제대로 차단될 수 있도록 하기 위함이다.
도 4에서, 긴급 상황시를 위하여 제3스위치(24-5)를 추가적으로 구성하는 이유는 제1스위치(24-1')과 제2스위치(24-2')의 동작이 진공 챔버(10)의 내부를 진공 펌핑 및 가열할 때마다 이루어지기 때문에 제1스위치(24-1')와 제2스위치(24-2')의 수명이 제3스위치(24-5)의 수명에 비해서 짧아져서 접점이 보다 빨리 들러붙어 긴급 상황시에 제1스위치(24-1')와 제2스위치(24-2')의 동작이 제대로 이루어지지 않을 수 있기 때문이다.
이상에서 본 발명이 구체적인 구성요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예 및 도면에 의해 설명되었으나, 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐, 본 발명이 상기 실시예들에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상적인 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형을 꾀할 수 있다.
따라서, 본 발명의 사상은 상기 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등하게 또는 등가적으로 변형된 모든 것들은 본 발명의 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.
100: 진공 열처리 장치
10: 진공 챔버
12: 히터
14, 16: 제1전원 인가 단자, 제2 전원 인가 단자
20: 전력 제어부
22: 전원부
24: 스위칭부
26: 버스바
28: 누전 차단부
30: 출력 조절부
32: 제어부
28-1 ~ 28-n: 누전 차단기
30-1 ~ 30-n: 실리콘 제어 정류기

Claims (10)

  1. 메인 전원을 공급하는 전원부;
    상기 메인 전원을 전송하되, 장치의 내부 압력이 소정의 범위 내에 있음을 나타내는 제1제어 신호에 응답하여 오프되는 스위칭부; 및
    상기 스위칭부를 통하여 전송되는 상기 메인 전원의 출력을 상기 장치의 내부 온도를 감지하여 발생되는 제2제어 신호에 응답하여 조절하여 상기 장치로 공급되는 제1전원을 발생하는 출력 조절부를 구비하는 것을 특징으로 하는 전력 제어기.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 메인 전원은 3상의 전원을 포함하고, 상기 3상의 전원은 소정 각도의 위상 차를 가지는 교류 전원이고,
    상기 출력 조절부는
    상기 3상의 전원 중 하나의 전원의 출력을 조절하여 상기 제1전원을 발생하고, 상기 제1전원과 상기 소정 각도의 위상 차를 가지는 제2전원을 상기 장치로 추가적으로 공급하는 것을 특징으로 하는 전력 제어기.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 스위칭부는
    상기 메인 전원을 전송하되, 상기 제1제어 신호에 응답하여 오프되는 제1스위치; 및
    상기 제1스위치로부터 전송되는 상기 메인 전원을 전송하되, 상기 제1제어 신호에 응답하여 오프되는 제2스위치를 구비하는 것을 특징으로 하는 전력 제어기.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 스위칭부는
    상기 제2스위치의 출력단에 연결된 차단기; 및
    상기 차단기와 접지 사이에 연결된 서지 보호기를 추가적으로 구비하는 것을 특징으로 하는 전력 제어기.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 스위칭부는
    상기 메인 전원을 공급받아 상기 제1스위치로 전송하되, 긴급 상황을 감지함에 의해서 발생되는 제3제어 신호에 응답하여 오프되는 제3스위치를 추가적으로 구비하고,
    상기 제1스위치 및 상기 제2스위치는
    상기 제3제어 신호에 응답하여 오프되는 것을 특징으로 하는 전력 제어기.
  6. 제1전원 및 제2전원을 공급받는 히터, 상기 제1전원을 공급하기 위한 제1전원 인가 단자 및 상기 제2전원을 공급하기 위한 제2전원 인가 단자를 구비하는 진공 챔버;
    메인 전원을 공급하는 전원부;
    상기 메인 전원을 전송하되, 상기 진공 챔버의 내부 압력이 소정의 압력 범위 내에 있음을 나타내는 제1제어 신호에 응답하여 오프되는 스위칭부; 및
    상기 스위칭부를 통하여 전송되는 상기 메인 전원의 출력을 상기 진공 챔버의 내부 온도를 감지하여 발생되는 제2제어 신호에 응답하여 조절하여 상기 제1전원을 발생하는 출력 조절부를 구비하는 것을 특징으로 하는 진공 열처리 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 메인 전원은 3상의 전원을 포함하고, 상기 3상의 전원은 소정 각도의 위상 차를 가지는 교류 전원이고,
    상기 출력 조절부는
    상기 3상의 전원 중 하나의 전원의 출력을 조절하여 상기 제1전원을 발생하고, 상기 제1전원과 상기 소정 각도의 위상 차를 가지는 제2전원을 상기 장치로 추가적으로 공급하는 것을 특징으로 하는 진공 열처리 장치.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 스위칭부는
    상기 메인 전원을 전송하되, 상기 제1제어 신호에 응답하여 오프되는 제1스위치; 및
    상기 제1스위치로부터 전송되는 상기 메인 전원을 전송하되, 상기 제1제어 신호에 응답하여 오프되는 제2스위치를 구비하는 것을 특징으로 하는 진공 열처리 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 스위칭부는
    상기 제2스위치의 출력단에 연결된 차단기; 및
    상기 차단기와 접지 사이에 연결된 서지 보호기를 추가적으로 구비하는 것을 특징으로 하는 진공 열처리 장치.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 스위칭부는
    상기 메인 전원을 공급받아 상기 제1스위치로 전송하되, 긴급 상황을 감지함에 의해서 발생되는 제3제어 신호에 응답하여 오프되는 제3스위치를 추가적으로 구비하고,
    상기 제1스위치 및 상기 제2스위치는
    상기 제3제어 신호에 응답하여 오프되는 것을 특징으로 하는 진공 열처리 장치.
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