KR101343971B1 - Method for cutting quartz crucible - Google Patents

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KR101343971B1 KR1020130095296A KR20130095296A KR101343971B1 KR 101343971 B1 KR101343971 B1 KR 101343971B1 KR 1020130095296 A KR1020130095296 A KR 1020130095296A KR 20130095296 A KR20130095296 A KR 20130095296A KR 101343971 B1 KR101343971 B1 KR 101343971B1
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Abstract

The present invention relates to a method of cutting a quartz crucible, which is provided to cut an upper end area of an opening of a quartz crucible quickly and accurately. According to the present invention, provided is the method of cutting a quartz crucible comprising: a step for providing the quartz crucible for a work table in a state that an opening of the quartz crucible, which will be processed, faces a ground; a step for adjusting the center in left and right direction of the quartz crucible on the work table; a step for holding an outer wall of the quartz crucible; a step for adjusting a location of up and down direction of the quartz crucible in order to decide a cutting location of the quartz crucible; and a cutting step for cutting a cutting area of the quartz crucible. The cutting step includes: a step for horizontally transferring a cutting blade, which is arranged in an inside space of the quartz crucible; a step for measuring torque of a first driving motor, which horizontally transfers the cutting blade, in real time; a step for finishing a horizontal transfer of the cutting blade when the torque of the first driving motor has a bigger value than a pre-set first set torque; and a step for cutting the cutting area by rotating the cutting blade. [Reference numerals] (AA) Start;(S100) Provide a quartz crucible;(S200) Adjust the center location of the quartz crucible on a plane;(S300) Adjust the height of the quartz crucible;(S400) Cut an opening of the quartz crucible;(S500) Chamfer a cut surface of the quartz crucible

Description

석영도가니의 커팅방법{Method for cutting quartz crucible}Cutting method for quartz crucible {Method for cutting quartz crucible}

본 발명은 석영도가니의 커팅방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 정확하고 빠르게 석영도가니를 커팅할 수 있는 석영도가니의 커팅방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for cutting a quartz crucible, and more particularly, to a method for cutting a quartz crucible capable of cutting a quartz crucible accurately and quickly.

반도체 디바이스의 기판, 예를 들면 태양전지 기판에 사용되는 실리콘 단결정은 일반적으로 초크랄스키(CZ: Czochralski)법으로 제조되고 있다. Silicon single crystals used in semiconductor device substrates, such as solar cell substrates, are generally manufactured by the Czochralski (CZ) method.

CZ법은 실리콘 단결정 인상용 석영 유리 도가니 내에 다결정 실리콘 원료를 채워넣고, 이 실리콘 원료를 주위에서 가열하여 용융시켜, 상방으로부터 아래로 매단 시드 결정을 실리콘 용융액에 접촉하고나서 인상하는 방법이다The CZ method is a method in which a polycrystalline silicon raw material is filled into a quartz glass crucible for pulling a silicon single crystal, the silicon raw material is heated and melted around, and the seed crystals suspended from above are brought into contact with the silicon melt.

상기 실리콘 단결정 잉곳을 생산하기 위한 석영도가니는 회전 몰드의 내측에 퇴적된 석영분말이 아크 방전에 의하여 가열 용융되면서 제조된다.The quartz crucible for producing the silicon single crystal ingot is manufactured while the quartz powder deposited inside the rotating mold is heated and melted by an arc discharge.

이때, 상기 석영도가니가 회전몰드에 의하여 생성됨으로 인하여 상기 석영도가니의 개구부 상단 영역은 불규칙한 형상을 가지게 된다.At this time, since the quartz crucible is generated by the rotating mold, the upper region of the opening of the quartz crucible has an irregular shape.

상기 석영도가니의 개구부 상단 영역이 불규칙하게 형성되면, 단결정화 수율이 저하되는 문제가 있기 때문에 상기 석영도가니의 개구부 상단영역은 절단되어야 한다.If the upper end region of the opening of the quartz crucible is irregular, the single crystallization yield is deteriorated, so the upper end region of the opening of the quartz crucible should be cut.

최근에는 상기 석영도가니의 개구부 상단영역을 절단하기 위한 커팅장치들에 대하여 다양한 연구들이 수행되고 있다. Recently, various studies have been conducted on cutting devices for cutting the upper region of the opening of the quartz crucible.

본 발명의 해결하고자 하는 과제는 석영도가니의 개구부 상단영역을 빠르고 정확하게 커팅할 수 있는 석영도가니의 커팅방법에 관한 것이다.The problem to be solved of the present invention relates to a method of cutting a quartz crucible capable of quickly and accurately cutting the upper region of the opening of the quartz crucible.

상술한 과제를 해결하기 위하여, 본 발명은 가공될 석영도가니의 개구부가 지면을 향하는 상태로 상기 석영도가니를 작업테이블로 공급하는 단계; 상기 작업테이블 상에서 상기 석영도가니의 좌우방향 중심위치를 조정하는 단계; 상기 석영도가니의 외측벽을 잡아주는 단계; 상기 석영도가니의 절단위치를 특정하기 위하여 상기 석영도가니의 상하방향 위치를 조정하는 단계; 그리고, 상기 석영도가니의 절단영역을 절단하는 절단단계를 포함하며, 상기 절단단계는 상기 석영도가니의 내부 공간상에 배치된 커팅블레이드를 수평이동시키는 단계와, 상기 커팅블레이드를 수평이동시키는 제1 구동모터의 토크를 실시간으로 측정하는 단계와, 상기 제1 구동모터의 토크가 미리 설정된 제1 설정토크보다 큰 값을 가지면 상기 커팅블레이드의 수평이동을 종료시키는 단계와, 상기 커팅블레이드를 회전시키면서 상기 절단영역을 절단하는 단계를 포함하는 석영도가니의 커팅방법을 제공한다.In order to solve the above problems, the present invention comprises the steps of supplying the quartz crucible to the work table with the opening of the quartz crucible to be processed toward the ground; Adjusting a center of left and right directions of the quartz crucible on the work table; Holding an outer wall of the quartz crucible; Adjusting a vertical position of the quartz crucible to specify a cutting position of the quartz crucible; And a cutting step of cutting the cutting region of the quartz crucible, wherein the cutting step includes horizontally moving the cutting blade disposed on the inner space of the quartz crucible, and first driving to horizontally move the cutting blade. Measuring the torque of the motor in real time; terminating the horizontal movement of the cutting blade when the torque of the first driving motor has a value greater than a first preset torque; and cutting the cutting blade while rotating the cutting blade. It provides a method of cutting a quartz crucible comprising the step of cutting an area.

상기 석영도가니의 커팅방법은 상기 커팅블레이드에 의하여 절단된 상기 절단영역의 절단면을 면취하는 면취단계를 더 포함할 수 있다.The cutting method of the quartz crucible may further include a chamfering step of chamfering the cut surface of the cut region cut by the cutting blade.

상기 면취단계는 상기 절단면의 내측방향으로 제1 면취블레이드를 수평이동시키는 단계와, 상기 제1 면취블레이드를 수평이동시키는 제2 구동모터의 토크를 실시간으로 측정하는 단계와, 상기 제2 구동모터의 토크가 미리 설정된 제2 설정토크보다 큰 값을 가지면 상기 제1 면취블레이드의 수평이동을 종료시키는 단계와, 상기 제1 면취블레이드를 회전시키면서 상기 절단면의 내측부분을 면취하는 단계를 포함할 수 있다.The chamfering step includes horizontally moving the first chamfering blade in the inward direction of the cut surface, measuring the torque of the second driving motor for horizontally moving the first chamfering blade in real time, and When the torque has a larger value than the second preset torque, it may include the step of terminating the horizontal movement of the first chamfering blade, and chamfering the inner portion of the cut surface while rotating the first chamfering blade.

또한, 상기 면취단계는 상기 절단면의 외측방향으로 제2 면취블레이드를 수평이동시키는 단계와, 상기 제2 면취블레이드를 수평이동시키는 제2 구동모터의 토크를 실시간으로 측정하는 단계와, 상기 제2 구동모터의 토크가 미리 설정된 제3 설정토크보다 큰 값을 가지면 상기 제2 면취블레이드의 수평이동을 종료시키는 단계와, 상기 제2 면취블레이드를 회전시키면서 상기 절단면의 외측부분을 면취하는 단계를 더 포함할 수 있다.In addition, the chamfering step includes the step of horizontally moving the second chamfering blade in the outward direction of the cutting surface, measuring the torque of the second drive motor for horizontally moving the second chamfering blade in real time, and the second drive Terminating the horizontal movement of the second chamfering blade if the torque of the motor has a value greater than a preset third set torque, and chamfering the outer portion of the cut surface while rotating the second chamfering blade; Can be.

또한, 상기 석영도가니의 커팅방법은 상기 석영도가니의 절단위치와 상기 커팅블레이드의 높이가 대응되도록 상기 석영도가니를 상하방향으로 이동시키기 위하여 상기 석영도가니의 전체높이를 측정하는 단계를 더 포함할 수 있다.In addition, the cutting method of the quartz crucible may further comprise the step of measuring the overall height of the quartz crucible to move the quartz crucible in the vertical direction so that the cutting position of the quartz crucible and the height of the cutting blade correspond. .

상기 절단단계에서 상기 석영도가니는 홀더유닛에 의하여 잡힌 상태에서 상기 커팅블레이드의 회전방향과 반대방향으로 회전될 수 있다.In the cutting step, the quartz crucible may be rotated in a direction opposite to the rotational direction of the cutting blade in a state of being held by the holder unit.

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본 발명에 따른 석영도가니의 커팅방법의 효과를 설명하면 다음과 같다.Referring to the effect of the quartz crucible cutting method according to the present invention.

첫째, 커팅블레이드가 석영도가니의 절단영역에 접촉한 상태에서 상기 커팅블레이드를 수평이동시키는 제1 구동모터의 토크가 제1 설정토크보다 큰 경우에 상기 커팅블레이드의 수평이동을 멈추고 회전시켜 상기 석영도가니의 절단영역을 절단함으로써 상기 커팅블레이드의 공회전을 방지함과 동시에 보다 정확하게 상기 석영도가니를 절단할 수 있는 이점이 있다.First, when the torque of the first driving motor for horizontally moving the cutting blade is greater than a first set torque in a state in which the cutting blade is in contact with the cutting area of the quartz crucible, the horizontal movement of the cutting blade is stopped and rotated so that the quartz crucible is rotated. By cutting the cutting area of the has the advantage of preventing the idling of the cutting blade and at the same time more precisely cut the quartz crucible.

둘째, 제1 면취블레이드가 상기 석영도가니의 절단면에 접촉한 상태에서 상기 제1 면취블레이드를 수평이동시키는 제2 구동모터의 토크가 제2 설정토크보다 큰 경우에 상기 제1 면취블레이드의 수평이동을 멈춤과 동시에 회전이동시켜 상기 절단면의 내측영역을 면취함으로써 보다 정확하게 상기 석영도가니의 절단면을 면취할 수 있는 이점이 있다.Second, when the torque of the second driving motor for horizontally moving the first chamfering blade in a state where the first chamfering blade is in contact with the cut surface of the quartz crucible is greater than a second set torque, the horizontal movement of the first chamfering blade is performed. There is an advantage that it is possible to chamfer the cut surface of the quartz crucible more accurately by chamfering the inner region of the cut surface by rotating and moving at the same time.

셋째, 석영도가니의 전체높이를 미리 측정한 후 상기 석영도가니의 절단면의 위치와 커팅블레이드의 위치를 조정함으로써 상기 석영도가니의 절단면을 정확하게 절단할 수 있는 이점이 있다.Third, after measuring the overall height of the quartz crucible in advance, there is an advantage that the cut surface of the quartz crucible can be accurately cut by adjusting the position of the cut surface of the quartz crucible and the position of the cutting blade.

도 1은 본 발명이 구현되는 석영도가니 커팅시스템의 일 실시 예를 나타내는 도면이다.
도 2는 도 1의 석영도가니 커팅시스템에서 석영도가니의 절단면이 커팅되는 상태를 나타낸 도면이다.
도 3은 도 1의 석영도가니 커팅시스템에서 석영도가니가 커팅되는 과정을 타타내는 흐름도이다.
도 4는 도 2의 석영도가니 커팅시스템에서 석영도가니의 절단면을 커팅하기 위한 커팅블레이드가 수평이동되는 상태를 나타낸 도면이다.
도 5는 2의 석영도가니 커팅시스템에서 석영도가니의 절단면을 커팅하기 위한 커팅블레이드가 회전하는 상태를 나타내는 평면도이다.
도 6은 도 2의 석영도가니 커팅시스템에서 석영도가니 절단면의 내측부분이 면취되는 상태를 나타낸 도면이다.
도 7은 도 2의 석영도가니 커팅시스템에서 석영도가니 절단면의 외측부분이 면취되는 상태를 나타낸 도면이다.1 is a view showing an embodiment of a quartz crucible cutting system embodying the present invention.
2 is a view showing a state in which the cutting surface of the quartz crucible is cut in the quartz crucible cutting system of FIG.
3 is a flowchart illustrating a process of cutting a quartz crucible in the quartz crucible cutting system of FIG. 1.
4 is a view illustrating a state in which the cutting blade for cutting the cutting surface of the quartz crucible in the quartz crucible cutting system of FIG.
FIG. 5 is a plan view illustrating a state in which a cutting blade for cutting a cutting surface of a quartz crucible is rotated in the quartz crucible cutting system of FIG. 2.
6 is a view showing a state in which the inner portion of the quartz crucible cutting surface is chamfered in the quartz crucible cutting system of FIG.
7 is a view showing a state in which the outer portion of the quartz crucible cutting surface is chamfered in the quartz crucible cutting system of FIG.

첨부된 도면을 참조하여, 본 발명에 따른 석영도가니의 커팅방법에 대한 실시 예들을 설명하면 다음과 같다.Referring to the accompanying drawings, it will be described embodiments of the method of cutting the quartz crucible according to the present invention.

도 1 내지 도 7을 참조하면, 본 실시 예에 따른 석영도가니의 커팅방법이 구현되는 석영도가니 커팅시스템은 로딩유닛(100), 작업테이블(200), 센터링유닛(400), 홀더유닛(300), 커팅유닛(500), 면취유닛(600), 센서유닛 및 제어유닛을 포함한다.1 to 7, the quartz crucible cutting system implementing the quartz crucible cutting method according to the present embodiment includes a loading unit 100, a work table 200, a centering unit 400, and a holder unit 300. , Cutting unit 500, chamfering unit 600, sensor unit and control unit.

상기 작업테이블(200), 상기 센터링유닛(400), 상기 홀더유닛(300), 상기 커팅유닛(500), 상기 면취유닛(600) 및 상기 센서유닛은 하나의 커버 프레임(1)의 내부 공간상에 설치된다.The work table 200, the centering unit 400, the holder unit 300, the cutting unit 500, the chamfering unit 600, and the sensor unit are disposed in the interior space of one cover frame 1. Is installed on.

상기 로딩유닛(100)은 가공될 석영도가니(10)를 상기 작업테이블(200) 상으로 공급하는 역할을 수행한다.The loading unit 100 serves to supply the quartz crucible 10 to be processed onto the work table 200.

상기 로딩유닛(100)은 상기 석영도가니(10)가 얹혀지는 로딩프레임(140)과, 상기 로딩프레임(140)의 전방으로 연장되는 전방프레임(130)과, 상기 전방프레임(130) 및 상기 로딩프레임(140)을 상하방향으로 승강하기 위한 승강레그(120)와, 상기 전방프레임(130) 및 상기 로딩프레임(140)을 전후방향으로 이동시키기 위한 수평이동부(미도시)와, 상기 전방프레임(130) 및 상기 로딩프레임(140)의 전후방향 이동을 안내하기 위한 레일(110)을 포함한다.The loading unit 100 includes a loading frame 140 on which the quartz crucible 10 is placed, a front frame 130 extending in front of the loading frame 140, the front frame 130 and the loading Lifting leg 120 for elevating the frame 140 in the vertical direction, a horizontal moving unit (not shown) for moving the front frame 130 and the loading frame 140 in the front and rear direction, and the front frame 130 and a rail 110 for guiding forward and backward movement of the loading frame 140.

상기 석영도가니(10)가 상기 작업테이블(200)의 상부로 이동되는 과정은 다음과 같다.The process of moving the quartz crucible 10 to the top of the work table 200 is as follows.

먼저, 작업자에 의하여 상기 석영도가니(10)가 상기 로딩프레임(140)의 상부에 얹혀지게 된다. 그러면, 상기 승강레그(120)는 상부방향으로 이동되면서 상기 석영도가니(10)를 일정 높이로 들어올리게 된다.First, the quartz crucible 10 is placed on the loading frame 140 by an operator. Then, the lifting leg 120 is moved upward to lift the quartz crucible 10 to a certain height.

상기 석영도가니(10)가 들어 올려진 상태에서 상기 승강레그(120)는 상기 레일(110)을 따라 상기 작업테이블(200) 방향으로 이동하게 된다.In the state in which the quartz crucible 10 is lifted, the lifting leg 120 moves along the rail 110 in the direction of the work table 200.

여기서, 상기 석영도가니(10)를 들어올리는 이유는 상기 로딩프레임(140)과 상기 작업테이블(200)의 높이가 큰 차이가 없기 때문에 상기 석영도가니(10)를 상기 작업테이블(200)의 상부위치로 이동시킨 후 하향이동시키면서 상기 작업테이블(200)에 안착되도록 하기 위함이다.Here, the reason for lifting the quartz crucible 10 is because the height of the loading frame 140 and the work table 200 does not have a large difference, so that the quartz crucible 10 is positioned at an upper position of the work table 200. This is to allow the worktable to be seated on the work table 200 while moving downward.

이때, 상기 로딩프레임(140)은 내부 공간이 비어 있는 상태의 프레임으로서 상기 석영도가니(10)가 상기 작업테이블(200)상에 얹혀질 때는 상기 작업테이블(200)의 외곽테두리가 상기 로딩프레임(140)의 내부공간 상에 위치하게 된다. 즉, 상기 로딩프레임(140)의 양쪽 측벽부재 사이의 폭이 상기 작업테이블(200)의 폭보다 넓게 구비된다.At this time, the loading frame 140 is a frame in which the internal space is empty, when the quartz crucible 10 is placed on the work table 200, the outer edge of the work table 200 is the loading frame ( It is located on the interior space of the 140. That is, the width between both sidewall members of the loading frame 140 is provided to be wider than the width of the work table 200.

또한, 상기 석영도가니(10)가 상기 작업테이블(200)상에 얹혀질때 상기 로딩프레임(140)은 상기 커버프레임(1)의 내부로 이동되지만, 상기 전방프레임(130)은 상기 커버프레임(1)의 외부에 위치하게 된다.In addition, when the quartz crucible 10 is placed on the work table 200, the loading frame 140 is moved into the cover frame 1, but the front frame 130 is the cover frame 1. Outside of).

한편, 상기 작업테이블(200)은 상기 석영도가니(10)가 얹혀지는 테이블 프레임(220)과, 상기 테이블 프레임(220)의 하부에서 연장되어 상기 테이블 프레임(220)을 지지하는 테이블 레그(210)를 포함한다.Meanwhile, the work table 200 includes a table frame 220 on which the quartz crucible 10 is placed, and a table leg 210 extending from the bottom of the table frame 220 to support the table frame 220. It includes.

여기서, 상기 석영도가니(10)는 상기 석영도가니(10)의 개구부가 하부를 향하는 상태로 상기 테이블 프레임(220)에 안착된다.Here, the quartz crucible 10 is mounted on the table frame 220 with the opening of the quartz crucible 10 facing downward.

상기 센터링유닛(400)은 상기 작업테이블(200), 즉 상기 테이블 프레임(220) 상에서 상기 석영도가니(10)의 좌우방향에 대한 중심위치를 조정하게 된다.The centering unit 400 adjusts the center position of the quartz crucible 10 in the left and right directions on the work table 200, that is, the table frame 220.

상기 센터링유닛(400)은 상기 석영도가니(10)의 개구부의 외측면에 접촉되어 상기 석영도가니(10)를 이동시키면서 상기 작업테이블(200) 상에서 상기 석영도가니(10)의 중심위치를 조정하기 위한 롤러들과, 상기 롤더들을 수평이동시키기 위한 롤러구동부(410)를 포함한다.The centering unit 400 is in contact with the outer surface of the opening of the quartz crucible 10 to adjust the center position of the quartz crucible 10 on the work table 200 while moving the quartz crucible 10. Rollers and a roller driving unit 410 for horizontally moving the rollers.

상기 롤더들은 상기 석영도가니(10)의 외측면 상에 배치되는 제1 롤러(421), 제2 롤러(422), 제3 롤러(423) 및 제4 롤러(424)를 포함한다. 물론, 본 발명은 상술한 실시 예에 한정되지 않고, 상기 롤러는 적어도 3개 이상이 구비될 수 있다. The rollers include a first roller 421, a second roller 422, a third roller 423, and a fourth roller 424 disposed on the outer surface of the quartz crucible 10. Of course, the present invention is not limited to the above-described embodiment, at least three rollers may be provided.

상기 석영도가니(10)가 상기 테이블 프레임(220)상에 얹혀지면, 상기 롤러들은 미리 설정된 상기 석영도가니(10)의 중심위치를 향하여 이동하면서 상기 석영도가니(10)를 밀게 된다. When the quartz crucible 10 is placed on the table frame 220, the rollers push the quartz crucible 10 while moving toward the center position of the quartz crucible 10.

결과적으로, 상기 롤러들이 네 방향에서 상기 석영도가니(10)의 중심위치를 향하여 수평이동함으로써 상기 테이블 프레임(220)상에서 좌우방향에 대한 상기 석영도가니(10)의 중심위치가 미리 설정된 위치에 위치하게 된다.As a result, the rollers are horizontally moved toward the center position of the quartz crucible 10 in four directions so that the center position of the quartz crucible 10 with respect to the left and right directions on the table frame 220 is positioned at a preset position. do.

또한, 상기 롤더들은 상기 홀더유닛(300)에 의하여 상기 석영도가니(10)가 회전될 때 상기 석영도가니(10)의 개구부 영역의 외측면을 지지하면서 회전하게 된다.In addition, the rollers rotate while supporting the outer surface of the opening area of the quartz crucible 10 when the quartz crucible 10 is rotated by the holder unit 300.

상기 센터링유닛(400)은 상기 석영도가니(10)의 외측면에 가해지는 충격을 완화하기 위하여 상기 롤더들의 후방에 설치되는 충격완화부재(미도시)를 더 포함할 수 있다. 상기 충격완화부재로는 스프링부재가 사용될 수 있다.The centering unit 400 may further include an impact mitigating member (not shown) installed at the rear of the rollers in order to alleviate the impact applied to the outer surface of the quartz crucible 10. The shock absorbing member may be a spring member.

상기 석영도가니(10)의 중심위치를 조정하기 위한 센터링유닛(400)을 설치함으로써 상기 석영도가니의 절단면(11)을 보다 정확하게 절단할 수 있게 된다.By installing a centering unit 400 for adjusting the center position of the quartz crucible 10, it is possible to more accurately cut the cut surface 11 of the quartz crucible.

상기 센서유닛은 상기 센터링유닛(400)에 의하여 상기 석영도가니(10)의 중심위치가 맞추어지면 상기 석영도가니(10)의 전체높이를 측정하게 된다. 물론, 상기 센서유닛은 상기 석영도가니(10)의 종류를 식별할 수도 있을 것이다.The sensor unit measures the overall height of the quartz crucible 10 when the center position of the quartz crucible 10 is adjusted by the centering unit 400. Of course, the sensor unit may identify the type of the quartz crucible 10.

상기 센서유닛으로는 초음파센서가 사용될 수 있다. 상기 센서유닛에 의하여 상기 석영도가니(10)의 전체 높이가 측정되면 상기 석영도가니(10)의 절단면의 위치가 특정된다.An ultrasonic sensor may be used as the sensor unit. When the overall height of the quartz crucible 10 is measured by the sensor unit, the position of the cut surface of the quartz crucible 10 is specified.

그러면, 상기 홀더유닛(300)은 상기 센서유닛에서 측정된 상기 석영도가니(10)의 전체 높이를 바탕으로 상기 석영도가니(10)의 절단면이 상기 커팅유닛의 커팅블레이드(530)와 대응되는 높이에 위치되도록 상하방향에 대한 상기 석영도가니(10)의 높이를 조절하게 된다. Then, the holder unit 300 has a cutting surface of the quartz crucible 10 at a height corresponding to the cutting blade 530 of the cutting unit based on the overall height of the quartz crucible 10 measured by the sensor unit. The height of the quartz crucible 10 with respect to the vertical direction is adjusted to be positioned.

즉, 상기 커팅블레이드(530)와 상기 석영도가니의 절단면(11)이 동일하게 절단면의 연장선(C)상에 위치하게 된다.That is, the cutting blade 530 and the cut surface 11 of the quartz crucible are located on the extension line C of the cut surface.

상기 석영도가니(10)의 전체높이를 미리 측정한 후 상기 석영도가니의 절단면(11)의 위치와 상기 커팅블레이드(530)의 위치를 조정함으로써 상기 석영도가니의 절단면(11)을 정확하게 절단할 수 있게 된다. After measuring the overall height of the quartz crucible 10 in advance, the cutting surface 11 of the quartz crucible can be accurately cut by adjusting the position of the cutting surface 11 and the cutting blade 530. do.

상기 홀더유닛(300)은 상기 석영도가니(10)의 상부에 설치되어 상기 석영도가니(10)의 외측벽을 잡아주게 된다.The holder unit 300 is installed on the top of the quartz crucible 10 to hold the outer wall of the quartz crucible 10.

상기 홀더유닛(300)은 홀더부재, 링크암, 실린더 연결암, 공압실린더(310), 회전디스크(320) 및 디스크 회전 구동부(미도시)를 포함한다.The holder unit 300 includes a holder member, a link arm, a cylinder connecting arm, a pneumatic cylinder 310, a rotating disk 320 and a disk rotation drive (not shown).

상기 홀더부재는 상기 석영도가니(10)의 외측벽을 잡아주는 역할을 한다.The holder member serves to hold the outer wall of the quartz crucible 10.

상기 홀더부재는 상기 석영도가니(10)의 외측벽을 기준으로 일정간격, 예를 들면, 120도의 간격으로 배치되는 제1 홀더부재(341), 제2 홀더부재(343) 및 제3 홀더부재(345)를 포함한다. 본 발명은 이에 한정되지 않고, 상기 홀더부재는 3개 이상 구비될 수 있다.The holder member may include a first holder member 341, a second holder member 343, and a third holder member 345 disposed at a predetermined interval, for example, at an interval of 120 degrees based on the outer wall of the quartz crucible 10. ). The present invention is not limited thereto, and three or more holder members may be provided.

상기 제1 홀더부재(341), 상기 제2 홀더부재(343) 및 상기 제3 홀더부재(345)는 실질적으로 동일한 구조를 가지므로, 상기 제1 홀더부재(341)에 한하여 설명한다.Since the first holder member 341, the second holder member 343, and the third holder member 345 have substantially the same structure, only the first holder member 341 will be described.

상기 제1 홀더부재(341)는 상기 석영도가니(10)의 외측벽에 접촉되는 제1 접촉블럭(341a)과 상기 제1 접촉블럭(341a)을 지지하는 제1 지지블럭(341b)을 포함한다.The first holder member 341 includes a first contact block 341a contacting an outer wall of the quartz crucible 10 and a first support block 341b supporting the first contact block 341a.

여기서, 상기 제1 접촉블럭(341a)은 원형단면을 가지는 상기 석영도가니(10)의 외측벽에 대한 접촉면적을 넓히기 위하여 일정한 경사각을 가지면서 한 쌍으로 구비되며, 상기 제1 지지블럭(341b)도 각각의 제1 접촉블럭(341a)을 지지하기 위하여 한쌍으로 구비된다.Here, the first contact block 341a is provided in a pair having a predetermined inclination angle to widen the contact area with respect to the outer wall of the quartz crucible 10 having a circular cross section, and the first support block 341b is also provided. A pair is provided to support each of the first contact blocks 341a.

또한, 상기 제1 접촉블럭(341a)은 상기 석영도가니(10)의 외측벽에 가해지는 충격을 최소화하고, 상기 외측벽에 대한 밀착력을 높이기 위하여 고무재질로 제작된다.In addition, the first contact block 341a is made of a rubber material to minimize the impact on the outer wall of the quartz crucible 10 and to increase the adhesion to the outer wall.

상기 링크암은 상기 홀더부재와 연결되어 상기 홀더부재를 이동시키게 된다. 구체적으로, 상기 링크암은 상기 제1 홀더부재(341)와 연결되는 제1 링크암(331)과, 상기 제2 홀더부재(343)와 연결되는 제2 링크암(333)과, 상기 제3 홀더부재(345)와 연결되는 제3 링크암(미도시)를 포함한다.The link arm is connected to the holder member to move the holder member. In detail, the link arm includes a first link arm 331 connected to the first holder member 341, a second link arm 333 connected to the second holder member 343, and the third link arm. And a third link arm (not shown) connected to the holder member 345.

상기 실린더 연결암은 상기 링크암과 연결되어 상기 링크암을 이동시키게 된다. 구체적으로, 상기 실린더 연결암은 상기 제1 링크암(331)과 연결되는 제1 실린더 연결암(351)과, 상기 제2 링크암(333)과 연결되는 제2 실린더 연결암(353)과, 상기 제3 링크암과 연결되는 제3 실린더 연결암(미도시)를 포함한다.The cylinder connecting arm is connected to the link arm to move the link arm. In detail, the cylinder connection arm may include a first cylinder connection arm 351 connected to the first link arm 331, a second cylinder connection arm 353 connected to the second link arm 333, and And a third cylinder connection arm (not shown) connected with the third link arm.

상기 공압실린더(310)는 상기 제1 실린더 연결암(351), 상기 제2 실린더 연결암(353) 및 상기 제3 실린더 연결암과 연결되어 상기 실린더 연결암들의 이동을 조절하게 된다. The pneumatic cylinder 310 is connected to the first cylinder connecting arm 351, the second cylinder connecting arm 353 and the third cylinder connecting arm to adjust the movement of the cylinder connecting arms.

특히, 상기 공압실린더(310)는 상기 홀더부재가 상기 석영도가니(10)의 외측벽을 잡을때 상기 석영도가니(10)에 가해지는 충격을 완화시키기 위하여 공기압의 조절이 가능하게 구비된다.In particular, the pneumatic cylinder 310 is provided to enable the adjustment of the air pressure in order to mitigate the impact applied to the quartz crucible 10 when the holder member catches the outer wall of the quartz crucible 10.

결과적으로, 공기압의 조절이 가능한 공압실린더(310)를 갖는 홀더유닛(300)을 설치함으로써, 상기 석영도가니(10)를 안정적으로 커팅할 수 있게 된다.As a result, by installing the holder unit 300 having a pneumatic cylinder 310 capable of adjusting the air pressure, it is possible to stably cut the quartz crucible 10.

상기 회전디스크(320)는 상기 석영도가니(10) 개구부의 절단영역에 대한 절단시 상기 석영도가니(10)를 회전시키기 위하여 상기 제1 실린더 연결암(351), 상기 제2 실린더 연결암(353), 상기 제3 실린더 연결암, 상기 제1 링크암(331), 상기 제2 링크암(333) 및 상기 제3 링크암을 회전시키게 된다.The rotating disk 320 has the first cylinder connection arm 351 and the second cylinder connection arm 353 to rotate the quartz crucible 10 when cutting the cutting area of the opening of the quartz crucible 10. The third cylinder connecting arm, the first link arm 331, the second link arm 333, and the third link arm are rotated.

여기서, 상기 홀더유닛(300)은 상기 커팅블레이드(530)의 회전방향과 반대방향으로 상기 석영도가니(10)를 회전시키게 된다.Here, the holder unit 300 is to rotate the quartz crucible 10 in a direction opposite to the rotation direction of the cutting blade 530.

한편, 상기 커팅유닛(500)은 상기 석영도가니(10)의 내부 공간상에 배치되어 상기 석영도가니 개구부의 절단영역을 절단하기 위한 커팅블레이드(530)와, 상기 커팅블레이드(530)를 회전시키기 위한 커팅블레이드 회전구동부(520)와, 상기 석영도가니(10)의 내부공간상에서 상기 커팅블레이드(530)의 위치를 조정하기 위한 커팅블레이드 수평이동부(510)를 포함한다.On the other hand, the cutting unit 500 is disposed on the inner space of the quartz crucible 10 is a cutting blade 530 for cutting the cutting area of the quartz crucible opening, and for rotating the cutting blade 530 A cutting blade rotating driver 520 and a cutting blade horizontal moving part 510 for adjusting the position of the cutting blade 530 in the internal space of the quartz crucible 10 are included.

상기 커팅블레이드 수평이동부(510)는 상기 커팅블레이드(530)를 수평이동시키기 위한 제1 구동모터(미도시)를 포함한다.The cutting blade horizontal moving unit 510 includes a first driving motor (not shown) for horizontally moving the cutting blade 530.

상기 홀더유닛(300)에 의하여 상기 석영도가니(10)의 높이가 조절되면, 상기 커팅블레이드 수평이동부(510)는 상기 커팅블레이드(530)를 상기 석영도가니(10)의 절단면에 해당하는 위치로 이동시키게 된다.When the height of the quartz crucible 10 is adjusted by the holder unit 300, the cutting blade horizontal moving part 510 moves the cutting blade 530 to a position corresponding to the cut surface of the quartz crucible 10. Will be moved.

상기 커팅블레이드(530)가 상기 커팅블레이드 회전구동부(520)에 의하여 회전되는 동안 상기 석영도가니(10)는 상기 홀더유닛(300)에 의하여 회전되면서 절단된다.The quartz crucible 10 is cut while being rotated by the holder unit 300 while the cutting blade 530 is rotated by the cutting blade rotating driver 520.

구체적으로, 상기 제어유닛은 상기 석영도가니(10)의 절단위치를 특정하기 위한 상기 석영도가니의 상하방향 위치를 조정하기 위하여 상기 홀더유닛(300)을 이동시키게 된다.Specifically, the control unit moves the holder unit 300 to adjust the vertical position of the quartz crucible for specifying the cutting position of the quartz crucible 10.

또한, 상기 제어유닛은 상기 커팅블레이드(530)를 수평이동시키면서 상기 커팅블레이드(530)를 구동시키는 제1 구동모터의 토크를 실시간으로 측정하고, 상기 제1 구동모터의 토크가 미리 설정된 제1 설정토크보다 큰 값을 가지면 상기 커팅블레이드(530)의 수평이동을 종료시킴과 동시에 상기 커팅블레이드(530)를 회전시키면서 상기 절단영역을 절단하게 된다.In addition, the control unit measures the torque of the first drive motor for driving the cutting blade 530 in real time while moving the cutting blade 530 in real time, the first setting of the torque of the first drive motor is set in advance If the value is larger than the torque, the horizontal movement of the cutting blade 530 is terminated and the cutting blade 530 is rotated while the cutting blade 530 is rotated.

상기 커팅블레이드(530)에 의하여 상기 석영도가니(10)의 개구부 절단영역, 즉 절단면이 절단되면 상기 석영도가니(10)의 절단면은 상기 면취유닛(600)에 의하여 면취된다.When the opening cutting area, that is, the cutting surface of the quartz crucible 10 is cut by the cutting blade 530, the cutting surface of the quartz crucible 10 is chamfered by the chamfering unit 600.

상기 면취유닛(600)은 상기 커팅유닛(500)과 이웃하게 배치되어 수평방향 및 상하방향으로 이동하면서 상기 석영도가니의 절단면(11)에 인접한 위치로 이동하여 상기 석영도가니의 절단면(11)을 면취하게 된다.The chamfering unit 600 is disposed adjacent to the cutting unit 500 and moved to a position adjacent to the cutting surface 11 of the quartz crucible while moving in the horizontal direction and the vertical direction to chamfer the cutting surface 11 of the quartz crucible. Done.

상기 면취유닛(600)은 상기 석영도가니의 절단면(11)을 면취하기 위한 면취블레이드(630)와, 상기 면취블레이드(630)를 회전시키기 위한 면취블레이드 회전구동부(620)와, 상기 면취블레이드(630)를 수평이동시키기 위한 면취블레이드 수평이동부(미도시), 상기 면취블레이드를 상하방향으로 승강시키기 위한 면취블레이드 승강부(610)를 포함한다.The chamfering unit 600 includes a chamfering blade 630 for chamfering the cutting surface 11 of the quartz crucible, a chamfering blade rotating driver 620 for rotating the chamfering blade 630, and the chamfering blade 630. Chamfering blade horizontal moving unit (not shown) for horizontally moving), and chamfering blade lifting unit 610 for elevating the chamfering blade in the vertical direction.

상기 면취블레이드(630)는 상기 석영도가니의 절단면(11) 중 내측면을 면취하기 위한 제1 면취블레이드(631)와, 상기 석영도가니의 절단면(11) 중 외측면을 면취하기 위한 제2 면취블레이드(633)를 포함한다.The chamfering blade 630 is a first chamfering blade 631 for chamfering the inner surface of the cutting surface 11 of the quartz crucible, and a second chamfering blade for chamfering the outer surface of the cutting surface 11 of the quartz crucible. 633.

상기 면취블레이드 수평이동부는 상기 제1 면취블레이드(631)와 상기 제2 면취블레이드(633)를 수평이동시키기 위한 제2 구동모터를 포함한다.The chamfering blade horizontal moving unit includes a second driving motor for horizontally moving the first chamfering blade 631 and the second chamfering blade 633.

상기 커팅유닛(500)과 상기 면취유닛(600)이 하나의 공간상에 이웃하게 배치함으로써 상기 석영도가니(10)에 대한 커팅작업 및 면취작업이 빠르게 진행될 수 있게 된다.Since the cutting unit 500 and the chamfering unit 600 are disposed adjacent to one space, the cutting operation and the chamfering operation for the quartz crucible 10 can be rapidly performed.

이하에서는 도 1 내지 도 7을 참조하여, 본 실시 예에 따른 석영도가니 커팅시스템에 의하여 상기 석영도가니(10)가 절단되고, 절단된 절단면이 면취되는 과정을 설명하면 다음과 같다. Hereinafter, referring to FIGS. 1 to 7, the quartz crucible 10 is cut by the quartz crucible cutting system according to the present embodiment, and the process of cutting the cut surface is as follows.

먼저, 로딩유닛(100)에 의하여 가공될 석영도가니(10)의 개구부가 하부를 향하는 상태에서 상기 석영도가니(10)가 상기 작업테이블(200)로 공급된다(S100)First, the quartz crucible 10 is supplied to the work table 200 in a state in which the opening of the quartz crucible 10 to be processed by the loading unit 100 faces downward (S100).

이때, 상기 석영도가니(10)는 상기 로딩유닛(100)의 승강레그(120)에 의하여 일정 높이로 들어 올려진 상태에서 상기 작업테이블(200)의 상부로 수평이동되고, 상기 승강레그(120)가 하강하면서 상기 작업테이블(200)의 상부에 얹혀지게 된다.In this case, the quartz crucible 10 is horizontally moved to the top of the work table 200 in a state of being raised to a predetermined height by the lifting leg 120 of the loading unit 100, the lifting leg 120 As it descends, it is placed on the upper portion of the work table 200.

다음으로, 센터링유닛(400)에 의하여 평면상, 즉 상기 작업테이블(200) 상에서 상기 석영도가니(10)의 좌우방향에 대한 중심위치가 조정된다(S200).Next, the centering position of the quartz crucible 10 on the plane, that is, on the work table 200 is adjusted by the centering unit 400 (S200).

다음으로, 상기 석영도가니(10)의 절단위치와 상기 커팅블레이드(530)의 높이가 대응되도록 상기 석영도가니(10)를 상하방향으로 이동시키기 위하여 상기 석영도가니(10)의 전체높이를 측정하게 된다.Next, the total height of the quartz crucible 10 is measured to move the quartz crucible 10 in the vertical direction so that the cutting position of the quartz crucible 10 and the height of the cutting blade 530 correspond to each other. .

여기서, 상기 석영도가니(10)의 전체높이에 따라 상기 석영도가니의 절단면(11)의 위치가 특정되어 있다.Here, the position of the cut surface 11 of the said quartz crucible is specified according to the overall height of the said quartz crucible 10.

다음으로, 홀더유닛(300)은 하강하면서 상기 석영도가니(10)의 외측벽을 잡은 후에 상기 석영도가니의 절단면(11)의 위치와 커팅블레이드(530)의 높이와 대응되도록 상기 석영도가니(10)의 상하방향 위치를 조정하게 된다(S300).Next, after holding the outer wall of the quartz crucible 10 while the holder unit 300 descends, the holder unit 300 of the quartz crucible 10 corresponds to the position of the cut surface 11 of the quartz crucible and the height of the cutting blade 530. Up and down position is adjusted (S300).

여기서, 상기 홀더유닛(300)은 상기 석영도가니(10)를 일정한 압력으로 가압하면서 잡게 된다. 만약, 상기 홀더유닛(300)이 상기 석영도가니(10)를 가압하는 압력이 설정압력이상 되지 않으면 제어유닛은 경고메시지를 디스플레이하거나 또는 경고음을 출력하여 사용자에게 알려주도록 구현될 수 있다.Here, the holder unit 300 is caught while pressing the quartz crucible 10 at a constant pressure. If the pressure that the holder unit 300 presses the quartz crucible 10 does not exceed the set pressure, the control unit may be implemented to display a warning message or output a warning sound to inform the user.

다음으로, 상기 커팅블레이드(530)는 상기 석영도가니(10)의 절단영역을 절단하게 된다(S400).Next, the cutting blade 530 cuts the cutting area of the quartz crucible 10 (S400).

구체적으로, 제어유닛은, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 커팅블레이드(530)를 상기 석영도가니(10)의 내부 공간상에서 상기 절단면(11)이 위치하는 상기 석영도가니(10)의 내측벽(P0)에 접촉되도록 수평이동시킨다. 즉, 상기 커팅블레이드(530)의 회전중심이 제1 중심위치(C1)에서 제2 중심위치(C2)로 이동된다.Specifically, as shown in FIG. 4, the control unit may include the cutting blade 530 on the inner wall of the quartz crucible 10 in which the cutting surface 11 is located on the inner space of the quartz crucible 10. Horizontal movement to contact P0). That is, the rotation center of the cutting blade 530 is moved from the first center position C1 to the second center position C2.

상기 커팅블레이드(530)가 고정된 상기 석영도가니의 내측벽(P0)에 접촉한 상태에서 지속적으로 직선운동을 하고자 하더라도 더 이상 직선이동을 할 수 없기 때문에 직선이동을 하고 있는 상태보다 상기 제1 구동모터에 더 많은 부하가 발생하게 된다.Even if the cutting blade 530 is in contact with the inner wall P0 of the fixed quartz crucible, the linear drive can no longer be linearly moved. More load is placed on the motor.

동시에, 상기 제어유닛은 상기 커팅블레이드(530)를 수평이동시키는 제1 구동모터의 토크를 실시간으로 측정하게 된다.At the same time, the control unit measures the torque of the first driving motor for horizontally moving the cutting blade 530 in real time.

다음으로, 상기 제1 구동모터의 토크가 미리 설정된 제1 설정토크보다 큰 값을 가지면, 상기 제어유닛은 상기 커팅블레이드(530)가 상기 석영도가니의 내측벽에 완전히 밀착되었다고 판단하고 상기 커팅블레이드(530)의 수평이동을 종료시키게 된다.Next, when the torque of the first drive motor has a value larger than the preset first set torque, the control unit determines that the cutting blade 530 is in close contact with the inner wall of the quartz crucible and the cutting blade ( The horizontal movement of the 530 is terminated.

다음으로, 상기 제어유닛은 상기 커팅블레이드(530)를 회전시키면서 상기 절단면을 절단하게 된다.Next, the control unit is to cut the cutting surface while rotating the cutting blade (530).

이때, 상기 석영도가니(10)는 상기 홀더유닛(300)에 의하여 잡힌 상태에서 상기 커팅블레이드(530)의 회전방향과 반대방향으로 회전된다.At this time, the quartz crucible 10 is rotated in a direction opposite to the rotational direction of the cutting blade 530 in a state of being caught by the holder unit 300.

여기서, 상기 석영도가니의 절단면(11)을 기준으로 상부영역은 상기 홀더유닛(300)에 의하여 잡힌 상태로 회전이동되고, 상기 석영도가니의 하부영역, 즉 석영도가니의 개구부 영역은 상기 센터링유닛(400)에 의하여 지지되면서 회전하게 된다.Here, the upper region is rotated relative to the cut surface 11 of the quartz crucible by the holder unit 300, the lower region of the quartz crucible, that is, the opening region of the quartz crucible is the centering unit 400 Rotated while being supported by).

결과적으로, 자유롭게 직선운동하는 커팅블레이드가 고정된 석영도가니와 접촉된 이후에 가해지는 힘의 변화를 바탕으로 상기 커팅블레이드가 회전되기 시작하는 지점의 위치를 판단하게 된다. As a result, the position of the point at which the cutting blade starts to rotate is determined based on the change in force applied after the free cutting blade is in contact with the fixed quartz crucible.

다음으로, 상기 석영도가니의 절단면(11)은 면취블레이드(630)에 의하여 상기 석영도가니의 절단면(11)의 내측영역과 외측영역이 순차적으로 면취된다.Next, the cut surface 11 of the quartz crucible is chamfered sequentially by the inner surface and the outer region of the cut surface 11 of the quartz crucible by the chamfering blade 630.

구체적으로, 상기 제어유닛은 상기 제1 면취블레이드(631)를 상기 절단면(11)의 내측방향으로 수평이동시킨다. 즉, 상기 제1 면취블레이드(631)가 상기 절단면의 내측 접점(Q0)에 밀착되도록 이동된다.Specifically, the control unit horizontally moves the first chamfering blade 631 in the inward direction of the cutting surface (11). That is, the first chamfering blade 631 is moved in close contact with the inner contact Q0 of the cut surface.

동시에, 상기 제어유닛은 상기 제1 면취블레이드(631)를 수평이동시키는 제2 구동모터의 토크를 실시간으로 측정하게 된다. At the same time, the control unit measures the torque of the second driving motor for horizontally moving the first chamfering blade 631 in real time.

다음으로, 상기 제어유닛은 상기 제2 구동모터의 토크가 미리 설정된 제2 설정토크보다 큰 값을 가지면 상기 제1 면취블레이드(631)의 수평이동을 종료시키게 된다.Next, the control unit terminates the horizontal movement of the first chamfering blade 631 when the torque of the second driving motor has a value larger than the preset second set torque.

다음으로, 상기 제어유닛은 상기 제1 면취블레이드(631)를 회전시키면서 상기 절단면의 내측부분을 면취하게 된다.Next, the control unit is to chamfer the inner portion of the cut surface while rotating the first chamfering blade 631.

다음으로, 상기 제어유닛은 상기 절단면(11)의 외측방향으로 상기 제2 면취블레이드(633)를 수평이동시키게 된다. 즉, 상기 제2 면취블레이드(633)가 상기 절단면의 외측 접점(R0)에 밀착되도록 이동된다Next, the control unit is to horizontally move the second chamfering blade 633 in the outward direction of the cutting surface (11). That is, the second chamfering blade 633 is moved to be in close contact with the outer contact R0 of the cut surface.

동시에, 상기 제어유닛은 상기 제2 면취블레이드(633)를 수평이동시키는 제2 구동모터의 토크를 실시간으로 측정하게 된다.At the same time, the control unit measures the torque of the second drive motor for horizontally moving the second chamfering blade 633 in real time.

다음으로, 상기 제어유닛은 상기 제2 구동모터의 토크가 미리 설정된 제3 설정토크보다 큰 값을 가지면 상기 제2 면취블레이드(633)의 수평이동을 종료시키게 된다. Next, the control unit terminates the horizontal movement of the second chamfering blade 633 when the torque of the second driving motor has a larger value than the preset third set torque.

다음으로, 상기 제어유닛은 상기 제2 면취블레이드(633)를 회전시키면서 상기 절단면의 외측부분을 면취하게 된다.Next, the control unit is to chamfer the outer portion of the cutting surface while rotating the second chamfering blade 633.

결과적으로, 상기 커팅블레이드(530)가 상기 석영도가니의 내측벽에 완전하게 밀착된 상태에서 상기 석영도가니(10)를 절단하게 됨으로써 상기 커팅블레이드(530)의 공회전을 방지함과 동시에 보다 정확하게 상기 석영도가니(10)를 절단할 수 있게 된다.As a result, the cutting blade 530 cuts the quartz crucible 10 in a state in which the cutting blade 530 is completely in contact with the inner wall of the quartz crucible, thereby preventing idling of the cutting blade 530 and at the same time more accurately. The crucible 10 can be cut.

뿐만 아니라, 상기 제1 면취블레이드(631) 및 상기 제2 면취블레이드(633)가 상기 석영도가니의 절단면(11)에 밀착된 상태에서 상기 절단면(11)을 면취하게 됨으로써 상기 제1 면취블레이드(631) 및 상기 제2 면취블레이드(633)의 공회전을 방지함과 동시에 보다 정확하게 상기 석영도가니의 절단면(11)을 면취할 수 있게 된다.In addition, the first chamfering blade 631 and the second chamfering blade 633 chamfer the cutting surface 11 while being in close contact with the cutting surface 11 of the quartz crucible. And preventing the idling of the second chamfering blade 633 and at the same time can more accurately chamfer the cut surface 11 of the quartz crucible.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명은 상술한 특정한 바람직한 실시 예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형의 실시가 가능하고 이러한 변형은 본 발명의 범위에 속한다.As described above, the present invention is not limited to the above-described specific preferred embodiments, and various changes and modifications may be made by those skilled in the art without departing from the scope of the present invention as claimed in the claims. And such variations are within the scope of the present invention.

100: 로딩유닛 110: 레일
120: 승강레그 130: 전방프레임
140: 로딩프레임 200: 작업테이블
300: 홀더유닛 310: 공압실린더
320: 회전디스크 331: 제1 링크암
341: 제1 홀더부재 351: 제1 실린더 연결암
400: 센터링유닛 410: 롤러구동부
421: 제1 롤러 422: 제2 롤러
500: 커팅유닛 510: 커팅블레이드 수평이동부
520: 커팅블레이드 회전구동부 530: 커팅블레이드
600: 면취유닛 630: 면취블레이드
631: 제1 면취블레이드 633: 제2 면취블레이드100: loading unit 110: rail
120: lifting leg 130: front frame
140: loading frame 200: worktable
300: holder unit 310: pneumatic cylinder
320: rotating disk 331: first link arm
341: first holder member 351: first cylinder connecting arm
400: centering unit 410: roller driving unit
421: first roller 422: second roller
500: cutting unit 510: cutting blade horizontal moving unit
520: cutting blade rotational drive 530: cutting blade
600: chamfering unit 630: chamfering blade
631: first chamfering blade 633: second chamfering blade

Claims (7)

가공될 석영도가니의 개구부가 지면을 향하는 상태로 상기 석영도가니를 작업테이블로 공급하는 단계;
상기 작업테이블 상에서 상기 석영도가니의 좌우방향 중심위치를 조정하는 단계;
홀더유닛을 사용하여 상기 석영도가니에 압력을 가압하면서 상기 석영도가니의 외측벽을 잡아주는 단계;
상기 석영도가니의 절단위치를 특정하기 위하여 상기 석영도가니의 상하방향 위치를 조정하는 단계;
상기 석영도가니의 절단영역을 절단하는 절단단계; 그리고,
상기 홀더유닛에 의하여 상기 석영도가니에 가해지는 압력이 설정압력이상 되지 않으면 사용자에게 알려주는 단계를 포함하며,
상기 절단단계는 상기 석영도가니의 내부 공간상에 배치된 커팅블레이드를 수평이동시키는 단계와, 상기 커팅블레이드를 수평이동시키는 제1 구동모터의 토크를 실시간으로 측정하는 단계와, 상기 제1 구동모터의 토크가 미리 설정된 제1 설정토크보다 큰 값을 가지면 상기 커팅블레이드의 수평이동을 종료시키는 단계와, 상기 커팅블레이드를 회전시키면서 상기 절단영역을 절단하는 단계를 포함하고,
상기 석영도가니를 상기 작업테이블로 공급하는 단계는 상기 석영도가니가 로딩프레임의 상부에 얹혀지도록 하는 단계와, 상기 로딩프레임을 상하방향으로 승강하기 위한 승강레그를 상부방향으로 이동시켜 상기 석영도가니를 일정 높이로 들어올리는 단계와, 상기 석영도가니가 들어 올려진 상태에서 상기 작업테이블의 상부로 수평이동되도록 하는 단계와, 상기 석영도가니가 상기 작업테이블의 상부에 얹혀지도록 상기 승강레그가 하부방향으로 이동하는 단계를 포함하며, 상기 석영도가니가 상기 작업테이블 상에 얹혀질 때 상기 작업테이블의 테두리는 상기 로딩프레임의 내부 공간상에 위치되는 것을 특징으로 하는 석영도가니의 커팅방법.Supplying the quartz crucible to a work table with the opening of the quartz crucible to be processed facing the ground;
Adjusting a center of left and right directions of the quartz crucible on the work table;
Holding an outer wall of the quartz crucible while pressurizing the quartz crucible using a holder unit;
Adjusting a vertical position of the quartz crucible to specify a cutting position of the quartz crucible;
Cutting a cutting area of the quartz crucible; And,
And informing the user when the pressure applied to the quartz crucible by the holder unit does not exceed a set pressure.
The cutting step includes the steps of horizontally moving the cutting blade disposed on the inner space of the quartz crucible, measuring the torque of the first drive motor for horizontally moving the cutting blade in real time, and Terminating the horizontal movement of the cutting blade if the torque has a value greater than a first preset torque, and cutting the cutting area while rotating the cutting blade,
The step of supplying the quartz crucible to the work table includes the step of placing the quartz crucible on the upper portion of the loading frame, and moving the lifting leg for raising and lowering the loading frame in the vertical direction to the upper direction. Lifting to a height, causing the quartz crucible to be horizontally moved to the upper part of the work table while the quartz crucible is lifted, and moving the lifting leg downward so that the quartz crucible is placed on the upper part of the work table. And the step of placing the quartz crucible on the worktable, wherein an edge of the worktable is positioned on an inner space of the loading frame. 제1항에 있어서,
상기 커팅블레이드에 의하여 절단된 상기 절단영역의 절단면을 면취하는 면취단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 석영도가니의 커팅방법.The method of claim 1,
And a chamfering step of chamfering the cut surface of the cut region cut by the cutting blade. 제2항에 있어서,
상기 면취단계는 상기 절단면의 내측방향으로 제1 면취블레이드를 수평이동시키는 단계와, 상기 제1 면취블레이드를 수평이동시키는 제2 구동모터의 토크를 실시간으로 측정하는 단계와, 상기 제2 구동모터의 토크가 미리 설정된 제2 설정토크보다 큰 값을 가지면 상기 제1 면취블레이드의 수평이동을 종료시키는 단계와, 상기 제1 면취블레이드를 회전시키면서 상기 절단면의 내측부분을 면취하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 석영도가니의 커팅방법.3. The method of claim 2,
The chamfering step includes horizontally moving the first chamfering blade in the inward direction of the cut surface, measuring the torque of the second driving motor for horizontally moving the first chamfering blade in real time, and Terminating the horizontal movement of the first chamfering blade if the torque has a value greater than the second preset torque, and chamfering the inner portion of the cut surface while rotating the first chamfering blade. Cutting method of quartz crucible 제2항에 있어서,
상기 면취단계는 상기 절단면의 외측방향으로 제2 면취블레이드를 수평이동시키는 단계와, 상기 제2 면취블레이드를 수평이동시키는 제2 구동모터의 토크를 실시간으로 측정하는 단계와, 상기 제2 구동모터의 토크가 미리 설정된 제3 설정토크보다 큰 값을 가지면 상기 제2 면취블레이드의 수평이동을 종료시키는 단계와, 상기 제2 면취블레이드를 회전시키면서 상기 절단면의 외측부분을 면취하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 석영도가니의 커팅방법.3. The method of claim 2,
The chamfering step includes horizontally moving a second chamfering blade in an outward direction of the cutting plane, measuring torque of a second driving motor for horizontally moving the second chamfering blade in real time, and Terminating the horizontal movement of the second chamfering blade if the torque has a value greater than the third preset torque, and chamfering the outer portion of the cut surface while rotating the second chamfering blade. Cutting method of quartz crucible 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 석영도가니의 절단위치와 상기 커팅블레이드의 높이가 대응되도록 상기 석영도가니를 상하방향으로 이동시키기 위하여 상기 석영도가니의 전체높이를 측정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 석영도가니의 커팅방법.5. The method according to any one of claims 1 to 4,
And measuring the overall height of the quartz crucible in order to move the quartz crucible in an up and down direction so that the cutting position of the quartz crucible corresponds to the height of the cutting blade. 제5항에 있어서,
상기 절단단계에서 상기 석영도가니는 홀더유닛에 의하여 잡힌 상태에서 상기 커팅블레이드의 회전방향과 반대방향으로 회전되는 것을 특징으로 하는 석영도가니의 커팅방법.The method of claim 5,
And the quartz crucible in the cutting step is rotated in a direction opposite to the rotational direction of the cutting blade in a state of being held by the holder unit. 삭제delete
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