KR101343180B1 - Chamber control system and the method therof - Google Patents

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Abstract

본 발명은 제품의 베이킹 공정을 위한 챔버의 온도 및 시간을 개별적으로 정확하게 관리하기 위한 챔버 제어 시스템 및 그 방법에 관한 것으로서, 본 발명의 일 실시예에 따른 챔버 제어 시스템은 제품에 대해 공정별로 설정된 시간 및 온도에 따라 베이킹(Baking)을 하는 챔버(Chamber)를 포함하는 캐비넷(Cabinet); 상기 챔버에 투입되는 제품 각각에 대해 사용자의 입력에 의하여 개별적으로 제어하고, 공정 진행 상태를 표시하는 터치 패널; 및 상기 챔버에 투입되는 상기 제품의 로트(Lot)를 식별하는 로트 인식기;를 포함할 수 있다.The present invention relates to a chamber control system and method for accurately and individually managing the temperature and time of the chamber for the baking process of the product, the chamber control system according to an embodiment of the present invention is a time set for each process for the product And a cabinet including a chamber for baking according to temperature. A touch panel which individually controls each of the products introduced into the chamber by a user input and displays a process progress state; And a lot recognizer for identifying a lot of the product introduced into the chamber.

Figure R1020120027760
Figure R1020120027760

Description

챔버 제어 시스템 및 그 방법{Chamber control system and the method therof}Chamber control system and the method therof

본 발명은 챔버 제어 시스템 및 그 방법에 관한 것으로서, 보다 자세하게는 제품의 베이킹 공정을 위한 챔버의 온도 및 시간을 개별적으로 정확하게 관리하기 위한 챔버 제어 시스템 및 그 방법에 관한 것이다.
The present invention relates to a chamber control system and method thereof, and more particularly to a chamber control system and method for individually and accurately managing the temperature and time of the chamber for the baking process of the product.

공정의 대상이 되는 제품에는 각각 고유의 로트(Lot)가 부여되어 있고, 그 제품에 대한 공정의 히스토리(History)는 상기 로트에 따라 저장되게 된다. 즉, 로트는 제조 공정부터 공정 완료시까지 제품에 부여된 단위를 의미하는 것이므로, 제조 공정에 최초로 투입되어 제품이 완성되기까지 고유의 로트 번호를 갖게 된다.Each lot is given a unique lot, and the history of the process for that product is stored according to the lot. That is, since the lot refers to a unit assigned to the product from the manufacturing process to the completion of the process, the lot is first put into the manufacturing process and has a unique lot number until the product is completed.

최근에는 제품의 패키지(Package)화에 따라 공정 중 베이킹(Baking) 공정에 있어서 온도 및 시간 관리에 따른 품질의 중요성이 중요시되고 있다. 즉, 제품의 베이킹 공정에 있어서 온도 및 시간은 제품의 품질에 중요한 영향을 미치게 되는 요인이고, 관리자는 이를 제품 각각에 대하여 적절히 조절할 필요가 있는 것이다.In recent years, the importance of quality according to temperature and time management has become important in the baking process during the process of product packaging. In other words, the temperature and time in the baking process of the product is an important factor that affects the quality of the product, the manager needs to adjust appropriately for each product.

그러나, 종래의 베이킹 챔버(Chamber)는 다수의 제품들 각각에 대하여 개별적으로 온도 및 시간을 관리 또는 제어를 하는 시스템이 아니라 일괄적으로 관리 또는 제어를 하는 방식이었으므로, 제품 각각의 특성에 따른 최적의 제조 환경이 미흡하다는 문제가 있었다.However, the conventional baking chamber (Chamber) is not a system for managing or controlling temperature and time individually for each of a plurality of products, but a method of managing or controlling them collectively, so that the optimum according to the characteristics of each product There was a problem that the manufacturing environment was insufficient.

또한, 종래의 베이킹 챔버의 경우, 관리자가 제품 각각에 대한 투입 시간, 온도 설정 등을 직접 손으로 기재하는 등 자동 관리화가 되지 않았으므로, 관리 등에 있어서 번거로울 뿐만 아니라 관리 소홀로 인한 제품의 불량률이 높아지게 된 문제가 있었다.
In addition, in the case of the conventional baking chamber, since the manager does not automatically manage the input time, temperature setting, etc. for each product by hand, it is not only cumbersome in management, but also increases the defective rate of the product due to neglect of management. There was a problem.

특허문헌1 : 대한민국 공개특허 제10-2002-0071987Patent Document 1: Republic of Korea Patent Publication No. 10-2002-0071987

본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 일 실시예는 공정에 있어서 제품에 대한 온도 및 시간 관리를 자동화하기 위한 것이 목적이다.The present invention is to solve the problems of the prior art as described above, an embodiment of the present invention is to automate the temperature and time management for the product in the process.

또한, 본 발명은 제품에 대한 통합적인 온도 및 시간을 설정하는 것이 아니라 로트별로 온도 및 시간 설정을 할 수 있도록 함으로써, 최적의 상태에서 공정이 이루어지도록 하기 위한 것이 목적이다.
It is also an object of the present invention to set the temperature and time for each lot, rather than to set the integrated temperature and time for the product, so that the process is performed in an optimal state.

본 발명의 일 실시예에 따른 챔버 제어 시스템은 제품에 대해 공정별로 설정된 시간 및 온도에 따라 베이킹(Baking)을 하는 챔버(Chamber)를 포함하는 캐비넷(Cabinet); 상기 챔버에 투입되는 제품 각각에 대해 사용자의 입력에 의하여 개별적으로 제어하고, 공정 진행 상태를 표시하는 터치 패널; 및 상기 챔버에 투입되는 상기 제품의 로트(Lot)를 식별하는 로트 인식기;를 포함하고, 상기 터치 패널은 상기 캐비넷 내부에서 발생한 시간 손실을 표시하고, 이를 사용자에게 알려주는 유실 관리부를 더 포함할 수 있다.Chamber control system according to an embodiment of the present invention comprises a cabinet (Cabinet) including a chamber for baking (Baking) according to the time and temperature set for each process for the product; A touch panel which individually controls each of the products introduced into the chamber by a user input and displays a process progress state; And a lot recognizer for identifying a lot of the product put into the chamber, wherein the touch panel may further include a loss management unit for displaying a time loss occurring in the cabinet and informing the user of the time loss. have.

이 경우, 상기 캐비넷은 2이상의 챔버를 포함하고, 상기 캐비넷은 2이상일 수 있다.In this case, the cabinet may include two or more chambers, and the cabinet may be two or more.

상기 캐비닛은 투입된 상기 제품에 대해 베이킹을 하기 위한 상기 캐비넷의 온도를 설정하는 온도 설정부; 설정된 상기 온도를 가하는 시간을 설정하는 시간 설정부; 설정된 상기 온도 및 시간을 사용자에게 나타내는 표시부; 및 상기 시간 설정부에서 설정된 시간이 경과하지 않으면 상기 캐비넷을 잠금(Locked) 상태로 유지하는 캐비넷 도어 락(Door Lock) 장치;를 포함할 수 있다.The cabinet may include a temperature setting unit for setting a temperature of the cabinet for baking the injected product; A time setting unit for setting a time for applying the set temperature; A display unit which displays the set temperature and time to a user; And a cabinet door lock device that maintains the cabinet in a locked state when the time set by the time setting unit has not elapsed.

상기 터치 패널은 상기 2이상의 챔버에 대하여 개별적으로 제어할 수 있다.The touch panel may be individually controlled for the two or more chambers.

상기 로트 인식기는 1차원 바코드(Bar-code) 인식기일 수 있다.The lot recognizer may be a one-dimensional bar-code recognizer.

상기 터치 패널은 상기 터치 패널에 표시되는 캐비넷을 표시하는 캐비넷 표시창; 상기 캐비넷 표시창에 표시된 캐비넷에 투입된 제품의 공정 진행 상태를 표시하는 캐비넷 상태 표시부; 상기 캐비넷 상태 표시부에 표시되는 캐비넷을 선택하는 캐비넷 선택부; 상기 캐비넷 표시창에 표시된 캐비넷의 공정 시작을 표시하는 시작 표시창; 및 상기 캐비넷 표시창에 표시된 캐비넷의 공정 종료를 표시하는 종료 표시창;을 포함할 수 있다.The touch panel may include: a cabinet display window displaying a cabinet displayed on the touch panel; A cabinet state display unit displaying a process progress state of a product put in a cabinet displayed on the cabinet display window; A cabinet selector for selecting a cabinet displayed on the cabinet state display unit; A start display window for displaying the start of the process of the cabinet displayed on the cabinet display window; And an end display window for displaying the end of the process of the cabinet displayed on the cabinet display window.

상기 챔버에 투입된 제품 각각에 대하여 진행되는 공정 시간을 증가 또는 감소시키는 시간 증감부; 및 상기 챔버에 투입된 제품 각각에 대하여 가해지는 온도를 증가 또는 감소시키는 온도 증감부;를 더 포함할 수 있다.A time increase / decrease unit for increasing or decreasing a process time which is performed for each product introduced into the chamber; And a temperature increase and decrease unit for increasing or decreasing a temperature applied to each of the products introduced into the chamber.

상기 챔버는 상기 시간 증감부에서 설정된 시간이 경과하지 않으면 상기 챔버를 잠금 상태로 유지하는 챔버 도어 락 장치를 포함할 수 있다.
The chamber may include a chamber door lock device that maintains the chamber in a locked state when the time set by the time increase / decrease unit does not pass.

본 발명의 일 실시예에 따른 챔버 제어 방법은 챔버에 투입되는 제품의 로트 각각에 대하여 바코드가 인식되는 단계; 상기 제품을 투입하고자 하는 해당 챔버에 투입(Track In)하는 단계; 투입된 제품 각각에 대하여 온도 및 시간을 설정하는 단계; 상기 설정된 온도 및 시간에 따라 상기 제품의 공정이 진행되는 단계; 및
상기 설정된 시간이 경과되면 상기 제품을 상기 챔버로부터 꺼내는(Track Out) 단계;를 포함하고, 해당 챔버의 캐비넷 내부에서 발생한 시간 손실을 표시하고, 이를 사용자에게 알려주는 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 제품의 공정이 진행되는 단계 이전에 상기 투입된 제품에 대한 온도 또는 시간을 재설정하는 단계를 더 포함할 수 있다.
Chamber control method according to an embodiment of the present invention comprises the steps of recognizing a bar code for each lot of product to be put into the chamber; Injecting the product into a corresponding chamber (Track In); Setting a temperature and a time for each injected product; Processing the product according to the set temperature and time; And
And tracking the product out of the chamber when the set time has elapsed. The method may further include displaying a time loss occurring in the cabinet of the chamber and informing the user of the loss of time.
It may further comprise the step of resetting the temperature or time for the injected product before the step of the process of the product.

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이와 같은 본 발명에 의하면, 제품에 대한 공정에 있어서 온도 및 시간 관리를 자동화하여 정확하고 편리한 관리가 이루어질 수 있다.According to the present invention, accurate and convenient management can be achieved by automating temperature and time management in the process for the product.

또한, 제품에 대한 통합적인 온도 및 시간을 설정하는 것이 아니라 로트별로 온도 및 시간 설정을 할 수 있도록 함으로써, 최적의 상태에서 공정이 이루어질 수 있다.
In addition, by setting the temperature and time for each lot, rather than setting the integrated temperature and time for the product, the process can be made in an optimal state.

도 1은 본 발명의 실시예에 의한 챔버 제어 시스템.
도 2는 본 발명의 실시예에 의한 챔버 제어 시스템의 터치 패널 구성.
도 3은 본 발명의 실시예에 의한 챔버 제어 시스템의 터치 패널에 있어서, 온도 및 시간을 증감하기 위한 터치 패널의 구성.
도 4는 본 발명의 실시예에 의한 챔버 제어 방법의 흐름도.1 is a chamber control system according to an embodiment of the present invention.
2 is a touch panel configuration of a chamber control system according to an embodiment of the present invention.
3 is a configuration of a touch panel for increasing and decreasing temperature and time in a touch panel of a chamber control system according to an embodiment of the present invention.
4 is a flow chart of a chamber control method according to an embodiment of the present invention.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시형태를 설명하기로 한다. 그러나 이는 예시에 불과하며 본 발명은 이에 제한되지 않는다.Hereinafter, specific embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. However, this is merely an example and the present invention is not limited thereto.

본 발명을 설명함에 있어서, 본 발명과 관련된 공지기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략하기로 한다. 그리고, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다. In the following description, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear. The following terms are defined in consideration of the functions of the present invention, and may be changed according to the intention or custom of the user, the operator, and the like. Therefore, the definition should be based on the contents throughout this specification.

본 발명의 기술적 사상은 청구범위에 의해 결정되며, 이하의 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 효율적으로 설명하기 위한 일 수단일 뿐이다.
The technical idea of the present invention is determined by the claims, and the following embodiments are merely a means for effectively explaining the technical idea of the present invention to a person having ordinary skill in the art to which the present invention belongs.

이하에서는 첨부된 예시 도면을 참조하여 본 발명에 대해 설명한다.
Hereinafter, the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 실시예에 의한 챔버 제어 시스템이다.
1 is a chamber control system according to an embodiment of the present invention.

도 1에 의하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 챔버 제어 시스템(100)은 제품에 대해 공정별로 설정된 시간 및 온도에 따라 베이킹(Baking)을 하는 챔버(Chamber, 미도시)를 포함하는 캐비넷(Cabinet, 200); 상기 챔버에 투입되는 제품 각각에 대해 사용자의 입력에 의하여 개별적으로 제어하고, 공정 진행 상태를 표시하는 터치 패널(300); 및 상기 챔버에 투입되는 상기 제품의 로트(Lot)를 식별하는 로트 인식기(400);를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 1, a chamber control system 100 according to an exemplary embodiment of the present invention includes a cabinet including a chamber (not illustrated) for baking a product according to a time and a temperature set for each process of a product. , 200); A touch panel 300 which individually controls each of the products introduced into the chamber by a user input and displays a process progress state; And a lot recognizer 400 identifying a lot of the product introduced into the chamber.

상기 캐비넷(200)은 투입된 상기 제품에 대해 베이킹을 하기 위한 상기 캐비넷의 온도를 설정하는 온도 설정부(220); 설정된 상기 온도를 가하는 시간을 설정하는 시간 설정부(230); 설정된 상기 온도 및 시간을 사용자에게 나타내는 표시부(210); 및 상기 시간 설정부에서 설정된 시간이 경과하지 않으면 상기 캐비넷을 잠금(Locked) 상태로 유지하는 캐비넷 도어 락(Door Lock) 장치(미도시);를 포함할 수 있다.The cabinet 200 includes a temperature setting unit 220 for setting a temperature of the cabinet for baking the product put; A time setting unit 230 for setting a time for applying the set temperature; A display unit 210 indicating the set temperature and time to a user; And a cabinet door lock device (not shown) that maintains the cabinet in a locked state when the time set by the time setting unit has not elapsed.

사용자는 상기 온도 설정부(220)로써 상기 하나의 캐비넷(200) 전체에 대한 내부 온도를 설정할 수 있고, 상기 시간 설정부(230)로써 상기 하나의 캐비넷(200) 전체에 대하여 설정된 온도를 가하는 시간을 설정할 수 있다. 이러한 온도 및 시간 설정은 상기 표시부(210)에 표시될 수 있다.The user may set the internal temperature of the whole of the cabinet 200 by the temperature setting unit 220, and the time of applying the temperature set for the whole of the cabinet 200 by the time setting unit 230. Can be set. Such temperature and time settings may be displayed on the display unit 210.

상기 캐비넷(200)은 캐비넷 도어 락 설정부(미도시)를 포함할 수 있다. 사용자가 상기 캐비넷 도어 락 설정부에 대하여 동작 설정을 할 경우, 상기 설정된 시간이 경과하지 않으면 상기 캐비넷 도어 락 장치에 의하여 잠금이 해제되지 않을 수 있다. 다만, 상기 캐비넷 도어 락 설정부에 대하여 해제 설정을 할 경우, 상기 설정된 시간이 경과하지 않더라도 상기 캐비넷 도어 락 장치는 작동하지 않으므로 사용자는 상기 캐비넷(200)을 임의로 열 수 있다.The cabinet 200 may include a cabinet door lock setting unit (not shown). When the user sets an operation for the cabinet door lock setting unit, the lock may not be released by the cabinet door lock device if the set time does not pass. When the cabinet door lock setting unit is released, the cabinet door lock device does not operate even if the set time has not elapsed. Therefore, the user may arbitrarily open the cabinet 200.

상기 캐비넷은 2이상일 수 있다. 도 1에는 제1 캐비넷(200), 제2 캐비넷(500), 제3 캐비넷(600), 및 제4 캐비넷(700)이 도시되어 있으나, 이보다 더 많은 캐비넷을 포함할 수 있다.The cabinet may be two or more. Although FIG. 1 illustrates a first cabinet 200, a second cabinet 500, a third cabinet 600, and a fourth cabinet 700, more cabinets may be included.

또한, 상기 각각의 캐비넷(200, 500, 600, 700)에는 챔버(미도시)가 2이상일 수 있다. 도시되지는 않았으나, 상기 각각의 캐비넷(200, 500, 600, 700) 내부에는 공정의 대상이 되는 제품 각각을 수용할 수 있는 챔버를 2이상 포함할 수 있다. 한편, 공정의 대상이 되는 제품 2이상을 수용할 수 있는 챔버를 포함할 수도 있다. 즉, 상기 하나의 캐비넷에는 하나의 제품을 수용할 수 있는 하나의 챔버를 2이상 포함할 수 있고, 2이상의 제품을 수용할 수 있는 하나의 챔버를 2이상 포함할 수도 있다.In addition, each of the cabinets 200, 500, 600, 700 may have two or more chambers (not shown). Although not shown, each of the cabinets 200, 500, 600, and 700 may include two or more chambers for accommodating each product to be processed. On the other hand, it may include a chamber that can accommodate two or more products to be processed. That is, the one cabinet may include two or more chambers for accommodating one product or two or more chambers for accommodating two or more products.

상기 터치 패널(300)은 상기 2이상의 챔버에 대하여 개별적으로 제어할 수 있다. 이에 대해서는 이하에서 더욱 상세히 설명하도록 한다.The touch panel 300 may individually control the two or more chambers. This will be described in more detail below.

상기 제품에는 고유의 로트를 포함할 수 있고, 상기 로트 인식기(400)는 상기 챔버에 투입되는 제품의 로트를 인식하여 제품에 대한 정보를 저장할 수 있다. 이와 더불어, 상기 로트 인식기(400)에 의하여 제품의 로트를 인식함으로써, 상기 제품이 투입된 시간, 설정 온도 및 설정 시간이 저장될 수 있다. 상기 로트 인식기(400)는 1차원 바코드(Bar-code) 인식기일 수 있고, 2차원 바코드 인식기일 수도 있다.
The product may include a unique lot, and the lot recognizer 400 may recognize the lot of the product injected into the chamber and store information about the product. In addition, by recognizing the lot of the product by the lot recognizer 400, the input time, the set temperature and the set time can be stored. The lot recognizer 400 may be a one-dimensional barcode recognizer or may be a two-dimensional barcode recognizer.

도 2는 본 발명의 실시예에 의한 챔버 제어 시스템의 터치 패널(Touch Panel)의 구성이다.
2 is a configuration of a touch panel of a chamber control system according to an embodiment of the present invention.

도 2에 의하면, 상기 터치 패널(300)은 상기 터치 패널에 표시되는 캐비넷을 표시하는 캐비넷 표시창(210); 상기 캐비넷 표시창에 표시된 캐비넷에 투입된 제품의 공정 진행 상태를 표시하는 캐비넷 상태 표시부(350); 상기 캐비넷 상태 표시부에 표시되는 캐비넷을 선택하는 캐비넷 선택부(361, 362, 363, 364); 상기 캐비넷 표시창에 표시된 캐비넷의 공정 시작을 표시하는 시작 표시창(340); 및 상기 캐비넷 표시창에 표시된 캐비넷의 공정 종료를 표시하는 종료 표시창(341);을 포함할 수 있다.According to FIG. 2, the touch panel 300 includes a cabinet display window 210 displaying a cabinet displayed on the touch panel; A cabinet state display unit 350 which displays a process progress state of a product put into a cabinet displayed on the cabinet display window; Cabinet selection units 361, 362, 363, 364 for selecting a cabinet displayed on the cabinet state display unit; A start display window 340 for displaying the start of a process of the cabinet displayed on the cabinet display window; And an end display window 341 for displaying the end of the process of the cabinet displayed on the cabinet display window.

상기 캐비넷 표시창(310)은 상기 터치 패널(300)에 표시되는 캐비넷을 표시할 수 있다. 즉, 상기 캐비넷 상태 표시부(350)는 특정 캐비넷에서 공정이 수행되고 있는 상태를 표시할 수 있는데, 상기 터치 패널(300)에 표시되는 캐비넷 상태 표시부(350)의 위치를 상기 캐비넷 표시창(310)이 나타낼 수 있다. 도 2에 나타난 바와 같이, 상기 터치 패널(300)의 캐비넷 상태 표시부(350)에 나타난 데이터가 제1 캐비넷(200)에 관한 것이라면 상기 캐비넷 표시창(310)에는 '캐비넷 1'과 같이 나타날 수 있다.The cabinet display window 310 may display a cabinet displayed on the touch panel 300. That is, the cabinet state display unit 350 may display a state in which a process is being performed in a specific cabinet, and the cabinet display window 310 displays the position of the cabinet state display unit 350 displayed on the touch panel 300. Can be represented. As shown in FIG. 2, if data displayed on the cabinet state display unit 350 of the touch panel 300 relates to the first cabinet 200, the cabinet display window 310 may appear as 'cabinet 1'.

상기 캐비넷 상태 표시부(350)는 상기 캐비넷 표시창(310)에 표시된 캐비넷에 투입된 제품의 공정 진행 상태를 표시할 수 있다. 상기 캐비넷 상태 표시부(350)에는 해당 캐비넷에 투입된 제품의 로트 카드 번호, 작동 번호, 투입(Track In) 시간, 인출(Track Out) 시간, 공정 시간, 현재 진행 상태 등을 표시할 수 있다. 로트 카드 번호는 상기 투입된 제품에 대한 고유의 로트 번호를 의미할 수 있고, 작동 번호는 상기 캐비넷에서 진행 중인 공정에 의하여 부여된 번호를 의미할 수 있다. 투입 시간은 상기 제품이 상기 캐비넷에 투입되어 공정이 시작된 시간을 의미할 수 있고, 이는 상기 제품이 상기 로트 인식기(400)에 의하여 로트가 인식된 후 상기 캐비넷의 특정 챔버로 투입되어 작업이 시작된 시간을 의미할 수 있다. 또한, 인출 시간은 공정이 완료된 시간을 의미할 수 있고, 이는 실제로 사용자에 의해서 챔버로부터 제품이 인출된 시간을 의미하는 것은 아니다. 공정 시간은 상기 제품의 공정이 진행되는 시간을 의미할 수 있는데, 투입 시간에서부터 인출 시간까지 걸리는 시간을 의미할 수 있으며, 분(Minuite) 단위로 표시될 수 있다. 현재 진행 상태는 상기 제품이 투입된 캐비넷의 챔버가 동작 중인지 아닌지를 나타낼 수 있는데, 공정이 진행중인 경우에는 'RUN'으로 표시될 수 있고, 공정이 중단중이라면 'PAUSE'로 표시될 수 있으며, 공정이 완료되었다면 'END'로 표시될 수 있다.The cabinet state display unit 350 may display a process progress state of a product put into a cabinet displayed on the cabinet display window 310. The cabinet status display unit 350 may display a lot card number, an operation number, a track in time, a track out time, a process time, a current progress state, and the like of a product put into a corresponding cabinet. The lot card number may mean a unique lot number for the injected product, and the operation number may mean a number assigned by an ongoing process in the cabinet. The feeding time may mean a time when the product is put into the cabinet and the process is started. This is a time when the product is put into a specific chamber of the cabinet and the operation is started after the lot is recognized by the lot recognizer 400. It may mean. Further, the withdrawal time may mean the time at which the process is completed, which does not actually mean the time that the product is withdrawn from the chamber by the user. The process time may mean a time at which the process of the product proceeds, and may mean a time taken from an input time to a withdrawal time, and may be expressed in minutes. The current progress state may indicate whether the chamber of the cabinet into which the product is put is in operation or not. If the process is in progress, it may be displayed as 'RUN', or if the process is stopped, it may be displayed as 'PAUSE'. If completed, it may be marked as 'END'.

상기 캐비넷 상태 표시부(350)는 특정 캐비넷의 2이상의 챔버에 대해 각 제품별 공정 진행 상태를 표시할 수 있다. 즉, 제1 캐비넷(200)의 제1 챔버(미도시), 제2 챔버(미도시) 등을 표시할 수 있고, 상기 챔버에 투입된 제품 각각의 공정 진행 상태를 표시할 수 있다.The cabinet state display unit 350 may display a process progress state for each product for two or more chambers of a specific cabinet. That is, a first chamber (not shown), a second chamber (not shown), etc. of the first cabinet 200 may be displayed, and a process progress state of each product introduced into the chamber may be displayed.

상기 캐비넷 선택부(361, 362, 363, 364)는 상기 캐비넷 상태 표시부(350)에 표시되는 캐비넷을 선택할 수 있다. 즉, 상기 캐비넷 선택부(361, 362, 363, 364)에서 제2 캐비넷 버튼(362)을 선택하면 상기 캐비넷 표시창(310)에는 '캐비넷 2'라고 표시되고, 상기 캐비넷 상태 표시부(350)는 상기 제2 캐비넷(500)에 투입된 제품의 정보에 대하여 표시할 수 있다.The cabinet selectors 361, 362, 363, and 364 may select a cabinet displayed on the cabinet state display unit 350. That is, when the second cabinet button 362 is selected by the cabinet selectors 361, 362, 363, and 364, 'cabinet 2' is displayed on the cabinet display window 310, and the cabinet state display unit 350 is Information about the product put into the second cabinet 500 can be displayed.

상기 시작 표시창(340)은 상기 캐비넷 표시창(310)에 표시된 캐비넷의 공정이 시작되었음을 표시할 수 있고, 상기 종료 표시창(341)은 상기 캐비넷 표시창(310)에 표시된 캐비넷의 공정이 종료되었음을 표시할 수 있다.
The start display window 340 may indicate that the process of the cabinet displayed on the cabinet display window 310 has started, and the end display window 341 may indicate that the process of the cabinet displayed on the cabinet display window 310 has ended. have.

한편, 상기 터치 패널(300)은 가동 표시창(320) 및 시간 표시창(321)을 포함할 수 있다. 상기 가동 표시창(320)은 상기 챔버 제어 시스템이 가동 중임을 표시할 수 있고, 가동 중인 경우에는 'Network ON'이라고 표시될 수 있다. 또한, 상기 시간 표시창(321)은 현재의 날짜 및 시간을 표시할 수 있다.The touch panel 300 may include an operation display window 320 and a time display window 321. The operation display window 320 may indicate that the chamber control system is in operation, and when it is in operation, may be displayed as 'Network ON'. In addition, the time display window 321 may display the current date and time.

또한, 상기 터치 패널(300)은 런-타임(Run Time) 표시창(370)을 포함할 수 있다. 상기 캐비넷 표시창(310)이 제1 캐비넷을 나타낼 경우에는 제1 캐비넷(200)의 작동 시간을 표시할 수 있고, 이 경우 분(Minuite) 단위로 표시할 수 있다.In addition, the touch panel 300 may include a run time display window 370. When the cabinet display window 310 indicates the first cabinet, the operating time of the first cabinet 200 may be displayed, and in this case, the cabinet display window 310 may be displayed in units of minutes.

또한, 상기 터치 패널(300)은 유실 관리부(342), 작업자 등록부(343), 및 단독 진행부(344)를 포함할 수 있다. 상기 유실 관리부(342)는 상기 캐비넷 내부에서 발생한 시간 손실을 표시하고, 이를 사용자에게 알려 줌으로써 사용자는 공정 시간을 늘이거나 줄일 수 있다. 상기 작업자 등록부(343)는 상기 캐비넷에 대한 사용자 또는 관리자의 신원을 등록하도록 할 수 있으며, 이로써 공정 진행에 대한 철저한 관리 및 감독이 이루어질 수 있다. 상기 단독 진행부(344)는 MES(Manufacturing Execution System)과는 별도로 상기 캐비넷이 단독으로 동작할 수 있도록 할 수 있다. 본 발명에 의한 챔버 제어 시스템은 다른 공정과 연계되어 순차적으로 공정이 수행될 수 있는데, 다른 공정과는 별도로 상기 캐비넷에서 이루어지는 공정을 단독으로 수행하고자 할 경우에는 상기 단독 진행부에 의하여 이루어질 수 있다. MES에 관하여는 공지된 개념이므로 여기서는 설명을 생략하도록 한다.In addition, the touch panel 300 may include a loss management unit 342, an operator registration unit 343, and a single progress unit 344. The loss management unit 342 displays a time loss occurring in the cabinet and informs the user of the loss management unit 342 so that the user can increase or decrease the process time. The worker register 343 may register an identity of a user or an administrator with respect to the cabinet, whereby thorough management and supervision of a process may be performed. The sole propulsion unit 344 may allow the cabinet to operate independently of the MES (Manufacturing Execution System). The chamber control system according to the present invention may be sequentially performed in connection with other processes, and may be made by the single process unit in the case where it is desired to perform a process performed in the cabinet separately from other processes. Since MES is a well-known concept, description thereof will be omitted.

또한, 상기 터치 패널(300)은 버저(Buzzer) 선택부(345) 및 리셋(Reset) 선택부(346)를 포함할 수 있다. 사용자는 상기 버저 선택부(345)를 터치함으로써, 상기 캐비넷의 챔버에서 이루어지는 공정이 완료될 경우 알림음을 내게 하거나 알림음을 내지 않도록 선택할 수 있다. 사용자는 상기 리셋 선택부(346)를 선택함으로써, 상기 캐비넷 상태 표시부(350)에 나타난 정보를 모두 삭제하고, 새로이 투입될 제품에 대한 공정 정보를 입력하도록 할 수 있다.
In addition, the touch panel 300 may include a buzzer selector 345 and a reset selector 346. By touching the buzzer selector 345, the user may select to give a notification sound or not to make a notification sound when the process in the chamber of the cabinet is completed. By selecting the reset selector 346, the user may delete all information displayed on the cabinet state display unit 350 and input process information about a new product to be introduced.

도 3은 본 발명의 실시예에 의한 챔버 제어 시스템의 터치 패널에 있어서, 온도 및 시간을 증감하기 위한 터치 패널의 구성이다.
3 is a configuration of a touch panel for increasing and decreasing temperature and time in a touch panel of a chamber control system according to an embodiment of the present invention.

도 3에 의하면, 상기 터치 패널(300)은 상기 챔버에 투입된 제품 각각에 대하여 진행되는 공정 시간을 증가 또는 감소시키는 시간 증감부(391); 및 상기 챔버에 투입된 제품 각각에 대하여 가해지는 온도를 증가 또는 감소시키는 온도 증감부(392);를 더 포함할 수 있다.Referring to FIG. 3, the touch panel 300 includes a time increase / decrease unit 391 that increases or decreases the process time that is performed for each product introduced into the chamber; And a temperature increase / decrease unit 392 that increases or decreases the temperature applied to each of the products introduced into the chamber.

도 2에 도시된 캐비넷 상태 표시부(350)에는 특정 캐비넷에 투입된 제품의 공정 정보가 표시되어 있는데, 경우에 따라 특정 제품에 대한 공정 환경을 변화시킬 필요가 있다. 즉, 특정 챔버의 온도 및 시간을 변경시키고자 할 경우에는 도 2에 도시된 캐비넷 상태 표시부(350)의 특정 제품에 대한 정보를 터치할 수 있고, 이 경우 도 3에 도시된 바와 같은 화면이 표시될 수 있다. 사용자는 도 3에 나타난 캐비넷 상태 표시부(380)의 제품 공정 정보를 확인하여, 현재의 공정 환경을 기준으로 시간을 증가 또는 단축하는 시간 증감부(391)를 터치할 수 있고, 온도를 증가 또는 감소하는 온도 증감부(392)를 터치함으로써 특정 챔버에 대한 공정 환경을 변경시킬 수 있다. 변경된 시간 또는 변경된 온도로 공정을 수행하려면 변경부(393)를 터치할 수 있고, 변경된 온도 및 변경된 시간을 적용하지 않고 기존에 설정된 공정 환경으로 진행을 하려면 취소부(394)를 터치할 수 있다.In the cabinet state display unit 350 shown in FIG. 2, process information of a product put into a specific cabinet is displayed. In some cases, it is necessary to change a process environment for a specific product. That is, in order to change the temperature and time of a specific chamber, information on a specific product of the cabinet state display unit 350 shown in FIG. 2 may be touched, and in this case, a screen as shown in FIG. 3 is displayed. Can be. The user may check the product process information of the cabinet state display unit 380 shown in FIG. 3, and may touch the time increase / decrease unit 391 that increases or decreases the time based on the current process environment, and increases or decreases the temperature. By touching the temperature increasing / decreasing unit 392, a process environment for a specific chamber may be changed. The change unit 393 may be touched to perform a process at a changed time or changed temperature, and the cancel unit 394 may be touched to proceed to a previously set process environment without applying the changed temperature and changed time.

또한, 본 발명에 의한 챔버 제어 시스템(100)은 상기 시간 증감부(391)에서 설정된 시간이 경과하지 않으면 상기 챔버를 잠금 상태로 유지하는 챔버 도어 락 장치(미도시)를 포함할 수 있다. 즉, 상기 챔버는 챔버 도어 락 설정부를 포함할 수 있다. 사용자가 상기 챔버 도어 락 설정부에 대하여 동작 설정을 할 경우, 상기 시간 증감부(391)에서 설정된 시간이 경과하지 않으면 상기 챔버 도어 락 장치에 의하여 챔버 잠금이 해제되지 않을 수 있다. 다만, 상기 챔버 도어 락 설정부에 대하여 해제 설정을 할 경우, 상기 시간 증감부(391)에서 설정된 시간이 경과하지 않더라도 상기 챔버 도어 락 장치는 작동하지 않으므로 사용자는 상기 챔버를 임의로 열 수 있다.
In addition, the chamber control system 100 according to the present invention may include a chamber door lock device (not shown) that maintains the chamber in a locked state when the time set by the time increase / decrease unit 391 does not pass. That is, the chamber may include a chamber door lock setting unit. When the user sets the operation of the chamber door lock setting unit, the chamber lock may not be released by the chamber door lock device unless the time set by the time increase / decrease unit 391 elapses. When the chamber door lock setting unit is released, the chamber door lock device does not operate even if the time set by the time increasing / decreasing unit 391 has not elapsed, and thus the user may arbitrarily open the chamber.

도 4는 본 발명의 실시예에 의한 챔버 제어 방법의 흐름도이다.
4 is a flowchart of a chamber control method according to an embodiment of the present invention.

도 4에 의하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 챔버 제어 방법은 챔버에 투입되는 제품의 로트 각각에 대하여 바코드가 인식되는 단계(S10); 상기 제품을 투입하고자 하는 해당 챔버에 투입(Track In)하는 단계(S20); 투입된 제품 각각에 대하여 온도 및 시간을 설정하는 단계(S30); 상기 설정된 온도 및 시간에 따라 상기 제품의 공정이 진행되는 단계(S50); 및 상기 설정된 시간이 경과되면 상기 제품을 상기 챔버로부터 꺼내는(Track Out) 단계(S60);를 포함할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 챔버 제어 방법은 해당 챔버의 캐비넷 내부에서 발생한 시간 손실을 표시하고, 이를 사용자에게 알려주는 단계(도시생략)를 더 포함할 수도 있다.According to Figure 4, the chamber control method according to an embodiment of the present invention comprises the steps of recognizing a bar code for each lot of product to be put into the chamber (S10); Injecting the product into the corresponding chamber (Track In) to be put (S20); Setting a temperature and a time for each injected product (S30); Step (S50) of processing the product according to the set temperature and time; And taking out the product from the chamber when the set time has elapsed (S60). The chamber control method according to an embodiment of the present invention may further include a step (not shown) of displaying a time loss occurring in the cabinet of the chamber and informing the user of the time loss.

상기 제품의 공정이 진행되는 단계(S50) 이전에 사용자는 상기 챔버의 온도 및 시간이 공정에 적합한지 판단할 수 있고, 상기 투입된 제품에 대한 온도 또는 시간을 재설정하는 단계(S70)를 더 포함할 수 있다.
Before step S50 of processing the product, the user may determine whether the temperature and time of the chamber are suitable for the process, and may further include the step S70 of resetting the temperature or time for the injected product. Can be.

이상에서 대표적인 실시예를 통하여 본 발명에 대하여 상세하게 설명하였으나, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 상술한 실시예에 대하여 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 다양한 변형이 가능함을 이해할 것이다. While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is clearly understood that the same is by way of illustration and example only and is not to be construed as limiting the scope of the present invention. I will understand.

그러므로 본 발명의 권리범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 안 되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
Therefore, the scope of the present invention should not be limited to the above-described embodiments, but should be determined by equivalents to the appended claims, as well as the appended claims.

100 : 챔버 제어 시스템
200, 500, 600, 700 : 캐비넷(Cabinet)
210 : 표시부 220 : 온도 설정부
230 : 시간 설정부 300 : 터치 패널(Touch Panel)
310 : 캐비넷 표시창 320 : 가동 표시창
321 : 시간 표시창 340 : 시작 표시창
341 : 종료 표시창 342 : 유실 관리부
343 : 작업자 등록부 344 : 단독 진행부
345 : 버저(Buzzer) 선택부 346 : 리셋(Reset) 선택부
350, 380 : 캐비넷 상태 표시부
361, 362, 363, 364 : 캐비넷 선택부
370 : 런-타임(Run Time) 표시창
391 : 시간 증감부 392 : 온도 증감부
393 : 변경부 394 : 취소부
400 : 로트(Lot) 인식기100: chamber control system
200, 500, 600, 700: Cabinet
210: display unit 220: temperature setting unit
230: time setting unit 300: touch panel
310: cabinet display window 320: operation display window
321: time display window 340: start display window
341: end display window 342: loss management
343: worker register 344: single progress unit
345: buzzer selector 346: reset selector
350, 380: cabinet status display
361, 362, 363, 364: cabinet selector
370 Run Time Display Window
391: time increase and decrease 392: temperature increase and decrease
393: change unit 394: cancel unit
400: Lot recognizer

Claims (10)

제품에 대해 공정별로 설정된 시간 및 온도에 따라 베이킹(Baking)을 하는 챔버(Chamber)를 포함하는 캐비넷(Cabinet);
상기 챔버에 투입되는 제품 각각에 대해 사용자의 입력에 의하여 개별적으로 제어하고, 공정 진행 상태를 표시하는 터치 패널; 및
상기 챔버에 투입되는 상기 제품의 로트(Lot)를 식별하는 로트 인식기;를 포함하고,
상기 터치 패널은 상기 캐비넷 내부에서 발생한 시간 손실을 표시하고, 이를 사용자에게 알려주는 유실 관리부를 더 포함하는 챔버 제어 시스템.
A cabinet including a chamber configured to bake according to a time and a temperature set for each process for a product;
A touch panel which individually controls each of the products introduced into the chamber by a user input and displays a process progress state; And
And a lot recognizer for identifying a lot of the product put into the chamber.
The touch panel further includes a loss management unit for indicating a time loss occurring in the cabinet and informing the user of the loss.
제 1 항에 있어서,
상기 캐비넷은 2이상의 챔버를 포함하고,
상기 캐비넷은 2이상인 챔버 제어 시스템.
The method of claim 1,
The cabinet comprises two or more chambers,
The cabinet is at least two chamber control systems.
제 1 항에 있어서,
상기 캐비넷은
투입된 상기 제품에 대해 베이킹을 하기 위한 상기 캐비넷의 온도를 설정하는 온도 설정부;
설정된 상기 온도를 가하는 시간을 설정하는 시간 설정부;
설정된 상기 온도 및 시간을 사용자에게 나타내는 표시부; 및
상기 시간 설정부에서 설정된 시간이 경과하지 않으면 상기 캐비넷을 잠금(Locked) 상태로 유지하는 캐비넷 도어 락(Door Lock) 장치;
를 포함하는 챔버 제어 시스템.
The method of claim 1,
The cabinet is
A temperature setting unit for setting a temperature of the cabinet for baking the injected product;
A time setting unit for setting a time for applying the set temperature;
A display unit which displays the set temperature and time to a user; And
A cabinet door lock device that maintains the cabinet in a locked state if a time set by the time setting unit has not elapsed;
Chamber control system comprising a.
제 2 항에 있어서,
상기 터치 패널은 상기 2이상의 챔버에 대하여 개별적으로 제어하는 챔버 제어 시스템.
3. The method of claim 2,
And the touch panel controls the two or more chambers individually.
제 1 항에 있어서,
상기 로트 인식기는 1차원 바코드(Bar-code) 인식기인 챔버 제어 시스템.
The method of claim 1,
The lot recognizer is a one-dimensional bar-code recognizer.
제 4 항에 있어서,
상기 터치 패널은
상기 터치 패널에 표시되는 캐비넷을 표시하는 캐비넷 표시창;
상기 캐비넷 표시창에 표시된 캐비넷에 투입된 제품의 공정 진행 상태를 표시하는 캐비넷 상태 표시부;
상기 캐비넷 상태 표시부에 표시되는 캐비넷을 선택하는 캐비넷 선택부;
상기 캐비넷 표시창에 표시된 캐비넷의 공정 시작을 표시하는 시작 표시창; 및
상기 캐비넷 표시창에 표시된 캐비넷의 공정 종료를 표시하는 종료 표시창;
을 포함하는 챔버 제어 시스템.
5. The method of claim 4,
The touch panel
A cabinet display window displaying a cabinet displayed on the touch panel;
A cabinet state display unit for displaying a process progress state of a product put into a cabinet displayed on the cabinet display window;
A cabinet selector for selecting a cabinet displayed on the cabinet state display unit;
A start display window for displaying the start of the process of the cabinet displayed on the cabinet display window; And
An end display window for displaying the end of the process of the cabinet displayed on the cabinet display window;
Chamber control system comprising a.
제 6 항에 있어서,
상기 챔버에 투입된 제품 각각에 대하여 진행되는 공정 시간을 증가 또는 감소시키는 시간 증감부; 및
상기 챔버에 투입된 제품 각각에 대하여 가해지는 온도를 증가 또는 감소시키는 온도 증감부;
를 더 포함하는 챔버 제어 시스템.
The method according to claim 6,
A time increase / decrease unit for increasing or decreasing a process time which is performed for each product introduced into the chamber; And
A temperature increase and decrease unit for increasing or decreasing a temperature applied to each of the products introduced into the chamber;
Chamber control system further comprising.
제 7 항에 있어서,
상기 챔버는 상기 시간 증감부에서 설정된 시간이 경과하지 않으면 상기 챔버를 잠금 상태로 유지하는 챔버 도어 락 장치를 포함하는 챔버 제어 시스템.
The method of claim 7, wherein
The chamber comprises a chamber door lock device for holding the chamber in a locked state if the time set in the time increase and decrease unit has not elapsed.
챔버에 투입되는 제품의 로트 각각에 대하여 바코드가 인식되는 단계;
상기 제품을 투입하고자 하는 해당 챔버에 투입(Track In)하는 단계;
투입된 제품 각각에 대하여 온도 및 시간을 설정하는 단계;
상기 설정된 온도 및 시간에 따라 상기 제품의 공정이 진행되는 단계; 및
상기 설정된 시간이 경과되면 상기 제품을 상기 챔버로부터 꺼내는(Track Out) 단계;를 포함하고,
해당 챔버의 캐비넷 내부에서 발생한 시간 손실을 표시하고, 이를 사용자에게 알려주는 단계를 더 포함하는 챔버 제어 방법.
Recognizing a barcode for each lot of product put into the chamber;
Injecting the product into a corresponding chamber (Track In);
Setting a temperature and a time for each injected product;
Processing the product according to the set temperature and time; And
And when the set time has elapsed, removing the product from the chamber (Track Out).
And displaying the time loss occurring in the cabinet of the chamber and informing the user of the time loss.
제 9 항에 있어서,
상기 제품의 공정이 진행되는 단계 이전에
상기 투입된 제품에 대한 온도 또는 시간을 재설정하는 단계를 더 포함하는 챔버 제어 방법.The method of claim 9,
Before the process of the product proceeds
And resetting the temperature or time for the injected product.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR200314752Y1 (en) * 2003-03-14 2003-05-27 비전세미콘 주식회사 Oven for Manufacturing Semiconductor Package

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200314752Y1 (en) * 2003-03-14 2003-05-27 비전세미콘 주식회사 Oven for Manufacturing Semiconductor Package

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