KR101343041B1 - Tray transfer device - Google Patents

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Abstract

본 발명은 증착대상물을 고온 스퍼터링 진공챔버 내부로 이송하는 트레이 이송장치에 관한 것으로서, 상기 증착대상물을 적재하는 트레이본체와, 상기 트레이본체를 수직방향 유동 가능하게 지지하는 트레이지지수단을 갖는 트레이; 상기 진공챔버의 내부로부터 외부로 연장되어 상기 진공챔버로 상기 트레이가 출입하는 것을 가이드하는 출입가이드부를 갖는 것을 특징으로 한다.
이에 의해, 고온 스퍼터링 공정에서 트레이의 열변형에 의한 이송불량을 방지함과 동시에, 제작비용을 절감할 수 있는 트레이 이송장치가 제공된다.The present invention relates to a tray conveying apparatus for transferring a deposition object into a high-temperature sputtering vacuum chamber, comprising: a tray having a tray body for loading the deposition object and a tray support means for supporting the tray body in a vertical direction; And an access guide part extending from the inside of the vacuum chamber to the outside to guide the tray into and out of the vacuum chamber.
As a result, a tray conveying apparatus capable of preventing a conveyance defect due to thermal deformation of a tray in a high temperature sputtering process and at the same time reducing a manufacturing cost is provided.

Description

트레이 이송장치{Tray transfer device}Tray transfer device

본 발명은 트레이 이송장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 고온 스퍼터링 공정에서 트레이의 열변형에 의한 이송불량을 방지함과 동시에, 제작비용을 절감할 수 있도록 구조가 개선된 트레이 이송장치에 관한 것이다.The present invention relates to a tray conveying apparatus, and more particularly, to a tray conveying apparatus having an improved structure so as to prevent a feeding defect due to thermal deformation of a tray in a high temperature sputtering process and to reduce a manufacturing cost.

반도체나 디스플레이 및 맴스(Mems) 등을 포함한 다양한 산업분야에서 널리 활용되고 있는 스퍼터링(Sputtering)은 진공챔버 내부에서 전기에너지로 가속된 기체이온을 증착물질인 타겟에 충돌시켜서 방출된 타겟 입자를 증착대상물에 증착시키는 증착법 중의 하나이다. Sputtering, which is widely used in various industries such as semiconductors, displays, and mems, collides gaseous ions accelerated by electric energy with a target, which is a deposition material, inside a vacuum chamber, to deposit target particles. It is one of the vapor deposition methods to vapor-deposit on.

이러한 스퍼터링 공정에는 증착대상물을 진공챔버 내부로 출입시키기 위한 트레이 이송장치가 구비되어 있다. The sputtering process is provided with a tray transfer device for entering and depositing the deposition object into the vacuum chamber.

종래 트레이 이송장치(101)는 도 1에 도시된 바와 같이, 진공챔버(105)의 상,하측 외부로부터 내부로 배치된 출입가이드부(110)와, 증착대상물을 적재하며 츨입가이드부를 따라 진공챔버(105)로 내외부로 출입하는 트레이(120)를 포함하고 있다. As shown in FIG. 1, the conventional tray feeder 101 includes an entrance guide part 110 disposed inside and outside the upper and lower sides of the vacuum chamber 105, and a vacuum chamber along which the deposition target is loaded. It includes a tray 120 for entering and exiting the inside and the outside (105).

출입가이드는 트레이(120)의 하부를 구름 가이드하는 가이드롤러(111)와, 트레이(120)의 상부를 자기력으로 가이드하는 마그네트가이드(115)로 구성되며, 이에 대응하는 트레이(120)의 하단부 및 상단부에는 각각 가이드롤러(111)에 구름 접촉하는 레일(121)과, 마그네트가이드(115)에 대해 인력(引力)을 형성하는 요크(123)가 마련되어 있다. Access guide is composed of a guide roller 111 for guiding the lower portion of the tray 120, and a magnet guide 115 for guiding the upper portion of the tray 120 with a magnetic force, the lower end of the tray 120 and The upper end part is provided with the rail 121 which contacts the guide roller 111, respectively, and the yoke 123 which forms an attraction force with respect to the magnet guide 115. As shown in FIG.

이러한 트레이 이송장치(101)는 트레이(120)에 마련된 클램핑수단(125)에 의해 증착대상물이 트레이(120)에 적재된 상태에서 스퍼터링 공정의 진공챔버(105) 내부로 출입하게 된다. 이때, 마그네트가이드(115)와 트레이(120) 상단의 요크(123) 간에는 자기력에 의해 인력을 유지할 수 있는 인력유지간극(A)이 형성된다. The tray conveying apparatus 101 enters into and out of the vacuum chamber 105 of the sputtering process in a state in which a deposition object is loaded on the tray 120 by the clamping means 125 provided in the tray 120. At this time, between the magnet guide 115 and the yoke 123 of the upper end of the tray 120 is formed a manpower maintenance gap (A) that can maintain the attraction by the magnetic force.

그런데, 이러한 종래 트레이 이송장치는 진공챔버 내부에서 진행되는 고온 스퍼터링 과정에서 트레이의 부피가 팽창할 경우, 마그네트가이드와 트레이 상단의 요크 간에 형성되는 인력유지간극이 축소된다. 이에 의해, 트레이 상단의 요크가 마그네트에 부착됨으로써 트레이의 이송이 불가능해지는 심각한 문제점이 발생된다. By the way, in the conventional tray conveying apparatus, when the volume of the tray expands during the hot sputtering process performed in the vacuum chamber, the attraction force gap formed between the magnet guide and the yoke of the upper end of the tray is reduced. As a result, the yoke of the upper end of the tray is attached to the magnet, which causes a serious problem that the conveyance of the tray is impossible.

이에 따라, 트레이를 포함하여 트레이 이송장치 전체를 고온에서 열변형되지 않는 내열성의 고강도 재질로 제작해야 하는데, 이는 장치의 제작비용이 현격하게 상승하는 문제점이 발생한다. Accordingly, the entire tray feeder, including the tray, must be made of a heat-resistant high-strength material that is not thermally deformed at a high temperature, which causes a problem in that the manufacturing cost of the device increases significantly.

따라서, 본 발명의 목적은 고온 스퍼터링 공정에서 트레이의 열변형에 의한 이송불량을 방지함과 동시에, 제작비용을 절감할 수 있는 트레이 이송장치를 제공하는 것이다.Accordingly, it is an object of the present invention to provide a tray conveying apparatus capable of preventing a production defect due to thermal deformation of a tray in a high temperature sputtering process and at the same time reducing manufacturing costs.

상기 목적은 본 발명에 따라서, 증착대상물을 고온 스퍼터링 진공챔버 내부로 이송하는 트레이 이송장치에 있어서, 상기 증착대상물을 적재하는 트레이본체와, 상기 트레이본체를 수직방향 유동 가능하게 지지하는 트레이지지수단을 갖는 트레이; 상기 진공챔버의 내부로부터 외부로 연장되어 상기 진공챔버로 상기 트레이가 출입하는 것을 가이드하는 출입가이드부를 갖는 것을 특징으로 하는 트레이 이송장치에 의해 달성된다.According to an aspect of the present invention, there is provided a tray conveying apparatus for transferring a deposition object into a high-temperature sputtering vacuum chamber, comprising: a tray body for loading the deposition object, and a tray support means for supporting the tray body in a vertically flowable manner; Having a tray; It is achieved by a tray conveying apparatus which extends from the inside of the vacuum chamber to the outside and has an entrance guide portion for guiding the tray into and out of the vacuum chamber.

여기서, 상기 트레이본체의 폭 방향 양측에는 수직 방향으로 관통된 유동공이 형성되어 있으며; 상기 트레이지지수단은 상기 트레이본체 상측에 평행하게 이격 배치된 금속재의 상부지지바아와, 상기 트레이본체 하측에 평행하게 이격 배치된 하부지지바아와, 상기 유동공에 관통 결합되며 상하 양단부가 상기 상부지지바아와 상기 하부지지바아에 결합되어 상기 트레이본체의 수직 방향 유동을 지지하는 한 쌍의 수직유동지지바아를 갖는 것이 바람직하다. Here, flow holes penetrating in the vertical direction are formed at both sides in the width direction of the tray body; The tray support means includes an upper support bar of a metal material spaced apart in parallel to the upper side of the tray body, a lower support bar spaced apart from the tray body in parallel to the lower side of the tray body, and is coupled to the flow hole so that upper and lower ends thereof are supported by the upper side. It is preferred to have a pair of vertical flow support bars coupled to the bar and the lower support bar to support the vertical flow of the tray body.

이때, 상기 트레이본체는 SUS 또는 Al 재질의 금속판재로 마련되며; 상기 수직유동지지바아는 내열성을 갖는 고강도 금속봉인 것이 효과적이다. At this time, the tray body is provided with a metal plate of SUS or Al material; It is effective that the vertical flow support bar is a high strength metal rod having heat resistance.

그리고, 상기 상부지지바아의 하부면에 길이방향을 따라 일정간격을 두고 하향 돌출되도록 결합된 복수의 유동가이드핀과, 상기 트레이본체의 상단에 마련되어 상기 유동가이드핀에 대해 상하 유동 가능하게 결합되는 유동가이드를 더 포함하는 것이 보다 바람직하다. And, a plurality of flow guide pins coupled to protrude downward at a predetermined interval along the longitudinal direction on the lower surface of the upper support bar, provided on the upper end of the tray body flow coupled to the upper and lower flow guide pins It is more preferable to further include a guide.

한편, 상기 출입가이드부는 상기 진공챔버의 하측 영역 내,외부에 마련되어 상기 하부지지바아에 구름 접촉하는 복수의 가이드롤러와, 상기 진공챔버의 상측 영역 내,외부에 마련되어 상기 상부지지바아에 대해 인력유지간극을 가지고 인력을 형성하는 마그네트가이드를 갖는 것이 보다 효과적이다.On the other hand, the access guide portion is provided in the outer region of the lower side of the vacuum chamber, a plurality of guide rollers in contact with the lower support bar and the upper region of the vacuum chamber, the outer portion is provided in the outer support bar to maintain the manpower It is more effective to have a magnet guide that has a gap and forms an attractive force.

본 발명에 따르면, 고온 스퍼터링 공정에서 트레이의 열변형에 의한 이송불량을 방지함과 동시에, 제작비용을 절감할 수 있는 트레이 이송장치가 제공된다.According to the present invention, there is provided a tray conveying apparatus which can prevent a feed failure due to thermal deformation of a tray in a high-temperature sputtering process and at the same time reduce manufacturing costs.

도 1은 종래 트레이 이송장치의 간략한 정면도,
도 2는 본 발명에 따른 트레이 이송장치의 정면도,
도 3은 도 2의 주요부 확대사시도,
도 4 및 도 5는 도 3의 정단면도.1 is a simplified front view of a conventional tray feeder,
2 is a front view of a tray feeder according to the present invention;
3 is an enlarged perspective view of a main part of FIG. 2;
4 and 5 are front cross-sectional views of FIG.

도 2 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 트레이 이송장치(1)는 고온 스퍼터링이 진행되는 진공챔버(5)의 내부로부터 외부로 연장된 출입가이드부(10)와, 증착대상물을 적재하며 츨입가이드부를 따라 진공챔버(5)로 내외부로 출입하는 트레이(20)를 포함한다.
As shown in FIGS. 2 to 5, the tray conveying apparatus 1 according to the present invention includes an access guide part 10 extending from the inside of the vacuum chamber 5 where hot sputtering is performed to the outside and a deposition object. It includes a tray 20 for loading into and out of the vacuum chamber 5 along the insertion guide portion.

출입가이드부(10)는 진공챔버(5)의 하측 영역 내,외부에 마련되어 후술할 트레이(20)의 하단의 하부지지바아(43)에 구름 접촉하는 복수의 가이드롤러(11)와, 진공챔버(5)의 상측 영역 내,외부에 마련되어 후술할 트레이(20) 상단의 상부지지바아(41)에 대해 인력을 형성하는 마그네트가이드(15)로 구성될 수 있다.The access guide part 10 is provided inside and outside the lower region of the vacuum chamber 5, and includes a plurality of guide rollers 11 in contact with the lower support bar 43 at the lower end of the tray 20 to be described later, and the vacuum chamber. It may be composed of a magnet guide 15 provided inside and outside the upper region of (5) to form an attractive force for the upper support bar 41 of the upper end of the tray 20 to be described later.

이 중 마그네트가이드(15)는 진공챔버(5)의 상측에서 외부로 연장된 상측지지프레임(17)과, 상측지지프레임(17)의 하부면에 길이방향으로 결합된 마그네트(19)를 구비하고 있다. 이때, 마그네트(19)는 상측지지프레임(17)의 길이에 대응하는 길이를 갖는 단일의 마그네트(19)일수도 있으며, 상측지지프레임(17)의 길이 방향을 따라 상호 소정의 간격을 두고 결합된 복수의 마그네트(19)로 마련될 수 있다.The magnet guide 15 has an upper support frame 17 extending from the upper side of the vacuum chamber 5 to the outside, and a magnet 19 coupled to the lower surface of the upper support frame 17 in the longitudinal direction. have. At this time, the magnet 19 may be a single magnet 19 having a length corresponding to the length of the upper support frame 17, it is coupled at a predetermined distance from each other along the longitudinal direction of the upper support frame 17. It may be provided with a plurality of magnets (19).

여기서, 마그네트(19)와 트레이(20) 상단의 상부지지바아(41)는 경우에 따라 그 설치 위치가 반대일 수 있다. 즉, 마그네트(19)가 트레이(20) 상단에 마련되고, 상부지지바아(41)가 상측지지프레임(17)의 하부면에 마련될 수 있는 것이다. Here, the magnet 19 and the upper support bar 41 of the upper end of the tray 20 may be reversed in some cases. That is, the magnet 19 is provided on the tray 20, the upper support bar 41 may be provided on the lower surface of the upper support frame 17.

그리고, 가이드롤러(11)는 진공챔버(5)의 하측에서 외부로 연장된 하측지지프레임(13) 상에 길이방향으로 따라 상호 소정의 간격을 두고 복수로 마련될 수 있다. In addition, the guide rollers 11 may be provided in plural at predetermined intervals along the lengthwise direction on the lower support frame 13 extending outward from the lower side of the vacuum chamber 5.

물론, 가이드롤러(11)와 트레이(20) 하단의 하부지지바아(43) 역시, 그 설치 위치가 반대일 수 있다. 즉, 가이드롤러(11)가 트레이(20) 하단에 마련되고, 하부지지바아(43)가 진공챔버(5) 하측 영역 내,외부에 마련될 수도 있다.
Of course, the guide roller 11 and the lower support bar 43 at the bottom of the tray 20 may also be reversed in their installation positions. That is, the guide roller 11 may be provided at the lower end of the tray 20, and the lower support bar 43 may be provided inside or outside the lower region of the vacuum chamber 5.

한편, 트레이(20)는 증착대상물을 적재하는 트레이본체(30)와, 트레이본체(30)를 수직방향으로 유동 가능하게 지지하며 출입가이드부(10)를 따라 진공챔버(5) 내외측으로 출입하는 트레이지지수단(40)을 포함한다.
On the other hand, the tray 20 supports the tray main body 30 for loading the deposition object and the tray main body 30 in a vertical direction so as to flow in and out of the vacuum chamber 5 along the access guide portion 10. Tray support means 40 is included.

트레이본체(30)는 증착대상물의 크기에 따라 소면적에서 대면적을 갖는 금속판재로 마련될 수 있으며, 바람직하게는 일반적으로 경제적인 재질인 SUS 또는 Al 재질의 금속판재로 마련된다. 이 트레이본체(30)의 증착대상물 적재면에는 증착대상물을 클램핑하기 위한 다수의 클램프(31)가 마련되어 있으며, 트레이본체(30)의 폭 방향 양측에는 상단에서 하단까지 후술할 수직유동지지바아(45)가 관통 결합되는 유동공(33)이 수직방향으로 형성되어 있다.
The tray body 30 may be provided with a metal plate having a large area in a small area according to the size of the deposition target, and is preferably provided with a metal plate made of SUS or Al, which is generally economical. A plurality of clamps 31 are provided on the deposition object loading surface of the tray body 30 to clamp the deposition object, and vertical flow support bars 45 to be described later from the top to the bottom on both sides in the width direction of the tray body 30. Flow holes 33 through which are coupled are formed in the vertical direction.

트레이지지수단(40)은 트레이본체(30) 상측에 배치되어 마그네트가이드(15)에 대해 인력을 형성하는 상부지지바아(41)와, 트레이본체(30) 하측에 배치되는 하부지지바아(43)와, 트레이본체(30) 양측을 상하 유동 가능하게 지지하는 한 쌍의 수직유동지지바아(45)와, 트레이본체(30) 상단과 상부지지바아(41) 사이에서 배치되어 트레이본체(30)의 열변형에 따른 상하 유동을 지지하는 상단유동지지부재(47)를 포함한다.
Tray support means 40 is the upper support bar 41 is disposed on the upper side of the tray body 30 to form an attraction force to the magnet guide 15, and the lower support bar 43 is disposed below the tray body 30 And a pair of vertical flow support bars 45 which support both sides of the tray body 30 so as to be movable up and down, and disposed between the upper end of the tray body 30 and the upper support bar 41. It includes an upper flow support member 47 for supporting the vertical flow according to the thermal deformation.

상부지지바아(41)는 트레이본체(30)의 상측에 이격을 두고 평행하게 배치되며, 마그네트(19)에 대한 인력이 원활하게 형성되도록 순철 등의 금속 재질로 마련되어 요크 역할을 수행한다. 이 상부지지바아(41)의 길이 방향 양측 하부에는 수직유동지지바아(45)의 상단부가 결합된다. 이 상부지지바아(41)는 마그네트(19)에 대해 자기력에 의한 인력을 유지할 수 있는 인력유지간극(A)을 유지한다.
The upper support bar 41 is disposed parallel to the upper side of the tray main body 30, and is made of a metal material such as pure iron so as to smoothly form the attraction to the magnet 19 to serve as a yoke. The upper end of the vertical flow support bar 45 is coupled to both lower portions of the upper support bar 41 in the longitudinal direction. The upper support bar 41 maintains a manpower holding gap A that can hold a manpower by magnetic force with respect to the magnet 19.

하부지지바아(43)는 트레이본체(30)의 하측에 이격을 두고 평행하게 배치된 바아 형태를 가지고 있으며, 가이드롤러(11)에 구름 접촉하는 가이드레일의 역할을 수행한다. 이 하부지지바아(43)와 트레이본체(30) 사이에는 간격유지부재가 소정의 간격을 두고 개재되어 있다. 그리고, 하부지지바아(43)의 길이 방향 양측 상부에는 수직유동지지바아(45)의 하단부가 결합된다.
The lower support bar 43 has a bar shape arranged parallel to the lower side of the tray main body 30, and serves as a guide rail for rolling contact with the guide roller (11). A space keeping member is interposed between the lower support bar 43 and the tray body 30 at a predetermined interval. And, the lower end of the vertical flow support bar 45 is coupled to the upper both sides in the longitudinal direction of the lower support bar 43.

수직유동지지바아(45)는 트레이본체(30)의 양측에 형성된 유동공(33)을 관통하여 그 상하 양단부가 상부지지바아(41)와 하부지지바아(43)에 결합되어 있다. 이 수직유동지지바아(45)는 진공챔버(5) 내부에 형성되는 고온에서 변형이 일어나지 않는 내열성을 갖는 티타늄 등과 같은 고강도 금속봉으로 마련된다. 그리고, 이 수직유동지지바아(45)는 그 길이가 트레이본체(30)의 열변형 폭에 충분히 대응할 수 있는 길이를 갖는다.
The vertical flow support bar 45 penetrates through the flow holes 33 formed at both sides of the tray body 30, and upper and lower ends thereof are coupled to the upper support bar 41 and the lower support bar 43. The vertical flow support bar 45 is provided with a high strength metal rod such as titanium having heat resistance such that deformation does not occur at a high temperature formed inside the vacuum chamber 5. The vertical flow support bar 45 has a length whose length can sufficiently correspond to the heat deformation width of the tray body 30.

상단유동지지부재(47)는 상부지지바아(41)의 하부면에 일정간격을 두고 하향 돌출되도록 결합된 복수의 유동가이드핀(51)과, 트레이본체(30)의 상단에 마련되어 유동가이드핀(51)에 대해 상하 유동 가능하게 결합되는 유동가이드(53)를 포함한다. The upper flow support member 47 is provided with a plurality of flow guide pins 51 coupled to protrude downward at a predetermined interval on the lower surface of the upper support bar 41, and the upper side of the tray body 30, the flow guide pin ( And a flow guide 53 which is coupled to the upper and lower flows with respect to 51).

유동가이드핀(51)은 그 하단에 확경된 머리부(52)를 갖는 볼트 형태를 가질 수 있으며, 유동가이드(53)는 그 내측에 유동가이드핀(51)의 머리부(52)를 수용하는 가이드공간부(55)가 형성되어 있고 상부면에 유동가이드핀(51)이 상대적으로 상하 유동할 수 있는 가이드공(57)이 가이드공간부(55)와 통하도록 형성되어 있다. 유동가이드(53)의 상부면은 상부지지바아(41)의 하부면에 대해 이격된 간격을 갖는다. 이 이격 간격은 트레이본체(30)의 열변형시 수직유동지지바아(45) 및 유동가이드핀(51)에 대한 트레이본체(30)의 유동 폭을 고려한 이격 간격이다. The flow guide pin 51 may have a bolt shape having a head 52 enlarged at its lower end, and the flow guide 53 receives the head 52 of the flow guide pin 51 therein. A guide space 55 is formed and a guide hole 57 through which the flow guide pin 51 can be relatively moved up and down is formed to communicate with the guide space 55. The upper surface of the flow guide 53 is spaced apart from the lower surface of the upper support bar 41. The separation interval is a separation interval considering the flow width of the tray body 30 with respect to the vertical flow support bar 45 and the flow guide pin 51 at the time of thermal deformation of the tray body 30.

여기서, 유동가이드핀(51)과 유동가이드(53)의 설치위치는 반대의 위치일 수 있음은 물론이다. Here, the installation position of the flow guide pin 51 and the flow guide 53 may be the opposite position, of course.

이 상단유동지지부재(47)는 진공챔버(5) 내부에 형성되는 고온에서 변형이 일어나지 않는 내열성을 갖는 티타늄 등과 같은 고강도 금속봉으로 마련되어 트레이본체(30)의 열변형시 트레이본체(30)의 상하 유동을 가이드함과 동시에, 전후좌우의 변형을 억제한다.
The upper flow support member 47 is made of a high-strength metal rod such as titanium having heat resistance that does not occur deformation at a high temperature formed inside the vacuum chamber 5, and the upper and lower sides of the tray body 30 during thermal deformation of the tray body 30. The flow is guided and the deformation of the front, rear, left and right is suppressed.

이러한 구성을 갖는 본 발명에 따른 트레이 이송장치(1)는 트레이본체(30)에 마련된 클램프(31)들을 이용하여 증착대상물을 적재한 상태에서 스퍼터링 공정의 진공챔버(5) 내부로 출입하게 된다. The tray conveying apparatus 1 according to the present invention having such a configuration is allowed to enter and exit the vacuum chamber 5 of the sputtering process in a state in which a deposition object is loaded using the clamps 31 provided in the tray body 30.

증착대상물을 적재한 트레이(20)가 진공챔버(5) 내부로 수용된 상태에서 고온 스퍼터링이 진행되는 과정에서 트레이본체(30)가 열변형에 의해 팽창될 경우, 이 팽창 폭 만큼 트레이본체(30)는 도 5와 같이, 수직유동지지바아(45)에 대해 상대적으로 수직방향의 팽창 유동이 이루어진다. 또한, 트레이본체(30) 상단에 결합된 유동가이드(53) 역시 유동가이드핀(51)에 대해 수직방향의 팽창 유동이 이루어진다. When the tray main body 30 is expanded by thermal deformation in the process of high temperature sputtering while the tray 20 on which the deposition object is loaded is accommodated in the vacuum chamber 5, the tray main body 30 by this expansion width. As shown in Figure 5, the expansion flow in the vertical direction relative to the vertical flow support bar 45 is made. In addition, the flow guide 53 coupled to the upper end of the tray body 30 also makes expansion flow in the vertical direction with respect to the flow guide pin 51.

이때, 수직유동지지바아(45)는 고온에 열변형이 발생하지 않는 내열성을 갖는 고강도 재질로 마련되기 때문에, 트레이본체(30)의 수평방향 팽창을 억제하면서 수직방향의 팽창을 유동 지지하는 한편, 상부지지바아(41)와 마그네트(19) 간의 인력유지간극(A)을 변형없이 그대로 유지시킨다. At this time, since the vertical flow support bar 45 is made of a high-strength material having heat resistance that does not cause heat deformation at a high temperature, while supporting the expansion in the vertical direction while suppressing the horizontal expansion of the tray body 30, The attraction force gap A between the upper support bar 41 and the magnet 19 is maintained without deformation.

또한, 유동가이드(53)와 유동가이드핀(51) 역시, 열변형이 발생하지 않는 내열성을 갖는 고강도 재질로 마련되기 때문에, 트레이본체(30)의 전후좌우의 수평방향 팽창을 억제하여 열변형을 억제하면서 수직방향의 팽창을 유동 가이드한다.
In addition, since the flow guide 53 and the flow guide pin 51 are also made of a high-strength material having heat resistance without thermal deformation, the flow guide 53 and the left and right sides of the tray body 30 are suppressed in the horizontal direction to suppress thermal deformation. Flow guides the vertical expansion while suppressing.

이와 같이, 본 발명에 따른 트레이 이송장치는 트레이본체가 수직유동지지바아에 의해 수직방향으로 유동 가능하도록 지지되는 구조로 마련됨으로써, 트레이본체를 내열성이 우수한 고강도 재질이 아닌 일반적으로 경제적인 SUS 또는 Al 재질의 금속판재로 마련하더라도 트레이본체의 열변형 팽창에 의한 상부지지바아와 마그네트 간의 인력유지간극 변화를 방지할 수 있다. As such, the tray conveying apparatus according to the present invention has a structure in which the tray main body is supported to be movable in the vertical direction by a vertical flow support bar, so that the tray main body is generally economical SUS or Al, not a high-strength material having excellent heat resistance. Even if the metal plate is made of a material, it is possible to prevent a change in the attraction force between the upper support bar and the magnet due to thermal deformation expansion of the tray body.

이에 의해, 트레이 전체를 내열성을 갖는 고강도 금속재료로 구성하지 않음으로써, 제작비용을 현격하게 절감시킴과 동시에, 이송불량을 방지할 수 있다. As a result, the entire tray is not made of a high-strength metal material having heat resistance, thereby significantly reducing manufacturing costs and preventing transfer failure.

10 : 출입가이드부 11 : 가이드롤러
19 : 마그네트 30 : 트레이본체
40 : 트레이지지수단 41 : 상부지지바아
43 : 하부지지바아 45 : 수직유동지지바아
47 : 상단유동지지부재10: access guide part 11: guide roller
19: magnet 30: tray body
40: tray support means 41: upper support bar
43: lower support bar 45: vertical flow support bar
47: upper flow support member

Claims (5)

증착대상물을 고온 스퍼터링 진공챔버 내부로 이송하는 트레이 이송장치에 있어서,
상기 증착대상물을 적재하며 폭 방향 양측에 수직 방향으로 관통된 유동공이 형성되어 있는 트레이본체와, 상기 트레이본체를 수직방향 유동 가능하게 지지하는 트레이지지수단을 갖는 트레이;
상기 진공챔버의 내부로부터 외부로 연장되어 상기 진공챔버로 상기 트레이가 출입하는 것을 가이드하는 출입가이드부를 포함하되;
상기 트레이지지수단은
상기 트레이본체 상측에 평행하게 이격 배치된 금속재의 상부지지바아와,
상기 트레이본체 하측에 평행하게 이격 배치된 하부지지바아와,
상기 유동공에 관통 결합되며 상하 양단부가 상기 상부지지바아와 상기 하부지지바아에 결합되어 상기 트레이본체의 수직 방향 유동을 지지하는 한 쌍의 수직유동지지바아를 갖는 것을 특징으로 하는 트레이 이송장치.In the tray transfer apparatus for transferring the deposition object into the high temperature sputtering vacuum chamber,
A tray having a tray main body for loading the deposition object and having flow holes penetrating in a vertical direction on both sides in a width direction thereof, and a tray support means for supporting the tray main body in a vertical direction;
An access guide part extending from the inside of the vacuum chamber to the outside to guide the tray into and out of the vacuum chamber;
The tray support means
An upper support bar of a metal material spaced apart from and parallel to the tray body;
A lower support bar spaced apart from and parallel to the tray body below;
And a pair of vertical flow support bars coupled to the flow hole and having upper and lower ends coupled to the upper support bar and the lower support bar to support vertical flow of the tray body. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 트레이본체는 SUS 또는 Al 재질의 금속판재로 마련되며;
상기 수직유동지지바아는 내열성을 갖는 고강도 금속봉인 것을 특징으로 하는 트레이 이송장치.The method of claim 1,
The tray body is provided with a metal plate of SUS or Al material;
The vertical flow support bar is a tray conveying apparatus, characterized in that the high-strength metal rod having heat resistance. 제1항에 있어서,
상기 상부지지바아의 하부면에 길이방향을 따라 일정간격을 두고 하향 돌출되도록 결합된 복수의 유동가이드핀과,
상기 트레이본체의 상단에 마련되어 상기 유동가이드핀에 대해 상하 유동 가능하게 결합되는 유동가이드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이 이송장치.The method of claim 1,
A plurality of flow guide pins coupled to the bottom surface of the upper support bar to protrude downward at a predetermined interval along a longitudinal direction;
And a flow guide provided at an upper end of the tray body to be coupled to the flow guide pin so as to be movable upward and downward. 제1항, 제3항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 출입가이드부는
상기 진공챔버의 하측 영역 내,외부에 마련되어 상기 하부지지바아에 구름 접촉하는 복수의 가이드롤러와,
상기 진공챔버의 상측 영역 내,외부에 마련되어 상기 상부지지바아에 대해 인력유지간극을 가지고 인력을 형성하는 마그네트가이드를 갖는 것을 특징으로 하는 트레이 이송장치.
5. The method according to any one of claims 1 to 4,
The entrance guide portion
A plurality of guide rollers provided in the outer region of the lower side of the vacuum chamber and in rolling contact with the lower support bar;
And a magnet guide provided inside and outside the upper region of the vacuum chamber to form a attraction force with a attraction force clearance with respect to the upper support bar.
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