KR101337463B1 - 균일한 온도 분포를 갖는 서셉터 및 그 제조방법 - Google Patents

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Abstract

균일한 온도 분포를 갖는 서셉터가 개시된다. 상기 서셉터는, 서셉터 바디; 및 상기 서셉터 바디 내에 내장된 중간 발열코어를 포함하는 서셉터로서, 상기 서셉터 바디는 상기 중간 발열코어의 삽입을 위해 일면이 개방된 발열코어 수용부 및 상기 발열코어 수용부의 개방된 일면을 덮어서 상기 발열코어 수용부에 고정된 덮개부를 포함하고, 상기 중간 발열코어는, 발열체; 상기 발열체의 아래에 위치하는 하부 절연물; 상기 하부 절연물 위에 위치하고 상기 발열체 전체를 덮어 상기 발열체를 내장하는 중간 절연물; 및 상기 중간 절연물의 위에 위치하는 상부 절연물을 포함하고, 상기 발열체는 열 저항선이고, 상기 발열체를 평면에서 볼 때 상기 열 저항선은 상기 하부 절연물의 종방향 및 횡방향을 향해 U자 형상이 지그재그 형태로 연속된 형상을 갖고, 이에 의해 상기 발열체는 상기 절연물들의 전체 면적에 분포하는 것을 특징으로 한다.

Description

균일한 온도 분포를 갖는 서셉터 및 그 제조방법{SUSCEPTOR WITH A UNIFORM TEMPERATURE DISTRIBUTION AND THEIR MANUFACTURING METHOD}
본 발명은 서셉터 및 그 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 서셉터의 온도 분포를 고르게 할 수 있는 균일한 온도 분포를 갖는 서셉터 및 그 제조방법에 관한 것이다.
일반적으로, 플라즈마 공정장비의 공정챔버내에는 전원을 공급받는 상부전극(Cathode)과, 상부 전극과 쌍을 이루면서 플라즈마를 발생시킬 수 있도록 전기장을 형성하는 동시에 전위차를 발생시키는 하부전극(Susceptor)이 설치되어 있다.
또한, 상기 하부전극으로서의 서셉터는 즉, 디스플레이, 태양광 및 반도체 제조장비에 사용되는 서셉터는 웨이퍼나 유리 등과 같은 기판 등을 공정에 적합한 온도까지 가열하는 히터(Heater) 기능까지도 겸하고 있으며, 디스플레이나 태양광용 플라즈마 공정장비에 사용되는 유리기판이 대형화되는 추세에 따라 그 크기나 무게도 대형화되어 가고 있다.
종래의 서셉터는 다음과 같이 제작 구성된다.
먼저, 알루미늄의 서셉터 바디의 저면부에 히터봉이 내장되도록 매입홈을 형성시킨 후, 이 매입홈을 통해 서셉터 바디내에 히터봉을 매설하고, 알루미늄 소재의 밀봉커버를 히터봉 측의 매입홈에 장착하면서 히터봉을 고정시킨다.
이어서, 서셉터 바디의 매입홈과 밀봉커버의 접촉부위를 따라 개별적으로 라인용접(line welding)을 하여서 히터봉을 밀봉시킨다.
그러나, 대한민국 특허출원 제10-2006-38732호 등과 같은 종래의 서셉터는 다음과 같은 문제점이 있다.
첫째, 히터봉을 내장시키기 위해 서셉터 바디에 복잡한 배열의 매입홈을 일일이 형성시켜야 하므로, 그 가공이 매우 어렵고, 작업시간이 많이 소요되었다.
둘째, 밀봉커버가 서셉터 바디에 라인용접되는 과정은 진공상태에서 이루어져 작업이 어렵고, 추후 열변형에 의한 크랙 등 품질문제가 자주 발생하였다.
셋째, 히터봉의 열전달 매체인 서셉터 바디는 알루미늄 또는 스테인레스로 이루어지며, 이러한 서셉터 바디는 열용량이 크고 열전달 효율이 낮아서 서셉터 바디를 일정한 온도까지 가열하는데 비교적 많은 시간이 소요되며 사용전력량이 증대하여 전력 소비가 높다.
따라서 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 제작이 용이하고, 서셉터 전체가 균일하게 발열될 수 있는 균일한 온도 분포를 갖는 서셉터 및 그 제조방법을 제공하는데 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 균일한 온도 분포를 갖는 서셉터는, 서셉터 바디; 및 상기 서셉터 바디 내에 내장된 중간 발열코어를 포함하는 서셉터로서, 상기 서셉터 바디는 상기 중간 발열코어의 삽입을 위해 일면이 개방된 발열코어 수용부 및 상기 발열코어 수용부의 개방된 일면을 덮어서 상기 발열코어 수용부에 고정된 덮개부를 포함하고, 상기 중간 발열코어는, 발열체; 상기 발열체의 아래에 위치하는 하부 절연물; 상기 하부 절연물 위에 위치하고 상기 발열체 전체를 덮어 상기 발열체를 내장하는 중간 절연물; 및 상기 중간 절연물의 위에 위치하는 상부 절연물을 포함하고, 상기 발열체는 열 저항선이고, 상기 발열체를 평면에서 볼 때 상기 열 저항선은 상기 하부 절연물의 종방향 및 횡방향을 향해 U자 형상이 지그재그 형태로 연속된 형상을 갖고, 이에 의해 상기 발열체는 상기 절연물들의 전체 면적에 분포하는 것을 특징으로 한다.
이러한 본 발명의 일 실시예에 따른 균일한 온도 분포를 갖는 서셉터는 아래 방법으로 제조된다.
본 발명의 일 실시예에 따른 균일한 온도 분포를 갖는 서셉터는, 중간 발열코어를 준비하는 단계; 및 상기 중간 발열코어를 서셉터 바디 내에 삽입 및 고정하는 단계를 포함하고, 상기 중간 발열코어를 상기 서셉터 바디 내에 삽입 및 고정하는 단계는, 일면이 개방된 발열코어 수용부의 내부에 상기 중간 발열코어를 삽입하는 단계; 및 상기 발열코어 수용부의 개방된 면에 덮개부를 닫아서 고정하는 단계를 포함하고, 상기 중간 발열코어를 준비하는 단계는, 세라믹 소재의 하부 절연물을 준비하는 단계; 열 저항선으로 이루어진 발열체로서, 상기 열 저항선이 상기 발열체의 종방향 및 횡방향을 향해 U자 형상이 지그재그 형태로 연속된 형상을 갖는 발열체를 상기 하부 절연물 상에 위치시키는 단계; 상기 발열체 전체를 둘러 싸도록 상기 하부 절연물 상부로 중간 절연물을 형성시키는 단계; 상기 중간 절연물의 상부로 세라믹 소재의 상부 절연물을 위치시키는 단계를 거쳐 제조된다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 균일한 온도 분포를 갖는 서셉터는 열 전달부재를 더 포함하고, 상기 열 전달부재는 상기 발열체를 덮어서 상기 발열체를 내측에 수용하고, 상기 열 전달부재를 평면에서 볼 때 상기 열 전달부재는 상기 발열체의 U자 형상이 지그재그 형태로 연속된 형상에 대응하는 형상을 갖고, 상기 열 전달부재는, 상기 열 저항선이 연장된 방향에 수직하도록 위치하여 상기 열 저항선 표면에 밀착되는 두 개의 수직부; 및 상기 각각의 수직부의 상단으로부터 상기 수직부의 상측 방향을 향해 소정의 각도로 경사지도록 연장되어 상기 두 개의 수직부의 상측에 위치하는 첨예부를 포함하고, 상기 첨예부는 상기 첨예부에 대향하는 상기 덮개부의 표면에 밀착되는 것을 특징으로 한다.
상기 첨예부에 대향하는 상기 덮개부의 일면에 형성된 슬릿을 더 포함하고, 상기 슬릿이 형성된 상기 덮개부의 일면을 평면으로 하여 볼 때 상기 슬릿은 상기 발열체의 U자 형상이 지그재그 형태로 연속된 형상을 따라 연장되며, 상기 슬릿은 상기 첨예부가 이룬 경사의 각도에 대응하는 각도로 경사진 두 개의 경사면을 포함하고, 이에 의해 상기 덮개부를 절단한 단면으로 볼 때 상기 슬릿은 상기 첨예부의 끝단에 대응하는 형상을 갖고, 상기 첨예부의 끝단은 상기 슬릿 내로 삽입되어 상기 경사면에 면접하여 있다.
본 발명에 따른 균일한 온도 분포를 갖는 서셉터에 의하면, 발열체는 상기 절연물들의 전체 면적에 균일하게 분포하므로 서셉터 전체 면적에 걸쳐서 균일하게 열을 발산한다. 따라서 균일한 온도 분포를 갖는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 균일한 온도 분포를 갖는 서셉터의 구성을 나타낸 단면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 발열체의 형태를 도시한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 균일한 온도 분포를 갖는 서셉터의 제조방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 4는 도 3에 도시된 과정들의 구체적인 과정을 나타낸 순서도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 균일한 온도 분포를 갖는 서셉터의 구성을 나타낸 단면도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 균일한 온도 분포를갖는 서셉터에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 균일한 온도 분포를 갖는 서셉터의 구성을 나타낸 단면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 발열체의 형태를 도시한다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 균일한 온도 분포를 갖는 서셉터는 서셉터 바디(20) 및 중간 발열코어(10)를 포함한다.
서셉터 바디(20)는 발열코어 수용부(21) 및 덮개부(22)를 포함한다.
발열코어 수용부(21)는 수용공간(22a)이 형성되어 있고, 발열코어 수용부(21)의 일면은 개방되어 있다. 이러한 발열코어 수용부(21)의 수용공간(22a)에는 개방된 일면을 통해 중간 발열코어(10)가 삽입된다.
덮개부(22)는 상기 수용공간(22a)을 밀폐한다. 덮개부(22)는 상기 발열코어 수용부(21)의 개방된 면의 크기에 대응하는 크기를 갖고, 상기 수용공간(22a)을 덮도록 상기 발열코어 수용부(21)에 결합된 후 용접 등에 의해 고정된다.
이러한 서셉터 바디(20)는 알루미늄 또는 열전도 특성을 갖는 합성수지재일 수 있다.
중간 발열코어(10)는 하부 절연물(11), 상부 절연물(12), 중간 절연물(13), 발열체(14)을 포함한다.
하부 절연물(11) 및 상부 절연물(12)은 후술하는 열저항선을 주변으로부터 전기적으로 격리하기 위한 것으로, 기공을 갖는 세라믹 섬유 소재로 구성된다.
발열체(14)는 열 저항선으로 이루어진다. 발열체(14)는 하부 절연물(11)의 위에 위치하고, 하부 절연물(11)의 종방향 및 횡방향을 향해 U자 형상이 지그재그 형태로 연속된 형상을 갖는다. 이에 의해, 발열체(14)는 상기 절연물들(11, 12, 13)의 전체 면적에 균일하게 분포한다. 이러한 발열체(14)의 형태는 도 2에 잘 나타나 있다.
중간 절연물(13)은 하부 절연물(11) 및 상부 절연물(12)의 사이에 충진되며 발열체(14)의 열저항선들 사이를 메워서 열저항선으로부터 발산되는 열을 전달하여 피가열물과 열저항선을 연결하는 열전달 매개체 역할을 한다.
이러한 중간 발열코어(10)는 앞서 언급된 바와 같이 서셉터 바디(20)의 발열코어 수용부(21) 내에 삽입되고, 덮개부(22)를 통해 서셉터 바디(20) 내에 밀폐 수용된다.
이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 균일한 온도 분포를 갖는 서셉터의 제조방법을 설명한다. 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 균일한 온도 분포를 갖는 서셉터의 제조방법을 설명하기 위한 순서도이고, 도 4는 도 3에 도시된 과정들의 구체적인 과정을 나타낸 순서도이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 본 발명의 서셉터를 제조하기 위하여, 우선, 중간 발열코어(10)를 준비한다(S110).
상기 중간 발열코어를 준비하는 단계(S110)는, 세라믹 섬유 소재의 하부 절연물(11)을 준비하는 단계(S 110A)를 갖는다. 이때, 하부 절연물(11)은 기공을 갖는 세라믹 소재로 구성될 수 있다.
하부 절연물(11)이 준비되면 발열체(14)를 상기 하부 절연물(11) 상에 위치시키는 단계(S 110B)를 갖는다. 이때, 발열체(14)는 열 저항선으로 이루어진 발열체(14)로서, 상기 열 저항선이 상기 발열체(14)의 종방향 및 횡방향을 향해 U자 형상이 지그재그 형태로 연속된 형상을 가지므로 하부 절연물(11)의 전체 면적에 고르게 분포한다.
발열체(14)가 하부 절연물(11) 위로 위치하면 상기 발열체(14)를 둘러 싸도록 상기 하부 절연물(11) 상부로 중간 절연물(13)을 형성시키는 단계(S 110C)를 갖는다.
그리고 중간 절연물(13)의 상부로 세라믹 소재의 상부 절연물(12)을 위치시키는 단계(S 110D)를 갖는다.
이러한 과정으로 중간 발열코어(10)가 준비되면, 중간 발열코어(10)를 서셉터 바디(20) 내에 삽입 및 고정한다(S120). 이 과정은, 일면이 개방된 발열코어 수용부(21)의 내부에 상기 중간 발열코어(10)를 삽입하는 단계(S 120A) 및 상기 발열코어 수용부(21)의 개방된 면에 덮개부(22)를 닫아서 고정하는 단계(S 120B)를 포함한다. 덮개부(22)를 발열코어 수용부(21)에 고정하는 것은 용접 등의 방법에 의할 수 있다.
이러한 본 발명의 일 실시예에 따른 균일한 온도 분포를 갖는 서셉터는 발열체(14)가 하부 절연물(11)의 종방향 및 횡방향을 향해 U자 형상이 지그재그 형태로 연속된 형상을 갖는다. 이에 의해, 발열체(14)는 상기 절연물들(11, 12, 13)의 전체 면적에 균일하게 분포하므로 서셉터 전체 면적에 걸쳐서 균일하게 열을 발산한다. 따라서 균일한 온도 분포를 갖는다.
이하에서는 본 발명의 다른 실시예에 따른 균일한 온도 분포를 갖는 서셉터를 도 5를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 균일한 온도 분포를 갖는 서셉터와의 차이점을 중심으로 상세히 설명한다. 도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 균일한 온도 분포를 갖는 서셉터의 구성을 나타낸 단면도이다.
도 5를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 균일한 온도 분포를 갖는 서셉터는 열 전달부재(30) 및 덮개부(22)에 형성된 슬릿(22a)을 포함하는 것을 제외하고는 본 발명의 일 실시예에 따른 균일한 온도 분포를 갖는 서셉터와 동이하므로 이하에서는 열 전달부재(30) 및 덮개부(22)를 중심으로 설명하기로 한다.
열 전달부재(30)는 발열체(14)를 덮어서 발열체(14)를 내측에 수용하며, 절연물들(11, 12, 13)로 둘러싸여 있다. 이러한 열 전달부재(30)는 발열체(14)로부터 발산되는 열을 신속하게 서셉터 바디(20)로 전달하기 위한 것으로서, 금속 재질, 예를 들면, 알루미늄 소재일 수 있고, 두 개의 수직부(31) 및 첨예부(32)를 포함한다.
두 개의 수직부(31)는 발열체(14)의 열 저항선이 연장된 방향에 수직하도록 위치하여 열 저항선 표면에 밀착된다. 열 저항선의 단면으로 볼 때 두 개의 수직부(31)는 열 저항선의 양측에 위치한다. 이러한 두 개의 수직부(31)는 열 저항선의 표면에 맞닿아 있으므로 열 저항선으로부터 발산되는 열이 전달된다.
첨예부(32)는 각각의 수직부(31)의 상단으로부터 상기 수직부(31)의 상측 방향을 향해 소정의 각도로 경사지도록 연장되어 상기 두 개의 수직부(31)의 상측에 위치한다. 이러한 첨예부(32)는 서셉터 바디(20)의 덮개부(22)에 밀착된다. 이러한 구조는 이하에서 자세히 설명된다.
도시하지는 않았지만, 이러한 열 전달부재(30)는 열 전달부재(30)를 평면에서 볼 때 발열체(14)의 U자 형상이 지그재그 형태로 연속된 형상에 대응하는 형상을 가지므로 발열체(14)의 전체를 덮는다.
덮개부(22)에 형성된 슬릿(22a)은 덮개부(22)가 발열코어 수용부(21)에 덮힐 때 첨예부(32)에 대향하는 면에 형성된다. 도시하지는 않았지만 슬릿(22a)이 형성된 상기 덮개부(22)의 일면을 평면으로 하여 볼 때 상기 슬릿(22a)은 발열체(14)의 U자 형상이 지그재그 형태로 연속된 형상을 따라 연장된다.
이러한 슬릿(22a)은 첨예부(32)가 이룬 경사의 각도에 대응하는 각도로 경사진 두 개의 경사면을 포함하고, 이에 의해 덮개부(22)를 절단한 단면으로 볼 때 상기 슬릿(22a)은 상기 첨예부(32)의 끝단에 대응하는 형상을 갖는다. 따라서, 첨예부(32)의 끝단은 슬릿(22a) 내로 삽입될 수 있다. 이를 위해, 첨예부(32)의 연장된 길이는 상부 절연물(12)을 관통하여 슬릿(22a) 내에 삽입될 수 있는 길이를 갖는다.
첨예부(32)의 끝단이 슬릿(22a) 내로 삽입되면, 발열체(14)로부터 발산되는 열은 두 개의 수직부(31) 및 첨예부(32)로 전달되고, 첨예부(32)의 끝단이 슬릿(22a) 내로 삽입되어 있으므로 첨예부(32)로 전달된 열은 덮개부(22)로 전달된다.
이러한 본 발명의 다른 실시예에 따른 균일한 온도 분포를 갖는 서셉터는 열 전달부재(30)가 발열체(14) 및 서셉터 바디(20)와 밀착될 수 있는 특별한 구조를 갖고, 발열체(14) 및 서셉터 바디(20)와 밀착되어 있는 열 전달부재(30)에 의해 발열체(14)로부터 발산되는 열이 서셉터 바디(20)로 빠르게 전달될 수 있다. 따라서 서셉터 전체 면적에 균일하게 열을 공급하면서도 서셉터 바디로 빠르게 열을 전달할 수 있으므로 열 전달 효율이 더욱 증대될 수 있다.
10 : 중간 발열코어 11 : 하부 절연물
12 : 상부 절연물 13 : 중간 절연물
14 : 발열체 20 : 서셉터 바디
21 : 발열코어 수용부 22 : 덮개부
22a : 슬릿 30 : 열 전달부재
31 : 수직부 32 : 첨예부

Claims (4)

  1. 서셉터 바디(20); 및 상기 서셉터 바디 내에 내장된 중간 발열코어(10)를 포함하는 서셉터로서,
    상기 서셉터 바디(20)는 상기 중간 발열코어(10)의 삽입을 위해 일면이 개방된 발열코어 수용부(21) 및 상기 발열코어 수용부(21)의 개방된 일면을 덮어서 상기 발열코어 수용부(21)에 고정된 덮개부(22)를 포함하고,
    상기 중간 발열코어(10)는,
    발열체(14);
    상기 발열체(14)의 아래에 위치하는 하부 절연물(11);
    상기 하부 절연물(11) 위에 위치하고 상기 발열체(14) 전체를 덮어 상기 발열체(14)를 내장하는 중간 절연물(13); 및
    상기 중간 절연물(13)의 위에 위치하는 상부 절연물(12)을 포함하고,
    상기 발열체(14)는 열 저항선이고,
    상기 발열체(14)를 평면에서 볼 때 상기 열 저항선은 상기 하부 절연물(11)의 종방향 및 횡방향을 향해 U자 형상이 지그재그 형태로 연속된 형상을 갖고, 이에 의해 상기 발열체(14)는 상기 절연물들(11, 12, 13)의 전체 면적에 분포하며;
    열 전달부재(30)를 더 포함하고,
    상기 열 전달부재(30)는 상기 발열체(14)를 덮어서 상기 발열체(14)를 내측에 수용하고,
    상기 열 전달부재(30)를 평면에서 볼 때 상기 열 전달부재(30)는 상기 발열체(14)의 U자 형상이 지그재그 형태로 연속된 형상에 대응하는 형상을 갖고,
    상기 열 전달부재(30)는,
    상기 열 저항선이 연장된 방향에 수직하도록 위치하여 상기 열 저항선 표면에 밀착되는 두 개의 수직부(31); 및
    상기 각각의 수직부(31)의 상단으로부터 상기 수직부(31)의 상측 방향을 향해 소정의 각도로 경사지도록 연장되어 상기 두 개의 수직부(31)의 상측에 위치하는 첨예부(32)를 포함하고,
    상기 첨예부(32)는 상기 첨예부(32)에 대향하는 상기 덮개부(22)의 표면에 밀착하는 것을 특징으로 하는,
    균일한 온도 분포를 갖는 서셉터.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 첨예부(32)에 대향하는 상기 덮개부(22)의 일면에 형성된 슬릿(22a)을 더 포함하고,
    상기 슬릿(22a)이 형성된 상기 덮개부(22)의 일면을 평면으로 하여 볼 때 상기 슬릿(22a)은 상기 발열체(14)의 U자 형상이 지그재그 형태로 연속된 형상을 따라 연장되며,
    상기 슬릿(22a)은 상기 첨예부(32)가 이룬 경사의 각도에 대응하는 각도로 경사진 두 개의 경사면을 포함하고, 이에 의해 상기 덮개부(22)를 절단한 단면으로 볼 때 상기 슬릿(22a)은 상기 첨예부(32)의 끝단에 대응하는 형상을 갖고,
    상기 첨예부(32)의 끝단은 상기 슬릿(22a) 내로 삽입되어 상기 경사면에 면접하여 있는 것을 특징으로 하는,
    균일한 온도 분포를 갖는 서셉터.
  4. 삭제
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