KR101336904B1

KR101336904B1 - Wire saw

Info

Publication number: KR101336904B1
Application number: KR1020137005203A
Authority: KR
Inventors: 가츠히코 아베; 도시키 나가이
Original assignee: 코마츠 엔티씨 가부시끼가이샤
Priority date: 2011-07-29
Filing date: 2012-07-19
Publication date: 2013-12-04
Also published as: WO2013018556A1; JP2013027965A; TWI408020B; CN103079762B; JP5150756B2; TW201304892A; CN103079762A; KR20130028153A

Abstract

와이어 소는 워크 가공용 와이어(12)가 걸쳐지는 복수의 가공용 롤러(11A, 11B)와, 가공용 롤러(11A, 11B) 사이에 와이어(12)를 공급하도록 회전하는 공급측의 보빈(13A, 13B)과, 가공용 롤러(11A, 11B) 사이의 와이어(12)를 권취하도록 회전하는 권취측의 보빈(13B, 13A)을 구비한다. 와이어는 양 보빈(13A, 13B)을 각각 회전축선의 방향을 따라 트래버스 동작시키는 한 쌍의 트래버스 구조(16)와, 가공용 롤러(11A, 11B)와 양 보빈(13A, 13B) 사이의 와이어(12)의 장력을 각각 검출하는 한 쌍의 센서(18)와, 센서(18)에 의한 검출 결과에 의거하여, 와이어(12)의 장력을 조정하도록, 보빈(13A, 13B)을 각각 이동시키는 한 쌍의 장력 조정 기구(17)를 구비한다.The wire saw is provided with a plurality of processing rollers 11A and 11B on which the work processing wires 12 extend, and bobbins 13A and 13B on the supply side which rotate to supply the wire 12 between the processing rollers 11A and 11B. And the bobbin side 13B, 13A of the winding side which rotates so that the wire 12 between 11A, 11B of processing rollers may be wound up. The wire is a pair of traverse structures 16 for traversing both bobbins 13A and 13B along the direction of the rotation axis, respectively, and the wire 12 between the machining rollers 11A and 11B and both bobbins 13A and 13B. A pair of sensors 18 each for detecting the tension of the pair and a pair of bobbins 13A and 13B that move the bobbins 13A and 13B to adjust the tension of the wire 12 based on the detection result by the sensor 18. A tension adjusting mechanism 17 is provided.

Description

WIRE SAW {WIRE SAW}

본 발명은, 예를 들면 반도체 재료, 자성 재료, 세라믹스 등의 취성(脆性) 재료로 이루어지는 워크를 와이어에 의해 절단하도록 한 와이어 소에 관한 것이다.This invention relates to the wire saw which cut | disconnected the workpiece | work which consists of brittle materials, such as a semiconductor material, a magnetic material, and ceramics, with a wire, for example.

종래, 이 종류의 와이어 소로서는, 예를 들면 특허문헌 1에 개시되는 바와 같은 구성이 제안되어 있다. 이 종래 구성에 있어서는, 와이어가 걸쳐지는 복수의 가공용 롤러와, 그 가공용 롤러 사이에 와이어를 공급하도록 회전하는 공급측의 보빈(bobbin)과, 가공용 롤러 사이의 와이어를 권취하도록 회전하는 권취측의 보빈을 구비하고 있다. 공급측의 보빈 및 권취측의 보빈에는, 그들 보빈을 회전축선의 방향을 따라 트래버스 동작시키기 위한 트래버스 기구가 설치되어 있다. 가공용 롤러와 공급측의 보빈 및 권취측의 보빈 사이에는, 와이어의 장력을 조정하기 위한 댄서 롤러(dancer roller)식 장력 조정 장치, 및 와이어의 주행을 안내하기 위한 복수의 가이드 롤러가 각각 설치되어 있다. 그리고, 가공용 롤러 사이에서 와이어가 주행되면서, 지립(砥粒)을 포함하는 슬러리가 그 와이어 상에 공급된다. 이 상태에서, 와이어에 대하여 워크가 가압되어서, 워크가 절단된다.Conventionally, as this kind of wire saw, the structure as disclosed by patent document 1 is proposed, for example. In this conventional configuration, a plurality of processing rollers over which the wires are stretched, a bobbin on the supply side that rotates to supply the wires between the processing rollers, and a bobbin on the winding side that rotates to wind the wires between the processing rollers Equipped. The bobbin on the supply side and the bobbin on the winding side are provided with a traverse mechanism for traversing the bobbin along the direction of the rotation axis. Between the processing roller, the bobbin on the supply side, and the bobbin on the winding side, a dancer roller type tension adjusting device for adjusting the tension of the wire and a plurality of guide rollers for guiding the running of the wire are respectively provided. And while the wire runs between the rollers for processing, the slurry containing abrasive grains is supplied on the wire. In this state, the workpiece is pressed against the wire, and the workpiece is cut.

일본국 특개평4-135158호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 4-135158

이 종래 구성에 있어서는, 트래버스 기구에 의해 양 보빈을 그 회전축선의 방향을 따라 트래버스 동작시키도록 되어 있다. 이 때문에, 각 보빈에 대향하는 위치에, 보빈의 회전축선의 방향을 따라 와이어를 이동시키는 트래버스 롤러를 포함하는 트래버스 기구를 설치할 필요가 없다.In this conventional structure, both bobbins are traversed along the direction of the rotation axis by the traverse mechanism. For this reason, it is not necessary to provide the traverse mechanism containing a traverse roller which moves a wire along the direction of the rotation axis of a bobbin in the position which opposes each bobbin.

그러나, 이 종래 구성에 있어서는, 가공용 롤러와 양 보빈 사이에, 와이어의 장력을 조정하는 장력 조정 장치, 및 와이어의 주행을 안내하는 복수의 가이드 롤러가 각각 설치되어 있다. 이 때문에, 부품수가 많아져서 구조가 복잡해질 뿐만 아니라, 가공용 롤러와 양 보빈 사이에, 장력 조정 장치 및 복수의 가이드 롤러를 배치하기 위한 스페이스가 필요하게 되어, 와이어 소 전체가 대형이 된다는 문제가 있었다. 또한, 와이어가 가공용 롤러와 양 보빈 사이에서, 복수의 가이드 롤러에 의해 주행 방향이 전환되면서 주행되기 때문에, 와이어에 꼬임이 생기기 쉽고, 이너셔의 문제가 생기거나, 와이어의 단선율이 높아지거나 한다는 문제도 있었다.However, in this conventional configuration, a tension adjusting device for adjusting the tension of the wire and a plurality of guide rollers for guiding the running of the wire are respectively provided between the processing roller and both bobbins. For this reason, the number of parts increases and the structure becomes complicated, and a space for disposing a tension adjusting device and a plurality of guide rollers is required between the processing roller and both bobbins, and there is a problem that the entire wire element becomes large. . In addition, since the wire travels while the traveling direction is switched by a plurality of guide rollers between the processing roller and both bobbins, the wire is liable to be twisted, and there is a problem of inertia or the wire disconnection rate is increased. There was also.

이 발명은, 이러한 종래의 기술에 존재하는 문제점에 착안해서 이루어진 것이다. 그 목적은, 장력 조정 장치나 복수의 가이드 롤러를 배치하기 위한 스페이스를 확보할 필요가 없고, 와이어 소 전체를 소형으로 할 수 있으며, 가이드 롤러에 의해 와이어에 꼬임이 생기는 것을 억제할 수 있음과 함께, 가이드 롤러에 의한 이너셔의 문제나 와이어의 단선율을 저감할 수 있는 와이어 소를 제공하는 것에 있다.This invention is made | formed on the problem existing in such a prior art. The purpose is that it is not necessary to secure a space for arranging a tension adjusting device or a plurality of guide rollers, the entire wire saw can be made small, and the twisting of the wires can be suppressed by the guide rollers. The present invention provides a wire saw capable of reducing the problem of inertia caused by the guide roller and the disconnection rate of the wire.

상기의 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은 워크 가공용 와이어가 걸쳐지는 복수의 가공용 롤러와, 그 와이어를 상기 가공용 롤러 사이에 공급하도록 회전하는 공급측의 보빈과, 상기 가공용 롤러 사이의 상기 와이어를 권취하도록 회전하는 권취측의 보빈을 구비한 와이어 소를 제공한다. 와이어 소는, 상기 공급측의 보빈 및 상기 권취측의 보빈을 각각 그 회전축선의 방향을 따라 트래버스 동작시키는 한 쌍의 트래버스 기구와, 상기 가공용 롤러와 상기 공급측의 보빈 및 상기 권취측의 보빈과의 사이의 상기 와이어의 장력을 각각 검출하기 위한 한 쌍의 센서와, 그 센서에 의한 검출 결과에 의거하여, 상기 와이어의 장력을 조정하도록 상기 공급측의 보빈 및 상기 권취측의 보빈을 각각 이동시키는 한 쌍의 장력 조정 기구를 구비한 것을 특징으로 하고 있다.In order to achieve the above object, the present invention provides a plurality of processing rollers over which a wire for work processing is spread, a bobbin on a supply side that rotates to supply the wire between the processing roller, and a winding of the wire between the processing roller. The wire saw provided with the bobbin of the winding side to rotate is provided. The wire saw has a pair of traverse mechanisms for traversing the bobbin on the supply side and the bobbin on the winding side, respectively, along the direction of the rotation axis thereof, between the processing roller, the bobbin on the supply side, and the bobbin on the winding side. A pair of sensors for respectively detecting the tension of the wire, and a pair of tensions for moving the bobbin on the supply side and the bobbin on the winding side, respectively, to adjust the tension of the wire based on the detection result by the sensor. An adjustment mechanism is provided.

따라서, 본 발명의 와이어 소에 있어서는, 보빈을 그 회전축선의 방향을 따라 트래버스 동작시키는 트래버스 기구와, 와이어의 장력을 검출하는 장력 조정 기구를 각 보빈에 일체로 부설할 수 있다. 따라서, 종래 구성과는 달리, 가공용 롤러와 각 보빈 사이에, 댄서 롤러식 장력 조정 장치 및 복수의 가이드 롤러를 설치할 필요가 없다. 따라서, 그들을 배치하기 위한 스페이스를 확보할 필요가 없고, 양 보빈을 가공용 롤러에 근접해서 배치할 수 있으며, 와이어 소의 구성을 간소화할 수 있음과 함께, 와이어 소 전체를 소형으로 할 수 있다. 또한, 가공용 롤러와 양 보빈과의 사이의 복수의 가이드 롤러를 생략할 수 있으므로, 와이어가 가이드 롤러에 안내되어서 주행하는 것에 수반하여, 와이어에 꼬임이 생기는 것을 억제할 수 있음과 함께, 가이드 롤러에 의한 이너셔의 문제나 와이어의 단선율을 저감할 수 있다.Therefore, in the wire saw of this invention, the traverse mechanism which traverses a bobbin along the direction of the rotation axis, and the tension adjustment mechanism which detects the tension of a wire can be integrally attached to each bobbin. Therefore, unlike the conventional structure, it is not necessary to provide a dancer roller type tension adjusting device and a plurality of guide rollers between the processing roller and each bobbin. Therefore, it is not necessary to secure a space for arranging them, both bobbins can be arranged close to the processing roller, the structure of the wire saw can be simplified, and the whole wire saw can be made small. In addition, since a plurality of guide rollers between the processing roller and both bobbins can be omitted, as the wire is guided by the guide roller and traveling, the twisting of the wire can be suppressed, and the guide roller The problem of inertia and disconnection rate of the wire can be reduced.

상기의 구성에 있어서, 상기 센서는 상기 와이어로부터 발생하는 음파를 감지해서 상기 와이어의 장력을 검출하도록 구성하면 된다.In the above configuration, the sensor may be configured to detect the acoustic wave generated from the wire to detect the tension of the wire.

상기의 구성에 있어서, 상기 센서는 상기 와이어로부터 이간한 위치에 있어서, 상기 와이어의 장력을 검출하도록 구성하면 된다.In the above configuration, the sensor may be configured to detect the tension of the wire at a position separated from the wire.

상기의 구성에 있어서, 각 트래버스 기구는 상기 공급측의 보빈 및 상기 권취측의 보빈 중, 대응하는 한쪽의 보빈을 지지하는 지지판과, 당해 지지판에 고정된 트래버스용 너트와, 당해 트래버스용 너트에 작동 가능하게 나사 결합함과 함께, 상기 보빈의 회전축선의 방향을 따라 연장되는 트래버스용 볼 나사와, 당해 트래버스용 볼 나사를 회전시켜서, 상기 지지판을 상기 트래버스용 볼 나사를 따라 이동시키는 트래버스용 모터를 구비하도록 구성하면 된다.In the above configuration, each traverse mechanism is operable to a support plate for supporting one of the bobbins on the supply side and the bobbin on the winding side, a traverse nut fixed to the support plate, and the traverse nut. The traverse ball screw extending along the direction of the rotation axis of the bobbin and the traverse motor for rotating the traverse ball screw to move the support plate along the traverse ball screw. You can configure it.

상기의 구성에 있어서, 각 장력 조정 기구는, 상기 한 쌍의 트래버스 기구 중, 한쪽을 지지하는 지지대와, 당해 지지대에 고정된 조정용 너트와, 당해 조정용 너트에 작동 가능하게 나사 결합함과 함께, 상기 가공용 롤러 중 하나를 향해서 연장되는 조정용 볼 나사와, 당해 조정용 볼 나사를 회전시켜서, 상기 지지대를 상기 조정용 볼 나사를 따라 상기 가공용 롤러 중 하나에 대하여 선택적으로 접근 및 이간시키는 조정용 모터를 구비하도록 구성하면 된다.In the above configuration, each tension adjustment mechanism is screwed to the support for supporting one of the pair of traverse mechanisms, the adjustment nut fixed to the support, and operatively screwed to the adjustment nut. And an adjustment motor which extends toward one of the processing rollers and an adjustment motor which rotates the adjustment ball screw to selectively access and space the support along one of the processing rollers along the adjustment ball screw. do.

도 1은 일 실시형태의 와이어 소를 나타내는 정면도.
도 2는 도 1의 와이어 소의 평면도.
도 3은 도 1의 3-3선에 있어서의 단면도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The front view which shows the wire saw of one Embodiment.
2 is a plan view of the wire saw of FIG.
3 is a cross-sectional view taken along line 3-3 of FIG. 1.

이하에, 본 발명을 구체화한 와이어 소의 일 실시형태를 도면에 따라서 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Below, one Embodiment of the wire saw which embodies this invention is described according to drawing.

도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 이 실시형태의 와이어 소에 있어서는, 프레임(도시 생략) 상에 복수(본 실시형태에서는 한 쌍)의 가공용 롤러(11A, 11B)가 수평면 내에 있어서 간격을 두고 배치되어 있고, 서로 평행하게 연장되는 회전축선을 중심으로 회전 가능하게 지지되어 있다. 각 가공용 롤러(11A, 11B)의 외주면에는 복수의 고리 형상 홈(11a)이 소정의 피치로 형성되며, 이 가공용 롤러(11A, 11B)의 고리 형상 홈(11a) 내에 와이어(12)가 배치되도록 가공용 롤러(11A, 11B) 사이에는 와이어(12)가 걸쳐져 있다. 가공용 롤러(11A, 11B)를 사이에 두는 양측 위치의 하방에 있어서 프레임 상에는, 한 쌍의 보빈(13A, 13B)이 지지 장치(14A, 14B)를 통해서, 가공용 롤러(11A, 11B)의 회전축선과 평행하게 연장되는 회전축선을 중심으로 회전 가능하게 지지되어 있다.As shown in FIG. 1 and FIG. 2, in the wire saw of this embodiment, a plurality (a pair in this embodiment) of processing rollers 11A and 11B are spaced in a horizontal plane on a frame (not shown). It is arrange | positioned and is rotatably supported about the rotation axis line extended in parallel with each other. A plurality of annular grooves 11a are formed at a predetermined pitch on the outer circumferential surface of each of the processing rollers 11A and 11B, so that the wire 12 is disposed in the annular groove 11a of the processing rollers 11A and 11B. A wire 12 is interposed between the processing rollers 11A and 11B. On the frame below both side positions which sandwich the processing rollers 11A and 11B, a pair of bobbins 13A and 13B pass through the support devices 14A and 14B, and the rotation axis of the processing rollers 11A and 11B. It is rotatably supported about the rotation axis extended in parallel.

그리고, 와이어(12)가 가공용 롤러(11A, 11B) 사이에 있어서 소정의 사이클로 왕복 운동하도록, 상기 가공용 롤러(11A, 11B) 및 보빈(13A, 13B)이 소정 사이클로 왕복 회전된다. 가공용 롤러(11A, 11B) 및 보빈(13A, 13B)이 정회전할 때, 보빈(13A, 13B) 중, 한쪽의 보빈(13A)이 공급측의 보빈으로서, 가공용 롤러(11A, 11B) 사이에 와이어(12)를 공급하도록 작용함과 함께, 다른 쪽의 보빈(13B)이 권취측의 보빈으로서, 가공용 롤러(11A, 11B) 사이로부터 사용이 끝난 와이어(12)를 권취하도록 작용한다. 가공용 롤러(11A, 11B) 및 보빈(13A, 13B)이 역회전할 때, 보빈(13A)은 권취측의 보빈으로서 작용하고, 보빈(13B)은 공급측의 보빈으로서 작용한다. 도 1 및 도 2에 나타내는 상태에서는, 화살표로 이해되는 바와 같이, 좌측의 보빈(13A)이 공급측의 보빈으로 되고, 우측의 보빈(13B)이 권취측의 보빈으로 되어 있다.The processing rollers 11A and 11B and the bobbins 13A and 13B are reciprocally rotated in a predetermined cycle so that the wire 12 reciprocates in a predetermined cycle between the processing rollers 11A and 11B. When the processing rollers 11A, 11B and the bobbins 13A, 13B rotate forward, one of the bobbins 13A, 13B is a bobbin on the supply side, and a wire is formed between the processing rollers 11A, 11B. While acting to supply (12), the other bobbin 13B acts to wind up the used wire 12 from between the processing rollers 11A and 11B as the bobbin on the winding side. When the processing rollers 11A and 11B and the bobbins 13A and 13B rotate in reverse, the bobbin 13A acts as the bobbin on the winding side, and the bobbin 13B acts as the bobbin on the supply side. In the state shown in FIG. 1 and FIG. 2, as understood by the arrow, the left side bobbin 13A becomes the supply side bobbin, and the right side bobbin 13B becomes the winding side bobbin.

상기 양 가공용 롤러(11A, 11B) 사이의 와이어(12)의 상방에는 새들(도시 생략)이 선택적으로 상승 및 하강 가능하게 배치되어 있고, 그 새들의 하면에는 지지판(15)이 설치되어, 워크(W)가 지지판(15)에 점착되어서, 착탈 가능하게 장착된다. 그리고, 가공용 롤러(11A, 11B) 및 보빈(13A, 13B)의 회전에 수반하여, 가공용 롤러(11A, 11B) 사이에서 와이어(12)가 연장 방향을 따라 이동하면서, 지립을 포함하는 슬러리가 그 와이어(12) 상에 공급된다. 이 상태에서, 새들을 하강시킴으로써 워크(W)가 와이어(12)에 가압되어서, 그 워크(W)가 절단된다.Saddles (not shown) are arranged above the wires 12 between the above-mentioned rollers 11A and 11B so as to be selectively raised and lowered, and a support plate 15 is provided on the lower surface of the saddles to form a workpiece ( W) is adhered to the support plate 15 and is detachably mounted. And with the rotation of the processing roller 11A, 11B and bobbin 13A, 13B, the wire 12 moves along the extension direction between the processing roller 11A, 11B, and the slurry containing abrasive grains Supplied on wire 12. In this state, the work W is pressed against the wire 12 by lowering the saddle, and the work W is cut.

도 1∼도 3에 나타내는 바와 같이, 상기 보빈(13A, 13B)의 지지 장치(14A, 14B)의 각각에는, 보빈(13A, 13B) 중, 대응하는 한쪽의 보빈을 그 회전축선의 방향을 따라 트래버스 동작시키기 위한 트래버스 기구(16)와, 그 보빈(13A) 또는 보빈(13B)을 와이어(12)의 연장 방향을 따라 이동시켜서 와이어(12)의 장력을 조정하기 위한 장력 조정 기구(17)가 설치되어 있다. 프레임 상에 있어서, 가공용 롤러(11A)와 보빈(13A) 사이, 및 가공용 롤러(11B)와 보빈(13B) 사이에는, 와이어(12)에 대향하도록, 와이어(12)의 장력을 검출하기 위한 센서(18)가 각각 배치되어 있다. 센서(18)는, 와이어(12)로부터 간격을 두고 배치되어 있다. 이들 센서(18)는, 와이어(12)의 진동에 수반하여 발생하는 음파를 감지하여, 와이어(12)의 장력을 검출하는 음파 센서로 구성되어 있다. 그리고, 이 센서(18)에 의한 검출 결과에 의거하여, 장력 조정 기구(17)에 의해 보빈(13A, 13B)이 가공용 롤러(11A, 11B)에 대하여 접근 또는 이간하는 방향으로 이동되어서, 와이어(12)의 장력이 소정값이 되도록 조정된다.As shown in FIGS. 1-3, each of the bobbin 13A, 13B of support apparatus 14A, 14B of the said bobbin 13A, 13B traverses the corresponding one bobbin along the direction of the rotation axis. The traverse mechanism 16 for operation | movement and the tension adjustment mechanism 17 for adjusting the tension of the wire 12 by moving the bobbin 13A or bobbin 13B along the extension direction of the wire 12 are provided. It is. On the frame, a sensor for detecting the tension of the wire 12 so as to face the wire 12 between the processing roller 11A and the bobbin 13A and between the processing roller 11B and the bobbin 13B. 18 are arrange | positioned, respectively. The sensor 18 is arrange | positioned at intervals from the wire 12. As shown in FIG. These sensors 18 are comprised by the acoustic wave sensor which detects the acoustic wave which arises with the vibration of the wire 12, and detects the tension of the wire 12. As shown in FIG. And based on the detection result by this sensor 18, the bobbin 13A, 13B is moved by the tension adjustment mechanism 17 in the direction which approaches or spaces with respect to the processing roller 11A, 11B, and the wire ( The tension of 12) is adjusted to a predetermined value.

다음으로, 지지 장치(14A, 14B)의 트래버스 기구(16) 및 장력 조정 기구(17)의 구성에 대해서 상세하게 설명한다. 도 1∼도 3에 나타내는 바와 같이, 각 장력 조정 기구(17)에 있어서, 지지대(21)가 가이드 레일(도시 생략)을 통해서 선택적으로 상승 및 하강 가능하게 프레임 상에 지지되고, 그 지지대(21) 상에 트래버스 기구(16)를 통해서 보빈(13A, 13B) 중, 대응하는 한쪽이 지지되어 있다. 장력 조정 기구(17)는, 프레임 상에 배치된 조정용 모터(22)와, 조정용 모터(22)에 연결되며, 또한 상하 방향을 따라 연장되는 조정용 볼 나사(23)와, 조정용 볼 나사(23)에 작동 가능하게 나사 결합함과 함께, 지지대(21)에 고정되는 조정용 너트(24)를 구비한다. 조정용 모터(22)가 회전함으로써, 조정용 볼 나사(23) 및 조정용 너트(24)를 통해서 지지대(21)가 상하 방향을 따라 이동되어서, 보빈(13A, 13B)이 와이어(12)의 장력을 조정하는 방향으로 이동된다.Next, the structure of the traverse mechanism 16 and the tension adjustment mechanism 17 of the support apparatus 14A, 14B is demonstrated in detail. As shown in FIGS. 1-3, in each tension adjustment mechanism 17, the support stand 21 is supported on a frame so that it can raise and lower selectively via a guide rail (not shown), and the support stand 21 The corresponding one of the bobbins 13A and 13B is supported on the () through the traverse mechanism 16. The tension adjusting mechanism 17 is connected to the adjusting motor 22 disposed on the frame, the adjusting motor 22 and the adjusting ball screw 23 extending along the vertical direction, and the adjusting ball screw 23. It is provided with an adjustment nut 24 fixed to the support 21 together with the screwing operationally operatively. As the adjustment motor 22 rotates, the support base 21 is moved along the up-down direction through the adjustment ball screw 23 and the adjustment nut 24, so that the bobbins 13A and 13B adjust the tension of the wire 12. Is moved in the direction.

각 트래버스 기구(16)에 있어서, 지지판(25)이 가이드 레일(도시 생략)을 통해서 가공용 롤러(11A, 11B)의 회전축선의 방향을 따라 이동 가능하게 지지대(21) 상에 지지되어 있다. 각 지지판(25) 상에는, 보빈(13A, 13B) 중, 대응하는 한쪽을 양단으로부터 착탈 가능하게 지지하기 위한 한 쌍의 스핀들 장치(26, 27)가 지지되어 있다. 또한, 각 지지판(25) 상에는, 스핀들 장치(26)를 회전시켜서, 보빈(13A, 13B) 중 대응하는 한쪽을 회전시키기 위한 회전용 모터(28)가 지지되어 있다. 각 지지대(21) 상에는 트래버스용 모터(29)가 배치되며, 트래버스용 모터(29)에는, 가공용 롤러(11A, 11B)의 회전축선의 방향을 따라 연장되는 트래버스용 볼 나사(30)가 연결되어 있고, 트래버스용 볼 나사(30)에는, 지지판(25)에 고정되는 트래버스용 너트(31)가 나사 결합하고 있다. 트래버스용 모터(29)의 회전에 의해, 트래버스용 볼 나사(30) 및 트래버스용 너트(31)를 통해서 지지판(25)이 왕복 이동되어서, 보빈(13A, 13B)이 회전축선의 방향을 따라 트래버스 동작된다.In each traverse mechanism 16, the support plate 25 is supported on the support 21 so as to be movable along the direction of the rotation axis of the processing rollers 11A and 11B via a guide rail (not shown). On each support plate 25, a pair of spindle apparatus 26, 27 for supporting the corresponding one of the bobbin 13A, 13B so that attachment or detachment is possible from both ends is supported. Moreover, on each support plate 25, the rotating motor 28 for rotating the spindle apparatus 26 and rotating the corresponding one among the bobbin 13A, 13B is supported. The traverse motor 29 is arrange | positioned on each support 21, The traverse ball screw 30 extended along the direction of the rotation axis of the processing roller 11A, 11B is connected to the traverse motor 29, The traverse nut 31 fixed to the support plate 25 is screwed to the ball screw 30 for traverse. By the rotation of the traverse motor 29, the support plate 25 is reciprocated through the traverse ball screw 30 and the traverse nut 31, so that the bobbins 13A and 13B traverse along the direction of the rotation axis. do.

다음으로, 상기와 같이 구성된 와이어 소의 작용을 설명한다.Next, the effect | action of the wire saw comprised as mentioned above is demonstrated.

이 와이어 소의 운전시에는, 와이어(12)가 가공용 롤러(11A, 11B) 사이에 있어서 소정의 사이클로 왕복 운동하도록, 가공용 롤러(11A, 11B) 및 보빈(13A, 13B)이 소정 사이클로 왕복 회전된다. 가공용 롤러(11A, 11B) 및 보빈(13A, 13B)의 회전 방향에 따라, 한쪽의 보빈(13A)은 가공용 롤러(11A, 11B) 사이에 와이어(12)를 공급하는 공급측 보빈으로서 작용함과 함께, 다른 쪽의 보빈(13B)은 가공용 롤러(11A, 11B) 사이의 와이어(12)를 권취하는 권취측 보빈으로서 작용한다. 이때, 보빈(13A, 13B)의 지지 장치(14A, 14B)에 있어서, 트래버스 기구(16)의 트래버스용 모터(29)에 의해, 보빈(13A, 13B)이 각각, 그 회전축선의 방향을 따라 트래버스 동작된다. 이 트래버스 동작에 의해, 와이어(12)의 장력이 변동하는 것이 억제된 상태에서, 공급측의 보빈(13A)으로부터 와이어(12)가 공급됨과 함께에, 권취측의 보빈(13B)에 가공용 롤러(11A, 11B) 사이의 와이어(12)가 균일한 감김 피치로 권취된다.During the operation of the wire saw, the processing rollers 11A and 11B and the bobbins 13A and 13B are reciprocally rotated in a predetermined cycle so that the wire 12 reciprocates in a predetermined cycle between the processing rollers 11A and 11B. According to the rotational direction of the processing rollers 11A and 11B and the bobbins 13A and 13B, one bobbin 13A acts as a supply side bobbin which supplies the wire 12 between the processing rollers 11A and 11B. The other bobbin 13B acts as a winding side bobbin which winds the wire 12 between the processing rollers 11A and 11B. At this time, in the support devices 14A and 14B of the bobbins 13A and 13B, the bobbins 13A and 13B are traversed along the direction of the rotation axis by the traverse motor 29 of the traverse mechanism 16, respectively. It works. In the state where the tension of the wire 12 is suppressed by this traverse operation, the wire 12 is supplied from the bobbin 13A on the supply side, and the processing roller 11A is applied to the bobbin 13B on the winding side. , 11B) is wound at a uniform winding pitch.

그리고, 상기 가공용 롤러(11A, 11B) 및 보빈(13A, 13B)의 회전에 수반하여, 가공용 롤러(11A, 11B) 사이에 걸쳐진 와이어(12)가 그 연장 방향을 따라 이동시켜 진다. 이 상태에서, 지립을 포함하는 슬러리가 와이어(12) 상에 공급되고, 새들이 하강됨으로써 워크(W)가 와이어(12)에 가압되어서, 그 워크(W)가 절단된다. 이때, 가공용 롤러(11A)와 보빈(13A) 사이, 및 가공용 롤러(11B)와 보빈(13B) 사이에 있어서, 각각 센서(18)에 의해 와이어(12)의 장력이 검출된다. 그리고, 그 센서(18)에 의한 검출 결과에 의거하여, 장력 조정 기구(17)의 조정용 모터(22)에 의해, 보빈(13A, 13B)이 가공용 롤러(11A, 11B)에 대하여 접근 또는 이간시켜져서, 와이어(12)의 장력이 소정값이 되도록 조정된다.And with the rotation of the said processing roller 11A, 11B and bobbin 13A, 13B, the wire 12 across the processing roller 11A, 11B is moved along the extension direction. In this state, the slurry containing the abrasive grains is supplied onto the wire 12 and the work W is pressed against the wire 12 by the saddle descending, so that the work W is cut. At this time, the tension of the wire 12 is detected by the sensor 18 between the processing roller 11A and the bobbin 13A, and between the processing roller 11B and the bobbin 13B, respectively. And based on the detection result by the sensor 18, the bobbin 13A, 13B approaches or spaces with respect to the processing roller 11A, 11B with the adjustment motor 22 of the tension adjustment mechanism 17. The tension of the wire 12 is adjusted so as to be a predetermined value.

따라서, 이 실시형태에 의하면, 이하와 같은 효과를 얻을 수 있다.Therefore, according to this embodiment, the following effects can be acquired.

(1) 이 와이어 소는 보빈(13A, 13B)을 각각 그 회전축선의 방향을 따라 트래버스 동작시키는 두 개의 트래버스 기구(16)와, 가공용 롤러(11A)와 보빈(13A) 사이, 및 가공용 롤러(11B)와 보빈(13B) 사이에 있어서, 각각 와이어(12)의 장력을 검출하기 위한 두 개의 센서(18)와, 그 센서(18)에 의한 검출 결과에 의거하여 보빈(13A, 13B)을 각각 이동시켜서, 와이어(12)의 장력을 조정하는 두 개의 장력 조정 기구(17)를 구비하고 있다.(1) The wire saw is provided with two traverse mechanisms 16 for traversing bobbins 13A and 13B along the direction of its rotation axis, between the processing roller 11A and the bobbin 13A, and the processing roller 11B. Between the bobbin 13B and the bobbin 13B, respectively, the two sensors 18 for detecting the tension of the wire 12 and the bobbins 13A and 13B are respectively moved based on the detection result by the sensor 18. Two tension adjusting mechanisms 17 for adjusting the tension of the wire 12 are provided.

이 때문에, 트래버스 기구(16)와 장력 조정 기구(17)를 일체로 설치해서, 보빈(13A, 13B)의 지지 장치(14A, 14B)의 각각에 설치할 수 있다. 따라서, 종래 구성과는 달리, 가공용 롤러(11A)와 보빈(13A) 사이, 및 가공용 롤러(11B)와 보빈(13B) 사이에, 댄서 롤러식 장력 조정 장치 및 복수의 가이드 롤러를 배치할 필요는 없고, 그 배치를 위한 스페이스를 확보할 필요는 없다. 이 때문에, 부품수를 줄여서 구성을 간소화할 수 있음과 함께, 보빈(13A, 13B)을 가공용 롤러(11A, 11B)에 근접해서 배치할 수 있어, 와이어 소 전체를 소형으로 할 수 있다. 또한, 가공용 롤러(11A, 11B)와 보빈(13A, 13B) 사이의 복수의 가이드 롤러가 생략되기 때문에, 와이어(12)의 주행 방향이 가이드 롤러에 의해 전환되지 않는다. 따라서, 가이드 롤러에 의해 와이어(12)에 꼬임이 생기는 것을 억제할 수 있음과 함께, 가이드 롤러에 의한 이너셔의 문제를 방지하고, 와이어(12)의 단선율을 저감할 수 있다.For this reason, the traverse mechanism 16 and the tension adjustment mechanism 17 can be provided integrally, and can be provided in each of the support apparatus 14A, 14B of the bobbin 13A, 13B. Therefore, unlike the conventional structure, it is necessary to arrange a dancer roller type tension adjusting device and a plurality of guide rollers between the processing roller 11A and the bobbin 13A, and between the processing roller 11B and the bobbin 13B. There is no need to reserve space for the arrangement. Therefore, the configuration can be simplified by reducing the number of parts, and the bobbins 13A and 13B can be arranged in close proximity to the processing rollers 11A and 11B, so that the entire wire element can be made small. In addition, since the some guide roller between the processing roller 11A, 11B and bobbin 13A, 13B is abbreviate | omitted, the running direction of the wire 12 is not switched by a guide roller. Therefore, while the twisting of the wire 12 can be suppressed by the guide roller, the problem of inertia caused by the guide roller can be prevented, and the disconnection rate of the wire 12 can be reduced.

(2) 이 와이어 소에 있어서는, 상기 센서(18)가, 와이어(12)와 간격을 두고 배치되어, 와이어(12)로부터 발생하는 음파를 감지해서 와이어(12)의 장력을 검출하는 음파 센서로 구성되어 있다. 이 때문에, 센서(18)의 설치 위치에 관한 제약이 적고, 센서(18)는, 비접촉 상태에서 와이어(12)의 장력을 적정하게 검출할 수 있다. 게다가, 센서(18)가 와이어(12)로부터 간격을 두고 배치되기 때문에, 센서(18)가 슬러리에 의해 더럽혀지는 것을 회피할 수 있어, 메인터넌스의 부담을 경감할 수 있다.(2) In this wire saw, the said sensor 18 is arrange | positioned at intervals with the wire 12, and is a sound wave sensor which detects the acoustic wave which arises from the wire 12, and detects the tension of the wire 12. Consists of. For this reason, there are few restrictions regarding the installation position of the sensor 18, and the sensor 18 can detect the tension of the wire 12 suitably in a non-contact state. In addition, since the sensor 18 is disposed at intervals from the wire 12, the sensor 18 can be prevented from being soiled by the slurry, and the burden of maintenance can be reduced.

(3) 이 와이어 소에 있어서는, 보빈(13A, 13B)의 회전축선이 가공용 롤러(11A, 11B)의 회전축선과 평행하게 연장되도록 배치되어 있다. 이 때문에, 가공용 롤러(11A, 11B)와 보빈(13A, 13B) 사이의 가이드 롤러를 생략할 수 있어, 부품수를 저감할 수 있으며, 가이드 롤러에 의한 이너셔의 문제를 없애고, 와이어 단선을 억제할 수 있다. 또한, 보빈(13A, 13B)을 가공용 롤러(11A, 11B)에 근접해서 배치할 수 있어, 배치 스페이스를 작게 할 수 있어서, 와이어 소를 소형화할 수 있다.(3) In this wire saw, the rotation axis of bobbin 13A, 13B is arrange | positioned so that it may extend in parallel with the rotation axis of the processing roller 11A, 11B. For this reason, the guide roller between the processing roller 11A, 11B and bobbin 13A, 13B can be abbreviate | omitted, the number of parts can be reduced, the problem of the inertia by a guide roller is suppressed, and wire breakage is suppressed. can do. Moreover, bobbin 13A, 13B can be arrange | positioned close to the processing roller 11A, 11B, a placement space can be made small, and a wire saw can be miniaturized.

(변경예)(Change example)

또한, 본 발명은 다음과 같이 변경해서 구체화하는 것도 가능하다.In addition, this invention can also be actualized by changing as follows.

·보빈(13A, 13B)의 회전축선을 가공용 롤러(11A, 11B)의 회전축선과 상이한 방향으로 연장되도록 배치해도 된다. 이 경우에는, 필요에 따라, 보빈(13A, 13B)과 가공용 롤러(11A, 11B) 사이에 가이드 롤러를 배치해도 된다.You may arrange | position so that the rotation axis of bobbin 13A, 13B may extend in a direction different from the rotation axis of the processing roller 11A, 11B. In this case, you may arrange | position a guide roller between bobbin 13A, 13B and the processing roller 11A, 11B as needed.

·상기 실시형태에 있어서, 센서(18)로서 음파 센서와는 상이한 센서, 예를 들면 광학 센서를 사용해도 된다.In the above embodiment, a sensor different from an acoustic wave sensor, for example, an optical sensor may be used as the sensor 18.

11A, 11B…가공용 롤러, 12…와이어, 13A, 13B…보빈, 14A, 14B…지지 장치, 16…트래버스 기구, 17…장력 조정 기구, 18…센서, 21…지지대, 22…조정용 모터, 23…조정용 볼 나사, 24…조정용 너트, 25…지지판, 26, 27…스핀들 장치, 28…회전용 모터, 29…트래버스용 모터, 30…트래버스용 볼 나사, 31…트래버스용 너트, W…워크11A, 11B... Processing roller, 12... Wire, 13A, 13B... Bobbin, 14A, 14B... Support device, 16... Traverse mechanism, 17... Tension adjusting apparatus, 18... Sensor, 21... Support, 22... Adjusting motor, 23... Adjusting ball screw, 24... Adjusting nut, 25... Support plates, 26, 27... Spindle unit, 28... Rotary motor, 29... Traverse motor, 30... Ball screw for traverse, 31... Traverse nut, W… work

Claims

A plurality of processing rollers to which the wire for work processing hangs,
A bobbin on a supply side that rotates to supply the wire between the processing rollers,
In the wire saw provided with the bobbin of the winding side which rotates so that the said wire between the said processing rollers may be wound,
A pair of traverse mechanisms for traversing the bobbin on the supply side and the bobbin on the winding side, respectively, along the direction of the rotation axis thereof;
A pair of sensors for detecting the tension of the wire between the processing roller, the bobbin on the supply side, and the bobbin on the winding side, respectively;
A pair of tension adjusting mechanisms for moving the bobbin on the supply side and the bobbin on the winding side, respectively, to adjust the tension of the wire based on the detection result by the sensor;
The sensor is a wire saw, characterized in that for detecting the acoustic wave generated in conjunction with the vibration of the wire to detect the tension of the wire.

The method of claim 1,
The sensor is a wire saw, characterized in that for detecting the tension of the wire at a position apart from the wire.

The method of claim 1,
Each traverse mechanism is screwed operatively to the support plate which supports one of the bobbins of the said supply side and the bobbin of the said winding side, the traverse nut fixed to the said support plate, and the said traverse nut. And a traverse ball screw extending along the direction of the rotation axis of the bobbin and a traverse motor for rotating the traverse ball screw to move the support plate along the traverse ball screw. .

The method of claim 3, wherein
Each tension adjustment mechanism is screwed operatively to the support stand which supports one of the said pair of traverse mechanisms, the adjustment nut fixed to the said support stand, and the said adjustment nut, and toward one of the said processing rollers. And an adjusting motor for extending the adjusting ball screw and the adjusting ball screw to selectively approach and space the support along one of the processing rollers along the adjusting ball screw.