KR101336657B1 - 불산 폐액 재이용 멤브레인 시스템 및 재이용 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 전자제품 및 반도체 생산 공정의 증착, 현상, 식각 공정 등에서 배출되는 불산 폐액(5~15%)으로부터 불산을 회수하는 불산 폐액 재이용 멤브레인 시스템 및 재이용 방법으로서, 좀 더 상세하게는 태양광, LED, LCD 및 반도체 산업의 제작공정에서 발생되어 버려지는 불산 폐액(5~15%)을 멤브레인 공정을 이용하여 다시 제품 생산 공정에 재이용할 수 있도록 산업 현장에서 발생하는 불산 폐액을 집수조에 저장한 후, 원수 펌프를 이용하여 멤브레인 시스템으로 이송하는 원수이송부와, 상기 원수펌프에서 이송된 폐수를 1차 멤브레인 공정으로 투입하여 고액 분리가 이루어지는 1차 멤브레인 처리부와, 상기 1차 멤브레인 처리부를 통과한 1차 처리수를 2차 멤브레인 공정으로 투입하여 1차 처리수 내에 존재하는 2가의 이온 성분을 분리하는 2차 멤브레인 처리부와, 상기 1차 멤브레인에서 걸러진 1차 농축액을 필터프레스에 투입하여 1차 농축액에 존재하는 슬러지를 탈수하고 탈수여액은 집수조로 이송하고 탈수케익을 위탁처리를 위한 슬러지 탈수부로 구성되며, 상기 1차 멤브레인 처리부는 원수 이송 펌프로부터 이송된 불산 폐액 내에 다양한 크기로 존재하는 고형성분(Suspended Solids)의 제거를 위하여 0.1㎛의 크기를 가지는 PVDF 또는 테프론 재질의 관상형 모듈(Tubular Type Module)의 1차 정밀 멤브레인(Microfiltration Membrane)으로 처리하여 불산 폐액 내에 존재하는 다양한 크기의 불순물을 분리하는 수단과, 상기 2차 멤브레인 처리부는 1차 처리수 이송 펌프로부터 이송된 불산 폐액 내에 존재하는 황산이온(SO4 2-)과 같은 2가의 용존 이온성분(Dissolved Solids)의 제거를 위하여 강산과 강알칼리에 견디는 복합막 재질의 와권형 모듈(Spiral Wound Type Module)의 2차 나노 멤브레인(Microfiltration Membrane)으로 처리하여 불산 폐액 내에 존재하는 다양한 2가 용존 이온 성분들을 분리할 수 있는 불산 폐액 재이용 멤브레인 시스템 및 재이용 방법에 관한 것이다.
Description
본 발명은 전자제품 및 반도체 생산 공정의 증착, 현상, 식각 공정 등에서 배출되는 불산 폐액(5~15%)으로부터 불산을 회수하는 불산 폐액 재이용 멤브레인 시스템 및 재이용 방법으로서, 좀 더 상세하게는 태양광, LED, LCD 및 반도체 산업의 제작공정에서 발생되어 버려지는 불산 폐액(5~15%)을 멤브레인 공정을 이용하여 다시 제품 생산 공정에 재이용할 수 있도록 산업 현장에서 발생하는 불산 폐액을 집수조에 저장한 후, 원수펌프를 이용하여 멤브레인 시스템으로 이송하는 원수이송부와, 상기 원수펌프에서 이송된 폐수를 1차 멤브레인으로 투입하여 고액 분리가 이루어지는 1차 멤브레인 처리부와, 상기 1차 멤브레인 처리부를 통과한 1차 처리수를 2차 멤브레인으로 투입하여 1차 처리수 내에 존재하는 2가의 이온 성분을 분리하는 2차 멤브레인 처리부와, 상기 1차 멤브레인에서 걸러진 1차 농축액을 필터프레스에 투입하여 1차 농축액에 존재하는 슬러지를 탈수하고 탈수여액은 집수조로 이송하고 탈수케익을 위탁처리를 위한 슬러지 탈수부로 구성되며, 상기 1차 멤브레인 처리부는 원수 이송펌프로부터 이송된 불산 폐액 내에 다양한 크기로 존재하는 고형성분(Suspended Solids)의 제거를 위하여 0.1㎛의 크기를 가지는 PVDF 또는 테프론 재질의 관상형 모듈(Tubular Type Module)의 1차 정밀 멤브레인(Microfiltration Membrane)으로 처리하여 불산 폐액 내에 존재하는 다양한 크기의 불순물을 분리하는 수단과, 상기 2차 멤브레인 처리부는 1차 처리수 이송 펌프로부터 이송된 불산 폐액 내에 존재하는 황산이온(SO4 2-)과 같은 2가의 용존 이온성분(Dissolved Solids)의 제거를 위하여 강산과 강알칼리에 견디는 복합막 재질의 와권형 모듈(Spiral Wound Type Module)의 2차 나노 멤브레인(Microfiltration Membrane)으로 처리하여 불산 폐액 내에 존재하는 다양한 2가 용존 이온 성분들을 분리할 수 있는 불산 폐액 재이용 멤브레인 시스템 및 재이용 방법에 관한 것이다.
최근들어 전 세계적으로 IT 산업이 발전하면서 하루가 다르게 TV나 스마트폰의 수요가 폭발적으로 늘어나면서, TV나 스마트폰의 수요 물량 증가와 함께 디스플레이 식각 공정에 사용되는 고농도의 불산 폐액이 다량으로 발생 되고 있다.
스마트폰에 채용되는 디스플레이의 식각을 위해 과거에는 물리적인 방법으로 하였으나, 정밀하고 얇은 두께와 선명하고 깨끗한 표면을 얻기 위해 현재에는 혼합 산을 이용하여 식각이 이루어지고 있으며, 혼합 산의 가장 많은 부분을 불산이 차지하고 있다.
따라서, 식각공정에서 사용된 불산 폐액이 대량으로 발생 되고 있으나, 마땅히 자체적으로 처리할 방법이 없어 대부분은 위탁업체를 통해 처리되어지고 많은 처리비용이 발생 된다.
반도체나 액정 등과 같은 전자부품의 제조 공장에서는 산 혼합물을 이용하여 에칭 처리를 하고 있으며, 다량의 에칭 폐액이 발생한다.
예를 들면, 실리콘 웨이퍼의 제조공정에서는 실리콘단결정에서 웨이퍼를 절단하여 기계 연마하는 경우에 발생하는 가공변질층을 제거하기 위해 주로 산 혼합물을 사용한 화학적 에칭이 이루어지고 있으며, 이 과정에서 다량의 혼합 산 폐액이 발생한다.
현재 이러한 혼합산 폐액을 처리하기 위해 위탁 업체에는 알카리로 중화한 후, 증발 농축을 하는 방법으로 처리하고 있지만, 불산의 농도가 높아 처리비용이 많이 소요될 뿐만 아니라 불산의 경우 저농도에서도 환경에 미치는 위해성이 매우 높아 처리에 많은 문제점이 있다.
그리고, 이러한 문제를 해결하기 위해 사후 처리가 아닌 사전 예방의 개념으로 발생 되는 불산 폐액을 다시 재이용함으로써 불산 폐액 발생량을 줄여 근본적으로 환경에 유해한 불산 사용량을 최소화하기 위한 기술의 등장이 절실히 요구되는 실정이다.
또한, 전량 위탁으로 처리하지만 처리가 어려워 위탁 업체에서 처리를 기피하는 문제점이 있다.
그리고, 위탁 처리 비용도 지역에 따라 톤당 30만원에서 70만원으로 고가로 처리하는 문제점이 있으며, 식각 업체의 경우 고정 지출 비용의 상당 부분을 불산 원액 구매 및 폐액 처리 비용으로 지출하는 폐단이 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 PVDF 또는 Teflon 재질의 Tubular Type Microfiltration Membrane을 사용하여 내식성 및 내화학성이 강한 화학적 처리 공정에 직접적으로 적용할 수 있으며, 특히 불산 폐액과 같은 강산 폐액 재이용에 적용이 가능하면서 0.1㎛ 크기의 Microfiltration Membrane을 적용하여 다양한 크기의 고형 성분을 완벽하게 제거하여 불산의 폐액의 재이용 효율을 높이고, 불산 폐액에 포함되어 다양한 크기의 고형 성분뿐만 아니라 불산 식각에 방해가 되는 2가의 용존 이온 물질까지도 분리하여 불산 폐액의 재이용을 높일 수 있도록 구성되는 불산 폐액 재이용 멤브레인 시스템 및 재이용 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기의 목적을 달성하기 위하여 태양광, LED, LCD 및 반도체 산업의 제작공정에서 발생되어 버려지는 불산 폐액(5~15%)을 멤브레인 공정을 이용하여 다시 제품 생산 공정에 재이용할 수 있도록 산업 현장에서 발생하는 불산 폐액을 집수조에 저장한 후, 원수펌프를 이용하여 멤브레인 시스템으로 이송하는 원수이송부와, 상기 원수펌프에서 이송된 폐수를 1차 멤브레인으로 투입하여 고액 분리가 이루어지는 1차 멤브레인 처리부와, 상기 1차 멤브레인 처리부를 통과한 1차 처리수를 2차 멤브레인으로 투입하여 1차 처리수 내에 존재하는 2가의 이온 성분을 분리하는 2차 멤브레인 처리부와, 상기 1차 멤브레인에서 걸러진 1차 농축액을 필터프레스에 투입하여 1차 농축액에 존재하는 슬러지를 탈수하고 탈수여액은 집수조로 이송하고 탈수케익을 위탁처리를 위한 슬러지 탈수부로 구성되며, 상기 1차 멤브레인 처리부는 원수 이송 펌프로부터 이송된 불산 폐액 내에 다양한 크기로 존재하는 고형성분(Suspended Solids)의 제거를 위하여 0.1㎛의 크기를 가지는 PVDF 또는 테프론 재질의 관상형 모듈(Tubular Type Module)의 1차 정밀 멤브레인(Microfiltration Membrane)으로 처리하여 불산 폐액 내에 존재하는 다양한 크기의 불순물을 분리하는 수단과, 상기 2차 멤브레인 처리부는 1차 처리수 이송 펌프로부터 이송된 불산 폐액 내에 존재하는 황산이온(SO4 2-)과 같은 2가의 용존 이온성분(Dissolved Solids)의 제거를 위하여 강산과 강알칼리에 견디는 복합막 재질의 와권형 모듈(Spiral Wound Type Module)의 2차 나노 멤브레인(Microfiltration Membrane)으로 처리하여 불산 폐액 내에 존재하는 다양한 2가 용존 이온 성분들을 분리할 수 있는 불산 폐액 재이용 멤브레인 시스템 및 재이용 방법에 관한 것이다.
본 발명은 전 공정을 자동화하여 장비의 문제 발생시 자동으로 장비를 정지하여 긴급 상황에 충분한 대처가 가능하면서, 디스플레이 식각공정에서 필연적으로 발생되는 불산 폐액을 재이용하여 식각 업체의 고정비용을 최소화하고, 환경에 위해성이 매우 높은 불산으로 인한 환경오염을 최소화할 수 있는 특징이 있다.
그리고, PVDF 또는 Teflon 재질의 Tubular Type Microfiltration Membrane을 사용하여 내식성 및 내화학성이 강한 화학적 처리 공정에 직접적으로 적용할 수 있으며, 특히 불산 폐액과 같은 강산 폐액 재이용에 적용이 가능하면서 0.1㎛ 크기의 Microfiltration Membrane을 적용하여 다양한 크기의 고형 성분을 완벽하게 제거하여 불산의 폐액의 재이용 효율을 높이고, 불산 폐액에 포함되어 다양한 크기의 고형 성분뿐만 아니라 불산 식각에 방해가 되는 2가의 용존 이온 물질까지도 분리하여 불산 폐액의 재이용을 높일 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 불산 폐액 재이용 멤브레인 시스템 공정도 및 공정 설명을 나타낸 작업 공정도이다.
도 2는 본 발명의 요부인 1차 멤브레인 처리부의 공정 설명을 나타낸 작업 흐름도.
도 3은 본 발명의 요부인 2차 멤브레인 처리부의 공정 설명을 나타낸 작업 흐름도.
도 4는 본 발명의 요부인 슬러지 탈수부의 처리 공정 설명을 나타낸 작업 흐름도이다.
도 2는 본 발명의 요부인 1차 멤브레인 처리부의 공정 설명을 나타낸 작업 흐름도.
도 3은 본 발명의 요부인 2차 멤브레인 처리부의 공정 설명을 나타낸 작업 흐름도.
도 4는 본 발명의 요부인 슬러지 탈수부의 처리 공정 설명을 나타낸 작업 흐름도이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며, 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 포함한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제어하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
먼저, 본 발명은 도 1과 같이 제품 생산 공정에 재이용할 수 있도록 산업 현장에서 발생하는 불산 폐액을 집수조(20)에 저장한 후, 원수펌프(21)를 이용하여 멤브레인 시스템으로 이송하는 원수이송부(10)가 형성된다.
상기 원수펌프(21)에서 이송된 폐수를 1차 멤브레인(22) 공정으로 투입하여 고액 분리가 이루어지는 1차 멤브레인 처리부(11)가 형성된다.
상기 1차 멤브레인 처리부(11)를 통과한 1차 처리수를 2차 멤브레인(26) 공정으로 투입하여 1차 처리수 내에 존재하는 2가의 이온 성분을 분리하는 2차 멤브레인 처리부(12)가 형성된다.
상기 1차 멤브레인(22)에서 걸러진 1차 농축액을 필터프레스(32')에 투입하여 1차 농축액에 존재하는 슬러지를 탈수하고 탈수여액은 집수조(20)로 이송하고 탈수케익을 위탁처리를 위한 슬러지 탈수부(32)로 구성된다.
여기서, 집수조(20)는 식각업체에서 디스플레이의 식각에 사용된 후 배출되는 불산 폐액을 회수하여 저장하고 유입 불산 폐액의 농도 및 유량을 균등하게 하여 1차 멤브레인 처리부(12)에 안정적으로 공급하기 위한 설비이다.
여기서, 원수 이송펌프(21)는 집수조(20)에 저장된 불산 폐액을 균일하게 일정한 유량으로 1차 멤브레인 처리부(11)로 이송한다.
여기서, 1차 멤브레인 처리부(11)는 원수 이송펌프(21)로부터 이송된 불산 폐액 내에 다양한 크기로 존재하는 고형성분(Suspended Solids)의 제거를 위하여 0.1㎛의 크기를 가지는 PVDF 또는 테프론 재질의 관상형 모듈(Tubular Type Module)의 1차 정밀 멤브레인(Microfiltration Membrane)(23)으로 처리하여 불산 폐액 내에 존재하는 다양한 크기의 불순물을 분리하며, 분리된 처리수는 1차 처리수조(24)로 이송되고, 분리되지 못한 농축수는 1차 저장조(30)로 이송된다.
여기서, 1차 멤브레인 세정 설비(CIP)(23)는 1차 멤브레인 처리부(11)에 포함된 멤브레인의 수명 연장과 안정적인 처리수의 확보를 위하여 멤브레인을 세정하는 설비이다.
여기서, 1차 처리수조(24)는 1차 멤브레인 처리부(11)에서 처리된 불산 폐액을 저장하여 식각업체에 공급하기 위한 저장조로 이용되거나 또는 1차 처리된 불산 폐액의 농도 및 유량을 균등하게 하여 2차 멤브레인 처리부(12)에 안정적으로 공급하기 위한 저장설비이다.
여기서, 1차 처리수 이송 펌프(25)는 1차 처리수조(24)에 저장된 불산 폐액을 균일하게 일정한 유량으로 2차 멤브레인 처리부(12)로 이송하거나 식각업체 공급을 위한 이송펌프로 사용된다.
여기서, 2차 멤브레인 처리부(12)는 1차 처리수 이송펌프(25)로부터 이송된 불산 폐액 내에 존재하는 황산이온(SO4 2-)과 같은 2가의 용존 이온성분(Dissolved Solids)의 제거를 위하여 강산과 강알칼리에 견디는 복합막 재질의 와권형 모듈(Spiral Wound Type Module)의 2차 나노 멤브레인(Microfiltration Membrane)으로 처리하여 불산 폐액 내에 존재하는 다양한 2가 용존 이온 성분들을 분리하며, 분리된 처리수는 2차 처리수조(28)로 이송되고, 분리되지 못한 농축수는 2차 저장부(33)로 이송된다.
여기서, 2차 멤브레인 세정 설비(CIP)(27)는 2차 멤브레인 처리부(12)에 포함된 멤브레인의 수명 연장과 안정적인 처리수의 확보를 위하여 멤브레인을 세정하는 기능을 한다.
여기서, 2차 처리수조(28)는 2차 멤브레인 처리부(12)에서 처리된 불산 폐액을 저장하여 식각업체에 공급하기 위한 저장조로 사용된다.
여기서, 2차 처리수 이송 펌프(29)는 2차 처리수조(28)에 저장된 불산 폐액을 식각업체 공급을 위한 이송펌프로 사용된다.
여기서, 1차 저장조(30)는 1차 멤브레인 처리부(11)에서 처리되지 못하고 남은 농축액을 저장하고, 농축액의 농도 및 유량을 균등하게 하여 슬러지 탈수부에 안정적으로 공급하기 위한 설비이다.
여기서, 1차 저장조 이송 펌프(31)는 1차 저장조(30)에 저장된 농축액을 균일하게 일정한 유량으로 슬러지 탈수부(32)로 공급하기 위한 이송펌프로 사용된다.
여기서, 슬러지 탈수부(32)는 1차 저장조 이송펌프(31)로 공급한 농축액 속에 포함된 다양한 크기의 고형성분을 분리하기 위하여 필터프레스(32')로 고액 분리과정을 거치며, 이 과정에서 분리된 탈수케이크는 위탁업체에서 처리하며 탈수여액은 다시 집수조(20)로 이송된다.
여기서, 2차 저장조(33)는 2차 멤브레인 처리부(12)에서 처리되지 못하고 남은 농축액을 저장하여 위탁처리업체 공급하기 위한 저장조로 사용된다.
여기서, 2차 저장조 이송펌프(34)는 2차 저장조(33)에 저장된 농축액을 위탁처리 업체 공급을 위한 이송 펌프로 사용된다.
이상과 같이 본 발명은 원수펌프(21)를 이용하여 멤브레인 시스템으로 이송하는 원수이송부(10)와, 상기 원수펌프(21)에서 이송된 폐수를 1차 멤브레인 공정으로 투입하여 고액 분리가 이루어지는 1차 멤브레인 처리부(11)와, 상기 1차 멤브레인 처리부(11)를 통과한 1차 처리수를 2차 멤브레인 공정으로 투입하여 1차 처리수 내에 존재하는 2가의 이온 성분을 분리하는 2차 멤브레인 처리부(12)와, 상기 1차 멤브레인 처리부(11)에서 걸러진 1차 농축액을 필터프레스(32')에 투입하여 1차 농축액에 존재하는 슬러지를 탈수하고 탈수여액은 집수조(20)로 이송하고 탈수케익을 위탁처리를 위한 슬러지 탈수부(32)로 구성된다.
이와 같은 구성으로 이루어진 본 발명은 전 공정을 자동화하여 장비의 문제 발생시 자동으로 장비를 정지하여 긴급 상황에 충분한 대처가 가능하면서, 디스플레이 식각공정에서 필연적으로 발생되는 불산 폐액을 재이용하여 식각 업체의 고정비용을 최소화하고, 환경에 위해성이 매우 높은 불산으로 인한 환경오염을 최소화할 수 있는 특징이 있다.
그리고, PVDF 또는 Teflon 재질의 Tubular Type Microfiltration Membrane을 사용하여 내식성 및 내화학성이 강한 화학적 처리 공정에 직접적으로 적용할 수 있으며, 특히 불산 폐액과 같은 강산 폐액 재이용에 적용이 가능하면서 0.1㎛ 크기의 Microfiltration Membrane을 적용하여 다양한 크기의 고형 성분을 완벽하게 제거하여 불산의 폐액의 재이용 효율을 높이고, 불산 폐액에 포함되어 다양힌 크기의 고형 성분뿐만 아니라 불산 식각에 방해가 되는 2가의 용존 이온 물질까지도 분리하여 불산 폐액의 재이용을 높일 수 있는 효과가 있다.
전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능 하다는 것을 이해할 수 있을 것이다.
그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어 단일형으로 설명되어 있는 각 구성요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성요소들도 결합 된 형태로 실시될 수 있다.
본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
10. 원수이송부
11. 1차 멤브레인 처리부
12. 2차 멤브레인 처리부
20. 집수조
21. 원수 이송펌프
22. 1차 멤브레인
23. 1차 멤브레인 세정 설비(CIP)
24. 1차 처리수조
25. 1차 처리수 이송펌프
26. 2차 멤브레인
27. 2차 멤브레인 세정 설비(CIP)
28. 2차 처리수조
29. 2차 처리수 이송펌프
30. 1차 저장조
31. 1차 저장조 이송펌프
32. 슬러지 탈수부
32'. 필터프레스
33. 2차 저장조
34. 2차 저장조 이송펌프
11. 1차 멤브레인 처리부
12. 2차 멤브레인 처리부
20. 집수조
21. 원수 이송펌프
22. 1차 멤브레인
23. 1차 멤브레인 세정 설비(CIP)
24. 1차 처리수조
25. 1차 처리수 이송펌프
26. 2차 멤브레인
27. 2차 멤브레인 세정 설비(CIP)
28. 2차 처리수조
29. 2차 처리수 이송펌프
30. 1차 저장조
31. 1차 저장조 이송펌프
32. 슬러지 탈수부
32'. 필터프레스
33. 2차 저장조
34. 2차 저장조 이송펌프
Claims (1)
- 불산 폐액을 집수조(20)에 저장한 후, 원수펌프(21)를 이용하여 1차 멤브레인 처리부(11)로 이송하는 원수 이송부(10)와,
상기 원수펌프(21)에서 이송된 폐수를 1차 멤브레인(22)으로 투입하여 고액 분리가 이루어지는 1차 멤브레인 처리부(11)와,
상기 1차 멤브레인 처리부(11)를 통과한 1차 처리수를 2차 멤브레인(26)으로 투입하여 1차 처리수 내에 존재하는 2가의 이온 성분을 분리하는 2차 멤브레인 처리부(12)와,
상기 1차 멤브레인(22)에서 걸러진 1차 농축액을 필터프레스(32')에 투입하여 1차 농축액에 존재하는 슬러지를 탈수하고 탈수여액은 집수조(20)로 이송하고 탈수케익을 위탁처리를 위한 슬러지 탈수부(32)를 형성하되,
상기 1차 멤브레인 처리부(11)는 원수 이송펌프(21)로부터 이송된 불산 폐액 내에 다양한 크기로 존재하는 고형성분(Suspended Solids)의 제거를 위하여 0.1㎛의 크기를 가지는 PVDF 또는 테프론 재질의 관상형 모듈(Tubular Type Module)의 1차 정밀 멤브레인(Microfiltration Membrane)으로 처리하여 불산 폐액 내에 존재하는 다양한 크기의 불순물을 분리하는 수단과,
상기 2차 멤브레인 처리부(12)는 1차 처리수 이송펌프(25)로부터 이송된 불산 폐액 내에 존재하는 황산이온(SO4 2-)과 같은 2가의 용존 이온성분(Dissolved Solids)의 제거를 위하여 강산과 강알칼리에 견디는 복합막 재질의 와권형 모듈(Spiral Wound Type Module)의 2차 나노 멤브레인(Microfiltration Membrane)으로 처리하여 불산 폐액 내에 존재하는 다양한 2가 용존 이온 성분들을 분리할 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 하는 불산 폐액 재이용 멤브레인 시스템 및 재이용 방법.
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KR1020130022141A KR101336657B1 (ko) | 2013-02-28 | 2013-02-28 | 불산 폐액 재이용 멤브레인 시스템 및 재이용 방법 |
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Publications (1)
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KR101336657B1 true KR101336657B1 (ko) | 2013-12-04 |
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ID=49987210
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Country | Link |
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KR (1) | KR101336657B1 (ko) |
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-
2013
- 2013-02-28 KR KR1020130022141A patent/KR101336657B1/ko active IP Right Grant
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