KR101335681B1 - 티타늄의 전기화학적 양극 산화를 이용한 나노다공성 필터 제조방법 - Google Patents

티타늄의 전기화학적 양극 산화를 이용한 나노다공성 필터 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 티타늄의 전기화학적 양극 산화를 이용한 나노다공성 필터 제조방법에 관한 것으로, 티타늄 또는 티타늄 합금인 금속모재를 초음파 세척기에서 용매에 침지시켜 세정시키는 세정단계와; 상기 세정단계를 거친 금속모재에 스팟 웰딩(spot-welding)을 하여 전극점을 형성시키는 전극점 형성단계와; 상기 전극점이 형성된 금속모재를 금속염이 존재하는 전해질에 침지시켜 양극으로 사용하고, 백금을 음극으로 사용하는 양극산화 예비단계와; 상기 음극과 양극에 전압를 인가하여 상기 금속모재의 표면을 양극산화시키는 표면에 티타니아 나노구조체가 형성된 양극산화금속모재를 형성시키는 양극산화단계와; 상기 양극산화단계를 거친 양극산화금속모재를 세척용매에 침지시켜 잔류전해질을 세척시키는 세척단계; 그리고, 상기 세척단계를 거친 양극산화 금속모재를 열처리시키는 열처리 단계;를 포함하여 구성되는 티타늄의 전기화학적 양극 산화를 이용한 나노다공성 필터 제조방법을 기술적 요지로 한다. 이에 따라, 바인더를 따로 사용하지 않고서도 메탈폼 형태, 메쉬 형태, 금속파이프 형태 등을 가지는 티타늄 금속에 전기화학적 양극산화를 통하여 티타니아 나노구조체를 직접형성시킴에 의해 광촉매 필터로 사용이 가능하다는 이점이 있다.

Description

티타늄의 전기화학적 양극 산화를 이용한 나노다공성 필터 제조방법{Preparation methods of nanoporous filter by anodization of Ti}
본 발명은 티타늄의 전기화학적 양극 산화를 이용한 나노다공성 필터 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 본 발명은 메탈폼 형태, 메쉬 형태, 금속파이프 형태 등을 가지는 티타늄 금속에 전기화학적 양극산화를 통한 티타니아 나노구조체를 형성시킴에 의해 광촉매 필터로 사용이 가능한 티타늄의 전기화학적 양극 산화를 이용한 나노다공성 필터 제조방법을 기술적 요지로 한다.
산업 발달로 인한 지구 환경의 유해성은 미래의 지구를 보전하는데 있어 가장 중요한 문제이다. 이러한 환경문제의 해결은 인류의 생존과도 직결되므로 다양한 처리기술에 대한 연구개발이 진행되어 왔다.
가스상 또는 액상 유기오염물질, 특히 난분해성 유기화합물의 경우 강력한 산화제 또는 촉매를 사용하여 처리하는 고도산화처리법(AOP, advanced oxidation process)을 적용하는데, 고도산화처리법에는 오존(O3)을 이용한 방법, 과산화수소수(H2O2)를 사용하는 방법, UV를 이용하는 방법과 최근에 주목받고 있는 광촉매 산화법 등이 있으며, 이 중 난분해성 유기화합물을 처리하는데 있어서는 광촉매 산화법이 가장 효과적인 방법으로 알려져 있다.
광촉매능이 가장 높은 물질인 TiO2는 일반적으로 화학적 방법으로 분말형태로 제조되어 촉매담체에 코팅(고정화)하여 사용되어 왔으나, 이러한 방법은 TiO2를 촉매담체에 부착하기 위해 유무기 복합 바인더가 반드시 사용되어야 한다. 이럴 경우 바인더에 의해 촉매능이 현저히 떨어질 뿐만 아니라 지속적인 UV 조사로 인해 바인더가 열화되는 문제가 있어 그 우수한 광촉매 처리능에도 불구하고 실제적인 응용에는 한계가 있다.
특히, 티타늄 산화물인 경우, 그의 반도체 특성을 활용하여 광촉매, 태양전지, 연료전지, 생화학재료 등 다양한 응용분야에서 활용되고 있다.
이 모든 응용분야는 UV조사에 의한 높은 광활성을 가지고 있는 티타늄 산화물의 특성 및 가시광 조사에서도 반응할 수 있는 다른 물질을 도핑하는 방식으로 광화학 분야에 활용되는 것이다. 기존의 티타늄 산화물 막은 나노입자를 제조하여 이를 촉매담체 혹은 모재에 바인더를 사용하여 부착(코팅)하여 사용하여 왔다. 이러한 방식의 경우, 유무기 바인더의 사용에 의한 촉매 비활성 면적이 존재한다는 문제점을 있을 뿐더러, 시간이 지남에 따라 담체 및 모재로부터 산화물막이 탈착되어 나오는 2차오염 문제, 내구성 문제 등이 어쩔 수 없이 상존하고 있다.
[선행기술문헌]
(문헌1) 대한민국특허청 공개특허공보 공개번호 10-2011-0085656호(공개일자 2011년 07월 27일)
(문헌2) 대한민국특허청 등록특허공보 등록번호 10-0714849호(공고일자 2007년 05월 04일)
(문헌3) 대한민국특허청 공개특허공보 공개번호 10-2002-0083455호(공개일자 2002년 11월 02일)
따라서, 본 발명은 상기한 종래기술들의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 바인더를 따로 사용하지 않고서도 메탈폼 형태, 메쉬 형태, 금속파이프 형태 등을 가지는 티타늄 금속에 전기화학적 양극산화를 통하여 티타니아 나노구조체를 직접형성시킴에 의해 광촉매 필터로 사용이 가능한 티타늄의 전기화학적 양극 산화를 이용한 나노다공성 필터 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 티타늄 또는 티타늄 합금인 금속모재를 초음파 세척기에서 용매에 침지시켜 세정시키는 세정단계와; 상기 세정단계를 거친 금속모재에 스팟 웰딩(spot-welding)을 하여 전극점을 형성시키는 전극점 형성단계와; 상기 전극점이 형성된 금속모재를 금속염이 존재하는 전해질에 침지시켜 양극으로 사용하고, 백금을 음극으로 사용하는 양극산화 예비단계와; 상기 음극과 양극에 전압를 인가하여 상기 금속모재의 표면을 양극산화시키는 표면에 티타니아 나노구조체가 형성된 양극산화금속모재를 형성시키는 양극산화단계와; 상기 양극산화단계를 거친 양극산화금속모재를 세척용매에 침지시켜 잔류전해질을 세척시키는 세척단계; 그리고, 상기 세척단게를 거친 양극산화 금속모재를 열처리시키는 열처리 단계;를 포함하여 구성되는 티타늄의 전기화학적 양극 산화를 이용한 나노다공성 필터 제조방법을 기술적 요지로 한다.
상기 용매는, 에탄올 또는 아세톤인 것이 바람직하다.
상기 세척단계후에는, 상기 양극산화 금속모재를 오븐에서 건조시키는 건조단계가 더 진행되는 것이 바람직하다.
상기 세척단계후에는, 상기 양극산화 금속모재를 과산화수소수(H2O2)에 침지시켜 금속모재의 표면을 에칭시키는 에칭단계가 더 진행되고, 상기 에칭단계후에는, 상기 양극산화 금속모재를 오븐에서 건조시키는 건조단계가 더 진행되는 것이 바람직하다.
상기 금속염은, NH4F, KH2PO4, K2HPO4, K3PO4, K2P2O7로 구성된 그룹 중 하나 이상이 포함되는 것이 바람직하다.
상기 전해질은 에틸렌 글리콜 또는 글리세롤인 것이 바람직하다.
상기 세척용매는 에탄올 또는 증류수가 되는 것이 바람직하다.
상기 티타늄 합금은, 티타늄 원소에 Al, V, Mo, Ga, Ge, TA, Nb, Mn, Fe, Cr, Co, C, Cu, Mn, Si, Mg, Cr, Zn, Zr, Li 로 구성된 그룹 중 하나 이상의 원소가 포함되는 것이 바람직하다.
상기에서 제조된 나노다공성 필터는 오염정화장치의 광촉매 필터로 사용되는 것이 바람직하다.
이에 따라, 바인더를 따로 사용하지 않고서도 메탈폼 형태, 메쉬 형태, 금속파이프 형태 등을 가지는 티타늄 금속에 전기화학적 양극산화를 통하여 티타니아 나노구조체를 직접형성시킴에 의해 광촉매 필터로 사용이 가능하다는 이점이 있다.
상기의 구성에 의한 본 발명은, 바인더를 따로 사용하지 않고서도 메탈폼 형태, 메쉬 형태, 금속파이프 형태 등을 가지는 티타늄 금속에 전기화학적 양극산화를 통하여 티타니아 나노구조체를 직접형성시킴에 의해 광촉매 필터로 사용이 가능하다는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 양극산화장치의 개략적 구성을 나타낸 모식도이고,
도 2는 본 발명에 따른 양극산화장치에 의해 양극 산화된 티타니아 나노구조체는 다양한 형상을 나타낸 도이고,
도 3은 본 발명에 따른 양극산화 하려고 하는 티타늄(Ti) 금속모재의 다양한 형상을 나타낸 도이고,
도 4는 본 발명의 제1실시예에 따라 양극 산화된 나노구조체의 SEM 이미지를 나타낸 도이고,
도 5는 본 발명의 제2실시예에 따라 양극 산화된 나노구조체의 SEM 이미지를 나타낸 도이고,
도 6은 본 발명의 제3실시예에 따라 양극 산화된 나노구조체의 SEM 이미지를 나타낸 도이고,
도 7은 본 발명의 제2실시예에 따라 양극 산화된 나노구조체의 SEM 이미지를 나타낸 도이고,
도 8은 본 발명의 실시예에 따라 형성된 나노구조체에 UV램프를 조사하여 난분해성 유기물질인 4-chlorophenol과 dichloroacetate의 수용액상 광분해 속도를 측정한 결과도이고,
도 9는 도 4의 파이프 내부를 양극산화하여여 얻은 나노다공질의 막을 활용하여 UV 램프와의 조합으로 간단한 수처리 장치에 응용된 모식도이다.
이하 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.
도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 티타늄의 전기화학적 양극 산화를 이용한 나노다공성 필터 제조방법은, 티타늄 또는 티타늄 합금인 금속모재를 용매에 초음파 세척기에서 용매에 침지시켜 세정시키는 세정단계와; 상기 세정단계를 거친 금속모재에 스팟 웰딩(spot-welding)을 하여 전극점을 형성시키는 전극점 형성단계와; 상기 전극점이 형성된 금속모재를 금속염이 존재하는 전해질에 침지시켜 양극으로 사용하고, 백금을 음극으로 사용하는 양극산화 예비단계와; 상기 음극과 양극에 전압를 인가하여 상기 금속모재의 표면을 양극산화시키는 표면에 티타니아 나노구조체가 형성된 양극산화금속모재를 형성시키는 양극산화단계와; 상기 양극산화단계를 거친 양극산화금속모재를 세척용매에 침지시켜 잔류전해질을 세척시키는 세척단계; 그리고, 상기 세척단계를 거친 양극산화 금속모재를 열처리시키는 열처리 단계;로 구성된다.
양극 산화를 위한 양극산화장치는 도1에 도시된 바와 같이, 수조에 금속염이 포함된 전해질을 충전시키고, 양극으로는 티타늄 또는 티타늄 합금인 금속모재를 사용하고, 음극은 불용성 전극인 백금(Pt) 등을 사용하여 불소(F) 이온 등이 존재하는 전해질하에서 전압을 인가하여 나노구조체를 합성하게 된다.
이때 합성된 티타니아 나노구조체는 금속모재인 티타늄 금속의 표면에 형성되며, 막의 두께 또한 양극산화 조건에 의해 제어된다.
사용하는 전해질 및 인가전압, 온도, 반응시간을 제어하면 도2의 좌측에 도시된 나노튜브형상의 나노구조체를 형성시킬 수도 있으며, 우측에 도시된 메조스폰지 형태의 나노구조체를 형성시킬 수도 있다.
이하 본 발명의 바람직한 실시예를 더욱 상세히 설명하기로 한다.
< 제1실시예 >
양극산화를 하기 전에 먼저 티타늄(Ti) 금속모재를 초음파세척기에서 에탄올, 아세톤에 차례로 담가 2분씩 세정을 한다.
세정이 끝나면 건조한 후 얇은 금속모재인 티타늄(Ti) 금속모재를 양극산화하기 위한 금속모재 티타늄(Ti) 금속모재에 스팟웰딩(Spot-welding)을 하여 전극점을 만들어 준다.
이때 양극산화 하려고 하는 티타늄(Ti) 금속모재의 형상은 도 3에 도시된 바와 같이, 판상(도3(a)), 메쉬(도3(b)), 관상(도3(c)), 금속직물(도3(d)), 메탈폼(도3(e))등 어떠한 형태도 가능하다. 여기서, 본 발명의 제1실시예는 도3(a)의 판상의 금속모재를 양극산화하는 공정이다.
이후 양극산화를 하려고 하는 티타늄(Ti) 금속모재와 상대전극인 백금(Pt) 금속을 전해액에 담근다.
여기서 상기 전해질은 에틸렌글리콜에 0.5wt% NH4F와 3vol% H2O첨가한 조성의 전해질을 사용하였고, 전해질의 온도는 20±5℃를 유지하면서 인가전압 60V을 30분 동안 정전압으로 인가하는 방식으로 상기 금속모재를 양극산화하여 양극산화 금속모재를 형성시켰다.
상기 양극산화 이후에는 상기 양극산화 금속모재를 흐르는 에탄올에 세척을 한 후 에탄올에 하루간 침지시켜서 잔류 전해질을 세척한다.
상기 세척 이후 80℃ 오븐에서 1시간 동안 건조시키는 건조단계를 거치고, 이후 450℃에서 1시간 동안 전기로에서 열처리를 하는 열처리단계를 거치게 되면 도4와 같은 나노튜브구조를 가지며, 광활성도가 우수한 이산화티탄(TiO2) 나노구조체가 형성된다.
< 제2실시예 >
본 발명의 제2실시예는 도3(a)의 판상의 금속모재를 양극산화하는 공정이다.
먼저 티타늄(Ti) 금속모재에 메조스펀지 구조체를 만드는 과정으로, 양극산화를 하기 전에 먼저 티타늄(Ti) 금속모재를 초음파세척기에서 에탄올, 아세톤에 차례로 담가 2분씩 세정을 한다.
세정이 끝나면 건조한 후 얇은 금속모재인 티타늄(Ti) 금속모재를 양극산화하기 위한 금속모재 티타늄(Ti) 금속모재에 스팟웰딩(Spot-welding)을 하여 전극점을 만들어 준다.
이후 양극산화를 하려고 하는 티타늄(Ti) 금속모재와 상대전극인 백금(Pt) 금속을 전해액에 담근다.
여기서 상기 전해질은 글리세롤에 10wt% K2HPO4를 첨가한 조성의 전해질을 사용하였고, 전해질의 온도는 180±5℃를 유지하면서 인가전압 50V을 30분 동안 정전압으로 인가하는 방식으로 상기 금속모재를 양극산화하여 양극산화 금속모재를 형성시켰다.
상기 양극산화 이후에는 상기 양극산화 금속모재를 흐르는 증류수에 세척을 한 후 증류수에 하루간 침지시켜서 잔류 전해질을 세척한다.
상기 세척 이후, 30wt% 과산화수소수(H2O2)에 담궈 1시간 동안 초음파세척기를 사용하여 화학적인 에칭을 한다.
에칭 이후에 80℃ 오븐에서 1시간 동안 건조시키는 건조단계를 거치고, 이후 450℃에서 1시간 동안 전기로에서 열처리를 하는 열처리단계를 거치게 되면 도5와 같은 메조스폰지 구조를 가지며, 광활성도가 우수한 이산화티탄(TiO2) 메조스폰지구조체가 형성된다.
< 제3실시예 >
본 발명의 제3실시예는 도3(b)의 티타늄 메쉬인 금속모재를 양극산화하는 공정으로 양극산화를 하기 전에 먼저 메쉬형태의 티타늄(Ti) 금속모재를 초음파세척기에서 에탄올, 아세톤에 차례로 담가 2분씩 세정을 한다.
세정이 끝나면 건조한 후 얇은 금속모재인 티타늄(Ti) 금속모재를 양극산화하기 위한 금속모재 티타늄(Ti) 금속모재에 스팟웰딩(Spot-welding)을 하여 전극점을 만들어 준다.
이후 양극산화를 하려고 하는 티타늄(Ti) 금속모재와 상대전극인 백금(Pt) 금속을 전해액에 담근다.
여기서 상기 전해질은 에틸렌글리콜에 0.5wt% NH4F와 3vol% H2O첨가한 조성의 전해질을 사용하였고, 전해질의 온도는 20±5℃를 유지하는 쿨링 가능한 자켓 반응기를 사용하여, 인가전압 60V을 20분 동안 정전압으로 인가하는 방식으로 상기 금속모재를 양극산화하여 양극산화 금속모재를 형성시켰다.
상기 양극산화 이후에는 상기 양극산화 금속모재를 흐르는 에탄올에 세척을 한 후 에탄올에 하루간 침지시켜서 잔류 전해질을 세척한다.
상기 세척 이후 80℃ 오븐에서 1시간 동안 건조시키는 건조단계를 거치고, 이후 450℃에서 1시간 동안 전기로에서 열처리를 하는 열처리단계를 거치게 되면 도6과 같은 광활성도가 우수한 이산화티탄(TiO2) 나노구조체가 형성된다.
< 제4실시예 >
본 발명의 제3실시예는 도3(d)의 금속직물인 금속모재를 양극산화하는 공정으로 양극산화를 하기 전에 먼저 직물형태의 티타늄(Ti) 금속모재를 초음파세척기에서 에탄올, 아세톤에 차례로 담가 2분씩 세정을 한다.
세정이 끝나면 건조한 후 얇은 금속모재인 티타늄(Ti) 금속모재를 양극산화하기 위한 금속모재 티타늄(Ti) 금속모재에 스팟웰딩(Spot-welding)을 하여 전극점을 만들어 준다.
이후 양극산화를 하려고 하는 티타늄(Ti) 금속모재와 상대전극인 백금(Pt) 금속을 전해액에 담근다.
여기서 상기 전해질은 에틸렌글리콜에 0.5wt% NH4F와 3vol% H2O첨가한 조성의 전해질을 사용하였고, 전해질의 온도는 20±5℃를 유지하는 쿨링 가능한 자켓 반응기를 사용하여, 인가전압 60V을 20분 동안 정전압으로 인가하는 방식으로 상기 금속모재를 양극산화하여 양극산화 금속모재를 형성시켰다.
상기 양극산화 이후에는 상기 양극산화 금속모재를 흐르는 에탄올에 세척을 한 후 에탄올에 하루간 침지시켜서 잔류 전해질을 세척한다.
상기 세척 이후 80℃ 오븐에서 1시간 동안 건조시키는 건조단계를 거치고, 이후 450℃에서 1시간 동안 전기로에서 열처리를 하는 열처리단계를 거치게 되면 도7과 같은 광활성도가 우수한 이산화티탄(TiO2) 나노구조체가 형성된다.
상기 제1실시예로 제작된 이산화티탄 나노튜브(nanotube) 구조체와, 상기 제2실시예로 제작된 이산화티탄(TiO2) 메조스폰지구조체를 이용하여 오염물질 분해실험을 하였다.
상기 제1, 제2실시예에서 제작된 양극산화된 금속모재를 반응기 1cm x 1cm x 4cm의 쿼츠(Qurzt) 큐벳에 담가서 시간에 따른 유기오염물질 분해율을 측정하였다.
유기 오염물질의 초기 부하량은 100μmol로 4-Chlrorophenol(4-CP)과 Dichloroacetate(DCA)를 큐벳에 넣고 준비된 제실시예와 제2실시예의 이산화티탄(TiO2) 나노튜브와 메조스펀지 각각을 담가서 UV 램프(300W Xe arc 램프(Oriel)을 10-cm IR water filter와 cut-off filter; l > 320 nm for 4-CP l > 300 nm for DCA)를 조사하면서 매 20분 마다 유기오염물의 농도를 분석하여 분해율을 측정하였다.
DCA의 농도는 이온 크로마토 크래피(IC, Dionex DX-120)을 사용하였고, 4-CP의 농도는 HPLC (Agilent 1100 series)를 사용하여 분석한 결과를 도8에 나타내었다.
도8에서 TiO2 nanotube(1㎛)는 제1실시예에 의한 것이고, 나노구조체가 1㎛두께만큼 형성되었다는 것을 의미한다. 그리고, TiO2 mesosponge(1㎛)는 제2실시예에 의한 것이고, 나노구조체가 1㎛두께만큼 형성되었다는 것을 의미한다. 또한 TiO2 compact는 두께 100㎚ 박막의 다공질화 되지 않은 치밀한 막(compact oxide)이고, control(direct photolysis)는 광촉매가 없는 경우이다. 상기 각각의 박막에 대하여 동일한 UV램프 조사하여 대표적인 난분해성 유기물질인 4-chlorophenol과 dichloroacetate의 수용액상 광분해 속도를 비교한 결과로써, 본 발명에 따른 제1실시에와 제2실시예에 의한 나노구조체를 가진 이산화티탄(TiO2) 광촉매가 광분해효율이 우수함을 알 수 있다.
다음은 본 발명에 따른 티타늄의 전기화학적 양극 산화를 이용한 나노다공성 필터를 이용한 수처리 장치에 관한 것으로, 도4(c)와 같은 관형상의 티타늄 금속모재를 양극산화하여 수처리장치의 광촉매로 사용할 수 있다. 양극산화는 상기 제1실시예의 방법과 동일한 방법으로 하여 상기 관형상의 티타늄 금속 내부를 양극산화하여 내부를 광할성을 일으키는 광촉매로 사용하며 이를 이용한 오염정화장치인 수처리 장치를 제작한 것이다.
이는 도9에 나타낸 것으로, 양극산화된 튜브형상의 필터(100)를 내부에 위치시키고, 그 내부에 파이프 형상의 UV램프(200)를 설치하고, 상기 필터(100) 외부는 관형상의 글래스 튜브(300)로 접촉되어 감싼다. 그리고 상기 글래스튜브(300)의 양단부는 오링(400)을 이용하여 밀폐시키고, 상기 글래스 튜브(300)의 일측에는 물이 유입되는 유입구(310)를 형성시키고 타측에는 물이 유출되는 유출구(320)를 형성시킨다.
상기의 상태에서 오염수가 상기 유입구(310)를 통하여 글래스 튜브(300)로 유입되고, 유입된 오염수는 상기 튜브형상의 필터(100) 내부를 통과하면서 상기 UV램프(200)의 광에 의해 광활성화 되면서 오염물질을 정화 시킨다. 정화된 물은 상기 글래스튜브(300)의 유출구(320)를 통하여 외부로 배출된다.
100 : 필터 200 : UV램프
300 : 글래스튜브 310 : 유입구
320 : 유출구 400 : 오링

Claims (10)

  1. 티타늄 또는 티타늄 합금인 금속모재를 초음파 세척기에서 용매에 침지시켜 세정시키는 세정단계와;
    상기 세정단계를 거친 금속모재에 스팟 웰딩(spot-welding)을 하여 전극점을 형성시키는 전극점 형성단계와;
    상기 전극점이 형성된 금속모재를 금속염이 존재하는 전해질에 침지시켜 양극으로 사용하고, 백금을 음극으로 사용하는 양극산화 예비단계와;
    상기 음극과 양극에 전압를 인가하여 상기 금속모재의 표면을 양극산화시키는 표면에 티타니아 나노구조체가 형성된 양극산화금속모재를 형성시키는 양극산화단계와;
    상기 양극산화단계를 거친 양극산화금속모재를 세척용매에 침지시켜 잔류전해질을 세척시키는 세척단계; 그리고,
    상기 세척단계를 거친 양극산화 금속모재를 열처리시키는 열처리 단계;를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 티타늄의 전기화학적 양극 산화를 이용한 나노다공성 필터 제조방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 용매는, 에탄올 또는 아세톤임을 특징으로 하는 티타늄의 전기화학적 양극 산화를 이용한 나노다공성 필터 제조방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 세척단계후에는, 상기 양극산화 금속모재를 오븐에서 건조시키는 건조단계가 더 진행됨을 특징으로 하는 티타늄의 전기화학적 양극 산화를 이용한 나노다공성 필터 제조방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 세척단계후에는, 상기 양극산화 금속모재를 과산화수소수(H2O2)에 침지시켜 금속모재의 표면을 에칭시키는 에칭단계가 더 진행됨을 특징으로 하는 티타늄의 전기화학적 양극 산화를 이용한 나노다공성 필터 제조방법.
  5. 제4항에 있어서, 상기 에칭단계후에는, 상기 양극산화 금속모재를 오븐에서 건조시키는 건조단계가 더 진행됨을 특징으로 하는 티타늄의 전기화학적 양극 산화를 이용한 나노다공성 필터 제조방법.
  6. 제1항에 있어서, 상기 금속염은, NH4F, KH2PO4, K2HPO4, K3PO4, K2P2O7로 구성된 그룹 중 하나 이상이 포함됨을 특징으로 하는 티타늄의 전기화학적 양극 산화를 이용한 나노다공성 필터 제조방법.
  7. 제 1항에 있어서, 상기 전해질은 에틸렌 글리콜 또는 글리세롤임을 특징으로 하는 티타늄의 전기화학적 양극 산화를 이용한 나노다공성 필터 제조방법.
  8. 제1항에 있어서, 상기 세척용매는 에탄올 또는 증류수가 됨을 특징으로 하는 티타늄의 전기화학적 양극 산화를 이용한 나노다공성 필터 제조방법.
  9. 제1항에 있어서, 상기 티타늄 합금은, 티타늄 원소에 Al, V, Mo, Ga, Ge, TA, Nb, Mn, Fe, Cr, Co, C, Cu, Mn, Si, Mg, Cr, Zn, Zr, Li 로 구성된 그룹 중 하나 이상의 원소가 포함됨을 특징으로 하는 티타늄의 전기화학적 양극 산화를 이용한 나노다공성 필터 제조방법.
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