KR101335310B1 - Multilayer laminate for liner containing liquid materials - Google Patents
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- 239000011344 liquid material Substances 0.000 title 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 73
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims abstract description 49
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 25
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 claims abstract description 23
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 claims abstract description 23
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 claims abstract description 22
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 claims abstract description 22
- -1 polyethylene Polymers 0.000 claims abstract description 21
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 claims abstract description 18
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 claims abstract description 17
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 claims abstract description 17
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims abstract description 11
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 5
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 abstract description 12
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 11
- 238000005530 etching Methods 0.000 abstract description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 91
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 8
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N Alumina Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 3
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 3
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 3
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 3
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 3
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 3
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 2
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 229920001903 high density polyethylene Polymers 0.000 description 2
- 239000004700 high-density polyethylene Substances 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 2
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- LTPBRCUWZOMYOC-UHFFFAOYSA-N Beryllium oxide Chemical compound O=[Be] LTPBRCUWZOMYOC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L Carbonate Chemical compound [O-]C([O-])=O BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000012459 cleaning agent Substances 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 1
- 150000002484 inorganic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 1
- 229920001684 low density polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000004702 low-density polyethylene Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- QPJSUIGXIBEQAC-UHFFFAOYSA-N n-(2,4-dichloro-5-propan-2-yloxyphenyl)acetamide Chemical compound CC(C)OC1=CC(NC(C)=O)=C(Cl)C=C1Cl QPJSUIGXIBEQAC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 description 1
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 1
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 238000012827 research and development Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 231100000331 toxic Toxicity 0.000 description 1
- 230000002588 toxic effect Effects 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B15/00—Layered products comprising a layer of metal
- B32B15/01—Layered products comprising a layer of metal all layers being exclusively metallic
- B32B15/017—Layered products comprising a layer of metal all layers being exclusively metallic one layer being formed of aluminium or an aluminium alloy, another layer being formed of an alloy based on a non ferrous metal other than aluminium
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- B32B1/00—Layered products having a general shape other than plane
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- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B15/00—Layered products comprising a layer of metal
- B32B15/04—Layered products comprising a layer of metal comprising metal as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material
- B32B15/08—Layered products comprising a layer of metal comprising metal as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material of synthetic resin
- B32B15/085—Layered products comprising a layer of metal comprising metal as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material of synthetic resin comprising polyolefins
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- B32B27/32—Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising polyolefins
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- B32B2439/00—Containers; Receptacles
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Abstract
본 발명은 액체 수납용 라이너에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 내부에 채워지는 포토레지스트, 식각액과 같은 화학 용액들을 안정적으로 수납할 수 있도록 함과 동시에 내열성을 높이고 외부 충격 등에 의한 손상이 방지될 수 있도록 하는 액체 수납용 라이너의 다층 라미네이트에 관한 것이다.
이러한 본 발명의 제1 실시예에 따른 액체 수납용 라이너의 다층 라미네이트는 내부에 포토레지스트와 같은 액체가 안정적으로 수납될 수 있도록 외부로부터 내부를 향해 순서대로 적층되는 폴리에틸렌 또는 폴리카보네이트 재질의 제1 층과, 세라믹 재질의 제2 층과, 폴리이미드 재질의 제3 층과, 세라믹 재질의 제4 층과, 폴리이미드 재질의 제5 층으로 이루어진다.
또한, 본 발명의 제2 실시예에 따른 액체 수납용 라이너의 다층 라미네이트는 내부에 포토레지스트와 같은 액체가 안정적으로 수납될 수 있도록 외부로부터 내부를 향해 순서대로 적층되는 폴리에틸렌 또는 폴리카보네이트 재질의 제1 층과, 세라믹 재질의 제2 층과, 폴리이미드 재질의 제3 층과, 세라믹 재질의 제4 층과, 폴리이미드 재질의 제5 층과, 폴리에틸렌 또는 폴리카보네이트 재질의 제6 층으로 이루어진다.The present invention relates to a liquid storage liner, and more particularly, to stably accommodate chemical solutions such as photoresist and etching liquid to be filled therein, to increase heat resistance and to prevent damage due to external impact. It relates to a multilayer laminate of a liquid storage liner.
The multilayer laminate of the liquid storage liner according to the first embodiment of the present invention is a first layer of polyethylene or polycarbonate material which is laminated in order from the outside toward the inside to stably receive a liquid such as a photoresist therein. And a second layer made of ceramic, a third layer made of polyimide, a fourth layer made of ceramic, and a fifth layer made of polyimide.
In addition, the multilayer laminate of the liquid storage liner according to the second embodiment of the present invention is a first of polyethylene or polycarbonate material which is laminated in order from the outside toward the inside so that a liquid such as a photoresist may be stably received therein. A layer, a second layer made of ceramic material, a third layer made of polyimide material, a fourth layer made of ceramic material, a fifth layer made of polyimide material, and a sixth layer made of polyethylene or polycarbonate.
Description
본 발명은 액체 수납용 라이너에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 내부에 채워지는 포토레지스트, 식각액과 같은 화학 용액들을 안정적으로 수납할 수 있도록 함과 동시에 내열성을 높이고 외부 충격 등에 의한 손상이 방지될 수 있도록 하는 액체 수납용 라이너의 다층 라미네이트에 관한 것이다.The present invention relates to a liquid storage liner, and more particularly, to stably accommodate chemical solutions such as photoresist and etching liquid to be filled therein, to increase heat resistance and to prevent damage due to external impact. It relates to a multilayer laminate of a liquid storage liner.
수많은 산업적 용례에서 화학 시약 및 조성물은 고순도 상태로 공급될 필요가 있어 공급되는 화학 약품들의 충전, 저장, 운반 및 최종적인 분배 작업 동안에 순도를 유지하도록 하는 저장용기에 대한 연구가 지속적으로 이루어지고 있다. In many industrial applications, chemical reagents and compositions need to be supplied in a high purity state, and research into storage containers to maintain purity during filling, storage, transport and final dispensing of chemicals is ongoing.
특히, LCD 제조분야 또는 반도체 제조분야는 포토레지스트, 식각액 등과 같은 매우 다양한 화학 용액들을 필요로 하며, 만약 제조공정에 공급되는 용액들이 변질되거나 불순물이 섞이면 생산되는 LCD 제품이나 반도체 제품의 불량을 야기하게 되므로 용액의 순도를 유지시키면서 해당 제조공정에 용액을 안정적으로 공급할 수 있는 저장용기에 대한 필요가 더욱 절실한 실정이다.In particular, the LCD manufacturing or semiconductor manufacturing fields require a wide variety of chemical solutions such as photoresist and etching solutions, and if the solutions supplied to the manufacturing process are altered or mixed with impurities, the LCD or semiconductor products produced may be defective. Therefore, there is an urgent need for a storage container capable of stably supplying the solution to the manufacturing process while maintaining the purity of the solution.
따라서, 포토레지스트, 식각액, 화학적 기상 증착용 시약, 용제, 웨이퍼 및 툴 세정용 조성물, 화학기계적 연마용 조성물 등과 같이 LCD 제조공정 또는 반도체 제조공정에 사용되는 액체 및 액체 함유 조성물을 수납할 수 있는 다양한 형태의 저장용기들에 대한 연구 및 개발이 이루어지고 있다.Therefore, a variety of liquid and liquid containing compositions used in LCD or semiconductor manufacturing processes, such as photoresist, etchant, chemical vapor deposition reagents, solvents, wafer and tool cleaning compositions, chemical mechanical polishing compositions, and the like can be accommodated. Research and development of storage containers of the type are being made.
이러한 저장용기들의 한 형태로 강성용기의 내부에 뚜껑 또는 커버와 같은 유지구조에 의해 고정되어 각종 용액들이 채워지는 비닐팩 형태의 액체 수납용 라이너가 개발되어 사용되고 있다. One type of storage containers has been developed and used in a plastic pack-type liquid storage liner that is fixed by a holding structure such as a lid or cover inside the rigid container and filled with various solutions.
상기 강성용기는 예를 들면 고밀도 폴리에틸렌 또는 기타 폴리머나 금속재질로 제작되어 내부에 배치되는 액체 수납용 라이너를 외부 충격 등으로부터 보호하는 역할을 하며, 상기 액체 수납용 라이너는 내부에 채워지는 액체 또는 액체 함유 조성물에 대해 불활성이 되도록 선택되는 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE), 폴리프로필렌, 저밀도 폴리에틸렌, PTFE계 멀티라미네이트(multilaminate), 폴리우레탄 등의 폴리머 필름 재료로 제작되어 안정적으로 각종 화학 용액들을 저장하는 역할을 한다.The rigid container is made of, for example, high density polyethylene or other polymer or metal material, and serves to protect the liquid storage liner disposed therein from external impact, and the liquid storage liner is a liquid or liquid filled therein. It is made of polymer film materials such as polytetrafluoroethylene (PTFE), polypropylene, low density polyethylene, PTFE-based multilaminate, polyurethane, which are selected to be inert to the containing composition, and stably stores various chemical solutions. Play a role.
상기 액체 수납용 라이너는 ATMI, Inc.(미국 코네티컷주 댄버리 소재)로부터 NOWPAK이라는 상품명으로 구매할 수 있다.The liquid containment liner can be purchased under the trade name NOWPAK from ATMI, Inc. (Danbury, Conn., USA).
하지만, 상기와 같은 액체 수납용 라이너는 상술한 바와 같이 내부에 수납되는 용액에 불활성인 재질로 제작되어 외부 습기나 주변환경으로부터 용액을 비교적 잘 보호하지만 비닐 팩 형태로 제작되므로 열적인 부분이나 외부 충격 등에 의한 스크래치에 취약하여 내구성이 현저히 떨어지는 문제점이 있었다.However, the liquid storage liner as described above is made of a material that is inert to the solution contained therein to protect the solution from external moisture or the surrounding environment relatively well, but is manufactured in the form of a plastic pack, so that the thermal part or the external impact There is a problem that the durability is significantly reduced due to the vulnerable to scratches.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 본 발명의 제1 실시예는 내부에 포토레지스트와 같은 액체가 안정적으로 수납될 수 있도록 외부로부터 내부를 향해 순서대로 적층되는 폴리에틸렌 또는 폴리카보네이트 재질의 제1 층과, 세라믹 재질의 제2 층과, 폴리이미드 재질의 제3 층과, 세라믹 재질의 제4 층과, 폴리이미드 재질의 제5 층으로 이루어지는 액체 수납용 라이너의 다층 라미네이트를 제공한다.In order to solve the above problems, a first embodiment of the present invention includes a first layer of polyethylene or polycarbonate material which is laminated in order from the outside to the inside so that a liquid such as a photoresist can be stably received therein; A multilayer laminate of a liquid storage liner comprising a second layer of ceramic material, a third layer of polyimide material, a fourth layer of ceramic material, and a fifth layer of polyimide material is provided.
여기서, 상기 세라믹은 산화알류미늄 또는 산화지류코늄인 것이 바람직하며, 상기 제1 층의 두께는 130~200㎛이며, 제2 층 및 제4 층의 두께는 1~2㎛이며, 제3 층 및 제5 층의 두께는 20~50㎛로 형성되는 것이 바람직하다.Here, the ceramic is preferably aluminum oxide or trizironium oxide, the thickness of the first layer is 130 ~ 200㎛, the thickness of the second layer and the fourth layer is 1 ~ 2㎛, the third layer and the third It is preferable that the thickness of 5 layers is formed in 20-50 micrometers.
또한, 본 발명의 제2 실시예는 내부에 포토레지스트와 같은 액체가 안정적으로 수납될 수 있도록 외부로부터 내부를 향해 순서대로 적층되는 폴리에틸렌 또는 폴리카보네이트 재질의 제1 층과, 세라믹 재질의 제2 층과, 폴리이미드 재질의 제3 층과, 세라믹 재질의 제4 층과, 폴리이미드 재질의 제5 층과, 폴리에틸렌 또는 폴리카보네이트 재질의 제6 층으로 이루어지는 액체 수납용 라이너의 다층 라미네이트를 제공한다.In addition, the second embodiment of the present invention is a first layer of polyethylene or polycarbonate laminated in order from the outside toward the inside so that the liquid such as photoresist can be stably received therein, and the second layer of ceramic material And a third layer made of polyimide, a fourth layer made of ceramic, a fifth layer made of polyimide, and a sixth layer made of polyethylene or polycarbonate.
여기서, 상기 세라믹은 산화알류미늄 또는 산화지류코늄인 것이 바람직하며, 상기 제1 층의 두께는 130~200㎛이며, 상기 제1 층 및 제6 층의 두께는 130~200㎛이며, 제2 층 및 제4 층의 두께는 1~2㎛이며, 제3 층 및 제5 층의 두께는 20~50㎛로 형성되는 것이 바람직하다. Here, it is preferable that the ceramic is aluminum oxide or trioxide cornium oxide, the thickness of the first layer is 130 ~ 200㎛, the thickness of the first layer and the sixth layer is 130 ~ 200㎛, the second layer and It is preferable that the thickness of a 4th layer is 1-2 micrometers, and the thickness of a 3rd layer and a 5th layer is 20-50 micrometers.
본 발명에 따른 액체 수납용 라이너의 다층 라미네이트는 폴리에틸렌, 폴리이미드, 세라믹과 같은 다양한 재질의 층을 포함하므로 습기나 가스와 같은 외부 환경으로부터 액체를 안정적으로 보호할 수 있다.Since the multilayer laminate of the liquid storage liner according to the present invention includes layers of various materials such as polyethylene, polyimide, and ceramic, it is possible to stably protect the liquid from external environment such as moisture or gas.
특히, 본 발명에 따른 액체 수납용 라이너의 다층 라미네이트는 세라믹 재질의 층을 포함하여 이루어지므로 액체 수납용 라이너의 강도를 크게 향상시켜 외부 충격에 의한 스크래치(Scratch)가 발생하는 것을 사전에 차단할 수 있으며, 내열성을 높여 열에 의한 변형을 방지할 수 있다. In particular, since the multilayer laminate of the liquid storage liner according to the present invention includes a layer of ceramic material, the strength of the liquid storage liner can be greatly improved, thereby preventing scratches from occurring due to external impact. As a result, the heat resistance can be increased to prevent deformation due to heat.
도 1은 본 발명에 따른 액체 수납용 라이너가 강성용기의 내부에 설치된 상태를 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 액체 수납용 라이너의 다층 라미네이트 구조를 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 액체 수납용 라이너의 다층 라미네이트 구조를 나타내는 도면이다.1 is a view showing a state in which a liquid storage liner according to the present invention is installed inside the rigid container.
2 is a view showing a multilayer laminate structure of a liquid storage liner according to the first embodiment of the present invention.
3 is a view showing a multilayer laminate structure of a liquid storage liner according to a second embodiment of the present invention.
이하, 상기 목적이 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 바람직한 실시예가 첨부된 도면을 참조하여 설명된다. 본 실시예를 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 동일 부호가 사용되며 이에 따른 부가적인 설명은 하기에서 생략된다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention in which the above objects can be specifically realized will be described with reference to the accompanying drawings. In describing the present embodiment, the same designations and the same reference numerals are used for the same components, and additional description thereof will be omitted in the following.
도 1은 본 발명에 따른 액체 수납용 라이너가 강성용기의 내부에 설치된 상태를 나타내는 도면이다.1 is a view showing a state in which a liquid storage liner according to the present invention is installed inside the rigid container.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 액체 수납용 라이너(100)는 강성용기(200)의 내부에 고정 설치되어 LCD 또는 반도체 제조공정 등에 공급되는 다양한 액체(L)를 내부에 수납한다.As shown in FIG. 1, the
상기 액체 수납용 라이너(100)에 채워지는 액체(L)들은 포토레지스트(Photoresist), 불산(HF)과 같은 식각액, 도펀트(Dopant), 화학 기상 증착 반응제, 용매, 웨이퍼 또는 도구 세척 제제, 화학 기계적 연마 조성물 등과 같은 다양한 화학 용액들일 수 있다. The liquids L filled in the
상기 강성용기(200)는 canistor라고도 불려지는 고밀도 폴리에틸렌 또는 금속재질의 용기로서 외부 충격 등에 의해 액체 수납용 라이너(100)가 직접적으로 손상되는 것을 방지함과 더불어 외부 빛을 차단하여 이송과정에서 액체 수납용 라이너(100) 내부에 채워진 각종 액체(L)들이 화학적으로 변질되는 것을 방지하는 역할을 한다. The
이러한 강성용기(200)의 상단부에는 액체 수납용 라이너(100)에 채워진 액체의 누출을 방지하는 캡(Cap)(300)이 고정설치된다. 상기 캡(300)은 용접, 브레이징(Brazing), 기계적 체결 등 다양한 방식으로 강성용기(200)의 상단부에 고정된다.The upper end of the
이러한 캡(300)에는 액체 수납용 라이너(100)의 포트(101)와 연통하는 내부 통로(310)가 형성되며, 상기 캡(300)의 상부면에는 마개(400)가 설치된다. 상기 마개(400)는 캡(300)의 상부면에 나사 결합되어 강성용기(200) 내부에 설치되는 액체 수납용 라이너(100)를 밀봉시킨다. The
이와 같이 반도체 또는 LCD 제조공정에 공급될 다양한 액체들은 상기 액체 수납용 라이너(100)에 수납되어 강성용기(200)의 내부에 밀봉된 상태로 이송되므로 외부 충격이나 불순물에 의해 오염되지 않고 반도체 기판, LCD 기판 등의 다양한 전자부품들의 제조공정에 안정적으로 공급될 수 있다.As described above, various liquids to be supplied to the semiconductor or LCD manufacturing process are stored in the
여기서, 상기 액체 수납용 라이너(100)는 상술한 바와 같이 다양한 액체 특히, 독성 및 부식성이 강한 화학 용액들을 수납할 수 있도록 다양한 종류의 층으로 구성된 다층 라미네이트(Laminate) 구조로 제작된다.Here, the
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 액체 수납용 라이너의 다층 라미네이트 구조를 나타내는 도면이다.2 is a view showing a multilayer laminate structure of a liquid storage liner according to the first embodiment of the present invention.
구체적으로, 도 2에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 액체 수납용 라이너(100)는 외부로부터 내부를 향해 순서대로 적층되는 폴리에틸렌(PE: Polyethylene) 또는 폴리카보네이트(PC: Polycarbonate) 재질의 제1 층(110)과, 세라믹(Ceramic) 재질의 제 2층과, 폴리이미드(PI: Polyimide) 재질의 제3 층(130)과, 세라믹 재질의 제4 층(140)과, 폴리이미드 재질의 제5 층(150)으로 이루어지는 다층 라미네이트 구조를 가질 수 있다.Specifically, as shown in FIG. 2, the
상기 제1 층(110)은 외부에 노출되는 층으로서 외부에 존재하는 습기나 가스 또는 강성용기(200) 내부에 존재하는 습기나 가스에 의한 영향을 받지 않도록 흡수력이 매우 낮은 폴리에틸렌(PE) 또는 폴리카보네이트(PC) 재질로 이루어진다.The
이러한 제1 층(110)은 외부로 직접 노출되어 외부 영향을 가장 많이 받으므로 상대적으로 다른 층들에 비해 두껍게 형성됨이 바람직하며, 구체적으로 130~200㎛ 정도의 두께를 가지도록 형성될 수 있다.Since the
상기 제2 층(120)은 습기에 강하고 가스와 같은 기체의 차단성이 우수한 세라믹 재질로 이루어진다. 세라믹은 산화알루미늄(Al2O3) 산화마그네슘(MgO), 산화지르코늄(ZrO2), 산화베릴륨(BeO) 등의 무기 화합의 비금속 고체로서, 제2 층(120)을 상기와 같은 세라믹 재질로 형성하면 습기 및 기체가 액체 수납용 라이너(100) 내부로 유입되는 것을 차단할 뿐만 아니라 액체 수납용 라이너(100)의 강도를 크게 향상시켜 외부 충격에 의한 스크래치(Scratch)가 발생하는 것을 사전에 차단할 수 있다. 또한 세라믹은 기본적으로 내열성이 매우 높은 물질이므로 액체 수납용 라이너(100)가 열에 의해 쉽게 변형되는 문제점 역시 방지할 수 있다.The
물론, 액체 수납용 라이너(100)의 강도 보강을 위해 제2 층(120)을 금속 재질로 형성하는 것도 가능하지만, 제2 층(120)이 금속 재질로 형성되면 습기에 노출될 경우 산화반응을 일으켜 라미네이트 층간 분리 및 변형을 초래할 위험이 있다. 따라서 제2 층(120)을 습기에 노출되어도 산화반응을 일으키지 않는 산화물인 세라믹 재질로 형성하여 라미네이트 구조가 안정적으로 유지될 수 있도록 함이 바람직하다.Of course, the
구체적으로, 상기 제2 층(120)은 다양한 세라믹 재료들 중 습기 및 기체 차단성이 상대적으로 우수하고 내열성이 높은 산화알류미늄 또는 산화지르코늄으로 형성됨이 바람직하다. Specifically, the
이러한 세라믹 재질의 제2 층(120)은 액체 수납용 라이너(100)의 무게와 전체적인 강성 등을 고려하여 1~2㎛ 정도의 얇은 두께를 가지도록 형성된다.The
상기 제3 층(130)은 내열성이나 내 마모성에 강한 폴리머 계열의 폴리이미드 재질로 이루어진다. 상기 제3 층(130)은 20~50㎛의 두께로 형성되어 액체 수납용 라이너(100)의 내열성 및 내 마모성을 보강하는 역할을 한다.The
그리고, 상기 제4 층(140)은 상기 제2 층(120)과 동일한 세라믹 재질의 층이며, 상기 제5 층(150)은 상기 제3 층(130)과 동일한 폴리이미드 재질의 층으로, 제4 층(140)은 제2 층(120)과 같이 1~2㎛ 정도의 얇은 두께를 가지도록 형성되며, 제5 층(150)은 제3 층(130)과 같이 20~50㎛의 두께를 가지도록 형성된다.The
이와 같이 상기 제4, 5층(140, 150)은 제2 층(120) 및 제3 층(130)과 동일한 재질 및 두께로 형성되는 층으로서 액체 수납용 라이너(100)의 전체적인 강도, 내열성 등을 보강하여 액체 수납용 라이너(100)의 내부에 채워지는 액체가 안정적인 상태를 유지할 수 있도록 한다.As described above, the fourth and
도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 액체 수납용 라이너의 다층 라미네이트 구조를 나타내는 도면이다.3 is a view showing a multilayer laminate structure of a liquid storage liner according to a second embodiment of the present invention.
또한, 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 액체 수납용 라이너(100)는 외부로부터 내부를 향해 순서대로 적층되는 폴리에틸렌(PE: Polyethylene) 또는 폴리카보네이트(PC: Polycarbonate) 재질의 제1 층(110)과, 세라믹(Ceramic) 재질의 제 2층과, 폴리이미드(PI: Polyimide) 재질의 제3 층(130)과, 세라믹 재질의 제4 층(140)과, 폴리이미드 재질의 제5 층(150)과, 폴리에틸렌 또는 폴리카보네이트 재질의 제6 층(160)으로 이루어지는 다층 라미네이트 구조를 가질 수 있다.In addition, as shown in Figure 3, the
상기 제1 층(110) 내지 제5 층(150)은 이미 설명한 제1 실시예와 동일한 층으로서, 제1 층(110)은 습기나 가스에 의한 영향을 받지 않도록 흡수력이 매우 낮은 폴리에틸렌 또는 폴리카보네이트 재질로 130~200㎛ 정도의 두께를 가지며, 상기 제2 층(120)은 습기에 강하고 가스와 같은 기체의 차단성이 우수한 세라믹 재질의 층으로서 1~2㎛ 정도의 얇은 두께의 산화알류미늄 또는 산화지르코늄으로 형성된다. The
상기 제3 층(130)은 20~50㎛의 두께로 내열성이나 내 마모성에 강한 폴리머 계열의 폴리이미드 재질로 이루어지며, 상기 제4 층(140) 및 제5 층(150)은 이미 설명한 바와 같이 상기 세라믹 재질의 제2 층(120) 및 폴리이미드 재질의 제3 층(130)과 동일한 재질 및 두께를 가지는 층으로서 액체 수납용 라이너(100)의 전체적인 강도, 내열성 등을 보강하기 위해 형성된다. The
그리고, 상기 제6 층(160)은 제1 층(110)과 같이 습기나 가스에 의한 영향을 받지 않도록 흡수력이 매우 낮은 폴리에틸렌 또는 폴리카보네이트 재질로 130~200㎛ 정도의 두께를 가지도록 형성된다. In addition, the
상기 제6 층(160)은 제1 층(110)과 반대로 액체 수납용 라이너(100)의 최내부층을 형성하여 화학 용액들의 영향을 가장 크게 받으므로 제1 층(110)과 같이 다른 층들에 비해 상대적으로 두껍게 형성됨이 바람직하다.The
한편, 비록 도시하지는 않았지만 액체 수납용 라이너(100)의 내부면에는 상기 제5 층(150) 또는 제6 층(160) 다음에 형성되어 내부에 채워지는 액체와 직접 접촉하는 폴리에틸렌(PE) 재질의 층이 별도로 형성될 수도 있다.On the other hand, although not shown, the inner surface of the
이와 같은 다양한 층들로 이루어지는 본 발명에 따른 액체 수납용 라이너의 다층 라미네이트는 박막 층을 형성하는 방법으로 널리 알려진 PVD 법인 Sputter 방법을 통해 형성될 수 있다.The multilayer laminate of the liquid storage liner according to the present invention composed of such various layers may be formed through the PVD corporation Sputter method, which is widely known as a method of forming a thin film layer.
이상에서 상세히 설명된 본 발명은 그 범위가 전술된 바에 한하지 않고, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 변경 또는 치환할 수 있는 것이 본 발명의 범위에 해당함은 물론이고, 그 균등물 또한 본 발명의 범위에 포함된다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the inventions. And are also included in the scope of the present invention.
100: 액체 수납용 라이너 101: 포트
110: 제1 층 120: 제2 층
130: 제3 층 140: 제4 층
150: 제5 층 160: 제6 층
200: 강성용기 300: 캡
310: 내부 통로 400: 마개
L: 액체100: liquid storage liner 101: port
110: first layer 120: second layer
130: third layer 140: fourth layer
150: fifth layer 160: sixth layer
200: rigid container 300: cap
310: internal passage 400: plug
L: liquid
Claims (6)
상기 다층 라미네이트는 외부로부터 내부를 향해 순서대로 적층되는,
폴리에틸렌 또는 폴리카보네이트 재질의 제1 층과,
산화알류미늄 또는 산화지류코늄을 갖는 세라믹 재질의 제2 층과,
폴리이미드 재질의 제3 층과,
산화알류미늄 또는 산화지류코늄을 갖는 세라믹 재질의 제4 층과,
폴리이미드 재질의 제5 층으로 이루어지는 액체 수납용 라이너의 다층 라미네이트.In the multi-layer laminate of the liquid storage liner is installed inside the rigid container, in which a liquid such as photoresist is accommodated,
The multilayer laminate is laminated in order from the outside to the inside,
A first layer of polyethylene or polycarbonate,
A second layer of ceramic material having aluminum oxide or triziconium oxide,
A third layer of polyimide material,
A fourth layer of ceramic material having an aluminum oxide or a triziconium oxide,
A multilayer laminate of liquid storage liners comprising a fifth layer of polyimide.
상기 제1 층의 두께는 130~200㎛이며, 제2 층 및 제4 층의 두께는 1~2㎛이며, 제3 층 및 제5 층의 두께는 20~50㎛인 것을 특징으로 하는 액체 수납용 라이너의 다층 라미네이트.The method according to claim 1,
The thickness of the first layer is 130 ~ 200㎛, the thickness of the second and fourth layer is 1 ~ 2㎛, the thickness of the third layer and the fifth layer is 20 ~ 50㎛ characterized in that the liquid storage Multilayer laminate of liner for.
상기 다층 라미네이트는 외부로부터 내부를 향해 순서대로 적층되는,
폴리에틸렌 또는 폴리카보네이트 재질의 제1 층과,
산화알류미늄 또는 산화지류코늄을 갖는 세라믹 재질의 제2 층과,
폴리이미드 재질의 제3 층과,
산화알류미늄 또는 산화지류코늄을 갖는 세라믹 재질의 제4 층과,
폴리이미드 재질의 제5 층과,
폴리에틸렌 또는 폴리카보네이트 재질의 제6 층으로 이루어지는 액체 수납용 라이너의 다층 라미네이트.In the multi-layer laminate of the liquid storage liner is installed inside the rigid container, in which a liquid such as photoresist is accommodated,
The multilayer laminate is laminated in order from the outside to the inside,
A first layer of polyethylene or polycarbonate,
A second layer of ceramic material having aluminum oxide or triziconium oxide,
A third layer of polyimide material,
A fourth layer of ceramic material having an aluminum oxide or a triziconium oxide,
The fifth layer of polyimide material,
A multilayer laminate of liquid containment liners comprising a sixth layer of polyethylene or polycarbonate.
상기 제1 층 및 제6 층의 두께는 130~200㎛이며, 제2 층 및 제4 층의 두께는 1~2㎛이며, 제3 층 및 제5 층의 두께는 20~50㎛인 것을 특징으로 하는 액체 수납용 라이너의 다층 라미네이트.5. The method of claim 4,
The thickness of the first layer and the sixth layer is 130 ~ 200㎛, the thickness of the second layer and the fourth layer is 1 ~ 2㎛, the thickness of the third layer and the fifth layer is 20 ~ 50㎛ Multilayer laminate of liquid storage liner made of.
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| KR1020110140158A KR101335310B1 (en) | 2011-12-22 | 2011-12-22 | Multilayer laminate for liner containing liquid materials |
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| KR (1) | KR101335310B1 (en) |
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| JP2005178851A (en) * | 2003-12-19 | 2005-07-07 | Dainippon Printing Co Ltd | Laminate tube container |
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