KR101329785B1 - An Exhaust Pipe for emitting a by-product gas of semiconductor process - Google Patents

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Abstract

반도체 공정의 부산물 가스를 배기하는 공정 배기관(100)이 개시된다. 본 발명은, 관형상의 부재로서 스텐레스스틸재질로 형성되며 상기 관형상의 연장방향에 대해 수직으로 주름진 형상의 주름연결관(10); 전기도통가능한 전선형상의 부재로서, 상기 주름연결관(10)의 외부에 권선되는 열선(20); 및 유연성이 있는(flexible) 단열성재질로 형성되는 배관형상의 부재로서, 상기 권선된 열선(20)의 외주면에 도포되어 위치하는 단열재층 (30) 을 포함한다. 본 발명에 의하면, 반도체 공정의 배관설비의 재설치 및 수정시에 비용 및 시간이 대폭 감소되며, 부산물가스의 증착도가 감소한다.A process exhaust pipe 100 for exhausting a byproduct gas of a semiconductor process is disclosed. The present invention, the tubular member is formed of a stainless steel material corrugated connector tube 10 of the corrugated shape perpendicular to the extending direction of the tubular shape; An electrically conductive wire-shaped member, the heating wire (20) wound outside the corrugated connector (10 ); And a tubular member formed of a flexible insulating material, the insulating material layer 30 being applied to and positioned on an outer circumferential surface of the wound heating wire 20. According to the present invention, the cost and time are greatly reduced at the time of re-installation and modification of the piping equipment of the semiconductor process, the degree of deposition of by-product gas is reduced.

Description

반도체 공정의 부산물 가스를 배기하는 공정 배기관{An Exhaust Pipe for emitting a by-product gas of semiconductor process}An exhaust pipe for emitting a by-product gas of semiconductor process

본 발명은 반도체 공정의 부산물 가스를 배기하는 공정 배기관에 관한 것으로서, 공정 배기 설비의 수정 및 재배치 비용이 감소하고 가스분산물의 증착도가 감소된 반도체 공정의 부산물 가스의 공정 배기관에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a process exhaust pipe for exhausting a byproduct gas of a semiconductor process, and to a process exhaust pipe of a semiconductor process having a reduced cost of modification and relocation of a process exhaust facility and a reduced degree of deposition of gaseous dispersion.

도 1 은 반도체 공정의 부산물 가스가 배출되는 경로를 나타내는 도면이다.1 is a diagram illustrating a path through which a by-product gas of a semiconductor process is discharged.

공정챔버(1)는 반도체의 재료인 웨이퍼에 대해 증착, 식각 등 여러 공정을 수행하는 공간이다. 이 때 공정챔버내로 유입되는 공정가스는 10% 이하만이 공정에 사용되고 나머지 90% 는 공정 배기관(2) 및 외부배기관(5)를 통해서 배출되는데 이때 배출되는 나머지 가스를 부산물 가스라고 한다. The process chamber 1 is a space for performing various processes such as deposition and etching on a wafer, which is a material of a semiconductor. At this time, only 10% or less of the process gas flowing into the process chamber is used for the process, and the remaining 90% is discharged through the process exhaust pipe 2 and the external exhaust pipe 5, and the remaining gas discharged is called by-product gas.

이 부산물 가스는 배출경로내부에서 여러가지 문제를 발생시킨다. 그 중 가장 큰 문제점은 다양한 부산물 가스들이 화학적으로 반응하여 고형화되면서 배기관내부에 고착화되어 배기관을 막는 현상인데, 이는 공정가스의 압력조절과 연관되어 공정챔버에서의 공정에서 여러가지 문제점을 발생시키고, 심하면 결국 반도체 공정의 가동을 중단시키게 되어 많은 손실을 발생시킨다. This by-product gas creates various problems inside the discharge path. The biggest problem is that various by-product gases are chemically reacted and solidified, which causes them to solidify inside the exhaust pipe and block the exhaust pipe, which causes various problems in the process chamber in connection with the pressure control of the process gas. Shutting down the semiconductor process causes a lot of losses.

이를 방지하기 위해, 같은 부산물 가스의 배출경로에는 펌프(3), 스크러버(scrubber,4) 및 기타 밸브 등 다양한 부속장치를 거치면서 부산물가스의 고착현상을 방지하는 여러 단계를 추가하는 기술이 사용되고 있다. 이러한 단계는 히팅단계를 포함한다. 즉 어느정도의 외부 에너지를 줌으로서 기체상태를 유지하게 만들어 부산물가스의 배관내부에 고착현상을 방지하는 것이다. 즉 부산물 가스의 배출경로에는 대부분 이러한 히팅기능을 하는 공정배기관이 설치되어 있다.In order to prevent this, a technology of adding various steps to prevent the by-product gas sticking through various accessory devices such as a pump (3), a scrubber (4), and other valves is used in the discharge path of the same by-product gas. . This step includes a heating step. In other words, by providing a certain amount of external energy to maintain the gas state to prevent the sticking phenomenon in the piping of the by-product gas. In other words, process exhaust pipes having such a heating function are installed in the discharge path of the by-product gas.

그러나, 상기와 같은 종래의 부산물가스 배출 경로에 설치된 기존의 공정 배기관은 다음과 같은 문제점이 있다.However, the existing process exhaust pipe installed in the conventional by-product gas discharge path as described above has the following problems.

첫째, 배기설비의 구조 및 위치 변경에 많은 비용이 든다. 종래의 공정 배기관은 일반적인 합성수지 및 금속으로 된 배관에 전기 열선을 권선한 형태가 대부분이다. 이러한 종래의 공정배기관은 부속장치(3,4)들의 구조 및 위치가 변경되거나 혹은 새로운 부속장치가 추가되면 권선 및 배관을 해체하고 재조립 및 재권선을 반복해야한다. 특히 이러한 작업은 기존의 설비의 유지보수작업시에도 발생하며, 또한 안전을 위해 기존 부산물 가스의 완전 배출을 염두에 두고 하는 것이기 때문에 시간 및 비용이 더욱 증가시킨다. First, it is expensive to change the structure and location of the exhaust system. The conventional process exhaust pipe is a type in which electric heating wire is wound around a pipe made of general synthetic resin and metal. This conventional process exhaust pipe has to disassemble the windings and pipes and repeat the reassembly and rewinding when the structure and position of the accessories 3, 4 are changed or new accessories are added. This is especially true for the maintenance of existing installations, and further increases the time and cost, because the safety of the existing by-product gas is to be kept in mind.

둘째, 기존 배관 및 히팅장치들 재활용할 수 없어 이중 비용이 발생한다. 펌프, 밸브 및 스크러버 등 부산물 가스의 배출경로에 존재하는 부속장치들의 위치가 변경되면, 기존의 배관을 사용할 수 있는 경우가 없는 경우도 있다. 즉 배관의 길이, 직경 및 형태 중 어느하나라도 변하게 되면 기존의 배관은 쓸모없게되고 새로운 배관을 재 제작해야 한다. 또한 전기열선 및 기타 부속들도 마찬가지이다. 이것은 재료 및 제조단가의 이중투자의 문제점이 발생한다.Second, existing pipes and heating equipment can not be recycled, resulting in double costs. If the location of accessories in the by-product gas discharge path, such as pumps, valves and scrubbers, is changed, existing pipes may not be available. In other words, if any of the lengths, diameters and shapes of pipes change, existing pipes become useless and new pipes must be rebuilt. The same applies to electric heating wires and other accessories. This causes a problem of double investment of material and manufacturing cost.

셋째, 기존 배관은 그 연결구조에 한계가 있어 부산물의 고착현상을 심화시킨다. 기존 배관 구조는 다수의 직선배관과 이들의 연결부분에 설치하는 트랩형태의 부속들의 결합으로 이루어지는 것이 일반적이다. 그러나 이러한 연결부속들은 다양한 각도로 생산되는 것이 아니기 때문에 결국 연결된 배관의 형태는 일반적으로 90 도 및 45 도의 연결부가 여러부분에 존재하는 다소 복잡한 구조가 될 가능성이 많다. 복잡하거나 각도가 큰 배관 구조는 유체흐름에 저항으로 작용하기 때문에 결국 이러한 종래의 배관은 상기 부산물의 고착 및 누적현상을 심화시키는 문제점을 가진다.
Third, existing pipes have limitations in their connection structure, which deepens the sticking phenomenon of by-products. Existing piping structure is generally composed of a combination of a plurality of straight pipes and trap-type parts installed in their connection portion. However, since these connecting parts are not produced at various angles, the shape of the connected pipe is likely to be a rather complicated structure in which the connection parts of 90 and 45 degrees are generally present in various parts. Since complex or angled pipe structures act as resistance to fluid flow, these conventional pipes have a problem of deepening the sticking and accumulation of the by-products.

따라서 본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 반도체 공정의 부산물 배출경로가 수정 및 재배치되는 경우에도 이에 따라 재배치 및 설치가 용이한 반도체 공정 부산물 가스 배기관에 관한 것이다.Accordingly, the present invention has been made to solve the above problems, the object of the present invention relates to a semiconductor process by-product gas exhaust pipe that is easy to be relocated and installed accordingly even if the by-product discharge path of the semiconductor process is modified and rearranged.

전술한 과제흘 해결하기 위한 본 발명은, 반도체 공정의 부산물 가스를 배기하는 공정 배기관(100)으로서, 관형상의 부재로서 스텐레스스틸재질로 형성되며 상기 관형상의 연장방향에 대해 수직으로 주름진 형상의 주름연결관(10); 전기도통가능한 전선형상의 부재로서, 상기 주름연결관(10)의 외부에 권선되는 열선(20); 및 유연성이 있는(flexible) 단열성재질로 형성되는 배관형상의 부재로서, 상기 권선된 열선(20)의 외주면에 도포되어 위치하는 단열재층 (30) 을 포함하는 것을 특징으로 한다.The present invention for solving the above-described problems, the process exhaust pipe 100 for exhausting the by-product gas of the semiconductor process, formed of stainless steel as a tubular member of the corrugated shape perpendicular to the extending direction of the tubular shape Corrugated pipe (10) ; An electrically conductive wire-shaped member, the heating wire (20) wound outside the corrugated connector (10 ); And a pipe-shaped member formed of a flexible heat insulating material, the heat insulating material layer 30 being applied to and positioned on the outer circumferential surface of the wound heating wire 20.

일 실시예에서, 상기 단열재층(30)은, 글라스울 재질의 부재로서 상기 열선의 외부에 접하여 도포되는 제1단열재층 (31); 알루미늄박막형상의 부재로서, 상기 제1단열재층의 외부에 접하여 피막형태로 도포된 제2단열재층 (32); 실리콘재질의 부재로서, 상기 제2단열재층의 외부에 도포되는 제3단열재층 (33)을 한다.In one embodiment, the heat insulating material layer 30, the first insulating material layer 31 is applied in contact with the outside of the heating wire as a member of the glass wool material ; An aluminum thin film member, the second insulating material layer 32 being coated in a film form in contact with the outside of the first insulating material layer ; As the silicon material member, a third heat insulating material layer 33 applied to the outside of the second heat insulating material layer is used.

일 실시예에서, 상기 열선(20)은, 상기 주름연결관의 상기 주름진 형상의 골 부분에 권선되는 것을 특징으로 한다.In one embodiment, the heating wire 20 is characterized in that wound around the corrugated bone portion of the corrugated connector.

일 실시예에서, 상기 주름연결관(10)은, 관형상의 부재로서 스텐레스스틸재질로 구성되며 관의 진행방향에 대해 수직으로 주름진 형상의 적어도 하나이상의 하위주름연결관( 12a, 12b,...)를 포함하고, 상기 하위주름연결관(12a,12b,...)의 일단의 단면부가 서로 대향하는 타단의 단면부와 서로 용접으로 결합하고, 상기 열선(20) 및 단열재층(30)은 상기 결합된 하위주름연결관의 외부에 전체적으로 도포되어 위치하는 것을 특징으로 한다.In one embodiment, the corrugated connector 10 is made of a stainless steel material as a tubular member and at least one lower corrugated connector 12a, 12b, .. corrugated perpendicular to the direction of travel of the tube . .) , And the end surface portion of one end of the lower wrinkle connection pipe (12a, 12b, ...) and the other end of the other end facing each other by welding to each other, the heating wire 20 and the heat insulating material layer (30) Is characterized in that the entire application is located on the outside of the combined lower fold connector.

일 실시예에서, 상기 하위주름연결관(12)은, 상기 하위주름연결관의 일단이 상기 하위주름연결관의 연장방향에 대해 수직방향으로 돌출형성된 형상의 단면용접부(13)를 더 포함하고, 상기 단면용접부끼리 용접됨으로써 서로 다른 하위주름연결관이 연결되는 것을 특징으로 한다.In one embodiment, the lower pleated connector 12 further includes a cross-sectional weld 13 of the one end of the lower pleated connector tube protruded in a direction perpendicular to the extending direction of the lower pleated connector, By welding the cross-section welds are characterized in that the different lower corrugated connection pipe is connected.

일 실시예에서, 상기 주름연결관(10)은, 관형상의 부재로서, 스텐레스재질로 구성되며 상기 관형상의 진행방향에 대해 주름진 형상의 내부주름연결관(42); 상기 내부주름연결관의 외부에서 상기 내부주름연결관을 도포하는 형상으로 위치하는 관형상의 부재로서, 스텐레스재질로 구성되며 상기 관형상의 진행방향에 대해 주름진 형상의 외부주름연결관(44)을 포함하고, 상기 열선(20)은 상기 내부주름연결관(42)과 상기 외부주름연결관(44)의 사이에 권선되어 위치하고, 상기 단열재층(30)은 상기 외부주름연결관(44)의 외부에 도포되는 것을 특징으로 한다.In one embodiment, the corrugated connecting tube 10 is a tubular member, made of a stainless material and corrugated inner corrugated connecting tube 42 with respect to the tubular traveling direction; A tubular member positioned in a shape of applying the inner pleated connector in the outer side of the inner pleated connector, consisting of a stainless material and corrugated in the shape of the tubular traveling direction 44 It includes, the heating wire 20 is wound between the inner fold connecting pipe 42 and the outer fold connecting pipe 44, the insulation layer 30 is the outside of the outer fold connecting pipe 44 It is characterized by being applied to.

일 실시예에서, 상기 외부주름연결관에 형성된 주름의 간격(d2)은 상기 내부주름연결관에 형성된 주름의 간격(d1)보다 크게 형성된 것을 특징으로 한다.In one embodiment, the gap (d2) of the wrinkles formed in the outer wrinkle connecting tube is characterized in that formed larger than the gap (d1) of the wrinkles formed in the inner wrinkle connecting tube.

일 실시예에서, 상기 외부주름연결관에 형성된 주름의 간격(d2)은 상기 내부주름연결관에 형성된 주름의 간격(d1)의 정수배인것을 특징으로 한다.In one embodiment, the interval d2 of the pleats formed in the outer wrinkle connecting tube is an integer multiple of the interval d1 of the pleats formed in the inner wrinkle connecting tube.

일 실시예에서, 상기 열선(20)이 권선된 횟수는, 상기 배기관의 유입부(P1)에 위치하는 열선의 권선 수보다 상기 공정배기관의 유출부(P2)에 위치하는 열선의 권선수가 큰 것을 특징으로 한다.In one embodiment, the number of turns of the heating wire 20 is larger than the number of winding of the heating wire located in the inlet (P1) of the exhaust pipe that the number of turns of the heating wire located in the outlet (P2) of the process exhaust pipe. It features.

본 발명에 의하면, 내부배관이 주름관으로 형성되어 있고 외부배관도 유연성이 있는 재료로 형성되기 때문에 결과적으로 배기관전체가 유연성을 가지게 되어 사용자가 마음대로 곡면을 형성할 수 있다. 즉 배기관의 최초설치에서 유연성을 제공하므로 설치 및 재설치시에 시간 및 비용이 감소한다. 또한 자유로운 공간설계로 인해 작업장을 효율적으로 사용할 수 있다. According to the present invention, since the inner pipe is formed of a corrugated pipe and the outer pipe is also formed of a flexible material, the entire exhaust pipe has flexibility, thereby allowing the user to form a curved surface at will. This provides flexibility in the initial installation of the exhaust pipe, reducing time and cost during installation and reinstallation. In addition, the free space design allows efficient use of the workplace.

또한 본 발명에 의하면, 기존의 설비 즉 펌프, 밸브, 스크러버등의 부속장비의 구조 및 위치변경이 요구되는 경우에도 기존 배기관 및 부속장비를 그대로 재활용할 수 있기 때문에, 반도체 공장의 설비의 변경시 재료비 및 재조립 시간이 현저히 감소된다. In addition, according to the present invention, even if the structure and location of the existing equipment, such as pumps, valves, scrubbers, and the like is required to change the existing exhaust pipe and attached equipment can be recycled as it is, material costs when changing the equipment of the semiconductor factory And reassembly time is significantly reduced.

또한 본 발명에 의하면, 배기관의 부산물 증착도가 현저히 감소된다. 이는 배기관의 자유로운 굴곡각도 선택가능성에 기인한다. In addition, according to the present invention, the degree of by-product deposition of the exhaust pipe is significantly reduced. This is due to the selectivity of the free bend angle of the exhaust pipe.

또한 본 발명에 의하면, 내부주름관 및 외부주름관의 조합에 의해 굴국형성이 더욱 용이해지고 강도를 유지할 수 있다.In addition, according to the present invention, by the combination of the inner pleated tube and the outer pleated tube can be formed more easily and maintain the strength.

또한 본 발명에 의하면, 내부 및 외부주름관의 조합시에 주름관의 간격을 외부주름관을 크게 함으로써 굴곡형성의 원할도를 증가시키고 내구성을 증가시킬 수 있다.In addition, according to the present invention, when the inner and outer corrugated pipes are combined, the gap between the corrugated pipes and the outer corrugated pipes can be increased to increase the degree of smoothing and to increase durability.

또한 본 발명에 의하면, 배기관의 유입부와 유출부의 권선수를 서로 상이하게 함으로써 열전달 효율 및 그 제어효율을 극대화할 수 있다.
In addition, according to the present invention, the number of windings of the inlet and outlet of the exhaust pipe are different from each other to maximize the heat transfer efficiency and the control efficiency thereof.

도 1 은 반도체 공정의 부산물 가스가 배출되는 경로를 나타내는 도면이다.
도 2 및 도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 부산물 가스 공정 배기관(100)을 나타내는 외관사시도 및 분해사시도이다.
도 4 는 주름연결관(10)의 사시도이다.
도 5는 도 4의 주름연결관의 주름부분의 확대도이다.
도 6은 본 발명에 따른 부산물 가스 배기관의 투시도이다.
도 7은 본 발명의 효과를 나타낸 도면으로서, 구현가능한 배관구조의 비교예이다.
도 8은 본 발명의 제2실시예에 따른 부산물 가스 배기관의 단면도이다.
도 9 은 도 8의 실시예에 따른 주름연결관의 사시도이다.
도 10는 도 8의 실시예의 주름연결관의 연결부분의 확대도이다.
도 11은 본 발명의 제2실시예에 따른 부산물가스 배기관의 단면도이다.
도 12는 본 발명의 제3실시예에 따른 부산물가스 배기관의 단면도이다.
도 13은 본 발명의 제4실시예에 따른 부산물가스 배기관의 단면도이다.
도 14는 본 발명의 제5실시예에 따른 부산물가스 배기관의 단면도이다.
도 15는 본 발명의 다양한 실시예로서 주름관 단면의 다양한 형태를 나타내는 도면이다.1 is a diagram illustrating a path through which a by-product gas of a semiconductor process is discharged.
2 and 3 are an external perspective view and an exploded perspective view showing the by-product gas process exhaust pipe 100 according to the first embodiment of the present invention.
4 is a perspective view of the corrugated connector 10.
5 is an enlarged view of a wrinkled portion of the corrugated connector of FIG. 4.
6 is a perspective view of a by-product gas exhaust pipe according to the present invention.
7 is a view showing the effect of the present invention, a comparative example of the piping structure that can be implemented.
8 is a cross-sectional view of the by-product gas exhaust pipe according to the second embodiment of the present invention.
9 is a perspective view of the corrugated connector according to the embodiment of FIG.
10 is an enlarged view of a connection portion of the corrugated connector of the embodiment of FIG.
11 is a cross-sectional view of the by-product gas exhaust pipe according to the second embodiment of the present invention.
12 is a cross-sectional view of the by-product gas exhaust pipe according to the third embodiment of the present invention.
13 is a cross-sectional view of the by-product gas exhaust pipe according to the fourth embodiment of the present invention.
14 is a cross-sectional view of the by-product gas exhaust pipe according to the fifth embodiment of the present invention.
15 is a view illustrating various forms of corrugated pipe cross section as various embodiments of the present invention.

이하 본 발명의 실시예를 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described.

도 2 및 도 3은 본 발명의 2 and 3 of the present invention 제1실시예에In the first embodiment 따른 부산물 가스 공정 배기관(100)을 나타내는  Showing by-product gas process exhaust pipe 100 according to 외관사시도Appearance 및  And 분해사시도이고It is an exploded perspective view. , 도 4 는 주름연결관(10)의 4 is a corrugated connector 10 사시도이고Perspective view , 도 5는 도 4의 주름연결관의 주름부분의 5 is a corrugated portion of the corrugated connector of FIG. 확대도이고It is an enlarged view , 도 6은 본 발명에 따른 부산물 가스 배기관의 투시도이고, 도 7은 본 발명의 효과를 나타낸 도면으로서, 구현가능한 배관구조의 6 is a perspective view of a by-product gas exhaust pipe according to the present invention, and FIG. 7 is a view showing the effect of the present invention, which is a pipe structure that can be implemented. 비교예이다It is a comparative example ..

도 2 에 나타난 바와 같이, 본 발명에 따른 반도체 공정 부산물 가스 공정 배기관(100)은, 주름연결관(10), 열선(20) 및 단열재층(30)을 포함한다.As shown in FIG. 2, the semiconductor process byproduct gas process exhaust pipe 100 according to the present invention includes a corrugated connection pipe 10, a heating wire 20, and a heat insulation layer 30.

주름연결관(10)은, 도 4에 나타난 바와 같이, 관형상의 부재로서 스텐레스스틸재질로 형성되며 상기 관의 연장방향에 대해 수직으로 주름진 형상을 포함한다. Corrugated connection tube 10, as shown in Figure 4, is formed of a stainless steel material as a tubular member and includes a corrugated shape perpendicular to the extending direction of the tube.

도 4에 나타난 바와 같이 주름연결관의 각 말단은 주름이 형성되어 있지 않은데 그 이유는 첫째 말단은 굴곡진 모양을 형성할 필요가 없기 때문에 주름형상이 필요하지 않고 둘째 오히려 말단은 외부에 노출되는 부분으로서 어느정도 강도를 유지할 필요가 있기 때문이다. As shown in Figure 4, each end of the corrugated pipe is not wrinkled because the first end does not need to form a curved shape, so the wrinkle shape is not necessary and the second rather end is exposed to the outside This is because it is necessary to maintain the strength to some extent.

주름연결관의 내부는 내부코팅제의 화합물로 도포되어 있다. 이 화합물은 불소수지, palylene, DIX 등을 포함한다. 부산물 가스에 의해 주름연결관이 화학적으로 훼손되는 것을 방지하기 위함이다.The inside of the corrugated connector is coated with a compound of an inner coating agent. This compound includes fluororesin, palylene, DIX and the like. This is to prevent the corrugated pipe from being chemically damaged by the by-product gas.

바람직한 실시예에서, 주름연결관의 직경은 30mm 내지 300mm 이다. In a preferred embodiment, the diameter of the corrugated connector is 30mm to 300mm.

바람직한 실시예에서, 주름부분의 두께는 0.1 내지 0.5 mm 이고, 말단부분의 두께는 1 내지 4mm 이다. 주름부분의 두께가 얇은 것은 강도보다는 유연성이 더 요구되기 때문이고, 말단부분의 두께가 두꺼운 것은 유연성보다는 강도가 더 요구되기 때문이다. 한편 주름부분의 두께는 설치 및 곡면형성에 있어서 필요한 최소한의 강도를 달성하는 두께로서 선택된 두께이다.In a preferred embodiment, the thickness of the corrugations is between 0.1 and 0.5 mm and the thickness of the distal ends is between 1 and 4 mm. The thinner the pleats, the greater the flexibility than the strength, and the thicker the end of the thicker than the flexibility. On the other hand, the thickness of the pleats is the thickness selected as the thickness to achieve the minimum strength required for installation and curved surface formation.

열선(20)은 전기도통가능한 전선형상의 부재로서, 상기 주름연결관의 외부에 권선된다. 열선은 구리등 금속성 부재와 외부 피복부재로 형성된다. The heating wire 20 is an electrically conductive wire-shaped member and is wound outside the corrugated connector. The heating wire is formed of a metallic member such as copper and an outer covering member.

단열재층(30)은 단열성재질로 형성되는 배관형상의 부재로서, 상기 권선된 열선(20)의 외주면에 도포되어 위치한다. 여기서 단열성재질은 유리섬유, 실리콘등을 유연성이 있는(flexible) 포함한다.The heat insulating material layer 30 is a tubular member formed of a heat insulating material, and is coated and positioned on the outer circumferential surface of the wound heating wire 20. Here, the insulating material includes glass fiber, silicon, and the like (flexible).

일 실시예에서, 도 3에 나타난 바와 같이, 상기 단열재층(30)은 제1단열재층(31), 제2단열재층(32) 및 제3단열재층(33)을 포함한다.In one embodiment, as shown in FIG. 3, the insulation layer 30 includes a first insulation layer 31, a second insulation layer 32, and a third insulation layer 33.

제1단열재층(31)은 글라스울(glass wool)재질의 부재로서 상기 열선(20)의 외부에 접하여 도포된다. 글라스 울(glass wool)은 울등의 섬유성재질의 내부에 유리성분이 포함된 것으로서 단열성이 뛰어나기 때문에 전도에 의한 열손실을 방지한다.The first insulation layer 31 is applied to the outside of the heating wire 20 as a member of glass wool (glass wool) material. Glass wool (glass wool) is a glass component contained in the interior of the fibrous material, such as wool, and excellent heat insulation to prevent heat loss due to conduction.

제2단열재층(32)은 알루미늄박막형상의 부재로서, 상기 제1단열재층의 외부에 접하여 피막형태로 도포된다. 제2단열재층(32)은 알루미늄박막형상의 부재이므로 주로 열복사를 차단하는 열반사 단열기능을 한다.The second heat insulating material layer 32 is a member of an aluminum thin film shape and is coated in a film form in contact with the outside of the first heat insulating material layer. Since the second heat insulating material layer 32 is an aluminum thin film member, the second heat insulating material layer 32 mainly functions as a heat reflection insulating material that blocks heat radiation.

제3단열재층(33)은 실리콘재질의 부재로서, 상기 제2단열재층의 외부에 도포된다. 실리콘은 단열성도 어느정도 가지면서 외부 마모 및 내부피복을 보호할 수 있는 기능이 있기 때문에 단열재층(33)의 최외부에 위치하기에 적합하다. 또한 실리콘은 점성이 높은 액상의 형태에서 경화를 거쳐 최종적인 배관형태로 가공이 용이하기 때문에 제3단열재층으로 적합하다. The third insulation layer 33 is a member made of silicon and is applied to the outside of the second insulation layer. Silicon is suitable for being located at the outermost part of the heat insulating material layer 33 because it has a function to protect external wear and internal coating while having some heat insulation. In addition, silicone is suitable for the third insulation layer because it is easy to process into a final pipe form after curing in the form of a highly viscous liquid.

본 실시예에 따르면, 단열재층이 각각의 독립적인 기능을 하는 3개의 층으로 분리되어 구성되므로, 열선의 단열기능이 향상되어 배기관의 히팅기능이 향상되고 그 결과 부산물가스의 증착현상을 더욱 효율적으로 방지할 수 있다.According to this embodiment, since the insulation layer is divided into three layers each having an independent function, the insulation function of the heating wire is improved to improve the heating function of the exhaust pipe, and as a result, the deposition phenomenon of the by-product gas is more efficiently. It can prevent.

도 5에 나타난 바와 같이, 바람직한 실시예에서, 열선은 상기 주름연결관의 주름의 골에 권선된다. 이유는 권선위치가 골에 가까울수록 열선과 주름연결관의 접촉면적이 증가하여 열전도 효율이 증가하기 때문이다. As shown in Fig. 5, in a preferred embodiment, the heating wire is wound around the corrugations of the corrugated pipe. The reason is that the closer the winding position is to the valley, the more the contact area between the hot wire and the corrugated connector increases and the heat conduction efficiency increases.

또한, 주름연결관의 주름길이(d) 는 2mm 내지 10mm 가 바람직하다. 이는 너무 크면 배기관의 곡면형성이 작업자에 의해 용이하지 않거나 곡률반경이 너무 증가하기 때문이고, 너무 얇으면 주름연결관의 두께를 얇게 제작하여야 하는 바 주름연결관의 강도가 현저히 감소하기 때문이다. In addition, the wrinkle length (d) of the corrugated pipe is preferably 2mm to 10mm. This is because if the curvature of the exhaust pipe is too large or the curvature radius is increased too much, if it is too large, the thickness of the corrugated pipe is significantly reduced.

도 6은 도 2의 실시예의 투시도이다. 주름연결관의 말단은 단열재층(30)의 외부에 노출되고, 열선(20)은 단열재층의 내부에 포함된다. 또한, 열선을 외부에 연결하는 단자(64)는 단열재층의 외부에 노출되며, 필요시 주름연결관의 온도를 측정하기 위한 온도센서(62)가 주름연결관의 외부표면에 장착가능하다. 6 is a perspective view of the embodiment of FIG. 2 . The end of the corrugated connector is exposed to the outside of the heat insulating material layer 30, the heating wire 20 is included inside the heat insulating material layer. In addition, the terminal 64 for connecting the heating wire to the outside is exposed to the outside of the heat insulating material layer, if necessary, a temperature sensor 62 for measuring the temperature of the corrugated connector can be mounted on the outer surface of the corrugated connector.

도 7은 본 발명의 효과를 나타낸 도면으로서, 구현가능한 배관구조의 7 is a view showing the effect of the present invention, the piping structure that can be implemented 비교예이다It is a comparative example ..

본 발명에 의하면, 내부배관이 주름관으로 형성되어 있고 외부배관도 유연성이 있는 재료로 형성되기 때문에 결과적으로 배기관전체가 유연성을 가지게 되어 사용자가 마음대로 곡면을 형성할 수 있다. 즉 배기관의 최초설치에서 유연성을 제공하므로 설치 및 재설치시에 시간 및 비용이 감소한다. 또한 자유로운 공간설계로 인해 작업장을 효율적으로 사용할 수 있다. According to the present invention, since the inner pipe is formed of a corrugated pipe and the outer pipe is also formed of a flexible material, the entire exhaust pipe has flexibility, thereby allowing the user to form a curved surface at will. This provides flexibility in the initial installation of the exhaust pipe, reducing time and cost during installation and reinstallation. In addition, the free space design allows efficient use of the workplace.

또한 본 발명에 의하면, 기존의 설비 즉 펌프, 밸브, 스크러버등의 부속장비의 구조 및 위치변경이 요구되는 경우에도 기존 배기관 및 부속장비를 그대로 재활용할 수 있기 때문에, 반도체 공장의 설비의 변경시 재료비 및 재조립 시간이 현저히 감소된다. In addition, according to the present invention, even if the structure and location of the existing equipment, such as pumps, valves, scrubbers, and the like is required to change the existing exhaust pipe and attached equipment can be recycled as it is, material costs when changing the equipment of the semiconductor factory And reassembly time is significantly reduced.

또한 본 발명에 의하면, 배기관의 부산물 증착도가 현저히 감소된다. 이는 배기관의 자유로운 굴곡각도 선택가능성에 기인한다. 도 7은 종래(왼쪽)와 본 발명(오른쪽)의 구현가능한 배관구조를 도시한 그림이다. 즉 기존의 배관은 그 배관구조가 배관과 연결부재의 연결에 의존해야했었고 연결부재에 의해 선택가능한 굴곡각도가 45 및 90 정도로 제한적이어서 상대적으로 굴곡진 면이 많고 각도가 커서 유체의 속도가 현저히 감소하여 부산물가스의 증착도가 상대적으로 높았다. 그러나 본 발명에 의하면 예를들면 45도->90도->45도로 구현해야할 배관구조를 전체적으로 비스듬히 75도->75도 구성가능하기 때문에 굴곡진 부분의 개수 및 그 각도가 현저히 감소하여 유체 즉 부산물가스의 진행속도를 향상시켜 부산물가스가 증착되는 정도를 현저히 감소시킬 수 있다. 특히, 특정한 한곳을 굴곡시키지 않고 도를 더욱 증가시킬 수 있어 부산물가스의 증착되는 정도가 현저히 감소된다.In addition, according to the present invention, the degree of by-product deposition of the exhaust pipe is significantly reduced. This is due to the selectivity of the free bend angle of the exhaust pipe. 7 is a view showing a pipe structure that can be implemented in the prior art (left) and the present invention (right). In other words, the existing pipe had to rely on the connection between the pipe and the connecting member, and the selectable bending angle by the connecting member was limited to 45 and 90, so that the curved surface was relatively large and the angle was large, which significantly reduced the fluid velocity. As a result, the degree of deposition of by-product gas was relatively high. However, according to the present invention, since the piping structure to be implemented, for example, 45 degrees-> 90 degrees-> 45 degrees, can be configured at an angle of 75 degrees-> 75 degrees as a whole, the number and angles of the bent portions are significantly reduced, so that the fluid It is possible to significantly reduce the degree of deposition of the by-product gas by improving the gas traveling speed. In particular, the degree can be further increased without bending one particular location, and the degree of deposition of by-product gas is significantly reduced.

도 8은 본 발명의 FIG. 8 is a cross- 제2실시예에In the second embodiment 따른 부산물 가스 배기관의 단면도이고, 도 9 은 도 8의  9 is a cross-sectional view of the by-product gas exhaust pipe, and FIG. 실시예에Example 따른 주름연결관의  Of corrugated connectors 사시도이고Perspective view , 도 , Degree 10는10 is 도 8의  Of FIG. 8 실시예의Example 주름연결관의 연결부분의  Of the connection part of the crimp connector 확대도이다It is an enlarged view ..

본 실시예에서, 상기 주름연결관(10)은, 도 9에 나타난 바와 같이 적어도 하나이상의 하위주름연결관(12a,12b,...)를 포함하고, 상기 하위주름연결관의 일단의 단면부는 서로 대향하는 타단의 단면부와 서로 용접함으로서 결합하는 것을 특징으로 한다. 이때 하위주름연결관은 관형상의 주재로서 관의 연장방향으로 주름이 형성되어 있다.In the present embodiment, the corrugated connector 10 includes at least one lower corrugated connector 12a, 12b, ..., as shown in Figure 9, the end of the end portion of the lower corrugated connector It is characterized in that the coupling by welding the cross-section portion of the other end facing each other with each other. At this time, the lower wrinkle connecting pipe is a tubular main material is formed in the wrinkles in the extension direction of the pipe.

본 실시예에서, 단열재층(30)은 도 8에 나타난 바와 같이 상기 결합된 여러개의 하위주름연결관의 외부에 전체적으로 도포되어 위치한다. 여기서 여러개의 하위주름연결관이라 함은 하나의 배관을 형성하는 단위로서 포함되고 연결된 하위주름연결관 모두를 의미한다. 즉 단열단위를 의미한다.In this embodiment, the heat insulating material layer 30 is located as a whole is applied to the outside of the plurality of lower corrugated connection pipes as shown in FIG. Here, a plurality of sub-wrinkle connectors means all of the sub-wrinkle connectors that are included and connected as a unit forming a single pipe. That is, it means a thermal insulation unit.

본 실시예에 의하면, 배관길이가 증가되는 경우에도 하위주름연결관의 내부코팅제의 코팅작업이 용이하다. 전술한 바와 같이 주름연결관의 내부에는 불소수지등의 내부코팅제가 도포된다. 그러나 주름연결관의 길이가 증가하면 내부코팅제의 도포작업이 불가능해진다. 배관형상의 좁은 면적에 도포작업시 노즐에 의한 도포가능길이에 한계가 있기 때문이다. 특히 주름연결관의 내부는 주름형상이므로 이러한 현상은 더욱 증가한다. 본 실시예는 하나의 작은 길이로 구성된 즉 내부코팅제의 도포작업이 가능한 최대길이로 구성된 하위주름연결관을 복수개를 연결함으로써 이러한 문제를 해결하였다. According to this embodiment, even when the length of the pipe is increased, it is easy to coat the inner coating agent of the lower wrinkle connecting pipe. As described above, an inner coating agent such as a fluororesin is applied to the inside of the corrugated connector. However, if the length of the corrugated pipe is increased, the coating operation of the inner coating agent is impossible. This is because there is a limit to the coatable length by the nozzle when applying to a narrow area of pipe shape. In particular, since the inside of the corrugated pipe is wrinkled, this phenomenon is further increased. The present embodiment solves this problem by connecting a plurality of lower fold connecting pipe composed of one small length, that is, the maximum length capable of applying the inner coating agent.

또한, 여러개의 하위주름연결관을 연결하는 경우에도 열선 및 단열재층은 상기 하위주름연결관의 외부에 전체적으로 도포되도록하여 열전도의 효율성이 증가시켰다.
In addition, even when connecting a plurality of sub-wrinkle tube, the heating wire and the insulation layer is to be applied to the outside of the sub-wrinkle tube as a whole to increase the efficiency of heat conduction.

도 11은 본 발명의 Fig. 제2실시예에In the second embodiment 따른 부산물가스 배기관의 단면도이다. The cross-sectional view of the by-product gas exhaust pipe according to.

본 실시예에 의하면, 상기 하위주름연결관(12)은, 상기 하위주름연결관의 일단이 상기 하위주름연결관의 연장방향에 대해 수직방향으로 돌출형성된 형상의 단면용접부(13)를 더 포함한다. 이때 각각의 하위주름연결관은 서로 대향하는 상기 단면용접부(13)끼리 용접된다.According to the present embodiment, the lower wrinkled connection pipe 12 further includes a cross-sectional weld 13 having a shape in which one end of the lower wrinkled connection pipe protrudes in a direction perpendicular to the extending direction of the lower wrinkled connection pipe. . At this time, each of the lower corrugated connection pipe is welded to each other the cross-sectional welding portion 13 facing each other.

본 실시예에 의하면, 용접을 위한 공간이 제공되어 하위주름연결관의 결합이 보다 용이해진다. 하위주름연결관의 연결은 용접으로 달성되는데 일반적으로 하위주름연결관의 두께는 매우작으므로 용접작업이 원할하지 않다. 본 실시에는 용접면적(A)을 증가시켜 이러한 문제를 해결하였다.
According to this embodiment, a space for welding is provided to facilitate the coupling of the lower pleated connector. The connection of the sub-pleated connector is achieved by welding. Generally, the thickness of the sub-pleated connector is very small, so welding is not desired. In this embodiment, this problem is solved by increasing the welding area (A).

도 12는 본 발명의 Fig. 12 is a cross- 제3실시예에In the third embodiment 따른 부산물가스 배기관의 단면도이다. The cross-sectional view of the by-product gas exhaust pipe according to.

본 실시예의 주름연결관(10)은 내부주름연결관(42) 및 외부주름연결관(44)을 포함한다. Corrugated connection pipe 10 of the present embodiment includes an inner wrinkle connection pipe 42 and the outer wrinkle connection pipe (44).

내부주름연결관(42)은, 관형상의 부재로서, 스텐레스재질로 구성되며 관의 진행방향에 대해 주름진 형상이다. The inner corrugated connecting pipe 42 is a tubular member, which is made of stainless material and is corrugated in the traveling direction of the pipe.

외부주름연결관(44)은, 상기 내부주름연결관의 외부에서 상기 내부주름연결관을 도포하는 형상으로 위치하는 관형상의 부재로서, 스텐레스재질로 구성되며 관의 진행방향에 대해 주름진 형상이다. The outer wrinkle connecting pipe 44 is a tubular member positioned in a shape to apply the inner wrinkle connecting pipe from the outside of the inner wrinkle connecting pipe, and is made of stainless material and has a corrugated shape with respect to the advancing direction of the pipe.

여기서, 열선(20)은 상기 내부주름연결관(42)과 상기 외부주름연결관(44)의 사이에 권선되고, 상기 단열재층(30)은 상기 외부주름연결관(44)의 외부에 도포되어 있다. Here, the heating wire 20 is wound between the inner wrinkle connection pipe 42 and the outer wrinkle connection pipe 44, the insulation layer 30 is applied to the outside of the outer wrinkle connection pipe 44 have.

일 실시예에서 내부 및 외부주름연결관의 말단은 서로 용접으로 결합한다. 용접부위(52)는 내부 및 외부주름연결관의 각각의 말단일 수도 있고, 외부주름연결관의 말단과 내부주름연결관의 말단부분이 시작되는 곳일 수 있다.In one embodiment the ends of the inner and outer corrugated connectors are welded to each other. The welding portion 52 may be each end of the inner and outer wrinkle connecting pipes, or may be where the end of the outer wrinkle connecting pipe and the end portion of the inner wrinkle connecting pipe start.

본 실시예에 의하면, 동일한 강도에 대해 주름동작이 원할하게 달성된다. 주름연결관의 강도를 증가시키기 위해서는 주름부위의 두께를 증가시켜야 하지만 이 경우 유연도가 감소된다. 반대의 경우에는 유연도가 증가하지만 외부 힘에 의해 훼손되기 쉽다. 본 실시예에서는 이를 보완하기 위해 얇은 두께의 주름연결관을 이중으로 중첩하여 배치하였다. 이로 인해, 얇은 두께를 유지함으로써 유연도는 감소되지 않으면서도, 이중으로 배치된 주름연결관에 의해 전체적인 강도 및 내구성은 증가하였다. According to this embodiment, the corrugation operation is smoothly achieved for the same intensity. In order to increase the strength of the corrugated pipe, it is necessary to increase the thickness of the corrugated portion, but in this case, the flexibility is reduced. In the opposite case, flexibility increases, but is easily damaged by external forces. In this embodiment, in order to compensate for this, a thin corrugated pipe is overlapped and disposed. As a result, the overall strength and durability are increased by the double-arranged corrugated pipe without reducing the softness by maintaining a thin thickness.

또한 본 실시예에 의하면, 열선이 내부 및 외부주름연결관에 의해 하부 및 상부에서 둘러싸이기 때문에 열손실이 감소하고 그 결과 히팅성능이 증가되어 부산물 가스의 증착도가 감소한다.In addition, according to the present embodiment, since the hot wire is surrounded at the bottom and the top by the inner and outer corrugated connection pipe, the heat loss is reduced, and as a result, the heating performance is increased, thereby reducing the deposition degree of the by-product gas.

도 13은 본 발명의 FIG. 13 is a cross- 제4실시예에In the fourth embodiment 따른 부산물가스 배기관의 단면도이다. The cross-sectional view of the by-product gas exhaust pipe according to.

도 12의 변형된 실시예에서, 상기 내부 및 외부주름연결관에 형성된 주름의 간격은, 상기 외부주름연결관에 형성된 주름의 간격(d2)이 상기 내부주름연결관에 형성된 주름의 간격(d1)보다 크게 형성된 것을 특징으로 한다. In the modified embodiment of Figure 12, the interval of the pleats formed in the inner and outer fold connection tube, the spacing (d2) of the pleats formed in the outer pleat connector pipe gap (d1) It is characterized in that it is formed larger.

이 실시예에 의하면, 주름연결관의 굴곡작업의 원할성 및 유지성이 증가한다. 주름연결관이 이중으로 형성되는 경우 내부 및 외부주름연결관이 휘는 정도는 서로 상이하다. 즉 내부주름연결관의 직경(a1)이 외부주름연결관의 직경(a2)보다 작기 때문에, 내부주름연결관의 휘는 정도 즉 굴곡정도가 외부주름연결관의 휘는 정도가 더 급격하다. 따라서 본 실시예에서는 주름간격을 서로 상이함으로써 굴곡작업의 원할성을 증가시켰다.According to this embodiment, the smoothness and the retention of the bending work of the corrugated pipe increase. When the corrugated connector is formed in double, the degree of bending of the inner and outer wrinkle connector is different. That is, since the diameter (a1) of the inner wrinkle connection tube is smaller than the diameter (a2) of the outer wrinkle connector, the degree of bending of the inner wrinkle connector, that is, the degree of bending, is more rapid. Therefore, in the present embodiment, the smoothness of the bending work was increased by different wrinkle intervals.

또한 이 실시예에 의하면, 내부주름연결관의 파손위험성이 감소되고 내구성이 증가한다. 내부 및 외부주름연결관의 주름간격을 동일하게 하는 경우, 작업자가 원하는 각도만큼 외부주름연결관을 굴곡시키면 내부주름연결관이 너무 과도화게 휘게 되어 내부주름연결관이 훼손되거나 적어도 내구성이 감소된다. 특히 내부주름연결관은 외부에서 보이지 않기 때문에 이러한 문제는 더욱 심각하다. 본 실시예에서는 주름간격을 외부가 내부보다 크게 함으로써 내부주름연결관의 휘는 정도의 한계를 두어 내부주름연결관의 파손위험성을 방지하고 내구성을 증가시켰다.In addition, according to this embodiment, the risk of breakage of the inner corrugated connection pipe is reduced and the durability is increased. In the case where the inner and outer corrugated pipes have the same crease spacing, if the operator bends the outer corrugated pipe by a desired angle, the inner corrugated pipe is bent too excessively and the inner corrugated pipe is damaged or at least reduced durability. This problem is particularly acute because the inner fold connector is not visible from the outside. In the present embodiment, the wrinkle interval is larger than the inside, thereby limiting the degree of bending of the inner pleated connector, preventing the risk of breakage of the inner pleated connector and increasing durability.

한편 또다른 실시예에서, 상기 외부주름연결관의 주름간격(d2)는 내부주름연결관의 주름간격(d1)의 정수배이다( 즉 d2 = k * d1, k는 정수).Meanwhile, in another embodiment, the pleat spacing d2 of the outer pleated connector is an integer multiple of the pleat spacing d1 of the inner pleated connector (ie, d2 = k * d1, k is an integer).

본 실시예에 의하면, 주름연결관의 굴곡작업의 원할도가 증가하고 내구성이 증가한다. 이는 정수배만큼 차이나는 주름간격의 조합으로 이루어진 주름연결관은 내부 및 외부가 동시에 굴곡될때 양자 모두 골진 부분에서 발생될 확률이 높기 때문이다. 예를 들면 외부주름관이 굴곡될때 사용자는 주름의 골부분을 펴거나 구부리는데, 이때 만약 굴곡되는 위치가 내부주름관이 골부분이 아니라면 굴곡작업에 힘이 더 들거나 적어도 주름연결관의 재료인 금속에 대한 피로도가 증가할 것이다. 따라서 본 실시예에서는 주름간격의 차이를 정수배로 함으로써 굴곡작업이 발생하는 위치가 양자모두 골부분에서 발생되게 함으로써 작업의 원할도와 주름연결관의 내구성을 향상시켰다.
According to this embodiment, the smoothness of the bending work of the corrugated pipe increases and the durability increases. This is because a corrugated pipe made of a combination of wrinkle intervals that differ by an integral multiple has a high probability of occurring in the corrugated part when both the inside and the outside are bent at the same time. For example, when the outer corrugation tube is bent, the user stretches or bends the corrugated portion of the corrugation, if the flexion position is not the inner corrugated tube, the bending work is more difficult or at least with respect to the metal that is the material of the corrugated tube. Fatigue will increase. Therefore, in the present embodiment, the difference between the wrinkle intervals is an integer multiple, so that both the positions where the bending work occurs are generated in the bone portion, thereby improving the workability and durability of the corrugated pipe.

도 14는 본 발명의 14 shows the present invention 제5실시예에In the fifth embodiment 따른 부산물가스 배기관의 단면도이다. The cross-sectional view of the by-product gas exhaust pipe according to.

본 실시예에서는 열선이 권선된 횟수가 주름연결관의 위치마다 상이하다. 즉 열선(30)이 권선된 횟수는 상기 본 발명의 배기관의 유입부(P1)에 위치하는 열선의 권선수(N1)보다 상기 배기관의 유출부(P2)에 위치하는 열선의 권선수(N2)가 더 큰 것을 특징으로 한다. In this embodiment, the number of turns of the heating wire is different for each position of the corrugated connector. That is, the number of turns of the heating wire 30 is the number of turns N2 of the heating wire located at the outlet P2 of the exhaust pipe rather than the number N1 of the heating wire located at the inlet P1 of the exhaust pipe of the present invention. It is characterized by a larger.

본 실시예에 의하면, 배기관의 히팅의 균일성이 증가하여 부산물가스의 증착정도를 더욱 효율적으로 감소시킬수 있다. 일반적으로 부산물 가스가 진행할수록 외부에 가까워지기 때문에 유체의 온도가 감소하는 것이 보통이다. 따라서 외부에 가까울수록 즉 유출부에 가까울수록 권선수를 증가시킴으로써 히팅의 균일성을 증가시켰다. 물론 온도센서를 통해 임계점까지 더 자주 내려가는 곳을 더 자주 히팅하는 제어를 할 수도 있지만, 제어자체가 비용이 드는바 되도록이면 제어에 의하 스위칭 작업의 횟수를 감소시키는게 좋다. 본 발명에서는 권선수를 통해 이미 어느정도의 히팅정도가 제어되므로 제어계를 만들더라도 스위칭 수가 감소되어 비용이 감소되고 제어자체의 효율성이 증가한다. According to this embodiment, the uniformity of the heating of the exhaust pipe can be increased to more efficiently reduce the deposition degree of the by-product gas. In general, as the by-product gas proceeds to the outside, the temperature of the fluid is usually decreased. Therefore, the closer to the outside, that is, the closer to the outlet, the more the number of turns to increase the uniformity of the heating. Of course, the temperature sensor can control the heating more frequently to the place where it goes down to the critical point more frequently, but it is better to reduce the number of switching operations by the control if the control itself is costly. In the present invention, since a certain degree of heating is already controlled through the number of turns, even if a control system is made, the number of switching is reduced, the cost is reduced, and the efficiency of the control itself is increased.

본 실시예는 별도의 히터가 부속장치로서 제공되는 경우 등과 같이 배기관의 위치에 따라 권선수는 조정가능하다. 예를 들면 중간에 히팅장치가 제공되는 경우 히팅장치의 출력단은 외부에 가깝더라도 온도가 히팅장치의 입력단보다 높다. 따라서 이 경우에는 오히려 권선수가 반대로 조정되어야 한다.
In this embodiment, the number of turns is adjustable according to the position of the exhaust pipe, such as when a separate heater is provided as an accessory. For example, if a heating device is provided in the middle, the temperature of the heating device is higher than that of the heating device even though the output terminal of the heating device is close to the outside. In this case, therefore, the number of turns must be reversed.

도 15는 본 발명의 다양한 15 is a variety of the present invention 실시예로서As an example 주름관Corrugated pipe 단면의 다양한 형태를 나타내는 도면이다. It is a figure which shows the various forms of a cross section.

본 발명의 주름관은 유연성을 가지는 한 여러가지 주름형태를 포함한다. 도 15 (도면부호 1501,1502,1503) 는 이러한 주름형태의 3가지 일 례를 나타낸다. 주름형태란 관형상의 부재가 유연성을 가지도록 단면에 있어서 좁은 부분과 넓은 부분이 반복적이고 규칙적으로 배열된 형상을 의미한다. 여기서 좁은 부분이 주름관의 골을 이루어 전체적으로 관의 굽어지는 형상을 달성한다.
The corrugated tube of the present invention includes various corrugated forms as long as it has flexibility. 15 (reference numerals 1501, 1502, 1503) shows three examples of such wrinkles. The corrugation means a shape in which narrow and wide portions are repeatedly and regularly arranged in cross section so that the tubular member has flexibility. The narrow part is made of the corrugated tube to achieve the bending shape of the tube as a whole.

상기 설명된 본 발명의 다양한 실시예는 본 발명의 구성과 효과의 인과관계에 반하지 않는한 서로 다양한 조합으로 실시가능하다. 예를 들면, 하위주름연결관과 3개의 단열재층을 조합할수도 있으며, 하위주름연결관을 이중으로 구현하는 실시예도 가능하며, 하위주름연결관을 이중으로 구현하면서 열선의 권선수를 상이하게 하는 실시예도 가능하다.The various embodiments of the present invention described above can be implemented in various combinations with each other without contradicting the causal relationship between the configurations and effects of the present invention. For example, it is possible to combine the lower fold connector and the three insulation layers, and the embodiment of the dual fold connector can be implemented, and the number of windings of the heating wire different while implementing the lower fold connector Embodiments are also possible.

배기관(100) 주름연결관(10)
열선(20) 단열재층(30)
하위주름연결관(12) 온도센서(62)
내부주름관(42) 외부주름관(44)Exhaust Pipe (100) Crimp Connector (10)
Hot wire (20) insulation layer (30)
Lower pleated connector (12) Temperature sensor (62)
Inner Wrinkle Tube (42) Outer Wrinkle Tube (44)

Claims (9)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 반도체 공정의 부산물 가스를 배기하는 공정 배기관(100)으로서,
관형상의 부재로서 스텐레스스틸재질로 형성되며 상기 관형상의 연장방향에 대해 수직으로 주름진 형상의 주름연결관(10);
전기도통가능한 전선형상의 부재로서, 상기 주름연결관(10)의 외부에 권선되는 열선(20); 및
유연성이 있는(flexible) 단열성재질로 형성되는 배관형상의 부재로서, 상기 권선된 열선(20)의 외주면에 도포되어 위치하는 단열재층(30) 을 포함하고,
상기 주름연결관(10)은, 관형상의 부재로서 스텐레스스틸재질로 구성되며 관의 진행방향에 대해 수직으로 주름진 형상의 적어도 하나이상의 하위주름연결관(12a, 12b,...)를 포함하고,
상기 하위주름연결관(12a,12b,...)의 일단의 단면부가 서로 대향하는 타단의 단면부와 서로 용접으로 결합하고,
상기 열선(20) 및 단열재층(30)은 상기 결합된 하위주름연결관의 외부에 전체적으로 도포되어 위치하는 것을 특징으로 하는 반도체 공정의 부산물 가스를 배기하는 공정 배기관.As a process exhaust pipe 100 for exhausting a by-product gas of a semiconductor process,
A corrugated connector tube 10 formed of stainless steel as a tubular member and corrugated perpendicularly to the tubular extension direction;
An electrically conductive wire-shaped member, the heating wire (20) wound outside the corrugated connector (10 ); And
A tubular member formed of a flexible insulating material, the insulating material layer 30 is applied to the outer peripheral surface of the wound heating wire 20, and
The corrugated connecting tube 10 is made of stainless steel as a tubular member and includes at least one lower corrugated connecting tube 12a, 12b,... Corrugated perpendicularly to the traveling direction of the tube. ,
End sections of one end of the lower-pleated connection pipes 12a, 12b, ... are welded to each other with end sections of the other ends that face each other,
The heating wire (20) and the heat insulating material layer (30) is a process exhaust pipe for exhausting the by-product gas of the semiconductor process, characterized in that located on the outside of the combined lower wrinkle connection pipe as a whole. 제 4 항에 있어서, 상기 하위주름연결관(12a,12b,...)은, 상기 하위주름연결관의 일단이 상기 하위주름연결관의 연장방향에 대해 수직방향으로 돌출형성된 형상의 단면용접부(13)를 더 포함하고, 상기 단면용접부끼리 용접됨으로써 서로 다른 하위주름연결관이 연결되는 것을 특징으로 하는 반도체 공정의 부산물 가스를 배기하는 공정 배기관.According to claim 4, wherein the lower corrugated pipe (12a, 12b, ...), one end of the lower corrugated pipe is a cross-sectional weld portion of the shape protruding in a direction perpendicular to the extending direction of the lower corrugated pipe ( 13) The process exhaust pipe for exhausting the by-product gas of the semiconductor process, characterized in that the lower end of the corrugated connection pipe is connected by welding the cross-section welding portion. 제 4 항에 있어서, 상기 주름연결관(10)은,
관형상의 부재로서, 스텐레스재질로 구성되며 상기 관형상의 진행방향에 대해 주름진 형상의 내부주름연결관(42);
상기 내부주름연결관의 외부에서 상기 내부주름연결관을 도포하는 형상으로 위치하는 관형상의 부재로서, 스텐레스재질로 구성되며 상기 관형상의 진행방향에 대해 주름진 형상의 외부주름연결관(44)을 포함하고,
상기 열선(20)은 상기 내부주름연결관(42)과 상기 외부주름연결관(44)의 사이에 권선되어 위치하고,
상기 단열재층(30)은 상기 외부주름연결관(44)의 외부에 도포되는 것을 특징으로 하는 반도체 공정의 부산물 가스를 배기하는 공정 배기관.According to claim 4, The corrugated connection pipe 10,
A tubular member, comprising: a stainless material and having an inner corrugated connection pipe 42 corrugated with respect to the tubular traveling direction;
A tubular member positioned in a shape of applying the inner pleated connector in the outer side of the inner pleated connector, consisting of a stainless material and corrugated in the shape of the tubular traveling direction 44 Including,
The heating wire 20 is wound around the inner fold connecting pipe 42 and the outer fold connecting pipe 44,
The insulation layer 30 is a process exhaust pipe for exhausting the by-product gas of the semiconductor process, characterized in that applied to the outside of the outer wrinkle connecting pipe (44). 제 6 항에 있어서,
상기 외부주름연결관에 형성된 주름의 간격(d2)은 상기 내부주름연결관에 형성된 주름의 간격(d1)보다 크게 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 공정의 부산물 가스를 배기하는 공정 배기관.The method according to claim 6,
And a gap (d2) of the wrinkles formed in the outer wrinkle connection tube is larger than a gap (d) of the wrinkles formed in the inner wrinkle connection tube. 제 6 항에 있어서,
상기 외부주름연결관에 형성된 주름의 간격(d2)은 상기 내부주름연결관에 형성된 주름의 간격(d1)의 정수배로 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 공정의 부산물 가스를 배기하는 공정 배기관.The method according to claim 6,
And a gap d2 of the wrinkles formed in the outer wrinkle connecting tube is formed by an integral multiple of the spacing d1 of the wrinkles formed in the inner wrinkle connecting tube. 삭제delete
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