KR101328304B1 - Inkjet print head assembly - Google Patents

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Abstract

본 발명의 잉크젯 프린트 헤드 조립체는 잉크 유로를 포함하는 기판 부재; 상기 기판 부재에 형성되는 압전 액추에이터; 상기 압전 액추에이터 및 기판 부재에 형성되고, 내화학적 특성을 갖는 재질로 이루어지는 제1보호층; 및 상기 제1보호층에 형성되고, 상기 제1보호층의 훼손 및 마멸을 방지하고 상기 기판 부재로부터 발생하는 열을 흡수하는 보강층;을 포함할 수 있다.An inkjet print head assembly of the present invention includes a substrate member including an ink flow path; A piezoelectric actuator formed on the substrate member; A first protective layer formed on the piezoelectric actuator and the substrate member and made of a material having chemical resistance; And a reinforcing layer formed on the first protective layer and preventing damage and abrasion of the first protective layer and absorbing heat generated from the substrate member.

Description

잉크젯 프린트 헤드 조립체{Inkjet print head assembly}Inkjet print head assembly

본 발명은 잉크젯 프린트 헤드 조립체에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 잉크로부터 방출되는 화학적 성분에 의해 잉크젯 프린트 헤드의 전기적 접속부위가 부식되거나 훼손되는 것을 방지할 수 있는 잉크젯 프린트 헤드 조립체에 관한 것이다.The present invention relates to an inkjet print head assembly, and more particularly, to an inkjet print head assembly capable of preventing the electrical connection of the inkjet print head from being corroded or damaged by chemical components emitted from the ink.

잉크젯 프린트 헤드 조립체는 전기신호를 물리적인 힘으로 변환하여 저장된 잉크를 물방울 크기로 토출하는 장치이다.An inkjet print head assembly is a device that converts an electrical signal into a physical force and discharges stored ink in a droplet size.

이러한 잉크젯 프린트 헤드 조립체는 대량생산이 가능하므로, 사무용 프린터뿐만 아니라 산업용 프린터에도 사용되고 있다. 예를 들어, 잉크젯 프린트 헤드 조립체는 종이에 잉크를 토출하여 출력물을 인쇄하는 사무실뿐만 아니라 인쇄회로기판(PCB) 상에 액상의 금속 물질을 토출하여 회로 패턴을 직접 형성하는 제조공장에서도 사용되고 있다.Since the inkjet print head assembly can be mass-produced, it is used not only for office printers but also for industrial printers. For example, an inkjet print head assembly is used in a manufacturing factory that directly forms a circuit pattern by discharging a liquid metal material on a printed circuit board (PCB) as well as an office for printing an output by discharging ink on paper.

한편, 잉크젯 프린트 헤드 조립체에 구비되는 압전 액추에이터는 프린터의 주 기판과 가요성 기판(FPCB)에 의해 연결되며, 주 기판으로부터 전송되는 전기신호에 따라 작동한다.On the other hand, the piezoelectric actuator provided in the inkjet print head assembly is connected by the main substrate of the printer and the flexible substrate (FPCB), and operates in accordance with the electrical signal transmitted from the main substrate.

그런데 잉크젯 프린트 헤드 조립체에서 사용되는 산업용 잉크에는 일반적으로 강산 또는 강염기의 용제가 포함되어 있으므로, 이러한 용제가 증발하면서 압전소자의 전극을 부식시키거나 또는 압전소자와 주 기판을 연결하는 가요성 기판을 부식시키는 문제점이 발생할 수 있다.However, since industrial inks used in inkjet printhead assemblies generally contain strong acid or strong base solvents, these solvents evaporate to corrode the electrodes of the piezoelectric element or to corrode the flexible substrate connecting the piezoelectric element and the main substrate. This can cause problems.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 산업용 잉크에 포함된 용제로부터 압전소자의 전극 또는 압전소자와 주 기판을 연결하는 가요성 기판을 보호할 수 있는 잉크젯 프린트 헤드 조립체를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention is to solve the above problems, to provide an inkjet print head assembly that can protect the electrode of the piezoelectric element or the flexible substrate connecting the piezoelectric element and the main substrate from the solvent contained in the industrial ink. There is this.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시 예에 따른 잉크젯 프린트 헤드 조립체는 잉크 유로를 포함하는 기판 부재; 상기 기판 부재에 형성되는 압전 액추에이터; 상기 압전 액추에이터 및 기판 부재에 형성되고, 내화학적 특성을 갖는 재질로 이루어지는 제1보호층; 및 상기 제1보호층에 형성되고, 상기 제1보호층의 훼손 및 마멸을 방지하고 상기 기판 부재로부터 발생하는 열을 흡수하는 보강층;을 포함할 수 있다.An inkjet print head assembly according to an embodiment of the present invention for achieving the above object is a substrate member including an ink flow path; A piezoelectric actuator formed on the substrate member; A first protective layer formed on the piezoelectric actuator and the substrate member and made of a material having chemical resistance; And a reinforcing layer formed on the first protective layer and preventing damage and abrasion of the first protective layer and absorbing heat generated from the substrate member.

본 발명의 일 실시 예에 따른 잉크젯 프린트 헤드 조립체에서 상기 제1보호층은 파릴렌 성분을 포함할 수 있다.In the inkjet print head assembly according to an embodiment of the present invention, the first protective layer may include a parylene component.

본 발명의 일 실시 예에 따른 잉크젯 프린트 헤드 조립체에서 상기 제1보호층은 파릴렌 N(Di-Para-Xylylene) 또는 파릴렌 C(Di-Chloro-Xylylene) 또는 파릴렌 D(Tetra-Chloro-Xylylene) 또는 파릴렌 F(Octafluoro-[2,2]para-Cyclophane)의 단일 성분으로 이루어질 수 있다.In the inkjet printhead assembly according to an embodiment of the present invention, the first protective layer is parylene N (Di-Para-Xylylene) or parylene C (Di-Chloro-Xylylene) or parylene D (Tetra-Chloro-Xylylene). ) Or parylene F (Octafluoro- [2,2] para-Cyclophane).

본 발명의 일 실시 예에 따른 잉크젯 프린트 헤드 조립체에서 상기 제1보호층은 파릴렌 N(Di-Para-Xylylene), 파릴렌 C(Di-Chloro-Xylylene), 파릴렌 D(Tetra-Chloro-Xylylene), 및 파릴렌 F(Octafluoro-[2,2]para-Cyclophane) 중 적어도 어느 하나를 포함하는 혼합 성분으로 이루어질 수 있다.In the inkjet printhead assembly according to an embodiment of the present invention, the first protective layer may include parylene N (Di-Para-Xylylene), parylene C (Di-Chloro-Xylylene), and parylene D (Tetra-Chloro-Xylylene). ) And parylene F (Octafluoro- [2,2] para-Cyclophane).

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본 발명의 일 실시 예에 따른 잉크젯 프린트 헤드 조립체는 상기 보강층에 형성되는 제2보호층을 더 포함할 수 있다.The inkjet print head assembly according to an embodiment of the present invention may further include a second protective layer formed on the reinforcing layer.

본 발명의 일 실시 예에 따른 잉크젯 프린트 헤드 조립체에서 상기 제2보호층은 파릴렌 성분을 포함할 수 있다.
In the inkjet print head assembly according to an embodiment of the present invention, the second protective layer may include a parylene component.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 실시 예에 따른 잉크젯 프린트 헤드 조립체는 잉크 유로를 포함하는 기판 부재; 상기 기판 부재에 형성되는 압전 액추에이터; 상기 압전 액추에이터의 전극과 외부 회로 기판을 연결하는 가요성 기판; 상기 압전 액추에이터 및 기판 부재에 형성되고, 내화학적 특성을 갖는 재질로 이루어지는 제1보호층; 및 상기 제1보호층에 형성되고, 상기 제1보호층의 훼손 및 마멸을 방지하고 상기 기판 부재로부터 발생하는 열을 흡수하는 보강층;을 포함할 수 있다.An inkjet print head assembly according to another embodiment of the present invention for achieving the above object is a substrate member including an ink flow path; A piezoelectric actuator formed on the substrate member; A flexible substrate connecting the electrode of the piezoelectric actuator to an external circuit board; A first protective layer formed on the piezoelectric actuator and the substrate member and made of a material having chemical resistance; And a reinforcing layer formed on the first protective layer and preventing damage and abrasion of the first protective layer and absorbing heat generated from the substrate member.

본 발명의 다른 실시 예에 따른 잉크젯 프린트 헤드 조립체에서 상기 제1보호층은 파릴렌 성분을 포함할 수 있다.In the inkjet print head assembly according to another embodiment of the present invention, the first protective layer may include a parylene component.

본 발명의 다른 실시 예에 따른 잉크젯 프린트 헤드 조립체는 상기 가요성 기판을 코팅하는 제3보호층을 더 포함할 수 있다.The inkjet print head assembly according to another embodiment of the present invention may further include a third protective layer for coating the flexible substrate.

본 발명의 다른 실시 예에 따른 잉크젯 프린트 헤드 조립체에서 상기 압전 액추에이터의 전극과 상기 가요성 기판은 이방성 도전 필름(ACF)에 의해 접합될 수 있다.In the inkjet print head assembly according to another embodiment of the present invention, the electrode of the piezoelectric actuator and the flexible substrate may be bonded by an anisotropic conductive film (ACF).

본 발명의 다른 실시 예에 따른 잉크젯 프린트 헤드 조립체에서 상기 제1보호층은 파릴렌 N(Di-Para-Xylylene) 또는 파릴렌 C(Di-Chloro-Xylylene) 또는 파릴렌 D(Tetra-Chloro-Xylylene) 또는 파릴렌 F(Octafluoro-[2,2]para-Cyclophane)의 단일 성분으로 이루어질 수 있다.In the inkjet printhead assembly according to another embodiment of the present invention, the first protective layer is parylene N (Di-Para-Xylylene) or parylene C (Di-Chloro-Xylylene) or parylene D (Tetra-Chloro-Xylylene). ) Or parylene F (Octafluoro- [2,2] para-Cyclophane).

본 발명의 다른 실시 예에 따른 잉크젯 프린트 헤드 조립체에서 상기 제1보호층은 파릴렌 N(Di-Para-Xylylene), 파릴렌 C(Di-Chloro-Xylylene), 파릴렌 D(Tetra-Chloro-Xylylene), 및 파릴렌 F(Octafluoro-[2,2]para-Cyclophane) 중 적어도 어느 하나를 포함하는 혼합 성분으로 이루어질 수 있다.In the inkjet print head assembly according to another embodiment of the present invention, the first protective layer may include parylene N (Di-Para-Xylylene), parylene C (Di-Chloro-Xylylene), and parylene D (Tetra-Chloro-Xylylene). ) And parylene F (Octafluoro- [2,2] para-Cyclophane).

본 발명의 다른 실시 예에 따른 잉크젯 프린트 헤드 조립체는 상기 제1보호층에 형성되어, 상기 압전 액추에이터의 전극과 상기 가요성 기판의 결합부위를 고정하는 보강층을 더 포함할 수 있다.The inkjet print head assembly according to another embodiment of the present invention may further include a reinforcement layer formed on the first protective layer to fix the coupling portion between the electrode of the piezoelectric actuator and the flexible substrate.

본 발명의 다른 실시 예에 따른 잉크젯 프린트 헤드 조립체에서 상기 보강층은 실리콘 성분을 포함할 수 있다.In the inkjet print head assembly according to another embodiment of the present invention, the reinforcement layer may include a silicon component.

본 발명의 다른 실시 예에 따른 잉크젯 프린트 헤드 조립체는 상기 보강층에 형성되는 제2보호층을 더 포함할 수 있다.The inkjet print head assembly according to another embodiment of the present invention may further include a second protective layer formed on the reinforcing layer.

본 발명의 다른 실시 예에 따른 잉크젯 프린트 헤드 조립체에서 상기 제2보호층은 파릴렌 성분을 포함할 수 있다.In the inkjet print head assembly according to another embodiment of the present invention, the second protective layer may include a parylene component.

본 발명은 잉크에 포함된 용제 가스에 의해 잉크젯 프린트 헤드의 전극이 부식 또는 산화되는 것을 차단할 수 있다.The present invention can prevent the electrode of the ink-jet printhead from being corroded or oxidized by the solvent gas contained in the ink.

따라서, 본 발명에 따르면 압전 액추에이터에 전달되는 구동 신호의 신뢰성을 향상시킬 수 있으며, 이를 통해 잉크젯 프린트 헤드의 출력해상도를 높일 수 있다.Therefore, according to the present invention, it is possible to improve the reliability of the driving signal transmitted to the piezoelectric actuator, thereby increasing the output resolution of the inkjet print head.

도 1은 본 발명의 제1실시 예에 따른 잉크젯 프린트 헤드 조립체의 단면도이고,
도 2는 본 발명의 제2실시 예에 따른 잉크젯 프린트 헤드 조립체의 단면도이고,
도 3은 본 발명의 제3실시 예에 따른 잉크젯 프린트 헤드 조립체의 단면도이고,
도 4는 본 발명의 제4실시 예에 따른 잉크젯 프린트 헤드 조립체의 단면도이고,
도 5는 본 발명의 제5실시 예에 따른 잉크젯 프린트 헤드 조립체의 단면도이고,
도 6은 본 발명의 제6실시 예에 따른 잉크젯 프린트 헤드 조립체의 단면도이다.
1 is a cross-sectional view of an inkjet print head assembly according to a first embodiment of the present invention;
2 is a cross-sectional view of an inkjet print head assembly according to a second embodiment of the present invention;
3 is a cross-sectional view of an inkjet print head assembly according to a third embodiment of the present invention;
4 is a cross-sectional view of an inkjet print head assembly according to a fourth embodiment of the present invention;
5 is a cross-sectional view of an inkjet print head assembly according to a fifth embodiment of the present invention;
6 is a cross-sectional view of the inkjet print head assembly according to the sixth embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 예시도면에 의거하여 상세히 설명한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

아래에서 본 발명을 설명함에 있어서, 본 발명의 구성요소를 지칭하는 용어들은 각각의 구성요소들의 기능을 고려하여 명명된 것이므로, 본 발명의 기술적 구성요소를 한정하는 의미로 이해되어서는 안 될 것이다.
In the following description of the present invention, terms that refer to the components of the present invention are named in consideration of the function of each component, it should not be understood as a meaning limiting the technical components of the present invention.

도 1은 본 발명의 제1실시 예에 따른 잉크젯 프린트 헤드 조립체의 단면도이고, 도 2는 본 발명의 제2실시 예에 따른 잉크젯 프린트 헤드 조립체의 단면도이고, 도 3은 본 발명의 제3실시 예에 따른 잉크젯 프린트 헤드 조립체의 단면도이고, 도 4는 본 발명의 제4실시 예에 따른 잉크젯 프린트 헤드 조립체의 단면도이고, 도 5는 본 발명의 제5실시 예에 따른 잉크젯 프린트 헤드 조립체의 단면도이고, 도 6은 본 발명의 제6실시 예에 따른 잉크젯 프린트 헤드 조립체의 단면도이다.
1 is a cross-sectional view of an inkjet print head assembly according to a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a cross-sectional view of an inkjet print head assembly according to a second embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a third embodiment of the present invention. 4 is a cross-sectional view of an inkjet print head assembly according to a fourth embodiment of the present invention, FIG. 5 is a cross-sectional view of an inkjet print head assembly according to a fifth embodiment of the present invention. 6 is a cross-sectional view of the inkjet print head assembly according to the sixth embodiment of the present invention.

산업용 잉크젯 프린터는 강산 또는 강염기의 용제를 포함한 잉크를 기판 또는 LCD 패널에 인쇄할 수 있다. 이 경우 잉크에 포함된 용제는 프린터에서 발생하는 열에 의해 증발할 수 있다. Industrial inkjet printers can print ink, including strong acid or strong base solvents, on a substrate or LCD panel. In this case, the solvent contained in the ink can be evaporated by heat generated in the printer.

그런데 이러한 용제의 증발 증기(solvent vapor)는 잉크젯 프린터를 구성하는 잉크젯 프린트 헤드 조립체의 전기적인 패턴(예를 들어, 압전 액추에이터의 전극 또는 압전 액추에이터와 프린터의 기판을 연결하는 가요성 기판(즉, 필름형 기판))을 부식시킬 수 있다.However, the solvent vapor of the solvent is an electrical pattern of the inkjet print head assembly constituting the inkjet printer (for example, a flexible substrate (that is, a film connecting the electrode of the piezoelectric actuator or the piezoelectric actuator and the substrate of the printer). Mold substrate)).

이 같은 압전 액추에이터의 전극 또는 필름형 기판의 부식은 압전 액추에이터로의 정확한 신호 전달을 방해하므로, 잉크젯 프린터의 정밀한 인쇄작업과 이에 따른 고해상도 출력을 방해할 수 있다.Corrosion of electrodes or film-like substrates of such piezoelectric actuators hinders precise signal transmission to the piezoelectric actuators, which can interfere with precise printing operations of the inkjet printers and thus high resolution output.

본 발명은 이러한 점을 감안하여 개발된 것으로서, 용제의 증발 증기로부터 압전 액추에이터의 전극 또는 가요성 기판을 효과적으로 보호할 수 있는 잉크젯 프린트 헤드 조립체를 제공할 수 있다.
The present invention was developed in view of this point, and it is possible to provide an inkjet print head assembly capable of effectively protecting an electrode or a flexible substrate of a piezoelectric actuator from evaporation vapor of a solvent.

도 1을 참조하여 본 발명의 제1실시 예에 따른 잉크젯 프린트 헤드 조립체를 설명한다.An inkjet print head assembly according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 1.

본 실시 예에 따른 잉크젯 프린트 헤드 조립체(100)는 기판 부재(10), 압전 액추에이터(40), 제1보호층(50)을 포함할 수 있다.
The inkjet print head assembly 100 according to the present embodiment may include a substrate member 10, a piezoelectric actuator 40, and a first protective layer 50.

기판 부재(10)는 노즐과 압력실을 포함하는 잉크젯 프린트 헤드를 형성할 수 있다. 기판 부재(10)는 2개 이상의 실리콘 기판들로 구성될 수 있다. 예를 들어, 기판 부재(10)는 제1기판(20)과 제2기판(30)의 적층 구조로 이루어질 수 있다. 그러나 잉크젯 프린트 헤드의 크기 및 종류에 따라 3장 이상의 기판들로 구성될 수 있다.
The substrate member 10 may form an inkjet print head including a nozzle and a pressure chamber. The substrate member 10 may be composed of two or more silicon substrates. For example, the substrate member 10 may have a laminated structure of the first substrate 20 and the second substrate 30. However, it can be composed of three or more substrates according to the size and type of the inkjet print head.

제1기판(20)은 단결정의 실리콘 기판으로 이루어질 수 있으나, 필요에 따라 SOI(Silicon on insulator) 기판일 수 있다. 제1기판(20)은 노즐(22)과 리스트릭터(24)를 포함할 수 있다.
The first substrate 20 may be formed of a single crystal silicon substrate, but may be a silicon on insulator (SOI) substrate as needed. The first substrate 20 may include a nozzle 22 and a restrictor 24.

노즐(22)은 제1기판(20)을 상하 관통하는 형상으로 형성될 수 있다. 아울러, 노즐(22)은 하방(도 1 기준으로 -Z축 방향)으로 갈수록 점차 감소하는 단면 형상을 가질 수 있다. 이 같은 형상의 노즐(22)은 압전 액추에이터(40)의 구동력이 작은 경우도 일정량의 잉크를 토출시킬 수 있다. 따라서 이 같은 형상의 노즐(22)을 구비한 잉크젯 프린트 헤드 조립체(100)는 상대적으로 작은 압전 액추에이터(40)를 사용할 수 있으며, 상대적으로 적은 양의 전류로 구동될 수 있다. 그러나 노즐(22)의 형상은 도 1에 도시된 형태에 국한되는 것이 아니며, 필요에 따라 상하방향으로 동일한 크기를 갖는 단면 형상일 수 있다.
The nozzle 22 may be formed in a shape penetrating the first substrate 20 up and down. In addition, the nozzle 22 may have a cross-sectional shape that gradually decreases toward the lower side (the -Z axis direction based on FIG. 1). The nozzle 22 having such a shape can discharge a certain amount of ink even when the driving force of the piezoelectric actuator 40 is small. Therefore, the inkjet print head assembly 100 having the nozzle 22 of this shape can use a relatively small piezoelectric actuator 40, and can be driven with a relatively small amount of current. However, the shape of the nozzle 22 is not limited to the shape shown in FIG. 1, and may be a cross-sectional shape having the same size in the vertical direction as needed.

리스트릭터(24)는 제1기판(20)의 일면에 형성될 수 있다. 구체적으로 설명하면, 리스트릭터(24)는 제1기판(20)의 상면(도 1 기준임)에 소정의 깊이로 형성될 수 있으며, 노즐(22)과 소정의 거리를 두고 형성될 수 있다. 이 같이 형성된 리스트릭터(24)는 잉크가 유동하는 유로로 이용될 수 있으며, 잉크의 유동량을 제한하는 구실을 할 수 있다. 리스트릭터(24)의 깊이(h1)와 길이(L3)와 폭(도 1 기준으로 Y축 방향의 길이)은 노즐(22)을 통해 1회 토출되는 잉크의 양에 따라 조절될 수 있다.
The restrictor 24 may be formed on one surface of the first substrate 20. Specifically, the restrictor 24 may be formed at a predetermined depth on the upper surface of the first substrate 20 (as shown in FIG. 1), and may be formed at a predetermined distance from the nozzle 22. The formed rectifier 24 may be used as a flow path through which ink flows, and may serve as a limit for limiting the flow amount of ink. The depth h1, the length L3, and the width (the length in the Y-axis direction based on FIG. 1) of the restrictor 24 may be adjusted according to the amount of ink discharged once through the nozzle 22.

한편, 도 1에서는 제1기판(20)에 노즐(22)과 리스트릭터(24)가 형성되어 있는 것으로 도시되어 있으나, 필요에 따라 제1기판(20)에 압력실의 일부분이나 매니폴드의 일부분이 형성될 수 있다. 아울러, 노즐(22)을 통해 잉크가 급속하게 토출되는 것을 방지할 수 있는 댐퍼 등이 제1기판(20)에 부가적으로 형성될 수 있다.
Meanwhile, although FIG. 1 illustrates that the nozzle 22 and the restrictor 24 are formed on the first substrate 20, a part of the pressure chamber or a part of the manifold is formed on the first substrate 20 as necessary. This can be formed. In addition, a damper or the like may be additionally formed on the first substrate 20 to prevent the ink from being rapidly discharged through the nozzle 22.

제2기판(30)은 단결정의 실리콘 기판으로 이루어질 수 있으나, 필요에 따라 SOI(Silicon on insulator) 기판일 수 있다. 제2기판(30)은 압력실(32)과 매니폴드(34)를 포함할 수 있다. 한편, 첨부된 도면에서는 제1기판(20)의 두께(t1)와 제2기판(30)의 두께(t2)가 동일한 것으로 도시되어 있으나, 필요에 따라 제1기판(20)의 두께(t1)가 제2기판(30)의 두께(t2)보다 더 크거나 또는 이와 반대일 수 있다.
The second substrate 30 may be formed of a single crystal silicon substrate, but may be a silicon on insulator (SOI) substrate as needed. The second substrate 30 may include a pressure chamber 32 and a manifold 34. Meanwhile, in the accompanying drawings, the thickness t1 of the first substrate 20 and the thickness t2 of the second substrate 30 are shown to be the same, but if necessary, the thickness t1 of the first substrate 20. May be greater than or equal to the thickness t2 of the second substrate 30.

압력실(32)은 제2기판(30)의 하면(도 1 기준임)에 형성될 수 있다. 부연 설명하면, 압력실(32)은 제1기판(20)의 노즐(22) 및 리스트릭터(24)와 부분적으로 마주보도록 형성될 수 있다. 즉, 압력실(32)은 제1기판(20)과 제2기판(30)이 적층되었을 때 제1기판(20)의 노즐(22) 및 리스트릭터(24)와 연결될 수 있다. 아울러, 압력실(32)은 1회 토출되는 잉크의 양과 동일한 체적을 가지거나 또는 이보다 큰 체적을 가질 수 있다.
The pressure chamber 32 may be formed on the lower surface of the second substrate 30 (based on FIG. 1). In other words, the pressure chamber 32 may be formed to partially face the nozzle 22 and the restrictor 24 of the first substrate 20. That is, the pressure chamber 32 may be connected to the nozzle 22 and the restrictor 24 of the first substrate 20 when the first substrate 20 and the second substrate 30 are stacked. In addition, the pressure chamber 32 may have a volume equal to or greater than the amount of ink discharged once.

매니폴드(34)는 제2기판(30)의 하면(도 1 기준임)에 형성될 수 있다. 부연 설명하면, 매니폴드(34)는 압력실(32)과 일정한 간격을 두고 형성되며, 제1기판(20)과 제2기판(30)이 적층되었을 때 제1기판(20)의 리스트릭터(24)와 연결될 수 있다. 아울러, 매니폴드(34)의 형성 깊이(h3)는 압력실(32)의 형성 깊이(h2)와 동일할 수 있다. 이 경우 제2기판(30)에 압력실(32)과 매니폴드(34)를 용이하게 형성할 수 있다. 즉, 압력실(32)과 매니폴드(34)의 형성 깊이가 동일하면, 제2기판(30)의 1회 식각 공정을 통해 압력실(32)과 매니폴드(34)를 동시에 형성할 수 있다. 그러나 필요에 따라 압력실(32)과 매니폴드(34)의 형성 깊이를 서로 다르게 할 수 있다. 예를 들어, 매니폴드(34)의 형성 깊이(h3)를 제2기판(30)의 두께(t2)와 동일하게 할 수 있다. 이 경우 제2기판(30)에는 매니폴드(34)로 잉크를 공급하는 잉크 유입로가 부가적으로 형성될 수 있다.
The manifold 34 may be formed on the lower surface of the second substrate 30 (based on FIG. 1). In other words, the manifold 34 is formed at a predetermined interval from the pressure chamber 32, and when the first substrate 20 and the second substrate 30 are stacked, the restrictor of the first substrate 20 is formed. 24). In addition, the formation depth h3 of the manifold 34 may be the same as the formation depth h2 of the pressure chamber 32. In this case, the pressure chamber 32 and the manifold 34 can be easily formed in the second substrate 30. That is, when the pressure depths of the pressure chamber 32 and the manifold 34 are the same, the pressure chamber 32 and the manifold 34 may be simultaneously formed through a single etching process of the second substrate 30. . However, if necessary, the formation depths of the pressure chamber 32 and the manifold 34 may be different. For example, the formation depth h3 of the manifold 34 may be equal to the thickness t2 of the second substrate 30. In this case, an ink inflow path for supplying ink to the manifold 34 may be additionally formed in the second substrate 30.

압전 액추에이터(40)는 제2기판(30)에 형성될 수 있다. 부연 설명하면, 압전 액추에이터(40)는 제2기판(30)의 상면(도 1 기준임)에 형성될 수 있으며, 압력실(32)에 저장된 잉크가 노즐(22)을 통해 토출될 수 있도록 제2기판(30)의 압력실(32)에 소정 크기의 압력을 가할 수 있다. 이를 위해 압전 액추에이터(40)는 제2기판(30)에서 압력실(32)에 대응하는 위치에 형성될 수 있다. 아울러, 압전 액추에이터(40)의 길이(L2)는 압력실(32)의 길이(L1)와 동일할 수 있다.
The piezoelectric actuator 40 may be formed on the second substrate 30. In detail, the piezoelectric actuator 40 may be formed on the upper surface of the second substrate 30 (as shown in FIG. 1), and the ink stored in the pressure chamber 32 may be discharged through the nozzle 22. A pressure of a predetermined size may be applied to the pressure chamber 32 of the second substrate 30. To this end, the piezoelectric actuator 40 may be formed at a position corresponding to the pressure chamber 32 in the second substrate 30. In addition, the length L2 of the piezoelectric actuator 40 may be the same as the length L1 of the pressure chamber 32.

압전 액추에이터(40)는 압전 소자(42), 제1전극(44), 제2전극(46)을 포함할 수 있다. The piezoelectric actuator 40 may include a piezoelectric element 42, a first electrode 44, and a second electrode 46.

압전 소자(42)는 압전 물질로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 압전 소자(42)는 세라믹으로 이루어질 수 있으며, 더욱 상세하게는, 압전 소자(42)는 PZT(Lead Zirconate Titanate)로 제작될 수 있다. 이 같이 이루어진 압전 소자(42)는 외부의 전기신호에 따라 수축 또는 이완하며, 제2기판(30)의 압력실(32)에 압력을 가할 수 있다. 압전 소자(42)의 크기는 압력실(32)의 길이(L1)에 비례할 수 있으며, 압력실(32)의 길이(L1)와 동일할 수 있다.
The piezoelectric element 42 may be made of a piezoelectric material. For example, the piezoelectric element 42 may be made of ceramic, and more specifically, the piezoelectric element 42 may be made of lead zirconate titanate (PZT). The piezoelectric element 42 configured as described above may contract or relax according to an external electrical signal, and may apply pressure to the pressure chamber 32 of the second substrate 30. The size of the piezoelectric element 42 may be proportional to the length L1 of the pressure chamber 32 and may be the same as the length L1 of the pressure chamber 32.

제1전극(44)은 제2기판(30)에 형성될 수 있다. 부연 설명하면, 제1전극(44)은 에폭시와 같은 접착제를 매개로 제2기판(30)에 형성될 수 있으며, 압전 소자(42)와 동일한 크기로 형성될 수 있다. 제1전극(44)은 도전성 재질로 이루어질 수 있으며, 압전 소자(42)의 제1극성의 전류를 제공할 수 있다. 이를 위해 제1전극(44)의 외부의 전원 또는 회로기판과 전기적으로 연결될 수 있다. 아울러, 제1전극은 티타늄(Ti)과 백금(Pt)으로 이루어진 두 개의 금속 박막층으로 구성될 수 있다. 이 같이 형성된 제1전극(44)은 공통 전극 구실을 할 수 있다.
The first electrode 44 may be formed on the second substrate 30. In detail, the first electrode 44 may be formed on the second substrate 30 through an adhesive such as epoxy, and may be formed to have the same size as the piezoelectric element 42. The first electrode 44 may be made of a conductive material, and may provide a first polarity current of the piezoelectric element 42. To this end, it may be electrically connected to a power source or a circuit board external to the first electrode 44. In addition, the first electrode may be composed of two metal thin films made of titanium (Ti) and platinum (Pt). The first electrode 44 thus formed may serve as a common electrode.

제2전극(46)은 압전 소자(42)의 상면에 형성될 수 있다. 제2전극(46)은 Pt, Au, Ag, Ni, Ti 및 Cu 등의 물질 중 어느 하나의 물질로 이루어질 수 있으며, 제1전극(44)과 다른 극성의 전류를 압전 소자(42)에 제공할 수 있다.
The second electrode 46 may be formed on the top surface of the piezoelectric element 42. The second electrode 46 may be made of any one material such as Pt, Au, Ag, Ni, Ti, and Cu, and may provide a piezoelectric element 42 with a current having a different polarity than that of the first electrode 44. can do.

한편, 본 실시 예에서는 제1전극(44)이 압전 소자(42)의 하면에 형성되고, 제2전극(46)이 압전 소자(42)의 상면에 형성되는 것으로 설명되어 있으나, 경우에 따라 제1전극(44)과 제2전극(46)의 위치가 바뀔 수 있다.
Meanwhile, in the present exemplary embodiment, the first electrode 44 is formed on the lower surface of the piezoelectric element 42 and the second electrode 46 is described on the upper surface of the piezoelectric element 42. The positions of the first electrode 44 and the second electrode 46 may be changed.

제1보호층(50)은 압전 액추에이터(40) 및 제2기판(30)에 형성될 수 있다. 구체적으로 설명하면, 제1보호층(50)은 제2기판(30)의 상면(도 1 기준임)에 형성되어, 강산 또는 강염기에 의해 제2기판(30)의 상면에 부식되는 것을 방지할 수 있다. 아울러, 제1보호층(50)은 압전 액추에이터(40)의 표면에 형성되어, 강산 또는 강염기에 의해 압전 액추에이터(40)의 일 부분(특히, 전극(44, 46)이 부식되거나 산화되는 것을 방지할 수 있다.The first protective layer 50 may be formed on the piezoelectric actuator 40 and the second substrate 30. Specifically, the first protective layer 50 is formed on the upper surface of the second substrate 30 (as shown in FIG. 1) to prevent corrosion of the upper surface of the second substrate 30 by the strong acid or the strong base. Can be. In addition, the first protective layer 50 is formed on the surface of the piezoelectric actuator 40 to prevent a portion of the piezoelectric actuator 40 (particularly, the electrodes 44 and 46) from being corroded or oxidized by a strong acid or strong base. can do.

이를 위해 제1보호층(50)는 내화확성 성분을 포함한 물질로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 제1보호층(50)은 파릴렌 성분을 포함할 수 있다. 또는, 제1보호층은 파릴렌 N(Di-Para-Xylylene) 또는 파릴렌 C(Di-Chloro-Xylylene) 또는 파릴렌 D(Tetra-Chloro-Xylylene) 또는 파릴렌 F(Octafluoro-[2,2]para-Cyclophane)의 단일 성분으로 이루어질 수 있다. 또는, 제1보호층은 파릴렌 N(Di-Para-Xylylene), 파릴렌 C(Di-Chloro-Xylylene), 파릴렌 D(Tetra-Chloro-Xylylene), 및 파릴렌 F(Octafluoro-[2,2]para-Cyclophane) 중 적어도 어느 하나를 포함하는 혼합 성분으로 이루어질 수 있다.To this end, the first protective layer 50 may be made of a material including a fire resistant component. For example, the first protective layer 50 may include a parylene component. Alternatively, the first protective layer is parylene N (Di-Para-Xylylene) or parylene C (Di-Chloro-Xylylene) or parylene D (Tetra-Chloro-Xylylene) or parylene F (Octafluoro- [2,2 ] para-Cyclophane). Alternatively, the first protective layer is parylene N (Di-Para-Xylylene), parylene C (Di-Chloro-Xylylene), parylene D (Tetra-Chloro-Xylylene), and parylene F (Octafluoro- [2, 2] para-Cyclophane).

그러나 제1보호층(50)은 열거된 성분 외에도 내화학적 특성을 갖는 성분이면 어떠한 성분도 포함할 수 있다.
However, the first protective layer 50 may include any component as long as the component has chemical resistance in addition to the listed components.

한편, 제1보호층(50)은 증착, 코팅, 프린터를 이용한 인쇄 등의 방법으로 형성될 수 있다. 아울러, 제1보호층(50)은 압전 액추에이터(40)가 부착된 기판 부재(10)를 파릴렌 성분이 포함된 코팅액에 침지시키는 방식으로 형성될 수 있다. 이 경우, 기판 부재(10)의 개방 부분(예를 들어, 노즐(22))은 코팅액이 유입되지 않도록 폐쇄될 수 있다.
On the other hand, the first protective layer 50 may be formed by a method such as deposition, coating, printing using a printer. In addition, the first protective layer 50 may be formed by immersing the substrate member 10 to which the piezoelectric actuator 40 is attached to the coating liquid containing the parylene component. In this case, the open portion (eg, the nozzle 22) of the substrate member 10 may be closed to prevent the coating liquid from flowing in.

이와 같이 구성된 잉크젯 프린트 헤드 조립체(100)는 강산 또는 강염기에 취약한 부분이 제1보호층(50)에 의해 보호되므로, 잉크젯 프린트 헤드 조립체(100)의 수명이 연장될 수 있다. Since the inkjet print head assembly 100 configured as described above is protected by the first protective layer 50 that is vulnerable to a strong acid or strong base, the life of the inkjet print head assembly 100 may be extended.

또한, 압전 액추에이터(40)의 전극 부분이 강산 또는 강염기성 증기로부터 보호되므로, 압전 액추에이터(40)의 제어가 오차 없이 정밀하게 이루어질 수 있다.In addition, since the electrode portion of the piezoelectric actuator 40 is protected from strong acid or strong basic vapor, the control of the piezoelectric actuator 40 can be made precisely without error.

따라서, 본 실시 예에 따르면, 잉크젯 프린트 헤드 조립체(100)의 잉크 토출 성능이 일정하게 유지될 수 있으며 이를 통해 토출 해상도를 향상시킬 수 있다.
Therefore, according to the present embodiment, the ink ejection performance of the inkjet print head assembly 100 may be kept constant, thereby improving the ejection resolution.

참고로, 첨부된 도면 및 상세한 설명에서는 잉크젯 프린트 헤드 조립체가 압전 액추에이터(40)를 사용한 압전 구동 방식에 의해 잉크를 토출하는 것으로 도시 및 설명하고 있으나, 잉크 토출 방식에 의해 본 발명이 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 따라서, 필요에 따라 압전 액추에이터(40)가 아닌 가열 수단을 포함한 구성으로 잉크젯 프린트 헤드 조립체를 구성할 수 있다.
For reference, in the accompanying drawings and the detailed description, the inkjet print head assembly discharges ink by a piezoelectric drive method using the piezoelectric actuator 40, but the present invention is limited or limited by the ink discharge method. It is not. Therefore, the inkjet print head assembly can be configured by a configuration including heating means other than the piezoelectric actuator 40 as necessary.

다음에서는 도 2 ~ 도 6을 참조하여 본 발명의 다른 실시 예들을 설명한다. 참고로, 이하의 실시 예에서 제1실시 예와 동일한 구성요소는 제1실시 예와 동일한 도면 부호를 사용하며, 이들 구성요소에 대한 상세한 설명은 생략한다.
Next, other embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 2 to 6. For reference, in the following embodiments, the same components as those of the first embodiment use the same reference numerals as the first embodiment, and detailed descriptions of these components are omitted.

도 2 및 도 3을 참조하여 본 발명의 제2실시 예 및 제3실시 예를 설명한다.The second and third embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 2 and 3.

제2실시 예에 따른 잉크젯 프린트 헤드 조립체(100)는 보강층(60)을 더 포함할 수 있다.The inkjet print head assembly 100 according to the second embodiment may further include a reinforcement layer 60.

제1보호층(50)은 비교적 얇은 박막 형태로 형성되므로, 잉크젯 프린트 헤드 조립체(100)를 장기간 사용함에 따라 강산 또는 강염기성 증기에 의해 닳아 없어지거나 또는 별도의 외부 요인에 의해 훼손될 수 있다.Since the first protective layer 50 is formed in a relatively thin thin film form, the inkjet print head assembly 100 may be worn out by strong acid or strong basic vapor or may be damaged by a separate external factor as the ink jet print head assembly 100 is used for a long time.

본 실시 예는 이러한 점을 감안하여 제1보호층(50)에 보강층(60)을 더 형성할 수 있다. In this embodiment, the reinforcement layer 60 may be further formed on the first protective layer 50 in view of such a point.

여기서, 보강층(60)은 실리콘을 포함한 성분으로 이루어질 수 있으며, 제1보호층(50)이 강산 또는 강염기성 증기에 의해 서서히 닳아 없어지거나 또는 공기 중으로 서서히 증발하는 것을 차단할 수 있다.In this case, the reinforcing layer 60 may be formed of a component including silicon, and the first protective layer 50 may be gradually worn out by strong acid or strong basic vapor or may be prevented from slowly evaporating into the air.

아울러, 보강층(60)은 기판 부재(10)로부터 발생하는 열을 흡수할 수 있으며, 이를 위해 금속 분말을 포함할 수 있다. In addition, the reinforcing layer 60 may absorb heat generated from the substrate member 10, and may include metal powder for this purpose.

이 같이 형성된 보강층(60)은 기판 부재(10)로부터 발생하는 열을 흡수하여, 압력실(32)에 저장된 잉크의 점도가 열에 의해 변화되는 것을 억제시킬 수 있다.
The reinforcement layer 60 formed as described above absorbs heat generated from the substrate member 10 and can suppress the viscosity of the ink stored in the pressure chamber 32 from being changed by heat.

한편, 보강층(60)은 내화학적 특성이 제1보호층(50)에 비해 떨어지므로, 도 3에 도시된 바와 같이 보강층(60)의 상면에 제2보호층(52)이 추가로 형성될 수 있다(제3실시 예).
Meanwhile, since the chemical resistance of the reinforcing layer 60 is inferior to that of the first protective layer 50, the second protective layer 52 may be additionally formed on the upper surface of the reinforcing layer 60 as illustrated in FIG. 3. (Third embodiment).

이와 같이 구성된 잉크젯 프린트 헤드 조립체(100)는 다수의 보호층(50, 60, 52)이 기판 부재(10)와 압전 액추에이터(40)의 위쪽에 순차적으로 형성되므로, 강산 또는 강염기성 증기에 의한 전극의 부식 및 산화를 더욱 효과적으로 방지할 수 있다.
In the inkjet print head assembly 100 configured as described above, since a plurality of protective layers 50, 60, and 52 are sequentially formed on the substrate member 10 and the piezoelectric actuator 40, the electrode may be formed of a strong acid or strong basic vapor. Corrosion and oxidation can be prevented more effectively.

도 4를 참조하여 본 발명의 제4실시 예를 설명한다.A fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 4.

제4실시 예에 따른 잉크젯 프린트 헤드 조립체(100)는 가요성 기판(70)을 더 포함할 수 있다.The inkjet print head assembly 100 according to the fourth embodiment may further include a flexible substrate 70.

가요성 기판(70)은 압전 액추에이터(40)와 외부 기판(예를 들어, 프린터의 주 기판)을 전기적으로 연결할 수 있다. 부연 설명하면, 가요성 기판(70)은 압전 액추에이터(40)의 전극들(44, 46)과 연결될 수 있으며, 외부 기판의 전극 단자와 연결될 수 있다. The flexible substrate 70 may electrically connect the piezoelectric actuator 40 and an external substrate (eg, the main substrate of the printer). In detail, the flexible substrate 70 may be connected to the electrodes 44 and 46 of the piezoelectric actuator 40 and may be connected to the electrode terminals of the external substrate.

한편, 가요성 기판(70)은 이방성 도전 필름(ACF)을 매개로 압전 액추에이터(40)의 전극들(44, 46)과 전기적으로 연결될 수 있다. 여기서, 이방성 도전 필름은 도전성 물질을 포함함과 동시에 접착물질을 포함하므로, 가요성 기판(70)과 압전 액추에이터(40)의 전극들(44, 46)을 안정적으로 연결할 수 있다.Meanwhile, the flexible substrate 70 may be electrically connected to the electrodes 44 and 46 of the piezoelectric actuator 40 through an anisotropic conductive film (ACF). Here, since the anisotropic conductive film includes a conductive material and an adhesive material, the anisotropic conductive film can stably connect the electrodes 44 and 46 of the flexible substrate 70 and the piezoelectric actuator 40.

그러나 압전 액추에이터(40)의 전극들(44, 46)과 가요성 기판(70)을 연결하는 수단은 이방성 도전 필름에 한정되는 것은 아니며, 도전성 물질을 포함하는 접착제 또는 땜납 등에 의해 이루어질 수 있다.
However, the means for connecting the electrodes 44 and 46 of the piezoelectric actuator 40 and the flexible substrate 70 is not limited to the anisotropic conductive film, but may be formed by an adhesive or solder including a conductive material.

가요성 기판(70)은 제1보호층과 동일한 성분으로 이루어지는 물질로 코팅될 수 있다. 예를 들어, 가요성 기판(70)의 표면에는 제3보호층(54)이 형성될 수 있으며, 제3보호층(54)은 제1보호층(50)과 동일한 성분으로 이루어질 수 있다.
The flexible substrate 70 may be coated with a material composed of the same components as the first protective layer. For example, a third protective layer 54 may be formed on the surface of the flexible substrate 70, and the third protective layer 54 may be formed of the same component as the first protective layer 50.

따라서, 본 실시 예에 따르면 압전 액추에이터(40)뿐만 아니라 가요성 기판(70)을 강산 또는 강염기성 증기로부터 보호할 수 있다.
Therefore, according to the present exemplary embodiment, the flexible substrate 70 as well as the piezoelectric actuator 40 may be protected from strong acid or strong basic vapor.

한편, 제1보호층(50)에는 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 보강층(60) 및 제2보호층(52)이 추가로 형성될 수 있다(제5실시 예 및 제6실시 예). Meanwhile, as illustrated in FIGS. 5 and 6, the reinforcing layer 60 and the second protective layer 52 may be additionally formed in the first protective layer 50 (Fifth and Sixth Embodiments). .

여기서, 보강층(60)은 접착제 성분을 포함할 수 있으며, 압전 액추에이터(40)와 가요성 기판(70)의 연결상태를 견고하게 유지시킬 수 있다. 즉, 가요성 기판(70)은 외력에 의한 유동이 심하므로, 가요성 기판(70)과 압전 액추에이터(40)의 전기적 접속상태가 저하되기 싶다.Here, the reinforcement layer 60 may include an adhesive component, and may firmly maintain the connection state between the piezoelectric actuator 40 and the flexible substrate 70. That is, since the flexible substrate 70 has a severe flow due to an external force, the electrical connection state between the flexible substrate 70 and the piezoelectric actuator 40 is likely to be lowered.

본 실시 예는 이러한 점을 감안하여 제1보호층(50)에 소정 두께를 갖는 보강층(60)을 형성할 수 있다. 보강층(60)은 자외선 등에 의해 경화될 수 있으며, 압전 액추에이터(40)에 대한 가요성 기판(70)의 위치를 견고하게 고정시킬 수 있다.In this embodiment, the reinforcement layer 60 having a predetermined thickness may be formed in the first protective layer 50. The reinforcement layer 60 may be cured by ultraviolet rays or the like, and may firmly fix the position of the flexible substrate 70 with respect to the piezoelectric actuator 40.

따라서, 본 실시 예에 따르면 압전 액추에이터(40)와 가요성 기판(70)의 접속 부위가 일정한 상태로 유지되므로, 가요성 기판(70)을 통한 전기적 신호가 압전 액추에이터(40)에 정확하게 전달될 수 있다.
Therefore, according to the present embodiment, since the connection portion between the piezoelectric actuator 40 and the flexible substrate 70 is maintained in a constant state, an electrical signal through the flexible substrate 70 can be accurately transmitted to the piezoelectric actuator 40. have.

한편, 전술한 바와 같이 보강층(60)은 내화학성 특성이 상대적으로 낮을 수 있으므로, 도 6에 도시된 바와 같이 보강층(60)에 제2보호층(52)을 추가로 형성할 수 있다(제6실시 예).
Meanwhile, as described above, since the reinforcement layer 60 may have a relatively low chemical resistance property, the second protection layer 52 may be additionally formed on the reinforcement layer 60 as illustrated in FIG. 6 (sixth Example).

본 발명은 이상에서 설명되는 실시 예에만 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상의 요지를 벗어나지 않는 범위에서 얼마든지 다양하게 변경하여 실시할 수 있을 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the inventions And various modifications may be made.

100 잉크젯 프린트 헤드 조립체
10 기판 부재
20 제1기판
22 노즐 24 리스트릭터
30 제2기판
32 압력실 34 매니폴드
40 압전 액추에이터 42 압전 소자
44 제1전극 46 제2전극
50 제1보호층 52 제2보호층
60 보강층
70 가요성 기판
100 inkjet printhead assembly
10 PCB member
20 First Substrate
22 Nozzle 24 Restrictor
30 2nd substrate
32 Pressure chamber 34 Manifold
40 Piezoelectric Actuators 42 Piezoelectric Elements
44 First electrode 46 Second electrode
50 First passivation layer 52 Second passivation layer
60 reinforcement layer
70 flexible substrate

Claims (17)

잉크 유로를 포함하는 기판 부재;
상기 기판 부재에 형성되는 압전 액추에이터;
상기 압전 액추에이터 및 기판 부재에 형성되고, 내화학적 특성을 갖는 재질로 이루어지는 제1보호층; 및
상기 제1보호층에 형성되고, 상기 제1보호층의 훼손 및 마멸을 방지하고 상기 기판 부재로부터 발생하는 열을 흡수하는 보강층;
을 포함하는 잉크젯 프린트 헤드 조립체.
A substrate member including an ink flow path;
A piezoelectric actuator formed on the substrate member;
A first protective layer formed on the piezoelectric actuator and the substrate member and made of a material having chemical resistance; And
A reinforcing layer formed on the first protective layer and preventing damage and abrasion of the first protective layer and absorbing heat generated from the substrate member;
Inkjet print head assembly comprising a.
제1항에 있어서,
상기 제1보호층은 파릴렌 성분을 포함하는 잉크젯 프린트 헤드 조립체.
The method of claim 1,
And the first protective layer comprises a parylene component.
제1항에 있어서,
상기 제1보호층은 파릴렌 N(Di-Para-Xylylene) 또는 파릴렌 C(Di-Chloro-Xylylene) 또는 파릴렌 D(Tetra-Chloro-Xylylene) 또는 파릴렌 F(Octafluoro-[2,2]para-Cyclophane)의 단일 성분으로 이루어지는 잉크젯 프린트 헤드 조립체.
The method of claim 1,
The first protective layer is parylene N (Di-Para-Xylylene) or parylene C (Di-Chloro-Xylylene) or parylene D (Tetra-Chloro-Xylylene) or parylene F (Octafluoro- [2,2] inkjet print head assembly comprising a single component of para-Cyclophane).
제1항에 있어서,
상기 제1보호층은 파릴렌 N(Di-Para-Xylylene), 파릴렌 C(Di-Chloro-Xylylene), 파릴렌 D(Tetra-Chloro-Xylylene), 및 파릴렌 F(Octafluoro-[2,2]para-Cyclophane) 중 적어도 어느 하나를 포함하는 혼합 성분으로 이루어지는 잉크젯 프린트 헤드 조립체.
The method of claim 1,
The first protective layer is parylene N (Di-Para-Xylylene), parylene C (Di-Chloro-Xylylene), parylene D (Tetra-Chloro-Xylylene), and parylene F (Octafluoro- [2,2 [para-Cyclophane) inkjet print head assembly comprising a mixed component comprising at least one of.
삭제delete 제1항에 있어서,
상기 보강층에 형성되는 제2보호층을 더 포함하는 잉크젯 프린트 헤드 조립체.
The method of claim 1,
And a second protective layer formed on the reinforcing layer.
제6항에 있어서,
상기 제2보호층은 파릴렌 성분을 포함하는 잉크젯 프린트 헤드 조립체.
The method according to claim 6,
And the second protective layer comprises a parylene component.
잉크 유로를 포함하는 기판 부재;
상기 기판 부재에 형성되는 압전 액추에이터;
상기 압전 액추에이터의 전극과 외부 회로 기판을 연결하는 가요성 기판;
상기 압전 액추에이터 및 기판 부재에 형성되고, 내화학적 특성을 갖는 재질로 이루어지는 제1보호층; 및
상기 제1보호층에 형성되고, 상기 제1보호층의 훼손 및 마멸을 방지하고 상기 기판 부재로부터 발생하는 열을 흡수하는 보강층;
을 포함하는 잉크젯 프린트 헤드 조립체.
A substrate member including an ink flow path;
A piezoelectric actuator formed on the substrate member;
A flexible substrate connecting the electrode of the piezoelectric actuator to an external circuit board;
A first protective layer formed on the piezoelectric actuator and the substrate member and made of a material having chemical resistance; And
A reinforcing layer formed on the first protective layer and preventing damage and abrasion of the first protective layer and absorbing heat generated from the substrate member;
Inkjet print head assembly comprising a.
제8항에 있어서,
상기 제1보호층은 파릴렌 성분을 포함하는 잉크젯 프린트 헤드 조립체.
9. The method of claim 8,
And the first protective layer comprises a parylene component.
제8항에 있어서,
상기 가요성 기판을 코팅하는 제3보호층을 더 포함하는 잉크젯 프린트 헤드 조립체.
9. The method of claim 8,
And a third protective layer coating the flexible substrate.
제8항에 있어서,
상기 압전 액추에이터의 전극과 상기 가요성 기판은 이방성 도전 필름(ACF)에 의해 접합되는 잉크젯 프린트 헤드 조립체.
9. The method of claim 8,
An electrode of the piezoelectric actuator and the flexible substrate are bonded by an anisotropic conductive film (ACF).
제9항에 있어서,
상기 제1보호층은 파릴렌 N(Di-Para-Xylylene) 또는 파릴렌 C(Di-Chloro-Xylylene) 또는 파릴렌 D(Tetra-Chloro-Xylylene) 또는 파릴렌 F(Octafluoro-[2,2]para-Cyclophane)의 단일 성분으로 이루어지는 잉크젯 프린트 헤드 조립체.
10. The method of claim 9,
The first protective layer is parylene N (Di-Para-Xylylene) or parylene C (Di-Chloro-Xylylene) or parylene D (Tetra-Chloro-Xylylene) or parylene F (Octafluoro- [2,2] inkjet print head assembly comprising a single component of para-Cyclophane).
제8항에 있어서,
상기 제1보호층은 파릴렌 N(Di-Para-Xylylene), 파릴렌 C(Di-Chloro-Xylylene), 파릴렌 D(Tetra-Chloro-Xylylene), 및 파릴렌 F(Octafluoro-[2,2]para-Cyclophane) 중 적어도 어느 하나를 포함하는 혼합 성분으로 이루어지는 잉크젯 프린트 헤드 조립체.
9. The method of claim 8,
The first protective layer is parylene N (Di-Para-Xylylene), parylene C (Di-Chloro-Xylylene), parylene D (Tetra-Chloro-Xylylene), and parylene F (Octafluoro- [2,2 [para-Cyclophane) inkjet print head assembly comprising a mixed component comprising at least one of.
제8항에 있어서,
상기 보강층은 상기 압전 액추에이터의 전극과 상기 가요성 기판의 결합부위에 형성되는 잉크젯 프린트 헤드 조립체.
9. The method of claim 8,
And the reinforcement layer is formed at a coupling portion of the electrode of the piezoelectric actuator and the flexible substrate.
제8항에 있어서,
상기 보강층은 실리콘 성분을 포함하는 잉크젯 프린트 헤드 조립체.
9. The method of claim 8,
And the reinforcement layer comprises a silicon component.
제8항에 있어서,
상기 보강층에 형성되는 제2보호층을 더 포함하는 잉크젯 프린트 헤드 조립체.
9. The method of claim 8,
And a second protective layer formed on the reinforcing layer.
제16항에 있어서,
상기 제2보호층은 파릴렌 성분을 포함하는 잉크젯 프린트 헤드 조립체.
17. The method of claim 16,
And the second protective layer comprises a parylene component.
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