KR101319493B1 - A photosensitive composition And insulation layer prepared by the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 감광성 수지 조성물 및 이로부터 제조되는 절연막에 관한 것이다.
본 발명의 감광성 수지 조성물은 불포화 카르복시산 단량체, 에폭시기 함유 불포화 화합물 단량체 및 올레핀계 단량체를 포함하여 형성된 공중합체 바인더; 퀴논 디아지드계 감광제; 무수물계 경화제 및 다가산계 경화제의 혼합물; 및 유기용매를 포함한다. 본 발명의 감광성 수지 조성물로 제조된 절연막은 투과도, 평탄성, 패턴 특성, 내열성, 금속 및 무기물과의 접착력, UV투과율, 잔막율, 패턴안정성, 기계적 물성 등이 우수하다.
The present invention relates to a photosensitive resin composition and an insulating film produced therefrom.
The photosensitive resin composition of this invention is a copolymer binder formed including an unsaturated carboxylic acid monomer, an epoxy-group containing unsaturated compound monomer, and an olefinic monomer; Quinone diazide photosensitizers; Mixtures of anhydride curing agents and polyacid curing agents; And organic solvents. The insulating film made of the photosensitive resin composition of the present invention is excellent in transmittance, flatness, pattern properties, heat resistance, adhesion to metals and inorganic materials, UV transmittance, residual film rate, pattern stability, mechanical properties and the like.

Description

감광성 수지 조성물 및 이로부터 제조되는 절연막{A photosensitive composition And insulation layer prepared by the same}A photosensitive composition And insulation layer prepared by the same}

본 발명은 감광성 수지 조성물 및 이로부터 제조되는 절연막에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 각종 표시 장치에 사용되는 절연막을 제조하는데 사용될 수 있는 감광성 수지 조성물에 관한 것이다.The present invention relates to a photosensitive resin composition and an insulating film produced therefrom. More specifically, the present invention relates to a photosensitive resin composition that can be used to manufacture insulating films used in various display devices.

최근 액정 표시장치 등의 평면 표시장치나 터치스크린 장치 등 전자제품의 제조 기술이 발전하면서 제품의 소형화, 박형화가 요구되고 있는 실정이다. 제품의 소형화, 박형화를 위해서는 제품 내부 소자의 집적도는 필수적으로 증가하게 되고, 이에 따라 소자 내 층간 절연막의 성능 향상이 더욱 요구되고 있다.Recently, as the manufacturing technology of electronic products such as flat panel display devices such as liquid crystal display devices and touch screen devices is developed, miniaturization and thinning of products are required. In order to miniaturize and thin a product, the degree of integration of the internal device of the product is essentially increased, and accordingly, the performance improvement of the interlayer insulating film in the device is required.

현재 절연막으로는 무기계 절연막, 유기계 절연막이 소개되고 있다.Currently, inorganic insulating films and organic insulating films have been introduced as insulating films.

이 중 무기계 절연막은 증착 공정 등을 통해 형성된 무기물층을 절연막으로 사용하는 것인데, 증착 공정은 고가의 공정으로서 제조 원가의 상승을 초래하는 문제점이 있다.Among these, the inorganic insulating layer uses an inorganic layer formed through a deposition process as an insulating layer. However, the deposition process is an expensive process and causes an increase in manufacturing cost.

또한, 유기계 절연막은 유기계 감광성 수지 조성물을 사용하여 형성된 수지층을 절연막으로 사용하는 것으로서. 유기계 감광성 수지 조성물은 스핀 코팅 공정으로 용이하게 박막을 형성할 수 있으므로, 무기계 절연막의 문제점을 해결할 수 있다.As the organic insulating film, a resin layer formed by using the organic photosensitive resin composition is used as the insulating film. The organic photosensitive resin composition can easily form a thin film by a spin coating process, thereby solving the problem of the inorganic insulating film.

하지만, 유기계 절연막은 상대적으로 무기계 절연막보다 경도 등의 기계적 물성이 취약한 단점이 있다.However, organic insulating films have a disadvantage in that mechanical properties such as hardness are relatively weaker than inorganic insulating films.

따라서 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 저온 경화용 감광성 수지 조성물을 제공하는 것이다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition for low temperature curing.

또한, 본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는, 본 발명에 따른 감광성 수지로 제조된 절연막을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide an insulating film made of the photosensitive resin according to the present invention.

또한, 본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 과제는, 본 발명에 따른 우수한 기계적 물성을 갖는 절연막을 제공하는 것이다.In addition, another object of the present invention is to provide an insulating film having excellent mechanical properties according to the present invention.

상기 과제를 해결하기 위하여, 본 발명은 불포화 카르복시산 단량체, 에폭시기 함유 불포화 화합물 단량체 및 올레핀계 단량체를 포함하여 형성된 공중합체 바인더; 퀴논 디아지드계 감광제; 무수물계 경화제 및 다가산계 경화제의 혼합물; 및 유기용매를 포함하는 감광성 수지 조성물을 제공한다.In order to solve the above problems, the present invention is a copolymer binder formed by including an unsaturated carboxylic acid monomer, an epoxy group-containing unsaturated compound monomer and an olefin monomer; Quinone diazide photosensitizers; Mixtures of anhydride curing agents and polyacid curing agents; And it provides a photosensitive resin composition comprising an organic solvent.

본 발명에 따른 불포화 카르복시산 단량체는 아크릴산; 메타아크릴산; 크로톤산; 말레인산; 푸마르산; 시트라콘산; 메사콘산; 이타콘산; 상기 푸마르산, 시트라콘산, 메사콘산 및 이타콘산의 각 무수물; 숙신산 모노[2-(메트)아크릴로일옥시에틸]; 프탈산 모노[2-(메트)아크릴로일옥시에틸]; 및 ω-카르복시폴리카프롤락톤모노(메트)아크릴레이트로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 또는 이들 중 2종 이상의 혼합물일 수 있다.Unsaturated carboxylic acid monomer according to the present invention is acrylic acid; Methacrylic acid; Crotonic acid; Maleic acid; Fumaric acid; Citraconic acid; Mesaconic acid; Itaconic acid; Each anhydride of the fumaric acid, citraconic acid, mesaconic acid and itaconic acid; Succinic mono [2- (meth) acryloyloxyethyl]; Phthalic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl]; And ω-carboxypolycaprolactone mono (meth) acrylate, or a mixture of two or more thereof.

본 발명에 따른 에폭시기 함유 불포화 화합물 단량체는 아크릴산글리시딜, 메타크릴산글리시딜, α-에틸아크릴산글리시딜, α-n-프로필아크릴산글리시딜, α-n-부틸아크릴산글리시딜, 아크릴산-3,4-에폭시부틸, 메타크릴산-3,4-에폭시부틸, 아크릴산-6,7-에폭시헵틸, 메타크릴산-6,7-에폭시헵틸, α-에틸아크릴산-6,7-에폭시헵틸, o-비닐벤질글리시딜에테르, m-비닐벤질글리시딜에테르 및 p-비닐벤질글리시딜에테르로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 또는 이들 중 2종 이상의 혼합물일 수 있다.The epoxy group-containing unsaturated compound monomer according to the present invention is glycidyl acrylate, glycidyl methacrylate, α-ethyl acrylate glycidyl, α-n-propyl acrylate glycidyl, α-n-butyl acrylate glycidyl, Acrylic acid-3,4-epoxybutyl, methacrylic acid-3,4-epoxybutyl, acrylic acid-6,7-epoxyheptyl, methacrylic acid-6,7-epoxyheptyl, α-ethylacrylic acid-6,7-epoxy Heptyl, o-vinylbenzylglycidylether, m-vinylbenzylglycidylether, and p-vinylbenzylglycidylether can be any one selected from the group consisting of or a mixture of two or more thereof.

본 발명에 따른 올레핀계 단량체는 메틸메타크릴레이트, 에틸메타크릴레이트, n-부틸메타크릴레이트, sec-부틸메타크릴레이트, t-부틸메타크릴레이트 등의 메타크릴산알킬에스테르, 메틸아크릴레이트, 이소프로필아크릴레이트, 시클로헥실메타크릴레이트, 2-메틸시클로헥실메타크릴레이트, 디시클로펜타닐메타크릴레이트, 디시클로펜타닐옥시에틸메타크릴레이트, 이소보로닐메타크릴레이트, 시클로헥실아크릴레이트, 2-메틸시클로헥실아크릴레이트, 디시클로펜타닐아크릴레이트, 디시클로펜타닐옥시에틸아크릴레이트, 이소보르닐아크릴레이트, 페닐메타크릴레이트, 벤질메타크릴레이트, 페닐아크릴레이트, 벤질아크릴레이트, 말레인산디에틸, 푸마르산디에틸, 이타콘산디에틸, 2-히드록시에틸메타크릴레이트, 2-히드록시프로필메타크릴레이트, 스티렌, α-메틸스티렌, m-메틸스티렌, p-메틸스티렌, 비닐톨루엔, p-메톡시스티렌, 아크릴로니트릴, 메타크릴로니트릴, 염화비닐, 염화비닐리덴, 아크릴아미드, 메타크릴아미드, 아세트산비닐, 1,3-부타디엔, 이소프렌, 및 2,3-디메틸-1,3-부타디엔으로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나 또는 이들 중 2종 이상의 혼합물일 수 있다.The olefinic monomers according to the present invention are alkyl methacrylates such as methyl methacrylate, ethyl methacrylate, n-butyl methacrylate, sec-butyl methacrylate, t-butyl methacrylate, methyl acrylate, Isopropyl acrylate, cyclohexyl methacrylate, 2-methylcyclohexyl methacrylate, dicyclopentanyl methacrylate, dicyclopentanyl oxyethyl methacrylate, isobornyl methacrylate, cyclohexyl acrylate, 2 -Methylcyclohexyl acrylate, dicyclopentanyl acrylate, dicyclopentanyloxyethyl acrylate, isobornyl acrylate, phenyl methacrylate, benzyl methacrylate, phenyl acrylate, benzyl acrylate, diethyl maleate, fumaric acid Diethyl, diethyl itaconate, 2-hydroxyethyl methacrylate, 2-hydroxypropyl methacrylate, Styrene, α-methylstyrene, m-methylstyrene, p-methylstyrene, vinyltoluene, p-methoxystyrene, acrylonitrile, methacrylonitrile, vinyl chloride, vinylidene chloride, acrylamide, methacrylamide, acetic acid It may be any one selected from the group consisting of vinyl, 1,3-butadiene, isoprene, and 2,3-dimethyl-1,3-butadiene or a mixture of two or more thereof.

본 발명에 따른 퀴논 디아지드계 감광제는 1,2-퀴논디아지드-4-술폰산 에스테르, 1,2-퀴논디아지드-5-술폰산 에스테르 및 1,2-퀴논디아지드-6-술폰산 에스테르로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나 또는 이들 중 2종 이상의 혼합물일 수 있다.The quinone diazide-based photosensitive agent according to the present invention consists of 1,2-quinone diazide-4-sulfonic acid ester, 1,2-quinone diazide-5-sulfonic acid ester and 1,2-quinone diazide-6-sulfonic acid ester It may be any one selected from the group or a mixture of two or more thereof.

본 발명에 따른 무수물계 경화제는 도데시닐 숙신산 무수물, 메틸테트로프탈산 무수물, 메틸헥사하이드로프탈산 무수물, 및 메틸나딕산 무수물로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나 또는 이들 중 2종 이상의 혼합물일 수 있다.The anhydride curing agent according to the present invention may be any one selected from the group consisting of dodecynyl succinic anhydride, methyltetrophthalic anhydride, methylhexahydrophthalic anhydride, and methylnadic acid anhydride, or a mixture of two or more thereof.

본 발명에 따른 다가산계 경화제는 1,3-아세톤디카르복시산, 1,3-아다만탄디카르복시산, 1,2,3,4-부탄테트라카르복시산, 벤질말론산, 비페닐-4,4-디카르복시산, 2,2-비피리딘-4,4-디카르복시산 및 트리멜리트산으로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 또는 이들 중 2종 이상의 혼합물일 수 있다.The polyacid curing agent according to the present invention is 1,3-acetone dicarboxylic acid, 1,3-adamantanedicarboxylic acid, 1,2,3,4-butanetetracarboxylic acid, benzyl malonic acid, biphenyl-4,4-dicarboxylic acid , 2,2-bipyridine-4,4-dicarboxylic acid and trimellitic acid may be any one or a mixture of two or more thereof.

본 발명에 따른 유기용매는 에틸아세테이트, 부틸아세테이트, 디에틸렌글리콜디메틸에테르, 디에틸렌글리콜디메틸에틸에테르, 메틸메톡시프로피오네이트, 에틸에톡시프로피오네이트(EEP), 에틸락테이트, 프로필렌글리콜메틸에테르아세테이트(PGMEA), 프로필렌글리콜메틸에테르, 프로필렌글리콜프로필에테르, 메틸셀로솔브아세테이트, 에틸셀로솔브아세테이트, 디에틸렌글리콜메틸아세테이트, 디에틸렌글리콜에틸아세테이트, 아세톤, 메틸이소부틸케톤, 시클로헥사논, 디메틸포름아미드(DMF), N,N-디메틸아세트아미드(DMAc), N-메틸-2-피롤리돈(NMP), γ-부틸로락톤, 디에틸에테르, 에틸렌글리콜디메틸에테르, 다이글라임(Diglyme), 테트라하이드로퓨란(THF), 메탄올, 에탄올, 프로판올, 이소-프로판올, 메틸셀로솔브, 에틸셀로솔브, 디에틸렌글리콜메틸에테르, 디에틸렌글리콜에틸에테르, 디프로필렌글리콜메틸에테르, 톨루엔, 크실렌, 헥산, 헵탄 및 옥탄으로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나 또는 이들 중 2종 이상의 혼합물일 수 있다.The organic solvent according to the present invention is ethyl acetate, butyl acetate, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol dimethyl ethyl ether, methyl methoxy propionate, ethyl ethoxy propionate (EEP), ethyl lactate, propylene glycol methyl Ether acetate (PGMEA), propylene glycol methyl ether, propylene glycol propyl ether, methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, diethylene glycol methyl acetate, diethylene glycol ethyl acetate, acetone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone , Dimethylformamide (DMF), N, N-dimethylacetamide (DMAc), N-methyl-2-pyrrolidone (NMP), γ-butyrolactone, diethyl ether, ethylene glycol dimethyl ether, diglyme (Diglyme), tetrahydrofuran (THF), methanol, ethanol, propanol, iso-propanol, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, diethylene glycol methyl ether, Ethylene glycol ethyl ether, dipropylene glycol may be one or a mixture of two or more of those selected from ether, toluene, xylene, hexane, the group consisting of heptane and octane.

본 발명의 감광성 수지 조성물은 표시 소자의 절연막을 제조하기 위해 사용될 수 있으며, 본 발명에 따른 절연막은 탄성계수(Young's modulus)가 5.9GPa 내지 7.0GPa이며 경도(hardness)가 0.33GPa 내지 0.50GPa인 것이 바람직하다.The photosensitive resin composition of the present invention may be used to manufacture an insulating film of a display device, the insulating film according to the present invention has a Young's modulus of 5.9 GPa to 7.0 GPa and a hardness of 0.33 GPa to 0.50 GPa desirable.

본 발명의 감광성 수지 조성물로 제조된 절연막은 투과도 및 평탄성이 우수할 뿐만 아니라 패턴 특성 및 기계적 물성도 우수하다.The insulating film made of the photosensitive resin composition of the present invention not only has excellent transmittance and flatness, but also excellent pattern characteristics and mechanical properties.

따라서, 본 발명의 절연막은 강도 및 경도가 향상된 포토레지스트로 적용할 수 있으며, 저온(130~180℃)에서도 제품성이 있는 물성을 확보하도록 경화도를 부여할 수 있으므로, flexible plastic substrate를 사용하는 전자종이 및 플렉서블 표시 장치에도 적용할 수 있다.Therefore, the insulating film of the present invention can be applied as a photoresist with improved strength and hardness, and can be given a degree of curing so as to secure product properties even at low temperatures (130 to 180 ° C.). The present invention can also be applied to paper and flexible display devices.

또한 본 발명의 절연막은 내열성, 금속 및 무기물과의 접착력, UV투과율, 잔막율 및 패턴안정성 등도 매우 우수하다.In addition, the insulating film of the present invention is also excellent in heat resistance, adhesion to metals and inorganic materials, UV transmittance, residual film rate and pattern stability.

이하, 본 발명을 상세히 설명하기로 한다. 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail. The terms and words used in the present specification and claims should not be construed as limited to ordinary or dictionary terms and the inventor may appropriately define the concept of the term in order to best describe its invention It should be construed as meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention.

전술한 바와 같이, 본 발명은 불포화 카르복시산 단량체, 에폭시기 함유 불포화 화합물 단량체 및 올레핀계 단량체를 포함하여 형성된 공중합체 바인더; 퀴논 디아지드계 감광제; 무수물계 경화제 및 다가산계 경화제의 혼합물; 및 유기용매를 포함하는 감광성 수지 조성물을 제공하며, 본 발명에 따른 상기 감광성 수지 조성물로 절연막을 제조하면 절연막이 가져야할 기본적인 특성인 투과도, 내열성, 금속 및 무기물과의 접착력, UV투과율, 잔막율, 패턴안정성 등이 우수할 뿐만 아니라, 종래 유기계 절연막의 취약점이었던 강도, 경도 등의 기계적 물성도 우수한 절연막을 얻을 수 있다.As described above, the present invention is a copolymer binder formed by including an unsaturated carboxylic acid monomer, an epoxy group-containing unsaturated compound monomer and an olefin monomer; Quinone diazide photosensitizers; Mixtures of anhydride curing agents and polyacid curing agents; And it provides a photosensitive resin composition comprising an organic solvent, and when preparing an insulating film with the photosensitive resin composition according to the present invention, the basic characteristics that the insulating film should have transmittance, heat resistance, adhesion to metal and inorganic materials, UV transmittance, residual film rate, In addition to excellent pattern stability and the like, an insulating film excellent in mechanical properties such as strength and hardness, which is a weak point of the conventional organic insulating film, can be obtained.

본 발명의 감광성 수지 조성물에 있어서, 상기 불포화 카르복시산 단량체는 아크릴산, 메타아크릴산, 크로톤산 등의 모노카르복시산; 말레인산, 푸마르산, 시트라콘산, 메사콘산, 이타콘산 등의 디카르복시산; 상기 디카르복시산의 무수물; 숙신산 모노[2-(메트)아크릴로일옥시에틸], 프탈산 모노[2-(메트)아크릴로일옥시에틸〕 등의 2가 이상의 다가 카르복시산의 모노[(메트)아크릴로일옥시알킬]에스테르류; ω-카르복시폴리카프롤락톤모노(메트)아크릴레이트 등의 양 말단에 카르복시기와 수산기를 갖는 중합체의 모노(메트)아크릴레이트류 등을 각각 단독으로 또는 2종 이상 혼합하여 사용할 수 있다. 바람직하게는, 아크릴산, 메타크릴산, 무수 말레인산을 각각 단독으로 또는 2종 이상 혼합하여 사용할 수 있다.In the photosensitive resin composition of this invention, the said unsaturated carboxylic acid monomer is monocarboxylic acid, such as acrylic acid, methacrylic acid, and crotonic acid; Dicarboxylic acids such as maleic acid, fumaric acid, citraconic acid, mesaconic acid and itaconic acid; Anhydrides of the dicarboxylic acids; Mono [(meth) acryloyloxyalkyl] esters of bivalent or more polyvalent carboxylic acids, such as succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] and phthalic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] ; Mono (meth) acrylates of polymers having a carboxyl group and a hydroxyl group at both terminals, such as? -carboxypolycaprolactone mono (meth) acrylate, may be used alone or in combination of two or more thereof. Preferably, acrylic acid, methacrylic acid, maleic anhydride can be used individually or in mixture of 2 or more types, respectively.

본 발명에 따른 상기 불포화 카르복시산 단량체는 공중합체 바인더의 형성에 사용되는 전체 단량체 100 중량부 대비 5 내지 40 중량부로 사용될 수 있으며, 보다 바람직하게는 5 내지 25중량부로 사용될 수 있다. 상기 함량이 5 중량부 미만일 경우에는 알칼리 수용액에 용해하기 어렵다는 문제점이 있으며, 40 중량부를 초과할 경우에는 알칼리 수용액에 대한 용해성이 지나치게 커져 현상접착력이 떨어질 수 있다.The unsaturated carboxylic acid monomer according to the present invention may be used in 5 to 40 parts by weight, more preferably 5 to 25 parts by weight based on 100 parts by weight of the total monomer used in the formation of the copolymer binder. When the content is less than 5 parts by weight, there is a problem that it is difficult to dissolve in the aqueous alkali solution, when it exceeds 40 parts by weight, solubility in the aqueous alkali solution is too large, the development adhesive strength may be lowered.

본 발명의 감광성 수지 조성물에 있어서, 상기 에폭시기 함유 불포화 화합물 단량체는 아크릴산글리시딜, 메타크릴산글리시딜, α-에틸아크릴산글리시딜, α-n-프로필아크릴산글리시딜, α-n-부틸아크릴산글리시딜, 아크릴산-3,4-에폭시부틸, 메타크릴산-3,4-에폭시부틸, 아크릴산-6,7-에폭시헵틸, 메타크릴산-6,7-에폭시헵틸, α-에틸아크릴산-6,7-에폭시헵틸, o-비닐벤질글리시딜에테르, m-비닐벤질글리시딜에테르, p-비닐벤질글리시딜에테르 등을 각각 단독으로 또는 2종 이상 혼합하여 사용할 수 있다. 바람직하게는, 메타크릴산글리시딜, 메타크릴산-6,7-에폭시헵틸, o-비닐벤질글리시딜에테르, m-비닐벤질글리시딜에테르, p-비닐벤질글리시딜에테르 등을 각각 단독으로 또는 2종 이상 혼합하여 사용할 수 있다. In the photosensitive resin composition of this invention, the said epoxy-group containing unsaturated compound monomer is glycidyl acrylate, glycidyl methacrylate, the glycidyl (alpha)-ethyl acrylate, the glycidyl (alpha)-n-propyl acrylate, alpha-n- Glycidyl butyl acrylate, acrylic acid-3,4-epoxybutyl, methacrylic acid-3,4-epoxybutyl, acrylic acid-6,7-epoxyheptyl, methacrylic acid-6,7-epoxyheptyl, (alpha)-ethylacrylic acid -6,7-epoxyheptyl, o-vinylbenzyl glycidyl ether, m-vinyl benzyl glycidyl ether, p-vinyl benzyl glycidyl ether and the like can be used alone or in combination of two or more thereof. Preferably, methacrylic acid glycidyl, methacrylic acid-6,7-epoxyheptyl, o-vinylbenzyl glycidyl ether, m-vinylbenzyl glycidyl ether, p-vinylbenzyl glycidyl ether, etc. Each can be used individually or in mixture of 2 or more types.

본 발명에 따른 상기 에폭시기 함유 불포화 화합물 단량체는 공중합체 바인더의 형성에 사용되는 전체 단량체 100 중량부 대비 5 내지 70 중량부로 사용될 수 있으며, 더욱 바람직하게는 5 내지 50 중량부로 사용될 수 있다. 그 함량이 5 중량부 미만일 경우에는 얻어지는 패턴의 내열성이 저하된다는 문제점이 있으며, 70 중량부를 초과할 경우에는 공중합체의 보존안정성이 저하되고, 패턴 테이퍼각이 지나치게 높아진다는 문제점이 있다.The epoxy group-containing unsaturated compound monomer according to the present invention may be used in 5 to 70 parts by weight, more preferably 5 to 50 parts by weight relative to 100 parts by weight of the total monomer used in the formation of the copolymer binder. If the content is less than 5 parts by weight, there is a problem that the heat resistance of the resulting pattern is lowered. If the content is more than 70 parts by weight, the storage stability of the copolymer is lowered and the pattern taper angle is too high.

본 발명의 감광성 수지 조성물에 있어서, 상기 올레핀계 단량체는 메틸메타크릴레이트, 에틸메타크릴레이트, n-부틸메타크릴레이트, sec-부틸메타크릴레이트, t-부틸메타크릴레이트 등의 메타크릴산 알킬 에스테르; 메틸아크릴레이트, 이소프로필아크릴레이트 등의 아크릴산 알킬 에스테르; 시클로헥실메타크릴레이트, 2-메틸시클로헥실메타크릴레이트, 디시클로펜타닐메타크릴레이트, 디시클로펜타닐옥시에틸메타크릴레이트, 이소보로닐메타크릴레이트 등의 메타크릴산 환상알킬 에스테르; 시클로헥실아크릴레이트, 2-메틸시클로헥실아크릴레이트, 디시클로펜타닐아크릴레이트, 디시클로펜타닐옥시에틸아크릴레이트, 이소보르닐아크릴레이트 등의 아크릴산 환상알킬 에스테르; 페닐메타크릴레이트, 벤질메타크릴레이트 등의 메타크릴산 아릴 에스테르; 페닐아크릴레이트, 벤질아크릴레이트 등의 아크릴산 아릴 에스테르; 말레인산디에틸, 푸마르산디에틸, 이타콘산디에틸 등의 불포화 디카르복시산 디에스테르; 2-히드록시에틸메타크릴레이트, 2-히드록시프로필메타크릴레이트 등의 히드록시알킬 에스테르; 스티렌; α-메틸스티렌; m-메틸스티렌; p-메틸스티렌; 비닐톨루엔; p-메톡시스티렌; 아크릴로니트릴; 메타크릴로니트릴; 염화비닐; 염화비닐리덴; 아크릴아미드; 메타크릴아미드; 아세트산비닐; 1,3-부타디엔; 이소프렌; 2,3-디메틸-1,3-부타디엔 등을 각각 단독으로 또는 2종 이상 혼합하여 사용할 수 있다.In the photosensitive resin composition of the present invention, the olefin monomer is alkyl methacrylate such as methyl methacrylate, ethyl methacrylate, n-butyl methacrylate, sec-butyl methacrylate, t-butyl methacrylate, etc. ester; Acrylic acid alkyl esters such as methyl acrylate and isopropyl acrylate; Methacrylic acid cyclic alkyl esters such as cyclohexyl methacrylate, 2-methylcyclohexyl methacrylate, dicyclopentanyl methacrylate, dicyclopentanyloxyethyl methacrylate and isoboroyl methacrylate; Acrylic cyclic alkyl esters such as cyclohexyl acrylate, 2-methylcyclohexyl acrylate, dicyclopentanyl acrylate, dicyclopentanyloxyethyl acrylate and isobornyl acrylate; Methacrylic acid aryl esters such as phenyl methacrylate and benzyl methacrylate; Acrylic acid aryl esters such as phenyl acrylate and benzyl acrylate; Unsaturated dicarboxylic acid diesters such as diethyl maleate, diethyl fumarate and diethyl itaconic acid; Hydroxyalkyl esters such as 2-hydroxyethyl methacrylate and 2-hydroxypropyl methacrylate; Styrene; ? -methyl styrene; m-methylstyrene; p-methylstyrene; Vinyl toluene; p-methoxystyrene; Acrylonitrile; Methacrylonitrile; Vinyl chloride; Vinylidene chloride; Acrylamide; Methacrylamide; Vinyl acetate; 1,3-butadiene; Isoprene; 2,3-dimethyl-1,3-butadiene etc. can be used individually or in mixture of 2 or more types, respectively.

본 발명에 따른 상기 올레핀계 단량체는 공중합체 바인더의 형성에 사용되는 전체 단량체 100 중량부 대비 30 내지 90 중량부로 사용될 수 있으며, 더욱 바람직하게는 30 내지 60 중량부로 사용될 수 있다. 그 함량이 30 중량부 미만일 경우에는 공중합체의 광경화도가 저하된다는 문제점이 있으며, 90 중량부를 초과할 경우에는 공중합체가 현상액인 알칼리 수용액에 용해되기 어렵다는 문제점이 있다.The olefin monomer according to the present invention may be used in 30 to 90 parts by weight, more preferably 30 to 60 parts by weight relative to 100 parts by weight of the total monomer used in the formation of the copolymer binder. If the content is less than 30 parts by weight, there is a problem that the degree of photocuring of the copolymer is lowered. If the content is more than 90 parts by weight, the copolymer is difficult to be dissolved in an aqueous alkali solution.

본 발명에 따라 상기 단량체들을 포함하여 형성되는 공중합체 바인더는 폴리스티렌 환산 중량 평균 분자량(Mw) 5,000 내지 500,000, 바람직하게는 8,000 내지 20,000인 것을 사용할 수 있다. Mw가 5,000 미만이면 형성된 절연막의 내화학성 및 내열성이 감소되고, 500,000를 초과하면, 기판과의 접착성이 저하될 수 있다.According to the present invention, the copolymer binder formed by using the monomers may use a polystyrene reduced weight average molecular weight (Mw) of 5,000 to 500,000, preferably 8,000 to 20,000. If Mw is less than 5,000, chemical resistance and heat resistance of the formed insulating film are reduced, and if it exceeds 500,000, adhesiveness with the substrate may be lowered.

본 발명에 따른 퀴논 디아지드계 감광제는 1,2-퀴논디아지드-4-술폰산 에스테르, 1,2-퀴논디아지드-5-술폰산 에스테르, 또는 1,2-퀴논디아지드-6-술폰산 에스테르 등을 각각 단독을 또는 2종 이상 혼합하여 사용할 수 있다. Quinone diazide-based photosensitizers according to the present invention include 1,2-quinonediazide-4-sulfonic acid esters, 1,2-quinonediazide-5-sulfonic acid esters, 1,2-quinonediazide-6-sulfonic acid esters, and the like. Can be used individually or in mixture of 2 or more types, respectively.

상기 퀴논 디아지드계 감광제는 공중합체 바인더의 고형분 100 중량부 대비 5 내지 50 중량부로 포함되는 것이 바람직하며, 더욱 바람직하게는 10 내지 35 중량부로 포함될 수 있다. 그 함량이 5 중량부 미만일 경우에는 노광 전후에서 알칼리 수용액에서의 용해도 차가 크지 않아 패턴의 콘트라스트가 떨어지는 문제점이 있으며 50 중량부를 초과할 경우에는 감광성 수지 조성물로부터 형성된 표시 패널 절연막의 투과도가 떨어진다는 문제점이 있다.The quinone diazide-based photosensitive agent is preferably included in 5 to 50 parts by weight, more preferably 10 to 35 parts by weight relative to 100 parts by weight of the solid content of the copolymer binder. If the content is less than 5 parts by weight, there is a problem in that the contrast of the pattern is low because the difference in solubility in the alkaline aqueous solution is not large before and after exposure, and if the content is more than 50 parts by weight, the transmittance of the display panel insulating film formed from the photosensitive resin composition is poor. have.

본 발명의 감광성 수지 조성물에 있어서, 경화제는 무수물계 경화제 및 다가산계 경화제의 혼합물이 사용된다.In the photosensitive resin composition of this invention, the hardening | curing agent uses the mixture of anhydride type hardening | curing agent and a polyacid-type hardening | curing agent.

본 발명에 따른 상기 무수물계 경화제는 도데시닐 숙신산 무수물, 메틸테트라프탈산 무수물, 메틸헥사하이드로프탈산 무수물, 메틸나딕산 무수물 등을 각각 단독으로 또는 2종 이상 혼합하여 사용할 수 있으며, 바람직하게는 메틸나딕산 무수물을 사용할 수 있다.The anhydride-based curing agent according to the present invention may be used alone or in combination of two or more of dodecynyl succinic anhydride, methyltetraphthalic anhydride, methylhexahydrophthalic anhydride, methylnadic acid anhydride, etc., preferably methylna Dixic anhydride can be used.

또한, 본 발명에 따른 상기 다가산계 경화제로는 1,3-아세톤디카르복시산, 1,3-아다만탄디카르복시산, 1,2,3,4-부탄테트라카르복시산, 벤질말론산, 비페닐-4,4-디카르복시산, 2,2-비피리딘-4,4-디카르복시산, 트리멜리트산 등을 각각 단독으로 또는 2종 이상 혼합하여 사용할 수 있으며, 바람직하게는 트리멜리트산을 사용할 수 있다.In addition, the polyacid curing agent according to the present invention is 1,3-acetone dicarboxylic acid, 1,3-adamantanedicarboxylic acid, 1,2,3,4-butanetetracarboxylic acid, benzyl malonic acid, biphenyl-4, 4-dicarboxylic acid, 2,2-bipyridine-4,4-dicarboxylic acid, trimellitic acid, and the like can be used alone or in combination of two or more thereof, preferably trimellitic acid can be used.

본 발명에 따른 상기 경화제 혼합물은 감광성 수지 조성물 전체 100 중량부 대비 0.01 내지 10중량부로 사용할 수 있으며, 바람직하게는 0.01 내지 3중량부로 사용할 수 있다. 그 함량이 0.01중량부 미만이면 박막에 충분한 경화도를 부여하지 못하여 물성이 떨어지게 되고, 10중량부 초과이면 박막이 지나치게 경직해져 현상 특성이 떨어지게 되며, 용해도 감소로 입자(particle)가 형성될 수 있다. The curing agent mixture according to the present invention may be used in an amount of 0.01 to 10 parts by weight, preferably 0.01 to 3 parts by weight, based on 100 parts by weight of the total photosensitive resin composition. If the content is less than 0.01 parts by weight does not impart a sufficient degree of cure to the thin film, the physical properties are lowered, if more than 10 parts by weight of the thin film is too stiff to reduce the development characteristics, particles may be formed by reducing the solubility.

또한, 바람직하게는 상기 무수물계 경화제와 다가산계 경화제는 1:1 내지 1:10 비율로 혼합하여 사용할 수 있다. 혼합비율을 조절함으로써 적정한 테이퍼 각과 흐름특성 및 기계적 물성을 부여할 수 있으며, 상기 혼합 범위에서 적절한 테이퍼 각과 흐름특성 및 기계적 물성을 얻을 수 있다. In addition, preferably, the anhydride curing agent and the polyacid curing agent may be mixed and used in a ratio of 1: 1 to 1:10. By adjusting the mixing ratio, an appropriate taper angle, flow characteristics and mechanical properties can be imparted, and an appropriate taper angle, flow characteristics, and mechanical properties can be obtained in the mixing range.

또한, 본 발명에 따른 경화제는 LCD 디스플레이 조성액의 범용 용제인 PGMEA 및 MEC와 함께 사용될 경우에는, 적합한 용해도를 가질 수 있도록 1 내지 6개의 관능기 수를 갖는 것이 바람직하다.In addition, when used with PGMEA and MEC, which are general purpose solvents for LCD display compositions, the curing agent according to the present invention preferably has 1 to 6 functional groups so as to have a suitable solubility.

본 발명에 따른 유기용매는 바인더 수지, 감광제 및 경화제 등과의 상용성을 고려할 때, 에틸아세테이트, 부틸아세테이트, 디에틸렌글리콜디메틸에테르, 디에틸렌글리콜디메틸에틸에테르, 메틸메톡시프로피오네이트, 에틸에톡시프로피오네이트(EEP), 에틸락테이트, 프로필렌글리콜메틸에테르아세테이트(PGMEA), 프로필렌글리콜메틸에테르, 프로필렌글리콜프로필에테르, 메틸셀로솔브아세테이트, 에틸셀로솔브아세테이트, 디에틸렌글리콜메틸아세테이트, 디에틸렌글리콜에틸아세테이트, 아세톤, 메틸이소부틸케톤, 시클로헥사논, 디메틸포름아미드(DMF), N,N-디메틸아세트아미드(DMAc), N-메틸-2-피롤리돈(NMP), γ-부틸로락톤, 디에틸에테르, 에틸렌글리콜디메틸에테르, 다이글라임(Diglyme), 테트라하이드로퓨란(THF), 메탄올, 에탄올, 프로판올, 이소-프로판올, 메틸셀로솔브, 에틸셀로솔브, 디에틸렌글리콜메틸에테르, 디에틸렌글리콜에틸에테르, 디프로필렌글리콜메틸에테르, 톨루엔, 크실렌, 헥산, 헵탄, 옥탄 등을 각각 단독으로 또는 2종 이상을 혼합한 용매를 사용할 수 있다.The organic solvent according to the present invention is ethyl acetate, butyl acetate, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol dimethyl ethyl ether, methyl methoxy propionate, ethyl ethoxy in consideration of compatibility with binder resins, photosensitizers and curing agents, etc. Propionate (EEP), ethyl lactate, propylene glycol methyl ether acetate (PGMEA), propylene glycol methyl ether, propylene glycol propyl ether, methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, diethylene glycol methyl acetate, diethylene Glycol ethyl acetate, acetone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, dimethylformamide (DMF), N, N-dimethylacetamide (DMAc), N-methyl-2-pyrrolidone (NMP), γ-butylo Lactone, diethyl ether, ethylene glycol dimethyl ether, diglyme, tetrahydrofuran (THF), methanol, ethanol, propanol, iso-propanol, A solvent in which methyl cellosolve, ethyl cellosolve, diethylene glycol methyl ether, diethylene glycol ethyl ether, dipropylene glycol methyl ether, toluene, xylene, hexane, heptane, octane, and the like are respectively used alone or in combination of two or more thereof. Can be used.

상기 용매는 감광성 수지 조성물의 고형분 100 중량부 대비 20 중량부 내지 120 중량부로 사용될 수 있으며, 더욱 바람직하게는 50 내지 90 중량부로 사용될 수 있다. 그 함량이 20 중량부 미만일 경우에는 감광성 수지 조성액의 저장안정성에 문제가 발생할 수 있으며, 120 중량부를 초과할 경우에는 생성된 감광성 수지 조성액의 점도가 지나치게 낮기 때문에, 스핀 코팅 공정을 통해 균일한 두께의 막을 형성하기가 어려울 수 있다.The solvent may be used in an amount of 20 parts by weight to 120 parts by weight, and more preferably 50 to 90 parts by weight, based on 100 parts by weight of the solid content of the photosensitive resin composition. If the content is less than 20 parts by weight, there may be a problem in the storage stability of the photosensitive resin composition, and if it exceeds 120 parts by weight, the viscosity of the resulting photosensitive resin composition is too low. It may be difficult to form a film.

본 발명의 감광성 수지 조성물은 표시 장치용 절연막에 유용하게 사용될 수 있다. 본 발명에 따른 절연막은 탄성계수(Young’s modulus)는 5.9GPa 내지 7.0GPa이고, 경도(hardness)는 0.33GPa 내지 0.50GPa인 것이 바람직하다.The photosensitive resin composition of this invention can be usefully used for the insulating film for display devices. The insulating film according to the present invention preferably has a Young's modulus of 5.9 GPa to 7.0 GPa and a hardness of 0.33 GPa to 0.50 GPa.

탄성계수가 5.9GPa 미만에서는 공정 상에서 외부 압력이 가해질 시 수축 및 파괴가 발생할 수 있으며, 7.0GPa를 초과하는 경우, 지나친 경직성으로 인하여 막 상에 크랙이 발생할 수 있다. 같은 이유로 경도는 0.33GPa 내지 0.50GPa의 범위 내에서, 절연막의 양호한 기계적 특성을 보장하여 준다.If the modulus of elasticity is less than 5.9 GPa, shrinkage and fracture may occur when external pressure is applied in the process, and if it exceeds 7.0 GPa, cracks may occur on the film due to excessive stiffness. For the same reason, the hardness in the range of 0.33 GPa to 0.50 GPa ensures good mechanical properties of the insulating film.

특히 바람직하게는 탄성계수는 6.0GPa 내지 6.5GPa 이고, 경도는 0.33GPa 내지 0.40GPa이다. 본 발명의 표시 패널용 절연막은 그 탄성계수 및 경도가 상기 범위 내에 있는 경우, 지나치게 테이퍼각이 높거나 낮지 않으면서 원하는 패턴 라인의 사이즈를 확보할 수 있으므로 더욱 바람직하다.Especially preferably, the modulus of elasticity is 6.0 GPa to 6.5 GPa and the hardness is 0.33 GPa to 0.40 GPa. The insulating film for a display panel of the present invention is more preferable when the elastic modulus and hardness are within the above range because the desired pattern line size can be secured without too high or low taper angle.

또한, 본 발명의 감광성 수지 조성물은 경화도가 50 내지 95%인 것이 바람직하다. 경화도가 50% 미만일 때는 경화가 완전히 일어나지 않으며, 95%를 초과하면 테이퍼 각이 너무 커서 현상성이 떨어진다.Moreover, it is preferable that the photosensitive resin composition of this invention is 50 to 95% of hardening degree. When the degree of cure is less than 50%, the cure does not occur completely. If the degree of cure exceeds 95%, the taper angle is too large and developability is low.

이하, 본 발명을 구체적으로 설명하기 위해 실시예를 들어 상세하게 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명에 따른 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예에 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 발명의 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다.BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to examples. However, the embodiments according to the present invention can be modified into various other forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited to the embodiments described below. The embodiments of the present invention are provided to enable those skilled in the art to more fully understand the present invention.

합성예Synthetic example

냉각관과 교반기를 구비한 플라스크에 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 2 중량부, 글리시딜메타아크릴레이트 35 중량부, 메틸메타크릴레이트 54 중량부, 메타아크릴산 7 중량부, 메톡시에틸카비톨 140 중량부를 넣고, 질소치환한 후 천천히 교반하였다. 상기 반응 용액을 65 ℃까지 승온시켜 5 시간 동안 이 온도를 유지하면서 바인더 수지 공중합체를 포함하는 중합체 용액을 제조한 후, 중합종결제를 2 중량부 첨가하여 반응을 종결하였다. 생성된 공중합체는 분산도 2.3을 지니며, 중량평균분자량이 11,000g/mol, 고형분 농도는 32.5%이었다. 이하에서는, 상기 제조된 공중합체를 공중합체 A로 지칭한다.
2 parts by weight of 2,2'-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile), 35 parts by weight of glycidyl methacrylate, 54 parts by weight of methyl methacrylate, and methacrylic acid in a flask equipped with a cooling tube and a stirrer. 7 parts by weight and 140 parts by weight of methoxyethylcarbitol were added, followed by nitrogen substitution, followed by slow stirring. The reaction solution was heated to 65 ° C. to prepare a polymer solution containing a binder resin copolymer while maintaining this temperature for 5 hours, and then 2 parts by weight of a polymerization terminator was added to terminate the reaction. The resulting copolymer had a dispersion degree of 2.3, a weight average molecular weight of 11,000 g / mol, and a solid content concentration of 32.5%. Hereinafter, the copolymer prepared above will be referred to as copolymer A.

실시예 1Example 1

상기 공중합체 A, 감광제로서 1,2-나프토퀴논디아지드를 공중합체 A의 고형분 100 중량부 대비 18 중량부, 경화제로서 트리멜리틱산을 공중합체 A의 고형분 100 중량부 대비 1 중량부 및 메틸나딕산 무수물을 공중합체 A의 고형분 100 중량부 대비 1 중량부를 혼합하였다. 이 후, 감광성 조성물 용액의 고형분 농도가 29 중량%가 되도록 상기 성분들을 메톡시에틸카비톨 중에 용해시키고, 공경 0.45um의 밀리포어 필터로 여과시켜 감광성 수지 조성물을 제조하였다. The copolymer A, 18 parts by weight of 1,2-naphthoquinone diazide as the photosensitizer to 100 parts by weight of the solid content of the copolymer A, 1 part by weight of trimellitic acid as the curing agent to 100 parts by weight of the solid content of the copolymer A and methyl Nadic acid anhydride was mixed with 1 part by weight based on 100 parts by weight of solids of Copolymer A. Thereafter, the above components were dissolved in methoxyethylcarbitol such that the solid content concentration of the photosensitive composition solution was 29% by weight, and filtered through a Millipore filter having a pore size of 0.45 um to prepare a photosensitive resin composition .

실시예Example 2 2

트리멜리틱산 3 중량부를 사용한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일한 방법으로 조성물을 제조하였다.A composition was prepared in the same manner as in Example 1, except that 3 parts by weight of trimellitic acid was used.

실시예 3Example 3

트리멜리틱산 5 중량부를 사용한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일한 방법으로 조성물을 제조하였다.
Except that 5 parts by weight of trimellitic acid was used to prepare a composition in the same manner as in Example 1.

비교예 1Comparative Example 1

경화제를 사용하지 않은 것을 제외하고는 실시예 1과 동일한 방법으로 조성물을 제조하였다.The composition was prepared in the same manner as in Example 1 except that no curing agent was used.

비교예 2Comparative Example 2

트리멜리틱산을 사용하지 않은 것을 제외하고는 실시예 1과 동일한 방법으로 조성물을 제조하였다.A composition was prepared in the same manner as in Example 1, except that trimellitic acid was not used.

비교예 3Comparative Example 3

메틸나딕산 무수물을 사용하지 않은 것을 제외하고는 실시예 1과 동일한 방법으로 조성물을 제조하였다.The composition was prepared in the same manner as in Example 1 except that methylnadic acid anhydride was not used.

비교예 4Comparative Example 4

경화제로서 트리멜리틱산 및 메틸나딕산 무수물을 사용하지 않고, 아민계 경화제인 디에틸 트리아민을 2 중량부를 사용한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일한 방법으로 조성물을 제조하였다.
The composition was prepared in the same manner as in Example 1, except that trimellitic acid and methylnadic acid anhydride were not used, and 2 parts by weight of diethyl triamine, an amine curing agent, was used.

시험예Test Example

상기 실시예 및 비교예에서 제조된 감광성 수지 조성물을 기판에 스핀코팅한 뒤, 90℃로 150초간 핫플레이트 상에서 예비소성하여 막을 형성하였다. 그 후, 상기 도막을 공기 중에서 소정의 패턴을 갖는 마스크를 통하여 파장 365nm에서 강도가 15W/m2인 자외선에 13초 동안 노광시킨 후, 0.4 중량% 테트라메틸 암모늄히드록시드 수용액으로 23℃에서 80초간 현상한 후, 초순수로 1분 동안 세정하였다. 이을 오븐에서 130℃로 1시간 동안 가열하여 경화시킴으로써 높이 3.5um(마이크로미터)의 경화막 패턴을 얻었다.The photosensitive resin compositions prepared in Examples and Comparative Examples were spin coated on a substrate, and then prebaked at 90 ° C. for 150 seconds to form a film. Thereafter, the coating film was exposed to ultraviolet light having an intensity of 15 W / m 2 for 13 seconds at a wavelength of 365 nm through a mask having a predetermined pattern in air, followed by 80 ° C. at 23 ° C. with an aqueous 0.4 wt% tetramethyl ammonium hydroxide solution. After developing for a second, it was washed with ultrapure water for 1 minute. The resultant was cured by heating at 130 ° C. for 1 hour in an oven to obtain a cured film pattern having a height of 3.5 μm (micrometer).

상기 제조된 절연막에 대하여 하기 시험들을 수행하였으며, 그 결과를 하기 표 1에 기재하였다.The following tests were performed on the prepared insulating film, and the results are shown in Table 1 below.

(1) 경화도(1) degree of curing

실시예 및 비교예에서 얻어진 절연막 패턴의 적외선 분광 피크를 IR 측정을 통하여 얻었다. 로우 데이터를 카르보닐 피크 기준으로 정규화한 후, 열 경화 공정 후에도 반응하지 않고 잔류하고 있는 에폭시 기의 면적을 적분하여 절연막 패턴의 경화도를 구하였다. Infrared spectral peaks of the insulating film patterns obtained in Examples and Comparative Examples were obtained through IR measurement. After normalizing the raw data on the carbonyl peak basis, the degree of curing of the insulating film pattern was obtained by integrating the area of the epoxy groups remaining without reacting even after the thermal curing step.

(2) 박막의 탄성 계수 및 경도 측정(2) Measurement of elastic modulus and hardness of thin film

실시예 및 비교예에서 얻어진 절연막 패턴의 기계적 물성을, 측정 온도 25?에서 나노인덴터(Nanoindentor, MTS)로 평가하였다. 다이아몬드 재질의 버코비치 팁이 달린 압자를 사용하여, 시편 표면에 일정한 하중으로 압입시켰다. 이때 얻어지는 압입깊이 대 압입 면적을 Oliver-Pharr의 식으로 모델링하여 절연막 패턴의 강도와 경도를 구하였다.The mechanical properties of the insulating film patterns obtained in Examples and Comparative Examples were evaluated by a nanoindenter (MTS) at a measurement temperature of 25 ° C. Using a diamond indenter with a Berkovich tip, the specimen surface was press-fitted to a constant load. The indentation depth versus indentation area obtained at this time was modeled by Oliver-Pharr's equation to obtain the strength and hardness of the insulating film pattern.

제조된 유기 박막은 폴리머 바인더를 포함함으로써, 고유의 점탄성 특성을 가지게 된다. 따라서 시료의 탄성 한도 내에서 발생하는 (횡방향 변형률/종방향 변형률)의 비율, 즉 쁘와송 비를 고려하여 모델링을 하여야 한다. 발명자들의 경험치에 의거하여, 적정한 쁘와송 비를 0.1~0.5로 결정지었다. 또한 더욱 바람직하게는 0.22를 사용하였다.  The prepared organic thin film includes a polymer binder, thereby having inherent viscoelastic properties. Therefore, the modeling should be considered in consideration of the ratio of transverse strain / longitudinal strain occurring within the elastic limit of the sample, that is, Poisson's ratio. Based on the inventors' experience, the appropriate Poisson's ratio was determined to be 0.1 to 0.5. More preferably, 0.22 was used.

압입 실험에서는 기판효과(substrate effect)가 발생하게 되며, 특히 수 um(마이크로미터)이내의 박막에서는 압입깊이가 증가함에 따라 지지대의 작용에 의해 마치 물성치가 증가한 것처럼 측정된다. 따라서 전체 박막 두께의 5~30%인 지점을 결정 범위로 하였고 더욱 바람직하게는 막 두께 대비 10% 지점을 결정 범위로 하였다. 5% 이내의 두께에서는 기판의 표면장력 및 tip 모듈의 진동성 때문에 측정오차가 발생할 수 있고, 30% 이상의 두께에서는 substrate effect에 의해 정확하지 못한 데이터가 산출된다. Substrate effect occurs in the indentation experiment. Especially, in the case of thin film within a few um (micrometer), it is measured as the property value increases by the action of the support as the indentation depth increases. Therefore, 5-30% of the total thickness of the thin film was defined as the crystal range, and more preferably 10% of the film thickness was determined as the crystal range. If the thickness is within 5%, measurement errors may occur due to the surface tension of the substrate and the vibration of the tip module. In the thickness of 30% or more, inaccurate data is generated by the substrate effect.

(3) (3) 잔막율Residual film ratio 측정:  Measure:

실시예 및 비교예에서 얻어진 감광성 수지 조성물을 기판 위에 스핀 코팅하고, 프리베이크(Pre-Bake)를 한 후의 두께와 포스트베이크(Post-Bake)를 하여 용매를 제거한 후 형성된 막의 두께 비율(%)을 측정하였다.The thickness ratio (%) of the film formed after spin coating the photosensitive resin composition obtained in Examples and Comparative Examples on the substrate, removing the solvent by pre-baking and removing the solvent by post-baking Measured.

경화도(%)Hardness (%) 탄성계수(GPa)Modulus of elasticity (GPa) 경도(GPa)Hardness (GPa) 잔막율(%)Remaining film ratio (%) 실시예1Example 1 6868 6.346.34 0.340.34 9292 실시예2Example 2 7272 6.396.39 0.330.33 9292 실시예3Example 3 7676 6.406.40 0.340.34 9393 비교예1Comparative Example 1 6767 5.835.83 0.310.31 9292 비교예2Comparative Example 2 측정불가Not measurable 측정불가Not measurable 측정불가Not measurable 측정불가Not measurable 비교예3Comparative Example 3 6868 5.855.85 0.310.31 9191 비교예4Comparative Example 4 측정불가Not measurable 측정불가Not measurable 측정불가Not measurable 측정불가Not measurable

비교예 2의 경우에는, 이 때 현상 공정 이후, 표면에 미세한 흰색의 입자가 발생하였으며, 강도 및 경도가 고르게 향상되지 않고 지역차를 나타내었다. 따라서 감광성 조성 성분 간의 용해성 문제로 시험 수행 자체가 불가능하였다.In the case of Comparative Example 2, after the development step, fine white particles were generated on the surface, and the strength and hardness did not improve evenly, and showed regional differences. Therefore, it was impossible to perform the test due to the solubility problem between the photosensitive composition components.

또한, 비교예 4의 경우에는, 감광성 조성액이 경시기간이 증가할수록 점도가 증가하였는데, 이는 저장 안정성이 떨어짐을 의미한다. 따라서 아민계 경화제는 조성물과의 반응성이 지나치게 좋아 포토레지스트용으로 사용할 수 없음을 확인하였다.In addition, in the case of Comparative Example 4, the viscosity of the photosensitive composition liquid increased with time, which means that the storage stability is inferior. Therefore, it was confirmed that the amine curing agent was too reactive with the composition and could not be used for photoresist.

또한, 표 1에 나타난 바와 같이, 비교예 1 및 비교예 3의 조성물로 제조된 절연막은 탄성계수 및 경도가 본 발명의 절연막이 요구하는 범위를 만족하지 않음을 알 수 있다. 구체적으로, 비교예 1 및 비교예 3의 조성물로 제조된 절연막은 탄성계수가 5.9GPa 미만이므로(5.83GPa, 5.85GPa), 공정 상에서 외부 압력이 가해질 시 수축 및 파괴가 발생할 수 있으며, 경도도 본 발명의 절연막이 요구하는 최소값인 0.33GPa 미만인 것을 알 수 있다.In addition, as shown in Table 1, it can be seen that the insulating films made of the compositions of Comparative Examples 1 and 3 do not satisfy the elastic modulus and hardness of the insulating film of the present invention. Specifically, since the insulating films made of the compositions of Comparative Examples 1 and 3 have an elastic modulus of less than 5.9 GPa (5.83 GPa, 5.85 GPa), shrinkage and breakage may occur when external pressure is applied in the process, and hardness is also seen. It turns out that it is less than 0.33 GPa which is the minimum value which the insulating film of this invention requires.

따라서, 본 발명의 절연막이 비교예 1 및 비교예 3의 절연막보다 우수함을 알 수 있다.Therefore, it can be seen that the insulating film of the present invention is superior to the insulating film of Comparative Example 1 and Comparative Example 3.

Claims (9)

불포화 카르복시산 단량체, 에폭시기 함유 불포화 화합물 단량체 및 올레핀계 단량체를 포함하여 형성된 공중합체 바인더;
퀴논 디아지드계 감광제;
무수물계 경화제 및 다가산계 경화제의 혼합물; 및
유기용매
를 포함하는 감광성 수지 조성물로서,
상기 무수물계 경화제 및 다가산계 경화제의 혼합물은 상기 감광성 수지 조성물 전체 100 중량부 대비 0.01 내지 10 중량부로 포함되고, 상기 무수물계 경화제와 다가산계 경화제는 1:1 내지 1:10 비율로 혼합되는 감광성 수지 조성물.
A copolymer binder formed of an unsaturated carboxylic acid monomer, an epoxy group-containing unsaturated compound monomer and an olefinic monomer;
Quinone diazide photosensitizers;
Mixtures of anhydride curing agents and polyacid curing agents; And
Organic solvent
As a photosensitive resin composition containing,
The mixture of the anhydride-based curing agent and the polyacid-based curing agent is contained in 0.01 to 10 parts by weight based on 100 parts by weight of the total photosensitive resin composition, the anhydride-based curing agent and the polyacid-based curing agent is mixed in a ratio of 1: 1 to 1:10 Composition.
제1항에 있어서,
상기 불포화 카르복시산 단량체는 아크릴산; 메타아크릴산; 크로톤산; 말레인산; 푸마르산; 시트라콘산; 메사콘산; 이타콘산; 상기 푸마르산, 시트라콘산, 메사콘산 및 이타콘산의 각 무수물; 숙신산 모노[2-(메트)아크릴로일옥시에틸]; 프탈산 모노[2-(메트)아크릴로일옥시에틸]; 및 ω-카르복시폴리카프롤락톤모노(메트)아크릴레이트로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 또는 이들 중 2종 이상의 혼합물인 것을 특징으로 하는 감광성 수지 조성물.
The method of claim 1,
The unsaturated carboxylic acid monomer is acrylic acid; Methacrylic acid; Crotonic acid; Maleic acid; Fumaric acid; Citraconic acid; Mesaconic acid; Itaconic acid; Each anhydride of the fumaric acid, citraconic acid, mesaconic acid and itaconic acid; Succinic mono [2- (meth) acryloyloxyethyl]; Phthalic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl]; And ω-carboxypolycaprolactone mono (meth) acrylate, or a mixture of two or more thereof selected from the group consisting of photosensitive resin compositions.
제1항에 있어서,
상기 에폭시기 함유 불포화 화합물 단량체는 아크릴산글리시딜, 메타크릴산글리시딜, α-에틸아크릴산글리시딜, α-n-프로필아크릴산글리시딜, α-n-부틸아크릴산글리시딜, 아크릴산-3,4-에폭시부틸, 메타크릴산-3,4-에폭시부틸, 아크릴산-6,7-에폭시헵틸, 메타크릴산-6,7-에폭시헵틸, α-에틸아크릴산-6,7-에폭시헵틸, o-비닐벤질글리시딜에테르, m-비닐벤질글리시딜에테르 및 p-비닐벤질글리시딜에테르로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 또는 이들 중 2종 이상의 혼합물인 것을 특징으로 하는 감광성 수지 조성물.
The method of claim 1,
The epoxy group-containing unsaturated compound monomers are glycidyl acrylate, glycidyl methacrylate, α-ethyl acrylate glycidyl, α-n-propyl acrylate glycidyl, α-n-butyl acrylate glycidyl, acrylic acid-3 , 4-epoxybutyl, methacrylic acid-3,4-epoxybutyl, acrylic acid-6,7-epoxyheptyl, methacrylic acid-6,7-epoxyheptyl, α-ethylacrylic acid-6,7-epoxyheptyl, o A photosensitive resin composition, which is any one selected from the group consisting of -vinylbenzyl glycidyl ether, m-vinyl benzyl glycidyl ether, and p-vinyl benzyl glycidyl ether, or a mixture of two or more thereof.
제1항에 있어서,
상기 올레핀계 단량체는 메틸메타크릴레이트, 에틸메타크릴레이트, n-부틸메타크릴레이트, sec-부틸메타크릴레이트, t-부틸메타크릴레이트, 메틸아크릴레이트, 이소프로필아크릴레이트, 시클로헥실메타크릴레이트, 2-메틸시클로헥실메타크릴레이트, 디시클로펜타닐메타크릴레이트, 디시클로펜타닐옥시에틸메타크릴레이트, 이소보로닐메타크릴레이트, 시클로헥실아크릴레이트, 2-메틸시클로헥실아크릴레이트, 디시클로펜타닐아크릴레이트, 디시클로펜타닐옥시에틸아크릴레이트, 이소보르닐아크릴레이트, 페닐메타크릴레이트, 벤질메타크릴레이트, 페닐아크릴레이트, 벤질아크릴레이트, 말레인산디에틸, 푸마르산디에틸, 이타콘산디에틸, 2-히드록시에틸메타크릴레이트, 2-히드록시프로필메타크릴레이트, 스티렌, α-메틸스티렌, m-메틸스티렌, p-메틸스티렌, 비닐톨루엔, p-메톡시스티렌, 아크릴로니트릴, 메타크릴로니트릴, 염화비닐, 염화비닐리덴, 아크릴아미드, 메타크릴아미드, 아세트산비닐, 1,3-부타디엔, 이소프렌, 및 2,3-디메틸-1,3-부타디엔으로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나 또는 이들 중 2종 이상의 혼합물인 것을 특징으로 하는 감광성 수지 조성물.
The method of claim 1,
The olefin monomer is methyl methacrylate, ethyl methacrylate, n-butyl methacrylate, sec-butyl methacrylate, t-butyl methacrylate, methyl acrylate, isopropyl acrylate, cyclohexyl methacrylate , 2-methylcyclohexyl methacrylate, dicyclopentanyl methacrylate, dicyclopentanyloxyethyl methacrylate, isobornyl methacrylate, cyclohexyl acrylate, 2-methylcyclohexyl acrylate, dicyclopentanyl Acrylate, dicyclopentanyloxyethyl acrylate, isobornyl acrylate, phenyl methacrylate, benzyl methacrylate, phenyl acrylate, benzyl acrylate, diethyl maleate, diethyl fumarate, diethyl itaconate, 2- Hydroxyethyl methacrylate, 2-hydroxypropyl methacrylate, styrene, α-methylstyrene, m-methylstyrene, p-meth Styrene, vinyltoluene, p-methoxystyrene, acrylonitrile, methacrylonitrile, vinyl chloride, vinylidene chloride, acrylamide, methacrylamide, vinyl acetate, 1,3-butadiene, isoprene, and 2,3- Photosensitive resin composition, characterized in that any one or a mixture of two or more selected from the group consisting of dimethyl-1,3-butadiene.
제1항에 있어서,
상기 퀴논 디아지드계 감광제는 1,2-퀴논디아지드-4-술폰산 에스테르, 1,2-퀴논디아지드-5-술폰산 에스테르 및 1,2-퀴논디아지드-6-술폰산 에스테르로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나 또는 이들 중 2종 이상의 혼합물인 것을 특징으로 하는 감광성 수지 조성물.
The method of claim 1,
The quinone diazide-based photosensitizer is selected from the group consisting of 1,2-quinone diazide-4-sulfonic acid ester, 1,2-quinone diazide-5-sulfonic acid ester and 1,2-quinone diazide-6-sulfonic acid ester Photosensitive resin composition, characterized in that any one or a mixture of two or more thereof.
제1항에 있어서,
상기 무수물계 경화제는 도데시닐 숙신산 무수물, 메틸테트라프탈산 무수물, 메틸헥사하이드로프탈산 무수물, 및 메틸나딕산 무수물로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나 또는 이들 중 2종 이상의 혼합물인 것을 특징으로 하는 감광성 수지 조성물.
The method of claim 1,
The anhydride-based curing agent is any one selected from the group consisting of dodecynyl succinic anhydride, methyltetraphthalic anhydride, methylhexahydrophthalic anhydride, and methylnadic acid anhydride, or a mixture of two or more thereof. .
제1항에 있어서,
상기 다가산계 경화제는 1,3-아세톤디카르복시산, 1,3-아다만탄디카르복시산, 1,2,3,4-부탄테트라카르복시산, 벤질말론산, 비페닐-4,4-디카르복시산, 2,2-비피리딘-4,4-디카르복시산 및 트리멜리트산으로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 또는 이들 중 2종 이상의 혼합물인 것을 특징으로 하는 감광성 수지 조성물.
The method of claim 1,
The polyacid curing agent is 1,3-acetone dicarboxylic acid, 1,3-adamantanedicarboxylic acid, 1,2,3,4-butanetetracarboxylic acid, benzyl malonic acid, biphenyl-4,4-dicarboxylic acid, 2, Photosensitive resin composition, characterized in that any one selected from the group consisting of 2-bipyridine-4,4-dicarboxylic acid and trimellitic acid or a mixture of two or more thereof.
제1항 내지 제7항 중 어느 한 항의 감광성 수지 조성물로 제조되고, 탄성계수(Young's modulus)가 5.9GPa 내지 7.0GPa이며 경도(hardness)가 0.33GPa 내지 0.50GPa인 절연막.An insulating film made of the photosensitive resin composition of any one of claims 1 to 7, wherein the Young's modulus is 5.9 GPa to 7.0 GPa and the hardness is 0.33 GPa to 0.50 GPa. 제8항의 절연막을 구비한 표시 장치.A display device comprising the insulating film of claim 8.
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