KR101318075B1 - Photoregister pump and drive method thereof - Google Patents

Photoregister pump and drive method thereof Download PDF

Info

Publication number
KR101318075B1
KR101318075B1 KR1020060056499A KR20060056499A KR101318075B1 KR 101318075 B1 KR101318075 B1 KR 101318075B1 KR 1020060056499 A KR1020060056499 A KR 1020060056499A KR 20060056499 A KR20060056499 A KR 20060056499A KR 101318075 B1 KR101318075 B1 KR 101318075B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
photoresist
holder
diameter bellows
tube
pressure
Prior art date
Application number
KR1020060056499A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20070121433A (en
Inventor
김대홍
Original Assignee
엘지디스플레이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지디스플레이 주식회사 filed Critical 엘지디스플레이 주식회사
Priority to KR1020060056499A priority Critical patent/KR101318075B1/en
Publication of KR20070121433A publication Critical patent/KR20070121433A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101318075B1 publication Critical patent/KR101318075B1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/16—Coating processes; Apparatus therefor
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/6715—Apparatus for applying a liquid, a resin, an ink or the like

Abstract

본 발명은 액정표시소자의 코팅 공정에서 주입된 포토레지스터에 의해 증감되는 압력의 세기에 따라 자동으로 포토레지스터의 토출을 조절할 수 있는 코팅 시스템의 포토레지스터 펌프를 제공하는 것으로, 포토레지스터를 수납하기 위한 포토레지스터 튜브; 상하로 신축되어 상기 포토레지스터 튜브를 수축 및 팽창시키기 위한 대경 벨로우스; 상하로 신축되어 상기 포토레지스터 튜브를 수축 및 팽창시키기 위한 소경 벨로우스; 상기 대경 벨로우스와 상기 소경 벨로우스를 상하로 신축시키기 위한 홀더; 및 상기 포토레지스터 튜브 내의 포토레지스터에 의해 발생되는 압력 세기에 따라 상기 홀더의 구동을 제어하기 위한 구동제어수단을 포함한다.The present invention provides a photoresist pump of a coating system that can automatically control the discharge of the photoresist according to the intensity of pressure increased and decreased by the photoresist injected in the coating process of the liquid crystal display device. Photoresist tube; A large diameter bellows which is stretched up and down to contract and expand the photoresist tube; A narrow bellows which is stretched up and down to contract and expand the photoresist tube; A holder for stretching the large diameter bellows and the small diameter bellows up and down; And drive control means for controlling the drive of the holder in accordance with the pressure intensity generated by the photoresist in the photoresist tube.

액정표시소자, 포토레지스터, 펌프, 압력 LCD, Photoresistor, Pump, Pressure

Description

포토레지스터 펌프 및 그의 구동 방법{Photoregister pump and drive method thereof}Photoregister pump and drive method

도 1은 일반적인 액정표시소자의 단면 중에 일부를 나타낸 단면도.1 is a cross-sectional view showing a part of a cross section of a general liquid crystal display device.

도 2는 본 발명이 적용되는 액정표시소자의 코팅 시스템의 구성도.2 is a block diagram of a coating system of a liquid crystal display device to which the present invention is applied.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 코팅 시스템의 포토레지스터 펌프의 구조도.3 is a structural diagram of a photoresist pump of a coating system according to an embodiment of the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

100: 코팅 시스템 110: 포토레지스터 캔100: coating system 110: photoresist can

120: 송출밸브 130: 탈기 모듈120: delivery valve 130: degassing module

140: 필터 150: 유입밸브140: filter 150: inlet valve

160: 포토레지스터 펌프 170: 토출밸브160: photoresist pump 170: discharge valve

180: 슬릿 노즐 161: 베이스180: slit nozzle 161: base

162: 포토레지스터 튜브 163-1: 주입체크밸브162: photoresist tube 163-1: injection check valve

163-2: 토출체크밸브 164-1: 대경 벨로우스163-2: Discharge check valve 164-1: Large diameter bellows

164-2: 소경 벨로우스 164-3: 간접액164-2: Blind Bellows 164-3: Indirect liquid

165: 홀더 166-1: 압력센서165: holder 166-1: pressure sensor

166-2: 압력계 167: 제어부166-2: pressure gauge 167: control unit

168: 홀더 구동부 169: 표시부168: holder drive unit 169: display unit

본 발명은 액정표시소자의 제조를 위한 코팅 시스템에 관한 것으로, 특히 주입된 포토레지스터에 의해 증감되는 압력의 세기에 따라 자동으로 포토레지스터의 토출을 조절할 수 있는 코팅 시스템의 포토레지스터 펌프 및 그의 구동 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a coating system for manufacturing a liquid crystal display device, and more particularly, to a photoresist pump and a method of driving the coating system capable of automatically controlling the discharge of the photoresist according to the intensity of pressure increased by the injected photoresist. It is about.

액정표시소자는 소형 및 박형화와 저전력 소모의 장점을 가지며, 노트북 PC, 사무 자동화 기기, 오디오/비디오 기기 등으로 이용되고 있다. 특히, 스위치 소자로서 박막 트렌지스터(Thin Film Transistor : 이하 'TFT'라 함)가 이용되는 액티브 매트릭스 타입의 액정표시소자는 동적인 이미지를 표시하기에 적합하다.LCDs have advantages of small size, thinness, and low power consumption, and are being used as notebook PCs, office automation devices, and audio / video devices. In particular, an active matrix liquid crystal display device using a thin film transistor (hereinafter referred to as TFT) as a switch element is suitable for displaying a dynamic image.

액정표시소자는 화소들이 게이트라인들과 데이터라인들의 교차부들 각각에 배열되어진 화소메트릭스(Pixel Matrix)에 텔레비젼 신호와 같은 비디오신호에 해당하는 화상을 표시하게 된다. 화소들 각각은 데이터라인으로부터의 데이터신호의 전압레벨에 따라 투과광량을 조절하는 액정셀을 포함한다. TFT는 게이트라인과 데이터라인의 교차부에 설치되어 게이트라인으로부터의 스캔신호에 응답하여 액정셀 쪽으로 전송될 데이터신호를 절환하게 되는 것으로, 이에 대한 단면 구조를 도 1을 참조하여 살펴보면 다음과 같다.The liquid crystal display device displays an image corresponding to a video signal such as a television signal in a pixel matrix in which pixels are arranged at intersections of the gate lines and the data lines. Each of the pixels includes a liquid crystal cell that adjusts the amount of transmitted light according to the voltage level of the data signal from the data line. The TFT is installed at the intersection of the gate line and the data line to switch the data signal to be transmitted to the liquid crystal cell in response to the scan signal from the gate line. A cross-sectional structure thereof will be described with reference to FIG. 1.

도 1을 참조하면, 하부기판(1) 상에는 TFT가 형성된다. TFT는 하부기판(1) 상에 형성되는 게이트전극(4)과, 게이트 절연막(2) 및 반도체층(7,8)을 사이에 두고 소스 및 드레인전극(5,6)으로 이루어진다. 이러한 TFT를 보호하기 위해 보호층(3)이 형성되며, TFT의 드레인전극(6)은 보호층(3)을 관통하는 접촉홀(10)을 통해 화소전극(9)과 접속된다.Referring to FIG. 1, a TFT is formed on the lower substrate 1. The TFT consists of the gate electrode 4 formed on the lower substrate 1, the source and drain electrodes 5, 6 with the gate insulating film 2 and the semiconductor layers 7, 8 interposed therebetween. A protective layer 3 is formed to protect the TFT, and the drain electrode 6 of the TFT is connected to the pixel electrode 9 through a contact hole 10 penetrating through the protective layer 3.

이러한 액정표시소자의 제조공정은 세정공정, 코팅공정, 패터닝공정, 배향막형성공정, 합착/액정주입공정 등으로 나뉘어진다. 이 공정들 중에서, 코팅공정은 그라스(Glass) 등의 투명기판(미도시) 상에 포토레지스터를 도포한 후 상기 투명기판을 회전시켜 도포된 포토레지스터를 코팅시킨다.The manufacturing process of the liquid crystal display is divided into a cleaning process, a coating process, a patterning process, an alignment film forming process, and a bonding / liquid crystal injection process. Among these processes, the coating process applies a photoresist onto a transparent substrate (not shown), such as glass, and then rotates the transparent substrate to coat the applied photoresist.

이러한 코팅공정에서는 포토레지스터 펌프를 이용하여 슬릿 노즐(Slit Nozzle)에 포토레지스터를 공급하고 있으나, 종래의 포토레지스터 펌프는 주입된 포토레지스터에 의한 압력이 오동작으로 인해 커지는 경우 자동으로 포토레지스터의 토출을 차단하지 못하기 때문에 기기의 손상을 초래하는 문제점을 갖는다.In this coating process, the photoresist is supplied to the slit nozzle using a photoresist pump. However, the conventional photoresist pump automatically discharges the photoresist when the pressure caused by the injected photoresist increases due to a malfunction. There is a problem that can damage the device because it can not block.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 액정표시소자의 코팅 공정에서 주입된 포토레지스터에 의해 증감되는 압력의 세기에 따라 자동으로 포토레지스터의 토출을 조절할 수 있는 코팅 시스템의 포토레지스터 펌프 및 그의 구동 방법을 제공하는 데 있다.The present invention has been made to solve the above problems, an object of the present invention can automatically control the discharge of the photoresist in accordance with the strength of the pressure increase and decrease by the photoresist injected in the coating process of the liquid crystal display device A photoresist pump of a coating system and its driving method are provided.

본 발명의 목적은 액정표시소자의 코팅 공정에서 주입된 포토레지스터에 의해 증감되는 압력의 세기에 따라 자동으로 포토레지스터의 토출을 조절함으로써, 오동작에 의한 기기의 손장을 방지할 수 있는 코팅 시스템의 포토레지스터 펌프 및 그의 구동 방법을 제공하는 데 있다.An object of the present invention is to automatically control the discharge of the photoresist according to the intensity of the pressure increase and decrease by the photoresist injected in the coating process of the liquid crystal display device, thereby preventing the damage of the device due to malfunction of the photo of the coating system A resistor pump and its driving method are provided.

이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 포토레지스터를 수납하기 위한 포토레지스터 튜브; 상하로 신축되어 상기 포토레지스터 튜브를 수축 및 팽창시키기 위한 대경 벨로우스; 상하로 신축되어 상기 포토레지스터 튜브를 수축 및 팽창시키기 위한 소경 벨로우스; 상기 대경 벨로우스와 상기 소경 벨로우스를 상하로 신축시키기 위한 홀더; 및 상기 포토레지스터 튜브 내의 포토레지스터에 의해 발생되는 압력 세기에 따라 상기 홀더의 구동을 제어하기 위한 구동제어수단을 포함한다.The present invention for achieving the above object, Photoresist tube for accommodating the photoresist; A large diameter bellows which is stretched up and down to contract and expand the photoresist tube; A narrow bellows which is stretched up and down to contract and expand the photoresist tube; A holder for stretching the large diameter bellows and the small diameter bellows up and down; And drive control means for controlling the drive of the holder in accordance with the pressure intensity generated by the photoresist in the photoresist tube.

상기 구동제어수단은, 상기 포토레지스터 튜브 내의 포토레지스터에 의해 발생된 압력을 감지하기 압력센서; 상기 압력센서에 의해 감지된 압력 세기를 측정하기 위한 압력계; 상기 압력계에 의해 측정된 압력값에 따라 상기 홀더의 구동을 제어하기 위한 제어부; 및 상기 제어부의 제어에 따라 상기 홀더를 구동시키거나 정지시키기 위한 홀더 구동부를 포함한다.The drive control means includes: a pressure sensor for detecting a pressure generated by the photoresist in the photoresist tube; A pressure gauge for measuring the pressure intensity sensed by the pressure sensor; A control unit for controlling the driving of the holder according to the pressure value measured by the pressure gauge; And a holder driver for driving or stopping the holder according to the control of the controller.

본 발명은 상기 제어부로부터 전달되는 펌프 구동상태 정보를 디스플레이하 기 위한 표시부를 더 포함한다.The present invention further includes a display unit for displaying pump driving state information transmitted from the control unit.

상기 압력센서는 상기 대경 벨로우스 하단부에 배치되는 것을 특징으로 한다.The pressure sensor is characterized in that disposed on the lower end of the large diameter bellows.

상기 제어부는 상기 측정된 압력값과 소정의 기준압력값이 동일하면 상기 홀더의 동작 상태를 유지시키도록 상기 홀더 구동부를 제어하는 것을 특징으로 한다.The control unit may control the holder driving unit to maintain the operating state of the holder if the measured pressure value and the predetermined reference pressure value are the same.

상기 제어부는 상기 측정된 압력값과 소정의 기준압력값이 동일하지 않으면 상기 홀더의 동작을 정지시키도록 상기 홀더 구동부를 제어하는 것을 특징으로 한다.The control unit may control the holder driving unit to stop the operation of the holder when the measured pressure value and the predetermined reference pressure value are not the same.

본 발명은, 포토레지스터를 수납하기 위한 포토레지스터 튜브와, 상기 포토레지스터 튜브를 수축 및 팽창시키기 위한 대경 벨로우스 및 소경 벨로우스와, 상기 대경 벨로우스와 상기 소경 벨로우스를 상하로 신축시키기 위한 홀더를 구비한 포토레지스터 펌프의 구동 방법에 있어서, 상기 포토레지스터 튜브 내의 포토레지스터에 의해 발생된 압력을 감지하는 단계; 상기 감지된 압력값에 따라 상기 홀더의 구동을 제어하기 위한 구동제어신호나 정지제어신호를 발생하는 단계; 및 상기 구동제어신호나 상기 정지제어신호에 따라 상기 홀더를 구동시키거나 정지시키는 단계를 포함한다.The present invention includes a photoresist tube for accommodating a photoresist, a large diameter bellows and a small diameter bellows for contracting and expanding the photoresist tube, and a holder for stretching the large diameter bellows and the small diameter bellows up and down. A method of driving a photoresist pump, the method comprising: sensing a pressure generated by a photoresist in a photoresist tube; Generating a drive control signal or a stop control signal for controlling the drive of the holder according to the sensed pressure value; And driving or stopping the holder according to the drive control signal or the stop control signal.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명이 적용되는 액정표시소자의 코팅 시스템의 구성도이다.2 is a block diagram of a coating system of a liquid crystal display device to which the present invention is applied.

도 2를 참조하면, 코팅 시스템(100)은, 포토레지스터를 저장하기 위한 포토 레지스터 캔(110)과, 포토레지스터 캔(110)에 수납된 포토레지스터를 송출하기 위한 송출밸브(120)와, 송출밸브(120)를 통해 유입된 포토레지스터에서 기포를 제거하기 위한 탈기 모듈(130)과, 탈기 모듈(120)에 의해 탈기된 포토레지스터에 혼합된 이물질을 제거하기 위한 필터(140)와, 필터(140)를 통해 여과된 포토레지스터를 유입시키기 위한 유입밸브(150)와, 유입밸브(150)를 통해 유입된 포토레지스터를 압력을 이용하여 토출시키기 위한 포토레지스터 펌프(160)와, 포토레지스터 펌프(160)에 주입된 포토레지스터를 토출시키기 위한 토출밸브(170)와, 토출밸브(170)를 통해 제공된 포토레지스터를 투명기판(미도시) 상에 코팅하기 위한 슬릿 노즐(180)을 구비한다.Referring to FIG. 2, the coating system 100 includes a photoresist can 110 for storing a photoresist, a delivery valve 120 for delivering a photoresist stored in the photoresist can 110, and a delivery. A degassing module 130 for removing bubbles from the photoresist introduced through the valve 120, a filter 140 for removing foreign substances mixed in the photoresist degassed by the degassing module 120, and a filter ( An inlet valve 150 for introducing the photoresist filtered through 140, a photoresist pump 160 for discharging the photoresist introduced through the inlet valve 150 using pressure, and a photoresist pump ( A discharge valve 170 for discharging the photoresist injected into the 160 and a slit nozzle 180 for coating the photoresist provided through the discharge valve 170 on a transparent substrate (not shown) are provided.

포토레지스터 캔(110)는 상기 투명기판의 코팅에 이용될 포토레지스터를 일정량만큼 저장하고 코팅 공정시 수납된 포토레지스터를 송출시킨다.The photoresist can 110 stores the photoresist to be used for coating the transparent substrate by a predetermined amount and sends out the photoresist stored during the coating process.

송출밸브(120)는 잠긴 상태에서 포토레지스터 캔(110)에 수납된 포토레지스터를 송출을 차단하고 열린 상태에서 포토레지스터 캔(110)에 수납된 포토레지스터를 탈기 모듈(130)로 송출시킨다.The delivery valve 120 blocks the delivery of the photoresist stored in the photoresist can 110 in the locked state and sends the photoresist stored in the photoresist can 110 to the degassing module 130 in the open state.

탈기 모듈(130)은 송출밸브(120)를 통해 유입된 포토레지스터에서 기포를 제거한 후 필터(140)로 출력한다.The degassing module 130 removes air bubbles from the photoresist introduced through the delivery valve 120 and outputs the same to the filter 140.

필터(140)는 탈기 모듈(120)에 의해 탈기된 포토레지스터를 여과시켜 포토레지스터에 혼합된 이물질을 제거한 후 여과된 포토레지스터를 유입밸브(150)로 출력한다.The filter 140 filters the photoresist degassed by the degassing module 120 to remove foreign substances mixed in the photoresist, and then outputs the filtered photoresist to the inlet valve 150.

유입밸브(150)는 필터(140)에 의해 이물질이 제거된 포토레지스터를 포토레 지스터 펌프(160) 내부로 유입시킨다.The inlet valve 150 introduces the photoresist from which the foreign matter is removed by the filter 140 into the photoresist pump 160.

포토레지스터 펌프(160)는 유입밸브(150)를 통해 유입된 포토레지스터를 내부로 주입하고 주입된 포토레지스터를 압력을 이용하여 토출시킨다.The photoresist pump 160 injects the photoresist introduced through the inlet valve 150 therein and discharges the injected photoresist using pressure.

토출밸브(170)는 잠긴 상태에서 포토레지스터 펌프(160)에 주입된 포토레지스터의 토출을 차단하고 열린 상태에서 포토레지스터 펌프(160)로부터 토출된 포토레지스터를 슬릿 노즐(180)로 송출하고 있습니다.The discharge valve 170 blocks the discharge of the photoresist injected into the photoresist pump 160 in the locked state, and sends the photoresist discharged from the photoresist pump 160 to the slit nozzle 180 in the open state.

슬릿 노즐(180)은 포토레지스터 펌프(160)로부터 토출된 포토레지스터가 토출밸브(170)를 통해 공급되면 이 포토레지스터를 상기 투명기판 상에 코팅한다.The slit nozzle 180 coats the photoresist on the transparent substrate when the photoresist discharged from the photoresist pump 160 is supplied through the discharge valve 170.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 코팅 시스템의 포토레지스터 펌프의 구조도이다.3 is a structural diagram of a photoresist pump of a coating system according to an embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면, 본 발명의 포토레지스터 펌프(160)는, 포토레지스터 펌프(160)의 몸체를 지지하기 위한 베이스(161)와, 포토레지스터를 수납하기 위한 포토레지스터 튜브(162)와, 포토레지스터를 포토레지스터 튜브(162)로 주입하기 위한 주입체크밸브(163-1)와, 포토레지스터 튜브(162)에 수납된 포토레지스터를 토출시키기 위한 토출체크밸브(163-2)와, 상하로 신축되어 포토레지스터 튜브(162)를 수축 및 팽창시키기 위한 대경 벨로우스(164-1)와, 상하로 신축되어 포토레지스터 튜브(162)를 수축 및 팽창시키기 위한 소경 벨로우스(164-2)와, 대경 벨로우스(164-1)와 소경 벨로우스(164-2)의 내부에 수납된 간접액(164-3)과, 대경 벨로우스(164-1)와 소경 벨로우스(164-2)를 상하로 신축시키기 위한 홀더(165)를 구비한다.Referring to FIG. 3, the photoresist pump 160 of the present invention includes a base 161 for supporting the body of the photoresist pump 160, a photoresist tube 162 for accommodating the photoresist, and a photo. Expansion and contraction of the injection check valve 163-1 for injecting the resistor into the photoresist tube 162, the discharge check valve 163-2 for discharging the photoresist housed in the photoresist tube 162, and up and down A large diameter bellows 164-1 for contracting and expanding the photoresist tube 162 and a small diameter bellows 164-2 for contracting and expanding the photoresist tube 162 up and down; The indirect liquid 164-3 housed inside the bellows 164-1 and the narrow bellows 164-2, and the large diameter bellows 164-1 and the small bellows 164-2 up and down. And a holder 165 for stretching.

그리고 본 발명의 포토레지스터 펌프(160)는, 포토레지스터 튜브(162) 내의 포토레지스터에 의해 발생된 압력을 감지하기 압력센서(166-1)와, 압력센서(166-1)에 의해 감지된 압력 세기를 측정하기 위한 압력계(166-2)와, 압력계(166-2)에 의해 측정된 압력값에 따라 홀더(165)의 구동을 제어하기 위한 제어부(167)와, 제어부(167)의 제어에 따라 홀더(165)를 구동시키거나 정지시키기 위한 홀더 구동부(168)를 구비한다.And the photoresist pump 160 of the present invention, the pressure sensor 166-1 and the pressure sensed by the pressure sensor 166-1 to sense the pressure generated by the photoresist in the photoresist tube 162 The pressure gauge 166-2 for measuring the intensity, the controller 167 for controlling the driving of the holder 165 according to the pressure value measured by the pressure gauge 166-2, and the control of the controller 167. And a holder driving unit 168 for driving or stopping the holder 165.

또한 본 발명의 포토레지스터 펌프(160)는, 제어부(167)로부터 전달되는 펌프 구동상태 정보를 디스플레이하기 위한 표시부(169)를 더 구비한다.In addition, the photoresist pump 160 of the present invention further includes a display unit 169 for displaying pump driving state information transmitted from the control unit 167.

베이스(161)는 대경 벨로우스(164-1)의 하단부에 대향되게 배치되어 대경 벨로우스(164-1), 소경 벨로우스(164-2) 및 홀더(165)를 지지하여 준다. 이러한 베이스(161)는 원통형으로 구현되며, 그 중앙 부분에 형성된 홈에는 포토레지스터 튜브(162)의 하단부에 형성된 주입체크밸브(163-1)가 배치된다.The base 161 is disposed to face the lower end of the large diameter bellows 164-1 to support the large diameter bellows 164-1, the small diameter bellows 164-2, and the holder 165. The base 161 is implemented in a cylindrical shape, and the injection check valve 163-1 formed at the lower end of the photoresist tube 162 is disposed in the groove formed at the center portion thereof.

포토레지스터 튜브(162)는 주입체크밸브(163-1)를 통해 주입된 포토레지스터를 일시 수납하고 토출체크밸브(163-2)를 통해 수납된 포토레지스터를 토출시킨다. 이러한 포토레지스터 튜브(162)는 신축성있는 재질로 구현되므로, 대경 벨로우스(164-1)와 소경 벨로우스(164-2)의 내부에 수납된 간접액(164-3)의 양적 팽창시 측면의 수축으로 인해 증가된 압력에 의해 수납된 포토레지스터를 토출시킨다. 이렇게 수축된 상태에서 팽창된 간접액(164-3)이 복원되면 포토레지스터 튜브(162) 내의 압력이 감소되어 수납된 포토레지스터의 토출이 차단된다.The photoresist tube 162 temporarily stores the photoresist injected through the injection check valve 163-1 and discharges the photoresist stored through the discharge check valve 163-2. Since the photoresist tube 162 is made of an elastic material, the photoresist tube 162 may be formed of an elastic material. The stored photoresist is discharged by the increased pressure due to the contraction. When the expanded indirect liquid 164-3 is restored in the contracted state, the pressure in the photoresist tube 162 is reduced to block the discharge of the stored photoresist.

주입체크밸브(163-1)는 열린 상태에서 주입밸브(150)를 통해 공급된 포토레지스터를 포토레지스터 튜브(162)로 주입하고 잠긴 상태에서 포토레지스터의 주입 을 차단한다. 이러한 주입체크밸브(163-1)는 베이스(161)의 중앙 부분에 위치되어 포토레지스터 튜브(162)가 베이스(161)에 의해 지지되도록 한다.The injection check valve 163-1 injects the photoresist supplied through the injection valve 150 in the open state into the photoresist tube 162 and blocks the injection of the photoresist in the locked state. The injection check valve 163-1 is positioned at the center of the base 161 so that the photoresist tube 162 is supported by the base 161.

토출체크밸브(163-2)는 포토레지스터 튜브(162) 내의 압력이 증가하는 경우 열려서 수납된 포토레지스터를 토출밸브(170)로 토출시키고, 반대로 포토레지스터 튜브(162) 내의 압력이 감소하는 경우 잠겨서 수납된 포토레지스터의 토출을 차단한다.The discharge check valve 163-2 discharges the open and stored photoresist to the discharge valve 170 when the pressure in the photoresist tube 162 increases and, on the contrary, is locked when the pressure in the photoresist tube 162 decreases. The discharge of the stored photoresist is blocked.

대경 벨로우스(164-1)는 원통형으로 이루어지고 소경 벨로우스(164-2)보다 큰 직경을 갖으며, 또한 하단부에 위치된 베이스(161)에 의해 지지된다. 그리고, 대경 벨로우스(164-1)는 복원된 상태에서 포토레지스터 튜브(162)의 중앙부와 하단부에 걸쳐 그 외부에 위치된다. 이러한 대경 벨로우스(164-1)는 상하로 왕복 이동하는 홀더(165)에 의해 상하로 수축 및 복원되어 자신의 내부에 수납된 간접액(164-3)을 양적 팽창 및 수축시킨다.The large diameter bellows 164-1 is cylindrical and has a larger diameter than the small diameter bellows 164-2, and is also supported by the base 161 located at the lower end. In addition, the large-diameter bellows 164-1 is positioned outside the center and the lower end of the photoresist tube 162 in the restored state. The large diameter bellows 164-1 is contracted and restored up and down by a holder 165 reciprocating up and down to quantitatively expand and contract the indirect liquid 164-3 stored therein.

소경 벨로우스(164-2)는 원통형으로 이루어지고 대경 벨로우스(164-1)보다 작은 직경을 갖으며, 또한 대경 벨로우스(164-1)의 상단부에 위치되어 대경 벨로우스(164-1)와 함께 베이스(161)에 의해 지지된다. 그리고, 소경 벨로우스(164-3)는 복원된 상태에서 포토레지스터 튜브(162)의 중앙부와 상단부에 걸쳐 그 외부에 위치된다. 이러한 소경 벨로우스(164-2)는 상하로 왕복 이동하는 홀더(165)에 의해 상하로 수축 및 복원되어 자신의 내부에 수납된 간접액(164-3)을 양적 팽창 및 수축시킨다.The small diameter bellows 164-2 has a cylindrical shape and has a diameter smaller than that of the large diameter bellows 164-1, and is also located at the upper end of the large diameter bellows 164-1. Together with the base 161. In addition, the small diameter bellows 164-3 is located outside the center and the upper end of the photoresist tube 162 in the restored state. The small diameter bellows 164-2 is contracted up and down by the holder 165 reciprocating up and down to quantitatively expand and contract the indirect liquid 164-3 stored therein.

간접액(164-3)은 포토레지스터 펌프(162) 하단의 외측과 대경 벨로우스(164- 1) 내측 사이에 형성된 공간에 수납됨과 아울러 포토레지스터 펌프(162) 상단의 외측과 소경 벨로우스(164-2) 내측 사이에 형성된 공간에 수납된다. 따라서, 간접액(164-3)은 대경 벨로우스(164-1)의 수축시 수평 방향으로 팽창하여 포토레지스터 펌프(162) 하단부의 압력이 증가되도록 하고, 반대로 수축된 대경 벨로우스(164-1)의 복원시 수평 방향으로 수축하여 포토레지스터 펌프(162) 하단부의 압력이 감소되도록 한다. 또한, 간접액(164-3)은 소경 벨로우스(164-2)의 수축시 수평 방향으로 팽창하여 포토레지스터 펌프(162) 상단부의 압력이 증가되도록 하고, 반대로 수축된 소경 벨로우스(164-2)의 복원시 수평 방향으로 수축하여 포토레지스터 펌프(162) 상단부의 압력이 감소되도록 한다.The indirect liquid 164-3 is accommodated in a space formed between the outside of the bottom of the photoresist pump 162 and the inside of the large diameter bellows 164-1, and the outside of the top of the photoresist pump 162 and the small diameter bellows 164. -2) is stored in the space formed between the inside. Therefore, the indirect fluid 164-3 expands in the horizontal direction when the large-velocity bellows 164-1 contracts, so that the pressure at the lower end of the photoresist pump 162 is increased, and conversely, the large-diameter bellows 164-1 is contracted. ) Is contracted in the horizontal direction to restore the pressure of the lower end of the photoresist pump (162). In addition, the indirect fluid 164-3 expands in the horizontal direction when the small diameter bellows 164-2 contracts to increase the pressure of the upper end of the photoresist pump 162, and conversely, the small diameter bellows 164-2 contracted. ) Is contracted in the horizontal direction to restore the pressure of the upper end of the photoresist pump (162).

홀더(165)는 대경 벨로우스(164-1)와 소경 벨로우스(164-2) 사이에 배치되어 상하로 이동한다. 즉, 홀더(165)가 아래로 이동하면 대경 벨로우스(164-1)가 수축되어 대경 벨로우스(164-1) 내측에 수납된 간접액(164-3)이 수평 방향으로 팽창됨과 동시에 소경 벨로우스(164-2)가 이완되어 소경 벨로우스(164-2) 내측에 위치된 간접액(164-3)이 수평 방향으로 수축된다. 또한, 홀더(165)가 위로 이동하면 대경 벨로우스(164-1)가 이완되어 대경 벨로우스(164-1) 내측에 수납된 간접액(164-3)이 수평 방향으로 수축됨과 동시에 소경 벨로우스(164-2)가 수축되어 소경 벨로우스(164-2) 내측에 위치된 간접액(164-3)이 수평 방향으로 팽창된다.The holder 165 is disposed between the large diameter bellows 164-1 and the small diameter bellows 164-2 and moves up and down. That is, when the holder 165 moves downward, the large diameter bellows 164-1 is contracted, and the indirect liquid 164-3 stored inside the large diameter bellows 164-1 is expanded in the horizontal direction and at the same time, the small bellows The wood 164-2 is relaxed so that the indirect liquid 164-3 located inside the small diameter bellows 164-2 is contracted in the horizontal direction. In addition, when the holder 165 moves upward, the large-diameter bellows 164-1 is relaxed, and the indirect liquid 164-3 stored inside the large-diameter bellows 164-1 is contracted in the horizontal direction and at the same time, the small-diameter bellows. 164-2 is contracted so that the indirect liquid 164-3 located inside the small diameter bellows 164-2 is expanded in the horizontal direction.

압력센서(166-1)는 홀더(165)의 상하 이동에 따라 증감되는 포토레지스터 튜브(162)의 압력을 감지하기 위한 것으로, 압전소자 등으로 구현된다. 이러한 압력센서(166-1)는 베이스(161) 상단부와 대경 벨로우스(164-1) 하단부 사이에 배치되 지만, 이에 한정되는 것은 아니다.The pressure sensor 166-1 is for sensing the pressure of the photoresist tube 162 that increases or decreases as the holder 165 moves up and down, and is implemented as a piezoelectric element. The pressure sensor 166-1 is disposed between the upper end of the base 161 and the lower end of the large diameter bellows 164-1, but is not limited thereto.

압력계(166-2)는 압력센서(166-1)에 의해 감지된 압력 세기를 측정하여 제어부(167)로 측정한 압력값을 출력한다.The pressure gauge 166-2 measures the pressure intensity detected by the pressure sensor 166-1 and outputs the pressure value measured by the controller 167.

제어부(167)는 압력계(166-2)에 의해 측정된 압력값과 소정의 기준압력값을 비교하여 비교결과에 따라 홀더(165)의 구동을 제어한다. 비교결과 측정된 압력값과 소정의 기준압력값이 동일하면, 제어부(167)는 포토레지스터 펌프(160)의 동작 상태가 정상인 것으로 판단하여 홀더(165)의 동작 상태를 유지시키도록 하기 위한 구동제어신호를 홀더 구동부(168)로 출력한다. 비교결과 측정된 압력값과 소정의 기준압력값이 동일하지 않으면, 제어부(167)는 포토레지스터 펌프(160)에 에러가 발생된 것으로 판단하여 홀더(165)의 동작을 정지시키도록 하기 위한 정지제어신호를 홀더 구동부(168)로 출력한다.The controller 167 compares the pressure value measured by the pressure gauge 166-2 with a predetermined reference pressure value and controls the driving of the holder 165 according to the comparison result. When the measured pressure value and the predetermined reference pressure value are the same as the result of the comparison, the controller 167 determines that the operation state of the photoresist pump 160 is normal and controls driving to maintain the operation state of the holder 165. The signal is output to the holder driver 168. If the measured pressure value and the predetermined reference pressure value are not the same as the result of the comparison, the controller 167 determines that an error has occurred in the photoresist pump 160 and stops the operation of the holder 165 to stop the operation. The signal is output to the holder driver 168.

여기서, 포토레지스터 펌프(160)의 동작 상태가 정상인 경우, 제어부(167)는 펌프의 정상을 알리는 문자정보를 표시부(169)에 디스플레이시킨다. 포토레지스터 펌프(160)에 에러가 발생되면, 제어부(167)는 펌프의 오동작을 알리는 문자정보를 표시부(169)에 디스플레이시킨다. Herein, when the operation state of the photoresist pump 160 is normal, the controller 167 displays the character information indicating the normality of the pump on the display unit 169. When an error occurs in the photoresist pump 160, the controller 167 displays the character information indicating the malfunction of the pump on the display unit 169.

홀더 구동부(168)는 제어부(167)로부터 구동제어신호가 입력되면 홀더(165)를 상하로 왕복이동시키고, 반대로 제어부(167)로부터 정지제어신호가 입력되면 홀더(165)의 구동을 정지시킨다.The holder driving unit 168 reciprocates the holder 165 up and down when the driving control signal is input from the control unit 167, and stops driving of the holder 165 when the stop control signal is input from the control unit 167.

표시부(169)는 액정표시소자(LCD), 플라즈마디스플레이소자(PDP) 및 유기발광다이오드 표시소자 등으로 구현되어 제어부(167)로부터 전달되는 펌프 구동상태 정보를 디스플레이한다.The display unit 169 is implemented as a liquid crystal display (LCD), a plasma display device (PDP), an organic light emitting diode display device, and the like to display pump driving state information transmitted from the controller 167.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은, 액정표시소자의 코팅 공정에서 주입된 포토레지스터에 의해 증감되는 압력의 세기에 따라 자동으로 포토레지스터의 토출을 조절함으로써, 오동작에 의한 기기의 손장을 방지할 수 있다.As described above, the present invention can prevent damage to the device due to malfunction by automatically controlling the discharge of the photoresist according to the intensity of the pressure increased and decreased by the photoresist injected during the coating process of the liquid crystal display device. .

본 발명의 기술사상은 상기 바람직한 실시예에 따라 구체적으로 기술되었으나, 상기한 실시예는 그 설명을 위한 것이며, 그 제한을 위한 것이 아님을 주의하여야 한다. 또한, 본 발명의 기술분야의 통상의 전문가라면 본 발명의 기술사상의 범위에서 다양한 실시예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.It is to be noted that the technical idea of the present invention has been specifically described in accordance with the above preferred embodiment, but the above-mentioned embodiments are intended to be illustrative and not restrictive. In addition, it will be understood by those of ordinary skill in the art that various embodiments are possible within the scope of the technical idea of the present invention.

Claims (10)

포토레지스터를 수납하기 위한 포토레지스터 튜브;A photoresist tube for containing the photoresist; 상기 포토레지스터 튜브를 감싸도록 형성되며 상하로 신축되어 상기 포토레지스터 튜브를 수축 및 팽창시키기 위한 대경 벨로우스;A large diameter bellows formed to surround the photoresist tube and stretched up and down to contract and expand the photoresist tube; 상기 대경 벨로우스의 상부에 배치되고 상기 대경 벨로우스에 비해 상대적으로 작은 직경을 가지며 상하로 신축되어 상기 포토레지스터 튜브를 수축 및 팽창시키기 위한 소경 벨로우스;A small diameter bellows disposed on an upper portion of the large diameter bellows and having a smaller diameter than the large diameter bellows and expanding up and down to contract and expand the photoresist tube; 상기 대경 벨로우스와 상기 소경 벨로우스의 사이에 위치하며 상기 대경 벨로우스와 상기 소경 벨로우스를 상하로 신축시키기 위한 홀더; A holder positioned between the large-diameter bellows and the small-diameter bellows and configured to stretch the large-diameter bellows and the small-diameter bellows up and down; 상기 대경 벨로우스의 하부에 배치되고 상기 대경 벨로우스, 소경 벨로우스 및 홀더를 지지하는 베이스; 및A base disposed under the large diameter bellows and supporting the large diameter bellows, the small diameter bellows and the holder; And 상기 포토레지스터 튜브 내의 포토레지스터에 의해 발생되는 압력 세기에 따라 상기 홀더의 구동을 제어하기 위한 구동제어수단을 포함하고,Drive control means for controlling the driving of the holder according to the pressure intensity generated by the photoresist in the photoresist tube, 상기 구동제어수단은 상기 포토레지스터 튜브 내의 포토레지스터에 의해 발생된 압력을 감지하기 압력센서; 상기 압력센서에 의해 감지된 압력 세기를 측정하기 위한 압력계; 상기 압력계에 의해 측정된 압력값에 따라 상기 홀더의 구동을 제어하기 위한 제어부; 및 상기 제어부의 제어에 따라 상기 홀더를 구동시키거나 정지시키기 위한 홀더 구동부를 포함하며,The drive control means includes a pressure sensor for sensing the pressure generated by the photoresist in the photoresist tube; A pressure gauge for measuring the pressure intensity sensed by the pressure sensor; A control unit for controlling the driving of the holder according to the pressure value measured by the pressure gauge; And a holder driver for driving or stopping the holder according to the control of the controller. 상기 압력센서는 상기 베이스의 상단부와 상기 대경 벨로우스 하단부의 사이에 배치되고,The pressure sensor is disposed between the upper end of the base and the lower end of the large diameter bellows, 상기 압력센서는 홀더의 상하 이동에 따라 증감되는 포토레지스터 튜브의 압력을 감지하는 것을 특징으로 하는 포토레지스터 펌프.The pressure sensor is a photoresist pump, characterized in that for detecting the pressure of the photoresist tube is increased or decreased as the holder moves up and down. 삭제delete 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제어부로부터 전달되는 펌프 구동상태 정보를 디스플레이하기 위한 표시부Display unit for displaying the pump driving state information transmitted from the control unit 를 더 포함하는 포토레지스터 펌프.Photoresist pump further comprising. 삭제delete 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제어부는 상기 측정된 압력값과 소정의 기준압력값이 동일하면 상기 홀더의 동작 상태를 유지시키도록 상기 홀더 구동부를 제어하는 것을 특징으로 하는 포토레지스터 펌프.And the control unit controls the holder driving unit to maintain the operating state of the holder when the measured pressure value and the predetermined reference pressure value are equal to each other. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제어부는 상기 측정된 압력값과 소정의 기준압력값이 동일하지 않으면 상기 홀더의 동작을 정지시키도록 상기 홀더 구동부를 제어하는 것을 특징으로 하는 포토레지스터 펌프.And the control unit controls the holder driving unit to stop the operation of the holder when the measured pressure value and the predetermined reference pressure value are not equal to each other. 포토레지스터를 수납하기 위한 포토레지스터 튜브와, 상기 포토레지스터 튜브를 감싸도록 형성되며 상하로 신축되어 상기 포토레지스터 튜브를 수축 및 팽창시키기 위한 대경 벨로우스와, 상기 대경 벨로우스의 상부에 배치되고 상기 대경 벨로우스에 비해 상대적으로 작은 직경을 가지며 상하로 신축되어 상기 포토레지스터 튜브를 수축 및 팽창시키기 위한 소경 벨로우스와, 상기 대경 벨로우스와 상기 소경 벨로우스의 사이에 위치하며 상기 대경 벨로우스와 상기 소경 벨로우스를 상하로 신축시키기 위한 홀더를 구비한 포토레지스터 펌프의 구동 방법에 있어서,A photoresist tube for accommodating the photoresist, a large diameter bellows formed to surround the photoresist tube, and stretched up and down to contract and expand the photoresist tube, and disposed on an upper portion of the large diameter bellows and the large diameter bellows Small diameter bellows having a relatively small diameter compared to the upper and lower sides to contract and expand the photoresist tube, and located between the large diameter bellows and the small diameter bellows, and the large diameter bellows and the small diameter bellows up and down. In the driving method of the photoresist pump provided with a holder for expansion and contraction, 상기 포토레지스터 튜브 내의 포토레지스터에 의해 발생된 압력을, 상기 대경 벨로우스 하단에 배치된 압력센서가 감지하는 단계;Detecting a pressure generated by the photoresist in the photoresist tube by a pressure sensor disposed at the lower end of the large diameter bellows; 상기 감지된 압력값에 따라 상기 홀더의 구동을 제어하기 위한 구동제어신호나 정지제어신호를 발생하는 단계; 및Generating a drive control signal or a stop control signal for controlling the drive of the holder according to the sensed pressure value; And 상기 구동제어신호나 상기 정지제어신호에 따라 상기 홀더를 구동시키거나 정지시키는 단계를 포함하고,Driving or stopping the holder according to the drive control signal or the stop control signal; 상기 압력센서는 홀더의 상하 이동에 따라 증감되는 포토레지스터 튜브의 압력을 감지하는 것을 특징으로 하는 포토레지스터 펌프의 구동 방법.The pressure sensor is a driving method of the photoresist pump, characterized in that for sensing the pressure of the photoresist tube is increased or decreased as the holder moves up and down. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 포토레지스터 펌프의 동작 상태를 디스플레이하는 단계Displaying an operating state of the photoresist pump 를 더 포함하는 포토레지스터 펌프의 구동 방법.Driving method of the photoresist pump further comprising. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 신호발생 단계에서, 상기 감지된 압력값과 소정의 기준압력값이 동일하면 상기 홀더의 동작 상태를 유지시키도록 하기 위한 상기 구동제어신호를 발생하는 것을 특징으로 하는 포토레지스터 펌프의 구동 방법.And in the signal generating step, generating the drive control signal for maintaining the operating state of the holder if the detected pressure value and the predetermined reference pressure value are the same. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 신호발생 단계에서, 상기 감지된 압력값과 소정의 기준압력값이 동일하지 않으면 상기 홀더의 동작을 정지시키도록 하기 위한 상기 정지제어신호를 발생하는 것을 특징으로 하는 포토레지스터 펌프의 구동 방법.And in the signal generating step, generating the stop control signal for stopping the operation of the holder if the detected pressure value and the predetermined reference pressure value are not equal to each other.
KR1020060056499A 2006-06-22 2006-06-22 Photoregister pump and drive method thereof KR101318075B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060056499A KR101318075B1 (en) 2006-06-22 2006-06-22 Photoregister pump and drive method thereof

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060056499A KR101318075B1 (en) 2006-06-22 2006-06-22 Photoregister pump and drive method thereof

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20070121433A KR20070121433A (en) 2007-12-27
KR101318075B1 true KR101318075B1 (en) 2013-10-14

Family

ID=39138833

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020060056499A KR101318075B1 (en) 2006-06-22 2006-06-22 Photoregister pump and drive method thereof

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101318075B1 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101924486B1 (en) * 2012-03-09 2018-12-03 엘지디스플레이 주식회사 Photo resist Coating system and Method thereof
KR101775666B1 (en) * 2015-09-22 2017-09-07 에스엔유 프리시젼 주식회사 Method and device for inspecting injection condition of liquid crystal

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5421208A (en) * 1994-05-19 1995-06-06 Baxter International Inc. Instantaneous volume measurement system and method for non-invasively measuring liquid parameters
KR20010084636A (en) * 2000-02-28 2001-09-06 윤종용 Method for supplying chemical in a semiconductor processing and chemical supply apparatus for performing the same
KR20030048515A (en) * 2001-12-12 2003-06-25 가부시키가이샤 고가네이 Chemical feed system
KR20040060851A (en) * 2001-12-28 2004-07-06 코가네이 코포레이션 Chemical liquid supply apparatus and chmical liquid supply method

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5421208A (en) * 1994-05-19 1995-06-06 Baxter International Inc. Instantaneous volume measurement system and method for non-invasively measuring liquid parameters
KR20010084636A (en) * 2000-02-28 2001-09-06 윤종용 Method for supplying chemical in a semiconductor processing and chemical supply apparatus for performing the same
KR20030048515A (en) * 2001-12-12 2003-06-25 가부시키가이샤 고가네이 Chemical feed system
KR20040060851A (en) * 2001-12-28 2004-07-06 코가네이 코포레이션 Chemical liquid supply apparatus and chmical liquid supply method

Also Published As

Publication number Publication date
KR20070121433A (en) 2007-12-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4313159B2 (en) Seal dispenser for liquid crystal display panel and seal pattern disconnection detection method using the same
JP4180743B2 (en) Liquid crystal display
KR101318075B1 (en) Photoregister pump and drive method thereof
KR100469508B1 (en) A liquid crystal dispensing apparatus having controlling function of dropping amount caused by controlling tension of spring
KR100696938B1 (en) Liquid crystal dispensing apparatus
CN108492786B (en) Display device and backlight control method
JP2005148754A (en) Device and method for dripping liquid crystal
KR100532083B1 (en) A liquid crystal dispensing apparatus having an integrated needle sheet
JP2005165317A (en) Apparatus and method for dripping liquid crystal
KR101011777B1 (en) Nozzle module and Apparatus of vomiting liquid having the same
JP2007256793A (en) Liquid crystal display device
KR100960454B1 (en) Liquid crystal dispensing apparatus having filter
KR100499583B1 (en) liquid crystal injection device and liquid crystal injection method
KR101924486B1 (en) Photo resist Coating system and Method thereof
KR20060087951A (en) Liquid crystal display device
KR20050036529A (en) Apparatus for loading/ unloading glass
KR100673299B1 (en) Method for removing bubble of liquid pump module
JP2010015030A (en) Liquid crystal display
KR20070121286A (en) Apparatus for testing fpd and drive method thereof
KR101719384B1 (en) Nozzle unit
KR100934835B1 (en) Liquid crystal dropping device with disposable nozzle
KR20060067490A (en) System for manufacturing a liquid crystal display and controlling method thereof
KR100841618B1 (en) A liquid crystal dispensing apparatus
KR200399731Y1 (en) LC supply bottle
KR101363728B1 (en) Liquid crystal display device and method of aging the same

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
AMND Amendment
E601 Decision to refuse application
AMND Amendment
J201 Request for trial against refusal decision
B701 Decision to grant
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180917

Year of fee payment: 6