KR101316734B1 - 소수성 반사방지 기판 및 그 제조방법, 그를 포함하는 태양전지 모듈 - Google Patents
소수성 반사방지 기판 및 그 제조방법, 그를 포함하는 태양전지 모듈 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 소수성 반사방지 기판 및 그 제조방법, 그를 포함하는 태양전지 모듈에 관한 것이다. 본 발명은 기판; 상기 기판 상에 형성된 나노 구조부와, 상기 나노 구조부의 사이에 형성된 나노 공극부를 가지는 나노 구조층; 및 상기 나노 구조부에 형성된 소수성 코팅막을 포함하는 소수성 반사방지 기판 및 이를 포함하는 태양전지 모듈을 제공한다. 또한, 본 발명은 기판 상에 나노 구조부와, 상기 나노 구조부의 사이에 형성된 나노 공극부를 가지는 나노 구조층을 형성하는 제1단계; 및 상기 나노 구조부에 소수성 코팅막을 형성하는 제2단계를 포함하는 소수성 반사방지 기판의 제조방법을 제공한다. 본 발명에 따르면, 기판 상에 다공성의 나노 구조층이 형성되고, 상기 나노 구조층에는 소수성 코팅막이 형성되어 물방울 접촉각이 큰 초소수성을 갖는다. 또한, 다공성의 표면 나노 구조에 의해 광굴절율이 작아 낮은 반사도, 즉 높은 반사 방지특성을 가지며, 이와 함께 높은 광투과도를 갖는다.
Description
본 발명은 소수성 반사방지 기판 및 그 제조방법, 그를 포함하는 태양전지 모듈에 관한 것으로, 보다 상세하게는 초소수성을 가지면서 낮은 반사도와 높은 광투과도를 가지는 소수성 반사방지 기판 및 그 제조방법, 그리고 상기 소수성 반사방지 기판을 포함하는 태양전지 모듈에 관한 것이다.
자동차나 항공기, 그리고 건물 등의 창으로 적용되는 유리는 높은 소수성(hydrophobic property)이 요구된다. 일반적으로, 유리 표면은 물방울 접촉각(contact angle)이 큰 경우 높은 소수성을 갖는다. 그리고 소수성이 높은 경우, 오염이나 성에가 방지되고 자가 세척 기능을 가질 수 있다.
유리 등과 같은 기판의 표면에 소수성을 높이기 위한 방법으로는 표면에 소수성 물질을 코팅하여 표면 개질하는 방법이 주로 사용되고 있다. 예를 들어, 대한민국 공개특허 제10-2006-0018856호에는 유리 등의 기판 표면에 알킬 실란 등을 코팅한 소수성 표면구조의 기판이 제시되어 있으며, 대한민국 공개특허 제10-2010-0134675호에는 유리 표면에 키토산을 코팅한 소수성 유리가 제시되어 있다. 그리고 대한민국 공개특허 제10-2008-0109882호에는 나노입자를 제조한 다음, 이를 유리 기판의 표면에 용해 및/또는 확산되도록 하는 소수성 표면을 형성하는 방법이 제시되어 있다. 이와 같은 방법으로 유리 표면이 표면 개질된 경우, 물방울 접촉각이 60도 이상, 바람직하게는 물방울 접촉각 100도 이상으로서 높은 소수성을 가질 수 있다.
한편, 최근에는 CO2 등의 환경유해가스의 발생이 없는 그린(green) 에너지원의 사용을 늘리고자 하는 노력이 전 세계적으로 활발히 진행되고 있다. 특히 무공해 에너지원인 태양광을 이용해 전기를 발생하는 태양전지에 대한 관심이 매우 크게 부각되고 있다. 하지만 현재까지 상용화된 태양전지는 기존의 화석 연료를 이용하는 발전시스템과 비교하였을 때 여전히 발전 효율이 낮으며 단위 발생 전력 당 제조 단가가 높다는 단점이 있다. 이러한 문제점들을 해결하기 위해 태양전지의 효율을 보다 향상시키면서 제조 단가를 절감하고자 수많은 연구개발이 이루어지고 있다. 그 중에서도 태양전지 모듈의 표면(수광면)에 자가 세척 기능을 부가하는 기술의 중요성이 최근 더욱 부각되고 있다.
태양전지의 발전효율은 모듈 표면의 먼지나 오염으로 인해 최고 25 ~ 30%까지 감소한다. 이에 따라, 태양전지 모듈의 표면을 주기적으로 세척하여 오염을 방지하고 있다. 그러나 태양전지 모듈의 표면 세척에 필요한 비용이 세척에 의한 발전량 증가를 단가로 환산하였을 때보다 더 큰 실정이다. 때문에 초소수성 표면 형성 기술을 통해 태양전지 모듈의 표면에 자가 세척 기능을 부가하게 되면 오염으로 인한 태양전지 효율 감소와 함께 주기적인 세척에 필요한 경제적 손실을 방지할 수 있다.
일반적으로, 실리콘 태양전지, 화합물반도체 태양전지, 유기 태양전지, 염료감응 태양전지 등의 현재 상용화된 모든 태양전지 모듈의 표면은 유리로 구성되어 있다. 유리는 외부의 충격으로부터 태양전지 셀(cell)을 보호한다. 따라서 태양전지 모듈이 자가 세척 기능을 가지기 위해서는 외부에 노출된 유리 표면이 물방울이 퍼지지 않고 구형으로 맺히는 초소수성 특성을 가져야 한다.
그러나 종래 기술에 따른 소수성 기판, 특히 태양전지 모듈의 표면을 구성하는 기판(유리)은 자가 세척 기능을 가질 정도의 우수한 초소수성, 예를 들어 물방울 접촉각 150도 이상의 초소수성을 갖지 못하는 문제점이 있다. 또한, 태양전지 모듈의 표면(수광면)을 구성하는 기판(유리)의 경우에는 자가 세척을 위한 초소수성과 함께, 수광량(태양광의 입사량)을 높이기 위해 낮은 반사도(즉, 높은 반사 방지능)와 높은 광투과도를 가져야 한다. 그리고 종래 기술에 따른 소수성 기판은 낮은 반사도와 높은 광투과도를 갖지 못하는 문제점이 있다.
이에, 본 발명은 유리 등의 기판 상에 다공성의 나노 구조층을 형성하고, 상기 나노 구조층에 표면 개질을 통해 소수성 코팅막을 형성함으로써, 물방울 접촉각이 큰 초소수성을 가지면서, 이와 함께 낮은 반사도(높은 반사 방지능)와 높은 광투과도를 가지는 소수성 반사방지 기판 및 그 제조방법, 그리고 상기 소수성 반사방지 기판을 포함하는 태양전지 모듈을 제공하는 데에 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은,
기판;
상기 기판 상에 형성된 나노 구조부와, 상기 나노 구조부의 사이에 형성된 나노 공극부를 가지는 나노 구조층; 및
상기 나노 구조부에 형성된 소수성 코팅막을 포함하는 소수성 반사방지 기판을 제공한다.
이때, 상기 나노 구조부의 크기와 나노 공극부의 크기는 가시광선 파장보다 작은 것이 바람직하다. 상기 나노 구조부의 크기와 나노 공극부의 크기는 예를 들어 0.5 ㎚ ~ 300 ㎚인 것이 좋다.
바람직한 구현예에 따라서, 상기 나노 구조부는 기판을 구성하는 물질보다 광굴절계수가 작은 물질로 구성된 것이 좋다. 상기 나노 구조부는 예를 들어 실리콘계 및 불소계 화합물 중에서 선택된 하나 이상을 포함하는 것이 좋다. 보다 구체적인 예를 들어, 상기 나노 구조부는 SiO2, CaF2 및 MgF2 중에서 선택된 하나 이상을 포함하는 것이 바람직하다. 아울러, 상기 나노 구조부는 예를 들어 나노막대, 나노기둥, 나노선, 나노판 및 나노용수철 중에서 선택된 하나 이상의 형상을 가질 수 있다. 그리고 상기 나노 구조부는 경사각 증착을 통해 기판과 경사지게 형성될 수 있다.
상기 소수성 코팅막은 불소수지를 포함하는 것이 좋다. 그리고 상기 소수성 코팅막의 두께는 0.1 ㎚ ~ 50 ㎚인 것이 바람직하다.
또한, 본 발명은,
기판 상에 나노 구조부와, 상기 나노 구조부의 사이에 형성된 나노 공극부를 가지는 나노 구조층을 형성하는 제1단계; 및
상기 나노 구조부에 소수성 코팅막을 형성하는 제2단계를 포함하는 소수성 반사방지 기판의 제조방법을 제공한다.
이때, 상기 제2단계는 나노 구조부에 소수성 물질을 코팅하는 공정과, 상기 코팅된 소수성 물질을 열처리하는 공정을 포함하는 것이 좋다. 그리고 상기 열처리는 100 ~ 300℃의 온도에서 진행하는 것이 바람직하다.
이에 더하여, 본 발명은 상기한 바와 같은 본 발명에 따른 소수성 반사방지 기판을 포함하는 태양전지 모듈을 제공한다. 이때, 소수성 반사방지 기판은 태양전지 모듈의 표면을 구성한다.
본 발명에 따르면, 기판 상에 다공성의 나노 구조층이 형성되고, 상기 나노 구조층에는 표면 개질을 통해 소수성 코팅막이 형성되어 물방울 접촉각이 큰 초소수성을 갖는다. 또한, 본 발명에 따르면, 다공성의 표면 나노 구조에 의해 광굴절율이 작아 낮은 반사도, 즉 높은 반사 방지특성을 가지며, 이와 함께 높은 광투과도를 갖는다.
보다 구체적으로, 본 발명에 따르면 물방울 접촉각 150도 이상의 초소수성을 갖는다. 이에 따라, 오염 물질에 대한 자가 세척 기능이 우수하다. 그리고 일반 유리보다 빛에 대한 반사도가 낮고, 가시광선 영역에서 90% 이상의 광투과도가 구현되는 효과를 갖는다. 또한, 태양전지 모듈의 표면으로 적용되는 경우, 낮은 반사도 및 높은 광투과도에 의해 수광량이 증가되어 발전효율을 증가시킴은 물론, 초소수성에 의해 자가 세척 기능이 우수하여 오염 물질에 의한 태양전지 효율 감소를 방지하고 주기적인 세척에 필요한 경제적 손실을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 소수성 반사방지 기판의 제조과정을 설명하기 위한 공정도이다.
도 2는 본 발명에 따른 소수성 반사방지 기판을 구성하는 나노 구조층의 다양한 구현예를 예시한 사시 구성도이다.
도 3은 본 발명에 따른 소수성 반사방지 기판을 구성하는 나노 구조층의 예시적인 형성방법을 설명하기 위한 공정 단면도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따라 형성된 나노 구조층의 평면과 단면 주사현미경 사진이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따라 제조된 소수성 유리 기판의 물방울 접촉각을 측정한 결과를 보인 그래프이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따라 제조된 소수성 유리 기판에 물방울을 떨어뜨린 모습의 사진이다.
도 7은 일반 유리 기판과 본 발명의 실시예에 따라 제조된 소수성 유리 기판의 자가 세척 능력을 평가한 사진이다.
도 8은 본 발명의 실시예에 따라 제조된 소수성 유리 기판의 광투과도를 측정한 결과를 보인 그래프이다.
도 9는 일반 유리 기판과 본 발명의 실시예에 따라 제조된 소수성 유리 기판에 대해 광 반사도를 측정한 결과를 보인 그래프이다.
도 2는 본 발명에 따른 소수성 반사방지 기판을 구성하는 나노 구조층의 다양한 구현예를 예시한 사시 구성도이다.
도 3은 본 발명에 따른 소수성 반사방지 기판을 구성하는 나노 구조층의 예시적인 형성방법을 설명하기 위한 공정 단면도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따라 형성된 나노 구조층의 평면과 단면 주사현미경 사진이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따라 제조된 소수성 유리 기판의 물방울 접촉각을 측정한 결과를 보인 그래프이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따라 제조된 소수성 유리 기판에 물방울을 떨어뜨린 모습의 사진이다.
도 7은 일반 유리 기판과 본 발명의 실시예에 따라 제조된 소수성 유리 기판의 자가 세척 능력을 평가한 사진이다.
도 8은 본 발명의 실시예에 따라 제조된 소수성 유리 기판의 광투과도를 측정한 결과를 보인 그래프이다.
도 9는 일반 유리 기판과 본 발명의 실시예에 따라 제조된 소수성 유리 기판에 대해 광 반사도를 측정한 결과를 보인 그래프이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 소수성 반사방지 기판은, 기판(10), 상기 기판(10) 상에 형성된 나노 구조층(20), 및 상기 나노 구조층(20)에 형성된 소수성 코팅막(30)을 포함한다.
본 발명에서, 상기 기판(10)은 지지력을 갖는 것이면 제한되지 않다. 기판(10)은 평판 형태이어도 좋고, 굴곡 형태이어도 좋다. 기판(10)은 예를 들어 유리 기판, 사파이어 기판, 석영 기판, 그리고 이외의 반도체나 세라믹 기판 등으로부터 선택될 수 있다. 또한, 기판(10)은 플라스틱 기판으로부터 선택될 수 있으며, 구체적인 예를 들어 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 폴리부틸렌테레프탈레이트(PBT), 폴리에틸렌나프탈레이트(PEN), 폴리부틸렌나프탈레이트(PBN), 폴리에틸렌(PE), 폴리프로필렌(PP) 및 폴리카보네이트(PC) 등의 플라스틱 기판으로부터 선택될 수 있다.
상기 기판(10)은 구체적인 예를 들어 자동차, 항공기, 건물 및 태양전지 모듈 등의 표면 부재(보호 부재)로 사용되는 구성 부품으로부터 선택될 수 있다. 또한, 기판(10)은 투명, 반투명 또는 불투명을 포함한다. 기판(10)은, 바람직하게는 투명 또는 반투명이며, 보다 바람직하게는 투명, 예를 들어 광투과도 80% 이상의 투명인 것이 좋다. 특히, 태양전지 모듈 등의 표면으로 사용되는 경우, 기판(10)은 투명하면서 가격이 저렴한 것이 바람직하다. 아울러, 기판(10)은 특별히 한정하는 것은 아니지만, 예를 들어 0.05 ㎜ ~ 20 ㎜의 두께(T10, 도 1 참조)를 가질 수 있으며, 보다 구체적으로는 0.1 ㎜ ~ 5 ㎜의 두께(T10)를 가질 수 있다.
상기 나노 구조층(20)은 기판(10) 상에 형성된다. 나노 구조층(20)은 기판(10)의 한 면 또는 양면에 형성될 수 있다. 도면에는 나노 구조층(20)이 기판의 한 면(도면에서 상부 면)에 형성된 모습을 예시하였다.
본 발명에서, 상기 나노 구조층(20)은 다수의 나노 구조부(22)를 가지는 다공성 박막으로서, 이는 구체적으로 도 1에 도시한 바와 같이 기판(10) 상에 형성된 다수의 나노 구조부(22)와, 상기 나노 구조부(22)들의 사이에 형성된 다수의 나노 공극부(24)를 갖는다.
본 발명에 따르면, 위와 같은 다공성의 나노 구조층(20)에 의해 초소수성을 가지면서 낮은 반사도 및 높은 광투과도를 갖는다. 구체적으로, 상기 나노 구조층(20) 상에는 소수성 코팅막(30)이 형성되는데, 이때 나노 구조층(20)을 구성하는 다수의 나노 구조부(22)에 의해 소수성 코팅막(30)의 표면적이 증가되어 초소수성을 갖는다. 그리고 나노 구조부(22)의 나노 크기(D22, 도 1 참조)에 의해 빛에 대한 투명성이 확보되어 높은 광투과도를 갖는다. 또한, 상기 나노 공극부(24)에 의해, 즉 나노 구조부(22)들의 사이에 존재하는 나노 크기(D24, 도 1 참조)의 공극에 의해 광굴절율이 작아져 낮은 반사도(즉, 높은 반사 방지능)를 갖는다.
본 발명에서, 상기 나노 구조부(22)는 이들 사이에 나노 공극부(24)가 형성되도록 기판(10) 상에 개별적으로 돌출 형성된 것으로서, 이는 나노 크기(D22)를 가지는 것이면 제한되지 않는다. 나노 구조부(22)는 1,000 ㎚ 이하, 보다 구체적으로 0.1 ㎚ ~ 1,000 ㎚의 크기(D22)를 갖는다. 나노 구조부(22)는, 바람직하게는 가시광선 파장(대략, 380 ~ 780 nm)보다 작은 크기(D22)를 가지는 것이 좋다. 이와 같이 나노 구조부(22)의 크기(D22)가 가시광선 파장보다 작은 경우 빛에 대한 투명성이 증가되어 높은 광투과도를 갖는다. 나노 구조부(22)는, 보다 바람직하게는 가시광선 파장보다 작은 크기(D22)로서, 300 ㎚ 이하의 크기(D22), 구체적인 예를 들어 0.5 ㎚ ~ 300 ㎚의 크기(D22)를 가지는 것이 광투과도는 물론 초소수성 면에서 좋다.
또한, 상기 나노 구조부(22)의 형상은 제한되지 않는다. 나노 구조부(22)는 예를 들어 막대(rob), 기둥(columnar), 선(wire), 판(plate) 및 용수철 등으로부터 선택된 하나 이상의 다양한 형상을 가질 수 있다. 보다 구체적으로, 나노 구조부(22)는 크기(D22)에 따라, 예를 들어 100 ㎚ ~ 300 ㎚ 두께(굵기)의 나노막대; 예를 들어 20 ㎚ ~ 100 ㎚ 직경(굵기)의 나노기둥; 예를 들어 0.5 ㎚ ~ 20 ㎚ 굵기의 나노선 형상을 가질 수 있다. 그리고 폭(가로)과 너비(세로)가 예를 들어 0.5 ㎚ ~ 300 ㎚인 나노판; 및 0.5 ㎚ ~ 20 ㎚ 굵기의 나노선이 코일상으로 형성된 나노용수철 등의 형상을 가질 수 있다. 도 2는 이러한 나노 구조부(22)의 다양한 형상을 예시한 것으로서, 도 2의 (a)는 나노막대, 도 2의 (b)는 나노기둥(원기둥형), 도 2의 (c)는 나노선, 도 2의 (d)는 나노판, 그리고 도 2의 (e)는 나노용수철의 형상을 예시한 것이다. 그러나 본 발명에서 나노 구조부(22)의 형상은 상기 예시한 형상으로 제한되는 것은 아니다.
아울러, 도 1을 참조하면, 상기 나노 공극부(24)의 크기(D24), 즉 나노 구조부(22) 간의 간격((D24)은 나노미터의 크기를 가지는 것이면 제한되지 않는다. 나노 공극부(24)는 구체적으로 1,000 ㎚ 이하, 보다 구체적으로 0.1 ㎚ ~ 1,000 ㎚의 크기(D24)를 갖는다. 나노 공극부(24)는, 바람직하게는 가시광선 파장(대략, 380 ~ 780 nm)보다 작은 크기(D24)를 가지는 것이 좋다. 이와 같이 나노 공극부(24)의 크기(D24)가 가시광선 파장보다 작은 경우, 광굴절율이 작아져 광 반사도에서 유리하다. 나노 공극부(24)는, 보다 바람직하게는 300 ㎚ 이하의 크기(D24), 구체적인 예를 들어 0.5 ㎚ ~ 300 ㎚의 크기(D24)를 가지는 것이 광 반사도는 물론 초소수성 면에서 좋다.
또한, 상기 나노 구조층(20)은 예를 들어 1.0 ㎚ ~ 20 ㎛(마이크로미터)의 두께(T20, 도 1 참조)를 가질 수 있다. 나노 구조층(20)은, 보다 구체적으로 100 ㎚ ~ 10 ㎛의 두께(T20)를 가질 수 있다.
상기 나노 구조층(20)은 증착을 통해 형성될 수 있다. 즉, 상기 다수의 나노 구조부(22)는 기판(10) 상에 증착되어 형성될 수 있다. 나노 구조부(22)는 예를 들어 스퍼터링 증착법, 전자선 증착법, 화학증기증착법 또는 습식증착법 등을 통해 형성될 수 있다.
본 발명에서, 상기 나노 구조층(20)을 구성하는 물질은 제한되지 않는다. 즉, 상기 나노 구조부(22)는 다양한 물질로 구성될 수 있다. 나노 구조부(22)는, 바람직하게는 실리콘계 화합물 및 불소계 화합물 중에서 선택된 하나 이상을 포함하는 것이 좋다. 이때, 상기 실리콘계 화합물은 분자 내에 Si를 가지는 화합물로서, 예를 들어 SiO2, SiOC, SiON, SiOCN 및 Si3N4 등으로부터 선택될 수 있다. 그리고 상기 불소계 화합물은 분자 내에 F를 가지는 화합물로서, 예를 들어 CaF2 및 MgF2 등으로부터 선택될 수 있다.
상기 나노 구조부(22)는, 바람직한 구현예에 따라서 기판(10)을 구성하는 물질보다 광굴절계수가 작거나 같은 물질로 구성되는 것이 좋다. 이 경우, 광굴절율이 작아져 낮은 반사도(즉, 높은 반사방지능)를 갖는다. 예를 들어, 기판(10)이 유리인 경우, 나노 구조부(22)는 유리의 주성분인 SiO2로 구성되거나, 유리보다 광굴절계수가 작은 CaF2 및 MgF2 등으로부터 선택된 하나 이상으로 구성되는 것이 좋다. 나노 구조부(22)는, 보다 바람직하게는 기판(10)을 구성하는 물질보다 광굴절계수가 작은 물질로 구성되는 것이 좋으며, 예를 들어 기판(10)이 유리인 경우에는 상기한 바와 같이 CaF2 및 MgF2 등으로부터 선택된 하나 이상으로 구성되는 것이 좋다.
위와 같은 나노 구조층(20) 상에는 소수성 코팅막(30)이 형성된다. 소수성 코팅막(30)은 적어도 나노 구조부(22)의 표면을 덮도록 코팅되어 있으며, 보다 좋게는 도 1에 도시한 바와 같이 나노 구조부(22) 사이의 기판(10) 상에도 코팅 형성된다.
상기 소수성 코팅막(30)은 소수성 물질이 코팅되어 형성되며, 이때 상기 소수성 물질은 소수성을 가지는 것이라면 제한되지 않는다. 소수성 물질은 예를 들어 유기 화합물, 무기 화합물 및 유-무기 복합물 등으로부터 선택될 수 있으며, 바람직하게는 유기 화합물로서 불소수지, 알킬 실란 및 플루오르 실란 등으로부터 선택된 하나 이상을 포함할 수 있다. 소수성 물질은, 상기 나열한 것 중에서 보다 바람직하게는 불소수지를 포함하는 것이 좋다. 상기 불소수지는 분자 내에 불소를 가지는 수지이면 제한되지 않으며, 불소수지는 예를 들어 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE), 퍼플루오로알콕시 수지(PFA), 테트라플루오로에틸렌-퍼플루오로알콕시에틸렌 코폴리머 수지(TFE-PFA), 테트라플루오로에틸렌 수지(TFE), 헥사플루오로프로필렌 수지(HFP), 테트라플루오로에틸렌-헥사플루오로프로필렌 코폴리머 수지(TFE-HFP), 에틸렌-테트라플루오로에틸렌 수지(ETFE), 폴리클로로트리플루오로에틸렌(PCTFE), 에틸렌-클로로트리플루오로에틸렌 수지(ECTFE), 폴리비닐리덴플로라이드(PVDF) 및 폴리비닐플로라이드(PVF) 등으로부터 선택될 수 있다.
또한, 상기 소수성 코팅막(30)의 두께(T30)는 특별히 제한되지 않는다. 소수성 코팅막(30)의 두께(T30)는 적용 제품에 따라 다양하게 설정될 수 있다. 예를 들어, 태양전지 모듈 등과 같이 초소수성과 함께 광투과도가 요구되는 제품의 경우, 소수성 코팅막(30)의 두께(T30)는 0.1 ㎚ ~ 50 ㎚인 것이 바람직하다. 이때, 소수성 코팅막(30)의 두께(T30)가 0.1 ㎚ 미만인 경우 초소수성을 보이기 어려울 수 있으며, 50 ㎚를 초과하는 경우 광투과도가 낮아질 수 있다. 또한, 불소수지의 경우, 9 ㎚ 이상의 두께(T30)에서 초소수성에 유리하므로, 상기 소수성 코팅막(30)을 불소수지로 구성한 경우에는 9 ㎚ ~ 50 ㎚의 두께(T30)를 갖도록 하는 것이 바람직하다.
이상에서 설명한 본 발명에 따른 소수성 반사방지 기판은 다양한 방법으로 제조될 수 있으며, 그 제조방법은 제한되지 않는다. 본 발명에 따른 소수성 반사방지 기판은, 예를 들어 아래에서 설명한 바와 같은 본 발명에 따른 제조방법을 통해 제조될 수 있다. 이하, 본 발명에 따른 소수성 반사방지 기판의 제조방법을 설명한다.
본 발명에 따른 소수성 반사방지 기판의 제조방법은 기판(10) 상에 나노 구조층(20)을 형성하는 제1단계; 및 상기 나노 구조층(20)에 소수성 코팅막(30)을 형성하는 제2단계를 포함한다. 본 발명에 따른 제조방법에 있어 기판(10), 나노 구조층(20) 및 소수성 코팅막(30)을 구성하는 물질 및 종류는 전술한 바와 같다.
구체적으로, 상기 기판(10)은 예를 들어 유리 기판, 사파이어 기판, 석영 기판, 그리고 이외의 반도체나 세라믹 기판, 및 플라스틱 기판 등으로부터 선택될 수 있으며, 이들은 바람직하게는 투명이다.
그리고 상기 나노 구조층(20)은 실리콘계 화합물 및 불소계 화합물 중에서 선택된 하나 이상을 증착시켜 형성할 수 있다. 증착은 예를 들어 상기한 바와 같이 스퍼터링 증착법, 전자선 증착법, 화학증기증착법 또는 습식증착법을 이용할 수 있다. 이때, 나노 구조층(20)을 기판(10) 상에 형성된 다수의 나노 구조부(22)와, 상기 나노 구조부(22)의 사이에 형성된 다수의 나노 공극부(24)를 가지는 다공성 구조로 형성한다. 이러한 다공성 구조의 나노 구조층(20)을 형성하는 방법은 다양한 방법이 고려될 수 있다. 바람직하게는 경사각 증착(Glancing angle deposition)의 원리를 이용하여 형성할 수 있다. 이를 도 3을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 3을 참조하면, 기판(10) 상에 나노 구조부(22)의 타겟(구성 물질 소스, 예를 들어 CaF2 및 MgF2 등)을 증착하되, 타겟(구성 물질 소스)의 증기 플럭스(flux)가 기판(10) 상에 소정 각도로 경사지게 증착되게 하여 나노 구조부(22)의 핵(22a)을 형성한다. 이후, 계속적인 증착을 통하여 핵(22a) 위에 타겟(구성 물질)을 경사지게 성장시켜 나노 구조부(22)를 형성시킨다. 이때, 자기-그림자(self-shadowing) 효과에 의해, 나노 구조부(22)들의 사이에는 나노 공극부(24)가 형성된다. 즉, 도 3에서 자기-그림자 영역(self-shadowing region)에는 기둥형의 나노 구조부(22)에 의해 가려져 플럭스(flux)가 증착되지 않아 이 부분에 나노 공극부(24)가 형성된다.
또한, 상기 타겟(구성 물질 소스)의 플럭스(flux)를 소정 각도로 경사지게 증착시킴에 있어서는, 기판(10)과 타겟(구성 물질 소스)을 90도 또는 180도로 유지하여 증착시킬 수 있으나, 바람직하게는 90도 미만의 각도로 유지하여 증착시킬 수 있다. 기판(10)과 타겟(구성 물질 소스)을 예를 들어 60도 내지 89도의 각도로 유지하여 증착시킬 수 있다. 이때, 나노 구조부(22)는 도 3에 도시한 바와 같이 기판(10)과 90도 미만의 각도(θ), 예를 들어 60도 내지 89도의 각도(θ)로 경사지게 형성될 수 있다.
위와 같이 증착을 통해 나노 구조층(20)을 형성한 다음에는 표면 개질을 통해 나노 구조층(20)을 초소수화시킨다. 즉, 적어도 나노 구조부(22)의 표면에 소수성 코팅막(30)을 형성한다. 이때, 소수성 코팅막(30)의 형성 공정(제2단계)은 나노 구조부(22)에 소수성 물질을 코팅하는 공정과, 상기 코팅된 소수성 물질을 열처리하는 공정을 포함하는 것이 좋다. 상기 소수성 물질의 종류는 전술한 바와 같다. 소수성 물질은 전술한 바와 같이 소수성을 가지는 것이면 제한되지 않으며, 예를 들어 유기 화합물, 무기 화합물 및 유-무기 복합물 등으로부터 선택될 수 있다. 소수성 물질은, 바람직하게는 유기 화합물로서, 상기 나열한 바와 같은 불소수지를 포함하는 것이 좋다.
또한, 상기 소수성 물질은 용매에 희석(혼합)되어 코팅될 수 있다. 용매는 소수성 물질(예, 불소수지)을 희석하여 코팅이 가능할 정도의 점도를 갖게 하는 것이면 제한되지 않는다. 용매는, 예를 들어 알콜계, 글리콜계, 케톤계 및 포름아마이드계 등으로부터 선택된 하나 이상의 유기용제를 사용할 수 있으며, 구체적인 예를 들어 메탄올, 에탄올, 이소프로판올, 메틸렌글리콜, 에틸렌글리콜, 메틸에틸케톤(MEK) 및 다이메틸포름아마이드(DMF) 등으로부터 선택된 하나 이상을 사용할 수 있다. 이러한 용매는 소수성 물질 100 중량부에 대하여 50 ~ 300 중량부로 사용될 수 있다. 이때, 용매의 함량이 50 중량부 미만이면 점도가 높아 코팅 작업성이 떨어질 수 있으며, 300 중량부를 초과하면 경화(건조) 시간이 오래 걸려 바람직하지 않을 수 있다.
아울러, 상기 소수성 물질의 코팅 방법 및 코팅 회수는 제한되지 않는다. 소수성 물질은, 예를 들어 딥핑(dipping), 스핀 코팅(spin coating), 스프레이 코팅(spray coating), 그라비아(gravure) 및 스크린 프린팅(screen-printing) 등으로부터 선택된 하나 이상의 코팅 방법으로 1회 이상 코팅될 수 있다.
위와 같이 소수성 물질을 코팅한 다음, 코팅된 소수성 물질의 경화를 위해 열처리가 진행되는 데, 이때 열처리는 100 ~ 300℃의 온도에서 진행하는 것이 경화 안정성 향상에 바람직하다. 즉, 열처리 온도가 100℃ 미만인 경우 소수성 물질, 예를 들어 불소수지의 경화가 다소 어려울 수 있으며, 300℃를 초과하는 경우 나노 구조부(22)에 악영향(균열 등)을 끼칠 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명에 따른 소수성 반사방지 기판은, 다공성의 나노 구조층(20)이 형성되고, 상기 나노 구조층(20)에는 소수성 코팅막(30)이 형성되어, 매우 높은 소수 특성을 갖는다. 예를 들어, 물방울 접촉각 150도 이상의 초소수성을 갖는다. 이에 따라, 오염 물질에 대한 자가 세척 기능이 우수하다. 또한, 다공성의 표면 나노 구조에 의해 광굴절율이 작아 낮은 반사도, 즉 높은 반사 방지특성을 가지며, 이와 함께 높은 광투과도를 갖는다. 예를 들어, 일반 유리보다 빛에 대한 반사도가 매우 낮고, 가시광선 영역에서 90% 이상의 광투과도를 갖는다. 아울러, 본 발명에 따른 소수성 반사방지 기판은, 다공성의 표면 나노 구조로 인해 자가 세척 기능뿐만 아니라 결로 방지, 대전 방지, 내부식성이 우수하다. 또한 상기와 같이 가시광선에 대한 높은 광투과도를 가지면서, 자외선 및 적외선 차단 기능을 갖는다.
본 발명에 따른 소수성 반사방지 기판은 다양한 분야에 적용될 수 있다. 예를 들어 자동차, 항공기 및 건물 등의 창이나 칸막이 등으로 적용될 수 있다. 특히, 본 발명에 따른 소수성 반사방지 기판은 초소수성과 함께 낮은 반도사도 및 높은 광투과도가 요구되는 제품, 예를 들어 태양전지 모듈에 유용하게 적용될 수 있다. 이하, 본 발명에 따른 태양전지 모듈을 설명한다.
본 발명에 따른 태양전지 모듈은 통상과 같이 구성될 수 있다. 태양전지 모듈은 통상과 같이 외부에 노출되어 태양 빛을 수광(受光)하면서 태양전지 셀을 보호하는 보호 부재; 상기 보호 부재의 하부에 형성된 충전층; 상기 충전층의 내부에 매입된 다수의 태양전지 셀; 및 상기 충전층의 하부에 부착된 백 시트를 포함할 수 있다. 상기 태양전지 셀은 특별히 제한되지 않으며, 예를 들어 실리콘 태양전지, 화합물반도체 태양전지, 유기 태양전지, 염료감응 태양전지 등을 들 수 있다.
이때, 본 발명에 따른 태양전지 모듈은 상기한 바와 같은 본 발명의 소수성 반사방지 기판을 포함한다. 구체적으로, 상기 보호 부재는 상기한 바와 같은 본 발명의 소수성 반사방지 기판을 포함하면 좋다. 즉, 상기한 바와 같은 본 발명의 소수성 반사방지 기판은 태양전지 모듈의 표면(수광면)을 구성하면 좋다.
이에 따라, 본 발명에 따른 태양전지 모듈은 상기 소수성 반사방지 기판의 초소수성에 의해 자가 세척 기능이 우수하여 오염 물질에 의한 태양전지 효율 감소가 방지되고, 주기적인 세척에 필요한 경제적 손실이 방지된다. 그리고 낮은 반사도와 높은 광투과도에 의해 수광량이 증가되어 발전효율이 증가될 수 있다.
이하, 본 발명의 실시예 및 비교예를 예시한다. 하기의 실시예는 본 발명의 이해를 돕도록 하기 위해 예시적으로 제공되는 것일 뿐, 이에 의해 본 발명의 기술적 범위가 한정되는 것은 아니다.
[실시예 1 내지 5]
< 나노 구조층 증착 >
먼저, 전자선 증착(electron beam deposition) 장치에 2.0㎜의 투명 유리(glass) 기판을 설치하였다. 그리고 상기 유리 기판 위에 나노 구조층으로서 CaF2를 증착하였다. 이때, 나노 구조층(CaF2)을 증착함에 있어서, CaF2 소스와 유리 기판을 약 85도의 각도로 유지시킨 다음 증착하여, CaF2를 나노선(nano-wire) 형상으로 경사지게 증착하였다. 그리고 각 실시예에 따라 나노 구조층(CaF2)의 두께를 달리하였다. 즉, 각 실시예에 따라 나노 구조층의 두께(CaF2 나노선의 길이)를 200 ㎚(실시예 1), 500 ㎚(실시예 2), 750 ㎚(실시예 3), 1.0 ㎛(실시예 4) 및 1.5 ㎛(실시예 5)로 달리하였다.
< 표면 개질 >
다음으로, 상기 각 실시예에 따라 나노 구조층(CaF2)이 형성된 유리 기판을 불소수지로 표면 개질시켰다. 구체적으로, 나노 구조층(CaF2)이 형성된 유리 기판을 불소수지(PTFE)가 함유된 용액에 딥핑(dipping)하여 나노 구조층(CaF2)의 표면에 불소수지(PTFE)를 코팅하였다. 그리고 오븐에 투입한 다음, 200℃의 온도에서 열처리하여 불소수지(PTFE)를 경화(안정화)시켜, 유리 기판 상에 CaF2 나노선 구조의 나노 구조층이 증착되고, 상기 나노 구조층 상에 불소수지(PTFE)가 코팅된 소수성 유리 기판을 제조하였다.
[비교예 1]
상기 실시예 1과 비교하여, 나노 구조층을 형성하지 않고 불소수지(PTFE)만을 코팅하였다. 구체적으로, 유리 기판을 불소수지(PTFE)가 함유된 용액에 딥핑(dipping)한 다음, 동일한 조건에서 열처리하여, 유리 기판 상에 나노 구조층 없이 불소수지(PTFE) 코팅막이 직접 형성된 소수성 유리 기판을 제조하였다.
첨부된 도 4는 상기 각 실시예에 따라 두께를 달리한 나노 구조층의 평면과 단면 주사현미경 사진을 보인 것이다. 도 4에 보인 바와 같이, 나노 구조층은 나노선 형상을 가지면서 나노선의 크기(선 굵기)와 공극의 크기(나노선 간의 거리)가 수십 나노미터 이하로서, 가시광선 파장보다 작게 형성되었음을 알 수 있다.
또한, 첨부된 도 5는 상기 각 실시예 및 비교예에 따라 제조된 소수성 유리 기판의 물방울 접촉각(contact angle)을 측정한 결과를 보인 그래프이다. 이때, 도 5에는 표면 개질 전(불소수지 코팅 전)과 표면 개질 후(불소수지 코팅 후)후의 결과를 함께 나타내었다.
도 5에 보인 바와 같이, 표면 개질 전(불소수지 코팅 전)에는 유리 표면의 접촉각이 30도 이하로서 친수성을 보였지만, 표면 개질 후(불소수지 코팅 후)에는 유리 표면의 접촉각이 100도 이상으로서 소수성 표면으로 개질됨을 알 수 있다.
아울러, 나노 구조층의 유무 및 나노 구조층의 두께에 따라 소수성이 달라짐을 알 수 있다. 즉, 나노 구조층의 형성 없이 불소수지만을 코팅한 비교예 1의 경우에는 접촉각이 약 100도이나, 본 발명에 따라 나노 구조층을 형성한 다음, 그 위에 불소수지를 코팅한 실시예들의 경우에는 접촉각이 110도 이상으로서 높은 소수성을 가짐을 알 수 있다. 그리고 나노 구조층의 두께가 증가할수록 접촉각이 커짐을 알 수 있다. 특히, 나노 구조층의 두께가 750 ㎚인 경우(실시예 3), 표면 개질 후의 접촉각이 150도 이상으로서 매우 높고, 전진(advancing) 접촉각과 후진(receding) 접촉각의 차이가 5도 이하로서 초소수성 표면이 형성되었음을 확인할 수 있다.
첨부된 도 6은 상기 실시예 3에 따라 제조된 소수성 유리 기판에 물방울을 떨어뜨린 모습의 실제 사진이다. 도 6에 보인 바와 같이, 소수성 유리 기판의 표면에 실제 물방울을 떨어뜨렸을 때, 물방울이 완전한 구형을 유지하여 초소수성을 가짐을 알 수 있다. 그리고 투명함을 알 수 있다.
첨부된 도 7은 일반 유리 기판과 상기 실시예 3에 따라 제조된 소수성 유리 기판의 자가 세척 능력을 평가한 결과로서, 물방울을 떨어뜨리기 전(Before dropping water droplet)과, 물방울을 떨어뜨린 후(After dropping water droplet)의 사진이다. 일반 유리 기판과 상기 실시예 3에 따라 제조된 소수성 유리 기판의 표면에 각각 5 ㎛ 이하의 산화철 분말을 고르게 분산시켰으며, 그 위에 물방울을 떨어뜨려 산화철 분말에 대한 세척 능력을 비교하였다. 이때, 물방울이 유리 표면에서 자연스럽게 흘러내리도록 유리 기판과 지면의 각도를 45도로 유지하였다.
도 7의 사진에 보인 바와 같이, 일반 유리 기판의 경우, 물방울이 흘러내려간 뒤에도 표면의 산화철 분말이 제거되지 않았으며, 오히려 산화철 분말끼리 뭉쳐져 표면을 더욱더 불투명하게 만드는 부분이 관찰되었다. 그리고 일반 유리 기판의 경우 물방울을 떨어뜨렸을 때, 물방울의 흘러내림 속도는 0.167 cm/s로 매우 느렸다.
그러나 실시예 3에 따른 소수성 유리 기판의 경우, 표면의 산화철 분말이 매우 효과적으로 제거되었다. 그리고 물방울을 떨어뜨렸을 때, 물방울의 흘러내림 속도는 11.3 cm/s로서 매우 빠름을 알 수 있었다. 이를 통해, 소수성 유리 기판의 자가 세척 능력이 일반 유리 기판보다 월등함을 확인할 수 있었다.
첨부된 도 8은 상기 실시예 3에 따라 제조된 소수성 유리 기판의 광투과도(Transmittance)를 측정한 결과를 보인 그래프이다. 이때, 빛이 유리 표면에 수직으로 입사하였을 때의 총투과율을 측정하였는데, 도 8에 보인 바와 같이 가시광선 영역에서의 광투과율이 90% 이상으로서 매우 우수한 광투과도를 가짐을 알 수 있다.
또한, 첨부된 도 9는 일반 유리 기판과 상기 실시예 3에 따라 제조된 소수성 유리 기판에 대해 광 반사도를 측정한 결과를 보인 그래프이다. 이때, 빛이 유리 표면에 8도의 각도로 입사하였을 때의 총반사도를 측정하였는데, 도 9에 보인 바와 같이 본 발명의 실시예 3에 따른 소수성 유리 기판의 총반사도는 가시광선 영역에서 6% 이하 정도로 일반 유리 기판보다 매우 낮은 반사도를 가졌다. 이는 반사 방지능이 우수함을 보여준다.
이상의 실시예에서 확인되는 바와 같이, 본 발명에 따라 다공성의 표면 나노 구조가 형성된 경우, 물방울 접촉각 150도 이상의 초소수성을 가져 자가 세척 기능이 우수함을 알 수 있다. 그리고 일반 유리보다 매우 낮은 반사도를 가지며, 이와 함께 90% 이상으로 높은 광투과도를 가짐을 알 수 있다.
10 : 기판 20 : 나노 구조층
22 : 나노 구조부 24 : 나노 공극부
30 : 소수성 코팅막
22 : 나노 구조부 24 : 나노 공극부
30 : 소수성 코팅막
Claims (18)
- 기판;
상기 기판 상에 형성된 나노 구조부와, 상기 나노 구조부의 사이에 형성된 나노 공극부를 가지는 나노 구조층; 및
상기 나노 구조부에 형성된 소수성 코팅막을 포함하되,
상기 나노 구조부는 경사각 증착방식에 의해 경사지게 형성되고,
상기 나노 구조부는 상기 기판을 구성하는 물질보다 광굴절률이 작은 물질로 구성된 것을 특징으로 하는 소수성 반사방지 기판.
- 제1항에 있어서,
상기 나노 구조부의 크기와 나노 공극부의 크기는 가시광선 파장보다 작은 것을 특징으로 하는 소수성 반사방지 기판.
- 제1항에 있어서,
상기 나노 구조부의 크기와 나노 공극부의 크기는 0.5 ㎚ ~ 300 ㎚인 것을 특징으로 하는 소수성 반사방지 기판.
- 제1항에 있어서,
상기 나노 구조부는 실리콘계 및 불소계 화합물 중에서 선택된 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 소수성 반사방지 기판.
- 삭제
- 제1항에 있어서,
상기 나노 구조부는 SiO2, CaF2 및 MgF2 중에서 선택된 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 소수성 반사방지 기판.
- 제1항에 있어서,
상기 나노 구조부는 나노막대, 나노기둥, 나노선, 나노판 및 나노용수철 중에서 선택된 하나 이상의 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 소수성 반사방지 기판.
- 삭제
- 제1항에 있어서,
상기 나노 구조층의 두께는 1.0 ㎚ ~ 20 ㎛인 것을 특징으로 하는 소수성 반사방지 기판.
- 제1항에 있어서,
상기 소수성 코팅막은 불소수지를 포함하는 것을 특징으로 하는 소수성 반사방지 기판.
- 제1항에 있어서,
상기 소수성 코팅막의 두께는 0.1 ㎚ ~ 50 ㎚인 것을 특징으로 하는 소수성 반사방지 기판.
- 기판 상에 나노 구조부와, 상기 나노 구조부의 사이에 형성된 나노 공극부를 가지는 나노 구조층을 형성하는 제1단계; 및
상기 나노 구조부에 소수성 코팅막을 형성하는 제2단계를 포함하되,
상기 나노 구조부는 경사각 증착방식에 의해 경사지게 형성되고,
상기 나노 구조부는 상기 기판을 구성하는 물질보다 광굴절률이 작은 물질로 구성된 것을 특징으로 하는 소수성 반사방지 기판의 제조방법.
- 제12항에 있어서,
상기 제1단계는 기판 상에 실리콘계 및 불소계 화합물 중에서 선택된 하나 이상을 증착시켜 나노 구조층을 형성하는 것을 특징으로 하는 소수성 반사방지 기판의 제조방법.
- 삭제
- 제12항에 있어서,
상기 제2단계는 나노 구조부에 소수성 물질을 코팅하는 공정과, 상기 코팅된 소수성 물질을 열처리하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 소수성 반사방지 기판의 제조방법.
- 제15항에 있어서,
상기 소수성 물질은 불소수지를 포함하는 것을 특징으로 하는 소수성 반사방지 기판의 제조방법.
- 제15항에 있어서,
상기 열처리는 100 ~ 300℃의 온도에서 진행하는 것을 특징으로 하는 소수성 반사방지 기판의 제조방법.
- 제1항 내지 제4항, 제6항, 제7항 및 제9항 내지 제11항 중 어느 하나의 항에 따른 소수성 반사방지 기판을 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지 모듈.
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Families Citing this family (10)
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WO2012020899A1 (ko) * | 2010-08-10 | 2012-02-16 | 연세대학교 산학협력단 | 반사 방지성 유리 및 그 제조 방법 |
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EP3509130B1 (en) * | 2016-10-03 | 2022-02-23 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Battery pack, electronic apparatus, electric vehicle, electric tool, and power storage system |
US11773010B2 (en) * | 2017-05-30 | 2023-10-03 | University of Pittsburgh—of the Commonwealth System of Higher Education | High transparency, high haze nanostructured structures |
EP3431199A1 (de) * | 2017-07-20 | 2019-01-23 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Oberflächenbeschichtung und verfahren zur verringerung der verschmutzungsanfälligkeit einer objektoberfläche |
CN110739353A (zh) * | 2018-07-02 | 2020-01-31 | 北京汉能光伏投资有限公司 | 膜层结构、太阳能组件及太阳能组件的制备方法 |
CN109016579B (zh) * | 2018-07-26 | 2021-05-18 | 昱天(上海)新材料有限公司 | 三层结构耐久难水解型静电消除微孔薄膜的制备方法 |
GB2585900A (en) * | 2019-07-22 | 2021-01-27 | Ogorodnov Sergey | Photovoltaic cell and method of manufacturing a photovoltaic cell |
WO2022096102A1 (en) * | 2020-11-05 | 2022-05-12 | Hitachi Energy Switzerland Ag | Power semiconductor device with super-hydrophobic protective layer and power module |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008508181A (ja) * | 2004-07-27 | 2008-03-21 | ユーティ―バテル エルエルシー | ナノ構造を備えた超疎水性の複合材料 |
KR20100035952A (ko) * | 2008-09-29 | 2010-04-07 | 주식회사 미뉴타텍 | 나노 구조물 제조 방법 |
KR20110007724A (ko) * | 2009-07-17 | 2011-01-25 | 한국전자통신연구원 | 반사방지 나노구조물 및 그의 제조 방법 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8344238B2 (en) * | 2005-07-19 | 2013-01-01 | Solyndra Llc | Self-cleaning protective coatings for use with photovoltaic cells |
WO2008069112A1 (en) * | 2006-12-05 | 2008-06-12 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Plasma display panel and field emission display |
TW200830565A (en) * | 2007-01-10 | 2008-07-16 | Ritek Corp | Organic solar cell |
-
2012
- 2012-02-06 KR KR1020120011844A patent/KR101316734B1/ko active IP Right Grant
- 2012-11-15 US US13/677,733 patent/US20130199612A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008508181A (ja) * | 2004-07-27 | 2008-03-21 | ユーティ―バテル エルエルシー | ナノ構造を備えた超疎水性の複合材料 |
KR20100035952A (ko) * | 2008-09-29 | 2010-04-07 | 주식회사 미뉴타텍 | 나노 구조물 제조 방법 |
KR20110007724A (ko) * | 2009-07-17 | 2011-01-25 | 한국전자통신연구원 | 반사방지 나노구조물 및 그의 제조 방법 |
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