KR101309402B1

KR101309402B1 - 노광 장치

Info

Publication number: KR101309402B1
Application number: KR1020110077795A
Authority: KR
Inventors: 진영수; 이광천
Original assignee: 삼성전기주식회사
Priority date: 2011-08-04
Filing date: 2011-08-04
Publication date: 2013-09-17
Also published as: KR20130015670A; TW201308019A

Abstract

본 발명에 따른 노광 장치는 렌즈 성형부가 형성된 몰드; 상기 몰드 상의 렌즈성형용 수지를 경화시키는 광원; 상기 광원으로부터 조사된 빛을 평행광으로 변환시키는 렌즈 유닛; 및 평행광을 산란시키는 산란 부재;를 포함하고, 상기 산란 부재는 평행광을 산란시킬 수 있도록 표면이 거칠게 연마 또는 부식처리될 수 있다.

Description

노광 장치{Exposure apparatus}

본 발명은 노광 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 렌즈성형용 수지에 고르게 빛을 조사하여 균일한 품질의 렌즈 어레이를 제작할 수 있는 노광장치에 관한 것이다.

휴대용 전자기기에 사진촬영 기능의 부가가 보편화 됨에 따라, 소형 카메라 모듈에 대한 수요가 늘고 있다. 이에 따라 카메라 모듈의 대량생산이 용이하도록, 렌즈를 수지로 제작하고 있다.

수지 재질의 렌즈는 다수의 렌즈형상이 형성된 몰드에 렌즈성형용 수지를 주입하고 렌즈성형용 수지를 광원(예를 들어, 자외선)으로 경화시켜 제작된다. 이같이 비교적 간단한 방식으로 제작된 수지 재질의 렌즈는 렌즈면을 정밀가공해야 하는 유리 재질의 렌즈에 비해 제작이 용이하고, 어레이 형태로 대량생산이 가능하다.

다만, 수지 재질의 렌즈 어레이는 유리 재질의 렌즈 어레이에 비해 상대적으로 렌즈 성능이 떨어지므로, 렌즈성형용 수지를 균일하게 경화시켜야 하는 기술적 과제를 안고 있다.

그런데 금속재질로 이루어진 몰드(mold)를 사용하여 렌즈 어레이를 제작할 경우, 조사된 빛이 금속 몰드의 형상에 따라 반사되거나 초점을 형성하게 되어 반사된 곳과 초점을 맺은 곳의 광량 차이를 유발하고, 이로 인해 렌즈성형용 수지의 불균일한 경화를 초래할 수 있다.

또한, 몰드를 빛을 반사하는 금속재질이 아닌 투명한 재질을 사용하는 경우라도, 조사되는 빛이 몰드와 수직으로 조사되지 않을 경우(즉, 평행빔이 아닌 경우) 조사되는 빛의 광경로 차이에 따른 광량의 차이로 인하여 렌즈 성형용 수지의 불균일한 경화를 초래할 수 있다.

일반적으로 광원에서부터 몰드까지의 광 경로를 길게 하고 광 경로 중간에 빛을 퍼트리거나 모아주는 다양한 렌즈를 사용함으로써 우수한 평행빔을 만들 수 있으나, 사용되는 렌즈의 수가 증가할수록(즉, 광경로가 길어질수록) 몰드에 도달하는 빛의 세기는 줄어들므로 렌즈성형용 수지의 경화속도가 저하된다.

따라서, 몰드의 재질과 형상 그리고 사용되는 광원의 평행도와 관계없이 렌즈성형용 수지를 고르게 경화시킬 수 있는 노광 장치의 개발이 요구된다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 렌즈성형용 몰드의 재질과 형상 그리고 사용되는 광원의 평행도와 관계없이 렌즈성형용 수지를 고르게 경화시킬 수 있는 노광 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시 예에 따른 노광 장치는 렌즈 성형부가 형성된 몰드; 상기 몰드 상의 렌즈성형용 수지를 경화시키는 광원; 상기 광원으로부터 조사된 빛을 평행광으로 변환시키는 렌즈 유닛; 및 평행광을 산란시키는 산란 부재;를 포함하고, 상기 산란 부재는 평행광을 산란시킬 수 있도록 표면이 거칠게 연마 또는 부식처리될 수 있다.
이러한 산란 부재는 통상적인 투광성 재질을 그라인딩 또는 샌딩하여 제작할 수 있으므로, 제작이 용이하다.

본 발명의 일 실시 예에 따른 노광 장치의 렌즈 유닛은 굴절력이 다른 복수의 렌즈를 포함할 수 있다.

이와 같이 굴절력이 다른 복수의 렌즈로 렌즈 유닛을 구성하면, 조사영역의 크기를 조절할 수 있다.

본 발명의 일 실시 예에 따른 노광 장치의 렌즈 유닛은 프레넬 렌즈를 포함할 수 있다.

이와 같이 프레넬 렌즈를 렌즈 유닛에 구성하면, 광원의 빛을 효과적으로 평행광으로 변환시킬 수 있다.

본 발명의 일 실시 예에 따른 노광 장치는 몰드의 렌즈 성형부가 상기 광원으로부터 조사된 빛이 그대로 투과될 수 있도록 반사 방지층으로 코팅될 수 있다.

이와 같이 몰드의 렌즈 성형부를 반사 방지층으로 코팅하면, 렌즈 성형부에서 반사되는 반사광에 의해 초래되는 렌즈성형용 수지의 불균일한 경화를 최소화시킬 수 있다.

삭제

본 발명의 일 실시 예에 따른 노광 장치의 렌즈 유닛은 필터 부재를 포함할 수 있다.

렌즈 유닛에 필터 부재를 더 구비하면, 광원으로부터 조사되는 빛의 파장을 소정의 범위로 제한할 수 있으며, 이를 통해 렌즈성형용 수지의 급격한 경화 및 불규칙한 경화를 억제할 수 있다.

본 발명의 일 실시 예에 따른 노광 장치는 상기 산란 부재로부터 산란된 빛을 상기 렌즈성형용 수지에 반사시키는 반사 부재를 더 포함할 수 있다.

이처럼 노광 장치에 반사 부재를 더 구성하면, 산란된 빛을 렌즈성형용 수지에 반사시켜 렌즈성형용 수지의 경화속도를 향상시킬 수 있다.

본 발명의 일 실시 예에 따른 노광 장치의 상기 산란 부재는 상기 몰드를 고정하는 척에 일체로 형성될 수 있다.

본 발명의 일 실시 예에 따른 노광 장치의 상기 산란 부재는 상기 몰드에 일체로 형성될 수 있다.

위 경우처럼, 산란 부재가 몰드 고정용 척 또는 몰드에 일체로 형성되면, 빛의 산란효과를 극대화시킬 수 있는 장점이 있다.

본 발명의 일 실시 예에 따른 노광 장치는 상기 광원 및 상기 렌즈 유닛을 수용하는 하우징; 및 상기 광원의 빛을 상기 렌즈 유닛으로 반사시키는 반사경;을 더 포함할 수 있다.

본 발명은 렌즈성형용 몰드의 재질과 형상 그리고 사용되는 광원의 평행도와 관계없이 렌즈성형용 수지를 고르게 경화시킬 수 있다.

아울러, 본 발명에 따르면, 광원의 빛을 렌즈성형용 수지에 넓게 확산하여 조사할 수 있으므로, 렌즈 어레이의 제작속도를 향상시킬 수 있다.

도 1은 본 발명의 제1실시 예에 따른 노광 장치의 구성도이고,
도 2는 도 1에 도시된 렌즈 유닛의 형상을 나타낸 도면이고,
도 3은 도 1에 도시된 산란 부재의 제1형태를 나타낸 도면이고,
도 4는 도 1에 도시된 산란 부재의 제2형태를 나타낸 도면이고,
도 5는 도 1에 도시된 노광 장치에 의한 빛의 투과형태를 설명하기 위한 도면이고,
도 6은 본 발명의 제2실시 예에 따른 노광 장치의 단면도이고,
도 7은 본 발명의 제3실시 예에 따른 노광 장치의 단면도이고,
도 8은 본 발명의 제4실시 예에 따른 노광 장치의 단면도이고,
도 9는 본 발명의 제5실시 예에 따른 노광 장치의 단면도이고,
도 10 및 도 11은 본 발명의 제6실시 예에 따른 노광 장치의 단면도이다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 예시도면에 의거하여 상세히 설명한다.

아래에서 본 발명을 설명함에 있어서, 본 발명의 구성요소를 지칭하는 용어들은 각각의 구성요소들의 기능을 고려하여 명명된 것이므로, 본 발명의 기술적 구성요소를 한정하는 의미로 이해되어서는 안 될 것이다.

도 1은 본 발명의 제1실시 예에 따른 노광 장치의 구성도이고, 도 2는 도 1에 도시된 렌즈 유닛의 형상을 나타낸 도면이고, 도 3은 도 1에 도시된 산란 부재의 제1형태를 나타낸 도면이고, 도 4는 도 1에 도시된 산란 부재의 제2형태를 나타낸 도면이고, 도 5는 도 1에 도시된 노광 장치에 의한 빛의 투과형태를 설명하기 위한 도면이다.

제1실시 예에 따른 노광 장치(100)는 광원(10), 렌즈 유닛(20), 산란 부재(30), 몰드(40)를 포함할 수 있다. 아울러, 노광 장치(100)는 광원(10), 렌즈 유닛(20), 산란 부재(30)를 수용할 수 있는 하우징(102)을 더 포함할 수 있다.

광원(10)은 하우징(102)에 설치될 수 있다. 광원(10)은 렌즈성형용 수지를 경화시킬 수 있는 파장의 빛을 조사할 수 있다. 예를 들어, 광원(10)은 자외선에 해당하는 파장의 빛을 조사할 수 있다. 광원(10)으로는 LED를 포함한 모든 램프가 이용될 수 있다.

렌즈 유닛(20)은 광원(10)의 전방(도 1 기준으로 광원(10)의 아래쪽)에 설치될 수 있다. 렌즈 유닛(20)은 광원(10)에서 조사된 빛을 평행광으로 변환할 수 있다. 이를 위해 렌즈 유닛(20)은 프레넬 렌즈를 포함할 수 있으며, 렌즈 유닛(20)이 프레넬 렌즈 그 자체일 수 있다. 한편, 렌즈 유닛(20)의 프레넬 렌즈는 도 2에 도시된 바와 같이 복수의 프레넬 렌즈가 조합될 형태일 수 있다. 이처럼 렌즈 유닛(20)을 복수의 프레넬 렌즈로 구성하면, 광원(10)의 빛을 폭 넓게 평행광으로 변화시킬 수 있다.

산란 부재(30)는 렌즈 유닛(20)과 몰드(40) 사이에 배치될 수 있다. 산란 부재(30)는 렌즈 유닛(20)을 통과한 평행광을 산란시킬 수 있다. 산란 부재(30)는 평행광의 에너지를 감소시키지 않으면서 산란시키거나(탄성 산란; elastic scattering) 또는 평행광의 에너지를 감소시키면서 산란시킬 수 있다(비탄성 산란; inelastic scattering). 동일한 출력의 광원(10)을 사용한다고 가정할 때, 전자의 경우는 광원(10)에 의한 수지의 경화가 빠르게 진행될 수 있으나, 산란된 빛이 몰드(40)에 의해 반사되기 쉽다. 반면, 후자의 경우는 광원(10)에 의한 수지의 경화가 상대적으로 느리게 진행될 수 있으나, 산란된 빛이 몰드(40)에 의해 상대적으로 덜 반사된다. 본 실시 예에서는 후자의 특성을 갖는 산란 부재(30)가 사용될 수 있으나, 사용될 렌즈성형용 수지의 특성에 따라 전자의 특성을 갖는 산란 부재(30)가 사용될 수도 있다.

참고로, 산란 부재(30)는 도 3 및 도 4에 도시된 형태를 가질 수 있다. 즉, 산란 부재(30)는 투명한 재질의 적어도 일면을 에칭액으로 부식시키거나 또는 그라인딩이나 샌딩 등으로 거칠게 표면 처리하여 제작될 수 있다(도 3 참조). 또는, 산란 부재(30)는 투명한 재질의 적어도 일면에 일정한 형상(도 4에서는 격자형상의 홈(32))을 형성하여 제작될 수 있다.

아울러, 첨부된 도면에는 도시되어 있지 않으나, 산란 부재(30)는 내부에 미립자를 포함된 투명한 재질로 제작될 수 있다. 이 경우 내부의 미립자가 빛을 불규칙하게 반사시키므로, 빛의 산란이 일어날 수 있다.

몰드(40)는 일면에 다수의 렌즈 성형부(42)를 가질 수 있다. 렌즈 성형부(42)는 제작될 렌즈 어레이의 종류에 따라 오목 형상 또는 볼록 형상일 수 있다. 아울러, 렌즈 성형부(42)의 곡면은 제작될 렌즈 어레이의 종류에 따라 구면 또는 비구면일 수 있다. 몰드(40)는 유리와 같이 투명한 재질로 제작될 수 있다. 이 경우, 몰드(40)를 광원(10)과 가까운 쪽에 배치할 수 있다(즉, 도 5에서 몰드(40)와 투명 기판(300)의 위치를 바꿀 수 있다).

그러나 필요에 따라 몰드(40)를 빛이 투과되지 않는 불투명한 재질로 제작할 수 있다. 이 경우, 몰드(40)에 조사된 빛이 반사되지 않도록, 불투명 재질에 흡광 물질이 더 포함될 수 있다. 흡광 물질로는 흑색의 크롬이 사용될 수 있다.

한편, 하우징(102)은 원 또는 사각 단면을 갖는 기둥형상일 수 있다. 하우징(102)은 전술한 바와 같이 광원(10), 렌즈 유닛(20), 산란 부재(30)를 수용할 수 있다. 하우징(102)은 광원(10)으로부터 조사된 빛이 외부로 새어나가지 않게 할 수 있다. 하우징(102)의 내벽은 광원(10)으로부터 조사된 빛을 흡수할 수 있도록 흡광 물질로 코팅될 수 있다.

다음에서는 도 5를 참조하여 본 실시 예에 따른 노광 장치의 사용 예를 설명한다.

먼저, 투명기판(300; 필요에 따른 렌즈 성형부를 갖는 몰드로 대체될 수 있다)과 몰드(40)를 고정시키고, 몰드(40)의 성형부위에 경화대상인 렌즈성형용 수지(200)를 도포한다. 이후, 몰드(40)를 이동시켜 수지(200)를 압착한다. 그러나 제작하려는 렌즈의 종류에 따라 투명기판(300)과 몰드(40) 사이의 거리가 일정하게 유지되도록, 몰드(40)를 일정 높이까지만 이동시킬 수 있다.

렌즈성형용 수지(200)의 압착이 완료되면, 광원(10)을 작동시켜 렌즈성형용 수지(200)를 경화시킨다. 여기서, 광원(10)으로부터 조사된 빛은 렌즈 유닛(20)을 통과하면서 평행광으로 변환된다. 그리고 변환된 평행광은 산란 부재(30)를 통과하면서 도 5에 도시된 바와 같이 렌즈성형용 수지(200)의 전 영역에 걸쳐 넓게 산란된다.

여기서, 산란된 빛은 렌즈 성형부(42)에 임의의 각도로 입사되므로, 렌즈 성형부(42)에 반사된 빛이 렌즈성형용 수지(200) 내부에 초점을 형성하지 못한다. 또한, 광원의 평행도 차이에 의해 발생하는 광량 차이를 줄여준다. 따라서, 본 실시 예에 따르면, 렌즈성형용 수지(200)의 일부 부위가 다른 부위보다 조속하게 경화되는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.

아울러, 본 실시 예에 따른 노광 장치(100)는 비탄성 산란 특성을 갖는 산란 부재(30)를 사용하므로, 렌즈 성형부(42)에 반사된 반사광이 쉽게 초점을 형성하지 못한다.

따라서, 위와 같은 특징을 갖는 본 실시 예의 노광 장치에 따르면, 렌즈성형용 수지(200)를 고르게 경화시킬 수 있다.

참고로, 전술된 설명에서는 본 실시 예에 따른 노광 장치(100)를 렌즈성형용 수지(200)를 경화하는데 사용하는 것으로 설명하였으나, 필요에 따라 다른 경화용 물질을 경화하는데 사용될 수 있다.

아울러, 본 실시 예에서는 하나의 몰드(40)가 사용되는 것으로 설명 및 도시되어 있으나, 필요에 따라 상하 한 벌의 몰드(40)를 사용할 수도 있다. 즉, 투명 기판(300)을 대신하여 별도의 렌즈성형부가 형성된 상부 몰드가 사용될 수 있다.

다음에서는 본 발명의 다른 실시 예들에 대해서 설명한다. 참고로, 다른 실시 예들의 구성요소들 중 제1실시 예와 동일한 구성요소는 제1실시 예와 동일한 도면부호를 사용하며, 이들 구성요소들에 대한 상세한 설명은 생략한다.

도 6은 본 발명의 제2실시 예에 따른 노광 장치의 단면도이고, 도 7은 본 발명의 제3실시 예에 따른 노광 장치의 단면도이고, 도 8은 본 발명의 제4실시 예에 따른 노광 장치의 단면도이고, 도 9는 본 발명의 제5실시 예에 따른 노광 장치의 단면도이고, 도 10 및 도 11은 본 발명의 제6실시 예에 따른 노광 장치의 단면도이다.

도 6을 참조하여 본 발명의 제2실시 예에 따른 노광 장치를 설명한다.

제2실시 예에 따른 노광 장치(100)는 렌즈 유닛(20)이 다수의 렌즈들(22, 24, 26)로 이루어진 점에서 제1실시 예와 차이점을 갖는다.

본 실시 예의 노광 장치(100)는 렌즈 유닛(20)이 3개의 렌즈들(22, 24, 26)로 구성될 수 있다. 제1렌즈(22)와 제2렌즈(24)는 서로 다른 굴절력을 가질 수 있으며, 제3렌즈(26)는 프레넬 렌즈일 수 있다. 여기서, 제1렌즈(22)와 제2렌즈(24)는 광원(10)으로부터 조사된 빛의 초점거리를 변경할 수 있다. 즉, 제1렌즈(22)와 제2렌즈(24)는 광원(10)의 빛이 제3렌즈(26)에 넓게 조사되도록 조절할 수 있다. 이를 위해 제1렌즈(22)와 제2렌즈(24) 중 적어도 하나는 광축 방향(Z축 방향)을 따라 이동할 수 있다. 참고로, 렌즈(22, 24)의 이동은 별도의 구동수단(도시되지 않음)을 통해 이루어질 수 있다.

이와 같이 구성된 노광 장치(100)는 제1렌즈(22)와 제2렌즈(24)를 통해 광원(10)의 초점위치를 임의대로 변경할 수 있으므로, 실질적으로 경화대상(즉, 렌즈성형용 수지(200))에 조사되는 조사영역의 크기를 조절할 수 있다.

따라서, 본 실시 예는 경화대상의 크기가 자주 변경되는 경우에 유용하게 사용될 수 있다.

한편, 본 실시 예의 하우징(102)은 도 6에 도시된 바와 같이 ㄷ자 형태로 제작할 수 있다. 이러한 형태의 하우징(102)은 광원(10)으로부터 렌즈 유닛(20)까지 상대적으로 긴 광축을 제공하므로, 제1렌즈(22)와 제2렌즈(24)의 이동거리를 충분히 확보할 수 있다. 아울러, 본 실시 예는 광축이 전술된 실시 예들에 비해 상대적으로 길므로, 광원(10)으로부터 조사된 평행광으로 변환하는데 유리하다.

미설명된 도면부호 104 및 106은 광원(10)의 빛을 렌즈 유닛(20)으로 반사시키기 위한 반사경이다.

다음에서는 도 7을 참조하여 본 발명의 제3실시 예에 따른 노광 장치를 설명한다.

제3실시 예에 따른 노광 장치(100)는 몰드(40)의 렌즈 성형부(42)에 반사방지층(46)이 형성된 점에서 전술된 실시 예들과 차이점을 갖는다.

배경기술에서 언급한 바와 같이, 몰드(40)의 렌즈 성형부(42)는 렌즈성형용 수지(200)에 조사된 빛을 렌즈성형용 수지(200) 내부로 반사시킬 수 있으며, 이는 렌즈성형용 수지(200)의 불균일한 경화를 유발한다.

본 실시 예는 이러한 문제점을 효과적으로 해결하기 위해 렌즈 성형부(42)에 반사 방지층(46)을 형성하였다. 반사 방지층(46)은 렌즈 성형부(42)에 입사되는 빛이 그대로 통과되도록 유도하므로, 렌즈 성형부(42)에 의한 빛의 반사를 억제할 수 있다. 참고로, 반사 방지층(46)은 코팅, 증착 등의 방법으로 렌즈 성형부(42)에 형성될 수 있다.

한편, 본 실시 예에서는 렌즈 성형부(42)에 반사 방지층(46)이 형성되는 것으로 설명하였다. 그러나 필요에 따라 반사 방지층(46)을 대신하여 흡광층이 형성될 수 있다. 참고로, 흡광층은 제1실시 예에서 언급된 흡광 물질로 이루어질 수 있다.

다음에서는 도 8을 참조하여 본 발명의 제4실시 예에 따른 노광 장치를 설명한다.

제4실시 예에 따른 노광 장치(100)는 필터 부재(50)를 더 포함한 점에서 전술된 실시 예들과 차이점을 갖는다.

일반적으로 광원(10)으로부터 조사되는 빛은 넓은 대역의 파장을 갖는다. 그러나 이러한 빛은 렌즈성형용 수지의 고른 경화를 저해할 수 있다.

따라서, 본 실시 예는 광원(10)으로부터 조사된 빛 중 특정 파장(예를 들어, 자외선 파장)만이 렌즈성형용 수지에 조사될 수 있도록, 필터 부재(50)를 더 포함할 수 있다.

본 실시 예에서 필터 부재(50)는 광원(10)과 렌즈 유닛(20) 사이에 설치되어 있으나, 렌즈 유닛(20)과 산란 부재(30) 사이에 설치될 수 있다. 아울러, 필터 부재(50)는 산란 부재(30)에 일체로 형성될 수 있다. 예를 들어, 필터 부재(50)는 산란 부재(30)의 일면에 코팅되어 형성될 수 있다.

이와 같이 구성된 본 실시 예는 필터 부재(50)의 교체를 통해 원하는 파장 대역의 빛을 조사할 수 있으므로, 렌즈성형용 수지의 재질에 따른 빛의 파장을 용이하게 변경할 수 있다.

다음에서는 도 9를 참조하여 본 발명의 제5실시 예에 따른 노광 장치를 설명한다.

제5실시 예에 따른 노광 장치(100)는 반사 부재(60)를 더 포함한 점에서 전술된 실시 예들과 차이점을 갖는다.

몰드(40)가 투명한 재질로 제작되는 경우, 몰드(40)에 조사된 빛은 그대로 통과한다. 그러나 이러한 빛을 렌즈성형용 수지(200)에 반사시키면 렌즈성형용 수지의 경화속도를 촉진시킬 수 있다.

본 실시 예는 이러한 점에 착안하여, 몰드(40)의 아래쪽에 반사 부재(60)를 더 설치한 것이다. 즉, 본 실시 예의 노광 장치(100)에서는 산란된 빛이 반사 부재(60)에 의해 렌즈성형용 수지(200)로 반사되므로, 렌즈성형용 수지(200)의 양면(도 9를 기준으로 위쪽과 아래쪽)으로부터 경화가 이루어질 수 있다.

따라서, 본 실시 예에 따르면, 렌즈성형용 수지(200)의 경화속도를 향상시킬 수 있으며, 렌즈성형용 수지(200)의 균일한 경화도 도모할 수 있다.

한편, 도 9에는 반사 부재(60)가 몰드(40)의 아래쪽에 설치된 것으로 도시되어 있으나, 필요에 따라 반사 부재(60)를 몰드(40)의 둘레에 배치할 수 있다. 이 경우, 산란된 빛이 렌즈성형용 수지(200)의 측면으로도 반사될 수 있으므로, 렌즈성형용 수지(200)의 경화속도를 더욱 향상시킬 수 있다.

다음에서는 도 10 및 도 11을 참조하여 본 발명의 제6실시 예에 따른 노광 장치를 설명한다.

본 실시 예에 따른 노광 장치(100)는 산란 부재의 위치에 있어서 전술된 실시 예들과 구별될 수 있다.

앞서 설명한 바와 같이 산란 부재는 광원(10)의 빛을 분산시켜 렌즈성형용 수지(200)의 불균일한 경화현상을 억제 또는 경감시킬 수 있으나, 이와 동시에 광원(10)의 에너지를 축소시켜 렌즈성형용 수지(200)의 경화속도를 지연시킬 수 있다.

본 실시 예는 이러한 점을 감안하여, 산란 부재를 최대한 렌즈성형용 수지(200)와 가깝게 위치될 수 있도록 하였다.

예를 들어, 도 10에 도시된 바와 같이 산란 부재가 렌즈성형용 수지(200)를 성형 또는 압착하는 상부 몰드(41)이거나 또는 상부 몰드(41)와 일체화된 형태일 수 있다. 이러한 형태는 렌즈성형용 수지(200)와 가장 가까운 상부 몰드(41)가 산란 부재의 구실을 하므로, 광원(10)으로부터 조사된 빛 에너지의 손실을 최소화시킬 수 있다.

아울러, 도 11에 도시된 바와 같이 산란 부재가 상부 몰드(41) 또는 투명기판(300)을 파지하는 지그(70)이거나 또는 지그(70)에 일체화된 형태일 수 있다. 여기서, 지그(70)는 상부 몰드(41) 또는 투명기판(300)의 적어도 상부면(즉, 광원(10)의 빛이 입사되는 표면)을 완전히 덮는 형태일 수 있으며, 상부 몰드(41)의 상부면과 측면을 덮는 형태일 수도 있다. 이러한 형태는 산란부재가 지그(70)에 형성되므로, 상부 몰드(41)를 성형할 렌즈의 종류에 따라 자주 변경 또는 교체해야 하는 경우에 유리하다.

본 발명은 이상에서 설명되는 실시 예에만 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상의 요지를 벗어나지 않는 범위에서 얼마든지 다양하게 변경하여 실시할 수 있을 것이다.

100 노광장치 102 하우징
10 광원 20 렌즈 유닛
22 제1렌즈 24 제2렌즈
26 제3렌즈
30 산란 부재 32 격자형상의 홈
40 몰드 42 렌즈 성형부
46 반사방지층
50 필터 부재 60 반사 부재(또는 반사경)
200 렌즈성형용 수지 300 투명 기판

Claims

렌즈 성형부가 형성된 몰드;
상기 몰드 상의 렌즈성형용 수지를 경화시키는 광원;
상기 광원으로부터 조사된 빛을 평행광으로 변환시키는 렌즈 유닛; 및
평행광을 산란시키는 산란 부재;
를 포함하고,
상기 산란 부재는 평행광을 산란시킬 수 있도록 표면이 거칠게 연마 또는 부식처리되는 노광 장치.
제1항에 있어서,
상기 렌즈 유닛은 굴절력이 다른 복수의 렌즈를 포함하는 노광 장치.
제1항에 있어서,
상기 렌즈 유닛은 프레넬 렌즈를 포함하는 노광 장치.
제1항에 있어서,
상기 렌즈 성형부는 상기 광원으로부터 조사된 빛이 그대로 투과될 수 있도록 반사 방지층으로 코팅되는 노광 장치.
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제1항에 있어서,
상기 렌즈 유닛은 필터 부재를 포함하는 노광 장치.
제1항에 있어서,
상기 산란 부재로부터 산란된 빛을 상기 렌즈성형용 수지에 반사시키는 반사 부재를 더 포함하는 노광 장치.
제1항에 있어서,
상기 산란 부재는 상기 몰드를 고정하는 척에 일체로 형성되는 노광 장치.
제1항에 있어서,
상기 산란 부재는 상기 몰드에 일체로 형성되는 노광 장치.
제1항에 있어서,
상기 광원 및 상기 렌즈 유닛을 수용하는 하우징; 및
상기 광원의 빛을 상기 렌즈 유닛으로 반사시키는 반사경;을 더 포함하는 노광 장치.