KR101300688B1 - A support bar for substrate-loading cassette and the manufacturing method thereof - Google Patents

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Abstract

본 발명은 유리기판을 적재하기 위한 카세트에 구비되는 서포트바에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 몸체의 상ㆍ하면 부분에는 강성이 높은 탄소섬유강화수지를 주로 구성하고, 좌ㆍ우 측면 부분에는 경량이며 강도가 높은 유리섬유강화수지를 주로 구성함으로써, 비강도, 비강성, 파단강도가 우수하면서도 경량화를 추구하여 서포트바의 성능을 향상시킬 수 있으며, 고가의 탄소섬유강화수지를 필요한 부위에만 사용함으로 인한 원가절감에 기여할 수 있는 기판적재 카세트용 서포트바에 관한 것이다.
이를 위하여 본 발명은, 기판 적재용 카세트에 설치되어 기판을 지지하는 서포트바에 있어서, 중공형 기둥 형상으로 구성되는 유리섬유강화수지층과; 상기 유리섬유강화수지층의 외주면을 둘러싼 형태로 적층되어 구성되는 탄소섬유강화수지층;을 포함하여 구성되되, 상기 유리섬유강화수지층은 좌ㆍ우 측면의 유리섬유강화수지층의 두께가 상ㆍ하면의 유리섬유강화수지층의 두께보다 두껍게 형성되며, 상기 탄소섬유강화수지층은 상ㆍ하면의 탄소섬유강화수지층의 두께가 좌ㆍ우 측면의 탄소섬유강화수지층의 두께보다 두껍게 형성되는 것을 특징으로 한다.The present invention relates to a support bar provided in a cassette for loading a glass substrate. More specifically, the upper and lower portions of the body mainly constitute a carbon fiber reinforced resin, and the left and right side portions are light and have strength. It is mainly composed of glass fiber reinforced resin, so it can improve the performance of support bar by pursuing light weight while excellent in specific strength, non-stiffness and breaking strength, and cost by using expensive carbon fiber reinforced resin only for the necessary parts The present invention relates to a support bar for a substrate loading cassette that can contribute to savings.
To this end, the present invention, the support bar is installed in the cassette for loading the substrate supporting the substrate, the glass fiber reinforced resin layer configured in a hollow columnar shape; And a carbon fiber reinforced resin layer which is laminated in a form surrounding the outer circumferential surface of the glass fiber reinforced resin layer. The glass fiber reinforced resin layer has a thickness of the glass fiber reinforced resin layer on the left and right sides thereof. It is formed to be thicker than the thickness of the glass fiber reinforced resin layer of the lower surface, wherein the carbon fiber reinforced resin layer is formed that the thickness of the carbon fiber reinforced resin layer of the upper and lower sides is thicker than the thickness of the carbon fiber reinforced resin layer on the left and right sides. It features.

Description

기판적재 카세트용 서포트바 및 그 제조방법{A support bar for substrate-loading cassette and the manufacturing method thereof}A support bar for substrate-loading cassette and the manufacturing method

본 발명은 유리기판을 적재하기 위한 카세트에 구비되는 서포트바에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 몸체의 상ㆍ하면 부분에는 강성이 높은 탄소섬유강화수지를 주로 구성하고, 좌ㆍ우 측면 부분에는 경량이며 강도가 높은 유리섬유강화수지를 주로 구성함으로써, 비강도, 비강성, 파단강도가 우수하면서도 경량화를 추구하여 서포트바의 성능을 향상시킬 수 있으며, 고가의 탄소섬유강화수지를 필요한 부위에만 사용함으로 인한 원가절감에 기여할 수 있는 기판적재 카세트용 서포트바에 관한 것이다.The present invention relates to a support bar provided in a cassette for loading a glass substrate. More specifically, the upper and lower portions of the body mainly constitute a carbon fiber reinforced resin, and the left and right side portions are light and have strength. It is mainly composed of glass fiber reinforced resin, so it can improve the performance of support bar by pursuing light weight while excellent in specific strength, non-stiffness and breaking strength, and cost by using expensive carbon fiber reinforced resin only for the necessary parts The present invention relates to a support bar for a substrate loading cassette that can contribute to savings.

일반적으로, 기판 적재용 카세트는 크로스바 타입과 서포트바 타입 두 가지로 나누어진다. 크로스바 타입은 카세트 내에서 수평으로 배치된 크로스바의 양단부가 카세트의 수직기둥에 지지되어 있는 구조로서, 이와 같은 구조하에서는 로봇 핸드(Robot Hand)를 이용하여 기판을 적재함에 있어서 공간적인 제약을 많이 받게 된다. 따라서 최근에는 동일한 공간에 기판의 적재 단수를 늘리기 위해 서포트바 타입의 카세트를 많이 사용하고 있는 추세이다.In general, the substrate stacking cassette is divided into a crossbar type and a support bar type. The crossbar type is a structure in which both ends of the crossbars arranged horizontally in the cassette are supported by the vertical pillars of the cassette. Under such a structure, there are many spatial restrictions in loading a substrate using a robot hand. . Therefore, in recent years, many support bar type cassettes have been used in order to increase the number of stacking stages in the same space.

도 1은 종래의 서포트바 타입의 기판적재 카세트의 구조를 개략적으로 보여주는 도면이고, 도 2는 도 1에 도시된 서포트바의 측단면도이다.1 is a view schematically showing a structure of a conventional support bar type substrate loading cassette, and FIG. 2 is a side cross-sectional view of the support bar shown in FIG. 1.

도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 서포트바 타입의 기판적재 카세트는 상측과 하측에 각각 수평으로 구비되는 상판(10) 및 하판(20)과, 상판(10) 및 하판(20)을 상하로 연결하도록 상판(10) 및 하판(20)의 양측에 설치되는 다수의 수직기둥(30)과, 각 수직기둥(30)에 그 길이 방향을 따라 일정 간격으로 설치되어 기판(5)의 저면 양단부를 지지하는 다수의 기판받이(31)와, 상판(10) 및 하판(20)에 연결되는 다수의 지지대(40)와, 각 지지대(40)에 그 길이 방향을 따라 일정 간격으로 설치되어 기판(5)의 저면을 지지하는 다수의 서포트바(50)를 포함하여 구성된다.As shown in FIG. 1, the conventional support bar type substrate loading cassette has an upper plate 10 and a lower plate 20, and an upper plate 10 and a lower plate 20 provided horizontally on the upper side and the lower side, respectively. A plurality of vertical pillars 30 installed on both sides of the upper plate 10 and the lower plate 20 to be connected to each other, and the vertical pillars 30 are installed at regular intervals along their length directions so that both ends of the bottom surface of the substrate 5 are connected. A plurality of substrate support 31 to support, a plurality of supports 40 connected to the upper plate 10 and the lower plate 20, and each support 40 is provided at regular intervals along the length direction of the substrate 5 It is configured to include a plurality of support bar (50) for supporting the bottom of the).

여기서, 종래의 서포트바는 통상 알루미늄이나 강철과 같은 금속재를 가공하여 경량화한 타입으로 제작하였으나, 기판이 대형화 되면서 서포트바도 대형화됨에 따라, 근래에는 서포트바를 제작함에 있어 비강도, 비강성이 높으며 진동특성도 우수한 복합소재를 사용하여 중공형으로 제작을 하고 있다. Here, the conventional support bar is manufactured in a lightweight type by processing metal materials such as aluminum or steel, but as the support bar is also enlarged as the substrate is enlarged, in recent years, the support bar is manufactured in a high specific strength, non-stiffness and vibration characteristics. It is also manufactured in a hollow form using excellent composite materials.

이와 같은 서포트바는 기판이 적재되었을 때 기판의 하중에 의해 끝단부로 갈수록 처짐 현상이 발생하게 되는데, 이때 서포트바가 동일한 단면을 갖는 직선형 구조일 경우에는 이와 같은 처짐 현상에 의해 적재공간의 활용도가 떨어지게 된다.따라서, 도 2에 도시된 바와 같이, 최근의 서포트바(50)는 직선형 구조를 개선하여 끝단 쪽으로 갈수록 단면의 높이를 줄이는 테이퍼형 구조를 적용하고 있다.When the support bar is loaded, a deflection phenomenon occurs toward the end portion due to the load of the substrate. In this case, when the support bar has a straight structure having the same cross section, the utilization of the loading space is reduced by the deflection phenomenon. Therefore, as shown in FIG. 2, the recent support bar 50 adopts a tapered structure that improves the linear structure and reduces the height of the cross section toward the end.

상술한 바와 같이, 이제까지의 서포트바는 중공형의 구조로 끝단부로 갈수록 폭이 좁아지는 테이퍼 구조로 구성되어 있으며, 그 재질이 금속재 또는 복합소재로 이루어져 있다.As described above, the conventional support bar has a tapered structure that is narrow in width toward the end in a hollow structure, and the material is made of a metal material or a composite material.

또한, 최근에는 평판 디스플레이 장치가 대화면화되는 추세에 따라 평판 디스플레이 장치의 액정표시소자인 기판 역시 대형화, 중량화되고 있는데, 이러한 고중량의 기판 적재에 적용하기 위한 방편으로 강성이 높은 탄소섬유강화수지 등을 이용하여 서포트바를 제조하고 있다.In addition, in recent years, as the flat panel display device has become larger, the substrate, which is a liquid crystal display device of the flat panel display device, has also been enlarged and weighted. Using to prepare a support bar.

그러나, 이러한 탄소섬유강화수지는 종래의 서포트바의 소재로 이용되는 알류미늄 및 강철 등의 금속재에 비해서 상대적으로 고가이기 때문에 서포트바의 제조 원가가 상승하게 되는 문제점이 있으며, 그에 따라 제조 원가의 절감을 위한 다양한 시도가 이루어지고 있는 실정이다.However, the carbon fiber reinforced resin has a problem that the manufacturing cost of the support bar increases because it is relatively expensive compared to the metal materials such as aluminum and steel used as the material of the conventional support bar, thereby reducing the manufacturing cost Various attempts have been made for this situation.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 서포트바 몸체의 상ㆍ하면 부분에는 강성이 높은 탄소섬유강화수지를 주로 구성하고, 좌ㆍ우 측면 부분에는 경량이며 강도가 높은 유리섬유강화수지를 주로 구성함으로써, 비강도, 비강성, 파단강도가 우수하면서도 경량화를 추구하여 서포트바의 성능을 향상시킬 수 있으며, 고가의 탄소섬유강화수지를 필요한 부위에만 사용함으로 인한 원가절감에 기여할 수 있는 기판적재 카세트용 서포트바를 제공하는데 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above problems, the upper and lower portions of the support bar body mainly comprises a carbon fiber reinforced resin of high rigidity, the left and right side portion of the light and high strength glass fiber reinforced Mainly composed of resin, it is possible to improve the performance of support bar by pursuing light weight while excellent in specific strength, specific rigidity and breaking strength, and it can contribute to cost reduction by using expensive carbon fiber reinforced resin only in the necessary parts. It is an object to provide a support bar for a substrate loading cassette.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 기판 적재용 카세트에 설치되어 기판을 지지하는 서포트바에 있어서, 중공형 기둥 형상으로 구성되는 유리섬유강화수지층과; 상기 유리섬유강화수지층의 외주면을 둘러싼 형태로 적층되어 구성되는 탄소섬유강화수지층;을 포함하여 구성되되, 상기 유리섬유강화수지층은 좌ㆍ우 측면의 유리섬유강화수지층의 두께가 상ㆍ하면의 유리섬유강화수지층의 두께보다 두껍게 형성되며, 상기 탄소섬유강화수지층은 상ㆍ하면의 탄소섬유강화수지층의 두께가 좌ㆍ우 측면의 탄소섬유강화수지층의 두께보다 두껍게 형성되는 것을 특징으로 한다.The present invention for achieving the above object is, in the support bar for supporting the substrate is installed in the cassette for loading the substrate, the glass fiber reinforced resin layer consisting of a hollow columnar shape; And a carbon fiber reinforced resin layer which is laminated in a form surrounding the outer circumferential surface of the glass fiber reinforced resin layer. The glass fiber reinforced resin layer has a thickness of the glass fiber reinforced resin layer on the left and right sides thereof. It is formed to be thicker than the thickness of the glass fiber reinforced resin layer of the lower surface, wherein the carbon fiber reinforced resin layer is formed that the thickness of the carbon fiber reinforced resin layer of the upper and lower sides is thicker than the thickness of the carbon fiber reinforced resin layer on the left and right sides. It features.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 기판적재 카세트용 서포트바는 비강도, 비강성 및 파단강도가 우수하면서도 경량화를 추구하여 제품성능을 향상시킴으로써 제품의 품질경쟁력을 증대시킬 수 있고, 고가의 소재를 필요한 곳에만 사용함으로써 원가절감에 기여할 수 있으며, 이를 통한 기판의 적재단수의 증가는 물론 기판 생산라인의 효율을 증대시켜 기판 제조원가를 절감시키는 2차적인 효과를 제공한다.As described above, the support bar for the substrate loading cassette according to the present invention can increase the quality competitiveness of the product by improving the product performance in pursuit of light weight while excellent in specific strength, specific rigidity and breaking strength, and expensive materials By using only where necessary, it can contribute to cost reduction, thereby providing a secondary effect of reducing the cost of manufacturing the substrate by increasing the efficiency of the substrate production line as well as increasing the number of loading stages of the substrate.

도 1은 종래의 서포트바 타입의 기판적재 카세트의 구조를 개략적으로 보여주는 도면
도 2는 도 1에 도시된 서포트바의 측단면도
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판적재 카세트용 서포트바의 구조를 보여주는 사시도
도 4는 도 3에 도시된 서포트바의 단면도
도 5는 도 4에 도시된 서포트바에서 고강성 탄소섬유강화수지층을 적층한 상태의 서포트바를 보여주는 단면도
도 6은 제1 실시예에 따른 기판적재 카세트용 서포트바의 제조방법을 보여주는 순서도
도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판적재 카세트용 서포트바의 구조를 보여주는 단면도
도 8은 도 7에 도시된 서포트바에서 고강성 탄소섬유강화수지층을 적층한 상태의 서포트바를 보여주는 단면도
도 9는 제2 실시예에 따른 기판적재 카세트용 서포트바의 제조방법을 보여주는 순서도
도 10 및 도 11은 본 발명에 따른 기판적재 카세트용 서포트바의 다양한 단면 형상을 보여주는 도면1 is a view schematically showing the structure of a conventional support bar type substrate loading cassette;
2 is a side cross-sectional view of the support bar shown in FIG.
3 is a perspective view showing the structure of a support bar for a substrate loading cassette according to a first embodiment of the present invention;
4 is a cross-sectional view of the support bar shown in FIG.
FIG. 5 is a cross-sectional view showing a support bar in a state in which a highly rigid carbon fiber reinforced resin layer is laminated in the support bar shown in FIG. 4; FIG.
6 is a flowchart showing a manufacturing method of a support bar for a substrate loading cassette according to a first embodiment;
7 is a cross-sectional view showing a structure of a support bar for a substrate loading cassette according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 8 is a cross-sectional view showing a support bar in a state in which a highly rigid carbon fiber reinforced resin layer is laminated in the support bar shown in FIG.
9 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a support bar for a substrate loading cassette according to a second embodiment.
10 and 11 are views showing various cross-sectional shapes of the support bar for a substrate loading cassette according to the present invention

이하, 본 발명의 실시예에 대하여 상세히 설명하지만, 본 발명은 그 요지를 이탈하지 않는 한 이하의 실시예에 한정되지 않는다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, although the Example of this invention is described in detail, this invention is not limited to a following example, unless the summary is exceeded.

설명에 앞서, 여러 실시 예에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일 부호를 사용하여 대표적으로 제1 실시예를 설명하고, 그 이외의 실시예에서는 제1 실시예와 다른 구성에 대해서만 설명하기로 한다.Prior to the description, in the various embodiments, the first embodiment will be described with reference to the same reference numerals for components having the same configuration, and in other embodiments, only the configuration different from the first embodiment will be described. Shall be.

도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판적재 카세트용 서포트바의 구조를 보여주는 사시도이고, 도 4는 도 3에 도시된 서포트바의 단면도이며, 도 5는 도 4에 도시된 서포트바에서 고강성 탄소섬유강화수지층을 적층한 상태의 서포트바를 보여주는 단면도이다.3 is a perspective view showing a structure of a support bar for a substrate loading cassette according to a first embodiment of the present invention, FIG. 4 is a cross-sectional view of the support bar shown in FIG. 3, and FIG. 5 is a view of the support bar shown in FIG. 4. It is sectional drawing which shows the support bar in the state which laminated | stacked the highly rigid carbon fiber reinforced resin layer.

전술한 바와 같이, 서포트바는 기판적재 카세트의 상판 및 하판을 연결하는 지지대에 그 길이 방향을 따라 일정 간격으로 다수 설치되어 기판을 지지해주는 부품이다. As described above, the support bar is a component that supports a substrate by a plurality of support bars are installed at regular intervals along the longitudinal direction of the support bar connecting the upper plate and the lower plate of the substrate loading cassette.

도 3 및 도 4를 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판적재 카세트용 서포트바(100)는 사각 단면을 갖는 중공형의 기둥 형상으로 구성되며, 좌ㆍ우 측면의 두께가 상ㆍ하면의 두께보다 두껍게 형성되는 유리섬유강화수지층(110)과, 상기 유리섬유강화수지층(110)의 외주면을 둘러싼 형태로 적층되어 구성되며, 상ㆍ하면의 두께가 좌ㆍ우 측면의 두께보다 두껍게 형성되는 탄소섬유강화수지층(120)을 포함하여 구성된다. 3 and 4, the support bar 100 for a substrate loading cassette according to the first embodiment of the present invention is formed in a hollow columnar shape having a rectangular cross section, and the thickness of the left and right sides is higher. The glass fiber reinforced resin layer 110 formed thicker than the thickness of the lower surface and the outer circumferential surface of the glass fiber reinforced resin layer 110 are laminated and formed in a form, and the thickness of the upper and lower surfaces is greater than the thickness of the left and right sides. It is configured to include a thick carbon fiber reinforced resin layer (120).

상기와 같은 구성으로 이루어진 서포트바(100)는 몸체의 하면에 길이 방향으로 소정 비율로 경사진 테이퍼 영역이 형성되어 있다. 이와 같이 본 발명에 따른 서포트바(100)는, 하면이 비스듬하게 경사진 구조로 구성되어 자중으로 인한 처짐이 경감되고, 기판의 적재 또는 반출시에 기판과 서포트바(100)의 충돌로 인한 기판의 손상 위험을 줄일 수 있으며, 또한 서포트바(100)와 반송 로봇 등의 이송수단(미도시)과의 충돌을 최소화할 수 있다.The support bar 100 having the above configuration has a tapered region inclined at a predetermined ratio in the longitudinal direction on the lower surface of the body. As described above, the support bar 100 according to the present invention has a structure in which a lower surface is inclined obliquely to reduce sagging due to its own weight, and a substrate due to a collision between the substrate and the support bar 100 during loading or unloading of the substrate. It is possible to reduce the risk of damage, and also to minimize the collision between the support bar 100 and the transfer means (not shown) such as the transfer robot.

여기서, 서포트바(100)의 테이퍼 비율은 몸체 높이의 1/2을 넘지 않는 범위에서 이루어지는 것이 바람직하다.Here, the taper ratio of the support bar 100 is preferably made in a range not more than 1/2 of the height of the body.

또한, 서포트바(100)는 자중을 최소화하기 위하여 내부가 비어있는 중공형 구조로 구성되는데, 이로 인한 강성 손실을 만회하기 위해 종래의 재질인 알루미늄보다 강성이 커서 쉽게 변형되지 않으며, 강도 또한 높고, 진동 감쇠율이 우수한 소재로 제작된다. 이러한 물성을 만족하는 소재로는 섬유강화수지(Fiber Reinforced Plastics; FRP)가 있으며, 그 중에 유리섬유강화수지(Glass Fiber Reinforced Plastic; GFRP)는 유리섬유로 이루어진 직물 또는 시트에 에폭시 수지를 함침시켜 경화시킨 것으로서, 강도가 높고 가벼우며, 내구성, 내충격성, 내마모성이 우수하다. 또한, 탄소섬유강화수지(Carbon Fiber Reinforced Plastics; CFRP)는 탄소섬유로 이루어진 직물 또는 시트에 에폭시 수지를 함침시켜 경화시킨 것으로서, 상술한 유리섬유강화수지에 비해 비강도, 비강성, 파단강도가 상대적으로 우월한 장점이 있으나, 소재의 가격이 고가라는 단점이 있다.In addition, the support bar 100 is composed of a hollow structure with a hollow inside in order to minimize its own weight, in order to make up for the loss of stiffness, the rigidity is larger than the conventional material aluminum is not easily deformed, the strength is also high, It is made of a material with excellent vibration damping rate. Materials that satisfy these properties include Fiber Reinforced Plastics (FRP), among which Glass Fiber Reinforced Plastics (GFRP) are impregnated with epoxy resin in a fabric or sheet made of glass fiber. It is high in strength, light in weight, and excellent in durability, impact resistance, and abrasion resistance. In addition, carbon fiber reinforced plastics (CFRP) is obtained by impregnating an epoxy resin in a fabric or sheet made of carbon fiber, and curing the relative strength, specific strength, and breaking strength relative to the aforementioned glass fiber reinforced resin. It has superior advantages, but the disadvantage is that the price of the material is expensive.

이러한, 유리섬유강화수지 및 탄소섬유강화수지는 일반적으로 일방향으로 직조된 복수의 시트를 상호 엇갈리도록 교대로 적층하고 수지를 함침시켜 제조하고 있다.Such glass fiber reinforced resins and carbon fiber reinforced resins are generally manufactured by alternately stacking a plurality of sheets woven in one direction so as to cross each other and impregnating a resin.

한편, 서포트바(100)에서 기판 적재시 인가되는 하중에 대해 가장 큰 비강도가 요구되는 부분은 서포트바(100)의 상ㆍ하면 부분이고, 서포트바(100)의 좌ㆍ우 측면 부분은 서포트바(100)의 상ㆍ하면 부분보다 하중에 의한 영향이 상대적으로 낮다.On the other hand, the portion where the largest specific strength is required for the load applied when loading the substrate in the support bar 100 is the upper and lower portions of the support bar 100, and the left and right side portions of the support bar 100 are the support. The influence of the load is relatively lower than the upper and lower portions of the bar 100.

따라서, 본 발명의 서포트바(100)는 몸체의 상ㆍ하면 부분에는 비강성 및 비강도가 상대적으로 높은 소재인 탄소섬유강화수지를 주로 구성하고, 몸체의 좌ㆍ우 측면 부분에는 뒤틀림에 저항할 수 있고 더불어 제품의 강성 및 강도를 유지할 수 있으며 탄소섬유강화수지에 비해 저가의 소재인 유리섬유강화수지를 주로 구성하고 있다.Therefore, the support bar 100 of the present invention mainly comprises carbon fiber reinforced resin, which is a material of relatively high rigidity and specific strength in the upper and lower portions of the body, and the left and right side portions of the body may resist distortion. In addition, it can maintain the stiffness and strength of the product, and is mainly composed of glass fiber reinforced resin, which is a lower cost material than carbon fiber reinforced resin.

즉, 이와 같은 서포트바를 구성함에 있어, 탄소섬유강화수지 만을 이용하여 서포트바를 구성하게 되면 서포트바의 강도 및 강성은 우수하나 제조원가가 증가되는 문제점이 있으며, 또한 유리섬유강화수지 만을 이용하여 서포트바를 구성하게 될 경우에는 제조원가는 절감되지만 충분한 강성 및 강도를 유지하는데 어려움이 있기 때문이다.That is, in constructing such a support bar, if the support bar is constructed using only carbon fiber reinforced resin, the strength and rigidity of the support bar is excellent, but there is a problem in that manufacturing cost is increased, and the support bar is formed using only glass fiber reinforced resin. In this case, manufacturing cost is reduced, but it is difficult to maintain sufficient rigidity and strength.

이에 따라, 본 발명에서는 서포트바(100)의 상ㆍ하면 부분에 탄소섬유강화수지를 두텁게 배치하고, 서포트바(100)의 좌ㆍ우 측면 부분에는 유리섬유강화수지의 상대적 구성비를 높여 구성함으로써, 고가의 탄소섬유강화수지의 사용을 효율적으로 조절하는 동시에, 제품의 충분한 강성 및 강도를 유지할 수 있는 서포트바를 구성하게 된다.Accordingly, in the present invention, by thickly arranging the carbon fiber reinforced resin on the upper and lower portions of the support bar 100, and by increasing the relative ratio of the glass fiber reinforced resin on the left and right side portions of the support bar 100, It is possible to efficiently control the use of expensive carbon fiber reinforced resin and to construct a support bar that can maintain sufficient rigidity and strength of the product.

즉, 본 실시예에 따른 서포트바(100)를 살펴보면, 중공형 기둥 형상으로 구성되는 유리섬유강화수지층(110)과, 유리섬유강화수지층(110)의 외주면을 둘러싼 형태로 적층되어 구성되는 탄소섬유강화수지층(120)으로 구성되는데, 여기서 유리섬유강화수지층(110)은 좌ㆍ우 측면의 유리섬유강화수지층(110)의 두께가 상ㆍ하면의 유리섬유강화수지층(110)의 두께보다 두껍게 형성되며, 탄소섬유강화수지층(120)은 상ㆍ하면의 탄소섬유강화수지층(120)의 두께가 좌ㆍ우 측면의 탄소섬유강화수지층(120)의 두께보다 두껍게 형성되어 있다.That is, looking at the support bar 100 according to the present embodiment, the glass fiber reinforced resin layer 110 and the glass fiber reinforced resin layer 110 composed of a hollow columnar shape is laminated in a form surrounding the outer surface The carbon fiber reinforced resin layer 120, wherein the glass fiber reinforced resin layer 110 is the glass fiber reinforced resin layer 110 of the upper and lower surfaces of the glass fiber reinforced resin layer 110 on the left and right sides. It is formed thicker than the thickness of the carbon fiber reinforced resin layer 120, the carbon fiber reinforced resin layer 120 of the upper and lower surfaces are formed thicker than the thickness of the carbon fiber reinforced resin layer 120 of the left and right sides have.

다시 말해서, 서포트바(100)의 상ㆍ하면은 유리섬유강화수지층(110)이 상대적으로 얇은 두께로 형성되어 있고, 그 외측으로 탄소섬유강화수지층(120)이 두껍게 형성되어 있으며, 서포트바(100)의 좌ㆍ우 측면에는 유리섬유강화수지층(110)이 상대적으로 두껍게 형성되어 있고, 그 외측으로 탄소섬유강화수지층(120)이 얇은 두께로 형성되어 있다.In other words, the upper and lower surfaces of the support bar 100 have a glass fiber reinforced resin layer 110 having a relatively thin thickness, and the carbon fiber reinforced resin layer 120 is thickly formed on the outer side of the support bar. On the left and right sides of the 100, the glass fiber reinforced resin layer 110 is formed relatively thick, and on the outside thereof, the carbon fiber reinforced resin layer 120 is formed in a thin thickness.

여기서, 서포트바(100)를 구성하는 탄소섬유강화수지층(120)은 서포트바(100)의 상ㆍ하면의 강성을 보강하기 위해 통상 20 ~ 30 tonf/㎟ 범위의 인장강성을 가지고 있다.Here, the carbon fiber reinforced resin layer 120 constituting the support bar 100 has a tensile stiffness in the range of usually 20 to 30 tonf / mm 2 in order to reinforce the rigidity of the upper and lower surfaces of the support bar 100.

이러한 구성을 통해, 본 발명의 서포트바(100)는 비강도, 비강성, 파단강도 등 기본적인 물성이 우수할 뿐만 아니라, 고가의 소재인 탄소섬유강화수지를 서포트바의 상ㆍ하면에 주로 사용하고, 좌ㆍ우 측면에는 유리섬유강화수지를 주로 사용함으로써, 제품의 원가를 절감하여 가격경쟁력을 향상시킬 수 있고, 서포트바의 무게를 감소시킴으로써 기판적재 카세트 자체의 기반하중 감소시킬 수 있으며, 진동에 대한 감쇠 특성 또한 우수하여, 기판 적재 및 운반에 의한 성능을 향상시킬 수 있다.Through this configuration, the support bar 100 of the present invention is not only excellent in basic physical properties such as specific strength, non-stiffness, breaking strength, but also mainly used for carbon fiber reinforced resin, which is an expensive material, on the upper and lower surfaces of the support bar. On the left and right sides, glass fiber reinforced resin is mainly used to reduce the cost of the product and improve price competitiveness, and to reduce the base load of the substrate loading cassette itself by reducing the weight of the support bar. The attenuation characteristic for the substrate is also excellent, and the performance by loading and transporting the substrate can be improved.

한편, 본 실시예의 서포트바(100)는 기판이 적재되는 상ㆍ하면의 강성을 더욱 높이기 위해 서포트바(100)의 상ㆍ하면에, 일반적인 탄소섬유강화수지 보다 강성이 훨씬 높은 고강성 탄소섬유강화수지층을 적층하여 구성할 수도 있다.On the other hand, the support bar 100 of the present embodiment is a high rigid carbon fiber reinforced on the upper and lower surfaces of the support bar 100, the rigidity is much higher than the general carbon fiber reinforced resin in order to further increase the rigidity of the upper and lower surfaces on which the substrate is loaded A resin layer can also be laminated | stacked and comprised.

즉, 도 5에 도시된 바와 같이, 유리섬유강화수지층(110)의 외주면을 둘러싼 형태로 적층되어 구성되는 탄소섬유강화수지층(120)의 상ㆍ하면에 각각 고강성 탄소섬유강화수지층(130)을 적층하여 구성할 수 있다.That is, as shown in Figure 5, the high-strength carbon fiber reinforced resin layer (top and bottom) of the carbon fiber reinforced resin layer 120 is laminated in a form surrounding the outer peripheral surface of the glass fiber reinforced resin layer 110 ( 130 may be laminated.

여기서, 고강성 탄소섬유강화수지층(130)은 60 ~ 80 tonf/㎟ 범위의 인장강성을 가지고 있으며, 이러한 고강성 탄소섬유강화수지층(130)으로 서포트바(100)의 상ㆍ하면을 보강함에 따라 무게가 상당히 무거운 대형기판도 수월하게 지지할 수 있다.
Here, the high-strength carbon fiber reinforced resin layer 130 has a tensile stiffness in the range of 60 to 80 tonf / mm 2, and the upper and lower surfaces of the support bar 100 are reinforced by the high rigid carbon fiber reinforced resin layer 130. This makes it easy to support large substrates that are quite heavy.

다음에는, 상술한 바와 같이 구성된 제1 실시예에 따른 기판적재 카세트용 서포트바를 제조하는 방법에 대하여 상세히 설명하기로 한다.Next, a method of manufacturing the support bar for a substrate loading cassette according to the first embodiment configured as described above will be described in detail.

도 6은 제1 실시예에 따른 기판적재 카세트용 서포트바의 제조방법을 보여주는 순서도이다.6 is a flowchart illustrating a method of manufacturing the support bar for a substrate loading cassette according to the first embodiment.

도 6을 참조하면, 먼저 가공하고자 하는 서포트바의 몸체 내부에 중공부를 형성하기 위한 별도의 내부 금형을 준비한다.(S110)Referring to Figure 6, first prepare a separate inner mold for forming a hollow inside the body of the support bar to be processed (S110).

다음, 내부 금형의 표면에 유리섬유강화수지층을 적층하게 되는데, 내부 금형의 상ㆍ하면에 적층되는 유리섬유강화수지층의 두께보다 내부 금형의 좌ㆍ우측면에 적층되는 유리섬유강화수지층의 두께를 두껍게 형성하여 적층한다.(S120)Next, the glass fiber reinforced resin layer is laminated on the surface of the inner mold. The thickness of the glass fiber reinforced resin layer laminated on the left and right sides of the inner mold is greater than the thickness of the glass fiber reinforced resin layer laminated on the upper and lower surfaces of the inner mold. To form a thick and stacked. (S120)

이어서, 내부 금형에 적층된 유리섬유강화수지층의 표면에 탄소섬유강화수지층을 적층한다.Next, the carbon fiber reinforced resin layer is laminated on the surface of the glass fiber reinforced resin layer laminated on the inner mold.

이때에는, 유리섬유강화수지층의 좌ㆍ우측면에 적층되는 탄소섬유강화수지층의 두께보다 유리섬유강화수지층의 상ㆍ하면에 적층되는 탄소섬유강화수지층의 두께를 두껍게 형성하여 적층한다.(S130)At this time, the carbon fiber reinforced resin layer laminated on the upper and lower surfaces of the glass fiber reinforced resin layer is formed thicker than the thickness of the carbon fiber reinforced resin layer laminated on the left and right sides of the glass fiber reinforced resin layer. S130)

이후, 탄소섬유강화수지층의 표면에 이형필름을 적층한 다음, 유리섬유강화수지층 및 탄소섬유강화수지층이 차례로 적층된 내부 금형을 외부 금형에 투입하여 가열 성형을 준비한다.(S140) Thereafter, a release film is laminated on the surface of the carbon fiber reinforced resin layer, and then the inner mold in which the glass fiber reinforced resin layer and the carbon fiber reinforced resin layer are sequentially stacked is put into an external mold to prepare a heat molding. (S140)

여기서, 이형필름은 이후의 외부 금형 탈형 공정에서 금형과 성형 제품 간의 이형성을 향상시키기 위해서 뿐만 아니라, 서포트바의 외부를 구성하는 탄소섬유강화수지층을 긴밀하게 감싸 성형과정에서 서포트바의 표면상태가 양호하게 형성되도록 해주어 서포트바 표면의 평활성을 증대시키는 역할을 한다.Here, the release film not only improves the releasability between the mold and the molded product in the subsequent external mold demolding process, but also closely surrounds the carbon fiber reinforced resin layer constituting the outside of the support bar. It allows to form a good and serves to increase the smoothness of the support bar surface.

이어서, 유리섬유강화수지층 및 탄소섬유강화수지층이 적층된 내부 금형이 투입되어 있는 외부 금형을 성형장비에 투입하여 가열 성형 공정을 수행함으로써, 내부에 중공부가 형성된 성형체를 제조한다.(S160) 여기서, 성형 시간은 성형 온도에 따라 달라지게 되는데, 일반적으로 적층 소재의 성형싸이클은 성형 온도가 낮을 수록 성형 시간이 길어지며, 반대로 성형 온도가 높을수록 소요되는 성형 시간을 단축 시킬 수 있다. 또한, 최적의 성형 온도는 사용되는 폼 재질의 내열도 및 적층 소재의 성형 싸이클에 따라 결정된다.Subsequently, an external mold into which an inner mold having a glass fiber reinforced resin layer and a carbon fiber reinforced resin layer is stacked is put into a molding equipment to perform a heat molding process, thereby manufacturing a molded body having a hollow part formed therein. (S160) Here, the molding time depends on the molding temperature. In general, the molding cycle of the laminated material has a longer molding time as the molding temperature is lower, and conversely, the higher the molding temperature, the shorter the molding time is required. In addition, the optimum molding temperature is determined by the heat resistance of the foam material used and the molding cycle of the laminated material.

성형 공정이 완료된 성형체는 외부 금형을 탈형하고, 이어서 내부 금형을 탈형함으로써 서포트바를 완성하게 된다.(S170)After the molding process is completed, the molded body demolds the outer mold, and then demolds the inner mold to complete the support bar. (S170)

한편, 상기와 같은 제1 실시예의 서포트바를 제조하는 공정에 있어서, 강성이 더욱 강화된 서포트바를 제조하기 위해, 서포트바의 외부를 구성하는 탄소섬유강화수지층의 상ㆍ하면에 각각 고강성 탄소섬유강화수지층을 적층하는 공정을 추가로 진행할 수 있다.(S135)On the other hand, in the process of manufacturing the support bar of the first embodiment as described above, in order to manufacture a support bar with more rigidity, the high rigid carbon fibers on the upper and lower surfaces of the carbon fiber reinforced resin layer constituting the outside of the support bar, respectively The process of laminating the reinforced resin layer may be further performed.

이때에는, 상술한 바와 같은 공정으로 내부 금형에 적층된 유리섬유강화수지층의 표면에 탄소섬유강화수지층을 적층한 다음, 탄소섬유강화수지층의 상ㆍ하면에 각각 고강성 탄소섬유강화수지층을 적층하고, 상기와 같이 고강성 탄소섬유강화수지층이 적층된 탄소섬유강화수지층에 이형필름을 적층하여 외부 금형에 투입함으로써 성형 공정을 진행하게 된다.
At this time, the carbon fiber reinforced resin layer is laminated on the surface of the glass fiber reinforced resin layer laminated on the inner mold by the above-described process, and then the high rigid carbon fiber reinforced resin layer on the upper and lower surfaces of the carbon fiber reinforced resin layer, respectively. The lamination process is performed by laminating a release film on the carbon fiber reinforced resin layer in which the high rigid carbon fiber reinforced resin layer is stacked as described above, and then introducing the same into an external mold.

이하에서는, 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판적재 카세트용 서포트바에 대해 설명한다.Hereinafter, a support bar for a substrate loading cassette according to a second embodiment of the present invention will be described.

도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판적재 카세트용 서포트바의 구조를 보여주는 단면도이고, 도 8은 도 7에 도시된 서포트바에서 고강성 탄소섬유강화수지층을 적층한 상태의 서포트바를 보여주는 단면도이다.FIG. 7 is a cross-sectional view illustrating a structure of a support bar for a substrate loading cassette according to a second embodiment of the present invention, and FIG. 8 illustrates a support bar in a state in which a high rigid carbon fiber reinforced resin layer is laminated in the support bar shown in FIG. 7. It is a cross section showing.

도 7 및 도 8에 나타난 제2 실시예는 기본적으로 도 3 및 도 4에 나타난 제1 실시예와 동일하나, 다만 서포트바(200)에 구성된 유리섬유강화수지층(210)이 인발성형품으로 형성되어 있고, 중공형으로 형성된 유리섬유강화수지층(210)의 내주면에 패브릭층(220)이 구비되어 있다는 점에서 차이가 있다.7 and 8 are basically the same as the first embodiment shown in FIGS. 3 and 4, except that the glass fiber reinforced resin layer 210 formed on the support bar 200 is formed of a molded article. There is a difference in that the fabric layer 220 is provided on the inner circumferential surface of the glass fiber reinforced resin layer 210 formed in a hollow shape.

상기와 같은 유리섬유강화수지층을 구성하는 방법에는 일방향으로 직조된 복수의 시트를 상호 엇갈리도록 교대로 적층하여 형성하는 방법과, 복수의 유리섬유사에 수지를 함침시켜 인발성형한 인발성형품으로 형성하는 방법이 있는데, 제2 실시예에서와 같이 유리섬유강화수지층(210)을 인발성형품으로 형성하는 경우에는 제조공정에 있어서는 간단하나 수지층 내부에 복수의 유리섬유가 일방향으로 배열되어 있는 구조로서 외부 충격에 의한 쪼개짐에는 상대적으로 취약하다는 단점이 있다.The method of forming the glass fiber reinforced resin layer as described above is formed by alternately stacking a plurality of sheets woven in one direction alternately, and formed into a pull-molded article by impregnating a resin in a plurality of glass fiber yarns As in the second embodiment, the glass fiber reinforced resin layer 210 is formed as a pultruded article, but it is simple in the manufacturing process but has a structure in which a plurality of glass fibers are arranged in one direction inside the resin layer. Splitting due to external impact has the disadvantage of being relatively weak.

즉, 제2 실시예에 따른 서포트바(200)에 구성되는 유리섬유강화수지층(210)은 일방향으로 배열된 유리섬유에 수지를 함침시켜 인발성형한 것으로서, 통상 로빙(roving)에 권취되어 로빙으로부터 공급되는 섬유사를 다수의 구멍이 형성된 가이드에 통해 통과시켜 일정하게 배열하고, 배열된 섬유사를 수지가 저장된 수지함침조로 통과시켜 섬유사에 수지를 함침시킨 다음, 인발다이를 통해 인발 성형함으로써, 복수의 섬유사에 수지가 함침되어 일체로 이루어지는 프리프래그 상태로 성형되며, 추후, 경화공정을 통해 경화되고, 필요한 길이로 절단 가공된다.That is, the glass fiber reinforced resin layer 210 of the support bar 200 according to the second embodiment is formed by immersing resin in glass fibers arranged in one direction and wound by roving. By passing the fiber yarn supplied from the through a guide formed with a plurality of holes and uniformly arranged, passing the arrayed fiber yarn through a resin impregnation tank in which the resin is stored, impregnating the resin in the fiber yarn, and then drawing out through a drawing die A plurality of fiber yarns are impregnated with resin to be molded in a prepreg state formed integrally, and then cured through a curing process, and cut into required lengths.

따라서, 본 실시예에서는 상기와 같이 인발성형되어 이루어진 유리섬유강화수지층(210)의 쪼개짐을 방지하기 위해, 유리섬유강화수지층(210)의 내주면에 패브릭층(220)을 적층하여 보강함으로써 유리섬유강화수지층(210)에 쪼개짐 저항성을 부여하고 있다.Therefore, in the present embodiment, in order to prevent the splitting of the glass fiber reinforced resin layer 210 formed by drawing as described above, by reinforcing by laminating the fabric layer 220 on the inner peripheral surface of the glass fiber reinforced resin layer 210 Split resistance is imparted to the fiber reinforced resin layer (210).

상기 패브릭층(220)은 다수의 섬유다발을 직교 방향으로 교차시켜 직조한 것으로서, 다수의 섬유다발이 수직, 수평 방향으로 교차되어 직조되거나, 사선 방향으로 교차되어 직조되어 있으며, 이러한 직조형태를 통해 강화섬유막대의 쪼개짐을 효과적으로 방지할 수 있다.The fabric layer 220 is a woven fabric by crossing a plurality of fiber bundles in an orthogonal direction, and a plurality of fiber bundles are woven by crossing in a vertical and horizontal direction, or weaved by crossing in an oblique direction, through such a woven form Splitting of the reinforcing fiber rod can be effectively prevented.

한편, 본 실시예의 서포트바(200) 또한 기판이 적재되는 상ㆍ하면의 강성을 더욱 높이기 위해 서포트바(200)의 상ㆍ하면에 각각 고강성 탄소섬유강화수지층(130)을 적층하여 구성할 수 있다.On the other hand, the support bar 200 of the present embodiment can also be configured by stacking the highly rigid carbon fiber reinforced resin layer 130 on the upper and lower surfaces of the support bar 200 in order to further increase the rigidity of the upper and lower surfaces on which the substrate is loaded. Can be.

즉, 도 8에 도시된 바와 같이, 유리섬유강화수지층(210)의 외주면을 둘러싼 형태로 적층되어 구성되는 탄소섬유강화수지층(120)의 상ㆍ하면에 각각 고강성 탄소섬유강화수지층(130)을 적층하여 구성할 수 있다.
That is, as shown in Figure 8, the high-strength carbon fiber reinforced resin layer (top and bottom, respectively) of the carbon fiber reinforced resin layer 120 is laminated in a form surrounding the outer peripheral surface of the glass fiber reinforced resin layer 210 ( 130 may be laminated.

다음에는, 상술한 바와 같이 구성된 제2 실시예에 따른 기판적재 카세트용 서포트바를 제조하는 방법에 대하여 상세히 설명하기로 한다.Next, a method of manufacturing the support bar for a substrate loading cassette according to the second embodiment configured as described above will be described in detail.

도 9는 제2 실시예에 따른 기판적재 카세트용 서포트바의 제조방법을 보여주는 순서도이다.9 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a support bar for a substrate loading cassette according to a second embodiment.

도 9를 참조하면, 먼저 가공하고자 하는 서포트바의 몸체 내부에 중공부를 형성하기 위한 별도의 내부 금형을 준비하고(S210), 내부 금형의 표면에 패브릭층을 적층한다.(S220)Referring to Figure 9, first prepare a separate inner mold for forming a hollow portion in the body of the support bar to be processed (S210), and laminating the fabric layer on the surface of the inner mold (S220).

다음, 패브릭층의 상ㆍ하면 및 좌ㆍ우 측면에 각각 유리섬유를 수지함침시켜 인발성형한 유리섬유강화수지층을 적층하게 되는데, 좌ㆍ우 측면의 유리섬유강화수지층의 두께가 상ㆍ하면의 유리섬유강화수지층의 두께보다 두껍게 형성하여 적층한다.(S230)Next, the glass fiber reinforced resin layer formed by resin impregnating the glass fibers on top, bottom, and left and right sides of the fabric layer is laminated, and the thickness of the glass fiber reinforced resin layers on the left and right sides is upper and lower. To form a thicker than the thickness of the glass fiber reinforced resin layer of the laminated (S230).

이어서, 내부 금형에 적층된 유리섬유강화수지층의 표면에 탄소섬유강화수지층을 적층한다.Next, the carbon fiber reinforced resin layer is laminated on the surface of the glass fiber reinforced resin layer laminated on the inner mold.

이때에는, 유리섬유강화수지층의 좌ㆍ우측면에 적층되는 탄소섬유강화수지층의 두께보다 유리섬유강화수지층의 상ㆍ하면에 적층되는 탄소섬유강화수지층의 두께를 두껍게 형성하여 적층한다.(S240)At this time, the carbon fiber reinforced resin layer laminated on the upper and lower surfaces of the glass fiber reinforced resin layer is formed thicker than the thickness of the carbon fiber reinforced resin layer laminated on the left and right sides of the glass fiber reinforced resin layer. S240)

이후, 탄소섬유강화수지층의 표면에 이형필름을 적층한 다음(S250), 패브릭층, 유리섬유강화수지층 및 탄소섬유강화수지층이 차례로 적층된 내부 금형을 외부 금형에 투입한 후(S260), 가열 성형 공정을 수행하여 내부에 중공부가 형성된 성형체를 제조한다.(S270)Then, the release film is laminated on the surface of the carbon fiber reinforced resin layer (S250), and then the inner mold in which the fabric layer, the glass fiber reinforced resin layer, and the carbon fiber reinforced resin layer are sequentially stacked is put into the outer mold (S260). , Performing a heat molding process to produce a molded body having a hollow portion formed therein (S270).

성형 공정이 완료된 성형체는 외부 금형을 탈형하고, 이어서 내부 금형을 탈형함으로써 서포트바를 완성하게 된다.(S280)After the molding process is completed, the molded body demolds the outer mold, and then demolds the inner mold to complete the support bar. (S280)

한편, 상기와 같은 제2 실시예의 서포트바를 제조하는 공정에 있어서도, 상술한 제1 실시예와 동일하게, 서포트바의 외부를 구성하는 탄소강화섬유수지층의 상ㆍ하면에 각각 고강성 탄소섬유강화수지층을 적층하는 공정을 추가로 진행할 수 있다.(S245)
On the other hand, also in the process of manufacturing the support bar of the second embodiment as described above, similarly to the first embodiment described above, the high-strength carbon fiber reinforced on the upper and lower surfaces of the carbon-reinforced fiber resin layer constituting the outside of the support bar, respectively The process of laminating the resin layer can further proceed. (S245)

도 10 및 도 11은 본 발명에 따른 기판적재 카세트용 서포트바의 다양한 단면 형상을 보여주는 도면이다.10 and 11 are views showing various cross-sectional shapes of the support bar for a substrate loading cassette according to the present invention.

상술한 바와 같은 제1 실시예 및 제2 실시예에 따른 기판적재 카세트용 서포트바(100,200)는 도 3 내지 도 5, 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 사각 단면을 갖는 중공형 기둥 형상으로 구성되어 있지만, 도 10에 도시된 바와 같이, 사각 단면 이외에도 타원형 단면 또는 원형 단면을 갖는 중공형의 기둥 형상으로 구성될 수 있다.The support bars 100 and 200 for substrate loading cassettes according to the first and second embodiments as described above are hollow pillar shapes having a rectangular cross section, as shown in FIGS. 3 to 5, 7 and 8. Although it is configured as, as shown in Figure 10, in addition to the square cross-section may be configured in a hollow columnar shape having an elliptical cross section or a circular cross section.

또한, 본 발명에 따른 서포트바는 도 11에 도시된 바와 같이, 서포트바 몸체의 상ㆍ하면의 두께가 좌ㆍ우 측면의 두께보다 두껍게 형성될 수 있다.In addition, the support bar according to the present invention, as shown in Figure 11, the thickness of the upper and lower surfaces of the support bar body may be formed thicker than the thickness of the left and right side.

즉, 서포트바의 상ㆍ하면에 주로 구성되는 탄소섬유강화수지의 두께를 더욱 두껍게 형성함으로써, 서포트바의 강성을 효율적으로 증대시킬 수 있다.
That is, the rigidity of the support bar can be efficiently increased by forming the thickness of the carbon fiber reinforced resin mainly composed on the upper and lower surfaces of the support bar.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 기판적재 카세트용 서포트바는 비강도, 비강성 및 파단강도가 우수하면서도 경량화를 추구하여 제품성능을 향상시킴으로써 제품의 품질경쟁력을 증대시킬 수 있고, 고가의 소재를 필요한 곳에만 사용함으로 인한 원가절감에 기여할 수 있으며, 이를 통한 기판의 적재단수의 증가는 물론 기판 생산라인의 효율을 증대시켜 기판 제조원가를 절감시키는 2차적인 효과를 제공한다.
As described above, the support bar for the substrate loading cassette according to the present invention can increase the quality competitiveness of the product by improving the product performance in pursuit of light weight while excellent in specific strength, specific rigidity and breaking strength, and expensive materials It can contribute to the cost savings by using only where necessary, thereby increasing the number of loading stages of the substrate, as well as the secondary effect of reducing the substrate manufacturing cost by increasing the efficiency of the substrate production line.

본 발명은, 본 발명에 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환 변형이 가능하므로 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것은 아니다.The present invention is not limited to the above-described embodiments and the accompanying drawings as various substitutions and modifications are possible within the scope without departing from the technical spirit of the present invention for those skilled in the art. .

100,200 : 서포트바 110,210 : 유리섬유강화수지층
120 : 탄소섬유강화수지층 130 : 고강성 탄소섬유강화수지층
220 : 패브릭층 100,200: Support bar 110,210: Glass fiber reinforced resin layer
120: carbon fiber reinforced resin layer 130: high rigid carbon fiber reinforced resin layer
220: fabric layer

Claims (14)

기판 적재용 카세트에 설치되어 기판을 지지하는 서포트바에 있어서,
유리섬유를 수지함침시켜 인발성형하여 형성되며, 중공형 기둥 형상으로 구성되는 유리섬유강화수지층과;
다수의 섬유다발을 서로 직교하는 방향으로 교차시켜 직조하여 형성되며, 상기 유리섬유강화수지층의 내주면에 적층되는 패브릭층과;
상기 유리섬유강화수지층의 외주면을 둘러싼 형태로 적층되어 구성되는 탄소섬유강화수지층;
을 포함하여 구성되되,
상기 유리섬유강화수지층은 좌ㆍ우 측면의 유리섬유강화수지층의 두께가 상ㆍ하면의 유리섬유강화수지층의 두께보다 두껍게 형성되며,
상기 탄소섬유강화수지층은 상ㆍ하면의 탄소섬유강화수지층의 두께가 좌ㆍ우 측면의 탄소섬유강화수지층의 두께보다 두껍게 형성되는 것을 특징으로 하는 기판적재 카세트용 서포트바.
A support bar installed in a cassette for loading a substrate to support a substrate,
A glass fiber reinforced resin layer which is formed by resin impregnating the glass fiber and is formed by a pull-out shape and configured of a hollow pillar shape;
A fabric layer formed by weaving a plurality of fiber bundles in a direction orthogonal to each other and laminated on an inner circumferential surface of the glass fiber reinforced resin layer;
A carbon fiber reinforced resin layer formed by being stacked in a form surrounding the outer circumferential surface of the glass fiber reinforced resin layer;
Consists of including
The glass fiber reinforced resin layer is formed with a thickness of the glass fiber reinforced resin layer on the left and right sides thicker than the thickness of the glass fiber reinforced resin layer on the upper and lower sides,
The carbon fiber reinforced resin layer is a support bar for a substrate loading cassette, characterized in that the thickness of the upper and lower carbon fiber reinforced resin layer is formed thicker than the thickness of the carbon fiber reinforced resin layer on the left and right sides.
삭제delete 삭제delete 삭제delete 제 1항에 있어서,
상기 탄소섬유강화수지층의 상ㆍ하면에는,
상기 유리섬유강화수지층의 외주면을 둘러싼 형태로 적층되어 구성되는 탄소섬유강화수지층 보다 비강성이 높은 별도의 탄소섬유강화수지층이 추가로 적층되는 것을 특징으로 하는 기판적재 카세트용 서포트바.
The method of claim 1,
On the upper and lower surfaces of the carbon fiber reinforced resin layer,
The support bar for a substrate stack cassette, characterized in that the additional carbon fiber reinforced resin layer is further laminated than the carbon fiber reinforced resin layer is laminated in the form surrounding the outer peripheral surface of the glass fiber reinforced resin layer.
제 1항에 있어서,
상기 서포트바는,
상ㆍ하면의 두께가 좌ㆍ우 측면의 두께보다 두꺼운 것을 특징으로 하는 기판적재 카세트용 서포트바.
The method of claim 1,
The support bar,
A support bar for a substrate loading cassette, wherein the upper and lower surfaces are thicker than the left and right side surfaces.
제 1항에 있어서,
상기 서포트바는,
단면이 사각형, 타원형, 또는 원형으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판적재 카세트용 서포트바.
The method of claim 1,
The support bar,
Support bar for substrate loading cassette, characterized in that the cross section consisting of a square, oval, or circular.
제 1항에 있어서,
상기 서포트바의 하면에는,
길이 방향으로 소정 비율로 경사진 테이퍼 영역이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판적재 카세트용 서포트바.
The method of claim 1,
On the bottom of the support bar,
A support bar for a substrate loading cassette, characterized in that a tapered region inclined at a predetermined ratio in the longitudinal direction is formed.
제 8항에 있어서,
상기 서포트바의 테이퍼 비율은 몸체 높이의 1/2을 넘지 않는 범위에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판적재 카세트용 서포트바.
The method of claim 8,
A support bar for a substrate loading cassette, characterized in that the taper ratio of the support bar does not exceed 1/2 of the height of the body.
제 1항에 있어서,
상기 탄소섬유강화수지층은,
인장강성이 20 ~ 30 tonf/㎟인 것을 특징으로 하는 기판적재 카세트용 서포트바.
The method of claim 1,
The carbon fiber reinforced resin layer,
Support bar for substrate loading cassette, characterized in that the tensile strength of 20 to 30 tonf / ㎜.
제 5항에 있어서,
상기 추가로 적층되는 별도의 탄소섬유강화수지층은,
인장강성이 60 ~ 80 tonf/㎟인 것을 특징으로 하는 기판적재 카세트용 서포트바.
6. The method of claim 5,
The additional carbon fiber reinforced resin layer is further laminated,
Support bar for substrate loading cassette, characterized in that the tensile strength of 60 ~ 80 tonf / ㎜.
삭제delete 삭제delete 삭제delete
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