KR101300502B1 - Dry apparatus for PCB - Google Patents

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KR101300502B1
KR101300502B1 KR1020100068113A KR20100068113A KR101300502B1 KR 101300502 B1 KR101300502 B1 KR 101300502B1 KR 1020100068113 A KR1020100068113 A KR 1020100068113A KR 20100068113 A KR20100068113 A KR 20100068113A KR 101300502 B1 KR101300502 B1 KR 101300502B1
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나동호
박우철
채성병
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삼성전기주식회사
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Abstract

본 발명은 기판 건조장치로서, 기판이 수납되는 건조챔버, 상기 건조챔버에 고온의 공기를 공급하는 고온에어 공급부 및 상기 기판을 이송시키는 기판 이송장치를 포함하고, 상기 기판 이송장치는 구동축과, 상기 구동축을 회전시키는 구동모터와, 구동축에 결합되어 연동되고 기판을 하부를 지지·가압하는 하부롤러와, 상기 하부롤러에 결합되어 연동되고 기판의 상부를 지지·가압하는 상부롤러와, 상기 구동축, 하부롤러 및 상부롤러를 지지하는 베어링을 구비하는 가이드부를 포함하고, 상기 가이드부는 상기 구동축을 지지하기 위한 홈이 형성되고, 상기 구동축이 삽입·지지되는 베어링을 구비하는 구동축 가이드와, 상기 상부롤러 및 하부롤러를 지지하기 위한 홀이 형성되고, 상기 상부롤러 및 하부롤러가 삽입·지지되는 베어링을 구비하는 롤러 가이드 및 상기 구동축 가이드와 롤러 가이드가 서로 이격되도록 양단이 구동축 가이드와 롤러 가이드에 각각 고정되는 가이드 포스트를 포함하고, 이물질 발생 및 유입이 방지되는 기판 건조장치를 제공하는 효과를 갖는다.The present invention provides a substrate drying apparatus, comprising a drying chamber in which a substrate is stored, a high temperature air supply unit supplying high temperature air to the drying chamber, and a substrate transfer apparatus for transferring the substrate, wherein the substrate transfer apparatus includes a drive shaft, and A drive motor for rotating the drive shaft, a lower roller coupled to the drive shaft to support and pressurize the substrate, an upper roller coupled to the lower roller and interlocked to support and press the upper portion of the substrate, and the drive shaft and the lower portion. A guide portion having a roller and a bearing for supporting the upper roller, wherein the guide portion includes a drive shaft guide having a groove for supporting the drive shaft and having a bearing into which the drive shaft is inserted and supported, and the upper roller and the lower portion. A roll having a hole for supporting the roller and having a bearing into which the upper roller and the lower roller are inserted and supported. Guide and has the effect of both ends of a guide post that is fixed to the drive shaft and the guide roller guides, provide a substrate drying device to which the foreign matter occurs, and ingress protection to be spaced apart from each other the drive shaft guide and the guide roller.

Description

기판 건조장치{Dry apparatus for PCB }Substrate Drying Equipment {Dry apparatus for PCB}

본 발명은 기판 건조장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a substrate drying apparatus.

일반적으로, 기판을 제조하는 공정에서 기판에 잔류하는 잔류물을 제거하기 위하여 기판을 세정하고, 기판 표면의 액상의 제거 및 건조시키는 공정 또는 기판에 도포되는 액상 물질을 건조시키는 공정 등에서 기판 건조장치가 이용된다.In general, in a process of manufacturing a substrate, a substrate drying apparatus includes a process of cleaning a substrate to remove residues remaining on the substrate, removing and drying the liquid phase of the substrate surface, or drying a liquid substance applied to the substrate. Is used.

특히, 기판을 연속적으로 건조하기 위해 터널식 건조장치가 이용되는데, 상기 터널식의 건조장치는 터널형의 건조챔버 내부에 복수의 기판을 순차적으로 이동시키면 기판을 건조하게 된다.In particular, a tunnel type drying apparatus is used to continuously dry the substrate, and the tunnel type drying apparatus dries the substrate by sequentially moving a plurality of substrates inside the tunnel type drying chamber.

이를 위해, 건조챔버 내부에서 기판을 이송시킬 경우, 외부의 이물질 뿐만 아니라, 이송장치의 조작에 따른 이물질 발생되어 기판을 오염시키는 문제점이 발생된다.
To this end, when the substrate is transported in the drying chamber, not only external foreign matters, but also foreign matters generated by the operation of the transfer device may be contaminated with the substrate.

도 1은 종래기술에 따른 기판 건조장치의 개략적인 구성도이고, 도 2는 도 1에 나타낸 기판 건조장치의 기판 이송유닛의 개략적인 부분 정면도이다. 도시한 바와 같이, 상기 기판 건조장치(100)는 기판(500)이 수납되는 건조챔버(120), 상기 건조챔버에 고온의 공기를 공급하는 고온에어 공급부(미도시) 및 상기 기판을 이송시키는 기판 이송장치(110)를 포함한다.Figure 1 is a schematic configuration diagram of a substrate drying apparatus according to the prior art, Figure 2 is a schematic partial front view of the substrate transfer unit of the substrate drying apparatus shown in FIG. As illustrated, the substrate drying apparatus 100 includes a drying chamber 120 in which the substrate 500 is accommodated, a high temperature air supply unit (not shown) for supplying high temperature air to the drying chamber, and a substrate for transferring the substrate. It includes a conveying device (110).

보다 구체적으로, 상기 고온에어 공급부는 에어 블로어, 히터 및 이송관을 포함하고,상기 에어 블로어는 공기를 제공하기 위한 것이고, 상기 히터는 상기 공기의 온도를 상승시켜 고온의 공기를 제공하기 위한 것이고, 상기 이송관은 고온의 공기를 에어필터 및 건조챔버에 전달하기 위한 것이다.More specifically, the hot air supply unit comprises an air blower, a heater and a transfer pipe, the air blower is for providing air, the heater is for providing a high temperature air by raising the temperature of the air, The conveying pipe is for delivering hot air to the air filter and the drying chamber.

그리고 상기 기판 이송장치(110)는 구동축(111), 구동모터(미도시), 하부롤러(112), 상부롤러(113), 구동축 가이드(114), 롤러 가이드(115)를 포함한다. 또한, 상기 구동모터는 상기 구동축(111)을 회전시키기 위한 것이고, 상기 하부롤러(112)는 구동축에 결합되어 연동되고 기판을 하부를 지지·가압하고, 상기 상부롤러(113)는 상기 하부롤러에 결합되어 연동되고 기판의 상부를 지지·가압한다. The substrate transfer apparatus 110 includes a drive shaft 111, a drive motor (not shown), a lower roller 112, an upper roller 113, a drive shaft guide 114, and a roller guide 115. In addition, the drive motor is for rotating the drive shaft 111, the lower roller 112 is coupled to the drive shaft is interlocked to support and press the lower substrate, the upper roller 113 to the lower roller It is coupled and interlocked to support and press the upper part of the substrate.

그리고, 구동축 가이드(114)는 상기 구동축(111)에 대응되는 홈이 형성되고, 상기 구동축을 지지하고, 롤러 가이드(115)는 상기 상부롤러 및 하부롤러를 지지하기 위한 홀이 형성되고, 상기 상부롤러와 하부롤러를 지니한다. In addition, the driving shaft guide 114 has a groove corresponding to the driving shaft 111, supports the driving shaft, the roller guide 115 is formed with a hole for supporting the upper roller and the lower roller, the upper It has a roller and a lower roller.

그러나, 기판 이송장치가 작동되어, 구동축(111)에 연동되어 하부롤러(112) 및 상부롤러(113)가 회전될 경우, 상기 구동축과 구동축 가이드(114) 사이의 마찰 및 하부,상부롤러와 롤러 가이드(115) 사이의 마찰에 의해 이물질이 발생되고, 상기 이물질이 기판에 붙어, 후 공정인 라미네이터에서 이물질이 기판에 붙은 상태로 드라이필름이 도포되고, 상기 이물질은 미세회로에서 open, short 등의 불량을 유발하는 문제점을 지니고 있다.
However, when the substrate transfer device is operated and the lower roller 112 and the upper roller 113 rotate in conjunction with the drive shaft 111, the friction between the drive shaft and the drive shaft guide 114 and the lower and upper rollers and the rollers. The foreign matter is generated by the friction between the guide 115, the foreign matter is attached to the substrate, the dry film is applied in a state in which the foreign matter is attached to the substrate in the laminator in the post-process, the foreign matter is open, short, etc. in the microcircuit It has a problem that causes a defect.

본 발명의 목적은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 기판 이송장치의 구동축 및 롤러를 베어링에 의해 지지함으로써, 이물질 발생을 억제하고, 기판 건조챔버에 내측블록을 더 구비함으로써, 이물질의 유입이 방지될 뿐만 아니라, 마그네틱 구동부에 의한 연동으로 이물질 발생을 억제되는 기판 건조장치를 제공하기 위한 것이다.
An object of the present invention is to solve the above problems, by supporting the drive shaft and the roller of the substrate transfer device by the bearing, to suppress the generation of foreign matters, and further provided with an inner block in the substrate drying chamber, In addition to being prevented, it is to provide a substrate drying apparatus that suppresses the generation of foreign matters by interlocking by the magnetic drive unit.

상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 기판 건조장치로서, 기판이 수납되는 건조챔버, 상기 건조챔버에 고온의 공기를 공급하는 고온에어 공급부 및 상기 기판을 이송시키는 기판 이송장치를 포함하고, 상기 기판 이송장치는 구동축과, 상기 구동축을 회전시키는 구동모터와, 구동축에 결합되어 연동되고 기판을 하부를 지지·가압하는 하부롤러와, 상기 하부롤러에 결합되어 연동되고 기판의 상부를 지지·가압하는 상부롤러와, 상기 구동축, 하부롤러 및 상부롤러를 각각 지지하는 베어링을 구비하는 가이드부를 포함하고, 상기 가이드부는 상기 구동축을 지지하기 위한 홈이 형성되고, 상기 구동축이 삽입·지지되는 베어링을 구비하는 구동축 가이드와, 상기 상부롤러 및 하부롤러를 지지하기 위한 홀이 형성되고, 상기 상부롤러 및 하부롤러가 삽입·지지되는 베어링을 구비하는 롤러 가이드 및 상기 구동축 가이드와 롤러 가이드가 서로 이격되도록 양단이 구동축 가이드와 롤러 가이드에 각각 고정되는 가이드 포스트를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object of the present invention, the present invention provides a substrate drying apparatus including a drying chamber in which a substrate is accommodated, a high temperature air supply unit supplying hot air to the drying chamber, and a substrate transfer apparatus for transferring the substrate. The substrate transfer apparatus includes a drive shaft, a drive motor for rotating the drive shaft, a lower roller coupled to the drive shaft and interlocked to support and pressurize the substrate, and coupled to the lower roller to support and support the upper portion of the substrate. And a guide portion having a pressurizing upper roller and a bearing for supporting the drive shaft, the lower roller, and the upper roller, respectively, wherein the guide portion is formed with a groove for supporting the drive shaft, the bearing being inserted and supported by the drive shaft. A driving shaft guide having a hole and a hole for supporting the upper roller and the lower roller, and the upper roller and the lower roller are formed. It characterized in that both ends of a guide post that is fixed to the drive shaft and the guide roller and the guide roller guides the drive shaft and the guide roller guide comprising a roller bearing which is inserted into the support, to be spaced apart from each other.

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그리고 본 발명에 따른 기판 건조장치의 기판 이송장치는 상기 롤러 가이드와 기판 사이에 위치되고, 이물질 유입을 방지하기 위한 내측블록이 더 구비한다. And the substrate transfer apparatus of the substrate drying apparatus according to the present invention is located between the roller guide and the substrate, and further includes an inner block for preventing the inflow of foreign matter.

그리고 본 발명에 따른 기판 건조장치의 기판 이송장치는 일 실시예로서, 상기 구동축은 기어를 구비하고, 상기 하부롤러는 상기 구동축의 기어에 치합되는 기어를 구비하고, 상기 하부롤러는 상기 구동축의 회전방향 대하여 직교방향으로 연동되도록, 상기 구동축의 기어 및 하부롤러의 기어는 헬리컬기어로 구현되는 것이 바람직하다. And the substrate transfer apparatus of the substrate drying apparatus according to the present invention is an embodiment, wherein the drive shaft is provided with a gear, the lower roller is provided with a gear meshed with the gear of the drive shaft, the lower roller is the rotation of the drive shaft The gear of the drive shaft and the gear of the lower roller are preferably implemented as helical gears so as to interlock in a direction perpendicular to the direction.

또한, 상기 하부롤러는 기어를 더 구비하고, 상기 상부롤러는 상기 하부롤러의 기어에 치합되는 기어를 구비한다. In addition, the lower roller is further provided with a gear, the upper roller is provided with a gear meshed with the gear of the lower roller.

그리고 본 발명에 따른 기판 건조장치의 기판 이송장치는 다른 실시예로서, 상기 구동축은 구동 마그네트를 구비하고, 상기 하부롤러는 상기 구동축의 구동 마그네트에 대응되는 연동 마그네트를 구비하고, 상기 하부롤러는 구동축의 회전방향에 대하여 직교방향으로 연동된다. And the substrate transfer apparatus of the substrate drying apparatus according to the present invention as another embodiment, the drive shaft is provided with a driving magnet, the lower roller is provided with an interlocking magnet corresponding to the drive magnet of the drive shaft, the lower roller is a drive shaft It interlocks in a direction orthogonal to the direction of rotation.

또한, 상기 상부롤러는 상기 하부롤러의 연동 마그네트에 대응되는 연동 마그네트를 구비하고, 상기 상부롤러는 상기 하부롤러에 연동된다.In addition, the upper roller has an interlocking magnet corresponding to the interlocking magnet of the lower roller, the upper roller is linked to the lower roller.

또한, 상기 하부롤러는 기어를 더 구비하고, 상기 상부롤러는 상기 하부롤러의 기어에 치합되는 기어를 구비한다.
In addition, the lower roller is further provided with a gear, the upper roller is provided with a gear meshed with the gear of the lower roller.

본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로부터 더욱 명백해질 것이다. The features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description based on the accompanying drawings.

이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이고 사전적인 의미로 해석되어서는 아니 되며, 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
Prior to this, terms and words used in the present specification and claims should not be construed in a conventional and dictionary sense, and the inventor may appropriately define the concept of the term in order to best describe its invention The present invention should be construed in accordance with the spirit and scope of the present invention.

본 발명은 기판 이송장치의 구동축 및 롤러를 베어링에 의해 지지함으로써, 이물질 발생이 억제되고, 기판 건조챔버에 내측블록을 더 구비함으로써, 이물질의 유입이 방지될 뿐만 아니라, 마그네틱 구동부에 의한 연동으로 이물질 발생을 억제되는 기판 건조장치를 제공하는 효과를 갖는다.
The present invention is supported by the drive shaft and the roller of the substrate transfer device by the bearing, the foreign matter generation is suppressed, by further comprising an inner block in the substrate drying chamber, the foreign material is not only prevented from entering, foreign matter by interlocking by the magnetic drive unit It has the effect of providing the board | substrate drying apparatus which suppresses generation | occurrence | production.

도 1은 종래기술에 따른 기판 건조장치의 개략적인 구성도.
도 2는 도 1에 나타낸 기판 건조장치의 기판 이송장치의 개략적인 부분 정면도.
도 3은 본 발명에 따른 기판 건조장치의 기판 이송장치을 개략적으로 나타낸 부분 구성도.
도 4는 도 3에 나타낸 기판 이송장치의 개략적인 부분 정면도.
1 is a schematic configuration diagram of a substrate drying apparatus according to the prior art.
FIG. 2 is a schematic partial front view of the substrate transfer apparatus of the substrate drying apparatus shown in FIG. 1. FIG.
Figure 3 is a partial configuration diagram schematically showing a substrate transfer device of the substrate drying apparatus according to the present invention.
4 is a schematic partial front view of the substrate transfer device shown in FIG. 3;

본 발명의 목적, 특정한 장점들 및 신규한 특징들은 첨부된 도면들과 연관되어지는 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시예들로부터 더욱 명백해질 것이다. 본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다.
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The objectives, specific advantages and novel features of the present invention will become more apparent from the following detailed description taken in conjunction with the accompanying drawings, in which: FIG. It should be noted that, in the present specification, the reference numerals are added to the constituent elements of the drawings, and the same constituent elements are assigned the same number as much as possible even if they are displayed on different drawings. In the following description, well-known functions or constructions are not described in detail since they would obscure the invention in unnecessary detail.

이하, 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 건조장치에 대하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, a substrate drying apparatus according to a preferred embodiment of the present invention with reference to the accompanying drawings will be described in detail.

본 발명에 따른 기판 건조장치는 기판이 수납되는 건조챔버, 상기 건조챔버에 고온의 공기를 공급하는 고온에어 공급부 및 상기 기판을 이송시키는 기판 이송장치를 포함한다.The substrate drying apparatus according to the present invention includes a drying chamber in which a substrate is accommodated, a high temperature air supply part supplying high temperature air to the drying chamber, and a substrate transfer device for transferring the substrate.

보다 구체적으로, 상기 고온에어 공급부는 에어 블로어, 히터 및 이송관을 포함하고,상기 에어 블로어는 공기를 제공하기 위한 것이고, 상기 히터는 상기 공기의 온도를 상승시켜 고온의 공기를 제공하기 위한 것이고, 상기 이송관은 고온의 공기를 에어필터 및 건조챔버에 전달하기 위한 것이다.
More specifically, the hot air supply unit comprises an air blower, a heater and a transfer pipe, the air blower is for providing air, the heater is for providing a high temperature air by raising the temperature of the air, The conveying pipe is for delivering hot air to the air filter and the drying chamber.

도 3은 본 발명에 따른 기판 건조장치의 기판 이송장치을 개략적으로 나타낸 부분 구성도이고, 도 4는 도 3에 나타낸 기판 이송장치의 개략적인 부분 정면도이다. 도시한 바와 같이, 상기 기판 이송장치(200)는 구동축(210), 하부롤러(220), 상부롤러(230) 및 가이드부를 포함한다. 3 is a partial configuration diagram schematically showing the substrate transfer apparatus of the substrate drying apparatus according to the present invention, and FIG. 4 is a schematic partial front view of the substrate transfer apparatus shown in FIG. 3. As shown, the substrate transfer apparatus 200 includes a drive shaft 210, the lower roller 220, the upper roller 230 and the guide portion.

보다 구체적으로, 상기 구동축은 구동모터(미도시)에 의해 회전되고, 상기 하부롤러(220)는 구동축에 결합되어 연동되고 기판을 하부를 지지·가압하고, 상기 상부롤러는 상기 하부롤러에 결합되어 연동되고 기판의 상부를 지지·가압하고, 상기 가이드부는 상기 구동축, 하부롤러 및 상부롤러를 지지하기 위한 것이다.More specifically, the drive shaft is rotated by a drive motor (not shown), the lower roller 220 is coupled to the drive shaft and interlocked to support and press the lower substrate, the upper roller is coupled to the lower roller It interlocks and supports and presses the upper part of a board | substrate, and the said guide part is for supporting the said drive shaft, the lower roller, and the upper roller.

또한, 상기 가이드부는 구동축 가이드(241)와 롤러 가이드(242)를 포함한다. 그리고 상기 구동축 가이드(241)는 상기 구동축(210)을 지지하기 위한 홈이 형성되고, 상기 구동축(210)이 삽입·지지되는 베어링(243)을 구비하고, 상기 롤러 가이드(242)는 상기 상부롤러 및 하부롤러가 각각 삽입되는 홀이 형성되고, 상기 상부롤러(230)가 삽입·지지되는 베어링(245)과 하부롤러(220)가 삽입·지지되는 베어링(244)을 구비한다.In addition, the guide part includes a drive shaft guide 241 and a roller guide 242. The drive shaft guide 241 is provided with a groove for supporting the drive shaft 210, and includes a bearing 243 into which the drive shaft 210 is inserted and supported. The roller guide 242 includes the upper roller. And a hole into which a lower roller is inserted, respectively, and a bearing 245 into which the upper roller 230 is inserted and supported, and a bearing 244 into which the lower roller 220 is inserted and supported.

또한, 본 발명에 따른 기판 이송장치(200)는 상기 구동축 가이드(241)와 롤러 가이드(242)는 서로 이격되도록 양단이 구동축 가이드와 롤러 가이드에 각각 고정되는 가이드 포스트(246)를 더 구비하고, 상기 가이드 포스트에 의해 롤러 가이드(242)와 구동축 가이드(241)의 간격에 의해 이물질 발생이 저하된다. In addition, the substrate transport apparatus 200 according to the present invention further includes a guide post 246 fixed at both ends of the drive shaft guide 241 and the roller guide 242 to the drive shaft guide and the roller guide so as to be spaced apart from each other. The foreign matter generation is reduced by the gap between the roller guide 242 and the drive shaft guide 241 by the guide post.

또한, 본 발명에 따른 기판 이송장치(200)는 상기 롤러 가이드와 상기 건조챔버 내에 이송되는 기판(500) 사이에 위치되는 내측블록(250)을 더 포함하고, 상기 내측블록(250)에 의해 이물질 유입을 방지된다. In addition, the substrate transfer apparatus 200 according to the present invention further includes an inner block 250 positioned between the roller guide and the substrate 500 transferred in the drying chamber, and the foreign matter by the inner block 250. Inflow is prevented.

또한, 본 발명에 따른 기판 이송장치(200)의 연동은 기어에 의해 구현될 수 있으며, 구동 마그네트에 의해 구현될 수도 있다. In addition, the interworking of the substrate transfer apparatus 200 according to the present invention may be implemented by a gear, it may be implemented by a drive magnet.

그리고 일 실시예로서 기판 이송장치가 기어(미도시)에 의해 구현되는 경우, 상기 구동축은 기어를 구비하고, 상기 하부롤러는 상기 구동축의 기어에 치합되는 기어를 구비하고, 상기 하부롤러는 상기 구동축의 회전방향 대하여 직교방향으로 연동되도록, 상기 구동축의 기어 및 하부롤러의 기어는 헬리컬기어이다. 또한, 상기 하부롤러는 기어를 더 구비하고, 상기 상부롤러는 상기 하부롤러의 기어에 치합되는 기어를 구비한다.And as an embodiment when the substrate transfer device is implemented by a gear (not shown), the drive shaft is provided with a gear, the lower roller is provided with a gear meshed with the gear of the drive shaft, the lower roller is the drive shaft The gear of the drive shaft and the gear of the lower roller are helical gears so as to interlock in a direction perpendicular to the rotational direction of the shaft. In addition, the lower roller is further provided with a gear, the upper roller is provided with a gear meshed with the gear of the lower roller.

이와 같이 이루어짐에 따라, 모터에 의한 구동축의 회전에 연동되어 하부롤러가 회전되고, 상기 하부롤러의 회전에 연동되어 상부롤러가 회전됨에 따라, 상기 하부롤러와 상부롤러 사이의 기판은 이송된다. As such, the lower roller is rotated in association with the rotation of the drive shaft by the motor, and as the upper roller is rotated in conjunction with the rotation of the lower roller, the substrate between the lower roller and the upper roller is transferred.

그리고 다른 실시예로서, 구동 마그네트에 의해 구현되는 경우, 서로다른 극성을 갖는 마그네트의 척력 및 서로 같은 극성을 갖는 마그네트의 인력에 의해 연동되어 회전되고, 이를 위해 상기 구동축은 구동 마그네트를 구비하고, 상기 하부롤러는 상기 구동축의 구동 마그네트에 대응되는 연동 마그네트를 구비하고, 상기 하부롤러는 구동축의 회전방향에 대하여 직교방향으로 연동되도록 장착된다. 또한, 상기 상부롤러는 상기 하부롤러의 연동 마그네트에 대응되는 연동 마그네트를 구비하고, 상기 상부롤러는 상기 하부롤러에 연동된다. And as another embodiment, when implemented by a driving magnet, the revolving force of the magnet having a different polarity and the attraction force of the magnet having the same polarity is interlocked, for this purpose, the drive shaft is provided with a driving magnet, The lower roller has an interlocking magnet corresponding to the driving magnet of the drive shaft, and the lower roller is mounted to interlock in a direction perpendicular to the rotational direction of the drive shaft. In addition, the upper roller has an interlocking magnet corresponding to the interlocking magnet of the lower roller, the upper roller is linked to the lower roller.

또한, 상기 하부롤러는 기어를 더 구비하고, 상기 상부롤러는 상기 하부롤러의 기어에 치합되는 기어를 구비하여 구동될 수도 있다. In addition, the lower roller may further include a gear, and the upper roller may be driven with a gear engaged with the gear of the lower roller.

이와 같이 이루어짐에 따라, 기판 건조장치 외부의 이물질 뿐만 아니라, 기판 이송장치의 조작에 따른 이물질에 의해 기판을 오염되지 않도록, 이물질의 발생을 원천적으로 방치하고, 이의 유입을 차단할 수 있다.
As such, as well as foreign matters outside the substrate drying apparatus, the generation of the foreign matters may be left at the source, and the inflow thereof may be blocked so that the substrates are not contaminated by the foreign matters caused by the operation of the substrate transfer device.

이상 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명에 따른 기판 건조장치는 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당해 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함은 명백하다고 할 것이다. Although the present invention has been described in detail through specific examples, this is for describing the present invention in detail, and the substrate drying apparatus according to the present invention is not limited thereto, and the general knowledge in the art within the technical spirit of the present invention. It is obvious that modifications and improvements are possible by those who have them.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 모두 본 발명의 영역에 속하는 것으로 본 발명의 구체적인 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의하여 명확해질 것이다.
It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.

100 : 기판 건조장치 110 : 기판 이송장치
111 : 구동축 112 : 하부롤러
113 : 상부롤러 114 : 구동축 가이드
115 : 롤러 가이드 200 : 기판 이송장치
210 : 구동축 220 : 하부롤러
230 : 상부롤러 241 : 구동축 가이드
242 : 롤러 가이드 243, 244, 245 : 베어링
250 : 내측블록 500 : 기판100: substrate drying apparatus 110: substrate transfer apparatus
111: drive shaft 112: lower roller
113: upper roller 114: drive shaft guide
115: roller guide 200: substrate feeder
210: drive shaft 220: lower roller
230: upper roller 241: drive shaft guide
242: roller guides 243, 244, 245: bearing
250: inner block 500: substrate

Claims (9)

기판이 수납되는 건조챔버, 상기 건조챔버에 고온의 공기를 공급하는 고온에어 공급부 및 상기 기판을 이송시키는 기판 이송장치를 포함하는 기판 건조장치로서,
상기 기판 이송장치는
구동축;
상기 구동축을 회전시키는 구동모터;
구동축에 결합되어 연동되고 기판을 하부를 지지·가압하는 하부롤러;
상기 하부롤러에 결합되어 연동되고 기판의 상부를 지지·가압하는 상부롤러; 및
상기 구동축, 하부롤러 및 상부롤러를 각각 지지하는 베어링을 구비하는 가이드부를 포함하고,
상기 가이드부는
상기 구동축을 지지하기 위한 홈이 형성되고, 상기 구동축이 삽입·지지되는 베어링을 구비하는 구동축 가이드;
상기 상부롤러 및 하부롤러를 지지하기 위한 홀이 형성되고, 상기 상부롤러 및 하부롤러가 삽입·지지되는 베어링을 구비하는 롤러 가이드; 및
상기 구동축 가이드와 롤러 가이드가 서로 이격되도록 양단이 구동축 가이드와 롤러 가이드에 각각 고정되는 가이드 포스트를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 건조장치.
A substrate drying apparatus including a drying chamber in which a substrate is accommodated, a high temperature air supply part supplying high temperature air to the drying chamber, and a substrate transfer device for transferring the substrate.
The substrate transfer device
driving axle;
A drive motor for rotating the drive shaft;
A lower roller coupled to the drive shaft and interlocked to support and press the lower part of the substrate;
An upper roller coupled to the lower roller and interlocked to support and press the upper portion of the substrate; And
And comprising a guide having a bearing for supporting the drive shaft, the lower roller and the upper roller, respectively,
The guide portion
A drive shaft guide having a groove for supporting the drive shaft and having a bearing into which the drive shaft is inserted and supported;
A roller guide having a hole for supporting the upper roller and the lower roller, the roller guide having a bearing into which the upper roller and the lower roller are inserted and supported; And
And a guide post having both ends fixed to the drive shaft guide and the roller guide so that the drive shaft guide and the roller guide are spaced apart from each other.
삭제delete 삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 롤러 가이드와 기판 사이에 위치되고, 이물질 유입을 방지하기 위한 내측블록이 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 건조장치.
The method according to claim 1,
Located between the roller guide and the substrate, the substrate drying apparatus characterized in that it further comprises an inner block for preventing the inflow of foreign matter.
청구항 1에 있어서,
상기 구동축은 기어를 구비하고,
상기 하부롤러는 상기 구동축의 기어에 치합되는 기어를 구비하고,
상기 하부롤러는 상기 구동축의 회전방향 대하여 직교방향으로 연동되도록, 상기 구동축의 기어 및 하부롤러의 기어는 헬리컬기어인 것을 특징으로 하는 기판 건조장치.
The method according to claim 1,
The drive shaft has a gear,
The lower roller has a gear that is meshed with the gear of the drive shaft,
And the gears of the drive shaft and the gears of the lower roller are helical gears so that the lower rollers interlock in a direction perpendicular to the rotational direction of the drive shaft.
청구항 5에 있어서,
상기 하부롤러는 기어를 더 구비하고,
상기 상부롤러는 상기 하부롤러의 기어에 치합되는 기어를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 건조장치.
The method according to claim 5,
The lower roller is further provided with a gear,
The upper roller has a gear that is geared to the gear of the lower roller substrate drying apparatus, characterized in that.
청구항 1에 있어서,
상기 구동축은 구동 마그네트를 구비하고,
상기 하부롤러는 상기 구동축의 구동 마그네트에 대응되는 연동 마그네트를 구비하고, 상기 하부롤러는 구동축의 회전방향에 대하여 직교방향으로 연동되는 것을 특징으로 하는 기판 건조장치.
The method according to claim 1,
The drive shaft has a drive magnet,
And the lower roller has an interlocking magnet corresponding to the driving magnet of the drive shaft, and the lower roller is interlocked in a direction perpendicular to the rotation direction of the drive shaft.
청구항 7에 있어서,
상기 상부롤러는 상기 하부롤러의 연동 마그네트에 대응되는 연동 마그네트를 구비하고, 상기 상부롤러는 상기 하부롤러에 연동되는 것을 특징으로 하는 기판 건조장치.
The method of claim 7,
The upper roller has an interlocking magnet corresponding to the interlocking magnet of the lower roller, the upper roller is connected to the lower roller substrate drying apparatus, characterized in that.
청구항 7에 있어서,
상기 하부롤러는 기어를 더 구비하고,
상기 상부롤러는 상기 하부롤러의 기어에 치합되는 기어를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 건조장치. The method of claim 7,
The lower roller is further provided with a gear,
The upper roller has a gear that is geared to the gear of the lower roller substrate drying apparatus, characterized in that.
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