KR101297400B1

KR101297400B1 - 기울기센서 및 그 제조방법

Info

Publication number: KR101297400B1
Application number: KR1020110072610A
Authority: KR
Inventors: 공성호; 최주찬; 최영찬
Original assignee: 경북대학교 산학협력단
Priority date: 2011-07-21
Filing date: 2011-07-21
Publication date: 2013-08-19
Also published as: KR20130011451A

Abstract

본 발명의 일실시예는 기울기 센서에 관한 것으로서 상부개방홈과 하부 관통홈을 포함하는 제1기판, 제1기판의 상부에 형성되는 복수의 금속전극 그리고 제1기판의 하부에 배치되는 공통전극을 포함하며, 상부개방홈에는 전해질 용액이 저장되고, 상부개방홈이 관통홈에 의해서 공통전극과 연통되도록 배치된다.

Description

기울기센서 및 그 제조방법{Tilt sensor and method for forming the same}

본 명세서에 개시된 발명의 사상에 따른 실시예들은 기울기센서 및 그 제조방법에 대한 것이다.

MEMS(미세전자기계시스템, 이하 "멤스"라 함)는 실리콘이나 수정, 유리 등을 가공해 초고밀도 집적회로, 머리카락 절반 두께의 초소형 기어, 손톱 크기의 하드디스크 등 초미세 기계구조물을 만드는 기술을 말한다. 멤스로 만든 미세 기계는 마이크로미터(100만분의 1 미터) 이하의 정밀도를 갖는다. 구조적으로는 증착과 식각 등의 과정을 반복하는 반도체 미세공정기술을 적용해 저렴한 비용으로 초소형 제품의 대량생산을 가능케 하고, 구동력은 전하간에 서로 당기는 힘인 정전기력과 표면장력 등을 이용해 전류를 발생시켜 전력소비량을 크게 낮추는 원리를 적용한다. 멤스기술은 나노 및 시스템온칩(SoC) 기술의 등장과 함께 중요성이 날로 부각되고 있다. 멤스는 20세기의 대표적인 산업기술인 반도체 기술에 버금가는 21세기 최대 유망 기술로 현재 멤스 기술의 응용 범위는 다양하다.

특히 멤스기술을 이용한 기울기 센서는 자동차의 타이어압 측정시스템, 서스펜션시스템, 도난경보시스템, 리모콘, 핸드폰, 게임기 등 많은 장치에 포함된다. 기존의 전해질을 이용한 기울기 센서는 1축을 기준으로 한 기울기 측정이 가능하였다. 도1은 1축 전해질 기울기 센서의 사시도이다. 도1에 도시된 바와 같이 4개의 모서리에 전극이 형성되어 있으나 2개는 각각 ＋전극, －전극이고, 나머지는 공통전극이다. 전해질 용액에 직류전류를 흐르게 하면 전류가 센서쪽으로 직접 흐르게 되어 센서의 성능저하 및 드리프트 등을 유발하게 되어 교류전류를 흘려주어야 한다. 공통전극은 반드시 필요하고 공통전극의 존재로 인해 1축에 대해서만 기울기 측정이 가능하다.

본 발명의 일실시예에 의하면 2축방향의 기울기를 감지할 수 있으며, 작은 크기를 갖는 기울기 센서가 제공되며, 제조공정의 변화없이 추가공정을 통해서 성능이 향상되고 2축방향의 기울기를 감지할 수 있는 기울기 센서가 제공된다.

본 발명의 일실시예인 기울기 센서는 전해질 용액이 저장되는 상부개방홈과 하부 관통홈을 포함하는 제1기판, 상기 제1기판의 상부에 형성되는 복수의 금속전극; 그리고 상기 제1기판의 하부에 배치되는 공통전극을 포함하며, 상기 공통전극이 상기 관통홈에 의해서 상기 상부개방홈과 연통되도록 배치된다.

실시예로서, 상기 관통홈은 상기 공통전극에 의해서 밀폐될 수 있으며, 상기 상부개방홈은 상광하협(上廣下浹)의 개방홈일 수 있다.

실시예로서, 상기 제1기판의 하부면을 밀폐시키는 제2기판을 더 포함할 수 있다.

실시예로서, 상기 상부개방홈은 수평절단면이 사각형 형상이며, 상기 금속전극은 상기 상부개방홈 각각의 경사면에 상호 절연되게 형성될 수 있다.

실시예로서, 상기 금속전극 각각에 연결되어 전원을 공급하는 리드선을 더 포함될 수 있다.

실시예로서, 전해질용액이 저장되는 상기 상부개방홈이 밀폐되도록 상기 제1기판의 상부면에 부착되는 밀폐수단을 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예인 기울기 센서를 제조하는 방법은 제1기판에 상부개방홈을 형성하는 단계, 상기 상부개방홈이 형성된 면과 대응되는 면에 관통홈을 형성하는 단계를 포함한다.

실시예로서, 상기 상부개방홈의 경사면에 금속전극을 형성하는 단계, 상기 제1기판의 하부에 상기 관통홈에 의해서 상기 상부개방홈과 연통되도록 공통전극을 형성하는 단계, 상기 제1기판의 하부에 제2기판을 부착하는 단계, 상기 상부개방홈에 전해질용액을 저장하는 단계 그리고 상기 제1기판의 상부개방홈을 밀폐하는 밀폐수단을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.

실시예로서, 상기 금속전극을 형성하는 단계는 스핀코팅공정 또는 스프레이 코팅공정에 의해서 형성될 수 있다.

실시예로서, 상기 밀폐수단을 형성하는 단계 이후에 리드선을 연결하는 단계를 포함할 수 있다.

본 발명의 일실시예인 전해질 기울기 센서는 사각형상의 상부개방홈을 포함하고, 하부면 중심에 관통홈을 포함하는 제1기판, 상기 상부개방홈의 모서리에 각각 배치되는 금속전극, 상기 관통홈을 밀폐시키고 제1기판의 하부면에 배치되는 공통전극, 상기 상부개방홈의 모서리에 배치되는 금속전극의 소정구간이 잠기도록 상기 상부개방홈에 담지되는 전해질 용액 그리고 상기 상부개방홈을 밀폐시키는 밀폐수단을 포함한다.

본 발명의 실시예들은 다음에 열거된 효과들 중 적어도 하나 이상을 나타낸다.

첫째, 2축의 기울기를 측정할 수 있다.

둘째, 센서의 크기를 줄일 수 있다.

셋째, 기존공정에 변화없이 기울기센서를 제조할 수 있다.

도1은 1축 전해질 기울기 센서의 사시도이다.
도2는 본 발명의 일실시예인 2축 전해질 기울기센서의 사시도이다.
도3은 y-y`직선으로 본 발명의 일실시예인 기울기 센서를 자른 단면도이다.
도4는 본 발명의 일실시예인 기울기 센서가 기울어진 경우의 단면도이다.
도5는 본 발명의 일실시예인 기울기 센서의 저항배치 개념도이다.
도6은 본 발명의 일실시예인 기울기 센서의 회로도이다.
도7은 본 발명의 일실시예인 기울기 센서의 각도변화에 따른 V_o의 변화추이를 나타내는 그래프이다.
도8은 본 발명의 일실시예인 기울기 센서의 제조방법 순서도이다.

실시예는 여러 가지 다른 형태들로 구체화되어질 수 있고, 여기에서 설명되는 양태들로 한정되는 것으로 해석되지 않는다. 오히려, 상기 양태들은 실시예들을 더욱 철저하고 완전하게 되도록 해주며, 당업자에게 실시예들의 영역을 충분히 전달할 수 있도록 해준다. 비록 제1, 제2 .. 등의 용어들이 여러 구성 요소들을 기술하기 위하여 여기에서 사용되어 질 수 있다면, 상기 구성 요소들은 이러한 용어들로 한정되지 않는 것으로 이해되어 질 것이다. 단지 이러한 용어들은 어떤 구성 요소로부터 다른 구성 요소를 구별하기 위해서 사용되어질 뿐이다.

명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 본 명세서에서 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다.

본 발명의 일실시예는 MEMS(Micro electro mechanical systems) 즉 미세전자기계시스템 기술을 활용한 2축 전해질 기울기 센서에 관한 것이다. 본 발명의 일실시예인 기울기 센서는 2축의 기울기를 검출하기 위해서 4개의 금속전극을 4방향의 모서리에 각각 배치하고 공통전극을 기판의 중심에 홈을 뚫어 기판의 하부에 배치한다.

이하 도면을 참고하여 보다 상세하게 설명한다.

도2는 본 발명의 일실시예인 2축 전해질 기울기센서의 사시도이다.

도2에 도시된 바와 같이 본 발명의 일실시예인 2축 전해질 기울기 센서는 상광하협의 상부개방(120)홈을 포함하는 제1기판(100), 제1기판(100)의 상부에 복수의 금속전극(200)을 포함하며, 제1기판(100)의 하부에 관통홈(140)을 포함하고, 전해질 용액이 저장되는 상부개방홈(120)과 관통홈(140)에 의해서 연통되도록 제1기판(100)의 하부에 배치되는 공통전극(280)을 포함한다.

제1기판(100)은 실리콘 기판일 수 있으며, 제1기판은 상광하협의 상부개방홈(120)을 포함한다. 제1기판(100)을 식각하는 공정을 통해 상부개방홈(120)을 형성한다. 식각기술로서 벌크 마이크로머시닝 기술이 사용될 수 있다. 본 발명의 일실시예인 기울기센서의 일부구성인 제1기판(100)은 사각형상일 수 있으며, 제1기판(100)의 상부에 형성되어 있는 상부개방홈(120) 또한 사각형상일 수 있다. 식각공정을 통해서 형성된 제1기판(100)의 상부개방홈(120)은 상부의 단면적이 넓고 하부로 내려갈수록 단면적이 작아지는 상광하협의 형상을 하고 있다. 제1기판(100)의 상부개방홈(120)은 모서리가 소정의 기울기로 경사져서 형성된다.

제1기판(100)의 상부에 형성된 금속전극(200)은 기울기센서에 전력이 공급되는 부분으로 전기전도성이 있으며, 상부개방홈(120)의 경사진 모서리에 각각 배치되어 리드선(미도시)과 연결된다. 금속전극(200)의 일부가 상부개방홈(120)에 저장되어 있는 전해질용액에 잠겨 있으며, 금속전극(200)과 공통전극(280) 저항 변화로 인해서 기울기 측정이 가능하다.

제1기판(100)의 상부에 금속전극(200)을 형성하는 방법은 스프레이코딩(spray coating)방법일 수 있다. 울트라소닉 스프레이 노즐을 사용하여 특정 주파수의 전원을 공급하면 액상의 포토레지스터가 미세입자크기의 분체상태로 분무된다. 분무되는 입자의 크기는 울트라소닉 스프레이 노즐 내부에 있는 초음파 진동자의 구동주파수에 따라 변한다. 제1기판의 상부에 형성된 섀도우마스크에 Au와 같은 전도성 물질을 e-beam evaporator를 이용하여 증착시킨다.

제1기판(100)의 하부에는 관통홈(140)이 형성된다. 실리콘 기판의 식각공정을 통해서 관통홈(140)이 형성되며, 상부개방홈(120)은 관통홈(140)에 의해서 제1기판의 하부면이 개방된다. 관통홈(140)에 의해서 상부개방홈(120)은 제1기판(100)의 하부면에 형성되는 공통전극(280)과 연통된다. 관통홈(140)에도 전해질용액이 저장된다.

앞서 살펴본 바와 같이 제1기판(100)의 하부면에 공통전극(280)이 형성된다. 공통전극(280)은 상부개방홈의 경사진 모서리에 형성된 각각의 금속전극과 저항값의 변화를 결정하기 위한 기준전극이다. 제1기판(100)의 하부면에 형성되어 있고 관통홈(140)에 의해서 상부개방홈(120)과 연통된다.

상부개방홈(120)에 저장되는 전해질 용액은 염화칼륨, DI(Deionized) water, 에탄올, 메탄올을 포함하는 용액일 수 있다.

상부개방홈(120)에 포함된 전해질 용액을 외부와 밀폐시키기 위해서 제1기판의 상부면에 밀폐수단(400)이 부착된다. 밀폐수단(400)은 유리기판일 수 있으며 다양한 재질의 밀봉재를 사용할 수 있다.

제1기판(100)의 하부면에 제2기판(300)이 부착된다. 제2기판(300)이 부착됨으로서 제1기판(100)에 형성된 공통전극(280)과 관통홀(140)을 밀폐시켜 전해질 용액의 누수를 막고 공통전극(280)의 리드선 연결부위가 제2기판(300)에 형성될 수 있도록 한다.

제2기판(300)은 제1기판과 같은 재질일 수 있으며, 실리콘 기판일 수 있다.

이하 본 발명의 일실시예인 기울기 센서의 동작에 대해서 살펴본다.

설명의 편의상 도2에 도시된 상부개방홈의 경사진 모서리에 배치되는 복수의 금속전극을 제1전극(210), 제2전극(220), 제3전극(230), 제4전극(240)이라 칭한다. 그러나 본 발명의 권리범위는 반드시 이러한 내용에 제한되지 않는다.

본 발명의 일실시예인 기울기 센서는 2축 기울기를 측정할 수 있다. 도2에 도시된 바와 같이 기울기 센서가 xy평면상에 놓인 것을 가정하면 본 발명의 일실시예인 기울기 센서는 x축을 중심으로 기울어진 각도와 y축을 중심으로 기울어진 각도를 측정할 수 있다.

도3은 y-y`직선으로 본 발명의 일실시예인 기울기 센서를 자른 단면도이다.

도4는 본 발명의 일실시예인 기울기 센서가 기울어진 경우의 단면도이다.

도3에 도시된 바와 같이 제1전극(210)과 제3전극(230)이 전해질 용액(500)에 같은 높이로 잠겨 있다. 공통전극(280)과 제1전극(210)과의 제1저항값과 제3전극(230)과 공통전극(280)과의 제3저항값은 소정을 값을 갖는다. 그러나 도4에 도시된 바와 같이 x축을 중심으로 각도 θ만큼 기울어진 경우 기울기 센서 내부에 포함된 전해질 용액(500)은 제1전극(210)쪽으로 치우치게 되고 제1전극(210)과 제3전극(230)이 전해질 용액에 잠기는 높이가 달라짐으로서 제1저항값과 제3저항값이 변화하게 된다. 이처럼 변화된 저항에 의해서 기울어진 각도 θ를 추론한다. 도3에 도시된 x축을 중심으로 한 기울어짐은 제1전극(210)과 제3전극(230) 각각의 저항값 변화를 통해서 검출하고, y축을 중심으로 한 기울어짐은 제2전극(220)과 제4전극(240) 각각의 저항값 변화를 통해서 검출한다.

공통전극(280)이 관통홈(140)에 의해서 제1기판(100)의 하부에 배치되어 있어 2방향의 기울어짐을 하나의 기울기 센서를 통해서 모두 검출할 수 있게 된다.

도5는 본 발명의 일실시예인 기울기 센서의 저항배치 개념도이다.

도5에 도시된 바와 같이 제1전극(210)과 공통전극(280) 사이의 저항을 R₁ 이라 하고 제3전극(230)과 공통전극(280) 사이의 저항을 R₃라 한다. DC(직류전류)가 전해질 용액에 인가된 경우 전해질 용액에 포함된 양전하와 음전하는 각각 - 전극과 ＋ 전극으로 이동한다. 이러한 상태로 방치하게 되면 전해질 용액은 비전도성 수용액이 된다. 이러한 전해질의 변화를 막고 기울기 센서를 동작시키기 위해서는 AC(교류전류)가 전해질 용액에 인가된다. 도5에 구성된 회로와 같이 본 발명의 일실시예인 기울기 센서는 휘트스톤브릿지를 사용하여 저항을 측정한다.

제1전극(210)은 외부저항 R_a 에 연결되고 제3전극(230)은 외부저항 R_b 에 연결된다.

도6은 본 발명의 일실시예인 기울기 센서의 회로도이다.

도6에 도시된 바에 의하면 제1전극에 연결된 입력단자 V_i과 제3전극에 연결된 출력단자 V_o 은 V_i×(R_K/(R_K+R_x))=V_o 의 관계를 갖는다. 또한 R₁+R₃=R_x이다. R_K가 알려져 있다면 R₁, R₃ 는 계산된다. 만약 도3과 같이 기울기 센서가 평형을 유지하고 있다면 휘트스톤브리지 정리에 의해서 E₀ = 0이 된다. R₁R_b=R₂R_a 도 성립한다. 그러나 도4와 같이 기울기 센서가 기울어져 있다면 R₁R_b≠R₂R_a 이 되고 E₀ ≠ 0이다.

도4와 같이 기울어진 기울기 센서의 V_o값은 기울어진 각도에 따라서 변화하는 R₁, R₃ 값에 의해서 변화하게 된다.

도7은 본 발명의 일실시예인 기울기 센서의 각도변화에 따른 V_o의 변화추이를 나타내는 그래프이다.

도7에 도시된 바와 같이 기울기의 변화에 따라서 V_o 은 선형적으로 변하게 되고 출력단자인 V_o 값을 알게 된 경우 기울기 센서의 기울어진 각도를 도7의 그래프에 의해서 산출이 가능하다.

이하 본 발명의 실시예인 기울기 센서의 제조방법에 대해서 살펴본다.

도8은 본 발명의 일실시예인 기울기 센서의 제조방법 순서도이다.

도8에 도시된 바와 같이 본 발명의 일실시예인 기울기 센서의 제조방법은 제1기판에 상부개방홈을 형성하는 단계(S1000), 상부개방홈이 형성된 면과 대응되는 면에 관통홈을 형성하는 단계(S2000), 상부개방홈의 경사면에 금속전극을 형성하는 단계(S3000), 제1기판의 하부에 관통홈에 의해서 상부개방홈과 연통되도록 공통전극을 형성하는 단계(S4000), 제1기판의 하부에 제2기판을 부착하는 단계(S5000), 상부개방홈에 전해질용액을 저장하는 단계(S6000) 그리고 제1기판의 상부개방홈을 밀폐하는 밀폐수단을 형성하는 단계(S7000), 리드선을 연결하는 단계(S8000)를 포함한다.

본 발명의 일실시예인 기울기 센서의 제조방법은 제1기판에 상부개방홈을 형성하는 단계(S1000)는 실리콘 기판의 표면을 식각하는 공정을 통해서 4㎜×4㎜×400㎛의 홈을 형성할 수 있다. 다만 기울기센서의 크기에 따라서 다양한 크기의 상부개방홈이 형성된다.

상부개방홈과 대응되는 면에 관통홈을 형성한다(S2000). 제1기판의 하부면 식각을 통해서 사각형의 기울기 센서 중심에 원통형태의 홈이 형성되고, 관통홈에 의해서 제1기판의 하부면은 개방된다.

상부개방홈을 형성하는 S1000단계와 관통홈을 형성하는 S2000단계는 TMAH를 이용한 식각 공정을 통해서 동시에 형성될 수 있으며 또는 관통홈을 형성하는 단계를 거친 후에 상부개방홈을 형성할 수 있다.

상부개방홈과 관통홈을 형성한 이후에 금속전극을 형성한다(S3000). 본 발명의 일실시예인 기울기 센서에는 제1전극, 제2전극, 제3전극, 제4전극을 상부개방홈 각 모서리마다 형성한다. 제1전극과 제3전극이 서로 마주보고, 제2전극과 제4전극이 서로 마주보도록 형성된다. 다만 금속전극을 형성하기 이전에 제1기판의 표면에 산화막을 형성한다. 산화막은 제1기판과 금속전극간의 절연층을 역할을 한다. 금속전극은 Au박막일 수 있으며, Au박막이 접착력이 향상되도록 NiCr 50Å을 먼저 증착하고, 그 다음 Au 3000Å을 증착시킨다.

금속전극을 형성한 이후에 제1기판의 하부면에 공통전극을 형성한다(S4000). 제1기판의 하부면에 금속전극과 같은 재질의 박막을 형성하고 관통홈에 의해서 상부개방홈과 연통되도록 한다.

이후 공통전극을 고정시키고 제1기판의 하부면을 밀폐시키기 위해서 제1기판의 하부면에 제2기판을 부착시킨다(S5000). 제2기판은 제1기판과 같은 재질일 수 있다.

제1기판과 제2기판의 부착에도 공통전극의 일부는 리드선을 연결할 수 있도록 노출된다.

상부개방홈에 전해질용액을 저장한다(S6000). 전해질 용액의 성분은 앞서 언급한 바와 같고 정밀 시린지를 통해서 상부개방홈에 저장한다.

이후 상부개방홈에 저장된 전해질 용액의 누수를 막기 위해서 밀폐수단을 이용하여 제1기판의 상부면을 밀폐시킨다(S7000). 밀폐수단은 유리기판 또는 실리콘을 포함하는 절연성 재질일 수 있다.

밀폐수단으로 제1기판의 상부면을 밀봉한 후에 설치된 각 전극의 노출된 부분에 리드선을 연결한다(S8000).

이처럼 제조된 본 발명의 일실시예인 기울기 센서는 제1기판의 하부면에 포함된 관통홈과 관통홈에 의해서 공통전극과 전해질용액이 연통됨으로 인해서 제1기판의 상부개방홈에 공통전극을 형성할 필요가 없어 2방향의 기울기 측정이 가능하게 된다.

본 발명의 권리범위는 상술한 실시 예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.

100 제1기판
120 상부개방홈
140 관통홈
200 금속전극
210 제1전극
220 제2전극
230 제3전극
240 제4전극
300 제2기판
400 밀봉수단
500 전해질용액

Claims

상부개방홈과 하부 관통홈을 포함하는 제1기판;
상기 제1기판의 상부에 형성되는 제1 금속전극 내지 제4 금속전극;
상기 제1기판의 하부에 배치되는 공통전극; 및
상기 제1 금속전극 내지 상기 제4 금속전극과 각각 일단이 연결되고 타단이 상기 공통전극과 연결되는 제1 외부저항 내지 제4 외부저항;
을 포함하고,
상기 상부개방홈에는 전해질 용액이 저장되고, 상기 상부개방홈이 상기 관통홈에 의해서 상기 공통전극과 연통되도록 배치되고,
상기 공통전극과 상기 제1 금속전극 간의 저항과 상기 공통전극과 상기 제3금속전극 간의 저항, 상기 제1 외부저항 및 상기 제3 외부저항을 이용하여 제1축의 기울기를 측정하며,
상기 공통전극과 상기 제2 금속전극 간의 저항과 상기 공통전극과 상기 제4금속전극 간의 저항, 상기 제2 외부저항 및 상기 제4 외부저항을 이용하여 상기 제1축과 교차하는 제2축의 기울기를 측정하는 것을 특징으로 하는 기울기 센서.
제1항에 있어서,
상기 관통홈은 상기 공통전극에 의해서 밀폐되는 것을 특징으로 하는 기울기 센서.
제1항에 있어서,
상기 상부개방홈은 상광하협(上廣下浹)의 개방홈인 것을 특징으로 하는 기울기 센서
제1항에 있어서,
상기 제1기판의 하부면을 밀폐시키는 제2기판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기울기 센서.
제1항에 있어서,
상기 상부개방홈은 수평절단면이 사각형 형상이며, 상기 금속전극들은 각각 상기 상부개방홈 각각의 경사면에 상호 절연되게 형성된 것을 특징으로 하는 기울기 센서.
제1항에 있어서,
상기 금속전극들 각각에 연결되어 전원을 공급하는 리드선을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기울기 센서.
제1항에 있어서,
전해질용액이 저장되는 상기 상부개방홈이 밀폐되도록 상기 제1기판의 상부면에 부착되는 밀폐수단을 포함하는 기울기 센서.
삭제
기울기 센서를 제조하는 방법에 있어서,
제1기판에 상부개방홈을 형성하는 단계;
상기 상부개방홈이 형성된 면과 대응되는 면에 관통홈을 형성하는 단계;
상기 상부개방홈의 경사면에 제1 금속전극 내지 제4 금속전극을 형성하는 단계;
상기 제1기판의 하부에 상기 관통홈에 의해서 상기 상부개방홈과 연통되도록 공통전극을 형성하는 단계;
상기 제1 금속전극 내지 상기 제4 금속전극과 각각 일단이 연결되고 타단이 상기 공통전극에 연결된 제1 외부저항 내지 제4 외부저항을 형성하는 단계;
상기 제1기판의 하부에 제2기판을 부착하는 단계;
상기 상부개방홈에 전해질용액을 저장하는 단계; 그리고
상기 제1기판의 상부개방홈을 밀폐하는 밀폐수단을 형성하는 단계를 포함하는 기울기 센서 제조방법.
제9항에 있어서,
상기 제1 금속전극 내지 제4 금속전극을 형성하는 단계는 스핀코팅공정 또는 스프레이 코팅공정에 의해서 형성되는 것을 특징으로 하는 기울기 센서 제조방법.
제9항에 있어서,
상기 밀폐수단을 형성하는 단계 이후에 리드선을 연결하는 단계를 포함하는 기울기 센서 제조방법.
전해질 기울기 센서로서,
사각형상의 상부개방홈을 포함하고, 하부면 중심에 관통홈을 포함하는 제1기판;
상기 상부개방홈의 모서리에 각각 배치되는 제1 금속전극 내지 제4 금속전극;
상기 관통홈을 밀폐시키고 제1기판의 하부면에 배치되는 공통전극;
상기 제1 금속전극 내지 상기 제4 금속전극과 각각 일단이 연결되고 타단이 상기 공통전극에 연결되는 제1 외부저항 내지 제4 외부저항;
상기 상부개방홈의 모서리에 배치되는 금속전극의 소정구간이 잠기도록 상기 상부개방홈에 담지되는 전해질 용액; 그리고
상기 상부개방홈을 밀폐시키는 밀폐수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 기울기 센서.