KR101297074B1 - Anode structure of magnetron injection gun - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 MIG(Magnetron Injection Gun, 마그네트론 주입 총)에 관한 것으로서, 에미터(emitter)에서 발생하는 초기 에너지 스프레드(spread)를 최소화하여 소자의 발진특성을 개선할 수 있고, PZT(Piezo-Electric Transducer) 기법을 이용하여 건-코일(gun coil) 없이 동작조건에 대한 접근을 위한 회전에너지 제어를 구현할 수 있는 MIG의 애노드 구조에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE
고출력 T-ray(테라헤르츠 광선) 소스 로 활용되는 Gyrotron 혹은 ECRM(electron cyclotron resonance maser)은 자기장 아래에서 회전하는 전자의 운동에너지를 이용하여 공동(cavity)의 고차 모드와 공진을 일으켜 고출력 전자기파를 발생시킨다. 회전하는 전자빔을 생성하기 위하여 에미터(emitter)를 포함한 캐소드(cathode)와 집속/방출 전극으로 구성된 도 1과 같은 MIG (magnetron injection gun)을 이용한다. Gyrotron or electron cyclotron resonance maser (ECRM), which is used as a high-power T-ray source , uses the kinetic energy of electrons rotating under a magnetic field to generate high-power electromagnetic waves by resonating with higher-order modes of cavities. Let's do it. In order to generate a rotating electron beam, a magnetron injection gun (MIG) as shown in FIG. 1 including a cathode including an emitter and a focusing / emitting electrode is used.
Pierce-type 전자총과 달리 MIG (magnetron injection gun)의 애노드(anode) 설계와 관련해서는 정해진 원칙이 없으므로 임의의 모양으로부터 출발하며 시행착오(trial and error) 방식의 컴퓨터 시뮬레이션을 통하여 설계를 진행한다. Unlike the Pierce-type gun, there is no fixed principle for the anode design of the magnetron injection gun (MIG). Therefore, the design starts from an arbitrary shape and proceeds through trial and error computer simulation.
또한 전자의 회전에너지를 제어하기 위한 도 1과 같은 종래의 MIG 방식은 추가적인 자석을 필요로 하므로, 구동을 위한 별도의 전원장치가 있어야 하며, 주 자석(main magnet)과의 인력, 척력을 고려한 구조 설계가 수반되어야 한다. 또한 주 자석은 전압차이가 많이 나는 캐소드(cathode) 주변에 위치해야 하므로 외부 아크(arc) 발생 등의 문제가 있다. In addition, the conventional MIG method as shown in FIG. 1 for controlling the rotational energy of the electron requires an additional magnet, and therefore, a separate power supply device must be provided for driving, and a structure considering the attraction force and repulsive force with the main magnet Design must be involved. In addition, since the main magnet should be located around a cathode having a large voltage difference, there is a problem such as occurrence of an external arc.
따라서, 본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은, 에미터(emitter)에서 발생하는 초기 에너지 스프레드(spread)를 최소화하여 소자의 발진특성을 개선할 수 있고, PZT(Piezo-Electric Transducer) 기법을 이용하여 건-코일(gun coil) 없이 동작조건에 대한 접근을 위한 회전에너지 제어를 구현할 수 있는 MIG의 애노드 구조를 제공하는 데 있다.Accordingly, an object of the present invention is to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to minimize an initial energy spread generated in an emitter, thereby improving oscillation characteristics of a device, and PZT (Piezo). It is to provide an anode structure of MIG that can implement rotational energy control for access to operating conditions without gun coil by using Electric Transducer technique.
먼저, 본 발명의 특징을 요약하면, 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일면에 따른, 마그네트론 주입 총(MIG)의 작동 방법은, 캐소드의 곡면 중에 형성된 홈 내에 결합되며, 표면이 상기 캐소드의 상기 곡면과 동일 원주의 곡면 상에 형성된 에미터에서 전자를 방출하여, 상기 캐소드의 상기 곡면과 동심의 다른 원주 상에 곡면 형상이 포함된 애노드를 향하여 상기 전자를 집속시키되, 상기 애노드의 상기 곡면으로부터 연장된 부분과 결합된 PZT(Piezo-Electric Transducer) 소자에 인가하는 전압에 따라 상기 애노드의 상기 곡면을 움직여 상기 애노드와 상기 캐소드 사이의 갭을 조절하여 전기장을 변화시키는 것을 특징으로 한다.First, to summarize the features of the present invention, a method of operating a magnetron injection gun (MIG), according to one aspect of the present invention for achieving the object of the present invention, is coupled in a groove formed in the curved surface of the cathode, the surface Emits electrons from an emitter formed on a curved surface circumferentially with the curved surface of the cathode to focus the electrons toward an anode including a curved shape on another circumference concentric with the curved surface of the cathode, wherein the anode The electric field is changed by adjusting a gap between the anode and the cathode by moving the curved surface of the anode according to a voltage applied to a piezo-electric transducer (PZT) device coupled to a portion extending from the curved surface of the PZT element. .
그리고, 본 발명의 다른 일면에 따른, 마그네트론 주입 총(MIG)은, 표면이 곡면 형상인 캐소드; 상기 캐소드의 상기 곡면 중에 형성된 홈 내에 결합되며, 표면이 상기 캐소드의 상기 곡면과 동일 원주의 곡면 상에 형성된 전자 방출용 에미터(예, 냉음극 또는 열음극 포함); 상기 캐소드의 상기 곡면과 동심의 다른 원주 상에 곡면 형상이 포함된 애노드; 및 상기 애노드의 상기 곡면으로부터 연장된 부분과 결합되며, 인가 전압에 따라 상기 애노드의 상기 곡면을 움직여 상기 애노드와 상기 캐소드 사이의 갭을 조절하는 PZT(Piezo-Electric Transducer) 소자를 포함한다.And, according to another aspect of the invention, the magnetron injection gun (MIG), the surface of the cathode having a curved surface; An electron emission emitter (eg, including a cold cathode or a hot cathode) coupled to a groove formed in the curved surface of the cathode, the surface being formed on a curved surface circumferentially with the curved surface of the cathode; An anode including a curved shape on another circumference concentric with the curved surface of the cathode; And a piezo-electric transducer (PZT) device coupled to a portion extending from the curved surface of the anode and moving the curved surface of the anode according to an applied voltage to adjust a gap between the anode and the cathode.
상기 캐소드의 상기 곡면과 상기 애노드의 상기 곡면 사이에 인가된 전압에 따라 상기 갭에 상기 동심으로부터 거리에 따른 원형 등전위면을 형성하여 상기 에미터에서 방출된 전자가 상기 동심을 향하여 집속되도록 한다.According to the voltage applied between the curved surface of the cathode and the curved surface of the anode, a circular equipotential surface in accordance with the distance from the concentric in the gap is formed to cause electrons emitted from the emitter to focus toward the concentric.
상기 캐소드와 상기 애노드 주위에 설치된 공동 공진기와 자석 방향으로 상기 에미터에서 방출된 전자가 유도되어 공동 공진기 내에서 회전하면서 진행하도록 하여 전자기파를 발생하되, 다른 자기장 조절 없이 상기 자석에 의한 고정된 자기장 내에서 상기 갭의 조절에 의해 전기장을 변화시켜 상기 에미터에서 방출된 전자의 회전 에너지를 제어한다.Electrons emitted from the emitter in the direction of the magnet and the cavity resonator and magnets installed around the cathode and the anode are guided to rotate in the cavity resonator to generate electromagnetic waves, but within a fixed magnetic field by the magnet without adjusting other magnetic fields. The electric field is changed by adjusting the gap at to control the rotational energy of electrons emitted from the emitter.
본 발명에 따른 MIG의 애노드 구조에 따라, 공진기 내에서 최적의 beam-wave interaction을 일으켜서 T-ray 발생용 Gyrotron 등의 동작 효율을 향상시킬 수 있다. 또한, PZT 결합된 애노드를 이용하여 외부 보조 자석이나 코일 등을 없애고 간단한 구조로 전자의 회전에너지를 제어하여 다양한 동작조건에서 Gyrotron 등의 동작을 최적화 할 수 있다. According to the anode structure of the MIG according to the present invention, it is possible to improve the operation efficiency of Gyrotron for T-ray generation by generating the optimum beam-wave interaction in the resonator. In addition, the PZT coupled anode eliminates external auxiliary magnets or coils and controls the rotational energy of electrons with a simple structure to optimize the operation of Gyrotron in various operating conditions.
도 1은 일반적인 MIG (magnetron injection gun, 마그네트론 주입 총)의 구조를 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 MIG (magnetron injection gun, 마그네트론 주입 총)의 구조를 설명하기 위한 도면이다.1 is a view for explaining the structure of a general MIG (magnetron injection gun, magnetron injection gun).
2 is a view for explaining the structure of a magnetron injection gun (MIG) according to an embodiment of the present invention.
이하 첨부 도면들 및 첨부 도면들에 기재된 내용들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명하지만, 본 발명이 실시예들에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Reference will now be made in detail to the preferred embodiments of the present invention, examples of which are illustrated in the accompanying drawings, wherein like reference numerals refer to the like elements throughout.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 MIG (magnetron injection gun, 마그네트론 주입 총)의 구조를 설명하기 위한 도면이다.2 is a view for explaining the structure of a magnetron injection gun (MIG) according to an embodiment of the present invention.
도 2를 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 MIG(100)은, 캐소드(cathode)(110), 에미터(emitter)(120), 애노드(anode)(130), 및 PZT(Piezo-Electric Transducer) 소자(140)를 포함한다. 2, the
캐소드(110)는 에미터(120)에 음전압을 제공하고 양전압이 인가되는 애노드(130) 사이에 전기장이 형성되도록 하며, 도면과 같이 애노드(130)와 마주보는 쪽 표면이 곡면 형상인 부분을 포함한다. The
에미터(120)는 캐소드(110)의 곡면(애노드(130)와 마주보는 쪽 표면) 중에 형성된 홈 내에 결합되어 캐소드(110)에 제공된 음전압이 인가되며, 그 표면(곡면 또는 평면)이 캐소드(110)의 해당 곡면과 동일 원주의 곡면 상에 형성되도록 결합된다. 에미터(120)는 양전압이 인가되는 애노드(130) 쪽으로 전자를 방출하는 냉음극 형태가 바람직하지만, 이에 한정되는 것은 아니며 열음극 형태로 제작되어 발생된 전자가 애노드(130)쪽으로 진행되도록 할 수도 있다. The
도 2는 에미터(120)에서 발생되는 전자 진행 방향(Z방향)에 평행하게 자른 단면을 도시한 것으로서 캐소드(110)의 곡면(애노드(130)와 마주보는 쪽 표면)과 에미터(120) 표면은 일정 면적을 갖는 면으로 이루어져 있음을 밝혀 둔다. FIG. 2 is a cross-sectional view taken in parallel to an electron traveling direction (Z direction) generated in the
애노드(130)는 캐소드(110)의 곡면(애노드(130)와 마주보는 쪽 표면)과 동심(동일 중심 Q)의 다른 원주(작은 원주) 상에 곡면 형상이 포함되도록 제작되어 설치된다. The
애노드(130)의 위와 같은 원주 상의 곡면 형상은 양측으로 적절히 연장되어 PZT 소자(140)에 결합되어 지지된다. PZT 소자(140)는 일정 위치에 고정 설치될 수 있다. The circumferential curved shape as above of the
PZT 소자(140)는 인가 전압에 따라 수축 또는 팽창의 변형을 일으키는 물질로 이루어지며, 이와 같은 특성을 이용하여 PZT 소자(140)에 전압을 인가하여 애노드(130)의 위와 같은 원주 상의 곡면 형상 부분이, 에미터(120) 표면으로부터 동심(Q)을 향하는 수직한 선 상에서 움직이도록 할 수 있다. 이에 따라 애노드(130)와 캐소드(110) 사이의 갭(A-K 갭)이 조절됨으로써 애노드(130)와 캐소드(110) 사이의 전기장 세기를 조절할 수 있다.
즉, 캐소드(110)의 곡면(애노드(130)와 마주보는 쪽 표면)에 인가되는 음전압과 동심(Q)의 다른 원주 상의 애노드(130)의 곡면에 인가되는 양전압에 의해, A-K 갭의 공간에 동심으로부터 거리(원주들의 반경 R방향)에 따른 원형 등전위면을 형성할 수 있으며, 이에 따라 에미터(120)에서 방출된 전자가 동심(Q)을 향하여 집속되도록 할 수 있다. 또한, PZT 소자(140)에 전압을 인가하여 애노드(130)의 곡면이 캐소드(110)의 곡면으로부터 멀어지거나 가까워지게 함으로써, 애노드(130)와 캐소드(110) 사이, 즉, A-K 갭의 공간의 동심으로부터 거리에 따른 원형 등전위면의 전기장 세기가 달라지도록 조절할 수 있다. That is, the negative voltage applied to the curved surface of the cathode 110 (the surface facing the anode 130) and the positive voltage applied to the curved surface of the
이와 같이 애노드(130)의 곡면과 캐소드(110)의 곡면이 형성하는 원형 등전위면에 의해 에미터(120)에서 방출된 전자가 동심(Q)을 향하여 집속되도록 하므로 애노드(130)의 곡면과 캐소드(110)의 곡면이 집속 전극으로서 역할하며, 이와 같은 원형 등전위면의 형성에 의해 전자들의 반발력에 의한 스프레드(spread)를 최소화하여 집속되도록 하므로 에너지 손실을 줄일 수도 있게 된다. As such, the electrons emitted from the
한편, 도면에는 도시하지 않았지만, 캐소드(110)와 애노드(130) 주위에 적절히 공동 공진기와 자석이 설치될 수 있으며(도 1 참조), 이에 따라 자석에 의한 자기장(B)을 형성함으로써, 애노드(130)와 캐소드(110) 사이의 전기장(E)에 의해, 에미터(120)에서 방출된 전자가 동심(Q)을 향하여 집속됨과 동시에 공동 공진기로 유도되어 E×H의 방향과 세기로 드리프트하여 회전하면서 Z 방향으로 진행할 수 있게 된다. 이때 공동 공진기 내에서는 회전하면서 진행하는 전자들에 의한 전자빔에 의해 전자의 사이크로트론 주파수와 거의 같은 주파수의 전자기파(예, 서브테라헤르츠 내지 테라헤르츠 주파수의 T-ray 등)가 발생될 수 있다. On the other hand, although not shown in the drawings, a cavity resonator and a magnet may be appropriately installed around the
본 발명에서는 특히 위와 같은 E×H에 의한 전자의 회전 에너지가, PZT 소자(140)에 인가하는 전압에 따라 애노드(130)의 곡면의 이동을 통해 애노드(130)와 캐소드(110) 사이의 전기장(E)의 변화가 발생되도록 하여 제어되도록 하였다. 즉, 다른 추가적인 자석이나 코일에 의한 전기적 자기장 발생 등에 의한 조절 없이, 위와 같은 공동 공진기 주변에 설치된 자석에 의한 고정된 자기장(B) 내에서 A-K 갭의 조절에 의해 전기장(E)을 변화시켜 에미터(110)에서 방출된 전자의 회전 에너지가 제어될 수 있도록 하였다. 이는 기존과 같이 전기장(E)을 고정하고 추가적인 자석이나 전기적 자기장 발생 등에 의해 자기장(B)을 변화시켜, E×H에 의한 전자의 회전 에너지를 조절하는 방식과는 다르다.In the present invention, the electric energy between the
이상과 같이 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.As described above, the present invention has been described by way of limited embodiments and drawings, but the present invention is not limited to the above embodiments, and those skilled in the art to which the present invention pertains various modifications and variations from such descriptions. This is possible. Therefore, the scope of the present invention should not be limited to the described embodiments, but should be determined by the equivalents of the claims, as well as the claims.
MIG (magnetron injection gun, 마그네트론 주입 총)(100)
캐소드(cathode)(110)
에미터(emitter)(120)
애노드(anode)(130)
PZT(Piezo-Electric Transducer) 소자(140)MIG (magnetron injection gun) (100)
Cathode (110)
Emitter (120)
Anode (130)
Piezo-Electric Transducer (PZT)
Claims (5)
상기 애노드의 상기 곡면으로부터 연장된 부분과 결합된 PZT(Piezo-Electric Transducer) 소자에 인가하는 전압에 따라 상기 애노드의 상기 곡면을 움직여 상기 애노드와 상기 캐소드 사이의 갭을 조절하여 전기장을 변화시키는 것을 특징으로 하는 마그네트론 주입 총의 작동 방법.Coupled to a groove formed in the curved surface of the cathode, the surface emitting electrons from an emitter formed on a curved surface circumferentially with the curved surface of the cathode, such that the curved shape is contained on another circumference concentric with the curved surface of the cathode. Focus the electrons towards the anode,
The electric field is changed by adjusting the gap between the anode and the cathode by moving the curved surface of the anode according to a voltage applied to a piezo-electric transducer (PZT) device coupled to a portion extending from the curved surface of the anode. Method of working magnetron injection gun.
상기 캐소드의 상기 곡면 중에 형성된 홈 내에 결합되며, 표면이 상기 캐소드의 상기 곡면과 동일 원주의 곡면 상에 형성된 전자 방출용 에미터;
상기 캐소드의 상기 곡면과 동심의 다른 원주 상에 곡면 형상이 포함된 애노드; 및
상기 애노드의 상기 곡면으로부터 연장된 부분과 결합되며, 인가 전압에 따라 상기 애노드의 상기 곡면을 움직여 상기 애노드와 상기 캐소드 사이의 갭을 조절하는 PZT(Piezo-Electric Transducer) 소자
를 포함하는 것을 특징으로 하는 마그네트론 주입 총.A cathode having a curved surface;
An electron emission emitter coupled in a groove formed in the curved surface of the cathode, the emitter being formed on a curved surface of the same circumference as the curved surface of the cathode;
An anode including a curved shape on another circumference concentric with the curved surface of the cathode; And
Piezo-Electric Transducer (PZT) device coupled to a portion extending from the curved surface of the anode and controlling the gap between the anode and the cathode by moving the curved surface of the anode according to an applied voltage.
Magnetron injection gun comprising a.
상기 캐소드의 상기 곡면과 상기 애노드의 상기 곡면 사이에 인가된 전압에 따라 상기 갭에 상기 동심으로부터 거리에 따른 원형 등전위면을 형성하여 상기 에미터에서 방출된 전자가 상기 동심을 향하여 집속되도록 하는 것을 특징으로 하는 마그네트론 주입 총.The method of claim 2,
A circular equipotential surface in accordance with the distance from the concentric in the gap according to the voltage applied between the curved surface of the cathode and the curved surface of the anode to focus the electrons emitted from the emitter toward the concentric Magnetron injection gun made with.
상기 캐소드와 상기 애노드 주위에 설치된 공동 공진기와 자석 방향으로 상기 에미터에서 방출된 전자가 유도되어 공동 공진기 내에서 회전하면서 진행하도록 하여 전자기파를 발생하되,
다른 자기장 조절 없이 상기 자석에 의한 고정된 자기장 내에서 상기 갭의 조절에 의해 전기장을 변화시켜 상기 에미터에서 방출된 전자의 회전 에너지를 제어하는 것을 특징으로 하는 마그네트론 주입 총.The method of claim 2,
Electrons emitted from the emitter in the direction of the magnet and the cavity resonator and magnets installed around the cathode and the anode are induced to proceed while rotating in the cavity resonator to generate electromagnetic waves,
And a magnetron injection gun which controls the rotational energy of the electrons emitted from the emitter by changing the electric field by adjusting the gap in a fixed magnetic field by the magnet without any other magnetic field adjustment.
상기 에미터는 냉음극 또는 열음극을 포함하는 것을 특징으로 하는 마그네트론 주입 총.The method of claim 2,
And said emitter comprises a cold cathode or a hot cathode.
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- 2012-05-14 KR KR1020120050783A patent/KR101297074B1/en active IP Right Grant
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